Контроль спаев металлокерамических плат и корпусов микросхем в условиях массового производства тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Михеева, Елена Викторовна

• Михеева, Елена Викторовна
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Михеева, Елена Викторовна

Введение

1. Устойчивость и контролируемость технологической системы производства металлокерамических корпусов и плат при переходе к

-) новым условиям массового производства

1.1 Состояние и особенности производства металлокерамических корпусов и коммутационных плат

1.2 Сырьевые материалы в технологии металлокерамических корпусов и плат

1.3 Структура технологического процесса, состав операций и условия технологической обработки металлокерамических корпусов и плат

Выводы

2. Статистический анализ и контроль дефектов, обусловленных качеством металлокерамического спая коммутационных плат

2.1 Карты качества МКК, МКП для условий массового производства

2.2 Регрессионная модель изменения уровня дефектности, обусловленной сколами металлизации

2.3 Упрочняющее шерохование металлокерамического спая элементов коммутационной платы с подложкой

2.4 Физический анализ конструктивно-технологических и организационно-технических факторов, определяющих влияние металлокерамического спая на качество МКП 67 Выводы

3. Контроль среды и режима спекания плат неоднородной структуры металлокерамических спаев

3.1 Информативные признаки структурных технологических дефектов металлокерамических корпусов и коммутационных плат

3.2 Влияние структуры материалов на газопроницаемость металлокерамических спаев

3.3 Модель газопроницаемости радиотехнических устройств, герметизируемых металлокерамическими спаями

3.3.1 Модель проводимости каналов натекания, заполненных частицами металлизационного слоя

Выводы

4. Причинно-следственный анализ факторов дефектности металлокерамических спаев МКК, МКП

4.1 Состояние исследований и задачи разработки и анализа дефектности МКК и МКП

4.2 Структурная схема экспертного анализа процесса производства металлокерамических коммутационных плат

4.3 Причинно-следственные диаграммы дефектов металлокерамического спая

4.3.1 Особенности разработки и количественные характеристики причинно-следственных диаграмм

4.3.2 Структура причинно-следственных диаграмм технологии МКК, МКП и оценка их адекватности

4.4 Алгоритм анализа причин технологических дефектов металлокерамических коммутационных плат и корпусов микросхем

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Контроль спаев металлокерамических плат и корпусов микросхем в условиях массового производства»

Устойчивое нарастание объемов производства металлокерамических коммутационных плат и корпусов микросхем (МКП, МКК), характерное для всех стран с развитой промышленностью, вывело на одно из первых мест проблему надежности и устойчивости к воздействию дестабилизирующих технологических факторов [1]. Сущность проблемы определили, с одной стороны, сложность описания многооперационного производства и ужесточающиеся требования к качеству элементов и устройств радиотехники, а также фундаментальная, с точки зрения японских специалистов, научная новизна задач описания и исследования явлений, протекающих на стадии получения исходных материалов, и кончая операциями формообразования, спекания и обработки такого рода изделий [2,3,4,5,6]. С другой стороны, на уровень проблемы повлияли законы массового производства, вовлекающие в производственный процесс большое количество поставщиков сырья и материалов, единиц и видов оборудования, а также специалистов различного уровня квалификации с различными, субъективными особенностями [7,8]. Как показали исследования, все перечисленные факторы оказали статистически значимое влияние на уровень контролируемости технологического процесса. Было установлено, что наиболее сложной в условиях нарастающего массового производства изделий является проблема дефектов, прямо или косвенно обусловленных качеством металлокерамических спаев [5,9,10]. На уровень дефектности, в данном случае, влияют специфика выполнения операций групповой обработки, конструктивные особенности изделий, неконтролируемая предыстория подготовки сырьевых материалов, допустимая на данный период нестабильность структуры материала и другие факторы. В результате уровень дефектности на отдельных операциях достигает 30%. Многообразие факторов дефектности в подобной ситуации создает дополнительные потери, обусловленные недостаточной научной проработкой и систематизацией соответствующего производственного опыта [11].

Исследования, наиболее полно соответствующие характеру объекта изучения, относятся к теории диагностики технологических процессов, к физической теории надежности элементов и узлов радиоэлектронной аппаратуры (Анищенко Г.А., Бушминский И.П., Глудкин Ю.П., Даутов О.Ш., Достанко

A.П., Коробов А.И., Лапин М.С., Меткин М.П., Новиков В.В., Чабдаров Ш.М, и др.), к теории стекол, ситаллов и радиокерамики (Андрианов Н.Т., Батыгин

B.Н., Власов П.М., Гегузин О.А., К.Ибсен-Марведель, Козловский Л.В., Кин-гери У.Д., ФЛеффлер, Лукин Е.С., Мазурин О.В., Пивинский А.И., и др.), к теории капиллярных и поверхностных процессов (Дерягин Б.В., Раулинсон Д.Ж. Фридрихсберг Д.А. и др.).

Работы данного направления ведутся в различных научных организациях стран Содружества. Прежде всего следует отметить работы АО «Авангард» (г.С-Петербург), С-ПГЭТУ (г.С-Петербург), ФГУП ЗПП (г.Й-Ола), МГТУ (г.Москва), С-ПГТУ (г.Санкт-Петербург) и др.

В странах, занимающих ключевое положение в мировой экономике, одно из ведущих мест в данной сфере принадлежит Японии ( Киото-Керамик), Германии (Симменс), США (IBM) и др.

Цели работы и задачи исследования

Целью работы является исследование и разработка экспериментальной и теоретической основы для внедрения методов контроля спаев металлокерами-ческих корпусов и коммутационных плат в условиях массового производства.

Достижение поставленной цели обеспечивается решением следующей совокупности задач:

1. Задачи системного анализа причинно-следственных связей, определяющих качество корпусов и коммутационных плат, герметизируемых посредством металлокерамических спаев в новых условиях производства. Признаками новых условий являются: изменение предыстории подготовки сырьевых материалов, изменение условий среды обработки и объемов производства, а также изменение формы конструктивного исполнения изделий.

2. Задачи статистического анализа и моделирования факторов нестабильности технологического процесса, определяющих качество металлокерамических корпусов и коммутационных плат в условиях массового производства.

3. Задачи анализа и моделирования физических факторов технологической нестабильности, определяющих качество металлокерамических корпусов и плат.

