Многозонные просветляющие покрытия тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат наук До Тан Тай

• До Тан Тай
• кандидат наук
• 2015

Оглавление диссертации кандидат наук До Тан Тай

Оглавление

Введение

Глава 1. ПРОСВЕТЛЯЮЩИЕ ИНТЕРФЕРНЕНЦИОННЫЕ ИСТЕМЫ

1.1 .Многодиапазонные оптические устройства

1.2. Задача просветляющих покрытий

1.3. Выбор оптических пленкообразующих материалов для создания многозонных просветляющих систем

1.4. Методы создания многозонных просветляющих покрытий

1.4.1. Аналитический метод создания просветляющих интерференционных покрытий на основе четвертьволновых слоев

1.4.2. Структуры просветляющих покрытий содержащих буферные слои

1.4.3. Структуры просветляющих покрытий, сформированных слоями, показатели преломления которых изменяются по определенной зависимости

1.5. Синтез многозонных просветляющих покрытий численным методом

Выводы по главе 1

Глава 2. ПЯТИСЛОЙНЫЕ ЧЕТВЕРТЬВОЛНОВЫЕ ПРОСВЕТЛЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

2.1. Условие просветления пятислойной системы покрытия

2.2. Область допустимых значений показателя преломления пленкообразующих материалов, формирующих пятислойное просветляющее покрытие

2.3. Влияние значений показателя преломления пленкообразующих материалов, формирующих пятислойное просветляющее покрытие, на положение минимумов отражения и расстояние между ними

2.3.1. Пятислойное четвертьволновое просветляющее покрытие, реализующее нулевое отражение на пяти длинах волн

2.3.2. Пятислойное четвертьволновое просветляющее покрытие, реализующее нулевое отражение на трех длинах волн

2.4. Пятислойное просветляющее покрытие на основе трех пленкообразующих материалов

2.4.1. Пятислойное просветляющее покрытие с показателем преломления П1= п2

2.4.2. Пятислойное просветляющее покрытие с показателем преломления

/7/= Пз

2

2.4.3. Пятислойное просветляющее покрытие с показателем преломления П]=п4

2.4.4. Пятислойное просветляющее покрытие с показателем преломления П2= п3

Выводы по главе 2

Глава 3. АНАЛИЗ СТАБИЛЬНОСТИ ПЯТИСЛОЙНЫХ ЧЕТВЕРТЬВОЛНОВЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ

3.1. Многозонные просветляющие покрытия для оптических подложек с малым показателем преломления

3.2. Многозонные просветляющие покрытия для оптических подложек с большим показателем преломления

3.2.1. Пятислойное просветляющее покрытие на основе пяти пленкообразующих материалов

3.2.2 Пятислойное просветляющее покрытие на основе трех пленкообразующих материалов

3.3. Спектральные характеристики просветляющих покрытий при наклонном падении

Выводы по главе 3

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ

РАЗРАБОТАННЫХ КОНСТРУКЦИЙ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ

4.1. Реализуемые просветляющих систем, конструкции которых выбраны на основе проведенных ранее исследований

4.2. Аттестация пленкообразующих материалов

4.3. Экспериментальное изготовление просветляющих покрытий

4.3.1. Просветляющее покрытие для видимой области спектра

4.3.2. Просветляющее покрытие для инфракрасной области спектра

Выводы по главе 4

Заключение

Список литературы

ПРИЛОЖЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Многозонные просветляющие покрытия»

Введение

Актуальность темы: В настоящее время широкое распространение нашли оптические многодиапазонные устройства - устройства, которые могут работать в нескольких диапазонах электромагнитного излучения. К таким устройствам относятся:

— Лазерные системы, работающие на длине волны генерации и ее гармониках (вторая гармоника, третья гармоника, ...),

- Приборы, принцип работы которых основан на использования видимого излучения для юстировки оптических приборов, а сама работа осуществляется в ультрафиолетовой (УФ) или инфракрасной (ИК) области спектра),

- Наблюдательные приборы, предназначенные для работы в различных условиях: днем и ночыо, то эти приборы должны иметь две зоны (области) пропускания - видимую и ближнюю (и среднюю) инфракрасную части спектра,

— Устройство для изучения Земной поверхности и состава газов в атмосфере, для наблюдения растительного мира и изменения климата из-за деятельности человека для обнаружения место расположения пожаров, для научных исследований и т.д.

Существует ряд достоинств у оптических систем, которые одновременно работают в нескольких диапазонах длин волн, перед оптическими системами, в которых для каждого спектрального диапазона используется свой оптический канал. Одним из наиболее важных преимуществ является то, что при работе на разных длинах волн используется одна оптическая система, которая не требует дополнительной юстировки при смене длин волн при смене приёмников. Использование многодиапазонных оптических приборов позволит получить более полную информацию об объекте, иметь общий точный механизм стабилизации, компактность, низкую стоимость, сокращать вес и габаритный размер.

В многозонных оптических приборах используются разнообразные интерференционные покрытия, к ним относятся просветляющие, отражающие, спектроделительные и т.п. Наиболее широкое применение получили просветляющие покрытия.

Указанные обстоятельства определяют актуальность многозонных просветляющих покрытий

Цель работы: разработка методики синтеза многозонных просветляющих покрытий, которая позволяет получать реализуемые на практике конструкции покрытий с минимальным количеством слоев и используемых материалов.

Для достижения заданной цели необходимо решить следующие задачи:

1. Провести анализ методов создания многозонных просветляющих покрытий.

2. Определить условия выбора пленкообразующих материалов, на основе которых формируются просветляющие покрытия, содержащие пять четвертьволновых диэлектрических слоев.

3. Найти конструкции многозонных просветляющих покрытий для оптических элементов, изготовленных из материалов с малым показателем преломления.

4. Провести синтез многозонных просветляющих покрытий для оптических элементов, изготовленных из материалов с большим показателем преломления.

5. Проанализировать влияние показателей преломления слоев, формирующих покрытия, на его спектральные характеристики.

6. Создать многозонных просветляющих покрытий на основе трех пленкообразующих материалов.

7. Провести анализ стабильности конструкций полученных просветляющих покрытий.

8. Разработать основы технологии изготовления полученных структур интерференционных покрытий.

Объект исследования

Объектом исследований является принципиально новый тип оптических покрытий — многозонные просветляющие покрытия, работающие одновременно в нескольких областях спектра.

Методы исследования

Для решения поставленных задач, использовались основные положения теоретических моделей, которые описывают спектральные характеристик многослойных интерференционных покрытий.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Разработан метод выбора плёнкообразующих материалов, формирующие слои, необходимые для получения пятислойного четвертьволнового просветляющего покрытия, снижающего энергетический коэффициент в нескольких областях спектра.

