Источник широких электронных пучков на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом для азотирования сталей и сплавов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.13, кандидат технических наук Меньшаков, Андрей Игоревич

• Меньшаков, Андрей Игоревич
• кандидат технических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат технических наук Меньшаков, Андрей Игоревич

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО АЗОТИРОВАНИЯ КОНСТРУКЦИОННЫХ СТАЛЕЙ И СПЛАВОВ

1.1. Основы технологии азотирования сталей и сплавов

1.2. Использование плазмы газовых разрядов для азотирования конструкционных сталей и сплавов

1.2.1. Азотирование в тлеющем разряде

. 1.2.2. Использование дуговых разрядов для азотирования материалов

1.2.3. Азотирование в тлеющем разряде с активным экраном

1.3. Применение электронных пучков для ионно-плазменного азотирования

1.4. Выводы к главе 1

ГЛАВА 2. ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ НА ОСНОВЕ РАЗРЯДА С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ

2.1. Основные свойства разряда с самонакаливаемым полым катодом

2.2. Экспериментальный макет генератора плазмы

2.3 Рабочие характеристики разрядной системы с ниобиевым катодом

2.4. Результаты экспериментов в системе с титановым катодом

2.4.1. Тренировка титанового катода

2.4.2. Вольтамперные характеристики разряда

2.4.3. Измерения температуры катода

2.4.4. Гравиметрические испытания

2.5. Выводы к главе 2

ГЛАВА 3. ХАРАКТЕРИСТИКИ ИСТОЧНИКА ШИРОКИХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ

3.1. Конструкция электродной системы

3.2. Характеристики источника электронного пучка круглого сечения

3.2.1. Эмиссионные характеристики плоского электронного эмиттера и параметры плазмы, генерируемой низкоэнергетичным электронным пучком

3.2.2. Спектральный анализ плазмы электронного пучка

3.3. Характеристики источника радиально-расходящегося электронного пучка

3.3.1. Эмиссионные характеристики электронного эмиттера цилиндрической формы

3.3.2. Степень неоднородности плазмы, генерируемой радиально-расходящимся электронным пучком

3.3.3. Влияние потенциала коллектора на плотность ионного тока

3.4. Выводы к главе 3

ГЛАВА 4. АЗОТИРОВАНИЕ СТАЛЕЙ И СПЛАВОВ В ПЛАЗМЕ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧНОГО ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА

4.1. Азотирование аустенитной нержавеющей стали

4.1.1. Методика эксперимента

4.1.2. Влияние параметров электронного пучка и ионного потока на нагрев образцов

4.1.3. Влияние давления газовой смеси на скорость азотирования стали

4.1.4. Влияние энергии ионов и плотности ионного тока на характеристики азотированного слоя

4.2. Азотирование титана

4.2.1. Конструкция электродной системы

4.2.2. Плавающий потенциал изолированного коллектора в плазме электронного пучка

4.2.3. Азотирование титана при плавающем потенциале

4.3. Выводы к главе 4

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Источник широких электронных пучков на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом для азотирования сталей и сплавов»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность проблемы

На сегодняшний день существует достаточно много способов повышения надежности и долговечности ответственных узлов и деталей машин. Поскольку механическому износу, а также таким воздействиям рабочей среды как коррозия в первую очередь подвергается поверхность детали, то экономически более целесообразно не изготавливать деталь из дорогостоящего материала, а формировать на поверхности функциональный слой с требуемыми механическими и другими характеристиками. Химико-термическая обработка (ХТО) сталей и сплавов, заключающаяся в диффузионном насыщении поверхностных слоев изделий различными элементами (азот, углерод, бор, алюминий, медь и др.), позволяет создавать на поверхности изделий модифицированные слои достаточной толщины с требуемыми свойствами [1]. К тому же, при обработке деталей этим способом, во-первых, отсутствует проблема адгезии функционального слоя к объему металла, являющаяся одной из ключевых при модификации поверхностей путем нанесения защитных покрытий, а во-вторых, в процессе модификации не происходит значительного изменения геометрических размеров изделий, что позволяет использовать ХТО на стадии финишной обработки. Наибольшее распространение получили такие разновидности химико-термической обработки, как азотирование, цементация и карбонитрирование, суть которых состоит в легировании поверхностных слоев нагретых изделий азотом, углеродом, а также одновременно азотом и углеродом соответственно, в результате чего значительно улучшаются такие характеристики изделий, как твердость, износостойкость, задиростойкость, усталостная прочность, коррозионная стойкость [2].

Разработано много методов и различных устройств для азотирования, однако наиболее широкое распространение в промышленности получило азотирование в плазме тлеющего разряда. Этот метод значительно более эффективен и экологически безопасен, чем печное газовое азотирование, а также имеет ряд преимуществ над другими менее распространенными способами, однако он обладает и рядом недостатков: высокая вероятность дугообразования на поверхности азотируемых изделий, неравномерность толщины азотированного слоя по поверхности детали, вызванная особенностями формирования катодного слоя, высокая вероятность перегрева острых кромок, сопровождающегося ухудшением механических и функциональных характеристик детали и т.д. [3]. Для устранения этих недостатков при сохранении приемлемой энергетической эффективности процесса и достаточно высокой скорости формирования упрочненного слоя был предложен ряд подходов и технических решений. Одним из наиболее перспективных, в сравнении со многими современными способами азотирования, оказался метод азотирования в плазме, генерируемой низкоэнергетичным электронным пучком. Этот способ азотирования позволяет осуществить нагрев изделий не ионами плазмы, а быстрыми электронами пучка, что исключает развитие микрорельефа поверхности азотируемого изделия в следствие ионного травления, как при азотировании в тлеющем разряде, однако низкая производительность разработанных газоразрядных устройств ограничивает широкое распространение этого метода, а создание более производительных газоразрядных систем требует применения новых подходов при модернизации этого метода модификации.

Ионно-плазменное азотирование относится к ресурсосберегающим технологиям, существенно повышающим эффективность использования не только многих конструкционных материалов, но и энергоресурсов. Поэтому разработка новых методов и газоразрядных устройств, а также модернизация уже существующих установок для модификации поверхностных свойств

изделий являются приоритетными направлениями развития современной науки и техники.

