Исследования однонаправленных и слабоаподизованных встречно-штыревых преобразователей поверхностных акустических волн и разработка устройств частотной селекции на их основе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Карапетьян, Геворк Яковлевич

• Карапетьян, Геворк Яковлевич
• кандидат технических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат технических наук Карапетьян, Геворк Яковлевич

Введение

Глава 1. Анализ состояния проблемы.

1.1. Введение.

1.2. Краткий анализ дифракционных искажений.

1.3. Анализ вносимых потерь в ПАВ фильтрах.

1.4. Анализ методов расчета ПАВ устройств.

Выводы к главе 1.

Глава 2. Одномерная модель возбуждения и приема ПАВ.

2.1. Постановка задачи.

2.2. Общее решение задачи.

2.3. Возбуждение и прием ПАВ ВШП.

Выводы к главе 2.

Глава 3. Однонаправленные ВШП с внутренними отражателями и

ВШП, и устройства частотной селекции на их основе.

3.1. Введение.

3.2. Описание конструкции и расчет однонаправленных ВШП с внутренними отражателями новой конструкции.

3.3. Описание конструкции однонаправленного ВШП на частоты свыше 2 ГГц.:.

3.4. Использование однонаправленных ВШП в полосовых фильтрах.

3.5. Применение однонаправленных ВШП для датчиков физических величин и устройств идентификации.

Выводы к главе 3.

Глава 4. Встречно-штыревые направленные ответвители.

4.1. Исследование встречно-штыревых направленных ответвителей.

4.2. Фильтры на ПАВ на основе встречно-штыревых направленных ответвителей.

Выводы к главе 4.

Глава 5. Веерные ВШП и ПАВ фильтры на их основе.

5.1. Исследование веерных ВШП и ПАВ фильтров на их основе.

5.2. Телевизионные ПАВ фильтры тракта ПЧ на основе веерных ВШП.

5.2.1. ТВ фильтры на ПАВ на подложках из ниобата лития.

5.2.2. ТВ фильтры на ПАВ с использование пленок окиси цинка и подложек из пьезокерамики.

Выводы к главе 5.

Глава 6. Импедансные фильтры на ПАВ.

6.1. Введение.

6.2. Физические основы работы импедансных фильтров.

6.3. Типы звеньев импедансных фильтров.

6.4. Методы снижения пульсаций и увеличения внеполосного затухания.

6.5. Методика расчета импедансных фильтров.

6.6. Применение импедансных фильтров.:.

6.6.1. Режекторные импедансные фильтры для закрытия телевизионных каналов.

6.6.2. Телевизионные канальные фильтры для систем вещательного телевидения.

6.6.3. Другие применения импедансных фильтров.

Выводы к главе 6.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследования однонаправленных и слабоаподизованных встречно-штыревых преобразователей поверхностных акустических волн и разработка устройств частотной селекции на их основе»

1. Актуальность темы.

Благодаря классической работе Ю.В. Гуляева и В.И. Пустовойта [1], в которой впервые указывалось на перспективное использование поверхностных акустических волн (ПАВ) для обработки сигналов, состоялось становление и началось активное развитие акустоэлектроники. Среди всех акустоэлектронных устройств господствующее положение на рынке инфокоммуникационной аппаратуры занимают приборы частотной селекции ПАВ (например, полосовые и режекторные фильтры) [2,3]. Важнейшей особенностью, обеспечивающей постоянное и быстрое их внедрение в современные информационные системы, является отсутствие настройки и возможность совмещения процессов изготовления с микро- и наноэлектронными технологиями, высокая температурная стабильность, высокая надежность, малые массогабаритные характеристики.

Для получения высокоизбирательных передаточных характеристик (амплитудно- и фазо- частотных характеристик (АЧХ и ФЧХ)) широко используются аподизованные встречно-штыревые преобразователи (ВШП). В этом случае АЧХ и ФЧХ формируется только в одном аподизованном ВШП, тогда как второй ВШП должен быть выполнен, как правило, неаподизованным и эквидистантным с тем, чтобы без искажений преобразовать функцию аподизации в амплитудную модуляцию импульсного отклика фильтра. Более того, для увеличения избирательности возникает необходимость формирования протяженных импульсных характеристик с большим количеством боковых лепестков в функциях аподизации. А это существенно ограничивает возможности формирования требуемых протяженных импульсных характеристик, так как в ВШП, в этом случае, имеется много межэлектродных перекрытий со сравнимыми с длиной ПАВ величинами. Последнее приводит к дифракционным искажениям, которые, в свою очередь, ухудшают АЧХ и ФЧХ (уменьшают внеполосное затухание, увеличивают коэффициент прямоугольности АЧХ и неравномерность группового времени запаздывания и т.д.). Учет дифракционных искажений не всегда приводит к желаемому результату из-за необходимости высокотехнологического исполнения электродов ВШП особенно в СВЧ диапазоне, где перекрытия электродов в аподизованном ВШП могут быть меньше 1 мкм.

