Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, доктор наук Рябышенков Андрей Сергеевич

• Рябышенков Андрей Сергеевич
• доктор наук
• 2018

Оглавление диссертации доктор наук Рябышенков Андрей Сергеевич

СОДЕРЖАНИЕ

УСЛОВНЫЕ СОКРАЩЕНИЯ

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ПРОБЛЕМА ОБЕСПЕЧЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МИКРОКЛИМАТА ПРОИЗВОДСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

1.1. Производства микроэлектроники и технологическая среда

1.2. Технология кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений

1.3. Концепция энергоэффективного кондиционирования и фильтрации воздуха

1.4. Общие подходы к оценке эффективности системы кондиционирования воздуха

1.5. Основные выводы по главе

ГЛАВА 2. СИСТЕМНЫЙ АНАЛИЗ ПРОЦЕССА КОНДИЦИОНИРОВАНИЯ И ФИЛЬТРАЦИИ ВОЗДУХА

2.1. Основные положения системного анализа в исследовании СКФВ

2.2. Структурно-целевая модель проблемы эффективности СКФВ

2.2. Структурно-целевая модель повышения эксплуатационной эффективности чистых помещений

2.3. Системный анализ аэродинамического режима

2.4. Структурно-энергетический анализ процесса кондиционирования и фильтрации воздуха

2.5. Оценка аэродинамической эффективности технологических схем СКФВ ЧП

2.6. Основные результаты и выводы по главе

ГЛАВА 3. ЭКСЕРГЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СИСТЕМЫ КОНДИЦИОНИРОВАНИЯ И ФИЛЬТРАЦИИ ВОЗДУХА

3.1. Эксергетический баланс СКФВ

3.2. Термодинамическая эффективность СКФВ

3.3 Расчет механической эксергии СКФВ

3.4. Термодинамический подход к экономической оптимизации системы

кондиционирования воздуха чистых помещений

3.5. Основные результаты и выводы

ГЛАВА 4. НАРУЖНЫЙ ВОЗДУХ КАК ИСТОЧНИК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ СРЕДЫ

4.1. Тепло-влажностные характеристики наружного воздуха

4.2. Фазово-компонентный состав наружного воздуха

4.3. Расчетные параметры наружного воздуха

4.4. Инженерно-экологическая оценка атмосферного воздуха НПТГ

4.5. Анализ тепло-влажностных характеристик воздуха в СКФВ

4.6. Разработка средств контроля тепло-влажностных характеристик

воздуха

4.7. Основные результаты и выводы по главе

ГЛАВА 5. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ И КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ АЭРОДИНАМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В ЧП

5.1. Характер движения воздуха в чистых помещениях

5.2. Расчет элементов рециркуляционных контуров

5.3. Математические модели движения воздуха в чистых помещениях

5.4. Влияние персонала на эффективность функционирования ЧП

5.5.Технология регенерации воздушных фильтров

5.6. Испытания фильтров различных типов

5.7. Основные результаты и выводы по главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ 1. АКТЫ ВНЕДРЕНИЯ

ПРИЛОЖЕНИЕ 2. СОСТАВ ЭКСПЕРТОВ

ПРИЛОЖЕНИЕ 3. ПОВТОРЯЕМОСТЬ НАПРАВЛЕНИЙ И СИЛЫ ВЕТРА

ПРИЛОЖЕНИЕ 4. РАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОНЦЕНТРАЦИЙ АЭРОЗОЛЬНЫХ

ЧАСТИЦ

ПРИЛОЖЕНИЕ 5. РАСЧЁТ ЭФФЕКТИВНОСТИ ФИЛЬТРОВ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность проблемы. Микроэлектроника относится к числу высокотехнологичных отраслей промышленности и является важнейшим направлением развития научно-технического прогресса, определяющим экономическую, производственную, информационную и экологическую безопасность России. Одно из условий прогресса отрасли состоит в обеспечении ее современной инфраструктурой по созданию технологической среды, необходимой для дальнейшей миниатюризации изделий. Основа такой инфраструктуры - чистое помещение (ЧП) представляет собой сложную техническую систему, включающую ряд подсистем и элементов для подготовки, поддержания и мониторинга параметров внутрипроизводственной среды. Критерием ее качества служит уровень загрязнения, выражаемый классом чистоты помещения. Совокупные затраты на создание и надежное функционирование ЧП, как правило, сопоставимы с затратами на реализацию основной технологии производства.

Определяющая роль в обеспечении класса чистоты принадлежит системе кондиционирования и фильтрации воздуха (СКФВ), эффективность которой находится в тесной взаимосвязи с состоянием наружного воздуха, конструктивно-технологическими особенностями системы, тепло-массообменными и аэродинамическими процессами, структурой и организацией технологического процесса.

Для комплексной оценки эффективности функционирования СКФВ, рационализации использования энергоресурсов необходима исходная объективная информация, источником которой должен стать энергетический мониторинг, построенный на современных методах учета, сбора, хранения и обработки ключевых характеристик системы воздухоподготовки [1-3]. Эти характеристики в соответствии с ГОСТ Р ИСО 50001-2012 «Системы энергетического менеджмента. Требования и руководство по применению» включают параметры потребляемых энергоресурсов в рамках традиционного

энергетического подхода на основе первого закона термодинамики и вычисленные на их основе базовые показатели СКФВ (мощность, потери давления, КПД и т.п.), зависящие только от параметров самой системы. Нормативная документация по проектированию и эксплуатации СКФВ для прецизионного технологического микроклимата на основе такого подхода представляется недостаточной. Поскольку СКФВ - это открытая термодинамическая система, энергетические показатели которой в значительной степени определяются параметрами динамично изменяющейся внешней атмосферы, перспективным представляется эксергетический подход на основе первого и второго закона термодинамики. Являясь универсальным способом термодинамического исследования необратимых процессов энергетических преобразований, он позволяет оценить и устранить причины снижения несовершенства системы.

Такая комплексная оценка СКФВ, охватывающая различные аспекты ее функционирования от внутреннего устройства до состояния окружающей среды, и связанных с этим энергозатрат, ранее не выполнялась. В настоящее время состояние научных исследований и разработок в области отечественной инфраструктуры микроэлектроники свидетельствует об их отставании от мирового развития. Сдерживающими факторами являются недостаточное научно-методическое обоснование проектирования и эксплуатации чистого производства, а также отсутствие системных исследований ряда новых явлений и проблем, сопутствующих возрастающим требованиям к технологической среде.

Исследование, направленное на решение такой крупной научно-технической проблемы как модернизация инфраструктуры микроэлектроники на основе современной научно-технической концепции эффективного функционирования системы кондиционирования и фильтрации воздуха ЧП с опорой на отечественные разработки, является одной из ключевых задач развития отрасли и, безусловно, актуально.

Объектом исследования является система кондиционирования и фильтрации воздуха чистого помещения микроэлектроники как компонента наукоемкой природно-технической геосистемы (НПТГ).

Предметом исследования является энергетический мониторинг системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники.

Цель работы. Разработка научно-технической концепции энергоэффективного кондиционирования воздуха ЧП как подсистемы НТПГ, системно-термодинамический анализ процессов обеспечения технологического микроклимата и практическая реализация средств контроля

энергоэффективности воздухоподготовки.

Для достижения цели работы необходимо решить следующие задачи:

1. Системный анализ проблемы кондиционирования и фильтрации воздуха ЧП и определение основных факторов влияния на энергоэффективность системы как объекта энергетического мониторинга.

2. Разработка научно-технических основ построения энергетического мониторинга СКФВ и обоснование технико-экологических условий обеспечения класса чистоты помещений.

3. Анализ состояния атмосферного воздуха НПТГ как фактора влияния на эффективное функционирование СКФВ ЧП микроэлектроники.

4. Термодинамический анализ технологических схем СКФВ ЧП и выявление факторов обеспечения их термодинамической и экономической эффективности на основе эксергетического и термоэкономического подходов.

5. Разработка методики расчета, математическое и компьютерное моделирование аэродинамических процессов с целью их оптимизации по критериям энергоемкости и загрязнения производственной среды аэрозолями.

