Комплексная методика анализа поверхности с нанометровым разрешением на основе электронной спектроскопии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.08, кандидат физико-математических наук Костановский, Илья Александрович

• Костановский, Илья Александрович
• кандидат физико-математических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Костановский, Илья Александрович

СОДЕРЖАНИЕ

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы исследования

Цель исследования

Задачи исследования

Методологическая база исследования

Основные положения, выносимые на защиту

Научная новизна

Научная и практическая ценность работы

Апробация результатов исследования

Личный вклад автора

Структура и объем работы

ГЛАВА 1. ОБЗОР МЕТОДОВ АНАЛИЗА УГЛЕРОДНЫХ И ПРОЧИХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ЭНЕРГЕТИКЕ

1.1. Вторичная ионная масс-спектрометрия

1.2. Методы ионной спектроскопии для анализа поверхности

1.2.1. Резерфордовское обратное рассеяние ионов

1.2.2. Спектроскопия атомов отдачи

1.2.3. Спектроскопия рассеяния медленных ионов и ионов средних энергий

1.3. Термодесорбционная спектроскопия

1.4. Метод ядерных реакций

1.5. Методы электронной спектроскопии для анализа поверхности

1.5.1. Электронная оже-спектроскопия

1.5.2. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия

1.5.3. Спектроскопия характеристических потерь энергии электронов

1.5.4. Спектроскопия отраженных электронов

1.5.5. Спектроскопия пиков упругоотраженных электронов

1.6. Выводы по главе 1

ГЛАВА 2. ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ МЕТОДОВ ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

2.1. Экспериментальный модуль электронно-ионной спектроскопии

2.1.1. Основные узлы

2.1.2. Источник рентгеновского излучения

2.1.3. Источники электронов

2.1.4. Источник ионов

2.1.5. Электронный энергоанализатор заряженных частиц

2.1.6. Режимы работы энергоанализатора

2.2. Подготовка экспериментального модуля для реализации методов электронной спектроскопии

2.2.1. Калибровка энергоанализатора

2.2.2. Определение экспериментальной геометрии установки

2.2.3. Оценка стабильности электронной пушки

2.2.4. Режимы вычитание фонового сигнала при измерении спектров отраженных электронов

2.2.5. Экспериментальное определение влияния параметров эксперимента при измерении энергетических спектров отраженных электронов

2.2.5.1. Оценка влияние эмиссии электронной пушки на спектры отраженных электронов

2.2.5.2. Влияние параметров энергоанализатора на спектры отраженных электронов

2.2.5.3. Влияние времени выдержки (Dwell Time) на спектры отраженных электронов

2.2.6. Верификация разрешения энергоанализатора

2.2.7. Оценка погрешности измерения интенсивности сигнала спектра отраженных электронов

2.3. Выводы по главе 2

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ И РАЗВИТИЕ СПЕКТРОСКОПИИ ПИКОВ УПРУГООТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ ПОСЛОЙНОГО НЕРАЗРУШАЮЩЕГО АНАЛИЗА ПОВЕРХНОСТИ

3.1. Методы интерпретация спектров упругоотраженных электронов

3.2. Послойное сканирование поверхности методом СПУЭ

3.3. Исследование покрытия золота на кремнии

З.ЗЛ.Тонкий плоский слой золота на кремниевой подложке

3.3.2. Распределение концентрации золота в поверхности кремния

3.4. Исследование оксидных покрытий методом СПУЭ с угловым сканированием

3.5. Исследование оксидных покрытий методом СПУЭ с энергетическим сканированием

3.6. Исследование спектров отраженных электронов пенографена

Выводы по главе 3

ГЛАВА 4. КОМПЛЕКСНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, СОДЕРЖАЩИХ ИЗОТОПЫ ВОДОРОДА

4.1. Формирование и исследование углеводородных покрытий, полученных в Институте физики плазмы им. М.Планка

4.1.1. Получение углеводородных покрытий

4.1.2. Исследование углеводородных покрытий

4.1.3. Спектроскопия отраженных электронов

4.2. Формирование и исследование углеводородных покрытий, содержащих изотопы водорода, полученных во Всероссийском электротехническом институте

4.2.1. Получение углеводородных покрытий

4.2.2. Исследование углеводородных покрытий

4.3. Выводы по главе 4

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Комплексная методика анализа поверхности с нанометровым разрешением на основе электронной спектроскопии»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы исследования

Современные темпы развития потребления энергии в мире, а так же оценки запасов ископаемых энергоресурсов (нефти), показывают острую необходимость в поиске новые источники энергии. К таким источникам относят водород (водородная энергетика и термоядерный синтез), как наиболее распространенный элемент в природе. Основной из главных инженерных проблем, стоящих на пути создания устройств для управляемого термоядерного синтеза и водородной энергетики является накопление водорода и его изотопов в конструкционных материалах. Следствием интенсивной диффузии изотопов водорода являются эффекты водородного охрупчивания, снижающие срок службы конструкций. Эффективное хранение водорода можно осуществить путем химического связывания его например с углеродом. Развитие и исследование современных углеродных материалов (фулерены, графеновые структуры, углеродные нанотрубки) невозможно без анализа содержания в них водородных компонентов.

Важной задачей термоядерного синтеза является выбор материалов поверхностей, обращенных к водородной плазме, в связи с так называемой «тритиевой проблемой». Углерод рассматривается в качестве одного из перспективных материалов - кандидатов для «первой стенки» термоядерных установок. Радиоактивный изотоп водорода тритий, образующийся в плазменном шнуре в ходе термоядерной реакции, может взаимодействовать с углеродом, покинувшим стенки камеры в результате их интенсивного химического распыления. В результате взаимодействия образуется метан, который осаждаются на стенках термоядерных устройств в виде угеводородных покрытий. Накопление трития, находящегося в связанном состоянии, способствует значительному уровню остаточной радиоактивности конструкционных материалов.

Аналогичный процесс осаждения покрытий происходят при напылении углерода плазмохимическим методом, когда использование рабочего газ, содержащего углерод и водород, приводит к осаждению не чистого углерода, а углеводородных пленок. Этот факт был использован для создания систем, моделирующих взаимодействие плазмы со стенками термоядерного реактора — плазмогенераторов. Анализ образцов покрытий, получаемых в плазмогенераторах данного типа или в системах плазмохимического осаждения, ставит актуальную прикладную задачу определения содержания связанного водорода в конструкционных материалах по глубине. Электронная спектроскопия открывает новые возможности неразрушающего изотопного анализа. Развитию возможностей электронной спектроскопии для решения перечисленных задач посвящена данная работа.

Цель исследования

Целью настоящей работы является разработка методики определения послойного изотопного состава и морфологии покрытий без нарушения их целостности с субмонослойным разрешением от нанометрового до микрометрового диапазона на основе комплексного применения стандартных и новых разрабатываемых методов электронной спектроскопии.

