Моделирование оптических свойств реальных просветляющих покрытий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат технических наук Абзалова, Гузель Ильдусовна

• Абзалова, Гузель Ильдусовна
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Абзалова, Гузель Ильдусовна

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ ТЕОРЕТИЧЕСКОГО РАСЧЕТА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ.

1.1. Расчет оптических свойств многослойных пленок с заданной конструкцией.

1.2. Учет дисперсии диэлектрической функции.

1.3. Синтез пленок с заданными оптическими свойствами.

Выводы.

ГЛАВА 2 УЧЕТ ШЕРОХОВАТОСТЕЙ ГРАНИЦ МНОГОСЛОЙНЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ.

2.1. Модель учета поверхностных потерь.

2.2 Модель флуктуирующей толщины слоя.

2.2 Алгоритм учета флуктуаций толщины слоев без приближений.

2.3 Модель описания шероховатости поверхности слоя.

2.4 Влияние шероховатости границ на просветляющие покрытия.

2.5 Влияние угла падения излучения на поверхность оптической детали.

Вывод.

ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ АНИЗОТРОПИИ СЛОЕВ ПОКРЫТИЯ НА ЕГО

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА.

3.1 Общий алгоритм учета анизотропии в слоях.

3.2 Реальная структура пленок и ее связь с анизотропией.

3.3 Влияние пористости пленок на оптические свойства просветляющих покрытий. .119 Выводы.

ГЛАВА 4. ОЦЕНКА ОПТИЧЕСКОГО КАЧЕСТВА ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ

ПОКРЫТИЙ.

4.1 Расчет структуры просветляющих покрытий.

4.2. Влияние шероховатости поверхностей слоев на оптические свойства просветляющих покрытий.

4.3. Влияние сферичности поверхностей оптических элементов на просветление.

4.4. Экспериментальная проверка разработанных алгоритмов расчета.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Моделирование оптических свойств реальных просветляющих покрытий»

В современном оптическом приборостроении одной из наиболее актуальных задач является разработка просветляющих покрытий. При достаточно большом числе элементов в оптической системе, ее прозрачность в значительной мере снижается из-за потерь излучения на отражение от поверхностей отдельных элементов, что естественным образом отражается на рабочих характеристиках прибора. Для уменьшения потерь излучения в оптической системе все рабочие поверхности просветляются, что позволяет снизить потери до очень малых величин. Теоретически - это нуль или близкая к нулю величина. Практически, получение очень малых коэффициентов отражения не выполняется. Обычно это связывается с неточностью воспроизведения показателей преломления слоев и ошибками в их оптической толщине, допущенными в процессе изготовления. Кроме того, даже теоретическое получение нулевого отражения возможно только в отдельных спектральных тод-ках из всей рабочей спектральной области. Поэтому в последние годы при разработке просветляющих покрытий на оптические детали современных приборов обычно рассматривается задача ахроматического просветления для широких спектральных областей. Получение ахроматического просветления требует использования многослойных интерференционных покрытий, и чем шире рабочая область спектра, тем большее число слоев используется для получения просветляющих покрытий. С теоретической точки зрения число не поглощающих слоев в интерференционной системе не является ограничением. Практически же оказывается, что увеличение числа слоев в просветляющем покрытии приводит к необъяснимым потерям излучения и качество просветления заметно снижается. При этом практически всегда не удается связать появление потерь с ошибками в толщине слоев или с отличием реального показателя преломления слоя от значения, характерного для данного материала. Этот эффект требует специального изучения.

Все теоретические разработки просветляющих интерференционных покрытий, известные в литературе базируются на допущении идеально ровных поверхностей подложки и пленок, полном отсутствии поглощения в подложке и пленках и однородности пленок. Реальные оптические поверхности всегда имеют некоторую шероховатость, что выражается в появлении рассеянного на поверхности излучения. Рассеяние излучения на поверхности является потерями, которые необходимо учитывать в полном балансе излучения. Поверхности пленок также имеют шероховатость, т.е. и на этих поверхностях присутствуют потери. Объем пленок содержит поры, что проявляется в появлении полос поглощения, характерных для воды адсорбированной в порах и является причиной, по которой происходит уменьшение среднего значения показателя преломления пленки и появления его флуктуаций. Таким образом, все сделанные допущения, используемые при проведении теоретических расчетах, оказываются выполненными только приближенно. То обстоятельство, что расчетные спектральные характеристики интерференционных покрытий в целом хорошо совпадают с экспериментом, говорит о правильности этого приближения. Очевидно, что все названные нами дополнительные факторы достаточно малы. В тоже время, достижение предельно возможных значений пропускания и отражения света интерференционным покрытием может ограничиваться именно сделанными допущениями. Просветляющие покрытия являются именно таким примером, поэтому полезно рассмотреть ситуацию просветления несколько подробнее.