Цель работы заключалась в разработке эффективного сильноточного источника широкого электронного пучка для азотирования сталей и сплавов, а также в исследовании особенностей азотирования распространенных конструкционных сталей и сплавов в плазме, генерируемой этим пучком.

Для достижения поставленной цели требовалось решение следующих задач:

1. Разработка сильноточного эффективного генератора больших объемов газоразрядной азотсодержащей плазмы с низким уровнем загрязнений, и исследование особенностей его функционирования.

2. Разработка источника широкого низкоэнергетичного электронного пучка для азотирования конструкционных материалов с общей площадью поверхности до -Ю"5 см2 на базе разработанного сильноточного генератора плазмы.

3. Исследование особенностей азотирования изделий в плазме, генерируемой широким низкоэнергетичным электронным пучком, а также исследование влияния параметров электронного пучка и ионного потока на скорость ионно-плазменного азотирования конструкционных сталей и сплавов в широком диапазоне изменения параметров обработки.

Научная новизна работы:

1. Разработана разрядная система с трубчатым самонакаливаемым полым катодом и газоразрядной системой инициации вспомогательного разряда.

2. Показана возможность использования технического титана для изготовления термохимического трубчатого самонакаливаемого полого катода и определены оптимальные режимы азотирования титановых катодов при прокачке через них азота, обеспечивающие формирование фазы нитрида

титана но всей толщине катода без его локального расплавления и разрушения.

3. Предложен метод формирования широкого радиально-расходящегося электронного пучка с начальной площадью сечения -10^ см2 с использованием электродной системы на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом, обеспечивающей низкую степень неоднородности газоразрядной плазмы в области обработки изделий.

4. Экспериментально получена немонотонная зависимость скорости роста азотированного слоя от плотности ионного тока на поверхность образцов при низкотемпературном азотировании аустенитной нержавеющей стали 12Х18Н10Т, что связано с конкурирующим влиянием процессов распыления поверхности и диффузии азота в объем металла.

5. Исследовано влияние начальной энергии электронов пучка на величину плавающего потенциала изолированной металлической пластины в широком диапазоне ускоряющих напряжений и давлений рабочего газа.

Практическая значимость работы:

1. Разработан и изготовлен генератор азотсодержащей плазмы на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом из нитрида титана.

2. Разработан метод формирования термохимического самонакаливаемого полого катода из нитрида титана путем азотирования титановой трубки непосредственно в процессе функционирования генератора плазмы. Подана заявка на изобретение.

3. Создан прототип генератора плазмы с разрядной камерой большого объема, позволяющий проводить одновременную обработку изделий с общей площадью поверхности более 1800 см .

4. Предложен и исследован способ управления фазовым составом поверхностного слоя азотируемого изделия из титана путем изменения величины его плавающего потенциала.

Структура и краткий обзор работы:

Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения. Работа представлена на 160 страницах и содержит 72 рисунка, 1 таблицу и список литературы из 129 наименований.

Во введении показывается актуальность выбранного направления исследований, ставится цель и определяются основные задачи исследований, кратко описывается научная новизна и практическая значимость исследований. Завершается введение кратким изложением содержания диссертационной работы и научными положениями, выносимыми на защиту.

Первая глава посвящена описанию основных закономерностей диффузионного насыщения поверхностных слоев сталей и сплавов азотом. В ней приводится обзор современных методов азотирования, описываются достоинства и недостатки ионно-плазменных методов азотирования. В завершение главы делается вывод о перспективности развития метода азотирования в плазме электронного пучка и возможности исследования влияния различных рабочих параметров на характеристики модифицированного слоя.

Во второй главе приводится обоснование выбора разрядной системы с самонакаливаемым полым катодом для создания сильноточного плазменного эмиттера электронов с большой площадью эмиссионной поверхности. Описывается предложенная разрядная система на основе трубчатого полого катода с газоразрядной системой инициации разряда. Описывается метод формирования термохимического самонакаливаемого катода из нитрида титана путем азотирования титановой трубки непосредственно в процессе работы генератора плазмы. Приводятся рабочие характеристики созданного плазмогенератора, результаты исследований структуры и состава катода из нитрида титана, эмиссионные характеристики азотированной поверхности, а

также данные по скорости эрозии и оценки срока службы катода в рабочих режимах.

В третьей главе приводятся результаты исследования особенностей формирования широкого электронного пучка в разрядной системе с самонакаливаемым полым катодом. Описывается метод формирования широкого радиально-расходящегося электронного пучка в поперечном относительно оси катода направлении. Приводятся результаты измерения распределения плотности тока эмиссии электронов по поверхности сетки, а также распределения плотности ионного тока в плазме, генерируемой электронным пучком как в плоскопараллельной разрядной системе, формирующей круглый электронный пучок, так и в цилиндрической, формирующей радиально-расходящийся электронный пучок.

Четвертая глава посвящена исследованию особенностей азотирования аустенитной нержавеющей стали и технического титана в предложенной разрядной системе. В первой части этой главы приводятся результаты экспериментов по низкотемпературному азотированию аустенитной нержавеющей стали, где исследовалось влияние параметров электронного пучка и ионного потока на скорость роста и характеристики азотированного слоя. Во второй части главы исследуются особенности азотирования технического титана в плазме электронного пучка при плавающем потенциале образца, описывается способ управления плавающим потенциалом изолированных образцов путем изменения начальной энергии электронов и давления газа, позволяющий формировать модифицированные слои нужного фазового состава с требуемыми механическими характеристиками.

В заключении излагаются основные результаты, полученные в работе, приводятся данные по количеству опубликованных работ автора, приводится оценка личного вклада соискателя в работу.

Полученные в работе результаты позволяют сформулировать научные положения, выносимые на защиту:

1. Применение разряда с самонакаливаемым полым катодом обеспечивает формирование в анодной части разряда методом сеточной стабилизации однородного плазменного эмиттера электронов с большой эмитирующей поверхностью и генерацию в диоде с плазменным анодом радиально-расходящегося электронного пучка с током до 50 А при энергии электронов 0,1-1 кэВ и давлении газа 0,1-1 Па, при этом уровень неоднородности плотности тока эмиссии электронов не превышает 10 % на площади -700 см .

