Микро- и наноразмерное структурирование конденсированных сред в неравновесных состояниях тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, доктор наук Мьо Мин Тан

• Мьо Мин Тан
• доктор наук
• 2021

Оглавление диссертации доктор наук Мьо Мин Тан

Введение

РАЗДЕЛ 1 ИНТЕНСИВНОЕ ПЛАСТИЧЕСКОЕ ДЕФОРМИРОВАНИЕ

Глава 1.1 Волновые взаимодействия при ударном воздействии на железо

1.1.1 Физические процессы при ударных воздействиях

1.1.1.1 Обобщающий анализ ударного взаимодействия

1.1.1.2 Ориентационные кристаллографические изменения

1.1.1.3 Роль дислокаций в процессах деформационного упрочнения

1.1.2 Качественный анализ методов моделирования

1.1.3 Методы регистрации структурных изменений

1.1.4 Волновые процессы

Глава 1.2 Интерференция упругопластических волн при интенсивном пластическом деформировании

1.2.1 Подготовка образцов и регистрация деформаций

1.2.1.1 Химический состав и основные физические свойства

1.2.1.2 Размеры и ориентация образцов

1.2.1.3 Режимы пластического деформирования

1.2.1.4 Направленность структурных изменений при однократном статико-импульсном деформировании

1.2.2 Размерные эффекты в деформационном структурировании

1.2.2.1 Роль поперечного размера (толщины) образца

1.2.2.2 Визуализация деформационных микроструктур

1.2.2.3 Межударное микроструктурирование

1.2.2.4 3D-мерность микроструктурирования

2.2.5 Четырехсторонняя нормальная и осевая сдвиговая деформации

1.2.3 Микроструктурирование по данным EBSD

1.2.4 Размерный фактор в пространственной когерентности

РАЗДЕЛ 2 МАГНЕТРОННЫЕ НАНОПЛЕНКИ

Глава 2.1 Магнетронное распыление

2.1.1 Место магнетронного распыления среди элионных методов

2.1.2 Магнетронное распыление наноплёнок

2.1.3 Кластерообразование в магнетронном плазменном разряде

2.1.3 Закономерности структурирования поверхности нанопленок

2.1.4 Физические явления при распылении и формировании нанопленок

Глава 2.2 Наноразмерное структурирование магнетронных нанопленок из Л!, Сг, №, Си и Ш

2.2.1 Строения и свойства А1, Сг, N1, Си, Ш

2.2.2 Особенности формирования магнетронного разряда

2.2.3 Пробоподготовка и анализ магнетронных нанопленочных структур

2.2.3.1 Определение толщины нанопленок по элементному распределению

2.2.3.2 Анализ размерных и фазовых превращений в морфологии поверхностей магнетронных нанопленок

Глава 2.3 Структурирование металлических нанопленок одноэлементного состава, наносимых магнетронным распылением при постоянном разряде

2.3.1 Л!

2.3.2 Си

2.3.3 Сг

2.3.4 N1

2.3.5 Ш

РАЗДЕЛ 3 УГЛЕРОДНЫЕ МНОГО- И ОДНОСТЕННЫЕ НАНОТРУБКИ

Глава 3.1 Наносистемы из углеродных материалов

3.1.1 Качественные изменения в исследованиях углеродных систем

3.1.2 Полиморфизм углеродных систем

3.1.3 Структура и свойства углеродных одно- и многостенных нанотрубок (CNT)

3.1.4 Структурирование CNT при электрических воздействиях

Глава 3.2 Синтез, стабилизация и характеризация SWCNT и MWCNT

3.2.1 Особенности формирования и функционализации

3.2.2 Возможности наноинструментальных методов исследования

3.2.3 Пробоподготовка и методики структурирования

Глава 3.3 Структурирование в испаряющейся капле КС из /-MWCNT и /-SWCNT

3.3.1 /-MWCNT

3.3.1.1 В свободном состоянии

3.3.1.2 При нагревании

3.3.1.3 В электрическом поле

3.3.2 /-SWCNT в электрическом поле

3.4 Электрохимический синтез нанотрубчатых оксидов переходных металлов на поверхности /-MWCNT

РАЗДЕЛ 4 ФЕРРОМАГНИТНЫЕ ЖИДКОСТИ

Глава 4.1 Физико-химические свойства феррофлюидов

4.1.1 Синтез, стабилизация и применимость

4.1.2 Химическая структура магнетита, стабилизированного олеиновой кислотой

4.1.3 Структурирование MNPs из FeзO4 в магнитных и электрических полях

4.1.3.1 Структурирование в магнитных полях

4.1.3.2 Структурирование в магнитных и электрических полях

РАЗДЕЛ 5 МИКРО- И НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ В МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ОБРАЗЦАХ ИЗ СТАЛИ, МАГНЕТРОННЫХ НАНОПЛЕНКАХ, В КОЛЛОИДНЫХ СИСТЕМАХ ИХ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК И МАГНИТНЫХ ЖИДКОСТЯХ В НЕРАВНОВЕСНОМ СОСТОЯНИИ

Глава 5.1 Металлы после интенсивного пластического деформирования

5.1.1. Взаимосвязь структурных изменений и волновых взаимодействий

5.1.2. Ударно-волновое деформационное структурирование материалов

Глава 5.2 Магнетронные металлические нанопленки

5.2.1 Кластеризация

5.2.2 Фрактальные размерности магнетронных нанопленок

5.2.3 Ab-initio расчеты структурирования пленок из алюминия на подложке из SiO2

5.2.4 Компьютерное моделирование кластеризации металлических MF в рамка теории функционала плотности

Глава 5.3 Углеродные нанотрубки в коллоидных системах при электрических воздействиях

5.3.1 Физические процессы при испарении капли коллоидной системы с углеродными нанотрубками

5.3.2 Микро- и наноструктурирование в коллоидных системах с углеродными нанотрубками

5.3.3 Динамическое поведение углеродных нанотрубок в коллоидной системе в электрическом поле

5.3.4 Влияние наноразмерного диоксида кремния на процессы структурирования углеродных нанотрубок в коллоидных системах в электрическом поле

Глава 5.4 Микро- и наноструктурирование в ферроманитных жидкостях

5.4.1 Модельный эксперимент структурирования в постоянном электрическом поле

5.4.2 Структурирование в постоянном электрическом поле между медными электродами

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список сокращений и условных обозначений

Список сокращений (разделы 1 и 5 (глава 5.1))

Список обозначений (разделы 1 и 5 (глава 5.1))

Список сокращений (разделы 2 и 5 (глава 5.2))

Список обозначений (разделы 2 и 5 (глава 5.2))

Список сокращений (разделы 3 и 5 (глава 5.3))

Список обозначений (разделы 3 и 5 (глава 5.3))

Список сокращений (разделы 4 и 5 (глава 5.4))

Список обозначений (разделы 4 и 5 (глава 5.4))

Список литературы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Микро- и наноразмерное структурирование конденсированных сред в неравновесных состояниях»

Введение

Актуальность темы исследования и степень ее разработанности

Поверхностно-пластическое деформирование (ПД) и его разновидность статико-импульсная обработка (СИО) относятся к категориям эффективным методам изменения механико-прочностных параметров металлов, сплавов и изделий из них. Достигаемая этими методами объемная структурная перестройка приводит к росту твердости металлов до 6.5 ГПа, обусловлена как поверхностным деформированием, так и его распределением по глубине вплоть до размеров обрабатываемых образцов. При установлении взаимосвязи прочностных характеристик материалов со структурными изменениями под воздействием, в том числе, ударных волн в процессе ПД необходим учет возникновения и существования многочисленных каналов диссипации подводимой упругой энергии, что вызывает динамическую рекристаллизацию, дислокационно-дисклинационные процессы, фазовые превращения и выделение скрытой теплоты деформационного происхождения. Для экспериментального определения места и времени зарождения дефекта при ПД пространственно-временное разрешение должно быть на уровне 10-14 с и 10-9 м. Разрешение просвечивающего электронного микроскопа 250 фс позволяет изучать кинетику процессов, возникающих ПД. Основные механизмы структурной перестройки в процессе ПД анализируются по отношению температур ТМПд - мегапластической деформации и Тпл - плавления: Тмпд/Тпл. На этой основе, в частности, установлен термофлуктуационный механизм формирования концентраторов напряжений в условиях ПД в структуре поверхностного слоя.

Общепризнанной и устоявшейся тенденцией в изучении самого широкого класса объектов в физике конденсированного состояния является основополагающая роль поверхностей. В этой связи исследования плёночных структур и покрытий оказались весьма востребованными практически во всех областях науки и техники. В частности можно отметить исследования и разработки в области информационного аппаратного

обеспечения, строящегося на пленочных h-tech элементов и устройств и тонкопленочных транзисторах, физического материаловедения, где важную роль занимают микро- и наноразмерные плёночные структуры на различных функциональных материалах (селективные химические и биологические сенсоры и датчики, длинноволновые рентгеновские дифракционные решетки, нанокатализаторы для топливных элементов, светоотражающие, теплосберегающие и самоочищающиеся, мемристоры, тонкопленочных структур для фотовольтаики. В качестве методов формирования таких поверхностных слоев заметное место занимают физические (в частности, элионные) технологии, что обеспечивает параметры недостижимые другими тонкопленочными технологиями.

Начиная с 2004 года, продолжает нарастать исследовательский интерес к углеродным материалам, мир которых оказался насыщенным массой новых квантово-размерных физико-химических эффектов, что расширило горизонты как фундаментальной, так и прикладной значимости. Многочисленные обзоры отмечают, что специфика структурирования углеродных материалов заключена в тесной взаимосвязи с явлениями самоорганизации и самосборки, которые общепризнанно выступают в качестве безальтернативной основы становления и развития как наноэлектроники с уменьшением размера в транзисторных элементах до пороговых физических размеров, так и наноматериаловедения. Развернуто промышленное производство одностенных углеродных нанотрубок, которые активно используются в новых источниках электрической энергии, терапии канцерогенных образований, создании высокоэффективных мембран, холодно-полевых источников электронной эмиссии, мониторов, рентгеновских трубок, усилителей в СВЧ-диапазоне, исследования тонкопленочного полевого транзистора с асимметричным затвором (с оксидным слоем из НЮ2), коммутацию между стоком и истоком в щели нанометровых размеров, пленочные сенсоры из высокоупорядоченных углеродных нанотрубок с высокой контрастностью, с перезаписью несколько

сотен раз и высоким быстродействием, поляризационные и модуляционные материалы на их основе отличающиеся высокой стабильностью и анизотропией. Созданы углеродные структуры с электропроводностью, сопоставимой с медной, фильтрационные мембраны, на медных подложках нанометровых толщин получены высокие плотности токов за счет использования вертикально ориентированных углеродных нанотрубок.

Стремительное развитие телекоммуникационных и информационных систем, резкое возрастание потребностей в высокоскоростной обработке и бессбойном хранении все возрастающих массивов информации стимулировало исследования материалов, в которых имеют место смешивания магнитных, электрических и упругих свойств, формирование доменов, гистерезисные явления, аномалии поведения вблизи фазовых переходов. Мультиферроики становятся самыми востребованными объектами исследований, к которым относятся магнетики, обладающие ё-магнитным упорядочением, в частности, магнитные жидкости, обладающие целым рядом уникальных функциональных свойств.

Объединяет все представленные достаточно разноплановые материалы проявления новых размерных физико-химических эффектов и явлений структурирования, установление механизмов их возникновения на всех уровнях, включая наноразмерный, процессы самоорганизации и самосборки. Все последние перспективные исследования и разработки элементов техники новых поколений, как электронной техники, так и новых наноструктурированных материалов оказались тесно связанными с использованием уже сложившихся синергетических представлений, что указывает на актуальность представленных результатов, их общенаучную важность, и практическую значимость.

Цель диссертационной работы

Целью работы является анализ многоуровневого микро- и наноразмерного структурирования в конденсированных средах в виде металлических образцов с заданной формой и размерами, металлических

магнетронных нанопленок, коллоидных систем из много- и одностенных углеродных нанотрубок, ферромагнитной жидкости.

Объект исследования - образцы стали 45 с заданными размерами после статико-импульсной обработки, металлические магнетронные нанопленки А1, N1, Сг, Си и Ш, много- и одностенные углеродные нанотрубки и нанотрубчатые структуры из оксидов меди и никеля, ферромагнитные жидкости на основе магнетита.

Предмет исследования - процессы и явления микро- и наноструктурирования, возникающие:

при статико-импульсном деформировании сталей; в процессе магнетронного распыления металлических мишеней; в коллоидных систем с много- или одностенными углеродными нанотрубками и трубчатыми наноструктурами из СиО и N10 в электрических в коллоидных системах из магнитных жидкостей на основе Ре304, в том числе, с адсорбированными на поверхностях магнитных наночастиц медьсодержащими соединениями.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи

в условиях интенсивного пластического деформирования

1. Провести анализ влияния всех размеров образцов в форме параллелепипеда из стали 45 на формирование микро- и наноструктурных изменений в условиях статико-импульсного ударно-волнового пластического деформирования.

2. Установить закономерности многоуровневого структурирования в поперечных сечениях образцов из стали 45 в зависимости от направления статико-импульсного ударно-волнового пластического деформирования.

3. Методами современного наноинструментария провести комплексные аналитические исследования и характеризацию многоуровневых микро- и наноструктурных образований, возникающих в результате статико-импульсного ударно-волнового пластического деформирования образцов.

4. Провести анализ волновых процессов, инициируемых в образцах, в условиях статико-импульсного пластического деформирования.

5. Установить и опытно обосновать физическую модель микро- и наноструктурирования при ударно-волновых деформационных воздействиях.

в магнетронных металлических нанопленках

1. По комплексным аналитическим исследованиям морфологии и фазовых структурных превращений в металлических (Al, Cr, Ni Cu и Hf) магнетронных нанопленках, установить закономерности их наноструктурирования на поверхностях подложек из ситалла, поликора и монокристаллического кремния в зависимости от режимов распыления.

2. Изучить процессы наноструктурирования в магнетронных металлических нанопленках в условиях искусственной деградации после нагревания на воздухе до при температуре отжига на воздухе - Тап, превышающей температуру Debye - TD, но ниже температуры плавления - Tm: TD < Тап < Tm.

3. Определить взаимосвязи и влияние условий и режимов магнетронного распыления на формирование наноструктур в металлических магнетронных нанопленках Al, Cr, Ni, Cu и Hf.

4. Построить физический механизм наноструктурирования в металлических магнетронных нанопленках Al, Cr, Ni, Cu и Hf.

5. В рамках модельных расчетов ab initio проверить адекватность представленной модели структуризации магнетронной нанопленки из Al.

в углеродных много - и одностенных нанотрубках

1. Разработать методики функционализации многостенных и одностенных углеродных нанотрубок f-MWCNT и f-SWCNT) с высокостабильным существованием водных коллоидных систем на их основе.

2. Изучить процессы структурирования в капле коллоидной системы из f-MWCNT и f-SWCNT в свободном состоянии и под воздействием постоянного электрического поля.

3. Установить закономерности и условия формирования микро - и наноструктур в капле коллоидной системы из f-MWCNT и f-SWCNT.

4. Построить качественную физическую модель, описывающую процессы многоуровневого микро- и наноструктурирования в капле коллоидной системы из /-М^^СМГ и /-З^^СМГ.

5. Электрохимическим методом сформировать на поверхности /- MWCNT оксидные фазы Си и N1, разработать методики их отделения в виде нанотрубок и провести их комплексную характеризацию.

6. Исследовать фотокаталитические свойства, вновь созданных нанотрубчатых композитов СиО//- MWCNT и N10//- MWCNT.

в ферромагнитных жидкостях

1. Исследовать изменения плотности тока в кювете со стабилизированной олеиновой кислотой наночастиц Бе304 магнитной жидкости (МБ 0А М№8 из Бе304) в постоянном магнитном поле (1.2 Тл) вращаемом относительно направления постоянного электрического поля (до 5х105 В/м), приложенного между медными или титан-ванадиевыми электродами.