Вместе с тем, для ряда системных применений, требуется достижение предельных высокоизбирательных характеристик, предельных характеристик по неравномерности группового времени запаздывания, предельному уровню вносимого затухания.

Поэтому, разработка новых конструктивно-технологических решений, направленных на формирование предельных характеристик в равной мере в каждом из ВШП фильтра и позволяющих одновременно минимизировать вторичные эффекты, является, несомненно, актуальной задачей. В качестве примера на рисунке 1 схематически показаны основные типы ВШП с локализацией ПАВ, отвечающие таким требованиям и рассматриваемые в настоящей работе. ■■■■■■■■■

ШПШПШПШ

Рисунок 1. Основные используемые конструкции в приборах частотной селекции на ПАВ.

Так, значительно уменьшить изрезанность АЧХ из-за сигнала тройного прохождения можно в приборах частотной селекции на ПАВ, основанных на использовании однонаправленных ВШП с внутренними отражателями (рисунок 1а).

Излучение ПАВ преимущественно в одну сторону в однонаправленных ВШП уменьшает потери в ПАВ фильтрах за счет устранения потерь на двунаправленность и уменьшения отраженных от ВШП сигналов даже на частотах свыше 2 ГГц. Такие ВШП также целесообразно использовать в датчиках дистанционного контроля физических величин и устройствах идентификации в качестве приемо-передающих ВШП.

Увеличение внеполосного подавления может достигаеться также за счет применения частотно-избирательных встречно-штыревых направленных ответвителей (ВШНО, рисунок 16).

Получение АЧХ близких к прямоугольным и с внеполосным подавлением более 40 дБ можно достичь применением веерных ВШП (рисунок 1в), в которых величина перекрытий, хотя и может изменяться вдоль ВШП, всегда намного больше длины ПАВ.

Уменьшить вносимые потери и неравномерность АЧХ в полосе пропускания позволяют конструкции с использованием ВШП-резонаторов (рисунок 1г). При этом в ВШП-резонаторе на частоте антирезонанса излучения ПАВ в подложку вообще не происходит. В этом случае импеданс ВШП с величиной перекрытия электродов много больше длины ПАВ аналогичен параллельному ¿С-контуру, а импеданс ВШП с величиной перекрытия, в 2-5 длины ПАВ, аналогичен последовательному ¿С-контуру, что позволяет формировать импедансные фильтры аналогично ЬС- фильтрам, как полосовые так и режекторные.

2. Цели и задачи: Целью диссертации является исследование различных конструкций однонаправленных ВШП с внутренними отражателями, веерных ВШП, конструкций на основе встречно-штыревых направленных ответвителей, импедансных фильтров и разработка методик расчета и конструктивнотехнологических решений приборов частотной селекции в условиях серийного производства, где требуется слабая чувствительность электрических параметров от неточностей изготовления и технологических дефектов.

Для достижения поставленной цели в диссертационной работе необходимо было решить следующие основные задачи:

• разработать методику расчета приборов частотной селекции вышеописанных конструкций;

• провести теоретические и экспериментальные исследования различных однонаправленных ВШП различных типов, веерных ВШП, ВШП-резонаторов, ВШНО;

• экспериментально исследовать приборы частотной селекции вышеописанных конструкций.

3. Объекты исследования: Объектами исследований являются устройства акустоэлектроники, а более конкретно частотно-селективные устройства на поверхностных акустических волнах.

4. Предметы исследования: Предметами исследования пьезоэлектрические кристаллы различных ориентаций, а также акустоэлектронные элементы, входящие в состав приборов на ПАВ. К последним относятся ВШП, различные ВШНО.