Задачи исследования

1. Разработать методику послойного сканирования поверхностных слоев твердого тела методом спектроскопии пиков упругоотраженных электронов (СПУЭ) с энергетическим и угловым сканированием: а) адаптировать стандартно выпускаемый модуль электронно-ионной спектроскопии для созданной методики послойного сканирования; б) экспериментально исследовать и выбрать оптимальные режимы измерения спектров упругоотраженных электронов; в) применить принцип оптического подобия и классическое квазиоднократное приближение для интерпретации спектров.

2. Апробировать метод СПУЭ (п.1) на различных модельных системах покрытие-подложка: а) распределение одного вещества (примеси) в

6

поверхности подложки; б) плоский слой вещества на подложке; в) плоский слой двухкомпонентного вещества на подложке; г) система с рельефной границей раздела между слоем и подложкой; д) пенистые структуры, покрытые несколькими монослоями вещества.

3. Разработать комплексный подход проведения неразрушающего анализа послойного профиля изотопного состава поверхности с нанометровым разрешением на глубину порядка транспортного пробега электронов методами электронной спектроскопии, включающий последовательное применение: а) стандартных методов рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) и электронной Оже-спектроскопии (ЭОС); б) разработанный метод СПУЭ (п. 1-2) совместно с методом спектроскопии характеристических потерь энергии электронов (СХПЭЭ); в) метод спектроскопии отраженных электронов (СОЭ). Исследовать предлагаемым комплексным подходом углеводородные покрытия, содержащие водород и дейтерий.

Методологическая база исследования

Методологическую основу данной работы составляют методы измерения и интерпретации энергетических спектров отраженных электронов, измеренных с различным энергетическим разрешением, в разных энергетических диапазонах энергии электронов.

Метод РФЭС позволяет проводить химический анализ поверхности для определения относительных концентраций элементов с атомной массой > 3. Методы СПУЭ и СХПЭЭ позволяют исследовать структуру и восстановить относительные концентрации легких атомов и изотопов, начиная от водорода, в поверхностных слоях на глубину порядка средней длины неупругого пробега электрона. Изотопный состав поверхностных слоев, определенный методом СПУЭ, используется в качестве начального условия для анализа методом СОЭ на глубину порядка транспортного пробега электронов.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Приложение метода спектроскопии упругоотраженных электронов СПУЭ для послойного сканирования приповерхностных слоев твердого тела, а также для диагностики послойного профиля изотопного состава (например, водорода) на Модуле электронно-ионной спектроскопии на базе платформы НаноФаб 25 в диапазоне энергий 0-15 кэВ с углами рассеяния 120° и 45°. Результаты: выбора оптимальных режимов измерения спектров отраженных электронов; создания методики определения точного значения угла рассеяния и начальной энергии электронного пучка; оценки относительной погрешности измерения; проведения экспериментальных исследований методами электронной спектроскопии.

2. Экспериментальная реализация метода спектроскопии упругоотраженных электронов для послойного сканирования по глубине покрытия двумя независимыми подходами: за счет энергетического и углового сканирования. Метод СПУЭ с энергетическим сканированием апробирован для покрытия золота, нанесенного на кремнии и оксидного слоя на поверхности чистого алюминия. Результаты исследования послойного профиля методом СПУЭ, выполненные как энергетическим, так и угловым сканированием хорошо коррелируют, что показано на примере анализа графенового покрытия.

3. Интерпретация спектров упругоотраженных электронов при анализе многокомпонентных систем проведена с помощью предложенной модели, учитывающей развитую границу раздела между слоем и подложкой. Апробация модели выполнена на примере покрытия из оксида алюминия.

4. Результаты экспериментального исследования покрытия золота, нанесенного на кремний, оксидного слоя на поверхности чистого алюминия и образца пенографена свидетельствуют о высокой чувствительности метода СПУЭ, которая достаточна для определения состава, толщины и изменения структуры покрытия по глубине.

5. Комплексная методика неразрушающего анализа системы покрытие-подложка, которая позволяет с нанометровым разрешением проводить послойный анализ элементного и изотопного состава покрытия на глубину, ограниченную транспортным пробегом электронов, реализованная на стандартно выпускаемом аналитическом оборудовании с использованием только методов электронной спектроскопии (РФЭС, СПУЭ, СХПЭЭ, СОЭ). Апробация комплексной методики выполнена для углеводородных покрытий, нанесенных методом плазмохимического осаждения из газовой фазы.

Научная новизна

1. Впервые разработана и апробирована комплексная методика неразрушающего анализа с нанометровым разрешением для определения послойного профиля концентрации элементов и изотопов в поверхностных слоях покрытий на глубину порядка транспортного пробега электронов, включающая только методы электронной спектроскопии.

2. Впервые получены и интерпретированы спектры упругоотраженных электронов с высоким энергетическим разрешением (0.03 эВ в диапазоне энергий 0-15 кэВ) образцов углеводородных и угледейтериевых покрытий, которые позволили определить концентрации элементов (углерод, водород, дейтерий, кислород) в поверхности.

3. Впервые проведено исследование методом спектроскопии пиков упругоотраженных электронов с энергетическим сканированием образца покрытия золота на кремнии и восстановлено распределение концентрации золота по глубине кремния.

4. Впервые предложена модель интерпретации спектров, полученных методом спектроскопии пиков упругоотраженных электронов с энергетическим и угловым сканированием, оксидного слоя на поверхности чистого алюминия с учетом развитой границы раздела между слоем и подложкой.

5. Впервые получены спектры характеристических потерь энергии электронов образца графенового покрытия, нанесенного на пенистую структуру никеля, и определены положения 71 и к + & плазмонов.

6. Впервые продемонстрирована возможность применения метода спектроскопии пиков упругоотраженных электронов как с энергетическим, так и угловым сканированием для анализа многослойного графенового покрытия.

Научная и практическая ценность работы

Проведенное исследование показало высокую чувствительность метода СПУЭ для анализа различных видов систем покрытие-подложка в нанометровом диапазоне. Особая значимость исследования заключается в том, что была продемонстрирована возможность исследования графенового покрытия. Умение определять число слоев графена и исследовать его структуру без разрушения образца представляет интерес для развития современной наноэлектроники.

Разработанная комплексная методика неразрушающего анализа поверхности углеводородных покрытий позволяет проводить изотопный анализ по глубине до 160 нм, что необходимо для исследования материалов, использующихся в качестве "первой стенки" термоядерных устройств.

Применение только методов электронной спектроскопии позволяет существенно снизить стоимость аналитического оборудования для решения задачи определения послойного изотопного состава покрытий в сравнении с традиционными методами — методом ядерных реакций и методом ядер отдачи.

