Модели и методы параметрической оптимизации циклического кулонометрического измерителя микровлажности газов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Ильина, Ирина Львовна

• Ильина, Ирина Львовна
• кандидат технических наук
• 2002

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ильина, Ирина Львовна

Введение

1. Глава 1. Обоснование выбора метода измерения и постановка задачи исследования

1.1. Анализ методов измерения микроконцентраций влажности газов

1.2. Обоснование выбора циклического кулонометрического метода измерения

1.3. Обоснование выбора модели входного сигнала

1.4. Постановка задачи исследования

2. Глава 2. Математическая модель статической характеристики циклического кулонометрического гигрометра

2.1. Вывод уравнения зависимости тока электролиза от времени для плоского чувствительного элемента

2.2. Уравнение статической характеристики для плоского чувствительного элемента

2.3. Уравнение статической характеристики для цилиндрического чувствительного элемента

3. Глава 3. Экспериментальное исследование циклического кулонометрического гигрометра

3.1. Описание лабораторной установки и методика проведения эксперимента

3.2. Обработка результатов эксперимента

3.2.1. Аппроксимация экспериментальных данных теоретической зависимостью тока электролиза от времени

3.2.2. Экспериментальное определение погрешности от времени измерения

3.3. Определение предельного времени накопления

3.4. Зависимость временной характеристики от напряжения питания

4. Глава 4. Динамическая погрешность измерительного преобразователя циклического действия 60 4.1. Модели и метод расчета динамической погрешности

4.1.1. Анализ стационарности параметров технологического процесса

4.1.2. Построение модели входного сигнала

4.1.3. Модель динамической погрешности преобразователя циклического действия

4.2. Динамическая погрешность преобразователя циклического действия с типовыми передаточными функциями приведенной непрерывной части.

4.3. Динамическая погрешность преобразователя циклического действия в случае описания входного сигнала математической моделью с автокорреляционной функцией в виде суммы экспонент

5. Глава 5. Анализ суммарной погрешности преобразователя циклического действия

5.1. Модели и метод минимизации суммарной погрешности

5.2. Суммарная погрешность преобразователя циклического действия в случае описания входного сигнала математической моделью с автокорреляционной функцией в виде суммы экспонент

6. Глава 6. Имитационная модель циклического измерительного преобразователя

6.1. Описание модели

6.2. Анализ результатов эксперимента

6.2.1. Результаты эксперимента для 7)* = 0.

6.2.2. Результаты эксперимента для 7)* = 0.

6.2.3. Результаты эксперимента для Т'и = 0.

6.2.4. Результаты эксперимента для Т'и = 0.001 114 Заключение 119 Список литературы 120 Приложение 1. Рекомендации по оптимизации параметров измерительных преобразователей циклического действия 130 Приложение 2. Программа расчета динамической и суммарной погрешностей преобразователя циклического действия 149 Приложение

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Модели и методы параметрической оптимизации циклического кулонометрического измерителя микровлажности газов»

Развитие новых технологий, совершенствование уже существующих, повышение требований к качеству продукции приводит к необходимости измерения тех параметров, контроль которых ранее не требовался, либо ужесточает требования к точности и расширению диапазона измерения параметров технологических процессов. Одним из таких параметров является влажность. Контроль влажности необходим во многих технологических процессах химии, нефтехимии, нефтепереработки, электронной промышленности, при транспортировке и переработке природного газа. В настоящее время наиболее актуальной проблемой является измерение микроконцентраций влажности в широком круге анализируемых сред. Так в электронной промышленности при производстве интегральных схем требуется контроль влажности в гидридах (арсин, фосфин, моносилан) в пределах единиц ррт. В процессе каталитического риформинга повышенная влажность водородосодержащего газа приводит к выходу из строя катализатора. Необходим контроль влажности при производстве этилена, пропилена и других олефинов. К метрологическим характеристикам гигрометров, работающих в промышленных условиях, предъявляют высокие требования, так как полученная при измерении информация используется для формирования управляющих воздействий в системах автоматического управления.