6. Разработка технического обеспечения контроля и управления энергоэффективностью процесса кондиционирования и фильтрации воздуха ЧП.

7. Систематизация номенклатуры энергоэффективного оборудования СКФВ, разработка и практическая реализация системы регенерации фильтров.

8. Разработка и практическая реализация рекомендаций по планировке оборудования и организации труда персонала как средств снижения энергоемкости ЧП.

Научная новизна работы состоит в следующем:

1. В результате системного анализа проблем кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений установлены основные факторы, определяющие энергоэффективность процессов, подлежащих постоянному мониторингу.

2. Разработана научно-техническая концепция энергоэффективного кондиционирования и фильтрации воздуха, определяющая условия обеспечения заданного класса чистых помещений с учетом параметров окружающей среды.

3. Определены функциональные зависимости эксергетических потерь системы кондиционирования и фильтрации воздуха, а также её основных элементов от параметров окружающей среды и установлены факторы, обеспечивающие термодинамическую и экономическую эффективность СКФВ.

4. Проведен термодинамический анализ системы кондиционирования и фильтрации воздуха, в результате которого установлены критерии энергоемкости системы с учетом эксергетического и аэродинамического КПД.

5. Разработана методика расчета режимов воздушных потоков в системе кондиционирования и фильтрации воздуха с целью их оптимизации по критериям энергетической эффективности и загрязнения производственной среды аэрозолями.

6. Разработана методика расчета аэродинамических процессов в чистом помещении, проведено их математическое и компьютерное моделирование, позволяющие оптимизировать планировку технологического оборудования по критерию загрязнения аэрозолями.

Теоретическая и практическая значимость исследований состоит в следующем:

1. Разработан графоаналитический метод расчета перепада давлений в элементах СКФВ, позволяющий обеспечить необходимое избыточное давление в ЧП.

2. Разработана методика расчета потерь эксергии и эксергетического КПД прямоточной системы кондиционирования воздуха и системы с рециркуляционным контуром.

3. Разработано техническое обеспечение контроля и управления энергоэффективностью процесса кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений.

4. Разработана методика регенерации фильтров для системы кондиционирования и фильтрации воздуха в условиях действующего производства.

5. Систематизирована номенклатура энергоэффективного оборудования системы кондиционирования и фильтрации воздуха и разработаны практические рекомендации по планировке технологического оборудования и организации труда персонала, как средств снижения энергозатрат.

6. Результаты диссертационной работы были апробированы в ОАО «НИИМЭ и Микрон» при выполнении проекта с Фондом инфраструктурных и образовательных программ «РОСНАНО»: «Разработка образовательной программы повышения квалификации и учебно-методического комплекса, ориентированных на инвестиционные проекты, использующие чистые производственные помещения в нанотехнологическом производстве».

7. Основные результаты диссертационного исследования использованы в системах энергомониторинга СКФВ НИУ МИЭТ, АО «ИТТиП» и НПП «НаноИнТех». Материалы исследований внедрены в учебный процесс НИУ МИЭТ в качестве основных учебно-методических разработок для магистров по программе «Энергетическая эффективность производств электронной техники»

по направлению подготовки 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника». Акты внедрения представлены в Приложении 1.

Методология и методы исследований. Теоретической основой проведенных исследований служат системный анализ и фундаментальные законы термодинамики, аэродинамики и массопереноса. В качестве базового при оценке эффективности функционирования системы кондиционирования и фильтрации воздуха принят эксергетический подход термодинамического анализа. В задачах исследования переноса аэрозольных частиц и оптимизации планировки технологического оборудования использовались математическое и компьютерное моделирование.

Адекватность полученных инженерных методик подтверждается аналитическими расчетами и техническими испытаниями.

На защиту выносятся:

1. Научно-техническая концепция энергоэффективного кондиционирования и фильтрации воздуха на основе системно-термодинамического анализа воздушного потока, обосновывающая комплексный учет технико-экологических условий обеспечения класса чистоты помещений.

2. Результаты анализа технологических схем системы кондиционирования и фильтрации воздуха и ранжирования факторов их обеспечения по термодинамической и экономической эффективности.

3. Критерии энергоемкости системы кондиционирования и фильтрации воздуха, учитывающие эксергетический и аэродинамический КПД.

4. Результаты компьютерного моделирования аэротермодинамических процессов для оптимизации их режимов по критериям энергоемкости и загрязнения производственной среды аэрозолями.

5. Техническое обеспечение контроля и управления энергоэффективностью процесса кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений.

6. Методика регенерации и испытаний фильтров многоступенчатой системы фильтрации для восстановления исходных эксплуатационно-технических характеристик фильтров.

7. Практические рекомендации по оптимальной компоновке технологического оборудования в чистом помещении и организации труда персонала.

Степень достоверности результатов. Достоверность диссертационного исследования подтверждается тем, что полученные результаты основаны на использовании разработанных физических и математических моделей, не противоречат основным положениям известных законов аэро - гидро - и термодинамики. Экспериментальные данные находятся в соответствии с данными зарубежных и отечественных литературных источников. Экспериментальные исследования проводились на современном высокотехнологичном оборудовании, а также с использованием разработанных стендов. Предложенные инженерные методики, проверенные аналитическими расчетами, производственными испытаниями и компьютерным моделированием, получили практическое применение при анализе эффективности функционирования ЧП ряда предприятий микроэлектроники.

Личный вклад автора. Личный вклад является основополагающим на всех этапах проведения диссертационных исследований и состоит в определении целей и постановке задач работы, обосновании методов теоретического исследований, непосредственном выполнении экспериментов, систематизации и анализе полученных материалов, при обосновании научных рекомендаций и выводов.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на 14 Международных и 3 Всероссийских научно-технических конференциях, в том числе на: Международной НТК (г. Владимир - 2001 г.); VII Всероссийской НПК «Современные технологии в машиностроении» (г. Пенза - 2003 г.); Всероссийской НПК «Современные

проблемы контроля качества, природной и техногенных сред» (г. Тамбов - 2009 г.); XIV Международной НТК «Промышленные и бытовые отходы: проблемы хранения, захоронения, утилизации и контроля» (г. Пенза - 2010 г.); 8-й Международной НПК «Научное пространство Европы» (г. Прага - 2012 г.); Международной НПК «Наука и образование: проблемы и тенденции развития» (г. Уфа - 2013 г.); Международной НПК «Векторы развития современной науки» (Уфа - 2014 - 2016 г.г.); Молодежном научном семинаре «Эколог-профессия будущего» (г. Кемерово - 2014 г.); II Международной НПК «Наука и технологии в современном обществе» (г. Уфа - 2015 г.); Международной конференции с элементами научной школы «Актуальные проблемы энергосбережения и энергоэффективности в технических системах» (г. Тамбов - 2015 - 2017 г.г.); 12-й Международной НПК «SCIENCE AND CIVILIZATION -2016», (Sheffield UK - 2016 г.); Международной НПК «Глобализация экологических проблем: прошлое, настоящее и будущее» (г. Кемерово - 2017); Международной НПК «Безопасность жизнедеятельности предприятий в промышленно развитых регионах» (г. Кемерово - 2017г.).

Публикации. Основные положения диссертации опубликованы в 114 работах, в том числе 18 статьях в журналах, входящих в перечень изданий рекомендованных ВАК РФ. На основе диссертационных исследований разработана 1 программа для ЭВМ и изданы 3 учебника.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 5 глав, заключения, списка литературы и приложения. Общий объем составляет 288 страниц машинописного текста, включая 97 рисунков, 44 таблиц, список литературных источников, состоящий из 192 наименований и 5 приложений.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Рябышенков Андрей Сергеевич

Проведенные в диссертационной работе исследования позволяют сделать следующие выводы:

1. На основе системного анализа современного состояния кондиционирования и фильтрации воздуха ЧП как основы построения энергетического мониторинга системы научно обоснованы требования к ЧП высоких классов, учитывающие фазово-компонентные, тепло-влажностные и аэродинамические процессы в СКФВ и во внешней атмосфере.

