Метод и оптико-электронное средство контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Воронов, Александр Сергеевич

• Воронов, Александр Сергеевич
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Воронов, Александр Сергеевич

6

Глава 1. Аналитический обзор методов и средств контроля качества пьезорезонансных датчиков

1.1 Измерение комплексного коэффициента передачи по микроперемещениям поверхности пьезорезонансного датчика

1.2 Обзор методов и средств измерения микроперемещений

1.2.1 Электрический метод

1.2.2 Контактные методы измерения микроперемещений

1.2.3 Бесконтактные оптические методы измерения микроперемещений

1.2.4 Бесконтактные неоптические методы измерения микроперемещений

Выводы

Глава 2. Разработка метода определения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансного датчика

2.1 Усовершенствование оптико-электронного метода измерения микроперемещений

2.1.1 Статическая модель процесса измерения

2.1.2 Динамическая модель процесса измерения

2.2 Разработка методов измерения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансного датчика

2.2.1 Метод измерения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансного датчика, использующий преобразование Фурье

2.2.2 Метод измерения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансного датчика, использующий дискретные резонаторы второго порядка

2.3 Анализ процесса измерения разности фаз для восстановления ФЧХ

Выводы

Глава 3. Разработка экспериментальной оптико-электронной системы определения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансного датчика

3.1 Разработка структурной схемы фотоприемного устройства

3.2 Разработка принципиальной электрической схемы

3.3 Технические стандарты, использованные при проведении измерений

3.4 Экспериментальная проверка зависимости амплитуды выходного сигнала от размеров окна фотоприемного устройства

3.5 Экспериментальная оценка погрешности измерительной системы

3.6 Экспериментальное определение предела чувствительности измерительной системы

3.7 Экспериментальное измерение комплексного коэффициента передачи пьезоэлектрических резонаторов

Выводы

Глава 4. Разработка метода производственного контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи

4.1 Выявление основных отличий производственных и лабораторных условий и их влияние на результат измерения

4.2 Разработка методов компенсации погрешностей результатов измерения, вызванных отличием производственных и лабораторных условий

4.2.1 Учет влияния электрических помех

4.2.2 Учет влияния вибрации фундамента

4.2.3 Учет влияния фоновой засветки

4.3 Метод контроля качества пьезорезонансного датчика по комплексному коэффициенту передачи

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Метод и оптико-электронное средство контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи»

На современном этапе развития технологических процессов в различных отраслях промышленности возрастает потребность в конструктивно простых, экономичных, высокочувствительных датчиках, способных надежно функционировать в жестких производственных условиях при наличии высоких температур, сильных механических и химических воздействий. К настоящему времени у нас в стране и за рубежом нашли широкое применение электромеханические первичные преобразователи физических величин с пьезоэлектрическим возбуждением, характеризующиеся хорошими массогаба-ритными, метрологическими, эксплуатационными и экономическими показателями. Отдельно выделяется перспективное направление пьезорезонансных датчиков, обладающих, помимо перечисленных достоинств, максимально высокой чувствительностью, избирательностью, отказоустойчивостью [63, 88-95]. Однако, малейшие погрешности при их изготовлении приводят к существенному изменению эксплуатационных параметров. Следовательно, контроль качества пьезорезонансных датчиков является актуальной задачей. Контроль необходим как на этапе производства пьезоэлектрических резонаторов, используемых в пьезорезонансных датчиках, так и на этапе проектирования и производства самих датчиков. Для обеспечения соответствующего контроля производители используют определенный набор параметров, включающий добротность, резонансные частоты, материальные константы, коэффициенты электромеханической связи и параметры эквивалентной электрической схемы замещения [35, 43, 63, 104]. Однако, этот набор не позволяет однозначно описать работу пьезорезонансного датчика, так как характеризует лишь его упрощенную математическую модель. Погрешность аппроксимации реального датчика такой моделью достаточно высока. Эта систематическая погрешность снижает эффективность контроля качества и ухудшает технико-экономические показатели пьезорезонансных датчиков и приборов на их основе. Для решения этой проблемы в данной работе предлагается использовать в качестве основного параметра для контроля качества пьезорезо-нансных датчиков комплексный коэффициент передачи. Этот параметр представляет собой полную динамическую характеристику и устанавливает однозначную зависимость между электрическим сигналом, поданным на пьезоре-зонансный датчик, и колебанием его поверхности. Амплитуда колебаний поверхности пьезорезонансного датчика находится в диапазоне 10"9.10'6 м. Анализ показал, что для измерения таких колебаний лучше всего подходят оптико-электронные средства. Однако существующие на сегодняшний день средства не адаптированы для измерения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансных датчиков. Для повышения качества проектирования и эффективности разрабатываемых приборов на основе пьезорезонансных датчиков предложены метод и оптико-электронное средство контроля качества по комплексному коэффициенту передачи.

