Коррекция хроматизма изображающих рефракционно-дифракционных оптических систем тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат физико-математических наук Левин, Илья Анатольевич

• Левин, Илья Анатольевич
• кандидат физико-математических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Левин, Илья Анатольевич

ОГЛАВЛЕНИЕ

ОГЛАВЛЕНИЕ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. Возможности, методы и степени коррекции хроматизма рефракционных и дифракционных линз, а также оптических систем на их основе

1.1 Сравнительный анализ хроматизма дифракционных и рефракционных линз

1.2 Коррекция хроматизма положения линзовых изображающих оптических систем

1.3 Оптические стёкла и пластмассы при суперахроматизации объективов с рефракционными и рефракционно-дифракционными корректорами хроматизма 27 Выводы

Глава 2. Расчёт и исследование пластмассово-линзовых объективов с различной степенью коррекции хроматизма

2.1 Расчёт дифракционно-рефракционного корректора

2.2 Модернизация схемы и исследование объектива-ахромата

2.3 Расчёт и исследование объектива-апохромата

2.4 Расчёт и исследование объектива-суперахромата

2.5 Эффективность рельефно-фазовых дифракционных элементов при малом числе зон Френеля 70 Выводы

Глава 3. Принципы построения и методика расчёта изображающих дифракционно-рефракционных оптических систем глубокого ультрафиолетового диапазона

3.1 Тенденция развития и основные требования к фотолитографической

оптике

3.2 Параксиальный расчёт дважды телецентрических дифракционно-линзовых объективов

3.3 Коррекционные возможности дважды телецентрических дифракционно-линзовых объективов-монохроматов

3.4 Метод подавления хроматизма дифракционно-линзовых объективов глубокого ультрафиолетового диапазона 102 Выводы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

ГУФ-излучение - глубокое ультрафиолетовое излучение

ДА - дифракционная асферика

ДЛ - дифракционная линза

ДОЭ - дифракционный оптический элемент

ДРК - дифракционно-рефракционный корректор

ДЭ - дифракционная эффективность

ЗПФ - зонная пластинка Френеля

ИК-излучение - инфракрасное излучение

КХ - корректор хроматизма

РЛ - рефракционная линза

СПЛ - силовая положительная линза

ЧКХ - частотно-контрастная характеристика

АСМЫС - акрил

РММА - полиметилметакрилат

РОЬУСАЯВ - поликарбонат

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Коррекция хроматизма изображающих рефракционно-дифракционных оптических систем»

ВВЕДЕНИЕ

Диссертация посвящена анализу возможностей коррекции хроматизма рефракционно-дифракционных оптических систем; разработке оптических схем, расчёту и исследованию таких систем, предназначенных для формирования изображения протяженных объектов в полихроматическом и квазимонохроматическом излучении.

Совершенствование оптических систем и освоение нетрадиционных для оптики спектральных областей требует новых подходов к коррекции хроматизма, т.е. зависимости характеристик оптической системы, а следовательно, и качества изображения от длины волны. Наиболее распространённым приёмом коррекции хроматизма стеклянно-линзовых систем оптического диапазона является использование стёкол с отличающимися значениями коэффициента дисперсии [1-5]. Однако, в ряде случаев, например, когда требуется достичь высокой степени коррекции хроматизма невозможно обойтись без использования оптических материалов с особыми спектральными характеристиками, которые, как правило, являются весьма дорогими и не технологичными [2, 6, 7]. С другой стороны, включение в оптическую систему наряду с рефракционными линзами дифракционных оптических элементов, осуществляющих преобразования волнового фронта в результате дифракции электромагнитной волны на микроструктуре элемента, позволяет упростить схему и отказаться от использования необычных оптических материалов [8-16]. В частности, такое решение предложено для подавления, так называемого вторичного спектра, или апохроматизации оптической системы [7, 9, 13, 14, 17, 18]. Развитием этого решения явилась разработка метода, предполагающего достижение апохроматизации или даже суперахроматизации путём введения в оптическую систему, состоящую из рефракционных линз, дифракционно-рефракционного корректора, включающего дифракционную линзу и одну или две рефракционные линзы [15, 16].

Переход от чисто рефракционной к рефракционно-дифракционной схеме оптической системы может оказаться особенно эффективным при разработке компактных объективов для массовых видеокамер наблюдения и мобильных телефонов. Сочетание требований низкой стоимости и весьма высоких оптических характеристик объективов рассматриваемого класса обуславливает целесообразность изготовления элементов их оптических схем из пластмасс, так как современные методы формообразования на основе прецизионной штамповки позволяют легко тиражировать пластмассовые линзы с асферическими преломляющими поверхностями и, кроме того, при необходимости штамповать эти поверхности с дифракционным микрорельефом [19-24]. Вышеизложенное определяет несомненную актуальность развития и адаптации метода использования дифракционно-рефракционного корректора применительно к пластмассово-линзовым объективам.

Проблема построения оптических систем на базе рефракционных линз ещё более усугубляется при переходе в коротковолновую часть электромагнитного спектра и, в частности, в вакуумную ультрафиолетовую область. Здесь каталог используемых материалов ограничен лишь несколькими единицами [25-27]. В качестве альтернативы рефракционным линзам в этой спектральной области могут рассматриваться дифракционные оптические элементы. Однако оптические системы, включающие силовые дифракционные элементы обладают значительным хроматизмом. В области его коррекции и в нашей стране и за рубежом сделаны лишь первые шаги [28, 29], поэтому разработка методов коррекции хроматизма оптических систем с силовыми дифракционными элементами также весьма актуальна.

Вышеперечисленное и обусловило выбор цели и задач, решаемых в настоящей диссертации.

Цель диссертационной работы - анализ возможностей коррекции хроматизма рефракционно-дифракционных оптических систем; разработка оптических схем, расчёт и исследование таких систем, предназначенных для

формирования изображения протяженных объектов в полихроматическом и квазимонохроматическом излучении.

В соответствии с поставленной целью определены основные задачи диссертационной работы:

1. Исследовать связь комбинаций оптических материалов рефракционных линз с их оптическими силами при коррекции хроматизма рефракционных и рефракционно-дифракционных оптических систем.

