Модифицирование поверхности металлов и осаждение тонкопленочных покрытий импульсными лазерными пучками в среде повышенного давления тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Смирнов, Алексей Львович
- Специальность ВАК РФ01.04.07
- Количество страниц 131
Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Смирнов, Алексей Львович
Введение.
Глава 1.ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ И МЕТОДЫ ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРИ ПОВЕРХНОСТНОМ ЛАЗЕРНОМ ЛЕГИРОВАНИИ МАТЕРИАЛОВ И ОСАЖДЕНИИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА (Обзор литературы. Постановка задачи исследований.).
1.1. Поверхностное легирование импульсными лазерными пучками: транспортные процессы в поверхностных слоях, структурообра-зование метастабильных сплавов, модели процесса.
1.2. Импульсное лазерное испарение материалов: формирование, разлет и конденсация факела.
1.3. Постановка задачи исследований.
Глава 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ЛАЗЕРНО-ИНИЦИИРОВАННЫХ ПРОЦЕССОВ И МОДИФИЦИРОВАННЫХ ИМИ МАТЕРИАЛОВ.
2.1. Экспериментальная установка для исследования динамики лазерного факела методом импульсной голографической интерферометрии.
2.2. Экспериментальная методика лазерного легирования материалов облучением через прозрачные слои и оптико-акустический мониторинг лазерно-инициированных процессов.
2.3. Осаждение покрытий из лазерного факела в газах.
2.4. Методы исследования модифицированных материалов и осажденных покрытий.
Глава 3. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА И МОДИФИЦИРОВАНИЕ МАТЕРИАЛОВ В ГАЗАХ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ.
3.1. Приповерхностные процессы в газе на ранней стадии импульсного лазерного воздействия на мишень.
3.2.Формирование автоструктуры в области пятна фокусировки лазерного излучения.
3.3. Испарение материала мишени и формирование эрозионного факела.
3.4. Формирование оптического пробоя при лазерной обработке материалов в камере повышенного давления.
3.5. Особенности поверхностной обработки металлов при импульсном лазерном облучении в газах повышенного давления.
Глава 4. ОСОБЕННОСТИ ЛАЗЕРНО-ИНИЦИИРОВАННЫХ ПРОЦЕССОВ
ПРИ ПОВЕРХНОСТНОМ ЛЕГИРОВАНИИ МАТЕРИАЛОВ С
ПРИМЕНЕНИЕМ ПРОЗРАЧНЫХ ДЛЯ ИЗЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ.
4.1. Глубинное распределение элементов и формирование топографии поверхности при наносекундном лазерном легировании.
4.2. Оптико-акустический мониторинг импульсного лазерного воздействия на систему пленка-подложка.
4.3. Микроструктура поверхностных сплавов.
4.4. Особенности транспортных процессов и структурообразования метастабильных сплавов при лазерном легировании с использованием прозрачного покрытия.
Глава. 5. ДИНАМИКА КОНДЕНСАЦИИ ЛАЗЕРНОГО ФАКЕЛА И
ФОРМИРОВАНИЕ МИКРО- И НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ
ПОКРЫТИЙ В ГАЗАХ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ.
5Л. Динамика фронта конденсации при лазерном восстановлении и окислении металлов в газах повышенного давления.
5.2. Структура слоев, формирующихся при осаждении из лазерного факела при восстановлении и окислении материалов.
5.3. Импульсное лазерное осаждение наноструктурированных покрытий Мо8ех в буферном газе.
Рекомендованный список диссертаций по специальности «Физика конденсированного состояния», 01.04.07 шифр ВАК
Модифицирование поверхности и формирование неравновесных структур ионными и лазерными пучками1999 год, доктор физико-математических наук Фоминский, Вячеслав Юрьевич
Импульсное лазерное напыление тонких пленок и наноразмерных структур для активных сред лазеров2012 год, доктор физико-математических наук Новодворский, Олег Алексеевич
Модифицирование и повреждение материалов потоками высокотемпературной импульсной плазмы2006 год, доктор физико-математических наук Якушин, Владимир Леонидович
Взаимодействие лазерного излучения с алмазными пленками2000 год, кандидат физико-математических наук Пименов, Сергей Максимович
Структура и свойства поверхностно легированных слоев и химических покрытий на инструментальных сталях после лазерного облучения2002 год, кандидат технических наук Магомедов, Магомедгабиб Гасанханович
Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Модифицирование поверхности металлов и осаждение тонкопленочных покрытий импульсными лазерными пучками в среде повышенного давления»
Современные технологии, среди которых особое место занимает лазерная технология, стали в последнее время высокоэффективными средствами производства [1, 2]. Одно и перспективных направлений лазерной технологии связано с разработкой новых процессов модифицирования поверхности материалов и синтеза новых материалов. Следует выделить такие важные процессы как поверхностное легирование и осаждение тонкопленочных покрытий на основе известных и вновь синтезируемых соединений [3, 4].