В настоящей работе рассматриваются истинные причины, по которым просветление может оказаться недостаточно эффективным, даже при полном отсутствии ошибок в толщине отдельных слоев и правильном выборе их показателей преломления.

В настоящей работе подробно рассматриваются поправки, связанные с влиянием указанных выше факторов. Основной целью работы было создание алгоритмов расчета оптических свойств многослойных интерференционных покрытий с учетом неровности всех поверхностей, учетом пористости структуры пленок и оценки потерь излучения на рассеяние. Для решения этой основной задачи были детально проанализированы известные методы расчета оптических свойств интерференционных покрытий и определены методы учета поправок на не идеальность поверхностей и методы учета пористости пленок, составляющих данное интерференционное покрытие. В известной литературе возможность появления потерь на рассеяние излучения на шероховатых поверхностях рассматривается как простое возмущение на поверхностях покрытия, но при этом в построении функции рассеяния практически не участвуют флуктуации толщины отдельных слоев покрытия, т.е. фазовые флуктуации, хотя по общей логике если поверхности слоев шероховаты, то флуктуации толщины неизбежны. Разработанные новые методы расчета интерференционных покрытий показали, что флуктуации фазы за счет флук-. туаций оптической толщины отдельных слоев оказываются чрезвычайно важным элементом.

Научная новизна работы может быть сформулирована следующими предложениями:

1. Впервые разработан алгоритм описания оптических свойств многослойных интерференционных пленок имеющих границы со случайными неровностями, приводящими к случайным флуктуациям толщины отдельных слоев.

2. Впервые выявлено теоретическим расчетом появление потерь на рассеяние проходящего через интерференционное покрытие излучения.

3. Последовательно проведен учет влияния пористости пленок на их оптические свойства.

4. Получен общий алгоритм, допускающий описание дисперсии показателя преломления материала пленок, удобный для включения в полную схему расчета оптических свойств.

5. Разработаны программы расчета оптических свойств многослойных интерференционных покрытий с учетом неровности границ слоев и их пористости.

6. Впервые показано, что интенсивность излучения на выходе из интерференционного просветляющего покрытия может быть малой и возрастать до своего постоянного максимального значения на расстояниях в доли световой волны.

Практическая значимость работы заключается в приближении теоретических методов анализа покрытия к нуждам экспериментаторов, так как разработанные программы позволяют учитывать появление потерь на рассеяние, что ранее представлялось только неуправляемым экспериментальным фактом.

Диссертация состоит из четырех глав. В первой главе проведен анализ существующих теоретических аспектов расчета оптических свойств интерференционных покрытий. В этой же главе рассмотрено состояние электромагнитного поля внутри покрытия и выявлена переходная стадия изменения поля за выходной границей покрытия. Вторая глава посвящена разработке алгоритма учета шероховатости поверхностей и подложки на оптические свойства интерференционного покрытия. Рассмотрено появление потерь излучения на рассеяние при статистически неровных поверхностях слоев и подложки. Третья глава описывает свойства интерференционных пленок имеющих пористую структуру. При этом учтено различие открытой и закрытой пористости, заключающееся в том, что открытая пористость сорбирует воду из окружающей атмосферы, что приводит, в конечном итоге, к нестабильности покрытия и его зависимости от влажности окружающей атмосферы, а закрытая пористость остается стабильной. В четвертой главе рассмотрено проектирование просветляющих покрытий для оптических деталей биноклей и изменение их свойств за счет не идеальности всех получаемых поверхностей.

Научные положения, выносимые на защиту:

- Метод расчета оптических свойств интерференционных пленок со статистически неровными границами раздела и флуктуирующей толщиной, что позволяет наряду с коэффициентами отражения и пропускания получить теоретическое значение коэффициента рассеяния падающего излучения.

- Метод расчета оптических свойств пористых пленок, что позволяет уже на стадии теоретической разработки конкретных покрытий представлять их оптические характеристики, зависящие от влажности окружающей атмосферы.

- Метод учета дисперсии показателей преломления многослойных интерференционных покрытий, что позволяет заранее представить оптические характеристики покрытия, работающего в широких спектральных областях.

Основные теоретические работы выполнены автором совместно с И.С. Гайнутдиновым, Е.А. Несмеловым и А.В. Михайловым, которым автор очень благодарен за помощь и содействие. При разработке программ для расчета интерференционных покрытий с учетом разработанных алгоритмов большую помощь оказали Р.Г. Сафин и М.Х. Азаматов. Экспериментальную проверку разработанных алгоритмов автор выполнял совместно с Р. С. Сабировым, Р.Д. Алиакберовым, Р.Г. Сафиным, М.Х. Азаматовым и другими сотрудниками лаборатории. Всем им автор приносит глубокую благодарность за благожелательность, помощь и содействие.