2. Исследовать возможность достижения заданной степени коррекции хроматизма в пластмассово-линзовых объективах путём включения в его оптическую схему дифракционно-рефракционного корректора.

3. Разработать оптические схемы компактных рефракционно-дифракционных пластмассово-линзовых объективов, способных формировать высококачественное изображение в полихроматическом излучении, включающем видимый и ближний инфракрасный спектральные диапазоны; произвести компьютерный расчёт и исследование этих объективов.

4. Разработать методику оценки и провести исследования влияния рельефа вращательно-симметричной микроструктуры, числа зон Френеля и функции распределения фазовой задержки линзоподобного дифракционного элемента на его дифракционную эффективность и качество формируемого элементом волнового фронта.

5. Исследовать возможность и оценить эффективность коррекции хроматических аберраций литографических дифракционно-линзовых объективов, обусловленных конечной шириной спектральных линий вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров.

Научная новизна диссертационной работы заключается в том, что в ней впервые:

1. Исследована суперахроматизация оптических систем, проведённая с охватом свыше тысячи наименований марок стёкол и оптических пластмасс, и, в частности, показано, что в случае оптических систем, рефракционные линзы которых выполнены из технологичных и коммерчески доступных пластмасс,

переход от чисто рефракционной к рефракционно-дифракционной схеме позволяет уменьшить максимальную по модулю оптическую силу корректирующих рефракционных линз в 2,3 ... 2,8 раза.

2. Теоретически показано, что включение дифракционно-рефракционного корректора в схему пластмассово-линзового объектива позволяет достичь требуемой степени коррекции хроматизма положения при минимальном числе рефракционных линз, входящих в состав корректора. При ахроматизации - это одна рефракционная линза, выполненная из того же кроноподобного оптического материала, что и весь объектив в целом, при апохроматизации -это также одна рефракционная линза, но выполненная из флинтоподобного материала. Суперахроматизация требует использования в дифракционно-рефракционном корректоре как минимум двух рефракционных линз, материалами которых является кроно-флинтоподобная пара.

3. Разработаны схемы компактных высокоразрешающих рефракционно-дифракционных объективов, рефракционные линзы которых выполнены из наиболее технологичных и коммерчески доступных оптических пластмасс только двух марок. Благодаря высокой степени коррекции хроматизма объективы работают в расширенном спектральном диапазоне, включающем видимое и ближнее инфракрасное излучение. Произведён компьютерный расчёт данных объективов и их исследование, которое показало, что в пределах углового поля зрения до 60° при освещении объектов полихроматическим излучением объективы обеспечивают пространственное разрешение не менее 150 мм"1, а при монохроматической ИК-подсветке разрешение составляет не менее 127 мм"1.

4. Исследовано влияние рельефа вращательно-симметричной микроструктуры, числа зон Френеля и функции распределения фазовой задержки линзоподобного дифракционного элемента на его дифракционную эффективность и качество формируемого элементом волнового фронта. Получены уравнения рельефов микроструктур таких элементов, которые независимо от числа зон Френеля обеспечивают совпадающую с расчётной

форму формируемого волнового фронта, а также близкую к 100% дифракционную эффективность на одной длине волны. В случае двухслойных структур эти рельефы, кроме того, обеспечивают минимальное (примерно до 98%) падение дифракционной эффективности в пределах всего видимого спектрального диапазона.

5. Показано, что хроматизм положения и сферохроматизм дважды телецентрических объективов, состоящих из дифракционных линз, обусловленный конечной шириной спектральной линии глубокого ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров, можно снизить до уровня, при котором качество формируемого изображения практически не отличается от дифракционно ограниченного. Это достигается благодаря тому, что микроструктуры дифракционных линз выполнены на асферических поверхностях подложек, изготовленных из одного оптического материала, например, кварца.

Практическую значимость составляют разработанные схемные решения и продемонстрированные потенциальные возможности простых по конструкции объективов с дифракционными линзами, создающие условия для расширения элементной базы оптики в таких областях её применения как цифровые камеры и ультрафиолетовая литография. Полученные в диссертации уравнения рельефов вращательно-симметричных микроструктур линзоподобных дифракционных элементов, обеспечивающих (независимо от числа зон Френеля) совпадающую с расчётной форму формируемого волнового фронта и близкую к 100% дифракционную эффективность на одной длине волны, а в случае двухслойных структур минимальное падение дифракционной эффективности в широком спектральном диапазоне, включающем видимое и ближнее инфракрасное излучение.

На защиту выносятся:

1. Результаты исследования суперахроматизации оптических систем, проведённого с охватом свыше тысячи наименований марок стёкол и оптических пластмасс и показавшего, в частности, что в случае оптических

систем, рефракционные линзы которых выполнены из технологичных и коммерчески доступных пластмасс, переход от чисто рефракционной к рефракционно-дифракционной схеме позволяет уменьшить максимальную по модулю оптическую силу корректирующих рефракционных линз в 2,3 ... 2,8 раза.

2. Оптические схемы и конструктивные параметры компактных высокоразрешающих рефракционно-дифракционных объективов, рефракционные линзы которых выполнены из наиболее технологичных и коммерчески доступных оптических пластмасс только двух марок. Благодаря высокой степени коррекции хроматизма объективы работают в расширенном спектральном диапазоне, включающем видимое и ближнее инфракрасное излучение и в пределах углового поля зрения до 60° при освещении объектов полихроматическим излучением обеспечивают пространственное разрешение не менее 150 мм"1, а при монохроматической ИК-подсветке - не менее 127 мм"1.

3. Результаты исследования влияния рельефа вращательно-симметричной микроструктуры, числа зон Френеля и функции распределения фазовой задержки линзоподобного дифракционного элемента на его дифракционную эффективность и качество формируемого элементом волнового фронта. Уравнения рельефов однослойных и двухслойных двухрельефных микроструктур, обеспечивающих независимо от числа зон Френеля совпадающую с расчётной форму формируемого волнового фронта, а также близкую к 100% дифракционную эффективность на одной длине волны в случае однослойных структур и минимальное (примерно до 98%) падение дифракционной эффективности в пределах всего видимого спектрального диапазона в случае двухслойных двухрельефных структур.