2. Формирование сильноточного самонакаливаемого полого катода из нитрида титана в разряде в среде азота достигается постепенным увеличением тока разряда и температуры полого катода из титана выше температуры его плавления со скоростью ~100°С/ч, ограниченной возможностью внутреннего расплавления и нарушения целостности катода, при этом в результате интенсивной диффузии азота увеличивается толщина азотированных слоев и достигается формирование фазы ЛИ во всем объеме активной зоны катода, что обеспечивает стабильную эмиссию полого катода при температурах ~2000°С с током до 50 А.

3. Зависимость толщины модифицированного слоя аустенитной нержавеющей стали, образованного в результате низкотемпературной (400 -450°С) диффузии азота из плазмы электронного пучка и формирования фазы твердого раствора с высокой концентрацией азота (20 - 25 ат.%), от плотности ионного тока, обусловленная конкурирующим влиянием процессов диффузии азота и ионного распыления поверхности стали, имеет максимум при плотности ионного тока 3-4 мА/см2 и энергии ионов 100 эВ.

4. Немонотонная зависимость потенциала изолированного металлического электрода от начальной энергии электронов в пучке, генерируемом плазменным источником электронов с сеточной

стабилизацией, и изменение положения максимума зависимости и его величины в функции давления газа, проявляющееся в области низких энергий электронов (<300 эВ) и повышенных давлений газа (0,1 - 1 Па), обусловлены значительной шириной энергетического спектра электронного пучка (-100 эВ) и изменением плотности ионного тока из пучковой плазмы.

Заключение диссертации по теме «Электрофизика, электрофизические установки», Меньшаков, Андрей Игоревич

Основные результаты, полученные в диссертационной работе:

1. Разработан генератор плазмы на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом с газоразрядной вспомогательной ячейкой инициирования разряда и тепловыми экранами. Впервые показана возможность использования титана для изготовления термохимических самонакаливаемых полых катодов. Определен режим тренировки титанового катода, обеспечивающий формирование фазы Т1Ы по всей толщине стенки катода в активной зоне за время -4 ч и позволяющий использовать его при токах разряда до 50 А. Катод из нитрида титана стабильно функционирует л при потоках рабочего газа (аргон, азот) 10-50 см /мин. Расчетный ресурс титанового катода при прокачке азота составляет 450 - 90 ч при токах разряда 10 - 50 А. Измерения температуры внешней поверхности катода в активной зоне и численные оценки температуры эмиссионной поверхности катода свидетельствуют о том, что эффективная работа выхода сформированного катода из нитрида титана не превышает 3,5 эВ.

2. Разработан источник широкого радиально-расходящегося электронного пучка. Поперечное извлечение электронов обеспечивает близкое к однородному распределение плотности тока. Азимутальная неоднородность распределения плотности тока на коллекторе не превышает 10% в диапазоне давлений 0,5 - 1,5 Па, а в направлении, параллельном оси электронного источника, высота области на коллекторе с неоднородностью + 10% составляет -80 мм. Максимальная плотность ионного тока, полученная в разрядной системе с радиальным извлечением электронов, составила свыше 12 мА/см ,

3. Для азотирования аустенитной нержавеющей стали при температуре 400°С впервые экспериментально получен немонотонный характер зависимости скорости азотирования от плотности ионного потока. Максимальная скорость роста азотированного слоя (7 — 8 мкм за 4 ч) достигается при плотности ионного тока 3,8 мА/см и энергии ионов 100 эВ.

4. Реализован способ управления потенциалом изделия, помещенного в плазму электронного пучка путем изменения давления газовой смеси и ускоряющего напряжения, что позволяет регулировать интенсивность распыления поверхностного слоя азотируемого изделия и дает возможность формировать на поверхности изделий модифицируемые слои нужного фазового состава и с требуемыми механическими характеристиками.

Апробация результатов исследования:

Материалы работы были доложены и обсуждены на 10-й международной конференция по модификации материалов пучками частиц и потоками плазмы (Томск, 2010), 10-й международной конференции «Пленки и покрытия-2011» (Санкт-Петербург, 2011), 1-й международной конференции «Наноматериалы: применения и свойства» (Алушта, Крым, Украина, 2011), 4-м международном крейнделевском семинаре «Плазменная эмиссионная электроника» (Улан-Удэ, 2012), 17-м международном симпозиуме по сильноточной электронике (Томск, 2012), 11-й международной конференции по модификации материалов пучками частиц и потоками плазмы (Томск, 2012) и представлены в сборниках докладов конференций [117- 122].

Публикации. По результатам выполненных исследований опубликовано 6 статей в журналах, рекомендованных ВАК [123 - 128].

Личный вклад соискателя в работу состоит в создании экспериментального образца генератора эмиссионной плазмы на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом, источника радиально-расходящегося электронного пучка и электроразрядной системы на их основе, подготовке и проведении экспериментов по азотированию сталей и сплавов и непосредственном получении экспериментальных данных на всех этапах работы. Постановка целей и задач исследований, обсуждение полученных результатов и их анализ, а также обсуждение и редакция основных выводов и научных положений, выносимых на защиту, проводились при участии научного руководителя чл.-корр. РАН, д.т.н. Гаврилова Н.В.

Автор выражает искреннюю благодарность чл.-корр. РАН Гаврилову Николаю Васильевичу, под руководством которого была выполнена представленная диссертационная работа. Автор также признателен своим коллегам - сотрудникам Института электрофизики УрО РАН за помощь в проведении специальных измерений, обсуждении и анализе полученных результатов.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Меньшаков, Андрей Игоревич, 2013 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Лахтин Ю. М. Химико-термическая обработка металлов / Ю. М. Лахтин, Б. Н. Арзамасов. - М.: Металлургия. - 1985. - 256 с.

2. Чаттерджи-Фишер Р. Азотирование и карбонитрирование. Пер. с нем. под ред. Супова А.В./ Р. Чаттерджи-Фишер, Ф.-В. Эйзел, Р. Хоффман, Д. Лидтке. - М.: Металлургия. - 1990. - 280 с.