5. Методологическая и теоретическая основа исследования: Исследования распространения ПАВ в произвольных пьезоэлектрических кристаллах и слоистых структурах, существенный вклад в которые внесли российские ученые И.А.Викторов, Ю.В.Гуляев, В.И.Пустовойт, положили начало новому направлению в электронике - акустоэлектроники. Основные преимущества и конкурентоспособность акустоэлектронных приборов по сравнению с другими классами аналогичных устройств заключаются в возможности значительного уменьшения габаритов и массы компонентов, технологичности изготовления, стабильности параметров и относительно невысокой стоимости.

6. Информационная база исследования: В числе информационных источников диссертации использованы: а) научные источники в виде данных и сведений из книг, журнальных статей, научных докладов и отчетов, материалов научных конференций, семинаров; б) результаты собственных расчетов и проведенных экспериментов.

• 7.Научная новизна работы. При выполнении диссертационной работы получены следующие новые научные результаты: Показано, что задача о возбуждении ПАВ на основе однородных уравнений электростатики и движения в пьезоэлектрической среде с неоднородными граничными условиями может быть сведена к неоднородному дифференциальному уравнению пьезоэлектрической среды с однородными граничными ■условиями и предложена одномерная физическая модель ВШП.

• Впервые предложен ряд новых конструкций приборов частотной селекции в которых величина перекрытия электродов ВШП всегда намного больше длины ПАВ: а) с однонаправленными ВИД! с внутренними отражателями; б) с ВШП и ВШНО; в) с веерными ВШП; г) с ВШП — резонаторами ( импедансные фильтры).

• В приближении одномерной модели задачи о возбуждении и приеме ПАВ .получены аналитические соотношения передаточных характеристик фильтров с ВШП веерного типа. Показано, что для уменьшения неравномерности АЧХ широкополосных приборов частотной селекции следует размещать веерные ВШП на расстоянии не менее, чем Ао/4#Макс и (или) располагать между ВШП встречно-штыревую структуру, где А0 -длина ПАВ на центральной частоте, б^с - максимальный угол наклона электродов веерного ВШП от линии перпендикулярной направлению распространения ПАВ.

8. Практическая значимость работы. Практическая ценность работы состоит в разработке и внедрении в промышленность:

Новых конструкций и методик расчета приборов частотной селекции с локализацией ПАВ: а) на основе однонаправленных ВШП с внутренними отражателями; б) на основе ВШНО; в) на основе веерных ВШП для ПЧ - тракта телевизионных цветных приемников; г) импедансных фильтров для телевизионных канальных ПАВ-фильтров метрового и дециметрового диапазонов частот; д) режекторных импедансных фильтров для систем закрытия телевизионных каналов.

9.Научные положения, выносимые на защиту;

• Одномерная физическая модель ВШП, допускающая эквивалентность преобразователя пьезоэлектрической среде с переменной пьезоэлектрической константой. Причем, законы изменения пьезоконстанты соответствует закону поверхностного распределения заряда на электродах ВШП вдоль направления распространения ПАВ q(z), т.е. е=еоq(z), а скорость

1 l'y

ПАВ VnAB=(c/p) , с - эффективный модуль упругости, р - плотность среды.

• Конструкции и методика расчета высокоизбирательных АЧХ (более 50 дБ в полосе задерживания) приборов частотной селекции на основе однонаправленных преобразователей с внутренними отражателями и встречно-штыревых направленных ответвителей, позволившие одновременно обеспечить вносимое затухание до 4-5 дБ, а также конструкция однонаправленного ВШП, позволяющая возбуждать и принимать ПАВ на частотах свыше 2ГГц.

• Конструкции и методика расчета высокоизбирательных характеристик приборов частотной селекции на основе веерных ВШП и новые методы их взвешивания на его основе, позволившие в равной мере формировать характеристики как за счет входного, так и за счет выходного ВШП.

• Конструкции и методика расчета высокоизбирательных АЧХ приборов частотной селекции импедансного типа с ВШП-резонаторами, позволившие обеспечить такие параметры, которые недостижимы в других типах ПАВ фильтров.

10. Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на: XII-ой Всесоюзной конференции по акустоэлектронике, Саратов, 1983 г.; ХШ-ой Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике, Черновцы, 1986 г; Ш-ей Всесоюзной конференции по актуальным проблемам получения и применения сегнето- и пьезоэлектрических материалов и их роли в ускорении научно-технического проекта, г. Москва,

1987 г.;Школе-семинаре «Устройства акустоэлектроники», г. Москва, ВДНХ,

1988 г.; П1-ей Всесоюзной конференции «Акустоэлектронные устройства обработки информации», г. Черкассы, 1988г.; XIV-ой Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и физической акустике твердого тела, г. Кишинев,

1989 г.; Всесоюзной конференции «Акустоэлектронные устройства обработки информации на ПАВ», г. Черкассы, 1990 г.; научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения », г. Саратов, 2003 г.; XI Международной конференции «Современные проблемы механики сплошной среды», г. Ростов-на-Дону, 2007 г.; XII Международной конференции «Современные проблемы механики сплошной среды», г. Ростов-на-Дону, 2008 г.; ХШ Международной конференции «Современные проблемы механики сплошной среды», г. Ростов-на-Дону, 2009 г.

11. Внедрение результатов работы. Результаты работы были внедрены на ряде предприятий ВПК СССР, а позже РФ, на малом предприятии «Пьезотрон» (г. Ростов-на-Дону) был организован серийный выпуск телевизионных ПАВ фильтров и режекторных фильтров для систем закрытия ТВ каналов, а на малом предприятии «Элион» (г. Волгодонск) - канальных фильтров. Соответствующие акты внедрения приведены в приложении.

12. Публикация результатов работы. По результатам выполненных исследований опубликовано 42 научные работы, в том числе одна монография, 19 статей (из них 6 статей, в. изданиях, входящих в перечень ВАК),

10 изобретений (из них 7 патентов РФ и 3 авторских свидетельства), 12 докладов и тезисов докладов различных конференций и семинаров. 13. Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, шести глав, заключения, списка использованных источников и приложения. Диссертация содержит 147 страниц машинописного текста (без приложения), 81 рисунок, 2 таблицы, ссылки на 93 библиографических источника. Личный вклад автора.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Карапетьян, Геворк Яковлевич

Выводы к главе 6.

1. Показано, что ВШП с малой апертурой подобны последовательному ГСконтуру, но с мнимыми индуктивностью и емкостью, а ВШП с большой апертурой - параллельному /С-контуру и можно формировать фильтры полосовые и режекторные на основе Г,Т,П- и мостовых схем, которые делаются на основе ЬС- контуров.

2. Разработаны методы уменьшения неравномерности в полосе пропускания полосовых импедансных фильтров путем использования подложек, в которых возбуждаются приповерхностные волны или путем использования аподизованных ВШП.

3. Разработана методика расчета импедансных фильтров, оценены предельные значения внеполосного подавления и вносимого затухания для различных конструкций импедансных фильтров.

4. Разработаны и внедрены в производство режекторные фильтры для системы закрытия телевизионных каналов метрового диапазона. Всего произведено около 70000 таких фильтров.

5. Разработаны и внедрены в производство полосовые канальные фильтры для системы кабельного телевидения метрового диапазона. Всего произведено около 10000 таких фильтров.

6. Разработаны и исследованы сверхузкополосные импедансные фильтры, в которых возможна небольшая подстройка (в пределах полосы пропускания).

7. Разработаны и исследованы широкополосные (более 20%) импедансные фильтры на основе использования расширительных индуктивностей.

8. Разработаны и исследованы импедансные фильтры СВЧ диапазона на основе использования подложек, в которых возбуждаются приповерхностные волны.

9. Исследованы частотные зависимости ВШП-резонатора, расположенного на слоистой структуре сегнетоэлектрическая пленка (Ва о.8 8г0о.г)ТЮз -подложка М^О при разных напряжениях смещения. По этим зависимостям определены скорость ПАВ, коэффициент электромеханической связи и их зависимости от приложенного постоянного напряжения

Заключение и основные результаты работы

1. Показано, что задача о возбуждении ПАВ на основе однородных уравнений электростатики и движения в пьезоэлектрической среде с неоднородными граничными условиями может быть сведена к неоднородному дифференциальному уравнению пьезоэлектрической среды с однородными граничными условиями. Предложена одномерная физическая модель ВШП, допускающая эквивалентность преобразователя пьезоэлектрической среде с переменным эффективным коэффициентом электромеханической связи и модулем упругости.

2. Предложен ряд новых конструкций приборов частотной селекции, в которых величина перекрытия электродов ВШП всегда намного больше длины ПАВ: а) с однонаправленными ВШП с внутренними отражателями; б) с ВШП и ВШНО; в) с веерными ВШП; г) с ВШП - резонаторами ( импедансные фильтры).