2. Изучить изменения морфологии поверхностей медных и титан-ванадиевыми электродов, возникающие при электрохимических реакциях в коллоидной системе МБ 0А М№8 из Бе304 в постоянном электрическом поле.

3. Провести модельный эксперимент по исследованию процессов микро и наноструктурирования в капле коллоидной системы МБ 0А М№8 из Бе304 в слое (шириной не более 1 мм с субмикронной толщиной) между медными электродами, нанесенными методом магнетронного распыления.

4. Определить роль и вклад магнитодипольного, стерического и Уап der Waals взаимодействий.

5. Построить качественную физическую модель, объясняющую процессы многоуровневого микро и наноструктурирования в коллоидной системе МБ 0А М№8 из Бе304 под действием постоянного электрического поля.

Методология и методы исследования

Объекты для исследований были подобраны с учетом сложившегося в мире уровня научного и практического интереса к ним, что было

установлено по материалам отечественной и зарубежной периодики, а также возможностей аналитического аппаратного обеспечения и технологического оснащения Регионального центра нанотехнологий при теоретической интерпретации и анализе экспериментально обнаруженных явлений многоуровневого структурирования в исследованных объектах с учетом уже сложившихся представлений:

об иерархии и многоуровневости физической мезомеханики (от микро -к мезо - и вплоть до макроуровней), действующих при пластическом деформировании, включая ударно-волновое и статико-импульсное, когда в условиях потери сдвиговой устойчивости, включается дислокационная динамика;

о кластерном структурировании с расчетами фрактальной размерности (по Hausdorf-Bezikovic), развивающими принятую структурную зонную модель формирования магнетронных (на примере металлических) нанопленок;

о динамических процессах упорядочения в диффузионно-ограниченных условиях в процессе испарения капли коллоидной системы /-MWCNT и /-SWCNT (типичная открытая диссипативная система) с учетом всех типов капиллярных конвективных (потоков Marangoni, Rayleigh-Benard) и компенсационных течений, а при включении электрического поля -электрофоретической силы;

о взаимодействиях в коллоидной системе MF OA MNPs из Fe3O4 с учетом расклинивающего давления (по теории Deryagin - Landau - Vervey -Overbeck) в магнитных и электрических полях в неравновесных условиях с нарушениями стабильности, сопровождаемой агрегированием.

Решение поставленных задач достигнуто с привлечением самого широкого набора оборудования для подготовки поверхностей: плазменная установка низкого давления PICODiener, ионная чистка, инструментальные аналитические методы: атомно-силовой и магнито-силовой (AFM и MFM), конфокальной микроскопии (CM), сканирующей электронной (SEM) и

просвечивающей электронной микроскопии (ТЕМ), дифракции обратно-рассеянных электронов (EBSD), электронной дифрактометрии (ED), малоуглового рентгеновского рассеяния (SAXS), элементного энергодисперсионного (EDX) и лазерного спектрометрического, рентгенофазового (XRD) анализов, включая in situ нагрев в высотемпературной ячейке «PAAR HTK-16», термогравитометрического (TGA) анализа, измерения микротвердости, FTIR спектроскопии и комбинационного (рамановского) рассеивания света (RS), рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), спектральной эллипсометрии (ES).

Научная новизна работы

1. Впервые систематически на наноразмерном уровне изучены процессы самоорганизованного многоуровневого структурирования в различных конденсированных средах, включая металлические образцы в форме параллелепипеда со строго заданными 3D размерами под ударно-волновым воздействием; в процессах кластерного формирования металлических магнетронных нанопленок; в коллоидных системах из /-MWCNT и /-SWCNT, а также агрегирования MF OA MNPs из Fe3O4 в диффузионно-ограниченных условиях под воздействием постоянного электрического поля.

2. Впервые, опытно обоснован механизм интерференционного 3 D-мерного микро и наноструктурирования и фазовых превращений в металлических образцах в форме параллелепипеда с размерами, удовлетворяющими пространственной и временной когерентности между волнами, возбуждаемыми при статико-импульсном пластическом деформировании.

3. Доказано, что аддитивные вклады кластерных баллистической коалесценции и кинетической агрегации являются доминирующими механизмами наноструктурирования в процессе распыления чистых металлов и формирования магнетронных нанопленок.

4. Неравновесное микро - и наноструктурирование в испаряющейся капле коллоидной системы /-MWCNT и /-SWCNT, обусловленное гидродинамическими, диффузионными, тепловыми и электрофоретическими

потоками в постоянном электрическом поле, имеет характер флуктуаций, вызывающих формирование фрактальных, кластерных и линейных структур, как дополнительных каналов диссипации энергии.

5. Впервые в субмикронном слое коллоидной системы магнитных наночастиц (OA MNPs из Fe3O4) в постоянном электрическом поле, приложенном между параллельными магнетронными медными пленками, одновременно наблюдалось микро - и наноструктурирование, вызванное как дальнодействующими магнитодипольными и электродипольными взаимодействиями - с образованием агрегатов и тороидальных структур, так и близкодействующими стерическими и Van der Waals взаимодействиями - с образованием нитеподобных цепочек и агломератов из них. Положения, выносимые на защиту

1. При статико-импульсном ударно-волновом пластическом деформировании металлических образцов в форме параллелепипеда возникает размерный эффект объемного периодического микро- и наноструктурирования, зависящий от направления деформации относительно поверхностей и расстояния между ними.

2. Взаимосвязь периодов и размеров микро - и наностуктур с размерами областей рентгеновской когерентности, коэффициентами текстурированности и равновесностью деформационных межплоскостных изменений, а также с возникновением локализованных волн Людерса, фазовых превращений y-Fe ^ a-Fe (FCC ^ BCC фазовый переход первого рода) и сфероидальных цементных включений (Fe3C).

3. 3Б-мерное микро - и наноструктурирование происходит в результате интерференции волн акустических, пластических и разгрузки, которые инициируются статико-импульсным ударно-волновым пластическим деформированием металлических образцов в форме параллелепипеда с поперечными размерами кратными длине возбуждаемой стоячей волны.

4. Особенности влияния управляющих параметров (мощности и времени) магнетронного распыления мишеней из Al, Cr, Ni, Cu и Hf на процесс

кластерообразования наноструктур в нанопленках на размеры, измеренные на атомно-силовом микроскопе, которые всегда коррелировали с размерами когерентности по дифрактограммам, в том числе, после деградации при нагреве на воздухе при температурах отжига - Тап, превышающей температуры Debye - TD, но ниже температур плавления - Tm: TD < Тап < Tm.

5. Самоорганизованное нанокластерное трехмерное формирование магнетронных металлических пленок, подтвержденное ростом коэффициента текстурированности и межплоскостными искажениями (по данным XRD), вызванными деформациями: сжимающей (Да < 0) - при кинетической агрегации и растягивающей (Да > 0) - при кластерной баллистической коалесценции, с линейной зависимостью фрактальной размерности от толщины и согласующиеся с ab-initio модельными расчетами структуры и энергии диссоциации свободных кластеров из атомов алюминия, с несколькими минимумами полной энергии (даже для трех атомов) в зависимости от структурирования на поверхностях (100), (110) и (111).

6. Режимы функционализации и результаты комплексной наноинструментальной характеризации многостенных и одностенных углеродных нанотрубок f-MWCNT и f-SWCNT) с высокостабильным существованием (до нескольких лет) в водных коллоидных системах и особенности структурирования, возникающего в капле при испарении в свободном состоянии и в постоянном электрическом поле, а также при электрохимическом осаждении на их поверхностях оксидов меди и никеля с образованием нанокомпозитов CuO/f- MWCNT или NiO/f- MWCNT.

7. Закономерности, возникающие в формировании фрактальных, кластерных и линейных структур при испарении капли водной коллоидной системы f-MWCNT или f-SWCNT под действием гидродинамических, диффузионных, тепловых потоков как в свободном состоянии в зависимости от концентрации, материала подложки и температуры, так и в постоянном электрическом поле за счет собственной проводимости, в том числе, в зависимости от хиральности SWCNT.

8. Флуктуационный механизм роста фрактальных и линейных структур в испаряющейся капле водной коллоидной системы из /-MWCNT и /-SWCNT в постоянном электрическом поле с длиной, обратно пропорциональной напряжению ^СФ,СЛ ~ 1/и, и скоростью роста, квадратично зависящей от напряжения Усф,с:Л(0 ~ У0 + ВЕ и скачкообразно возрастающей по времени Усф,сл(0 - /(г2).

9. Повышение фотокаталитической активности нанотрубчатых оксидов меди (II) и никеля (II), получаемых при отжиге синтезированных электрохимическим методом нанокомпозитов CuO//-MWCNT и N0//-MWCNT, в которых углеродные нанотрубки исполняют роль прекурсорной каркасной основы.

10. Анизотропия зависимости плотности тока в кювете с МБ ОА М№8 из Ре3О4, помещенной в постоянное магнитное поле (1.2 Тл), вращаемое относительно направления постоянного электрического поля (задаваемое до 5х105 В/м) между электродами из титан-ванадиевого сплава и меди, учитывающая элементный состав и структурные изменения поверхности медного электрода при электрохимических реакциях.

11. Результаты исследования самоорганизованного микро- и наноструктурирования в коллоидной системы МБ ОА М№8 из Бе3О4 в постоянном электрическом поле на модельном объекте в виде слоя субмикронной толщины и шириной не более 1 мм между магнетронными медными нанопленочными электродами.

12. Опытное обоснование качественной физической модели процессов микро - и наноструктурирования в коллоидной системе МБ ОА М№8 из Бе3О4 под действием постоянного электрического поля, согласно которой формирование агрегатов и тороидальных структур обусловлено магнитодипольным и электродипольным взаимодействиями, а нитеподобных цепочек и агломератов из них - стерическим и Уап der Waals взаимодействиями.

Теоретическая значимость работы

Результаты комплексных исследований микро - и наноструктурирования в открытых конденсированных системах, выполненные с пространственным наноразмерным и временным, сопоставимым или меньшим времен релаксации, соответствующими разрешениями в неравновесных состояниях при внешних деформационных, электрических, магнитных воздействиях, в диффузионно-ограниченных или с заданными размерами условиях, позволившие установить: механизмы соответствующего структурирования, сопровождаемые процессами самосборки и самоорганизации; управляющие параметры и параметры порядка, будут способствовать расширению общенаучных представлений в этой динамично развивающейся области физики.

Практическая значимость работы

Выявленные закономерности формирования и взаимосвязи самоорганизованных микро - и наноструктурированных упорядочений в конденсированных средах были положены в основу разработки технических решений:

проблем упрочнения металлических материалов при ударно-волновом пластическом деформировании;

формирования высокоупорядоченных кластерных структур в магнетронных металлических нанопленках с учетом установленного критерия качества их поверхности;

создания нанопроводов из упорядоченных в электрическом поле /-MWCNT и /-SWCNT;

сенсоров и нанокатализаторов с высокой фотокаталической активностью на основе нанотрубчатых оксидов переходных металлов;

формирования в электрических полях высокостабильных микро и наноразмерных цепочечных и тороидальных структур из агрегатов в МБ 0А М№8 из Бе304 с примесными включениями на основе медьсодержащих соединений.

Достоверность результатов исследования

Представленных в диссертационной работе, обосновывается повторяемостью всех экспериментальных данных и их согласованностью с теоретическими и модельными (ab initio) расчетами, получении материалов для исследований на типовом технологическом оборудовании, проведении измерений на современном сертифицированном аналитическом оборудовании, с использованием взаимодополняющих методов и методик, согласии всех полученных экспериментальных данных и выводов с данными в предметных областях исследований по материалам отечественных и зарубежных публикаций.

Апробация полученных результатов

Основные результаты работы были представлены на следующих конференциях: Основные результаты работы были представлены на следующих конференциях: «Математика и ее приложения в современной науке и практике», Курск, 2015; 2-ая Международная научно-практическая конференция «Физика и технология наноматериалов и структур», Курск, 2015; XIII Междунар. конф. «Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов» Курск, 2016; 3-ья Международная научно-практическая конференция «Физика и технология наноматериалов и структур», Курск, 2017, III International Conference on Modern Problems in Physics of surfaces and nanostructure, Ярославль, 2017, 2018 3rd International Conference on Materials Engineering and Nanotechnology (ICMEN 2018) Japan, 3th Всероссийской научной конференции перспективных разработок молодых ученых, «Молодежь и наука: шаг к успеху», Курск, 2019; X Всероссийская научно-практическая конференция «Нанотехнологии: образование, наука, инновации», Курск, 2019; International Conference on Applied Physics, Power and Material Science, India, 2019; The Second International Conference on Physics, Mathematics and Statistics, China, 2019.

Публикации

Общим числом 51. Из них: ВАК - 22, Scopus - 10, Web of Science - 2, Патенты РФ - 2, монографии - 2, другие научные статьи - 13.

Личный вклад автора

Содержание диссертации и основные положения, выносимые на защиту, отражают персональный вклад автора в опубликованные работы. Подготовка к публикации полученных результатов проводилась совместно с соавторами. Автором были выполнены экспериментальные работы по пластическому деформированию и исследованию образцов заданных размеров, нанесению и исследованию методом магнетронного распыления нанопленок, изучению структурирования в электрических полях коллоидных систем из одно- и многостенных углеродных, изучению структурирования магнитных жидкостей на основе магнетита при постоянном электрическом воздействии, а также комплексному исследованию и всестороннему анализу результатов, полученных с применением широкого арсенала методов и средств аналитических исследований, подавляющая часть которых выполнено лично автором или при его непосредственном участии.

Структура и объем диссертации

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав основного содержания, заключения и списка литературы - 718 наименований. Общий объем работы составляет 478 листов, содержит 163 рисунка и 27 таблиц.

Работа выполнялась при частичной поддержке грантом РФФИ 14-0800112, госзаданиями МОиН РФ №16.2814.2017/ПЧ, №0851-2020-0035, а также в рамках договора о НИР №1.56.19 с Мьянманской компанией «SKY AVIATOR COMPANY LTD».

Список литературы диссертационного исследования доктор наук Мьо Мин Тан, 2021 год

Список литературы

1. Ландау, Л.Д. Теоретическая физика - Т. VII. Теория упругости / Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц // Москва: Наука. - 1987. - 248 c.

2. Зельдович, Я.Б. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений/ Я.Б. Зельдович, Ю.П. Райзер // Издательство «Наука» Главная редакция физико-математической литературы Москва. -1966. - 688 c.

3. Zhurkov, S. Thermofluctuation mechanism of fracture / S. Zhurkov // Internal Journal of fracture mechanics. - 1965. - Vol. 1. - P. 311 - 323.

4. Хоникомб, Р. Пластическая деформация металлов / Р. Хоникомб // Издательство «Мир» Москва. - 1972. - 409 c.

5. Панин, В.Е. Структурные уровни деформации твердых тел / В.Е. Панин, В.А. Лихачев, Ю.Б. Гриняев // Новосибирск: Наука. - 1985. - 229 c.

6. Gray, G.T. Influence of shock wave deformation on the structure property behavior of materials / G.T. Gray // High pressure shock compression of solids. - 1993. - P. 187 - 215.

7. Канель, Г.И. Ударно-волновые явления в конденсированных средах / Г.И. Канель, С.В.Разоренов, А.В. Уткин, В.Е. Фортов // Москва: «Янус-К. -1996. - 408 c.

8. Носков, Ф.М. Структурная самоорганизация в областях локализации пластической деформации в сплавах с мартенситными превращениями (системы Fe-Mn,Ni-Ti) / Ф.М. Носков // Красноярск СФУ: Сибирский федеральный университет. - 2017. - 246 c.

9. Джонсон, П. Температурная зависимость фазового перехода в железе при сжатии его ударной волной / П. Джонсон, Б. Стейн, Р. Девис // Москва: Динамические исследования твердых тел при высоких давлениях. -1965. - С. 220 - 235.

