Исследование процессов прецизионного формообразования сферических элементов узлов гироприборов с использованием прогрессивных методов выполнения неразъёмных соединений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат технических наук Беляев, Сергей Николаевич

• Беляев, Сергей Николаевич
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Беляев, Сергей Николаевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1 НЕРАЗЪЕМНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ, КАК СРЕДСТВО ПРЕЦИЗИОННОГО ФОРМООБРАЗОВАНИЯ СФЕРИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И УЗЛОВ ГИРОПРИБОРОВ.

1.1 Основные конструктивные элементы современных и перспективных изделий точного приборостроения.

1.1.1 Тонкостенный полый ротор чувствительного элемента электростатического гироскопа (ЧЭ ЭСГ).

1.1.2 Сплошной ротор бескарданного варианта электростатического гироскопа (ЧЭ БЭСГ).

1.1.3 Датчик положения чувствительного элемента гравитационного вариометра (ЧЭ ГВ).

1.2 Характеристики и свойства материалов узлов гироприборов.

1.3 Методы реализации неразъемных соединений высокоточных элементов изделий точного приборостроения.

1.3.1 Основные этапы процесса формообразования сферических узлов гироприборов.

1.3.2 Особенности диффузионной сварки сферических конструкций:.

1.3.2.1 Сварка тонкостенных сферических бериллиевых конструкций.

1.3.2.2 Сварка сплошных сферических бериллиевых конструкций.

1.3.2.3 Сварка металлокерамических узлов.

1.3.3 Технологии вакуумного напыления.

1.4 Особенности термомеханических параметров процесса диффузионной сварки прецизионных конструкций.

ГЛАВА 2 ЭЛЕМЕНТЫ ТЕОРИИ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОЦЕССА

РЕАЛИЗАЦИИ НЕРАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ.

2.1 Структурная схема решения задач повышения точности неразъёмных соединений сферических узлов гироприборов.

2.2 Изыскание принципов управления термомеханическими параметрами процесса диффузионной сварки.

2.2.1 Математическое моделирование процесса сварки в условиях действия сварочного давления одноосного сжатия.

2.2.2 Методы и средства обеспечения минимизации пластических деформаций осадки одноосного сжатия.

2.2.3 Алгоритм технологического проектирования процесса ДСВ.

2.2.4 Построение схем сварки в условиях действия осесимметричного сварочного давления термического натяга, ориентированного к центру сферы.

2.2.5 Особенности диффузионной сварки деталей по сопрягаемой цилиндрической поверхности.

2.3 Формообразование функциональных элементов сферических узлов гироприборов методами магнетронного напыления и термического испарения в вакууме.

2.3.1 Расчётная методика определения геометрических параметров армирующего элемента сплошного ротора.

2.3.2 Принципы выбора материалов функциональных покрытий, получаемых методами вакуумного напыления.

ГЛАВА 3. ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНО

ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИХ РАБОТ.

3.1 Средства обеспечения процесса реализации неразъёмных соединений элементов изделий точного приборостроения.

3.1.1 Многоцелевое оборудование диффузионной сварки.

3.1.2 Установки и устройства процессов магнетронного напыления и термического испарения в вакууме.

3.2 Подготовка деталей к операциям сварки и напыления.

3.3 Метрология прецизионных неразъёмных соединений.

ГЛАВА 4 РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ И ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ПРОЦЕССОВ

ВЫПОЛНЕНИЯ НЕРАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ СФЕРИЧЕСКИХ УЗЛОВ ГИРОПРИБОРОВ.

4.1 Диффузионная сварка тонкостенных роторов ЭСГ.

4.1.1 Построение процесса сварки при деформации осадки одноосного сжатия фланцевых элементов ротора.

4.1.2 Формообразование ротора в условиях действия осесимметричного сварочного давления термического натяга, ориентированного к центру сферы.

4.2 Технология изготовления сплошных бериллиевых роторов БЭСГ.

4.2.1 Формирование армирующих элементов на сплошном роторе.

4.2.2 Технология сварки сплошного ротора с реализацией телескопического соединения посредством радиально-ориентированного давления термического натяга.

