Микро- и нанопараметры качества поверхности материалов после электрофизикохимической обработки тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.07, кандидат наук Нгуен Тхи Хонг

• Нгуен Тхи Хонг
• кандидат наук
• 2015

Оглавление диссертации кандидат наук Нгуен Тхи Хонг

ОГЛАВЛЕНИЕ

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Анализ характеристик качества поверхности

1.1.1. Анализ геометрических параметров качества

1.1.1.1. Анализ волнистости поверхности

1.1.1.2. Анализ шероховатости поверхности

1.1.1.3. Анализ наношероховатости поверхности

1.1.2. Анализ физико-механических параметров качества

1.2. Анализ параметров качества поверхности после электрофизикохимической обработки

1.2.1. Качество поверхности после ЭХО

1.2.2. Качество поверхности после лазерной обработки

1.2.3. Качество поверхности после ЭЭО

1.3. Постановка цели и задач исследования

1.4. Выводы

2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА МИКРО- НАНОУРОВНЯХ

2.1. Исследование процесса выравнивания исходной шероховатости поверхности материалов после электрохимической обработки

2.1.1. Изменение высоты исходной шероховатости обрабатываемой поверхности в условии первичного распределения

2.1.2. Изменение высоты шероховатости поверхности в условии вторичного распределения

2.2. Математическое моделирование процесса выравнивания исходной шероховатости нержавеющей стали Х18Н10Т после ЭХО в условии вторичного распределения

2.3. Вводы по главе 2

3. МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО

ИССЛЕДОВАНИЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ ПОСЛЕ ЭЛЕКТРОФИЗИКОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

3.1. Цель исследований

3.2. Задачи исследований

3.3. Объекты исследования

3.4. Оборудование, материалы и методика подготовки образцов для электрофизикохимической обработки

3.4.1. Оборудование, материалы для электрохимической обработки

3.4.1.1. Оборудование для электрохимической обработки

3.4.1.2. Материалы и методика подготовки исследования поверхности образцов после электрохимической обработки

3.4.2. Оборудование и материалы для лазерной обработки

3.4.2.1. Оборудование для лазерной обработки

3.4.2.2. Материалы и методика подготовки исследований поверхности образцов после лазерной обработки

3.4.3. Оборудование и материалы для электроэрозионной обработки

3.4.3.1. Оборудование для электроэрозионной обработки

3.4.3.2 Материалы и методика подготовки образцов после электрозрозионной обработки

3.5. Регистрируемые параметры

3.5.1. Оборудование для измерения геометрических и физико-механических параметров поверхности материалов после электрофизикохимической обработки

3.5.2. Методика проведения измерений

3.6 Анализ экспериментальных данных, построение графических зависимостей

3.7. Вводы по главе 3

4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МАТЕРИАЛОВ ПОСЛЕ

ЭЛЕКТРОФИЗИКОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

о :>

4.1. Цель исследования

4.2. Задачи исследования

4.3. Исследование шероховатости поверхности материалов после электрофизикохимической обработки

4.3.1. Исследование шероховатости поверхности материалов после электрохимической обработки

4.3.1.1. Микрошероховатости поверхности материалов после электрохимической обработки

4.3.1.2. Наношероховатости поверхности материалов после электрохимической обработки

4.3.2. Анализ шероховатости поверхности материалов после лазерной обработки

4.3.2.1. Микрошероховатости поверхности материалов после лазерной обработки

4.3.2.2. Наношероховатости поверхности после лазерной обработки

4.3.3. Исследование наношероховатости поверхности материалов после электроэрозионной обработки

4.4. Исследование твердости поверхности материалов после электрофизикохимической обработки

4.4.1. Исследование твердости поверхности материалов после электрохимической обработки

4.4.1.1. Микротвердости поверхности материалов после электрохимической обработки

4.4.1.2. Нанотвердости поверхностей материалов

после электрохимической обработки

4.4.2. Анализ твердости поверхностей материалов

после лазерной обработки

4.4.2.1. Исследовавание микротвердости поверхностей материалов

после лазерной обработки

4.4.2.2. Анализ нанотвердости поверхностей материалов

4

после лазерной обработки

4.5. Выводы по главе 4

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ИСТОЧНИКОВ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Микро- и нанопараметры качества поверхности материалов после электрофизикохимической обработки»

Введение

В настоящее время в машиностроении достигнуты значительные успехи, особенно в области обработки высокопрочных материалов, таких как жаропрочные, нержавеющие стали и др., электрофизикохимическими методами обработки (ЭФХМО). С помощью электрофизикохимической обработки можно уменьшить дефекты, которые образуются при использовании традиционных методов, такие как микротрещины, растравливание и др. Одним из основных параметров, определяющих преимущества и эффективность ЭФХМО материалов, является качество поверхности. Качество поверхности непосредственно влияет на технические и эксплуатационные свойства деталей, узлов и изделия в целом. Качество поверхности деталей, полученных после использования ЭФХМО зависит от ряда параметров, таких как условия обработки, качество поверхности до обработки и др. В настоящее время проведено исследование качества поверхности материалов после обработки известными методами обработки, но в основном только на макро- и микроуровнях, а на наноуровне исследований ещё недостаточно. Исследование качества поверхности на макро- и микроуровнях с использованием геометрического и физико-механического параметров, приведенных в ряде известных статей, показали, что качество поверхности зависит только от параметров процесса обработки. При исследовании качества поверхности на наноуровне возникают вопросы: будут ли условия обработки сильно сказываться на качестве поверхности и по какому закону, существуют ли другие параметры, влияющие на качество поверхности после электрофизикохимической обработки и существует ли единство между микро-и нанопараметрами качества поверхности. Таким образом, установление нано-параметров качество поверхности металлов и сплавов после ЭФХМО и определение соотношения между микро- и нанопараметрами качества поверхности являются актуальной задачей.

Цель работы. Оценка микро- и нанопараметров качества поверхности металлов и сплавов после электрофизикохимических методов обработки.

Для достижения указанной цели необходимо решить следующие задачи:

1. Провести анализ современного состояния вопроса о влиянии параметров процесса обработки на показатели качества поверхности на микро- и нано-уровнях после ЭФХМО.

2. Провести теоретическое исследование микро- и нанопараметров качества поверхности материалов после электрохимической обработки (ЭХО).

3. Спроектировать и создать экспериментальную установку для проведения ЭХО при различных условиях.

4. Провести экспериментальные исследования геометрических и физико-механических микро- и нанопараметров поверхности материалов после электрохимической (ЭХО), лазерной (ЛО) и электроэрозионной (ЭЭО) обработки.

5. Выполнить сравнительную оценку микро- и нанопараметров поверхности металлов и сплавов после ЭХО, JIO и ЭЭО.

Объект исследований: микро- и нанопараметры качества поверхности деталей из алюминия АО и нержавеющей стали Х18Н10Т после ЭФХМО.