3. Проведены исследования различных конструкций ВШНО. Разработаны и внедрены в производство фильтры с однонаправленными ВШП и ВШНО.

4. Разработаны и внедрены в производство ПАВ фильтры для тракта ПЧ ТВ приемников на основе веерных ВШП.

5. В приближении одномерной модели получены аналитические соотношения передаточных характеристик фильтров с веерными ВШП. Показано, что для уменьшения неравномерности АЧХ широкополосных приборов частотной селекции следует размещать веерные ВШП на расстоянии не менее, чем Д(/4#макс- Разработана и внедрена в производство инженерная методика расчета ПАВ фильтров с веерными ВШП.

6. Разработаны и внедрены в производство режекторные ПАВ фильтры для систем закрытия ТВ каналов, а также канальные ТВ-фильтры на основе ВШП — резонаторов.

7. Разработан и исследованы фильтры лестничного и мостового типа в диапазоне частот 160-1450 МГц с относительными полосами пропускания 0,1 -10%, а в сочетании с ЬС- контурами- до 30%.

8. Экспериментально снята зависимость скорости ПАВ и коэффициента электромеханической связи в слоистой структуре: сегнетоэлектрическая пленка (Вао.88гОо.2)ТЮз на подложке MgO, в зависимости от приложенного постоянного напряжения.

9. Разработаны и исследованы однонаправленные ВШП, работающие на частотах свыше 2 ГГц.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Карапетьян, Геворк Яковлевич, 2011 год

1. Гуляев Ю.В., Пустовойт В.И. Усиление поверхностных волн в полупроводниках // ЖЭТФ Т. 47. - 1964. - С. 2251-2253.

2. Гуляев Ю.В. «Акустоэлектроника Российский приоритет» //Радиоэлектроника и управление, — 2-3.— 2002.— С. 55-61.

3. Ю. В. Гуляев, В. П., Багдасарян А.С. Фильтры на поверхностных акустических волнах: состояние и перспективы развития.//Радиотехника. — №8.- 2003.- С.15-25.

4. Таикрилл Р., Холланд М. Фильтры на поверхностных акустических волнах // ТИИЭР. 1971. - Т. 59. - № 3. - С. 62 - 80.

5. Фильтры на поверхностных акустических волнах. / Под редакцией Г. Мэттыоза, 1981г., 472 с.

6. Слободник А.Л. Поверхностные акустические волны и материалы для устройств на поверхностных акустических волнах. // ТИИЭР Т.64 - 1976. - №5. - С.10-26.

7. Ruby R.C. et al. Thin Film Bulk Wave Acoustic Resonators (FBAR) for Wireless Applications. // IEEE International Ultrasonic Symposium. Atlanta. USA. 8. 2001.

8. Заявка №2431620 (ФРГ), НКИ 333 -72.

9. Гуляев Ю.В., Кмита A.M., Багдасарян А.С. Полосовые фильтры с емкостным взвешиванием электродов. — В кн. Современные проблемы радиотехники и электроники. -М.: Наука. 1980, С.320 325.

10. H. Engan, "Excitation of elastic surface waves by spatial harmonics of interdigital transducers"//IEEE Trans. ED-16. 1969. - P. 1014-1017

11. W. R. Smith et al. "Analysis of interdigital surface wave transducers by use of an equivalent circuit model." // IEEE Trans. MTT-17 1969. - P. 856.

12. R. F. Milsom, N. H. С Reilly and M. Redwood, "Analysis of generation and detection of surface and bulk acoustic waves by interdigital transducers" // IEEE Trans. SU-24- 1977.- P.147-166.

13. K. A. Ingebrigtsen, "Surface waves in piezoelectrics" // J. Appl. Phys. V.40. -1969. - P. 2681-2686.

14. D. P. Morgan, "Quasi-static analysis of generalised SAW transducers using the Green's function method" // IEEE Trans. SU-27 1980. - P. 111-123,

15. Рабинер Л., Гоулд Б, // Теория и применение цифровой обработки сигналов. М. Мир, 1978.489 с.

16. R. С. Peach, "A general approach to the electrostatic problem of the SAW interdigital transducer" // IEEE Trans. SU-28 1981. - P. 96-105.

17. C. S. Hartmann and B. G. Secrest, "End effects in interdigital surface wave transducers".//IEEE Ultrasonics Symp. 1972.- P. 413-416.