2. Показана возможность получения пяти и трех минимумов коэффициента отражения пятислойного просветляющего покрытия в зависимости от соотношения значения показателя преломления пленкообразующих материалов.

3. Предложена методика получения просветляющих покрытий, способных гасить излучение вне минимумов отражения

4. Получены аналитические зависимости, позволяющие определять положение минимум отражения в шкале длин волн при известной конструкции просветляющего четверть волнового покрытия.

5. Проведён анализ возможности использования пятислойных покрытий для получения нескольких экстремумов в видимой области.

6. Показана возможность создания многозонных просветляющих покрытий основе трех пленкообразующих материалов

Практическая ценность

Разработанные покрытия могут применяться в:

- Лазерных системах, работающих на длине волны генерации и ее гармониках (вторая гармоника, третья гармоника, ...),

- Приборах, принцип действия которых основан на использования видимого излучения для юстировки оптических приборов, а сама работа осуществляется в ультрафиолетовой (УФ) или инфракрасной (ИК) области спектра,

- Наблюдательных приборах, предназначенных для работы в различных условиях: днем и ночью, то эти приборы должны иметь две зоны (области) пропускания - видимую и ближнюю (и среднюю) инфракрасную части спектра,

- Устройствах для изучения Земной поверхности и состава газов в атмосфере, для наблюдения растительного мира и изменения климата из-за деятельности человека для обнаружения место расположения пожаров, для научных исследований и т.д.

Внедрение результатов работы

Результаты выполненных исследований являются существенным вкладом в развитие учебных курсов, посвященных вопросам оптических технологий и оптики тонких пленок. В настоящее время разработанные покрытия используются при изготовлении деталей в ГОИ им. Вавилова, ООО «Элан +»

На защиту выносятся следующие основные результаты и положения

1 .Конструкции пятислойных просветляющих покрытий, полученные разработанным методом выбора плёнкообразующих материалов, из которых формируются их слои, обеспечивающие получения минимального коэффициента отражения в нескольких спектральных диапазонах;

2. Выбор показателей преломления плёнкообразующих материалов, удовлетворяющих условию (п2п^ущпт— (п\п5пз) , позволяющий создавать пятислойные просветляющие четвертьволновые просветляющие покрытия на оптических материалах с малым показателем преломления;

3. Выбор показателей преломления плёнкообразующих материалов, удовлетворяющих условию п]п5=п2п4=п3=п0п,т позволяющий создавать

пятислойные просветляющие четвертьволновые просветляющие покрытия на оптических материалах с большим показателем преломления;

4. Метод получения нового типа покрытий, имеющих максимальное пропускание в нескольких участках спектра и способных гасить излучение вне минимумов отражения, который основан на выборе очерёдности пленкообразующих материалов в структуре просветляющего покрытия;

5. Аналитические зависимости, позволяющие определять положение минимумов отражения в шкале длин волн при известной конструкции просветляющего четвертьволнового покрытия;

6. Метод создания многозонных просветляющих покрытий, снижающих энергетический коэффициент отражения в нескольких областях спектра, который основан на выборе трех пленкообразующих материалов, формирующих слои кратные четверти рабочей длины волны.

Апробация работы.

Основные результаты работы представлялись на следующих научных конференциях:

VIII международная конференция «Фундаментальные проблемы оптики-2014», Санкт-Петербург, октябрь 2014; Международная конференция «Прикладная оптика 2014», Санкт-Петербург, октябрь 2014; V международная конференция «Современные концепции научных исследований», Москва, август 2014;II, III, IV Всероссийский конгресс молодых ученых Санкт-Петербург, апрель 2013 - 2015 г.; XLIII, XLIV научная и учебно-методическая конференция НИУ ИТМО, январь 2014, 2015 г.

Публикации

Материалы диссертации опубликованы в 13 печатных работах, 4 из них - в рецензируемых журналах из перечня ВАК, в том числе 1 в изданиях, включенных в систему цитирования Skopus, 1 патент РФ на полезную модель, 5 в трудах международных конференциях.

Личный вклад автора

Все результаты, представленные в работе, были получены лично автором или при его непосредственном участии.

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из 103 наименования и приложения. Материал изложен на 150 страницах машинописного текста и содержит 76 рисунков и 16 таблицы.

Введение диссертационной работы посвящено обоснованию актуальности выбранной темы. Во введении сформулированы цель и задачи работы, приведены положения, раскрывающие его научную новизну и практическую ценность, приведены сведения об апробации работы, охарактеризована структура диссертации.

В первой главе представлен аналитический обзор по теме диссертационной работы. Проведен анализ литературы по многозонным оптическим приборам и существующим методам создания многозонных просветляющих покрытий, обсуждаются достоинства и недостатки каждого метода, дан анализ пленкообразующих материалов, используемых для формирования данный тип покрытия.

Вторая глава посвящена теоретическому анализу просветляющей пятислойной четвертьволновой диэлектрической системы слоев, исследованию спектральные характеристики просветляющих покрытий данного типа, рассмотрению вариантов создания пятислойных четвертьволновых просветляющих покрытий на основе трех пленкообразующих материалов

В третьей главе описывается влияние отклонений в показателях преломления и оптических толщинах слоев, формирующих покрытие. Показано, что изменение показателя преломления слоев в интервале ±5% от исходного значения показателя преломления не оказывает существенно влияние на средний коэффициент отражения. Отклонение оптической толщины пятого слоя (слой на подложке) приводит к наименьшему изменению спектральных свойств покрытия, а наибольшее влияние оказывается первый слой (слой, граничащий с воздухом).

9

Четвертая глава посвящена описанию экспериментальных исследований разработанных конструкции покрытий. Разработанные интерференционные покрытия изготавливались методом термического (электронно-лучевого) испарения плёнкообразующих веществ в вакууме, для чего была использована стандартная вакуумная установке типа ВУ 2М, снабженная электронно-лучевым испарителем и системой фотометрического контроля СФКТ-751В. Аттестация полученных покрытий проводилась на следующих приборах: спектрофотометр СФ-56, ИК-Фурье спектрометр ИнфраЛюм ФТ-02, Спектрофотометр Photon RT, ИК-Фурье спектрометр Vertex 80vHR, позволяющих измерить энергетический коэффициент пропускания (отражения) с точностью выше 0,5%.