При поверхностном лазерном легировании в поверхностный слой материала вводятся атомы требуемого вещества, которые изменяют структурное и химическое состояние этого слоя. Для легирования применяют такие методики, как облучение поверхности материала, на которую предварительно наносится слой внедряемого вещества [5], а также облучение поверхности в газе повышенного давления [6] или под слоем жидкости [7]. Во всех этих случаях при воздействии лазерного излучения на материал развивается комплекс сложных физических и химических процессов, которые и определяют эффективность поверхностного модифицирования. Для широкого внедрения такой технологии в реальное производство требуется всестороннее исследование картины таких процессов, установление основных механизмов, обуславливающих изменение свойств материалов. Проведение фундаментальных физических исследований взаимодействия лазерных пучков с материалами в необычных условиях необходимо для разработки новых оригинальных процессов модифицирования, которые обеспечат получение материалов с улучшенными свойствами.
Лазерное легирование реализуется через инициирование фазовых превращений (плавление, кипение, плазмообразование), которые развиваются в приповерхностной зоне, которая захватывает как поверхностный слой материала, так и окружающую его среду (воздух, газ, жидкости). Построение целостной картины лазерного модифицирования возможно только при проведении комплексного исследования процессов, протекающих в таких слоях.
К настоящему времени достаточно глубоко исследованы процессы лазерно-плазменного синтеза нитридов, карбидов и других химических соединений при воздействии на материал в среде (газе, жидкости) лазерными пучками достаточно высокой интенсивности [например, 6-8]. Основной эффект модифицирования достигается за счет инициирования химических реакций поверхности с окружающей средой, активируемой процессами плазмо-образования в поле лазерного излучения. Особенности лазерно-инициируемых процессов при воздействии на материалы более умеренных по интенсивности световых импульсов и влияние среды на динамику этих процессов исследованы в меньшей степени. Однако эти процессы играют важную роль в таких направлениях лазерной технологии, как импульсное лазерное легирование из предварительно нанесенного слоя легирующего вещества, а также импульсное лазерное осаждение покрытий.
Одна из основных проблем лазерного легирования из конденсированной фазы заключается в подавлении процессов интенсивного распыления легирующего вещества. Представляется важным исследование возможностей воздействия на кинетику фазового перехода при лазерном испарении в газе повышенного давления и снижение за счет этого потерь легирующего вещества. С этой точки зрения определенный интерес представляют результаты работы [9]. В ней сообщается, что при наносекундном лазерном облучении системы пленка-подложка через прозрачный для излучения слой существенно уменьшаются потери легирующего вещества, и увеличивается глубина внедрения. Авторы [9] предположили, что прозрачный слой оказывает влияние на кинетику испарения вещества пленки, однако всестороннее исследование механизма лазерного легирования в таких нетрадиционных условиях проведено не было.
Варьирование интенсивности лазерного облучения при испарении материалов позволяет изменять определенным образом параметры плазменно-парового потока частиц и воздействовать на процессы формирования тонкопленочных покрытий при конденсации такого пучка на поверхности подложки (например, [10-12]). Однако данный метод имеет существенные ограничения, что заставляет исследователей искать новые способы управления параметрами пучка частиц из лазерного факела. Другой метод состоит в торможении (охлаждении) потока частиц буферным или реактивным газом [13, 14]. При разлете лазерного факела в газах различного химического состава и давления возможно не только изменение энергетических и угловых характеристик пучка, но и изменение его химического и компонентного состава. Особый интерес представляет трансформация атомарного потока в поток частиц (кластеров) с субмикро- и нанометровыми размерами, что существенно изменяет структурообразование осаждаемых тонких пленок. О получении наноструктурированных пленок кремния с размерами кластеров до 10 нм сообщалось в [15]. Авторы провели математическое моделирование разлета факела и показали, что формирование кластеров может быть обусловлено развитием процессов конденсации в лазерном факеле. Однако в [16] предложен механизм роста нанокластеров на поверхности пленки при осаждении атомарного пучка.
Для выяснения полной картины физических процессов, протекающих при разлете лазерного факела в газе, требуются дополнительные исследования, включающие как непосредственное изучение динамики лазерного факела в газах, так и расширение круга материалов, используемых для формирования покрытий. Особый научный и практический интерес представляет проблема синтеза таких материалов (например, наноструктурированных покрытий), которые невозможно создать традиционными методами.
