Методы моделирования высокоизбирательных устройств частотной селекции на поверхностных акустических волнах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, доктор наук Синицына Татьяна Викторовна

• Синицына Татьяна Викторовна
• доктор наук
• 2019

Оглавление диссертации доктор наук Синицына Татьяна Викторовна

Основные сокращения

Введение

ГЛАВА 1. МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ ВСТРЕЧНО-ШТЫРЕВОГО

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН

1.1 Постановка задачи

1.2 Анализ встречно-штыревого преобразователя ПАВ на основе модифицированного Р-матричного метода и теории связанных

мод

1.3. Модель преобразователя поверхностной волны, имеющего структуру волноводного канала

1.3.1 Постановка задачи

1.3.2 Разработка оптимальной модели преобразователя волны, имеющего структуру волноводного канала

1.3.3 Конструктивно-технологические особенности проектирования устройств на ПАВ волноводного типа. Результаты экспериментальных исследований

1.4 Анализ влияния вторичных электромагнитных факторов на характеристики ПАВ-устройств

1.5 Влияние геометрии электродной структуры и параметров напыляемой пленки на свойства ПАВ/ППАВ для различных типов пьезоэлектриков

1.5.1 Постановка задачи

1.5.2 Результаты исследований влияния геометрии электродной

структуры и параметров напыляемой пленки на свойства

ПАВ/ППАВ для различных типов пьезоэлектриков

1.6. Система автоматизированного проектирования (САПР)

фильтров на поверхностных акустических волнах

1.6.1. Постановка задачи

2

1.6.2. Результаты разработки системы автоматизированного

проектирования фильтров на ПАВ

Выводы по главе

ГЛАВА 2. МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ ПАВ-ФИЛЬТРОВ

НА ОСНОВЕ МНОГОПОЛОСКОВЫХ ОТВЕТВИТЕЛЕЙ

2.1. Постановка задачи

2.2. Макромодель ПАВ-фильтра на основе реверсивного многополоскового ответвителя

2.3. Методы моделирования и результаты экспериментальных исследований ПАВ-фильтров на основе РМПО

2.4. Макромодель ПАВ-фильтра на основе Ц-образного

многополоскового ответвителя

2.3. Методы моделирования и результаты экспериментальных исследований ПАВ-фильтров на основе Ц-образного

многополоскового ответвителя

Заключение

Выводы по главе

ГЛАВА 3. МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ ПАВ-ФИЛЬТРОВ НА ОСНОВЕ ПРОДОЛЬНО-СВЯЗАННЫХ РЕЗОНАТОРОВ

3.1. Постановка задачи

3.2. Макромодель ПАВ-фильтра на основе продольно-связанных резонаторов

3.3. Методы моделирования и результаты экспериментальных исследований ПАВ-фильтров на основе продольно-связанных

резонаторов

Заключение

Выводы по главе

ГЛАВА 4. МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ ПАВ-ФИЛЬТРОВ

ИМПЕДАНСНОГО ТИПА

4.1. Постановка задачи

4.2. Макромодель импедансных ПАВ-фильтров

4.3. Методы моделирования и результаты экспериментальных исследований импедансных ПАВ-фильтров с высокой входной мощностью

4.4. Методы моделирования и результаты экспериментальных исследований сверхпрямоугольных ПАВ-фильтров с малым вносимым затуханием

на основе комбинированных конструкций

Заключение

Выводы по главе

ГЛАВА 5. МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ СВЕРХУЗКОПОЛОСНЫХ

ПАВ-ФИЛЬТРОВ НА ОСНОВЕ ПОПЕРЕЧНО-СВЯЗАННЫХ РЕЗОНАТОРОВ

5.1. Постановка задачи

5.2. Макромодель сверхузкополосных ПАВ-фильтров

на основе поперечно-связанных резонаторов

5.3. Методы моделирования и результаты экспериментальных исследований сверхузкополосных ПАВ-фильтров на основе

поперечно-связанных резонаторов

Заключение

Выводы по главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ

Список работ, опубликованных по теме диссертации

ПРИЛОЖЕНИЯ

Акты внедрения научно-технических результатов диссертации в ООО «БУТИС», АО «НПП «Исток» им. Шокина».

Список основных сокращений

РЭА - радиоэлектронная аппаратура

ПАВ - поверхностная акустическая волна

ПЧ - промежуточная частота

АЧХ - амплитудно-частотная характеристика

ГВЗ - групповое время запаздывания

ВШП - встречно-штыревой преобразователь

МПО - многополосковый ответвитель

СОМ - coupling-of-modes (теория связанных мод)

САПР - система автоматизированного проектирования

ФЧХ - фазочастотная характеристика

ДПФ - дискретное преобразование Фурье

ОДПФ - обратное дискретное преобразование Фурье

ТКЧ - температурный коэффициент частоты

ППАВ - приповерхностные акустические волны

ОАВ - объемные акустические волны

РМПО - реверсивный многополосковый ответвитель

ПВУЭ - преобразователь, взвешенный выборочным удалением

SPUDT -single phase unidirectional digital transducer (однонаправленный

преобразователь)

ИО - импульсный отклик

КСВн - коэффициент стоячей волны по напряжению

СТП - сигнал тройного прохождения

ПСР - продольно-связанные резонаторы

РЧ - радиочастотный

ФТКП - фильтры телевизионные канальные полосовые

КУ - канальный усилитель

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы моделирования высокоизбирательных устройств частотной селекции на поверхностных акустических волнах»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы Современный этап развития общества характеризуется широким внедрением в повседневную жизнь человека различных высокотехнологичных радиоэлектронных устройств и систем, таких как системы телевидения, связи и глобального позиционирования (навигации). Решение столь масштабных задач, как внедрение цифрового телевизионного вещания, навигации (ОРБ/ГЛОНАСС), а также решение задач управления и связи в гражданских и оборонных сферах невозможно без одновременного развития электронной компонентной базы, в частности, частотно-селективных компонентов.

Важнейшим качество образующим аппаратурным частотно-селективным компонентом является полосно-пропускающий радиочастотный фильтр. Он определяет такие важнейшие параметры назначения радиоэлектронной аппаратуры (РЭА), как помехозащищённость приёмопередающих узлов, дальность действия и точность работы систем управления и связи, чёткость «картинки» телевизионного изображения и отсутствие искажений передачи звукового сопровождения, верность определения координаты систем навигации, и т.д. В зависимости от принципа действия в радиоэлектронике используются различные типы фильтров, которые работают в различных частотных диапазонах.

Наиболее перспективным классом радиочастотных фильтров в диапазоне частот от 20 до 3500 МГц являются фильтры на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Важнейшими особенностями, обеспечивающими постоянное и быстрое их внедрение в современные информационные системы, являются возможность совмещения процессов изготовления с микро и нано технологиями, высокая избирательность, малые массогабаритные характеристики, высокая надежность.

Существенный вклад в развитие данного направления акустоэлектроники внесли российские ученые Ю.В. Гуляев, В.И. Пустовойт,

В.П. Плесский, А.С. Багдасарян, С.Н. Кондратьев, С.В. Бирюков, В.Ф. Дмитриев и многие другие, результаты исследований которых представлены на престижных международных конференциях, в т.ч. на IEEE International Frequency Control Symposium и IEEE Ultrasonic Symposium.

В зависимости от области применения ПАВ-фильтров к ним предъявляются различные совокупные требования. Так, при использовании в трактах промежуточной частоты (ПЧ) они должны обеспечивать высокую прямоугольность амплитудно-частотной (АЧХ) характеристики в переходной области, малую неравномерность АЧХ в полосе пропускания и избирательность в полосах заграждения не менее 50 дБ. В ряде случаев (для систем обработки телевизионных сигналов) требуется иметь характеристику группового времени запаздывания (ГВЗ) специальной формы. При этом жестких требований к уровню вносимого затухания в полосе пропускания до недавнего времени не предъявлялось. При использовании ПАВ-фильтров во входных каскадах РЭА требование по обеспечению малого вносимого затухания (не более 6 дБ) являлось главенствующим.

Однако в последние годы произошло ужесточение требований со стороны разработчиков РЭА по ряду параметров. Так, уровень вносимого затухания для фильтров ПЧ в большинстве случаев не должен превышать 18 дБ, а входные фильтры должны обеспечивать высокую избирательность в широком диапазоне частот. Кроме того, в ряде системных применений возникла необходимость обработки входных радиочастотных сигналов большой мощности (свыше 2 Вт). Данные требования являются противоречивыми с точки зрения физики процессов возбуждения, обработки и приема ПАВ. При этом существующие конструктивно-методологические принципы построения ПАВ-устройств во многих случаях (особенно на частотах свыше 1 ГГц) не позволяют решить поставленные задачи, т. к в них отсутствует комплексный подход к вопросам их проектирования, который бы учитывал все основные физические явления, возникающие в реальных ПАВ-устройствах [1]:

Пьезоэлектрический эффект является основополагающим физическим явлением в технике ПАВ, который заключается в том, что распространение поверхностной акустической волны в пьезоэлектрическом материале сопровождается возникновением электрического поля, локализованного вблизи поверхности. Это позволяет возбудить ПАВ, прикладывая напряжение к решетке из металлических электродов (встречно-штыревой преобразователь - ВШП), расположенной на поверхности пьезоэлектрика (обратный пьезоэффект). При этом скорость распространения ПАВ имеет порядок нескольких километров в секунду, а ее энергия локализована в приповерхностном слое глубиной около длины волны, поэтому эффективность преобразования ПАВ планарными электродами высока и практически не зависит от толщины подложки.

При подаче высокочастотного сигнала на входной ВШП, электрическое поле преобразователя вызывает деформацию пьезоэлектрической подложки с частотой входного сигнала. В результате этого возбуждается поверхностная (или приповерхностная - ППАВ) волна, а также широкий спектр объемных колебаний. Максимальная амплитуда волны в подложке возникает на частоте акустического синхронизма /0, когда длина волны А,0 совпадает с периодом структуры:

/0=¥/к0, где V- скорость ПАВ под преобразователем.

Из-за обратимости пьезоэффекта акустическая волна создает в приемном преобразователе электрический сигнал (прямой пьезоэффект).

Преобразователи с симметричной структурой обладают

двунаправленностью излучения ПАВ (возбуждается как прямая,

распространяющаяся по направлению к другому преобразователю, так и

обратная волны). При использовании стандартных конструкций ПАВ-

устройств, содержащих два ВШП, это приводит к потере половины

мощности излучения волны, что соответствует вносимому затуханию 6 дБ. В

конструкциях резонаторного типа, работающих на эффекте отражения

волны от масса-электрических неоднородностей на поверхности

8

пьезоэлектрика, потеря мощности уменьшается за счет применения дополнительных преобразователей и отражательных групп по краям структуры.