В заключении представлены основные результаты, полученные в процессе работы над диссертацией

Глава 1. ПРОСВЕТЛЯЮЩИЕ ИНТЕРФЕРНЕНЦИОННЫЕ ИСТЕМЫ

1.1.Многодиапазонные оптические устройства

Созданию многодиапазонных устройств в настоящее время уделяется большое внимание, особенно на устройства, предназначенные для работы в среднем 3-5 мкм в дальнем 8-12 мкм ИК- диапазонах [1-6]. Разработка многодиапазонных устройств, работающих в вышеуказанных диапазонах, применяется в различных отраслях. К ним относится устройство для изучения Земной поверхности и состава газов в атмосфере [7,8]; для наблюдения растительного мира и изменения климата из-за деятельности человека - программа Living Planet Earth и комплекс SPECTRA, созданы Европейским космическим агентством [9]; для обнаружения место расположения пожаров[10]; для научных исследований [11-15] и т.д.

Ряд причин вызывает большой интерес к двух- диапазонным оптико-электронным системам (ОЭС), работающим в ближнем 1-1,7 мкм и в длинноволновом ИК- диапазонах. Необходимость работать прибор в этих диапазонах объясняется тем, что прибор должен обладать способность работать в ближневолновом ИК-канале, когда используется подсветка X = 1,5 мкм и в полной темноте, например, внутри строений, подземных сооружений, а также при переходе в запыленные, задымленные и затененные помещения, где эффективен длинноволновый ИК-канал [16].

Использование оптические приборов, работающих в двух спектральных диапазонах 0,45 - 0,75 мкм и 8 - 14 мкм [17] позволяет проводить в различных метеоусловиях воздушную разведку районов экологических и стихийных бедствий, определять районы и масштабы лесных пожаров, аварий газо- и нефтепроводов.

Компания «AEG InfrarotGmbH» выпускает двухдиапазонные приемники, предназначенные для обнаружения замаскированных целей [18]. Рабочими диапазонами являются 4,83 - 8,62 мкм и 0,7—1,8 мкм.

В [19] рассматриваются системы, используемые в авиационной и космической технике. Такие системы работают в спектральных диапазонах

1,5 — 1,7 и 3 — 5 мкм. обеспечивающая получение изображений в видимом и ближнем (0,45 - 0,9 мкм) и в 3 - 5 мкм ИК- диапазонах. В [20] сообщается о разработке компанией «ReconOptical, Inc.» (США) ОЭС для наблюдательной системы. Данная система работает в двух спектральных диапазонах 0,5 - 0,9 мкм и 3 — 5 мкм.

В работе [21] описывается прибор, которой предназначен для обнаружения облаков, если известен коэффициент отражения поверхности различных типов грунта, а именно, океан, пустыня, лес, полупустыня и криосферы. Для обнаружения облаков используются разные области спектра. Область 0,67 - 0,87 мкм была использована для обнаружения облака на темном фоне, таких как поверхности океана без солнечного блеска. В то время, длина волны 1,6 мкм необходима для обнаружения облака над пустынными районами. Ближняя ИК область 0,905 - 0,935 мкм и длины волны 3,7-3,9 мкм, 11 мкм используются в случае солнечного блеска и для дистанционного зондирования океана.

Многоспектральные оптические приборы широко применяются для задачи дистанционного зондирования [22-27]. В [28] описывается прибор, работа которого основана на одновременном использовании трех областей спектра 2,08 - 2,32 мкм, 0,76-0,9 мкм, 0,52-0,76 мкм для изучения сельскохозяйственных территорий, заболоченных земель, изучения растительности, заражения сельскохозяйственными вредителями и широко используется в области управления лесозаготовками и изучения лесных массивов. Области 0,76-0,9 мкм, 1,55-1,75 мкм, 0,45-0,52 мкм используются для изучения здоровья растительности и водных объектов. Информация [29], полученная при работе в двух спектральных диапазонах 3-5,2 мкм и 8-14 мкм были использованы для расчета коэффициента пропускания атмосферы.

Информация о разработках и исследованиях многодиапазонных устройств также описана в ряде публикации последних лет [30 - 40].

В многозонных оптических приборах используются разнообразные интерференционные покрытия, к ним относятся просветляющие,

отражающие, спектроделительные и т.п. Наиболее широкое применение получили просветляющие покрытия.

1.2. Задача просветляющих покрытий

Необходимость использование в оптических системах просветляющие покрытия вызвана рядом причин, в том числе:

- Из -за отражения света на границе двух сред с разными показателями преломления возникают потерь проходящего светового потока. Особенно существенные потери наблюдаются в случае, когда оптические элементы изготовлены из материалов с высокими показателями преломления;

- Увеличение в оптических системах границ разделов (оптических системах) приводит к увеличению описанных выше потери;

- Наличие отражение на границе раздела может привести к ухудшению четкости и контрастности передаваемого изображения из-за возникающего рассеянного света (переотражение).

Основа теории, связанной с просветлением оптических элементов впервые были изложены в литературе в 1946 [41]. В настоящее время существует широкий набор просветляющих покрытий: для одной длиной волны, двух длин волн, разнесенных по спектру на заданное расстояние, широкополосные просветляющие покрытия (ШПП) с отношением А,2:А,1 более двух [42], где Ал и А,] - длинноволновая и коротковолновая границы просветляющих покрытий, соответственно.

Многозонные просветляющие покрытия (М1111) - это диэлектрические системы, наносимые на преломляющие и отражающие грани оптических элементов с разными показателями преломления. Покрытия формируются на границе раздела воздух - материал, из которого изготовлен оптический элемент, и могут снижать отражение на этой границе в нескольких диапазонах спектра. Данный вид покрытий характеризуются диапазонами спектра, в которых энергетический коэффициент отражения имеет значение меньше чем у оптического материала без просветляющего покрытия;

спектральной шириной этих диапазонов (Д>ч, 5=1,2,3,...) и расстоянием между ними (рис. 1.1). Выбор конструкции покрытий (число слоев, оптическая толщина каждого слоя, показатель преломления плёнкообразующих материалов, формирующих каждый слой), спектральная характеристика, которая удовлетворяла бы заданным требованиям, является достаточно сложной задачей, часто не имеющей однозначного решения.

В зависимости от конкретной задачи спектральные диапазоны могут быть разными. Ширина диапазонов и их расположение в шкале длин волн определяется назначением данного оптического прибора. Спектральные диапазоны, в которых коэффициент отражения должен быть минимальным могут располагаться в разные области спектра: УФ, видимая и ИК.

