Химические сенсоры на поверхностных акустических волнах для контроля газовых сред тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Бессонов, Сергей Геннадьевич

• Бессонов, Сергей Геннадьевич
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Бессонов, Сергей Геннадьевич

Глава 1. Химические сенсоры на поверхностных акустических волнах для контроля газовых сред.

1.1. Химические сенсоры на ПАВ в решении задач газового анализа.

1.1.1. Химические сенсоры на ПАВ для контроля индивидуальных газов и паров.

1.1.2. Химические сенсоры на ПАВ в системах контроля многокомпонентных газовых смесей.

1.1.3. Химические сенсоры на ПАВ в решении медико-биологических задач

1.2. Анализ конструкций химических сенсоров на ПАВ.

1.3. Материалы, используемые в качестве чувствительных покрытий сенсоров на ПАВ.

1.4. Задачи газового анализа (бинарных газовых смесей) и течеискания, которые могут быть решены с помощью химических сенсоров на ПАВ.

Глава 2. Исследование ПАВ-датчика в конструкции линии задержки с чувствительными покрытиями.

2.1. Исследование датчика с чувствительными покрытиями.

2.2. Образец для измерения.

2.3. Экспериментальная ячейка.

2.4. Объекты исследования.

2.5. Измерительная система.

2.6. Получение зависимости ПАВ-частоты от концентрации газов СДЯВ в потоке воздуха.

2.6.1. Методика исследования сенсорных характеристик ПАВ-сенсоров в конструкции одинарной линии задержки.

2.6.2. Расчет параметров изотерм сорбции газов пленкой ПДМС.

2.6.3. Расчет газоадсорбционных характеристик полимерного материала.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Химические сенсоры на поверхностных акустических волнах для контроля газовых сред»

Актуальность темы.

Проблемы газового анализа находятся в области контроля экологической обстановки, контроля технологических процессов и в области медико-биологических задач. Для решения этих проблем применяются традиционные химико-аналитические методы анализа (лабораторный анализ) и приборные аппаратурные. В последние 10-20 лет все больше задач газового анализа решается с помощью газоанализаторов и сигнализаторов, работа которых основана на твердотельных микроэлектронных датчиках - сенсорах. Преимуществами (и особенностями) таких датчиков заключается в миниатюрности, малом энергопотреблении, практическом отсутствии пробоподготовки, относительной дешевизне и простоте анализа.

Анализ потребностей газового анализа позволили выявить некоторые проблемы: Во-первых, износ отечественного парка датчиков течеискателей, состоящего из устаревших моделей импортного производства, купленных в начале 90-х годов, которые сегодня выходят из строя. Во-вторых, оказалось, что широко применяемые полупроводниковые датчики-течеискатели и сигнализаторы природного газа не удовлетворяют потребителей из-за большого энергопотребления, особенно малого времени работы на морозе (30 минут), и низкого срока службы. В-третьих, датчики течеискателей ионизационного и термокаталитического типов имеют очень небольшие сроки работы - напр. датчик прибора Mastercool работает всего 20 часов. В-четвертых, для задач определения кислорода в гелии и в водороде в аэрокосмической отрасли применяются стационарные газоанализаторы, которые не удовлетворяют потребителей. В-пятых, в медицинской практике при проведении анестезии практически не применяется газовый анализ ввиду его высокой стоимости, что приводит к перерасходу дорогостоящих газов и вредит здоровью пациентов.

Микроэлектронные приборы - элементы на поверхностно-акустических волнах (ПАВ), находят все большее применение в науке и технике в качестве датчиков (сенсоров) физических и химических параметров газовых сред. Это связано с высокой чувствительностью скорости, амплитуды и фазы ПАВ к воздействию любых внешних физических или химических факторов: температуры, давления, изменению химического состава среды. Необходимо особо отметить возможности создания беспроводных дистанционных аналитических систем на основе ПАВ-сенсоров.

