Исследование механизмов температурной нестабильности и разработка специализированных интегральных схем высокоточной термостабилизации для сканирующей зондовой микроскопии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Пьянков, Евгений Сергеевич

• Пьянков, Евгений Сергеевич
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Пьянков, Евгений Сергеевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1 Современные методы уменьшения воздействия искажающих факторов, влияющих на точность позиционирования зонда в СЗМ.

1.1Структура сканирующего зондового микроскопа и основные методики измерений.

1.2 Искажения СЗМ - изображений.

1.3 Методики снижения величины искажений, вносимых пьезоэлектрическим сканером.

1.4 Уменьшение влияния температурного дрейфа.

1.5 Уменьшение влияния акустических и механических вибраций.

1.6 Уменьшение влияния шумов.

1.7 Выводы:.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА СИСТЕМЫ СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫХ МИКРОСХЕМ

ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ ВЫСОКОТОЧНОГО ПОДДЕРЖАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ.

2.1 Анализ возможных решений и разработка блок-схемы высокоточного поддержания температуры на поверхности образца.

2.2 Моделирование и разработка функционально-логической схемы центральной логики.

2.3 Моделирование и разработка функционально-логических схем контроллера шины USB и контроллера ввода-вывода.

2.4 Разработка программы управления вычислителем.

2.5 Выводы.

ГЛАВА 3. УМЕНЬШЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНОГО ДРЕЙФА, СВЯЗАННОГО С ВЛИЯНИЕМ ГРАДИЕНТА ТЕМПЕРАТУРЫ ВНУТРИ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО

БЛОКА.

3.1 Исследование влияния градиента температуры внутри измерительного блока на величину температурного дрейфа.

3.2 Структурные схемы модифицированного термоконтроллера с повышенной точностью измерения температуры.

3.3 Выводы.

ГЛАВА 4. ИНТЕРПРЕТАЦИЯ ПОЛУЧАЕМЫХ ДАННЫХ И РАЗРАБОТКА

МЕТОДИКИ КАЛИБРОВКИ ТЕРМОКОНТРОЛЛЕРА.

4.1 Методика определения температуры в BTC04NTF.

4.2 Методика определения температуры в модифицированном термоконтроллере.

4.3 Разработка методики калибровки модифицированного термоконтроллера.

4.4 Выводы.

ГЛАВА 5. АПРОБАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ.

5.1 Конструктивные особенности модифицированного термоконтроллера.

5.2 Исследование работы модифицированного термоконтроллера в составе прибора «ИНТЕГРА Терма».

5.3 Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование механизмов температурной нестабильности и разработка специализированных интегральных схем высокоточной термостабилизации для сканирующей зондовой микроскопии»

Для понимания свойств любого объекта необходимо знание его атомной структуры, поэтому исследование поверхностных структур - один из наиболее важных разделов физики поверхности. В настоящее время физика поверхностных явлений является одним из наиболее бурно развивающихся разделов науки. Фундаментальные исследования в этой области заложили основу для успешного развития современной микро- и наноэлектроники [1].

Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) способны как измерять рельеф с атомарным разрешением [2, 8, 9], так и модифицировать его [3-12], что позволяет рассматривать данные приборы как один из базовых инструментов нанотехнологии. Однако существует ряд проблем физического характера, накладывающих ограничения на функциональные возможности прибора. Например, одним из критических узлов современных СЗМ является система позиционирования зонда, на работу которой оказывают влияние многочисленные негативные факторы: термодрейфы, шумы, внешние акустические и механические вибрации, нелинейность, гистерезис, ползучесть (крип) и перекрестные помехи используемых пьезоманипуляторов. В результате уменьшается достоверность измерений, ухудшается точность и снижается предельное разрешение прибора.

В настоящее время задача получения корректного изображения рельефа поверхности решается посредством компьютерной обработки полученных данных с использованием компенсирующих или исправляющих моделей, а также посредством использования аппаратных средств пассивной или активной коррекции[ 13-15].

Аппаратные и программные методы подавления этих погрешностей обеспечивают уникальные возможности, связанные с созданием и отработкой процессов изготовления, исследования свойств наноэлектронных элементов, микро- и наноэлектромеханических систем и т.д. Уменьшение влияния погрешностей позволяет расширить спектр исследуемых характеристик микро- и наноструктур.