Рис. 1.1. Многозонное просветляющее покрытие

1.3. Выбор оптических пленкообразующих материалов для создания многозонных просветляющих систем

Одной из особенностей создания многодиапазонных просветляющих

покрытий является требование к пленкообразующим материалам, из которых они формируются. Эти требования связаны с тем, что используемые материалы должны быть прозрачны, т.е. обладать минимальным коэффициентом поглощения в рабочих спектральных диапазонах, которые могут быть расположены в шкале длин волн на расстоянии нескольких микрон. В литературе неоднократно упоминается о том, что показатели преломления и коэффициент поглощения в тонких слоях, полученных

методом термического испарения в вакууме [43,44] отличаются от этих параметрах твердых тел [45]. Это вполне объяснимо, поскольку, природа образования тонких слоев испарением в вакууме состоит в зародышеобразование пленки на поверхности материала [46]. При образовании зародышей на поверхности оптического элемента появляются пустоты, заполненные газом, что явно приводит к рассогласованию показателей преломления образующейся тонкой пленки и материала, из которого она изготовлена. Информация об этом рассогласовании представлена в таблицу. 1.1.

При разработке просветляющих покрытий, используемых в одной области спектра, часто пренебрегают дисперсией показателя преломления, поскольку в узком спектральном диапазоне дисперсия незначительна. При выборе пленкообразующих материалов для М1111 следует осуществлять детальный контроль дисперсии показателя преломления между областями спектра, в которых будет использовано М1111.

Таблица 1.1.

Показатели преломления массивных тел и тонких пленок[43,45,47]

Материал Показатель преломления пленкообразующего материала, длина волны (мкм) [43,47] Показатель преломления твердого тел, длина волны (мкм) [45]

MgF2 1,35 (0,55) 1,37(0,55)

ZnS 2,3 (0,55), 2,15(5) 2,39 (0,55), 2,24 (5)

ZnSe 2,57 (0,6), 2,35 (5) 2,61 (0,6), 2,43 (5)

MgO 1,7 (0,55) 1,74 (0,55)

y2o3 1,89 (0,33), 1,87 (0,55) 2,01 (0,33), 1,93 (0,55)

AI2O3 1,54 (0,55) 1,77 (0,55)

В литературе мало уделено внимание дисперсии пленкообразующих материалов, однако в [43] рядом с материалом указаны показатели преломления для нескольких длин волн.

В таблицу 1.2 приведены свойства наиболее распространенных пленкообразующих материалов

Таблица. 1.2.

Свойства пленкообразующих материалов [43,44,46,47]

Материал Область прозрачн ости, мкм Показатель преломления, длина волны, температура подложки, °С Механические и химические свойства Метод нанесения, 'исп.

Фториды

Фтористый кальций (СаР2) 0,15-12 1,23-1,46 (0,55) Достаточно твердый и, иэ, 1360

Криолит (ЫагАШб) 0,25-14 1,32- 1,35 (0,55) мягкий ТТ 1000 И,- 860

Фтористый магний (MgF2) 0,11 - 10 1,38- 1,4 (0,55) (в зависимости от Тиодл.) Твердый при высоких значениях Тподл., устойчив к воздействию влаги И, ИЭ, 1263 1130

Фтористый свинец (РЬР2) 0,25-17 1,98 (0,3), 1,8 (2) Мягкий И, иэ, 855 700

Фтористый стронций (8гР2) 0,25-14 1,4-1,44 Твердый И, иэ,

Фтористый тория №) 0,2-15 1,5 Твердый, радиоактивный -

Фтористый лантан (ЬаР3) 0,25-14 1,55 (0,55), 1,65 (0,55, Тподл=300) Твердый при высоких значениях Т1ЮДЛ. и, иэ, 1750 1200

Фтористый церий (СеР3) 0,3-14 1,63 (0,55, ТГЮДл=300), 1,5 (5,0, Тподл=300) Твердый И, ИЭ, 1460 1260

Фтористый иттрий ( УТ3) 0,3 - 14 1,6 (0,55, Т1Юдл=300), 1,5 (5,0, Тподл=300) Твердый И, ИЭ, 1136

Сульфиды, селениды и полупроводники

Сернистый цинк (гпБ) 0,4-17 2,3 (0,55), 2,15 (5,0, Тподл=150) Мягкий и, иэ,1850 970

Селенистый цинк (гп8е) 0,6-17 2,57 (0,6), 2,35 (5,0, Тподл=150) Мягкий И,ИЭ,Ш6 500

Крений (Б!) 1 -9 3,4 (3) Твердый и, иэ,1410 1350

Германий (ве) 2-23 4,0 - 4,4 (2,0) Достаточно твердый и, иэ, 940 1400

Оксиды

Диоксид кремния (8Ю2) 0,2-9 1,45- 1,46 (0,55) Твердый иэ,1730 1200

Оксид алюминия (АЬОз) 0,2 - 7,0 1,54 (0,55), 1,63 (0,55, Тподл =300) Твердый иэ,2050 1800

Оксид магния (МвО) 0,2 - 8,5 1,7 (0,55), 1,74 (0,55, Тподл =300) Твердый иэ, 2800 1560

Оксид скандия (8с203) 0,35-12 1,9 (0,3 - 0,55), 1,86 (0,9, Т„одл=300) Достаточно твердый ИЭ, 2400

Оксид иттрия (У203) 0,32-12 1,89 (0,33), 1,87 (0,55, ТПОДЛ=250) Твердый ИЭ, 2410 2400

Оксид неодима (М203) 0,24-12 1,79 (0,55), 2,05 (0,55, ТПОДЛ=260) Твердый 2272 ИЭ, 1900

Оксид гадолиния (са2о3) 0,32-15 1,8 (0,55) Достаточно твердый иэ, 2340

Диоксид циркония (2г02) 0,34-12 1,97 (0,55), 2,05 (0,55, Тподл=200) Твердый ИЭ, 2700 2000

Диоксид гафния (НЮ2) 0,2-12 2,15 (0,25, ТПОДЛ=250), 1,95 (0,55) Достаточно твердый иэ,-

Монооксид кремния (8Ю) 0,7-9 2,0 (0,7) Твердый тл 1705 И, -- 1080

Пятиоксид тантала (Та205) 0,35-10 2,1 (0,55, Тподл. 250), 2,2 (0,55) Твердый ИЭ,-

Диоксид церия (Се02) 0,4-12 2,2 (0,55) Достаточно твердый И, ИЭ, -

Диоксид титана (ТЮ2) 0,4-12 1,9 (0,55), 2,3 (0,55, ТПОДЛ=220), 2,55 (0,55, ТПОдл=260) Достаточно твердый иэ,1640

И, ИЭ - резистивное и электронно - лучевое испарение.