В разработках ПАВ-датчиков принципиально используются две конструкции: линия задержки (ЛЗ) и открытый резонатор, а в качестве пьезоматериалов -ниобат лития, танталат лития и монокристаллический кварц. Наиболее распространен кварц. Датчик на ПАВ в конструкции линии задержки представляет собой пластинку монокристаллического кварца с двумя микропреобразователями, представляющими собой микродифракционные ультразвуковые решетки, выполненные методом фотолитографии, называемые встречно-штырьевыми преобразователями

В ПАВ-датчиках газового анализа наибольшее распространение имеет один из типов ПАВ, а именно волна Рэлея, имеющая эллиптический тензор поляризации, в котором, тем не менее, превалирует вертикальная составляющая поляризации амплитуды.

Для разработок датчиков на ПАВ применяются две технологии: без чувствительного покрытия и с чувствительным покрытием, которое находится в зоне распространения ПАВ между ВШП. В качестве материалов чувствительных покрытий датчиков на ПАВ используются тонкие пленки диэлектриков, включая окислы металлов. Наиболее распространены тонкие пленки полимеров.

Для получения аналитического сигнала принципиально применяются две схемы: одинарная J13 и двойная JI3 с выделением дифференциальной ПАВ-частоты.

На сегодняшний день известны ПАВ-датчики, разработанные для контроля большинства неорганических и органических газов и паров в атмосферном воздухе и технологических газовых средах. Широкое распространение получили Мультисенсорные газоанализаторы типа «Электронный нос» с матрицей датчиков на ПАВ. Большой сегмент ПАВ-датчиков направлен на решение медико-биологических задач, в которых используются ПАВ с горизонтальной поляризацией.

Тем не менее, в научной литературе до настоящего времени отсутствовали систематические исследования по влиянию низкомолекулярных газов и, тем более, бинарных газовых смесей на чувствительность ПАВ-датчиков без чувствительного покрытия.

Для ПАВ-датчиков с чувствительными покрытиями на основе полимеров до настоящего времени отсутствовали систематические исследования по применению в чувствительных покрытиях так называемых функциональных полимеров, в которых функциональные группы связаны прочными химическими связями с полимерной матрицей. А известно, что только такое связывание дает необходимую временную стабильность материалов, а значит и стабильность (долговременную воспроизводимость) сенсорных (метрологических) характеристик: чувствительности, времени срабатывания и начального параметра датчиков.

ЦЕЛЬ РАБОТЫ: Разработать химические сенсоры на поверхностно-акустических волнах без чувствительного покрытия и с чувствительными покрытиями на основе функциональных полимеров для контроля основных приоритетных неорганических и органических загрязнителей в атмосферном воздухе, для использования в разработках течеискателей, газосигнализаторов и газоанализаторов, то есть, в приборах газового анализа, включая мультисенсорные системы типа «электронный нос».

Задачи:

- Провести систематические исследования по влиянию низкомолекулярных газов и бинарных (псевдобинарных на основе воздуха) смесей на ПАВ-частоту элемента в конструкции J13 без чувствительного покрытия с целью выявления 9 основных закономерностей, связывающих величину сенсорной чувствительности с физическими параметрами газов.

- Провести систематические исследования по влиянию газов основных приоритетных загрязнителей атмосферного воздуха (ОПЗАВ) на ПАВ-частоту элемента в конструкции JI3 с чувствительными покрытиями на основе тонких пленок функциональных полимеров двух классов с ионносвязанным катионом бриллиантового зеленого с целью выявления основных закономерностей, связывающих величину сенсорной чувствительности с химической природой газов адсорбатов, химическим и фазовым строением полимеров, толщиной чувствительного слоя.

Научная новизна:

- впервые проведены систематические исследования по влиянию 12 низкомолекулярных газов и бинарных (псевдобинарных на основе воздуха) смесей на ПАВ-частоту элемента в конструкции JI3 без чувствительного покрытия и выявлены основные закономерности, связывающие величину ПАВ-сенсорной чувствительности с физическими параметрами газов: молекулярной массой, плотностью, вязкостью, скоростью распространения звука в газе, удельной теплоемкостью.