4.3 Соединение узлов датчика положения ЧЭ ГВ.

4.4 Технологические приёмы и методы магнетронного напыления и термического испарения в вакууме.

4.4.1 Исследование параметров процессов вакуумного напыления покрытий.

4.4.2 Технология нанесения износостойких покрытий на тонкостенные сферические ротора.

4.4.3 Формирование на сплошном роторе токопроводящих сверхтонких покрытий.

4.4.4 Напыление тонкоплёночных электродов подвеса на узлах датчика положения чувствительного элемента гравитационного вариометра.

4.5 Практическая эффективность использования прогрессивных методов реализации неразъёмных соединений для повышения точности узлов гироприборов.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование процессов прецизионного формообразования сферических элементов узлов гироприборов с использованием прогрессивных методов выполнения неразъёмных соединений»

Важнейшими компонентами научно-технического прогресса являются точное приборостроение и тесно связанные с ним наукоёмкие технологии, необходимость повышения научно-технического уровня которых обусловлена потребностями развития науки и техники. Характерными представителями изделий точного приборостроения являются гироскопические приборы (гироскопы акселерометры и т.д.), входящие в состав инерциальных навигационных систем, которые обеспечивают автономную выработку координат местоположения движущихся объектов морского флота, авиации и ракетно-космической техники, а также изделия гравитационной градиентометрии (вариометры, градиентометры и т.д.).

Очевидно, что разработка и создание новых и перспективных изделий точного приборостроения непосредственно связана с возможностями и уровнем развития средств технологического обеспечения процесса их изготовления, в котором важное место занимает реализация неразъемных соединений, включая и такой прогрессивный метод, как диффузионная сварка в вакууме (ДСВ).

Особенностью узлов гироприборов являются жесткие требования по допуску их изготовления на уровне единиц и десятых долей микрометра (при номинальных размерах узлов порядка нескольких десятков миллиметров). При этом формообразование изделий сложных конфигураций, в том числе, и прецизионных сферических поверхностей, характерных для точного приборостроения, связано с выполнением комплекса взаимосвязанных технологических операций, где одни операции являются основными или финишными, а другие - определяют технологическую предысторию узла.

Примером может являться реализация неразъемных соединений посредством ДСВ в сочетании с операциями, необходимыми для формообразования узла в целом, в частности, такими, как вакуумное напыление.

Применение технологии ДСВ наиболее эффективно, когда методы сварки плавлением не недопустимы из-за жёстких требований к дисбалансу изделий и однородности кристаллической структуры материала; при сварке трудно свариваемых материалов, таких как, например, бериллий, а также при сварке телескопических соединений, когда отсутствует доступ непосредственно к свариваемым поверхностям деталей.

Общие положения и теоретические основы ДСВ, как способа реализации неразъёмного соединения, были разработаны Н.Ф.Казаковым и получили развитие в исследованиях Г.В. Конюшкова, Э.С. Каракозова, М.Х. Шоршорова, O.A. Красулина, А.И. Шестакова, К.А. Кочергина, И.И. Метёлкина и других авторов. Они описывали технологию с относительной деформацией изделия (1-5) %. Проблемы повышения точности сварки рассматривались в трудах Г.В. Конюшкова и В.А. Бачина, однако деформация деталей в процессе сварки определялась на уровне десятых и сотых долей миллиметра, что не приемлемо для высокоточных узлов гироприборов.

Впервые технология ДСВ с деформацией до 10-15 мкм была разработана В.И. Гаврюсевым на примере изготовления сферических тонкостенных полых роторов электростатического гироскопа, где в процессе сварки использовались проволочные промежуточные прослойки. Дальнейшие исследования в этом направлении позволили А.Г. Щербаку создать беспрослойную технологию сварки тонкостенных сферических роторов и разработать прецизионную технологию ДСВ армирующих элементов при изготовлении сплошных роторов бескарданного варианта электростатического гироскопа.

