Комбинированная модификация титановых сплавов с целью повышения их сопротивления усталости тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.08, кандидат технических наук Сафин, Эдуард Вилардович

• Сафин, Эдуард Вилардович
• кандидат технических наук
• 1999

Оглавление диссертации кандидат технических наук Сафин, Эдуард Вилардович

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ ВЗАИМОСВЯЗИ ФИЗИКО - ХИМИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ ТИТАНОВЫХ СПЛАВОВ И ИХ МИКРОСТРУКТУРЫ С СОПРОТИВЛЕНИЕМ УСТАЛОСТИ (ОБЗОР)

1.1 Анализ влияния состояния поверхности материала на сопротивление усталости лопаток компрессора ГТД

1.2 Взаимосвязь микроструктуры титановых сплавов с их свойствами

1.3 Свойства титановых сплавов с субмикрокристаллической (СМК) микроструктурой

1.4 Механизм формирования субмикрокристаллической (СМК) микроструктуры в металлических материалах при больших пластических деформациях с постепенным снижением температуры обработки

1.5 Влияние ионной имплантации на сопротивление усталости конструкционных материалов

1.6 «Эффекты дальнодействия» при ионной имплантации

1.6.1 Обзор экспериментально наблюдаемых проявлений «эффектов дальнодействия»

1.6.2 Обзор теоретических моделей, объясняющих «эффекты дальнодействия»

1.6.3 Теория диффузии имплантированной примеси по дислокациям

1.7 Анализ режимов ионного воздействия, обеспечивающих увеличение глубины модифицированного слоя на основе проявления «эффекта дальнодействия»

1.8 Основные выводы, цель и задачи исследования

ГЛАВА 2. ОПИСАНИЕ ПРИМЕНЯЕМЫХ МЕТОДИК ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ И МЕТОДОВ ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ

2.1 Механические свойства, химический состав и структурно-фазовое состояние

исследуемых материалов

2.2 Оборудование для ионного модифицирования

2.3 Методики и оборудование для оценки физико - химического и структурно -фазового состояния поверхностного слоя исследуемых материалов

2.3.1 Методика электронно - микроскопического исследования и идентификации картин микродифракции

2.3.2 Методика рентгеноструктурного анализа

2.3.3 Методика проведения электронной Оже - спектроскопии

2.4 Методика и оборудование для проведения испытаний на усталость

ГЛАВА 3 ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОГО, СТРУКТУРНО-ФАЗОВОГО СОСТОЯНИЯ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТИТАНОВОГО СПЛАВА ВТ6 В СВЯЗИ С КОМБИНИРОВАННОЙ

МОДИФИКАЦИЕЙ

3.1 Влияние ионного модифицирования на изменение микротвердости

3.2 Результаты электронной Оже - спектроскопии

3.3 Электронная микроскопия поверхности титанового сплава ВТ6 с СМК микроструктурой в связи с ионным модифицированием

3.4 Рентгеноструктурный анализ титанового сплава ВТ6 в связи с ионным модифицированием поверхности

3.5 Влияние ионного модифицирования на механические свойства титанового сплава ВТ6 с различными типами микроструктур

3.6 Выводы

ГЛАВА 4. СОПРОТИВЛЕНИЕ УСТАЛОСТИ ТИТАНОВОГО СПЛАВА ВТ6 В СВЯЗИ С КОМБИНИРОВАННОЙ МОДИФИКАЦИЕЙ

4.1 Определение предела выносливости титанового сплава ВТ6 в связи с

комбинированной модификацией

4.2 Фрактографический анализ усталостных изломов сплава ВТ6 в связи с комбинированной модификацией

4.3 Выводы

ГЛАВА 5 РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕКОМЕНДАЦИЙ ПО КОМБИНИРОВАННОЙ МОДИФИКАЦИИ СПЛАВА ВТ6 ПРИМЕНИТЕЛЬНО К ИЗГОТОВЛЕНИЮ ЛОПАТОК КОМПРЕССОРА ГТД

5.1 Технологические рекомендации по получению заготовок лопаток компрессора ГТД из титановых сплавов

5.2 Технологические рекомендации по окончательной обработке поверхности лопаток компрессора ГТД из титановых сплавов

5.3 Расчет экономической эффективности от внедрения технологии комбинированной модификации титановых сплавов применительно к рабочим лопаткам компрессора ГТД

5.4 Выводы

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Комбинированная модификация титановых сплавов с целью повышения их сопротивления усталости»

ВВЕДЕНИЕ

Развитие научно-технического прогресса в области создания и производства авиационных двигателей нового поколения требует совершенствования существующих и разработки принципиально новых технологических процессов, направленных на повышение надежности и долговечности их деталей. Это является одной из наиболее важных проблем, определяющую роль в решении которой играют методы обработки, с помощью которых формируется как структурно-фазовое состояние материала в объеме детали, так и физико-химическое состояние поверхностного слоя.

Лопатки компрессора, относясь к наиболее массовым деталям и работая в условиях высоких температур, нагрузок и агрессивных сред, в большинстве случаев определяют ресурс и надежность газотурбинных двигателей (ГТД). В настоящее время обеспечение надежности лопаток достигается путем применения традиционных методов отделочно- упрочняющей и химике - термической обработки, различного рода гальванических, конденсированных и диффузионных защитных покрытий [1-26]. Вместе с тем, указанные подходы в большинстве случаев исчерпали свой возможности [2, 4, 6, 14].

Анализ литературы показывает, что существует комбинированный подход к технологии обработки деталей с целью повышения их эксплуатационных свойств [7]. Повышенные свойства в данном случае обеспечиваются путем подбора рациональных методов и режимов обработки при прохождении всей технологической цепочки, начиная с получения заготовки и заканчивая финишной обработкой поверхности детали.

Различные виды деформационных и термических обработок формируют в заготовке микроструктуру того или иного типа, обладающую определенными физико- механическими свойствами [27 - 29], а финишная обработка поверхности, в зависимости от выбранного метода, приводит к получению определенного физико- химического состояния поверхностного слоя [1 - 26]. Как

следствие, это должно оказать влияние на эксплуатационные свойства деталей, в том числе характеристики сопротивления усталости. Поэтому основной задачей работы является получение такого сочетания режимов деформационных и термических обработок материала и окончательной обработки поверхности, которое обеспечивало бы повышение сопротивления усталости материалов лопаток компрессора ГТД.

Из анализа литературы [32 - 43] следует, что одним из перспективных направлений по получению структурно- фазовых состояний с повышенными физико - механическими свойствами является формирование в промышленных сплавах субмикрокристаллических (СМК) микроструктур.