4. Метод коррекции хроматических аберраций дифракционно-линзовых объективов, рассчитанных на излучение эксимерных лазеров, позволяющий снизить аберрации до приемлемого уровня, благодаря тому, что микроструктуры дифракционных линз выполняются на асферических

поверхностях подложек, изготовленных из одного оптического материала, например, кварца.

5. Оптическая схема и конструктивные параметры дважды телецентрического объектива глубокого ультрафиолетового диапазона, состоящего из пяти дифракционно-рефракционных компонентов и одной рефракционной линзы, имеющего оптические характеристики, сопоставимые с характеристиками традиционных фотолитографических объективов, содержащих более двадцати рефракционных линз. Объём и структура диссертации:

Диссертация состоит из введения, трёх глав, заключения и списка использованных источников. Общий объём составляет 132 страницы машинописного текста, 40 рисунков, 29 таблиц и 121 библиографическая ссылка.

По материалам диссертации опубликовано 16 печатных работ, в том числе 6 статей в журналах, рекомендованных ВАК, 1 статья в других журналах, 9 статей в сборниках трудов конференций, а также получены 1 патент на изобретение и 1 свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ.

Основные результаты работы докладывались на:

- Международной конференции с элементами научной школы для молодежи «Перспективные информационные технологии для авиации и космоса», г. Самара, 2010 г.;

- VIII Всероссийской научно-технической конференции «Современные охранные технологии и средства обеспечения комплексной безопасности объектов», г. Пенза, 2010 г.;

- Научно-технической конференции-семинаре по фотонике и информационной оптике в рамках научной сессии НИЯУ МИФИ-2011, г. Москва, 2011 г.;

- 8-ой Международной научно-практической конференции «Голоэкспо-2011», г. Минск, Беларусь, 2011 г.;

- VII Международной конференции молодых ученых и специалистов «Оптика-2011», г. Санкт-Петербург, 2011 г.;

- Всероссийской конференции по фотонике и информационной оптике в рамках научной сессии НИЯУ МИФИ-2012, г. Москва, 2012 г.;

- 9-й Международной конференции «ГолоЭкспо-2012» Голография. Наука и практика», г. Москва, 2012 г.;

- Международной конференции «Прикладная оптика - 2012», г. Санкт-Петербург, 2012 г.

Результаты, изложенные в диссертации, были получены при выполнении работ в рамках гранта Президента Российской Федерации по государственной поддержке научных исследований молодых российских учёных-докторов наук (грант МД-2293.2012.9) и ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 гг. Проект: Фокусирующая и изображающая дифракционная оптика полихроматического излучения. Государственный контракт № 16.740.11.0145.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Левин, Илья Анатольевич

Выводы

1. Анализ технических характеристик промышленно выпускаемых и разрабатываемых эксимерных лазеров для ГУФ-литографии показал, что фотолитографические объективы, скомпонованные на основе силовых ДЛ, необходимо рассчитывать под квазимонохроматическое излучение с шириной спектральной линии АХ = ±0,4 пм.

2. Анализ основных тенденций развития фотолитографии позволил выработать требования к оптическим характеристикам фотолитографических объективов:

- при габарите системы порядка 1500 мм и числовой апертуре не более 0,85 фотолитографический объектив должен формировать ортоскопическое изображение с четырёх-пяти кратным уменьшением в пределах поля диаметром 24-28 мм

- нормированная интенсивность в дифракционном фокусе не должна быть ниже 0,99 по всему полю изображения, что соответствует дифракционно-ограниченному качеству.

3. Предложенный метод параксиального расчёта, на основе аппарата матричной гауссовой оптики, позволяет получить начальные значения конструктивных параметров дважды телецентрических дифракионно-линзовых объективов.

4. Разработанная методика коррекции хроматизма, предполагающая введение в схему дважды телецентрического дифракионно-линзового объектива оптически слабых асферических подложек, позволяет расширить рабочий спектральный диапазон рассчитываемой системы до требуемых с точки зрения характеристик источников ГУФ-излучения значений.

5. Рассчитанный в рамках предложенного метода параксиального расчёта, а также методики коррекции хроматизма, фотолитографический объектив, состоящий из пяти дифракционно-рефракционных компонентов и одной рефракционной линзы, при расстоянии от плоскости предмета до плоскости изображения, равном 1440 мм, работающим с пятикратным уменьшением и числовой апертурой в пространстве изображений, равной 0,65, способен при использовании эксимерного лазера (X =0,193 мкм, АХ = ±0,4 пм) сформировать высококачественное изображение (разрешение по Рэлею, равное радиусу диска Эйри составляет 0,18 мкм, среднеквадратичная ошибка волнового фронта не превышает 0,008 длины волны излучения, интенсивность Штреля больше 0,99) диаметром 24 мм при дисторсии, не превышающей 3 нм. При этом максимальная пространственная частота микроструктур ДЛ, работающих во втором дифракционном порядке, не превышает 320 мм"1.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В соответствии с поставленными целью и задачами в диссертации выполнены работы и получены следующие основные результаты:

1. На основе исследования суперахроматизации оптических систем, проведённого с охватом свыше тысячи наименований марок стёкол и оптических пластмасс, продемонстрировано как трансформируются оптимальные комбинации оптических материалов рефракционных линз в зависимости от элементной базы, соотношения оптических сил коррекционного и силового компонентов системы, а также от величины хроматизма, который должен быть скомпенсирован. Показано, что в случае оптических систем, рефракционные линзы которых выполнены из технологичных и коммерчески доступных пластмасс, переход от чисто рефракционной к рефракционно-дифракционной схеме позволяет уменьшить максимальную по модулю оптическую силу корректирующих рефракционных линз в 2,3 . 2,8 раза.

2. Теоретически показано, что включение дифракционно-рефракционного корректора в схему пластмассово-линзового объектива позволяет достичь требуемой степени коррекции хроматизма положения при минимальном числе рефракционных линз, входящих в состав корректора. При ахроматизации - это одна рефракционная линза, выполненная из того же кроноподобного оптического материала, что и весь объектив в целом, при апохроматизации — это также одна рефракционная линза, но выполненная из флинтоподобного материала. Суперахроматизация требует использования в дифракционно-рефракционном корректоре как минимум двух рефракционных линз, материалами которых является кроно-флинтоподобная пара.