3. Бабад-Захряпин А. А. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде / А. А. Бабад-Захряпин, Г. Д. Кузнецов. - М.: Атомиздат. - 1975.- 175 с.

4. Лахтин Ю. М. Теория и технология азотирования: монография / Ю. М. Лахтин, Я. Д. Коган, Г. Шпис, 3. Бемер. - М.: Металлургия. - 1991. - 320 с.

5. Арзамасов Б.Н. Ионная химико-термическая обработка сплавов / Б. Н. Арзамасов и др. - М.: изд. МГТУ им. Н.Э. Баумана. - 1999. -400 с.

6. Williamson D. L. Effect of austenitic stainless steel composition on low-energy, high-flux, nitrogen ion beam processing / D. L. Williamson, J. A. Davis, P. J. Wilbur // Surface and coatings technology.- 1998,-V. 103 - 104.-P. 178- 184.

7. Ни C. Analysis of the phases developed by laser nitriding of Ti-6A1-4V alloys / С. Ни, H. Xin, L. M. Watson, T. N. Baker // Acta mater. -1997. - Vol.45. - №10. - P. 4311 - 4322.

8. Rie K.-T. Thermochemical surface treatment of titanium and titanium alloy Ti-6A1-4V by low energy ion bombardment / K.-T. Rie, Th. Lampe // Mater. Sci. Eng. - 1985. - №69. - P.437 - 481.

9. Будил OB В. В. Ионное азотирование поверхности конструкционных сталей и сплавов в тлеющем разряде на основе эффекта полого катода / В. В. Будилов, Р. Д. Агзамов // Proc. of 6th

Intern. Conf. on Modif. of Mater, with Particle Beams and Plasma Flows. - Russia, Tomsk. - 2002. - P. 428 - 431.

10. Бокштейн Б. С. Диффузия в металлах / Б. С. Бокштейн. - М.: Металлургия. - 1978. - 248 с.

11. Бокштейн Б. С. Термодинамика и кинетика диффузии в твердых телах / Б. С. Бокштейн, С. 3. Бокштейн, А. А. Жуховицкий. - М., Металлургия. - 1974. - 280 с.

12. Borisov D. P. Plasma-ion nitriding of allow steel with the use of a low-pressure arc plasma generator / D. P. Borisov, V. V. Goncharova, V. M. Kuzmichenko, V. M. Savostikov, S. M. Sergeev // Metal Science and Heat Treatment. - 2006. - Vol. 48. - №11 - 12. - P. 539 -542.

13. Sun J. Low-temperature plasma nitriding of titanium layer on Ti/Al clad sheet / J. Sun, W. P. Tong, L. Zuo, Z. B. Wang // Materials and design. - 2013. - Vol. 47. - P. 408 - 415.

14. Вульф Б. К. Термическая обработка титановых сплавов / Б. К. Вульф. -М.: Металлургия. - 1969. - 376 с.

15. Зинченко В. М. Газовое азотирование в каталитически приготовленных аммиачных средах / В. М. Зинченко, В. Я. Сыропятов, В. В. Барелко, Л. А. Быков // МиТОМ. - 1997. - № 7. -С. 3-9.

16. Григорьев С. Н. Технологические методы повышения износостойкости контактных площадок режущего инструмента: учебное пособие / С. Н. Григорьев, В. П. Табаков, М. А. Волосова. - Старый Оскол: ТНТ, 2011. - 380 с.

17. Пастух И. М. Теория и практика безводородного азотирования в тлеющем разряде / И. М. Пастух. - Харьков: ННЦ ХФТИ. - 2006. -304 с.

18. Андреев А. А. Азотирование сталей в газовом дуговом разряде низкого давления / А. А. Андреев, В. М. Шулаев, J1. П. Саблев // ФИП. - 2006. - Т. 4. - В. 3-4. - С. 191 - 197.

19. Панайоти Т. А. Создание максимальной насыщающей способности газовой среды при ионном азотировании сплавов / Т.А. Панайоти // Физика и химия обработки материалов. - 2003. -В. 4.-С. 70-78.

20. Muratore С. Low-temperature nitriding of stainless steel in an electron beam generated plasma / C. Muratore, D. Leonhardt, S. G. Walton, D. D. Blackwell, R. F. Femsler, R. A. Meger // Surface & Coatings Technology.-2005.-№ 191. - P. 255 - 262.

21. Каплун В. Г. Особенности формирования диффузионного слоя при ионном азотировании в безводородных средах / В. Г. Каплун //ФИП.-2003.-Т. 1. - № 2. - С. 141 - 145.

22. Williamson D. L. Relative roles of ion energy, ion flux, and sample temperature in low-energy nitrogen ion implantation of Fe-Cr-Ni stainless steel / D. L. Williamson, J. A. Davis, P. J. Wilbur, J. J. Vajo, R. Wei, J. N. Matossian // Nuclear Inst. And Methods in phys. Res. B. - 1997. - V. 127 - 128. - P. 930 - 934.

23. Meletis E. I. Plasma nitriding intensified by thermionic emission source. E. I. Meletis. US Patent and Trademark Office. - 1994. -Patent №5334264. - Aug. 22. - 1994.

24. Walton S. G. Low temperature nitriding rate of stainless steel in an electron beam generated plasma / S. G. Walton, C. Muratore, D. Leonhardt, R. F. Fernsler, D. D. Blackwell, R. A. Meger // Surface & Coatings Technology. - 2004. - V. 186. - P. 40 - 46.

25. Zhecheva A. Enchancing the microstructure and properties of titanium alloys through nitriding and other surface engineering methods / A.

Zhecheva, W. Sha, S. Malinov, A. Long // Surface & Coatings technology. - 2005. - V. 200. - P. 2192 - 2207.

26. Xi Y. Improvement of erosion and erosion-corrosion resistance of AISI420 stainless steel by low temperature plasma nitriding / Y. Xi, D. Liu, D. Han // Applied Surface Science. - 2008. - V. 254. - P. 5953 - 5958.