- впервые проведены систематические исследования по влиянию газов основных приоритетных загрязнителей атмосферного воздуха (ОПЗАВ - аммиака, сероводорода, диоксида серы, монооксида углерода) на ПАВ-частоту элемента в конструкции JI3 с чувствительными покрытиями на основе тонких пленок ю функциональных полимеров двух классов с ионносвязанным катионом бриллиантового зеленого: полидиметилсилоксана (ГТДМС) и сополимера полиалкилметакрилата со стиролсульфонатом (ПАМА-СС) и выявлены основные закономерности, связывающие величину сенсорной чувствительности и основных характеристик сорбции (константа равновесия и коэффициент диффузии) с химической природой газов адсорбатов, химическим и фазовым строением полимеров, толщиной чувствительного слоя.

- исследованы газоадсорбционные характеристики процесса сорбции газов тонкими полимерными пленками в области сверхмалых концентраций при помощи измерительной ячейки сенсорного типа.

Практическая значимость:

- Впервые ПАВ-сенсорный элемент без чувствительного покрытия предложен в качестве анализатора газов и бинарных газовых смесей, способного проводить качественный и количественный анализ, используя знание физических параметров этих газов - плотности, вязкости и др.

- Впервые ПАВ-сенсорный элемент без чувствительного покрытия предложен в качестве датчика течеискателя фреона-134а в альтернативу ионизационным и термокаталитическим методам.

- Впервые для контроля основных приоритетных загрязнителей атмосферного воздуха предложены ПАВ-датчики с чувствительными покрытиями на основе функциональных полимеров, применение которых в мультисенсорной системе и типа «электронный нос» позволит решать не только задачу качественного обнаружения трех из пяти ОПЗАВ, но и задачу количественного определения их содержания в воздухе.

Практическое использование. Данная работа частично выполнена в рамках гранта Фонда содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере (ген. директор И.М.Бортник) на 2006-2007 гг.

Проект «Разработка датчика газоанализатора основных приоритетных загрязнителей атмосферного воздуха» стал победителем всероссийского конкурса инновационных проектов аспирантов и студентов по приоритетным направлению развития науки техники и технологии Российской Федерации «рациональное природопользование» (Московская обл., Ершово, октябрь 2006 г.).

Апробация работы. Результаты работы докладывались и обсуждались на:

Конференции «Химическая и пищевая промышленность: современные задачи техники, технологии, автоматизации, экономики.» Нижний Новгород. 2004 г., III Международной молодежной научно-технической конференции «Будущее технической науки» в Нижегородском Государственном техническом Университете 26-27 мая 2004, г. Нижний Новгород, на 4-й Международной выставке и конференции "Неразрушающий контроль и техническая диагностика в промышленности" 17-18 мая 2005 г. Москва, IV Международной молодежной научно-технической конференции «Будущее технической науки» в

Нижегородском Государственном техническом Университете 26-27 мая 2005, г.

12

Нижний Новгород, на XI Нижегородской сессии молодых ученых. Технические науки: Нижний Новгород 2006, Всероссийской конференции аспирантов и студентов по приоритетному направлению "Рациональное природопользование" 18-22 сентября 2006 г., г.Ярославль, Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 24-28 октября 2006 г., г.Москва.

Работы автора «Химический сенсор на поверхностно-акустических волнах в конструкции двойной линии задержки без чувствительного покрытия» и «Тонкие пленки функциональных полимеров в сенсорах на пав для атмосферного мониторинга» были отмечены как лауреаты конкурсной программы международной научно-технической школы-конференции «молодые ученые-2006», проведенной в рамках международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения (INTERMATIC-2006)

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения и четырех глав. Содержит 137 страниц машинописного текста, 39 рисунков, 9 таблиц и список литературы из 83 наименований.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Бессонов, Сергей Геннадьевич

Выводы

1. Проведены исследования по влиянию газов основных приоритетных загрязнителей атмосферного воздуха (ОПЗАВ - аммиака, сероводорода, диоксида серы, монооксида углерода) на ПАВ-частоту элемента в конструкции линии задержки с чувствительными покрытиями на основе тонких пленок функциональных полимеров двух классов с ионносвязанным катионом бриллиантового зеленого: полидиметилсилоксана (ПДМС) и сополимера полиалкилметакрилата со стиролсульфонатом (ПАМА-СС).

