Модификация дифференциальных спектров вторично-ионной и ионно-электронной эмиссии и физико-химические свойства твердого тела тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, кандидат физико-математических наук Филимонов, Алексей Владимирович

• Филимонов, Алексей Владимирович
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Филимонов, Алексей Владимирович

страница

ВВЕДЕНИЕ

Глава I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ :

§ 1. Основные закономерности вторично - ионной эмиссии при бомбардировке твердых тел ионами средних энергий.

§2. Основные модели ВИЭ ¡В

§3 Эмиссия вторичных кластерных ионов

§4. Эмиссия оже-электронов при бомбардировке твердых тел ионами средних энергий.

§5. Особенности распыления многокомпонентных мишеней *fZ при бомбардировке твердых тел ионами средних энергий.

§6. Выводы из обзора литературы и постановка задач ¿fS

Глава II. Экспериментальные установки и методики исследования.

§ 1. Вторично - ионный микроанализатор IMS-4f (САМЕСА)

§2. Электронный растровый оже-спектрометр ¿/д

PHI-660 (Perkin-Elmer)

§3. Масс-спектрометр с постионизацией вторичных 6* нейтральных атомов INA-3 (Leybold AG)

§4.Лабораторная установка «электронно-ионный SS оже-спектрометр»

§5.Выводы из Главы II ß~£

Глава III. Дифференциальные характеристики эмиссии вторичных атомных частиц и физико -химические свойства твердого тела.

§ 1. Эмиссия кластеров Cn+ Q J?

§2.Эмиссия кластеров А1п+ —^

§3. Особенности эмиссии нейтральных атомов при распылении слоистых структур

§4. Выводы из Главы III

Глава IV. Эмиссия оже - электронов при ионном облучении и структура твердого тела.

§ 1 Особенности ионной Оже-спектроскопии монокристаллов 9Z кремния

§2 Модификация спектров ИОС при аморфизации £00 монокристалла.

§3.Интерпретация экспериментальных результатов для ИОС J.OS" кремния

§4 Модификация спектров ИОС при пластической деформации US материала

§5. Интерпретация экспериментальных результатов для 12.3 пластически деформированного алюминия.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Модификация дифференциальных спектров вторично-ионной и ионно-электронной эмиссии и физико-химические свойства твердого тела»

Изучение процессов, протекающих при взаимодействии ионов с твердым телом, представляет большой интерес, поскольку эти процессы играют существенную роль во многих областях физики - управляемом термоядерном синтезе, физике плазмы, физике газового разряда, модификации свойств поверхности и т.д. Они имеют и немаловажное техническое значение, например, при конструировании ускорителей и источников ионов, детекторов заряженных частиц, масс - спектроскопии, технике получения сверхвысокого вакуума.

В последнее десятилетие опубликовано большое число работ, посвященных взаимодействию ускоренных ионов с твердым телом, что обусловлено следующими причинами:

1. Постоянно возрастающий объем космических исследований требует более точной информации о влиянии бомбардировки ионами и нейтральными частицами различных энергий на свойства различных материалов и работу приборов.

2. Решение ряда конструкторских и физических проблем управляемого термоядерного синтеза (УТС) (в частности, проблемы "первой стенки" термоядерного реактора) потребовало дополнительных сведений об эмиссионных свойствах конструкционных материалов.

3. Обнаружение ряда важных особенностей явлений, наблюдающихся при бомбардировке ионами монокристаллических образцов, позволило развить ряд практических применений ионной бомбардировки твердого тела, таких как ионная имплантация полупроводников, ионное травление, и т.д.

Таким образом, изучение явлений, происходящих при взаимодействии заряженных атомных частиц с поверхностью твердого тела, нашедших наибольшее применение в технологии производства полупроводниковых приборов и физическом эксперименте, представляется весьма актуальной задачей, а тема работы, направленная, с одной стороны, на изучение физико-химических свойств поверхности твердого тела с помощью традиционных методик: вторично-ионной масс-спектрометрии (ВИМС), оже-электронной спектроскопии (ЭОС), ионной оже-спектроскопии (ИОС), масс-спектроскопии вторичных нейтральных атомов (ВНМС), и с другой стороны, на построение адекватной физической картины отдельных процессов при взаимодействии первичных ионов средних энергий с материалами является актуальной

Целью работы является установление связи между дифференциальными характеристиками ионно-электронной и вторично - ионной эмиссии с параметрами твердого тела, влияние которых на отмеченные выше характеристики ранее установлено не было (кристаллографией, степенью разупорядоченности, наличием пластических деформаций).

Научная новизна работы

1. Впервые установлено, что форма масс - спектров вторичных ионов чувствительна к степени упорядоченности приповерхностной области твердого тела и наличию пластических деформаций. Это проявляется в первую очередь в изменении выхода однозарядных вторичных кластерных ионов.

2. Обнаружено, что структура энергетических спектров оже - электронов при облучении ионами средних энергий зависит от кристаллического строения приповерхностной области твердого тела, а также степени аморфизации монокристалла. Кроме того, эта структура чувствительна к наличию пластических деформаций в приповерхностной области упруго деформируемых материалов.

3. Показано, что один из механизмов образования двухзарядных вторичных ионов за счет распада возбужденных молекулярных ионов приводит к появлению в энергетическом спектре вторичных ионов частиц с энергиями, меньшими сообщаемых ускоряющим полем коллекторной системы.