Цель работы - исследование механизмов температурной нестабильности и разработка специализированных интегральных схем, реализующих методы уменьшения температурного дрейфа зонда относительно образца в СЗМ.

Для достижения цели работы необходимо было решить следующие задачи:

1. Исследование современных методов уменьшения воздействия негативных факторов, влияющих на точность системы позиционирования.

2. Анализ возможных способов высокоточного поддержания температуры на образце, разработка, моделирование и реализация комплекса специализированных интегральных схем, работающих совместно с микроконтроллером общего назначения, выполняющих метод высокоточного поддержания температуры.

3. Исследование механизмов температурной нестабильности внутри электронных систем управления и считывания данных, влияющих на точность системы позиционирования.

4. Исследование и разработка метода уменьшения температурного дрейфа, связанного с влиянием градиента температуры внутри измерительного блока.

5. Разработка и апробация методики калибровки измерительной части термоконтроллера повышенной точности.

6. Экспериментальная апробация разработанных методов при создании термоконтроллера повышенной точности, работающего в составе со сканирующими зондовыми микроскопами «Интегра» и «Солвер некст».

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Разработана с использованием языка высокого уровня модель, описывающая способ высокоточного поддержания температуры на поверхности образца, реализуемый на основе системы специализированных микросхем.

2. Установлена и исследована зависимость температурного дрейфа кантилевера относительно образца в сканирующем зондовом микроскопе от температурной нестабильности блока обработки информации.

3. Предложен метод повышения точности измерения температуры исследуемого образца, базирующийся на термостабилизации измерительной части термоконтроллера сканирующего зондового микроскопа.

4. Предложена методика калибровки измерительной части термоконтроллера, обеспечивающая повышенную точность измерения температуры в расширенном диапазоне (от -200 до + 300 °С).

Практическая значимость работы заключается в следующем:

1. Разработанные в диссертации методы явились научно-технической основой для создания и серийного производства ЗАО «Нанотехнология МДТ» изделий ВТС01№СТ, ВТС015ШТ и ВТС05ШТ, работающих совместно со сканирующими зондовыми микроскопами «Солвер некст» и «Интегра».

2. Разработана программа для ЭВМ, позволяющая проводить расчет калибровочных коэффициентов и обеспечивающая повышение надежности и ускорение процесса калибровки термоконтроллера повышенной точности. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ №2010616230 от 20 сентября 2010г.

3. Разработанные в диссертации вычислительные модели управления микросхемами АЦП и ЦАП использованы при модернизации лабораторного практикума по учебной дисциплине «Проектирование полузаказных БИС», входящей в учебный план факультета электроники и компьютерных технологий МИЭТ.

На защиту выносятся следующие положения и результаты:

1. Предложенный метод реализации высокоточного поддержания температуры на поверхности исследуемого образца с использованием разработанной системы специализированных интегральных микросхем и микроконтроллера общего назначения, обеспечивающего выполнение операций с плавающей точкой в пропорционально - интегрально - дифференциальном алгоритме поддержания температур.

2. Разработанный метод стабилизации градиентов температуры внутри электронных систем управления и считывания данных, обеспечивающий уменьшение температурного дрейфа зонда относительно образца примерно в 8 раз.

3. Методика калибровки измерительной части термоконтроллера, обеспечивающая повышенную точность измерения температуры в расширенном диапазоне (от -200 до + 300 °С).

Апробация результатов работы.

Результаты работы докладывались на Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», ШТЕКМАТЮ - 2008 (Россия, Москва, 2008); Ш-й молодежной международной научной конференции «Тинчуринские чтения» (Россия, Казань, 2008); Всероссийской научно-практической конференции молодых ученых и специалистов «Приоритетные направления современной российской науки глазами молодых ученых» (Россия, Рязань, 2009); 52 -й научной конференции МФТИ «Современные проблемы фундаментальных и прикладных наук» (Россия, Москва, 2009); Всероссийской молодежной выставке - конкурсе прикладных исследований, изобретений и инноваций (Россия, Саратов, 2009); 17-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 2010" (Россия, Москва, Зеленоград, 2010); Международной молодежной научной конференции по естественнонаучным и техническим дисциплинам «Научному прогрессу - творчество молодых» (Россия, Республики Марий Эл, Йошкар-Ола, 2010)

Публикации.

