Исследование процесса и разработка аппаратов ультразвукового диспергирования жидкостей тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.17.08, кандидат технических наук Шалунов, Андрей Викторович

• Шалунов, Андрей Викторович
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Шалунов, Андрей Викторович

Введение. Ю

1 Применение диспергирования жидкостей и необходимость использования новых перспективных способов диспергирования.

1.1 Способы диспергирования жидкостей.

1.1.1 Гидравлическое диспергирование.

1.1.2 Механическое диспергирование.

1.1.3 Пневматическое диспергирование.

1.1.4 Электростатическое диспергирование.

1.2 Анализ состояния процессов химических технологий, основанных на диспергировании жидкостей.

1.2.1 Мокрая очистка газов от дисперсных примесей.

1.2.2 Очистка газов от примесей.

1.2.3 Распылительная сушка.

1.2.4 Проблемы распылительной технологии, перспективные способы диспергирования жидкостей.

1.3 Принцип и физический механизм ультразвукового диспергирования жидкостей.

1.3.1 Классификация способов ультразвукового диспергирования жидкостей.

Q 1.3.2 Механизмы каплеобразования при диспергировании жидкости в слое.:.

1.3.3 Анализ факторов, влияющих на эффективность ультразвукового диспергирования.

1.4 Практическая реализация и применение ультразвукового диспергирования.

1.4.1 Существующие ультразвуковые аппараты для диспергирования жидкости.

1.4.2 Структура ультразвукового оборудования для диспергирования жидкости.

1.5 Постановка задач исследования.

2 Теоретическое исследование процесса ультразвукового диспергирования жидкостей с целью установления оптимальных режимов ультразвукового воздействия.

2.1 Анализ физического механизма процесса диспергирования жидкостей путем кавитационного возбуждения капиллярных волн.

2.1.1 Определение зависимости звукового давления в слое диспергируемой жидкости от толщины этого слоя.

2.1.2 Определение радиуса кавитационного пузырька в зависимости от факторов, влияющих на процесс кавитации.

2.1.3 Определение величины амплитуды давления во фронте ударной волны, возникающей при захлопывании кавитационного пузырька.

2.1.4 Определение амплитуды капиллярных волн, возникающих на поверхности жидкости.

2.2 Теоретические основы управления процессом ультразвукового диспергирования.

2.2.1 Контроль толщины слоя диспергируемой жидкости.

2.2.2 Определение вязкости диспергируемой жидкости.

3 Исследование процесса и выявление оптимальных режимов ультразвукового диспергирования.

3.1 Подтверждение кавитационной природы диспергирования жидкостей.

3.2 Разработка экспериментального стенда для определения оптимальных условий диспергирования.

3.2.1 Принцип электромеханических аналогий.

3.2.2 Выбор материалов для проведения экспериментальных исследований.

3.2.3 Методика проведения экспериментальных исследований.

3.2.4 Определение собственных характеристик колебательной системы и коэффициентов пропорциональности между измеряемыми электрическими сигналами и соответствующими физическими величинами.

3.2.5 Определение оптимальных условий ультразвукового диспергирования.

4 Практическая реализация ультразвукового диспергирования жидкости.

4.1 Разработка способа управления процессом ультразвукового диспергирования.

4.2 Разработка структурной схемы ультразвукового аппарата для ^ реализации предложенного способа управления процессом ультразвукового диспергирования.

4.3 Создание ультразвуковых аппаратов, реализующих предложенный способ управления процессом диспергирования.

4.3.1 Разработка схемы электрической принципиальной электронного генератора ультразвуковой частоты.

4.3.2 Разработка ультразвуковых колебательных систем для диспергирования жидкости.

4.3.3 Разработка рабочих инструментов для диспергирования жидкостей. 4.4 Подтверждение эффективности разработанного способа управления процессом диспергирования в реальных технологических процессах.

4.4.1 Нанесение фоточувствительного слоя на поверхность кремниевой пластины путем диспергирования фоторезиста.

4.4.2 Применение ультразвукового диспергирования для химико-механического полирования полупроводниковых пластин.

4.4.3 Применение ультразвукового диспергирования для оптимизации процесса тепловой сушки жидких растительных экстрактов.:.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование процесса и разработка аппаратов ультразвукового диспергирования жидкостей»

Большинство процессов химической технологии реализуется в гетерогенных системах, в частности, в двухфазных системах жидкость - газ.