10. Giles, P. M. High-pressure martensitic transformation in iron / P. M. Giles, A. R. Marder // Journal of Applied Physics. - 1971. - Vol. 42, No. 11. - P. 4290 - 4295.

11. Дремин, А. Н., Бреусов О. Н. Процессы, протекающие в твердых телах под действием сильных ударных волн / А. Н. Дремин, О.Н. Бреусов // Успехи химии. - 1971. - Т. 37, № 5. - С. 899 - 915.

12. Asay, J. R. High-Pressure shock compression of solids / J. R. Asay, M. Shahinpoor // Springer. - 1993. - 393 p.

13. Li, P. Unified factor controlling the dislocation evolution of fatigued face-centered cubic crystals / P. Li, S.X. Li, Z.G. Wang, Z.F. Zhang // Acta materialia. - 2017. - Т. 129. - С. 98 - 111.

14. Seaman, L. Lagrangian analysis for multiple stress or velocity gages in attenuating waves / L. Seaman // Journal of applied physics. - 1974. - Vol. 45, No. 10. - P. 4303 - 4314.

15. Totten, G. Handbook of residual stress and deformation of steel / G. Totten, M. Howes, T. Inoue // The materials information societ. - 2002. - 478 p.

16. Канель, Г.И. Необычные пластичность и прочность металлов при ультракоротких длительностях нагрузки / Г.И. Канель, Е.Б. Зарецкий, С.В. Разоренов, С.И. Ашитков, В.Е. Фортов // Успехи физических наук. - 2014. -Т. 184, № 10. - С. 1018 - 1032.

17. Канель, Г.И. Ударные волны в физике твердого тела / Г.И. Канель // Москва: Физматлит. - 2018. - 203 c.

18. Разумов, И.К. Неравновесные фазовые превращения в сплавах при интенсивной пластической деформации / И.К. Разумов, А.Е. Ермаков, Ю.Н. Горностырев, Б.Б. Страумал // Успехи физических наук. - 2020. - Т. 190, № 8. - С. 785 - 810.

19. Магомедов, М.Н. Изменение свойств железа при ОЦК-ГЦК-фазовом переходе / М.Н. Магомедов / Физика твердого тела. - 2021. - Vol. 63, No. 2. - P. 191 - 198.

20. Алъшиц, В.И. Динамическое торможение дислокаций / В. И. Алъшиц, В. Л. Инденбом // Успехи физических наук. - 1975. - Т. 115, № 1. -С. 3 - 839.

21. David, L. Physical Metallurgy / L. David, H. Kazuhiro // Elsevier 5th Edition. - 2014. - 274 p.

22. Hansen, N. Plastic deformation of metals and alloys / N.Hansen, C. Barlow // Physical metallurgy. - 20014. - P. 1681 - 1764.

23. Глезер, А.М. Физика мегапластической (интенсивной) деформации твердых тел / А.М. Глезер, Л.С. Метлов // Физика твердого тела. - 2010. - Т. 52, № 6. - С. 1090 - 1097.

24. Kanel, G.I. Stress relaxation in vanadium under shock and shockless dynamic compression / G.I. Kanel, S.V. Razorenov, G.V. Garkushin, A.S. Savinykh, E.B. Zaretsky // Journal of applied physics. - 2015. - Vol. 118. - P. 1 -6.

25. Дитер, Г.Е. Механизмы упрочнения твердых тел / Г.Е. Дитер, Г.И. Дитер // Москва: Металлургия. - 1965.- С. 245 - 308.

26. Киричек, А.В. Технология и оборудование статико-импульсной обработки поверхностным пластическим деформированием / А.В. Киричек, Д.Л. Соловьев, А.Г. Лазуткин // Москва: Машиностроение. - 2004. - 288 c.

27. Холмская, И.В. Фазовые и структурные превращения в сплавах на основе железа и меди при интенсивных ударно-волновых и деформационных воздействиях / И.В. Холмская // Екаттеринбург. - 2014. -297 c.

28. Bancroft, D. Polimorphism of iron at high pressure / D. Bancroft, E.L. Peterson S. Minshell // Journal of applied physics. - 1956. - Vol. 27, No. 3. - P. 291 - 298.

29. Dharmesh, K. Effect of surface mechanical treatments on the microstructure-property-performance of engineering alloys / K. Dharmesh, I. Sridhar, W. Wei, N. Srikanth // Materials. - 2019. - Vol. 1. - P. 2503-1 - 2503-41.

30. Валиев Р.З., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией / Р.З. Валиев, И.В Александров // Москва: Логос. - 2000. - 272 c.

31. Канель, Г.И. Ударные волны в физике конденсированного состояния / Г.И. Канель, В.Е. Фортов, С.В. Разоренов // Успехи физических наук. - 2007. - Т. 177, № 8. - С. 809 - 830.

32. Hammond, C. The basics of crystallography and diffraction / C. Hammond // Institute for materials research university of Leeds. - 2009. - 449 p.

33. Сорокин, В.Г. Марочник сталей и сплавов / В.Г. Сорокин, А.В. Волоснникова, С.А. Вяткин, М.А. Гервасьев // Москва: Маштностроение. -1989. - 640 c.

34. Панин, В.Е. Основы физической мезомеханики / В.Е. Панин // Физическая мезомеханика. - 1998. - № 8. - С. 5 - 22.

35. Hahner, P. Theory of solitary plastic waves / P. Hahner // Applied physics A. - 1994. - Vol. 58. - P. 49 - 54.

36. Glezer, A.M. Structural mechanisms of plastic deformation of amorphous alloys containing crystalline nanoparticles / A.M. Glezer, S.E. Manaenkov, I. E. Permyakova // Bulletin of the russian academy of sciences: physics. - 1956. - Vol. 71, No. 12. - P. 1702 - 1707.

37. Самойленко, З.А. Разномасштабные структурные изменения атомного порядка в интенсивно деформированном техническом алюминии / З.А. Самойленко, Н.Н. Ивахненко, Е.И. Пушенко, Е.Г. Пашинская, В.Н. Варюхин // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, № 2. - С. 217 - 224.

38. Трефилов, В.И. Деформационное упрочнение и разрушение поликрсталлических металлов / В.И. Трефилов, В.Ф. Моисеев, Э. П. Печковский, И.Д. Горная // Киев: Наукова думка. - 1996. - 256 с.

39. Moiseev, V.F. Change of the deformation mechanism (slip ^ twinning) in polycrystalline a-iron / V.F. Moiseev, V.I. Trefilodv // Basic solid state physics. - 1996. - Vol. 18. - P. 881 - 894.

40. Higashida, K. SPD structures associated with shear bands in cold-rolled low SFE metals / K. Higashida, T. Morikawa // Nanomaterials by severe plastic deformation. - 2000. - P. 517 - 522.

41. Псахье, С.Г. О термофлуктуационном формировании локальных структурных изменений в кристалле в условиях динамического нагружения / С.Г. Псахье, К.П. Зольников, Д.С. Крыжевич, А.Н. Тюменцев // Физическая мезомеханика. - 2005. - С. 55 - 60.

42. Chandan A.K. Evolution of substructure of a non equiatomic FeMnCrCo high entropy alloy deformed at ambient temperature / A.K. Chandan, S. Tripathy, M. Ghosh, S.G. Chowdhury // Metallurgical and materials transactions A. - 2019. - Vol. 50. - P. 5079 - 5090.

43. Ивахненко, Ю.В. Влияние деформационного двойникования на механические свойства сплавов с ОЦК-решёткой / Ивахненко Ю. В., Гончарова И. В. // Успехи физики металлов. - 2017. - Т. 3. - С. 265 - 294.

44. Donald, S.C. Physical metallurgy for engineers / S.C. Donald, R.V. Wilbur // New Delhi: affiliated east-west press. - 1962. - 570 с.

45. Мещеряков, Ю.И. О сверхзвуковом распространении фронтов мартенситных превращений, иннициированных ударным нагружением / Ю.И. Мещеряков, М.П. Кащенко, В.Б. Васильков, С.А. Атрощенко // Письма в журнал технической физики. - 1993. - Т. 19, № 2. - С. 75 - 78.

46. Кащенко, М.П. Динамическая модель сверхзвукового роста мартенситных кристаллов / М.П. Кащенко, В.Г. Чащина // Успехи физических наук. - 2011. - Т. 181, № 4. - С. 345 - 364.

47. Martin, H. Rolling and recrystallization textures of bcc steels / H. Martin, R. Dierk, L. Kurt // Steel research. - 1991. - Vol. 62, No. 12. - P. 567 -575.

48. Moo-Young, H. Effect of through thickness macro and micro texture gradients on ridging of 17% Cr ferritic stainless steel sheet / H. Moo-Young, L. Jae-Hyup, H.P. Soo, E. Olaf, R. Dierk // Steel research international. - 2005. -Vol. 76, No. 11. - P. 345 - 364.

49. Leo, A.I.K. Advanced high strength steels: improved properties by design of textures and microstructures / A.I.K. Leo, K.D. Dorien, C.C. Felipe, H.P.

Roumen // IOP conference series: materials science and engineering. - 2017. -Vol. 219. - P. 012004-1 - 012004-14.

50. Glezer, A.M. Plastic deformation of nanostructured materials / A.M. Glezer, E.V. Kozlov, N.A. Koneva, N.A. Popova, I.A. Kurzina // Boca raton: CRC taylor & francis group. - 2017. - 322 p.

51. Литовченко, И.Ю. Особенности мартенситных превращений и эволюция дефектной микроструктуры в процессе прокатки метастабильной аустенитной стали при комнатной температуре / И.Ю. Литовченко, А.Н. Тюменцев, Е.П. Найден // Физическая мезомеханика. - 2014. - Т. 17, № 1. -С. 31 - 42.

52. Kalantar, D.H. Direct observation of the a-s transition in shock-compressed iron via nanosecond x-ray diffraction / D.H. Kalantar, J.F. Belak, G.W. Collins, J.D. Colvin // Physical rewev letters. - 2005. - Vol. 95. - P. 0755021 - 075502-4.

53. Martinez-Calderon, M. Surface micro- and nano-texturing of stainless steel by femtosecond laser for the control of cell migration / M. Martinez-Calderon, M. Manso-Silvan, A. Rodriguez, M. Gomez-Aranzadi, J.P. Garcia-Ruiz, S.M. Olaizola, R. J. Martin-Palma // Scientific reports. - 2016. - Vol. 6. - P. 36291 - 3629-4.

54. Васильев, М.А. Механохимическое окисление поверхности металлических сплавов под действием интенсивной пластической деформации / М.А. Васильев, С.М. Волошко, Л.Ф. Яценко // Успехи физики металлов. - 2014. - Т. 15. - С. 79 - 100.

55. Kar, P. Force dominated non equilibrium oxidation kinetics of tantalum / P. Kar, K. Wangc, H. Lianga // Electrochimica acta. - 2008. - Vol. 53. -P. 5084 - 5091.

56. Ivanova, V.S. The role of dislocations in the hardening and fracture of metals / V.S. Ivanova, L.K. Gordienko, V.N. Geminov // Moscow: nauka. - 1965. - 186 p.

57. Панин, В.Е. Структурные уровни пластической деформации и разрушения / В.Е. Панин, Ю.В. Гриняев, В.И. Данилов, Л.Б. Зуев, В.Е. Егорушкин // Новосибирск: Наука. - 1990. - С. 123 - 186.

58. Kuhlmann-Wilsdorf, D. The theory of dislocation based crystal plasticity / D. Kuhlmann-Wilsdorf // Philosophical magazine A. - 1999. - Vol. 79, No. 4. - P. 955 - 1008.

59. Le, K.C. Thermodynamic dislocation theory: finite deformations / K.C. Le // International journal of engineering science. - 2019. - Vol. 139. - P. 1 -10.

60. Yurkova, A.I. Structure and mechanical properties of iron subjected to surface severe plastic deformation by attrition: II. mechanical properties of nano and submicrocrystalline iron / A.I. Yurkova, Y.V. Milman, A.V. Byakova // Russian metallurgy (matally). - 2009. - Vol. 2010, No. 4. - P. 258 - 263.

61. John, S.A. Fundamental aspects of dislocation theory / S.A. John Simmons, W.R. De, R. Bullough // National bureau of standards special publication 317. - 1970. - Vol. 2. - 624 p.

62. Acharya, A. On the structure of linear dislocation field theory / A. Acharya, R.J. Knops, J. Sivaloganathan // Journal of the mechanics and physics of solids. - 2019. - Vol. 130. - P. 258 - 263.

63. Козлов, Э.В. Место дислокационной физики в многоуровневом подходе к пластической деформации / Э.В. Козлов, Л.И. Тришкина, Н.А. Попова, Н.А. Конева // Физическая мезомеханика. - 2011. - Т. 14, № 3. - С. 96 - 110.

64. Панин, В.Е. Основы физической мезомеханики пластической деформации и разрушения твердых тел как нелинейных иерархически организованных систем / В.Е. Панин, В.Е. Егорушкин // Физическая мезомеханика. - 2015. - Т. 18, № 5. - С. 100 - 113.

65. Иванова, В.С. Синергетика и фракталы в материаловедении / В.С. Иванова, А.С. Баланкин, И.Ж. Бунин, А.А. Оксогоев // М.:Наука. - 1994. -383 с.

66. Малыгин, Г.А. Самоорганизация дислокаций и локализация скольжения в пластически деформируемых кристаллах (обзор) / Г.А. Малыгин // Физика твердого тела. - 1995 . - Т. 37, № 1. - С. 3 - 42.

67. Олемской, А.И. Синергетика пластической деформации / А. И. Олемской, А. В. Хоменко // Успехи физики металлов. - 2001 . - Т. 2. - С. 189 - 263.

68. Xue, Q. Self organization of shear bands in stainless steel / Q. Xue, M.A. Meyers, V.F. Nesterenko // Materials science and engineering A. - 2004. -Vol. 384. - P. 35 - 46.

69. Деревягина, Л.С. Самоорганизация пластических сдвигов в макрополосах локализованной деформации в шейке высокопрочных поликристаллов и ее роль в разрушении матекриала при одноосном растяжении / Л.С. Деревягина, В.Е. Панин, А.И. Гордиенко // Физическая мезомеханика. - 2007 . - Т. 10, № 4. - С. 59 - 71.

70. Luo, Y.R. Comprehensive handbook of chemical bond energies / Y.R. Luo // Boca Raton: CRC press. - 2007. - P. 65 - 79.

71. Demir, E. Investigation of the indentation size effect through the measurement of the geometrically necessary dislocations beneath small indents of different depths using EBSD tomography / E. Demir, D. Raabe, N. Zaafarani, S. Zaefferer // Acta materialia. - 2009. - Vol. 57. - P. 559 - 569.

72. Томсен, Э. Механика пластической деформации при обработке металлов / Э. Томсен, К. Янг, Ш. Кабаяши // Москва: Машиностроение. -1969 . - 504 с.

73. Колмогоров, В.Л. Механика обработки металлов давлением / В.Л. Колмогоров // Екатеринбург: Уральский государственный технический университет (УПИ). - 2001 . - 836 с.

74. Макаров, П.В. Подход физической мезомеханики к моделированию процессов деформации и разрушения / П.В. Макаров // Физическая мезомеханики. - 1998 . - Т. 1. - С. 61 - 81.

75. Гольдштейн, М.И. Металлофизика высокопрочных сплавов / М. И. Гольдштейн, В.С. Литвинов, Б.М. Бронфин // Москва: Металлургия. -1986 . - 312с.

76. Фарбер, В.М. Вклад различных структурных факторов в формирование прочностых свойств сталей класса проности К65 / В.М. Фарбер, И.Ю. Пышминцев, А.Б. Арабей, О.В. Селиванова, О.Н. Полухина // Известия высших учебных заведений, черная металлургия. - 2012 . - № 9. -С. 46 - 49.