Апробация результатов исследования

Основные результаты диссертационного исследования опубликованы в 20 печатных работах, 5 из которых в рецензируемых научных изданиях, определенных ВАК, в том числе: «Вестник МЭИ», «Альтернативная энергетика и экология», «Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и

10

нейтронные исследования». Список публикаций по теме исследования

представлен в конце работы. Результаты докладывались и обсуждались на

следующих конференциях:

• 9-ая всероссийская конференция с международным участием «Быстрозакаленные материалы и покрытия» (Москва, РГТУ МАТИ, 2010);

• 3-ий международный нанотехнологическом форуме Яшпаг^есЬ (Москва, 2010);

• Международная конференция ШЕЕИАЖ) 2011, (США, Портленд, 2011);

• 20-ая международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью» (Звенигород, 2011);

• 8-ая национальная конференция «Рентгеновское синхротронное излучение, Нейтроны и Электроны для исследования наносистем и материалов. Нано-Био-Когнитивные технологии» (Москва, РНЦ «Курчатовский институт», 2011);

• 6-ая Курчатовская молодежная научная школа (Москва, РНЦ Курчатовский институт, 2009);

• 16-ая, 17-ая, 18-ая международная научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Радиотехника, радиоэлектроника и энергетика» (Москва, НИУ МЭИ, 2010-2012);

• 40-ая международная конференция «Физика взаимодействия частиц с кристаллами» (Москва, МГУ, 2010);

• международная молодежная научная конференция. 36-ые, 37-ые, 38-ые «Гагаринские чтения» (Москва, РГТУ МАТИ, 2010-2012);

• 8-ая российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов "Физико-химия и технология неорганических материалов" (Москва, ИМЕТ РАН, 2011);

• Национальная конференция «Повышение эффективности, надежности и безопасности работы энергетического оборудования ТЭС и АЭС» (Москва, НИУ МЭИ, 2012).

Личный вклад автора

Материалы и результаты диссертационного исследования получены соискателем лично или с соавторами. Личный вклад автора для достижения полученных результатов носит определяющий характер и заключается в наладке и настройке экспериментального модуля электронно-ионной спектроскопии; подготовке исследуемых образцов золота на кремнии и оксида алюминия; проведение экспериментов по ионной очистке исследуемых образцов; разработке режимов измерения и проведении экспериментов по регистрации энергетических спектров отраженных электронов исследуемых образцов в различных энергетических диапазонах; развитии моделей интерпретации измеренных спектров отраженных электронов для изучения структуры поверхности; разработке комплексной методики анализа поверхности методами электронной спектроскопии.

Структура и объем работы

Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения. Работы содержит 142 страниц, 52 рисунка, 20 таблиц. Список литературы включает 155 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физика плазмы», Костановский, Илья Александрович

4.3.Выводы по главе 4

Результаты, полученные в настоящей главе, показывают, что для решения задачи о восстановлении послойного профиля изотопного состава поверхности необходимо использовать комплексный подход, состоящий из нескольких методов электронной спектроскопии. Получив информацию об элементном составе поверхностных слоев с помощью метода РФЭС, эти данные можно существенно уточнить, добавив в них информацию о присутствии изотопов водорода, восстановленных по методу СПУЭ. Таким образом можно пересчитать относительные концентрации всех элементов поверхности. Данная информация требуется для определения начальных параметров, а также граничных условий при расшифровке спектров отраженных электронов. Результатом применения разработанного комплексного исследования является однозначно восстановленные послойные профили изотопного состава, а также относительные концентрации элементов и изотопов поверхности. Кроме того, было показано, что предлагаемый комплексный анализ углеродного покрытия малой толщины (менее 10-15 нм) позволяет независимыми методами определить толщину покрытия, а так же оценить степень его чистоты (концентрацию примесей). Отметим, что реализованный впервые комплексный подход Углерод — Водород — Кислород

11111 ПИШПШШШ МНИНИПШ II 111111111111111 иишншшипшшшшш пиишнмипини

2 4 б 8 10 й, НМ остается неразрушающим методом анализа, за счет использования только методов электронной спектроскопии.

Предлагаемый комплексный метод был апробирован при исследовании различных углеродных покрытий, содержащих водород и дейтерий. Отметим, что исследование угледейтериевых покрытий методом СПУЭ было выполнено впервые. До настоящего времени дейтериевую компоненту удавалось диагностировать методом СПУЭ только в замороженной жидкой воде И20.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Основной задачей исследования являлось развитие комплексной методики, позволяющей с нанометровым разрешением проводить послойный анализ элементного и изотопного состава поверхностных слоев различных материалов методами электронной спектроскопии. Результаты исследования позволяют сформулировать следующие выводы.

1. Экспериментально реализован метод спектроскопии пиков упругоотраженных электронов с энергетическим и угловым сканированием на современном Модуле электронно-ионной спектроскопии на базе платформы НаноФаб 25 в диапазоне энергий 0 - 15000 эВ с углами рассеяния 45° и 120° и высоким энергетическим разрешением 0.03 эВ.

2. Проведена апробация метода спектроскопии пиков упругоотраженных электронов для послойного сканирования модельных систем покрытие-подложка. Впервые методом СПУЭ с энергетическим сканированием при энергиях 8, 10, 12, 15 кэВ исследованы модельные образцы золота на кремнии, а также двухкомпонентное оксидное покрытие алюминия. Определены значения толщины плоского слоя золота d = 1.15 ±0.25 нм («резкая» граница раздела), восстановлено распределение относительной концентрации золота по глубине второго образца («размытая» граница раздела), а также распределение относительной концентрации кислорода по глубине образца оксидного покрытия алюминия.

3. Предложена модель интерпретации спектров упругоотраженных электронов с энергетическим и угловым сканированием, которая учитывает развитую границу раздела между слоем и подложкой. Апробация модели выполнена на примере покрытия оксида алюминия на чистом алюминии.

4. Впервые методами спектроскопии упругоотраженных электронов и спектроскопии характеристических потерь энергии электронов экспериментально исследовано покрытие многослойного графена, нанесенного на пенистую структуру никеля (пенографен). Измерено положение пиков плазменных потерь энергии электронов в пенографене (6,4 и 26 эВ), значения которой оказались близкими к положению плазмонов графита. Продемонстрирована высокая чувствительность метода СПУЭ при энергии выше 8 кэВ и угле рассеяния 120° с энергетическим и угловым сканированием для определения толщины графенового покрытия. Результаты оценки толщины покрытия с1 = 4.75 ±0.25 нм хорошо согласуются с результатами оценки методом РФЭС.

5. Экспериментально продемонстрирована эффективность метода спектроскопии пиков упругоотраженных электронов для детектирования в поверхности изотопов водорода. Показано, что для углов рассеяния 45° и 120° и энергий электронов 3, 5, 8 кэВ на спектрах упругоотраженных электронов образцов углеводородных покрытий присутствуют пики водорода и дейтерия.