Заключение диссертации по теме «Технология приборостроения», Абзалова, Гузель Ильдусовна

Выводы

Показано, что оптические свойства просветляющего покрытия на сферической поверхности эквивалентны свойствам покрытия на плоской поверхности в сходящемся пучке излучения.

Рассчитаны и изготовлены просветляющие покрытия для оптических деталей современного бинокля, не дающие цветовых искажений наблюдаемого изображения и имеющие минимальные потери излучения на рассеяние.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.

В результате выполнения данной работы были получены следующие основные результаты:

- Проанализированы существующие методы расчета интерференционных покрытий. Выявлено, что все расчеты базируются на представлении идеально ровных границ однородных слоев и подложки. Существующие попытки выйти за границы этого приближения сводятся, либо к учету рассеяния на этих границах, либо к введению дополнительных эффективных слоев, описывающих потери на рассеяние на этих границах. Этого недостаточно для полного описания оптических свойств систем интерференционных пленок. Необходимо обратить внимание дополнительно на флуктуации фазы волны, проходящей через слой с неровными границами. Поэтому были разработаны:

1 - новый алгоритм, позволяющий учитывать влияние дисперсии показателя преломления слоев интерференционного покрытия на его оптические свойства, что важно при работе покрытия в широких спектральных областях;

2 - новый алгоритм, позволяющий учитывать статистическую шероховатость поверхностей слоев и подложки, что дало возможность предсказывать на стадии теоретического расчета покрытия потери на рассеяние;

3 - новый алгоритм, позволяющий учитывать влияние пористости каждого слоя и адсорбции атмосферной воды в порах на оптические свойства интерференционного покрытия;

4 - на основе разработанных алгоритмов разработаны программы расчета интерференционных покрытий, позволяющие на стадии теоретического проектирования покрытия представить его реальные свойства и возможные потери излучения;

5 - показано, что оптические свойства интерференционного покрытия на неплоской поверхности оптической детали сводятся к оптическим свойствам покрытия на плоской поверхности в сходящемся (расходящемся) пучке излучения, сто для случая ахроматического просветления приводит к сужению рабочей спектральной области.

- Проанализирован расчет интенсивности излучения внутри слоя и впервые обращено внимание на тот факт, что интенсивность излучения на выходе из интерференционной системы должна изменятся от значения на границе до некоторого постоянного значения, определяемого пропусканием интерференционного покрытия и свойствами среды подложки. Интенсивность на выходе из интерференционной системы может быть меньше постоянного действующего значения, что желательно учитывать при проектировании просветляющих покрытий для лазерной оптики.

- Проанализировано решение задачи синтеза интерференционных покрытий с заданными оптическими свойствами. Проведен синтез просветляющих покрытий для видимой и инфракрасной областей спектра и проанализировано изменение оптических свойств синтезированных покрытий при учете шероховатости поверхностей слоев и подложки и учете открытой пористости с адсорбированной водой.

Все разработанные алгоритмы проверены и подтверждены экспериментальными измерениями на одиночных пленках и ахроматических просветляющих покрытиях.

Разработано новое ахроматическое просветление оптических деталей бинокля, позволяющее снизить потери излучения, по сравнению серийными просветляющими покрытиями, и при этом уменьшить цветовые искажения за счет более высокой ахроматичности.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Абзалова, Гузель Ильдусовна, 2005 год

1. Розенберг Г.В. Оптика тонкослойных покрытий. М., Физматгиз, 1958, 547 стр.

2. Macleod Н.А. Thin-film optical filters. London: Adam Hilger LTD, 1969, 332 p.

3. Борн M., Вольф Э. Основы оптики. M., Наука, 1973, 719 стр.

4. Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М., Наука, 1973, 343 стр.

5. Крылова Т.А. Интерференционные покрытия. Л., Машиностроение, 1973, 224 стр.

6. Knittl Z. Optics of thin films. N.-Y. Willey, 1976, 548 p.

7. Abeles F. Investigations on the propagation of sinusoidal electromagnetic waves in stratified media. // Ann. Phys. 1950, V. 5, N 6, p. 596-640

8. Abeles F. The propagation of electromagnetic waves in stratified media. // Ann. Phys. 1948, V. 3, N 4, p. 504-520

9. Caballero D.L. A theoretical development of exact solution of reflectanse of multiple layer optical coatings. // JOS A, 1947, V. 37, N 3, p. 176-180

10. Кард П.Г. Анализ и синтез многослойных интерференционных пленок. Таллин, Валгус, 1971, 236 стр.

11. Телен А. Конструирование многослойных интерференционных светофильтров. // Физика тонких пленок. Пер. с англ., под ред. В.Б Сандомирского и А.Г. Ждана. М., Мир, 1972, т.5, стр. 46-83.