4. Задачи формирования и ранжирования системы причинно-следственных диаграмм в форме функционально-диагностической модели, отражающих взаимосвязь выделенных факторов нестабильности технологического процесса с параметрами качества изделий и заготовок.

Методы исследования

Для решения поставленных задач, учитывая их технологическую направленность, использовалось сочетание экспериментальных и теоретических методов исследования причин дефектности изделий и заготовок МКП: метод электронно-микроскопического, микрозондового и рентгеноструктурного анализа материалов в области межслоевых границ элементов платы, в области сегрегационного изменения состава материала, в области кристаллизации стеклофазы; метод контрольных карт, метод регрессионного и корреляционного анализа, метод расслоения результатов фильтрующего контроля базовых конструктивно-технологических вариантов металлокерамических корпусов и коммутационных плат; метод функционально-диагностического моделирования причин дефектности изделий и заготовок МКК, МКП.

Научная новизна работы

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Систематизированы существующие сведения о формах технологических дефектов. Выделен круг научных и прикладных задач, связанных с проблемой нарастания уровня дефектности, в основе которой лежит качество металлокерамических спаев.

2. В результате экспертного анализа системы производства металлокерамических корпусов и коммутационных плат в сочетании со статистическим анализом результатов фильтрующего контроля изделий разработана модель скалывания металлизации плат, обеспечивающая возможность выделения и контроля основных влияющих факторов разрушения металлокерамических спаев как элементов ненадежности исследуемых изделий, выявлены физические эффекты и сформулированы практические рекомендации, внедрение которых обеспечивает повышение устойчивости спаев к скалыванию.

3. На основе анализа впервые выделенных структурных особенностей материала металлокерамических коммутационных плат и результатов исследования структуры подложек и металлокерамических спаев разработана модель снижения герметичности спая под влиянием факторов конструктивного исполнения и факторов технологической обработки изделий, выделены информативные параметры, контроль которых позволяет обеспечить герметичность спаев в условиях производства.

4. Системный экспертный анализ возможных факторов дефектности металлокерамических плат, обеспечил разработку, ранжирование и подтверждение адекватности причинно-следственных диаграмм дефектов, как одной из форм функционально-диагностических моделей. Предложенная методика ранжирования причинных факторов модели обеспечила возможность сравнительной оценки основных причинно-следственных цепей формирования дефектов, возможность выделения и контроля новых причинно-следственных связей, а также разработку алгоритма поиска причин брака на множестве технологических операций и физических эффектов, составляющих процесс производства исследуемых изделий.

Практическая ценность

Практическая ценность результатов работы определяется тем, что результаты исследований могут использоваться как при разработке активных методов контроля так и при и модернизации технологического оборудования и оснастки для изготовления металлокерамических плат и корпусов в условиях массового производства, а также для дефектологической проработки опытно-конструкторских работ и выделения точек контроля при разработке технологических процессов производства вновь разрабатываемых изделий; результаты анализа и контроля структурных особенностей материала плат могут быть использованы для оптимизации режимов обработки изделий и корректировки состава материала в пределах поля допуска; результаты разработки функционально-диагностической модели могут быть использованы для анализа причин дефектов по факту их проявления либо для оценки степени влияния новых физических эффектов и конструктивных изменений на качество изделий и заготовок.

Достоверность результатов

Достоверность результатов, полученных в диссертационной работе, подтверждена представленными оценками погрешностей моделей, полученными по результатам статистических данных контроля качества продукции, использованием в работе современных средств и методов физико-химического анализа, включая средства и методы рентгеноструктурного, электронномикроскопи-ческого и микрозондового анализа, результатами экспертной оценки с помощью коэффициентов Кендалла, Спирмена и коэффициентов конкордации, а также результатами рецензирования работ, опубликованных в центральной печати и межвузовских сборниках научных работ и результатами патентной экспертизы.

Реализация научно-технических результатов работы

Результаты диссертационной работы внедрены в научно-исследовательском институте металлокерамических корпусов микросхем «Мейкон»,на федеральном государственном унитарном предприятии «Завод полупроводниковых приборов» (г.Йошкар-Ола), являющемся основным производителем отечественных метллокерамических корпусов и плат, в Марийском государственном техническом университете при подготовке методических указаний и лекций по дисциплинам «Технология радиоэлектронных средств», «Управление качеством радиоэлектронных средств», «Технология электронно-вычислительных средств», в научно-исследовательской работе по гранту Правительства Марий Эл за 2000 год на тему «Фундаментальные физические процессы формирования структуры керамических материалов как фактор эффективности и контролируемости высоких технологий на основе керамики ПО «Изотоп»»

Апробация работы

Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на научных конференциях по итогам научно-исследовательских работ

МарГТУ (Йошкар-Ола 1998.2003гг), Всероссийской научной конференции «Цифровая обработка многомерных сигналов» (Йошкар-Ола, 1996), постоянно действующей, междисциплинарной конференции «Вавиловские чтения» (Йошкар-Ола, 1996, 2000), 5-й, 6-й Международной научно-технических конференциях студентов и аспирантов «Радиотехника, электротехника и энергетика» (Москва, 1999,2000), 11-й Международной научно-технической конференции «Тонкие пленки в электронике» (Йошкар-Ола, 2000).

Публикации

По теме диссертации опубликовано 12 печатных работ, депонировано 3 рукописи, издано 3 методических описания, получен патент.

Личный творческий вклад

Лично автором выполнены следующие исследования:

1. Разработана аналитическая модель вероятности скалывания металлизации в процессе технологической обработки металлокерамических коммутационных плат. Модель разработана по результатам активного контроля и ранжирования факторов технологического воздействия и выделение массы изделий одного конструктивного ряда в качестве обобщенного показателя степени влияния основных факторов технологического воздействия. Рациональный выбор обобщенного показателя позволил линеризовать модель вероятности скалывания, обеспечил возможность ее экспериментальной проверки путем статистической обработки результатов фильтрующего контроля.

2. Разработана регрессионная модель вероятности скалывания, основанная на результатах фильтрующего контроля изделий в условиях массового производства. Получено соотношение для определения погрешности оценки модели. Линейный характер регрессионной модели подтвердил адекватность и обеспечил возможность оценки эмпирических коэффициентов аналитической модели, эффективность ее использования в системе активного контроля технологического процесса.

3. Предложен способ снижения скалываемости металлизации путем ше-рохования границы металл-керамика в спаях металлокерамических плат корпусов микросхем с планарным расположением контактных площадок.