18. Tobolka G. Mixed matrix representation of SAW transducers. // IEEE Trans, on SU.- 1979.- Vol.26. N6. -P.426-428.

19. Hartmann C.S., A fast accurate method for calculating the SAW and bulk wave radiation admittance of a SAW transducer. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. — 1988.- P.39-46.

20. Wright P.V., A new generalized modeling of SAW transducers and gratings. // Proc. 43rd Annual Symp. Freq. Control. 1989. - P. 596-605.

21. Plessky V.P., A simple two parameter coupling-of-modes model for shear SAW propagating in periodic gratings. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. — 1993. — P. 6367.

22. Plessky V.P., A two parameter coupling-of-modes model for shear horizontal type SAW propagation in periodic gratings. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. -1993.- P. 68-72.

23. Plessky V.P., SAW impedance elements. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1994. -P. 98-104.

24. Дмитриев В.Ф., Теория связанных волн универсальный метод расчета устройств на поверхностных акустических волнах. // ЖТФ — 2004. — Т.74, Вып. 10. - С. 94-102.

25. Карапетьян Г.Я. Метод расчета преобразователей на поверхностных акустических волнах / В.В. Залесский, Г.Я. Карапетьян, Э.В. Стремовский // Сборник «Функциональные микроэлектронные устройства и их элементы» — Вып.4. Таганрог. - 1978. - С. 155-162.

26. Морган Д. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах, М. «Радио и связь». 1991., 416 с.

27. К. Yamanouchi, F. М. Nyffeler and К. Shibayama, "Low insertion loss acoustic surface wave filter using group-type unidirectional interdigital transducer", // IEEE Ultrasonics Symp. 1975.- P. 317-321.

28. D. С Malocha and B. J. Hunsinger, "Tuning of group type unidirectional transducers" // IEEE Trans. SU-26 1979. - P. 243-245.

29. С S. Hartmann, W. S. Jones and H. Vollers. "Wide band unidirectional surface wave transducers", // IEEE Trans. SU-19. 1972. - P. 378-381.

30. R. C. Rosenfeld, C. S. Hartmann and R. B. Brown, "Low loss unidirectional acoustic surface wave filters" // Ann. Symp. Frequency Control. 1974. - P. 299-303.

31. Yamanouchi K., Furuyashiki H. Low-loss SAW filter using internal reflection types of singl phase unidirectional transducers. // Electronics Letters V.20. — №20.- 1984.- P. 819-821.

32. Швец В.Б., Орлов B.C., Макаров В.М. Однонаправленный преобразователь поверхностных акустических волн. // Заявка на изобретение РФ № 9711553 от 23.09.97.

33. Hartmann C.S., A fast accurate method for calculating the SAW and bulk wave radiation admittance of a SAW transducer. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. — 1988.- P.39-46.

34. Патент РФ №2195069. Однонаправленный преобразовательповерхностных акустических волн. // Карапетьян Г.Я., Багдасарян С.А., Багдасарян Н.А. опубл. 20.12.2002 г. Бюл.№35.

35. Yamanouchi К., Furuyashiki Н. New low-loss SAW filter using internal floating electrode reflection types of single phase unidirectional transducers . // Electronics Letters. V.20. - №20.- 1984.- P. 989-990.

36. Т. W. Bristol, W. R. Jones, P. B. Snow and W. R. Smith, "Applications of double electrodes in acoustic surface wave device design" // IEEE Ultrasonics Symp. -1972.- P. 343-345.

37. Отчет по НИР «Создание методов расчета и разработка пав фильтров с малыми вносимыми потерями ВЧ и СВЧ диапазона с расширенной полосой пропускания и увеличенными внеполосным затуханием. Разработка САПР ПАВ фильтров с малыми вносимыми потерями». 1992 г.

38. Slobodnic А. // Proc. Ulnrasonic Sempos. Boston, 1980. - P. 69-72.

39. Смит Г.//ТИИЭР- 1974.- Т.62. №10.- С.73-74.

40. Карапетьян Г.Я. ПАВ-датчики дистанционного контроля физических • величин / A.C. Багдасарян, В.Г. Днепровский, Карапетьян, H.A. Нефедова, Т.В. Синицина // Электроника: наука, технология, бизнес.- №1.- 2008,- С. 4651.

41. Карапетьян Г.Я. Пассивный датчик на поверхностных акустических волнах для дистанционного контроля параметров / Т.Я. Карапетьян, В.Ф. Катаев // —ТКЭА. №5. - 2006. - С. 53-54.