Применительно к процессам поверхностной модификации и создания защитных покрытий ведутся интенсивные исследования по применению пучков заряженных частиц (ионных, плазменных, электронных, лазерных и др.) [1, 7, 45].

Ионная имплантация (ИИ) (или ионное модифицирование (ИМ)), являясь одним из высококонтролируемых и перспективных методов модификации поверхности конструкционных материалов, приводит к значительным изменениям физико- химического состояния поверхностного слоя и, как следствие, характеристик сопротивления усталости: предела выносливости, циклической долговечности и надежности [44-107, 168, 169, 186, 187]. Вместе с тем, применительно к модификации поверхностных слоев металлов и сплавов доведение метода ионной имплантации до стадии широкого применения зачастую тормозится малой глубиной проникновения ионов. В этой связи актуальной является задача обеспечения повышения глубины модифицированного слоя, степени упрочнения поверхности и, как следствие, эксплуатационных свойств конструкционных материалов.

Проведение сравнительного исследования по определению характеристик сопротивления усталости титанового сплава, имеющего различные типы микроструктур, а также модифицированную и немодифицированную методом ИИ

поверхность, позволит выработать рекомендации по рациональному применению на практике того или иного состояния в зависимости от конкретных условий эксплуатации деталей.

Целью данной работы является исследование условий повышения сопротивления усталости титановых сплавов при их комбинированной модификации.

Для достижения поставленной цели в работе решались следующие основные задачи: 1. Исследование влияния деформационных и термических методов обработки титановых сплавов на их структурно - фазовое состояние и физико - механические свойства. 2. Исследование условий повышения микротвердости поверхности, глубины модифицированного слоя и физико -механических свойств титановых сплавов при воздействии ионных пучков с низкими энергиями. 3. Исследование «эффекта дальнодействия» в связи с ИМ поверхности. 4. Исследование сопротивления усталости титановых сплавов в связи с их комбинированной модификацией. 5. Разработка технологических рекомендаций по комбинированной модификации сплавов на основе титана с целью повышения их сопротивления усталости.

На защиту выносятся следующие положения диссертации: 1. Результаты исследований по влиянию деформационных и термических методов обработки на структурно - фазовое состояние, физико - механические свойства, предел выносливости титанового сплава ВТ6. 2. Результаты исследований физико -химического, структурно - фазового состояния титанового сплава ВТ6 в связи с ИМ поверхности. 3. Результаты исследований микротвердости, физико -механических свойств и испытаний на усталость титанового сплава ВТ6 в связи с ею комбинированной модификацией.

Актуальность темы диссертации подтверждается тем, что она связана с выполнением планов работ по:

1) Федеральной целевой Программе «Интеграция» (контракт № 2.1 - 80), Комплекс «Сверхпластичность» УГАТУ (Уфимский государственный

авиационный технический университет) - ИПСМ РАН (Институт проблем сверхпластичности металлов, г. Уфа);

2) Научно-технической Программе АН РБ «Наукоемкая техника и технология для машиностроения Республики Башкортостан»;

3) Хозяйственному договору УГАТУ и ОАО «Уфимское моторостроительное производственное объединение» (тема № АТ-ТМ-01-98-ХТ).

Научная новизна. Впервые установлено, что комбинированная модификация, включающая в себя формирование в материале СМК микроструктуры и облучение поверхности пучками ионов с низкими энергиями с последующим вакуумным стабилизирующим отжигом, способствует повышению сопротивления усталости сплавов на основе титана при нормальной температуре, что обусловлено повышенными прочностными характеристиками основы и дополнительным упрочнением поверхностного слоя. Впервые установлено, что обработка титанового сплава ВТ6 пучками ионов аргона и азота с низкими энергиями обеспечивает модифицирование поверхностных слоев и повышение их микротвердости (патент РФ № 2117073), что обусловлено образованием радиационных дефектов кристаллического строения, твердых растворов внедрения и мелкодисперсных выделений нитридов, оксинитридов и оксикарбонитридов титана. Установлено, что при ионном модифицировании (ИМ) сплава имеющего СМК микроструктуру отмечается дополнительное увеличение концентрации и глубины проникновения ионов азота, по сравнению с аналогичной обработкой сплава с микрокристаллической (МК) микроструктурой, обусловленное их диффузией по дислокациям и границам зерен. Установлено, что сплав с СМК микроструктурой по сравнению с МК в термоупрочненном состоянии обладает повышенными характеристиками прочности при нормальной температуре без снижения характеристик пластичности. При увеличении температуры испытаний отмечается более интенсивное снижение характеристик прочности в сплаве с СМК микроструктурой, чем с МК, что связано с интенсивным протеканием релаксационных процессов. Установлено, что ИМ, за

счет формирования упрочненного поверхностного слоя, приводит к повышению прочности титановых сплавов и незначительному снижению пластичности. После ИМ наиболее существенное повышение характеристик прочности отмечается в сплаве с СМК микроструктурой, имеющего наибольшую глубину модифицированного слоя.

Практическая реализация. Разработанные технологические рекомендации по комбинированной модификации титанового сплава ВТ6 положены в основу перспективного технологического процесса изготовления рабочих лопаток КВД изделий AJI-31CT и Д436Т1 в условиях ОАО «УМПО».

Апробация работы. Результаты, изложенные в диссертации, докладывались на семинарах кафедры технологии машиностроения и научно -технических конференциях УГАТУ, 1996 - 1998 г.г., на 8-ом Межнациональном совещании «Радиационная физика твердого тела», Севастополь, 1998 г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 3 научные работы и отчет по Федеральной целевой Программе «Интеграция», в которых отражены основные результаты проведенных исследований; получен патент РФ:

1. Гусева М. И., Смыслов А. М., Сафин Э. В. Влияние ионной имплантации на изменение микротвердости титанового сплава ВТ6 в субмикрокристаллическом и микрокристаллическом состояниях. // Проблемы машиноведения, конструкционных материалов и технологий. Сборник научных трудов отделения технических наук АН РБ. - Уфа: Гилем, 1997. - С. 188 - 197.

2. Сафин Э. В., Смыслов А. М., Гусева М. И.. Рентгеноструктурный анализ имплантированного азотом титанового сплава ВТ6 // Труды 8-ого Межнационального совещания «Радиационная физика твердого тела», (Севастополь, 29 июня - 4 июля 1998 г.), М., НИИ ПМТ при МГИЭМ (ТУ), 1998.-С. 618-620.

3. Патент РФ № 2117073 МКИ6 С23С 14/48. Гусева М.И., Смыслов А.М., Сафин Э.В. и др. Способ модификации поверхности титановых сплавов. Опубликован 10. 08. 98. Бюл . №22.