Предмет исследований: поверхности металлов и сплавов после электрохимической, лазерной и электроэрозионной обработки.

Метод исследований: Теоретические исследования проводились на основе основных положений теоретической и прикладной электрохимии с учетом поляризации электрода и неоднородности состава и свойства обрабатываемого материала. При проведении эксперимента льных исследований использовались разработанная и изготовленная установка ЭХО, лазерная установка ЭУ-1, электроэрозионный станок «XENON», а также современная измерительная и регистрирующая аппаратура (сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) Solver PRO Р47Н, профилограф-профилометр Kosaka Lab. Surfcorder SE 1700a-39, микротвердомер ПМТ-3 и сканирующий силовый микроскоп «НаноСкан»).

Положения, выносимые на защиту:

1. Модель процесса выравнивания исходной микро- и наношероховатости поверхности металлов и сплавов при ЭХО на основе основных положений тео-

ретической и прикладной электрохимии с учетом поляризации электродов и неоднородности состава и свойства обрабатываемого материала.

2. Экспериментальные схемы ЭХО при плотности тока от 0 до 30 А/см2 и в водных растворах 5-; 10- и 15%-ного ЫаС1.

3.Результаты экспериментальных исследований микро- и нанопараметров качества поверхности металлов и сплавов после ЭФХМО.

4.Сравнительная оценка микро- и нанопараметров качества поверхности металлов и сплавов после ЭФХМО.

Научная новизна заключается в определении условий преимущественного влияния на микро- и нанопараметры качества поверхности в зависимости от методов обработки и оценке соотношения микро- и нанопараметров качества поверхности после использования различных ЭФХМО. Установлено, что на микропараметры качества поверхности больше влияние оказывают параметры процесса обработки, а на нанопараметры — преимущественно влияют свойства материала, а именно структура, размер зерен и химический состав.

Практическая ценность работы состоит в следующем:

1. На основании проведенных исследований разработана и изготовлена экспериментальная установка для осуществления ЭХО при различных плотностях тока и концентрациях раствора электролита.

2. Экспериментально определены диапазоны изменения микро- и нанопараметров поверхности металлов и сплавов после ЭФХМО.

Теоретическая значимость работы состоит в исследовании влияния процесса выравнивания исходных микро- и наношероховатостей поверхности материалов после ЭХО. В рамках предлагаемой модели показано, что при ЭХО с учетом поляризации электрода и неравномерности его потенциала поверхности, на микроуровне влияние числа Вагнера, характеризующего поляризацию электрода, и неравномерности потенциала на скорость выравнивания высоты исходной неровности несущественно, а на наноуровне - чем выше число Вагнера, тем меньше приложенный к аноду потенциал, что приводит к снижению скорости выравнивания.

Апробация работы

Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на региональных всероссийских научно-технических конференциях «Высокие, критические, электро- и нанотехнологии» (Тула, 2012 - 2014 г.), на международных молодежных научных конференциях «Гагаринские чтения» (Москва, 2013, 2014).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 7 печатных работ, 3 из которых в изданиях, рекомендованных ВАК.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 4 глав, списка используемой литературы из 108 наименований; общий объем - 136 страницы машинописного текста, включая 76 рисунков и 13 таблиц.

Работа состоит из следующих основных частей:

1. Анализ состояния вопроса. Цель и задачи исследования;

2. Теоретические исследования электрохимической обработки на микро-наноуровне;

3. Методика проведения экспериментальных исследований качества поверхности материалов после электрофизикохимических методов обработки;

4. Экспериментальное исследование качества поверхностных слоев материалов после электрофизикохимических методов обработки.

Работа выполнена на кафедре «Электро- и нанотехнологии» и лаборатот-рии «Электроизических и электрохимических методов обработки» им. Ф.В. Се-дыкин Тульского государственного университета.

Автор выражает огромную благодарственность научному руководителю д.т.н., профессору В.В. Любимов, д.т.н., профессору В.Д. Волгину и д.т.н., профессору B.C. Сундукову за помощь и поддержку при выпольнении работы.

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Анализ характеристик качества поверхности

Эксплуатационные свойства деталей в значительной степени определяются качеством поверхности. Качество обработанной поверхности характеризуется геометрическими (неровность) и физико-механическими (твердость) параметрами поверхности материала.

1.1.1. Анализ геометрических параметров качества

Неровности поверхностей деталей машин разделяют на макроотклонения формы, волнистость, шероховатость и наношероховатость. К макроотклонениям относят единичные, регулярно не повторяющиеся отклонения реальной поверхности от номинальной (выпуклость, вогнутость, конусность и т.д.). Можно сказать, что макроотклонения - отклонения первого порядка, волнистость -второго, шероховатость - третьего и четвертого порядков, наношероховатость -пятого и шестого [23]. В этой работе рассмотрены волнистость, шероховатость, наношероховатость.

1.1.1.1. Анализ волнистости поверхности

Волнистость представляет собой совокупность периодических, регулярно повторяющихся, близких по размерам выступов и впадин, расстояние между которыми значительно больше, чем у неровностей, образующих шероховатость поверхности, и превышает базовую длину I, используемую для оценки шероховатости. Расстояние между вершинами волн (шаг волны) находится в пределах 0,8 ... 10 мм, а высота - 0,03... 500 мкм [25].

1.1.1.2. Анализ шероховатости поверхности

Шероховатостью поверхности (микрогеометрией) называют совокупность микронеровностей с относительно малыми шагами, образующих рельеф поверхности и рассматриваемых в пределах участка, длина которого равна некоторой базовой длине /. Шаг микронеровностей меняется от 2 до 800 мкм, а высота - от 0,03 до 400 мкм.

»

Шероховатость после механической обработки - это след режущего инструмента (металлического или абразивного), искаженный пластической и упругой деформацией, а также вибрацией системы станок - приспособление -инструмент - деталь (СПИД) и температурной деформацией системы СПИД. Шероховатость после немеханических методов обработки - это результат неодинакового съема металла с поверхности (электрохимической, электроэрозионной и другой обработкой), а также копирования неровностей (микроотклонений) поверхности штампов, вальцев, литейных форм при получении заготовок и т.п.

В результате ЭХО можно получить детали из высокопрочных материалов, которые имеют шероховатости = 0,63...80мкм, Яа = 0,16...2,5мкм и погрешность размера 10-100мкм [4, 57, 64]. После электрохимического полиро-ваниия (ЭХП) можно получить детали с шероховатостью = 0,05...0Дмкм, 11а = 0,02... 1,25 мкм [4, 64]. После электрохимической размерной обработки (ЭХРО) может получить детали с шероховатостью И, = 1,6...20мкм, Яа = 0,32...2,5мкм [4, 64] и точностью ЭХРО 0,02-0,1 мм [97]. После ЭХО шероховатости поверхности нержавеющих сталей и сплавов = 0Д3...1,52мкм [75, 99]. При миллисекундной и микросекундной ЭХО IIа = 0,05...2,5мкм и погрешность размера 5-100мкм [10, 11, 64, 73, 78]. После ЛО Яа = 0,01...3,2мкм [24].