В анизотропных кристаллах, таких как ниобат лития, танталат лития и кварц, поверхностная акустическая волна, излучаемая преобразователем, сохраняет постоянную ширину пучка и постоянную амплитуду и фазу лишь до определенного расстояния от преобразователя (ближняя зона Френеля), что связано с различием направлений фазовой и групповой скорости волны. При распространении волны сверх данной зоны происходит расхождение пучка, уменьшение амплитуды и искривление волнового фронта (дифракционные эффекты). Особенно существенно данные эффекты проявляются в преобразователях веерного типа, что обусловлено наклонной структурой электродов ВШП.

При использовании преобразователей с малой апертурой (рабочее перекрытие противофазных электродов) существенное влияние на характер распространения волны оказывает волноводный эффект, который проявляется в амплитудных искажениях, обусловленных ослаблениями в волноводе; фазовыми искажениями, связанными с дисперсией скорости ПАВ; амплитудно-фазовыми искажения, вызванными интерференцией вторичных мод волновода.

Электромагнитные эффекты присущи любому устройству на ПАВ и обусловлены влиянием паразитных индуктивностей и емкостей монтажных электрических перемычек, проводников и электродов, выводов и конструктивных элементов корпуса. Особенно сильно их влияние на характеристики ПАВ-устройств проявляется в СВЧ-диапазоне частот, когда собственная реактивность преобразователей волны соизмерима с величиной паразитных элементов.

Таким образом, распределение электрических полей и упругих

смещений, возникающих в реальном ВШП при подаче на него

высокочастотного сигнала, носит сложный характер и зависит от множества

9

факторов. Поэтому задача построения строгой теории возбуждения и приема волны электродами ВШП является весьма трудной и на практике используются приближенные модели.

До середины 80-х годов основными методами расчета были модель дельта-функций [2-4] и квазистатическое приближение [1].

В основе первого метода лежит разбиение ВШП на элементарные ячейки вдоль направления распространения волны, причем истинное электро-упругое поле под преобразователем заменяется полем элементарных источников, излучающих только ПАВ, при этом свойства материала подложки, эффекты второго порядка, пространственная протяженность электродов и т.д. в данной модели не учитываются.

Второй метод основан на использовании функции Грина для описания поверхностного потенциала и применения ее для расчета входной проводимости преобразователя [5-8]. Данный метод является более точным, поскольку учитывает вклад поверхностных акустических волн, электростатических эффектов и объемных волн. Однако из-за сложной математической интерпретации практическое применение получила приближенная функция Грина [9], в которой влияние объемных волн не учитывается. По этой же причине данная модель в основном используется для анализа ВШП с нулевым уровнем отражения.

Для анализа структур с ненулевым уровнем отражений, на которых обычно реализуются ПАВ-фильтры с малыми вносимым затуханием, достаточно успешно применяется модель эквивалентных схем. В данной модели ВШП разбивается на элементарные ячейки, каждая из которых описывает фрагмент звукопровода между центрами соседних электродов [1012]. Несмотря на достаточный формализм данной модели, ее преимуществом является то, что эквивалентные параметры базовых ячеек определяются положением границ электродов. Это позволяет моделировать электродные структуры произвольной конфигурации. Такая гибкость модели обеспечивает

возможность ее применения при синтезе различных типов ВШП, в том числе

10

реализованных на материалах с естественной направленностью излучения волны, таких как лангасит [13].

Наиболее перспективной на сегодняшний день в силу своей физической обоснованности и простой математической интерпретации является модель Р-матриц, основанная на теории связанных мод, и ее модификации [14-20]. Современные модификации метода позволяют учитывать изменяющийся период структуры, аподизацию, неоднородное распределение поверхностного заряда на электродах структуры, а также проводить точное моделирование эффектов отражения внутри преобразователя.

Несмотря на достигнутые успехи по развитию теории и методов моделирования устройств на ПАВ, анализ публикаций показывает, полученные авторами экспериментальные характеристики весьма существенно отличаются от расчетных, что говорит о не полном учете физических эффектов, присущих реальному ПАВ-устройству. Так, эффект волноводного распространения волны рассматривается только применительно к резонаторным фильтрам с поперечной акустической связью, хотя он возникает в любом типе конструкции, если величина апертуры преобразователя меньше 10-15 длин волн. Рядом авторов не учитываются такие «вторичные эффекты» как конечное сопротивление электродов преобразователя, электромагнитное взаимодействие электрических шин, проволочных перемычек и элементов корпуса и др. Не рассматриваются вопросы влияния параметров многослойной электродной структуры преобразователя на эффективность возбуждения волны, потери на распространение волны, отражение и ее рассеяние для каждого конкретного типа пьезоэлектрика.

Кроме того, существует определенный пробел в разработке теории и методов моделирования высокоизбирательных ПАВ-устройств с малым вносимым затуханием с шириной полосы пропускания менее 0,1% и более

6%, а также устройств на ПАВ СВЧ диапазона частот.

11

Актуальность данной работы еще определяется и тем, что в российской акустоэлектронике не проводятся исследования в области реализации ПАВ-устройств, обеспечивающих обработку радиочастотных сигналов большой мощности, потребность в которых достаточно велика.

Существующие проблемы ограничивают область применения устройств на ПАВ, а также увеличивают длительность и стоимость разработок.

Целью настоящей работы является разработка комплексного подхода к проектированию устройств на ПАВ с предельно возможными эксплуатационными характеристиками, что включает теоретические и экспериментальные исследования физических процессов, протекающих в устройствах на ПАВ, разработку на их основе научно-обоснованных методов расчета и синтеза основных параметров устройств, и их дальнейшее использование на всех этапах разработки, конструирования, изготовления и применения устройств на ПАВ в современных системах приема, передачи и обработки информации.

Успешное решение этой важной народно-хозяйственной проблемы обеспечит постоянно возрастающий уровень требований к техническим характеристикам РЭА и увеличит ее функциональные возможности за счет внедрения новых типов устройств на ПАВ.

Исходя из поставленной цели, следуют, как предмет исследований, так и приведенные ниже основные задачи работы.

Объектами исследований являются различные ориентации пьезоматериалов и ПАВ-устройства, реализованные на их основе, а также частотно-избирательные элементы, входящие в состав ПАВ-устройств: встречно-штыревые преобразователи, различные отражательные структуры и многополосковые ответвители (МПО), а также многослойные структуры и волноводы ПАВ.

Основные задачи работы:

1. Разработка уточненной физико-математической модели неоднородного встречно-штыревым преобразователя с ненулевым уровнем отражений в электродной структуре на основе модифицированных уравнений для связанных мод с учетом вторичных акустических и электромагнитных факторов.

2. Разработка и исследование новых конструкций встречно-штыревых преобразователей, отражателей и многополосковых ответвителей.

3. Экспериментальные исследования зависимости основных СОМ-параметров (коэффициента отражения, эффективной скорости волны, коэффициента связи) от коэффициента металлизации в электродной структуре и толщины металлизации (в том числе при многослойном напылении) для различных срезов ниобата лития, танталата лития, кварца, кристаллов семейства лангаситов.

4. Разработка уточненных физико-математических моделей и методов моделирования высокоизбирательных фильтров на ПАВ с малым уровнем вносимого затухания для широкого спектра полос пропускания (от 0,01% до 80%) на основе модифицированной теории связанных мод.

5. Разработка физико-технических и технологических принципов построения ПАВ-фильтров, предназначенных для обработки радиочастотных сигналов большой мощности, в том числе для СВЧ-диапазона частот.

6. Разработка системы автоматизированного проектирования (САПР) ПАВ-устройств различного функционального назначения.

7. Проведение верификации уточненных физико-математических макромоделей и методов моделирования высокоизбирательных ПАВ-устройств для различных типов пьезоэлектриков.

8. Разработка и внедрение устройств на ПАВ в системы обработки радиосигналов различного функционального назначения.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Комплексная физико-математическая макромодель адекватно описывает свойства неоднородного встречно-штыревого преобразователя (ВШП) на основе модифицированных уравнений связанных мод (модифицированный Р-матричный метод) и учитывает многомодовый характер распространения волны, конечное сопротивление электродов; потери на распространение волны, обусловленные преобразованием ПАВ/ППАВ в объемную волну; дисперсию скорости волны от частоты; влияние масса-электрического нагружения на поверхность пьезоэлектрика, а также вторичные электромагнитные факторы, обусловленные конструкцией элементов топологии и элементов корпуса.

2. Семиэлементная модель ВШП, учитывающая влияние металлизированных электрических шин и зазоров на основные характеристики акустического волновода, адекватно описывает волноводный характер распространения акустической волны в ПАВ устройстве.

3. Применение предложенных методов моделирования кольцевых ПАВ-фильтров на основе комплексной макромодели ВШП обеспечивает расширение диапазона полос пропускания более чем в 3 раза (с 1%-2% до 0,2%-3,5%), увеличение избирательности с 30 дБ до 45 дБ и прямоугольности АЧХ фильтров с 3,0 до 2,5.

4. Разработанные методы моделирования ПАВ-фильтров на основе и-образных МПО обеспечивают расширение диапазона полос пропускания более чем в 1,6 раза (с 4%-8% до 4%-13%), уменьшение уровня сигнала тройного прохождения более, чем в 2 раза и увеличение избирательности более, чем на 10 дБ.

5. Применение разработанных методов моделирования ПАВ-фильтров на основе продольно-связанных резонаторов обеспечивает расширение полосы пропускания более, чем в 1,4 раза (с 0,1%-6% до 0,1%-8,5%), увеличение прямоугольности АЧХ фильтров с 2,0 до 1,7 и увеличение избирательности с 40 дБ до 60 дБ.

6. Разработаны конструктивно-технологические методы моделирования ПАВ-фильтров импедансного типа, обеспечившие возможность обработки радиочастотных сигналов большой мощности (до 5 Вт), что превышает зарубежный уровень более чем в 3 раза.

7. На основе предложенной макромодели ВШП волноводного типа реализованы сверхузкополосные ПАВ-фильтры на основе поперечно-связанных резонаторов, обеспечившие увеличение избирательности (с 50 дБ до 70 дБ) и прямоугольности АЧХ фильтров (с 2,5 до 2,0).

8. Разработанная система автоматизированного проектирования фильтров на ПАВ различного функционального назначения на частотный диапазон 20-3500 МГц и диапазон полос пропускания 0,01-80% обеспечивает замкнутый цикл проектирования от анализа исходных требований к фильтру до получения топологических программ изготовления фотошаблонов в различных форматах.

Научная новизна полученных результатов.

1. На основе модифицированных уравнений связанных мод (модифицированный Р-матричный метод) впервые разработана комплексная макромодель неоднородного встречно-штыревого преобразователя, учитывающая многомодовый характер распространения волны, конечное сопротивление электродов; потери на распространение волны, обусловленные преобразованием ПАВ/ППАВ в объемную волну; дисперсию скорости волны от частоты; влияние масса-электрического нагружения на поверхность пьезоэлектрика, а также вторичные электромагнитные факторы, обусловленные конструкцией элементов топологии и элементов корпуса.

2. Для анализа преобразователя волноводного типа с величиной апертуры менее 15 длин волн впервые предложена семиэлементная модель, учитывающая влияние металлизированных электрических шин и зазоров на основные характеристики акустического волновода, что соответствует реальной структуре преобразователя.

