Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Коновалов, Владимир Вячеславович

• Коновалов, Владимир Вячеславович
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Коновалов, Владимир Вячеславович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ПРОЦЕССЫ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ «ГАЗ-ПОВЕРХНОСТЬ» В СОВРЕМЕННОМ ВАКУУМНОМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ОБОРУДОВАНИИ.

1.1. Влияние процессов газообмена на производительность вакуумного технологического оборудования.

1.2. Обзор современного вакуумного технологического оборудования для производства изделий электронной техники и анализ проблем, связанных с процессами газообмена.

1.2.1.1. Установки вакуумного напыления.

1.2.1.2. Оборудование для выращивания монокристаллов.

1.2.1.3. Оборудование лучевой обработки, оборудование электронной, ионной, рентгеновской литографии.

1.2.1.4. Сборочное вакуумное технологическое оборудование.

1.2.1.5. Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии.

1.2.1.6. Оборудование промежуточного технологического контроля.

1.3. Выводы к главе 1.

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ГАЗООБМЕНА НА ПОВЕРХНОСТЯХ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ.

2.1. физико-химические основы газообменных процессов.

2.1.1. Обзор материалов и газовых сред, используемых в вакуумном технологическом оборудовании.

2.1.2. Анализ источников водорода в стали и факторы влияющие на наводораживание.

2.1.2.1. Наводораживание при металлургических процессах.

2.1.2.2. Наводораживание при термической обработке.

2.1.2.3. Наводораживание стали в процессе эксплуатации.

2.1.2.4. Наводораживание при сварке.

2.1.3. Обзор работ по адсорбции, растворимости и диффузии газов в твердом теле.

2.1.3.1. Сорбция газов и паров поверхностью металлов.

2.1.3.2. Растворимость газов в металлах.

2.1.3.3. Основные закономерности диффузии газов в материалах, применяющихся в вакуумном оборудовании и электронной технике.

2.2. Обобщенная модель газообмена системы газ-твердое тело.

2.3. Моделирование исходных условий для расчета диффузионных процессов.

2.3.1. Моделирование температуры контактных поверхностей.

2.3.2. Коэффициент покрытия поверхности адсорбатом в зоне трения.

2.4. Частные случаи процессов газообмена на поверхностях вакуумного оборудования.

2.4.1. Модель газообмена на свободной поверхности.

2.4.2. Модель газообмена для поверхности, находящейся во фрикционном контакте.

2.5. Выводы к главе 2.

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗООБМЕНА НА ПОВЕРХНОСТЯХ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ.

3.1. Методика проведения экспериментальных исследований газообмена.

3.2. Описание экспериментальных установок и приспособлений.

3.2.1. Вакуумная установка и трибометр на базе сильфонного ввода вращения ВЭС-Э.

3.2.2. Конструкция вакуумного трибометра и вакуумной экспериментальной установки для исследования трения в сверхвысоком вакууме.

3.2.3. Приспособление для исследования самопроизвольной диффузии дейтерия в образец.

3.3. Результаты экспериментов.

3.3.1. Исследования наводораживания шарикоподшипника сильфонного ввода вращения ВЭС-Э при работе в среде газообразного дейтерия.

3.3.2. Исследование процесса газообмена при трении в естественной атмосфере.

3.3.3. Исследование роли адсорбированной воды в процессе наводораживания.

3.3.4. Исследование газообмена при выдержке в среде дейтерия при постоянной температуре.

3.3.5. Исследование влияния трения на изменения химического состава поверхности стали.

3.4. Выводы к главе 3.

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА МЕТОДИК МОДЕЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗООБМЕНА.

4.1. Методика моделирования процессов наводораживания стали

4.1.1. Моделирование самопроизвольной диффузии сорбата в сталь.

4.1.2. Моделирование диффузии сорбата в нержавеющую сталь при трении.

4.2. Методика расчета процесса обезгаживания металлических элементов свв систем.