Цель работы - разработка метода и оптико-электронного средства контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи для повышения качества проектирования и эффективности разрабатываемых приборов на их основе.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие исследовательские задачи.

1. Выполнить аналитический обзор:

- параметров, используемых для контроля качества пьезорезонансных датчиков и обосновать необходимость применения комплексного коэффициента передачи;

- методов и средств, пригодных для определения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансных датчиков.

2. Провести моделирование метода и средства определения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансных датчиков.

3. Разработать экспериментальную установку для определения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансных датчиков, выполнить проверку результатов моделирования, оценить погрешность разработанной системы.

4. Разработать метод производственного контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи.

Объект исследования - метрологический процесс контроля качества пьезорезонансных датчиков.

Методы исследований. Для определения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансных датчиков использовались методы динамических измерений. Для обработки результатов экспериментов применялись методы цифровой обработки сигналов. При исследовании процессов, происходящих в измерительной системе, были использованы математическое и физическое моделирование.

Научная новизна работы заключается в следующем.

1. Разработан метод контроля качества пьезорезонансных датчиков, в основу которого положено три критерия отличия регистрируемого комплексного коэффициента передачи от эталонного: максимальный модуль отклонения, дисперсия и коэффициент корреляции.

2. Впервые исследовано влияние соотношения геометрических размеров окна интегрального фотоприемника и параметров пространственного распределения интенсивности лазерного луча на выходной сигнал оптико-электронного измерительного преобразователя. Установлено оптимальное соотношение, при котором достигается максимальная чувствительность и линейность выходного сигнала по отношению к перемещениям поверхности пьезорезонансного датчика.

3. Впервые на базе методов цифровой обработки сигналов и в результате исследования экспериментальных данных разработан метод точного определения комплексного коэффициента передачи пьезорезонансного датчика с использованием дискретных резонаторов второго порядка.

4. Предложен и реализован алгоритм определения фазового сдвига, отличающийся от известных минимальными вычислительными затратами и повышенной помехозащищенностью.

5. Используя методы адаптивной фильтрации, предложена и реализована измерительная схема, позволяющая производить точные измерения при наличии сильных электрических помех.

Достоверность научных выводов и результатов диссертации обеспечивается: использованием обоснованных физических предпосылок при построении математических моделей; обеспечением представительности выборок при проведении измерений и применением статистических методов обработки экспериментальных данных; хорошим совпадением теоретических и экспериментальных результатов; использованием рекомендаций, изложенных в соответствующих государственных стандартах, при выполнении теоретических и экспериментальных исследований; использованием в качестве эталонного прибора интерферометра Майкельсона на основе полупроводникового лазера с длиной волны 655 нм HLDPM12-655-5.