4. Выделены кольцевые структурные дефекты в области кристаллизации стеклофазы керамических подложек и металлизационных слоев. На основании результатов электронномикроскопического и микрозондового анализа кольцевых дефектов выявлена физическая схема их образования и влияния на качество герметизирующих спаев плат и корпусов на стадии технологической обработки. Получено соотношение для расчета и контроля натекания спая в зоне структурного образования.

5. Разработана система функционально-диагностических моделей, предназначенных для причинно-следственного контроля схем развития дефектов металлокерамических плат и корпусов, обусловленных снижением качества металлокерамических спаев и выражающихся в виде сколов металлизации, ее шелушений, вздутий и отслоений. На основе предложенной методики экспертной оценки модели выполнено поуровневое деление и ранжирование причинных факторов. По результатам поуровневого ранжирования выполнено сквозное ранжирование факторов дефектности. Адекватность результатов разработки и ранжирования модели подтверждены посредством коэффициентов Кен-далла, Спирмена и коэффициентов конкордации.

Структура диссертации

Диссертационная работа состоит из введения, 4 глав, заключения, списка литературы. Материал изложен на 153 страницах текста компьютерной верстки. В работе 14 таблиц, 47 рисунков, список литературы включает 150 наименований.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Михеева, Елена Викторовна

136 Выводы

1. По результатам исследования, состояния процесса производства металлокерамических корпусов и коммутационных плат установлена актуальность упорядочения и согласования причинно-следственных связей факторов дефектности изделий с основными формами брака как основы информационного массива (поля знаний) экспертной системы. Актуальность обусловлена, прежде всего, многочисленностью факторов дефектности и взаимосвязей между ними, с одной стороны, и невозможностью декомпозиции технологического процесса, а значит и независимого анализа отдельных факторов и групп факторов - с другой.

2. Методом экспертного анализа разработаны причинно-следственные диаграммы активации дефектов, обусловленных ухудшением качества металлокерамических спаев (шелушение, сколы, отслоение и вздутие металлических слоев и покрытий) и изменением свойств материалов, связанных с повышением их пористости и внутренних напряжений, являющиеся основными причинами ухудшения качества металлокерамических спаев. Диаграммы выполнены в форме функционально-диагностических моделей, имеющих многоуровневую структуру и относящиеся к категории иерархических схем представления данных, оптимальных с точки зрения возможностей экспертов специалистов к сравнительному анализу групп объектов.

3. Выполнено поуровневое экспертное ранжирование факторов дефектности в отношении их способности активировать дефекты более высокого уровня, а также сквозное ранжирование факторов, образующих неразветв-ленные причинные цепи по способности отдельного фактора цепи активировать исследуемые разновидности дефектов.

4. Разработан алгоритм анализа причин дефектности изделий и заготовок металлокерамических корпусов и коммутационных плат, основанный на разработанных функционально-диагностических моделях массивах ранговых оценок причинных факторов и массивах расслаивания видов дефектов и базовых физико-химических процессов по операциям технологической цепи.

5. Иерархический способ представления данных диаграммами обеспечивает эффективность экспертного анализа их взаимосвязей в условиях многообразия и нечеткого описания отдельных факторов дефектности.

137

Заключение

Нарастание мировых объемов производства металлокерамических коммутационных плат и корпусов микросхем, выполненных по технологии тонкой радиокерамики, с одной стороны, открыло чрезвычайно заманчивые перспективы в области технологии поверхностного монтажа радиотехнических устройств, с другой - породило множество сложных, но актуальных научных проблем. Одной из них стала проблема обеспечения контролируемости процесса массового производства рассматриваемых изделий [8,18]. В основе проблемы лежит специфичность технологического процесса производства металлокерамических изделий. Исследования такого рода процессов показали, что по своим признакам они могут быть отнесены к категории больших систем, при исследовании которых натурное моделирование наиболее предпочтительно, в силу сложностей интерпретации результатов [8]. Вторым существенным моментом исследования является проблема декомпозиции объекта на отдельные элементы. Рассматриваемый технологический процесс относится к разновидности процессов, не поддающихся разбиению на элементы в силу того, что процент операций воздействующих на свойства материала чрезвычайно высок [8].

Усугубляют проблему контролируемости такие факторы, как массовость производства, непрерывное повышение сложности изделий и требований к их эксплуатационным характеристикам. В настоящее время число слоев коммутации в наиболее сложных изделиях превышает 50, число межслойных переходов - несколько тысяч, диэлектрические потери приближаются к уровню 1-10"4, межэлектродное сопротивление должно превышать 109 независимо от расстояния между выводами [1,54].

В работе рассмотрены особенности одной из наиболее перспективных разновидностей технологии изделий из тонкой керамики , так называемой технологии МКП-2, для которой характерна индивидуальная металлизация неспе-ченных керамических плат, последующее их сослоение и спекание [65]. В качестве исследуемого материала рассматривается наиболее распространенная в отечественной радиотехнике радиокерамика ВК91-2. Управление исследуемым производством организовано по жесткой (неадаптивной) схеме, достаточно эффективной для изделий массового производства, но представляющей повышенные требования к точности регулирования режимов работы оборудования и к стабильности свойств изделий и заготовок на входе цепи технологических операций [8,57].

Проведенные в работе исследования методом карт качества показали, что существующие методы обеспечения качества изделий на стадии разработки и изготовления не в полной мере отвечают требованиям производства, поскольку не ориентированы на реально наблюдающееся, достаточно частое изменение характеристик свойств сырья на достигшую ширины величину поля допуска. Недостаточный объем информации не позволяет сделать вывод о степени влияния признаков, не относящихся к контролируемым. Переход к новым формам конструктивного исполнения плат и корпусов делает актуальным перевод ранее неконтролируемых признаков в контролируемые. Чрезвычайно высокие темпы нарастания потребностей в исследуемых изделиях создали в технологии металлокерамических плат для такого сочетания факторов ситуацию, когда развитие отраслевой науки не обеспечивает согласования результатов фундаментальных исследований с потребностями практики. В плане решения проблемы контролируемости в диссертационной работе были сформулированы и решены следующие задачи:

1. Задачи системного анализа причинно-следственных связей, определяющих качество металлокерамических корпусов и плат в новых условиях производства. Признаками новых условий являются: изменение предыстории подготовки сырьевых материалов, изменение условий и объемов производства, а также изменение формы конструктивного исполнения изделий.