3. Рассчитан, исследован и запатентован компактный шестилинзовый пластмассово-линзовый объектив-апохромат с дифракционно-рефракционным корректором, предназначенный для работы в широком спектральном диапазоне от 0,4 мкм до 0,9 мкм. Объектив при фокусном расстоянии /'=3,71 мм, относительном отверстии 1:2,4 в пределах углового поля 2ю < 60° и максимальном угле наклона главного луча в пространстве изображений меньше 20° обеспечивает при контрасте Т =0,5:

-в видимом диапазоне от =0,48613 мкм до А,с =0,65626 мкм, пространственное разрешение не менее N=150 мм"1;

- в спектральном диапазоне от X,mjn =0,4 мкм до Атах =0,9 мкм, соответствующем естественному сумеречному освещению, пространственное разрешение не менее N=140 мм"1;

- при работе в ночное время с использованием искусственной ИК-подсветки светодиодным прожектором с максимумом излучения на длине волны А, =0,85 мкм пространственное разрешение не менее N=121 мм"1.

Дисторсия рассчитанного объектива-апохромата при всех видах освещения не превышает 1%, а остаточный продольный хроматизм не больше 5,5 мкм.

4. Исследовано влияние рельефа вращательно-симметричной микроструктуры, числа зон Френеля и функции распределения фазовой задержки линзоподобного дифракционного элемента на его дифракционную эффективность и качество формируемого элементом волнового фронта. Получены уравнения рельефов микроструктур таких элементов, которые обеспечивают независимо от числа зон Френеля совпадающую с расчётной форму формируемого волнового фронта, а также близкую к 100% дифракционную эффективность на одной длине волны. В случае двухслойных структур эти рельефы, кроме того, обеспечивают минимальное (примерно до 98%) падение дифракционной эффективности в пределах всего видимого спектрального диапазона.

5. Показано, что хроматизм положения и сферохроматизм дважды телецентрических объективов, состоящих из дифракционных линз, может быть скомпенсирован благодаря тому, что микроструктуры дифракционных линз выполнены на асферических поверхностях подложек, изготовленных из одного оптического материала, например, кварца. Разработана оптическая схема и рассчитан фотолитографический объектив, состоящий из пяти дифракционно-рефракционных компонентов и одной рефракционной линзы. Этот объектив

118 имеет габарит (расстояние между плоскостями предмета и изображения) равный 1440 мм, работает с пятикратным уменьшением при числовой апертуре в пространстве изображений, равной 0,65, и способен при использовании эксимерного лазера (Л, =0,193 мкм, АХ = ±0,4 пм) сформировать высококачественное изображение (разрешение по Рэлею, равное радиусу диска Эйри составляет 0,18 мкм, среднеквадратичная ошибка волнового фронта не превышает 0,01 длины волны излучения, интенсивность Штреля больше 0,99) диаметром 24 мм при дисторсии, не превышающей 3 нм. При этом максимальная пространственная частота микроструктур ДЛ, работающих во втором дифракционном порядке, не превышает 320 мм"1. При сопоставимых оптических характеристиках количество линз, входящих в рассчитанный объектив, как минимум в 4 раза меньше, чем у традиционных рефракционно-линзовых объективов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Левин, Илья Анатольевич, 2013 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ источников

1. Чуриловский, В.Н. Теория хроматизма и аберраций третьего порядка [Текст] / В.Н. Чуриловский. - Л.: Машиностроение, 1968. - 312 с.

2. Слюсарев, Г.Г. Методы расчета оптических систем [Текст] / Г.Г. Слюсарев. - Л.: Машиностроение, 1969. - 672 с.

3. Вычислительная оптика. Справочник [Текст] / М.М. Русинов, А.П. Грамматин, П.Д.Иванов и др. // Под ред. М.М. Русинова. - Л.: Машиностроение, 1984.-423 с.

4. Заказнов, Н.П. Теория оптических систем [Текст] / Н.П. Заказнов, С.И. Кирюшин, В.И. Кузичев. - М.: Машиностроение, 1992. - 448 с.

5. Smith, W.J. Modern optical engineering [Текст] / W.J. Smith. - New York: Mc Graw-Hill, 2000. - 617 p.

6. Rayces, J.L. Selection of glasses for achromatic doublets with reduced secondary spectrum. I. Tolerance conditions for secondary spectrum, spherochromatism, and fifth-order spherical aberration [Текст] / J.L. Rayces M. Rosete-Agilar H Applied Optics. - 2001. - Vol. 40, № 31. - P. 5663-5676.

7. Rosete-Agilar, M. Selection of glasses for achromatic doublets with reduced secondary spectrum. II. Application of the method for selecting pairs of glasses with reduced secondary spectrum [Текст] / M. Rosete-Agilar, J.L. Rayces // Applied Optics. - 2001. - Vol. 40, № 31. - P.5677-5692.

8. Ган, M.A. Теория и методы расчета голограммных и киноформных оптических элементов [Текст] / М.А. Ган. - Л.: ГОИ, 1984. - 140 с.

9. Stone, Т. Hybrid diffractive-refractive lenses and achromats [Текст] / Т. Stone, N. George // Applied Optics. - 1988. - Vol. 27, №4. - P. 2960-2971.

10. Gan, M.A. Optical systems with holographic and kinoform elements [Текст] / M.A. Gan // Proceedings SPIE. - 1989. - Vol. 1136. - P. 150-154.

11. Gan, M.A. Kinoforms long focal objectives for astronomy [Текст] / M.A. Gan //Proceedings SPIE. - 1990. - Vol. 1271. - P. 330-339.

12. Londono, С. The design of achromatized hybrid diffractive lens systems [Текст] / С. Londono, P.P. Clark // International Lens Design Conference, SPIE. - 1990. - Vol. 1354. - P. 30-37.

13. Gan, M.A. High-speed apo-lens with kinoform element [Текст] / M.A. Gan, I. Potyemin, A. Perveev // Proceeding of SPIE. - 1991. - Vol. 1574. - P. 243249.

14. Hui, X. Design of multi-layer diffractive lenses to correct secondary spectrum [Текст] / Xing Hui, Lin Wumei, Feng Jianmei, Liao Zhijie // Proceeding of SPIE. - 2008. - Vol. 6624. - P. 66240W-1-66240W-7.