Наиболее эффективным способом интенсификации рассматриваемых процессов является развитие поверхности контакта фаз между веществами, находящимися в жидкой и газообразной фазах, за счет увеличения свободной поверхности вещества, находящегося в жидкой фазе. Увеличение свободной поверхности жидкости может реализовываться различными способами: при помощи барботажа вспенивания жидкости, создания пленки жидкости, смачиванием жидкостью различных насадок, диспергированием жидкости.

Диспергирование представляет собой технически наиболее просто реализуемый способ увеличения свободной поверхности жидкости, а его совершенствование является одной из важнейших задач химической промышленности. Этот факт базируется на существовании широкого спектра технологических процессов, в которых используется диспергирование, или реализация которых вообще невозможна без применения диспергирования жидкостей.

Примером таких технологических процессов могут служить: в области химической технологии - мокрая очистка газов от различных дисперсных примесей, абсорбция газовых примесей, как для их очистки, так и для выделения целевых компонентов, сушка и одновременное гранулирование материалов; в области радиоэлектронной промышленности - нанесение паяльных флюсов при автоматическом изготовлении печатных плат, покрытие полупроводниковых пластин фоточувствительным слоем на стадии фотолитографии при производстве полупроводниковых схем и др. Все перечисленные технологические процессы являются базовыми в своих отраслях промышленности, поэтому эффективная реализация процесса диспергирования в этих технологиях является важной задачей.

Проведенный анализ показал, что наиболее широко используемые на практике способы диспергирования (так называемые традиционные способы): гидравлическое, механическое, пневматическое и электростатическое диспергирование обладают большим количеством недостатков, которые значительно снижают эффективность технологических процессов, осуществляемых на их основе.

В этой связи перспективным направлением совершенствования технологических процессов является применение новых способов диспергирования жидкостей. К таким способам относится диспергирование за счет использования энергии механических колебаний ультразвуковой (УЗ) частоты высокой интенсивности - ультразвуковое диспергирование.

Ультразвуковое диспергирование имеет ряд существенных преимуществ по сравнению с традиционными способами диспергирования:

- низкая энергоемкость;

- высокая производительность;

- возможность получать мелкодисперсное диспергирование;

- возможность получать монодисперсное диспергирование;

- возможность диспергировать высоковязкие жидкости без предварительного снижения их вязкостей при помощи различных растворителей.

Ультразвуковой способ пока не получил промышленного применения в широких масштабах. Это в первую очередь связано с сильной зависимостью производительности диспергирования от свойств диспергируемой жидкости, приводящей к необходимости подбора необходимой величины ультразвукового воздействия для каждой диспергируемой жидкости в зависимости от ее свойств, площади диспергирующей поверхности и требуемой производительности диспергирования. На сегодняшний день, ввиду недостаточности знаний о процессах, происходящих в диспергируемой жидкости, их взаимном влиянии, подбор требуемой величины ультразвукового воздействия осуществляется вручную, на основании субъективных ощущений оператора или по косвенным признакам. Это приводит к практической невозможности определения оптимальных условий диспергирования, что вызывает ухудшение дисперсных характеристик образующихся капель жидкости, и невозможности обеспечения монодисперсного диспергирования (а в ряде случаев и к невозможности поддержания самого процесса диспергирования) жидкости при изменяющихся условиях течения технологического процесса (температура, вязкость жидкости, производительность диспергирования).

Несмотря на существенность обозначенной проблемы, в настоящее время существует крайне мало теоретических исследований и практических наработок, позволяющих ее решить. Таким образом, задача изучения степени влияния свойств жидкости на процесс ее диспергирования и определение необходимых параметров ультразвукового воздействия является актуальной.

Целью работы является совершенствование процесса ультразвукового диспергирования жидкостей за счет обеспечения автоматического поддержания оптимальных режимов ультразвукового воздействия при реализации различных процессов химической технологии.

Работа является продолжением исследований, проводимых в «Лаборатории акустических процессов и аппаратов» Бийского технологического института (филиала) Государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова». Автор выражает глубокую благодарность коллективу лаборатории, а также Хмелеву Владимиру Николаевичу за полезные замечания и консультации, поддержку и помощь в работе.