2. Задачи статистического анализа и моделирования факторов нестабильности технологического процесса, определяющих качество металлокерамических корпусов и коммутационных плат в условиях массового производства.

3. Задачи анализа и моделирования технологических факторов нестабильности, локализованных на множестве физических процессов и явлений, определяющих качество металлокерамических корпусов и плат.

4. Задачи формирования и ранжирования системы причинно-следственных связей, отражающих взаимосвязь выделенных факторов нестабильности технологического процесса с параметрами технологической системы

В процессе решения поставленных задач были выделены технологические факторы, определяющие уровень дефектности металлокерамических плат. Наиболее значимыми, как было установлено, являются факторы, так или иначе связанные с качеством металлокерамических спаев — сколы металлизации и дефекты шелушения, вздутия и отслоения металлизации. Уровень дефектности для различных периодов производства и различных типов изделий достигает 30%. Причинными факторами данной группы дефектов являются помимо физико-химических факторов, факторы программы выпуска, загрузки технологического оборудования и конструктивных особенностей обрабатываемых изделий. Как показано в работе, влияние выделенных факторов может быть описано с помощью обобщающих параметров - времени расширения производства и массы изделий одного конструктивного ряда. В процессе выполнения работы получены следующие результаты:

1. Систематизированы существующие сведения о формах технологических дефектов, возникающих в процессе нарастания массового производства металлокерамических плат и корпусов микросхем. Выделен круг задач, решение которых имеет высокую практическую значимость и в то же время не может быть получен путем углубленной инженерной проработки - это, в первую очередь, задачи, связанные с нарастанием уровня дефектности, в основе которой лежит качество металлокерамических спаев.

2. Статистический анализ и обработка результатов фильтрующего контроля, полученных в период развития производства, показали низкую информативность методов корреляционного и дисперсионного анализа и достаточно высокую эффективность регрессионного анализа результатов контроля скалы-ваемости металлизации как одной из основных форм дефектности металлокерамических изделий.

3. Выполненное в работе ранжирование и выделение основных конструктивно-технологических факторов дефектности, описание их с помощью единого информативного признака — массы изделия, обеспечило разработку аналитической модели скалывания, согласованной с ее регрессионной моделью, что в свою очередь позволило определить физико-технологическую сущность количественных характеристик регрессионной модели, разработать на этой основе физическую схему коррекции технологического процесса с целью повышения его контролируемости.

4. На основании анализа результатов регрессионного моделирования вероятности скалывания для изделий с торцевым и планарным расположением выводов предложен способ и получен патент на повышение стойкости металлизации к воздействию технологических факторов, заключающийся в шероховании границы спая методом центрифугирования изделий.

5. Анализ эмпирических моделей разработанных по результатам аналитического и статистического (регрессионного) моделирования, согласование результатов моделирования с основными организационно-техническими признаками и конструктивно-технологическими признаками изделий массового расширяющегося производства позволило установить существенное влияние предыстории подготовки сырьевых материалов на контролируемость технологического процесса.

6. На основе анализа впервые выделенных особенностей структурных дефектов материала металлокерамических коммутационных плат и результатов исследования структуры подложек и спая металлизации плат получено соотношение для определения граничных значений натекания герметизирующего металлокерамического спая. Соотношение обеспечивает инженерную оценку граничного значения натекания в зависимости от топологии спая и условий технологической обработки изделий, позволяет оценить предельное значение отклонений технологических режимов. Вопросам качества металлокерамиче-ских спаев посвящено большое количество работ. Тем не менее, ввиду непрерывного нарастания технических требований, к такого рода объектам, проблема совершенствования их свойств не только не теряет, но и наращивает свою значимость. Становится существенным влияние на герметичность металлокера-мических спаев, не принимавшихся во внимание факторов структурной нестабильности материала подложки. Анализ такого влияния осуществляется в условиях отсутствия теоретических и экспериментальных результатов по изменению кристаллизуемости стекол, состав которых идентичен основному и примесному составу стеклофазы в условиях существенного влияния формы и состава дисперсной фазы на кристаллизуемость, абсорбированной ею жидкой фазы.

7. Впервые выполненный системный экспертный анализ причинных факторов дефектности металлокерамических плат, прямо или косвенно определяющих вероятность дефектов скалывания металлизации, шелушения, вздутие либо отслоение металлизационных покрытий, обеспечил разработку и ранжирование причинно-следственных диаграмм указанных дефектов в форме функционально-диагностических моделей. Адекватность моделей подтверждена результатами экспертного анализа с помощью коэффициентов Кендалла, Спир-мена и коэффициента конкордации. Многообразие и нечеткость описания причинных факторов дефектности и их взаимосвязей не позволяет на основе статистического либо аналитического моделирования оценить значимость влияния отдельных факторов на уровень дефектности не только на количественном, но, прежде всего, на качественном уровне.

8. Предложенная методика поуровневого и сквозного ранжирования значимости причинных факторов функционально-диагностической модели обеспечивает оценку значимости причинных факторов дефектности, в том числе, впервые выделенных факторов скалывания и структурной нестабильности материала как в отношении их влияния на степень активности причин более высокого уровня, так и в отношении активации исследуемых дефектов.

Основные научные результаты работы могут быть сформулированы следующим образом:

1. Проведен системный анализ причин дефектов, обусловленных снижением качества металлокерамических спаев в условиях массового производства плат с торцевым и планарным расположением выводов.

2. Разработана методика разработки ранжирования и наращивания причинно-следственных связей, обеспечивающая системную экспертную оценку степени влияния структурных образований стеклофазы на параметры качества МКП. Выполнено поуровневое и сквозное ранжирование причин дефектности, образующих диаграммы дефектов шелушения, вздутия и отслоения металлизации, диаграммы дефектов порообразования, диаграммы причин внутренних напряжений и спаев.

3. Разработана модель изменения количества дефектов скалывания контактных площадок под влиянием факторов объемов производства, степени загрузки технологического оборудования и массогабаритных показателей МКП с торцевым и планарным расположением выводов.

4. Выполнены исследования структурных образований стеклофазы, определяющих влияние технологических факторов на газопроницаемость металлокерамических спаев МКП.