2. Разработана научно-техническая концепция повышения энергоэффективности СКФВ, включающая в себя всю совокупность внутрисистемных и внешних причин и последствий, определяющих оптимальное функционирование системы как на стадии проведения приемных испытаний ЧП, так и на стадии их аттестации и эксплуатации.

3. Проведенный анализ метеорологических данных и инженерно-экологической оценки Зеленоградской НПТГ свидетельствует о определенных отличиях расчетных параметров А и Б наружного воздуха НПТГ от рекомендуемых СНиП 41-01-2003, а также о наличии атмосферном воздухе широкого спектра загрязнителей, содержащих примеси углерода, серы, азота и др., увеличивающих энергоемкость процесса фильтрации в СКФВ.

4. Предложен графоаналитический метод расчета гидравлических сопротивлений в РЦК СКФВ ЧП как основного показателя энергоэффективности основных его элементов и РЦК в целом. Установлено, что для обеспечения избыточного давления в помещении при стандартных условиях работы ЧП (температура воздуха 22 °С, относительная влажность 40%, скорость воздуха 0,45 м/с) дРфп должен быть более 20 Па, т. е. необходимо выполнение условия: Рчп больше Рсп или Рчп больше Рпфп, при этом /п больше или равно 0,27.

5. Определены потери эксергии в основных элементах СКФВ и проведена оценка эффективности функционирования системы в целом с использованием эксергетическиого метода термодинамического исследования. Эффективность различных структурно-функциональных технологических схем определяется на основе расчета эксергии рабочего тела как суммы эксергий сухого воздуха и водяных паров в предположении адиабатного процесса при постоянстве потерь давления в воздуховодах. Погрешность расчетов с применением графоаналитического метода для определения термодинамических параметров на основе номограмм не превышает 5 % .

6. Установлены критерии энергоемкости системы кондиционирования и фильтрации воздуха, учитывающие эксергетический и аэродинамический КПД. Через единый показатель - эксергию установлены аналитические связи между термодинамическими и технико-экономическими характеристиками СКФВ. Термоэкономический анализ удельных эксергетических затрат показывает практически одинаковую структуру неэнергетических и энергетических затрат.

Зависимости затрат ПС и РЦК и их разницы от температуры наружного воздуха определяет целесообразность использования РЦК при различных параметрах окружающей среды.

7. Разработана система регулирования параметров СКФВ ЧП на основе контроллера КМ-010, с помощью которого можно управлять расходом тепло - и хладоносителей с целью поддержания параметров внутрипроизводственной среды ЧП заданного класса. Система предполагает возможность использования одновременно нескольких контроллеров, каждый из которых может регулировать и управлять, как тепло - так и хладоносителями, объеденные в общую сеть системы.

8. Разработан алгоритм оптимального размещения технологического оборудования в ЧП, обосновывающий нормативно-технологические требования к загрязнениям соответствующего класса чистоты. При скорости воздушного потока от 0,25 до 0,45 м/с, ламинарному потоку воздуха и расположении точечного источника аэрозольных частиц на высоте до 3 м от ФП на уровне рабочего места аэрозольные частицы рассеиваются на расстояние до 1,2 м, и, следовательно, рекомендуемое расстояние между рабочими местами должно быть в пределах 1,5 м.

9. В результате компьютерного моделирования воздушных потоков в ЧП установлено, что концентрация частиц на высоте 1 м от фальшпола и скорости воздушного потока 0,45 м/с, соответствует стандартным значениям ЧП класса 4 ИСО. При отклонении скорости воздуха от рекомендуемой, наблюдается высокая концентрации частиц до 4*10-5 г/м3, выходящая за рамки стандартных значений на высоте 1 м от ФП и при скорости воздуха 0,1 м/с. Полученные результаты позволяют установить допустимый диапазон скоростей воздушного потока, соответствующих пределам регламентированных значений для заданного класса ЧП.

10. Испытания на эффективность восстановленных фильтров после их регенерации на испытательном стенде: ФЯК, ФЯС-Б, ФяС-Б-ПМП, ФяП, ФЯС-

Б-МП, ИФК, ФяГ свидетельствуют, что их эффективность при перепаде давлений от 100 до 400 Па полностью соответствуют заявленным паспортным показателям. Практически обоснована необходимость регенерации фильтров в СКФВ ЧП, для чего адаптирована и внедрена методика их перемотки и испытаний в условиях действующего промышленного предприятия.

11. Основные результаты диссертационного исследования были использованы в системах энергомониторинга СКФВ НИУ «МИЭТ», АО «ИТТиП» и НПП «НаноИнТех», апробированы в ОАО «НИИМЭ и Микрон» при выполнении проекта с Фондом инфраструктурных и образовательных программ «РОСНАНО», внедрены в учебный процесс НИУ МИЭТ в качестве основных учебно-методических разработок для магистров по программе «Энергетическая эффективность производств электронной техники» по направлению подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника».

Список литературы диссертационного исследования доктор наук Рябышенков Андрей Сергеевич, 2018 год

1. Замятин, А. В. Научно-методические основы построения и программное обеспечение региональной системы мониторинга с интеллектуальной высокопроизводительной обработки данных: дис. д-ра техн. наук: 05.11.13 / Замятин Александр Владимирович. - Томск, 2011, - 365 с.

2. Кольцова, О. В. Физико-химическое моделирование превращений ингредиентов воздушной среды в системе мониторинга на примере г. Зеленограда: автореф. дис. канд. тех. наук: 05.11.13 / Кольцова Ольга Владимировна. - М., 2012, - 147 с.

3. Теплова, Я. О. Развитие теории информационной поддержки средств повышения эффективности экологического мониторинга городской инфраструктуры: автореф. дис. канд. тех. наук: 05.11.13 / Теплова Яна Олеговна. - М., 2012, - 179 с.

4. ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха. - М.: Стандартинформ, 2008. - 49 с.

5. ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц» (проект).

6. ISO 14644-1-2015 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration.

7. US 209C Federal standard for cleanrooms.

8. Шмаков, М. Гибридно-пленочные интегральные микросхемы. Чистые помещения. [Электронный ресурс] / М. Шмаков, Е. Теплякова, В. Паршин // Технологии в электронной промышленности. - 2007. - № 1(13). - Режим доступа: http://www.tech-e.ru/2007_1_72.php.

9. International Technology Roadmap for Semiconductors. [Электронный ресурс] - 2013. - Режим доступа: http://www.itrs2.net/2013-itrs.html.

10. ГОСТ Р ИСО 21501-4-2012. Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Часть 4. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света. -М.: Стандартинформ, 2008. - 49 с.

11. Рябышенков, А. С. Основные источники загрязняющих частиц и методы их контроля при производстве изделий электронной техники [Электронный ресурс] / А. С. Рябышенков под ред. О. В. Тайкаков / -Кемерово: КузГТУ. - 2015. - Режим доступа: http://science.kuzstu.ru/wp-content/Events/Conference/BGD/2015/bgd2015/pages/Articles/3/16.pdf.

12. Chien, C. C. Innovative precise-environment design and technology of removing the pollutant from a clean room / C. C. Chien; C. N. Chang; Jefferson Shyu; Eric Hsiao; B. S. Tang; Liang-Kun Zhu // 2013 e-Manufacturing & Design Collaboration Symposium (eMDC). - 2013. - PP. 1 - 4.

13. Yang-Cheng Shih. Automated control solution for contaminant dispersal in a cleanroom / Yang-Cheng Shih, An-Shik Yang, Chang-Wei Lu, Chao-Wen Chen// -2010 8th IEEE International Conference on Industrial Informatics. - 2010. - PP. 34

- 39.

14. Ivan Zajic. Burnham Temperature model of clean room manufacturing area for control analysis / Ivan Zajic, Tomasz Larkowski, Dean Hill, Keith J. Burnham // UKACC International Conference on Control 2010. - 2010. - PP. 1 - 6.

15. Mana Sezdi. Clean room classification in the operating room / Mana Sezdi, Yavuz Uzcan // 2016 Medical Technologies National Congress (TIPTEKNO).