77. Мавлютов, А.М. Влияние микроструктуры на физико-механические свойства алюминиевого сплава системы Al-Mg-Si, наноструктурированного интенсивной пластической деформацией / А.М. Мавлютов, И.А. Касаткин, М.Ю. Мурашкин, Р.З. Валиев, Т.С. Орлова // Физика твердого тела. - 2015 . - Т. 57, № 10. - С. 1998 - 2004.

78. Hall, E.O.The Deformation and ageing of mild steel: III discussion of results / E.O. Hall // Processing physics scoiciety. - 1951. - Vol. 64. - P. 747 -753.

79. Petch, N.J. The Cleavage Strength of Polycrystals / N.J. Petch // Journal of the iron and steel institute. - 1953. - Vol. 174. - P. 25 - 28.

80. Hansen, N. Microstructure and flow stress of polycrystals and single crystals / N. Hansen, X. Huang // Acta mater. - 1998. - Vol. 46, No. 5. - P. 1827 -1836.

81. Myhr, O.R. Modelling of the age hardening behaviour of Al-Mg-Si alloys / O.R. Myhr, O. Grong, S.J. Andersen // Acta materialia. - 2001. - Vol. 49. - P. 65 - 75.

82. Espinosa, H.D. Mechanical testing and evaluation / H.D. Espinosa, S. Nemat-Nasser // San Diego: ASM International. - 2000. - Vol. 8. - 2235 p.

83. Федер, Е. Фракталы / Е. Федер // New york and London: Москва Мир. - 1991. - 254 с.

84. Громов, В.Е. Деформационное упрочнение стали с бейнитной структурой / В.Е. Громов, Е.Н. Никитина, Ю.Ф. Иванов, К.В. Аксёнова, Е.В. Корнет // Успехи физики металлов. - 2015 . - Т. 16. - С. 299 - 328.

85. Mizuguchi, T. Effects of temperature and strain rate on deformation twinning in Fe-Si alloy / T. Mizuguchi., K. Ikeda., N. Karasawa // ISIJ International. - 2015. - Vol. 55, No. 7. - P. 1496 - 1501.

86. Yang, H. Microstructural characterization of the shear bands in Fe-Cr-Ni single crystal by EBSD / H.Yang, J.H. Zhang, X.U. Yongbo, M.A. Meyers // Journal of material science and technology. - 2008. - Vol. 24, No. 6. - P. 819 -828.

87. Pashynskaya, E.G. Intensified movement of dedects during severe plastic deformation / E.G. Pashynskaya, Yu.N. Podrezov, V.V. Stolyarov, A.V. Zavdoveyev, I.I. ^ishchenko // Materials physics and mechanics. - 2012. - Vol. 15. - P. 26 - 33.

88. Odnobokova, M. Development of nanocrystalline 304L stainless steel by arge strain cold working / M. Odnobokova, A.y Belyakov, R. Kaibyshev // Metals. - 2015. - No. 5. - P. 656 - 336.

89. Смолин, И.Ю. О применении модели Коссера для описания пластического деформирования на мезоуровне / И.Ю. Смолин // Физическая мезомеханика. - 2005 . - Т. 8, № 3. - С. 49 - 62.

90. Семашко, М.Ю. Моделировнаие в среде DEFORM микрострукутры метллических образцов, подвергнутых интенсивной пластической деформации / М.Ю. Семашко, В.Г. Шеркунов, П.А. Чигинцев // Вестник МГТУ им. Г.И. Носова. - 2013 . - № 1. - С. 57 - 61.

91. Романова, В.А. Исследование деформационных процессов на поверхности и в объеме материалов с внутреними границами раздела методами числленного моделирования / В.А. Романова // Физическая мезомеханика. - 2005 . - Т. 8, № 3. - С. 63 - 78.

92. Raabe, D. Coupling of a crystal plasticity finite element model with a probabilistic cellular automaton for simulating primary static recrystallization in

aluminium / D. Raabe, R.C. Becker // Modelling and simulation in materials science and engineering. - 2000. - Vol. 8. - P. 455 - 462.

93. Roters, F. Overview of constitutive laws, kinematics, homogenization and multiscale methods in crystal plasticity finite element modeling: Theory, experiments, applications / F. Roters, P. Eisenlohr, L. Hantcherli, D.D. Tjahjanto, T.R. Bieler, D. Raabe // Acta materialia. - 2010. - Vol. 58. - P. 1152 - 1211.

94. Shen, Z. Dislocation pile up and grain boundary interactions in 304 stainless stee / Z. Shen, R.H. Wagoner, C. Wat // Scripta metallurgica. - 1986. -Vol. 20, No. 6. - P. 921 - 926.

95. Kuhr, B. Stress localization resulting from grain boundary dislocation interactions in relaxed and defective grain boundaries / B. Kuhr, D. Farkas, I. Robertson, D. Johnson, G. Was // Metallurgical and materials transactions A. -2020. - Vol. 51. - P. 667 - 687.

96. Литовченко, И.Ю. Тензор дисторсии в зонах локализации деформации механизмами динамических фазовых (прямых плюс обратных мартенситных) превращений / И.Ю. Литовченко, А.Н. Тюменцев, С.Л. Гирсова // Физическая мезомеханика. - 2004. - Т. 7, № 1. - С. 113 - 116.

97. Бородин, И.Н. Предел текучести нанокристаллических металлов при высокоскоростной пластической обработке / И.Н. Бородин, А.Е. Майер // Физика твердого тела. - 2012. - Т. 54, № 4. - С. 759 - 766.

98. Мещеряков, Ю.И. Переход металлов в структурно-неустойчивое состояние при ударно-волновом нагружении / Ю.И. Мещеряков, Н.И. Жигачева, А.К. Диваков, И.П. Макаревич, Б.К. Барахтин // Прикладная механика и техническая физика. - 2010. - Т. 51, № 5. - С. 132 - 146.

99. Feng, W. Effects of deformation mode and strain level on grain boundary character distribution of 304 austenitic stainless steel / W. Feng, S. Yang, Y. Yan // Metallurgical and materials transactions A. - 2018. - Vol. 49. - P. 2257 - 2268.

100. Takayama, Y. Stored energy and taylor factor relation in an Al-Mg-Mn alloy sheet worked by continuous cyclic bending / Y. Takayama, J.A. Szpuna // Materials transaction. - 2004. - Vol. 45, No. 7. - P. 2316 - 2325.

101. Liu, W. A Coupled EBSD/TEM analysis of the microstructure evolution of a gradient nanostructured ferritic/martensitic steel subjected to surface mechanical attrition treatment / W. Liu, X. Jin, B. Zhang, D. Yun, P. Chen // Materials. - 2019. - Vol. 140, No. 12. - P. 1 - 10.

102. В.Н. Варюхин, Возможности метода дифракции обратнорассеянных электронов для анализа струкутры деформированных материалов / В.Н. Варюхин, Е.Г. Пашинская, А.В. Завдовеев, В.В. Бурховецкий // Киев: Наукова думка. - 2014. - 102 с.

103. R. Schwarzer, H. Weiland, "Schwarzer R. On-line computerized evaluation of Kikuchi patterns for the determination of preferred orientations and orientation correlations / R. Schwarzer, H. Weiland // Proceedings of icotom. -1984. - P. 839 - 843.

104. Rauch, E.F. Automated nanocrystal orientation and phase mapping in the transmission electron microscope on the basis of precession electron diffraction / E.F. Rauch, P. Joaquin, N. Stavros // Crystalline materials. - 2010. - Vol. 225, No. 2-3. - P. 103 - 109.

105. L.P. Kubin., Y. Estrin, Strain nonuniformities and plastic instabilitie / L.P. Kubin., Y. Estrin // Revue de physique appliquee. - 1988. - Vol. 23. - P. 573 - 583.

106. Плехов, О.А. Экспериментальное исследование процессов накопления и диссипации энергии в железе при упруго-пластическом переходе / О.А. Плехов, N. Saintier, О. Наймарк // Журнал технической физики. - 2007. - Т. 77, № 9. - С. 135 - 137.

107. Муравьев, Т.В. Особенности акустической эмиссии при развитии полосы Чернова-Людерса в образцах из низкоуглеродистой стали / Т.В. Муравьев, Л.Б. Зуев // Журнал технической физики. - 2008. - Т. 78, № 8. - С. 135 - 139.

108. Polyzos, B. Dislocation dynamics and acoustic emission during plastic deformation of crystals / B. Polyzos, A. Trochidis // Wave motion. - 1995. - Vol. 21. - P. 343 - 355.

109. Киричек, А.В. Использование ударных волн деформации для наноструктурирования металлических материалов / А.В. Киричек, Д.Л. Соловьев, А.П. Кузьменко // Наукоемкие технологии в машиностроении. -2015. - № 8. - С. 17 - 22.

110. Киричек, А.В. Статико-импульсная обработка и оснастка для ее реализации / А.В. Киричек, А.Г. Лазуткин, Д.Л. Соловьевв // СТИН. - 1999. -№ 6. - С. 20 - 24.

111. Букаемский, А.А. Особенности упочнения Ст.3 при ударно-волновом воздействии / А.А. Букаемский, В.И. Кирко, Д.Е. Талабуев // Физика горения и взрыва. - 2001. - Т. 37, № 6. - С. 119 - 123.

112. Джоунс, Р. Голографическая и спекл-интерферометрия / Р. Джоунс, К. Уайкс // Москва: Мир. - 1986. - 323 с.

113. Ole, J.L. Recent developments in video speckle interferometry / J. L. Ole // New yourk: Marcel Dekker. - 1993. - Vol. 38. - P. 157 - 194.

114. Йошида, С. Динамика пластической деформации на основе механизмов восстановления и диссипации энергии при пластичности / С. Йошида // Физическая мезомеханика. - 2008. - Т. 11, № 2. - С. 31 - 38.

115. Toyooka, S. Digital speckle pattern interferometry for observing the entire process of plastic deformation of a solid object/ S. Toyooka, X. Gong // Japanese journal of applied physics. - 1995. - Vol. 34. - P. 1666 - 1668.

116. Toyooka, S. Dynamic observation of localized strain pulsation generated in the plastic deformation process by electronic speckle pattern interferometry / S. Toyooka, R. Widiastuti, Z. Qingchuan, H. Kato // Japanese journal of applied physics. - 2001. - Vol. 40. - P. 310 - 313.

117. Yoshida, S. An optical interferometric band as an indicator of plastic deformation front / S. Yoshida, H. Ishii, K. Ichinose, K. Gomi, K. Taniuchi // Journal of applied mechanics. - 2005. - Vol. 72. - P. 792 - 794.

118. Патент РФ № 2018125284, 10.07.2018 Воробъев А.А, Уткин А.В. Голденко Н.А. Способ определения параметров динамического деформирования металлических материалов // Патент России № 2695024. 2018. Бюл. № 20.

119. Мешеряков, Ю.И. Формирование многомасштабной мезоструктуры в условиях ударного нагружения / Ю.И. Мешеряков, Н.И. Жигачева, А.К. Диваков, Г.В. Коновалов // Физическая мезомехаика. - 2019. - Т. 22, № 3. - С. 44 - 53.

120. Grady, D.E. The growth of unstable thermoplastic shear with application to steady wave shock compression in solids / D.E. Grady, M.E. Kipp // Journal of the mechanic and physics of solids. - 1987. - Vol. 35, No. 1. - P. 95 -81.

121. Li, P. Standing wave effect and fractal structure in dislocation evolution / P. Li, Z.F. Zhang // Scientific reports. - 2017. - No.7. - P. 1 - 6.

122. Зуев, Л.Б. Пространственно-временное упорядочение при пластическом течении твердых тел / Л.Б. Зуев, В.И. Данилов, Б.С. Семухин // Успехи физики металлов. - 2002. - Т. 3. - С. 237 - 304.

123. Дидык, Р.П. Анализ влияния динамики нагружения на деформационное поведение металлов и их сплавов в пластической области / Р.П. Дидык, Е.В. Кузнецов // Reports of the national academy of sciences of Ukraine. - 2019. - № 1. - С. 49 - 55.

124. Meyers, M.A. Microstructural evolution in adiabatic shear localization in stainless steel / M.A. Meyers, Y.B. Xu, Q. Xue, M.T. Perez-Prado, T.R. McNelley // Acta materialia. - 2003. - No.51. - P. 1307 - 1325.

125. Канель, Г.И. Искажение волновых профилей при отколе в упругопластическом теле / Г.И. Канель // Прикладная механика и техническая физика. - 2001. - Т. 42, № 2. - С. 1 - 5.

126. Беликова, А.Ф. Локализация деформации при динамических нагрузках / А.Ф. Беликова, С.Н. Буравова, Е.В. Петров // Журнал технической физики. - 2013. - Т. 83, № 8. - С. 68 - 75.

127. Буравова, С.Н. Кавитационное воздействие пузырьков на поверхность твердого тела / С.Н. Буравова, Ю.А. Гордополов // Письма журнал технической физики. - 2015. - Т. 36, № 15. - С. 69 - 74.

128 Хантулева, Т.А. О неустойчивости пластического течения на мезоуровне при высокоскоростном деформировании твердого тела / Т.А. Хантулева, Ю.И. Мещяряков // Физическая мезомеханика. - 2016. - Т. 19, № 4. - С. 5 - 13.

129. Мещеряков, Ю.И. Пороговые режимы и микромеханизмы динамического деформирования / Ю.И. Мещеряков, А.К. Диваков, Н.И. Жигачева, Б.К. Барахтин // Физика и механика материалов. - 2011. - Т. 11. -С. 23 - 59.

130. Шишков, М.М. Марочник сталей и сплавов / М.М. Шишков // Справочник. - 2000. - 456 с.

131. Сорокинн, В.Г. Стали и сплавы. Марочник / В.Г. Сорокинн, М.А. Гервасьев, В.С. Палеев, И.В. Герасьева, С.Я. Палеева // Москва: Интермет Инжиниринг. - 2001. - 608 с.

132. Зубченко, А.С. Марочник сталей и сплавов / А.С. Зубченко, М.М. Колосков, Ю.В. Каширский // Москва: Машиностроение. - 2003. - 784 с.

133. Киричек, А.В. Ударно-волновой механизм микро- и нано структурных измененийпри статико-импульсной обработкестали 45 / А.В. Киричек, А.П. Кузьменко, Д.Л. Соловьев, С.В. Баринов, А.Ю. Алтухов, С.А. Силантьев, А.Н. Гречухин, Мьо Мин Тан // Известия Юго-Западного государственного университета: Серия техники и технологии. - 2015. - Т. 63, № 6. - С. 8 - 16.

134. Kirichek, A.V. Dobromyslov M.B. Dimensional effects in micro- and nanostructural changes in grain and intragrainedstructure of steel 45 at static-pulse treatment / A.V. Kirichek, A.P. Kuzmenko, D.L. Soloviev, S.V. Barinov, A. Y. Altukhov, S.A. Silantiev, A.N. Grechukhin, Myo Min Than // Journal of nano- and electronic physics. - 2015. - Vol. 7, No. 4. - P. 04023 - 04027.

135. Киричек, А.В. Размерные эффекты в микро- и нано структурных изменениях в зеренной и внутризеренной структуре стали45 при статико-импульсной обработке / А.В. Киричек, А.П. Кузьменко, Д.Л. Соловьев, С.В. Баринов, А.Ю. Алтухов, С.А. Силантьев, А.Н. Гречухин, Мьо Мин Тан // изика и технология наноматериалов и структур: сборнки научных статей 2-й Международной научно-практической конференции ЮЗГУ. - 2015. - Vol. 1. - С. 54 - 62.

136. Копцева, Н.В. Эволюция микроструктуры и свойств при нагреве феррито-перлитных углеродистых конструкционных сталей с ультрамелкозернистой структурой, сформированной интенсивной пластической деформацией / Н.В. Копцева, Д.А. Михоленко, Ю.Ю. Ефимова // Вестник Воронежского государственного технического университета. -2011. - Т. 7, № 9. - С. 85 - 91.