2. Разработана методика измерений сенсорных характеристик сенсоров на ПАВ с чувствительными покрытиями, которая позволила выделить вклад в аналитический сигнал, обусловленный только хемосорбцией газов ОПЗАВ на катионах бриллиантового зеленого.

3. По данным, полученным из проведенных измерений были построены изотермы сорбции газов ОПЗАВ и рассчитаны основные газоадсорбционные (константа равновесия) и газодиффузионные (коэффициент диффузии) характеристики чувствительных материалов сенсоров при сорбции в них газов ОПЗАВ. Установлено, что в области малых концентраций газов в воздухе изотермы описываются линейными функциями (изотермы Генри), а в области относительно больших концентраций изотермы описываются изотермой Ленгмюра, что характерно для процессов хемосорбции.

4. Различие в газоадсорбционных свойствах полимерных материалов по отношению к различным газам ОПЗАВ, стало теоретическим основанием для возможности молекулярного распознавания газов ОПЗАВ с помощью

118 мультисенсорной системы, состоящей из нескольких ПАВ сенсоров с различными чувствительными покрытиями. Установлена соразмерность откликов ПАВ сенсоров с различными чувствительными покрытиями по отношению к трем ОПЗАВ в мультисенсорной системе, что явилось теоретическим обоснованием возможности количественного анализа с помощью мультисенсорной системы.

5. В результате проведёненных исследований по влиянию 12 низкомолекулярных газов и бинарных (псевдобинарных на основе воздуха) смесей в вакууме на ПАВ-частоту элемента в конструкции линии задержки без чувствительного покрытия найдено, что для ряда углеводородных газов метан, этан, пропан, бутан величина сенсорной чувствительности коррелирует с физическими параметрами газов с высокими коэффициентами корреляции.

6. Установлено, что зависимости изменения ПАВ частоты от давления газов и бинарных и псевдобинарных с участием воздуха газовых смесей в вакууме описываются линейными функциями, что соответствует теории газовой нагрузки на ПАВ и свидетельствует о том, что основной механизм рассеяния энергии акустической волны Рэлея связан с рассеянием этой энергии в газовой фазе.

7. Фазовые диаграммы метан-воздух, пропан-воздух и фреон-13 4а-воздух в координатах [величина ПАВ-сенсорной чувствительности, Гц/Па] -[физический параметр смеси] описываются линейными функциями, что указывает на то, что эти газы ведут себя как смеси идеальных газов, что является основанием для применения ПАВ датчика в качестве анализатора количественного состава этих смесей.

8. Найдено, что величина релаксационного броска и первой производной релаксационного броска может быть использована в качестве аналитического сигнала в датчике течеискателя на ПАВ.

9. Установлено, что наибольшая чувствительность датчика течеискателя на ПАВ достигается в режиме вычитания значений аналитического отклика, из чего был сделан вывод о необходимости двойной линии задержки.

Ю.Разработана конструкция течеискателя фреона-134а и проведены ее лабораторные испытания

4.7. Заключение

Таким образом, в результате проведенных исследований был создан лабораторный образец течеискателя фреона-13 4а, способный определять утечку фреона на уровне не хуже 1 г/год. Были проведены сравнительные испытания, показавшие, что по этому параметру макет течеискателя превосходит промышленный течеискатель Mastercool 55100. Были проведены испытания на аттестованной течи, показавшие хороший резерв по чувствительности. На основе этой конструкции на предприятии ННИПИ «Кварц» в будущем будет построен промышленный опытный образец. Дальнейшие работы следует проводить с целью расширения области его применения - на основе этой конструкции можно создать датчики течеискателей метана, пропана, других тяжелых газов органической и неорганической природы.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Бессонов, Сергей Геннадьевич, 2007 год

1. Ballantine D.S., White R.M., Martin S.J., Ricco A J., Zellers E.T., Frye G.C. and

2. Wohltjen H. Acoustic wave sensors, theory, design, and physico-chemical applications. Academic Press, N.Y. 1997.

3. McGill R.A., Chrisley D.B., N.E. Milsna, Stepnovski J.L., Chung R., Cotal H.

4. Performance optimization of surface acoustic wave chemical sensor // 1997 IEEE International frequency control symposium.