- 2016. - PP. 1 - 4.

16. Рябышенков, А. С. Расчет концентрации пыли в чистых помещениях/ А. С. Рябышенков, В. И. Ушаков, В. И. Каракеян и др. //Известия высших учебных заведений. Строительство и архитектура. - 1991. - № 3. - С. 68 - 72.

17. Рябышенков, А. С. Оценка температурного режима производственного помещения при переменной тепловой нагрузке / А. С.

Рябышенков, Н. М. Ларионов, В. С. Суханов // Энергосбережение и водоподготовка. - 2011. -№ 1. - С. 67 - 69.

18. Рябышенков, А. С. Обеспечение термоконстантных условий при эксплуатации чистых производственных помещений / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов и др. // Оборонный комплекс-научно-техническому прогрессу России. - 2011. - №1. - С. 101 - 103.

19. Ларионов, Н. М. Энергоэффективность индустрии чистых производственных помещений / Н. М. Ларионов, Е. Ю. Нефедова, Д. В. Ушаков, А. С. Рябышенков. // - М.: МИЭТ, - 2012. - С. 40 - 44.

20. Рябышенков, А. С. Повышение эффективности системы кондиционирования и фильтрации воздуха в чистых помещениях / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов // -Уфа. -2014. - С. 126 - 129.

21. Каракеян, В. И. Исследование энергетического режима чистых помещений методами системного анализа / В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, А. С. Рябышенков // - Тамбов: Изд-во Першина Р. В. - 2015. - С. 120 - 121.

22. Рябышенков, А. С. Химическая очистка теплообменного оборудования как средство повышения его энергоэффективности / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, В. В. Пасков // Оборонный комплекс-научно-техническому прогрессу России. - М. - 2011. - № 3. - С. 59 -63.

23. Рябышенков, А. С. Влияние переменной тепловой нагрузки на температурный режим производственного помещения / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов, В. С. Суханов // - М.: МИЭТ. - 2010. С. 151 -154.

24. Рябышенков, А. С. Анализ энергоэффективности системы воздухоподготовки в чистых помещениях / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов, А. Д. Федосов // Сборник научных трудов «Методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем» под ред. проф. В. И. Каракеяна. -М.: МИЭТ. - 2014. С. 79 - 83.

25. Рябышенков, А. С. Оценка эффективности функционирования чистых помещений на основе энергетического подхода / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов // - Уфа: РИО ИЦИПТ. - 2015. - С. 72 - 76.

26. Рябышенков А. С. Систематизация мероприятий по повышению эффективности функционирования чистых помещений / А. С. Рябышенков // -Тамбов. Изд-во Першина Р. В., - 2016. - С. 125.

27. Рябышенков, А. С. Анализ методов оптимизации энергетической эффективности в чистых помещениях / А. С. Рябышенков, Е. П. Корчагин под ред. В. И. Каракеяна. - М.: МИЭТ. - 2016 . - С. 15 - 22.

28. Mukoda, T. Collaborative approaches to environmental health and safety programs at the Virginia Microelectronics Center / T. Mukoda, B. Ogle, B. B. Cregger, R. Pearson, R. Morgan // Proceedings of the Thirteenth Biennial University. Government.Industry Microelectronics Symposium. - 1999. - № 99CH36301. - PP. 216 - 219.

29. Ананьев, В. А. Системы вентиляции и кондиционирования. Теория и практика. / В. А. Ананьев, Л. Н. Балуева и др. // ЕВРОКЛИМАТ. - 2001. - 416 с.

30. Краснов, Ю. С. Системы вентиляции и кондиционирования. Рекомендации по проектированию для производственных и общественных зданий / Ю. С. Краснов // - М.: Техносфера, Термокул, - 2006. - 288 с.

31. Белова, Е. М. Системы кондиционирования воздуха с чиллерами и фанкойлами / Е. М. Белова // - М.: Евроклимат, - 2003. - 400 с.

32. Рябышенков, А. С. Формирование требований к системе кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов, ПьоТху, ТхеинХтут У. под ред. В. И. Каракеяна // - М.: МИЭТ. - 2016. - С. 9 -15.

33. Рябышенков, А. С. Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники / А. С. Рябышенков // Научно-технический журнал. Известия вузов. ЭЛЕКТРОНИКА. - 2016. - № 3. - С. 218 - 223. - 21 т.

34. Рябышенков, А. С. Методология системного анализа применительно к исследованию аэродинамического режима чистых помещений / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов // Наука и образование: инновации, интеграция и развитие: материалы II Международной научно-практической конференции. - Уфа: РИО ИЦИПТ. - 2015. - С. 130 - 135.

35. СНиП 41-01-2003. Отопление, вентиляция и кондиционирование. -М.: Минрегион России, - 2010. - 116 с.

36. ГОСТ 30494 - 2011. Здания жилые и общественные. Параметры микроклимата в помещениях. - М.: Стандартинформ, - 2013. - 11 с.

37. ГОСТ 12.1.005 - 88. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны. - М.: Стандартинформ, - 2005. - 49 с.

38. Ушаков, В. И. Научная концепция технологической экологии интегральной электроники / В. И. Ушаков и др. // Электронная промышленность. -1988. - № 10(178). - С. 3 - 5.

39. Каракеян, В. И. Производственно-технологическая экология изделий электронной техники и принципы организации чистых помещений / В. И. Каракеян, В. М. Редин, В. И. Ушаков и др. под ред. Ушакова В. И. - М.: МИЭТ. - 1988. - 77 с.

40. Ушаков, В. И. Об организации центра по исследованию проблем экологии прецизионно-стерильных технологий / В. И. Ушаков, В. И. Каракеян, А. И. Долгушев и др. // -М.: МИЭТ. - 1990. - С. 10 - 12.

41. Ушаков В. И. Расчет систем прецизионной фильтрации воздуха в чистых производственных помещениях / В. И. Ушаков, В. И. Каракеян, А. И. Долгушев и др.// Изв. вузов. Строительство и архитектура. - 1990. - № 4, - С. 73 - 77.

42. Каракеян, В. И. Научные основы нормализации основных параметров микроклимата технологии интегральных схем в чистых производственных помещениях: дис. на соискание ученой степени д-ра тех. наук: 05.27.01 / Каракеян Валерий Иванович. - М., - 1994. - 461 с.

43. Каракеян, В. И. Теоретическое обоснование и разработка систем контроля микропримесей в воздухе. / В. И. Каракеян и др. // М.: Экологические приборы и системы. - 2012. - № 2. - С. 15 - 17.

44. Панфилов, Ю. В. Перспективы получения нано-метровой шероховатости поверхности ионно-лучевым способом. / Ю. В. Панфилов и др. // Интегральный журнал: Наука и инновации электронное научно-технологическое издание. - 2013. - № 6(18).

45. Редин, В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники: дис. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Редин Вадим Михайлович - М. - 1992. - 448 с.

46. Редин, В. М. Прецизионное кондиционирование воздуха в чистых помещениях / В. М. Редин и др. под ред. В. И. Ушакова. // - М.: МИЭТ - 1988. -68 с.

47. Терещенко, А. М. Аэродинамические режимы в чистых производственных помещениях и пылегенерация динамичных фильтров / А. М. Терещенко и др. // Электронная промышленность. - 1995. - № 4 - 5. - 94 с.

48. Березина Н. В. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем: дис. канд. техн. наук: 05.11.13 / Березина Наталия Вадимовна . -М. -МИЭТ. - 2001. - 122 с.

49. Калинина И.С. Разработка средств термостабилизации воздуха в чистых производственных помещениях: дис. канд. техн. наук: 05.27.07 / Калинина Ирина Серафимовна. -М. -МИЭТ. - 1993. - 177 с.

50. Федотов, А. Е. Чистые помещения. 2-е изд. / А. Е. Федотов - М: Асинком, 2003. - 576 с.

51. Федотов, А. Е. Чистые помещения / А. Е. Федотов // - М: АСИНКОМ, 2015. - 512 с.