Практическая значимость полученных результатов позволяет рекомендовать их к использованию в технологических процессах и конструктивных вариантах изделий, выполненных на других типах радиокерамики. Результаты разработки функционально-диагностических моделей могут быть рекомендованы к использованию на стадии дефектологической проработки опытно-конструкторских работ, а также на стадии диагностики причин брака по факту его проявления.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Михеева, Елена Викторовна, 2004 год

1. Чернышов А.А Состояния и перспективы развития производства керамики для подложек и корпусов ИС. / А.А.Чернышов, Э.А.Максимова, И.В.Рыбакова, ГЛ.Сычов // Зарубеж. электрон, техника: Науч.-техн. сб. об-зоров.-1990.- №9(352).- 55с.

2. Тонкая техническая керамика/ Под ред. Х.Янагида: Пер. с яп.-М. Металлургия, 1986.-279с.

3. Технология электрокерамики / Г.Н.Масленникова, Ф.Я.Харитонов, Н.С.Костюков и др.: Под ред. Г.Н.Масленниковой.- М.: Энергия, 1973.- 224с.

4. Шац C.JL, Шубаров В.А., Клыков В.Г. Межкомпонентная коммутация в микроэлектронике. Многослойные керамические коммутационные платы// Зарубеж.радиоэлектроника.- 1986.-№6.-С.20-32.

5. Батыгин В.Н., Метелкин М.И., Решетников А.А. Вакуумплотная керамика и ее спаи с металлами. / Под ред. Н.Д.Девяткина.- М.: Энергия, 1973.-410с.

6. Ерошев В.К. Металлокерамические вакуумно-плотные конструкции.- М.: Энергия, 1970.- 160с.

7. Менгин Ч.Г., Макклелланд С. Технология поверхностного монтажа: Пер. с англ. М.: Мир, 1990.-276с.: ил.

8. Технология и автоматизация производства радиоэлектронной аппаратуры: Учеб. для вузов / И.П.Бушминский, О.Ш.Даутов, А.П.Достанко и др.: М.: Радио и связь, 1989.- 624с.: ил.

9. Алексеенко А.Г. Физический подход к проблеме надежности микроэлектронной аппаратуры// Изв. вузов. Радиоэлектроника.-1968.-Вып.7.-с.704-718.

10. Власов В.Е., Захаров В.П., Коробов А.И. Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры / Под ред. А.И.Коробова.- М.: Радио и связь, 1987.-160с.: ил.

11. Кейджан Г.А., Майнов Р.Г. Анализ дефектов в системе обеспечения качества и надежности интегральных схем// Электрон, техника. Сер. 8.1986.- Вып.2(119).- С. 21-35.

12. Стрелков К.К., Кащеев И.Д. Технический контроль производства огнеупоров.- М.: Металлургия, 1986.- 240с.

13. Скулкин Н.М. Технологический контроль в условиях массового производства металлокерамических коммутационных плат и корпусов микросхем. Деп. в ВИНИТИ, 08.10.92.- № 2930 В92.- 167с.

14. Виды брака в производстве стекла / Под ред. Г.Ибсена- Марведеля, Р.Брюкнера.- М.: Стройиздат, 1986.- 648с.: ил.

15. Рей У. Методы управления технологическими процессами: Пер. с англ. М.: Мир, 1983.- 368с.: ил.

16. Михеева Е.В., Таланцев И.В., Скулкин Н.М. Структурные схемы факторов дефектности МКК, МКП /11 Между нар. науч.-техн. конф. «Тонкие пленки в электронике»: Тез. докл.- Йошкар-Ола, 2000.- С.49

17. Исследование методов органолептического контроля в технологии радиоэлектронных средств. Метод, указ. к выполнению лаб. раб. студ. спец. 200800 /Сост. Н.М.Скулкин, Е.В.Михеева.- Йошкар-Ола, МарГТУ, 1998.-С. 23-39.

18. Давыдов П.С. Техническая диагностика радиоэлектронных устройств и систем М; Радио и связь, 1988.-256с., ил.

19. Бешелев С.Д., Гурвич Ф.Г. Математико-статистические методы экспертных оценок. М.: Наука, 1988.-208с.

20. Мушик Э., Мюллер П. Методы принятия технических решений: Пер. с нем.- М.: Мир, 1990.-208с.: ил.

21. Глудкин О.П., Обичкин Ю.Г., Блохин В.Г. Статистические методы в технологии производства радиоэлектронной аппаратуры/Под ред. В.Н.Черняева. М.: Энергия, 1977.-296с.

22. Управление качеством электронных средств: Учеб. для вузов/ Под ред. О.П.Глудкина.- М.: Высш. шк., 1994.- 414с.: ил.

23. Т.Макино, М.Охаси, X. Докэ, К.Макино. Контроль качества с помощью персональных компьютеров: Пер. с яп. А.Б.Орфепанова; Под ред. Ю.П.Адлера.- М.: Машиностроение, 1991.- 224с.

24. Монден Я. «Тоёта». Методы эффективного управления / Науч. ред. А.Р.Бенедиктов, В.В.Мотылев: Пер. с англ.- М.: Экономика, 1989.- 288с.

25. Каору И. Японские методы управления качеством / Под ред. А.В.Глычева: Пер. с англ. М.: Экономика, 1988.-215с.

26. Кунце Х.И. Методы физических измерений/ под ред. Швиндлерма-на JI.C.: Пер. с нем. М.:Мир,1989.-216с.:ил.

27. Поляков А.А. Технология керамических радиоэлектронных материалов.- М.: Радио и связь, 1988.-200с.: ил.

28. А.с. 1673967 СССР. МКИ G 01 № 33/38. Способ контроля режима спекания металлокерамических плат / Н.М. Скулкин

29. А.с. 1796057 СССР. МКИ G 01 № 21/88. Способ обнаружения поверхностных и подповерхностных дефектов / Никитин Р.И., Золотарев В.Н., Трифонов B.C., Скулкин Н.М., Петрушенко В.В.- Опубл. в Б.И.- 1993.- №23.

30. Практикум по технологии керамики и огнеупоров / Под ред. Д.М. Полубояринова, Р.А. Понильского.- М.: Стройиздат, 1972.- 300с.

31. Гоулстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: В 2-х книгах, Книга 1.Пер. с англ.- Мир, 1984.-203с.ил.

32. Практическая растровая электронная микроскопия / Под ред. Дж. Гоудстайна, ХЛковица.- М.: Мир, 1973.- 656с.: ил.