4.3. Выводы к главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование влияния сорбата остаточных газов на работоспособность элементов вакуумного технологического оборудования»

Актуальность проблемы

С развитием вакуумных технологий происходит все большая концентрация технологических операций в единой вакуумной технологической линии, что влечет за собой увеличение числа различных механизмов, служащих для перемещения, позиционирования изделий, а также выполнения технологических операций. Эти механизмы должны работать в вакууме и при этом должны иметь низкий износ и не нарушать весьма жесткие требования к чистоте технологической среды, как по общему давлению, так и по парциальным давлениям различных активных газов, особенно углеводородов, оксидов углерода и паров воды. Так в установках молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) число кинематических пар достигает нескольких десятков, а требуемое предельное остаточное давление составляет рост= 5-1 О*9 Па, допустимое рабочее давление рДоп=6.6-10'8 Па и парциальные давления активных газов: Н2 - 3-10"8 Па; НгО -2,6-1 Оио Па; СО - 1.3 • 1 О*10 Па; N2 - 2-10'8 Па; С02 - 1.3■ 10'10 Па.

Состав остаточных газов в сверхвысоком вакууме в значительной мере состоит из водорода, а в высоком вакууме - из водорода и паров воды, взаимодействие которых с материалами вакуумных технологических систем может приводить к ряду негативных явлений, таких как водородный износ, образование углеводородов, гидридов и т.п., которые приводят к ухудшению качества остаточной среды, способствуют снижению работоспособности оборудования и увеличению издержек производства, связанных с заменой изношенных узлов.

Процессы взаимодействия остаточных газов с поверхностями при трении и изнашивании пар трения механизмов, работающих в вакууме, рассматривались в работах Александровой А.Т., Папко В.М., Деулина Е.А., Кужмана А.Г. и других исследователей. Режимы обезгаживания стенок вакуумных камер и внутрикамерной оснастки представлены табличными значениями в справочниках по вакуумной технике. Однако, существенное влияние на фрикционные характеристики пар трения и процессы газовыделения в вакууме оказывают сорбированные на поверхности остаточные газы и особенно газы, содержащие водород. В известных научных работах эти аспекты работоспособности элементов вакуумного технологического оборудования изучены не достаточно, ;

Поэтому, целью работы является повышение работоспособности пар трения и уточнение режимов обезгаживания элементов вакуумного технологического оборудования путем изучения влияния на эти процессы сорбции остаточных газов.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие'задачи:

- уточнить источники, определяющие газообмен при трении в вакууме и обезгаживании элементов вакуумного технологического оборудования;

- разработать модель, связывающую наводораживание металлических

-}' Л- ; ' элементов вакуумного оборудования с физическими характеристиками материалов и условиями процесса трения в вакууме;

- разработать методику экспериментальных исследований для определения параметров наводораживания металлов при трении и при выдержке в водо-родосодержащей остаточной атмосфере или во влажной среде; (1

- разработать стенд и провести экспериментальные исследования процессов газообмена при трении и обезгаживании поверхностей в вакууме;

- разработать методику расчета газовых потоков в кинематических парах и на свободных поверхностях элементов вакуумных систем с учетов влияния сорбата остаточных газов.

•г '■*":?

Методы исследований.

Теоретические исследования проводились на основе теории теплопроводности, теории адсорбции, теории диффузии в металлах, базировались на основных положениях тепло- массопереноса. Экспериментальные исследования включали методы вторично-ионной масс-спектроскопии (ВИМС) и ОЖЕ-анализа для исследования химического состава поверхности и распределения элементов по глубине до 10 мкм. Для создания методик расчета процессов наводораживания применялись методы физико-математического моделирования процессов тепло- и массообмена в приповерхностных слоях фрикционных пар.

В ходе исследований применялись компьютерные методы - регистрация измеряемых параметров с использованием быстродействующих аналогоцифровых преобразователей (АЦП), расчеты моделей процессов тепло- и газообмена с использованием современных компьютерных программных пакетов для символьных вычислений, использование современной цифровой фототехники для регистрации процесса фрикционного взаимодействия в ходе экспериментальных исследований.