137. Xu-dong, Z. Forging penetration efficiency of steel H13 stepped shaft radial forging with gfm forging machine / Z. Xu-dong, L. Xiang-ru, X. Jian-bin // Journal of shanghai jiaotong university (science). - 2012. - Vol. 17, No. 3. - P. 315 - 318.

138. Semiatin, S.L. Forming and forging / S.L. Semiatin // Metals Handbook. - 1988. - Vol. 17. - 2110 p.

139. Karavaeva, M.V. Superior strength of carbon steel with an ultrafine grained microstructure and its enhanced thermal stability / M.V. Karavaeva, S. Kiseleva, A.V. Ganeev // Journal of materials science. - 2015. - Vol. 50, No. 20. -P. 6730 - 6738.

140. Lo, K.H. Recent developments in stainless steel / K.H. Lo, C.H. Shek, J.K.L. Lai // Material Science and Engineering. - 2009. - Vol. 65. - P. 39 - 104.

141. Засимчук, Е. Э. Самоорганизация кристаллов при пластической деформации / Е.Э. Засимчук, В.И. Засимчук, Т.В. Турчак // Успехи физики металлов. - 2013. - Т. 14. - С. 275 - 318.

142. Потапов, А.А. Исследование микрорельефа обработанных поверхностей с помощью методо фрактальных сигнатур / А.А. Потапов, В.В.

Булавин, В.А. Герман, О.Ф. Вячеславова // Журнал технической физики. -2005. - Т. 75, № 5. - С. 28 - 45.

143. Буравова, С.Н. Сфероидизация перлита в полосах локализованной деформации в сталях с перлитоферритной структурой при импульсном нагружении / С.Н. Буравова, Е.В. Петров, А.С. Щукин // Вестник Тамбовского университета. Серия Естественные и технические науки. - 2016.

- Т. 21, № 3. - С. 746 - 749.

144. Буравова, С.Н. Физико-химические процессы, сопровождающие локализацию пластической деформации при импульсном нагружении / С.Н. Буравова, Е.А. Петров, Г.Р. Сайкова, М.И. Алымов // Доклады академии наук. - 2018. - Т. 481, № 6. - С. 634 - 637.

145. Li, P. Effect of orientations on cyclic deformation behavior of Ag and Cu single crystals: Cyclic stress-strain curve and slip morphology / P. Li, Z.F. Zhang, S.X. Li, Z.G. Wang // Acta materialia. - 2008. - Vol. 56. - P. 2212 - 2222.

146. Sokolov, A.G. Improvement of wear resistance of asthenic steels by applying of carburization and diffusion saturation in liquid metal media solutions / A.G. Sokolov, E.E. Bobylyov // Journal of physics: conference series. - 2019. -Vol. 1399. - P. 044085-1 - 044085-4.

147. Stojakovic, D. Electron backscatter diffraction in materials characterization / D. Stojakovic // Processing and application of ceramics. - 2012.

- Vol. 6, No. 1. - P. 1 - 13.

148. Алетдинов, А.Ф. EBSD анализ микроструктуры аустенитной стали после прокатки в криогенных условиях / А.Ф. Алетдинов, С.Ю. Миронов, Г.Ф. Корзникова, Р.Г. Зарипова, Т.Н. Конькова, М.М. Мышляев // Физика и механика материалов. - 2017. - Т. 33. - С. 29 - 40.

149. Xu, Y. Effect of cold rolling process on microstructure, texture and properties of strip cast Fe-2.6%Si steel / Y. Xu, Ha. Jia, W. Qiu // Materials. -2018. - No.11. - P. 1161-1 - 1161-12.

150. Самойленко, З.А. Самоорганизация разномасштабных структурных групп в малоуглеродистой проволоке под действием

интенсивного волочения / З.А. Самойленко, Н.Н. Ивахненко, Е.И. Пушенко // Журнал технической физики. - 2019. - Т. 89, № 2. - С. 218 - 225.

151. Filhoa, I.R.S. Strain hardening mechanisms during cold rolling of a high-Mn steel: Interplay between submicron defects and microtexture / I.R. Souza Filhoa, M.J.R. Sandima // Materials science & engineering A. - 2018. - No.11. -P. 1161-1 - 1161-12.

152. Асеев, Л.А. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Л.А. Асеев // Вестник российской академии наук. - 2006. - Т. 76, № 7. - С. 603 - 611.

153. Сейсян, Р.П. Нанолитография в наноэлектронике (Обзор) / Р.П. Сейсян // Журнал технической физики. - 2011. - Т. 81, № 8. - С. 1 - 14.

154. Weimin, L. Adhesion improvement and characterization of magnetron sputter deposited bilayer molybdenum thin films for rear contact application in cigs silar cells / L. Weimin, L. Xia, G.A. Armin, V. Selvaraj // International journal of photoenergy. - 2016. - P. 1 - 10.

155. Fabio, F.V. Flexible electronics: integration processes for organic and inorganic semiconductor based thin film transistors / F.V. Fabio, T. Meyers, U. Hilleringmann // Electronics. - 2016. - Vol.10, No.5. - P. 480 - 506.

156. Kats, M.A. Optical absorbers based on strong interference in ultra-thin films / M. A. Kats, C. Federico // Laser photonics reviews. - 2016. - Vol.10, No.5. - P. 735 - 749.

157. Ivanova, T. Structural transformations and their relation to the optoelectronic properties of chromium oxide thin films / T. Ivanova, K. Gesheva, A. Cziraki, A. Szekeres, E. Vlaikova // Journal of physics: Conference series.-2008. - Vol.113, No.8. - P. 1 - 6.

158. Alexeeva, O.K. Application of the magnetron sputtering for nanostructured electrocatalysts synthesis / O.K. Alexeeva, V.N. Fateev // International journal of hydrogen energy. - 2016. - Vol. 41, No. 5. - P. 3373 -3386.

159. Uhlmann, E. HIPIMS coated carbides with high adhesive strength for hard machining / E. Uhlmann, B. Stawiszynski, C. Leyens, S. Heinze // MM Science jounal. - 2014. - P. 516 - 520.

160. Zharkov, S.Y. Increasing wear resistance of copper friction pair with electrically-conductive tribological Cu-Mo-S coatings / S.Y. Zharkov, V.P. Sergeev, M.V. Fedorischeva, O.V. Sergeev, M.P. Kalashnikov // Advanced materials with hierarchical structure for new technologies and reliable structures. -2016. - Vol. 1738, No. 1. - P. 1 - 4.

161. Paul, J.D.W. Techniques and challenges for characterizing metal thin films with applications in photonics / J.D.W. Paul, A.C. Jeffrey, K.H. Heather // Coatings. - 2016. - Vol. 6, No. 35. - P. 1 - 26.

162. Соминский, Г.Г. Оптимизация многоострийных полевых эмиттеров с двуслойными защитными покрытиями / Г.Г. Соминский, Е.П. Тарадаев // Журнал технической физики. - 2017. - Т. 87, № 6. - С. 930 - 934.

163. Rondiya, R. Synthesis and characterization of DC magnetron sputtered nano structured molybdenum thin films / R. Rondiya, A.V. Rokade, A.A. Jadhavar, S. M. Pandharkar, R.R. Kulkarni, S.D. Karpe, K.D. Diwate, S.R. Jadkar // American institute of physics. - 2016. - Vol. 1724, No. 1. - P. 020089 - 020094.

164. Martinu, L. Advances in optical coatings stimulated by the development of deposition techniques and the control of ion bombardment / L. Martinu, B. Hichwa, J.E. Klemberg-Sapieha // SVC bulletin spring. - 2014. - P. 30

- 45.

165. Fieandt, K.V. Multi-component (Al,Cr,Nb,Y,Zr) N thin films by reactive magnetron sputter deposition for increased hardness and corrosion resistance / K.V. Fieandt, E.M. Paschalidou, A. Srinath // Thin soild films. - 2020.

- Vol. 693, No. 1. - P. 1 - 47.

166. Natasa, M.S. Photoresistive switching of multiferroic thin film memristors / M.S. Natasa, B. Bajac, J. Bajic // Microelectronic engineering. -2018. - Vol. 187-188. - P. 139 - 143.

167. Bassam, A. Oxygen effect on structural and optical properties of ZnO thin films deposited by RF / A. Bassam, K.J. Abdul, R. Raeda // Materials research. - 2017. - Vol. 20, No. 3. - P. 607 - 612.

168. Terence, K.S. Current status and future prospects of copper oxide Heterojunction Solar Cells / K.S. Terence, S.Z. Wong, M.P. Saeid, K.D. Goutam // Materials. - 2016. - Vol. 9, No. 4. - P. 271 - 292.

169. Yue, H.H. Texture ZnO thin-films and their application as front electrode in solar cells / H.H. Yue, C.C. Yi, J.X. Hai, G. Hao, H.J. Wei, H. Fei, X.W. Yan // Engineering. - 2010. - Vol. 2, No. 12. - P. 973 - 978.

170. Joo, Y.H. Characteristics of Ti thin films and application as a working electrode in TCO less dye sensitized solar cells / Y.H Joo, N.H Kim, Y.S. Park // Transactions on electrical and electronic materials. - 2017. - Vol. 8, No. 2. - P. 93 - 96.

171. Puvaneswaran, C. Growth of MoOx nanobelts from molybdenum Bi-layer thin films for thin films solar cell application / C. Puvaneswaran, R. Haroon, I. H. Mohammad, S.R. Kazi, S. Norazlynda, N.M. Siti, B. Badariah, M. Akhtaruzzaman, A. Nowshad // Thin solid films. - 2016. - Vol. 621. - P. 1 - 30.

172. Miyata, T. Photovoltaic properties of low-damage magnetron-sputtered n-type ZnO thin film/p-type Cu2O sheet heterojunction solar cells / T. Miyata, H. Tokunaga, K. Watanabe, N. Ikenaga, T. Minami // Thin solid film. -2020. - Vol. 697. - P. 1 - 19.

173. Кузьменко А.П., Нау Динт, Мьо Мин Тан. Самоорганизация при формировании металлических магнетронных нанопленок / А.П. Кузьменко, Нау Динт, Мьо Мин Тан // Курск: Юго-Зап. гос. ун-т. ЗАО Университетская книга. - 2018. - 208 с.

174. Donald M.M., Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing / M.M. Donald // Burlington: elsevier. - 2010. - 771 p.

175. Смирнов, Б.М. Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе / Б.М. Смирнов // Успехи физических наук. - 2007. - Т. 177, № 5. - С. 713 - 745.

176. Каштанов, П.В. Магнетронная плазма и нанотехнология / П.В. Каштанов, Б.М. Смирнов, Р. Хипплер // Успехи физических наук. - 2011. - Т. 181, № 7. - С. 473 - 510.

177. Manova D. Thin film deposition using energetic ions / D. Manova, J.W. Gerlach, S. Mändl // Materials. - 2010. - Vol. 3, No. 8. - P. 4109 - 4141.

178. Kelly, P.J. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications / P.J. Kelly, R.D. Arnell // Vacuum. - 2000. - Vol. 56. - P. 159 - 172.

179. Greene, J.E. Review article: tracing the recorded history of thin-film sputter deposition: from the 1800s to 2017 / J.E. Greene // Journal of vacuum science and technology. - 2017. - Vol. 35, No. 5. - P. 05C204-1 - 05C204-60.

180. Hartmut, F. Handbook of thin film technology / F. Hartmut, R.K. Hamid // Berlin: springer-verlag berlin Heidelberg. - 2015. - 379 p.

181. Martin, M.P. Handbook of deposition technologies for films and coatings / M.P. Martin // Technology and engineering. - 2009. - 936 p.

182. Auinger, M. Effect of surface roughness on optical heating of metals / M. Auinger, P. Ebbinghaus, A. Blumich, A. Erbe // Journal of the european optical society rapid publications. - 2014. - P. 14004-1 - 14004-12.

183. Блейхер, Г.А. Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85, № 12. - С. 56 - 61.

184. Manuel, B. Magnetron sputtering technique / B. Manuel, A.B. Micromy // Springer-verlag London. - 2013. - P. 22 - 50.

185. Venables, J.A. Nucleation and growth of thin films / J. A. Venables, G. D. T. Spiller, M. Hanbucken // Reports on progress in physics. - 47. - Vol. 1984. -P. 399 - 459.

186. Barna, P.B. Fundamental structure forming phenomena of poly crystalline films and the structure zone models / P.B. Barna, M.Adamik // Thin solid films. - 317. - Vol. 1998. - P. 27 - 33.

187. Petrov, I. Microstructural evolution during film growth / I. Petrov, P.B. Barna, L. Hultman, J.E. Greene // Journal of vacuum science and technology.

- 2003. - Vol. 21, No. 5. - P. 117 - 128.

188. Gengxin, Z. Surface morphology of organic thin films at various vapor flux / Z. Gengxin, L.W. Brandon // Applied surface science. - 2010. - Vol. 256. - P. 2363 - 2366.

189. Roman, G. Block copolymer micelle nanolithography / G. Roman, M. Martin, J. P Spatz // Nanotechnology. - 2003. - P. 1153 - 1160.

190. Yong, C. Performance and reproducibility enhancement of HgCdTe molecular beam epitaxy growth on CdZnTe substrates using interfacial HgTe/CdTe superlattice layers / C. Yong, Z. Jun, A. Hisham, H. G. Christoph, S. Sivalingam, A. Toshihiro, J. S. David // Applied physics letters. - 2005. - Vol. 86.

- P. 131924-1 - 131924-3.

191. Priyadarshini, B.G. Structural and morphological investigations on DC-magnetron-sputtered nickel films deposited on Si (100) / B.G. Priyadarshini, S. Aich, M. Chakraborty // Journal of materials science. - 2011. - Vol. 46, No. 9. - P. 2860 - 2873.

192. Thompsom, M.W. Physical mechanisms of sputtering / M.W. Thompsom // Physics reports. - 1981. - Vol. 69, No. 4. - P. 335 - 371.

193. M. Panjan, Plasma potential of a moving ionization zone in DC magnetron sputtering / M. Panjan, A. Anders // Journal of applied physics. - 2017.

- P. 063302-1 - 063302-17.

194. Byungyou, H. Real time spectroscopic ellipsometry studies of diamond film growth by microwave plasma-enhanced chemical vapour deposition / H. Byungyou, M. Wakagi, R.W. Collins, A. Ilsin, N.C. Engdahl, W. Drawl, R. Messier // Diamond and related materials. - 1994. - Vol. 3. - P. 431 - 437.

195. André, A. A review comparing cathodic arcs and high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) / A. André // Surface and coating technology. -2014. - Vol. 257. - P. 308 - 325.

196. Musil, J. Reactive magnetron sputtering of thin films: present status and trends / J. Musil, P. Baroch, J. Vlcek, K.H. Nam, J.G. Han // Thin solid films. - 2005. - Vol. 475. - P. 208 - 218.

197. Alami, J. Plasma dynamics in a highly ionized pulsed magnetron discharge / J. Alami, J.T. Gudmundsson, J. Bohlmark, J. Birch // Plasma sources science and technology. - 2005. - Vol. 14. - P. 525 - 531.

198. Wiatrowski, A. Pulsed dc self-sustained magnetron sputtering / A. Wiatrowski, W.M. Posadowsk, Z.J. Radzimsk // Journal of vacuum science and technology a: vacuum, surfaces, and films. - 2008. - Vol. 26, No. 5. - P. 1277 -1281.

199. Lee, S. In-situ ellipsometric investigation of TiO2 thin-film initial growth / S. Lee, B.H. Park, S.G. Oh // Journal of the Korean physical society. -1997. - Vol. 31, No. 2. - P. 352 - 356.