6. Разработана комплексная методика неразрушающего анализа системы покрытие-подложка, позволяющая с нанометровым разрешением проводить послойный анализ элементного и изотопного состава покрытий на глубину, ограниченную транспортным пробегом электронов. Методика включает метод рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, спектроскопии пиков упругоотраженных электронов, спектроскопии характеристических потерь энергии и спектроскопии отраженных электронов. Установлено, что однозначная интерпретация экспериментальных данных достигается исключительно при комплексном анализе перечисленными методами. Применение комплексной методики для исследования поверхности образцов углеродных покрытий, содержащих изотопы водорода, позволило восстановить послойный профиль элементного и изотопного состава поверхности на глубину до 200 нм. Установлены средние стехиометрические коэффициенты для следующих образцов: СН13О05 , СО0ЯН()2Оа2 (образцы подготовлены в Институте Физики плазмы им. М.Планка) СН12О0А (образцы подготовлены во Всероссийском электротехническом институте). Показано,

125 что кислород распределен только в верхних слоях на глубину не более 5-20 нм. Обнаружено, что покрытие, изготовленное в ФГУП ВЭИ, также содержит азот с концентрацией менее 2 %, что, по-видимому, является следствием контакта с атмосферой. Послойный профиль элементного состава образца, изготовленного во ФГУП ВЭИ, с толщиной покрытия, соизмеримой с длиной неупругого пробега электрона, позволил оценить значение толщины с1 = 8.7± 0.3 нм углеводородного покрытия.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Костановский, Илья Александрович, 2013 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. www.iter.org

2. www.iterrf.ru

3. Мирнов С.В. Энергия из воды. Популярно об управляемом термоядерном синтезе. М.: Тровант, 2008. 128 с.

4. Готт Ю.В., Явлинский Ю.Н. Взаимодействие медленных частиц с веществом и диагностика плазмы. М. : Атомиздат, 1973. 129 с.

5. Kurbatov D.K., Sergeev Е. Вю, Kapyshev V. К., et al. Radiation safety of the ITER tritium fuel cycle // Plasma Devices and Operations, 1995. Vol. 4. Iss. l.P. 43-52.

6. Bohmeyer W., Markin A., Naujoks D., et al. Decomposition and sticking of hydrocarbons in the plasma generator PSI-2 // Journal of Nuclear Materials, 2007. Vol. 363-365. P. 127-130.

7. Bohmeyer W., Naujoks D., Markin A., et al. Transport and deposition of injected hydrocarbons in plasma generator PSI-2 // Journal of Nuclear Materials, 2005. Vol. 337-339. P. 89-93.

8. Roth J., Kirschner A., Bohmeyer W., et al. Flux dependence of carbon erosion and implication for ITER // Journal of Nuclear Materials, 2005. Vol. 337-339. P. 970-974.

9. T. Schwarz-Selinger, A. von Keudell, W. Jacob. Plasma chemical vapor deposition of hydrocarbon films: The influence of hydrocarbon source gas on the film propeties. // Journal of Applied Physics, 1999. Vol. 86. Iss. 7. P.3988-3996.

10. G.S. Oehrlein, T. Schwarz-Selinger, K. Schmid, M. Schlüter, W. Jacob. Stages in the interaction of deuterium atoms with amorphous hydrogenated carbon films: Isotope exchange, soft-layer formation, and steady-state erosion // Journal of Applied Physics, 1999. Vol. 108. Iss. 4. P. 04307043317.

11. Батраков А.А. Послойный анализ водорода в конструкционных материалах на основе спектроскопии отраженных электронов: диссертация. ... кандидата физико-математических наук: 01.04.08/ Москва 2011.

12. Панчук В.В. Комбинированный метод анализа поверхности на принципах малоугловой мессбауэровской и рентгеновской спектроскопии: диссертация. ... кандидата физико- математических наук : 02.00.02 / Санкт-Петербург 2005.

13. Александрова Г.А. Количественный анализ в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов в кремнии и железо-кремниевых структурах: диссертация. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01 / Красноярск 2005.

14. Нефедов В.И., Черепин В.Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. М.: Наука, 1983. С. 150-293.

15. Черепин В. Т. Масс-спектрометрия вторичных ионов // Электронная промышленность, 1979, № 1-2, с. 17-34.

16. Grasserbauer М., Stingeder G. Secondary ion mass spectrometry (SIMS) of silicon // Vacuum, 1989. Vol. 39. Iss. 11-12. P. 1077-1087.

17. Grasserbauer M., Stingeder G. Secondary ion mass spectrometry (SIMS) of silicon//Vacuum, 1989. Vol. 39. Iss. 11-12. P. 1077-1087.

18. Rozenak P.,Ladna В., Birnbaum H.K. SIMS study of deuterium distribution in chemically charged aluminum containing oxide layer defects and trapping sites// Journal of Alloys and Compounds, 2006. Vol. 415. Iss. 1-2. P. 134142.

19. Фелдман JI., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок./Пер. с англ. М.: Мир, 1989. 342 с.

20. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности // Пер. с англ. М.: Мир, 1989.-564 с.

21. Введение в физику поверхности / К. Оура [и др.]. М.: Наука, 2006. 460 с.

22. Friedrich M., Pilz W., Sun G, et al. Tritium depth profling in carbon samples from fusion experiments // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 2000. Vol. В172. P. 655-658.

23. Verna H.R. Atomic and nuclear analytical methods. Berlin: Springer, 2007. 375p.

24. Alford T.L., Feldman L.C., Mayer J.W. Fundamentals of nanoscale depth analysis. Springer, 2007. 337p.

25. Машкова E.C., Молчанов В.А. Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел. М.: Энергоатомиздат, 1995. 255 с.

26. Беспалова О.В., Богомолова Л.Д., Борисов A.M. и др. Анализ карбонитридных материалов с использованием спектрометрии обратного рассеяния и атомов отдачи, ЭПР и электронографии // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006. N 6. С. 84-89.

27. Борисов A.M. Ионно-индуцированные процессы и методы исследования поверхностного слоя при высокодозном облучении металлов и углеграфитовых материалов: диссертация. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.01 / Москва 2005.

28. Бакуи А., Беспалова О.В., Борисов A.M. и др. Использование спектрометрии ЯОР протонов для определения стехиометрии двухкомпонентных соединений. // Тез.докл. XXXIII межд. конф. по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. М.: Издательский центр УНЦ ДО, 2003. 147 с.

29. Беспалова О.В., Борисов A.M. и др. Исследование покрытий и поверхностных слоев материалов методом спектроскопии ядерного обратного рассеяния протонов. // Ядерная физика, 2009. Том 72. N 10. С. 1721-1729.