52. Чистые помещения. Под ред. И. Хаякава. Пер. с японского под ред. В. Г. Ржанова, В. И. Ушакова / - М.: Мир, 1990. - 456 с.

53. Уайт, В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации / Уайт В. - М.: изд-во «Клинрум», 2008. - 304 с.

54. Уайт, В. Проектирование чистых помещений. Под ред. В. Уайта. Пер. с англ. / - М.: изд-во «Клинрум». - 360 с.

55. Каракеян, В. И. Функционально-экологичекий анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений. методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем: сборник научных трудов / В. И. Каракеян, Н. М. Дисветова под ред. В. И. Каракеяна. - М.: МИЭТ, 2014. - С. 53

- 59.

56. ГОСТ Р 51541-99. Энергосбережение. Энергетическая эффективность. Состав показателей (Переиздание от 01.06.2004). - М.: Стандартинформ, 2004.

- 12 с.

57. Крымский, В. В. Разработка системы мониторинга энергетических объектов / В. В. Крымский, А. Р. Сай, В. В. Шлапак, // Национальная безопасность и стратегическое планирование, Информационный издательский учебно-научный центр "Стратегия будущего". - 2013. - № 4. - С. 113 - 116.

58. Хорошев, Н. И. Комплексная оценка эффективности технического обеспечения энергомониторинга / Н. И. Хорошев, Д. К. Елтышев, Д. К. Кычкин // Фундаментальные исследования. - 2014. - № 5 (4). - С. 716 - 720.

59. Абрамчук, Ф. И. Использование эксергетического метода при термодинамическом анализе газовых процессов в тепловых машинах/ Ф. И. Абрамчук, А. И. Харченко и др. // Вестник ХНАДУ. - 2011. - №53. - С. 32 - 44

60. Тимченко, И. И. Диаграммы Сэнки для криодвигателя, работающего по теоретическому циклу / И. И. Тимченко // - Харьков: Госиздание. Двигатели внутреннего сгорания: Всеукраинский научно-технический журнал. - 2003. - № 2. - С. 23-27.

61. ГОСТ Р 54428-2011(ИСО 13602-1:2002) Системы технические энергетические. Методы анализа. Часть 1. Основные положения - М.: Стандартинформ, 2012. - 15 с.

62. Каракеян, В. И. Структуризация мероприятий по повышению эффективности чистых помещений / В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, А. С. Рябышенков, // - Уфа. - 2015. - С. 94 - 98.

63. Клер, А. М. Методы оптимизации сложных теплоэнергетических установок / А. М. Клер и др. // - М.: Наука, - 1993. - 116 с.

64. Клер, А. М. и др. Теплосиловые системы: Оптимизационные исследования / А. М. Клер и др. // - М.: Наука, - 2005. - 236 с.

65. Клер, А. М. и др. Оперативная оценка состояния основного оборудования ТЭС / А. М. Клер и др. // Электрические станции. - 2011. - № 4. -С. 2 - 6.

66. Клер, А. М. Оптимизация режимов работы энергосистем, включающих ТЭЦ и ГЭС, с водохранилищами многолетнего регулирования / А. М. Клер, З. Р. Корнеева, П. Ю. Елсуков / Известия РАН. Энергетика. - 2011. - № 2. - С. 92 - 106.

67. Бродянский, В. М. Эксергетический метод и его приложения / В. М. Бродянский, В. Фратшер, К. Михалек, под ред. В. М. Бродянского // - М.: Энергоатомиздат, 1988. - 288 с.

68. Рымкевич, А. А. Системный анализ оптимизации общеобменной вентиляции и кондиционирования воздуха» / А. А. Рымкевич // - СПб: Изд-во "АВОК Северо-Запад", 2003. - 272 с.

69. Шишов, В. В. Энтропийно-статистический анализ холодильных циклов для систем кондиционирования / В. В. Шишов // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 5 (5). - С. 143 - 156.

70. Кириллин, В. А. Техническая термодинамика» / В. А. Кириллин, В. В. Сычев, А. Е. Шейндлин // - М.: Энергоатомиздат, 1983. - 416 с.

71. Казаков, В. Г. Эксергетические методы оценки эффективности теплотехнологических установок: учебное пособие / В. Г. Казаков, П. В. Луканин, О. С. Смирнова // - СПб.: Санкт-Петербургский государственный технологический университет растительных полимеров, 2013. - 63 с.

72. Меркер, Э. Э. Энергосбережение в промышленности и эксергетический анализ технологических процессов: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению "Металлургия"/ Э. Э. Меркер, Г. А. Карпенко, И. М. Тынников - 2-е изд., -Старый Оскол, 2007, - 315 с.

73. Тишин, О. А., Теоретические основы энерго- и ресурсосбережения в химической технологии: учебное пособие. / О. А. Тишин, В. Н. Харитонов, Н. Ц. Гатапова, А. Н. Колиух // - Тамбов, ФГБОУ ВПО «ТГТУ», 2012. - 92 с.

74. Шевцов, А. А., Эксергетический анализ энергоэффективной биотехнологии порошкообразных ферментных препаратов / А. А. Шевцов, В. И. Котарев и др. // Известия ТСХА. - 2015. - № 1. - С. 79 - 90.

75. Горбачев, М. В. Оценка эффективности действительных циклов авиационной системы кондиционирования воздуха / М. В. Горбачев, А. П. Иванова// - Красноярск. Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева. - 2013. - № 17. - 1 т., - С. 123 - 125.

76. Вычужанин, В. В. Повышение эффективности эксплуатации судовой системы комфортного кондиционирования воздуха при переменных нагрузках / В. В. Вычужанин // - Одесса: ОНМУ. Монография, 2009. - 206 с.

77. Иванова, А. П. Эксергетический анализ воздушно-холодильных машин в составе авиационных систем кондиционирования воздуха: автореф. дисс. канд. техн. наук: 01.04.14 / Иванова Анастасия Павловна. - Новосибирск. - 2013. - С. - 176.

78. Боровиков, В. М., Эксергетический анализ работы ТЭЦ совместно с тепловым насосом / В. М. Боровиков, А. А. Аль Алавин // Проблемы энергетики. - 2006. - №7-8. - С. 12 - 21.

79. Бродянский, В. М. Энергетические основные трансформации тепла и процессов охлаждения / Е. Я. Соколов, В. М. Бродянский // - М.: Энергоиздат, 1981. - 320 с.

80. Белоусов, В. С. Развитие методов эксергетического анализа и исследование процессов в однофазных и дисперсных средах на основе неравновесной термодинамики: дисс. д-ра техн. наук: 01.04.14 / Белоусов Виктор Семенович. - Екатеринбург. - 2003. - С. 270.

81. Куликов, Я. В. Модели функционально-стоимостного анализа, используемые за рубежом / Я. В. Куликов, З. С. Меграбян, М. А. Чернышев // -М.: Актуальные проблемы гуманитарных и естественных наук. - 2012. - №6. -С. 103 -109.

82. Каракеян, В. И. Методология системного анализа применительно к исследованию аэродинамического режима чистых помещений / В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, А. С. Рябышенков // - Уфа: РИО ИЦИПТ. - 2015. - С. 130 -135.

83. Рябышенков, А.С. Функционально-структурный подход для оценки экологичности системы воздухоподготовки чистых помещений / А. С. Рябышенков // - Тамбов: Изд-во Першина Р. В., - 2016. - С. 124.

84. Рябышенков, А. С. Исследование энергетического режима чистых помещений методами системного анализа / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М Ларионов // - Тамбов: Изд-во Першина Р. В. - 2015. - С. 120 - 121.

85. Рымкевич, А. А. Системный анализ оптимизации общеобменной вентиляции и кондиционирования воздуха / А. А. Рымкевич // - Авок северо-запад, 2003. - 272 с.

86. Новосельцев, В. И. Системный анализ: теория и приложения / В. И. Новосельцев // - Воронеж: Научная книга, 2013. - 570 с.

87. Лившиц В. Н. Основы системного мышления и системного анализа. / В. Н. Лившиц //- М.: Институт экономики РАН, 2013. - 54 с.