27. Колобов Ю.Р. Технология формирования структуры и свойств титановых сплавов для медицинских имплантатов с биоактивными покрытиями / Ю. Р. Колобов // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4. - № 9 - 10. - С. 19 - 31.

28. Xue L. Laser gas nitriding of Ti-6A1-4V. Part 1: Optimization of the process / L. Xue, M. Islam, A. K. Koul, M. Bibby, W. Wallace // Advanced performance materials. - 1997. - №4. - P. 25 - 47.

29. Xue L. Laser gas nitriding of Ti-6A1-4V. Part 2: Characteristics of nitrided layers / L. Xue, M. Islam, A. K. Koul, M. Bibby, W. Wallace // Advanced performance materials. - 1997. - №4. - P. 389 - 408.

30. Manova D. Nitriding of austenitic stainless steel by pulsed low energy ion implantation / D. Manova, J. W. Gerlach, F. Scholze, S. Mandl, H. Neumann // Surface and Coatings Technology. - 2010. - V. 204. - P. 2919-2922.

31. Forester С. E. Mechanical and tribological properties of AISI 304 stainless steel nitride by glow discharge compared to ion implantation and plasma immersion ion implantation / С. E. Forester, F. C. Serbena, S. L. R. da Silva, С. M. Lepienski, C. J. de M. Siqueira, M. Ueda // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. -2007. - № 257. - P. - 732 - 736.

32. Неровный E. А. Азотирование поверхности титановых сплавов дуговой плазмой низкого давления / Е. А. Неровный, В. В.

Перемитько // Физика и химия обработки материалов. - 1995. -№ З.-С. 49-54.

33. Андреев А. А. Азотирование сталей в газовом дуговом разряде низкого давления / А. А. Андреев, В. М. Шулаев, Л. П. Саблев // ФИП. - 2006. - Т. 4. - В. 3 - 4. - С. 191 - 197.

34. Meletis Е. I. Intensified plasma-assisted processing: science and engineering / E. I. Meletis // Surface and Coatings Technology. -2002.-V. 149.-P. 95-113.

35. Ахмадеев Ю. X. Азотирование технически чистого титана в тлеющем разряде с полым катодом / Ю. X. Ахмадеев, И. М. Гончаренко, Ю. Ф. Иванов, Н. Н. Коваль, П. М. Щанин // Письма в журнал технической физики. - 2005. - Т. 31. - В. 13. - С. 24 -30.

36. Zhao С. Study on the active screen plasma nitriding and its nitriding mechanism / C. Zhao, С. X. Li, H. Dong, T. Bell // Surface and coatings technology. - 2006. - V. 201. - P. 2320 - 2325.

37. Alves C. Jr. Use of cathodic cage in plasma nitriding / C. Alves Jr., F.O. de Araujo, K. J. B. Ribeiro, J. A. P. da Costa, R. R. M. Sousa, R. S. de Sousa // Surface and coatings technology. - 2006. - V. 201. - P. 2450-2454.

38. Мустафаев А. С. Динамика электронных пучков в плазме / А. С. Мустафаев // Журнал технической физики. - 2001. - Т. 71. - В. 4. -С. 111 - 121.

■+■ 2+

39. Halas St. Cross sections for the production of N2 and N2 from nitrogen by electrons in the energy range 16-600 eV / St. Halas, B. Adamczyk // Int. J. Mass Spectrometry and Ion Phys. - 1972. - V. 10. -P. 157- 165.

40. Walton S. G. Electron-beam-generated plasmas for materials processing / S. G. Walton, C. Muratore, D. Leonhardt et al. // Surface and Coatings Technology. - 2004. - V. 186. - P. 40 - 46.

41. Abraha P. Surface modification of steel surfaces by electron beam excited plasma processing / P. Abraha, Y. Yoshakawa, Y. Katayama // Vacuum. - 2009. - V. 83. - P. 497 - 500.

42. Патент РФ №2413033. Способ плазменного азотирования изделия из стали или цветного сплава / Н. В. Гаврилов, А. С. Мамаев. -Заявл. 11.01.2009. - Опубл. 27.02.2011,- Бюл. №6.-9 с.

43. Гаврилов Н. В. Азотирование аустенитной нержавеющей стали в низковольтном пучковом разряде / Н. В. Гаврилов, А. С. Мамаев, А. И. Медведев // Известия высших учебных заведений - Физика. - № 11/2.-2009.-С. 166-171.

44. Гаврилов Н. В. Азотирование материалов в плазме электронного пучка / Н. В. Гаврилов, С. Н. Григорьев, Ю. Ф. Иванов, А. С. Каменецких, Н. Н. Коваль, Ю. А. Колубаева, А. С. Мамаев, А. Д. Тересов // Тезисы III Международного Крейнделевского семинара "Плазменная эмиссионная электроника", Улан-Удэ, Россия. - 2009. - С. 133 - 144.

45. Oechsner Н. Process controlled microstructural and binding properties of hard physical vapor deposition films / H. Oechsner // J. Vac. Sci. Technol. A. -1998.-V.16.-N. 3.-P. 1956-1962.

46. Месяц Г. А. Эктоны. Часть 1. / Г. А. Месяц. - Екатеринбург: Изд-во Наука. - 1993,- 184 с.

47. Borisov D. P. Production of a large-volume plasma by a hot-cathode arc / D. P. Borisov, N. N. Koval, P. M. Shchanin // Russian Physics Journal. - 1994. - V. 37. - № 3. - P. 295 - 299.

48. Lidsky L. M. Highly ionized hollow cathode discharge / L. M. Lidsky, S. D. Rothleder, D. J. Rose et al. // J. Appl. Phys. 1962. - V. 33.-P. 2490.

49. Delcroix J. L. Hollow cathode arc / J. L. Delcroix, A. R. Trindade // Advances in Electronics and Electron Physics. -1974. - V. 37. - P. 87- 190.

50. Ferreira С. M. Theory of the hollow cathode arc / С. M. Ferreira, J. L. Delcroix // J. Appl. Phys. - 1978. - V. 49. - P. 2380 - 2395.

51. Kennedy R. V. Theory of the arc hollow cathode / R. V. Kennedy // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2001. - V.34. - P. 787 - 793.