1.1.1.3. Анализ наношероховатости поверхности

На выступах, образующих шероховатость, имеются еще более мелкие микронеровности — наношероховатость. Шаг нанонеровностей меняется от 1 до 200 нм, а высота - 2-800нм.

Форма и размер наношероховатости в значительной мере определяются структурой обрабатываемого материала и его напряженным состоянием.

В настоящее время с помощью современных методов обработки можно получить микромодульные зубчатые колеса с погрешностью изготовления не более 10мкм и шероховатость поверхности Яа <0,5 мкм [101], рабочие элементы

акустических датчиков температуры воздушного потока с узкими каналами и

11

шероховатость рабочей поверхности не более0,1 мкм. С помощью метода по мощности отраженного изучения измерена наношерозоватость стальных поверхностей в диапозоне от Юнм до ~100нм [43]. Сканирующая электронная микроскопия может обеспечить разрешение изображений до 0,2 нм. [100]. При фирме «Русский технологический клуб» проведен технологический аудит проекта, результаты которого подтвердили, что на станках ЕТ-500 достигается рекордная наношероховатость поверхности (до Ra = 1,7...2,3нм, R2 =0,9нм) [30]. На основе АСМ-измерения наношероховатости R3 = 23-98 hm [8]. АСМ-анализ наноструктуры поверхности образцов политетрафторэтилена (ПТФЭ) показал, что наноразмерная шероховатость (Rq) поверхности после обработки ПТФЭ

ионно-плазменным травлением изменяется с (24 ± 1) нм для исходного образца до (31 ±2) нм для образца ПТФЭОбр(30мин) [67].

В работе [81] исследованы электролитно-плазменное полирование (ЭПП) поверхности токопроводящего электрода-анода и образцы, приготовленные из листовой стали 08Х18Н10Т размером 50x10x2 мм. С помощью атомно-силовой микроскопии (NT-MDT Solvor P47H-PRO) и лазерного микроскопа измерены исходная шероховатость поверхности образцов Ra =0,209мкм; Ra =0,192мкм и после ЭПП по режиму 1 в течение 6 мин. шероховатость Ra уменьшалась от 0,209 до 0,049мкм, Ra-ot 0,192 до 0,041 мкм.

1.1.2. Анализ физико-механических параметров качества В настоящее время международным стандартом ISO 14577 [93] также предусмотрено кинетическое индентирование для определения твердости, при этом придерживаются следующих уровней определения твердости [87, 88]: первый - макроуровень: 2#<F<30000H; второй - микроуровень: F < 2Н; Ь>20нм; третьй - наноуровень: h<20HM, где F - сила вдавливания индентора (нагрузка), h - глубина отпечатка (индентирования). Н — твердость.

В работе В.В. Остапчука [59] исследование микротвердости образцов из хромоникелевой нержавеющей стали в состоянии поставки показало, что в зонах максимального утонения (26%) микротвердость Я50 = 5350МПа, а в зонах с

12

минимальным утонением (3 %) #50 = 2250 МПа. При этом наблюдалось изменение формы зерен: при минимальной деформации продольный размер составляет 7-9мкм, в поперечном сечении - 4,5-7,7мкм; с увеличением степени деформации размер зерен в поперечном сечении уменьшается - 2,7-3,2мкм, а продольный размер увеличивается - 13-23мкм. Для отожженной хромоникеле-вой нержавеющей стали после взрывного нагружения в зонах максимального утонения (50%) микротвердость #50 составила 5490 МПа, а в зонах с минимальным утонением (3%) Н50 = 2860 МПа.

В работе А.Р. Абитова [1] была исследована микротвердость стали ШХ15 (по Виккерсу) на микротвердомере Duramin. Анализ микротвердости показал, что в сравнении с исходным закаленным состоянием 65 HRC (800HV), твердость после 1-го прохода равноканального углового прессования (РКУП) снижается до 52HRC (540 HV). Дальнейшее увеличение числа проходов приводит к уменьшению значений микротвердости, что, по-видимому, связано с отпуском стали в процессе РКУП.

Данные наноиндентирования на приборе Nano-Hardness Tester-NHT таких материалов, как нанокристаллическая пленка TiSiN от 0,5.10~бдо 5.10"6мН/нм3, кремний (100) от 0,3.Ю-6 до 3,5.10~бмН/нм3, поликристаллическая медь от 0,1.10"6 до 1,5.10~бмН/нм3, приведенны авторами в работах [48, 61].

В работе В.П. Сергеев [49] исследованы образцы размером 6x6x20 мм, которые проходили закалку в масло и отпуск на воздухе, соответственно, от 840°С и при 160 °С для стали ШХ-15 и от 850 °С и при 500 °С для стали 38ХНЗМФА. После термообработки две противоположные большие грани образцов шлифовали и полировали доЯа =0,08мкм. С помощью нанотвердомера NanoHardnessTester - CSM определены нанотвердости для стали 38ХШМФА: Я = 6,9±0,8ГПа и для стали ШХ-15:Я = 10,1 ±0,8ГПа. Облучение ионными пучками (Ti+B) и (А1+В) образцов этих сталей приводит к более значительному повышению (в ~ 1,5...3 раза) нанотвердости.

В работе [13] было исследование зависящих от времени упругопластиче-ских свойств керамик на основе ЪгОг с различной термической предысторией и размером зерна. Использованы образцы с размером зерна 0,3, 0,5 - 0,7, 3 мкм и со статической твердостью 1,12, 10,5-10,6, 9,5 ГПа.

В работе С. Н. Веневцевы [6] исследована нанотвердость поверхности вольфрама после различных видов обработки. Наибольшая нанотвердость 28,5 ГПа отмечена у образца после отрезки абразивным кругом. А у образца после отрезки абразивным кругом, электролитической полировки и отжига получена нанотвердость 17,4 ГПа.

1.2. Анализ параметров качества поверхности после электрофизико-химической обработки

1.2.1. Качество поверхности после ЭХО

При электрохимической обработке формирование микрорельефа поверхности и качество поверхности зависят от структуры материала заготовки, от состава, температуры, скорости прокачки электролита, от электрических параметров режима. Все эти факторы постоянно изменяются в зависимости от времени и в процессе обработки в каждой точке протекают по-разному. Отличия могут быть незначительными и практически не влияют на скорость съема металла, но вызывают образование микронеровностей и оказывают влияние на качество поверхности [84]. Высота микронеровностей в установившемся процессе ЭХО определяется электрическим, температурным и гидродинамическим режимами [33].