Однако управление и регулирование параметрами сварочного цикла в указанных технических решениях определяются целым рядом условий, что ограничивает использование данной технологии для роторов различных модификаций и типоразмеров. Перспективы развития и совершенствования гироприборов связаны, в первую очередь, с повышением их точности. Это определяет необходимость более глубоких исследований комплексной технологии изготовления узлов и элементов с использованием ДСВ и связанных с ней операций. Обеспечение указанной выше точности узлов на уровне единиц и десятых долей микрометра носит проблемный характер, поскольку требует учёта целого ряда факторов различной значимости, связи между которыми установлены не в полной мере.

Технологические процессы диффузионной сварки в вакууме и вакуумного напыления могут совместно решать конкретную техническую задачу, могут быть взаимообусловленными, или являться вспомогательными по отношению один к другому (например, напыление подслоя перед сваркой). Очевидно, что выявление технических решений и разработку методов и средств повышения точности узлов гироприборов (если их изготовление осуществляется по приведенным выше схемам) целесообразно осуществлять, рассматривая в комплексе процессы ДСВ и вакуумного напыления. Эти технологические процессы имеют формально подобные термомеханические циклы, включающие нагрев прецизионных деталей в условиях действия различного рода напряжений, что непосредственно определяет точность изготавливаемых изделий. При этом при ДСВ сварочные напряжения являются одним из основных параметров процесса и объективно необходимы для образования соединения, что предполагает разработку технологических схем их создания, а в процессах вакуумного напыления напряжения возникают в результате различия в термических коэффициентах линейного расширения (ТКЛР) основного и напыляемого материалов. Очевидно, что непосредственно на точность и размерную стабильность деталей влияют такие параметры термомеханического цикла, как скорость деформирования при ДСВ, величина сварочных напряжений, время и температурный интервал, в котором действуют эти напряжения, характер и условия протекания рекристаллизационных процессов и т.д.

Примерами изделий, в которых имеют место взаимосвязанные процессы ДСВ и вакуумного напыления, могут являться:

- тонкостенный полый ротор электростатического гироскопа (ЭСГ), выполненный в различных модификациях, где на сферическую оболочку, полученную посредством ДСВ по плоскости разъема двух полусфер, после балансировки с точностью до сотых долей микрометра осуществляется нанесение износостойкого покрытия;

- сплошной бериллиевый ротор бескарданного варианта электростатического гироскопа (БЭСГ), где повышение точности, надёжности и улучшение параметров балансировки ротора связано с качественно новой технологией формообразования армирующего элемента, что с наибольшей эффективностью может быть реализовано использованием метода вакуумного напыления;

- керамические роторный и статорный элементы датчика положения чувствительного элемента гравитационного вариометра (ЧЭ ГВ), на полусферических рабочих поверхностях которых формируется требуемый рисунок тонкоплёночных электродов, а на торцах -промежуточный подслой для последующей сварки с узлом подвеса ЧЭ ГВ.

Возможные технические решения по оценке комплексного влияния параметров и условий выполнения взаимообусловленных технологических операций ДСВ и вакуумного напыления на прецизионность узлов гироприборов связаны с проблемами согласования совокупности и последовательности операций диффузионной сварки и напыления с целью минимизации термомеханических воздействий на детали.

Из изложенного следует актуальность, важность и практическая потребность проведения исследований по анализу, оценке и согласованию параметров и факторов таких взаимосвязанных технологических процессов, как диффузионная сварка в вакууме в сочетании с операциями нанесения тонкоплёночных покрытий методами вакуумного напыления, при формообразовании прецизионных сферических узлов.

Целью диссертационной работы является разработка и практическая реализация комплексной технологии выполнения неразъёмных соединений сферических узлов гироприборов методами диффузионной сварки в вакууме, сочетающихся с операциями вакуумного напыления для повышения точности неразъёмных соединений.