Заключение диссертации по теме «Процессы и аппараты химической технологии», Шалунов, Андрей Викторович

Заключение

В результате выполнения работы усовершенствован процесс ультразвукового диспергирования жидкостей за счет определения оптимальных режимов ультразвукового воздействия путем исследования явлений, происходящих в жидкости при ее ультразвуковом диспергировании, и изучения влияния свойств жидкости на эффективность ультразвуковых аппаратов. При достижении поставленной цели были решены следующие частные задачи:

- показана возможность повышения эффективности ультразвукового диспергирования жидкостей за счет выявления, установления и автоматического поддержания оптимального режима ультразвукового воздействия; определены свойства жидкостей, оказывающие наибольшее влияние на процесс диспергирования и требующие учета их влияния;

- разработана теоретическая модель, поэтапно описывающая процесс преобразования ультразвуковой энергии от момента ее излучения в слой диспергируемой жидкости до момента ее затрачивания на образования капиллярных волн на поверхности жидкости и позволившая определить оптимальную толщину слоя диспергируемой жидкости в зависимости от свойств этой жидкости и амплитуды колебаний ультразвукового преобразователя;

- на основании анализа разработанной модели выявлены причины, ограничивающие эффективность процесса ультразвукового диспергирования, которыми являются вязкость и толщина слоя диспергируемой жидкости. Установлено, что взаимодействие ударной волны, образующейся при захлопывании кавитационного пузырька, с поверхностью слоя жидкости является достаточным для возбуждения на поверхности капиллярной волны и образования капель жидкости;

- для установления кавитационной природы диспергирования жидкостей проведены экспериментальные исследования, позволившие установить связь кавитационного процесса в слое жидкости с диспергированием жидкости, причем степень развитости кавитации прямо пропорциональна производительности диспергирования. В результате исследований установлено, что предложенная модель позволяет определять оптимальные режимы ультразвукового диспергирования;

- предложен способ автоматического управления процессом ультразвукового диспергирования, положенный в основу концепции ультразвукового аппарата; созданы узлы ультразвукового аппарата, необходимые для его практической реализации; при осуществлении технологических процессов изготовления полупроводниковых схем в стадии нанесения фоточувствительного слоя на поверхность кремниевой пластины и в стадии химико-механического полирования пластины показана эффективность оптимизации ультразвукового диспергирования по предложенному способу. На примере снижения потерь сухого продукта при распылительной сушке растительного экстракта показана эффективность применения оптимизации ультразвукового диспергирования в традиционных областях химической технологии.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Шалунов, Андрей Викторович, 2006 год

1. Касаткин, А. Г. Основные процессы и аппараты химической технологии Текст. / А. Г. Касаткин. 9-е изд. - М.: Химия, 1973. - 750 с.

2. Дытнерский, Ю. И. Процессы и аппараты химической технологии Текст. В 2 ч. Ч. 1. Теоретические основы процессов химической технологии. Гидромеханические и тепловые процессы и аппараты / Ю. И. Дытнерский. -М.: Химия, 2002. 400 с.

3. Дытнерский, Ю. И. Процессы и аппараты химической технологии Текст. В 2 ч. Ч. 2. Массообменные процессы и аппараты / Ю. И. Дытнерский. М.: Химия, 2002. - 368 с.

4. Пажи, Д. Г. Основы техники распыливания жидкостей Текст. / Д. Г. Пажи, В. С. Галустов. М.: Химия, 1984. - 256 с.

5. Пажи, Д. Г. Распылители жидкостей Текст. / Д. Г. Пажи, В. С. Галустов. -М.: Химия, 1979.-216 с.

6. Бородин, В. А. Распыливание жидкостей Текст. / В. А. Бородин. -М.: Машиностроение, 1967.-208 с.

7. Пажи, Д. Г. Распиливающие устройства в химической технологии Текст. / Д. Г. Пажи, А. А. Корягин, Э. JI. Ламм. М.: Химия, 1975. -199 с.

8. Вачагин, К. Д. Движение потоков вязкой жидкости по поверхности быстровращающегося плоского диска Текст. / К. Д. Вачагин, В. С. Николаев // Химия и хим. технолог. 1960. - Т. 3, -№ 6. - С. 71-76.

9. Пажи, Д. Г. Форсунки в химической промышленности Текст. / Д. Г. Пажи, А. В. Прахов, Б. Б. Равикович. -М.: Химия, 1971.-221 с.

10. Романков, П. Г. Гидромеханические процессы химической технологии Текст. / П. Г. Романков, М. И. Курочкина. 2-е изд. - Л.: Химия, 1974. -282 с.

11. Александров, И. А. Ректификационные и абсорбционные аппараты Текст. / И. А. Александров. М.: Химия, 1978. - 172 с.

12. Рамм, В. М. Абсорбция газов Текст. / В. М. Рамм. М.: Химия, 1976. -172 с.