15. Greisukh, G.I. Diffractive-refractive hybrid corrector for achro- and apochromatic corrections of optical systems [Текст] / G.I. Greisukh, E.G. Ezhov, S.A. Stepanov // Applied Optics. - 2006. - Vol. 45, №24. -P. 6137-6141.

16. Грейсух, Г.И. Дифракционно-рефракционный корректор третичного спектра [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, С.В. Казин, С.А. Степанов // Оптический журнал. - 2010. - Т. 77, №9. - С. 22-29.

17. Weng, Z. Design of zoom lens with binary optics [Текст] / Weng Zhicheng, Zhang Xin, Cong Xiaojie // Proceeding of SPIE. - 1995. - Vol. 2539. - P. 118127.

18. Zajac, M. Hybrid objective with corrected chromatism in visible spectrum [Текст] / M. Zajac, J. Nowak // Optica Applicata. - 2004. - Vol. XXXIV, №3. -P. 439-451.

19. Schaub, M.P. The design of plastic optical systems [Текст] / M.P. Schaub. -Bellingham: SPIE Press, 2009. - 230 p.

20. Handbook of Plastic Optics [Текст] / by ed. S. Baumer. - Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2005. - 189 p.

21. Handbook of Plastic Technologies [Текст] / by ed. C.A.Harper. - NY: Mc. Graw-Hill Co., 2006. - 612 p.

22. Modern plastics handbook [Текст] / by ed. C.A. Harper. - NY: Mc. Graw-Hill, 1999.- 1231 p.

23. Crawford, R.J. Plastics Engineering [Текст] / R.J. Crawford. - 3th ed. -Oxford: Butterworth Heinemann, 2002. - 230 p.

24. EdmundOptics: plastic hybrid aspheric lenses [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.edmundoptics.com/optics/optical-lenses/aspheric-lenses/plastic-hybrid-aspheric-lenses/3200

25. Анчуткин, B.C. Оптические материалы в проекционных оптических системах фотолитографических установок ГУФ-диапазона: современное состояние и тенденции в разработке и применении [Текст] /

B.C. Анчуткин, А.Б. Вельский // Прикладная физика. - 2009. - № 2. -

C. 139-147.

26. Ган, М.А. Перспективы развития оптической нанолитографии [Текст] / М.А. Ган, Р.П. Сейсян // Сб. тез. Междунар. форума по нанотехнологиям «RUSNANOTECH 08». - М., 2008. - С. 48-51.

27. Вельский, А.Б. Создание и аттестация флюорита. Перспективы разработки оптических систем для УФ фотолитографии [Текст] / А.Б. Вельский, М.А. Ган, И.А. Миронов // Международный оптический конгресс «Оптика-XXI век»: сб. трудов. - СПб.: СПбГУ ИТМО, 2006 -С. 9-17.

28. Farn, M.W. Diffractive doublets corrected at two wavelengths [Текст] / M.W. Farn, J.W.Goodman // J. Opt. Soc. Am. A. - 1991. - Vol.8, №6. -P. 860-867.

29. Грейсух, Г.И. Анализ возможностей ахроматизации оптических систем, состоящих из дифракционных элементов [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, С.В. Казин, С.А. Степанов // Компьютерная оптика. - 2010. - Т. 34, №2. -С. 187-193.

30. Бобров, С.Т. Оптика дифракционных элементов и систем [Текст] / С.Т. Бобров, Г.И. Грейсух, Ю.Г. Туркевич. - JL: Машиностроение, 1986. -223 с.

31. Кольер, Р. Оптическая голография [Текст] / Р. Кольер, К. Беркхарт, Л. Лин. - М.: Мир, 1973. - 686 с.

32. Ландсберг, Г.С. Оптика [Текст]: учеб. пособие для ВУЗов / Г.С. Ландсберг - 6-е изд. - М.: Наука. Физматлит, 2003. - 848 с. - ISBN 5-9221-0314-8.

33. ZEMAX: software for optical system design [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.radiantzemax.com

34. Geary, J.M. Introduction to lens design: with practical ZEMAX examples [Текст] / J.M. Geary. - Richmond: Willmann-Bell, Inc., 2002.-462 p.

35. Грейсух, Г.И. Сравнительный анализ хроматизма дифракционных и рефракционных линз [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, С.А. Степанов //Компьютерная оптика. - М.: МЦНТИ, 2005. - Вып. 28. - С. 60-65.

36. Greisukh, G.I. Optics of diffractive and gradient-index elements and systems [Текст] / G.I. Greisukh, S.T. Bobrov, S.A. Stepanov // Bellingham: SPIE Press, 1997.-414 p.

37. Борн, M. Основы оптики [Текст] / M. Борн, Э. Вольф. - М.: Наука, 1973. -720 с.

38. Чуриловский, В.Н. Теория оптических приборов [Текст] / В.Н. Чуриловский. - Л.: Машиностроение, 1966. - 565 с.

39. Герцбергер, М. Современная геометрическая оптика [Текст] / М. Герцбергер. - М.: Иностранная литература, 1962. - 487 с.

40. Herzberger, М. The design of superachromatic lenses [Текст] / M. Herzberger, N.R. Mc Clure // Applied Optics. - 1963. - Vol. 2, №6. - P. 553-560.

41. Волосов, Д.С. Фотографическая оптика [Текст] / Д.С. Волосов. - М.: Искусство, 1971.-671 с.

42. Maxwell, J. Tertiary spectrum manipulation in apochromats [Текст] / J. Maxwell // International Lens Design Conference, SPIE. - 1990. - Vol. 1354. -P. 408-411.

43. Handbook of Optics, Volume II: Devices, Measurements, and Properties [Текст] / Ed.-in-Cheif M. Bass. - 2nd ed. - NY: McGrawHill, 1995. -1495 p.

44. Ефимов, A.M. Оптические свойства материалов и механизмы их формирования [Текст]: учеб. пособие / A.M. Ефимов. - СПб: СПбГУИТМО., 2008. - 103 с.

45. Stephens, R.E. Selection of Glasses for Three-Color Achromats [Текст] / R.E. Stephens // JOSA A. - 1959. - Vol. 49. - P. 398-399.