По материалам диссертации опубликовано 12 работ, включая 2 статьи в изданиях, входящих в перечень ВАК, 1 свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ, 9 - в специализированном сборнике научных трудов, в материалах, сборниках научных трудов и тезисах докладов научно-технических конференций.

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения и двух приложений. Объем работы составляет 131 страницу, работа содержит 92 рисунка, 14 таблиц, список цитируемых источников из 109 наименований, приложения занимают 41 стр.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Пьянков, Евгений Сергеевич

5.3 Выводы.

Таким образом, в Главе 5 работы:

1. Рассмотрены конструктивные особенности разработанного термоконтроллера.

2. Экспериментально доказано, что использование разработанного термоконтроллера уменьшает скорость температурного дрейфа, по сравнению с исследованным прототипом при равных условиях измерений с 6,2нм/ч до 5,4нм/ч.

3. Экспериментально доказано, что введение внутренней термостабилизации измерительной части термоконтроллера позволяет уменьшить влияние температурного дрейфа на полученные результаты примерно в 8 раз.

4. Подтверждено улучшение воспроизводимости измерений температуры с помощью модифицированного термоконтроллера примерно в 2,5 раза.

Заключение.

Представленные в данной диссертационной работе результаты можно сформулировать следующим образом:

• Исследованы современные методы уменьшения воздействия негативных факторов, связанных с температурным дрейфом и влияющих на точность позиционирования зонда относительно образца.

• Предложен метод реализации высокоточного поддержания температуры, основанный на разработанной системе специализированных микросхем и микроконтроллере общего назначения, обеспечивающего вычисление операций с плавающей точкой в пропорционально - интегрально -дифференциальном алгоритме поддержания температуры.

• Исследовано влияние градиента температуры внутри измерительного блока на величину температурного дрейфа в сканирующей зондовой микроскопии, разработан метод измерения температуры на образце, характеризующийся повышенной точностью.

• Предложена методика калибровки измерительной части термоконтроллера повышенной точности.

• Разработана программа для проведения калибровки. Использование программы позволило упростить и ускорить процесс калибровки термоконтроллера, что уменьшило вероятность появления ошибок в данном процессе, связанных с человеческим фактором.

• Разработано устройство - термоконтроллер, реализующее предложенные методы уменьшения температурного дрейфа.

• Полученные в процессе выполнения работы результаты стали научно-технической основой для создания и серийного производства ЗАО «Нанотехнология МДТ» изделий ВТС01МХТ, ВТС015ШТ и ВТС05ЖР, работающих совместно со сканирующими зондовыми микроскопами «Солвер некст» и «Интегра», а также использованы при модернизации лабораторного практикума по учебной дисциплине «Проектирование полузаказных БИС», входящей в учебный план факультета электроники и компьютерных технологий МИЭТ.

В целом, разработаны методы, позволяющие уменьшить температурный дрейф зонда относительно поверхности исследуемого образца, на основе температурной стабилизации измерительной части электронной системы управления СЗМ, а также высокоточного поддержания температуры на образце с использованием пропорционально - интегрально - дифференциального алгоритма; методы работают совместно с уже известными способами уменьшения температурного дрейфа и реализованы с использованием разработанной системы специализированных микросхем.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Пьянков, Евгений Сергеевич, 2010 год

1. Бахтизин Р. 3. Сканирующая туннельная микроскопия новый метод изучения поверхности твердых тел Электронный ресурс. : электронный журнал. Режим доступа : http://www.pereplet.rU/obrazovame/stsoros/l 118.html. — 2010.

2. Быков В.А. Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования и модификации поверхностей: дисс. . докт. тех. наук // М., 2000. -С.393.

3. Barrett R. С., Quate С. F. Charge storage in a nitride-oxide-silicon medium by scanning capacitance microscopy // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 70. - P. 2725.

4. Mamin H. J., Rugar D. Thermomechanical writing with an atomic force microscope tip //Appl. Phys. Lett. 1992. Vol*. 61. - P. 1003.

5. Takimoto K., Kawade H., Kishi E., Yano K., Sakai K., Hatanaka K., Eguchi K., Nakagiri T. Switching and memory phenomena in Langmuir-Blodgett films with scanning tunneling microscope // Appl. Phys. Lett. -1992. Vol. 61'. P. 3032.