4. Установлено, что при распылении интерфейсов слоистых структур, образованных сильно различающимися по массе элементами, происходит значительное увеличения сигнала от легкой компоненты. Предложено объяснение этого явления.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Выход многоатомных кластеров в масс - спектрах вторичных ионов зависит от параметров приповерхностной области (степени упорядоченности, наличия пластических деформаций).

2. Соотношение пропорций основного и атомоподобного оже-пика при ионном возбуждении зависит от кристаллической структуры, степени аморфизации и наличия пластических деформаций приповерхностной области твердого тела.

3. Механизм образования двухзарядных вторичных ионов за счет распада возбужденных молекулярных ионов.

4. Эффект селективности распыления в нестационарных условиях приводит к значительному увеличению сигнала легкой компоненты при распылении интерфейсов слоистых структур, образованных сильно различающимися по массе элементами.

Научная и практическая ценность

Результаты исследований, изложенные в работе, являются основой для создания новой, более общей картины выбивания электронов и вторичных ионов из твердых тел ионами средних энергий, включающей различные механизмы передачи энергии первичными частицами и атомами отдачи.

Влияние параметров приповерхностной области твердого тела на форму масс- и энергетических спектров вторичных частиц ранее почти не было исследовано. Впервые предоставляется возможность развития комплекса методик для получения информации о параметрах приповерхностной области твердого тела (кристаллографии, степени разупорядоченности, наличии пластических деформаций) и их эволюции.

Результаты экспериментального изучения эмиссии оже - электронов и вторичных ионов при облучении материалов ионами средних энергий для широкого набора материалов как моноэлементного состава, так и многокомпонентных соединений, могут быть использованы для решения задач диагностики и материаловедения.

Дальнейшее развитие направления эмиссии многозарядных ионов открывает перспективы создания новых методик диагностики материалов, не столь критичных к состоянию поверхности твердого тела.

Обнаруженная селективность распыления легкой компоненты при послойном анализе слоистых структур делает необходимым учет этого эффекта при интерпретации результатов ВИМС, ИОС, ВНМС и т.д.

Апробация работы

Результаты работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях:

1. XI, XII, XII, XIII Международных конференциях "Взаимодействие ионов с поверхностью" (Звенигород, 1993, 1995, 1997, 1999)

2. XXII Всероссийской конференции по эмиссионной электронике (Москва, январь 1994)

3. VIII Международном семинаре "Диагностика поверхности ионными пучками" (Ужгород, август 1998)

4. Всероссийская научно - техническая конференция "Инновационные наукоемкие технологии для России" (Санкт -Петербург, апрель 1995)

5. Всероссийская межвузовская научно - практическая конференция "Информатика и микроэлектроника - 98" (Москва, апрель 1998)

6. 3 - d European workshop on modern developments and applications in microbeam analysis (EMAS - 93) Rimini, Italy, 1993

7. IX International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS - IX) Yokohama, Japan, 1993

8. X Interdisciplinary Surface Science Conference (ISSC -10) Liverpool, UK, 1994

9. Deaville Conference (ISM - 94) Montreux, Switzerland, 1994 lO.International Workshop on Auger Spectroscopy and Electron Structure

IWASES-III), Liverpool, UK, 1994

Публикации

По результатам диссертации опубликованы 35 печатных работ, список которых приводится в конце реферата.

Структура и объем работы Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения и списка цитируемой литературы. Общий объем работы составляет 160 страниц текста, 74 рисунка и 2 таблицы. Список литературы содержит 202 наименования.

Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Филимонов, Алексей Владимирович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

1. На основании результатов экспериментов по эмиссии вторичных однозарядных кластерных ионов для углерода и алюминия сделан вывод о чувствительности метода ВИМС к степени упорядоченности приповерхностной области твердого тела, а также наличию пластических деформаций. В качестве инструмента контроля этих параметров целесообразно использовать зависимость выхода вторичных многоатомных кластерных ионов для исходного и модифицированного образцов.

2. Установлено, что при распылении слоистых структур, образованных сильно различающимися по массам элементами, происходит значительное усиление сигнала от легкой компоненты. Данный эффект объясняется селективностью распыления в нестационарных условиях при прохождении границы раздела слоистой структуры.

3. Обнаружено, что форма спектров оже-электронов при ионном возбуждении зависит от структуры облучаемых материалов (кристаллографии, степени аморфизации, разупорядочивания посредством увеличения концентрации дефектов). Экспериментально показано, что форма оже - пиков и ее зависимость от структуры материала при ионном возбуждении принципиально отлична от таковой при электронном и дано качественное объяснение наблюдающимся особенностям. Для контроля структуры приповерхностной области целесообразно использовать величину относительной амплитуды электроноподобного и атомоподобного пиков.

4. Экспериментально установлена слабая чувствительность выхода двухзарядных ионов по сравнению с однозарядными от состояния и

Мб

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В заключении хотелось бы выразить глубокую признательность за предоставленную тему, постоянное внимание и помощь в работе над диссертацией моим учителям - доктору физико-математических наук Дорожкину Андрею Андреевичу и профессору, доктору физико-математических наук Петрову Николаю Николаевичу, безвременно ушедших от нас.