52. Hershcovitch A. I. Observation of a two-component electron population in a hollow cathode discharge / A. I. Hershcovitch, V. J. Kovarik, K. Prelec // Appl. Phys. Lett. - 1996. - V. 68. - № 4. - P. 464-466.

53. Бабкин Г. В. Экспериментальное исследование плазмы в многоканальном катоде / Г. В. Бабкин, В. Г. Михалев, Е. П. Морозов, А. В. Потапов // Журнал прикладной механики и технической физики. - 1976. - №6 - С. 26 - 29.

54. Nishikawa Н. Heat input properties of hollow cathode arc as a welding heat source / H. Nishikawa, S. Shobako, M. Ohta, T. Ohji // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2005. - №38. - P. 3451 - 3456.

55. Ерузин А. А. Свойства углеродистых полимерных пленок, полученных с помощью дугового разряда на полом катоде / А. А. Ерузин, В. Н. Афанасьев, И. Б. Гавриленко, Ю. П. Удалов // Физика и химия обработки материалов. - 2003. - №4- С. 28 - 30.

56. Isfort D. Development of a UHV compatible hollow cathode arc source for the deposition of a hard nitride coatings / D. Isfort, V. Buck // Plasma sources and Sci. Technol. - 2000. - № 9. - P. 25 - 31.

57. Nerovnyi V. M. Hollow cathode arc discharge as an effective energy source for welding processes in vacuum / V. M. Nerovnyi, A. D. Khakhalev // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2008. - № 41 - 035201 (8pp).

58. Barankova H. Hollow cathode and hybrid plasma processing / H. Barankova, L. Bardos // Vacuum. - 2006. - № 80. - P. 688 - 692.

59. Goebel D. M. LaB6 hollow cathodes for ion and hall thrusters / D. M. Goebel, R. M. Watkins, К. K. Jameson // Journal of propulsion and power. - 2007. - V. 23. - Iss. 3. - P. 552 - 558.

60. Gushenets V. I. Two stage plasma gun based on a gas discharge with a self-heating hollow emitter / V. I. Gushenets, A. S. Bugaev, E. M. Oks // Review of Scientific Instruments. - 2010. - V. 81,- 02B903.

61. Goebel D. M. Lanthanum hexaboride hollow cathode for dense plasma production / D. M. Goebel, J. T. Crow, A. T. Forrester // Rev. Sci. Instrum. - 1978. - V. 49. - № 4. - P. 469 - 472.

62. Бабичев А. П. Физические величины. Справочник. / А. П. Бабичев, Н. А. Бабушкина, А. М. Братковский и др. Под ред. И. С. Григорьева, Е. 3. Мейлихова. - М.: Энергоатомиздат. - 1991. -С. 570.

63. Кресанов В. С. Высокоэффективный эмиттер электронов на основе гексаборида лантана / В. С. Кресанов, Н. П. Малахов, В. В. Морозов и др. - М., Энергоатомиздат. - 1987. - 152 с.

64. Haas G. A. Surface characterization of BaO on W. I. Deposited films. / G. A. Haas, R. E. Thomas, A. Shin, C. R. K. Cirrian // Applied surface science. - 1989. - V. 40. - Iss. 3. - P. 265 - 276.

65. Zhukov M. F. Thermochemical cathodes / M. F. Zhukov, A. V. Pustogarov, G.-N. B. Dandaron, A. N. Timoshevsky. - Novosibirsk. -1985.

66. Крейндель Ю. E. Источники электронов с плазменным эмиттером / Ю. Е. Крейндель. - Новосибирск: Наука. - 1983. - 120 с.

67. Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером. Под ред. П. М. Щанина. Екатеринбург: УИФ «Наука». - 1993. - 151 с.

68. Оке Е. М. Источники электронов с плазменным катодом: физика, техника, применения / Е. М. Оке. Томск: Изд-во HTJI. - 2005. -216 с.

69. Визирь А. В. Генератор плазмы на основе стационарного дугового контрагированного разряда для плазменных источников заряженных частиц / А. В. Визирь, А. Г. Николаев, Е. М. Оке, П. М. Щанин, Г. Ю. Юшков // Приборы и техника эксперимента. -1993.-№3.-С. 144- 148.

70. Гаврилов Н.В. Использование импульсно-периодической дуги с катодным пятном для генерации электронных и ионных пучков с регулируемым средним током / Н. В. Гаврилов, Ю. Е. Крейндель, Г. А. Месяц, Ф. Н. Шведов // Письма в журнал технической физики. - 1988. - Т. 14. - В. 10. - С. 865 - 869.

71. Бугаев А. С. Low-voltage discharge with a self-heating hollow cathode for charged particle sources and plasma generators / A. C. Бугаев, В. И. Гугценец, Е. М. Оке, П. М. Щанин // Известия высших учебных заведений. Физика. - 2006. - №11- С. 139 -141.

72. Жуков М. Ф. Приэлектродные процессы в дуговых разрядах / М. Ф. Жуков, А. В. Пустогаров, Н. П. Козлов и др. - Новосибирск: Наука. - 1982,- 178 с.

73. Samsonov G.V. Nitrides / G. V. Samsonov. - Kiev: Naukova Dumka. - 1969.

74. Самсонов Г. В. Тугоплавкие соединения / Г. В. Самсонов. - М., Металлургиздат. - 1963.

75. Кипарисов С. С. Порошковая металлургия / С. С. Кипарисов, Г. А. Либенсон. М.: Металлургия. - 1980. - 496 с.

76. Moller W. Surface processes and diffusion mechanisms of ion nitriding of stainless steel and aluminium / W. Moller, S. Parascandola, T. Telbizova, R. Gunzel, E. Richter // Surface and Coatings Technology. - 2001. - V. 136. - P. 73 - 79.

77. Peterson N. L. Diffusion in refractory metals / N. L. Peterson // WADD Technical Report. - 1963. - V. 60-793. - P. 123.

78. Михеев M. А. Основы теплопередачи / M. А. Михеев. - M.: Госэнергоиздат. - 1949. - с. 25.

79. Фоменко B.C. Эмиссионные и адсорбционные свойства веществ и материалов / В. С. Фоменко, И. А. Подчерняева. - М.: Атомиздат. -1973.