30. Avilkina V.S., Borisov A.M., Vladimirov B.V. et al. Measurement of Elemental Composition of Carbon and Composite Ceramic Materials Using

PIXE and RBS Methods. // Inorganic Materials: Applied Research, 2012. Vol. 3. N 3. P. 239-242.

31. Микродуговое оксидирование (теория, технология, оборудование). / Суминов И.В. [и др.]. М.: Экомет, 2005. 368 с.

32. L'ecuyer J., Brassard С., Cardinal С. The use

of DLi and CI ion beams in surface analysis. // Nuclear Instruments and Methods, 1978. Vol. 149. Iss. 1-3. P. 271-277.

33. Graeffa C.F.O., Freire F.L., Chambouleyron I. Hydrogen and deuterium incorporation and release processes in r.f.-sputtered hydrogenated or deuterated amorphous germanium films. // Philosophical Magazine Part, 1993. Vol. 67, Iss. 5. P. 691-704.

34. Umezawa K., Yamane J., Kuroi Т.. et al. Nuclear reaction analysis and elastic recoil detection analysis of the retention of deuterium and hydrogen implanted into Si and Ga-As crystals. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 2002. Section B. Vol. 33. Iss. 1-4. P. 638-640.

35. Ibarra A., Munoz-Martin A., Martin P. Radiation effects on the deuterium diffusion in Si02. // Journal of Nuclear Materials, 2007. Vol. 367-370. P. 1003-1008.

36. Kubota N., Ochiai K., Kutsukake T. Ion and Neutron Beam Analyses of Hydrogen Isotopes. // Fusion Engineering and Design, 2006. Vol. 81, Iss. 17. P. 227-231.

37. Кузьмин A.A., Айрапетов A.A., Беграмбеков Л.Б., и др. Исследование захвата и удержания изотопов водорода в тайлах токамака Tore Supra. // Вопросы атомной науки и техники, 2009. Серия: Термоядерный синтез. Вып. 3. С. 30-34.

38. Айрапетов А.А., Беграмбеков А.Г., Вергазов С.В., и др. Захват и удержание кислорода и дейтерия в углеграфитовом композите при облучении в дейтериевой плазме с примесью кислорода. // Вопросы атомной науки и техники, 2009. Серия: Термоядерный синтез. Вып. 3. С. 25-29.

39. Begrambekov L., Buzhinsky O., Gordeev A., et al. TDS investigation of hydrogen retention in graphites and carbon based materials // Physica scripta, 2004. Vol. 108. P. 72-76.

40. Campresi R., Cuevas F., Cadiou R., et al. Hydrogen storage properties of DP nanoparticle/carbon template composites. // Carbon, 2008. Vol. 46. P. 206214.

41. Pisarev A., Tanabe T., Emmoth E., et al. Deuterium accumulation in carbon materials at high fluence. // Journal of Nuclear Physics 390-391, 2009, p.677-680.

42. Temmerman G.De, Doerner R.P. Deuterium retention and release in tungsten co-deposited layers. // Journal of Nuclear Materials, 2009. Vol. 389. P. 479-483.

43. Oliver B.M., Dai Y. Helium and hydrogen measurements on pure materials irradiated in SINQ Target 4. // Journal of Nuclear Materials, 2009. Vol. 386388. P. 383-386.

44. Yoshida M., Tanabe T., Nobuta Y., et al. Hydrogen isotope retention in the outboard first wall of JT-60U // Journal of Nuclear Matherials, 2009. Vol. 390-391. P. 635-638

45. Poon M., Haasz A.A., Davis J.W. Modelling deuterium release during thermal desorption of D+-irradiated tungsten. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 2008. Vol. 374. P. 390^102.

46. Dittmar T., Tsitrone E., Pegourie B., et al. Deuterium Inventory in Tore Supra (DITS): 2nd post-mortem analysis campaign and fuel retention in the gaps. // Journal of Nuclear Materials, 2009. Vol. 415. Iss. 1. P.S757-S760.

47. Ogorodnikova O.V., SugiyamaK., Schwarz-Selinger T., et al. Ion-induced deuterium retention in tungsten coatings on carbon substrate. //Journal of Nuclear Materials, 2011. Vol. 419. Iss. 1-3. P.194-200.

48. Wright G.M., Westerhout J., Ala R.S., et al. Materials research under ITER-like divertor conditions at FOM Rijnhuizen. // Journal of Nuclear Materials, 2011. Vol. 417. Iss. 1-3. P. 457^462.

49. Bizyukov I., Krieger K., Lee H., et al. An overview of sputtering-related processes occurring at mixed surfaces formed by simultaneous C+ and D+ irradiation of W. // Journal of Nuclear Materials, 2012. Vol. 427. Iss. 1-3. P. 401—410.

50. Avashi D.K. Developments in nuclear techniques for hydrogen depth profiling. //Bulletin of Material Science, 1996. Vol. 19. No 1. P. 3-14.

51. Maldener J., Hosch A., Langer K., et al. Hydrogen in some natural garnets srudied by nuclear reaction analysis and vibrational spectroscopy. // Phys. Chem. Minerals, 2003. Vol. 30. P. 337-344.

52. ReinholzU., BremserW., Brzezinka K.-W., et al. A thin-layer reference material for hydrogen analysis. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 2008. Vol. 266. P. 2418-2423.

53. KhodjaH., BrossetC., BernierN. Deuterium inventory in plasma facing materials by mean of NRA: microbeam probe approach. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 2008. Vol. 266. P. 14251429.

54. Sekiba D., Yonemuraa H., Nebikia T. Developments of micro-beam NRA for 3D-mapping of hydrogen distribution in solids: Application of tapered glass capillary to 6 MeV 15N ion.// Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 2008. Vol. 266. P.4027-4037.

55. Scanning auger electron microscopy. Chichester / [Ed. by Prutton M.M.], Chichester: John Wiley and Sons, 2006. 368 p.

56. Practical Surface Analysis: Auger and X-ray photoelectron spectroscopy/[Ed. by] David Briggs, M. P. Seah. John Wiley & Sons, Ltd., 1990. 657 p.

57. Briant C.L. Auger electron spectroscopy. / Boston: Academic Press, 1988. 259 p.

58. Carlson T.A. Photoelectron and auger spectroscopy. / Plenum Press, 1975. 417 p.

59. Handbook of Auger electron spectroscopy: a reference book of standard data for identification and interpretation of Auger electron spectroscopy data. / [Ed. by Palmberg P.W]. Physical Electronics Industires, 1972. 160 p.

60. Childs K. D., Hedberg C.L., et al. Handbook of Auger electron spectroscopy: reference book of standard data for identification and interpretation of Auger electron spectroscopy data. / Edina, Minn: Physical Electronics Industries, 1995. 405 p.