Так же я хотел бы поблагодарить научного консультанта -профессора, доктора физико-математических наук Кораблева Вадима Васильевича за помощь на окончательном этапе работы.

Крайнюю благодарность я хотел бы выразить профессорам кафедры «Физическая электроника» СПбГТУ Андронову А. Н. и Фотиади А. Э. за плодотворные дискуссии при обсуждении полученных результатов, а также с.н.с ФТИ им. А.Ф.Иоффе к.х.н. Коварскому А.П. за помощь в области техники эксперимента.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Филимонов, Алексей Владимирович, 2000 год

1. Yu M.L./'/'Sputtering by Particle Bombardment III / Ed.Behrish R., Wittmaack K. Springer Series in Topics in Applied Physics. V.64. Berlin; Heidelberg: Springer, 1991. p.91

2. Черепин B.T. Ионный зонд. Киев: Наук.думка, 1981

3. Черепин В.Т., Васильев М.А. Вторичная ионная эмиссия металлов и сплавов. Киев: Наук.думка, 1979

4. Векслер В.И. Вторичная ионная эмиссия металлов, М.: Наука, 1978

5. Benninghoven A., Rudenauer F.G., Werner H.W.// Secondary Ion Mass Spectrometry. N.Y.: Wiley, 1987

6. Дорожкин A.A., Филимонов A.B. // Матер. XII Междунар. Конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. т.1 с.259

7. Рыбалко В.Ф., Колот В.Я., Фогель Я.М. //ФТТ. 1959.Т.1. с.1142

8. Фогель Я.М., Слабоспицкий Р.П., Каманхов Ж.М.//ЖЭТФ. 1960. т.ЗО с.824

9. Slodzian G., Hennequin J.F.// C.R. Acad.Sci. 1966 v.263. p.1246

10. Benninghoven A. //Surf. Sei. 1975. v.53. p.596

11. Буханов B.M., Миннебаев К.Ф., Уразгильдин И.Ф., Черныш B.C. // ЖЭТФ. 1989. т.96. с. 1505

12. Blaise G., Bernheim M. // Surf. Sei. 1975. v.47. p.324

13. Mann K., Yu M.L. // Phys. Rev. 1987. v.35. p. 6043

14. Blaise G., Nourtier A. // Surf. Sei. 1979. v.90. p.495

15. Yu M.L. //J. Vac. Sei. Technol. A. 1983. v.l. p. 500

16. Hayden B.E., Wyrobisch W., Oppermann W. // Surf. Sei. 1981. v.109. p.207

17. Уразгильдин И.Ф. // Письма в ЖЭТФ. 1992. т.56. с. 169

18. Urazgildin I.F. // Phys. Rev. В., 1993. v.47. p. 4139

19. Yu M.L., Lang N.D. // Phys. Rev. Lett. 1983. v.50. p. 127

20. Yu M.L. // Phys. Scripta. 1983. v.T6. p. 67

21. Yu M.L. // Phys. Rev. B. 1984. v.29. p. 2311

22. Wang Y.L. // Phys. Rev. B. 1988. v.38. p. 8633

23. Morgan A.E., Werner H.W. // Anal. Chem. 1976. v.48. p.699

24. Yu M.L. // Phys. Rev. Lett. 1978. v.40. p. 574

25. Bernheim M., LeBours F. // Nucl. Instrum. And Meth. B. 1987. v.27 p.94

26. Abramenko V.A., Andreev A.A., Yurasova V.E. // Nucl. Instrum. And Meth. B. 1986. v.13 p.609

27. Юрасова B.E., Черныш B.C., Кувакин M.B., Шелякин Л.Б. // Письма в ЖЭТФ. 1975. т.21 с. 197

28. Юрасова В.Е. // Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом / Пер. с англ. М.: Высшая шк., 1994. с.536

29. Абраменко В.А., Дубровский Г.А., Шелякин Л.Б., Юрасова В.Е. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1984. №9. с.50

30. Wittmaack К. // Surf. Sei. 1975. v.53. p.626

31. Tsipinyuk B.A., Veksler V.l. // Vacuum. 1979.v.29. p.155

32. Blaise G., Slodzian G. // Phys. Rev. Appl. 1973. v.8. p. 105

33. Hennequin J.F. // J. Phys. (Paris). 1968.v.29. p.665

34. Wittmaack K. // Inelastic Ion-Surfase Colliions / Eds. Tolk. N.H. Tully J.C. , Heiland W., White C.W. N.Y.: Acad.Press, 1977. p.153

35. Metz W.A., Legg K.O., Thomas E.W. // J. Appl. Phys. 1980.v.51. p.2888

36. Baragiola R.A., Alonso E.V., Raite H.J.L. // Phys. Rev. A. 1982. v.25. p. 1969

37. Абраменко B.A., Ледянкин Д.В., Уразгильдин И.Ф., Юрасова В.Е. // Письма в ЖЭТФ. 1986. т.44. с.398

38. Ледянкин Д.В., Уразгильдин И.Ф., Юрасова В.Е. // ЖЭТФ. 1988. т.94.№ 12. с.90

39. Joyes Р. // Rad. Eff. 1973 v.19. р.235

40. Hennequin J.F., Inglebert R.L., Viaris de Lesegno P. // Surf. Sei. 1984. v. 140. p. 197

41. Hennequin J.F., Inglebert R.L., Viaris de Lesegno P. // Secondary Ion Mass Spectroscopy SIMS V. Springer Series in Chemical Physics, v.44 / Eds. Benninghoven A., Colton R.J., Simons D.S., Werner H.W. Berlin; Heidelberg: Springer, 1984. p.60