200. Turkin, A.A. On the evolution of film roughness during magnetron sputtering deposition / A.A. Turkin, Y.T. Pei, K.P. Shaha, C.Q. Chen, D.Vainshtein, J.T. Hosson, M. De // Journal of applied physics. - 2010. - Vol. 108, No. 9. - P. 094330-1 - 094330-9.

201. Булярский, В. Рост фрактальных кластеров лития в германии / В. Булярский, В.В. Светухин, О.А. Агафонова, А.Г. Гришин, П.А. Ильин // Физика и техника полупроводников. - 2001. - Т. 35, № 8. - С. 897 - 899.

202. Серов, И.Н. Влияние фрактально-матричных резонаторов на свойства получаемых тонких пленок меди / И.Н. Серов, Г.Н. Бельская, В.И. Марголин, Н. А. Потсар // Письма в ЖТФ. - 2002. - Т. 28, № 24. - С. 67 - 74.

203. Торхов, Н.А. Фрактальная геометрия поверхностного потенциала электрохимически осажденных пленок платины и палладия / Н.А. Торхов, В. А. Новиков // Физика и техника полупроводников. - 2009. - Т. 43, № 8. - С. 1109 - 1161.

204. S. PetroviC, Morphology and fractal dimension of TiO2 thin films / S. Petrovic, R. Ljiljana, G. Bosko, R. Nenad, D. Jasmina, S. Stevan, V. Rastko //

Macedonian journal of chemistry and chemical engineering. - 2013. - Vol. 32, No. 2. - P. 309 - 317.

205. Persson, B.N.J. On the fractal dimension of rough surfaces / B.N.J. Persson // Tribology letter. - 2014. - Vol. 54. - P. 99 - 106.

206. Самсонов, В.М. О фрактальных свойствах агрегатов металлических нанокластеров на твердой поверхности / В.М. Самсонов, Ю.В. Кузнецова, Е. В. Дьякова // Журнал технической физики. - 2016. - Т. 86, № 2. - С. 71 - 77.

207. Herrmann, D. Analysis of relevant plasma parameters for ZnO:Al film deposition basedon data from reactive and non-reactive DC magnetron sputtering /

D. Herrmann, M. Oertel, R. Menner, M. Powalla // Surface and Coatings Technology. - 2003. - Vol. 174. - P. 229 - 234.

208. André, A. Tutorial: Reactive high power impulse magnetron sputtering (R-HiPIMS) / A. André // Journal of applied physics. - 2017. - Vol. 121. - P. 171101-1 - 171101-34.

209. Liu, Y.H. Deposition of multicomponent metallic glass films by single-target magnetron sputtering / Y.H. Liu, T. Fujita, A. Hirata, S. Li, H.W. Liu, W. Zhang, A. Inoue, M. W. Chen // Intermetallics. - 2012. - Vol. 21. - P. 105 -114.

210. Штанский, Д.В. Особенности структуры и физико-механических свойств наноструктурных тонких пленок / Д.В. Штанский, С.А. Кулинин,

E.А. Левашов, // Физика твердого тела. - 2003. - Т. 45, № 6. - С. 1122 - 1129.

211. Christie, D.J. Target material pathways model for high power pulsedmagnetron sputtering / D.J. Christie // Journal of vacuum science and technology. - 2005. - Vol. 23, No. 2. - P. 330 - 335.

212. Жуков, В.В. Свойства магнетронного разряда на постоянном токе. ч. 1. механизм распыления мишени / В.В. Жуков, В.П. Кривобоков, В.В. Пацевич, С.Н. Янин // Известия Томского политехнического университета. -2005. - Т. 308, № 6. - С. 60 - 74.

213. Bogaerts, A. Computer modelling of magnetron discharges / A. Bogaerts, E. Bultinck, I. Kolev, L. Schwaederl, K.V. Aeken, G. Buyle, D. Depla // Journal of physics D: Applied physics. - 2009. - Vol. 42. - P. 194018-1 - 19401812.

214. Kolev, S. Physics of a magnetic barrier in low temperature bounded plasmas / Kolev, G.J.M. Hagelaar, G. Fubiani, J.P. Boeuf // Plasma sources science and technology. - 2012. - Vol. 21. - P. 025002-1 - 025002-14.

215. Шумилов, А.С. Моделирование морфологии поверхности при низкоэнергетическом ионном распылении / А.С. Шумилов, И.И. Амиров // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85, № 7. - С. 112 - 118.

216. Чен, Ф. Введение в физику плазмы. Москва: пер. с англ / Ф. Чен // М.: Мир. - 1987. - 398 с.

217. Morozov, I. Fundamentals of stationary plasma thruster theory; review of plasma physics / I. Morozov, V.V. Savelyev // New York: Consultant Burea. -2000. - 203 p.

218. Lieberman, M.A. Principles of plasma discharges for materials processing / M.A. Lieberman, A.J. Lichtenberg // New York: Wiley interscience. -1994. - 572 p.

219. Kolev, I. Influence of electron recapture by the cathode upon the discharge characteristics in dc planar magnetrons / I. Kolev, A. Bogaerts, R. Gijbels // Physical review E. - 2005. - Vol. 72. - P. 056402-1 - 056402-11.

220. Wang, Z. Geometrical aspects of a hollow cathode planar magnetron / Z. Wang, S.A. Cohen // Physics of plasmas. - 1999. - Vol. 6. - P. 1655 - 1666.

221. Sheridan, T.E. Gas density reduction effects in magnetrons / T.E. Sheridan, M.J. Goeckner, J. Goree // Journal of vacuum science and technology. -1988. - Vol. 6, No. 1. - P. 19 - 24.

222. Берлин, Е.В. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких плеонк / Е.В. Берлин, С.А. Двинин, Л.А. Сейдман // Москва: Техносфера Мир материалов и технологий. - 2007. - 176 с.

223. Царьгородце, Ю.П. Исследование магнетронного разряда с полым катодом для получения металлических пленок / Ю.П. Царьгородцев, Н.П. Полуэктов, В.Н. Харченко, И.А. Камышов // Лесной вестник. - 1991. -Т. 6. - С. 139 - 142.

224. Wong, M.S. Modeling magnetic fields of magnetron sputtering systems / M.S. Wong, W.D. Sproul, S.L. Rohde // Surface and coatings technology. - 1991. - Vol. 49. - P. 121 - 126.

225. Goncharov, V. D. The influence of the discharge current axial component on the magnetic field distribution in the cathode region of magnetron sputtering system / V. D. Goncharov, K. S. Sorokin, E. M. Fiskin // IOP conference series: journal of physics. 2017. Vol. 872. - P. 012016 - 012051.

226. Thornton, J.A. Magnetron sputtering: basic physics and application to cylindrical magnetrons / J.A. Thornton // Journal of vacuum science and technology. - 1987. - Vol. 15, No. 2. - P. 171 - 177.

227. Baranov, O. Low pressure planar magnetron discharge for surface deposition and nanofabrication / O. Baranov, M. Romanov, M. Wolter, K. Shailesh, Z. Xiaoxia, K.O. Kostya // Physics of plasmas. - 2010. - Vol. 17, No. 5.

- P. 053509 - 053518.

228. Свадковский, И.В. Направление развития магнетронных распылительных систем / И.В. Свадковский // Доблады БГУИР. - 2007. - Т. 18, № 2. - С. 112 - 121.

229. Haberland, H. Thin films from energetic cluster impact: A feasibility study / H. Haberland, K. Martin, M. Martin, T. Yonca // Journal of vacuum science and technology a vacuum, surfaces, and films. - 1992. - Vol. 10, No. 5. - P. 3226

- 3271.

230. Majumdar, A. Surface morphology and composition of films grown by size-selected Cu nanoclusters / A. Majumdar, G. Marina, K. Daniel, D. Debasish, M. Puneet, B. Satyaranjan, G. Debabrata, H. Rainer // Vacuum. - 2009.

- Vol. 83, No. 4. - P. 719 - 723.

231. Ganeva, M. Mass spectrometric investigations of nano-size cluster ions produced by high pressure magnetron sputtering / M. Ganeva, T. Peter, S. Bornholdt, H. Kersten, T. Strunskus, V. Zaporojtchenko, F. Faupel, R. Hipple // Contributions to plasma physics. - 2012. - Vol. 52, No. 10. - P. 881- 889.

232. Solar, P. Nanostructured and nanocluster thin films / P. Solar, O. Polonskyi, A. Choukourov, A. Artemenko, H. Biederman, D. Slavinska // WDS'10 proceedings of contributed papers. - 2010. - Vol. 3. - P. 36 - 41.

233. Goncharov, A.V. Modeling of cluster formation and growth under atomic vapor condensation / A.V. Goncharov, P.V. Kashtanov // Hight temperature. - 2011. - Vol. 49, No. 2. - P. 178 - 186.

234. Le, M.T. Effect of sputtering power on the nucleation and growth of Cu films deposited by magnetron sputtering / M.T. Le, T.L. Minh, U.S. Yong, W.L. Jae, S.C. Good // Materials transactions. - 2010. - Vol. 51, No.1. - P. 116 -120.

235. Макаров, Г.Н. Экстремальные процессы в кластерах при столкновении с твердой поверностью / Г.Н. Макаров // Успехи Физических наук. - 2015. - Т. 176, № 5. - С. 122 - 174.

236. Мовчан, Б.А. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов никеля, титана, вольфрама, окиси алюминия и двуокиси циркония / Б.А. Мовчан, А.В. Демчишин // Физика металлов и металловедение. - 1969. - Т. 28, № 4. - С. 23 - 30.

237. Thornton, J.A. Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structureand topography of thick sputtered coatings / J.A. Thornton // Journal of vacuum science and technology temperature. - 1974. - Vol. 11. - P. 666 - 670.

238. Singh, P. Revisiting the structure zone model for sculptured silver thin films deposited at low substrate temperatures / P. Singh, P. Goel, J.P. Singh // Journal of applied physics. - 2012. - Vol. 112, No.10. - P. 104234 - 104330.

239. Thornton, J.A. Stress related effects in thin films / J.A. Thornton, D.W. Hoffma // Thin solid films. - 1989. - Vol. 171. - P. 5 - 31.

240. Anders, A. A structure zone diagram including plasma-based deposition and ion etching / A. Anders // Thin solid films. - 2010. - Vol. 518, No. 15. - P. 4087 - 4090.

241. Mukherjee, S. Structure zone model for extreme shadowing conditions / S. Mukherjee, D. Gall // Thin solid films. - 2013. - Vol. 527. - P. 158 - 163.

242. Takashi, S. Substrate temperature control for the formation of metal nanohelices by glancing angle deposition / S. Takashi, T. Hisashi, S. Atsushi, I. Kazuya, C. Shaoguang, K. Takayuki // Journal of vacuum science & technology. -2015. - Vol. 33. - P. 060609 - 060614.

243. Messier, R. Revised structure zone model for thin film physical structure / R. Messier, R.A. Giri, R.A. Roy // Journal of vacuum science and technology A. - 1984. - Vol. 2, No. 2. - P. 500 - 503.

244. Thornton, J.A. Structure and topography of sputtering coatings / J.A. Thornton // Annual review of materials research. - 1997. - No.7. - P. 239 - 260.

245. Перекрестов, В. И. Образование острововые структур при осаждения слабопересыщенные паров алюминия / В.И. Перекрестов, А.В. Коропов, С. Н. Кравченко // Физика твердого тела. - 2005. - Т. 44, № 6. - С. 1131 - 1136.

246. Салтыков, С.Н. Особенности формирования тонких пленок железа на кремниевой подложке магнетронным напылением и некоторые их свойства / С.Н. Салтыков, А.Н. Харин, А.М. Ховив // Конденсированные среды и межфазные границы. - 2009. - Т. 11, № 2. - С. 147 - 151.

247. Asanithi, P. Growth of silver nanoparticles by DC magnetron sputtering / P. Asanithi, S. Chaiyakun, P. Limsuwan // Journal of nanomaterials. -2012. - P. 79- 82.

248. Chawlaa, V. Microstructural characterizations of magnetron sputtered Ti films on glass substrate / V. Chawlaa, R. Jayaganthan, A.K. Chawla, C. Ramesh // Journal of materials processing technology. - 2009. - Vol. 209, No. 7. - P. 3444 - 34451.

249. Zhenfei, L. Effects of thickness on the nanocrystalline structure and semiconductor metal transition characteristics of vanadium dioxide thinfilms / L. Zhenfei // Thin solid films. - 2014. - No.550. - P. 227 - 237.

250. Blawert, C. Correlation between texture and corrosion properties of magnesium coatings produced by PVD / C. Blawert, D. Manova, M. Stormer, J. W. Gerlach, W. Dietzel, S Mandl // Surface and coatings technology. - 2008. -Vol. 550. - P. 2236 - 2240.

251. Горшков, О.Н. Формирование плотных массивов наночастиц золота в тонких пленках стабилизированного диоксида циркония методом магнетронного распыления / О.Н. Горшков, И.Н. Антонов, Д.О. Филатов, М.Е. Шенина, А.П. Касаткин, Д.А. Павлов, А.И. Бобро // Письма в журнал технической физики. - 2016. - Т. 40, № 1. - С. 72 - 79.

252. Гапонов, С.В. Рост и особенности формирования микроструктуры пленок YBCO, получаемых методом магнетронного напыления на подложках из фианита / С.В. Гапонов, С.А. Гусев, Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Е.В. Скороходов, П.А. Юнин // Журнал технической физики. - 2014. - Т. 84, № 10. - С. 68 - 72.

253. Binns, C. Nanoclusters deposited on surface / C. Binns // Surface science reports. - 2001. - Т. 44. - С. 1 - 49.

254. Шугуров, А.Р. Механизмы возникновения напряжений в тонких пленках и покрытиях / А.Р. Шугуров, А.В. Панин // Журнал технической физики. - 2020. - Т. 90, № 12. - С. 1971 - 1994.

255. Кукушкин, С.А. Процессы конденсации тонких пленок / С.А. Кукушкин, А.В. Осипов // Успехи физических наук. - 1998. - Т. 168, № 10. -С. 1083 - 1116.

256. Steven, D. Step coverage, uniformity and composition studies using integrated vapour transport and film deposition models / D. Steven, S. Tom, B. Michael // Japanese journal of applied physics. - 1994. - Vol. 32, No. 2. - P. 1140 - 1145.

257. Децик, В.Н. Кинетика начальной стадии фазового перехода первого рода в тонких пленках / В.Н. Децик, Е.Ю. Каптелов, С.А. Кукушкин, А. В. Осипов, И. П. Пронин // Физика твердого тела. - 1997. - Т. 39, № 1. - С. 121 - 126.

258. Arcidiacono, S. On the coalescence of gold nanoparticles / S. Arcidiacono, N. R. Bieri, D. Poulikakos, C.P. Grigoropoulos // International journal of multiphase flow. - 2004. - Vol. 30. - P. 979 - 994.

259. Agustsson, J.S. Growth, coalescence, and electrical resistivity of thin Pt films grown by dc magnetron sputtering on SiO2 / J.S. Agustsson, U.B. Arnalds, A.S. Ingason, K.B. Gylfason, K. Johnsen, S. Olafsson, J.T. Gudmundsson // Applied surface science. - 2008. - Vol. 254. - P. 7356 - 7360.

260. Кузьменко, А.П. Температурные изменения структуры магнетронных медных пленок на ситалловой подложке / А.П. Кузьменко, Нау Динт, Мьо Мин Тан // Известия ЮЗГУ серия техники и технологии. -2015. - Т. 16. - С. 60 - 71.

261. Кузьменко, А.П. Процессы деградации при нагревании на воздухе в магнетронных нанопленках Ni и Сг / А.П. Кузьменко, А.Е. Кузько, Нау Динт, Мьо Мин Тан, Р.Т. Кануков // Известия Юго-Западного государственного университета. Серия техника и технологии. - 2016. - Т. 19. - С. 153 - 165.