61. Hofmann S. Quantative Auger electron spectroscopy in thin film depth profiling. // Vacuum, 1997. Vol. 48. Iss. 7-9. P. 607-612.

62. Powell C. J. Recommended Auger-electron kinetic energies for 42 elemental solids. // Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, 2010. Vol. 182. Iss. 1-2. P.ll-18.

63. Kraatz P., Lee T.H., Weil L. Auger depth profile and stud pull adhesion of metal films on graphite-epoxy composites. // Thin Solid Films, 1997. Vol. 308-309. Iss. 1-4. P. 375-381.

64. Ishihara S.-I., Hirao T. Depth profile measurements of aluminium film on phosphorus-doped hydrogenated amorphous silicon layers by Auger electron Spectroscopy. // Thin Solid Films, 1987. Vol. 155. Iss. 2. P. 325-329.

65. Lea C., Seah M.P. Optimized depth resolution in ion-sputtered and lapped compositional profiles with Auger electron spectroscopy. // Thin Solid Films, 1981. Vol. 75. Iss. l.P. 67-86.

66. Wang J.Y., Starke U., Mittemeijer E.J. Evaluation of the depth resolutions of Auger electron spectroscopic, X-ray photoelectron spectroscopic and time-of-flight secondary-ion mass spectrometric sputter depth profiling techniques. //Thin Solid Films, 2009. Vol. 517. Iss. 11. P.3402-3407.

67. Cao Z.X. Auger electron spectroscopy sputter depth profiling technique for binary solids. // Surface Science, 2000. Vol. 452. Iss. 1-3. P. 220-228.

68. Nicolas A., Barnier V., Aublant E. Auger electron spectroscopy analysis of chromium depletion in a model Ni-16Cr-9Fe alloy oxidized at 950 °C // Scripta Materialia, 2011. Vol. 65. Iss 9. P.803-806.

69. Karlsson E. В., Siegbahn H. Introduction to Kai Siegbahn's memorial issue // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A, 2009. Vol. 601. Iss. 1-2. P. 1-7.

70. Hajati S., Tougaard S. XPS for non-destructive depth profiling and 3D imaging of surface nanostructures // Analytical and Bioanalytical Chemistry, 2010. Vol. 396. P.2741-2755.

71. Powell C.J. Jablonskiy A. progress in quantative surface analysis by X-ray photoelectron spectroscopy: current status and perspectives //Journal of electron spectroscopy and related phenomena, 2010. Vol. 178-179. P. 331346.

72. Ratner B.D., Castner D.G. Advances in X-ray photoelectron spectroscopy instrumentation and methodology: instrument evaluation and new techniques with special reference to biomedical studies // Colloids and Surfaces B: Biointerfaces, 1994. Vol. 2. Iss. 1-3. P. 333-346.

73. Гомоюнова M.B. Пронин И.И. Фотоэлектронная спектроскопия остовных уровней атомов поверхности кремния (обзор) // Журнал технической физики, 2004. Т. 74. Вып. 10. С. 1-34.

74. Tougaard S. Energy loss in XPS: Fundamental processes and applications for quantification, non-destructive depth profiling and 3D imaging // Journal of electron spectroscopy and related phenomena, 2010. Vol. 178-179. P. 128153.

75. http://www.casaxps.com

76. Kimura K., Nakajima K., Zhao M. et al. Combination of high-resolution RBS and angle-resolved XPS: accurate depth profiling of chemical states // Surface and Interface Analysis, 2008. Vol.40. P.423-426.

77. Jablonski A. Angular distribution of photoemission from amophous and polycrystalline solids. // Physical Review, 1993. Vol. 48. N. 7. P. 4799 -4805.

78. Tougaard S., Ignatiev A. Concentration depth profiles by XPS; A new approach. // Surface Science, 1983. Vol. 129. Iss. 2-3. P. 355-365.

79. Tougaard S. Non-destructive in-depth composition information from XPS // Surface Science Letters, 1986. Vol. 172. Iss. 1. P. L503-L506.

80. Moreira M.D., Fontes G.N., Niehus H. et al. First-principles calculations and XPS measurements of gold segregation at the Cu3Au(100) surface. // Journal of Vacuum Science Technology B, 2012. Vol. 30. Iss.5. P. 051802-051802-5.

81. Jensen I.T.J., Lowik O.M., Schreuders H. et al. Combines XPS and first principle study of metastable Mg-Ti thin films. // Surface and Interface Analysis, 2012. Vol. 44. Iss. 8. Pages 986-988.

82. Lizarraga R., Holmstrom E., Parker S.C. et al. Structural characterization of amorphous alumina and its polymorphs from first-principles XPS and NMR calculations. // Physical Review B, 2011. Vol. 83. Iss. 9. Pages 094201 -094201-9.

83. Oku M., Wagatsuma K., Matsuda H. Background subtraction from transition metal 2p XPS by deconvolution using ligand atom XPS: study on first transition metal cyanide complexes // Journal of electron spectroscopy and related phenomena, 1997. Vol. 83. Iss. 1. P.31-39.

84. Aroniemi M., Sainio J., Lahtinen J. Chemical state quantification of iron and chromium oxides using XPS: the effect of the background subtraction method// Surface Science, 2005. Vol. 578. Iss. 1-3. P. 108-123.

85. Seah M.P. Background subtraction: I. General behaviour of Rougaard-style backgorund in AES and XPS. // Surface Science, 1999. Vol. 420. Iss. 2-3. P. 285-294.

86. Seah M.P., Gilmore I.S., Spencer S.J. Background subtraction: II. General behaviour of REELS and the Tougaard universal cross section in removal of background in AES and XPS // Surface Science, 2000. Vol. 461. Iss. 1-3. P. 1-15.

87. Seah M.P. Background subtraction: III. The application of REELS data to background removal in AES and XPS. // Surface Science, 2001. Vol. 471. Iss. 1-3. P. 185-202.

88. Briggs D. Surface analysis of polymers by XPS and static SIMS // Cambridge: Cambridge University Press, 2005. 198 p.

89. Verbeeck J., Bertoni G. Model-based quantification of EELS spectra: Treating the effect of correlated noise. // Ultramicroscopy, 2008. Vol.108. P.74-83.

90. Nagatomi T., Kawano T., Shimuzu R. Determination of effective energy loss functions and x-ray photoelectron spectroscopy source functions for Si 2p photoelectrons from clean Si(lll), oxygen-adsorbed Si(lll) and Si02 surfaces // Journal of Applied Physics, 1998. Vol.83. N.12. P.8016-8026.

91. Yubero F., Tougaard S. Model for quantative analysis of reflection-electron-energy-loss spectra. // Physical Review B, 1992. Vol.46. N.4. P.2486-2497.