42. Brochard P.D., Slodzian G. // J. Phys. (Paris). 1971.v.32. p.185

43. Makarenko V., Popov A., Shaporenko A., Shergin A. // Radiat. Eff. And Defects in Solids. 1990. v.113, p.263

44. Vasile M.J. // Phys. Rev. В. 1984. v.29. p. 3785

45. Wuchner A., Oechsner H. // Surf. Sei. 1988 v.199. p.567

46. Макаренко B.H., Попов А.Б., Шергин А.П. // Изв АН СССР. Сер.физ. 1990. т.54. №7. с. 1331

47. O'Connor DJ., Shen Y.G., Wilson J.M., MacDonald RJ. // Surf. Sei. 1988 v.197. p.277

48. MacDonald RJ. // Surf. Sei. 1974 v.43. p.653

49. MacDonald RJ. // Surf. Sei. 1978 v.78. p.371

50. Krauss A.R., Gruen D.M. // Surf. Sei. 1980 v.92. p. 14

51. Hart R.G., Cooper C.B. // Surf. Sei. 1980 v.94. p.105

52. Lungquist T.R. // J. Vac. Sei. Technol. 1978. v. 15. p.684

53. Литвинов B.A., Коваль А.Г., Физгеер Б.М. // Изв АН СССР. Сер.физ. 1990. т.54. №7. с.1334

54. Urazgildin I.F., Borisov A.G. // Vacuum. 1990. v.40. p.461

55. Ericson R.L., Smith D.P. // Phys. Rev. Lett. 1975. v.34. p. 297

56. Rusch T.W., Ericson R.L // Inelastic Ion-Surface Collosion / Eds. Tolk N.H., Tully J.C., Heiland W., White C.W. N.Y.: Acad. Press, 1977. p.73

57. Буханов B.M., Миннебаев К.Ф., Уразгильдин И.Ф., Черныш B.C. // Вест. МГУ. Сер.З, Физика, астрономия. 1990. т.31. №1 с.28

58. Komori К., Okano J. // Int. J. Mass Spectr. Ion Phys. 1978. v.27 p.379

59. Krauss A.R., Gruen D.M. //Nucl. Instr. and Meth. 1978. v. 149. p. 547

60. Urazgildin I.F. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1993. v.78. p. 271

61. Джемилев Н.Я. // Матер. XII Междун. Конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. т.1. с.203

62. Betz G., Husinsky W. // Матер. XII Междун. Конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. т.1. с. 196

63. Wuchner A.,Wahl М., Oechsner Н. // Nucl. Instrum. and Meth. B.1993. V.83. P. 73.

64. Makarenko V., Popov A., Shaporenko A., Shergin A. // Rad. Eff. And Defectsin Solids. 1991. V. 116. P. 15.

65. Coon S.R., Calaway W.F., Pellin M.J. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1994. V. 90. P. 518.

66. Джемилев H.X., Верхотуров C.B. // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1985. Т. 49. № 9. С. 1831.

67. Coon S.R., Calaway W.F., Pellin M.J., White J.M. // Surf. Sci. 1993. V. 298. P. 161.

68. Husinsky W., Nicolussi G., Betz G. //Nucl. Instrum. and Meth. B. 1993. V. 82. P. 323.

69. Dzhemilev N.Kh., Verkhoturov S.V., Veriovkin I.V. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1990. V. 51. P. 219.

70. Dzhemilev N.Kh., Goldenberg A.M., Veriovkin I.V. Verkhoturov S.V., // Int. J. Mass-Spectrom. IonProc. 1995. V. 141. P. 209.

71. Wuchner A. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1993. V. 83. P. 79.

72. Войцеховский И.А., Медведева M.B., Ферлегер B.X. // Матер. XII Междунар. Конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. Т. 1. С. 214.

