Конструкторско-технологические основы создания микроэлектромеханических датчиков ускорения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Сан Мин Наинг

• Сан Мин Наинг
• кандидат технических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат технических наук Сан Мин Наинг

Введение

1 Анализ и разработка конструкций существующих микромеханических датчиков ускорения

1.1 Особенности конструкций существующих чувствительных элементов микромеханических датчиков уско'рения.

1.2 Разработка конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика ускорения маятникого типа

1.2.1 Разработка системы съема сигнала чувствительного элемента

1.2.2 Исследование влияния параметров среды на выходные параметры

1.2.3 Исследование влияния геометрических размеров торсиона на параметры ММДУ.

1.2.4 Исследование влияния смещения центра масс ЧЭ на параметры

1.2.5 Исследование влияния геометрических параметров кремниевых пластин на параметры

1.3 Разработка конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика ускорения гребенчатого типа.

1.3.1 Расчет собственных частот чувствительного элемента.

1.3.2 Статический анализ чувствительного элемента.

1.3.3 Расчет номинальных значений емкостей чувствительного элемента

1.4 Выводы к главе

2 Технологические процессы изготовления микромеханических датчиков ускорения 39 2.1 Анализ методов сложнопрофильного формирования чувствительных элементов микромеханических устройств.

2.1.1 Анализ процессов глубокого жидкостного анизотропного травления кремния.

2.1.2 Технология объёмной микрообработки.

2.1.3 Технология поверхностной микрообработки.

2.1.4 Технология LIGA.

2.1.5 Изготовление микромеханических элементов с использованием метода сращивания.

2.1.6 Процессы сухого травления

2.2 Глубокого травление кремния методом плазмохимического травления

2.2.1 Экспериментальные методы диагностики и мониторинга плазменных технологий травления кремния и других материалов.

2.2.2 Оборудование и методика проведения экспериментов.

2.2.3 Зондовые измерения в аргоновом разряде.

2.2.4 Зондовые измерения в разряде SFe.

2.3 Выводы.

3 Монтаж чипа микромеханического датчика ускорения в корпус

3.1 Корпусирование чипа методом клеевого соединения

3.2 Корпусирование чипа методом пайки.

3.3 Исследование и разработка процессов герметизации элементов микромеханики

3.3.1 Герметизация в металлостеклянном корпусе пайкой припоем.

3.3.2 Герметизация в металлостеклянном корпусе лазерной сваркой

3.3.3 Герметизация в стеклянном корпусе.

3.4 Выводы к главе

4 Оценка работоспособности ЧЭ ММДУ

4.1 Методика оценки работоспособности.

4.2 Результаты оценки работоспособности.

4.3 Методика исследования.

4.4 Результаты исследования.