88. Рябышенков, А. С. Анализ влияния параметров наружного воздуха на эффективность функционирования чистых помещений / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов, У. ТхеинХтут, ПьоТху под ред. В.И. Каракеяна // - М.: МИЭТ, -2016. - С. 64 - 71.

89. Рымаров, А. Г. Особенности изменения температуры наружного воздуха во время резкого похолодания в холодный период года / А. Г. Рымаров, М. И. Ботнарь // - ВЕСТНИК ИрГТУ. - 2014. - №10 (93). - С. 162 - 167.

90. Постников, В. П. Анализ загрязнения атмосферного воздуха: Национальный и региональный аспекты / В. П. Постников // Вестник Волгогр. гос. ун-та. Сер. 3, Экон. Экол. - 2014. - № 1 (24). - С. 117 - 124.

91. Рябышенков, А. С. Динамика изменения запыленности воздуха в системах кондиционирования и фильтрации / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов // Производственно-технический журнал "Экология и охрана труда". - 2008. -№ 11. - С. 19 - 21.

92. Муравин, И. А. Расчет параметров и характеристик чистых технологических помещений / И. А. Муравин, А. С. Рябышенков и др. // - М.: Электронная промышленность. - 1986. - № 7. - С. 23 - 25.

93. Чамов А. Н. Влияние климатических параметров наружной среды на эффективность функционирования чистых производственных помещений / А. Н. Чамов, А. С. Рябышенков и др. // - М.: Электронная промышленность. -1986. - № 7. - С. 23 - 25.

94. Каракеян В. И. Обеспечение равномерности воздушного потока в чистом помещении высокотехнологического производства / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян // - М.: Известия вузов. Электроника. -2006. - № 1. - С. 13 - 17.

95. Ларионов Н.М. Анализ техникоэкологических параметров чистых помещений при производстве изделий микро- и наноэлектроники / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов // - Уфа. - 2013. - С. 187 - 190.

96. Стандарт АВОК: Рекомендации по повышению энергетической эффективности систем вентиляции и кондиционирования воздуха - М.: Энергосбережение, 2015. - № 2. - С. 24 - 25.

97. Кокорин, О. Я. Сравнение систем кондиционирования воздуха по показателям энергетической эффективности / О. Я. Кокорин // - М.: АВОК: вентиляция, отопление, кондиционирование воздуха, теплоснабжение и строительная теплофизика. - 2011. - №2 - С. 46 - 49.

98. Емельянов, А. Л. Методика оценки энергетической эффективности мобильных систем кондиционирования воздуха / А. Л. Емельянов, И. Г. Киселев, В. П. Приймин // - СПб: Научный журнал НИУ ИТМО. - 2016. - №3. - С. 5 - 12.

99. Сухих, А. А. Анализ энергетической эффективности комплекса централизованного кондиционирования на основе абсорбционной холодильной машины, теплонасосной установки и солнечных коллекторов / А. А. Сухих, Е. В. Мереуца, А. А. Ветренко // - М.: Новое в российской электроэнергетике. -2017. - №6. - С. 6 - 15.

100. Гвоздков А. Н. К вопросу повышения энергетической эффективности систем кондиционирования воздуха и вентиляции на основе регулирования режимов обработки воздуха в контактных аппаратах / А. Н. Гвоздков, О. Ю. Суслова // - Волгоград: Интернет-Вестник ВОЛГГАСУ. - 2014. - № 3(34). - С. 3.

101. Самарин, О.Д. Особенности утилизации теплоты вытяжного воздуха при механической вентиляции и большом числе вытяжных систем / О. Д. Самарин // - Новосибирск: Известия высших учебных заведений. Строительство. - 2017. - №4(700). - С. 30 - 35.

102. Рябышенков, А. С. Ионизация воздуха как часть системы управления качеством внутрипроизводственной среды / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян и др. // - Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - 2012. - №3. - С. 66 - 69.

103. Рябышенков, А. С. Расчет тепловых режимов чистых производственных помещений / А. С. Рябышенков, В. И. Ушаков, А. Н. Чамов,

A. М. Горшкова // -М.: Электронная промышленность. - 1988, - № 10. - С. 19 -21.

104. Рябышенков, А. С. Расчет концентрации пыли в чистых помещениях / А. С. Рябышенков, В. И. Ушаков, В. И. Каракеян и др.// - М.: Известия высших учебных заведений. Строительство и архитектура, - 1991. - №3. - С. 68

- 72.

105. Идельчик И.Е. Справочник по гидравлическим сопротивлениям / И. Е. Идельчик - М.: Книга по Требованию, 2012. - 466 С.

106. Григорьев, А. Ю. Определение локальной концентрации загрязняющих частиц в «чистых помещениях» / А. Ю. Григорьев, К. А. Григорьев, Б. С. Гриневич, К. А. Медведева // - Научный журнал НИУ ИТМО.

- 2016. - № 3. - С. 1 - 4.

107. Маркин, А. В. Особенности понятия «кратность воздухообмена» применительно к чистым помещениям производственного назначения / А. В. Маркин // - Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника. - 2017. - № 1 (165). - С. 70 - 78.

108. Kwang-Chul Noh Prediction and Evaluation of Cleanliness Levels Inside a Mini-Environment by Measuring Mean Air-Age and Effective Flow Rate / Kwang-Chul Noh; Hyeon-Cheol Lee; Jung-Il Park; Myung-Do Oh. Issue 2. - IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. - 2008, - 21 vol. - PP. 297 - 304.

109. Долгополов И. С. Топологоэксергетический метод анализа энергосбережения физико-технологических систем / И. С. Долгополов, В. Т. Тучин // - Промышленная теплотехника. - 2003. - № 24. - 25 т. - С. 116 - 118.

110. Долгополов И. С. Системный подход к энергосбережению физико-технологических систем (топологоэксергетический метод) / И. С. Долгополов,

B. Т. Тучин // - Математические модели. - 2007. - № 1 (16). - С. 55 - 61.

111. Казаков, Р. А. Основы теоретического анализа энергетической и экологической эффективности металлургических предприятий / Р. А. Казаков, И. В. Дарда, В. П. Зволинский // Современные проблемы науки и образования. -2012. - № 4.

112. Сажин, Б. С. Эксергетический анализ работы промышленных установок / Б. С. Сажин, А. П. Булеков, В. Б. Сажин // - М.: Московский гос. текстильный ун-т, - 2000. - 297 с.

113. Рябышенков, А. С. Термодинамический анализ процесса воздухоподготовки чистых помещений / А. С. Рябышенков // Известия вузов. Электроника. - 2017. - №4. - С. 341- 349. - 22 т.

114. Рябышенков, А. С. Эксергетический анализ рециркуляционной системы кондиционирования и фильтрации воздуха в чистых помещениях / А. С. Рябышенков, А. Н. Захаров, В. А. Гаврилин, под ред. В. И. Каракеяна // Актуальные проблемы повышения эффективности производств микроэлектроники / - М.: МИЭТ. - 2016. - С. 28 - 34.

115. Labay, V. Y., Innovation model for energy effective investigations of air conditioning systems for cleanrooms / V. Y. Labay, D. I. Harasym // - Econtechmod. - 2014. - № 1. - PP. 47 - 52. - Vol. 3.

116. Бродянский, В. М., Эксергетические расчеты технических систем: справ. пособие / В. М. Бродянский, Г. П. Верхивке, Я. Я. Карачев и др. // -Киев: Наукова думка, 1991. - 360 С.

117. Labay, V.Y. The diagram of Grassman in exergetic analysis of air conditioning systems for cleanrooms / V. Y. Labay, D. I. Harasym // - Refrigeration Engineering and Technology. - 2014. - № 5(151). - PP. 17 - 22.

118. Архаров, А. М. Энтропийно-статистический анализ распределения затрат энергии на компенсацию необратимости рабочих процессов систем кондиционирования / А. М. Архаров, В. В. Шишов // - Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Серия Машиностроение. - 2013. - №2. - С. 84 - 93.