42. Карапетьян Т.Я. Акустические датчики для дистанционного контроля давления / A.C. Багдасарян, Г.Я. Карапетьян, В.Ф. Катаев, О.В. Катаева // ТКЭА. №2. - 2008. - С. 31-33.

43. Патент РФ №2296 950. Датчик дистанционного контроля физической величины на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я, Багдасарян СЛ., Гуляев Ю.В. опубл.10.04.2007, г. Бюл. №.10.

44. A.c. №875589 СССР. Полосовой фильтр на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я., Банков В.Н., Стремовский Э.В. опубл. 22.06.1981, г. Бюл. №39.

45. Патент РФ №2242839. Устройство на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я., Багдасарян A.C., Кондратьев С.Н.Семенов В.В. -опубл. 20.12.2004.

46. Патент РФ №2326404. Устройство идентификации на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я, Багдасарян A.C., Багдасарян С.А., Гуляев Ю.В. опубл. 10.06.2008. Бюл. №16.

47. Карапетьян Г.Я. Пассивная радиочастотная идентификационная метка на поверхностных акустических волнах в диапазоне частот 860-890 МГЦ / Г.Я. Карапетьян, Т.В. Розовская // "Общие вопросы радиоэлектроники"— Вып.1. — 2008. С. 251-257.

48. G. Marshall and Е. G. S. Paige, "Novel acoustic-surface-wave directional coupler with diverse applications". // Electronics Lett. V.7. -1971. P. 460-464.

49. Карапетьян Г.Я. Встречно-штыревые направленные ответвители ПАВ и фильтры на их основе / A.C. Багдасарян, Г.Я. Карапетьян // Средства связи. -Вып.4. 1988. - С. 20-22.

50. Карапетьян Г.Я. Фильтр на ПАВ для высококачественных синтезаторов частот / Е.А. Близнюк, Е.Ю. Бронина, Г.Я. Карапетьян, Т.В. Перевощикова // "Вопросы радиоэлектроники", сер. "Общие вопросы радиоэлектроники". -Вып. 17.- 1997.- С. 103-107.

51. Патент РФ №2195071. Режекторный фильтр на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я., Багдасарян A.C., Кондратьев С.Н Семенов В.В. опубл. 20.12.2002 г, Бюл. №35.

52. Applied Physics Letters, V.21. -№6. 1972. - P. 22-25.

53. Карапетьян Г.Я. Исследование веерных ВШП и их применение в фильтрах на ПАВ / Г.Я. Карапетьян, Э.В. Стремовский // Диэлектрики и полупроводники Киев: Изд - во Киев. Ун — та- Вып. 21. - 1982. - С. 2226.

54. Карапетьян Г.Я. Уменьшение искажений амплитудно-частотных характеристик фильтров с веерными ВШП / A.C. Багдасарян, Г.Я. Карапетьян // Средства связи. — Вып.4. — 1988. — С. 18-21.

55. Отчет по НИР "Исследование и разработка интегральных пьезоэлектрических фильтров поверхностных акустических волн на перспективных пьезоэлектриках. УДК 621.372.54 № гос регистрации 780110103,1980 г.

56. Карапетьян Г.Я. ПАВ-фильтры с несимметричной АЧХ / A.C. Багдасарян, Г.Я. Карапетьян // Тезисы докладов Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике. Черновцы, 1986. - ч.2. - С. 1718.

57. A.c. №1195330 СССР. Способ изготовления фотошаблонов преобразователей поверхностных акустических волн. // Карапетьян. Г.Я, Багдасарян A.C. Багдасарян И.С. опубл. 1.08. 1985. - Бюл. №44.

58. Патент РФ №2242838. Фильтр на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я., Багдасарян A.C., Машинин О.В., Семенов В.В. опубл. 20.12.2004.-Бюл. №35.

59. G.S. Kino and R.S. Wagers Theory of interdigital couplers on nonpiezoelectric substrates // J. Appl. Phys. Vol. 44. - April 1973. - P. 1480-1488.

60. Багдасарян A.C. Карапетьян Г.Я. научное издание: «Импедансные фильтры на поверхностных акустических волнах», МПО, Москва, 1998,79 с.

61. Багдасарян A.C., Карапетьян Г.Я. Импедансные ПАВ-фильтры для спутникового телевидения и телевидения высокой четкости. // Электросвязь. -№6. 1998.-С. 21-22.