Цель данной работы заключалась в экспериментальном исследовании комплекса процессов, развивающихся в приповерхностном слое материал-среда при воздействии импульсного лазерного излучения умеренной интенсивности на твердые тела в среде повышенного давления, и выявлении особенностей транспортных процессов в конденсированной и газовой фазе, обуславливающих формирование поверхностных сплавов и тонкопленочных покрытий.
Для достижения данной цели решались следующие задачи: - разработка экспериментальной методики импульсной голографической интерферометрии для мониторинга приповерхностных процессов в газах повышенного давления;
- исследование динамики факела и кинетики испарения материалов при воздействии лазерных импульсов в газах повышенного давления и через прозрачные покрытия;
- исследование процессов массопереноса, структуро- и фазообразования поверхностных сплавов, формируемых лазерными импульсами в газах повышенного давления и под прозрачными покрытиями; исследование особенностей формирования тонкопленочных покрытий при разлете лазерного факела в газовой среде повышенного давления.
Научная новизна работы состоит в следующем:
- впервые проведено комплексное исследование процессов, протекающих в газовой и конденсированной фазах при импульсном лазерном облучении металлов в газовой среде повышенного давления; обнаружены новые плазменные образования и установлено их влияние, а также влияние аэрозольной фракции на развитие процессов модифицирования металлов; впервые изучен механизм поверхностного легирования металлов наносекундными лазерными импульсами при воздействии через прозрачные покрытия, установлены особенности транспортных процессов и структурообразования метастабильных сплавов; впервые исследовано влияние процессов конденсации лазерного факела (при разлете в буферный и реактивный газ) на структурообразование ультрадисперсных (микро- и наноструктурированных) покрытий.
Практическая ценность работы заключается в разработке методов, позволяющих проводить мониторинг лазерного факела и контролировать режимы лазерной обработки в газовой среде повышенного давления; в совершенствовании метода лазерного легирования и существенном снижении потерь легирующего вещества в процессах распыления; в установлении режимов формирования новых ультрадисперсных материалов путем импульсного лазерного осаждения в газах заданного давления.
На защиту выносятся следующие основные положения:
- Развитие методики импульсной голографической интерферометрии позволило изучить комплекс важных физических явлений, инициированных лазерным излучением миллисекундной длительности над поверхностью материалов в газах повышенного (до 5 МПа) давления, а именно: формирование плазменных объектов, накопление и испарение аэрозоля, разлет эрозионного факела, исследовать их характеристики и установить их роль в механизме поверхностного лазерного легирования из газовой фазы.
- Экспериментально установлено, что при облучении системы пленка-подложка через прозрачное покрытие лазерными импульсами наносекундной длительности над поверхностью системы образуется область высокого давления (до 100 МПа), которая оказывает существенное влияние на развитие транспортных процессов и структурообразование метастабильных сплавов, а также вызывает дефектообразование на относительно больших глубинах. Выявлены условия, при которых реализуется эффективный массоперенос легирующего вещества и увеличивается глубина легирования.
- Развита физическая модель лазерного легирования, которая учитывает влияние давления на динамику лазерного распыления поверхности и предполагает увеличение энерговклада в поверхностный слой мишени в оптимальных условиях облучения. При этом изменяется динамика нагрева и охлаждения этого слоя, и, как следствие, увеличивается скорость и время развития температурно-зависимых процессов массопереноса и снижается скорость «закалки» поверхностных сплавов.
- Экспериментально установлена возможность инициирования процессов конденсации и формирования микро- и нано-размерных частиц при разлете лазерного факела в газах повышенного давления. Данные процессы изменяют условия роста тонкопленочных покрытий при их осаждении из лазерного факела и позволяют (при оптимальных давлениях газа) формировать новые структуры с улучшенными свойствами.
Похожие диссертационные работы по специальности «Физика конденсированного состояния», 01.04.07 шифр ВАК
Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы2013 год, кандидат наук Демин, Максим Викторович
Применение импульсного электронного пучка для получения нанопорошков некоторых оксидов металлов2010 год, кандидат технических наук Ильвес, Владислав Генрихович
Особенности структурной организации композиции "покрытие - металлическая основа" при экстремальном тепловом воздействии2010 год, кандидат технических наук Крейнин, Сергей Викторович
Генерация ультрадисперсных частиц при облучении металлической мишени мощным электронным пучком2010 год, кандидат физико-математических наук Фенько, Евгений Леонидович
Разработка и исследование наносекундной лазерной микротехнологии формирования оптоэлектронных структур2000 год, кандидат технических наук Чесноков, Дмитрий Владимирович
Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Смирнов, Алексей Львович
Основные результаты работы опубликованы в [93-107].