119. Захаров, А. Н. Применение эксергетического анализа для оценки энергоэффективности систем кондиционирования воздуха чистых помещений / А. Н. Захаров, А. С. Рябышенков // -М.: МИЭТ. - 2017. - С.48 - 53.

120. Рабинович, В. А. Краткий химический справочник / В. А. Рабинович, З. Я. Хавин - 2-е изд., перераб. и доп. - издательство «Химия». - 1978. - 392 с.

121. Цыганков, А. В., Состояние и перспективы развития систем кондиционирования воздуха / А. В. Цыганков, А. М. Гримитлин // - Вестник Международной Академии холода. - 2013. - № 4. - С. 47 - 50.

122. Рябышенков А.С. Система воздухоподготовки чистых помещений как объект термодинамического анализа / А. С. Рябышенков // - Известия вузов. Электроника. - 2017. - № 4. - 22 т.

123. Коченков, Н. В. Сравнительная оценка годовых энергозатрат в центральной и децентрализованной системах кондиционирования воздуха / Коченков Н. В., Коченков В. Н. // - Научный журнал НИУ ИТМО. - 2016. - № 3. - С. 37 - 49.

124. Емельянов, А. Л. Методика оценки энергетической эффективности мобильных систем кондиционирования воздуха / А. Л. Емельянов, А. Л. Киселев, В. П. Приймин // - Научный журнал НИУ ИТМО. - 2016. - № 3. - С. 5 - 12.

125. Агапов, Д. С. Специфика функционирования теплотехнического и технологического оборудования в различных отраслях производства / Д. С. Агапов // - Технико-технологические проблемы сервиса. - 2017. - № 2(40). -С. 26 - 35.

126. Селиверстов, Ю. М. Экономика систем кондиционирования воздуха с аккумулятором холода / Ю. М. Селиверстов, В. В. Ефремов // - АВОК: Вентиляция, отопление, кондиционирование воздуха, теплоснабжение и строительная теплофизика. - 2013. - № 1. - С. 30 - 33.

127. Чернявский, С. А. Исследование трансформации химических примесей в атмосфере и оценка экологического риска как условие повышения

информативности системы мониторинга: дисс. канд. техн. наук: 05.11.13 / Чернявский Сергей Анатольевич. - M., 2015. - 136 с.

12S. Рябышенков А. С. Граничное влагосодержание в компрессорных системах по выработке сверхчистого сжатого воздуха / А.С. Рябышенков, В. И. ^ракеян и др. // - M.: ЫИЭТ. - 1992. - C. 200 - 205.

129. Рябышенков, А. С. Анализ влияния параметров наружного воздуха на эффективность функционирования чистых помещений высокоэкологичного производства / А. С. Рябышенков // - ^мерово: ^зГТУ. - 2014. - С. - 317.

130. Рябышенков, А. С. Промышленная экология. / А. С. Рябышенков, H. M. Ларионов// - M.: Юрайт. - 2014. - 495 с.

131. Рябышенков, А. С. Промышленная экология: учебник и практикум для академического бакалавриата / А. С. Рябышенков, H. M. Ларионов // - M.: Юрайт. - 2015. - 381 с.

132. Рябышенков, А. С. Штативное воздействие на гидросферу / А. С. Рябышенков под ред.: Т. В. Галаниной, M. И. Баумгартэна. - ^мерово: ^зГТУ. - 2014. - С. 274 - 275.

133. Ryabyshenkov, A. S. Analisi della temperatura microelectronica camera bianca / A. S. Ryabyshenkov, V. I. Karakeyan, N. M. Larionov // - Italian Science Review. - 2014. - № 4(13). - PP. 29б - 29S.

134. Рябышенков, А. С. Анализ воздействия наружного воздуха на функционирование чистых помещений / А. С. Рябышенков, А. Д. Федосов // -Тамбов: Изд-во Першина Р.В. - 2015. - С. 370 - 372.

135. Рябышенков, А. С. Анализ влияния параметров наружного воздуха на эффективность функционирования чистых помещений / А. С. Рябышенков, H. M. Ларионов, У. ТхеинХтут, ПьоТху. под ред. В. И. ^ракеяна. - M.: ЫИЭТ. - 201б. - С. 64 - 71.

136. Рябышенков, А. С. Чистое помещение микроэлектроники как источник загрязнения атмосферы / А. С. Рябышенков, В. И. ^ракеян, H. M. Ларионов, H. M. Дисветова // - Sheffield UK. - 201б. - С. 6 - 11.

137. Рябышенков А. С. Антропогенное воздействие на состояние атмосферного воздуха / А. С. Рябышенков под ред.: Т. В. Галаниной, М. И. Баумгартэна. - Кемерово: КузГТУ. - 2014. - С. 270 - 274.

138. Погода в мире [электронный ресурс] - режим доступа: https://rp5.ru.

139. Погода в России [электронный ресурс] - режим доступа: http : //meteo7 .ru/stations.

140. СНиП 23-01-99 Строительная климатология. - М.: ГОССТРОЙ России, 2003. - 109 с.

141. СНиП 41-01-2003 Отопление, вентиляция и кондиционирование. -М.: МИНРЕГИОН России, 2010. - 116 с.

142. Рябышенков, А. С. Особенности организации системы мониторинга атмосферы наукоемкой природно-технической геосистемы / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, Н. В. Попова // Экология в промышленном производстве. - 2014. - № 1. - С. 19 - 26.

143. Рябышенков, А. С. О повышении информативности квадропульного масс-спектрометра при анализе состава газовых смесей / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, А. В. Мальцев // - Научно-технический журнал "Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу". - 2015. - № 2. - С. 59 - 62.

144. Квашнин, И. М. Предельно допустимые выбросы предприятия в атмосферу. Рассеивание и установление нормативов / И. М. Квашнин // - М.: АВОК-ПРЕСС, 2008. - С. - 200.

145. Квашнин, И. М. Промышленные выбросы в атмосферу. Инженерные расчеты и инвентаризация / И. М. Квашнин // - М.: АВОК-ПРЕСС, 2005. - С. -392.

146. Рябышенков, А. С. Математическое моделирование вихреобразования в датчиках расхода воздуха систем экологического мониторинга / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, А. В.

Мальцев // - Журнал «Экология промышленного производства». - 2015. - № 3. - С. 38 - 40.

147. Кашин, И. М. Промышленные выбросы в атмосферу: Инженерные расчеты и вентиляция / И. М. Кашин // -М.: АВОК-ПРЕСС, 2005. - С. - 392.

148. Бутуханов, В. П. Связь концентрации озона с концентрацией окислов азота и температурой воздуха в приземном слое атмосферы г. Улан-Удэ / В. П. Бутуханов, Г. С. Жамсуева, А. С. Заяханов, Ю. Л. Ломухин, Б. З. Цыдыпов, В. В. Цыдыпов // - Научно-технический журнал: Метеорология и гидрология. -2005. - № 10. - С. 21 - 32.

149. Рябышенков, А. С. Учет вторичных превращений при мониторинге воздушной среды территориально-промышленного комплекса / А. С. Рябышенков, О. В. Кольцова, Н. М. Ларионов // - Прага. - 2012. - С. 28 -29. -33 т.

150. СанПиН 2.1.6.575-96 Гигиенические требования к охране атмосферного воздуха населенных мест. - М.: Минздрав России, 1997. - 17 с.

151. Молодцов, В. А. Определение выбросов загрязняющих веществ от автотранспорта / В. А. Молодцов, А. А. Гуськов // - Тамбов: Издательство ФГБОУ ВПО «ТГТУ». - 2014. - 22 с.

152. Луканин, В. Н. Промышленно-транспортная экология: Учеб. для ВУЗОв / В. Н. Луканин, Ю. В. Трофименко под ред. В. Н. Луканина. - М.: Высшая школа, 2003. - 273 с.

153. Рябышенков, А. С. Анализ влияния параметров наружного воздуха на эффективность эксплуатации чистых производственных помещений / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов и др.// - Производственно-технический журнал "Экология и охрана труда". - 2010. - С. 10 - 12.