92. Yubero F., Sanz J.M., Ramskov B., Tougaard S. Model for quantative analysis of reflection-electron-energy-loss spectra: Angular dependence. // Physical Review B, 1996. Vol. 53. N. 15. P.9719-9727.

93. Vikanek M. Electron transport processes in reflection electron energy loss spectroscopy (REELS) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Review. // Surface Science, 1990. Vol. 440. P. 1-40.

94. Werner W.S.M., Hayek M. Influence of the Elastic Scattering Cross Section on Angle Resolved Reflection Electron Energy Loss Spectra of Polycrystalline Al, Ni, Pt and Au. // Surface Interface Analysis, 1994. Vol. 22. P.79.

95. Werner W.S.M. Obtaining quantitative information on surface excitations from reflection electron energy loss spectra (REELS). // Surface Interface Analysis, 2003. Vol. 35. P.347.

96. Werner W.S.M., Eisenmenger-Sittner C., Zemek J. et al. Scattering angle dependence of the surface excitation probability in reflection electron energy loss spectra. // Physical Review B, 2003. Vol. 67. P. 155412.

97. Afanas'ev V., Lubenchenko A., Gubkin M. Quantitative interpretation of EELS and REELS spectra. // Europian Physical Journal B, 2004. Vol. 37. P. 117-125.

98. Афанасьев В.П., Ефременко Д.С., Лубенченко A.B. и др. Восстановление сечений неупругого рассеяния из энергетических спектров отраженных атомных частиц // Известия РАН. Серия Физическая. Т. 2010. №.2. С. 189-193.

99. Filippi M., and Calliari L. Measuring the energy of the graphite pi + sigma plasmon peak. // Surface and Interface Analysis, 2006. Vol. 38. P.595-598.

100. Shul'ga Yu.M., Rubtsov V.l., Lobach A.S. Reflection-electron- energy-loss spectra of the fullerenes C60 and C70 // Zetschrift fur Physic B, 1994. Vol.93. N.3.P.327-331.

101. Афанасьев В.П. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел. -М.: МЭИ, 2005.

102. Афанасьев В.П. Взаимодействие потоков электронов и легких ионов со слоисто-неоднородными мишенями : диссертация. ... доктора физико-математических наук : 01.04.04 / Москва 2003.

103. Лубенченко A.B. Теория отражения излучения средами с анизотропным законом рассеяния на основе принципов инвариантности : диссертация ... доктора технических наук : 05.11.07, 01.04.08/Москва2006.

104. Afanas'ev V.P., Fedorovich S.D., Lubenchenko A.V., Rijov A.A., Esimov M.S. Kilovolt electron backscattering // Zeitschrift für Physic В, !994. Vol. 96. P.253-256.

105. Афанасьев В.П., Лубенченко A.B., Паволоцкий А.Б. Исследование границы Al/Nb на основе анализа энергетических спектров отраженных электронов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, No 10, 2008, с . 27-32.

106. Афанасьев В.П., Барат A.A., Белицкий В.Ю., Лубенченко A.B., Лукашевский М.В., Паволоцкий А.Б., Федорович С.Д. Энергетические спектры электронов, отраженных от многослойных мишеней с резкими и размытыми границами раздела. Послойный анализ // Поверхность.

Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, No 3, 2005, с. 24-27.

107. Afanas'ev V.P., Lubenchencko A.V., , Lukashevsky M.V. et al. Study of Al/Nb interface by spectroscopy of reflected electrons. // Journal of Applied Physics, 2007. Vol. 101. P.064912.

108. Афанасьев В.П., Батраков A.A., Бомаер В., Науекс Д., Лубенченко А.В., Маркин А. Анализ углеводородных покрытий на основе спектроскопии отраженных электронов // Вестник МЭИ. - Москва, 2009, с. 25-32.

109. Afanas'ev V.P., Afanas'ev M.V., Batrakov А.А., Bohmeyer W., Naujoks D., Lubenchenko A.V., and Markin A. Analysis of Depth Profiles of Hydrogen Isotopes in Structural Materials via Reflected Electron Spectroscopy // Journal of Surface Investigation. X ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2011, Vol. 5, No. 1, pp. 70-74.

110. Boersch H., Wolter R., Schoenebeck H.Z. Elastische Energieverluste kristallgestreuter Elektronen// Zeitschrift fiir Physik A Hadrons and Nuclei, 1967. Vol. 199. N.l. P.124-134.

111. Vos M., Went M.R. Rutherford backscattering using electrons as projectiles: underlying principles and possible applications. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research: Section B, 2008. Vol. 266. P.998-1011.

112. Jablonski A. Modeling of elastic and inelastic backscattering from surfaces. Review. // Progress in Surface Science, 2005. Vol.79. P.3-27.

113. http://www.nist.gov/srd/nist64.cfm

114. Tanuma, S., Powell, C. J., and Penn, D. R. Calculations of Electron Inelastic Mean Free Paths // Surface and Interface Analysis, 1991. Vol.17. P.911-926.

115. Tanuma, S., Powell, C. J., and Penn, D. R. Calculations of Electron Inelastic Mean Free Paths (IMFPs)VI. Analysis of the Gries Inelastic Scattering Model and Predictive IMFP Equation. // Surface and Interface Analysis, 1997. Vol.25. P. 25-35.

116. Tanuma, S., Powell, C. J., and Penn, D. R. Calculation of electron inelastic mean free paths (IMFPs) VII. Reliability of the TPP-2M IMFP predictive equation// Surface and Interface Analysis, 2003. Vol.35. P. 268-275.

117. Tanuma, S., Powell, C. J., and Penn, D. R. Calculations of electron inelastic mean free paths. IX. Data for 41 elemental solids over the 50 eV to 30 keV range. // Surface and Interface Analysis, 2011. Vol.43. P. 689-713.

118. Gergely G. Elastic peak electron spectroscopy // Scanning, 1986. Vol. 8. P. 203-214.

119. Dubus A., Jablonski A., Tougaard S. Evaluation of theoretical models for elastic electron backscattering from surfaces. // Progress in Surface Science, 2000. Vol. 63. P. 135-175.

120. Бронштейн И.М., Пронин В.П., Хинич И.И. и др. Спектроскопия упругого отражения электронов как эффективный метод диагностики поверхности твердого тела. // Известия Российского государственного педагогического университета им. А.И. Герцена, 2006. Т.6. №15. С. 151-165.

121. Пронин В.П., Хинич И.И., Чистотин И.А. Спектроскопия упругого отражения электронов для количественного элементного анализа поверхности твердого тела. // Письма в ЖТФ, 2008. Т. 34. Вып. 19. С. 21-26.

122. Jablonski A., Zemek J. Angle-resolved elastic-peak electron spectroscopy: Solid-state effects. // Surface Science, 2006. Vol. 600. P. 4464-4474.