3. Показано, что при апертуре преобразователя от 3 до 4 длин волн возбуждается только одна основная мода, при этом дисперсия фазовой скорости не превышает 0,3%, что позволяет проектировать малогабаритные ПАВ-устройств различного конструктивного исполнения, обладающих малым уровнем искажений АЧХ, ГВЗ и ФЧХ.

4. Впервые показано, что при синтезе ПАВ-устройств, имеющих структуру волноводного канала, моды третьего и выше порядков можно не учитывать, поскольку уровень их возбуждения незначителен (-40 дБ).

5. На основании анализа вторичных акустических факторов впервые показано, что наибольший вклад в уровень вносимого затухания ПАВ-устройств (при условии исключения потерь на двунаправленность излучения волны преобразователем различными конструктивными методами) вносят потери на распространения волны, обусловленные преобразованием поверхностной (приповерхностной) волны в объемную волну. Влияние конечного сопротивления электродов менее значительно, при этом оно определяет форму амплитудно-частотной характеристики в высокочастотной области полосы пропускания.

6. На основании большого объема экспериментальных исследований получены математические выражения, определяющие зависимость основным СОМ-параметров от типа и геометрии электродной структуры и типа используемого пьезоэлектрика, обеспечивающие сходимость теоретических и экспериментальных результатов в пределах одной итерации вместо стандартных 2-3 итераций. Для ряда срезов ниобата лития, танталата лития, кварца и пьезоматериалов семейства лангасита результаты получены впервые.

7. Впервые разработаны макромодель и методы моделирования ПАВ-

фильтров на основе реверсивного МПО и неоднородных преобразователей с

ненулевым уровнем отражений в электродных структурах для различных

типов пьезоэлектриков, обеспечившие расширение диапазона полос

пропускания более чем в 3 раза (с 1%-2% до 0,2%-3,5%), увеличение

16

избирательности с 30 дБ до 45 дБ и прямоугольности АЧХ фильтров с 3,0 до 2,5.

8. Впервые разработаны макромодель и методы моделирования ПАВ-фильтров на основе ^образных МПО и неоднородных преобразователей с ненулевым уровнем отражений в электродных структурах для различных типов пьезоэлектриков, обеспечившие расширение полосы пропускания более чем в 1,6 раза (с 4%-8% до 4%-13%), уменьшение уровня сигнала тройного прохождения более, чем в 2 раза и увеличение избирательности более, чем на 10 дБ.

9. Впервые разработаны макромодель и методы моделирования ПАВ-фильтров на основе продольно-связанных резонаторов для различных типов пьезоэлектриков, обеспечившие расширение полосы пропускания в 1,4 раза (с 0,1%-6% до 0,1%-8,5%), увеличение избирательности (с 40 дБ до 60 дБ) и прямоугольности АЧХ фильтров с 2,0 до 1,7.

10. Впервые разработаны макромодель и конструктивно-технологические методы моделирования импедансных ПАВ-фильтров с высокой входной мощностью, обеспечившие обработку РЧ сигнала с уровнем мощности до 5 Вт в диапазоне частот до 1 ГГц и до 2,3 Вт в диапазоне частот до 2,5 ГГц, что является мировым инновационным результатом.

11. Впервые разработаны методы моделирования сверхпрямоугольных ПАВ-фильтров с малым вносимым затуханием на основе комбинированных конструкций. Достигнутое сочетание параметров (коэффициент прямоугольности 1,28 при вносимом затухании 2,1 дБ) аналогов не имеет.

12. Впервые реализован и серийно освоен СВЧ фильтр на частоту 3330 МГц, не имеющий аналогов по совокупности параметров (гарантированное затухание 55 дБ, коэффициент прямоугольности 1,3, вносимое затухание 5,5 дБ).

13. Впервые разработаны макромодель и методы моделирования

многозвенных сверхузкополосных ПАВ-фильтров на основе поперечно-

17

связанных резонаторов, обеспечившие увеличение избирательности (с 50 дБ до 70 дБ) и прямоугольности АЧХ фильтров (с 2,5 до 2,0).

14. Впервые разработана система автоматизированного проектирования фильтров на ПАВ различного функционального назначения на частотный диапазон 20-3500 МГц и диапазон полос пропускания 0,01%-80%, обеспечивающая замкнутый цикл проектирования от анализа исходных требований к фильтру до получения топологических программ изготовления фотошаблонов в различных форматах.

Фундаментальный характер научной новизны полученных результатов подтверждается исследованиями, выполненными при поддержке РФФИ:

• грант РФФИ № 07-02-13649-офи_ц «Разработка пассивных акустоэлектронных устройств на поверхностных акустических волнах с малым вносимым затуханием и конструктивно-технических решений, обеспечивающих достижение предельных характеристик по вносимому затуханию и избирательности в расширенных частотных диапазонах»;

• грант РФФИ № 08-02-13504-офи_ц «Разработка фундаментальных основ новых технологии, дизайна топологического проектирования и конструкций лабораторных образцов меток-транспондеров с малым уровнем затухания поверхностных акустических волн для мобильных систем радиочастотной идентификации и управления доступом»;

• грант РФФИ № 09-07-00395_а «Повышение защищенности телекоммуникационных систем на основе радиочастотной идентификации с применением акустоэлектронных технологий»;

• грант РФФИ № 09-07-13555-офи_ц Разработка фундаментальных основ построения лабораторного образца глобальной системы радиочастотной идентификации, управления доступа и навигации на основе акустоэлектронных меток и исследование режимов ее функционирования;

• грант РФФИ № 11 -07- 13141_офи_м_2011_РЖД «Разработка

фундаментальных основ построения интеллектуальной системы

18

автоматической идентификации и управления транспортировкой грузов на железнодорожном транспорте»;

• грант РФФИ № 12-07-00709_а «Фундаментальные основы проектирования интеллектуальных систем радиочастотной идентификации для обеспечения безопасности критически важных объектов»;

• грант РФФИ № 12-07-13124_офи_м_РЖД «Физические основы создания сенсоров для единой интеллектуальной системы мониторинга технического состояния инфраструктуры и подвижного состава в режиме реального времени»;

• грант РФФИ № 17-07-01372_а, «Фундаментальные исследования конструктивно-технологических особенностей построения устройств на ПАВ для селекции радиочастотных сигналов высокой мощности», руководитель проекта;

• грант РФФИ № 18-07-00282 «Фундаментальные основы создания перспективной элементной базы систем радиочастотной идентификации с повышенной дальностью действия: радиочастотные компоненты на поверхностных акустических волнах с невзаимными СВЧ устройствами»,

а также Фонда содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере:

• проект № 5413-1, 2005 г., «Исследование и разработка телевизионных канальных усилителей на основе высокочастотных ПАВ-фильтров с малыми потерями», руководитель проекта;

Список литературы диссертационного исследования доктор наук Синицына Татьяна Викторовна, 2019 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ

1. Morgan D. Surface acoustic wave filters: With applications to electronic communications and signal processing. Academic Press. 2010. 408 P.

2. Tancrell R. H., Holland. M. G. Acoustic surface wave filters // Proc. IEEE. 1971. vol. 59. Р. 393-409.

3. Ковалев А.В., Яковкин И.Б. Интерференционные эффекты в преобразователях ультразвуковых поверхностных волн встречно-штыревого типа // Радиотехника и электроника. 1971. Т. 16. № 8. С. 15211523.

4. Hartmann C.S., Bell D.T., Rosenfeld R.S. Impulse model design of acoustic surface wave filters // IEEE Trans. 1973. MTT-21. № 4. Р. 162-175.

5. Peach R. C. A general Green function analysis for SAW devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1995. Р. 221-225.

6. Liu W., Smith P. M. Dyadic Green's Functions for SAW and Leaky Wave Devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1997. Р. 651-656.

7. Peach R. C. Green function analysis for SAW devices with arbitrary electrode structures // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1997. Р. 465-469.

8. Balashov S.M, Cabreira C.M., Finardi C.A. Modified Green's function approach to analysis of long SAW transducers // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1997. Р. 465-469.

9. Ingebrigsten K.A. Surface waves in piezoelectrics. // Applied physics. 1969. Vol. 40. N 7. Р.2681-2686.

10.Smith W.R., Gerard H.M., Collins J.H., Reeder T.M., Shaw H.J. Analysis of interdigital surface wave transducers by use of an equivalent circuit model // IEEE Trans. 1969. MTT-17. № 11. Р. 856-864.

11.Kenny T.D., Pereira da Cunha Kenny and M. Equivalent Circuit Model and Parameter Extraction for HVPSAW // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2010. Р. 363-366.

12.Hollard T.B., Pereira da Cunha M. Pure Shear Horizontal SAW Network Model for Periodic Structures Including Bulk Scattering // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006. Р. 88-91.

13. Makarov V.M., Ivanovl P.G., Dai J. Lower-loss Filters on Langasite // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007. Р. 2359-2362.

14. Hartmann C.S., A fast accurate method for calculating the SAW and bulk wave radiation admittance of a SAW transducer // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1988. Р. 39-46.

15. Wright P.V., A new generalized modeling of SAW transducers and gratings // Proc. 43rd Annual Symp. Freq. Control. 1989. Р. 596-605.

16. Plessky V.P. A simple two parameter coupling-of-modes model for shear SAW propagating in periodic gratings // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1993. Р.63-67.

17.Hashimoto Ken-ya, Ken-Ya Hashimoto. Surface acoustic wave devices in telecommunications. Berlinetc.: N.Y. Springer. 2000. P. 27-46.

18. Дмитриев В.Ф. Теория связанных волн - универсальный метод расчета устройств на поверхностных акустических волнах // ЖТФ. 2004. Т. 74. № 10. С. 94-102.

19. Kovacs G. A generalised P-matrix model for SAW filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. Р. 707-710.

20. Malocha S., Abbott B.P., Saldanha N., Bayram A., Girard P-A. COM Analysis for LSAW filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2008. Р. 1936-1939.

21.Горышник Л.Л., Кондратьев С.Н. Возбуждение поверхностных электроакустических волн электродными преобразователями // Радиотехника и электроника, 1974. Т. 19. № 8. С. 1719-1727.

22.Milsom R.F. Field analysis of large weighted transducers // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1976. P. 401-405.

23.Milsom R.F., Reilly N.H., Redwood M. Analysis of generation and detection of surface and bulk acoustic waves by interdigital transducers // IEEE Trans. on SU. 1977. Vol.24, N5. P. 147-146.

24.Дмитриев В.Ф. Функция Грина потенциала поверхностной акустической волны. // Радиотехника и электроника. 1992. Т.37, N 4. C. 730-735.

25.Гуляев Ю.В. Поверхностные электрозвуковые волны в упругих телах // Письма в ЖЭТФ. 1969. № 9, P. 63-65.

26.Bleustein J.L. A New Surface Wave in Piezoelectric Materials // Appl. Phys. Let. 1968. Vol. 13, P. 412-413.