4. Влияние ионного модифицирования на механические свойства титанового сплава ВТ6 в субмикрокристаллическом состоянии. Галеев Р. М., Салищев Г. А., Смыслов А. М., Жеребцов С. В., Сафин Э. В. // В межвузовском тематическом научном сборнике: Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УГАТУ, 1998. - С. 156 -160.

5. Смыслов А. М. Сафин Э.В. Исследование влияния ионной имплантации азота на элементный, структурно - фазовый состав поверхности и физико -механические свойства титанового сплава ВТ6 //Отчет по Федеральной целевой Программе «Интеграция» (№ ГР 01980000539, контракт № 2.1 - 80), Комплекс «Сверхпластичность» УГАТУ - ИПСМ РАН, 1998. - С. 181 - 219.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, основных выводов, изложена на 199 страницах машинописного текста, содержит 66 рисунков, 10 таблиц и библиографию из 197 наименований.

Заключение диссертации по теме «Технология машиностроения», Сафин, Эдуард Вилардович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Впервые установлено, что комбинированная модификация сплава ВТ6, включающая в себя формирование в нем СМК микроструктуры и ИМ поверхности при помощи пучков с низкими энергиями и последующего стабилизирующего отжига способствует повышению его предела выносливости при нормальной температуре. Предел выносливости сплава подвергнутого комбинированной модификации составляет а1= 720 МПа, тогда как в МК отожженном состоянии - сг1= 527 МПа, что объясняется повышенными прочностными характеристиками материала и дополнительно упрочненным поверхностным слоем.

2. Установлено, что облучение сплава ВТ6 пучками ионов аргона и азота с низкими энергиями с последующим стабилизирующим отжигом позволяет повысить его предел выносливости независимо от типа микроструктуры за счет упрочнения поверхностного слоя.

3. Впервые установлено, что в результате обработки титанового сплава ВТ6 пучками ионов с низкими энергиями: Аг+ (Е= 300 эВ, 1= 5 мА/см2, Д= 1019 ион/см2) + N2" (Е= 300 эВ, 1= 10 мА/см2, Д= 2*1019 ион/см2) (патент РФ № 2117073) с последующим вакуумным стабилизирующим отжигом (©= 540 °С, т= 2 ч и р< 3*10"4 Па) отмечается повышение микротвердости поверхности в 2,8 - 3,0 раза (при нагрузке на индентор РЮ,1 Н) и прочностных характеристик (предела прочности и предела текучести) на 15 - 25 МПа при незначительном снижении пластичности, что обусловлено модификацией поверхностных слоев: образованием радиационных дефектов кристаллического строения, твердых растворов внедрения и мелкодисперсных выделений нитридов, оксинитридов и оксикарбонитридов титана.

4. Впервые установлено, что наличие в сплаве СМК микроструктуры способствует дополнительному увеличению концентрации и глубины проникновения ионов азота по сравнению со сплавом, имеющим МК микроструктуру в отожженном состоянии, предположительно за счет их диффузии по дислокациям и границам зерен. Глубина поверхностного слоя с измененным химическим составом после ИМ сплава ВТ6 с МК микроструктурой составляет ~ 40000 А, а с СМК - ~ 60000 А. Это предопределяет более существенное увеличение микротвердости (в ~ 3,2 - 3,4 раза при нагрузке на индентор Р=0,1 Н) и характеристик прочности сплава с СМК микроструктурой (предел прочности при нормальной температуре возрастает на - 170 МПа), в то время как после ИМ сплава с МК микроструктурой в отожженном состоянии эти показатели увеличиваются соответственно в ~ 2,8 - 3,0 раза и на ~ 15 МПа.

5. Разработанные технологические рекомендации по комбинированной модификации сплава ВТ6 положены в основу перспективного технологического процесса изготовления рабочих лопаток КНД изделий AJI-31CT и Д436Т1 в условиях ОАО «УМПО».

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Сафин, Эдуард Вилардович, 1999 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ:

1. Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойствами плазменных покрытий.- М.: Машиностроение, 1990. - 384 с.

2. Рахмарова М.С., Мирер Я.Г. Влияние технологических факторов на надежность лопаток газовых турбин.- М.: Машиностроение, 1966. - 239 с.

3. Петросов В.В. Изыскание метода и режима упрочнения лопаток компрессора из титановых сплавов, обеспечивающих повышенную выносливость. Автореферат канд. дисс.- Куйбышев, 1965. В кн.: Солонина О.П., Глазунов С.Г. Титановые сплавы. Жаропрочные титановые сплавы. - М.: Металлургия, 1976. - 448 с.

4. Смыслов А.М., Лесунов В.П., Гребенюк Г.П. Пути снижения повреждаемости рабочих лопаток авиационных ГТД // Авиационная промышленность. - 1992. -№12.-С. 50-51.

5. Гринченко И.Г. Упрочнение деталей из жаропрочных и титановых сплавов. -М.: Машиностроение, 1971. -178 с.

6. Сулима А.М., Евстигнеев М.И. Качество поверхностного слоя и усталостная прочность деталей из жаропрочных и титановых сплавов. - Л.: Машиностроение, 1974. - 253 с.

7. Мухин B.C., Шустер Л.Ш. Износ инструмента, качество и долговечность деталей из авиационных материалов. Учебное пособие. - Уфа: УАИ, 1987. - 217 с.

8. Паутов Г.А. Исследование влияния шлифования на качество поверхностного слоя и усталостную прочность титанового сплава ВТЗ-1 // Авиационная промышленность. -1976. - № 6. - С. 27 - 30.

9. Юнусов Ф.С., Паутов Г.А. Влияние виброабразивного шлифования на качество поверхностного слоя и усталостную прочность сплавов ВТЗ-1 и ВТ 14 // Авиационная промышленность. -1977. - № 7. - С. 17-18.

Ю.Урывский Ф.П., Коротин Б.С., Сухинина Л.А. Влияние остаточных напряжений на прочность титанового сплава ВТЗ-1 и жаропрочной стали

ХН35ВТЮ II Производительность и качество при обработке жаропрочных и титановых сплавов. - Куйбышев: Труды КуАИ. - 1967. - вып. 25. - С. 36-39.

П.Митряев К.В. Повышение эксплуатационных свойств деталей путем регулирования состояния поверхностного слоя при механической обработке. Учебное пособие.- Куйбышев: КуАИ, 1986. - 91 с.

12.Кузнецов Н.Д. Повышение надежности и ресурса авиационных ГТД // Механика и научно-технический прогресс. Приложение механики к задачам технологии. - М.: Наука -1988. - Т.4. - С. 65-81.