13. Романков, П. Г. Массообменные процессы в химической технологии Текст. / П. Г. Романков, В. Ф. Фролов. М.: Химия, 1990. - 172 с.

14. Романков, П. Г. Теплоообменные процессы в химической технологии

15. Текст. / П. Г. Романков, В. Ф. Фролов. JL: Химия, 1982. - 288 с.

16. Альперт, JI. 3. Основы проектирования химических установок Текст. / J1. 3. Альперт-М.: Высшая школа, 1989. 172 с.

17. Геркен, Е. Б. О применении ультразвука для введения растворов в источник света при спектральном анализе / Е. Б. Геркен, Jl. М. Иванцов, Б. И. Костин // Заводская лаборатория. 1962. - Т. 12. - С. 145-149.

18. Экнадиосянц, О. К. Получение аэрозолей Текст. / O.K. Экнадиосянц, // ф Физические основы ультразвуковой технологии / под ред.

19. Л.Д. Розенберга. -М.: Наука, 1970. С. 337-395.

20. Новицкий, Б. Г. Применение акустических колебаний в химико-Y технологических процессах (Процессы и аппараты химической инефтехимической технологии) Текст. / Б.Г. Новицкий. М.: Химия, 1983.- 192 с.

21. Фридман, В. М. Ультразвуковая химическая аппаратура Текст. / В. М. Фридман. -М.: Машиностроение, 1867.-212 с.

22. Экнадиосянц, О. К. О распылении жидкости низкочастотными ® ультразвуковыми колебаниями Текст. / О. К. Экнадиосянц //

23. Акустический журнал. 1966.-Т. 12,-№ 1.-С. 127-132.

24. Шутилов, В. А. Основы физики ультразвука Текст. / В. А. Шутилов. -Л.: Изд-во Ленинградского университета, 1980. 280 с.

25. Крылов, В. В. Основы теории излучения и рассеяния звука Текст. / В. В. Крылов. -М.: Изд-во Московского университета, 1989. 118 с.

26. Шендеров, Е. Л. Волновые задачи гидроакустики Текст. / В. В. Крылов. -Л.: Судостроение, 1972.-352 с.V143

27. Экнадиосянц, О. К. О физическом механизме распыления жидкости акустическими колебаниями Текст. / О. К. Экнадиосянц, Ю. Я. Богуславский // Акустический журнал. 1969. - Т. 15, № 1. - С. 17-32.

28. Fortman, W. К. Hochleistungs-Schallzerstauber Text. / W. К. Fortman // Oil+Gas. 1965. - V. 10, № 4. - P. 58-64.

29. Ламекин, H. С. Метод расчета зазора генератора форсунки жидкого топлива Текст. / Н. С. Ламекин. М.: Машиностроение, 1861. - 114 с.

30. Ламекин, Н. С. Основы теории форсунки для жидкого топлива с газовым генератором Текст. / Н. С. Ламекин. М.: Машиностроение, 1860. -104 с.

31. Экнадиосянц, О. К. О кинетике ультразвукового туманообразования Текст. / О. К. Экнадиосянц // Акустический журнал. 1963. - Т. 9, № 2. -С. 247.

32. Экнадиосянц, О. К. К вопросу о природе распыления жидкостей в ультразвуковом фонтане Текст. / О. К. Экнадиосянц, Б. И. Ильин // Акустический журнал. 1966. - Т. 12, № 3. - С. 310.

33. Экнадиосянц, О. К. О роли кавитации в процессе распыления жидкостей в ультразвуковом фонтане Текст. / О. К. Экнадиосянц // Акустический журнал, 1968.-Т. 14, № 1.-С. 107-122.

34. Drop Size and Distribution Electronic resource. Sono-Tek Corporation. -Режим доступа: http://www.sono-tek.corn/technolog;v/drop tech.php

35. Antonewich, J. N. Ultrasonic Atomization of Liquids Text. / J. N. Antonewich // Electronic Conference Chicago. 1957. - V. 13. - P. 198.

36. Агранат, Б. А. Основы физики и техники ультразвука Текст. / Б. А. Агранат, М. Н. Дубровин и др. М.: Высшая школа, 1987. - 352 с.

37. Акуличев, В. А. Пульсации кавитационных полостей Текст. / В. А. Акуличев, // Физические основы ультразвуковой технологии / под ред. Л.Д. Розенберга. М.: Наука, 1970. - С. 129-167.

38. Наугольных, К. А. О кавитационной области Текст. / К. А. Наугольных // Труды акустического института. 1969. - Вып. 7. - С. 14-19.