27.Smith W.R., Gerard H.M., Jones W.R. Analysis and design of dispersive interdigital surface wave transducers // IEEE Trans. MTT. 1972. Vol. 20. № 7. P. 458-471.

28.Smith W.R. Experimental distinction between crossed-field and in-line three-port circuit models for interdigital transducers // IEEE Trans. 1974. MTT-22. Р. 960-964.

29.Jones W.S., Hartmann C.S., Sturdivant T.P. Second order effects in surface wave devices // IEEE Trans. SU. 1972. Vol. 20. P. 368-377.

30.Li R.S.M., Melngailis J. The influence of stored energy at step discontinuities on the behavior of surface-wave gratings // IEEE Trans. SU. 1975. Vol. 22, № 3. P. 189-198.

31.Smith W.R. Circuit model analysis and design of interdigital transducer for surface acoustic wave devices. // Physical acoustics. 1981. Vol. XV. P. 99-189.

32.Hollard T.B., Pereira da Cunha M. Pure Shear Horizontal SAW Network Model for Periodic Structures Including Bulk Scattering // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006. P. 88-91.

33.Pierce J.R. Coupling of modes of propagation // Journal of applied physics. 1954. Vol. 25. N 2. P. 179-183.

34.Suzuki Y., Shimizu H., Takeuchi M., Nakamura K., Yamada A. Some studies on SAW resonators and multiple-mode filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1976. P. 297-302.

35.Haus H.A. Bulk scattering loss of SAW grating cascades // IEEE Trans. 1977. Vol. 24. N 4. P. 259-267.

36.Sandler M.S., Sveshnikov B.V. An investigation of interdigital transducers of surface acoustic waves taking into account the finite mass of the electrodes. // Radio engn. and. Electron. Phys. 1981. Vol. 26, N9. P. 9-17.

37.Hartmann C.S., Wright P.V., Kansy R.J., Gaber E.M. An analysis of SAW interdigital transducers with internal reflections and the application to the design of single-phase unidirectional transducers // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1982. P. 40-45.

38.Biruykov S.V., Martin G., Polevoi V.G. Derivation of COM equations using the surface impedance method // IEEE Trans. on UFFC. 1995. Vol. 42, № 4. Р. 606-611.

39.Abbott B.P., Hartmann C.S., Molocha D.C. A coupling-of-modes analysis of chirped transducers containing reflective electrode geometries. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1989. P. 129-134.

40.Abbott B., Hartmann C., Malocha D. Transduction magnitude and phase for COM modeling of SAW devices // IEEE Trans. on UFFC. 1992. Vol. 39. № 1. P. 54-60.

41.Plessky V., Julius K. Coupling-of-modes analysis of SAW devices // International Journal of High Speed Electronics and Systems. 2000. V. 10. № 4. P. 867-947.

42.Morgan D.P. Reflective Array Modeling for SAW Transducers // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1995. P. 215-220.

43.Hashimoto K., Omori T., Yamaguchi M. Analysis of SAW excitation and propagation under metallic grating structures // Advances in surface acoustic wave technology/ Systems and applications. Vol. 1, edited by C.C.W. Ruppel and T.A. Fjeldly, World Scientific. 2000. P. 133-182.

44.Rusakov A.N., Orlov V.S., Chao B. and Lee V., Application of Modified P-Matrix Model to the Simulation of Radio Frequency LSAW Filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2001. P. 7-11.

45.Gamble K.J., Malocha D.C. Simulation of Short LSAW Transducers Including Electrode Mass Loading and Finite Finger Resistance // IEEE Trans. UFFC. Vol. 49. №.1. 2002. P. 47-56. 46.Sveshnikov B.V., Shitvov A.P. New closed form two-dimensional COM analysis of SAW filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. Р. 169-172.

47.Tobolka G. Mixed representation of SAW transducers // IEEE Trans. 1977. Vol. 26. N 6. P. 426-428.

48.Wagers R.S. Dispersion and Multimoding in Monolithic Elastic Convolvers // IEEE Ulrtason. Symp. 1980. Р. 48.

49.Clark G., Milsom R.F. Analysis of surface acoustic wave filter by expansion in guided modes // Philips Journal of Research. 1986. v. 41. № 3. P. 247.

50.Багдасарян А., Багдасарян С., Бутенко В., Карапетьян Г. Радиочастотные метки на ПАВ особенности конструкции и технологии // Электроника: Наука, технология, бизнес. 2012. № 7 (121). С. 76.

51.Wright P. Modeling and experimental measurements of the reflection properties of SAW metallic gratings // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1984. P. 54-63.

52.Mishima N., Yasuhara Y. Mass productivity of wide band SAW resonator filter // Proc. Int. Symp. SAW Devices for Mobile Comm. 1992. P. 142-147.

53.Plessky V.S., Hartmann C.S. Characteristics of Leaky SAWs on 36° LiTaO3 in Periodic Structures of Heavy Electrodes // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1993. P. 1239-1242.

54.Hartmann C., Plessky V. Experimental measurement of propagation, attenuation, reflection and scattering of leaky waves in Al electrode gratings on 41°, 52° and 64°-LiNbO3 // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1994. P. 120-123.

55.Hashimoto K. Surface Acoustic Wave Devices in Telecommunications. Modelling and Simulation // Chap. 3. Springer Verlag. 2000. P. 47-85.

56.Kawachi O., Endoh G., Ueda M., Ikata O., Hashimoto K., Yamaguchi M. Optimum Cut of LiTaO3 for High Performance Leaky Surface Acoustic Wave Filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. Р. 71-76.

57.Hashimoto K., Yamaguchi M. Optimum Leaky-SAW Cut of LiTaO3 for Minimised Insertion Loss Devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1997. Р. 632636.

58.Ventura P., Hodé J.M., Solal M., Desbois J., Ribbe J. Numerical Methods for SAW Propagation Characterization // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1998. P. 175-186.

59.Dmitriev V.F., Mitrofanov I.S. Dispersion of SAW velocity and transformation of SAW into the bulk waves in reflective gratings. // Proc. IEEE Int. Frequency Control Symposium. 1999. V. 2, P. 887-890.

60.Fusero Y., Ballandras S., Desbois J., Hodé J.M., Ventura P. SSBW to PSAW conversion in SAW devices using heavy mechanical loading // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2000. Р. 372-377.

61.Hashimoto K., Yamaguchi M., Kovacs G., Warner K.C., Ruile W., Welgel R. Effects of bulk radiation on IDT Admittance on 36°YX-LiTaO3 // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2000. P. 117-122.

62.Lehtonen S., Plessky P., Koskela J., Salomaa M.M. Second harmonic reflectors on 128°LiNbO3 // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2001. P. 139-143.

63.Naumenko N., Abbott B. Optimized Cut of LiTaO3 for Resonator Filters with Improved Performance // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. Р. 372-377.

64.Lehtonen S., Plessky P., Salomaa M.M. Shot reflectors operating at the fundamental and second harmonics on 128°LiNbO3 // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 321-325.

65.Sveshnikov B.V., Shitvov A.P., Bhattacharjee K.K. Evaluation of dispersion in COM-parameters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. Р. 715-718.

66.Naumenko N., Abbott B., Malocha S. Effect of Surface-Bulk Hybrid Mode on Strip Admittance in 42°YX and 48°YX Cuts of LiTaO3 with Al Grating // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. Р. 632-636.

67.Naumenko N., Abbott B. Approximation of propagation loss in rotated Y-cuts of lithium tantalate with a periodic grating // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005. Р. 1876-1879.

68.Nakamura H., Nakanishi H., Fujiwara J., Tsurunari T. A Review of SiO2 Thin Film Technology for Temperature Compensated SAW Devices // Proc. Sixth International Symposium оп Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems. 2015. P. 67-72. 69.Omori T., Matsuda K., Sugama Y., Tanaka Y., Hashimoto K., Yamaguchi M. Suppression of Spurious Responses for Ultra-Wideband and Low-Loss SAW Ladder Filter on a Cu-grating/15°YX-LiNbO3 Structure // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006. Р. 1874-1877.

70.Takeuchi М., Tanaka M., Imanishi Y. SAW Reflection Characteristics and NSPUDT Orientation on Langasite // IEEE Ultrason. Symp. 1998. P. 297-300.

71.Zhgoon S., Shvetsov A., Sakharov S., Semenov V., Semenova E., Dobershtein S. NSPUDT Structures with Inclined Reflectors on Langasite // Proc. IEEE. 2004. P. 1976-1979.

72.Sakharov S., Zabelin A., Medvedev A., Bazalevskaya S., Buzanov O., Kondratiev S., Roschupkine D., Shvetsov A,. Zhgoon S. Investigation of the CTGS Single Crystals Potential for High Temperature SAW Devices // Proc. IEEE. 2013. P. 1085-1088.

73.Puccio D., Malocha D., Saldanha N. Investigations of new materials, CTGS and CNGS, for SAW applications» // Proc. IEEE. 2003. P. 96-99.

74.Kadota M., Yoneda T., Fujimoto K., Nakao T., Takata E. Very Small-Sized Resonator Filter Using Shear Horizontal Wave on Quartz // Proc. IEEE. 2001. P.65-68.

75.Kuo F.F., Kaiser J.F. System Analysis by digital computer. N.Y. Wiley, 1966.

76.Helms H.D. Nonrecursive digital filters design methods for achieving specifications on frequency response // IEEE Trans. AU-16. 1968. Р. 336-342.

77.Шермагина Е.Ю., Багдасарян А.С., Машинин О.В., Орлов М.М. Фильтры на ПАВ для усилителей промежуточной частоты изображения цветных телевизионных приемников // Электронная промышленность. 2004. № 1. С. 30.

78.Багдасарян А. С., Белявский А.А. Система автоматизированного проектирования и изготовления фотошаблонов фильтров на поверхностных акустических волнах // В книге Вопросы математического моделирования. М.: Наука.1979.

79.Багдасарян А.С., Кащенко Г.А., Шишкин В.Г. Автоматизация проектирования ПАВ устройств на основе принципов проблемной адаптации // Специальная техника средств связи, Сер. ОТ, вып.4. 1988. С. 43-50.

80.Гуляев Ю.В., Кмита А.М., Багдасарян А.С. Преобразователи поверхностных акустических волн с емкостным взвешиванием электродов // Письма в ЖТФ. 1979. Т. 5. № 11. С. 697-701.

81.Ivanov P. G., Makarov V. M., Chvets V. B., Orlov V. S. SAW filters with very high shape factor // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1997. Р. 65-68.

82.Иванов П.Г., Макаров В.М., Жупанов А.А. Веерные фильтры на ПАВ с секционированными преобразователями // Сборник трудов Международной н.-т. конференции "Информационные технологии в науке, технике и образовании ". Тунис, 2007, С. 23-27.

83.Ivanov P.G., Makarov V.M., Orlov V.S., Shvetts V.B. Wide band low-loss SAW filters for telecommunication and mobile radio applications // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. Р.61-64.

84.Ivanov P.G., Makarov V.M., Chvets V.B., Orlov V.S. Low-loss slanted SAW filters with low shape factors // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1999. Р.295-299.