Для достижения цели необходимо решение следующих задач: -выявление совокупности значимых характеристик процессов прецизионного формообразования деталей посредством ДСВ с оценкой их влияния на прецизионность узлов;

-разработка методов и средств минимизации сварочных деформаций при формообразовании прецизионных сферических элементов узлов гироприборов с созданием методов управления и регулирования процессами термомеханического воздействия на детали;

-исследование процесса ДСВ в условиях действия сварочного давления термонатяга, ориентированного к центру сферы с разработкой методов и средств корректировки конфигурации свариваемого узла в процессе деформирования при ДСВ;

-математическое моделирование процессов ДСВ при деформировании с осадкой одноосного сжатия и разработка алгоритмов технологического проектирования ДСВ узлов гироприборов;

-исследование и разработка комплексных технологических процессов формообразования сферических узлов гироприборов с совместным использованием вакуумного напыления и ДСВ;

-разработка технологических процессов изготовления таких реальных узлов гироприборов, как тонкостенные и сплошные бериллиевые ротора электростатического гироскопа, статорный и роторный элементы датчика положения чувствительного элемента гравитационного вариометра.

На защиту выносятся следующие научные положения и практические результаты: -средства математического обеспечения технологии ДСВ, включая моделирование и расчётные методики процессов прецизионного деформирования с одноосным сжатием свариваемых деталей;

-алгоритм технологического проектирования процесса ДСВ узлов гироприборов; -технологические схемы, методы и приемы прецизионной сварки с минимизацией сварочных деформаций в условиях действия сварочного давления термонатяга, ориентированного к центру сферы и к оси цилиндра;

-совокупность технических решений по созданию принципиально новой конструкции и технологии изготовления сплошного ротора БЭСГ;

-комплексные технологические процессы реализации неразъёмных соединений сферических узлов гироприборов с использованием операций вакуумного напыления и ДСВ;

-технологические способы и методы корректировки свойств поверхности и функциональных характеристик сплошного ротора по допуску на уровне сотых долей микрометра при номинальном размере ротора ~ 10 мм;

-введение и обоснование эффективности использования новых контролируемых параметров, связанных с симметрией сварочных деформаций, и разработка способов управления ими, позволяющие улучшить условия балансировки роторов;

-комплекс многоцелевого оборудования, устройств и приспособлений для реализации технологических процессов напыления и сварки узлов гироприборов.

Заключение диссертации по теме «Технология приборостроения», Беляев, Сергей Николаевич

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате проведенных экспериментально-исследовательских работ решены проблемы разработки и практической реализации комплексной технологии выполнения неразъёмных соединений сферических узлов гироприборов методами диффузионной сварки в вакууме, сочетающихся с операциями вакуумного напыления, что позволило существенно повысить точность изготавливаемых изделий, расширить возможности и область применения технологических процессов диффузионной сварки и вакуумного напыления по сравнению с существующим уровнем, осуществить ряд принципиально новых технических решений и получить качественно новые реальные изделия узлов > гироприборов. Основные научные и практические результаты диссертационной работы сводятся к следующему:

1. С использованием элементов системного анализа разработана структурная схема технологического проектирования и реализации неразъёмных соединений сферических узлов гироприборов, представляющая собой классификацию последовательного типа в виде иерархического дерева совокупности приёмов и методов технологии, которые выражены как классификационные признаки различных уровней.

2. Сформулированы принципы и положения математического моделирования процесса диффузионной сварки в вакууме на примере тонкостенных и сплошных роторов электростатического гироскопа, которые позволили решить задачу повышения точности выполнения неразъёмных соединений сферических узлов гироскопических приборов.

3. Разработан алгоритм построения процесса прецизионной ДСВ тонкостенных фланцевых роторов ЭСГ, основанный на последовательном расчёте основных взаимообусловленных параметров сварочного модуля и процесса сварки в соответствии со сформулированными принципами математического моделирования. Данный алгоритм позволяет определить допустимые области и диапазоны варьирования указанных параметров и определить наиболее приемлемую их совокупность, обеспечивающую минимальные деформации свариваемого изделия.

4. Обоснована целесообразность и эффективность проведения анализа процессов прецизионного деформирования и построения технологии ДСВ, исходя из расчленения термомеханического цикла сварки на этапы, которые определяются соотношениями ТКЛР и линейных размеров, а также гомологических температур процесса для элементов сварочного модуля при сварке фланцевых роторов ЭСГ.