13.Папшев Д.Д. Повышение эксплуатационных свойств деталей способами деформационного поверхностного упрочнения. В кн. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин и приборов. - М.: МДНТП, 1984. -С. 74-77.

14.Рудницкий И.М. К оценке влияния остаточных напряжений и упрочнения поверхностного слоя на усталостную прочность деталей // Проблемы прочности. -1981. - № 10. - С. 27 - 33.

15.Сулима A.M. Деформационное упрочнение и усталостная прочность деталей и сплавов. В сб.: Повышение эксплуатационных свойств деталей поверхностным и пластическим деформированием. - М.: МДНТП. - 1971. - С. 3 - 9.

16.Бернштейн М.Л. Структура деформированных металлов. - М.: Металлургия, 1977.-432 с.

17. Иванова B.C., Шанявский А.А. Количественная фрактография. Усталостное разрушение. - Челябинск: Металлургия, 1988. - 400 с.

18.Безъязычный В.Ф. Обработка резанием при оптимальных температурах -способ повышения эксплуатационных характеристик изделий. В сб.: Производительная обработка и технологическая надежность деталей машин. -Ярославль, 1977. - С. 18-27.

19.Кравченко Б.А., Папшев Д.Д. Повышение выносливости и надежности деталей машин и механизмов. - Куйбышев: КуАИ, 1966. - 87 с.

20.Кудрявцев И.В. Упрочнение деталей машин поверхностным пластическим деформированием. // Вестник машиностроения. - 1977. - № 3. - С. 17-21.

21.Подзей A.B. Технологические остаточные напряжения. - М.: Машиностроение, 1973.-340 с.

22.Урывский Ф.П. Формирование поверхностного слоя при алмазном и абразивном шлифовании титановых сплавов и жаропрочных сталей. В сб.: Повышение точности и качества обработки деталей машин и приборов. -МДНТП, 1977.-С. 34-39.

23.Reed Е.С., Viens I.A. The elnfluence of surface residual stress of fatigue limit of titanium // Transaction of ASME. Journal of engineering for industry. - 1960. -Volume 82, series B, number 1.

24.Кудрявцев И.В. Внутренние напряжения как резерв прочности в машиностроении. - М.: Машгиз, 1951. - 217 с.

25.Маталин A.A. Технологические методы повышения долговечности деталей машин. - Киев: Техника, 1971. - 184 с.

26.Иванов Ю.И. Влияние метода окончательной обработки на формирование остаточных напряжений и эксплуатационные свойства лопаток. В кн.: Методы повышения эффективности использования режущих инструментов при обработке деталей летательных аппаратов и двигателей. - Куйбышев: КуАИ, 1986. - С. 122-126.

27.Цвиккер У. Титан и его сплавы. Берлин - Нью - Йорк, 1974. Пер. с нем. М.: Металлургия, 1979. - 512 с.

28.Солонина О.П., Глазунов С.Г. Титановые сплавы. Жаропрочные титановые сплавы. - М.: Металлургия, 1976. -448 с.

29.Глазунов С.Г., Моисеев В.Н. Титановые сплавы. Конструкционные титановые сплавы. - М.: Металлургия, 1974. - 368 с.

30.Кайбышев O.A. Сверхпластичность промышленных сплавов. - М.: Металлургия, 1984. - 264 с.

31.Кайбышев О.А., Валиев Р.З. Границы зерен и свойства металлов. - М.: Металлургия, 1987. - 214 с.

32.Birringer R., Gleiter Н. Nanocrystalline Materials.-In:Int Encyclopedia of Materials.-Sci. Eng. - 1988, Suppl., V.l, - P. 339-349.

33.H.А. Смирнова, В.И. Левит, В.И. Пилюгин и др. Эволюция структуры ГЦК монокристаллов при больших пластических деформациях //ФММ. - 1986. -Т.61, вып. 6,-С. 1170- 1177.

34.Валиев Р.З., Кайбышев О.А., Кузнецов Р.И. и др. Низкотемпературная сверхпластичность металлических материалов // ДАН СССР. - 1988. - 301, № 4. - С. 864 - 866.

35.0. Р. Валиахметов, Р. М. Галеев, Г. А. Салищев. Механические свойства титанового сплава ВТ8 с субмикрокристаллической структурой // Физика металлов и металловедение. -1990. - № 10. - С. 204 - 206.

36.Valiev R.Z., Korznikov A.V., Mulyukov R.R. Structure and properties of ultrafme-grained materials produced by severe plastic deformation // Mater. Sci. Eng. - 1993. -A168. - P. 141.

37.Салищев Г.А., Валиахметов O.P., Галеев P.M. и др. Формирование субмикрокристаллической структуры в титане при пластической деформации и ее влияние на механические свойства // Металлы. - 1996. - № 4. - С. 86.

38.Mulykov R., Mikhailov S., Zaripova R. Damping properties of 18Cr-10Ni stanless steel with submicrocrystalline structure // Mater. Res. Bull. - 1996. - 31., № 6. - P. 639.

39.Кобелев Н.П., Сойфер Я.М., Андриевский P.A. и др. Микротвердость и упругие свойства субмикрокристаллического серебра// ФТТ. - 1994. - 36., № 1 -С. 216.

40.Ахмадеев Н.А., Валиев Р.З. Кобелев Н.Т. Упругие свойства меди с субмикрокристаллической структурой // ФТТ. -1992. - 34., № 10. - С. 3155.

41.Салищев Г.А., Галеев P.M., Малышева С.П. и др. Изменение модуля упругости при отжиге субмикрокристаллического титана // ФММ. - 1998. - 83. - С. 92.

42.Salishchev G.A., Galeyev R.M., Malysheva S.P. Low Temperature Superplasticity of Submicrocrystalline Titanium Alloys ! i Superplast. Adv. Mater. ICSAM'97. Mater. Sei. Forum. - 1997. - 243-245. - P. 585.

43.Valiev R.Z., Krasilnikov N.A., Tsenev N.K. Plastic deformation of alloys with submicron-grained structure // Mater. Sei. Eng. -1991. - A137. - P. 35.

44.Гусева М.И. Ионная имплантация в неполупроводниковые материалы // Итоги науки и техники. Серия: Физические основы лазерной и пучковой технологии. -М.: ВИНИТИ. -1989. - Т.5. - С. 5-49.

45.Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками. Под ред. Дж. Поута. - М.: Машиностроение, 1987. -424 с.

46.Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. - М.: Металлургия, 1990. - 216 с.

47.Пирко Т., Пирси П. Ионная имплантация // В мире науки. - 1985. - № 5. - С. 5058.