33. Скулкин Н.М., Афонов О.Н. Неразрушающий контроль прочности спаев при производстве МКК микросхем // XII Всесоюз.науч.-техн.конф. «Неразрушающие методы контроля»: Тез.докл.-Свердловск, 1990.-С.141-142.

34. А.с. 1656446 СССР. МКИ G 01N 29/14 Акустоэмиссионный способ контроля процесса контактной сварки элементов изделий / Н.М.Скулкин.-Опубл. в Б.И., 15.06.91.- №22.

35. А.с. 1613946 СССР. МКИ G 01 N 29/04. Способ неразрушающего контроля материалов / В.К.Сальников, Н.М. Скулкин, В.А.Казаков.- Опубл. в Б.И., 15.12.90.-№46.

36. А.с. 1373103 СССР. МКИ G 01 М 3/24. Устройство для контроля герметичности изделий из ферромагнитных материалов / С.Ю.Безденежных, В.К.Сальников, Н.М. Скулкин.- ДСП.

37. Алексеенко А.Г. Физический подход к проблеме надежности микроэлектронной аппаратуры// Изв. вузов. Радиоэлектроника.-1968.-Вып.7.-с.704-718.

38. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА: Учеб. Для вузов. — М.: Высш. школа, 1987.-367с.: ил.

39. Гришин В.А., Камаев В.А. Математическое моделирование изделий и технологий. Учебное пособие. Волгоград. Изд. ВолгПИ, 1988, 192с.

40. Аппен А.А., Галахов Ф.Л. О неоднородностях в стекле и основных принципах его строения. Типы стеклообразных и стеклокристаллических структур// Физика и химия стекла.-1977.-Т.4-С.402-408

41. Точицкий Э.И. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Минск, Наука и техника, 1976. 976с.

42. Петровский В.А. Рост кристаллов в гетерогенных растворах. JL: Наука, 1983.-230с.

43. Калинина A.M., Фокин В.М., Филиппович В.Н. Определение поверхностной энергии границы кристалл-стекло// Физика и химия стекла.-1975 Т. 1 .-Вып.б-с.571 -573

44. Шепилов М.П. Учет размера критического зародыша при расчете кинетики кристаллизации// Физика и химия стекла.-1987.-Т. 13.-Вып.5.-с.791-795.

45. Беленький В.З. Теоретико-вероятностные модели кристаллизации.-М., 1980.-84с.

46. Анищенко JI.M., Лавренюк С.Ю. Математические основы проектирования высокотемпературных технологических процессов.- М.: Наука, 1986.- 80с.

47. Дж. Бек, Б.Блакуэл, Ч. Сент-Клер Некорректные обратные задачи.-М.: Мир, 1989.-312с.,ил.

48. Андрианов Н.Г., Лукин Е.С. Термическое старение керамики.- М.: Металлургия, 1979.- 100с.

49. Скулкин Н.М., Леушин А.В. Дефекты металлокерамических корпусов и плат в условиях массового производства: Деп. в ВИНИТИ, 20.10.92.-№3018.- В92.-11 с.

50. Скулкин Н.М., Афонов О.Н., Ерусалимчик И.Г. Влияние размерных эффектов при спекании толстопленочной металлизации на коррозионную стойкость металлокерамических спаев корпусов // Электрон.техника. Сер.2.-1991.-Вып.З.-С.37-42.

51. Скулкин Н.М., Леушин А.В. Диагностика качества спаев в технологии металлокерамических корпусов и плат: Деп. в ВИНИТИ, 20.10.92.- №3017.-В92.- 9с.

52. Влияние режима спекания керамики на качество металлокерамических плат / Н.М.Скулкин, М.А.Одинцов, Л.А.Дубровин и др. // Всесоюз. на-уч.-техн. конф. «Специальные коммутационные элементы»: Тез. докл.- Рязань, 1984.- С. 15.

53. Скулкин Н.М., Михеева Е.В. Повышение коррозионной стойкости корпусов и плат на стадии технологической обработки//Материалы пост.действ, междисципл. научн.-техн. «Вавиловские чтения».- Йошкар-Ола, 1996.-С.220-221.

54. Аттестация керамики по механическим свойствам/Г.А.Гогоци, ЯЛ.Грушевский, В.П.Завада и др.// Огнеупоры.-1988.-№8.- с.23-28

55. Михеева Е.В. Влияние сырьевых материалов на технологическую надежность металлокерамических коммутационных плат// Шестая между-нар. научн.-техн. конф. студ. и аспир. « Радиотехника, электротехника и энергетика»: Тез. докл. Москва, 2000.- с. 191-192.

56. Михеева Е.В. Размерные эффекты межслойных переходов металлокерамических коммутационных плат // Шестая междунар. научн.-техн. конф. студ. и аспир. « Радиотехника, электротехника и энергетика»: Тез. докл.- Москва, 2000.- с. 192-193.

57. Лавренко В.А., Гогоцы Ю.Г. Коррозия конструкционной керамики.-М.: Металлургия, 1989.- 195с.

58. Скулкин Н.М., Егошин В.А. Проблемы сырьевых материалов при производстве металлокерамических узлов микроэлектронной аппаратуры // Марийск. республ. союз. науч. и инж. обществ.: Тез. науч. работ.- Йошкар-Ола, 1991.-С.13-14.

59. Скулкин Н.М. Влияние размерных эффектов на технологическую надежность корпусов микросхем // Изв. ЛЭТИ.- 1990.- Вып. 430.- С.59-66.

60. Гегузин Я.Е. Физика спекания.- М.: Наука, 1984.-312с.

61. Бесисный П.А., Попильский Р.Я., Андрианов Н.Г. Повышение качества поверхности корундовой керамики// Стекло и керамика.-1982.-№4.-с.22-24.

62. Немец И.И., Болымаз М.С., Гвоздь B.C. Исследование влияния структуры на термическую стойкость корундо-муллитовой керамики // Совер-шенств.технологии стройматериалов.-М.,1981.-С.89-92.

63. A.M. Цирлин Оптимальное управление технологическими процессами. М.: Энергоатомиздат, 1986.-400с.: ил.

64. Боровико А.С. Физические основы и средства капиллярной дефектоскопии. Минск, 1987.-220с.

65. Крутоголов В.Д., Кулаков М.В. Ротационные вискозиметры. -М.: Машиностроение, 1984.-112с. :ил.

66. Мазурин О .Я., Николина Г.Н., Петровская M.JI. Расчет вязкости стекол: Учеб. пособие / ЛТИ им. Ленсовета.- JL, 1988.- 46с.