Для измерения влажности газов существует обширный ряд методов, но только некоторые из них можно применить в диапазоне микроконцентраций. Обзор методов измерения микроконцентраций влажности, выполненный автором, выявил общий недостаток, присущий почти всем методам: необходимость градуировки измерительных преобразователей по образцовым смесям, создание которых в области микроконцентраций достаточно сложно. Только два метода не требуют градуировки приборов по образцовым смесям: метод точки росы и кулонометрический метод. Наиболее перспективным из них является кулонометрический метод, но он имеет также ряд ограничений:

• при измерении микроконцентраций влаги возникает погрешность из-за наличия фонового тока, обусловленного неионными механизмами проводимости;

• невозможность измерения влажности газовых смесей, компоненты которых химически реагируют с сорбентом и продуктами электролиза воды.

В аналитическом приборостроении для увеличения чувствительности измерительных преобразователей достаточно часто используется циклической метод с накоплением. Цикличность метода измерения может использоваться так же и для расширения области применения преобразователей непрерывного действия.

Использование циклического кулонометрического метода позволяет разрабатывать измерительные преобразователи для измерения микроконцентраций влажности и контроля влажности газов, реагирующих с продуктами электролиза воды.

Одной из основных задач, которая решается при разработке измерительного преобразователя, является минимизация его погрешности. Особенностью измерительных преобразователей циклического действия является наличие динамической погрешности, возникающей за счет дискретизации и накопления измеряемого параметра.

Приведенный анализ работы циклического кулонометрического измерительного преобразователя показывает, что статическая и динамическая составляющие погрешности зависят от длительности цикла работы преобразователя. Причем, увеличение длительности цикла работы преобразователя приводит к увеличению динамической составляющей погрешности и уменьшению статической составляющей. В связи с этим, можно определить оптимальную длительность цикла работы измерительного преобразователя, соответствующую минимуму суммарной погрешности.

Очевидной является зависимость динамической погрешности не только от параметров измерительного преобразователя, но от скорости изменения измеряемой величины - параметра технологического процесса. В реальных условиях измеряемый параметр подвержен влиянию ряда недетерминированных воздействий: изменение характеристик сырья и материалов, технологического оборудования, условий окружающей среды. Поэтому использование модели входного воздействия в виде случайного процесса представляется адекватным описанием параметров химико-технологических процессов.

Таким образом, основной целью настоящей работы является разработка метода оптимизации параметров циклического кулонометрического измерительного преобразователя по критерию минимума суммарной погрешности в случае, когда входной сигнал представлен как стационарный случайный процесс.

Для достижения поставленной цели необходимо решить ряд следующих задач:

• разработать модель циклического кулонометрического измерительного преобразователя и найти аналитическое выражение для его статической характеристики;

• получить зависимость погрешности преобразователя от длительности времени измерения и определить время измерения, обеспечивающее значение погрешности не превышающее заданное;

• установить теоретическую зависимость динамической погрешности от длительности цикла работы преобразователя и параметров входного сигнала;

• найти зависимость погрешности от фонового тока чувствительного элемента;

• на основании зависимостей динамической погрешности от времени накопления и погрешности от фонового тока получить зависимости, позволяющие оптимизировать цикл работы преобразователя по критерию минимума суммарной погрешности;

• проверить полученные теоретически зависимости, минимизирующие суммарную погрешность преобразователя, с помощью имитационной модели.

При решении поставленных задач использованы современные методы теории случайных процессов, статистического анализа, имитационного моделирования, метрологии.

Научная новизна данной работы состоит в следующем:

• создана математическая модель циклического кулонометрического измерительного преобразователя;

• получена теоретическая зависимость динамической погрешности преобразователя циклического действия от длительности цикла его работы и параметров входного сигнала;

• разработан метод минимизации суммарной погрешности преобразователя циклического действия.