Как показали результаты исследований ряда ученых А.К. Алтынбаева, А.Д. Давыдова, Л.Б. Дмитриев, Г.Н. Зайдмана, В.В. Любимова, Б.П.Саушкина и др., современные тенденции в области качества поверхности металлов и их сплавов при электрохимической обработке, прежде всего, связаны с применением импульсного тока [22, 58, 65, 78, 79]. В работах указанных авторов доминирует мысль о том, что с уменьшением длительности импульса до величин, при которых газ не успевает заполнить межэлектродные промежутки (МЭП),

анодное растворение протекает интенсивнее, чем при постоянном токе, выравниваются свойства электролита по длине прокачки, снижается вероятность возникновения коротких замыканий (КЗ), улучшается эвакуация продуктов электрохимических реакций.

Известно, что при использовании импульсных токов микронеровность на обрабатываемой поверхности уменьшается [3, 94, 95]. Исследования Б. П. Са-ушкина [71] показали, что использование импульсных токов не только улучшает шероховатость поверхности, но и позволяет получить однородную по качеству поверхность обработки, что так важно при изготовлении крупногабаритных деталей. При анодном растворении импульсными токами можно значительно уменьшить шероховатость поверхности нержавеющей стали. Величина микронеровностей практически не менялась по всей длине образца, в то время как при обработке постоянным током она зависила от расстояния и уменьшаясь по мере удаления от входа потока. На шероховатость поверхности при обработке постоянным током плотность тока оказывает большое влияние, при обработке импульсным током - незначительное. Так, при плотности тока 10 А/см2 высота микронеровностей поверхностей, обработанных постоянным током, достигает 8мкм и более, при обработке импульсным - не превышает 1,5 мкм во всех проводимых экспериментах. Кроме того, исследования Б. П. Саушкина показали, что с ростом плотности тока различие между обработкой постоянным и импульсным токами уменьшается.

В работах профессора А.Д Давыдова и др. [21, 29] отмечается, что использование импульсного режима обработки значительно повышает качество поверхности: уменьшается глубина растравливания металла по границам зерен, уменьшается абсолютная величина высоты микронеровностей, поверхность приобретает однородной микрорельеф. При обработке стали 08Х18Н10Т с плотностью тока 25 А/см2 в растворе №С1 импульсами тока длительностью Змс и скважностью 3,5 значение шероховатости обработанной поверхности Яа =0.5 мкм. По авторскому свидетельству авторов В.Д. Кащеева, Т.В. Кулешовы, И.А. Васильева [34] улучшение качества поверхности при импульсной ЭХО

15

связано с тем, что в течение импульса на обрабатываемой поверхности образуются пленки различной природы, а в паузе между импульсами происходит де-пассивация поверхности преимущественно на вершинах микрорельефа. В случае растворения сплава по механизму анодно-анионной активации в течение импульса тока происходит образование и разрастание питтингов, а в паузе между импульсами - пассивация активированной поверхности. Кроме того, в работе [96] указано, что при подаче следующего импульса тока образуются новые питтинги, в связи с чем происходит уменьшение шероховатости поверхности.

В труде Б.П Саушкина [72] отмечается, что в хлоридных электролитах для малых плотностей тока (до 20 А/см2) у большинства материалов шероховатость поверхности уменьшается с увеличением плотности тока, а в диапазоне плотностей тока 20-100 А/см2 - не по одному закону. Однако в работах О.И. Хаселева и Г.Н. Зайдмана [28, 83] показано, что в большинстве случаев повышение плотности тока приводит к уменьшению шероховатости поверхности. Это может быть связано с достижением предельного тока, у которого диффузионная природа, а также с ростом анодного потенциала и переходом от селективного к более равномерному растворению сплава. В исследованиях P.A. Мирзоева [45] показано, что при плотности тока выше 1600 А/см2 после ЭХО стали марки 40Х13 импульсами тока микросекундной длительности в растворе 5 %-ного NaCl значение Ra достигло 0,06 мкм, а в растворе 8 %-ного NaN03 - до 0,02мкм.

В диссертации С.И. Галанин в результате использования переменного асимметричного тока при анодном растворении твердых сплавов WC-Co в электролите состава 10 %-ный NaCOs, 5 %-ный NaCl наблюдалось повышение качества обработанной поверхности. Высота микронеровностей уменьшалась с увеличением отношения значений средней силы тока положительного импульса к средней силе тока отрицательного импульса. Оптимальным считалось отношение 25-45, для которого при плотности тока 25 А/см2 высота микронеровностей составляла менее 0,2 мкм. Уменьшение шероховатости обработанной

16

поверхности связывали с растворением в катодный полупериод окисной анодной пленки, имеющей неравномерное сопротивление, в результате чего происходило более равномерное растворение сплава [11].

Итак, результаты исследований ряда ученых показали, что на макро- и микроуровнях использование импульсных токов и плотность тока при электрохимической обработке оказывает большое влияние на качество обработанной поверхности, что позволяет улучшать качество поверхности, уменьшать шероховатость поверхности. Встает вопрос: на наноуровне использование импульсных токов оказывает влияние на качество поверхности или нет? И по какому закону?

Указано, что шероховатость поверхности после электрохимической размерной обработки (ЭХРО) изменяется в широком диапазоне: от Я, =10...40мкм до Я. = 0,02...0,16мкм [80]. В основе механизма образования шероховатости лежат электрохимические процессы, протекающие на поверхности растворяемого металла. Шероховатость поверхности после ЭХО определяется комплексом параметров, главными из которых являются химический и фазовый состав металлов или сплавов, их структура. Данные параметры определяются электрохимической гомогенностью или гетерогенностью материала. В первом случае создаются предпосылки для высокой шероховатости обработанной поверхности. Во втором случае происходит распределение плотности тока между микроучастками, представляющими различные фазы. Различие скоростей растворения на микроучастниках является причиной появления микронеровностей обрабатываемой поверхности.

Кроме этого, рассматривается взаимосвязь механизма электродных процессов при различных видах электрохимической обработки с высотой микронеровностей поверхности обрабатываемых металлов и сплавов [33]. Подчеркивается, что различия в механизме процесса анодного растворения металлов наиболее существенно влияют на формирование микрорельефа поверхности в начальный период из-за различий в процессах разрушения окисных пленок.

Высота микронеровностей в установившемся процессе ЭХО определяется элек-

17

трическим, температурным и гидродинамическим режимами. Так, по механизму активного растворения ионизируются также некоторые металлы (например, вольфрам), анодное растворение которых возможно лишь в концентрированных щелочах. В растворе гидроокиси натрия при обработке вольфрама шероховатость поверхности = 0,32...0,63мкм, причем увеличение концентрации электролита свыше 125 г/л приводит к росту шероховатости поверхности. При обработке молибдена в таких условиях шероховатость поверхности Яа = 0,08...0,16 мкм [46].