Научная новизна

1. Впервые показано, что на работоспособность механизмов, работающих в вакууме, существенное влияние оказывает «наводораживание» материалов кинематических пар, а главным источником растворенного водорода и его изотопов являются адсорбированные слои молекул, в основном воды, на поверхностях пар трения.

2. Выявлена взаимосвязь процессов диффузии составляющих сорбата остаточных газов с концентрацией растворенного в приповерхностных слоях водорода для зоны свободной поверхности и зоны контакта для пар 'трения.

3. Разработана математическая модель изменения во времени потока газовыделения при прогреве элементов вакуумных систем, необходимая для уточнения режимов обезгаживания стенок вакуумной камеры и внутрикамерной арматуры.

Практическая ценность

Разработана оригинальная методика исследования процессов газообмена в парах трения механизмов, работающих в вакууме, основанная на искусствен 1 ном наводораживании материалов кинематических элементов.

Разработана методика выбора режимов обезгаживания элементов вакуумных систем, учитывающая влияние сорбата остаточных газов и позволяющая дополнить имеющиеся справочные данные по газовыделению прогреваемых вакуумных материалов.

Создан компактный вакуумный трибометр оригинальной конструкции, позволяющий проводить исследования вакуумных и фрикционных характеристик материалов в условиях сверхвысокого вакуума.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Коновалов, Владимир Вячеславович

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Для повышения работоспособности кинематических пар вакуумного технологического оборудования и уточнения режимов обезгаживания элементов высоковакуумных систем необходимо уметь рассчитывать влияние сор-бата остаточных газов, в частности, процесса наводораживания металлических поверхностей в вакууме.

2. При исследовании процесса искусственного наводораживания металлических поверхностей необходимо учитывать, что при самопроизвольном растворении концентрация водорода в приповерхностных слоях на 5 порядков отличается (в меньшую сторону) от рассчитанной по известным моделям.

3. Показано, что одним из главных источников водорода, растворенного в металлических элементах вакуумного технологического оборудования, является слой воды, адсорбированной на контактных поверхностях, причем примерно треть этого монослоя сорбата (около 27% по результатам экспериментов) оказывается растворенной в поверхностных слоях материалов кинематических пар после фрикционного взаимодействия;

4. Возрастание парциального давления водорода при работе механизмов внутри вакуумной системы целесообразно использовать в качестве критерия приближающегося отказа одного из механизмов.

5. При расчете влияния сорбата на газонасыщение приповерхностных слоев металлических поверхностей элементов вакуумного оборудования рекомендуется применять модель диффузии из бесконечного источника с постоянной концентрацией для зоны свободной поверхности и модель диффузии из слоя конечной толщины для зон трения.

6. Для повышения достоверности расчета режимов обезгаживания элементов вакуумных систем рекомендуется использовать разработанную методику, учитывающую влияние сорбата остаточных газов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Коновалов, Владимир Вячеславович, 2007 год

1. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства.- М.: Энергия, 1974,- 384 с.

2. Арчаков Ю.И. Водородная коррозия стали.- М.: Металлургия, 1985.-192 с.

3. Ашинов С.А., Вяльцев A.A., Деулин Е.А. Эксплуатационная надежность оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме // Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. -1982. Вып. 3 (112). - С.48-52

4. Балакин В.А. Трение и износ при высоких скоростях скольжения.- М.: Машиностроение, 1980. 136 с.

5. Бокштейн Б.С. Диффузия в металлах.- М.¡Металлургия, 1978.- 248 с. 14

6. Вагин Н.С., Деулин Е.А., Попов E.H. Исследование износа зубьев волновой передачи герметичного манипулятора // Промышленные роботы: Сб. докладов научно-практич. семинара. Владимир, 1983. - С.45-48

7. Вакуумная техника: Справочник / Е.С.Фролов, В.Е.Минайчев,

8. A.Т.Александрова и др.: Под общ. ред. Е.С.Фролова, В.Е.Минайчева. М.: Машиностроение, 1992. - 480 с.

9. Волчкевич Л.И., Кузнецов М.М., Усов Б.А. Автоматы и автоматические линии / Под ред. Г.А.Шаумяна.- М.: Высшая школа, 1976. 4.1. - 230 с.