Практическая значимость диссертационной работы состоит в следующем:

• разработан метод параметрической оптимизации циклического кулонометрического измерительного преобразователя для случая, когда измеряемый параметр представлен как случайный стационарный процесс с известными статистическими характеристиками;

• разработанная методика принята для использования в ОАО «Ангарское опытно-конструкторское бюро автоматики» при проектировании циклических кулонометрических датчиков влажности;

• результаты исследований используются в учебном процессе Ангарской государственной технической академии в курсах «Метрология, стандартизация и сертификация», «Технологические измерения и приборы», « Электрические измерения неэлектрических величин».

Положения, выносимые на защиту:

• математическая модель циклического кулонометрического измерительного преобразователя;

• метод параметрической оптимизации циклического кулонометрического измерительного преобразователя для случаев, когда входной сигнал представлен как стационарный случайный процесс.

Данная работа выполнена на кафедре промышленной электроники и информационно-измерительной техники Ангарской государственной технической академии. Результаты работы докладывались и обсуждались на заседаниях научного семинара факультета технической кибернетики АГТА, на научно-технической конференции «Современные технологии и научно-технический прогресс», на IV региональной конференции «Интеллектуальные и материальные ресурсы Сибири», на XV международной научной конференции «Математические методы в технике и технологии».

По теме диссертации опубликовано 13 печатных работ.

Диссертация состоит из введения, шести глав и заключения, изложенных на 129 страницах, иллюстрируется 41 рисунком, содержит 34 таблиц, список литературы, включающий 110 наименований.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Ильина, Ирина Львовна

• результаты исследования имитационной модели показали хорошее совпадение экспериментальных и теоретически рассчитанных значений суммарной погрешности циклического кулонометрического измерительного преобразователя.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертации разработан метод оптимизации параметров циклического кулонометрического измерительного преобразователя по критерию минимума суммарной погрешности в случае, когда входной сигнал представлен как стационарный случайный процесс. В ходе проведения теоретических и экспериментальных исследований по тематике работы получены следующие основные научные результаты: разработана модель циклического кулонометрического измерительного преобразователя и найдено аналитическое выражение для его статической характеристики;

• получена зависимость погрешности преобразователя от длительности времени измерения и определено время измерения, обеспечивающее значение погрешности не превышающее заданное;

• установлена теоретическая зависимость динамической погрешности преобразователя от длительности цикла работы преобразователя и статистических параметров входного сигнала;

• найдена зависимость статической погрешности от длительности цикла измерения и параметров измерительного преобразователя;

• разработана методика оптимизации параметров циклического кулонометрического преобразователя по критерию минимума суммарной погрешности;

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ильина, Ирина Львовна, 2002 год

1. Аваев Н.А. Основы микроэлектроники. М.: Радио и связь, 1991.- 420с.

2. Алейников И.А. Оптоволоконные датчики влажности //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии». Иркутск, 1988. с. 121-122.

3. Алейников И.А. Метод измерения влажности с применением связанных световодов. //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии». Иркутск, 1988 -с.122-123.

4. Анализаторы влажности газов на основе пьзокристал-ла.//Законодательная и прикладная метрология. №1, М.,1997. с.38-41.

5. Антипов А.Б. и др. Оптико-акустический метод в лазерной спектроскопии молекулярных газов. Новосибирск, Наука, 1984. с. 128.

6. Баринова О.П., Поворотнов М.В. Твердотельный сенсор влажности газовых сред. //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии». Иркутск, 1988г, с. 99100.

7. Бендат Дж., Пирсон А. Измерение и анализ случайных процессов. Пер. с англ.- М.: Мир, 1975,- 463 с.

8. Берлинер М.А. Измерение влажности. М., Энергия 1978.- 310 с.

9. Быков В.В. Цифровое моделирование в статистической радиотехнике. М.: Советское радио, 1971. 250с.

10. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. М., Мир, 1985,- 350с.

11. Венцель Е.С., Овчаров А.А. Теория случайных процессов и ее инженерное приложение. М.: Наука. 1991.- 460с.

12. Виленкин С.Я. Статистические методы исследования систем автоматического регулирования. М.: Советское радио. 1967.- 320с.

13. Виленкин С.Я. Статистическая обработка результатов исследования случайных функций. М.: Энергия. 1979,- 320 с.