73. Gnaser Н. // Nucl. Instrum. and Meth. В. 1995. V. 100. P. 347.

74. Gao Y. // Appl. Phys. 1988. V. 64. P. 3760.

75. Gnaser H. // Vac. Sci. Technol. A. 1994. V. 12. P. 452.

76. Blandin A., Nourtier A., Hone D.W. // J. Phys. 1976. V. 37.P. 396.

77. Brako R., Newns D.M. //Surf. Sci. 1981. V. 108. P. 253.

78. Norskov J.K., Lundgvist B.I. // Phys. Rev. B. 1979. V. 19. P. 5661.

79. Lang N.D. // Phys. Rev. B. 1983. V. 27. P. 2019.

80. Yu M.L. // Phys. Rev. Lett. 1978. V. 40. P. 574; Yu M.L., Lang N.D. // Phys. Rev. Lett. 1983. V. 50. P. 127.

81. Sroubek Z., Zdansky K., Zavadil J. // Phys. Rev. Lett. 1980. V. 45. P. 580.

82. Sroubek Z. // Phys. Rev. B. 1982. V. 25. P. 6046.

83. Anderson P.W. // Phys. Rev. 1961. V. 124. P. 41; Newns D.M. // Phys. Rev. B. 1969. V. 178. P.1123.

84. Slodzian G. // Surf. Sci. 1975. V. 48. P. 161.

85. Williams P. // Surf. Sci. 1979. V. 90. P. 588.

86. Yu M.L. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1987. V. 18. P. 542.

87. Lang N.D., Kohn W. // Phys. Rev. B. 1973. V. 7. P. 3541.

88. Lang N.D. // Phys. Rev. B. 1983. V. 27. P. 2019.

89. Sroubek Z., Falcone G. // Surf. Sci. 1988. V. 197. P. 528.

90. Urazgil'din I.F., Borisov A.G. // Surf. Sci. 1990. V. 227. P. LI 12.

91. Klushin D.V., Gusev M.Yu., Urazgil'din I.F. // Nucl. Instrum. and Meth. B.1995. V. 100. P. 316.

92. Клушин Д.В., Гусев М.Ю., Уразгильдин И.Ф. // ЖЭТФ. 1994. Т. 106. С. 225.

93. Sroubek Z., Falcone G. // Surf. Sei. 1986. V. 166. P. L136; Sroubek Z. // Appl. Phys. Lett. 1984. V. 45. P. 850.

94. Клушин Д.В., Гусев М.Ю., Лысенко С.А., Уразгильдин И.Ф. // Матер. XII Междунар. конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. Т. 1. С. 237; Phys. Rev. В. 1996.

95. Sroubek Z., Fine J. // Nucl. Instrum. and Meth. B. 1995. V. 100. P. 253.

96. Lang N.D., Holloway S., Norskov J.K. // Surf. Sei. 1985. V. 150. P. 24.

97. Nordlander P., Lang N.D. // Phys. Rev. B. 1991. V. 44. P. 13681.

98. Nordlander P., Tully J.C. // Phys. Rev. B. 1990. V. 42. P. 5564.

99. Литвинов B.A., Коваль А.Г., Грицаенко C.B. // Матер. XII Междунар. конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. Т. 1. С. 207.

100. ЮО.Армор Д.Г., Месхи Г.Г. // Матер. XII Междунар. конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. Т. 1. С. 298.

101. Urbassek Н.М. //Rad.Eff. 1989. v. 109. р.293

102. Dzhemilev N.Kh., Goldenberg A.M., Verhoturov S.V., Veriovkin I.V. // Int. J. Mass Spectrom. IonProc. 1995. v. 141. p.209

103. Веревкин И.В., Верхотуров C.B., Гольденберг A.M., Джемилев H.X. // Изв РАН, Сер.физ. 1994. т.58. №10. с.63

104. Wucher A.W., Garrison В.Т. // Phys. Rev. 1992. v.846. p. 4855

105. King B.V. et al. // Surf. Sei. 1986. v.167. p.18

106. King B.V. et al. // Int. J. Mass Spectrom. Ion Proc. 1987. v.78. p.341

107. Klots C.E. //Z. Phys. D. 1991. v.21. p.335

108. Войцеховский И.А., Медведева M.B., Ферлегер B.X. // Матер. XII Междун. Конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М.,1995. т.1. с.214

109. Wucher А. // Nucl. Instr. And Meth. В. 1993. v.83. p.79

110. ПО.Беккерман А.Д., Веревкин И.В., Верхотуров С.В., Джемилев H.X. // Матер. XII Междун. Конф. «Взаимодействие ионов с поверхностью». М., 1995. т.1. с.251 111 .Dzhemilev N.Kh., Verhoturov S.V., Veriovkin I.V. // Nucl. Instr. And Meth. B. 1990. v.51. p.219

111. Веревкин И.В., Верхотуров C.B., Гольденберг A.M., Джемилев H.X. // Изв РАН, Сер.физ. 1994. т.58. №3. с.57

112. Мотт Н., Месси Г. / Теория атомных столкновений. М.: Мир. 1969

113. Н.Никитин Е.Е., Уманский С.Я. / Неадиабатические переходы при медленных атомных столкновениях. М.: Атомиздат.

114. Герштейн С.С., Кривченков В.Д. //ЖЭТФ. 1961. т. 40. с. 1491 1 lö.Fano V., Lichten W. // Phys. Rev. Lett. v. 14. 1965. p.627

115. Barat M., Lichten W. // Phys. Rev. A. v.10. 1972. p.61

116. Garsta G.D., Forther R.J., Kavanagh T.M.//Rev.Mod.Phys. v.45. N2. 1973. p. 111

117. Дорожкин A.A., Петров H.H. // Итоги науки и техники. Электр. М.: ВИНИТИ, 1982, с.134120. .Дорожкин A.A., Петров H.H., Петров A.A. // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1979. Т. 43. № 3.С. 619.