6. Kado II., Tohda T. Nanometer-scale recording on chalcogcnide films with an atomic force microscope // Appl. Phys. Lett: -1995. Vol. 66. P. 2961.

7. Yano K., Ikeda T. Stable bit formation in polyimide Langmuir-Blodgett film using an atomic-force microscope // Appl. Phys. Lett. -2002. Vol. 80. P. 1067-1069.

8. Неволин B.K., Коньков A.C. Растровый туннельный микроскоп //А.С. № 1471232 с приоритетом от 14 июля 1987.

9. Неволин В.К. СТМ для работы на воздухе // ПТЭ №5. -1988. -С. 240

10. Тимошенков С.П., Бойко А.Н., Симонов Б.М., Заводян А.В. Технологии вакуумной герметизации МЭМС // Известия высших учебных заведений. Электроника-2010- 1 (81).-С. 11-19:

11. Белов А.Н., Гаврилов С.А., Сагунова И.В., Тихомиров А.А. Чаплыгин Ю.А., Шевяков В.И. Тестовая структура для определения радиуса кривизны микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии // Российские нанотехнологии. 2010, № 5-6 , с. 95-98.

12. Belov A.N. , Gavrilov S.A., Sagunova I.V., Tikhomirov A.A., Chaplygin Yu.A., Shevyakov V.I.Test stucture to determine tip sharpness of micromechanical probes* of scaning force microscopy // Nanotechnologies in Russia. 2010, vol. 5, № 5-6, p. 377-381.

13. Лапшин Р. В. Способ измерения рельефа поверхности сканирующим зондовым микроскопом // Патент России № 217561. 1999

14. Лапшин Р. В. Способ коррекции искаженных дрейфом изображений поверхности, полученных на сканирующем зондовом микроскопе // Патент России № 2326367. 2008

15. Elings V. В., Gurley J. A., Rodgers М. R. Drift compensation for scanning probe microscope positioning system // U. S. Patent № 5077473. 1991.

16. Albrecht T. R., Akamine S:, Carver Т. E., Quate C. F. Microfabrication of cantilever styli for the atomic force microscope // J. Vac. Sci. Technol. A. 1990.Vol. 8: - P. 3386 - 3396;

17. Wolter O., Bayer Th., Greschner J. Micromachined silicon sensors for scanning force microscopy // J. Vac. Sci. Technol. B. -1991. Vol. 9. P. 1353-1357.

18. Пьянков Е. С. Оптимизация процесса производства и проверки кабельных соединителей в составе, сканирующего зондового микроскопа // Издательство саратовского университета,- сборник материалов. 2009. - С. 29.

19. Яминский И.В., Еленский В.Г. Сканирующая зондовая микроскопия: библиография (1982-1997) // М., «Научный мир». -1997. С. 318.

20. Magonov S.N., WhangboM-H. Surface analysis with STM and AFM: experimental and theoretical aspects of image analysis // WeinHeim; New York; Basel; Cambridge; Tokyo: VHC. 1996. -P: 318.

21. Гайнутдинов P.B. Атомно-силовая микроскопия' сегнетоэлектрических кристаллов ТГС: дисс. . канд. физ.-мат. наук. // . Ml,-2005. С 122.

22. Бухараев А.А., Овчинников Д.В., Бухараева А.А. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии (обзор) // Заводская лаборатория. -1997.-№5.-С. 10-27.

23. Meyer G., Amer N.M. Novel optical approach to atomic force microscopy // Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 53. -P. 1045 - 1047.

24. Martin Y., Williams С. C., Wickramasinghe H. K. Atomic force microscope-force mapping and profiling on a sub 100-A scale // J. Appl. Phys- 1987. Vol. 61. -P: 47234729.

25. Meyer G., Amer N.M., Erratum. Novel optical approach to atomic force microscopy // Appl. Phys. Lett. -1988. Vol. 53. -P. 2400 2402.

26. Mate С. M., McClelland G. M., Erlandsson R., Chiang S. Atomic-scale friction of a tungsten tip on a graphite surface // Phys. Rev. Lett. 1987. Vol. 59. -P. 1942-1945.