12. Бриллюэн Л., Пароди М. Распространение волн в периодических структурах. М., Изд. ин. лит., 1959, 457 стр.

13. Солимено С., Крозиньяни Б., Ди Порто П. Дифракция и волноводное распространение оптического излучения. М. Мир, 1989, 662 стр.

14. Власов А.Г. Отражение и пропускание света системой тонких пленок. // ОМП, 1946, № 2, стр. 11-16

15. Гребенщиков И.В., Власов А.Г., Непорент Б.С., Суйковская Н.В. Просветление оптики. M.-JL, Гостехиздат, 1946, 212 стр.

16. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Алиакберов Р.Д., Абзалова Г.И., Михайлов А.В. Просветление спектроделительных покрытий на основе легированной оловом окиси индия. //Оптический журнал, 2004, том 71, №10, стр. 66-68

17. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Сабиров Р.С., Михайлов А.В., Абзалова Г.И. Влияние фазы пропускания просветляющего покрытия на свойства оптических поверхностей. //Оптический журнал 2005, т. 72, № 3, стр. 42-44

18. Нокс Р. Теория экситонов. М. Мир, 1966, 219 стр.

19. Wemple S.H. Refractive-index behavior of amorphous semiconductors and glasses. // Phys.Rev.B 1973, V.7, No.8, p.3767-3777.

20. Smith D., Baumeister P. Refractive index of some oxide and fluoride coating materials. // Applied Optics, 1979, v. 18, No.l, p. 111 115.

21. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. М., Наука 1987, 431 стр.

22. Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. JL, Машиностроение, 1977, 264 стр.

23. Liddell Н.М. Computer-aided techniques for the design of multilayer filters. Bristol, Adam Hilger LTD, 1981, 194 p.

24. Бабе Г.Д., Гусев E.JI. Математические методы оптимизации интерференционных фильтров. Новосибирск, Наука, 1987,213 стр.

25. Яковлев П.П., Мешков Б.Б. Проектирование интерференционных покрытий. М., Машиностроение, 1987, 192 стр.

26. Тихонравов А.В. Синтез слоистых сред. М., Знание, 1987, 48 стр.

27. Thelen A. Design of optical interference coatings. McGraw-Hill Book Company, New York, 1989

28. Herpin A. Calcul du pouvoir reflecteur d'un systeme stratifie quelconque. // Comptes rendus de l'akademie des sciences, 1947, T. 225, N 3, p. 182-183

29. Pohlack H. Die synthese optischer interferenzschichtsysteme mit vorgegekenen spektraleigenschaften.//Jenaer Jahrbuch, 1952, s. 181-221.

30. Pegis R.J. An exact design method for multilayer dielectric films. // JOSA, 1961, V. 51, N11, p. 1255-1264

31. Delano E. Shortcut for Pegis's method of multilayer synthesis. //JOSA, 1967, V. 57, N1, p. 107-108.

32. Delano E. Fourier synthesis of multilayer filters. //JOSA, 1967, V. 57, N 12, p.1529-1533

33. Сосси Л. Новая теория синтеза интерференционных пленок. Автореферат диссертации канд. физ.-мат. наук. Тарту, 1979, 14 стр.

34. Dobrowolski J.A., Lowe D. Optical thin film synthesis program bused on the use of fourier transforms. // Appl. Opt. 1978, V. 17,

35. Dobrowolski J.A. Comparison of the fourier transform and flip-flop synthesis methods. // Appl. Opt. 1986, V. 25, N 12, p. 1966-1972

36. Несмелов E.A. Исследование оптических свойств многослойных интерференционных светоделителей. Автореферат диссертации канд. физ.-мат. наук. Минск, 1969, 17 стр.

37. Несмелов Е.А., Конюхов Г.П. К теории отрезающих интерференционных фильтров. // Оптика и спектроскопия, 1971, т. 31, вып. 1, стр. 133-137.

38. Марков Ю.Н., Несмелов Е.А., Никитин А.С., Гайнутдинов И.С. К теории полосовых интерференционных фильтров. // Оптика и спектроскопия, 1977, т. 43, вып. 5, стр. 984-989.

39. Марков Ю.Н., Несмелов Е.А., Никитин А.С., Гайнутдинов И.С. К вопросу оптимизации полосовых интерференционных фильтров. // ЖПС, 1980, т. 33, № 3, стр. 536-540

40. Марков Ю.Н. Аналитическое исследование и синтез полосовых интерференционных фильтров. Автореферат диссертации канд. физ.-мат. наук. Ленинград, 1983, 19 стр.