Практическая и теоретическая ценность. Предложенный метод контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи позволяет в полной мере учесть их динамические свойства и, следовательно, значительно повысить эффективность контроля. Разработанная оптико-электронная система для определения комплексного коэффициента передачи в производственных условиях отличается высокой точностью, помехозащищенностью, технологической простотой и низкой стоимостью. Результаты экспериментальных и теоретических исследований, а также полученная измерительная система могут быть использованы для повышения качества производства и метрологической аттестации пьезорезонанс'ных датчиков, пьезоэлектрических резонаторов, пьезоизделий. Контроль может быть осуществлен в любой точке контролируемого объекта, что дает возможность исследовать распределение волнового поля в комбинированных системах: в системе излучатель - приемник, волноводах, концентраторах.

Апробация работы. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались: на Международной научно-технической конференции «Виртуальные и интеллектуальные системы ВИС - 2006», на научно-технических семинарах кафедры «Автоматика и вычислительные системы» и кафедры «Информационные технологии».

Реализация и внедрение результатов работы. Результаты диссертационной работы использованы в проектно-конструкторской деятельности на предприятии «Сибпромприбор-Аналит» при разработке измерительных приборов с пьезорезонансными датчиками в виде методических рекомендаций и технических предложений по выполнению конструктивных схем измерительного оборудования, предназначенного для контроля качества пьезорезо-нансных датчиков. Использование указанных результатов позволяет: повысить качество проектирования и эффективность разрабатываемых приборов на основе пьезорезонансных датчиков; сократить затраты на проведение опытно-конструкторских работ и натурных испытаний.

Публикации. По результатам диссертационной работы имеется 7 работ, в том числе 6 статей, из них одна статья в журнале, рекомендованном ВАК, одно свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ.

Личный вклад автора. Автором получены все теоретические и экспериментальные результаты, изложенные в диссертационной работе, написано программное обеспечение, рассчитаны и реализованы все узлы разработанной измерительной системы и предложен метод для контроля качества пье-зорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи.

Структура работы.

Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав с выводами и заключения. Ее содержание изложено на 148 страницах, иллюстрировано 72 рисунками, 2 таблицами. Перечень используемой литературы составляет 107 наименований.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Воронов, Александр Сергеевич

Выводы

В данной главе были получены следующие результаты. Было установлено, что наибольшее влияние на погрешность разработанной измерительной системы оказывают следующие факторы:

- электрические помехи;

- вибрации фундамента;

- переменная составляющая фоновой засветки.

Для уменьшения влияния указанных факторов на выходной сигнал измерительной системы до уровня документированной погрешности были предложены следующие методы.

Для уменьшения влияния электрических помех предложено использовать две измерительные схемы. Схему с использованием линейной фильтрации при помощи набора дискретных резонаторов второго порядка в случае доли шума в сигнале до 30% и схему с использованием адаптивной фильтрации по алгоритму RLS в случае зашумления более чем на 30%.

Для уменьшения влияния вибрации фундамента использована схема двухслойной сейсмической изоляции.

Для уменьшения влияния переменной составляющей фоновой засветки предложено использовать дифференциальную схему включения фотоэлектронных преобразователей.

Реализация предложенных методов показала их высокую эффективность, т.к. при наличии большого количества влияющих на оптико-электронный преобразователь внешних факторов погрешность измерения и минимально обнаружимая амплитуда колебаний не меняется по сравнению с лабораторными условиями.

В результате экспериментальных и теоретических исследований был предложен метод контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи. В качестве критериев контроля предлагается использовать допуск на максимальный модуль отклонения, максимальную дисперсию и минимальный коэффициент корреляции между измеренным комплексным коэффициентом передачи и образцовым. Эти критерии позволяют осуществлять эффективный контроль качества, и применимы к большинству производимых на сегодняшний день пьезорезонансных датчиков.

Заключение

В настоящей работе по результатам теоретических и экспериментальных исследований были разработаны метод и средство для контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи. На основе анализа результатов диссертационной работы получены следующие выводы и рекомендации.