85.Ivanov P.G., Makarov V.M., Danilov A.L., Dai J.D. // RSPUDT filters based on different width split fingers // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. Р. 20812084.

86.Chamorro A., Low-loss SAW filter design using reflector multistrip coupler // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1991. Р. 129-132.

87.Доберштейн С. А., Коржинский Е.Б., Малюхов В.А. Кольцевые фильтры на ПАВ с малыми потерями без элементов согласования // Радиоэлектроника. 1990. № 7. С.86-87.

88.Доберштейн С.А. Широкополосные балансные кольцевые ПАВ-фильтры с малыми потерями и преобразованием импедансов // Техника радиосвязи. 2016. Вып. 3 (30). С. 90-98.

89.Доберштейн С. А., Малюхов В. А. Кольцевые фильтры на ПАВ с потерями 1 дБ // Техника радиосвязи. 1995. Вып. 2. С. 143-149.

90.S. Доберштейн С. А. Балансные ПАВ-фильтры с малыми потерями и преобразованием импедансов / Успехи современной радиоэлектроники. 2010. № 12. С.18-28.

91.Daniski E. New configuration of SAW resonator // Electron. Lett. 1993. № 29. Р. 1172-1173.

92.Daniski E. A SAW resonator filter exploiting RMSCs // Pros. IEEE Intern. Freq. Control Symp. 1994. Р. 337-342.

93.Hikita M., Kojima H. New low-loss broadband SAW filter using unidirectional IDTs with U-shaped MSCs // Electron. Lett. 1984. vol. 20 № 11. Р. 453-454.

94.Доберштейн С.А., Аржанов В.А. Балансные ПАВ-фильтры с малыми потерями и преобразованием импедансов // Омский научный вестник. 2010. № 3 (93). С 264-270.

95.Doberstein S.A., Razgonyaev V.K Balanced Front-End Hybrid SAW Modules with Impedance Conversion // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 123-126.

96.Макаров В.М., Иванов П.Г., Зая В.Г. Моделирование кольцевых фильтров на ПАВ // Нано- и микросистемная техника. 2007. № 6. С. 33-37.

97.Daniski E. Theory and applications of RMSC // Pros. IEEE Ultrason. Symp. 1992. Р. 195-198.

98.Blotekjaer K., Ingebrigsten K., Skeie H. A method for analyzing waves in structures consisting of metal strips on dispersive media // IEEE Trans. ED-20. 1978. Р. 1133-1146.

99. Доберштейн С.А. Уменьшение вносимых потерь и расширение функциональных возможностей двух преобразовательных резонаторных ПАВ-фильтров // Техника радиосвязи. 2014. Вып. 3 (23). С. 92-99.

100. Доберштейн С.А. Балансные резонаторные СВЧ ПАВ-фильтры на продольных модах с малыми потерями // Техника радиосвязи.2018. Вып. 4 (39). C. 72-78.

101. Ivanov P.G., Makarov V.M., Orlov V.S., Shvetts V.B. Wideband low loss SAW filters for telecommunication and mobile radio applications // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. P. 61-64.

102. Plessky V.P., Thorvaldsson T., Kondratiev S.N. Degenerated coupled resonator filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. P. 25-28.

103. Meltaus J., Plessky V.P., Hong S.S. Double-resonance SAW filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005. P. 2301-2304.

104. Meltaus J., Plessky V. et al. Low-Loss, Multimode 5-IDT SAW Filter // IEEE Transaction on UFFC. 2005. V. 52. № 6. P. 1013-1019.

105. Meltaus J., Hong S.S., Plessky V.P. High-suppression SAW filters based on double-resonance structure // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006. P. 833-836.

106. Тихонов И.А., Доберштейн С.А. Фильтр на ПАВ на связанных резонаторах с уменьшенными габаритами и улучшенной термостабильностью // Техника радиосвязи. 2004. № 9. С. 82-89.

107. Endoh G., Ueda M., Kawachi O., Fujiwara Y. High performance balanced type SAW filters in the range of 900 MHz and 1.9 GHz // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1997.

108. Koshino M., Kanasaki K., Akahori N., Kawase M., Chujyo R., Ebata Y. A wide-band balanced SAW filter with longitudinal multi-mode resonator // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2000.

109. Doberstein S.A., Gilfand D.M., Razgonyaev V.K.. Balanced Low-Loss SAW Ring and Three-Transducer Filters with Impedance Conversion // Proc. 16th EFTF. 2002. P. C-008-C-011.A.

110. Loseu A.S., Rao J.J. Improvement of balance performance in LSAW filters based on 5-IDT multi- mode structure // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007. P. 2363-2366.

111. Doberstein S.A. Balanced Low-Loss Longitudinally-Coupled Double-Mode Resonator SAW Filters With Impedance Conversion // Proc. IEEE Frequency. Control Symposium. 2008. P. 199-203.

112. Ichikawa S., Kanasaki H., Akahori N., Koshino M., Ebata Y. Mode analysis of longitudinal multi mode SAW resonator filter // Proc. IEEE Ultrason. Symp.

2001. P. 101-106.

113. Hashimoto K., Omori T., Yamaguchi M. Design considerations on wideband longitudinally-coupled double-mode SAW filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp.

2002. P. 148-152.

114. Morgan D. Approximate analysis of SAW longitudinally-coupled resonator (LCR) filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. P. 711-714.

115. Ikata O., Miyashita T., Matsuda T., Nishihara T., Satoh Y. Development of low-loss band-pass falters using SAW resonators for portable telephones // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1992. P. 111-115.

116. Ikata O., Satoh Y., Uchishiba H., Taniguchi H., Hirasawa N., Hashimoto K., Ohmori H. Development of small antenna duplexer using SAW filters for handheld phones // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1993. P. 111-114.

117. Plessky V.P. SAW impedance elements // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1994. P. 98-104.

118. Mateuda T., Uchishiba H., Ikata O., Nishihara T., Satoh Y. L and S band low-loss falters using SAW resonators // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1994. P. 163-167.

119. Ikataj O., Nishihara N., Satoh Y., Fukushima H., Hiraeawa N. A design of antenna duplexer using ladder type SAW falters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1998.

120. Jen S., Bobkowski R. Black Lithium Niobate SAW Device Fabrication and Performance Evaluation // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2000.

121. PekarVikov'a M., Hofmann M., Menzel S., Schmidt H., Gemming T., Wetzig K. Investigation of High Power Effects on Ti/Al and Ta-Si-N/Cu/Ta-Si-

N Electrodes for SAW Devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005. P. 911 -914.

122. Chang F., Wu L. Low loss ladder-type IF SAW filter used Au-Ge-Ni electrode // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 153 - 154.

123. Nakagawara O., Saeki M., Tsubaki N., Taniguchi N., Ikada K High Power Durable SAW Antenna Duplexers for W-CDMA with Epitaxially Grown Aluminum Electrodes // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 43-46.

124. Nakagawara O., Saeki M., Teramoto A., Hasegawa M., Ieki H. High Power Durable SAW Filter with Epitaxial Aluminum Electrodes on 38.5 Rotated Y-X LiTaO3 by Two-Step Process Sequence in Titanium Intermediate Layer // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. P. 1734-1737.

125. Watanabe M., Inoue K. High Power Durable SAW Antenna Duplexer for W-CDMA with Epitaxially Grown Aluminum Electrodes // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 43-46.

126. Matsuda T., Tsutsumi J., Inoue S., Iwamoto Y., Satoh Y. High-Frequency SAW Duplexer with Low-Loss and Steep Cut-Off Characteristics // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 68-73.

127. Ebata Y., Koshino M., Furukawa O., Ichikawa S. Power Durability of SAW Devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1998.

128. Takayama R., Furukawa M., Murashirna Y., Sakuragawa T., Yuda N., Nomura K. High Power SAW Filter with new Al-SC-CU/Ti/Al-Sc-Cu Elrctrodes // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1998. P. 5-8.

129. Takayama R., Nakanishi H., Sakuragawa T., Kawasaki T., Nomura K. High Power Durable Electrodes for GHz Band SAW Duplexers // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2000. P. 9-13.

130. Takayama R., Nakanishi H., Hashimoto K. Impact of Composition and Structure of Al Alloy Electrodes to Power Durability of SAW Devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2014. P. 886-892.

131. Satoh Y., lkata O. Ladder Type SAW filter and its application to high power SAW devices // International Journal of High Speed Electronics and Systems. 2000. V. 10. № 3. P. 825-865.

132. Yuhara A, Hosaka N., Watanabe H., Yamadaj J. Al electrodes fabrication technology for high frequency and high power durable SAW devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1990. P. 493-496.

133. Laine J.P., Pleesky V.P., Salomaa M. Investigations on the power tolerance of ladder impedance-element SAW tilters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. P. 15-18.

134. Ebata Y., Koshino M., Furukawa O., Ichikawa S. Stress-migration Analysis on SAW Duplexer // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2000.

135. Makkonen T., Kondratiev S., Plessky V. P., Thorvaldsson T., Koskela J., Knuuttila J., Salomaa M. Surface acoustic wave impedance element ISM duplexer: modeling and optical analysis // IEEE Trans. on UFFC. 2001. Vol. 48. No. 3. P. 652-665.

136. Веремеев И.В., Доберштейн С. А., Разгоняев В.К. Моделирование ПАВ-резонаторов и лестничных ПАВ-фильтров методом Р-матриц // Техника радиосвязи. 2018. № 3 (38). С. 61-71.

137. Дмитриев В.Ф. Синтез лестничных фильтров на основе резонаторов на поверхностных акустических волнах // ЖТФ. 2002. Т. 72. № 8. С. 95-102.

138. Дмитриев В.Ф. Синтез и анализ устройств на основе лестничных дисперсионных преобразователей поверхностных акустических волн модифицированным СОМ - методом // ЖТФ. 2002. Т. 72. № 9. С. 93-102.

139. Орлов В.С. Лестничные резонаторные фильтры на поверхностных акустических волнах для приемников навигационных систем // T^omm: Электроника. Радиотехника. 2016. № 5. С. 8-16.

140. Пшесмыцкий О. Проектирование электрических лестничных фильтров. Москва. Связь.1968. 520 С.

141. Mineyoshi S., Kawachi O., Ueda M., Fujiwara Y., Furusato H., Ikata O., Analysis and optimal SAW ladder filter design including bonding wire and package impedance // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1997. P. 175-178.

142. Hashimoto K., Yamaguchi M. Effect of Parasitic Cirrcuit Elements of Ladder-Type SAW Filters // Proc. IEICE, Jap. 1997. SA-10-3. P. 494-495.

143. Makkonen T., Plessky V.P., Kondratiev S., Salomaa M.M. Electromagnetic Modeling of Package Parasitics in SAW-Duplexer // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. P. 29-32.

144. Дмитриев В.Ф. Теория и расчет гибридного резонаторного фильтра на поверхностных акустических волнах с повышенным внеполосным подавлением // ЖТФ. 2002. Т.72. № 11. С. 83-90.