27. Dtirig U., Gimzewski J. K., W. Pohl D. Experimental Observation of Forces Acting during Scanning Tunneling Microscopy // Phys. Rev. Lett. -1986. Vol. 57. -P. 2403.

28. Binnig G., Smith D. P. E. Single-tube three-dimensional scanner for scanning tunneling microscopy // Rev. Sci. Instrum. -1986. Vol. 57. -P. 1688 -1689.

29. Hicks T.R., Atherton P.D. The nanopositioning book: moving and measuring to better than a nanometer // Berkshire, England: Queensgate Instruments/Penton Press. -1997.

30. Edwards H., McGlothlin R., U Elisa. Vertical metrology using scanning-probe microscopes: Imaging distortions.and measurement repeatability // J. Appl. Phys. 1998: Vol. 83.-P. 3952-3971.t

31. Бухараев A.A. Диагностика поверхности с помощью сканирующей туннельной микроскопии (обзор) // Заводская лаборатория. -1994. № 10. - С. 15 - 26.

32. Okayama S., Kajimura К., Watanabe S., Honma A. High resolution piezoelectric actuator for STM // J. Japan. Soc. Precis. Eng. -1988. Vol. 54. -P. 817 821.

33. Griffin J.E., Grig D.A. Dimensional metrology with scanning probe microscopes // J. Appl. Phys-1993. Vol. 74. -P. R83 -R109.

34. Ge P., Jouaneh M. Tracking control of a piezoceramic actuator // IEEE Trans. Control. Syst. Technol. -1996. Vol. 4. -P. 209 216.

35. Ge P., Jouaneh M. Modeling hysteresis in piezoceramic actuators // J. Am. Soc. Precis. Eng. -1995. Vol. 17.-P. 211-221.

36. Xu Y., Smith ST., Atherton P.D. A metrological scanning force microscope // J. Am. Soc. Precis. Eng. -1996. Vol. 19. -P. 46 55.

37. Pohl D.W. Some design criteria in scanning tunneling microscopy // IBM J. Res. Dev. -1986. Vol. 30, № 4, -P. 417.

38. Wei Y., Wilson I. H., Webb R. P. The surrey STM: Construction, development, and evaluation of a scanning tunneling microscope // Rev. Sci. Instrum-1991. Vol. 62, № 12. -P. 3010.

39. Libioulle L., Ronda A., Taborelli M., Gilles J. M. Deformation and nonlinearity in scanning tunneling microscope images // J. Vac. Sci. Technol. B. -1991. Vol. 9. -P. 655.

40. Stoll E., Marti O. Restoration of scanning-tunneling-microscope data blurred by limited resolution, and hampered by 1/f-like noise // Surf. Sci., -1987. Vol. 181, -P.222.

41. Griffith J. E., Grigg D. A. Dimensional metrology with scanning probe microscopes //J. Appl. Phys. -1993. Vol. 74, № 9. -P. 83.

42. Миронов В. JI. Исследование и модификация локальных свойств тонкопленочных структур: дисс. . канд. физ.- мат. наук. -Нижний Новгород, -2001.-С. 153.

43. Brushan В. Handbook of Nanotechnology // В. Brushan, ed.-2003. -P.1222.

44. Fukuma Т. Development of low noise cantilever detection sensor for multienvironment frequency-modulation atomic force microscopy // Rev. Sci. Instrum. -2005. Vol. 76. -P. 053704.

45. Поляков В. В. Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп, совместимый с базовыми методами нанотехнологий: дисс. . канд. тех. наук. -М., -2009. -С. 110.

46. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии // Учебное пособие для студентов старших курсов^ высших учебных заведений. -Нижний Новгород.-2004.-С. 110.

47. Быков В.А., Кузнецов Е.В., Пьянков Е.С. Уменьшение влияния температурного дрейфа в сканирующей зондовой микроскопии // Известия< высших учебных заведений. Электроника -2010 5 (85). - С. 75-80.

48. Крупкина Т. Ю., Пьянков Е. С., Алексеев,А. А., Измайлов Д. А. Улучшение системы позиционирования в сканирующей зондовой микроскопии // Известия высших учебных заведений. Электроника 2010 - 6 (86). - С. 78-80.