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В работе проведено комплексное исследование процессов, протекающих как в приповерхностном слое газовой (или жидкой) среды, так и конденсированном веществе при воздействии умеренных по интенсивности лазерных импульсов милли-и наносекундной длительности. Получены новые данные о параметрах процессов плазмообразования, тепло- и массопереноса, конденсации и др., которые развиваются в приграничных слоях среда-твердое тело и которые во многом определяют эффективность процессов модифицирования материалов при импульсном лазерном облучении в нетрадиционных условиях (средах повышенного давления).
Для проведения комплексных исследований разработана оригинальная методика анализа лазерно-индуцированных процессов в газовой фазе, а также всесторонне применялись стандартные высокоинформативные физические методики исследования твердых тел. Разработка методики голографической интерферометрии позволила обнаружить ряд новых физических явлений, протекающих в приповерхностном слое газовой среды, которые играют важную роль в развитии процессов лазерного модифицирования поверхности.
Проведены исследования процессов лазерного распыления поверхности материалов, окруженных средой (газом, жидкостью) повышенного давления и получены новые данные о динамике лазерного испарения и параметрах эрозионного лазерного факела, разлетающегося в среду. Такие результаты позволяют глубже понять механизмы поверхностного лазерного легирования, проводимого как из газовой фазы, так и из твердого слоя, если его облучение проводится через прозрачные покрытия.
При исследовании динамики лазерного факела в газах (инертных и химически активных) методом голографической интерферометрии обнаружены признаки конденсации, которая обуславливала изменение состава пучка, используемого для формирования тонкопленочных покрытий. Возможны превращения моноатомного парового потока в поток частиц, содержащий кластеры определенного размера и состава. Одновременно с исследованием динамики фронта конденсации изучены морфология и микроструктура образующихся покрытий. Показано, что варьирование параметров лазерного факела и условий его разлета (путем варьирования состава и давления газов) позволяет направленно воздействовать на структурообразование осаждаемых из факела покрытий. Установлены условия образования микро- и наноструктурированных покрытий на основе металлов, а также их соединений (оксидов и дихалькогенидов металлов). Применение разработанной методики импульсного лазерного осаждения в газах повышенного давления открывает широкие возможности по синтезу принципиально новых тонкопленочных материалов. В качестве примера в работе созданы тонкопленочные покрытия Мо8е2 с нано-дисперсной микроструктурой, проявляющей высокие трибологические свойства.
Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Смирнов, Алексей Львович, 2001 год
1. Рыкалин H.H., Углов A.A., Зуев Н.В. и др. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов/ М.: Машиностроение. 1985.
2. Промышленное применение лазеров / Под ред. Г.Кебнера. Перевод с английского А.Смирнова// М.: Машиностроение. 1988.
3. Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов/ М. : Энергоатомиздат.1991.
4. Singh R.K., Narayan J. Pulsed-laser evaporation technique for deposition of thin films: Physics and theoretical model/Phys. Rev. B. 1990. V.41.No.l3. P.8843-8859.
5. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками/ Под ред. Дж.М.Поута, Г.Фоти, Д.К.Джекобсона// М.: Машиностроение. 1987.
6. Рыкалин H.H., Углов A.A. Лазерно-плазменная обработка металлов при высоких давлениях газов/ Квантовая электроника. 1981. Т.8.№ 6. С.1198.
7. Арутюнян Р.В., Баранов В.Ю., Большое Л.А. и др. Легирование поверхности твердых тел из плазмы лазерного пробоя в жидкостях/ Поверхность. 1984. №4. С. 149-151.
8. Мажукин В.И., Углов A.A., Четверушкин Б.Н. Численное исследование динамики лазерной плазмы вблизи твердой поверхности при высоком давлении окружающей среды / Доклады АН СССР. 1981.Т.256. № 5.1. С. 1100.
9. Маркеев A.M., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Наносекундное лазерное легирование металлических материалов/ ФХОМ. 1987. № 5. С. 14-23.
10. Riet Е., Kools J.C.S., Dielcman J. Incongrucnt transfer in laser deposition of FeSiGaRu thin films/J. Appl. Phys. 1993. V.73. P.8290-8296.
11. Неволин B.H., Фоминский В.Ю., Романов Р.И. Импульсное лазерное осаждение пленок MoSx в вакууме/ Поверхность. 1999. № 9. С. 17-22.