145. Kiselev S.V., Fedorov E.I., Orlov V.S. SAW Filters with combined singlemode and double-mode sections // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 218221.

146. Tiersten H. Guided acoustic-surfase-wave filters // Applied Phisics Lett., 1976. Vol. 28. № 3. P. 111-113.

147. Tsutsume J., Itaka O., Satoh Y. Transversely coupled resonator filters with 0.1% fractional bandwidth in quartz // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. P. 6569.

148. Chvets V.B., Schwarz A.L., Orlov V.S. Design of Wide Band Transversely Coupled Resonator Filters on Quartz // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2002. P. 93-97.

149. Rusakov A.N., Dai J.D., Kansy R.J. Design of wide band SAW coupled resonator Filters on Quartz // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. P. 513-517.

150. Орлов В.С., Шварц А.Л., Швец В.Б. Особенности проектирования узкополосных температурно-стабильных фильтров на поверхностных акустических волнах на резонаторах с поперечной акустической связью // T^ornm: Технологии. 2012. № 5. С. 55-59.

151. Campbell C., Smith P., Edmonson P. Aspects of modeling the frequency response of a two-port waveguide-coupled SAW resonator-filter // IEEE Trans. UFFC. 1992. Vol. 39. № 6. P. 768-773.

152. Hartmann C., Chen D., Heighway J. Modeling of SAW transversely coupled resonator filters using coupling-of-codes modeling technique // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1992. P. 39-43.

153. Scholl G., Ruile W., Russer P. P-matrix modeling of transverse-mode coupled resonator filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1993. P. 422-428.

154. Biryukov S., Martin G., Polevoi V. The theory of SAW transversely coupled waveguide resonator filter // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1994. P. 89-92.

155. Biryukov S., Martin G., Polevoi V., Derivation of COM equations using the surface impedance method // IEEE Trans. on Ultrason., Ferroel. and Freq. Control. Symp. 1995. Vol. 42. № 4. P. 606-611.

156. Biryukov S., Martin G., Polevoi V. Consistent generalization of COM equations to three-dimensional structures and the theory of the SAW transversely coupled waveguide resonator filter // IEEE Trans. on Ultrason., Ferroel. and Freq. Control. Symp. 1995. Vol. 42. № 4. P. 612-618.

157. Дмитриев В.Ф. Теория фильтра на слабо связанных резонаторных модах поверхностных акустических волн // ЖТФ. 2003. Т.73. № 2. С. 99106.

158. Morgan D., Richards S., Staples A. Development of analysis techniques for SAW transverse-coupled waveguide resonator filters // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1996. P. 177-181.

СПИСОК РАБОТ, ОПУБЛИКОВАННЫХ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

(работы, отмеченные *, соответствуют публикациям в журналах из Перечня ВАК)

1. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Бутенко В.В., Данилов А.Л., Иванов П.Г. Фильтры на ПАВ с высокой входной мощностью: базовые модели для анализа электродных структур // Электросвязь. 2015. № 10. С. 65-70*.

2. Багдасарян А.С., Синицына Т.В. Анализ ВШП методом связанных мод // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. 2003. № 1-2. С. 11-15.

3. Багдасарян А.С., Синицына Т.В. Селективные акустоэлектронные приборы на основе однонаправленных структур поверхностных акустических волн. Монография. Москва. 2004. 103 С.

4. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Прапорщиков В.В. Методы моделирования устройств на поверхностных акустических волнах // В сборнике: Международная научно-техническая конференция «Информатика и технологии. Инновационные технологии в промышленности и информатике» («МНТК ФТИ-2017»). Сборник научных трудов. Под редакцией Булатова М.Ф. 2017. С. 259-261.

5. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Николаев В.И. Особенности проектирования устройств на поверхностных акустических волнах волноводного типа // Теория и техника радиосвязи. 2016. № 2. С. 92-104*.

6. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Дорофеева С.С. Конструктивно-технологические особенности устройств на ПАВ для обработки радиочастотных сигналов высокой мощности: Исследования способов минимизации потерь в резонаторах для условий многослойного напыления // Наукоемкие технологии. 2018. Т. 19. № 2. С. 46-57*.

7. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Дорофеева С.С. Влияние различных по составу и количеству слоев электродных структур на характеристики ПАВ-фильтров // Теория и техника радиосвязи. 2018. № 3. С. 101-109*.

8. Синицына Т.В. Методы математического моделирования высокоизбирательных фильтров на поверхностных акустических волнах с малым вносимым затуханием // Электромагнитные волны и электронные системы. 2019. Т. 24. № 2. С. 20-30*.

9. Kandyba P.E., Kondratiev S.N., Sinitsyna T.V. Research and design of small-aperture SAW pass-band filter // Proc. Intern. Symp. Russia, St. Petersburg. 1993. Р.161-162.

10. Sinitsyna T.V., Shermagina E.U. SAW-filters using acoustic guides // Proc. Intern. Symp. ISEFPMA-94. Russia, Moscow. 1994. Р. PO3-28.

11. Синицына Т.В., Бутенко В.В., Багдасарян А.С., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Дорофеева С.С. Минимизация искажений характеристик ПАВ-устройств, обусловленных наличием паразитных мод высших порядков // Электросвязь. 2018. № 4. С. 68-74*.

12. Синицына Т.В. Багдасарян А.С. Гарифулина А.Т. Багдасарян С.А. Особенности проектирования сверхминиатюрных радиокомпонентов для систем радиочастотной идентификации на основе акустических волноводов // Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России», Москва. 2016. С. 42-46.

13. Багдасарян А.С., Гуляев Ю.В., Багдасарян С.А., Синицына Т.В., Бутенко В.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Узкополосные фильтры на поверхностных акустических волнах в системах радиочастотной идентификации // Радиотехника и электроника. 2008. Т. 53. № 7. С. 887896*.

14. Кондратьев С.Н., Кузнецов М.В., Петржик Е.А., Синицына Т.В., Преобразователь ПАВ, Пат. СССР 1517710 от 23.06.93. Заявка № 4280310/22 от 02.06.1987. Опубл. 09.02.1995.

15. Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В., Шермагина Е.Ю. Фильтр на поверхностных акустических волнах. Пат. РФ № 2308799 от 20.10.2007 г. Заявка № 2005140466/09 от 23.12.2005. Опубл. 20.07.2007. Бюл. № 20.

16. Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В., Шермагина Е.Ю. Устройство на поверхностных акустических волнах. Пат. РФ № 2295193

от 10.03.2007 г. Заявка № 2005124398/09 от 01.08.2005 15. Опубл. 10.03.2007. Бюл. № 7.

17. Sinitsyna T.V., Praporchtshikov V.V., Shermagina E.U. The second order effects in low-loss SAW filters // В сборнике: 2005 15th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, CriMiCo2005 -Conference Proceedings. 2005 15th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, CriMiCo2005. Sponsors: Sevastopol National Technical University (Ukraine), Sevastopol Branch of Ukraine State Radio-Frequency Center. Crimea, 2005. С. 568-569.

18. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Николаев В.И., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Дорофеева С.С. Минимизация искажений характеристик ПАВ-устройств, обусловленных наличием паразитных элементов конструкции // Теория и техника радиосвязи. 2018. № 1. С. 112-116*.

19. Синицына Т.В. Технология проектирования высокоизбирательных ПАВ-фильтров с применением Flip-chip монтажа // Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России», М., МГТУ им. Баумана. 2016. С.52-56.

20. Gusev A.P., Pavlov A.V., Pavlova S.G., Myakinkov V.Yu., Sinitsina T.V., Sytilin S.N. Hybrid-monolithic frequency converter device created with LTCC technology, using Flip-chip // В сборнике: CriMiCo 2013 - 2013 23rd International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, Conference Proceedings. 2013. С. 86-87.

21. Гусев А.П., Павлов А.В., Павлова С.Г., Мякиньков В.Ю., Сытилин С.Н., Синицына Т.В. Высокоизбирательный малогабаритный СВЧ-модуль в керамике LTCC с применением Flip-chip монтажа // Электронная техника, сер.1. СВЧ-техника. 2016. вып. 4 (531). С.45-55*.

22. Синицына Т.В., Дорофеева С.С. Пьезоэлектрические материалы для ПАВ-устройств // В сборнике: Высокие технологии в промышленности России. Сборник научный трудов XXI Международной научно-

технической конференции Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана. 2016. С.47-51.

23. Синицына Т.В., Орлов М.М. Исследование влияния электродной структуры на параметры акустической волны в сильных пьезоэлектриках // Известия ВУЗов. Сер. Материалы электронной техники. 2004. № 1. С.67-69*.

24. Kandyba P.E., Kondratiev S.N., Praporchtshikov V.V., Sinistyna T.V. SAW Filters Using Transducers with Internal Reflectors // Proc. 11 Intern. Symp. on Surface Waves in Solids and Layered Structures, Bulgaria. 1989. С. 407-409.

25. Sinitsyna T.V., Shermagina E.U. Low-loss SAW-filters with improved stopband rejection // Proc. Intern. Symp. ISEFPMA-94. Russia, Moscow. 1994. Р. PO3-29.

26. Синицына Т.В. Фильтры на поверхностных акустических волнах с малыми потерями // ЦНИИ Электроника, Депонированная рукопись. 1990. 47 С.

27. Кондратьев С.Н., Орлов В.С., Науменко Н.Ф., Дивногорцев М.Ю., Синицына Т.В., Семенов В.В. Однонаправленные преобразователи ПАВ. Патент РФ № 1620022 от 09.06.1993 г., приоритет от 10.02.1989 г.

28. Герасимова Т.А., Кондратьев С.Н., Синицына Т.В., Термостабильные ПАВ-фильтры на слоистой структуре // Электронная техника, сер. Радиодетали и радиокомпоненты. 1989. вып. 1(74). С.61-63.

29. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Дорофеева С.С. Термокомпенсированные ПАВ-устройства на основе многослойных структур // В сборнике: Международная научно-техническая конференция «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения» («INTERMATIC-2017»). Сборник научных трудов. Под редакцией Сигова А.С. МИРЭА. 2017. С. 1-4.

30. Дорофеева С.С., Синицына Т.В., Багдасарян А.С. ПАВ-устройства на термокомпенсированных пластинах. Проблемы и перспективы // В сборнике «Вакуумная техника, материалы и технология», Материалы XIII

Международной научно-технической конференции (Москва, КВЦ «Сокольники», 2018, 24-26 апреля. С. 134-138.

31. Синицына Т.В., Дорофеева С.С. Высокостабильные устройства на поверхностных акустических волнах // В сборнике: Высокие технологии в промышленности России. Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции. Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана. 2016. С.17-23.

32. Синицына Т.В., Дорофеева С.С., Груздев А.С. Пьезокристаллы для высокостабильных устройств на ПАВ // Труды НИИР. 2016. № 3. С. 10-17*.

33. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Дорофеева С.С. Перспективные пьезокристаллы для высокостабильных устройств на ПАВ // В сборнике: Оптические технологии, материалы и системы. Сборник научных трудов Всероссийской научно-технической конференции. Московский технологический университет, Физико-технологический институт. 2016. С. 112-115.