Слои фторидов применяются в качестве пленкообразующих материалов для формирования слоев с низким показателем преломления в УФ, ВИ и ИК областях спектра. Среди фторидов важное значение имеет фтористый магния.

1^Р2устойчив к воздействию влаги, имеет хорошую адгезию, высокую механическую твердость при нагретой подложке. М£р2 неоднороден при толщине больше 100 нм, М§Б2 обладает высоким растягивающим напряжением, из — за чего наблюдается трещины в толстых слоев, что ограничивает их использование в дальней ИК - области [47].

ТЬР4 имеет высокую механическую и химическую стабильность, из него можно получать толстые слои, имеющие хорошую совместимость с другими веществами. Фтористый торий обладает радиоактивностью, поэтому при работе с ним необходимо соблюдать все меры предосторожности. В связи с отсутствием необходимого оборудования, ТЬР4 не используется в России [48].

2п8, 2п8е, 81, ве используются в качестве пленкообразующих материалов, имеющих высокий показатель преломления в ИК области спектра [43,46,47]. 2п8, ZnSe имеют высокую адгезию, хорошую совместимость с фторидами [47]. Однако, пленки на основе 2п8, ZnSe обладают минимальной прочностью, слабой влагостойкостью и поглощением в коротковолновой области спектра. 81, ве прозрачны в ИК области, из них получают прочные пленки. Показатель преломления слоев 81, Ое зависит от условия осаждения [46,47].

Оксидные пленки могут быть использованы в УФ, ВИ и ИК областях спектра до 5 - 8 мкм [43,49]. В дальней ИК области, оксидные пленки применяют в качестве адгезионных и защитных слоев.

Среди оксидных пленкообразующих материалов, диоксид кремния 8Ю2 используется в качестве пленка с низким показателем преломления, /2=1,46 при А,=550 нм. Диоксид кремния имеет широкую зону прозрачности 0,2 - 9 мкм. Из диоксида кремния возможно получения слоев с высокой механической твердостью, химической стабильностью [50,51].

Пленки А120з, М§0, 8с203, У203, Ш203, Сс1203, гЮ2 и другие оксиды имеют промежуточный показатель преломления. Редкоземельные оксиды 8с203, У203, Ш203 прозрачны от видимой области до средней области

спектра, осажденные пленки на основе этих оксидов имеют показатель преломления, зависящего от температуры подложки. В работах [52,53] рассмотрены свойства покрытия диоксида циркония Zr02. Показаны, пленки 2Ю2 обладают хорошими механическими и химическими свойствами. Однако, показатель преломления диоксида циркония в некоторой степени зависит от температуры подложки и наблюдается неоднородность, обусловлена структурными дефектами в слоях.

Се02, НГО2, ТЮ2обладают высоким показателем преломления. Пленки Се02, ТЮ2 очень тверды, стабильны, обладают высокой адгезией. Показатель преломления пленки Се02, ТЮ2 сильно зависит от температуры подложки и условия осаждения (скорость осаждения, давление остаточного газа), в ИК области Се02 ограниченно применяют в связи с поглощением в толстых слоях [53,54]. Диоксид гафния НЮ2 находит широкое применение из - за таких свойств как: твердость, стабильность, широкая зона прозрачности. Диоксид гафния НЮ2 используется в видимой, ближней и ИК областях спектра [54 - 56].

1.4. Методы создания многозонных просветляющих покрытий

1.4.1. Аналитический метод создания просветляющих интерференционных покрытий на основе четвертьволновых слоев.

Данный метод основан на анализе системы диэлектрических

четвертьволновых слоев для определения условия просветления (соотношения показателей преломления пленкообразующих материалов). Конструкция интерференционного просветляющего покрытия может содержать один или несколько диэлектрических слоев.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук До Тан Тай, 2015 год

Список литературы

1. O.A. Лебедев, В.Е. Сабинин, С. В. Солк. Крупногабаритный

многоспектральный объектив // Оптический журнал. 2011. Т.78. № 11. С.24-27.

2. Г.И. Цуканова, A.B. Бахолдин. Оптические системы крупногабаритных многоспектральных телескопов // Оптический журнал -2013. Т. 80. № 12. С. 37-41.

3. J. N. Vizgaitis. Optical concepts for dual band infrared continuous zoom lenses // Proc. SPIE. 2010. 7652. 76522E.

4. ShyamBayya, Jasbinder Sanghera, Woohong Kim, Daniel Gibson, Erin Fleet, Brandon Shaw, Michael Hunt, Ishwar Aggarwal. New multiband IR imaging optics//Proc. of SPIE. 2013. Vol. 8704. 870428.

5. M. C. de la Fuente. GASIR1: a promising material for dual waveband systems//Proc. SPIE. 2006. 6342. 63421С.

6. Yitzhak Nevo. Dual-band optics // Optical Engineering. 2013. 52(5). 053002.

7. Tidrow M.Z. MDA IR sensor technology program and applications // SPIE Proc. 2003. Vol. 5074. P. 39-43.

8. Tidrow M.Z. Dyer, W.R., LeVan P. Wolfson С IRFPA development for ballistic missile defense needs // SPIE Proc. 2003 Vol. 4820. P. 861-871.

9. Tribolet P. Sensing the Earth // SPIE Newsroom. 2004. DOI: 10.1117/2.5200410.0005.

10. Engelhaupt D, Reardon P., Blackwell L. et al. Autonomous long-range open area fire detection and reporting // SPIE Proc. 2005. Vol. 5782. P. 164-175.

11. Fox M., Gruningen J., Lee J. et al. Atmospheric parameterization for model based thermal infrared atmospheric correction of spectral imagery // SPIE Proc. 2002. Vol. 4816. P. 93-103.

12. Gruningen J., Fox M., Lee J, et al. Use of the Vis-SWIR to aid atmospheric correction of multispectral and hyperspectral thermal infrared (TIR) imagery: The TIR model // SPIE Proc. 2002. Vol. 4816. P. 80-92.

13. Robert J. DiStasio, Jr., Ronald G. Resmini. Atmospheric compensation of thermal infrared hyperspectral imagery with the emissive empirical line method and the in-scene atmospheric compensation algorithms: a comparison // Proc. of SPIE Vol. 7695. 76952B.

14. Way S.P., Kerr R, Imamura J J. et al. Design and testing of a dual-band enhanced vision system // SPIE Proc. 2003.Vol. 5074. P. 612-619.

15. Gunapala S.D., Bandara S. V., Bock J. et al. Large format long-wavelength GaAS/AIGaAs multi-quantum well infrared detector arrays for astronomy // SPIE Proc. 2001. Vol.4288. P. 278-285.