В работе профессора А.Д. Давыдова [21] отмечается, что в случае анодного растворения сплавов шероховатость поверхности обусловлена электрохимической неоднородностью различных фаз в сплаве. Так при растворении стали 12Х18Н10Т в растворе нитрата натрия происходит преимущественное растворение избыточных карбидных фаз - карбида хрома и карбида титана. Это приводит к возникновению частых мелких углублений. В работе И.Л. Агафонова и др. [68] указано, что при растворении этой стали в растворе хлорида натрия и малых потенциалах скорость растворения избыточных фаз меньше скорости растворения основы сплава, поэтому на поверхности происходит формирование микровыступов. При значительном отличии скорости растворения различных составляющих сплава может происходить выпадение отдельных металлических частиц в растворе с образованием кратеров, что вызывает повышение шерхова-тости поверхности.

Динамика сглаживания исходной и формирования шероховатости во многом определяется свойствами используемых электролитов [60]. В работе А.Д Давыдова [20] указано, что анионный состав, рН и температура электролита значительно влияют на формирование микропрофиля обработанной поверхности, например, в растворах нитратов поверхность металла растворяется более равномерно по сравнению с электролитом хлора. Исследования Н.И Подобаева показывают, что с повышением температуры электролита шероховатость поверхности увеличивается вследствие увеличения растравливания по границам

зерен. Кроме того, с повышением рН электролита до более двадцати шерохова-

18

тость железа и сталей в растворах хлорида и нитрата натрия значительно увеличивается [62].

Результаты исследований А.И. Левина, A.B. Нечаева [37] доказывают влияние структуры материала на формирование микрорельефа обработанной поверхности. Структурный фактор не только влияет на формирование микрорельефа, но и воздействует на более крупные его формы из-за влияния микрорельефа на гидродинамику электролита. Кроме того, с уменьшением зернистости материала размеры неровностей уменьшается, а для металлов с крупными зернами имеют место микроуглубления по границам зерна [18].

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Нгуен Тхи Хонг, 2015 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ источников

1. Абитов А.Р. Электрофизикохимическая обработка фасонных поверхностей в кремниевых заготовках: автореф. дис. ... канд. техн. наук. - Тула, 2011.-20 с.

2. Абляз Т.Р., Ханов А.М., Хурматуллин О.Г. Современные подходы к технологии электроэрозионной обработки материалов: учеб. пособие. - Пермь: Изд-во ПНИПУ, 2012. - 121 с.

3. Алтынбаев А. К. Электрохимическая обработка металлов электрическими импульсами // Электрохимическая размерная обработка металлов. -Кишинев: Штиинца, 1974. - С. 93 - 100.

4. Амитан Г.Л., Байсупов И.А., Барон Ю.М. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки / под общ. ред. В. А. Волосато-ва. — Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1988. - 719 с.

5. Валетов В.А., Медунецкий В.В. Характерные особенности формирования функциональных поверхностей пресс-форм на электроэрозионном оборудовании для изготовления конструкционных элементов приборов // Труды Нижегородского государственного технического университета им. Р.Е.Алексеева. -Нижний Новгород: Изд-во НГТУ, - № 2012. - С. 342 - 347.

6. Веневцева С.Н. Микроэлектрохимическая обработка на малых и сверхмалых межэлектродных зазорах с применением микросекундных импульсов напряжения. : автореф. дис. ... канд. техн. наук. - Тула, 2013. - С. 18.

7. Влияние лазерной обработки на структуру свойства поверхности порошковых легированных сталей / В. Н Анциферов, С. Н. Боброва, И. В Мелехин, С. В. Штенников // Физика и химия обработки материалов. - 1988. - № 1. - С. 79 -83.

8. Влияние нанонаполнителей на картину износа поверхности стали в субмикронном диапазоне / М. И. Игнатовский, А. И. Свиридёнок, В. А. Смуругов, П. А. Ховатов, Т. Г. Чмыхова // Методологические аспекты сканирующей зон-довой микроскопии. VII Международный семинар. Сборник докладов. -Минск: ИТМО НАН Беларуси. - 2006. - С. 227-230.

9. Влияние параметров импульсного режима на кинетику анодного растворения жаропрочных сплавов применительно к ЭХО / Т.М. Кузнецова, А.Г. Ата-насянц, Г.А. Сычков, В.И. Кузин // Электронная обработка материалов. - М.: -1987,-№4.-С. 5-8.

10. Галанин С.И. Локализация анодного растворения хромоникелевых сплавов в условиях электрохимической обработки импульсами микросекундного диапазона. : автореф. дис. ... канд. техн. наук. - Иваново, 1991. - С. 18.

11. Галанин С.И. Теория и практика анодной электрохимической обработки короткими импульсами тока: дис... д-ра. техн. наук. Кострома, 2001. 293 с.

12. Галлямова Р.Р., Зарипов Н.Г., Карваева М.В. Влияние числа проходов равноканального углового прессования на структуру и свойства подшипниковой стали ШХ15: Сб. науч. тр. / Международная школа-конференция для студентов, аспирантов и молодых ученых «Фундаментальная математика ее приложения в естествознании». - Уфа, 3-7 октября 2010. - Т. 2. - С. 38 - 41.

13. Головил Ю.И. Размерный и зависящий от времени эффекты в нанотвердости керамик на основе Ъх02 II Физика твердого тела. - 2001. -Т. 43. -вып. 11.-С. 2021 -2024.

14. ГОСТ 5632 - 72. Стали высоколегированные и сплавы коррозион-ностойкие, жаростойкие и жаропрочные. Марки. - Введ. 01 - 01 - 1975. - М.: Изд-во стандартов, - 2004. - 39 с.

15. Григорьянц А.Г., Алексенко С.И., Сафонов А.Н. Исследование микроструктуры и механических характеристик стали 40X10С2М после лазерной обработки // Физика и химия обраб. материалов. - 1991. - № 3. - С. 102 -107.

16. Григорьянц А.Г., Шиганов И.Н., Мисюров А.И. Технологические процессы лазерной обработки. - М.: изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, - 2006. -664 с.

17. Григорьянц А.Г.. Основы лазерной обработки материалов. - М.: машиностроение, - 1989. - 304 с.

18. Гродзинский Э.Я., Стебаев А.И. Катодная активация твердых сплавов // Электрохимическая обработка металлов. - Кишинев: Штиинца, - 1971. -С. 57-60.

19. Гурьев В.А., Тескер Е.И. Исследование влияния структурных превращений после лазерной обработки на износостойкость конструкционной стали 40 // Физика и химия обработки материалов. - 1996. - № 1. - С. 38 - 42.

20. Давыдов А.Д. Об измерении потенциалов при исследовании процессов электрохимического растворения металлов с высокими плотностями тока // Электронная обработка материалов. М.: - 1975. - № 5. - С. 19 - 24.