34. Синицына Т.В., Дорофеева С.С. Исследования пьезоэлектрических свойств КТГС и кварца для ПАВ-устройств // В сборнике: Высокие технологии в промышленности России. Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана. 2016. С.24-29.

35. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Дорофеева С.С. Высокочастотный фильтр на поверхностных акустических волнах на основе STW-кварца // В сборнике: Международная научно-техническая конференция «Информатика и технологии. Инновационные технологии в промышленности и информатики» («МНТК ФТИ-2017»). Сборник научных трудов. Под редакцией Булатова М.Ф. 2017. С.261-263.

36. Кондратьев С.Н., Орлов М.М., Сингур Е.К., Синицына Т.В. Датчики давления на основе резонаторов поверхностных акустических волн //

Электронная техника, сер. Управление качеством, стандартизация, метрология, испытания. 1984. Вып.3 (108). С. 56-57.

37. Багдасарян С., Днепровский В., Карапетьян Г., Нефедова Н., Синицына Т. ПАВ-датчики дистанционного контроля физических величин // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2008. № 1. С. 46-51*.

38. Багдасарян А., Синицына Т. Устройства селекции частоты на ПАВ. Физико-технические принципы построения // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2011. № 4. С. 38-44*.

39. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Бутенко В.В., Данилов А.Л., Иванов П.Г. Синтез фильтров на ПАВ для систем связи, радиолокационной и телекоммуникационной аппаратуры // Электросвязь. 2016. № 11. С. 81-86*.

40. Багдасарян А., Синицына Т., Иванов П., Швец В. Частотно-селективные СВЧ-модули на основе преобразователей веерного типа // Электроника: Наука, Технология, Бизнес.2012, № 2. С. 66-71*.

41. Иванов П.Г., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-766-3, модификация РСИТ.433561.064 И. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2014630047 от 14.02.2014 г.

42. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Егоров Р.В. ПАВ-фильтры на основе продольно-связанных структур // Электронная промышленность. 2004. № 1. С. 14-19.

43. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Орлов М.М. Узкополосные ПАВ-фильтры с малыми потерями на основе поперечно-связанной структуры // Электронная промышленность. 2004. № 1. С. 19-25.

44. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Машинин О.В. ПАВ-фильтры с малыми потерями на основе и-образного ответвителя // Электросвязь. 2004. № 2. С. 32-33.

45. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Кузнецов М.В. Резонаторные ПАВ-фильтры на основе реверсивного МПО // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. 2003. № 1-2. С. 15-20.

46. Багдасарян А., Багдасарян С., Карапетьян Г., Машинин О., Синицына Т. Импедансные ПАВ-фильтры для телекоммуникационных систем. Российский приоритет // Электроника: наука, технология, бизнес. 2014. № 7 (139). С. 48-65*.

47. Гуляев Ю., Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Орлов М.М., Егоров Р.В. ПАВ-фильтры во входных каскадах приемо-передающих устройств // Наука и технологии в промышленности. 2006. № 4. С. 82-88.

48. Багдасарян А.С. , Егоров Р.В., Иванов П.Г., Синицына Т.В. Фильтры на ПАВ с уменьшенным уровнем вносимого затухания на основе однонаправленных структур // Труды НИИР. 2016. № 2. С.13-19*.

49. Синицына Т.В., Багдасарян А.С. Синтез фильтров на поверхностных акустических волнах: Система автоматизированного проектирования (САПР) // Теория и техника радиосвязи. 2017. № 4. С.84-92*.

50. Багдасарян А., Синицына Т., Машинин О., Иванов П., Егоров Р. Устройства частотной селекции в современных системах связи, радиолокации и телекоммуникации // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2013. № 8. С. 128-136*.

51. Shermagina E.U., Mashinin O.V., Sinitsyna T.V. Design of high-frequency SAW filters // В сборнике: 2005 15th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, CriMiCo2005 - Conference Proceedings. 2005 15th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology, CriMiCo2005. Sponsors: Sevastopol National Technical University (Ukraine), Sevastopol Branch of Ukraine State Radio-Frequency Center. Crimea, 2005. С. 570-571.

52. Багдасарян А.С., Машинин О.В., Сигов А.С., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В., Егоров Р.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2012630169 от 30.11.12 г. Частотно-избирательный СВЧ-модуль ЧИМ-2, модификация 981.

53. Синицына Т.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2008630039 от 08.09.08 г. Микроэлектронное частотно-селективное устройство 3666Е, модификация 1089.

54. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2008630040 от 9.09.08 г. Фильтр на поверхностных акустических волнах ФП3П7-494-03Е, модификация 1263.

55. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2010630020 от 5.02.10 г. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-493-01, модификация 239.

56. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2010630021 от 5.02.10 г. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-494-04, модификация 475.

57. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2010630029 от 16.02.10 г. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-494-03М^ модификация 940.

58. Иванов П.Г., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2014630048 от 14.02.14 г. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-766-2, модификация РСИТ.433561.063 И.

59. Багдасарян А.С., Гуляев Ю.В., Машинин О.В., Синицына Т.В. Акустоэлектронные технологии для систем и комплексов оборудования цифрового телевизионного вещания. Состояние и развитие // Труды международной научно-технической конференции «Информационные технологии в науке, технике и образовании», Аланья-Севастополь, Москва. 2005. Т. 2. С. 3-4.

60. Gulyaev Yu.V., Baghdasaryan S.A., Mashinin O.V., Sinistyna T.V. Calculation of designs and topology for photo masks of filters on surface acoustic waves for the professional digital broadcasting equipment // Труды международной научно-технической конференции «Инновационные технологии в науке, технике и образовании», Тунис, М. 2008. Т. 1. С. 7-11.

61. Baghdasaryan A.S., Baghdasaryan S.A., Mashinin O.V., A.Yu.Mityagin Sinistyna T.V. Experimental researches of filters on surface acoustic waves for professional digital broadcasting equipment // Труды международной научно-технической конференции «Инновационные технологии в науке, технике и образовании», Тунис, М. 2008. Т. 1. С. 19-22.

62. Синицына Т.В., Прапорщиков В.В., Машинин О.В. Радиочастотные ПАВ-фильтры ПЧ для цифрового телевизионного вещательного оборудования // Материалы VIII международной научно-технической конференции «Перспективные технологии в средствах передачи информации», г. Владимир. 2009. Т. 2. С. 138-140.

63. Багдасарян А.С., Гуляев Ю.В., Машинин О.В., Синицына Т.В., Резонаторные ПАВ фильтры для современных телекоммуникационных систем // В сборнике: Перспективные технологии в средствах передачи информации (ПТСПИ'03). Материалы V международной научно-технической конференции. 2003. С. 150-152.

64. Багдасарян А.С., Гуляев Ю.В., Доберштейн С.А., Синицына Т.В. Техника ПАВ: Ближайшие перспективы // Техника радиосвязи. 2017. № 3 (34). С. 72-84*.

65. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2012630135 от 11.09.2012 г. Частотно-селективный модуль ЧСМ-2, модификация РСИТ.433561.044 И.

66. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии

интегральной микросхемы № 2011630065 от 23.05.2011 г. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-531, модификация 1315.

67. Синицына Т.В., Машинин О.В., Багдасарян А.С., Николаев В.И., Львов В.Ф., Егоров Р.В., Груздев А.С. Частотно-избирательные микроблоки на основе фильтров на поверхностных акустических волнах // Радиотехника. 2016. № 5. С. 105-111*.

68. Кондратьев С.Н., Сингур Е.К., Киселев С.В., Машинин О.В., Синицына Т.В. Разработка и исследование ВЧ-входных фильтров на ПАВ // Электронная техника, сер. Радиодетали и радиокомпоненты. 1987. Вып. 3 (68). С. 33-35.

69. Sinitsyna T.V., Praporchtshikov V.V., Bagdasarian A.S. SAW resonator filters for communications systems // В сборнике: 2004 14th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology. Conference Proceedings, CriMiCo04. sponsors: Sevastopol National Technical University, Ukraine, F SUE, SCRRTI, Moscow, Russia, Interface-MFG Co. Moscow, Russia, OJS SPE, Staurn, Kiev, Ukraine, NTUU KPI, SRI of Telecommunications, Kiev, Ukraine. 2004. С. 472-473.

70. Багдасарян А.С., Синицына Т.В. ПАВ-фильтры с малыми потерями на основе U-образного ответвителя // В сборнике: Информационные технологии в науке, технике и образовании. Сборник трудов международной научно-технической конференции, Т.1. Под редакцией Гуляева Ю.В. 2007. С. 27-30.

71. Багдасарян А.С., Багдасарян С.С., Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Сигов А.С., Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2012630064 от 01.06.2012 г. Фильтр пьезоэлектрический ФТКП-5, модификация 832.

72. Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Синицына Т.В. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы

№ 2012630138 от 11.09.2012 г. Частотно-селективный модуль ЧСМ-1, модификация РСИТ.433561.043 И.

73. Синицына Т.В. Высокоизбирательные ПАВ-фильтры с малым вносимым затуханием // Труды международной н.-тех. конференции Информационные технологии в науке, технике и образовании, Аланья-Севастополь. М. 2005. С. 43-44.

74. Багдасарян А.С., Машинин О.В, Прапорщиков В.В., Синицына Т., Егоров Р.В. Телевизионные канальные фильтры на ПАВ для систем коллективного ТВ-приема // Труды Международной н.-тех. конференции «Информационные технологии и моделирование приборов в целях обеспечения качества и надежности». М. 2006. С. 6-9.

75. Львов В.Ф., Машинин О.В, Прапорщиков В.В., Синицына Т., Чулков В.А. Применение канальных фильтров на ПАВ в системах коллективного телевизионного приема // Труды 17 Международной научно-технической конференции «Современное телевидение», Москва 2009. С. 52-55.

76. Синицына Т.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Телевизионный канальный фильтр на поверхностных акустических волнах ФТКП-6, модификация 1084. Свидетельство ФИПС об официальной регистрации топологии интегральной схемы № 2005630022 от 01.09.2005 г.

77. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФТКП-25, модификация 1048. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2010630054 от 06.05.2010 г.

78. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФТКП-26Е, модификация 896. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2011630101 от 02.11.2011 г.

79. Багдасарян А.С., Багдасарян С.А., Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Сигов А.С., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФТКП-44, модификация 1078. Свидетельство ФИПС о

государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2012630065 от 01.06.2012 г.

80. Львов В.Ф, Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Модульная телевизионная головная станция. Патент РФ на полезную модель № 53089 от 27.04.2006 г.

81. Lvov V.F., Mashinin O.V., Praporchtshikov V.V., Sinitsyna T.V. Frequency-selective TV-channel amplifiers based on the SAW-filters // В сборнике: 2006 16th International Crimean Conference Microwave and Telecommunication Technology. Conference Proceedings, CriMiCo06. Sevastopol. 2006. С. 113114.