46. Lessing, N. v. d. W. Selection of optical glasses in superachromats [Текст] / N.v.d.W. Lessing // Applied Optics. - 1970. - Vol. 9, №7. - P. 1665-1668.

47. Mercado, R.I. The design of apochromatic optical systems [Текст] / R.I. Mercado // International Lens Design Conference, SPIE. - 1985. -Vol. 554.-P. 217-227.

48. Mercado, R.I. Designs of two-glass apochromats and superachromats [Текст] / R.I. Mercado // International Lens Design Conference, SPIE. - 1990. -Vol. 1354.-P. 263-272.

49. Mercado, R.I. Designs of Apochromats and Superachromatic Objectives [Текст] / R.I. Mercado, L. Ryzhikov // International Optical Design Conference, SPIE. - 1998. - Vol. 3482. - P. 321-331.

50. Грейсух Г.И. Моделирование и исследование суперахроматизации рефракционных и рефракционно-дифракционных оптических систем [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, А.В. Калашников, С .А. Степанов // Компьютерная оптика. - 2012. - Т.36, № 3. - С. 395-404.

51. Грейсух Г.И. Пластмассово-линзовые микрообъективы для массовых видеокамер наблюдения [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Новые промышленные технологии. - 2010. - №6. - С. 5253.

52. Грейсух Г.И. Расчет пластмассово-линзовых микрообъективов для массовых видеокамер наблюдения [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Труды международной конференции с элементами научной школы для молодежи «Перспективные информационные технологии для авиации и космоса». - Самара: СГАУ, 2010.-С. 845-849.

53. Грейсух Г.И. Возможности суперахроматизации пластмассово-линзовых микрообъективов [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Труды международной конференции с элементами

научной школы для молодежи «Перспективные информационные технологии для авиации и космоса». - Самара: СГАУ, 2010. - С. 855-859.

54. Грейсух Г.И. Пластмассово-линзовые микрообъективы для массовых видеокамер наблюдения [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Материалы VIII всероссийской научно-технической конференции «Современные охранные технологии и средства обеспечения комплексной безопасности объектов». - Пенза: ПГУ, 2010. - С. 204-207.

55. Левин И.А. Методы коррекции хроматизма изображающих систем оптического диапазона [Текст] / И.А. Левин // Научная сессия НИЯУ МИФИ-2011. Научно-техническая конференция-семинар по фотонике и информационной оптике: сборник научных трудов. - М.: НИЯУ МИФИ, 2011.-С. 173-174.

56. Грейсух, Г.И. Компактные пластиковые вариообъективы с дифракционными элементами [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов,

A.B. Калашников, И.А. Левин, С.А. Степанов // Труды 9-й Международной конференции «ГолоЭкспо-2012» Голография. Наука и практика» - М: НИУ МГТУ им. Баумана, 2012.-С. 50-54.

57. Слюсарев, Г.Г. Расчет оптических систем [Текст] / Г.Г. Слюсарев. - Л.: Машиностроение, 1975. - 640 с.

58. Ильин, В.А. Линейная алгебра [Текст]: учеб. пособие для ВУЗов /

B.А. Ильин, Э.Г. Позняк. - 4-е изд. - М.: Наука. Физматлит, 1999. - 296 с. -(Курс высшей математики и мат. физики) - ISBN 5-02-015235-8.

59. Бегунов, Б.Н. Теория оптических систем [Текст] / Б.Н. Бегунов, П.П. Заказнов. - М.: Машиностроение, 1973. - 488 с.

60. Ган, М.А. Киноформные оптические элементы и их возможности при проектировании оптических систем для широкого спектрального диапазона [Текст] / М.А. Ган, И.И. Богатырева // Компьютерная оптика. -1987. - Вып. 1. - С. 67-74. - ISSN 0134-2452.

61. Грейсух, Г.И. Расчёт пластмассово-линзовых микрообъективов суперахроматов [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Компьютерная оптика. - 2011. - Т. 35, № 4. - С. 473-479.

62. Свид. 2011618480 Российская Федерация. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ. Дифракционно-рефракционный корректор / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, C.B. Казин, И.А. Левин, С.А. Степанов; заявитель и правообладатель ГОУ ВПО «Пензенский государственный университет архитектуры и строительства» (RU). - №2011616531; заявл. 30.08.2011; опубл. 27.10.2011, Реестр программ для ЭВМ.-1 с.

63. Ежов, Е.Г. Разработка схем и методик расчета центрированных оптических систем, включающих однородные линзы с асферическими поверхностями, дифракционные и градиентные элементы [Текст] : дис. ... доктора физ.-мат. наук : 01.04.05 / Ежов Евгений Григорьевич. - Самара, 2007. - 222 с.

64. Ежов, Е.Г. Высококачественный массовый микрообъектив для CCTV-систем [Текст]/ Е.Г. Ежов // Современные технологии безопасности. — 2006.-№3,4.-С. 12-15.

65. Vision Hi-tech [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.vision-hitech.ru/price.php

66. Lenses for industrial applications - standard and custom lens design from Universe Kogaku [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.ukaoptics.com/ccd.html

67. Бронштейн, И.Г. Выбор оптической схемы и расчет малогабаритных объективов для мобильных телефонов [Текст] / И.Г. Бронштейн, В.А. Зверев, И.Л. Лившиц, Kim Young-Gi, Kim Тае-Young, Jung Phil-Ho // Оптический журнал. - 2009. - T. 76, № 5. - С. 25-31.

68. OmniVision (Product Brief OV2643, OV3647, OV3650, OV5647, OV5690, OV9712) [Электронный ресурс]. - Режим доступа http://ovt.com/applications/application.php?id=3

69. Greisukh, G.I. Design of achromatic and apochromatic plastic microobjectives [Текст] / G.I. Greisukh, E.G. Ezhov, I.A. Levin, S.A. Stepanov // Applied Optics. - 2010. - Vol. 49, № 23. - P. 4379-4384.

70. Марешаль, А. Структура оптического изображения [Текст] / А. Марешаль, М. Франсон. - М.: Мир, 1964. - 295 с.