14. Волгин В.В., Каримов Р.Н. Оценка корреляционных функций в промышленных системах управления М.: Энергия, 1979.- 80 с.

15. Волгин В.В. Механизм формирования случайных процессов в системах управления// Сборник научных трудов МЭИ: Теория и практика построения и функционирования АСУ ТИ. Москва, 1993. с. 23-34.

16. Гусев В.Г. Методы исследования точности цифровых автоматических систем. М.: изд-во Наука, 1973. 440с.

17. Девятое С.Ф., Ерков В.Г., Молодцова E.JI. Исследование кинетики роста термического диоксида кремния. Микроэлектроника, 29, №3, Москва, 1997, -с.23-24.

18. Достатенко А.П. Технология интегральных схем. Минск, Высшая школа, 1982. -340с.

19. Дубовиков Н.И., Иванов Н.А. Опыт применения оптико-акустического метода для измерения влажности газа //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии», Иркутск, 1988. с. 108-110.

20. Дьяконова Т.А., Лысцев В.Е. Тонкопленочный подогревной датчик влажности. //Приборы и системы управления. №6. Москва, 1991.-е. 12.

21. Жаров В.П.,.Лехотов В.С Лазерная оптико-акустическая спектроскопия. М., Наука, 1984.-320с.

22. Иващенко Е.В. Сорбционно-частотные датчики приборов контроля микро- и макроконцентраций влаги в газах. Диссертация к.т.н. Москва, 1984. - 124 с.

23. Измерения в промышленности: Справ, изд. в 3-х кн. Кн. 1. Теоретические основы. Пер. с нем./ Под ред. Профоса П. 2-е изд., перераб. и доп. М.: Металлургия, 1990. - 360 с.

24. Измеритель температуры точки росы: Пат. 2148251 Россия, МПК G 01 N25/66. Опубл. 27.04.2000, Бюл №12.

25. Ильина ПЛ., Кнутас Е.В. К вопросу об исследовании динамических погрешностей приборов циклического действия.// ''Современные технологии и научно-технический прогресс". Тезисы доклада. Научно-техническая конференция. Ангарск, 1995. с. 35.

26. Ильина И.Л., Кузнецов Б.Ф., Пинхусович Р.Л. Семчевский А.К. Циклический кулонометрический метод измерения микроконцентраций влажности в газах.7 Приборы №5. Москва, 2001. с. 32-35.

27. Ицкович Э. Л. Статистические методы при автоматизации производства. М.: Энергия. 1964,- 192 с.

28. Измерение влажности.- Vochtigheidsmeting. «Automatie», 1979, 23. №12. -с. 512-515.

29. Кавалеров Г.И., Мандельштам С.М. Введение в информационную теорию измерительных устройств. М.: Энергия, 1974. 260 с.

30. Клещеева Н.Ф., Костыркина Т.Д., Бескова Г.С., Моргунова Е.Т. Аналитический контроль в основной химической промышленности. М.: Химия, 1992. 280с.

31. Косовец Т.В.,.Лебедев И.В, Мецнер Е.П. Исследование погрешностей свч-гигрометра.// «Современное состояние и задачи гигрометрии» Тезисыдоклада. Всесоюзная научно-техническая конференция. Иркутск, 1988, с. 22-24.

32. Косовец Т.В., Лебедев И.В., Мецнер И.В. Нерезонансные свч- гигрометры «Современное состояние и задачи пирометрии». //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция. Иркутск, 1988, с. 103-105.

33. Кулаков М.В. Технологические измерения и приборы для химических производств. М.: Машиностроение, 1983.-425с.

34. Лихачев К.Н. Михайлов Д.П. и др. Некоторые вопросы автоматического контроля влаги в хлорсодержащих технологических газах в промышленных условиях. Автоматизация химических производств. №4. М., НИИТЭХИМ, 1986.- с. 13-15.

35. Ледедев И.В., Мецнер Е.П., Потапов А.А. Высокоточный свч-гигрометр. Измерительная техника. Москва. 1985, №7,- с. 56-58

36. Лившиц Н.А., Пугачев В.И. Вероятностный анализ систем автоматического управления.- М.: Советское радио, 1963.-820 с.