118. Черепин В.Г., Васильев М.А. / Вторично ионная эмиссия металлов и сплавов. К.: Наукова думка. 1975122,Grant IT. et al. // J. vac. Sei. and Tech. 1975 v.12 N1. p.481

119. Hiraki A., Kim S.C. // Jap. J. Appl. Phys. 1979. v.18. N9. p.1769 124.Saiki K., Tanaka S. // Jap. J. Appl. Phys. 1982. v.21. N9. p.529

120. Дорожкин A.A., Петров A.A., Петров H.H. // Труды VI Всесоюзной конференции «Взаимодействие атомных частиц с твердым телом». Минск. 1981. т.1 с.193

121. Wittmaack // Surf.Sci. 1979. v.85. р.76

122. Metz W.A., Legg K.O. // J. Appl. Phys. 1980. v.21. p.2888

123. Powell R.A. // J. Vac. Sei. and Technol. 1978 v.15 p.1797 129.1vami M., Kim S.C. // J. Appl. Phys. 1980. v.19. N9. p.1627

124. Mishler J., Benazeth N. // Surf. Sei. 1976. v.54 p.635

125. Kemph J., Kan S. // Appl. Phys. 1977. v.13. p.261

126. Kroes A. // // Surf. Sei. 1979. v.84 p.153

127. Методы анализа поверхности / под ред. Зандерна. М.: Мир, 1985

128. Jede R., Granshow О. // Practical Surface Analysis (2nd Ed.) v.2: Ion and Neutral Spectroscopy. Willey, Chishester. 1992, ch.8

129. Sigmund P. / Alloy and isotope sputtering. K. Dan. Vidensk. Mat. Fys. Medd., 1993

130. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / под ред. Бериша Р. М.: Мир, 1986

131. Andersen H.H. / The Physics of Ionized Gases SPIG 1980, ed. M.Matic, Beograd

132. Распыление под действием бомбардировки частицами / под ред. Бериша Р. и Виттмака К. М.: Мир, 19981. К Главе II1 .Benninhoven A., Rudenauer F.G., Werner W. // Secondary Ion Mass Spectrometry. J.Willey

133. Wucher A. // J.Vac.Sci.Technol. A6. 1988. p.2287

134. Wucher A. // J.Vac.Sci.Technol. A6. 1988. p.2293

135. Jede R. et al. // J.Vac.Sci.Technol. A6. 1988. p.2271

136. Jede R. et al. // Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS-VII). Proc. Int. Conf. 1988

137. Фридрихов C.A. // Энергоанализаторы и монохроматоры для электоронной спектроскопии. JL: ЛГУ. 1978

138. Handbook of Auger Electron Spectroscopy // Phys.Elec.Ind. 19761. К Главе III

139. Машкова Е.С., Молчанов В.А. Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел. М.: Атомиздат, 1980

140. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под редакцией Р.Бериша. М.: Мир, 1986

141. Брусиловский Б.И. Кинетическая ионно электронная эмиссия. М.: Атомиздат, 1990

142. Коулсон Ч. Валентность. М.: Мир, 1965

143. Handbook of Auger Spectroscopy. Phys. Electr. Ind. Juc., 1976

144. Бехтерев A.H., Золотарев B.M. //Опт.мех.пром. 1986. №12. с.41

145. Уразгильдин И.Ф., Чекин В.Е.//Труды 14 Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью», т.1, с.268

146. Бернштейн M.JI. Структура деформированных материалов. М.: Металлургия, 1977

147. В.И.Матвеев, С.Ф.Белых, И.В.Веревкин //Журнал Технической Физики. 1999. №3. т.69. с.64

148. В.И.Матвеев, С.Ф.Белых, И.В.Веревкин //Известия РАН, сер. физическая. 1998. №10. т.62. с. 1963

149. Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. с. 792

150. Proceedings of IV Seminar "Semiconductors and Allows". Tokio, Japan. 2-14 June 1998 p.

151. А.Зандерна. Методы анализа поверхностей, М., Мир, 1979

152. A.A.Dorozhkin, A.P.Kovarsky, Y.Kudriavtsev, M.Yagodkina. Abstracts of SIMS IX, Yokohama, 1993

153. A.Benninghoven, F.G.Rudenauer, W.Werner. Secondary ion mass spectrometry. J.Willeyа.s. 19871. К Главе IV

154. А.А.Дорожкин, Н.Н.Петров. "Итоги науки и техники.Электро-ника", ВИНИТИ, т.14, 1983

155. J.Mischler and N.Benazeth. Scanning Elect.Microsc.il, 1986

156. Е.Е.Никитин, С.Я.Уманский. Неадиабатические переходы при медленных атомных столкновениях. М.: Атомиздат. 1979

157. Мотт Н., Месси Г. Теория атомных столкновений. М.: Мир. 1964

158. Зибган К. Электронная спектроскопия. М.: Мир. 1971б. handbook of Auger electron spectroscopy //Phys.Elec.Ind., 19767. 20 из Гаврилова

159. A.Вeiminghoyen, F.G.Rudenauer, W.Werner. Secondary ion Mass spectrometry. J.Willey A.S., 1987

160. Кораблев В.В. Электронная оже-спектроскопия. Л.: ЛПИ. 1973.1. К Главе V

161. Yu M.L. // Sputtering by Particle Bombardment III / Ed. Behrish R., Wittmaack K. Springer Series in Topics in Applied Physics. V.64. Berlin; Heidelberg: Springer, 1991. P.9163

162. Дорожкин A.A., Коварский А.П., Филимонов A.B. //ЖТФ. 1996. Т.66. №1 С.195

163. Векслер В.И. Вторично ионная эмиссия металлов. М.: Наука, 1978

164. Urazgildin I.F.//Phys.Rev.B. 1993.V.47.P.4139

165. Wittmaack K.//Inelastic Ion-Surface Collision/Eds.Tolk N.H. Tully J.C., Heiland W.,N.Y.: Acad.Press, 1977, P.153

166. Ли-Фату A.B., Дорожкин A.A., Коварский А.П. // Изв.РАН. Сер.физ. 1992. T.56. №6

167. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1986

168. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. М.: Наука, 1989

169. Джемилев Н.Х. //Известия АН СССР, сер.физическая, т.55, в.12, с. 2418

170. Дорожкин A.A., Коварский А.П., Ли-Фату A.B. // Письма в ЖТФ. 1992. Т.18. №19 С.86

171. Список публикаций по теме диссертации

172. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов "Структура материала и масс спектр вторичных ионов", Вакуумная техника и технология, т.З, N 1, 1993, с.40 - 43

173. А.А.Дорожкин, С.Г.Ершов, А.В.Филимонов "Энергетические спектр вторичных ионов при возбуждении поверхностной фото ЭДС", Извести РАН, серия физическая, т.58, ТЗ, 1994, с.68-71

174. А.А.Дорожкин, С.Г.Ершов, А.В.Филимонов, Н.Н.Петров "Энергетически спектры вторично электронной и вторично - ионной эмиссии при изменени работы выхода путем адсорбции", Журнал технической физики, т.64, N 12 1994, с.132- 136

175. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов, С.И.Андреев, Н.Н.Петров "Спектры оже электронов при ионной бомбардировке твердых тел", Физика твердого тела т.38, N 2, 1996, с.630 634

176. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов, А.П.Коварский "Двухзарядные ионы в масс спектрах вторично ионной эмиссии", Журнал технической физики, т.66, N 1 1996, с.195- 198

177. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов, Н.Н.Петров

178. Структура материала и дифференциальные характеристики вторично ионной и ионно электронной эмиссии", Журнал технической физики, т.66 N5, 1996, с.185 - 190

179. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов, А.П.Коварский, Ю.В.Кудрявцев, Н.Н.Петро "Особенности анализа слоистых структур с использованием ионног распыления", Журнал технической физики, т.67, N9, 1997, с.120 122

180. А.В.Филимонов, Н.Н.Петров, Е.Ю.Королева, В.В.Кораблев "Механиз эмиссии двухзарядных ионов", Известия РАН, серия физическая, т.70, N4, / печати/1. SS

181. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов. Структура материала и спектры вторичны ионов. XI Международная конференция "Взаимодействие ионов поверхностью", 7-11 сентября 1993г., Москва, т.2, с. 19 22

182. С.Г.Ершов, А.В.Филимонов. Влияние Фото-ЭДС на энергоспектры вторичны ионов. XI Международная конференция "Взаимодействие ионов поверхностью", 7-11 сентября 1993г., Москва, т.2, с.25 28

183. А.А.Дорожкин, С.А.Андреев, Н.Н.Петров, А.В.Филимонов. Оже спектры пр ионном и электронном облучении алюминия, подвергнутого пластическо деформации. XXII Всероссийская конференция по эмиссионной электронике январь 1994г., Москва, т.З, с. 180 - 182

184. С.Г.Ершов, Т.П.Ершова, А.В.Филимонов, А.Ф.Иванков. Исследовани механизма квазиупругого отражения медленных электронов о полупроводников. XXII Всероссийская конференция по эмиссионно электронике, январь 1994г., Москва, т.2, с.154 156

185. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов, А.П.Коварский, Н.Н.Петров "Особенност анализа слоистых структур с использованием ионного распыления", Труд XII Международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью" 5-8 сентября 1995г., Москва, т.1, с.229 233

186. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов "Двухзарядные ионы в масс спектра вторично - ионной эмиссии", Труды XII Международной конференци "Взаимодействие ионов с поверхностью", 5-8 сентября 1995г., Москва, т.1 с.259 - 263

187. А.В.Филимонов "Анализ слоистых структур при ионной бомбардировке" Тезисы Всероссийского Форума "Интеллектуальный потенциал России в XX век",22 24 ноября 1995 г, с.40 - 41.

188. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов "Применение метода ВИМС для анализ экологических систем", Сб.трудов Международного экологического форум стран Балтийского региона "Экобалтика XXI век", Санкт - Петербург, 23-2 октября 1996 г.

189. A.B.Филимонов "Анализ слоистых структур при ионной бомбардировке Тезисы Форума "Интеллектуальный потенциал России в XXI век". Санкт Петербург, 9-11 ноября 1996 г.

190. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов, Н.Н.Петров "Структура материала и эмисси оже электронов при ионном облучении", Труды XIII Международно конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью", 1-5 сентября 1997г. Москва, т.2, с.28 - 31

191. А.А.Дорожкин, А.В.Филимонов, Е.Ю.Королева, Н.Н.Петров "Особенност вторично ионной эмиссии при изменении электронной работы выхода" Труды XIII Международной конференции "Взаимодействие ионов поверхностью", 1-5 сентября 1997г., Москва, т.1, с.279 - 282

192. А.В.Филимонов, Н.Н.Петров "Механизм эмиссии двухзарядных ионов пр облучении материалов ионами Ar и 02+ ".