1. На основе анализа существующих параметров и действующих стандартов было установлено, что существующие параметры, приведенные в ГОСТ 18669-73, ГОСТ 21712-83 и ГОСТ 27124-86, не в полной мере описывают поведение пьезорезонансного датчика как средства измерения и контроля. Предложено ввести новый контролируемый параметр - комплексный коэффициент передачи. Предложенный параметр необходим для описания работы пьезорезонансного датчика как средства измерения в соответствие с требованиями ГОСТ 8.009-84. Использование комплексного коэффициента передачи позволяет выявлять различия пьезорезонансных датчиков, имеющих одинаковые паспортные данные.

2. Разработаны два метода измерения комплексного коэффициента передачи по акустическим колебаниям поверхности пьезорезонансного датчика. Метод, в основу которого положено дискретное преобразование Фурье, рекомендуется для измерений в широком диапазоне частот с большим шагом по частоте, а также в случае необходимости определения только модуля комплексного коэффициента передачи. Этот метод целесообразно применять для экспресс-анализа комплексного коэффициента передачи. Для высокоточного измерения комплексного коэффициента передачи в узком частотном диапазоне рекомендуется метод, использующий дискретные резонаторы второго порядка, которые способны выделять из сигнала гармоники с частотой, равной резонансной частоте.

3. Моделирование оптико-электронной системы для измерения микроперемещений показало, что максимальная чувствительность и линейность зависимости сигнала на выходе фотоприемного устройства от искомого колебания поверхности пьезорезонансного датчика обеспечивается прямоугольным окном фотоприемника с размерами (Зая)х(6ау), где ах и ау - размеры лазерного луча по соответствующим осям и уровню 0,606 от максимальной интенсивности. Граница окна фотоприемника по оси л: располагается в точке максимальной интенсивности лазерного луча, при этом точка максимальной интенсивности по оси у должна приходиться на середину окна. При указанных размерах окна фотоприемника погрешность начальной установки может лежать в пределах ±0,5^, ±0,5ау по осям хну соответственно, что обеспечивает относительную систематическую погрешность выходного сигнала не более 2%.

4. Экспериментально получена величина абсолютной погрешности измерительной системы, которая составила 0,2 мкм. Теоретические расчеты хорошо согласуются с полученным результатом.

5. Разработан метод точного определения фазовой составляющей комплексного коэффициента передачи, отличающейся низкими вычислительными затратами и высокой помехозащищенностью.

6. Разработаны методы уменьшения влияния внешних факторов, таких как электрические шумы и фоновая засветка, что позволяет эксплуатировать измерительную систему для контроля качества пьезорезонансных датчиков не только в лабораторных условиях, но и в условиях производства.

7. Предложен метод контроля качества пьезорезонансных датчиков по комплексному коэффициенту передачи. В качестве критериев контроля предлагается использовать допуск на максимальный модуль отклонения, максимальную дисперсию и минимальный коэффициент корреляции между измеренным комплексным коэффициентом передачи и образцовым. Эти критерии позволяют осуществлять эффективный контроль качества, и применимы к большинству производимых на сегодняшний день пьезорезонансных датчиков.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Воронов, Александр Сергеевич, 2007 год

1. Erofeev A. Diagnostics of dielectric materials and measurement their physical parameters / A. Erofeev, F. F. Legusha, S. 1. Pugachiov // ULTRAGAR-SAS. - 1999. - Vol 33, No3.-P. 7-10.

2. Laser beam shaping theory and techniques / edited by F.M. Dickey, S.C. Holswade. New York: Marcel Dekker, Inc., 2000.

3. Lee E.A. Structure and interpretation of signals and systems / E.A. Lee, P. Varaiya. Berkeley: Electrical Engineering & Computer Science University of California, 2000.

4. Motchenbacher C.D. Low-noise electronic system design / C.D. Motchen-bacher, J.A. Connelly. Canada.: John Wiley & Sons, Inc., 1993.

5. Nyce D.S. Linear position sensors theory and applications / D.S. Nyce. -Canada.: John Wiley & Sons, Inc., 2004.

6. Абрамовиц M. Справочник по специальным функциям / M. Абрамович, И. Стиган. М.: Наука, 1979.