21. Давыдов А.Д. Электрохимическое растворение металлов в импульсных режимах // Современная электротехнология в машиностроении: Сб. тр. научн.-тех. конф. - Тула: ТГУ, - 1997. - С. 6 - 11.

22. Давыдов А.Д., Козак Е. Высокоскоростное электрохимическое формообразование. - М.: Наука. - 1990. - 272 с.

23. Демкин Н.Б., Рыжов Э.В. Качество поверхности и контакт и деталей машин. - М.: Машиностроение, - 1981,- 248 с.

128

24. Дощечкина И.В. Условия лазерной обработки для получения максимальной твердости поверхности среднеуглеродистых сталей // Вестник ХНАДУ. - 2008. - № 42. - С. 52 - 55.

25. Дьяченко П.Е., Вайнштейн В.Э., Розенбаум Б.С. Количественная оценка неровностей обработанных поверхностей. М.: Изд-во АН СССР, - 1952.

- 129 с.

26. Евдокимов В.Д., Клименко Л.П., Евдокимова А.Н. Технология упрочнения машиностроительных материалов: учеб. пособие-справочник / под ред. д. т. н., проф. В. Д. Евдокимова. - Одесса Николаев: Изд-во НГГУ им. Петра Могилы, - 2005. - 352 с.

27. Зайдман Г. Н. Особенности формирования микрогеометрии поверхности при электрохимической обработке многофазных металличесих систем // Электронная обработка материалов. - М.:- 1977. - № 7. - С. 12-15.

28. Зайдман Г.Н. Высокоскоростное анодное растворение хромистых сталей в нитратных электролитах // Электронная обработка материалов. - М.: -1992. -№4.-С. 46-51.

29. Изучение электродных процессов потенциоки-нетическим методом применительно к электрохимической обработке металлов / А.Д. Давыдов, В.Д. Кащеев, JT.JI. Кноц, В.В. Кушнев // Электронная обработка материалов. - 1969.

- № 2. - С. 82-87.

30. Инверторы любят точность // Инновационный Башкортостан. -2009. - № 2(2). - www.minpromrb.ru.

31. Инструкция профилографа-профилометра Kosaka Lab. Surfcorder SE 1700a-39. - Япония. - 105 с.

32. Исследование микроструктуры и рельефа поверхности при лазерной термической обработке тонкостенного цилиндра из порошкового псевдосплава сталь-медь / В. Г. Гилев, Е. А. Морозов, А. С. Денисова, А. М. Ханов // Известия Самарского научного центра Российской академии наук. - 2012. - Т. 14. - № 4 (5). - С. 1212-1217.

33. Кащеев В.Д. Взаимосвязь электродных процессов с величиной шероховатости поверхности материалов при различных видах электрохимической обработки // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов: Сб. науч. тр. Тула, - 1981. - С. 3 - 9.

34. Кащеев В.Д., Кулешова Т.В., Васильев И.А. Способ размерной электрохимической обработки металлов: A.c. 755487 СССР от 15.08.1980. - 5 с.

35. Козырь Д.В. Электроэрозионная обработка с использованием проводящих лазерных каналов: дис. ... канд. техн. наук. - Тула, - 2014. - 163 с.

36. Лазерное и электроэрозионное упрочнение материалов /B.C. Коваленко, А.Д. Верхотуров, Л.Ф. Головко, И.А. Подчерняева - М.: Наука, - 1986. -276 с.

37. Левин А.И., Нечаев A.B. Электрохимическая обработка сплавов WC-Co переменным асимметричным током // Электронная обработка материалов.- 1971.- № 1.-С. 12-15.

38. Лопухов Ю.И., Шакаримов Ш.С. Термическое упрочнение поверхностей железоуглеродистых сплавов лазерным излучением // Вестник ВКГТУ. Науки о земле. - 2011. - № 3. - С. 10-17.

39. Любимов В.В., Сундуков В.К., Грачева К.В. Исследование качества поверхности монокристалического вольфрама методом зондовой микроскопии.

40. Любченко А.Л., Липовецкий Л.С., Глушкова Д.Б. Повышение износостойкости стальных поверхностей путем лазерной обработки. // Вестник ХНАДУ . - 2006. - вып. 33. - 7 с.

41. Малыгина И.Ю., Макаров A.B., Осинцева А.Л. Влияние лазерного упрочнения и последующих механо-термических обработок на сопротивление усталостному разрушению и износостойкость высокопрочного чугуна. - Екатеринбург: ФХОМ, - 2006. - № 4. - С. 46 - 55.

42. Медунецкий В.В. Исследование качества электроэродированных поверхностей с использованием непараметрических критериев: автореф. дис. ... канд. техн. наук. - Санкт-Петербург: -2013. 19 с.

43. Менделеев В.Я., Сковородько С.Н., Курилович A.B. Измерение наношероховатости Ti, W, Си, Аи и стальных поверхностей по мощности отраженного излучения // Прикладная оптика - 2010: сборник трудов IX международной конф. - Санкт-Петербург: октября 2010 г. - Т. 1(часть2). - с. 208 - 212.

44. Микротвердость материалов: Методические указания к лабораторной работе/ Состю Паршев С. Н., Полозенко Н. Ю./ ВолгГТУ, - Волгоград, -2004.- 15 с.

45. Мирзоев P.A. Катодный процесс при электрохимической размерной обработке // Электрохимическая обработка металлов. - Кишинев: Штиинца, -1971.-С. 46-51.

46. Мичукова Н. Ю. Исследование влияния состава электролита на вход металла по току и качество обработки вольфрама, молибдена и их сплавов с рением // Применение электрофиз. и электрохим. методов. - Пермь, - 1976. -С. 137- 139.

47. Морозов Е.А., Русин Е.С., Абляз Т.Р. Механическая обработка поверхностного слоя псевдосплава сталь-медь, подвергнутого лазерной термической обработке // журнал «Соверменные проблемы науки и образования». -2013. -№5.-6 с.

48. Мощенок В.И. Наноиндентирование и нанотвердость материалов // Автомобильный транспорт. - 2008. - Вып. 22. - С. 151 - 153.

49. Нанотвердость и износостойкость высокопрочных сталей 38ХНЗМФА И ШХ-15, имплантированных ионами (Al+B), (Ti+B), Ti / В.П. Сергеев, А.Р. Сунгатулин, О.В. Сергеев, Г.В. Пушкарева. изд-во. Томского политехнического университета. - 2006. - № 1. - Т. 309. - С. 120 - 125.

50. Нгуен Тхи Хонг. Моделирование процесса выравнивания исходной шероховатости поверхностей деталей из стали Х18Н10Т после электрохимической обработки на микро- и наноуровне // Высокие критические электро- и нанотехнологии // Труды II Региональной научно-технической конференции. Тула, 12 ноября 2014 г., - Тула: ТулГУ, 2014. С. 73 - 82

51. Нгуен Тхи Хонг. Исследование нано- и микрошероховатости поверхности деталей из 1Х18Н10Т после электрохимической обработки // Известия ТулГУ. Технические науки. - Вып. 12. - Ч. 1. - Тула: изд-во ТулГУ, 2013. -С. 11 - 16.