262. Кузьменко, А.П. Наноразмерная характеризация металлических магнетронных нанопленочных мультислоев из Сг, Cu, Al, Ni на ситалле / А.П. Кузьменко, Нау Динт, А.Е. Кузько, Мьо Мин Тан, Тант Син Вин, А.И. Колпаков // Известия вузов. Материалы электроннной техники. - 2016. - Т. 19, № 3. - С. 194 - 202.

263. Kuzmenko, A.P. Nanostructure changes of magnetron copper films with a glass ceramic substrate / A.P. Kuzmenko, A.E. Kuzko, Naw Dint, Myo Min Than, M.B. Dobromyslov, S.G. Emelyanov, L.M. Chervyakov // Journal of nano-and electronic physics. - 2015. - Vol. 7, No.4. - P. 04095-1 - 04095-3.

264. Kuzmenko, A.P. Degradation of Structure of Magnetron Ni and Cr Nanofilms at their Heating on Air / A.P. Kuzmenko, A.E. Kuzko, Naw Dint, Myo Min Than, M.B. Dobromyslov, R.T. Kanukov // Journal of nano- and electronic physics. - 2016. - Vol. 8, No.3. - P. 03009-1 - 03009-4.

265. Asoro, M.A. Coalescence and sintering of Pt nanoparticles: in situ observation by aberration-corrected HAADF STEM / M.A. Asoro, D. Kovar, H.Y. Shao, L.F Allard, P.J. Ferreira // Nanotechnology. - 2010. - Vol. 21. - P. 025701 -025707.

266. Sergii, T. Effects of the Si/Al layer thickness on the continuity, crystalline orientation and the growth kinetics of the poly-Si thin films formed by aluminum-induced crystallization / T. Sergii, U. Noritaka // Thin solid films. -2016. - Vol. 616. - P. 213 - 219.

267. Рабинович, В. А. Краткий химический справочник / В.А. Рабинович, З.Я. Хавин // Л.:Химия. - 1991. - 432 с.

268. Одиноков, В.В. Выбор типа вакуумного нанотехнологического оборудования по критерию заданной производительности / В.В. Одиноков, Ю.П. Панфилов // Наноинженерия. - 2011. - Т. 11. - С. 7 - 18.

269. Григорьев, С.Н. Заполнение рабочей камеры технологической установки однородной плазмой с помощью стационарного тлеющего разряда / С.Н. Григорьев, Ю.А. Мельник, А.С. Метель, В.В. Панин // Физика плазмы. - 2009. - Т. 15, № 12. - С. 1140 - 1149.

270. Jing, X. The Influence of Sputtering Argon Pressure on LaB6 Films Characetristics / X. Jing, M. Guanghui, Y. Huashun, L. Jing // Advanced materials research. - 2011. - Vol. 287-289. - P. 2244 - 2247.

271. Одиновков, В.В. Вакуумное и физикотермическое оборудование разработанное в НИИ точного машиностроения / В.В. Одиновков // Материалы 16-й научно-технич. конф. с участием зарубежных специалистов Вакуумная наука и техника. - 2009. - С. 321 - 325.

272. Caillard, A. Effect of the target temperature during magnetron sputtering of nickel / A. Caillard, M. El'Mokh, T. Lecas, A.L. Thomann // Vacuum. - 2018. - Vol. 147. - P. 82 - 91.

273. Tan, X.Q. Recent progress in magnetron sputtering technology used on fabrics materials / X.Q. Tan, J.Y. Liu, J.R. Niu, J.Y. Liu, J.Y. Tian // Materials. - 1953. - Vol. 11, No.10. - P. 1953-1 - 1953-15.

274. Рогов, А.В. Факторы, определяющие эффективность магнетронного распыления. Критерии оптимизации / А.В. Рогов, Ю.В. Капустин, Ю.В. Мартыненко // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85, № 2. - С. 126 - 134.

275. Ozimek, M. Magnetic thin film deposition with pulsed magnetron sputtering: deposition rate and film thickness distribution / M. Ozimek, W. Wilczynsk, B. Szubzda // IOP conference series: materials science and engineering. - 2016. - Vol. 113. - P. 012009-1 - 012009-6.

276. Piegari, A. Thin film thickness measurement: a comparison of various techniques / A. Piegari, E. Masetti // Thin solid films. - 1985. - Vol. 7. - P. 249 -257.

277. Newbury, D.E. Performing elemental microanalysis with high accuracy and high precision by scanning electron microscopy/silicon drift detector energy-dispersive X-ray spectrometry (SEM/SDD-EDS) / D.E. Newbury, N.W. Ritchie // Journal of materials science. - 2015. - Vol. 50, No. 2. - P. 493 - 518.

278. Rajora, O.S. A simple method for the determination of film thickness from electron image contrast in a scanning electron microscope / O.S. Rajora, A.E. Curzon // Thin solid films. - 1985. - P. 235 - 238.

279. Procop, M. Electron probe microanalysis (EPMA) measurement of thin-film thickness in the nanometer range / M. Procop, M. Radtke, M. Krumrey, K. Hasche // Analytical bioanalytical chemistry - 2002. - P. 631 - 634.

280. Drouin, D. CASINO V2. 42—A fast and easy-to-use modeling tool for scanning electron microscopy and microanalysis users / D. Drouin, A.R.

Couture, D. Joly, X. Tastet, V. Aimez, R. Gauvin // Scanning. - 2007. - Vol. 29, No. 3. - P. 92 - 101.

281. Kuzmenko, A.P. 3D Fractalization over natural colloidal microinclusions / A.P. Kuzmenko, Chan Nyein Aung, V.V. Rodionov // Technical physics. - 2015. - Vol. 60, No. 6. - P. 903 - 910.

282. Pennycook, S.J. Transmission electron microscopy: a textbook for materials science / S.J. Pennycook, B. David, C.B. Williams // Microscopy and microanalysis. - 2010. - Vol. 1, No. 6. - 111 p.

283. Кузьменко, А.П. Измерение толщины нанопленок с помощью электронного зонда микроанализатора / А.П. Кузьменко, В.В. Родионов, Нау Динт, Мьо Мин Тан, А. К. Зюзин, В. Е Лукашов // Сборник научных статей 3-й Международной научно-практической конференции Юго-Западного государственного университета, в 2-х томах «Физика и технология наноматериалов и структур». - 2017. - Т. 2. - С. 94 - 100.

284. Бериш, Р. Распыление твёрдых тел ионной бомбардировкой.Физическое распыление одноэлементных твёрдых тел / Р. Бериш // Москва: Мир. - 1986. - 336 с.

285. Блейхер, Г.А. Эрозия поверхности твёрдого тела под действием мощных пучков заряженных частиц / Г.А. Блейхер, В.П. Кривобоков // Новосибирск: Наука». - 2014. - 248 с.

286. Yuryeva, A.V. Thermal processes and emission of atoms from the liquid phase target surface of a magnetron sputtering system / A.V. Yuryeva, G.A. Bleykher, V.P. Krivobokov // Russian physics journal: scientific journal. - 2015. -Vol. 58, No. 4. - P. 431 - 437.

287. Гуревич, С.А. Исследование химического состояния меди в композитных пленках Cu/SiO2 методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / С.А. Гуревич, Т.А. Зарайская, С.Г. Конников, В.М. Микушкин, С.Ю. Никонов, А.А. Ситникова, С.Е. Сысоев, В.В. Шнитов, Ю.С Гордеев // Физика твердого тела. - 1997. - Т. 39, № 10. - С. 1889 - 1894.

288. Jensen, I.J.T. X-ray photoelectron spectroscopy investigation of magnetron sputtered MgeTieH thin films / I.J.T. Jensen, A. Thogersen, O.M. Lovvik, H. Schreuders, B. Dam, S. Diplas // International journal of hydrogen energ. - 2013. - Vol. 38. - P. 10704 - 10715.

289. Ming, L.L. Physical and electrical properties of flash memory devices with nickel oxide (NiO2) charge trapping layer / L.L. Ming, C. Hsiang, H.K. Chyuan, K.M. Rama, K.S. Wei, F.L. Chun, Y.L. Chan, M.C. Kow // Vacuum. -2017. - Vol. 40. - P. 47 - 52.

290. Кузьменко, А.П. Структурирование и характеризация магнетронных металлических мульти-нанослоев / А.П. Кузьменко, Нау Динт, А.Е. Кузько, Мьо Мин Тан, Тант Син Вин // Физика и технология наноматериалов и структур: сборник научных статей 3-й Международн Курск. - 2007. - Т. 2. - С. 100 - 105.

291. Ottone, C. The effects of the film thickness and roughness in the anodization process of very thin aluminum films / C. Ottone , M. Laurenti, K. Bejtka, A. Sanginario, V. Cauda // Journal of materials science and nanotechnology. - 2014. - Vol. 1, No. 1. - P. 1 - 9.

292. Панин, А.В. О природе шероховатости поверхности тонких диэлектрических пленок / А.В. Панин, А.Р. Шугуров, Л.Н. Пучкарева // Физическая мезомеханика. - 2000. - Т. 3, № 3. - С. 53 - 60.

293. Aissa, K.A. Comparison of the structural properties and residual stress of AlN films deposited by dc magnetron sputtering and high power impulse magnetron sputtering at different working pressures / K.A. Aissa, A. Achour, J. Camus, L.L. Brizoual, P.Y. Jouan, M.A. Djouadi // Thin solid films. - 2014. - Vol. 550. - P. 264 - 267.

294. Wolter, M. Aluminium atom density and temperature in a dc magnetron discharge determined by means of blue diode laser absorption spectroscopy / M. Wolter, T.D. Hoang, S. Hartmut, H. Rainer // Journal of physics d: applied physics. - 2005. - Vol. 38, No. 14. - P. 2390 - 2395.

295. Angarita, G. Synthesis of alumina thin films using reactive magnetron sputtering method / G. Angarita, C. Palacio, M. Trujillo, M. Arroyave // IOP Conf. Series: Journal of physics: conference series. - 2017. - Vol. 850. - P. 012022-1 -012022-4.

296. Mwema, F.M. Effect of substrate type on the fractal characteristics of afm images of sputtered aluminium thin films / F.M. Mwema, E.T. Akinlabi, O.P. Oladijo // Materials science. - 2020. - Vol. 26, No.1. - P. 49 - 57.

297. Kumar, R. Impact of post annealing and hydrogen implantation on functional properties of cu2o thin films for photovoltaic applications / R. Kumar, K. Bergum, H.N. Riise // Journal of alloys and compounds. - 2020. - Vol. 825. -P. 1 - 8.

298. Johan, M.R. Annealing effects on the properties of copper oxide thin films prepared by chemical deposition / M.R. Johan, S.M.S. Mohd, N.L. Hawari, H.A. Ching // International journal of electrochemical science. - 2011. - P. 6094 -6104.

299. Борисова, Н.В. Закономерности изменения свойств пленок меди в процессе термообработки / Н.В. Борисова, Э.П. Суровой, И.В. Титов // Известия Томского политехнического университета. - 2006. - Т. 39, № 1. - С. 86 - 89.

300. Hojabri, A. Effect of thickness on properties of copper thin films growth on glass by dc planar magnetron sputtering / A. Hojabri, F. Hajakbari, M.M.A. Moghri, S. Kadkhodaei // Journal of nanostructures. - 2012. - Vol. 2, No.1. - P. 107 - 112.

301. Shiwen, D. Effect of annealing on microstructure and mechanical properties of magnetron sputtered Cu thin film / D. Shiwen, L. Yongtang // Hindawi publishing corporation advances in materials science and engineering. -2015. - P. 969580 - 969588.

302. Головин, Ю.И. Наноиндентирование и механические свойства твердых тел в субмикрообьемах тонких приповерхностных слоях и пленках

(Обзор) / Ю.И. Головин // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, № 12. - С. 2113 - 2141.

303. Oliver, W.C. Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements to methodology / W.C. Oliver, G.M. Pharr // Journal of materials research. - 2004. -Vol. 19, No.1. - P. 3 - 20.

304. Chowdhury, S. Non-contact AFM with a nanoindentation technique for measuring the mechanical properties of thin films / S. Chowdhury, M.T. Laugier // Nanotechnology. - 2004. - Vol. 15. - P. 1017 - 1022.

305. Liu, Y. Effects of annealing temperature on the properties of copper films prepared by magnetron sputtering / Y. Liu, J. Zhang, W. Zhang, W. Liang, B. Yu, J. Xue // Journal of wuhan university of technology material science. - 2015. -Vol. 3, No.1. - P. 92 - 96.

306. Felipe, C. Epitaxial growth of Cu(001) thin films onto Si(001) using a singlestep HiPIMS process / C. Felipe, L. Daniel, F. Clarisse, M. Anny, A. Guillaume, M. Tiberiu, A. Gregory // Scientific reports. - 2017. - Vol. 7. - P. 1 -10.

307. Patwary, M.A.M. Influence of oxygen flow rate and substrate positions on properties of Cu-oxide thin films fabricated by radio frequency magnetron sputtering using pure Cu target / M.A.M. Patwary, K. Saito, Q. Guo, T. Tanaka // Thin solid films. - 2019. - Vol. 675. - P. 59 - 65.

308. Patwary, M.A.M. Effect of oxygen flow rate on properties of Cu4O3 thin films fabricated by radio frequency magnetron sputtering / M.A.M. Patwary, C.Y. Ho, K. Saito, Q. Guo, K.M. Yu, W. Walukiewicz, T. Tanaka // Journal of applied physics. - 2019. - Vol. 127. - P. 085302-1 - 085302-6.

309. Моисеев, Г.К. Изучение методами термодинамического моделирования (ТМ) системы Cu-O с учётом конденсированных Cu2O3, Cu4O3, Cu3O2, CuO и Cu2O / Г.К. Моисеев, Н.А. Ватолин // Доклады академии наук. - 1997. - Т. 356, № 2. - С. 205 - 207.

310. Khalid, A. Effects of discharge current and target thickness in dc-magnetron sputtering on grain size of copper deposited samples / A.Y. Khalid, B.F. Rasheed // Baghdad science journal. - 2019. - Vol. 16. - P. 84 - 87.

311. А.В. Коршунов, Особенности окисления нанопорошков меди при нагревании в воздухе / А.В. Коршунов, А.П. Ильин // Известия Томского политехнического университета. - 2008. - Т. 313, № 8. - С. 5 - 13.

312. Debbichi, L. Vibrational properties of CuO and Cu4O3 from first-principles calculations, and raman and infrared spectroscopy / L. Debbichi, M.C. Marco de Lucas, J.F. Pierson, P. Krüger // The journal of physical chemistry C. -2012. - No. 116. - P. 10232 - 10237.

313. Djurek, D. Magnetic properties of nanoscaled paramelaconite Cu4O3-x (x = 0.0 and 0.5) / D. Djurek, M. Prester, D. Drobac, M. Ivanda, D. Vojta // Journal of magnetism and magnetic materials C. - 2015. - No.373. - P. 183 - 187.

314. Кузьменко, А.П. Особенности наноструктурных изменений при концентрированных воздействиях / А.П. Кузьменко, В.Г. Заводинский, А.Е. Кузько, Д.И. Тимаков, С.В. Николенко, С.А. Пячин, М.А. Пугачевский // Известия Курского государственного технического университета. - 2011. - Т. 33, № 4. - С. 11 - 17.

315. Ковалев, В.И. Светодиодный многоканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации / В. И. Ковалев, А. И. Руковишников, С. В. Ковалев, В. В. Ковалев // Приборы и техника эксперимента. - 2014. - Т. 57, № 5. - С. 607 - 610.

316. Кузьменко, А.П. Наноструктурные изменения магнетронных медных пленок на ситалловой подложке при нагреве на воздухе / А.П. Кузьменко, Нау Динт, Мьо Мин Тан / сборнки научных статей 2-й Международной научно-конференции. - 2015. - Т. 2. - С. 210 - 222.

317. Fujiwara, H. Spectroscopic ellipsometry: principles and applications / H. Fujiwara // New York: John wiley and sons. - 2007. - 388 p.