16. Тарасов B.B., Якушенков Ю.Г. Двух- и многодиапазонные оптико-электронные системы с матричными приемниками излучения. М.: Логос, 2007. 191 с.

17. Е.А. Терешин, К.П. Шатунов, Э.А. Демьянов, П.В. Журавлев, И.В. Шапкин, П.И. Шапор, С.М. Чурилов, С.И. Лепин. Комплекс модулей для обеспечения воздушной всепогодной разведки в широком спектральном диапазоне // Изв. Вузов. Приборостроение. 2004. Т. 47. № 9. стр. 57-61.

18. Cabanski W., Breiter R, Mauk К. -PI. et al. Status of 3rd focal plane array IR detection modules // SPIE Proc. 2003. Vol. 5074. P. 72-82.

19. Oh J.S.. Lee S-H. Kim J.~T., Choi J.-S. Two-color infrared counter-countermeasure based on the signal ratio between two detection bands for a crossed- array tracker // Opt. Eng. 2005. Vol.44(9).096401-l-7.

20. Henry DJ. Advanced airborne ISR demonstration system (USA) // SPIE Proc. 2005. Vol. 5787. P. 38-47.

21. Nakajima Takashi Y, Tsuchiya Takumi, Ishida Haruma, Matsui Takashi N, Shimoda Haruhisa. Cloud detection performance of spaceborne visible-to-infrared multispectral imagers // Applied Optics. 2011. Vol. 50. Issue 17. Pp.2601-2616.

22. Zhongping Lee, Shaoling Shang, Chuanmin Hu, and Giuseppe Zibordi. Spectral interdependence of remote-sensing reflectance and its implications on the design of ocean color satellite sensors // Applied 0ptics.2014. Vol. 53. Issue 15. Pp. 3301-3310.

23. William R. Johnson ; Glynn Hulley ; Simon J. Hook. Remote gas plume sensing and imaging with NASA's Hyperspectral Thermal Emission Spectrometer (HyTES) // Proc. SPIE. 2014 9101. 91010V.

24. Shridhar D. Jawak, Alvarinho J. Luis. Improved land cover mapping using high resolution multiangle 8-band WorldView-2 satellite remote sensing data // J. Appl. RemoteSens. 2013. 7(1). 073573.

25. Shungudzemwoyo P. Garaba and Oliver Zielinski. Comparison of remote sensing reflectance from above-water and in-water measurements west of Greenland, Labrador Sea, Denmark Strait, and west of Iceland // Optics Express. 2013. Vol. 21.Issue 13. Pp. 15938-15950.

26. Григорьев A.H., Шилии Б.В. Анализ сезонных изменений спектральных характеристик компонентов ландшафта по данным космического видеоспектрометра Hyperion // Оптический журнал. 2013. Т.80.№6. С. 43-47.

27. Архипов С.А., Заварзин В.И., Сеник Б.Н. Разработка и изготовление оптических систем для перспективной космической аппаратуры дистанционного зондирования Земли // Оптический журнал. 2013. Т.80. №1. С. 34-38.

28. М.Ю. Жиленев. Обзор применения мультиспектральных данных ДЗЗ и их комбинаций при цифровой обработке //Геоматика. 2009. №3. С.56-64.

29. А.В. Демин, М.И. Моисеева. Представление экспериментальных данных об оптических параметрах атмосферы аналитическими зависимостями // Научно-технический вестник Санкт-Петербургского государственного университета информационных технологий, механики и оптики. 2011. № 2 (72). С. 90-94.

30. Kenneth A. Goldberg, Patrick Naulleau, etc. Honing the accuracy of extreme ultraviolet optical system testing: at-wavelength and visible-light measurements of the ETS Set-2 projection optic. // Proc. of SPIE .2002. Vol. 4688. Pp. 329-337.

31. Peter Werle, Franz Slemr, Karl Maurer, Robert Kormann, Robert M.ucke, Bernd Janker. Near- and mid-infrared laser-optical sensors for gas analysis // Optics and Lasers in Engineering. 2002. Vol. 37. Issue. 2. Pp. 101-114

32. M. Vieira, A. Fantoni, M. Fernandes, P. Louro, G. Lavareda, C.N. Carvalho. Bias sensitive multispectral structures for imaging applications //Thin Solid Films. 2007. Vol. 515. Issue 19. Pp. 7566-7570.

33. Thomas Sudmeyer, Yutaka Imai, etc. Efficient 2nd and 4th harmonic generation of a single-frequency, continuous-wave fiber amplifier // OPTICS EXPRESS. 2008. Vol. 16. No. 3. Pp.1546-1551.

34. DusanZadravec, John W. Franks, Kenneth A. Rogers, Alec F. Hendry, Patrick Drach. A Multi-Spectral Optical System (1.55jim and 8 - 12|im) of GASIR ®1 Design and Coating Aspects // Proc. of SPIE. 2009. Vol. 7298.72982L.

35. Neelam Gupta. LWIR hyperspectral imager based on a diffractive optics lens // Proc. of SPIE. 2009. Vol. 7303. 730314.

36. Plis E., Gautam N., Myers S., Krishna S. S., Smith E. P., Johnson S., Krishna S. High performance dual-band InAs/GaSb SLS detectors with nBn and pBp architectures // Proc. of SPIE. 2011. 8012. 80120X.

37. Vaillencourt J., Vasinajindakaw P., Lu X., Qian X., Vangala S. R., Goodhue W. D. Thermoelectrically cooled shortwave infrared and longwave infrared dual band quantum-dot photodetector//Proc. Of SPIE. 2011. 8012. 801200.

38. You Leo Li, Kevin Seekell, Hsiangkuo Yuan, Francisco E. Robles, and Adam Wax. Multispectral nanoparticle contrast agents for true-color spectroscopic optical coherence tomography // BIOMEDICAL OPTICS EXPRESS. 2012. Vol. 3. No.8. P.1914-1923.

39. Ashok K. Sood , Roger E. Welser, Adam W. Sood, Yash R. Puri, David Poxson, Jaehee Cho, E. Fred Schubert, Nibir K. Dhar, Martin B. Soprano, Raymond S. Balcerak. Development of nanostructure based antireflection coatings for EO/IR sensor applications // Proc. of SPIE. 2012. Vol. 8257. 82571C.

40. Lei Yan, Chaoyang Wei, Yuanan Zhao, Kui Yi, Jianda Shao. Multiple wavelength laser induced damage of multilayer beam splitters // Proc. of SPIE.