67. Мазурин О.В., Стрельцина М.В., Швейко-Швайковская Т.П. Свойства стекол и стеклообразующих расплавов:Справ. В 4-х томах. Л.: 19731981.

68. Ямпольский А.И., Ильин В.А. Краткий справочник гальваника.- Л.; Машиностроение, 1972.- 224с.: ил.

69. Нечаева С.М., Сабодаш Н.Г., Скулкин Н.М. Рентгеноспектральный анализ в технологии толстопленочных микросхем // Всесоюзн. науч.-техн. конф. " Технология ГИС и вопросы их производства": Тез. докл.- Ярославль, 1988.- С.56-57.

70. Плаченов Т.Г., Колосенцев С.Д. Порометрия. Л.: Химия, 1988.-176с.: ил.

71. Скулкин Н.М., Афонов О.Н. Микрозондовый анализ неоднородно-стей в многослойных структурах и порошковых композициях // Всесоюзное совещание по рентгеновской и электронной спектроскопии: Тез. локл. — Л., 1988.- С.96-97.

72. Чернышев А.А. Исследование механизма и причин коррозионных обрывов выводов ИС в металлостеклянных корпусах 401, 14-3, 4, 5, 6 // Материалы семинара « Причины и механизмы отказов РЭА и ЭРИ, методы их анализа и предотвращение».-1987.- Вып.2.-С. 96-105.

73. Куме X. Статистические методы повышения качества: Пер. с яп.-М.: Финансы и статистика, 1990.-198с.

74. Афонов О.Н., Скулкин Н.М., Ерусалимчик И.Г. Влияние конструктивно-технологических факторов на коррозионную стойкость корпусовмикросхем // Всесоюз.иауч.-техн.конф. «Технология ГИС и вопросы их производства»: Тез.докл.-Ярославль, 1988.- С.57-58.

75. Ходаков Г.С. Физика измельчения.- М.: Наука, 1972.- 308с.

76. ВКВС. Коллоидный компонент и вяжущие свойства / Ю.Е. Пивин-ский, Ф.С.Каплан, С.Г.Симонова и др. // Огнеупоры.- 1989.- № 2,- С. 13-18

77. Урьев Н.Б. Высококонцентрированные дисперсные системы.- М.: Химия, 1980.- 319с.

78. Пивинский Ю.Е. ВКВС. Дисперсный состав и пористость отливок // Огнеупоры.- 1989.- № 4.- С.17-23

79. Пивинский Ю.Е. ВКВС. Принципы технологии // Огнеупоры.- 1987.-№ ю.- С.3-9.

80. Физикохимия ультрадисперсных систем. — М.: Наука, 1987.

81. Афонов О.Н., Ерусалимчик И.Г. Исследование механизмов дефекто-образования в толстопленочных покрытиях корпусов в процессе обжига // Электронная техника. Сер. 2.-1991.- Вып. 1.- С. 18-25.

82. Скулкин Н.М., Афонов О.Н., Ерусалимчик И.Г. Влияние режимов спекания на качество металлокерамических корпусов микросхем / Электронная техника. Сер.2. 1991.- Вып. 3. С. 32-37

83. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердых тел.-М.:Мир, 1980.-260с.

84. Стрелов К.К. Технологические основы технологии огнеупоров.- М.: Металлургия, 1985.- 480с.

85. Справочник по производству стекла. Т. 1./ Под ред. И.И.Китайгородского, С.И.Селиверстова.- М., 1963.- 1026с.: ил.

86. Базы знаний интеллектуальных систем / Т.А.Гаврилова, В.Ф.Хорошевский СПБ.: Питер, 2001.-384с.: ил.

87. Представление и использование знаний: Пер. с японск./ Под ред. Х.Уэно, М.Исидзука.- М.: Мир, 1989.-220с., ил.

88. Соболев А.Н. Физические эффекты: Научное издание. Йошкар-Ола: МарГТУ, 2001.-168с.

89. Скулкин Н.М., Михеева Е.В., Стрельников Е.В. Статистический анализ дефектов металлокерамических плат в условиях массового производства // Проектирование и технология электронных средств. 2003. 2. - С. 30 -33.

90. Скулкин Н.М., Михеева Е.В. Структурные дефекты при производстве металлокерамических корпусов и коммутационных плат // Проектирование и технология электронных средств. 2003. -№ 1. - С. 30 - 33.

91. Лайнер А.И., Еремин Н.И., Лайнер Ю.А., Певзнер И.З. Производство глинозема. М.: Металлургия, 1978. - 344с.

92. Фельц А. Аморфные стеклообразные неорганические твердые тела / Пер. с нем.- М.: Мир, 1986.- 558с.: ил.

93. Райхель А.М., Непомнящий О.А., Шведун В.Г. К вопросу о влиянии масштабного фактора на прочность ситаллов. / Проблемы прочности, 1986, №10-с. 43.47

94. Писаренко Г.С., Родичев Ю.М., Охраменко Г.М., Полешко А.П., Бо-римский А.И. К вопросу об исследовании масштабного эффекта при испытании ситаллов на одноосное сжатие/ Проблемы прочности, 1977, №10 с. 47.53

95. Киселева ВА., Михеева Е.В. Влияние минерализаторов на свойства вакуумплотной корундовой керамики: Деп. в ВИНИТИ Сер. 5-2 16.12.99.-N3744-B99.-5C.

96. Добровольский А.Г. Шликерное литье. М.: Металлургия, 1977.240 с.

97. А.с. 1629289 СССР. МКИ G 04 В 41/88. Способ металлизации керамики / Н.М.Скулкин, О.Н.Афонов. Опубл. в Б.И. 23.02.91.- № 7.

98. Гуткина Н.Г., Немилов С.В. Связь между кристаллизационной способностью стекол, вязкостью и их химсоставом // Физика и химия стекла. -1980.- Т.6.- №5.- С.535-542.

99. Влияние примесей щелочных окислов, гидроксильных групп, AI2O3, СагОз на вязкость стеклообразного кремнезёма / В.К.Леко, М.К.Гусакова, Е.В.Мещерякова и др. // Физика и химия стекла.- 1977.- Т.З. № 3,- С.219-226.

100. Физические свойства расплавов системы Ca0-Si02-Al203-Mg0-CaF2: Справ, изд-е. / А.А.Акбердин, И.С.Куликов, В.А.Ким и др. М.: Металлургия, 1987.-144с.