7. Автоматизированная система исследований форм колебаний объектов / Г.Г. Позняк и др. // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2004. - № 11. - С. 12 - 16.

8. Акустотермооптический метод исследования физических свойств пье-зокерамических материалов /А.В. Бочагов и др. // Сб. докладов МНПК: "Пьезотехника-97". Обнинск, 1997. - С. 270.276.

9. Алексенко А. Г. Применение прецизионных аналоговых ИС / А. Г. Алексенко, Е. А. Коломбет, Г. И. Стародуб. М.: Сов. радио, 1980.

10. Артюхина JT.B. Автоматизация исследований и контроля параметров пьезокерамических резонансных датчиков в технологическом процессе их опытного производства: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. Томск: Изд-во СГТИ, 2002.

11. Афонин С.М. Программно-аппаратные средства системы моделирования характеристик пьезодвигателя наноперемещений / С.М. Афонин, П.С. Афонин // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2005. - №9. - С.34 - 36.

12. Балакирев М.К. Волны в пьезокристаллах / М.К. Балакирев, И.А. Ги-линский; отв. ред. С.В. Богданов. Новосибирск : Наука, 1982.

13. Бесконтактный датчик вибрации и прогиба вращающегося вала / В.М. Аранчук и др. // Датчики электрических и неэлектрических величин: тезисы докладов к первой Международной конференции «Датчик 93». -Барнаул, 1993.-С. 113-114.

14. Бессонов JI.A. Теоретические основы электротехники. Электрические цепи: учебник. 10-е изд. - М.: Гардарики, 2000.

15. Бриндли К. Измерительные преобразователи: справочное пособие: пер. с англ. М.: Энергоатомиздат, 1991.

16. Бродниковский A.M. Измерение амплитуды колебаний пьезоэлементов с помощью лазерного профилографа / A.M. Бродниковский, И.Ю. Криков // Измерительная техника. 1992. - №5. - С.20.

17. Букингем М. Шумы в электронных приборах и системах: пер. с англ. -М.: Мир, 1986.

18. Бур дин Б.В. Фотоэлектрические датчики для контроля малых перемещений / Б.В. Бурдин, В.А. Гриценко // Датчики электрических и неэлектрических величин: тезисы докладов к первой Международной конференции «Датчик 93». Барнаул, 1993.-С. 135.

19. Венедиктов А.З. Принцип обработки сигналов вибрации в оптических измерителях виброперемещения / А.З. Венедиктов, О.В. Пальчик //

20. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2005. -№6. -С.54-56.

21. Вентцель Е.С. Теория вероятностей: учебник для вузов. 6-е изд., стер. - М.: Высш. шк., 1999.

22. Вибрации в технике: справочник В 6 т. Т.5. Измерения и испытания / В.В Алесенко и др.; под. ред. М.Д. Генкина. М.: Машиностроение, 1981.

23. Вклеб Г. Датчики: пер. с нем. М.: Мир, 1989.

24. Волоконно-оптические датчики: пер. с япон. / Т. Окоси и др.; под ред. Т. Окоси. JL: Энергоатомиздат, 1990.

25. Воронов А.С. Виртуальная система контроля комплексного коэффициента передачи пьезоэлементов // Ползуновский альманах. Барнаул, 2006.-№4.-С. 14-17.

26. Воронов А.С. Оптико-электронная измерительная система для определения комплексного коэффициента передачи пьезоэлементов / А.С. Воронов, С.П. Пронин // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2007. - №3. - С.56-59.

27. Воронов А.С. Реакция неселективного датчика на многочастотный гармонический тестовый сигнал / А.С. Воронов, B.C. Цуриков, С.П. Пронин // Ползуновский альманах. Барнаул, 2006. - №4. - С. 18-20.