82. Львов В.Ф., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Головная станция прямого усиления ТВ-сигналов на основе ПАВ-канальных усилителей // Материалы У11 международной н.-тех. конференции «Перспективные технологии в средствах передачи информации», Владимир. 2007. С. 135-139.

83. Lvov V.F., Mashinin O.V., Praporchtshikov V.V., Sinitsyna T.V. Modular TV head-end on the basis of high selectivity SAW-filters // В сборнике: 2007 17th International Crimean Conference - Microwave and Telecommunication Technology. Conference Proceedings, CRIMICO. Sevastopol. 2007. С.871-872.

84. Машинин О., Багдасарян А., Львов В., Прапорщиков В., Синицына Т., Багдасарян С. Модульные канальные эквалайзеры на ПАВ-фильтрах // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2008. № 2. С. 74-80*.

85. Карпеев Д.В., Машинин О.В., Орлов М.М., Сингур Е.К., Синицына Т.В. Частотно-избирательный микроблок с малым потреблением энергии // Электронная техника, сер. Радиодетали и радиокомпоненты. 1987. Вып. 3 (68). С. 58-61.

86. Синицына Т.В., Груздев А.С., Машинин О.В., Багдасарян А.С. Радиационно-стойкие частотно-избирательные микроблоки на основе фильтров на поверхностных акустических волнах // Техника радиосвязи. 2017. № 4. С. 81-93*.

87. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-529, модификация 1319. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2011630063 от 23.05.2011 г.

88. Иванов П.Г., Дорофеева С.С., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический модификация РСИТ.433651.105И. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2015630108 от 20.10.2015 г.

89. Карпеев Д.В., Машинин О.В., Орлов М.М., Сингур Е.К., Синицына Т.В. Согласующие усилители для акустоэлектронных устройств частотной селекции // Электронная техника, сер. Радиодетали и радиокомпоненты. 1987. Вып. 1 (66). С. 51-55.

90. Синицына Т.В., Прапорщиков В.В., Машинин О.В. Высокоизбирательные ПАВ-фильтры с малой неравномерностью характеристики в полосе пропускания // // В сборнике: Перспективные технологии в средствах передачи информации (ПТСПИ'05). Материалы VI международной научно-технической конференции. 2005. С. 140-142.

91. Машинин О.В., Егоров Р.В., Синицына Т.В., Саввина О.В., Прапорщиков В.В. Способ изготовления фильтра на поверхностных акустических волнах. Патент РФ № 2640961 от 12.01.2018 г.

92. Иванов П.Г., Синицына Т.В., Егоров Р.В., Прапорщиков В.В., Машинин О.В., Гарифулина А.Т. Фильтр пьезоэлектрический модификация РСИТ.433561.117И. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2016630075 от 27.06.2016 г.

93. Груздев А.С., Багдасарян А.С., Синицына Т.В. Прецизионные контактные устройства для контроля частотных характеристик устройств на ПАВ // Теория и техника радиосвязи. 2018. № 4. С. 108-116*.

94. Синицына Т.В., Багдасарян С.А., Бутенко В.В., Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В. Экспериментальные исследования узкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах в системах

безколлизионной радиочастотной идентификации // Труды международной научно-технической конференции «Инновационные технологии в науке, технике и образовании», Турция, М. 2008. Т. 1. С. 18-21.

95. Багдасарян А.С., Анциперов В.Е., Багдасарян С.А., Кащенко Г.А., Метягин А.Ю., Николаев О.В., Рыжиков И.В., Семенов Р.В., Ливенцен В.В., Синицына Т.В. Разработка фундаментальных основ построения лабораторного образца глобальной системы радиочастотной идентификации, управления доступа и навигации на основе акустоэлектронных метод и исследование режимов ее функционирования // Материалы ежегодной научной конференции «Результаты целевых ориентированных фундаментальных исследований и их использование в Российской промышленности», г. Таганрог. 2010. С. 19-21.

96. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-527-6, модификация 1266. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2010630001 от 11.01.2010 г.

97. Егоров Р.В., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-509-1001, модификация 1257. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2011630064 от 23.05.2011 г.

98. Багдасарян А.С., Машинин О.В., Багдасарян С.А., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В., Егоров Р.В. Частотно-избирательный СВЧ-модуль ЧИМ-3, модификация 1074. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2012630171 от 30.11.2012 г.

99. Багдасарян А.С., Гуляев Ю.В., Доберштейн С.А., Синицына Т.В., Багдасарян С.А. Интеллектуальные устройства на ПАВ: новые возможности // Техника радиосвязи. 2018. № 2 (37). С. 64-73.

100. Багдасарян А.С., Гуляев Ю.В., Синицына Т.В. Устройства на поверхностных акустических волнах: Ближайшие перспективы // В

сборнике: Высокие технологии в промышленности России. Тонкие пленки в электронике. Наноинженерия. Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции, XXVIII Международного симпозиума и VIII Международной научно-технической конференции. 2016. С.62-64.

101. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Кондратьев С.Н., Машинин О.В. Фильтры на поверхностных акустических волнах с высокой входной мощностью для радиотехнических систем связи: конструктивно-технологические особенности // Теория и техника радиосвязи. 2015. № 3. С. 40-45*.

102. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Груздев А.С., Гарифулина А.Т. Базовые конструкции фильтров на ПАВ с высокой входной мощностью для радиотехнических систем связи // Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России», М., 2016. С. 35-41.

103. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Кондратьев С.Н., Машинин О.В., Егоров Р.В. Фильтры с высокой входной мощностью для радиотехнических систем: фильтр на ПАВ на номинальную частоту 216 МГц // Теория и техника радиосвязи. 2015. № 3. С. 28-39*.

104. Синицына Т.В., Машинин О.В., Багдасарян А.С., Львов В.Ф., Гарифулина А.Т. Испытания ПАВ-фильтров на воздействие сигнала с высокой входной мощностью // Труды НИИР. 2015. № 4. С. 9-13*.

105. Багдасарян А.С., Кондратьев С.Н., Синицына Т.В., Машинин О.В., Груздев А.С. Фильтры на поверхностный акустических волнах с высокой входной мощностью для систем связи, радиолокационной и телекоммуникационной аппаратуры на номинальную частоту 2170 МГц // Радиотехника и электроника. 2016. № 4. С. 389-394*.

106. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Машинин О.В., Егоров Р.В. СВЧ фильтры на ПАВ с высокой входной мощностью для систем и аппаратуры передачи и обработки информации // Труды НИИР. 2016. № 1. С. 26-31*.

107. Багдасарян А.С., Синицына Т.В. Фильтры на ПАВ, выдерживающие входную мощность радиосигнала 1-2 Вт, для телекоммуникационной аппаратуры // Техника радиосвязи. 2016. № 3 (30). С. 80-89*.

108. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Прапорщиков В.В. Система автоматизированного проектирования фильтров на поверхностных акустических волнах с высокой входной мощностью // Наукоемкие технологии. 2018. Т. 19. № 3. С. 4-9*.

109. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Дорофеева С.С. Влияние различных по составу и числу слоев электродных структур на характеристики ПАВ-фильтров // Успехи современной радиоэлектроники. 2018. № 9. С. 49-58*.

110. Синицына Т.В., Гарифулина А.Т. Конструктивно-технологические особенности реализации фильтров на ПАВ с высокой входной мощностью // Материалы Международной научно-технической конференции «Информатика и технологии. Инновационные технологии в промышленности и информатике», Москва. 2016. С. 191-194.

111. Синицына Т.В., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Багдасарян А.С. Результаты экспериментальных исследований влияния различных по составу электродных структур на характеристики преобразователя и ПАВ устройства в целом // В сборнике «Вакуумная техника, материалы и технология», Материалы XIII Международной научно-технической конференции (Москва, КВЦ «Сокольники», 2018, 24-26 апреля). 2018. С. 129-133.

112. Kandyba P.E., Kondratiev S.N., Sinitsyna T.V. Rejective SAW-filter for protect systems of commercial TV-channel // Proc. Intern. Symp., Russia, St. Petersburg. 1993. P. 161-162.

113. Синицына Т.В., Багдасарян А.С., Гарифулина А.Т. Перспективные технологии в акустоэлектронике // Сборник трудов Всероссийской научно-технической конференции «Оптические технологии, материалы и системы», М. 2016. С. 108-111.

114. Синицына Т.В., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Багдасарян А.С. Исследование эксплуатационных характеристик ПАВ фильтров в условиях повышенной мощности сигнала // В сборнике: Международная научно-техническая конференция «Информатика и технологии. Инновационные технологии в промышленности и информатике» («МНТК ФТИ-2017»). Сборник научных трудов. Под редакцией Булатова М.Ф. 2017. С. 258-260.

115. Иванов П.Г., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-768-1, модификация РСИТ.433561.087 И. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2015630044 от 16.03.2015 г.

116. Иванов П.Г., Машинин О.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический ФП3П7-768-3, модификация РСИТ.433561.089 И. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2015630045 от 16.03.2015 г.

117. Синицына Т.В., Груздев А.С. Частотно-избирательные микроблоки на основе фильтров на поверхностных акустических волнах // Материалы Международной научно-технической конференции «Информатика и технологии. Инновационные технологии в промышленности и информатике», Москва. 2016. С. 187-190.

118. Синицына Т.В., Груздев А.С. Прецизионные измерительные СВЧ-устройства для контроля частотных характеристик микроблоков на поверхностных акустических волнах // Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России», М. 2016. С. 30-34.

119. Иванов П.Г., Дорофеева С.С., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Фильтр пьезоэлектрический модификация РСИТ.433651.106 И. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2015630109 от 20.10.2015 г.

120. Егоров Р.В., Машинин О.В., Мишина Т.В., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Частотно-избирательный СВЧ-модуль ЧИМ-6,

модификация 1395. Свидетельство ФИПС о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы № 2012630170 от 30.11.2012 г.

121. Багдасарян А.С., Гуляев Ю.В., Багдасарян С.А., Нефедова Н.А., Бутенко В.В., Егоров Р.В., Машинин О.В., Орлов М.М., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. Узкополосные фильтры на поверхностных акустических волнах в системах дистанционного контроля с одновременной радиочастотной идентификацией // Труды международной научно-технической конференции «Инновационные технологии в науке, технике и образовании», Турция, М. 2008. Т. 1. С.3-14.

122. Синицына Т.В., Дорофеева С.С. Высокостабильные устройства на поверхностных акустических волнах // Сборник научный трудов XXI Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России», М. 2016. С.18-23.

123. Синицына Т.В., Прапорщиков В.В., Машинин О.В. Узкополосные термостабильные фильтры ВЧ для систем связи // Материалы VIII Международной научно-технической конференции «Перспективные технологии в средствах передачи информации», Владимир. 2009. Т. 2. С. 135-138.

124. Mashinin O.V., Sinistyna T.V., Baghdasaryan A.S. Working out of designs and creation of the calculation of topology of filters on surface acoustic waves // Труды международной научно-технической конференции «Инновационные технологии в науке, технике и образовании», Тунис, М. 2008. Т. 1. С. 23-24.