49. Пьянков Е. С. Модернизация аппаратной обработки обратной связи в сканирующем зондовом микроскопе // 52 -я научная конференция МФТИ, «Современные проблемы фундаментальных и прикладных науюяо 2009. - С. 125.

50. Picotto G.B., Desogus S., Lanyi S., Nerino R., Sosso- A. Scanning tunnelingmicroscopy head having integrated capacitive sensors for calibration of scanner displacements // J. Vac. Sci. Technol. B. 1996. Vol. 14. -P. 897-900.

51. Technol. B. -1989. Vol. 7. P. 1898 - 1902.

52. Yamada H., Fujii T., Nakayama K. Linewidth measurement by a new scanning tunneling microscope // Jpn. J. Appl. Phys. -1989: Vol. 28. P. 2402 -2404, 115.

53. Schneir J., McWaid Т.Н., Alexander J., Wilfley B.P. Design of an atomic force microscope with interferometric position control // J. Vac. Sci. Technol. B. 1994. Vol. 12.-P. 3561 -3566.

54. Fujii T., Yamaguchi M., Suzuki M. Scanning tunneling microscope with three-dimensional interferometer for surface roughness measurement // Rev. Sci. Instrum. -1995. Vol. 66. P. 2504 - 2507.

55. Miller J.A., Hocken R., Smith S.T., Harb S. X-ray calibrated tunneling system utilizing a dimensionally stable nanometer positioner // Precision Eng. 1996. Vol. 18. -P.95 - 102.

56. Colchero L., Colchero J., Gomez Herrero, Prieto J. E., Baro A., Huang W.H. Comparison of strain gage and interferometric detection for measurement and control of piezoelectric actuators // Materials Characterization. 2002. Vol. 48. - P. 133-140.

57. Barrett R.C., Quate C.F. Optical scan correction system applied to atomic force microscopy // Rev. Sci. Instrum. - 1991. Vol. 62, № 6. - P. 1393.

58. Zhang H., Huang F., Higuchi T. Dual unit scanning tunneling microscope atomic force microscope for length measurement based on reference scales // J. Vac. Sci. Technol. B. -1997. Vol. 15, № 4. - P. 780.

59. Griffith J.E., Miller G.L., Green C.A., Grig D.A., Russel P.E. A scanning tunneling microscope with a capacitance-based position monitor // J. Vac. Sci. Technol. B. 1990. Vol. 8.-P. 2023 -2027.

60. Jusko O., Zhao X., Wolff H., Wilkening G. Design and three dimensional calibration of a measuring scanning tunneling microscope for me-trological applications // Rev. Sci. Instrum. 1994. Vol. 65. - P. 2514 - 2518.

61. Продукция НТ-МДТ Электронный ресурс. : сайт компании ЗАО «НТ-МДТ». — Режим доступа : http://vyww.ntmdt.ru/products. —2010.

62. Misumi I., Gonda S., Kurosawa Т., Takamasu K. Uncertainty in pitch measurements of one-dimensional grating standards using a nanome-trologicabatomic force microscope // Meas. Sci. Technol. 2003. Vol. 14. - P. 463 -471.

63. Franks A. Progress towards traceable nanometric surface technology // Nanotechnology. 1993. Vol. 4. - P. 200 - 205.

64. VLSI Standards STM-1000A № 2344-009-023.

65. Brand U., Hillmann W. Calibration of step height standards for nanometrology using interference microscopy and stylus profilometry // Prec. Eng. 1995. Vol: 17. - P. 22 -33.

66. Kerssemakers J. Concepts of interactions in local probe microscopy // Netherlands: Groningen University. 1997. - P. 164.

67. Plomp M., Buijnsters J.G., Bogels G., van Enckevort W. J. P., Bollen D. Atomic force microscopy studies on* the* surface morphology of {111} tabular AgBr crystals // J. Cryst. Growth. 2000. Vol: 209. - P. 911 - 923.

68. Cui N.-Y., Brown N.M.D., McKinley A. An exploratory study of the topography of a Cdl2 single crystal using AFM // Appl. Surface Sci. 1999. Vol'. 152. - P. 266-270.

69. Campbell P.A., Sinnamon L.J., Thompson C.E., Walmsley D.G. Atomic force microscopy evidence for K+ domains on freshly cleaved mica // Surface Sci. Lett.-1998. Vol. 410. P. L768 - L772.