28. Воронов А.С. Теоретическое и экспериментальное исследование амплитудно-частотных и фазочастотных характеристик пьезоэлементов / А.С. Воронов, B.C. Цуриков, С.П. Пронин // Вестник АлтГТУ. Барнаул, 2006.-№2.-С. 73-74.

29. Воронов А.С. Цуриков B.C., Пронин С.П. Программа для ЭВМ Программный анализатор (Анализатор). Свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ, №2006610724. Дата регистр. 22.02.2006.

30. Восстановление фазы волнового фронта на основе одномерного преобразования Фурье / В.И. Гужков и др. // Автометрия,- 1992 №6. - С. 21-24.

31. Гоноровский И.С. Радиотехнические цепи и сигналы : учеб. пособие для вузов. 5-е изд., испр. и доп. - М.: Дрофа, 2006.

32. ГОСТ 11859- 66. Анализаторы гармоник. Методы и средства поверки. -М: Изд-во стандартов, 1986.

33. ГОСТ 18669-73. Резонаторы пьезоэлектрические. Термины и определения. -М: Изд-во стандартов, 1979.

34. ГОСТ 4.447- 86. Приборы контрольно-измерительные оптико-механические для измерения линейных размеров. Номенклатура показателей. М: Изд-во стандартов, 1986.

35. ГОСТ 8.009-84. Нормирование и использование метрологических характеристик средств измерений. М: Изд-во стандартов, 1985.

36. ГОСТ 8.050-73. Нормальные условия выполнения линейных и угловых измерений. М: Изд-во стандартов, 1973.

37. Гофман В. Delphi 6 / В. Гофман, А. Хомоненко. СПб.: БХВ-Петербург, 2002.

38. Грабовски Б. Краткий справочник по электронике: пер. с фр. М.: ДМК Пресс, 2001.

39. Дедушенко К.Б. Лазерный датчик микроперемещений / К.Б. Дедушен-ко, А.Н. Мамаев, И.В. Николаев // Датчики электрических и неэлектрических величин: тезисы докладов к первой Международной конференции «Датчик 93». Барнаул, 1993.-С. 175.

40. Добрынин С.А. Методы автоматизированного исследования вибрации машин: справочник / С.А. Добрынин, М.С. Фельдман, Г.И. Фирсов-М.: Машиностроение, 1987.

41. Зеленка И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и поверхностных акустических волнах: материалы, технология, конструкция, применение: пер. с чешек. М.: Мир, 1990.

42. Ивченко В.Д. Применение нейросетевых технологий в различных областях науки и техники / В.Д. Ивченко, С.С. Кананадзе // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2005. - №6. - С.28 - 29.

43. Ишанин Г.Г. Приемники излучения оптических и оптико-электронных приборов.-JI.: Машиностроение, 1986.

44. Ишинбаев Н.А. Измерительные системы с неселективными датчиками // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2004. -№8. - С.44.

45. Калман Р. Очерки по математической теории систем: пер. с англ. Э.Л. Наппельбаума / Р. Калман, П. Фабл, М. Арбиб; под. ред. ЯЗ. Цыпкина. -М.: Мир, 1971.

46. Клаассен К.Б. Основы измерений. Электронные методы и приборы в измерительной технике: пер. с англ. М.: Постмаркет, 2000.

47. Климков Ю.М. Основы расчета оптико-электронных приборов с лазерами. -М.: Сов. радио, 1978.

48. Краткий справочник для инженеров и студентов: Высшая математика. Физика. Теоретическая механика. Сопротивление материалов. / А.Д. Полянин и др. М.: Международная программа образования, 1996.

49. Креопалова Г.В. Оптические измерения / Г.В. Креопалова, Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев. -М.: Машиностроение, 1987.

50. Кузнецов Ю.А. Физические принципы действия полупроводниковых многоэлементных приемников оптического излучения / Ю.А. Кузнецов, А.Б. Ушаков. -М.: Электроника, 1978.

51. Кукуш В.Д. Электрорадиоизмерения: учеб. пособие для вузов. М.: Радио и связь, 1985.