5. Исследованы и разработаны комплексные технологические процессы формообразования прецизионных узлов гироприборов, таких как роторы ЭСГ и БЭСГ, роторный и статорный элементы датчика положения ЧЭ ГВ с совместным использованием технологий ДСВ и вакуумного напыления, обеспечивающие повышение точности изделий.

6. Созданы качественно новая конструкция и технология изготовления ротора БЭСГ, включающая сварку по телескопической поверхности соосных охватываемой и охватывающей заготовок в условиях действия сварочного давления термического натяга, ориентированного к оси цилиндра, с расчётом параметров сварочного модуля, свариваемых деталей и кольцевого армирующего элемента ротора, формируемого на охватываемой детали посредством вакуумного напыления.

7. Разработана технологическая схема финишной корректировки электрофизических свойств поверхности и величины дисбаланса сплошных роторов БЭСГ на уровне сотых долей микрометра посредством напыления сверхтонких пленочных покрытий толщиной (100-1000) А.

8. Установлена корреляция параметров процесса напыления сверхтонких плёночных покрытий на плоские и сферические поверхности с использованием методов магнетронного и термического напыления.

9. Создан комплекс средств и методов контроля процесса формообразования и оценки параметров сверхтонких покрытий непосредственно в процессе напыления.

10. Разработана технология прецизионной ДСВ-бесфланцевых роторов ЭСГ в условиях действия сварочного давления термического натяга, ориентированного к центру сферы, и предложена, эмпирическая зависимость, на основании которой созданы методика расчёта и технологические приёмы корректировки формы свариваемого узла в процессе деформирования.

11. Обоснована эффективность использования новых контролируемых параметров, связанных с симметрией сварочных деформаций, и разработаны способы управления ими, позволяющие улучшить условия балансировки роторов;

12. Создан комплекс качественно новых средств оснащения процессов прецизионного формообразования узлов гироприборов с использованием методов ДСВ и напыления, включая оборудование, устройства и приспособления, в том числе и многопозиционные, как универсального, так и специфического назначения.

13. Основные, разработанные в рамках работы, технологические процессы, связанные с изготовлением тонкостенных и сплошных роторов ЭСГ и БЭСГ, а также оборудование и оснастка внедрены в серийное производство с полным обеспечением технической документацией.

14. Основные технические решения, использованные в технологических процессах, защищены двумя патентами Российской Федерации. По результатам работы опубликовано 14 н научных трудов, в том числе статьи и доклады на конференциях, включая зарубежные. Ряд статей был опубликован при поддержке РФФИ в рамках работ по проектам № 06-08-61068 и № 08-08-12032.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Беляев, Сергей Николаевич, 2009 год

1. Гаврилов А.Н. Основы технологии приборостроения. Учебник для втузов. М.: «Высшая школа», 1976.

2. Пешехонов В.Г. Перспективы инерциальной навигации. СПб.: «ЦНИИ Электроприбор», «Гироскопия и навигация», № 1 (8), 1995 г., с. 20-26.

3. Малеев П.И. Новые типы гироскопов. — JL: «Судостроение», 1971.

4. Щербак А.Г., Кедров В.Г., Технология прецизионной диффузионной сварки в точном приборостроении. СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 1996, 166 с.

5. Щербак А.Г., Пешехонов В.Г., Анфиногенов A.C. и др. Способ диффузионной сварки полусфер ротора шарового гироскопа / патент РФ № 2085348 от 01.07.94 г., МКИ В 23 К 20/00.

6. Гусинский В.З., Осипов С.М., Щербак А.Г. Способ изготовления ротора шарового гироскопа / патент РФ № 2164665 от 09.11.99, МКИ G 01 С 25/00, Бюл. №9,27.03.2001 г.

7. Ландау Б.Е. Электростатический гироскоп со сплошным ротором. СПб.: «ЦНИИ Электроприбор», «Гироскопия и навигация», № 1,1993, с. 6-12.

8. Вольфсон Г.Б., Евстифеев М.И., Пешехонов В.Г., Розенцвейн В.Г., Щербак А.Г., Гравитационный вариометр / патент РФ № 2172967, МКИ G01V 7/10. Бюл. № 16, 10.06.2001 г.