123. Jablonski A., Zemek J. Angle-resolved elastic-peak electron spectroscopy: Role of surface excitations. // Surface Science, 2007. P. 3409-3420.

124. Zemek J., Jiricek P., Werner W.S.M. et al. Angular-resolved elastic peak electron spectroscopy: experiment and Monte Carlo calculations. // Surface and Interface Analysis, 2006. Vol.38. P.615-619.

125. Бронштейн И. M., Пронин В. П. Упругое отражение электронов средних энергий от твердых тел // Физика Твердого Тела, 1975. Т. 17. Вып.7. С.2086-2088.

126. Бронштейн И. М., Пронин В. П. Упругое рассеяние электронов средних энергий металлическими пленками // Физика Твердого Тела, 1975. Т. 17. Вып.8. С.2431-2433.

127. Упругое отражение электронов средних энергий от неупорядоченных металлических поверхностей / И. М. Бронштейн, А. А. Васильев, В. П. Пронин, И. И. Хинич. // Известия Академии Наук СССР. Серия физичекая, 1985. Т.49. №9. С.1755-1759.

128. Артемьев В.П., Макаров В.В., Петров H.H. О возможностях применения метода резерфордовского обратного рассеяния электронов для исследования приповерхностных слоев твердых тел//Известия Академии Наук СССР. Серия Физическая, 1985. Т.49. №9. С.1765-1769.

129. Артемьев В.П., Макаров В.В., Игонин С.И. и др. Высокоразрешающая спектроскопия упругого отражения быстрых электронов//В сборнике "Проблемы физической электроники 91", Д.: ФТИ им. А.Ф.Иоффе АН СССР, 1991. С.5-30.

130. Afanas'ev V.P., Afanas'ev M.V., Lubenchenko A.V. Influence of multiple elastic scattering on the shape of the elastically scattered electron peak. // Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, 2010. Vol.177. P.35-41.

131. Афанасьев В.П., Афансьев M.B., Лисов A.A. и др. Измерение изотопного состава водорода в углеродных материалах на основе спектроскопии пиков упругорассеянных электронов. // Журнал технической физики, 2009. Т.79. Вып.11. С. 106-112.

132. Батраков A.A., Лубенченко A.B. Статистическое моделирование спектров упругоотраженных электронов // Математическое соделирование, 2011. Т.23. №3. С.22-26.

133. Лубенченко A.B. Угловые распределения заряженных частиц и излучения. // Поверхность. Рентгеновски, Синхротронные и Неутронные исследования, 2003. № 4. С. 22-31.

134. Shimuzu R., Kataoka Y., Ikura T. et el. A Monte Carlo approach to the direct simulation of electron penetration in solids. // Journal of Physics D: Applied Physics, 1976. Vol. 9. P. 101-114.

135. Tanuma, S., Powell, C. J., and Penn, D. R. Experimental determination of electron inelastic mean free paths in 13 elemental solids in the 50 to 5000 eV energy range by elastic-peak electron spectroscopy. // Surface and Interface Analysis, 2005. Vol. 37. P. 833-845.

136. Vos M., Went M.R. High-resolution study of quasi-elastic electron scattering from two-layer system. // Surface Science, 2006. Vol. 600. P. 2070-2078.

137. Vos M., Went M.R. Elastic electron scattering at high momentum transfer: a possible new analytic tool. // Journal of Electron spectroscopy and Related Phenomena, 2007. Vol. 155. P.35-39.

138. Vos M., Went M.R. Effects of bonding on the energy distribution of electrons scattered elastically at high momentum transfer. // Physical Review B, 2006. Vol.74, N.20. P.205407.

139. Vos M., Went M.R. Experimental confirmation of the EPES sampling depth paradox for overlayer/substrate systems. // Surface Science, 2007. Vol.601. P.1536-1543.

140. Vos M. Went M.R. Electron Rutherford back-scattering case study: oxidation and ion implantation of aluminum foil. // Surface and Interface Analysis, 2007. Vol. 39. P.871-876.

141. Yubero F., Rico V.J., Espinos J.P. et al. Quantification of the H content in diamond like carbon and polymeric thin films by reflection electron energy loss spectroscopy. // Applied Physics Letters, 2005. Vol.87. P.084101.

142. Yubero F., Tokesi K. Identification of hydrogen and deuterium at the surface of water ice by reflection electron energy loss spectroscopy. // Applied Physcis Letters, 2009. Vol.95. P.084101.

щ

144.

145.

146.

147.

148.

149.

150.

151.

152.

153.

154.

Hitchcock А.Р., Cooper G., Bonham R.A. Quasi-elastic electron scattering from atoms and molecules. // Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, 2010. Vol. 181. Iss. 2-3. P. 135-139.

Модуль электронно-ионной спектроскопии на базе платформы

НаноФаб 25. Инструкция по эксплуатации. 2010 г.

Phoibos energy analyser HV Series brochure,

http://www.specs.de/cms/upload/PDFs/SPECS_Prospekte/new_design/2012

0224_e_PHOIBOS_HV_Product_brochure_final_web.pdf

Chandrasekhar S. Radiative Transfer. / New York: Dover, 1950.

Rubin S. Surface analysis by charged particles spectroscopy // Nucl. Instr.

and Methods, 1959. Vol. 5. P. 177-183.

Everhart Т.Е. Simple theory concerning the reflection of electrons from solids. // Journal of Applied Physics, 1960. Vol. 31. N. 8. P. 1483-149. Afanas'ev V.P., Naujoks D. Backscattering of light ions // Zeitschrift fur Physic В - Condensed Matter, 1992. Vol. 86. P.39-47. Ефременко Д.С. Решение обратных задач теории переноса частиц и излучения для исследования многослойных структур: диссертация. ... кандидата физико-математических наук: 01.04.04 / Москва 2011. Cabrera N., Mott N.F. Theory of oxidation of metals. // Reports of Progressive Physics, 1949. Vol. 12. P. 163-184.

Chien-Ming Chiang, Li-Shin Chang. Microstrucure and characterization of aluminum oxide films prepared by reactive RF magnetron sputtering on copper. // Surface and Coating Technology, 2005. Vol. 198. P. 152-155. Ji H., Zhang L., Pettes M.T. et al. Ultrathin Graphite Foam: A Three-Dimensional Conductive Network for Battery Electrodes. // Nano Letters, 2012. Vol. 12. P. 2446-2451.

Klasson M., Hedman J., Berndtsson A., et al. Escape depths of X-ray excited electrons // Phys. Scripta, 1972. Vol. 5. P. 93.

Gass M.H., Bangert U., Bleloch A.L. et al. Free-standing graphene at atomic resolution // Nature Nanotechnology, 2008. Vol. 20083. P. 676 - 681.