2012. Vol. 8530. 85300Q.

41. Гребенщиков И.В. , Власов А.Г., Непорент Б.С. и др. Просветление оптики. M.-JL, Гостехиздат, 1946. 212 с.

42. КоксДж.Т., Хасс Г. Просветляющие покрытия для видимой и инфракрасной областей спектра. Физика тонких плёнок. 1967. Том 2 М. Мир. С. 86-253.

43. Под редакцией Акатова М. А. Пленкообразующие и плоночные материалы. Справодчник технолога - оптика. 2-е издание. Политехника издательство. Сакт - Петербург. 2004. С. 489 - 519

44. Гайнутдинов И.С., Несмелое Е.А., Хайбуллин И.Б. Интерференционные покрытия для оптического приборостроения. "Фен". 2002. Казань. 591стр.

45. Handbook of Optical Constants of Solids I, II, III. Edited by EDWARD D. PALIK. Institute for Physical Science and Technology University of Maryland College Park, Maryland. 1998.

46. Техногогиятенких пленок. Справочник под редакцией JI. Майссела, Р. Гленга. T.l, Т.2. Москва "Советское радио" 1977. 662 стр.

47. Риттер Э. Пленочные диэлектрические материалы для оптических применений. Физика тонких пленок // Под ред. Г. Хасса, М. Франкомбра, Р. Гофмана. 1978. Т. 8. -М.: Мир. С. 7-60.

48. Гайнутдинов И.С., Гусев А.Г., Мустаев P.M., Несмелов Е.А., Никитин А.С. Двухдиапазонное просветление оптических элементов для тепловизионных приборов // Оптический журнал. 2002. Т. 69. № 4. С. 64-66.

49. Duan, Ningyuan; Lin, Hongtao; Li, Lan; Hu, Juejun; Bi, Lei; Lu, Haipeng; Weng, Xiaolong; Xie, Jianliang; Deng, Longjiang. Zr02-Ti02 thin films: a new material system for mid-infrared integrated photonics // Optical Materials Express.

2013. Vol. 3 Issue 9.Pp.l537-1545.

50. Jan Kischkat, Sven Peters, Bernd Gruska, MykhayloSemtsiv, Mikaela Chashnikova, Matthias Klinkmiiller, OlianaFedosenko, Stephan Machulik, Anna Aleksandrova, Gregorii Monastyrskyi, Yuri Flores, and W. Ted Masselink. Mid-infrared optical properties of thin films of aluminum oxide, titanium dioxide, silicon dioxide, aluminum nitride, and silicon nitride // Applied Optics. 2012. Vol. 51 Issue 28. Pp.6789-6798.

51. C. Tarrio and S. E. Schnatterly. Optical properties of silicon and its oxides // JOSAB. 1993. Vol. 10 Issue 5. Pp.952-957.

52. Тищенко C.M., Голота А.Ф. Оптические материалы для вакуумного испарения на основе оксидов металлов // Оптический журнал. 2012Т.79. № 9. С.101-102.

53. Martin Jerman, ZhaohuiQiao, and Dieter Mergel. Refractive index of thin films of Si02, Zr02, НГО2 as a function of the films' mass density // APPLIED OPTICS. 2005. Vol. 44. Issue. 15. Pp. 3006-3012.

54. Alexander V. Tikhonravov, Michael K. Trubetskov, Tatiana V. Amotchkina, Gary DeBell, Vladimir Pervak, Anna KrasilnikovaSytchkova, Maria Luisa Grilli, and DetlevRistau. Optical parameters of oxide films typically used in optical coating production // Applied Optics. 2011. Vol. 50 Issue 9. Pp.C75-C85.

55. Evans Analytical Group, "Thin film hafnium oxide (НЮ2) thickness, composition, and uniformity measurements by XPS," Application Note 415, 7 May 2007.

56. M. Fadel, O. A. Azim, O. A. Omer, and R. R. Basily. A study of some optical properties of hafnium dioxide (НЮ2) thin films and their applications // Appl. Phys. 1998. A 66. 335-343.

57. Розенберг Г.В. Оптика тонкослойных покрытий. Москва. Физ-мат. 1958. 570с.

58. Королёв Ф. А. Теоретическая оптика. Высшая школа. Москва . 1966. 556с.

59. Крылова Т. Н. Интерференционные покрытия. Машиностроение. 1973. 223с.

60. Путилин Э.С. Оптические покрытия - СПБГУ ИТМО. 2010. 207с.

61. Alexander V. Tikhonravov, Michael К. Trubetskov, Tatiana V. Amotchkina, and J. A. Dobrowolski. Estimation of the average residual reflectance of broadband antireflection coatings//APPLIED OPTICS. 2008. Vol. 47. Issue.13. C124-C130.

62. A. A. Madej and J. D. Sankey. Quantum jumps and the single trapped barium ion: determination of collisional quenching rates for the 3d2 D5/2level // Phys. Rev. 1990. A. 41. Pp. 2621-2630.

63. Li Li, J. A. Dobrowolski, J. D. Sankey, and J. R. Wimperis. Antireflection coatings for both visible and far-infrared spectral regions // Appl. Opt. 1991.V.31. issue.28. Pp.6150-6156.

64. Jacques Mouchart. Thin film optical coatings. 5: Buffer layer theory // APPLIED OPTICS / 1978. Vol. 17. No. 1. P. 72-75.

65. Li Li and J. A. Dobrowolski. Design of optical coatings for two widely separated spectral regions //Appl. Opt. 1993. V. 32. Issue 16. Pp. 2969-2975.

66. ДоТаи Тай, Губанова JI.A. Многозонное просветляющее покрытие на подложке из оптического сульфида цинка // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2014. № 1 (89). Стр. 38 -44.

67. Соколова Р.С., Пашкова Н.А. Многоспектральные просветляющие покрытия для ИК области спектра // Оптический журнал. 2002 . Т.69. № 2. С. 25-27.

68. Соколова Р.С., Муранова Г.А., Горелкина Ж.Н. Многоспектральные просветляющие покрытия для видимой, ближней и ИК областей спектра // Оптический журнал. 2005. Т.72. № 10. С. 60-62.

69. Якобсон Р. Неоднородные и совместно напыленные пленки для оптических применений. Физика тонких пленок. 1967.. М. Мир. Т.8. С. 6105.

70. Berning Р.Н. Use of equivalent film in the design of infrared multilayer antireflection coating // JOSA. 1962. V. 52. No 4. Pp. 431^36.

71. A. Ghosh, P. Kant, P.K. Bandyopadhyay, P. Chandra, O.P. Nijhawan. Antireflection coating on germanium for dual channel (3-5 and 7.5-10.6 fim) thermal imagers // Infrared Physics & Technology. 1999. Vol. 40. P. 49-53.