9. Бериллий. Наука и технология / пер. с англ. под ред. Тихинского Г.Ф. и Папирова И.И. М.: «Металлургия», 1984,624 с.

10. Крапотин В.Н., Васильев O.A. Исследование характеристик ползучести металлокерамического дистиллированного бериллия. В сб. «Бериллий и его сплавы» /под ред. В.И. Бельковского и И.В. Шилова, вып.2. М.: ГОНТИ, 1973, с. 65-69.

11. Папиров И.И., Тихинский Г.Ф. Физическое металловедение бериллия. М.: «Атомиздат», 1968,452 с.

12. Гаврюсев В.И. Размерная стабильность материалов и элементов конструкций. Л.: ЦНИИ «Румб», 1990, 113 с.

13. Дарвин Дж. и Баддери Дж. Бериллий. / пер. с англ. под ред. Рейфмана М.Б. М.: Изд-во иностр. лит-ры, 1962, 324 с.

14. Конструкционные материалы: Справочник / под общ. ред. Арзамасова Б.Н. М.: «Машиностроение», .1990, 688 с.

15. Borch N.P. and Hauber Y.R. Creep study high-purity polycrystalline Beryllium. TMS AIME, 242,1933-1936,1968.

16. Кайбышев O.A. Пластичность и сверхпластичность материалов. M.: «Металлургия», 1975,279 с.

17. Розенберг В.Н. Ползучесть металлов. М.: «Металлургия», 1967,276 с.

18. Чадек Й. Ползучесть металлических материалов. Пер. с чешского. М.: «Мир», 1987, 304 с.

19. Золотаревский B.C. Механические свойства металлов: М.: «Металлургия», 1983,352 с.

20. Каракозов Э.С. Сварка металлов давлением. М.: «Машиностроение», 1986,280 с.

21. Метелкин И.И., Павлова М.А., Поздеева Н.В1 Сварка керамики с металлами / под ред. Каракозова Э.С. M¿: «Металлургия», 1977,159 с.

22. Будников П.П., Булавин HlA., Выдрик Г.А. и др. Новая керамика / под общ., ред. П.ШБудникова; Mí: Изд-во лит. по стр-ву, 1969¿ 312 с.

23. Левит A.M. Конструкционные материалы и герметики в вакуумном приборостроении. Mí: «Машиностроение», 1986,60 е.

24. Физико-химические свойства; окислов; Справочник. / под ред. Т.В. Самсонова. М.: «Металлургия», 1978,472 с.

25. Свойства элементов. Справочник/под ред. Е.М; Дрица. М.:«Металлургия», 1965,672 с.

26. Каракозов Э.С., Орлова Л.М., Пешков В.В., Григорьевский В.И. Диффузионная? сварка титана. М.: «Металлургия», 1977,272 с.28: Розбери Ф. Справочник по вакуумной техники и технологии. Пер; с англ. М.: «Энергия», 1972,456 с.

27. Карпов Ю.И. Чижмаков МЛЗ. Особенности формирования покрытий Ti(N,C) на твердосплавных пластинах. СПб.: «Вестник машиностроения», №3,1992.

28. Мюзил Дж., Вискожид Дж., Баскер Р., Уэллер Ф. Механические свойства плёнок нитрида титана. Плазменное осаждение плёнок нитрида^^титана. / Заявка 20935, Англия, 1985;

29. Казаков Н.Ф: Диффузионная; сварка материалов. / Справочник, под ред. Казакова Н.Ф. М.: «Машиностроение», 1981,271 с.

30. M.J. Hädfield. Hollow Rotor ESG Technology — IEEE. Transactions on Aerospace and Electronic System, Y.20, N4,1984, pp.424-425:

31. D.b.McLeod. Miniaturization of the Solid Rotor Electrostatic Gyro The Materials of Conference "NAECON'79", 1979, pp. 1199-1205.

32. Бачин В.А. Диффузионная сварка стекла и керамики с металлами. М.: «Машиностроение», 1986,184 с.