62. Багдасарян A.C. Карапетьян Г.Я. Использование импедансных ПАВ фильтров в широкополосных Фурье процессорах. // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. — Вып.1. — 1999г. С. 56-58.

63. Карапетьян Г.Я., Багдасарян С.А., Машинин О.В. Импедансные ПАВ-фильтры в системах телевидения коллективного пользования. // Труды конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения". -Саратов, февраль 2003. С. 67-69.

64. Карапетьян Г.Я., Багдасарян С.А. Двухзвенные импедансные мостовые ПАВ-фильтры повышенной надежности. // Труды конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения".- Саратов, февраль 2003. С. 70-72.

65. Бессонов. JI.А. Линейные электрические цепи. М. «Высшая школа», 1974, 523 с.

66. Орлов. B.C., Бондаренко B.C. Фильтры на поверхностных акустических волнах. М., «Радио и связь» , 1984 г., 272 с.

67. A.c. №875589 СССР. Полосовой фильтр на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я., Банков В.Н., Стремовский Э.В. опубл. 22.06.1981. -Бюл. №39.

68. Lewis M.F., The surface acoustic wave oscillator a natural and timelyjLdevelopment of the quartz crystal oscillator, // 28 Annual Frequency Control Symp. 1974. - P. 304-314.

69. Багдасарян A.C Карапетьян Г.Я. Широкополосный импедансный фильтр. // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. Вып.1. — 1998. - С. 34-37.

70. Карапетьян Г.Я.,.Розовская Т.В., Долгова Л.И., Мухортов В.М. Импедансный фильтр на ПАВ, // "Общие вопросы радиоэлектроники" — Вып.1.-2006.-С. 72-78.

71. Багдасарян A.C. Карапетьян Г.Я. Импедансные ПАВ фильтры для сотовых систем связи. // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания. -Вып.1. 1999.- С. 59-62.

72. Багдасарян A.C., Карапетьян Г.Я. Импедансные ПАВ-фильтры для спутникового ТВ и ТВЧ. // Труды 43-ей научной сессии, посвященной дню Радио. М., 1998. - С. 17.

73. Банков В.H., Карапетьян Г.Я. Полосовой фильтр с веерными ВШП. // Материалы Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике. Саратов, изд. Саратов. Ун-та, 1983. - 4.2. — С. 149-150.

74. Кондратьев С.Н.// Зарубежная электроника. — 1981.— №12.— С.12-18.

75. Cook А. М., Farmer J.О., West L.E., A new option in Subscriber Control. // Communications engineering and design. — August, 1987. P. 35-49.

76. Карапетьян Г.Я., Розовская T.B., Долгова Л.И., Мухортов В.М. Встречно-штыревой преобразователь для радиочастотных идентификационных меток на частоты свыше 2 ГГЦ. // "Общие вопросы радиоэлектроники" Вып.1, 2007.- С. 207-211.

77. Карапетьян Г.Я., Розовская Т.В. Пассивная радиочастотная идентификационная метка на поверхностных акустических волнах с частотным разделением в диапазоне частот 860-890 МГц. //"Общие вопросы радиоэлектроники" Вып.1, - 2009.— С. 193-199.

78. Патент РФ № 2387051. Датчик физической величины на поверхностных акустических волнах. // Карапетьян Г.Я, Днепровский В.Г., Багдасарян С.А. Багдасарян A.C., -опубл. 20.04.2010 г. Бюл. №.11.

79. Патент РФ на промышленный образец №43226. Дешифратор. // Балакин В.И., Воропаев В.П., Днепровский В.Г., Карапетьян Г.Я., Перевощикова Т.В., Рожков И.С., Шикуля П.И. опубл. 28.03.1995.

80. Ash Е. A. "Surface wave grating reflectors and resonators" // IEEE Microwave Theory and Techniques Symp. 1970.

81. C. S. Hartmann, W. S. Jones and H. Völlers. Wide band unidirectional surface wave transducers, IEEE Trans. SU-19. 1972. P. 378-381.

82. D. C. Malocha, "Quadrature 3-phase unidirectional transducer", IEEE Trans. SU-26. 1979. P. 313-315.

83. K. Yamanouchi, F. M. Nyffeler and K. Shibayama, Low insertion loss acoustic surface wave filter using group-type unidirectional interdigital transducer, IEEE Ultrasonics Symp. 1975. P. 317-321.