41. Baumeister P.W. Design of multilayer filters by successsive approximations.// JOSA 1958, v. 48, N 12, p. 955-958

42. Heavens O.S., Liddel H.M. Least squares method for the automatic design of multilayers. // Opt. Acta, 1968, v. 15, N 2, p. 129-138

43. Ермолаев A.M., Минков И.М., Власов А.Г. Метод расчета многослойного покрытия с заданными оптическими свойствами. // Оптика и спектроскопия, 1962, т. 13, вып. 2, стр. 259-265

44. Zycha Н. Refining algorithm for the design of multilayer filters. // Appl. Opt. 1973, v.12,N 5, p. 979-984

45. Минков И.М., Веремей B.B. К расчету тонкослойных покрытий с заданными оптическими свойствами. // Оптика и спектроскопия, 1974, т.37, вып. 5, стр. 998-1000

46. Тихонравов А.В., Климентьева А.Ю. О синтезе многослойных непогло-щающих покрытий. // ЖПС, 1973, т. 19, № 3 стр.566

47. Гласко В.Б., Тихонов А.Н., Тихонравов А.В. О синтезе многослойных покрытий. //ЖВМ и МФ, 1974, т. 14, № 1, стр. 135-144

48. Свешников А.Г., Тихонравов А.В., Яншин С.А. Некоторые задачи проектирования многослойных оптических покрытий. // Вестн. МГУ Сер. 3, Физика, астрономия. 1983, т. 24, № 4, стр. 3-7

49. Несмелов Е.А., Конюхов Г.П. Об одной методике конструирования тонкослойных интерференционных систем. //ЖПС, 1969, т. 10, № 4, стр.630-633

50. Красовский А.А. Стохастическая качественная теория поиска экстремума //ДАН СССР, 1991, т. 319, № 6, стр.1346-1348

51. Чичинадзе В.К. Решение невыпуклых задач оптимизации. М., Наука 1983, 256 с.

52. Банди Б. Методы оптимизации. Вводный курс. М., Радио и связь, 1988, 128 с.

53. Шатилов А.В., Тютикова Л.П. Пример расчета интерференционного светофильтра методом последовательного синтеза. // Оптика и спектроскопия, 1963, т. 14, вып. 3, стр. 426-429

54. Эльснер З.Н. К расчету многослойных интерференционных покрытий с заданной спектральной характеристикой. // Оптика и спектроскопия 1964, т. 17, вып. 3, стр. 446-450

55. Dobrowolski J.A. Completely automatic synthesis of optical thin film systems. // Appl. Opt. 1965, v. 4, N 8, p. 937-946

56. Фурман Ш.А. Синтез интерференционных покрытий. // Оптика и спектроскопия, 1984, т. 56, вып. 2, стр. 198-200

57. Свешников А.Г., Тихонравов А.В., Яншин С.А. Синтез оптических покрытий при наклонном падении света. // ЖВМ и МФ, 1983, т. 23, № 4, стр. 929-935

58. Минков И.М. Об определении глобального минимума в задаче синтеза тонкослойных покрытий. // Оптика и спектроскопия, 1981, т. 50, вып. 4, стр. 755-765

59. Tang J.F., Zheng Q. Automatic design of optical thin film systems merit function and numerical optimization method. // JOSA, 1982, v. 72, N 11, p. 15221528

60. Евтушенко Ю.Г. Численный метод поиска глобального экстремума функций (перебор по неравномерной сетке). // ЖВМ и МФ, 1971, т. 11, № 6, стр. 1390-1398

61. Кард П., Несмелов Е., Конюхов Г., Иванов В. Просветление трехслойным симметричным покрытием. //Известия АН Эстонской ССР, 1969, т. 18, N 2, стр. 186-192

62. Кард П., Несмелов Е., Конюхов Г. Теория четвертьволнового отрезающего фильтра. // Известия АН ЭССР, 1968, т. 17, №3, стр.314-323.

63. Thelen A., Tilsch M., Tikhonravov A., Trubetskov K., Brauneck U. Topical

64. Meeting on Optical Interference Coatings (01С2001): design contest results. //Appl. Opt, 2002, V. 41, N 16, p. 3022-3038

65. Dobrowolski J.A., Browning S., Jacobson M., Nadal M. Topical Meeting on Optical Interference Coatings (01С2001): manufacturing problem. //Appl. Opt, 2002, V. 41, N 16, p. 3039-3052

66. Monzon J.J., Yonte Т., Sanchez-Soto L.L. Basic factorization for multilayers. //

67. Optics letters, 2001, v. 26, N 6, p. 370-372

68. Lund P.B. Efficient use of the equivalent layer concept in planning induced transmission filters. //Applied Physics Series, 1976, No 111, p. 3-17

69. Вороновская E.B. Метод функционалов и его приложения. Ленинград, 1963, 181 стр.