48.Ионная имплантация. Под ред. Д. Хирвонена. - М.: Металлургия, 1985. - 391 с.

49.Гусева М.И. // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1982. - № 4. - С. 2739.

50.Рисел X., Руге И. Ионная имплантация. - М.: Мир, 1983. - 360 с.

51.Белый A.B., Ших С.К. Ионно- лучевое легирование и фрикционные свойства металлов и сплавов // Трение и износ. - 1987. - т. 8, № 2. - С. 330 - 343.

52.Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии. - М.: Высшая школа, 1984. - 320 с.

53 .Перри Дж. А. Ионная имплантация титановых сплавов, используемых в качестве биоматериалов и для других целей. //1. Surface Engineering. - 1987. -v.3, №2. - Р.154 - 160.

54.Burakowski T. Ion implantation in metals. // Prace instituto Lotwitstwa, Warszawa. -1990.-№2-3.-P. 5-50.

55.Dearnaley G. Ion implantation. - Amsterdam: North Holland Pabl., 1983. - 139 p.

56.Dearnaley G. Ion implantation and ion assisted coating of metals. // I. Vac. Sci. Technol., Amsterdam. - 1985. - V. 3, № 6. - P. 2684 - 2690.

57.Ion-beam interaction with matter.: Proc. of the Int. Symp. Appl. of Ion Beams Produced by Small Accelerators. // Vacuum. - 1989. - № 2 - 4. - P. 1-438 (РЖМет, 1989, 10E195).

58.Ion-beam modification of materials: Proc. 6th. Int. Conf., (Tokyo, 12 - 17 June, 1988) (РЖМет, 1989, 10E195).

59.Ion implantation tecnology: Proc. 7th. Int. Conf, (Kyoto, 7-10 June, 1988) (РЖМет, 1989, 8E200).

60.Ионно- лучевая модификация материалов. Всесоюзная Научно- техническая конференция. - Каунас, 1989. - 233 с.

61.Международная конференция по электронно-лучевым технологиям. - Варна, Болгария, 1991.-682 с.

62.Труды 1-го Международного совещания стран СЭВ «Радиационная физика твердого тела», (Сочи, 15.10-23.10. 1989), 1989. - 140 с.

63.Международная конференция по электронно-лучевым технологиям. - Варна, Болгария, 1988. - 593 с.

64.Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц: 1-ая Всесоюзная Научно- техническая конференция, (Томск, 16-18.11. 1988, секция 3), 1988. - 189 с.

65.Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц: 2-ая Всесоюзная Научно- техническая конференция, (Свердловск, 2124.5. 1991), 1991.-Т. 1-3.

66.Smidt F.A. NAVY manufacturing technology program on ion implantation // Mater. Sci. and Eng. -1987. - 90. - P. 385-397 (РЖМет, 1988, 1И995).

67.Dearnaly G.//Nucl. Instrum. and Meth. -1981. - V. 182/183. - P. 899 - 914.

68.Grant W. A. // Science Progress. - 1976. - V. 63, № 299. - P. 27.

69.Valori R. // ASME Trans. Ser. F. - 1983. - V. 105, № 4. - P. 30 - 39.

70.Dearnaly G. // Thin Solid Films. - 1978. - V. 54, № 2. - P. 215 - 232.

71.Fromson R. E. , Kossowsky R. Metastable Materials Formation Ion Implantation. -Boston, Massachusets, November. -1981. - №4. - P. 355 - 362.

72.Dearnaly G. // Journal of Metals. -1982. - №9. - P. 18 - 28.

73.Wardiman R.G., Greighton D. The effect of ion implantation on tretting fatique in Ti

- 6%A1 - 4%V. In: Ion implantation for material processing. - University of Missoum. USA. -1982. - P. 165 - 192.

74.Диденко A.H., Шаркеев Ю.П., Пушкарева Г.В. Микроструктура приповерхностных слоев меди и железа после ионной имплантации азотом и углеродом. В сб.: Субструктура и механические свойства металлов и сплавов. -Томск, 1988.-С. 12-19.

75.Тушинский Л.И. Теория и технология упрочнения металлических сплавов. -Новосибирск: Наука, 1990. - 307 с.

76.Люкке К., Готтштейн Г. Атомные механизмы пластичности металлов. В кн.: Статическая прочность и механизмы разрушения сталей. - Дюссельдорф, 1986.

- С. 14 - 35 (РЖМет, 1987, 10И450).

77.Паршин А.М. Структура, прочность и радиационная повреждаемость коррозионно- стойких сталей и сплавов. - Челябинск: Металлургия, 1988. - 656 с.

78.Фазовые превращения при облучении. Под ред. Нолфи Ф.В. - Челябинск: Металлургия, 1989. - 312 с.

79.Шаркеев Ю.П., Диденко А.Н., Рябчиков А.Н. Роль напряжений в формировании микроструктуры чистых металлов при ионной имплантации. В сб.: Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц: 2-я Всесоюзная Научно- техническая конференция, (Свердловск, 2124.5. 1991). -1991. - Т. 3. - с. 36 - 37.

80.PotterD. I., Ahmed М. Microstruetural developments during implantation of metals // Ion Implantation Ion Beam Processing of Materials. Editors: Hubres G.K. - 1984. -P. 117-126.

81.Ягодкин Ю.Д. Ионно - лучевая обработка металлов и сплавов // Итоги науки и техники. Серия: Металловедение и термообработка. - М.: ВИНИТИ. -1990. - С. 167-221.

82.Попов В.Ф. Ионно - лучевые установки. - Л.: Энергоиздат, 1981. - 136 с.

83.Sampath W. S., Wei R. High current density ion implantation. //1. Metals. - 1987. -

39, № 4. - P. 17 - 19 (РЖМет, 1987, 11И938).

84.Fishman S.G., Ahmed M. Compounds and Microstructures of silicon implanted nickel // Mater. Sei. and Eng. - 1987. - 90. - P. 135 - 142.

85 .Lucas S., Bodari F. Modifications by rare gas bombardment of aluminium nitride formed by direct implantation // Mater. Sei. and Eng. - 1989. - 2, № 1 - 3. - P. 183 -187 (РЖМет, 1989, 8E301).

86.Панин В.E. Структурные уровни пластической деформации и разрушения. -Новосибирск: Наука, 1990. -255 с.

87.Полещенко К.Н. Физико - механические явления при резании титановых сплавов имплантированным инструментом. Автореферат канд. дисс. - Томск, 1990.-22 с.

88.Белый A.B., Симонов A.B., Ших С.К. Применение ионного легирования для повышения эксплуатационных характеристик деталей машин и оборудования. -Минск: БелНИИНТИ, 1985. - 44 с.