39. Елистратов, В. П. Некоторые особенности динамики кавитационной области Текст. / В. П. Елистратов, В. И. Ильичев, В. JI. Корец // Труды акустического института. 1969. - Вып. 7. - С. 20-26.

40. Розенберг, Л. Д. Кавитационная область Текст. / Л.Д. Розенберг // Мощные ультразвуковые поля / под ред. Л.Д. Розенберга. М.: Наука, 1968.-С. 221-265.

41. Ультразвуковая технология / под ред. Б.А. Аграната. М.: Металлургия, 1974.-505 с.

42. Зельдович, Я. Б. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений Текст. / Я. Б. Зельдович, Ю. П. Райзер. -2-е изд. М.: Наука, 1965. - 688 с.

43. Курант, Г. Сверхзвуковое течение и ударные волны / Г. Курант, К. Фридрихе; пер. с англ. изд. А. С. Компанейц. М.: Издательство иностранной литературы, 1950. - 427 с.

44. Ultrasound Company Electronic resource. Sono-Tek Corporation. - Режим доступа: http://www.sono-tek.com/.

45. Sono-tek Spray Fluxing Electronic resource. Sono-Tek Corporation. -Режим доступа: http://www.sprayfluxing.com/sonoflux2000fp/sonoflux 2000fp.php

46. Biometrical Coating Applications Electronic resource., Sono-Tek Corporation. — Режим доступа: http://www.sono-tek.com/biometrical/ accumist standalone.html.

47. Glass Coating Electronic resource. Sono-Tek Corporation. - Режим доступа: http://www.sono-tek.com/widetrack/floatglass.php

48. Ultrasound technology Electronic resource. Sonics&Materials Inc. -Режим доступа: http://www.sonicsandmaterials.com

49. Sonaer Ultrasonic Products Electronic resource. Sonaer Inc. - Режим доступа: http://www.sonozap.com/

50. Ultrasound breaking new barriers Electronic resource. - Misonix Inc. -Режим доступа: http://www.misonix.com/

51. Донской, А. В. Ультразвуковые электротехнические установки Текст. / А.В. Донской, O.K. Келлер, Г.С. Кратыш. Л.: Энергия, 1968. - 276 с.

52. Келлер, О. К. Ультразвуковые генераторы для электротехнологических установок / O.K. Келлер. Л.: ЛДНТП, 1968. - 78 с.

53. Редько, В. В. Источник питания ультразвуковой технологической установки Текст. / В.В. Редько, Б.А. Багинский // Приборы и техника эксперимента. 2000. - № 4. - С. 154-157.

54. Гусев, В. H. Электроника / В.Н. Гусев, Ю.М. Гусев. М.: Высшая школа, 1991.-621 с.

55. Коссов, О. А. Усилители мощности на транзисторах в режиме переключения Текст. / О.А. Коссов. -М.: Энергия, 1971. -212 с.

56. Теумин, И. И. Ультразвуковые колебательные системы Текст. / И. И. Теумин. -М.: Машгиз, 1959.-331 с.

57. Цыганок, С.Н. Исследование и совершенствование пьезоэлектрических ультразвуковых колебательных систем для интенсификации процессов химических технологий: дис. канд. тех. наук.: 05.17.08: защищена 28.10.05 / С.Н. Цыганок. Бийск, 2005. - 125 с.

58. Барсуков, Р.В. Исследование ультразвукового воздействия на технологические среды и повышение эффективности технологических аппаратов: дис. канд. тех. наук.: 05.17.08: защищена 28.10.05 / Р.В. Барсуков. Бийск, 2005. - 135 с.

59. Micro-encapsulation Electronic resource. Sono-Tek Corporation. - Режим доступа: http://www.sono-tek.com/rnicroencap/index.php

60. Фильчаков, П. Ф. Справочник по высшей математике Текст. / П. Ф. Фильчаков. Киев: Наукова думка, 1972. - 744 с.

61. Хмелев, В. Н. Исследование влияния кавитирующих сред на работу электронного генератора ультразвуковых аппаратов Текст. /

62. B. Н. Хмелев, Р.В. Барсуков, А. В. Шалунов, А. Н. Сливин // Измерения, автоматизация и моделирование в промышленных и научныхф исследованиях: межвузовский сборник / под. ред. Г.В. Леонова. Бийск,2003.-С. 216-226.

63. Маргулис, М.А. Звукохимические реакции и сонолюминисценция ® Текст. / М.А. Маргулис. М.: Химия, 1986. - 300 с.