80. Nerovnyi V. М. Hollow cathode arc discharge as an effective energy source for welding processes in vacuum / V. M. Nerovnyi, A. D. Khakhalev // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2008. - №41.-035201 (8pp)

81. Fietzke F. Magnetically enhanced hollow cathode - a new plasma source for high-rate deposition process / F. Fietzke, H. Morgner, S. Gunther // Plasma Process. Polym. - 2009. - № 6. - P. S242 - S246.

82. Жаринов А. В. Плазменный эмиттер электронов с сеточной стабилизацией. I. / А. В. Жаринов, Ю. А. Коваленко, И. С. Роганов, П. М. Тюрюканов // Журнал технической физики. -1986.-Т. 56.-В. 1. С. 66.

83. Гаврилов Н. В. Высокоэффективная эмиссия плазменного катода с сеточной стабилизацией / Н. В. Гаврилов, Д. Р. Емлин, А. С. Каменецких// Журнал технической физики. - 2008. - Т. 78. - В. 10. - С. 59 - 64.

84. Sharma М. К. Optical emission spectroscopy of DC pulsed plasmas used for steel nitriding / M. K. Sharma, В. K. Saikia, S. Bujarbarua // Surface and Coatings Technology. -2008. -V. 203. - P. 229-233.

85. Koval N. N. Influence of the Composition of a Plasma-Forming Gas on Nitriding in a Non-Self-Maintained Glow Discharge with a Large Hollow Cathode / N. N. Koval, P. M. Schanin, Yu. Kh. Akhmadeev, I. V. Lopatin, Yu. R. Kolobov, D. S. Vershinin, and M. Yu. Smolyakova // Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. - 2012. - V. 6.-№ l.-P. 154- 158.

86. Бронштейн И. M. Вторичная электронная эмиссия / И. М. Бронштейн, Б. С. Фрайман. - М.: Наука. - 1969. -408 с.

87. Zhang Z. L. Structure and corrosion resistance of plasma nitrided stainless steel / Z. L. Zhang, T. Bell // Surf. Eng. - 1985. - V. 1. - P. 131 - 136.

88. Lo К. H. Recent developments in stainless steels / К. H. Lo, С. H. Shek, J. K. L. Lai // Materials Science and Engineering. - 2009. - V. 65.-P. 39- 104.

89. Kuhl A. Investigation of nitrogen diffusion in austenitic CrNi steels / A. Kuhl, D. Bergner, H.-J. Ullrich // Microchim. Acta. - 1992. - V. 107.-P. 295 -302.

90. Lei M. K. Plasma based low energy ion implantation of austenitic stainless steel for improvement in wear and corrosion resistance / M. K. Lei, X. M. Zhu // Surface and Coatings Technology. - 2005. - V. 193. -P. 22-28.

91. Parascandola S. The interplay of sputtering and oxidation during plasma diffusion treatment / S. Parascandola, O. Kruse, W. Moller // Applied Physics Letters. - 1999. -V. 75. -№ 13. - P. 1851 - 1853.

92. Tsubouchi N. Nitrogen diffusion in stainless steel during irradiation with mass-selected low-energy N+ ion beams / N. Tsubouchi, Y. Mokuno, A. Chayahara, Y. Horino // Surface and Coatings Technology.-2005.-V. 196.-P. 271 -274.

93. Christiansen Т. L. Stress and composition of carbon stabilized expanded austenite on stainless steel / T. L. Christiansen, M. A. J. Somers // Metallurgical and Materials Transactions A. - 2009. - V. 40.-P. 1791 - 1798.

94. Galdikas A. Stress induced nitrogen diffusion during nitriding of austenitic stainless steel / A. Galdikas, T. Moskalioviene // Computational Materials Science. - 2010. - V. 50. - P. 796 - 799.

95. Galdikas A. Modeling of stress induced nitrogen diffusion in nitrided stainless steel / A. Galdikas, T. Moskalioviene // Surface and Coatings Technology. - 2011. - V. 205. - P. 3742 - 3746.

96. Марченко И. Г. Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И. Г. Марченко, И. И. Марченко, И. М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. - 2006. - Т. 89. - № 4. - С. 182 - 184.

97. Riviere J. P. Wear resistance after low-energy high-flux nitrogen implantation of AISI 304L stainless steel / J. P. Riviere, P. Meheust, J. P. Villain // Surface and Coatings Technology. - 2002. - V. 158-159. -P. 647-652.

98. Xi Y. Improvement of erosion and erosion-corrosion resistance of AISI420 stainless steel by low temperature plasma nitriding / Y. Xi, D. Liu, D. Han // Applied Surface Science. - 2008. - V. 254. - P. 5953 - 5958.

99. Oliver W. C. Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation. Advances in understanding and refinements to methodology / W. C. Oliver, G. M. Pharr // J. Mater. Res. - 2004. -V. 19.-№ 1,-P. 3-20.

100. Gavrilov N. V. Mass analysis of plasma generated by low-energy electron beam in low-pressure N2-Ar mixtures / N. V. Gavrilov, O. A.

Bureyev // Proc. Of 16th International Symposium on High-Current Electronics, Tomsk, Russia. -2010. - P. 35 -38.

101. Будил OB В. В. Технология ионного азотирования деталей ГТД в тлеющем разряде с полым катодом / В. В. Будилов, К. Н. Рамазанов // Вестник УГАТУ. - 2008. - Т. 10. - № 1(26). - С. 82 -86.

102. Tibbets G. G. Role of nitrogen atoms in "ion-nitriding" / G. G. Tibbets // J. Appl. Phys. - 1974. - V. 45. - № 11. - p. 5072 - 5073.

103. Rettner C.T. / С. T. Rettner, H. Stein // Phys. Rev. Lett. - 1987. - V. 59.-№25.-P. 2768-2771.

104. Tatarova E. Nitrogen dissociation in low-pressure microwave plasma / E. Tatarova, V. Guerra, J. Henriques, С. M. Ferreira // Journal of Physics: Conference Series. - 2007. - V. 71. - 012010. - 11 p.

105. Бериш P. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Р. Бериш. Будилов В. В. М.: Мир. - 1986. - 336 с.