318. Ржанов, А.В. Основы эллипсометрии / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко, Л.В. Семененко, В.К. Соколов // Новосибирск: Наука. - 1979. - 419 p.

319. Joo, H.J. The optical and structural properties of ALN thin films characterized by spectroscopic ellipsometrym / H.J. Joo, H.J. Kim, S.Y. Kim, H.Y. Joo // Thin solid films. - 2000. - P. 67 - 73.

320. Zhua, M. Microstructures and electrical properties of nanostructured Cr2O3 thin films deposited by dual-target reactive high-power impulse magnetron sputtering / M. Zhua, F. Li, G. Zhou, X. Jin, X. Wanga, L. Wang, F. Song // Vacuum. - 2019. - Vol. 164. - P. 293 - 299.

321. Jianping, L. Structural, optical and electrical properties of chromium thin films prepared by magnetron sputtering / L. Jianping, L. Limei, G. Guiqing, W. Yangwei, L. Fachun // Acta photonica sinica. - 2012. - Vol. 41, No.8. - P. 922 - 926.

322. Xiaolu, P. Annealing effects on microstructure and mechanical properties of chromium oxide coatings / P. Xiaolu, G. Kewei, L. Fei, Y. Huisheng, Q. Lijie, W. Yanbin, A.V. Alex // Thin solid films. - 2008. - Vol. 516. - P. 4685 -4689.

323. Augustin, J.H. Cr metal thin film memory / J.H. Augustin, K. Jiyoung, K. Kyoungwhan, W. Yong, X. Faxian, J. Jaeseok, P. Jemin, R. Iris, M.C. Li, Y. Yang, T. Sarah, Z. Jin, L. W. Kang // Journal of applied physics. - 2011. - Vol. 110. - P. 054504 - 054509.

324. Андреев, В.Г. Спектральные характеристики пленок хрома нанометровой толщины в терагерцовом диапазоне частот / В.Г. Андреев, А.А. Ангелуц, В.А. Вдовин, В.Ф. Лукичев // Письма в журнал технической физики. - 2015. - Т. 41, № 4. - С. 52 - 60.

325. Ozen, S. Optical, morphological and nano-mechanical properties of chromium oxide thin films fabricated by radio frequency (RF) magnetron sputtering / S. Ozen, V. §enay // Optik - International journal for light and electron optics. - 2020. - Vol. 201. - P. 1 - 5.

326. Li, Q. The superior properties of CrN coatings prepared by high power pulsed reactive magnetron sputtering / Q. Li, L. Yang, Z. Wang, H.Zhang, Z. Liu, Q. Chen // AIP Advances. - 2020. - Vol. 10. - P. 015125 - 015134.

327. Будаев, В.П. Фрактальная нано- и микроструктура осажденных пленок в термоядерных установках / В.П. Будаев, Л.Н. Химченко // Сер. Термоядерный синтез. - 2008. - Т. 3. - С. 34 - 61.

328. Mohammadtaheri, M. The effect of deposition parameters on the structure and mechanical properties of chromium oxide coatings deposited by reactive magnetron sputtering / M. Mohammadtaheri, Q. Yang,Y. Li, J. Corona-Gomez // Coatings. - 2018. - Vol. 8, No.111. - P. 1 - 14.

329. Кузьменко, А.П. Деградация структуры магнетронных нанопленок Ni и Сг при нагревании на воздухе / А.П. Кузьменко, А.Е. Кузько, Нау Динт, Мьо Мин Тан, Р.Т. Кануков // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. тр.ХШ междунар. конф. - 2016. - Т. 1. - С. 331 - 337.

330. Gong, J. Temperature dependent optical constants for SiO2 film on Si substrate by ellipsometry / J. Gong, R. Dia, Z. Wang, C. Zhang, X. Yuan, Z. Zhang Materials research express. - 2017. - Vol. 4, No.8. - P. 085005-1 - 085005-6.

331. Predanocya, M. Structural, optical and electrical properties of sputtered NiO thin films for gas detection / M. Predanocya, I. Hotov, M.Xaplovfcova // Applied surface science. - 2017. - Vol. 395. - P. 208 - 213.

332. Salunkhe, P. Investigation on tailoring physical properties of nickel oxide thin films grown by dc magnetron sputtering / P. Salunkhe, M. Aliav, D. Kekuda // Materials research express. - 2020. - Vol. 7. - P. 1 - 14.

333. Джумалиев, А.С. Формирование текстурированных пленок Ni(200) и Ni( 111) методом магнетронного распыления / А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов // Журнал технической физики. - 2016. - Т. 6, № 86. - С. 126 - 131.

334. Lei, L. Research on preparation of Ni/SiO2 optical attenuation slice by magnetron sputtering / L. Lei, T. Hui, H. Shanshan, W. Wenxue // International journal of control and automation. - 2014. - Vol. 7, No.12. - P. 375 - 382.

335. Luis, D.L.S.V. Characterization of Ni thin films following thermal oxidation in air / D.L.S.V. Luis, I. Adrian, H. Stuart, H.W.B. Crispin, B.D. Angel,

A.Q. Oswaldo, C.G. Juan, M. Silvia, B. Matteo, C.F. Andrea, R. Henry, M. Yutaka // Journal of vacuum science and technology. - 2014. - Vol. 32, No.5. - P. 1 - 8.

336. Домашевская, Э.П. XPS Исследования особенностей окисления наноразмерных пленок Ni/Si(100) / Э.П. Домашевская, С.В. Рябцев, В.А. Терехов, А.С. Леньшин, Ф.М. Чернышов, А.Т. Казаков, А.В. Сидашов, // Журнал структурной химии. - 2011. - Т. 52. - С. 119 - 125.

337. Potocnik, J. Tailoring the structural and magnetic properties of Ni zigzag nanostructures using different deposition angles / J. Potocnik, M. Popovic,

B. Jokic, Z. Rakocevic // Materials research bulletin. - 2019. - Vol. 119. - P. 11054-1 - 11054-6.

338. Atak, G. Annealing effects of NiO thin films for all-solid-state electrochromic devices / G. Atak, O.D. Co§kun // Solid state ionics. - 2017. - Vol. 305. - P. 43 - 51.

339. Быков, Ю.А. О некоторых особенностях структуры и свойств металлических тонких плёнок / Ю.А. Быков, С.Д. Карпухин, Е.И. Газукина // Металловедение и термическая обработка металлов. - 2000. - С. 45 - 47.

340. Федосюк, В.М. Магнитные свойства кластеров никеля в нанопористом углероде / В.М. Федосюк, А.М. Данишевский, Д.А. Курдюков, В.Б. Шуман, С.К. Гордеев // Физика твердого тела. - 2003. - Т. 45, № 9. - С. 1667 - 1670.

341. Dhanya, I. Study on the thermodynamics of grain growth in R.F. magnetron sputtered NiO thin films / I. Dhanya, B.A Sasi // Journal of coatings. -2013. - Vol. 201. - P. 981515-1 - 981515-6.

342. Кузьменко, A.^ Наноразмерная характеризация мультислойных магнетронных нанопленок из Cr, Cu, Al, Ni / A.^ Кузьменко, Нау Динт, Мьо

Мин Тан // III International conference on modern problems in physics of surfaces and nanostructure. - 2017. - 89 с.

343. Khan, S.B. HfO2 nanorod array as high-performance and high-temperature antireflective coating / S.B. Khan, W. Hui, L. Ma, M. Hou, Z. Zhang // Advance aterial interfaces. - 2017. - No. 4. - P. 1 - 9.

344. Khairnar, A.G. Effect of post-deposition annealing temperature on RF-sputtered HfO2 thin film for advanced CMOS technology / A.G. Khairnar, A.M. Mahajan // Solid State Science. - 2012. - Vol. 15. - P. 24 - 28.

345. Кузьменко, А.П. Деградация магнетронных нанопленок Hf и Mo в условиях атмосферного отжига / А.П. Кузьменко, Тант Син Вин, Мьо Мин Тан, Нау Динт, А. Г. Беседин // Известия Юго-Западного государственного университета. Серия теники и технологии. - 2020. - Vol. 10, No. 3. - P. 86 -

104.

346. Кузьменко, А.П. Магнетронные одно- и мультислойные нанопленки из Nb, C и Si / А.П. Кузьменко, Тант Син Вин, Мьо Мин Тан, Нау Динт // Известия Юго-Западного государственного университета. Серия: Техника и технологии. - 2019. - Vol. 9, No. 4. - P. 30 - 52.

347. Dhanunjaya, M. Hafnium oxide nanoparticles fabricated by femtosecond laser ablation in water / M. Dhanunjaya, B. Chandu, V.S. Vendamani, R.S. Venugopal, A.P. Pathak, R. Nageswara // Applied physics A. - 2019. - Vol. 125, No. 74. - P. 1 - 7.

348. Zhou, B. The simulated vibrational spectra of HfO2 polymorph / B. Zhou, H. Shi, X.D. Zhang, Z.Y. Jiang // Journal of physics D: Applied physics -2014. - Vol. 47, No.11. - P. 1 - 9.

349. Tomasz, K. Waviness of free form surface characterizations from austenitic stainless steel (316L) manufactured by 3D printing-selective laser melting (SLM) technology / K. Tomasz, B. Jerzy, Z. Pawel, G. Damian, G.M. Thomas // Materials. - 2020. - Vol. 13, No. 4372. - P. 1 - 15.

350. Reich, S. Carbon nanotubes basic concepts and physical properties / S. Reich, C. Thornsen, J. Maultzsch, S. Reich // John wiley & sons. - 2008. - 220 p.

351. Popescu, A. Carbon nanotubes interactions: Theory and applications. - 2011. - Vol. 53. - 155 p.

352. Wong, P. Carbon nanotube and graphene device physics / H.S.P. Wong, H. S. Philip Wong, D. Akinwande // The edinburgh building, Cambridge: Cambridge University press. - 2011. - 251 p.

353. Харламова, М.В. Электронные свойства одиностенных углеродных нанотрубок и их производных / М.В. Харламова // Успехи физических наук. - 2013. - Т. 183, № 11. - С. 568 - 571.

354. Burchfield, L.A. Novamene: A new class of carbon allotropes / L.A. Burchfield, M.A. Fahim, S. R. Wittman, F. Delodovici, N. Manini // Heliyon. -2017. - Vol. 3, No.2. - P. e00242-1 - e00242-15.

355. Eatemadi, A. Carbon nanotubes: properties, synthesis, purification, and medical applications / A. Eatemadi, H. Daraee, H. Karimkhanloo, M. Kouhi, N. Zarghami, A. Akbarzadeh, M. Abasi, Y. Hanifehpour, J.S. Woo // Nanoscale Research letters. - 2014. - Vol. 9. - P. 1 - 14.

356. Mohsen Azadi. Controlled levitation of nanostructured thin films for sun-powered near-space flight / Mohsen Azadi, A. George, Popov, Zhipeng Lu, et.al // Science advances. - 2021. - Vol. 7. - P. 1127 - 1134.

357. Шука, А.А. Самоорганизация ключ к нанотехнологиям в электронике / А.А. Шука // Вестник международной академии наук (русская секция). - 2008. - Т. 1. - С. 52 - 58.

358. Farhad Daneshvar. Critical challenges and advances in the carbon nanotube-metal interface for next-generation electronics / Farhad Daneshvar, Hengxi Chen, Kwanghae Noh, Hung-Jue Sue // Nanoscale advances. - 2021. -Vol. 3. - P. 942- 962.

359. Lian-Mao, P. Carbon nanotube electronics: recent advances / P. LianMao, Z. Zhiyong, W. Sheng // Materials today. - 2014. - P. 1 - 10.

360. Vladimir, D. On-chip chemical self-assembly of semiconducting single-walled carbon nanotubes (swnts): toward robust and scale invariant swnts transistors / D. Vladimir, G. Widianta, D. Vladimir, G. Widianta, T. Wytse, F.

Martin, N. Peter, R. Heike // Advance matter. - 2017. - Vol. 29, No. 27. - P. 1606757-1 - 1606757-9.

361. Chenguang, Q. Scaling carbon nanotube complementary transistors to 5-nm gate lengths / Q. Chenguang, Z. Zhang, X. Mengmeng, Y. Yang, D. Zhong, P. Lian-Mao // Science. - 2017. - Vol. 355. - P. 271 - 276.

362. Abdalla, S. Different technical applications of carbon nanotubes / S. Abdalla, F. Al-Marzouki, A.A. Al-Ghamdi, A. Abdel-Daiem // Nanoscale research letters. - 2017. - Vol. 10, No. 358. - P. 1 - 10.

363. Meyyappan, M.M. Carbon Nanotubes Science and Applications / M.M. Meyyappan // NASA Ames research center. - 2005. - 293 p.

364. Abhijit, R. Effect of multi-walled carbon nanotubes on automotive and aerospace applications case study / R. Abhijit, C. Sreejith, A. Samanta, G. Ragul, I. Ghosh // International journal of emerging trends in science and technology. - 2017. - Vol. 4, No. 4. - P. 5105 - 5113.

365. Mark, J.S. Science to commercialization of carbon nanotube sheet and yarn / J.S. Mark, H. Guangfeng, N. Vianessa, M. Rabiee, M. Cahay, S. Chaudhary, D. Lindley, D. Chauhan, M. Paine, D. Vijayakumar, X. Chenhao, Y. Zhangzhang, K. Haworth, Y. Liu, M. SundSundaram, W. Li, D. Mast, V. N. Shanov // Applied and theoretical mechanics. - 2017. - Vol. 12. - P. 41 - 50.

366. Leimeng, S. Roles of carbon nanotubes in novel energy storage devices / S. Leimeng, W. Xinghui, W. Yanrong, Z. Qing // Carbon. - 2017. - Vol. 122. - P. 462 - 474.

367. Zheng, M. Carbon nanotube based materials for lithium sulfur batteries / M. Zheng, Y. Chi, Q. Hu, H. Tang, X. Jiang, L. Zhang, S. Zhang, H.Q. Xu Pang // Journal of materials chemistry A. - 2019. - Vol. 75. - P. 1 - 79.

368. Tavakolifard, S. Modification of carbon nanotubes as an effective solution for cancer therapy / S. Tavakolifard, B. Esmaeil // Nano biomedicine and engineering. - 2019. - Vol. 8, No. 3. - P. 144 - 160.

369. Castellano, R.J. Scalable electric field assisted fabrication of vertically aligned carbon nanotube membranes with flow enhancement / R.J. Castellano, F.P.

Robert, E.R. Meshot, C. Chen, F. F. Jerry W. Shan // Carbon. - 2020. - Vol. 157. -P. 208 - 216.

370. Jonge, D.N. Field emission from individual multiwalled carbon nanotubes prepared in an electron microscope / D.N. Jonge, N.J.V. Drute // Ultramicroscopy. - 2003. - Vol. 95. - P. 85 - 91.

371. Елецкий, А.В. Холодные полевые эмиттеры на основе углеродных нанотрубок / А.В. Елецкий // Успехи физических наук. - 2010. -Т. 180, № 9. - С. 897 - 930.

372. Bo, X. Mechanics of carbon nanotube networks: microstructural evolution and optimal design / X. Bo, L. Yilun, D. Yiting, Z. Quanshui, X. Zhiping // Soft matter. - 2011. - Vol. 7. - P. 10039 - 10047.

373. Huang, Q. Ambipolarity suppression of carbon nanotube thin film transistors / Q. Huang, F. Liu, J. Zhao, J. Xia, X. Liang // Carbon. - 2020. - Vol. 157. - P. 358 - 363.

374. Yu, Y. Flexible and transparent strain sensors based on super-aligned carbon nanotube films / Y. Yu, Y. Luo, A. Guo, L. Yan, Y. Wu, K. Jiang, Q. Li, S. Fan, J. Wang // Nanoscale. - 2017. - Vol. 9. - P. 6716 - 6723.