64. Сиротюк, М. Г. Кавитационная прочность воды Текст. / М. Г. Сиротюк II Труды акустического института. 1969. - Вып. 6. - С. 5-15.

65. Диев, Б. Ф. Статистическая термодинамика кавитационных зародышей Текст. / Б. Ф. Диев // Труды акустического института. 1969. - Вып. 6. -С. 39-55.

66. Hickling, R. Shock wave at slammed of cavitational bubble Text. / R. Hickling, M.S. Plesset // Phys. Fluids. 1964. - V. 7, № 1. - P. 7-14.

67. Кикучи, Е. Ультразвуковые преобразователи / Е. Кикучи; пер. с англ. изд. И. П. Голяминой. М.: Мир, 1972. - 424 с.

68. Коул, P. Подводные взрывы Текст. / P. Коул; пер. с англ. изд. П.Н.Успенский. М.: Издательство иностранной литературы, 1950. -414 с.

69. Тула: Тульский государственный университет, 2003. Режим доступа: http://aim.tsu.tula.ru/ZIP/45.zip

70. Khmelev, V. N. The Ultrasonic Sputtering of Liquid Text. / V.N. Khmelev,

71. A.V. Shalunov, R.V. Barsukov, S.N. Tchyganok, A. N. Slivin, E. V. Chipurin // Siberian Russian Student Workshops and Tutorials on Electron Devices and Materials EDM'2005: Workshop Proceedings. Novosibirsk: NSTU, 2005. -P. 117-130.

72. Ultrapure Water Electronic resource. Millipore Inc. - Режим доступа: http://www■millipore.com/markets/wateфuriflcation.nsf/docs/6b8kbr

73. Агранат, Б. А. Ультразвуковая очистка Текст. / Б.А. Агранат,

74. B.И. Башкиров, Ю.И. Китайгородский // Физические основы ультразвуковой технологии / под ред. Л.Д. Розенберга. М.: Наука, 1970. -С. 165-252.

75. Liquid Optical Particle Counter Electronic resource. Particle Measuring Systems. - Режим доступа: http://www.pmeasuring.com/particleCounting /liquid

76. Буравова, С. H. Повреждаемость поверхности при кавитационной эрозии Текст. / С. Н. Буравова // Журнал технической физики. 1998. - Т. 68. -№9.-С. 110-114.

77. Ельяшкевич, С. А. Цветные телевизоры ЗУСЦТ Текст. /

78. C. А. Ельяшкевич. М.: Радио и Связь, 1987. - 270 с.

79. Пьезокерамические преобразователи. Методы измерения и расчета параметров: справочник Текст. / под ред. С.И. Пугачева. Л.: Судостроение, 1984. - 126 с.

80. Гутин, JI. Я. Пьезокерамические излучатели и приемники Текст. / Г. Я. Гутин // Журнал технической физики. 1945. - № 5. - С. 17-21

81. Физические величины: справочник Текст. / под ред. И. С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. -М: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.

82. Краткий справочник по химии Текст. / под ред. О. Д. Куриленко. Киев: Наукова думка, 1974. - 992 с.

83. Источники мощного ультразвука Текст. / под ред. Л.Д. Розенберга. М.: Наука, 1969.-380 с.

84. Решетников, М. Т. Планирование эксперимента и статистическая обработка данных Текст. : учеб. пособие / М. Т. Решетников Томск, 2000.-231 с.

85. A. В. Шалунов // Альманах «Бийский вестник». Барнаул: АлтГТУ, 2004. - № 4. - С. 49-62.

86. ГОСТ 16165-80. Генераторы транзисторные ультразвуковые для технологических установок. Общие технические условия. Введ. 198201-01. - М.: Изд-во стандартов, 1980. - IV, 8 с.

87. Wieder, В. Spray coating for mems, nems and micro systems Text. /

88. B. Wieder, C. Brubaker, T. Glinser, P. Kettner, N. Nodes // Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Tecnologies, 2002. P. 135-138

89. Process for chemical-mechanical polishing of III-V semiconductor materials Text. : pat : 3979239 USA : ICL H01L 021/304 : CCL 438/692 / Walsh; Robert; Monsanto Company; app. num. 537478; app. 30.12.1974; pub. 07.09.1976.

90. Хмелев В. Н. Ультразвуковой распылитель для химико-механического полирования Текст. / В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов // Современные проблемы радиоэлектроники: сборник научных трудов. М: Радио и связь, 2006.-С. 186-189.1. Ai