12. Fominski V.Yu., Nevolin Y.N., Romanov R.I., Smurov I. Ion-assisted deposition of MoSx films from laser-generated plume under pulsed electric field/ J. Appl. Phys. 2001. V.89. No 2. P.537-543.
13. Fominski V.Yu., Markeev A.M., Nevolin V.N. et al. Pulsed laser deposition of MoSx films in a buffer gas atmosphere/ Thin Solid Films. 1994. No. 248. P.240-246.
14. Болыпов Л.А., Деркач O.H., Каневский М.Ф. и др. Динамика разлета плазмы металлов, создаваемой импульсами ХеС1 лазера/ Известия АН СССР. Серия физическая. 1988. Т.52. №9. С. 1852-1856.
15. Luk'yanchuk B.S., Marine W., Anisimov S.I. Condensation of vapor and nanoclusters formation within the vapor plume, produced by ns-laser ablation of Si/Laser Physics. 1998. V.8. P.291-302.
16. Murakami K., Makimura Т., Ono N. et al. Dynamics of Si plume produced by laser ablation in ambient inert gas and formation of Si nanoclusters/ Appl. Surface Science. 1998. V. 127-129. P.368-372.
17. Jain A.K., Kulkarni V.N., Nambiar K.B. ct al. Pulsed laser treatment of lead films on aluminium/Radiation Effects. 1982. Vol.63. P.175-181.
18. Draper C.W., Meyer L.S., Buene L. et al. Laser surface alloying gold films on nickel/Appl. Surface Science. 1981. Vol.7. P.276-280.
19. Draper C.W., Braeder F.J.A., Jacobson D.C. et al. Studies of laser-alloyed Zr-containing surface layers/ in: Laser and el.-beam interaction with solids // North-Holland. 1982. P.419-422.
20. Wang Z.L., Westendorp J.F.M., Saris F. W. Laser and ion-beam mixing of Cu-Au-Cu and Cu-W-Cu thin films/Nucl. Instr. Meth. 1983. VoI.209/210. P.l 15124.
21. SoodD.K. Mctastablc surfacc alloys produced by ion implantation, laser and electron beam treatment/ Radiation Effects. 1982. Vol.63. P. 141-167.
22. Brouder F.J.A., Vandenberg J.M., Draper C.W. Microstructures of Cu-Zr phases formed by laser surface treatment/ Thin Solid Films. 1984. Vol. 111. P.43-51.
23. Titov V., Smurov I., Igiiatiev M. Erosion plume dynamics during pulsed laser alloying/ Appl. Surfacc Scicncc. 1996. V.96-98. P.3 87-392.
24. Ignatiev M., Smurov I., Martino V. et al. New phases formed by laser pulse irradiation/J. Phys. (Paris). 1994. C4-4. P.39-44.
25. Bennett T.D., Grigoropoulos C.S., Krajnovich D.J. Near-threshold laser sputtering of gold/J. Appl. Phys. 1995. V.77. P.849-864.
26. Pronko P.P., Wiedersich H., Seshan K. et al. Pulsed laser mixing of Ni-Au surface films on nickel substrates / in Laser and Electron-Beam Solid Interactions and Material Processing, ed. by Gibbons, Hess, Sigmon //North-Holland, 1981). P.599-606.
27. Мажукин В.PL, Самохин A.A. Кинетика фазового перехода при лазерном испарении/ Квантовая электроника. 1984. T.l 1. № 2. С.2432-2437.
28. Gusarov A.V., Gnedovets A.G., Smurov I. Gas-dynamics of laser ablation. Influence of ambient atmosphere/ J. Appl. Phys. 2000. V.88. P.4352-4364.
29. Углов A.A., Гнедовец А.Г., Портнов O.M. Кинетическая модель лазерного поверхностного легирования металлов в газовой среде/ Поверхность. 1990. № 10. С. 120-127.
30. Анисимов В.Н., Арутюнян Р.В., Баранов В.Ю. и др. Легирование поверхности твердых тел из плазмы оптического пробоя в жидкости и газе/ Препринт ИАЭ №3931/9 (1984).
31. BerjezaN.A., Misuchenko N.I. Computational modeling of heat/mass transfer near the liqued-solid interface during rapid solidification under laser treatment/ Canadian Metallurgical Quarterly. 1998. V.37.No 3-4. P.313-321.
32. Jain A.K., Kulkarni V.N., Sood D.K. Pulsed laser heating calculations incorporating vaporization / Appl. Phys.1981. V.25. P. 127-133.
33. Boulmer-Leborgne С., Hermann J., Dubreuil B. et al. Direct carbidation of Ti as a result of multipulse U V-laser irradiation of Ti samples in an ambient methane gas/Appl. Surface Science. 1992. Y.54. P.349-352.