89.Владимиров Б.Г., Гусева М.И., Напольнов А.Н. и др. В кн.: Поверхностный слой, точность и эксплуатационные свойства деталей машин и приборов. - М.: МДНТП, 1984. - С. 48 - 57.

90.Picraux S.T.// Ann. Rev. Mater. Sei. - 1984. - V.14. - P. 335 - 372.

91.Васильев В.Ю., Исаев Н.И., Гусева М.И. и др. Влияние имплантации ионов молибдена и вольфрама на коррозионную стойкость стали 0Х18Н10Т // Поверхность. Физика, химия, механика. - №5. -1984. - С. 144 - 147.

92.Баянкин В.Я., Владимиров Б.Г., Гусева М.И. и др. Особенности электрохимического поведения сплавов на основе железа после имплантации ионов металлоидов // Защита металлов. -№ 3. - 1987. - С. 487 - 492.

93 .Lu H., Su H., Yango О. Влияние имплантации ионов N, В, Сг и Мо на коррозию и микротвердость чистого железа // Хе цзишу. Tech. - 1988. - 11, №3. - С. 15 -17 (РЖМет, 1988, 8И1017).

94.Pons М., Caillet М., Galerie A. Oxidation of ion implanted titanium in the 750-950 °C temperature range //1. Less-Common Metals. - 1985. - 109. - P. 45-46 (РЖМет, 1986, 1И223).

95.Ягодкин Ю.Д., Сулима A.M., Шулов B.A. Влияние ионного легирования на жаростойкость сплавов на основе Ni и Ti // Металловедение и термическая обработка металлов. - 1989. - № 10. - С. 37 - 43.

96.Kuiore A., Chakrabortty S,, Starke Е. //Nucl. and Meth. in Phys. Res. B. - 1982. -V. 182/183,-P. 949.

97.Kao Po-we, Burne I.G. // Fat. Enging. Mat. And Struct. -1981. - V.3. - P. 271.

98.Федоров A.B., Гусева М.И., Васильева E.B. и др. Исследование свойств поверхности стали после ионной имплантации // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1983. - № 8. - С. 123 - 128.

99.Владимиров Б.Г., Гусева М.И., Иванов С.М. и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. -1982. - № 7. - С. 139 - 147.

ЮО.Никитин А.А., Травина Н.Т., Гусева М.И. и др. Структурно - фазовые превращения и профили распределения при имплантации ионов азота и бора в стали // Поверхность. Физика, химия, механика. -1988. - №7. - С. 101 - 107.

101.Grant W. A. Y. //Vac. Tech. - 1988. -15. - P. 1644 - 1647.

102.Гусева М.И., Носков А.Н., Сулима А.М. и др. Ионное легирование жаропрочных сплавов для лопаток ГТД // Авиационная промышленность. -1988. -№5.- С. 65.

103.Kan I.G., Kochman R.F. The effect of nitrogen and boron ion implantation on cyclic deformation response in Ti - 24V alloy // Mater. Sci. and Eng. - 1987. - 90. - P. 317 - 325 (РЖМет, 1988, ЗИ525).

104.Hartley N.E. Tribological effects in ion implanted metals. In: Applications of ion beams to materials. - Inst. Of Physics Conf., Serino, 28, 1978.

105.3аболотный В.Е., Квядарас В.П., Махлин В.А. и др. Влияние ионной имплантации на циклическую прочность лопаток для двигателя // Физика и химия обработки материалов. - 1985. - № 5. - С. 138 - 140.

106.Владимиров Б.Г., Гусева М.И., Попова Г.Н. // Труды ЦНИИМФ. - Л.: Транспорт, 1987. - № 39. -С. 12- 79.

107.Milic М. The influence of the Physicochemical characteristics of the substrate surface on the deposited TiN films properties // Thin Solid Films. - 1988. - 163. - P. 309-316 (РЖМет, 1989, 4E397).

108.Ю. В. Мартыненко. Эффекты дальнодействия при ионной имплантации // Итоги науки и техники. Серия: Пучки заряженных частиц и твердое тело. - М.: ВИНИТИ. - 1993. - Т. 7. - С. 82 -112.

109.Гусева М.И. Ионная имплантация в полупроводниковые материалы // Итоги науки и техники. Серия: Физические основы лазерной и пучковой технологии. -М.: ВИНИТИ. - 1989. - Т. 5. - С. 5 - 54.

1 Ю.Гусева М.И. Изменение микрогеометрии, микротвердости и коэффициента трения нержавеющей стали после облучения ионами средних энергий // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1986. - № 5. - С. 137.

111 .Габович М.Д., Буденная Л.Д., Порицкий В.Я., Проценко И.М. Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. - Киев, 1974. - С. 136 -139.

112. Hartley N. Е. W. //Tribology. - 1975. - 8. - Р. 1975 - 1979.

113.Dearnaley G. // Rad. eff. - 1982. - 63. - P. 1.

114.Павлов П.В., Тетельбаум Д.И., Курно E.B. и др. // Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Труды Всесоюзной конференции. - Свердловск. -1991. - 3. - С. 26.

115.Владимиров Б.Г., Гусев В.М., Цыпленков B.C. // Атомная энергия. - 1979. -47.-С. 50-51.

1 lö.Fogrebnjak A.D., Ruzimov Sh. // Phys. Lett. A. -1987. - № 5. - P. 259 - 261.

1 П.Кузьмин O.C., Куракин И.Б., Лигачев А.Е. и др. //Письма в ЖТФ. - 1989. - 15, вып. 17.-С. 51-55.

118.Pavlov P.V., Zorin E.I., Tetelbaum D.I. et. al. // Phys. Stat. Sol. - 1973. - 19. - P. 373.

119.Диденко A.H., Лигачев A.E., Козлов Э.В. и др. // ДАН СССР. Сер. тех. физ. -1987. - 296, № 4. - С. 869 - 871.

120.Диденко А.Н., Козлов Э.В., Шаркеев Ю.П. и. др. Дислокационные структуры приповерхностных слоев чистых металлов после ионной имплантации // Поверхность. Физика, химия, механика. -1989. -№3. - С. 120-131.

121.Никитин A.A., Травина Н.Т., Гусева М.И. и др. Структура ионно -имплантированных слоев и ее влияние на электрохимические характеристики стали 40ХН и никелевого сплава ХН67ВМТЮ // Поверхность. - 1989. - № 3. - С. 132- 137.

122.Wardiman R.G., Kant R. // J. Appl. Phys. - 1982. - 53. - P. 690 - 697.