71. Videology Imaging Solutions Inc [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.videol9gyinc.com/lenses/megapixel-lenses.htm#megapixel-lenses=fixed

72. Савельев, М.Д. IP-камеры «день-ночь» [Текст] / М.Д. Савельев // Технологии защиты. - 2009. - № 6.

73. Пат. RU2464600C2 Российская Федерация. Пластмассово-линзовый объектив апохромат [Текст] / Г.И. Грейсух, С.А. Степанов, Е.Г. Ежов, О.А. Захаров, И.А. Левин; заявитель и патентообладатель ГОУ ВПО «ПТУАС». - Опубл. 20.10.2012.

74. HOYA FILTERS [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http ://www.hoyafi Iter, com/hoy a/products/general filters/uvircut/

75. RayLED [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.rayled.com/infrared-led-illuminator-raymax-50.html

76. Корольков, В.Н. Киноформы: новые элементы и оптические системы [Текст] / В.Н. Корольков, В.П. Коронкевич, И.А. Михальцова, И.Г. Пальчикова, А.Г. Полещук, А.Г. Седухин, А.П. Соколов, Е.Г. Чурин, Ю.И. Юрлов // Автометрия. - 1989. - № 4. - С. 47-64.

77. Levy, U. Efficiency analysis of diffractive lenses [Текст] / U. Levy, D. Mendlovic, E. Marom // JOS A A. - 2001. - Vol. 18, № 1. - P. 86-93.

78. O'Shea, D.C. Diffractive Optics: Design, Fabrication, and Test [Текст] / D.C. O'Shea, T.J. Suleski, A.D. Kathman, D.W. Prather // Bellingham: SPIE Press, 2003.-260 p.

79. Yang, L. Effects of manufacturing errors on diffraction efficiency for multilayer diffractive optical elements [Текст] / L. Yang, Q. Cui, T. Liu, C. Xue // Applied Optics. - 2011. - Vol. 50, № 32. - P. 6128-6133.

80. Методы компьютерной оптики [Текст]: учеб. для ВУЗов / A.B. Волков, Д.Л. Головашкин, Л.Л. Досколович и др. // Под ред. В.А. Сойфера. - 2-е изд., испр. - М.: Физматлит, 2003. - 688 с. - ISBN 5-9221-0434-9.

81. Дифракционная компьютерная оптика [Текст]: учеб. для ВУЗов / Д.Л. Головашкин, Л.Л. Досколович, Н.Л. Казанский и др. // Под ред.

B.А. Сойфера. - М.: Физматлит, 2007. - 736 с. - ISBN 978-5-9221-0845-4.

82. Грейсух Г.И. Эффективность рельефно-фазовых дифракционных элементов при малом числе зон Френеля [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, A.B. Калашников, И.А. Левин, С.А. Степанов // Оптика и спектроскопия. -2012. - Т. 113, № 4. - С. 468-473.

83. Грейсух, Г.И. Эффективность рельефно-фазовых дифракционных оптических элементов: новый подход [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, A.B. Калашников, И.А. Левин, С.А. Степанов // Труды 9-й Международной конференции «ГолоЭкспо-2012» Голография. Наука и практика» - М: НИУ МГТУ им. Баумана, 2012. - С. 9-14.

84. Слюсарев, Г.Г. Оптические системы с фазовыми слоями [Текст] / Г.Г. Слюсарев // ДАН СССР. - 1957. - Т. 113, № 4. - С. 780-782.

85. Пат. US6262846B1 США. Diffractive optical element and optical system having the same [Текст] / Takehiko Nakai; заявитель и патентообладатель Canon Kabushiki Kaisha, Tokyo, Japan; опубл. 17.07.2001.

86. Zhao, Y.H. The investigation of triple-layer diffraction optical element with wide field of view and high diffraction efficiency [Текст] / Y.H. Zhao, C.J.Fan,

C.F.Ying, S.H.Liu // Optics Communications. - 2013. - Vol. 295. - P. 104-107.

87. Грейсух, Г.И. Подавление спектральной селективности двухслойных рельефно-фазовых структур [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.А. Безус, Д.А. Быков, Е.Г. Ежов, С.А. Степанов // Оптика и спектроскопия. - 2009. - Т. 106, №4. -С. 694-699.

88. Brüning, J.H. Optical Lithography... 40 years and holding [Текст] / J.H. Brüning // Proceeding of SPIE. - 2007. - Vol. 6520. - P. 652004-1652004-13.

89. Matsuyama, Т. The Lithographic Lens: its history and evolution [Текст] / Т. Matsuyama, Y. Ohmura, D.M. Williamson // Proceeding of SPIE. - 2006. -Vol. 6154. - P. 615403-1-615403-14.

90. Ulrich W. Trends in Optical Design of Projection Lens for UV and EUV Lithography [Текст] / W. Ulrich, S. Beiersdoerfer, H.J. Mann // Proceeding of SPIE. - 2000. - Vol. 4146. - P. 13-24.

91. Пат. US7339743B2 США. Very-high aperture projection objective [Текст] / Karl-Heinz Schuster; заявитель и патентообладатель Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen, Germany; опубл. 4.03.2008.

92. Пат. US7408716B2 США. Refractive projection objective for immersion lithography [Текст] / Hans-Juergen Rostalski, Aurelian Dodoc, Alexander Epple, Helmut Beierl; заявитель и патентообладатель Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen, Germany; опубл. 5.08.2008.

93. Пат. US7869122B2 США. Catadioptric projection objective [Текст] / David Shafer, Wilhelm Ulrich, Aurelian Dodoc, Rudolf Von Buenau, Hans-Juergen Mann, Alexander Epple; заявитель и патентообладатель Carl Zeiss SMT AG, Oberkochen, Germany; опубл. 11.01.2011.

94. Пат. US7969663B2 США. Projection objective for immersion lithography [Текст] / Aurelian Dodoc, Wilhelm Ulrich, Hans-Juergen Rostalski; заявитель и патентообладатель Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, Germany; опубл. 28.01.2011.

95. Пат. US8068276B2 США. Projection objective for lithography [Текст] / Susanne Beder, Aurelian Dodoc, Alexander Epple, Hans-Juergen Rostalski; заявитель и патентообладатель Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, Germany; опубл. 29.10.2011.