52. Нгуен Тхи Хонг. Исследование нанотвердости поверхностей деталей из Х18Н10Т после электрохимической обработки // сбор. Международной науч.-прак. конф. «Наука и образование в жизни современного общества»: в 14 т. - Тамбов: 30 апреля 2015 г. ООО «Консалтинговая компания Юком», - 2015. -Т. 1. С. 89-92.

53. Нгуен Тхи Хонг. Исследование наношероховатости деталей из 1Х18Н10Т после электрохимической обработки // Известия ТулГУ. Технические науки. - Вып. 1. - Ч. 1. - Тула: изд-во ТулГУ, - 2014. - С. 140 - 145.

54. Нгуен Тхи Хонг. Нанорельефы поверхностей образцов из нержавеющей стали Х18Н10Т после электрохимичесой обработки// Известия ТулГУ. Технические науки. - Вып. 1. - Ч. 1. — Тула: изд-во ТулГУ, - 2014. - С. 146 — 151.

55. Нгуен Тхи Хонг. Разработка электрохимической ячейки для анализа качества поверхности материала после электрохимической обработки: науч. тр. Междунар. молодежной науч. конф. «XL Гагаринские чтения». - М.:МАТИ, -2014.-Т. З.-С. 153- 154.

56. Нгуен Тхи Хонг. Разработка электрохимической ячейки для анализа качества поверхности материала после электрохимической обработки: науч. тр. Междунар. молодежной науч. конф. «XXXIX Гагаринские чтения»: в 9 т. -М.:МАТИ, - 2013. - Т. 3. - С. 155 - 156.

57. Немилов Е.Ф. Электроэрозионная обработка материалов: учебник для ПТУ. - Д.: Машиностроение, Ленингр. отдел-е. - 1983. - 160 с.

58. Основы повышения точности электрохимического формообразования / Ю.Н.Петров, Г.Н.Корчагин, Г.Н.Зайдман, Б.П.Саушкин. - Кишинев: Штиинца,- 1978.- 182 с.

59. Остапчук В.В. Исследование структуры и свойств нержавеющих сталей после высокоскоростного деформирования. Харьков: - 2011. - С. 93 -97.

60. Пат. 5833835 США, МКИ6 В 23 Н 3/00. Способ и устройство для электрохимической обработки биполярными импульсами тока/ Н.З. Гимаев, А.Н. Зайцев, AJ1. Белогорский [и др.]. Опубл.

61. Петржик М.И., Штанский Д.В., Левашов Е.А. Современные методы оценки механических и трибологических свойств функциональных поверхностей: материалы X междунар. науч.-техн. конф. «Высокие технологии в промышленности России». - М.: ОАО ЦНИТИ «Техномаш», - 2004. - С. 311 - 318.

62. Подобаев Н.И. Электрохимия. - М.: Просвещение, - 1977. - 310 с.

63. Полукаров Ю.М., Гамбург Ю.Д. Электрохимия. - 1966. - Т. 2. - № 4. - С. 389 - 487. сб. «Исследования по электроосаждению и растворению металлов», М., Наука, 1971, с.146.

64. Попилов Л.Я. Электрофизическая и электрохимическая обработка материалов: справочник. -М.: Машиностроение, - 1982. - 400 с.

65. Прецизионная электрохимическая обработка импульсным током // А.Н.Зайцев, И.Л. Агафонов, H.A. Амирханова [и др.]. - Уфа: Гилем, - 2003. -196 с.

66. Пяндрина Т.Н. Электрохимическая обработка металлов. (Электролитическое полирование) [Текст] / Т. Н. Пяндрина ; Под общ. ред. Л.Я. Попи-лова. - М. -Л. : Машгиз, 1961. -1 - 70 с.

67. Ремеева Е.А. Влияние наноструктурирования поверхности медицинских полимерных материалов на их физико-химические и биологические свойства: дис. ... канд. техн. наук. — М.: — 2007. - 114 с.

68. Решение о выдаче патента 95112271/08/021376. Способ электрохимической обработки хромосодержащих сталей / И.Л. Агафонов, А.Л. Белогорский, Н.З. Гимаев, А.Н. Зайцев, В.Н. Куценко, P.P. Мухутдинов, H.A. Амирханова. Опубл. 18.07.1995.

69. Руководство пользователя сканирующего силового микроскопа «НаноСкан».

70. Сарилов М.Ю. Повышение эффективности электроэрозионной обработки и качества обработанной поверхности на основе подходов искусственного интеллекта: автореф. дис. ... д-ра техн. наук. - Комсомольск-на-Амуре: -2008. 44 с.

71. Саушкин Б. П. Шероховатость поверхности при импульсной электрохимической размерной обработке // Электронная обработка материалов. -1975.-№2.-С. 21 -23.

72. Саушкин Б.П. Анодное растворение железа, хрома и хромистых сталей в нейтральных растворах хлорида и хлората натрия при высоких плотностях тока // Электронная обработка материалов. - 1974. — № 6. - С. 5 - 9.

73. Саушкин Б.П. Зайдман Г.Н. Особенности кинетики анодного растворения металлов применительно к задачам импульсной электрохимической обработки // Размерная электрохимическая обработка деталей машин: материалы науч..-тех. конф. - Тула: - 1975. - Ч. 1. - С. 56 - 59.

74. Серебреницкий П.П. Современные электроэрозионные технологии и оборудование: учеб. пособие; Балт. гос. техн. ун-т. - СПб.: - 2007. - 228 с.

75. Смирнова Т.А. Электрохимическое микроформообразование осе-симметричных деталей: дис. ... канд. техн. наук. - Тула: - 2007. - 143 с.

76. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки / Г.Л. Амитан [и др.]. - Л.: Машиностроение, - 1988. - 719 с.

77. Справочное руководство сканирующего зондового микроскопа. -М.: НИИФП, ЗАО «НТ-МДТ». [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.ntmdt.com.

78. Технология и оборудование для прецизионной электрохимической размерной обработки // А.Н. Зайцев, С.В. Безруков, Н.З. Гимаев [и др.]. - М. -1990.-64 с.

79. Физико-химические методы обработки в производстве газотурбинных двигателей: учеб. пособие / Ю.С. Елисеев, В.В.Крымов, А.А.Митрофанов, Б.П.Саушкин [ и др.]. -М.: Дрофа, - 2002. - 656 с.

80. Филимоненко В.Н., Дегтяренко А.Г. Управление качеством электрохимического формообразования // Размерная электрохимическая обработка деталей машин: материалы научн.-тех. конф. - Тула: - 1975. - С. 183 - 187.