193. Тезисы доклада. XVIII Международная конференция по физик взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, 25 27 Ма 1998г. МГУ), Москва, 1998

194. A.B.Филимонов, С.Г.Ершов, Е.Ю.Королева "Исследование температурно зависимости квазиупругого отражения медленных электронов от п полупроводника".

195. Тезисы докладов. Всероссийская межвузовская научно техническа конференция «Информатика и микроэлектроника - 98». Москва, 1998г, с.47

196. А.В.Филимонов, Н.Н.Петров "Эмиссия оже электронов при ионно возбуждении и структура твердого тела", Труды VIII Международног семинара "Диагностика поверхности ионными пучками", 25 - 29 август 1998г., Ужгород, Украина, с. 159-160

197. А.В.Филимонов "Дифференциальные характеристики вторично ионной ионно - электронной эмиссии и структура материала". Итоговый Семинар п физике и астрономии победителей конкурса грантов для молодых учены Санкт - Петербурга. СПб, 1998, с.42-45

198. А.В.Филимонов, Е.Ю.Королева, Н.Н.Петров "Механизм эмисси двухзарядных ионов", Труды XIV Международной конференци "Взаимодействие ионов с поверхностью", 30 августа-3 сентября 1999г. Москва, т. 1,с.278-281

199. А.В.Филимонов, Н.Н.Петров. Эмиссия оже электронов при ионно возбуждении и макроскопически неоднородная структура твердого тела Труды II Республиканской конференции по физической электронике, 3-ноября 1999г., Узбекистан, Ташкент

200. A.B.Филимонов, Н.Н.Петров. Механизм эмиссии двухзарядных ионов пр облучении материалов ионами аргона и кислорода. Труды II Республиканско конференции по физической электронике, 3-5 ноября 1999г., Узбекистан Ташкент

201. A.A.Dorozhkin, A.P.Kovarsky, A.V.Filimonov In depth analysis of the anodi oxide films on the metals. 3-d Europan workshop on modern developments an applications in microbeam analysis (EMAS-93).Rimini, Italy, 1993.

202. A.A.Dorozhkin, A.V.Filimonov. The structure of solid surface and differentia characteristics of the secondary emission phenomena. Tenth Interdisciplinar Surface Science Conference (ISSC-10), 28-31 March, University of Liverpool, UK 1994

203. A.A.Dorozhkin, A.V.Filimonov. Material structure and secondary emissio property of the substance. Deauville Conference (ISM'94), May 16-20, Montreux Switzerland, 1994

204. A.A.Dorozhkin, A.V.Filimonov, S.A.Andreev. Auger-spectra by ion excitation an electron structure of solid. International Workshop on Auger Spectrockopy an Electron Structure (IWASESIII), 4-8 September, University of Liverpool, UK 1994.

205. AES MULTIPLEX P~C 3/11/94 EL»Yi REG 1 AREA 1 ACQ TIME-0.8Q MlN. FILE: PO180 Y

206. SCALE FACTOR, OFFSET-67.138, 259.777 k COUNTS/SEC BV«3.00kV BI«=O.OOOOuA

207. AES MULTIPLEX V/F 2/24/94 EL«=Bel REG 1 AREA 1 ACQ TIME« 1.40 MIN. FILE: po!62 Be untreated

208. SCALE FACTOR. OFFSET«122.165, 0.000 к COUNTS/SEC BV-3.00kV BI»0.0000uA

209. AES MULTIPLEX P-C 3/31/94 EL»Ti REG 1 AREA 1 ACQ TIME-3.88 HÎN.1. FILE: P01S3 Ti

210. SCALE FACTOR, OFFSET»3164.998, 490,634 К COUNTS/SEC 3V-3.00KV 81-0.OOOOUA150 17.5 20*0 22*5 25.0 27 tS 30.0 32.5 35.0 37.5 40.01. KINETIC ¿NEHGY» eV

211. AES MULTIPLEX P-C 3/11/94 EL«Lal REG 1 AREA 1 ACQ TIME-17.12 MlN. FILE: pol86 LaB6

212. SCALE FACTOR. OFFSET«!.401, 144.219 k COUNTS/SEC BV«3.00kV BI«0.0000uA

213. AES MULTIPLEX V/F 4/8/94 EL«Ti REG 1 AREA 1 ACQ TIME-0.52 MIN. FILE: pol99 Ti

214. SCALE FACTOR. 0FFSET»39.960, 0.000 k COUNTS/SEC BV-*3.00kV BI»0.0000uA150 17.5 20.0 22.5 25.0 27.5 30.0 32.5 35.0 37.5 40.1. KINETIC ENERGY, eV

215. AES MULTIPLEX P-C 3/8/94 EL-Cu RE& 1 AREA 1 ACQ TIM£*4.25 WIN.

216. FILE: poI63 Bronze (BE, Al, Cu)

217. SCALE FACTOR. 0FFSET«206,294, 270.634 k COUNTS/SEC BV-3.00kV BI-O.OOOOuA20,0 37*0 54.0 71.0 88.0 105,0 122.0 139.0 156.0 173.0 190.01. KINETIC ENERGY. eV10 9 8

218. AES MULTIPLEX P»C 3/31/94 £L~Se RES i AREA 1 ACQ TIME-21.63 HIN FILE: po!94 6e

219. SCALE FACTOR, OFFSET-109.584, 121.458 k COUNTS/SEC7 ti •4.iii 5 i4*