72. W. H. Southwell. Gradient-index antireflection coatings // OPTICS LETTERS. 1983. Vol. 8. No. 11. Pp.584-586.

73. William H. Southwell. Coating design using very thin high- and low-index layers // APPLIED OPTICS. 1985. Vol. 24. No. 4. Pp.457-460.

74. A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, G. W. DeBell. Application of the needle optimization technique to the design of optical coatings // Applied Optics.

1996. Vol. 35. Issue 28. Pp. 5493-5508.

75. J. A. Dobrowolski, A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, B.T. Sullivan, P. G. Verly. Optimal single-band normal incidence antireflective coatings // Appl. Opt. 1996. Vol. 35. Issue 4. Pp. 644-658.

76. P. G. Verly, A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov. Efficient refinement algorithm for the synthesis of inhomogeneous optical coatings // Applied Optics.

1997. Vol. 36. Issue 7. Pp. 1487-1495.

77. Suman Awasthi, B.B. Nautiyal, Rajiv Kumar, P.K. Bandyopadhyay. Multi-spectral antireflection coating on zinc sulphide simultaneously effective in visible, eye safe laser wave length and MWIR region // Infrared Physics & Technology. 2012. Vol. 55. Pp. 395-398.

i

78. P K Bandyopadhyay. Multispectral antireflection coating simultaneously effective in visible, diode laser, Nd-YAG and eye safe laser wavelength // Journal of Physics: Conference Series 114. 2008. 012004.

79. O. S. Heavens and H. M. Liddell. Least Squares Method for the Automatic Design of Multi-layers // OpticaActa: International Journal of Optics. 1968. Vol. 15 Issue 2. Pp. 129-138.

80. A. Bloom. Refining and Optimization in Multilayers // Appl. Opt. 1981 .Vol. 20. Issue l.Pp. 66-73.

81. P. Baumeister, R. Moore, and K. Walsh. Application of Linear Programming to Antireflection Coating Design //J. Opt. Soc. Am. 1977. 67. 1039.

82. W. J. Wild, H. Bukay. Thin Film Multilayer Design Optimization Using a Monte Carlo Approach // Opt. Lett. 1986. 11. 745.

83. Michael P. Hobson, John E. Baldwin. Markov-chain Monte Carlo approach to the design of multilayer thin-film optical coatings // Applied Optics. 2004. Vol. 43. Issue 13. Pp. 2651-2660.

84. C. Holm. Optical Thin Film Production with Continuous Reoptimization of Layer Thicknesses // 1979. Appl. Opt. 18. 1978.

85. P. G. Verly, J. A. Dobrowolski. Iterative correction process for optical thin film synthesis with the Fourier transform method // APPLIED OPTICS. 1990. Vol. 29, No. 25. Pp. 3672-3684.

86. Brian T. Sullivan, J. A. Dobrowolski. Implementation of a numerical needle method for thin-film design // Applied Optics,. 1996.Vol. 35. Issue 28. Pp. 54845492.

87. A. V. Tikhonravov, M. K. Trubetskov, G. W. DeBell. Optical coating design approaches based on the needle optimization technique // Applied Optics. 2007. Vol. 46. Issue 5. Pp. 704-710.

88. S. Martin, J. Rivory, M. Schoenauer. Synthesis of optical multilayer systems using genetic algorithms // Applied Optics. 1995. Vol. 34. Issue 13.Pp.2247-2254.

89. Котликов E.H., Шалин В.Б., Тропин A.H. Синтез оптических покрытий с применением генетических алгоритмов // Научно-технический вестник ИТМО. 2011. № 5 (75). С. 1-5.

90. Васильев Ф.П. Численные методы решения экстремальных задач. М.: Наука. 1980 г. 520 с.

91. Боглаев Ю.П. Вычислительная математика и программирование. М.: Высшая школа. 1990 г. 544 с.

92. Мешков Б.Б., Яковлев П.П. Проектирование интерференционных покрытий. М.: Машиностроение. 1987 г. 185 с.

93. Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. JL: Машиностроение. 1977 г. 264 с.

94. Свешников А.Г., Тихонравов A.B., Фурман Ш.А., Яншин С.А. Общий метод синтеза оптических покрытий // Оптика и спектроскопия. 1985г. Т. 59.№.5. С. 1161-1163.

95. Thomas D. Rahmlow, Jr., Jeanne E. Lazo-Wasem, etc. Dual band antireflection coatings for the infrared // Proc. of SPIE. 2008. Vol. 6940. 69400T.

96. Thomas D. Rahmlow, Jr., Jeanne E. Lazo-Wasem, etc. Dual-band antireflection coatings on 3rd Gen lenses // Proc. of SPIE. 2011. Vol. 8012. 80123D.

97. Гайнутдинов И.С., Шувалов Н.Ю., Сабиров P.C., Иванов B.A., Гареев P.P. Просветляющие покрытия на подложках из германия и кремния в окнах прозрачности ИК области спектра 3-5 мкм и 8-12 мкм // Оптический журнал. 2009. Т. 76, № 5. С. 68-72.

98. Daniel Cohen, YevgeniStolov, AmnonAzran, and MordechaiGilo. Dual and Triple Band AR coating for IR systems // Proc. of SPIE. 2013. Vol. 8704. 870422.

99. Д.А. Винокуров, A.B. Лютецкий, Д.Н. Николаев, B.B. Шамахов, K.B. Бахвалов, B.B. Васильева, JI.C. Вавилова, М.Г. Растегаева, И.С. Тарасов. Характеристики лазерных диодов, излучающих на длине волны 850 нм, с различными способами компенсации внутренних механических напряжений в гетероструктуре AlGaAs(P)/GaAs // Физика и техника полупроводников. 2013. том 47.Вып. 8. С 1078-1081.

100. http://www.npkgoi.ru/?b=14&c=profil&module=articles.

101. До Т.Т., Губанова Л.А., Путилин Э.С., Фам В.Х. Пятислойные четвертьволновые просветляющие покрытия для инфракрасного диапазона спектра // Оптический журнал. 2014. Т. 81. № 10. С. 72-76.

102. До Тан Тай, Губанова Л.А. Пятислойные четвертьволновые просветляющие покрытия на основе трех пленкообразующих материалов // // Изв. Вузов. Приборостроение. 2015. Т.58. №1. С.72-73.

103. Никандров Г.В. Фазо-компенсирующие интерференционные тонкопленочные диэлектрические системы. Кандидатская диссертация. 2014. 118 с.