37. Лэнинг Дж. X., Бэттин Р.Г. Случайные процессы в задачах автоматического управления: Пер. с англ.- М.: Изд-во иностр. лит.,1968.-387 с.

38. Митропольский А.К. Техника статистических вычислений. М.: Наука, 1971. -576 с.

39. Мюллер П., Нойман П., Шторм Р. Таблицы по математической статистике. М.: Финансы и статистика, 1982. -270 с.

40. Немировский И. Б. и др. Конденсационный гигрометр как образцовое средство измерений. //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии». Иркутск. 1988. с. 37-39.

41. Нерсесян Г.А., Чаладзе А.Г. Гигрометр с подогревным датчиком на базе стандартных приборов. //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии». Иркутск. 1988.-с. 77-78.

42. Новицкий П.В. Основы информационной теории измерительных устройств. Л.: Энергия, 1968. 280с.

43. Онигценко А.Н. Оптимизация приборов для контроля состава веществ. М: Машиностроение, 1990.- 340 с.

44. Паутов Г. А., Дятлов В.Н. Измерение влажности нефтяного газа после осушки //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии». Иркутск. 1988. с. 84-85.

45. Петухов А.Б. Семчевский А.К. Филимонов В.В. Гигрометры агрессивных газов. Автоматизация химических производств. №4 НИИТЭХИМ, М., 1990. с. 23-25.

46. Пинхусович Р.Л. Исследование и разработка кулонометрических влагомеров. Диссертация к.т.н. Москва, 1970. 120 с.

47. Пинхусович Р. Л., Иващенко В. Е. и др. Сорбционно-частотные анализаторы газов и жидкостей.//Автоматизация химических производств. ЭИ, вып.7, М.: НИИТЭХИМ, 1985. с.24-31.

48. Пинхусович Р.Л. Ильина И.Л. Исследование динамических погрешностей приборов циклического действия. //Тезисы доклада. Научно-техническая конференция "Современные технологии и научно-технический прогресс". Ангарск. 1994. с. 45.

49. Пинхусович Р.Л. Ильина И.Л. Минимизация суммарной погрешности приборов циклического действия./ЛГезисы доклада. Научно-техническая конференция "Современные технологии и научно-технический прогресс". Ангарск. 1996. с. 68-70.

50. Пинхусович Р.Л. Ильина И.Л. Экспериментальное определение статической погрешности преобразователя циклического действия. //Тезисы доклада. "Современные технологии и научно-технический прогресс". Ангарск, 1998. с. 23-25.

51. Пинхусович Р.Л. Ильина И.Л. Минимизация погрешности преобразователей циклического действия. Известия Восточно-Сибирского отделения метрологической академии. Иркутск. 1999. с. 37-40.

52. Пинхусович P.Jl. Кузнецов Б.Ф. Ильина И.Л. Оценка эффективности измерительных преобразователей стохастических сигналов. //Тезисы доклада. «Наука, технологии, образование». Сборник научных трудов. Ангарск, 2000. с. 48-51.

53. Пинхусович Р.Л. Кузнецов Б.Ф. Ильина И.Л. Параметрическая оптимизация измерительных преобразователей стохастических сигналов. //Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. Москва, 2000, №2. с. 62-65.

54. Пинхусович Р.Л., Ильина И.Л., Кузнецов Б.Ф. Модель циклического кулонометрического гигрометра.// Материалы IV региональной конференции «Интеллектуальные и материальные ресурсы Сибири», Иркутск, 2001. -с. 121 -123.

55. Пинхусович Р.Л., Кузнецов Б.Ф., Ильина И.Л. Математическое моделирование динамической погрешности измерительного преобразователя циклического действия. Известия Восточно-Сибирского отделения метрологической академии. Иркутск, 2001. с. 9-13.

56. Погрешность контрольно-измерительных устройств. Салов Г.В., Тихомиров Ю.Ф., Яковлев Л.Л., Яковлев Л.Г. Киев: Техника, 1975.-190 с.