154. Каракеян, В. И. Анализ влажностных характеристик приточного воздуха в системах кондиционирования и фильтрации воздуха высокотехнологичных производств / В. И. Каракеян, А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов // - Прага. - 2012. - С. 16 - 19. - 91 т.

155. Ушаков, В. И. Обеспечение постоянного влагосодержания воздуха в чистых производственных помещениях / В. И. Ушаков, А. С. Рябышенков и др. // - М.: Электронная промышленность. - 1988. - № 10. - С. 35 - 37.

156. Беляев, П. В. ПТК КОНТАР для создания распределительных систем автоматизации и диспетчеризации / П. В. Беляев, В. С. Айзин // - М.: Научтехиздат. - 2007. - № 12. - С. 10 - 11.

157. Рябышенков, А. С. Многофункциональный контроллер КМ-010 для систем теплоавтоматики / А. С. Рябышенков, Д. В. Гусев, В. С. Суханов, Д. А. Нагин // - М.: Оборонный комплекс-научно-техническому прогрессу России. -2011. - № 3. - С. 36 - 41.

158. Рябышенков, А. С. Применение микроконтроллеров в оборудовании средств автоматизации / Рябышенков А. С., Гусев Д. В., Проценко А. И., Цылёв А. Е. // - М.: Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. -2011. - № 4. - С. 67 - 76.

159. Рябышенков А.С. Разработка методов расчета элементов рециркуляционных контуров в чистых помещениях: дисс. канд. техн. наук: 05.27.07 /Рябышенков Андрей Сергеевич. - М., 1994. - 158 с.

160. ГОСТ ИСО 14644-4-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию. - М.: Стандартинформ, 2008. - 39 с.

161. Каракеян, В. И. Исследование качества атмосферы в чистых технологических помещениях» / В. И. Каракеян, А. Н. Чамов, А. С. Рябышенков // - М.: МИЭТ. - 1987. - С. 121 - 126.

162. Каракеян, В. И. // «Обеспечение нормативных требований по чистоте и аэродинамическим режимам воздуха при эксплуатации гибких производственных систем» / В. И. Каракеян, А. С. Рябышенков, Н. В. Харченко и др. // - М.: МИЭТ, - 1988. - С. 140 - 145.

163. Ушаков, В. И. Анализ аэродинамических характеристик рециркуляционных контуров чистых производственных помещений / В. И. Ушаков, А. С. Рябышенков // - М.: МИЭТ. - 1990. - C. 115 - 116.

164. Рябышенков, А. С. Исследование и расчет рецконтуров чистых производственных помещений / А. С. Рябышенков, А. В. Ершов и др.// -М.: МИЭТ. - 1995. - C. 208

165. Чарный, И. А. Неустановившееся движение реальной жидкости в трубах / И. А. Чарный // - М.: Недра. - 1975. - 296 с.

166. Романовский, П. И. Ряды Фурье. Теория поля. Аналитические и специальные функции. Преобразования Лапласа. / П. И. Романовский // - М.: Наука. - 1980. - 336 с.

167. Альдшуль, А. Д. Гидравлика и аэродинамика (Основы механики жидкости): учебное пособие для вузов / А. Д. Альдшуль, П. Г. Киселев - 2-е изд. перераб. и доп. - M.: Стройиздат. - 1975. - 323 с.

168. Прандтль, Л. Гидроаэромеханика / Л. Прандтль // - Ижевск: НИЦ: «Регулярная и хаотическая динамика». - 2002. - 576 с.

169. Hager, W. H. Blasius: A life in research and education / W. H. Hager // Experiments in Fluids. - 2003. - № 34. - PP. 566 - 571.

170. Miu-Ling, L. 3D fog display using parallel linear motion platforms» / L. Miu-Ling, C. Bin, L. Kit-Yung, H. Yaozhun // - 2014 International Conference on Virtual Systems & Multimedia (VSMM). - 201. - PP. 234 - 237.

171. Evans, R. P. Laminar air flow in the operating room: how effective is it in reducing infection? / R. P. Evans // - AAOS Bull. - 2006. - PP. 12 - 14.

172. Терещенко А.М. Моделирование аэротермодинамических процессов в чистых помещениях при производстве интегральных схем: дисс. д-ра техн. наук: 05.27.07 / Терещенко Анатолий Михайлович. - М., 1996. -263 с.

173. Бабенко, К. И. Основы численного анализа / К. И. Бабенко // - М.: Наука. - 1986. - 320 с.

174. Зорич, В. А. Математический анализ. Часть 1 / В. А. Зорич - 2-е изд. испр. и доп. - М.: ФАЗИС. - 1997. - 568 с.

175. Фукс, Н. А. Механика аэрозолей. / Н. А. Фукс //- М.: АН СССР. -1965. - 347 с.

176. Рябышенков, А.С. Разработка алгоритма по компоновке технологического оборудования как средство снижения энергоемкости производства / А.С. Рябышенков // - Тамбов: издательство Першина Р. В., -2016. - С. 126.

177. Darwish, M. The finite volume method in computational fluid dynamics: an advanced introduction with OpenFOAM and Matlab / M. Darwish, L. Mangani, F. Moukalled - 1-st ed. - Springer. 2015. - 791 с. - 113 vol.

178. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2017617789 от 12.07.2017, Российская Федерация. «Программа «Clear View» для моделирования движения частиц пыли, осаждаемых в чистом помещении» / Рощин В.М., Рябышенков А.С., Гущарин Д.А., Головлев А.А., Севрюкова Е.А. Заявка № 2017614172 от 04.05.2017.

179. Рябышенков, А. С. Моделирование процесса осаждения частиц пыли в чистых помещениях / А. С. Рябышенков, А. А. Головлев, Д. А. Гущарин под ред. В. И. Каракеяна / - М.: МИЭТ. - 2016. - С. 85 - 90.

180. Рябышенков, А. С. Организация работы персонала в чистых помещениях / А. С. Рябышенков, Н. М. Ларионов, А. А. Тюхов под ред. проф. В.И. Каракеяна // - М.: МИЭТ. - 2014. - С. 75 - 78.

181. Anderson, J. D. Jr. Computational Fluid Dynamics. The basics with applications. / J. D. Anderson - 1-ed. - McGraw-Hill Science: Engineering. - 1995. -P. 912.

182. Черняков Е.В. Повышение энергоэффективности систем подготовки и распределения воздуха чистых помещений: дисс. канд. техн. наук:05.23.03 / Черняков Евгений Вадимович. - СПб., 2014. - 165 с.

183. Crowe, C. T. Multiphase flows with droplets and particles / C. T. Crowe, J. D. Swarzkopf, M. Sommerfeld, Y. Tsuji - 1 ed. - CRC Press. - 1997. - P. 391.

184. Ansys FLUENT 12.1 Documentation. - USA: ANSYS, Inc., 2009. - 78 p.

185. GAMBIT 2.4 Tutorial Guide. - USA: Fluent, Inc., 2007. - 492 p.

186. Ansys ICEM-CFD 12.0 User Manual. - USA: ANSYS, Inc., 2009. - 64 p.

187. Рябышенков А.С. Моделирование воздушных потоков в чистых помещениях микроэлектроники / А.С. Рябышенков, А.А. Березин, Н.В. Березина / Кемерово: КузГТУ. - 2017. - С.104-1 - 104-10.

188. ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний. - М.: Стандартинформ, 2008. - 49 с.

189. ГОСТ Р 51251-99 Фильтры очистки воздуха. Классификация. Маркировка. - М.: Госстандарт России. - 1999. - 5 с.

190. ГОСТ Р ЕН 1822-1-2010 Высокоэффективные фильтры очистки воздуха ЕРА, НЕРА И ULPA. Часть 1. Классификация, методы испытаний, маркировка. - М.: Стандартинформ, 2011. - 15 с.

191. ГОСТ Р ЕН 779-2014 Фильтры очистки воздуха общего назначения. Определение технических характеристик - М.: Стандартинформ, 2014. - 15 с.

192. ISO 5167-1:1991 Measurement of fluid flow by means of pressure differential devices - Part 1: Orifice plates, nozzles and Venturi tubes inserted in circular cross-section conduits running full.