81. Формирование нано- и микроразмерных образований при электро-литно-плазменной обработке аустенитной нержавеющей стали / Н.В. Чирку нова, А.П. Воленко, В.К. Чуркин, И.М. Сафаров, Р.Р Мулюков // Письма о материалах. - 2013. - Т. 3. - С. 163 - 165.

82. Фотеев Н.К. Технология электроэрозионной обработки. М.: Машиностроение, - 1980. - 184 с.

83. Хаселев О.И., Зайдман Г.Н., Энгельгардт Г.Р. Высокоскоростное анодное растворение железа и хромистых сталей в растворах хлорида натрия // Электронная обработка материалов. - 1989. - № 4. - С. 57 - 60.

84. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов / Б. А. Артамонов, Ю. С. Волков, В. И. Дрожалова, Ф. В. Седыкин, В. П. Смоленцев, В. М. Ямпольский. -М.: Высш. шк.„ 1983. - Т. 1. - С. 121.

85. Электрохимия / Ю.Д. Гамбург, В.Н. Голубов [и др.]. - М. 1974. -Т.10. -№ 10.-С. 1492.

86. Chikarakara Е., Naher S., Brabazon D. Analysis of Microstructural Changes during Pulsed C02 Laser Surface Processing of AISI 316L Stainless Steel // Advances in Materials and Processing Technologies. - 2009. 26 - 29 Oct 2009 , Kuala Lumpur, Malaysia.

87. DIN 50359-1. Prüfung metallischer Werkstoffe - Universalhärteprüfung. Teil 1: Prüfverfahren.

88. DIN EN ISO 14577-1. Metallische Werkstoffe - Instrumentierte Eindringprüfung zur Bestimmung der Härte und anderer Werkstoffparameter. Teil 1: Prüfverfahren.

89. Electrochemical polishing of 316L stainless steel slotted tube coronary stents: An investigation of material removal and surface roughness / H. Zhao, J. Van Humbeeck, J. Sohier, I. De Scheerder // Progress in Biomedical Research. - june 2003. Biomedical Research Foundation, Biomedical Research. -Vol. 8(2). -P. 70-81.

90. Electropolishing of 316LVM Stainless Steel Cardiovascular Stents: An Investigation of Material Removal, Surface Roughness and Corrosion Behavior., Trends Biomater / Prakash Sojitra, Chhaya Engineer., Devesh Kothwala., Ankur Raval., Haresh Kotadia., Girish Mehta. - Artif. Organs, - 2010. - Vol 23(3), - P.l 15 - 121.

91. Electropolishing of AISI-304 stainless steel using an oxidizing solution originally used for electrochemical coloration / Leonardo S. Andrade, Sandro C. Xavier, Romeu C. Rocha-Filho,Nerilso Bocchi, Sonia R. Biaggio // Electrochemical Acta. - 2005. - Vol. 50(13). - P. 2623-2627.

92. High power pulsed Nd:YAG Lasers model LQ929. [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://solarlaser.com/en/products/nd-yag-pulsed-lasers/high-power-pulsed-nd-yag-lasers-model-lq929.html.

93. ISO group ТС 164/SC 3/WG1 and ASTM E28.06.ll. ISO/DIS 14577-1, 2 and 3.

94. Ito S., Shikata N. Effects of inhibilors n machining characteristics of sodium chloride solution in electrochemical machining. Bull // The Japan Soc. Prec. Engg. - 1968. - 2. - № 4.-P. 311-317.

95. Ito S., Shikata N. Study on electrolytic machining process (XIII). Effect of the Wave Form of machining Current on the Surface FinishT // J. Mechanical Laboratory. - Japan: - 1969. - 15.-№ 2. - P. 114-122.

96. Landolt D. Mechanistische gesichtspukte der electrochemischen metallbearbeitung // Chemie ingenieur technik. - 1973. - Vol. 45. - №4. - P. 188 -194.

97. Laser Surface Hardening of Gray Cast Iron Used for Piston Ring / Jong-Hyun Hwang, Yun-Sig Lee, Dae-Young Kim, and Joong-Geun Youn // Journal of Materials Engineering and Performance Volume 11(3) June 2002. - P. 294 - 300.

98. Marcel Sabin Popa, Glad Contiu, Mircea Precup. EDM process in the modern technologies // 12Th International Research/Expert Conference "Trends in the Development of Machinery and Associated Technology" TMT 2008, Istanbul, Turkey, 26-30 August, 2008.

99. Micro and nanomachining by elecrto-physical and chemical processes / K.P. Rajurkar , G. Levy, A. Malshe et. al. // Annals of CIPR. - 2006. - Vol. 55(2). -P. 643 - 666.

100. Nano-Roughness Model Eliciting Activity © 2008 Purdue University.

101. New Micro EDM Technique of Monocrystalline Silicon Using Fine Triangular Section Electrode / Okada A, Uno, Y., Okamoto, H., Tanaka, H. Okada, S. A // Proceedings of the 13th International Symposium for Electromachining. - Spain: Bilbao,-2001.-P. 381 -390.

102. P.S. Kao., H. Hocheng, Optimization of electrochemical polishing of stainless steel by grey relational analysis // Journal of Materials Processing Technology 140.-2003.-P. 255-259.

103. Qiu F., V. Kujanpaa. Transformation hardening of medium-carbon steel with a fiber laser: the influence of laser power and laser power density // Mechanika (Mechanics). - 2011. - Vol. 17(3). - P. 318 - 323.

104. Rajendra P. Bansod, Dr. Ashish B. Deoghare. Surface roughness analysis of ss202 stainless steel by electrochemical polishing // International Journal of Innovative Research in Science, Engineering and Technology. - May 2013. - Vol. 2(5). -P. 1425 -1432.

105. Standard and scanning laser hardening procedure / Matej Hruska, Marek Vostrak, Eva Smazalova, Michal Svantner // 22nd International Conference on Metallurgy and Materials. - Czech Republic. May 15th - 17th 2013.

106. Surface properties of powder mixed EDM of a Ta-W alloy material / F.Q. Hu, H. Zhang, Z.L. Wang, W.S. Zhao, D. Hu, Y. Yu // Proceedings of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV). - APRIL 23 - 27, - 2007. - USA: Pittsburgh, Pennsylvania, -. pp. 29-33.

107. Tzu-Yao Tai, Hwa-Teng Lee, Fu-Chuan Hsu. The Influence of Working Parameters and Size Effect on Surface Roughness during EDM Process // Proceedings of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV), APRIL 23 - 27, 2007 Pittsburgh, Pennsylvania - USA. - P. 93 - 97.

135

108. Valentin Tabacaru, Mihaela Banu and Salima Bouvier. Machinability analysis by wire cut electroerosion of special hard metals // The annals of "dunarea de jos" university of galati fascicle v technologies in machines building. - 2006. - P. 6669.