5. Bulst, W.-E., Fischerauer G., Reindl, L. State of the art in wireless sensing withsurface acoustic waves // IEEE Transactions on Industrial Electronics, V.48, N 2, P.265-271.

6. J. P. Smith, V. Hinson-Smith The new era of SAW devices // Anal. Chem., 2006, V.78 N10, P. 3505-3507

7. Benes E., Groshl M., Seifert F., Pohl A. Comparison between BAW and SAWsensor principles // IEEE international frequency control symphosium, 1997 обзор

8. Поверхностно-акустические волны / Под. ред. А. Олинера М.:Мир 1981 36.

9. Wohltjen Н., Dessy R. Surface acoustic wave probe for chemical analysis. I. Introduction and instrument description // Anal. Chem. 1979, V.51, N 9, 14581464

10. Wohltjen H., Dessy R. Surface acoustic wave probe for chemical analysis. I.1.troduction and instrument description // Anal. Chem. 1979, V.51, N 9, 14581464

11. Wohltjen H., Dessy R. Surface acoustic wave probe for chemical analysis. II. Gaschromatographydetector// Anal. Chem. 1979, V.51, N 9,1465-1470

12. Wohltjen H., Dessy R. Surface acoustic wave probe for chemical analysis. III.

13. Thermomechanical polymer analyzer// Anal. Chem. 1979, V.51, N 9,1470-1478.

14. Snow A., Wohltjen H. Poly(ethylene maleate)-cyclopentadiene: a model reactivepolymer-vapor system for evaluation of a SAW microsensor // Anal. Chem. 1984, V. 56,1411-1416.

15. B. Drafts Acoustic wave technology sensors // IEEE Trans. Microwave Theoryand Techniques, 2001, V. 49. N 04, P. 795-802.

16. Caron J. J., Reichl B. Haskell, Derek G. Libby, Carl J. Freeman and John F. Vetelino A surface acoustic wave mercury vapor sensor // 1997 IEEE International frequency control symposium.

17. Caron J. J., Kenny T.D., LeGore L.J., Libby D.G., Freeman C.J., Vetelino J.F. Asurface acoustic wave nitric oxide sensor // 1997 IEEE International frequency control symposium.

18. Liron Z., Kanshanski N., Frishman G., Caplan D., Greenblatt J. The polymercoated SAW sensor as a gravimetric sensor. // Anal. Chem. 1997. V. 69. N 14, P.2848-2854.

19. McCreery R.L. Can molecular electronics dominate the next generation of electronic devices? // Anal. Chem., 2006, V. 78 N 11 P.3491-3497.

20. Strike D.J., Meijerink M.J.H., Koudelka-Hep M. Electronic, noses a mini-review. // Fresenius J. Anal. Chem. 1999. V.364. P.499-505.

21. Grate J.W. Acoustic wave microsensor arrays for vapor sensing // Chem. Rev. 2000. N100, P. 2627-2648.

22. Rapp M., Stier S., Ache H. Classification of odours and spoiling detection of foodwith analytical microsystem based on SAW devices // Pittcon '96, Chicago, March 3-8 1996 : Book abstr. Chicago (III), 1996 P.947

23. Hayt A.E., Ricco A.J., Iang H.L., Crooks R.H. Spectation of linear and branchedhydrocarbons by a fluorated polyamin film-based SAW sensor // JACS, 1995, V. 117, N33, P. 8672-8673

24. Mitsud J., Mog L. Procedes et apparells de detection des substances odorantes etapplications//ALPHA M.O.S.№ 9311291,17.9.93 on24.3.95.

25. Wohltjen H., Jarvis N. L., Snow A., Barger W., Guiliani J., Dominiques D. Chemical microsensors for vapour detection //

26. Wohltjen N., Davis N., Busey В., Klusty M., Soling R., McKeee // Pittsburgh Conf. Anal. Chem. Chem and Appl. Specrtosc. Orlando, Flaa, March 7 12, 199 PITTCON'99: Book Abstr - Orlando (Fla). 1990 - C722.