70. Марков Ю.Н., Несмелов Е.А., Гайнутдинов И.С. Метод синтеза ахроматических просветляющих и светоделительных покрытий. // Оптика и спектроскопия, 1979, т. 46, вып. 1, стр. 158-161

71. Никитин А.С. Синтез неполяризующих интерференционных покрытий. Автореферат диссертации канд. физ.-мат. наук, Казань, 1990

72. Минков И.М. Синтез неоднородного слоя с заданными спектральнымихарактеристиками, // Оптика и спектроскопия 1977, т.43, вып. 1, стр. 178-180

73. Минков И.М., Веремей В.В., Горбунова Т.А. Наклонное падение света на слой с экспоненциально изменяющимся показателем преломления. //Оптика и спектроскопия 1977, т. 43, вып. 1, стр. 139-145

74. Ильичев Н.Н. Интерференционные поляризаторы на плоскопараллельных подложках. // Оптика и спектроскопия, 1979, т. 46, № 3, стр. 553-558

75. Маковский Ф.А. Стеклянный интерференционный поляризатор с малыми потерями. //ЖТФ, 1954, т. 24, №10, стр.1859-1863.

76. Никитин А.С., Несмелов Е.А., Марков Ю.Н., Гайнутдинов И.С. К теории диэлектрических изотропных зеркал. //Оптика и спектроскопия, 1980, т. 48, вып. 2, стр. 376-381

77. Борисов А.Н. Зеркала с малыми потерями и управляемой фазовой анизотропией. Автореферат диссертации канд. техн. наук, Санкт-Петербург, 1995

78. Соболева Н.Н., Несмелов Е.А., Матшина Н.П., Конюхов Г.П. Влияние сходимости падающего пучка излучения на значения спектральных характеристик интерференционных покрытий. //ЖПС, 1990, т. 53, вып. 4, стр. 606611.

79. Алексеев Ю.К., Пирогов Ю.А. Коэффициенты отражения и прохождения гауссовой волны, падающей на плоскослоистую структуру. //ЖТФ, 1983, т. 53, вып. 4, стр. 616-619.

80. Конюхов Г.П., Несмелов Е.А., Тагиров Р.Б. Узкополосные фильтры для сходящегося пучка излучения. //Оптика и спектроскопия, 1983, т. 55, вып. 4, стр. 757-760.

81. Joannopoulos J.D., Meade R.D., Winn J.N. Photonic Crystals: molding the flow of light. Princeton University Press, Princeton, 1995

82. Chigrin D.N., Lavrinenko A.V., Yarotsky D.A., Gaponenko S.V. Observation of total omnidirectional reflection from a one-dimensional dielectric lattice. //Appl. Phys. A 1999, v. 68, p.25-28

83. Нефедов Е.И., Сивов А.Н. Электродинамика периодических структур. М., Наука, 1977, 208 стр.

84. Курушин Е.П., Нефедов Е.И. Электродинамика анизотропных волнове-дущих структур. М., Наука, 1983, 223 стр.

85. Кокс Дж., Хасс Г. // Физика тонких пленок. Том 2. Под общей редакцией Г.Хасса и Р.Э.Туна, М. Мир, 1967

86. Сосси Л., Кард П. К теории отражения и пропускания света тонким неоднородным диэлектрическим слоем. //Известия АН ЭССР, 1968, т. 17, № 1, стр.41-48

87. Сосси Л., Кард П. О распространении света в тонком неоднородном диэлектрическом слое. //Известия АН ЭССР, 1972, Т. 21, № 2, стр. 155-162

88. Гантмахер Ф.Р., Теория матриц., М. Наука, 1988

89. Ахманов С.А., Выслоух В.А., Чиркин А.С. Оптика фемтосекундных лазерных импульсов. М., Наука, 1988, 310 стр.

90. Топорец А.С. Оптика шероховатой поверхности. JL, Машиностроение, 1988, 191 стр.

91. Исимару А., Распространение и рассеяние волн в случайно-неоднородных средах, т.1, 2, М. Мир, 1981

92. Рожнов Г.В. Дифракция электромагнитных волн на неровных границах раздела слоисто-неоднородных одноосно-анизотропных сред. //ЖЭТФ, 1993, Т. 104, вып. 5(11), стр. 3584-3602.

93. Силин В.П. К вопросу об оптических постоянных проводников. // ЖЭТФ, 1959, т. 36, вып. 5, стр. 1443-1450.

94. Ван Си-фу, Силин В.П., Фетисов Е.П. Об оптических свойствах металлических пленок в области аномального скин-эффекта. // Оптика и спектроскопия, 1959, т. 7, вып 4, стр. 547-551

95. Силин В.П., Рухадзе А.А. Электромагнитные свойства плазмы и плаз-моподобных сред. М., Атомиздат, 1961, 244 стр.