52. Лавриенко В.В. Пьезоэлектрические трансформаторы. М: Энергия, 1975.

53. Лазерная и голографическая интерферометрия при вибрационных исследованиях сложных пространственных конструкций / Ю.В. Худяков и др. // Приборы и техника эксперимента. 2003. - № 2. - С. 122-126.

54. Лачин В.И. Электроника: учеб. пособие / В.И. Лачин, Н.С. Савелов. -Ростов-н/Д: Феникс, 2000.

55. Левшина Е.С. Электрические измерения физических величин. Измерительные преобразователи: учеб. пособие для вузов по спец. "Инфор-мац.-измерит. техника" / Е.С. Левшина, П.В. Новицкий. Л.: Энерго-атомиздат, 1983.

56. Легуша Ф.Ф. Измерение электрофизических параметров пьезокерамики акустотермооптическим методом / Ф.Ф. Легуша, Ф.Ф.-мл. Легуша, С.И. Пугачев // Сб. докладов МНПК: "АПЭП-98". Новосибирск, 1998. -Т. 10.-С. 77-78.

57. Макаров Л.О. Акустические измерения в процессах ультразвуковой технологии. М.: Машиностроение, 1983.

58. Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Энергоатомиздат, 1989.

59. Масленников С.В. Прецизионный датчик положения / С.В. Масленников, А.Г. Фомин, Г.И. Ананьев // Датчики электрических и неэлектрических величин: тезисы докладов к первой Международной конференции «Датчик 93». Барнаул, 1993.-С. 150-151.

60. Махов А.А. Виброизмерительная система на основе световолоконного датчика перемещений / А.А. Махов, Г.Г. Позняк // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, 2004. №1. - С.53.

61. Мирошников М.М. Теоретические основы оптико-электронных приборов: учеб. пособие для вузов. Л.: Машиностоение, 1977.

62. Мирский Г.Я. Электронные измерения. 4-е изд., перераб. и доп. - М.: Радио и связь, 1986.

63. Морозов А.И. Пьезоэлектрические преобразователи для радиоэлектронных устройств / А.И. Морозов, В.В. Проклов, Б.А. Станковский. -М.: Радио и связь, 1981.

64. Мосягин Г.М. Теория оптико-электронных систем: учебник для студентов вузов по оптическим специальностям / Г.И. Мосягин, В.Б. Немти-нов, Е.Н. Лебедев. -М.: Машиностроение, 1990.

65. Оптико-электронные приборы для научных исследований: учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / JI.A. Новицкий и др.; под ред. JI.A. Новицкого. М.: Машиностроение, 1986.

66. Основополагающие стандарты в области метрологического обеспечения. М: Изд-во стандартов, 1981.

67. Основы оптоэлектроники: пер. с яп. / Суэмацу Я. и др. М.: Мир, 1988.

68. Островский Ю.И. Голографическая интерферометрия / Ю.И. Островский, М.М. Бутусов, Г.В. Островская. М.: Наука, 1977.

69. Парвулюсов Ю. Б. Проектирование оптико-электронных приборов: учеб. пособие для втузов / Ю.Б. Парвулюсов, В.П. Солдатов, Ю.Г. Якушенков; под общ. ред. Ю.Г. Якушенкова. М.: Машиностроение, 1990.

70. Петров Ю.П. Параметрический LCR датчик // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2004. -№11.- С.39.

71. Плотников С.В. Сравнение методов обработки сигналов в триангуляционных измерительных системах // Автометрия. 1995. - №6. - С. 5863.

72. Полупроводниковые фотоприемники: ультрафиолетовый, видимый и ближний инфракрасный диапазоны спектра / И. Д. Анисимова и др.; под ред. В. И. Стафеева. М.: Радио и связь, 1984.

73. Порфирьев Л.Ф. Основы теории преобразования сигналов в оптико-электронных системах: учебник для приборостроит. спец. вузов. JL: Машиностроение, 1989.