96. Елецкий, A.B. Эксимерные лазеры [Текст] / А.В. Елецкий // Успехи физических наук. - 1978. - Т. 125, вып. 2 - С. 279-314.

97. Basting, D. Excimer Laser Technology [Текст] / D. Basting, G. Marowsky. -Berlin: Springer, 2005. - 433 p.

98. Injeyan, H. High-power laser handbook [Текст] / H. Injeyan, G.D. Goodno. -NY: McGraw-Hill, 2011. - 591 p.

99. Патент US2009296755A1 США. Laser system [Текст] / Daniel J. W. Brown, William N. Partió, Richard L. Sandstrom; заявитель и патентообладатель Cymer, Inc., San Diego, USA; опубл. 3.12.2009.

100. Coherent Inc. [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://www.coherent.com

101.NovaLine Lithography Lasers and EUV Sources [Электронный ресурс]. -Режим доступа: http://www.artisan-scientific.com/info/Lambda_K2000_Datasheet.pdf

102. Paetzel, R. Excimer lasers for superhigh NA 193-nm lithography [Текст] / R. Paetzel, H.S. Albrecht, P. Lokai, W. Zschocke, T. Schmidt, I. Bragin, T. Schroeder, C. Reusch // Proceeding of SPIE. - 2003. - Vol. 5040. - P. 16651671.

103. Бобров, C.T. Монохроматические аберрации дифракционной двухкомпонентной оптической системы [Текст] / С.Т. Бобров, Г.И. Грейсух // Оптика и спектроскопия. - 1980. - Т. 49, № 4. - С. 809-813.

104. Грейсух, Г.И. Коррекция монохроматических аберраций третьего порядка дифракционного двухлинзового объектива [Текст] / Г.И. Грейсух // Оптика и спектроскопия. - 1980. - Т. 49, № 6. - С. 1212-1215.

105. Грейсух, Г.И. Расчет высокоапертурных конфокальных дифракционно-линзовых объективов [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Компьютерная оптика. - 2011. - Т. 35, №1. - С. 22-28.

106. Джерард, А. Введение в матричную оптику [Текст] / А. Джерард, Дж.М. Бёрч - М.: Мир, 1978. - 341 с.

107. Грейсух, Г.И. Оптика градиентных и дифракционных элементов [Текст] / Г.И. Грейсух, И.М. Ефименко, С.А. Степанов - М.: Радио и связь, 1990. -136 с.

108. Вельский, А.Б. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии [Текст] / А.Б. Вельский, М.А. Ган, И.А. Миронов, Р.П. Сейсян // Оптический журнал. - 2009. - Т. 76, №8. - С. 59-69.

109. Ежов, Е.Г. Расчет хода псевдолучей через дифракционные структуры, выполненные на сферической поверхности [Текст] / Е.Г. Ежов, С.А. Степанов // Компьютерная оптика. - 2000. - №. 20. - С. 25-28. - ISSN 0134-2452.

110. Коронкевич, В.П. Точность изготовления дифракционных оптических элементов лазерными записывающими системами с круговым сканированием [Текст] / В.П. Коронкевич, В.П. Корольков, А.Г. Полещук, A.A. Харисов, В.В. Черкашин // Компьютерная оптика. - 1997. - №. 17. -С. 63-74. - ISSN 0134-2452.

111. Полещук, А.Г. Методы изготовления и контроля дифракционных оптических элементов [Текст] / А.Г. Полещук, В.П. Корольков // Сборник трудов научно-практической конференции «Голография в России и за рубежом Наука и практика». - М.: ООО «ГОЛОГРАФИЯ-СЕРВИС», 2007. -С. 11-14.

112. Greisukh, G.I. Design of the double-telecentric high-aperture diffractive-refractive objectives [Текст] / G.I. Greisukh, E.G. Ezhov, I.A. Levin, S.A. Stepanov // Applied Optics. - 2011. - Vol. 50, № 19. - P. 3254-3258.

113. Грейсух, Г.И. Дифракционно-рефракционные объективы для вакуумной ультрафиолетовой литографии [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Сборник научных трудов 8-ой Международной научно-практической конференции «Голоэкспо-2011» — Минск: Национальная академия наук Беларуси, 2011. - С. 326-330.

114. Грейсух, Г.И. Проекционные объективы для целей VUV-литографии на основе дифракционных линз [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Сборник трудов VII Международной конференции молодых ученых и специалистов «0птика-2011» - СПб.: НИУИТМО, 2011. -С. 114-116.

115. Левин И.А. Возможности дифракционно-рефракционных оптических систем вакуумного ультрафиолетового диапазона [Текст] / И. А. Левин // Всероссийская конференция по фотонике и информационной оптике: сборник научных трудов. - М.: НИЯУ МИФИ, 2012. - С. 142-143.

116. Грейсух, Г.И. Дифракционно-рефракционный объектив для ВУФ-литографии [Текст] / Г.И. Грейсух, Е.Г. Ежов, И.А. Левин, С.А. Степанов // Сборник трудов международной конференции «Прикладная оптика -2012» - СПб.: Оптическое общество им. Д.С. Рождественского, 2012. -С. 193-197.

117. Lin, В. J. Where is the lost resolution? [Текст] / В J. Lin // Proceeding of SPIE. - 1986. - Vol. 633. - P. 44-50.

118. Сейсян, Р.П. Нанолитография в микроэлектронике (Обзор) [Текст] / Р.П. Сейсян // Журнал технической физики. - 2011. - Т. 81, вып. 8. - С. 114.

119. Brunner, Т.А. Why optical lithography will live forever [Текст] / T.A. Brunner // Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. - 2003. - Vol. 21, № 6. - P. 2632-2637.

120. Design and fabrication of a diamond-turned hybrid diffractive-refractive singlet for visible applications at ORNL [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http:////www.osti.gov/bridge/purl.cover.jsp?purl=/l 0120651-ojUzml/webviewable/10120651 .pdf

121. Коронкевич, В.П. Лазерные интерферометрические и дифракционные системы [Текст] / В.П. Коронкевич, А.Г. Полещук, А.Г. Седухин, Г.А. Ленкова // Компьютерная оптика. - 2010. - Т. 34, №. 1. - С. 4-23.