27. Jehuda Yinon Detection of Explosives by Electronic Noses // Anal. Chem., 2003,1. V.75, N 5, P.99A-105A

28. Staples E. Electronic Nose Simulation of Olfactory Response Containing 500 Orthogonal Sensors in 10 Seconds // IEEE Proc. Ultrasonics Symposium, 1999. V. 1, P.417-423.

29. Potyrailo R. A., Morris W. G. Multianalyte chemical identification and quantitation using a single radio frequency identification sensor // Anal. Chem., 2007 V. 79 N 1 ,P.45-51.

30. Dittrich P. S., Tachikawa K., Manz A. Micro total analysis systems. Latest advancements and trends // Anal. Chem.2006, V. 78, N 12 P.3 887-3908

31. Frost M., Meyerhoff M.E. In vivo chemical sensors: tackling biocompatibility //

32. Anal. Chem., 2006, V.78. N 21, P. 7370-7377.

33. Wolfbeis O. S. Fiber-Optic Chemical Sensors and Biosensors // Anal. Chem., 2004, V. 76, N 12 P.3269-3284.

34. Miller S. Portable device for live tissue imaging // Anal. Chem., 2006, V.78, N 1,1. P. 17.

35. Gronewold Т. M. A., Baumgartner A., Quandt E., Famulok M., Discrimination of

36. Single Mutations in Cancer-Related Gene Fragments with a Surface Acoustic Wave Sensor// Anal. Chem.2006, V.78,N 14, P.4865-4871.

37. Lange K., Bender F., Voigt A., Gao H., Rapp M. A surface acoustic wave biosensor concept with low flow cell volumes for label-free detection // Anal. Chem. 2003, V. 75, N 20 P.5561-5566.

38. Imaging upconverting phosphors in worms // Anal. Chem. 2006, V.78, N 7, P.2082.

39. Elsholz В., Worl R., Blohm L., Albers J., Feucht H., Grunwald Т., Julrgen В.,

40. Schweder Т., Hintsche R. Automated detection and quantitation of bacterial ma by using electrical microarrays // Anal. Chem.2006, V. 78, N 14, P.4794-4802.

41. Малов B.B. Пьезорезонансные датчики. M. Энергоатомиздат, 1989,272

42. Шульга А.А., Лонцов В.В. Температурные эффекты в газовых сенсорах наповерхностных акустических волнах // ЖАХ, 1995, том. 50, №1, с.39-41.

43. Гречников А.А., Могилевский А.Н., Фабелинский Ф.Ю. Пьезорезонансноеопределение концентраций газов в полевых условиях // ЖАХ, 2002, том. 57, №9, с.986-993.

44. Гречников А.А., Могилевский А.Н., Галкина И.П., Перченко В.Н., Ледина Л.Е. Пьезорезонансный сенсор для определения паров толуола // Датчики и системы 2002 №2 С. 25.

45. Dickert, F.L.; Forth, P.; Tortschanoff, M.; Bulst, W.E.; Fischerauer, G.; Knauer,

46. U. SAW and QMB for chemical sensing // 1997 IEEE International frequency control symposium. P.: 120-123 сравнение QCM и SAW

47. Shinar R., Liu G., Porter M. Graphite microparticles as coatings for quartz crystalmicrobalance based gas sensors // Anal. Chem. 2000. V.72. N 24, P.5981-5987.

48. Sapper A., Wegener J., Janshoff A. Cell motility probed by noise analysis of thickness shear mode resonators // Anal. Chem. 2006, V. 78, N 14 P.5184-5191.

49. Dejous C., Esteban I., Rebiere D., Pistre J., Planade R. Temperature-compensated

50. SG-APM sensors: new theoretical and experimental results // 1997 IEEE International frequency control symposium.

51. Nunalee F. N., Shull K. R., Lee B. P., Messersmith P. B. Quartz crystal microbalance studies of polymer gels and solutions in liquid environments // Anal. Chem.2006, V. 78, N 4 P. 1158-1166.

52. Богдасаров О. Е., Крышталь Р.Г. Универсальный газовый датчик на основерезонатора на поверхностных акустических волнах для систем хроматографии // Датчики и системы 2004 №8 С.43.