123.Шулов В.А., Гусева М.И., Тетюхин B.B. и др. il Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Труды Всесоюзной конференции. - 1988. - 111. - С. 157 - 159.

124.Гусева М.И., Старыгин А.Э., Шулов В.А. Термодинамический анализ процессов, протекающих в поверхностных слоях деталей ГТД после ионного легирования и термодинамической обработки // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1988. - № 6. - С. 126 -130.

125.Толкачева Н.М., Дьяченко П.Е., Опекунов П.К. В кн.: Методы и приборы. Упрочнение материалов, технология машиностроения. - Киев: Наукова думка, 1961.-вып. 5.-С. 27-29.

126.Didenko A.N. et. al. // Mater. Science and Engineering. - 1989. - it 115. - P. 337 -341.

127.Mayers S.M. // J. of Vacuum Science and Technology. - 1980. - 17. - P. 310 - 314.

128.Kujore A., Chakrabortty S.B., Starke E.A. et. al. // Nucl. Instrum. and Meth. -1981.-V. 182/183.-P. 949.

129.Артамонова И.В., Гусева М.И., Кротов А.П. и др. // Ионно - лучевая модификация материалов. Всесоюзная конференция. - Черноголовка. - 1987. -С. 83 - 84.

130.Гордеева Г.В., Гусева М.И., Коршунов С.М. и др. // Атомная энергия. - 1990. -68, вып. 3.- С. 210 -211.

131.Дамаск A.C., Дике Дж. Точечные дефекты в металлах. - М.: Мир, 1966.

132.Макарец Н.В., Фалько Г.П., Федорченко А.М. Распыление поверхности мишени и радиационно - стимулированная диффузия примеси // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1984. - № 3 - С. 29 - 32.

133.Мартыненко Ю.В., Явлинский Ю.Н. //Атомная энергия. - 1985. - 58, вып. 2. -С. 111-113.

134.Gardner Е.Е., Schwuttke G.H., De Angelis H.M. // Bull. Am. Phys. Soc. - 1967. -12.-P. 1119.

135.Bertolotti M., Sette D., Stagni L. // Rad. Eff. - 1972. - 15. - P. 31.

136.Успенская Г.И., Ченкин B.M., Тетельбаум Д.И. // Кристаллография. - 1973. -18.-С. 363.

Ш.Павлов П.В., Пашков П.И., Ченкин В.М. и др. // ФТТ. - 1973. - 15. - С. 2857.

Ш.Пантелеев В.А., Ершов С.Н., Черняховский В.В. // Письма в ЖЭТФ. - 1976. -Вып. 23.-С. 688.

139.Аброян И.А., Дубро В.В., Ильин И.А. и др. // Электронная техника. -1981. - 4, сер. 2. - С. 36.

140.Борисенко В.Е., Ершов С.Н., Калинкин Ю.Л. и др. // Письма в ЖЭТФ. - 1982. - 8.-С. 559.

141.Морозов Н.П., Тетельбаум Д.И. Глубокое проникновение радиационных дефектов из ионно - имплантированного слоя в объем полупроводника // ФТП. -1983.-17, вып. 5.-С. 838-842.

142.Африканов И.Н., Гусева М.И., Иванов С.М. и др. // Поверхность. - 1983. - № 8.-С. 23-27.

143.Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. О влиянии упругих напряжений на трансформацию скоплений дефектов в полупроводниках // ФТП. - 1987. - 21, вып. 8. - С. 1495 - 1497.

144.Мартыненко Ю.В., Московкин П.Г. //ЖТФ. -1991. - 61, вып. 1. - С. 179 -180.

145.Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д. и др. Влияние упругих волн, возникающих при ионной бомбардировке, на структурное совершенство полупроводниковых кристаллов // ФТП. - 1986. - 20, вып. 3. - С. 503 - 507.

146.Семин Ю.А., Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. // Письма в ЖТФ. - 1988. - 14, вып. 3. - С. 273- 275.

147.Zhukov V.P., Ryalenko A.V. // Rad. EfF. -1984. - 82, № 1 - 2. - P. 85 - 96.

148.Жуков В.П., Демидов A.B. if Атомная энергия. - 1985. - 59, вып. 1. - С. 29 - 33.

149.Жуков В.П., Болдин A.A. // Атомная энергия. - 1987. - 63, вып. 6. - С. 375 -379.

150.Крейндель Ю.Е., Мизгулин В.Н., Овчинников В.В. // Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц. Труды 2-й Всесоюзной конференции, (Свердловск, май, 1991). - 1991. - С. 13 -15.

151.Гусева М.И., Мансурова А. Н., Нафтулин О.С. // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Термоядерный синтез. - 1983. - № 2(10). - С. 69.

152.Kapinos V.G., Osetski Yu.N., Pavlov P.A. // J. Nucl. Mat. - 1989. - № 165. - P. 286.

153.Шаркеев Ю.П., Пушкарева Г.В., Рябчиков А.И. и др. // Структура дислокаций и механические свойства металлов и сплавов. Тезисы докладов 4 Всесоюзного семинара, (Свердловск, 1987). -1987. - С. 106.

154.Жуков В.П., Болдин A.A. // Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Труды 9-ой Всесоюзной конференции, (Москва, 1989). - 1989. - 2. - С. 79 - 80.

155.Nishimura Т. // Jap. J. of Appl. Phys. - 1974. -13. - P. 1317 -1321.

156.Martynenko Ju.V., Moskovkin P.O. // Preprint IAE - 5438/6, Moscow. -1991.

157.Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. // Статистическая физика. - Москва, 1951.

158.Rauschenbach В., Kolitsch Р. // Phys. Stat. Sol. А. - 1983. - 80. - P. 211 - 214.

159.Смыслов А.М., Гусева М.И., Новикова М.К. и др. Повышение эксплуатационных свойств лопаток компрессора из титановых сплавов ионным модифицированием поверхности на установке "ВИТА" // Авиационная промышленность. -1992. - № 5. - С. 18 - 24.

160.Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. - М.: Мир, 1989. - 564 с.

161.Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев Л.Н. Рентгенографический и электронно-оптический анализ: Учебное пособие для вузов. - 3-е изд. доп. и перераб. - М.: МИСИС, 1994. - 328с.

162.Миркин Л.И. Рентгеноструктурный контроль машиностроительных материалов. Справочник. - М.: Машиностроение, 1979. - 132 с.

1 бЗ.Эндрюс К. Электронограммы и их интерпретация. - М.: Мир, 1971. - 138 с.

164.Электронная и ионная спектроскопия твердых тел. Под. ред. Л. Фирменса, Дж. Вэнника: Пер. с англ. - М.: Мир, 1981. - 352 с.