57. Подгорный Ю.В., Воропаев В. И. Принцип создания емкостных ВЧ-гигрометров. //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии», Иркутск, 1988. с. 72-74.

58. Потапов А.А. Погрешности диэлектрического метода измерения влажности //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии», Иркутск, 1988. с. 20-22.

59. Прохоров В.А. Основы автоматизации аналитического контроля химических производств. М.: Химия, 1984. -320с.

60. Пугачев B.C. Теория случайных функций и ее применение в задачах автоматического управления. -М.: Физматгиз, 1962. 817 с.

61. Пугачев B.C., Синицин И.Н. Теория стохастических систем. М.: Логос, 2000 . 1000 с.

62. Рао С.Р. Линейные статистические методы и их применение. М.: Наука, 1966.-487 с.

63. Романенко А.Ф., Сергеев Г.А. Вопросы прикладного анализа случайных процессов. М.: советское радио, 1968. 318 с.

64. Рудых И. А. Широко диапазонные сорбционно-частотные датчики влажности. //Тезисы доклада. Всесоюзная научно-техническая конференция «Современное состояние и задачи гигрометрии». Иркутск, 1988. с. 49-51.

65. Рытов С.М. Введение в статистическую радиофизику. Часть1. Случайные процессы. М.: Главная редакция физико-математической литературы изд-ва «Наука», 1976. 495 с.

66. Савкун Л. 3., Рудых И. А. Пьезосорбционные гигрометры. //Измерительная техника, 1982, №10. с. 52-54.

67. Сатановский В.Р. Анализатора влажности АМЕТЕК.// Узбекский журнал нефти и газа. №4, 1998. с. 49-51

68. Семесенко М.П. Случайные процессы в системах управления. Киев, Донецк: Виша школа, Головное изд-во, 1986,- 192 с.

69. Сколько стоит измерение.// Рынок нефтегазового оборудования СНГ, 1996, №3. с. 38.

70. Сосулин Ю. Г. Теория обнаружения и оценивания стохастических сигналов,- М.: Советское радио, 1978.-160 с.

71. Спенсер-Грегори Г., Роурке Е. Гигрометрия, М.: Металлургиздат, 1963. -202с.

72. Способ изготовления датчиков газа и влажности. Огава Сэкидо Фки, Хаякава Ситэру: Мацусита дэнки санге к. к. Пат58-40694, Япония. Заявл 10.08.78, №53-101101, опубл.07.09.83. МКИ G01 N27/ 12Н01 С 7/00.

73. Справочник по прикладной статистике. /Под ред. Ллойда Э., Ледермана У., М.: Финансы и статистика, 1989. 450с.

74. Танк И. ДЖ., Верджнн И. Дж. Инфракрасный гигрометр с длинным оптическим путем.//Сб. Влажность т. 1, 1978. с-79-80.

75. Тойберт, Паул. Оценка точности результатов измерения. М.: Мир, 1988.-210 с.

76. Тонкопленочная схема датчика влажности. Электроника. 1985, №56. с. 1 15

77. Уайтли Р. Дж. и др. Основные процессы в гигрометрии точки росы, материалы международного симпозиума по влагометрии. М.: Гидрометеоиз-дат, 1963. с.25-27.

78. Фарзане И.Г., Илясов Л.В., Азим-заде АЛО. Технологические измерения и приборы. М.: Высшая школа, 1989. -350с.

79. Химмельблау Д. Анализ процессов статистическими методами. Пер с англ.- М.: Мир,1973,- 957 с.

80. Цветков В.И. Основы теории статистических измерений. Л.: Энергия. 1979.- 288 с.

81. Цыпкип Я.З. Теория линейных импульсных систем. М.: Изд-во физико-математической литературы, 1963. 968с.

82. Электролитические гигрометры Nitta Thuneharu. /Кеисо Instrumentation/ 1984,27, №10.-с. 76-79

83. Яглом A.M. Корреляционная теория стационарных случайных функций. Л.: Гидрометеоиздат, 1981. 280 с.