106. Sigmund P. Theory of sputtering yield of amorphous and polycrystalline targets / P. Sigmund // Phys.Rev. - 1969. - V. 184. -№2.-P. 383 -416.

107. Ziegler J. F. The Stopping and range of ions in solids / J. F. Ziegler, J. P. Biersak, U. Littmark. - NY: Pergamon. - 1996. - 192 p.

108. Kofstad P. High-Temperature Oxidation of Metals / P. Kofstad. -NY: Wiley. - 1966.-392 p.

109. Мощенок В. И. Размерный эффект в значениях твердости материалов / В. И. Мощенок, И. В. Дощечкина, А. А. Ляпин // Вестник ХНАДУ. - 2008. - В. 41.

110. Figueroa С. A. A comprehensive nitriding study by low energy ion beam implantation on stainless steel / C. A. Figueroa, D. Wisnivesky, P. Hammer, R. G. Lacerda, R. Droppa Jr., F. C. Marques, F. Alvarez //

Surface and Coatings Technology. - 2001. - V. 146 - 147. - P. 405 -409.

111. Nerovnyj V. M. Titanium alloys surface nitriding by low pressure arc plasma / V. M. Nerovnyj, V. V. Peremit'ko // Физика и химия обработки материалов. - 1995. - №. 3. - С. 49 - 54.

112. Мартене В. Я. Потенциал изолированного электрода в системе плазма-электронный пучок / В. Я. Мартене // Журнал технической физики. - 1996. - Т. 66. - В. 6. - С. 70 - 76.

113. Райзер Ю. П. Физика газового разряда. 3-е издание перераб. и доп. / Ю. П. Райзер. - Долгопрудный: Издательский дом «Интеллкт». - 2009. - 736 с.

114. Cawthron Е. R. / Е. R. Cawthron // Aust. J. Phys. - 1971. - V. 24. -P. 859- 869.

115. Hef P. Secondary electron emission measurements for TiN coating on the stainless steel of SNS accumulator ring vacuum chamber / P. Hef, H. C. Hseuh, R. Todd, B. Henrist, N. Hilleret, F. Le Pimpec, R. E. Kirby, M. Pivi, S. Kato, M. Nishiwaki // Proc. 9th European Particle Accelerator Conference (EPAC'04). - 2004. - (BNL-72188-2004-CP).

116. Gavrilov N. V. Low-Temperature Nitriding of Titanium and Titanium Alloys by Electron-Beam-Generated Plasma / N. V. Gavrilov, A. S. Mamaev // Elektrotechnica & Electrónica. - 2009. - V. 44. - № 5 - 6. -P. 142- 148.

117. Gavrilov N. V. Source of radially divergent electron beam based on self-heating hollow cathode discharge / N. V. Gavrilov, A. I. Menshakov // Proc. of 16th International Symposium on High-Current Electronics. Tomsk, Russia. - 2010. - P. 27 - 30.

118. Гаврилов H. В. Влияние параметров электронного пучка и ионного потока на скорость плазменного азотирования аустенитной нержавеющей стали / Н. В. Гаврилов, А. И.

Меньшаков // Труды 10-й Международной конференции «Пленки и покрытия». Санкт-Петербург, Россия. - 2011. - С. 122 - 125.

119. Трахтенберг И. Ш. Влияние азотирования инструментальной стали Р6М5 на абразивную износостойкость алмазоподобных покрытий / И. Ш. Трахтенберг, С. А. Плотников, Т. Е. Куреных,

B. А. Югов, Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков // Труды 10-й Международной конференции «Пленки и покрытия». Санкт-Петербург, Россия. - 2011. - С. 259 - 261.

120. Gavrilov N. V. Effect of ion flux parameters on the rate of austenitic stainless steel nitriding in electron beam generated plasma / N. V. Gavrilov, A. I. Menshakov // Proc. of 1st International conference "Nanomaterials: Application and Properties". Alushta, the Crimea, Ukraine. - 2011. - V. 1(2).-P. 417-419.

121. Гаврилов H. В. Азотирование титана в плазме электронного пучка при плавающем потенциале образцов / Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков // Труды 4-го Международного крейнделевского семинара «Плазменная эмиссионная электроника». Улан-Удэ, Россия. - 2012,- С. 130 - 137.

122. Гаврилов Н. В. Особенности работы крупноструктурного сетчатого плазменного катода при повышенных давлениях / Н. В. Гаврилов, А. С. Каменецких, А. И. Меньшаков // Труды 4-го Международного крейнделевского семинара «Плазменная эмиссионная электроника». Улан-Удэ, Россия. - 2012. - С. 7 - 13.

123. Гаврилов Н. В. Источник широких электронных пучков с самонакаливаемым полым катодом для плазменного азотирования нержавеющей стали / Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков // Приборы и техника эксперимента. - 2011. - №5. -

C. 140- 148.

124. Гаврилов H. В. Влияние параметров электронного пучка и ионного потока на скорость плазменного азотирования нержавеющей стали / Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков // Журнал технической физики. - 2012. - Т. 82. - В. 3. - С. 88 - 93.

125. Гаврилов Н. В. Экспериментальное исследование условий перехода в сильноточный режим разряда с самонакаливаемым полым катодом из титана в среде азота / Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков // Письма в журнал технической физики. - 2012. - Т. 38.-В. 22.-С. 58-64.

126. Гаврилов Н. В. Низкотемпературное азотирование нержавеющей стали в плазме электронного пучка при 400°С / Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков // Физика и химия обработки материалов. — 2012. — №5.-С. 31-36.

127. Гаврилов Н. В. Потенциал изолированного электрода в потоке быстрых электронов при давлении газа 0,1 - 1 Па / Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков, А. С. Каменецких // Журнал технической физики. - 2013. - Т. 83. - В. 1. - С. 74 - 79.

128. Gavrilov N. V. Low-temperature (400°С) Nitriding of 12Crl8NilOTi Steel in Electron-Beam-Generated Plasma / N. V. Gavrilov, A. I. Menshakov // Известия высших учебных заведений - Физика. -2012. -№12/2. -С. 80- 85.