10. Гедрелеон Э. Специальные стали. М.: Металлургиздат, 1960. - T.l 1. - 430 с.

11. Газоотделение при трении в вакууме /А.А.Гусляков, А.В.Ашукин,

12. B.И.Кулеба, И.М.Любарский // Физ. -хим. мех. материалов. 1970.- Т.6, №1.- С.106-107.

13. Гельд П.В., Рябов P.A. Водород в металлах и сплавах. М.: Металлургия, 1974.-272 с.

14. Гельд П.В., Рябов P.A. Кодес Е.С. Водород и несовершенства структуры металла. М.: Металлургия, 1979.- 221 с.

15. Гусляков A.A., Удовенко В.Ф., Кулеба В.И. Газовыделение при трении в вакууме // О природе трения твердых тел.- Минск, 1971. С. 211-213.

16. Гусляков A.A., Кулеба В.И., Любарский И.М. Особенности выделения водорода при трении и деформировании алюминия и меди в вакууме // Проблемы трения и изнашивания. Киев, 1973. - Вып.4.- С. 143-145.

17. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники: Пер. с англ./ Под ред. М.Н.Меньшикова. М.: Мир, 1964 - 716с.

18. Защита от водородного износа в узлах трения / Под ред. А.А.Полякова. -М.: Машиностроение, 1980. 135 с.

19. Карпенко Г.В., Крипякевич Р.И. Влияние водорода на свойства стали. М.: Металлургиздат, 1962. - 270 с.

20. Карпенко Г.В., Крипякевич Р.И. Физика металлов и металловедение. М.: Металлургиздат, - 1959. - 194 с. >

21. Костин А.Б., Филимонова Г.А. Технологические установки для изготовления фотоэлектронных приборов методом переноса // Электроника. Итоги науки и техники.- 1983.- №15. С. 217-255.

22. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. - 526 с.

23. Кужман А.Г., Александрова А.Т. Методика определения потока газовыделения из очага трения конструкционных материалов. М.: МИЭМ. - 1979. - 7с. (Деп. в ЦНИИ «Электроника», №6665/79).

24. Кузнецов А.М. Адсорбция воды на металлических поверхностях // Соросовский образовательный журнал. 2000. - Т. 6, №5. - С.45-51

25. Курилов Г.В. Масс-спектрометрическое исследование твердых смазочных материалов при трении в глубоком вакууме // Механика полимеров. -1970.-№6.-С. 37-44.

26. Ланис В.А., Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний /Под ред. Н.И.Меньшикова. Л.: Госэнергоиздат, 1963.- 264 с.

27. Механика и физика точных вакуумных механизмов: Моногр.; В 2 т./ А.Т. Александрова., Н.С.Вагин, Н.В.Василенко и др.; Под ред. Е.А.Деулина. -Владимир.: Владим.гос.ун-т, 2001. Т.1. - 176 с.

28. Морозов H.A. Водород и азот в стали. М.: Металлургия, 1968. - 284 с.

29. Пацкевич И.Р., Деев Г.Ф. Поверхностные явления в сварочных процессах. -М.: Металлургия, 1974,- 121 с.

30. Пересадько А.Г. Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования: Автореф. .дис. канд. техн. наук: 05.27.07. М., 2000. -16 с.

31. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1979. - 504с.

32. Проблемы автоматизации и надежности оборудования в электронной технике /Под ред. Н.И.Камышного //Тр.МВТУ.-1978,- Вып. 267,- 143 с.

33. Розанов J1.H. Вакуумные машины и установки.- JI.: Машиностроение, 1979.- 176 с.

34. Розанов JI.H. Вакуумная техника: Учебник для вузов по специальности: «Вакуумная техника».- 2-е изд., перераб. и доп.- М.: Высшая школа, 1990-320 с.

35. Сентюрихина J1.H., Курилов Г.В., Любарский И.М. Трибо-крекинг твердых смазочных покрытий в глубоком вакууме // О природе трения твердых тел. -Минск, 1971.-С. 372.