84. Absolute Humidity sensors and methods of manufacturing humidity sensjrs. Kovac Miehsel G., Chleck David J., Goodman Philip. Пат. США кл. 324/ 61 R, (G 01 R27/26), № 4277742, заявл. 24.11,78.№ 963429, опубл. 7.07.81

85. Alles aus einer Hand. Spurenfeuchte-, Sauesstoff-, und Durchflussmessung fur reine Raume/ Schwarz Rainer, von//Chem.-Ing.-Techn.-2000.-72, №1-2, c. 48-49.

86. Ballato A., Lukaszek T. Mass loading of thickness-excited crystal resonators having arbitrary piezo-coupling // IEEE trans. 1974. Vol. SU-21, № 4.

87. Blakemore С. B. Piezoelectric moisture analyzers. Пат. США, кл. 73/29, (G 01 №31/00), №4163384, заявл. 14.04.78, №896449, опубл. 7.08.79

88. Boger Н. -J. Feuctemessung in Gasen und Flussigkeiten. " Ind.- Ans",1981, 103, № 56, c.16-18 (нем).

89. Capteurs hydromttriques a oxyde d'aluminium. "Cpectra 2000", 1981, 9, № 66, c. 42 (франц)

90. Capteurs hydro metricouches Abape G. "Bulf. Int. Bur. nat metrol.", 1984 16, №58, c.13-18.

91. Hammer Josef. Me(3zelle fur ein Wasserrenme(3great. Заявка ФРГ, кл. G 011. N 27/26, № 2646514.

92. Hasegawa S. National basis of accuracy in humidity measuremtnte. ISA Trans., 1986, vol. 25 n.3, pi5-24.

93. Hlavay J., Guilbault G.C. Applications piezoelectric crystals detector in analysis chemistry // Analit. Chem. 1977. Vol. 49.

94. Hlavay J., Guilbault G.C. Detection ammonia in ambient air with coated piezoelectric crystals detector // Analit. Chem. 1978. Vol. 50

95. Karl-Fischer-Titration als Referenzmetode. Reger H.,Faas B. Chem.-Ing. -Techn. 1999. 71, №5, 46-47.

96. Keidel F. A. Determination of water by direct amporometric, measurement. Analytical Chemistry, № 12, 1959.

97. Keidel F. A. Apparatus for water determination. Патент США, 2830945, 1958.

98. King W.H., Jr. Using quartz crystals as sorption detectors // Res. Develop. 1969. Vol. 20, N2.129

99. King W.H. The State-of-the-Art Piezoelectric Sensor// Proc. AFCS 25, 1971.

100. Precede et appariet pour mesurer la leneur en humidite d'un envirohne-ment. Wallis Bruce; Moisture Control and Measurement Ltd. Заявка 2535083, Франция. Заявл. 25.05.82. №8217836, опубл. 27.04.84. МКИ G 06 D 22/ 02, F 26 В 21/08.

101. Puzniak Т. On-line analysis for process optimization and control. Chemical engineering Progress, 1984, №8, 29-32

102. Raab H. Probleme und entwiclungstendenzen der Feuctemeptechnik in der Chemischen Industrie. "Regulungstechn. Prax.", 1981, 23,№6, 195-200.

103. Schitzler Erich. Automatisch registrierende Wasserbestimmung in Erdgasen. (Erfarungen mit dem Beckman «Feuchtigketsspuren-Analysator» Model 340). «GWF-Gas/Erdgas», 1975, 116, № 11, 475-477.

104. Teylor. New instrument for the moisure analisis if "Freon" fluorinated hidrocarbou. Retrid. Eug. 64,41, 1956.

105. Volumetrische Karl-Fischer-Titration besser als je zuvor: Ein kompletter Me)3platz fur dit volumetrische Karl-Fischer-Titration. Galvanotechnik. 1999. 90 №10. 2878.

106. Wiedijk P. Flat-based water vapour sensor of the phosphorus pentoxide type. «J. Phys. E.: Sci. Instrum.»,1980, 13, № 9, 993-994 (англ.).1. ВВЕДЕНИЕ