53. Крышталь Р.Г., Кундин А.П., Медведь А.В., Шемет В.В. Универсальный газовый датчик на поверхностных акустических волнах // ЖТФ, 2002, том. 72, №10, с. 114-118.

54. Anisimkin V.I., Penza М., Osipenko V.A., Vasanelli L. Gas termal conductivitysensor based on SAW // IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, V. 42. N 6, 1995 P. 978-980. (26)

55. Анисимкин В.И., Максимов C.A., Пенза M., Васанелли JI. Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потокоа с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах // ЖТФ 1997, том 67, №5, С. 119-124.

56. Potyrailo R. A., Leach A., Morris W. G., Gamage S. К. chemical sensors based onmicromachined transducers with integrated piezoresistive readout // Anal. Chem.2006, V. 78, N 16 P.5633-5638.

57. Kankare J., Loikas K., Salomaki M. Method for measuring the losses and loadingof a quartz crystal microbalance // Anal. Chem. 2006, V. 78, N 6 P.1875-1882.

58. Кузнецов JI.A., Припачкин В.И., Милонов M.B., Милованов С.В. Цифровойизмерительный комплекс для малочувствительных датчиков // Датчики и системы 2002 №3 С. 36.

59. Kurzawski P., Hagleitner C., Hierlemann A. Detection and discrimination capabilities of a multitransducer single-chip gas sensor system // Anal. Chem.2006, V. 78, N 19 P.6910-6920.

60. Carey W.P., Kowalsky B.R. Chemical piezoelectric sensor and sensor array characterization//Anal. Chem. 1986. V.58. N 14, P. 3077-3084.

61. Rapp M., Reibel J., Stier S., Voigt A., Bahlo J. SAGAS: Gas analysing sensorsystems based on surface acoustic wave devices an issue of commercialization of SAW sensor technology // 1997 IEEE International frequency control symposium.

62. Hierlimann A., Zellers E., Ricco A. Use of linear solvation energy relationship formodeling responses form polymer-coated acoustic-wave vapor sensors // Anal. Chem. 2001. V.73. N 14, P. 3458-3466.

63. Yong Li, Huang-Hao Yang, Qi-Hua You, Zhi-Xia Zhuang, Xiao-Ru Wang Proteinrecognition via surface molecularly imprinted polymer nanowires // Anal. Chem., 2006, V. 78, N 1,317-320.

64. K. Haupt Molecularly imprinted polymers: the next generation // Anal. Chem.2006, V. 75 N 3, P. 376A-383A.

65. Dickert F.L., Hayden O. Imprinting with sensor development — on the way to wynthetic antibodies // Fresenius J. Anal. Chem. 1999. N 364 P.506-511.

66. Dickert F.L., Hayden O., Zenkel M.E. Detection of volatile compounds with masssensitive sensor arrays in the presence of variable ambient humidity // Anal. Chem. 1999. V.71.N7,P.1338-1341.

67. Шульга A.A., Зуев Б.К., Лонцов B.B. Цеолитсодержащие чувствительные покрытия для газовых химических сенсорах на поверхностных акустических волнах // ЖАХ, 1999. том 54, № 5, С. 513-518.

68. Qi Z., Honma I., Zhou H. Chemical gas sensor application of open-pore mesoporous thin films based on integrated optical polarimetric interferometry // Anal. Chem. 2006, V. 78, N 4 P.1034-1041.

69. Токарев С.В. Химические сенсоры для атмосферного мониторинга на основефункциональных полимеров. // Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. НГТУ. Нижний Новгород. 2004.

70. Эткинс П. Физическая химия. Т.2. М.: Мир. 1980. С.510.

71. Рейтлингер С.А. Проницаемость полимерных материалов. М.: Химия. 1974.272 с.

72. Лыгин В.И., Магомедбеков Х.Г., Вагабов М.В. Квантовохимический анализспектральных проявлений адсорбции молекул воды и аммиака кремнеземом // Оптические спектры в адсорбции и катализе. Алма-Ата: Наука, 1984. С.17-27.

73. Голубев И.Ф. Вязкость газов и газовых смесей. 1959. М.: Физматгиз. С. 301