34. Nashitani S.R., Yoshimura S., Kawata H. et al. Deposition of nitrides and oxides of Al and Ti by pulsed laser irradiation/ J. Matcr.Rcs. 1992. V.7. No 3. P.725-733.
35. Зенкевич А.В., Неволин B.H., .Хабелашвили И.Д. Физические особенности импульсного лазерного осаждения металлов/ Известия вузов. Электроника. 1997. № 2. С.3-24.
36. Elam J.W., Levy D.H./J. Appl. Phys. 1997. V.81. P.539-543.
37. Lee I., CallcottT.A., ArakawaE.T. /Phys.Rev. B. 1993. V.47. P.6661-6673.
38. Быковский Ю.А., Неволин B.H. Лазерная масс-спектрометрия. М.: Энергоатомиздат. 1985.
39. Быковский Ю.А., Сильнов С.М., Сотниченко Е.А., Шестаков Б.А. Масс-спсктромстричсскос исследование нейтральных частиц лазерной плазмы./ ЖТФ. 1987. Т. 93. № 2. С.500-507.
40. Pinho G.P., Schittenhelm Н., Duley W.W. et al. Energy distributions in the laser ablation of metals and polymers/ Appl. Surface Science. 1998. V. 127-129. P. 983-987.
41. Chen K.R., Leboeuf J.N., Wood R.F. et al. Mechanisms affecting kinetic energy of laser-ablated materials/J. Vac.Sci.Technol. A. 1996. V. 14. No. 3. P. 1111-1114.
42. Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие излучения большой мощности на металлы/ М.: Наука. 1970.
43. Marine W., Patrone L., Luk'yanchuk В., Setis M. Strategy of nanocluster and nunostructure synthesis by conventional pulsed laser ablation/ Appl. Surface Science. 2000. V. 154-155. P.345-352.
44. Gnedovets A.G., Gusarov A. V., Smurov I. et al. Hydrodynamics of laser erosive jet generating nanoscale particles/ Appl. Surface Science. 1997. V. 109110. P.74-79.
45. Gusarov A.V., Gnedovets A.G., Smurov I. et al. Simulation of nanoscale particlcs elaboration in lascr-produccd erosive flow/ Appl. Surfacc Scicncc. 2000.154-155. P.331-336.
46. Heath J.R., Liu Y., CTBrien S.C. et al. / J. Chem. Phys. 1985. V.83. P.5520.
47. Geohegan D.B., Puretzky A.A., Duscher G. et al. / Appl. Phys. Lett. 1998. V.72. P.2987-2990.
48. Okano A., Takayanagi K. / Appl. Surface Science. 1998. V. 127-129. P.362.
49. Makimura T., Kunii Y., Murakami K./ Jpn. J. Appl. Phys. 1996. Part 1. P.35.
50. Gibson J.K. / J. Appl. Phys. 1995. V.78. P.1274.
51. Afonso C.N., Serna R., Ballesteros J.M. et al. Synthesis by pulsed laser deposition of metallic nanoclustcrs embedded in an amorphous host / Appl. Surface Science. 1998. V.127-129. P.339-343.
52. Wood R.F., Leboeuf J.N., Chen K.R. et al. Dynamics of plume propagation, splitting, and nanoparticle formation during pulsed-laser ablation/ Appl. Surface Science. 1998. V.127-129. P.151-158.
53. Itina T.E., Katassonov A.A., Marine W. et al. Numerical study of the role of a background gas and system geometry in pulsed laser deposition/ J. Appl. Phys. 1998. V.83. P.6050-6054.
54. Itina T.E., Marine W., Autric M. Moute Carlo simulation of pulsed laser ablation from two-componcnt target into diluted ambient gas/ J.Appl.Phys. 1997. V.82. P.3536-3548.
55. Fuenzalida V.M. Pulsed deposition: model for the cluster distribution after the first pulse/ J. Crystal Growth. 1998. V. 183. P.497-503.
56. Bernéde J.C., Li S.J., Pouzet J., Marie A.M. Properties of WS2 thin films obtained by solid-state reaction, induced by annealing, between W and Sconstituents sequentially deposited in thin film form/ Thin Solid Films. 1997. No.292. P.69-74.
57. Вест Ч. Голографическая интерферометрия. VI.: Мир. 1982.
58. Аллен К. Астрофизические величины. М.: ИЛ. 1960.
59. Ogalc S.B., Polman A., Qucntin F.O.P. ct al. Pulsed laser oxidation and nitridation of metal surface immersed in liquid media/ Appl. Phys. Lett. 1987. V.50. P. 138-140.