165.Анализ поверхности методами Оже - и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Под. ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха - М.: Мир, 1987. - 592 с.

166.Фрактография и атлас фрактограмм. Справочник. Под ред. Дж. Феллоуза: Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1982. - 489 с.

167.3олоторевский В.С. Механические испытания и свойства металлов. - М.: Металлургия, 1974. - 303 с.

168.3.А. Искандерова, Т.Д. Раджабов, Г.Р. Рахимова. Изменение микроструктуры и механических свойств металлов и сплавов в результате ионной имплантации // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1992. - № 8. - С. 5 - 20.

169.А.М. Смыслов, Л.И. Маслова, М.К. Новикова. Модификация механических свойств сплавов на основе титана путем ионной модификации поверхности. В сб.: Повышение качества, надежности и долговечности изделий из конструкционных жаропрочных, порошковых и инструментальных сталей и сплавов. - Ленинград: Ленинградский Дом Научно-технической пропаганды. -1990. - С. 77-78.

170.Чаттерджи - Фишер Р., Эйзелл Ф. - В. и др. Азотирование и карбонитрирование. Пер. с нем. / Под ред. Супова A.B. - М.: Металлургия, 1990.-280 с.

171.Л.К. Лещинский, С.С. Самотугин, И.И. Пирс и др. Плазменное поверхностное упрочнение. - Киев: Тэхника, 1990. - 109 с.

172.Цмрлин Э.С., Курдюмова В.Е., Блинов В.Н. и др. Ионное азотирование деталей станков и режущего инструмента // МиТОМ - 1983. - № 5. - С. 19-23.

173.Шулов В.А., Ремнев Г.Е., Ночовная H.A. и др. Явление кратерообразования при взаимодействии мощных ионных пучков с поверхностью металлов и сплавов: влияние предварительной обработки поверхности // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1995. - № 11. - С. 24 - 35.

174.Геринг Г.И., Ковивчак B.C., Панова Т.К. Особенности структурно - фазового состояния поверхности титановых сплавов под действием мощного ионного пучка//Поверхность. Физика, химия, механика. - 1995. - № 12. - С. 68 - 72.

175.Saku Т., Nodo I., UchidaN. // Appl. Phys. Lett. - 1974. - 25. - P. 308 - 313.

176.Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy. Ed. by G. E. Muilenberg. - Eden Prerie, Minnesota, 1978. - P. 39 - 47.

177.Бочвар A.A. Металловедение. - M.: Металлургия, 1956. - 496 с.

178.Кипарисов С.С., Левинский Ю.В., Петров А.П.. Карбид титана: получение, свойства, применение. - М.: Металлургия, 1987. - 216 с.

179.Смыслов А.М., Маслова Л.И., Новикова М.К. К вопросу об ионной технологии конструкционных материалов. В сб.: Прочность элементов авиационных конструкций. - Уфа: УАИ, 1987. - С. 136 - 140.

180.Корнилов И.И. Титан. Источники, составы, свойства, металлохимия и применение. - М.: Наука, 1975. - 310 с.

181.Новикова М.К., Смыслов А.М. Структурно - фазовый и элементный состав титановых сплавов в связи с ионной имплантацией поверхности. Труды 2-ой Межотраслевой конференции «Радиационная физика твердого тела», (Севастополь, 1992). - 1992. - С. 15 - 16.

182.Патент РФ № 2007501 МКИ5 С23С 14/48. Владимиров Б.Г., Гусева М.И. и др. Способ модификации поверхности жаропрочных сплавов. Опубликован 15 . 02 . 94. Бюл. № 3.

183.Лазарев Э.М., Корнилова З.И., Федорчук Н.М. Окисление титановых сплавов. - М.: Наука, 1985. -140 с.

184.Усова В.В., Плотникова Т.П., Кушакевич С.А. Травление титана и его сплавов. - М.: Металлургия, 1984. - 128 с.

185.Хоникомб Р. Пластическая деформация металлов. - М.: Мир, 1972. - 408 с.

186.Гусева М.И., Смыслов A.M., Владимиров Б.Г. и др. Физико - механические свойства и структурно - фазовый состав ионно имплантированных сплавов на основе титана. // Труды первого международное совещание стран СЭВ «Радиационная физика твердого тела», (Сочи, 15 -23. 10. 1989). - 1989. - 140 с.

187.Хмелевская B.C., Соловьев С.П., Малынкин В.Г. // Итоги науки и техники. Серия: Пучки заряженных частиц и твердое тело. - М.: ВИНИТИ. -1990. - Т.2. -С.151 -193.

188.Щипачев B.C. Высшая математика. Учеб. Для вузов. - 3-е изд., стер. - М.: Высшая школа, 1996. - 479 с.

189.Шаркеев Ю.П., Диденко А.Н., Козлов Э.В. Дислокационные структуры и упрочнение ионно - имплантированных металлов и сплавов // Известия высших учебных заведений. Физика. -1994. - Т. 37., № 5. - С. 92 - 108.

190.Козлов Э.В., Терешко И.В., Попова H.A. Физическая картина модификации поверхностных слоев и объема металлов и сплавов при воздействии низкоэнергетической плазмы // Известия высших учебных заведений. Физика. -1994. - Т. 37., № 5. - С. 127 - 140.

191 .Патент РФ № 2117073 МКИ6 С23С 14/48. Гусева М.И., Смыслов A.M., Сафин Э.В. и др. Способ модификации поверхности титановых сплавов. Опубликован 10. 08.98. Бюл .№22.

192.Салькова С.С., Рудман В.А. Опыт применения ионного азотирования в машиностроении. - Л.: ЛДНТП, 1987. - 20 с.

193.Брун М.Я., Перцовский Н.З., Шаханова Г.В. и др. Механические свойства титановых сплавов в зависимости от параметров пластинчатой структуры. - В сб.: Титан. Металловедение и технология // Труды 3-ей международной конференции по титану. - М.: ВИЛС, 1978. - Т.З. - С. 17 - 25.

194.Анисимова Л.И., Попов A.A. Связь характера разрушения с микроструктурой и свойствами (a+ß)- титановых сплавов // Металловедение и термическая обработка металлов. - 1985. - № 12. - С. 45 - 49.

195.Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. - М.: Мир, 1985.-496 с.

196.Будилов В.В. Физические основы вакуумно - плазменной технологии нанесения покрытий: Учебное пособие. - Уфа: УГАТУ, 1993. - 74 с.

197.Гуревич Я.Л., Горохов М.В., Захаров В.И. Режимы резания труднообрабатываемых материалов: Справочник, 2-е изд. перераб. и доп. - М.: Машиностроение, 1986. -240 с.