70. Besocke K. An easily operable scanning tunneling microscope // Sufr. Sci. 1987. Vol. 181,№ 1-2.-P. 145.

71. Hermesen J. G. H., Van Kempen H., Nelissen B. J., Soethout L.L., G. F. A. Van de Walle G. F. A., Weijs P .J.W., Wyder P. New mechanical constructions for the scanning tunneling microscope // Surf. Sci. 1987. Vol. 181, № 1-2. - P. 183.

72. Gregory S., Rogers С. T. High speed scanning tunneling microscope // U. S. Patent №4814622. 1989.

73. Lyding. J. W. Variable temperature scanning tunneling microscope // U. S. Patent № 4841148. 1989;

74. Blackford. B. L., Dahn D. C., Jericho M. H., High stability bimorph scanning tunneling microscope // U.S. Patent № 4894537. 1990.

75. ИНТЕГРА Терма — НТ-МДТ Электронный ресурс. : сайт компании ЗАО «НТ-МДТ». — Режим доступа : http://www.ntmdt.ru/device/ntegra-therma. —2010.

76. Robinson R. S. Method and apparatus for correcting distortions in scanning tunneling microscope images // U.S. Patent № 5107113. 1992.

77. Yurov V. Y., Klimov A. N. Scanning tunneling microscope calibration and reconstruction öf real image: Drift and slope elimination//Rev. Sei. Instrum. 1994. Vol. 65, №5. P. 1551.

78. Липок В.И., Литюк JI.В. Методы цифровой многопроцессорной обработки ансамблей радиосигналов // Москва СОЛОН-ПРЕСС. 2007. - С.3-4.

79. Бухтояров G.G. Удаление шума из изображений нелинейными цифровыми фильтрами на. основе ранговой статистики: дисс. . канд. тех. наук // Ярославль. -2007.-С.184

80. Грузман И.С. Двухэтапная фильтрация бинарных изображений // Автометрия: — 1999. №3.

81. Грузман И.С., Микерин В.И., Сиекгор A.A. Двухэтапная фильтрация изображений на основе использования: ограниченных данных // Радиотехника, иг электроника. 1995. №5.

82. Максфилд К. Проектирование на ПЛИС. Курс молодого бойца.// М.: Издательский дом «Додэка XXI». 2007. - С. 408

83. Bulk Metal ® Foil1 Resistors. Vishay Электронный- ресурс. : Device Datasheet.

84. Режим доступа : http://www.digikey.com/WebExport/Supplier

85. Content/VishavPrecisionGroup 804/PDF/VishavPG Brochure.pdf. -2010.

86. Datasheet SHTlx. Humidity and Temperature Sensor.Электронный ресурс. : Device Datasheet. Режим доступа : http://www.sensirion.com/en/pdf/product information/Datasheet-humidity-sensor-SHTlx.pdf. — 2010.

87. Temperature Sensors HEL 700 Электронный.ресурс. : Device Datasheet: Режим доступа : http://sensing.honevwell.com/index.cfm7ci id=133870&type=doc&docld=l 02974. — 2010.

88. Гордов, A. H. Основы температурных измерений // M. : Энергоатомиздат. -1992.

89. International standard.Электронный ресурс. : Международный стандарт. Режим доступа : http://electric-alipapa.ru/data/IEC/IEC 60751 Industrial platinum resistance thermometer Sensors.pdf. -2010.

90. Виленкин H. Я. Метод,последовательных приближений // М.:Наука. 1966.

91. Самарский А. А., Гулин А.В: Численные методы // М.:Наука. 1989.

92. Щуп» Терри Е. Прикладные численные методы в физике и технике // М.: ВысшаяШкола. -1990.

93. Зимин Г.Ф. Поверка и калибровка термоэлектрических преобразователей. // М.:АСМС. 2002.

94. Шор. Я. Б. Статистические методы анализа и контроля качества и надежности. // М.':Госэнергоиздат. 1962. - С. 552.

95. Измайлов Д. А., Пьянков Е.С. Программа расчета калибровочных коэффициентов для термоконтроллера повышенной точности // Свидетельство огосударственной регистрации программы для ЭВМ №2010616230. 20 сентября 2010г.