36. Сергеева JT.M., Трояновская Г.И. Высоковакуумная установка для исследования подшипников скольжения из самосмазывающихся материалов с исследованием газовыделения // Исследование подшипников скольжения.-М., 1972.-С.60

37. Смителлс К. Газы и металлы (перевод с английского). М.: Металургиз-дат, 1940, - 227 с.

38. Третьяков А.В. Расчет и исследование прокатных валков. Изд. 2-е, доп. и перераб., М.: Металлургия, 1973. - 256 с.

39. Чичинадзе А.В. Расчет и исследование внешнего трения при торможении. -М.: Наука, 1967. -231 с.

40. Шаумян Г.А. Комплексная автоматизация технологических процессов. -М.: Машиностроение, 1973. 639 с.

41. Akagi К., Tsukada М. Theoretical study of the hydrogen relay dissociation of water molecules on SI (001) surfaces // Surf. Sci. 1999. -N438. - P.9-17

42. Archard J.F., Contact and rubbing of flat surfaces // J. Appl. Phys., 1953. -V.24, N.8.-P. 981-988

43. Armbruster M.H. The solubility of hydrogen at low pressure in iron, nickel and certain steels at 400 to 600°C // J. Amer. Chem. Soc. 1943. - V.65, №6. -P. 1043-1054

44. Ashby, M.F., Abulawi, J., Kong H.S. Temperature maps for frictional heating in dry sliding // Tribology Transactions . 1991. - V.34,N1. - P.577-587

45. Brunauer S., Emmett P.H., Teller E. Adsorption of gases in multimolecular layers // Journal of the American Chemical Society. 1938. - N.60. - P.309-319

46. Brunauer S. The Adsorption of Gases and Vapors. Physical Adsorption. -Prinsclon, 1943. V.l. -430p.

47. Carslaw H. S., Jaeger J.C. Conduction of heat in solids. Oxford.: The Clarendon Press, 1947.-334p.

48. Dayson C. Surface temperatures at unlubricated sliding contacts // ASLE TRANSACTIONS.- 1967.-V.l0. P. 169-174

49. Deulin E.A. Mechanically stimulated hydrogen dissolution in metals // Abstracts of the 5th European Vacuum Conference. Salamanca ( Spain), 1996. - P.241-245

50. Mechanically stimulated solution of adsorbed hydrogen and deuterium in steelt

51. E.A.Deulin, S.A.Goncharov, J.L.de Segovia, R.A.Nevshupa // Surf. Interface Anal. 2000.- V.30. - P.635-637

52. Deulin E.A. Lubrication Mechanism of Gases Molecules // Abstract of papers of 2nd Worls Tribology Congress. Vienna (Austria), 2001. - P. 1-8

53. Deulin E.A., Nevshupa R.A. Deuterium penetration into the bulk of a steel ball of a ball bearing due to it's rotation in vacuum // Applied Surface Science. -1999. V.144-145. - P.283-286

54. Frank R.C. Effect of Tensile Loading on Hydrogen Movement in Steel // J Appl. Phys. 1958. - V.29. - P. 1262

55. Freundlich H. Kapillarchemie. Leipzig, 1930. - Bd.I. - 153 s.

56. Greenwood J.A., Alliston-Greiner A.F. Surface temperatures in a fretting contact // Wear. 1992. - V.155,N.2. - P. 269-275

57. Groszkowski J. The influence of cathode dimensions on he sensitivity of BA gauges // Bulletin De L'Academie Polonaise Des Sciences. 1965. - V.XIII, N.2. - P.177-183.