60. Усманский Я.С., Скаков Ю.А., Иванов A.H., Расторгуев Л.Н. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия. М. Металлургия. 1982.
61. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир. 1989.
62. Pathak А.Р. The effects of defects on charged particle propagation in crystalline solids/ Radiation Effects. 1982. V.61. P. 1-46.
63. Батанов В. А., Бункин Ф.В., Прохоров A.M. Испарение металлических мишеней мощным оптическим излучением/ ЖЭТФ. 1974. Т.77.С.965.
64. Мажукин В.И., Углов А.А., Четверушкин Б.Н./ Квантовая электроника. 1983. Т. 10. №4. С.679-684.
65. Углов А.А., Селищев С.В. Автоколебательные процессы при воздействии концентрированных потоков энергии. М.: Наука. 1987.
66. Бункин Ф.В., Конов В.И., Прохоров A.M., Федоров В.Б. /Письма в ЖЭТФ. 1969. Т.9. С.609-612.
67. Конов В.И. Пробой воздуха вблизи мишени излучением С02-лазера/ Известия АН СССР. Сер.физ. 1982. Т.46. №6. С. 1044-1049.
68. Захарченко С.В., Семенов А.П., Скрипкин A.M. Низкопороговый оптический разряд в аэродисперсной среде/ Квантовая электроника. 1984. Т.П. №2. С.2487-2493.
69. Пряхин С.С., Роянов А. А., Селищев С.В. Динамика приповерхностной лазерной плазмы в газах повышенного давления/ ФХОМ. 1987. №4. С.36.
70. Бункин Ф.В., Савранский В.В. Оптический пробой газов, инициируемый взрывом взвешенных микроскопических частиц/ЖЭТФ. 1973. Т.65.1. С.2185-2193.
71. Белов Н.Н. Влияние флуктуаций параметров лазерного луча на вероятность оптического пробоя в аэрозоле/ ЖТФ. 1987. Т.57. Вып. 11. С.2147.
72. Dona dalle Rose L.F. Ultrashort heat transient in metals under laser irradiation / Journal De Physique. 1983. V.44. P. C5-469.
73. T.Chande, and J.Mazunder/J. Appl. Phys. 1985. V.57. P. 2226-2235.
74. Коротченко А.И., Самохин А.А./ Препринт ФИАН СССР. № 223.1981.
75. Mazhukin V.I., Nosov V. V., Smurov I./ in Proceedings of the Laser Materials Processing Conference (ICALEO'94), Orlando, USA, 1994// Published by Laser Institute of America, Vol. 79, p.713
76. Носов В.В., Мажукин В.И. Влияние процессов плавления и кристаллизации на форму оптоакустического сигнала при лазерном воздействии на сильнопоглощающис конденсированные срсды/ Матсм. моделирование. 1994. Т.6. №1. С.3-53.
77. Mazzoldi P., Dona Dalle Rose L.F., Sood D.K. Pulsed laser treatment of А1/ Radiation Effects. 1982. V.63. P. 105.
78. Судьенков Ю.В., Филиппов H.M., Воробьев Б.Ф., Недбай А.И. Исследование механизмов взаимодействия наносекундного лазерного излучения с металлами/ Письма в ЖТФ. 1983. Т.9. Вып.7. С.395-398.
79. Санадзе В.В., Гуляев Г.В. Распад твердых растворов в системе никель -золота/ Кристаллография. 1959. Т.4. Вып.4. С.526-533.
80. Buene L., Poate J.M., Jacobson D.C. et al. Pulsed laser treatment of Ni/ Appl. Phys. Lett. 1980. V.37. P.385-389.
81. Таблицы физических величин/ Справочник. М.: Атом из дат. 1976.
82. Rozniakowski К., Dolny A. On the possibility of laser irradiation for the determination of diffusion coefficients in metals/ Thin Solid Films. 1984. V.121. P. 121-126.
83. Jonson W.L., Cheng Y.-T., M. Van Rossum et al./ Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. 1985. V. B7/8. P.657-665.
84. Kim S.-J., Nicolet M.-A., Averback R.S., Peak D./ Phys.Rev. 1988. V.B37 (1). P.38.
85. Nicsscn A.K., Micdcma A.R., F.R. dc Boer and Boom R. Heats of alloys formation/Physica B. 1988. V.152. P.303-329.
86. Ibe E. Picosecond diffusion in a thermal spike during ion mixing/ Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. 1989. V.B39. P. 148-152.
87. Weise G., Mattern N., Hermann H. et al. Preparation, structure and properties of MoSx films/ Thin Solid Films. 1997. V.298. P.98-106.