33. Казаков Н.Ф. Диффузионная сварка материалов. М.: «Машиностроение», 1976, 312 с.

34. Метелкин И.И., Павлова М.А., Доронкина A.A. Сварка высокоглиноземистых керамических материалов с металлами. М.: «Сварочное производство», 1975, N7, с. 33,34.

35. Конюшков Г.В., Зотов Б.Н., Меркин Э.И. Ферриты и их соединения с металлами и керамикой. М.: «Энергия», 1979,232 с.

36. Щербак А.Г., Прецизионная технология диффузионной сварки узлов точного приборостроения., Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук, СПб.: «ЦНИИ Электроприбор», 1995.

37. Каракозов Э.С., Харламов Б.А., Равич A.M., Серов A.A. Механизм образования соединения между сплавами АМЦ и корундовой керамикой при диффузионной сварке. М.: «Сварочное производство», 1987, N12, с. 33-36.

38. Von Daurhl W., Klinger E. Mechanism und thermische Eigenschaffen von schweipverbindungendes Al4200430 mit metallen.- Ber. Dtsch. Keram. Yes. 1969, 46, N1, s. 12-18.

39. Киреев A.C., Струина М.М. Особенности сварки алюмооксидной керамики с применением прослоек из алюминия и его сплавов. В сб. «Достижения и перспективы развития диффузионной сварки». Материалы конференции. М.: «МДНТП», 1990, с. 58-61.

40. Мондольфо Л.Ф. Структура и свойства алюминиевых сплавов. М.: «Металлургия», 1979, 640 с.

41. Будников П.П., Гистлинг A.M. Реакции в смесях твёрдых веществ. М.: Изд-во лит. по стр-ву, 1971,482 с.

42. Trageser M.B: Floated Gravity Gradiometer — IEEE. Transactions on Aerospace and Electronic Systems, V20, N4,1984.

43. Малыгин A.A., Алёхина А.П. Основные процессы планарной технологии (Оборудование и методы расчёта). Учебное пособие. СПб.: «СПбГТИ (ТУ)», 1995, 106 с.

44. Хокинг М., Васантасри В., Сидки П. Металлические и керамические покрытия. М.: «Мир», 2000, 520 с.

45. Ройх И.Л., Колтунова Л.Н., Федосов С.Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. М.: «Машиностроение», 1976, 368 с.

46. Данилин Б.С. Получение тонкоплёночных слоев с помощью магнетронной системы ионного распыления. М.: «Радио и связь», 1982,266 с.

47. Данилин Б.С., Сьфчин В;К. Магаетронные распылительные системы. М.: «Радио и связь», 1982,467 с.

48. Данилин Б:С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения* тонких плёнок. М.: «Энергоиздат», 1989, 328 с.

49. Беляев Н.И., Мосичев И.И., Щербака А.Г., Леонов^ Г.М., Установка для диффузионной сварки а.с. № 510029; МКИ В23К 19/00.

50. Конюшков Г.В., Зоркин А.Я., Перекрестов А.П. Моделирование процесса диффузионной сварки материалов за счёт разности ТЮ1Р: Межвузовский научный сб. «Автоматизация: и управление в машино- и приборостроении», Саратов, 2000; с. 69-72.

51. Конюшков Г.В., Перекрёстов А.П. Особенности технологического процесса диффузионной сварки в вакууме с термическими системами давления Сб. «Электронные приборы и устройства нового поколения» Материалы научно-технической конф., Саратов, 2002, с. 17-19.

52. Терновский А.П. Диффузионная сварка с принудительным деформирование (аналитический обзор). М.: «Сварочное производство», 1988, №9 с. 1-4.

53. Комков Н.И. «Модели управления исследованиями и разработками».М.: «Наука», 1978, 344 с.

54. Беляев? С.Н: Структурная схема решения; задач повышения точности неразъёмных соединений' сферических узлов гироприборов» «Гироскопия и навигация» №2(53). Материалы VIII конференции молодых учёных, реферат, СПб:: «РНЦ РФ ЦНИИ Электроприбор», 2006:

55. Балаян F.F., Жарикова F.F., Комков Н.И. Информационно логические модели научных исследований. М.: «Наука», 1978,344 с.