58. Halsey G.D. Physical adsorption on non-uniform surfaces // J. Chem. Phys. -1948.-V.16. -P.931-937

59. Holloway S. The active site for dissociative adsorbtion of H2: Was Langmuir right? // Surface science 2003. - V.540. - P. 1 -3

60. Jaeger J.C. Moving Sources of Heat and the Temperature at Sliding Contacts // J. of the Royal Society of NS Wales. 1942. - V.76. - P.203-224

61. Kajdas C. Tribochemisty, Tribology // The Austrian Tribology Society. Vienna (Austria), 2001. - P.39-46

62. Kalin M., Vizintin J. Comparison of different theoretical models for the flash temperature calculation under fretting conditions // Proceedings of the 9th Nordic Symposium on Tribology NORDTRIB 2000. Porvoo (Finland), 2000. -P.320-326

63. Kinetics of hydrogen uptake for getter materials / C.Z. Liu, L.Q. Shi, S.L.Xu et al.//Vacuum. 2004. - V.75. - P.71-78

64. Knize R.J., Cechi J.L. Theory of bulk gettering // J Appl Phys. 1983. -V.54, N.6.-P.3183-3189

65. Konovalov V.V., Rodina E.A. Sorbed water as the source of the dissolved hydrogen and deuterium in solids // Book of abstracts of the joint Russian-Japanese tribology workshop and seminar on nanotechnology. Moscow, 2002. - P. 14

66. Langmuir I. The adsorption of gases on plane surfaces of glass, mica, and platinum//Journ. Amer. Chem. Soc.- 1918.- V.40.- P. 1361-1403

67. McNabb A., Foster P.K. A new analysis of the diffusion of hydrogen in iron'and ferritic steels // Trans. Metall. Soc. AIME. 1963. -V.227. - P.618 •

68. Nakayama K. Triboemission of charged particles and resistivity of solids // Tribology Letters. 1999. - V.6. - P.37-40

69. Nevshupa R.A., Nakajama K. Effect of nanometer thin metal film on triboemisision of negatively charged particles from dielectric solids // Vacuum. 2002. -V.67. - P.485-490 !

70. Redhead R.A. Modelling the pump down of a reversibly adsorbed phase. I. Monolayer and submonolayer initial coverage // J. Vac. Sei. Technol. 1995. -V.13, N.2. - P.467-475

71. Redhead R.A. Modelling the pump down of a reversibly adsorbed phase. II. Multilayer coverage // J. Vac. Sei. Technol. 1995. - V.13, N.5. - P.2791-2796

72. Sieverts A., Hagen H. Ability of Cobalt to Absorb Hydrogen and Nitrogen // Jour. Phys. Chem. 1931. - V.155A. - P.314

73. Sieverts A., Hagen H. Ability of Cobalt to Absorb Hydrogen and Nitrogen // Jour. Phys. Chem. 1934. - V.169A. - P.237-240

74. Sieverts A., Zapf G., Moritz H. Solubility of Hydrogen, Deuterium, and Nitrogen in Iron//Jour. phys. chem. 1938. - V.183A.-P. 19

75. Sieverts A. Die Aufnahme yon gasen dutch metalle // Z. Metallkunde. 1929. -Bd.21, N. 2. - S.37 1

76. Smithells C.J. Metals reference book. London.: Butterworths, 1967. - V.2. -683 p.

77. Smittenberg J. Absorption and adsorption of Hydrogen by Nickel // Rev. trav. chim. 1934. - V.53. - P.1065-1083

78. The effect of friction on surface chemical composition of stainless steel / R.A. Nevshupa, J.L. de Segovia, E.A. Deulin, V.V. Konovalov // Abstracts of-the ECASIA'99. Sevilla (Spain), 1999. - P.843-848

79. Tian X., Kennedy F.E. Maximum and average flash temperatures in sliding contact// Journal of Tribology. 1994. - V. 116. - P. 167-174

80. Vick B., Furey M.J. A basic theoretical study of the temperature rise in sliding contact with multiple contacts // Proceedings of the 9th Nordic Symposium on Tribology NORDTRIB 2000. Porvoo (Finland), 2000. - P.389-398

81. MINISTERIO DE EDUCACION Y CIENCIA2Щ CONSEJO SUPERIOR1. Ж* DE INVESTIGACIONES•¿&3 CIENTIFICAS CSIC1. АКТ ВНЕДРЕНИЯ

82. September 20, 2004, Madrid, Spain

83. С/Serrano, 117 28006 Madrid ESI>AÑA Telf. 91 585 50 00 Fax.: [phone]