101. Мусин Р.А., Конюшков Г.В. Соединение металлов с керамическими материалами.- М.: Машиностроение, 1991.- 224с.

102. Школьников E.B. О стеклообразующей способности расплава вблизи эвтектических составов // Физика и химия стекла.-1987.-Т.13.-№1.-с.145-149.

103. Мазурин О.Я. Стеклование.- J1.: Наука, 1986.-158с.

104. Капиллярные и адгезионные свойства расплавов/ Под ред. Найдича Ю.В. Киев: Наукова думка, 1987.- 172с.

105. Стеклов О.И. Стойкость материалов и конструкций к коррозии под напряжением. М.: Машиностроение, 1990.-384 е.: ил.

106. Ямпольский А.И., Ильин В.А. Краткий справочник гальваника.- JL; Машиностроение , 1972.- 224с.: ил.

107. Дворяшин Б. В. Основы метрологии и радиоизмерений. М.: Радио и связь, 1993. - 320с. :ил.

108. Львович Я.Е., Фролов В.М. Теоретические основы конструирования, технологии и надежности РЭА.- М. Радиосвязь, 1986.-192с. :ил.

109. Хусу А.П., Виттенберг Ю.Р., Палимов В.А. Шераховатость поверхностей. Теоретико-вероятностный подход. — М.: Наука, 1975. 344с.: ил.

110. Бородюк В.П., Лецкий Э.К. Статистическое описание промышленных объектов.-М.: Энергия, 1977.-112с.

111. Пух В.Л. Прочность и разрыв стекла. Л: Наука, 1973,156с.

112. Бартенев Г.Н. Заводская лаборатория. №26,1960 с.136

113. Хеллан К. Введение в механику разрушения: Пер.с англ. — М.: Мир, 1988. -364с.:ил.

114. Пат. 2164904 РФ, МПК С 04 В 41/88 Способ металлизации керами-ки/Е.В. Михеева, Н.М. Скулкин (РФ)-99118052; заявлено 17.08.99; опубл. 10.09.2001г.

115. Чемерко Л.Г., Сухотинский В.Л, Фастова В.В. Разрушение стекло-кристаллических покрытий в растворах кислот// Защита металлов.-1979.-Т.15.-№5.-с.608-611

116. Попова К.Н., Горшков B.C. О химической стойкости стеютокристал-лических материалов// Стекло и керамика.-1965.-№4.-с.22-24

117. Наценко А.И., Кайнаровский И.С., Орлова И.Г. Критериальная оценка термостойкости керамики на основе корунда // Изв. АН СССР. Неорганические материалы,- 1972.- Т.8.- №2.-С. 419-420.

118. Шитц Ю.А., Гойхман З.В. Тепловое расширение термически неоднородных ситаллизирующих стекол // Изв. АН СССР. Неорганические материалы.-1981 .-Т. 17.-С.727-730.

119. О.А.Кузнецов, А.И.Погалов, В.С.Сергеев Прочность элементов радиоэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь, 1990.-144с.: ил.

120. Куинн Т. Температура.- М.: Мир, 1985.- 445с.: ил.

121. Сопротивление материалов с основами теории упругости и пластичности. Учеб. Под ред. Г.С.Варданяна М.: Изд-во АСВ, 1995.-568с.

122. Адсорбция из растворов на поверхности твердых тел. Пер. с англ./ Под ред. Г. Парфита, К. Рочестера.- М.: Мир, 1986.-488с., ил.

123. Петрунин И.Е. Эффект сфероидизации, как причина образования пор // Сварочное производство.- 1971.- №4.- С. 10-12.

124. Николаев Н.И. Диффузия в мембранах.- М.: Химия, 1980.- 232с.

125. Лейбензан Л.С. Движение природных жидкостей и газов в пористой среде. М.-Л.: ОГИЗ, 1947.-214с.

126. Роулинсон Дж., Уидом Б. Молекулярная теория капиллярности: Пер.с англ.- М.: Мир, 1986.: 376 е.: ил.

127. Эллиот Р. Управление эвтектическим затвердеванием. М.: Металлургия, 1987.-352С.

128. Грошковский Я.Техника высокого вакуума. — М.: Мир, 1975. — 624с.:ил.

129. Пинко А.И., Плисковский В.Я., Пенченко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем.-М.: Энергия, 1970.

130. Пористые проницаемые материалы: Справ, издание / Под ред. С.В.Белова.- М.: Металлургия, 1987.- 335с.

131. Физические величины. Справочник / А.П. Бабичев, Н.А. Бабушкин, A.M. Братковский и др.; Под ред. И.С. Григорьева, Е.З.Мейлихова. — М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232с. - ил.

132. Стеклов О.И., Лапшин Л.Н. Коррозионно-механическая стойкость паяных соединений.- М.: Машиностроение, 1981.-101 с.

133. Стеклов О.И. Стойкость материалов и конструкций к коррозии под напряжением. М.: Машиностроение, 1990.-384 е.: ил.

134. Костромина Н.В., Истомин Б.Л. Графы: теория, задачи, алгоритмы: Учебное пособие. Йошкар-Ола: МарГТУ,2000.-104с.

135. Сидоркина И.Г. Информационные и лингвинистические компоненты автоматизированного проектирования инструментов открытого образования: Научное издание.- Йошкар-Ола: МарГТУ, 2001.-196с.

136. Венцель Е.С. Исследование операций: задачи, принципы, методология. М.: Наука, 1988.-208с.

137. Харитонов Ф.Я., Медведовский Е.Д., Мороз И.Х. Влияние фазового состава и микроструктуры на механическую прочность и термическую стойкость высокоглиноземистой керамики // Проблемы прочности.- 1989.-№2 (236) .-С. 31-37.

138. А.с. 16893356 СССР. МКИ G 04 В 35/10. Способ изготовления керамики /Н.М.Скулкин, О.Н.Афонов.- Опубл.в Б.И., 30.08.91.- №32.

139. Яншин А.А. Теоретические основы конструирования, технологии и надежности ЭВА. -М.: Радио и связь, 1983. 312с., ил.

140. Коробов А.И., Никифорова Э.Ф. Определение степени информативности элементов тестовой схемы методом экспертных оценок// Электрон, техника Сер. 10. Микроэлектрон, устройства.-1982.-Вып.6.-с.37-41