56. Проскуряков A.B. Организация создания и освоения новой техники. М.: «Машиностроение», 1975,224 с.

57. Конюшков Г.В., Копылов Ю.Н. Диффузионная сварка в электронике / под ред. Н.Ф.Казакова. М.: «Энергия», 1979,232 с.

58. Беляев С.Н., Щербак А.Г., Удовиков А.С., Способ изготовления ротора шарового гироскопа. / Патент РФ № 2289790 от 30.06.2005 г., МКИ G01С 25/00, GO 1С 19/06, Бюл. № 35,20.12.2006 г.

59. Кочергин А.К. Сварка давлением. Л.: «Машиностроение», 1972,216 с.

60. Кочергин А.К., Шестаков А.И. К вопросу о зависимости между давлением и температурой при прессовой и диффузионной сварке. Сб. «Сварка» №11, СПб.: «Судостроение», 1968, с.118-120.

61. Тгесо R.M. Thermal Expansion Characteristics Of Beryllium, J.Met.188,1274, 1950.

62. Щербак А.Г., Гаврюсев В.И., Способ изготовления ротора шарового гироскопа / патент РФ № 2257548 от 12.04.2004 г., МКИ G 01 С 25/00, Бюл. №21,27.07.2005 г.

63. Ландау Б.Е., Буцык АЛ., Щербак А.Г., Буравлёв А.П., Беляев С.Н. Способ изготовления ротора шарового гироскопа./ Патент РФ 2286535 от 10.03.2005 г., МКИ G01C 25/00, В23Р 15/00, Бюл. № 30,27.10.2006 г.

64. Беляев С.Н. Технологическое проектирование диффузионной сварки телескопических соединений. СПб.: «Гироскопия и навигация» №3(50). Материалы VII конференции молодых учёных, реферат. ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2005.

65. Беляев С.Н., Удовиков А.С. Технологические аспекты выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов. «Навигация и управление движением» Материалы IX конференции молодых учёных, ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2007.

66. Беляев С.Н. Технологические особенности выбора материалов и методов напыления узлов гироприборов. СПб.: Изв. вузов. «Приборостроение», т.52, №3,2009, с.73.

67. Конструкционные материалы. Справочник / под редакцией Б.Н. Арзамасова. М.: «Машиностроение», 1990, 688 с.

68. Металлы и сплавы. Справочник / под редакцией Ю.П. Солнцева. СПб.: «Профессионал», 2005,1066 с.

69. Беляев С.Н. Прецизионная технология формообразования тонкоплёночных электродов на элементах гравитационного вариометра. СПб.: «Навигация и управление движением» Материалы V конференции молодых учёных, ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2004.

70. Беляев С.Н. Прецизионная технология формообразования тонкоплёночных электродов на элементах изделий точного приборостроения. Материалы IV международного Конгресса «Машиностроительные технологии», Варна, Болгария, 2004.

71. Вольфсон Г.Б. Новые технологии в гравитационной градиентометрии. СПб.: «Гироскопия и навигация» №1(40), 2003, с. 99-109.

72. Казаков Н.Ф., Жуков В.В. Оборудование диффузионной сварки. Сб. №7, М.": МинВУЗ РСФСР, ПНИЛДСВ, 1979; 279 с.

73. Беляев С.Н., Щербак А.Г. Средства оснащения процессов напыления покрытий на узлы гироприборов, имеющие форму тел вращения. «Навигация и управление движением» Материалы X конференции молодых учёных, ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008.

74. Адлер Ю.П., Макарова'Е.В., Грановский Ю.В. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: «Наука», 1976,279 с

75. Майсел Л., Гленг Р. Технология тонких пленок, справочник, М., «Советское радио», 1977.

76. Ласка В.Л. и др. Новые плазменные и электронно-ионные методы обработки материалов. Л.: 1976,56 с.

77. Майсел Л. Сб. Физика тонких плёнок, т.З. М.: «Мир», 1967, с 34 47.

78. Хасуй А. Техника напыления. М.: «Машиностроение», 1975.