96. Троицкий Ю.В. Многолучевые интерферометры отраженного света. Новосибирск, Наука, 1985, 207 стр.

97. Троицкий Ю.В. Проводящая поверхность как модель для описания потерь на границах слоев диэлектрического многослойника.// Оптика и спектроскопия, 1988, т. 64, вып.1, с. 140-146

98. Жук Н.П., Третьяков О.А., Яровой А.Г. Статистическая теория возмущений для электромагнитного поля в среде с неровной границей. // ЖЭТФ, 1990, т. 98, № 5, стр. 1520-1530

99. Рожнов Г.В. Нелокальный тензор эффективной диэлектрической проницаемости шероховатой границы раздела однородных изотропных сред. //ЖЭТФ, 1990, т. 98, № 5} СТр. 1737-1747

100. Рожнов Г.В. Электродинамика оптически тонких переходных слоев резонансных слоисто-неоднородных сред. // ЖЭТФ, 1993, т. 103, № 3, стр. 740757

101. Carniglia С.К., Jensen D.G. Single-layer model for surface roughness. //Appl. Opt. 2002, V. 41, N. 16, p. 3167-3171

102. Кросиньяни Б., Ди Порто П., Бертолотти М. Статистические свойства рассеянного света. М. Наука, 1980, 206 стр.

103. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Сабиров Р.С., Мустаев P.M., Абзалова Г.И., Михайлов А.В. Влияние флуктуаций оптической толщины слоев на характеристики просветляющих покрытий. // Оптический журнал 2004, т. 71, № 1, стр. 62-67

104. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Сабиров Р.С., Абзалова Г.И., Михайлов А.В. Снижение предельных характеристик просветляющих покрытий за счет флуктуаций толщины слоев. // Оптический журнал 2004, т. 71, № 4, стр. 39-42

105. Бушуев В.А., Козак В.В. Эволюция корреляции межслойных шероховатостей в процессе формирования многослойных структур. //Письма в ЖТФ, 1996, т.22, вып. 19, стр.29-33.

106. Александров Л.Н., Бочкова Р.В., Коган А.Н., Тихонова Н.П. Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло. Новосибирск, Наука, 1991, 167 стр.

107. Панасенко Б.В., Гусев А.Г., Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Тагиров Р.Б. Расчет оптических постоянных тонких пленок с учетом шероховатости поверхности и ширины спектра зондирующего излучения. //ЖПС, 1980, т. 32, вып.4, стр. 681-683.

108. Чандрасекар С. Стохастические проблемы в физике и астрономии. М. Издатинлит, 1947, 168 стр.

109. Базаров И.П., Геворкян Э.В., Николаев П.Н. Неравновесная термодинамика и физическая кинетика. Москва, МГУ, 1989, 240 стр.

110. Neugebauer С.А. Конденсация, образование зародышей и рост тонких пленок. //Технология тонких пленок, под ред. Л. Майссела и Р. Гленга, т. 2, М. Советское радио, 1977, стр 9-56

111. Панасенко Б.В. Исследование влияния сорбции атмосферной влаги на оптические свойства тонких диэлектрических пленок и многослойных интерференционных систем. Автореферат диссертации кандидата физ.-мат наук, Казань, 1984, 26 стр.

112. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Михайлов А.В., Иванов В.П., Абзало-ва Г.И. Свойства и методы получения интерференционных покрытий для оптического приборостроения. Казань, ФЭН, 2003, 423 стр.

113. Басс Ф.Г., Фукс И.М. Рассеяние волн на статистически неровной поверхности. М. Наука 1972.

114. Беннет X., Беннет Д. Физика тонких пленок. Т.4, стр.7, И. мир, 1970.

115. Bennett Н. Opt. Eng. 1978, v. 17, N 5, р.480

116. Мазуренко М.Н., Скрелин А.Л., Топорец А.С. Фотометрический метод определения шероховатости непрозрачной поверхности. // ОМП.-1979.- №11. с.1.

117. Дмитрук Н.Л., Литовченко В.Г., Стрижевский В.Л. Поверхностные по-ляритоны в полупроводниках и диэлектриках. Киев, Наукова думка, 1989, 375 стр.

118. Несмелов Е.А., Борисов А.Н., Никитин А.С., Гайнутдинов И.С. Влияние структуры слоев интерференционного покрытия на его оптические свойства. //Оптический журнал 1996, вып. 11, стр. 29-32

119. Dirks A.G., Leamy HJ. Columnar microstructure in vapor-deposited thin films. //Thin Solid Films. 1977.-V.47.-N 3.-P.219-233

120. Фёдоров Ф.И. Оптика анизотропных сред, Минск; Изд. АН БССР, 1958, -380 с.