88. Gilmore R., Baker M.A., Gibson P.N. et al. Low-friction TiN-MoS2 coatings produced by dc magnetron co-deposition/ Surface and Coatings Technology. 1998. V.108-109. P.345-351.
89. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. M. Высшая школа. 1982.
90. Bicrsack J.P., HaggmarkL.G.A. /Nucl. Instrum. And Methods in Phys. Res. 1980. No. 174. P.257-263.
91. Mozer J., Levy F. Random stacking in MoS2-x sputtered thin films/ Thin Solid Films. 1994. V.240.P.56-69.
92. Fleischauer P.D. Fundamental aspects of the electronic structure, materials properties and lubrication performance of sputtered MoS2 films/ Thin Solid Films. 1987. V.154. P.309-322.
93. Uglov A.A., Smurov I.J., Selischev S. V., Gnedovets A.G., Smirnov A.L. Laser plasma surfacc modification of rcfractory metals/ Journal of Elcctrochcmical Society. 1986. No 8. P.312-313.
94. Селищев С.В., Белый А.В., Колбеко А.В., Смирнов А.Л., Степанов А.П. Диагностика процессов лазерной и лазерно-плазменной обработки материалов/ В сб. Современные проблемы физики и ее приложений. 1987. ч. И. С. 107.
95. Селищев C.B., Смирнов А.Л., Токер Г.Р., Углов A.A. Формирование струи эрозионной плазмы при воздействии лазерного излучения на титан/ Сб. Физ. проблемы импульсной обработки металлов и сплавов. Куйбышев. 1988. С.71.
96. Гнсдовсц А.Г., Кульбацкий Е.В., Селищев C.B., Смирнов А.Л. Голографическая интерферометрия гомогенной конденсации паров металлов в лазерном факеле/Лазерная технология. Вып.6. ИФИАН ЛитССР. Вильнюс. 1988. С. 151-152.
97. Углов A.A., Селищев C.B., Смирнов А.Л. Голографическая интерферометрия плазмообразования новой формы в газах повышенного давления вблизи металлических мишеней/ Сб. Оптические методы исследования потоков. Новосибирск. 1989. С.74.
98. Сслтцсв C.B., Смирнов А.Л., Токср Г.Р. Особенности формирования приповерхностной лазерной плазмы в газах повышенного давления/ Теплофизика высоких температур. 1989. №3. С.449-455.
99. Селищев C.B., Смирнов А.Л., Токер Г.Р., Углов A.A. Формирование приповерхностной стелящейся плазмы в газах повышенного давления/ ФХОМ. 1989. №5. С. 97-100.
100. Селищев C.B., Смирнов А.Л., Токер Г.Р., Углов A.A. Формирование оптического пробоя на аэрозоле в газах повышенного давления/ Квантовая электроника. 1989. №3. С.538 540.
101. Uglov A.A., Smurov I. Yu., Smirnov V.P., Smirnov A.L. An effect of nonmonotone spatial distribution of laser irradiation on optimizing laser treatment parameters / Metal Science and Thermal Treatment of Metals. 1989. No. 11. P.9-13.
102. Гнедовец А.Г., Кульбацкий Е.Б., Селищев C.B., Смирнов A.Л., Углов A.A. Динамика фронта конденсации при лазерном восстановлении металлов в газах повышенного давления// ПМТФ. 1990. № 4. С.34-41.131
103. Smurov I., Smirnov A., Ferier A., Flamant G. Surface laser plasma in the processes of laser treatment of materials in high pressure gases/ Proceedings of the 10th International Symposium on Plasma Chemistry // Bochum, Germany. 1991. 1.3-7. P. 1-6.
104. Фоминский В.Ю., Смирнов А.Л., Тимофеев A.A., Марцснюк H.О. Особенности структурообразования метастабильных сплавов Au-Ni при наносекундном лазерном легировании. Сборник научных трудов МИФИ-2001. Т.4.С.173-174.
105. Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Смирнов А.Л., Ковешников A.B. Разлет лазерного факела и осаждение пленок MoSx в буферном газе. Сборник научных трудов МИФИ-2001. Т.4.С. 175-176.
106. Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Смирнов А.Л., Ковешников A.B. Особенности разлета эрозионного факела и формирование пленок MoSx при импульсном лазерном осаждении в буферном газе. Перспективные материалы. 2001. №1. С.82-86.
107. Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Смирнов А.Л. Транспортные процессы и структурообразование метастабильных сплавов Au-Ni при наносекундном лазерном легировании с применением прозрачных слоев. ФХОМ. 2001. №2
Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.