74. Потапов С.П. Балансировка шпинделей особо точных токарных станков: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. М.: РУДН, 1994.

75. Приборы и системы для измерения вибрации, шума и удара: справочник В 2 кн. Кн. 1 / Р.В. Васильева и др.; под ред. В.В. Клюева. М.: Машиностроение, 1978.

76. Приборы и системы для измерения вибрации, шума и удара: справочник В 2 кн. Кн. 2 / А.С. Больших и др.; под ред. В.В. Клюева. М.: Машиностроение, 1978.

77. Применение интегральных микросхем: практическое руководство. В 2 кн. Кн. 1.: пер. с англ. / П. Бредшо и др.; под ред. А. Уильямса. М.: Мир, 1987.

78. Розанов Ю.А. Случайные процессы. 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Наука, 1979.

79. Рыбин Ю.К. Условия возбуждения и установления синусоидальных автоколебаний в RC-генераторах // Извест. Томск, политех, ун-та. 2003. -Т. 306,№3,-С. 77-83.

80. Савельев И.В. Курс общей физики: учеб. пособие для втузов В 5 кн. Кн. 4. Волны. Оптика. 4-е изд., перераб. - М.: Наука, 1998.

81. Сверхвысокочастотный автодинный измеритель параметров вибраций / Д.А. Усанов и др. // Приборы и техника эксперимента. 2004. - № 5. -С. 130-134.

82. Седалищев В.Н. Дифференциальные пьезотрансформаторные измерительные преобразователи / В.Н. Седалищев П.И. Госьков // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2006. - №7. - С.42 - 43.

83. Седалищев В.Н. Измерительные устройства, основанные на реализации режимов связанных колебаний в пьезорезонансных датчиковых структурах // Ползуновский вестник. 2006. - №2. - С.264 - 270.

84. Седалищев В.Н. Использование связанных колебаний в пьезорезонансных датчиковых структурах // Измерительная техника. 2006. - №3. -С.59-61.

85. Седалищев В.Н. Особенности конструирования пьезоэлектрических измерительных устройств на связанных колебаниях // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2006. - №4. - С.44 - 46.

86. Седалищев В.Н. Оценка эффективности использования связанных колебаний в пьезорезонансных измерительных устройствах // Измерительная техника. 2006. - №8. - С.57 - 59.

87. Седалищев В.Н. Пьезорезонансные датчики на связанных колебаниях // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2005. -№11.-С.41 -43.

88. Седалищев В.Н. Устройство для измерения уровня сыпучих материалов // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2006. -№6.-С.49-50.

89. Сергиенко А.Б. Цифровая обработка сигналов: учебник для вузов. 2-е изд.-СПб.: Питер, 2006.

90. Смирнов Р.А. Измерительный усилитель: учебное пособие по курсовому проектированию для студентов специальности 19.01 по курсу «Электроника в приборостроении» / Алт. гос. техн. ун-т им. И.И. Ползу нова. Барнаул: Изд-во АлтГТУ, 2005.

91. Справочник по радио-измерительным приборам / Ю.С. Гаврилов и др. -М.: Энергия, 1976.

92. Терешин Г.М. Радио-измерения. М: Энергия, 1968.

93. Фолкенбери Jl. Применение операционных усилителей и линейных ИС: пер. с англ. М.: Мир, 1985.

94. Шермергор Т.Д. Пленочные пьезоэлектрики / Т.Д. Шермергор, Н.Н. Стрельцова. -М.: Радио и связь, 1986.

95. Шипачев B.C. Высшая математика: учебник для вузов. 4-е изд., стер. -М.: Высш. школа, 1998.

96. Якушенков Ю.Г. Основы оптико-электронного приборостроения: учебник для вузов. М.: Сов. радио, 1977.

97. Якушенков Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов: учебник для студентов вузов. 4-е изд., перераб. и доп. - М.: Логос, 1999.