121. Фёдоров Ф.И. Теория упругих волн в кристаллах, М.; Наука, 1965, -386 с.

122. Фёдоров Ф.И., Барковский A.M., Борзов Г.И. Тензорное дисперсионное уравнение.// ДАН БССР.- 1982.- Т.26, вып.8, С. 684-687

123. Константинова А.Ф., Лонский Э.С. Прохождение света через пластинку из одноосного кристалла при наклонном падении .// Кристаллография.-1977.-Т. 22,вып.1, С. 14-2

124. Минков И.М., Веремей В.В. Матричный метод в эллипсометрических расчетах.// Современные проблемы эллипсометрии., Новосибирск; Наука, 1980,-с. 99-106

125. Первеев А.Ф., Муранова Г.А., Золотарев В.М. Спектроскопический метод определения сорбционной способности и пористости тонких пленок твердых веществ. // ФТТ, 1972, Т. 14, № 10, стр. 2909-2911

126. Первеев А.Ф., Муранова Г.А. Пористость тонких слоев, полученных в вакууме. // ОМП, 1973, № 2, стр.73-74

127. Муранова Г.А. Исследование микропористости тонких пленок и ее влияние на оптические характеристики одиночных слоев и многослойных интерференционных систем. Дисс. Канд. техн. наук, Ленинград, ГОИ, 1975

128. Золотарев В.М., Морозов В.Н., Смирнова Е.В. Оптические постоянные природных и технических сред. Ленинград, Химия, 1984

129. Золотарев В.М., Пушкин Ю.Д., Пейсахсон И.В. Многоцелевые приставки МНПВО к спектрофотометрам. // ПТЭ, 1970, № 5, стр.176

130. Гийон Э., Митеску К.Д., Юлен Ж.-П., Ру С. Фракталы и перколяция в пористой среде.//УФН, 1991, т. 161, № 10, стр. 121-128

131. Jensen T.R., Warren J., Johnson R.L. Jr. Ion-assisted deposition of moisture-stable hafnium oxide films for ultraviolet applications/ // Appl. Opt. 2002, V. 41, No. 16, p. 3205-3210

132. Черемской П.Г., Слезов B.B., Бетехтин В.И. Поры в твердом теле. М. Энергоатомиздат, 1990, 375 стр.

133. Гайнутдинов И.С., Гусев А.Г. и др. Двухдиапазонное просветление оптических элементов для тепловизионных приборов. //Оптический журнал 2002, т. 69, № 4, стр. 64-66

134. Суйковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок. Д., Химия, 1971, 200 стр.

135. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Алиакберов Р.Д., Михайлов А.В., Аб-залова Г.И. Стабилизация оптических параметров фильтров на основе аморфного кремния. // Оптический журнал 2004, т. 71, № 12, стр. 48-53.

136. Тимофеева Н.Ф. Исследование оптических поверхностных свойств стекла. // ЖЭТФ 1936, т. 6, стр. 71-81

137. Kintaka К., Nishii J., Mizutani A., Kikuta Н., Nakano Н. Antireflection mi-crostructures fabricated upon fluorine-doped БЮг films. //Optics Letters 2001, v. 26, No. 21, p. 1642-1644

138. Ллойд Дж. Системы тепловидения. М., Мир, 1978, 414 с.

139. Pulker Н. Appl.Opt.,1979, v.18, № 12, р.1969-1977

140. Матшина Н.П., Несмелов Е.А. и др. О математическом моделировании метода оптического контроля толщин слоев при создании интерференционных покрытий. Депонировано в орг. п/я А-1420, 1982, № ДР0767

141. Матшина Н.П., Несмелов Е.А. и др. Моделирование метода оптического контроля толщин слоев интерференционного покрытия с учетом потерь на поглощение. Депонировано в ВИНИТИ, № 4340-83

142. Хусу А.П., Витенберг Ю.Г., Пальмов В.А. Шероховатость поверхностей. Теоретико-вероятностный подход. М., Наука, 1975, 343 стр.

143. Кучин А.А., Обрадович К.А. Оптические приборы для измерения шероховатости поверхности. Л. Машиностроение, 1981,197 стр.

144. Борисов А.Н., Гайнутдинов И.С., Панасенко Б.В., Карпюк Г.М. Рассеяние излучения многослойными интерференционными покрытиями // Аналитический обзор за 1975-1988гг. № 5142, Москва, 1990, с.3-26.

145. Хакимов Х.Ш., Гайнутдинов И.С. Фотометр для измерения малых величин обратного рассеяния лазерного излучения. Деп. рукопись. М. НИИЭИР, №3-5851, 1979.

146. Гайнутдинов И.С., Несмелов Е.А., Хайбуллин И.Б. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения. Казань, ФЭН, 2002, 591 стр.