Исследование контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и его применение в источниках ионов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.12.10, кандидат технических наук Журавлев, Борис Иванович

• Журавлев, Борис Иванович
• кандидат технических наук
• 1983

Оглавление диссертации кандидат технических наук Журавлев, Борис Иванович

Введение. б

Глава 1?. Особенности генерации заряженных частиц в газовых разрядах низкого давления,* перспективных для ионных источников технологического назначения . v V :.ц v . XI I.I. Пути повышения эффективности генерации заряженных частиц при низких давлениях V II I.I.I. Разряд в поперечном магнитном поле . . 13 1^1.2. Свойства контрагированного разряда v . 16 I.I.3, Разряд с термокатодом,контрагированный кольцевой щелью с радиальным магнитным полем в ней v

1.2; Газоразрядные источники интенсивных ионных пучков на основе рассмотренных разрядов . v

1.2 Д. Плазменные ускорители с замкнутым дрейфом электронов

Iv2.2. Дуоплазматрон и дуопигатрон . . . . 37 I.2V3. Источник ионов на основе разряда с термокатодом, контрагированного кольцевой щелью с радиальным магнитным полем электронов в ускоряющем промежутке ;

1.2.4. Источник ионов с замкнутым дрейфом

Глава 2J% Исследование контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов . 53 Исследование перехода к самостоятельному режиму контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов *■.• 54 2.2v Структура разряда ;> кон тегированного в скрещенных электрическом и магнитном полях с холодным полым катодом v . v

2.2.1. Техника эксперимента ■.

2;;2.2. Результаты экспериментов

2.2.3v Обсуждение экспериментальных результатов . 77 2.3; Механизм генерации заряженных частиц в разряде, контратированном в скрещенных полях, с холодным катодом ; v

2А\ Свойства разряда с холодным полым катодом как эмиттера ионов

Вывода.

Глава У'к Расчетная модель разряда, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях, с холодным полым катодом ^

3.1. Расчетные соотношения

3.2. Определение коэффициентов . 101 3.3V Расчет внешних характеристик разряда и их сравнение с экспериментом . . . 107 Выводы

Глава 4. Проектирование эмиттера для источников ионов на основе разряда с холодным полым катодом,5 контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях v v . 123 4.1. Ikсчет геометрии электродов разрядной

4.1.1. Размеры катодной полости и системы извлечения.

4.1.2. Геометрия контрагирующей щели . 1129 4;2. Методика инженерного расчета источника ионов на основе разряда,1 контрагированного в скрещенных полях,' с холодным полым катодом f.

Выводы

Глава 5v Источники ионов на основе контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и их применение для технологических операций в вакууме . v . . . 153 5.Xv Источник ионов на основе разряда с холодным полым катодом,' контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях.

5.I.X. Конструкция источника ионов . . . . . 154 5.1.2. Принцип действия и характеристики источника ионов

5.2;. Источник ионов на основе разряда с термокатодом,' контрагированного в скрещенных полях.

5.2.1 v Источник ионов инертных газов . v 165 5.2-.2. Источник ионов металлов . 1*70 5.3. Рекомендации по применению разработанных источников ионов . . i

Вывода.v ;

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и его применение в источниках ионов»

Прогресс современной микроэлектроники в направлении уменьшения размеров элементов до микронного и субмикронного диапазонов требует нового, более совершенного, технологического оборудования на базе ионнолучевой обработки материалов в вакууме [i - 4] . Наиболее ответственным звеном такого оборудования являются источники ионных пучков, которые в значительной мере определяют его производительность и экономичность; качество выпускаемых изделий, а также диапазон реализуемых технологических операций.

Источники ионов кроме традиционного обеспечения высоких газовой и электрической экономичностей, надежности и простоты эксплуатации [ I ] i должны удовлетворять специальным требованиям технологического процесса.

Для ряда применений (травление маскированных пленок при изготовлении интегральных схем и фотошаблонов, очистка подложек и т.п.) требуются сплошные ионные пучки площадью в десятки и сот2 ни см с равномерным распределением плотности тока ионов ~ I мА/ см2 по сечению пучка в непрерывном режиме [ 3 - 12] <;

Выходные параметры источников главным образом определяются возможностями эмиттера ионов, в качестве которого обычно используется разряд с термокатодом. Высокоэффективным эмиттером ионов является разряд, контрагированный в скрещенных электрическом и мапштном полях, [5-7] совмещающий достоинства сжатого разряда и разряда с замкнутым дрейфом электронов. Наличие термокатода в источниках ионов ограничивает область их применения химически инертными средами.

Для повышения производительности и качества ряда технологи-i ческих операций, например: снятие маскирующих слоев в производстве микросхем, осакдение изолирующих пленок и др^,- требуются пучки ионов активных газов [ 11,12] -. Известных источников и эмиттеров ионов, отвечающих комплексу перечисленных требований, нет£Л1оэтому создание эффективного эмиттера ионов активных газов является актуальной задачей и расширит возможности ионнолучевой технологии в микроэлектронике,оптическом приборостроении и др;е

При решении этой задачи целесообразно реализовать такие преимущества вышеуказанного разряда с термокатодом,как высокая степень ионизации рабочего шза и расходящийся интенсивный поток ионов в направлении эмиссионного электрода которые достигаются за счет замкнутого дрейфа электронов в области повышенного давления и отбора ионов с катодной стороны разряда-. Низкое давление т ^ 10 Па)в области катода позволяет формировать эмиссионную поверхность большой площади и транспортировать к ней ионы практически без потерь.1 Такая схема построения эмиттера ионов делает проблематичным переход к самостоятельному разряду с холодным катодом и требует решения вопроса/ связанного с генерацией ионизирующих электронов при столь низком давлении в области катодаv Для рационального применения разряда в качестве эмиттера ионов необходимо знать его структуру,условия образования ионов и их выхода на границу токоотбора^ Проектирование источников ионов значительно упрощается,- если разработать расчетную модель разряда,устанавливающую взаимосвязь выходных параметров с геометрией электродов и условиями в разрядной камере^

Основное направления диссертационной работы сформулированы следующим образом:

8 ! : : .

- экспериментальное исследование перехода к самостоятельному разряду с холодным катодом в электродной системе с кольцевым магнитным зазором в промежуточном электроде;

- экспериментальное исследование условий существования, структуры и параметров разряда с холодным катодом;

- разработка расчетной модели разряда и, на ее основе, методики инженерного расчета эмиттера ионов с холодным катодом;

- разработка и совершенствование источников ионов различных веществ, включая ионы активных газов и тугоплавких металлов, на основе проведенных исследований и их внедрение в производство.

В ходе работы применялись следующие методы исследований:систематический анализ и обобщение литературных данных с целью использования последних достижений и выявления перспектив развития; методы электростатических зондов и задерживающего потенциала при экспериментальном исследовании параметров разряда, а также методы обработки зондовых и тормозных характеристик; различные аналитические методы с использованием средств вычислительной техники.

На защиту выносятся следующие основные научные положения и результаты: I. Переход к самостоятельному разряду в эмиттере ионов с [ кольцевой контрагирующей щелью в промежуточном ялектроде при ( отборе ионов в вакуум с катодной стороны сужения разряда достиг гается за счет размножения электронов как в катодной полости при ее линейных размерах, превышающих ширину щели более чем на порядок, так и в щели при увеличении радиального магнитного поля в ней, и подключения промежуточного электрода к катоду,

2:. Минимальная "цена иона в разряде" с холодным полым катодом," контрагированном кольцевой щелью с радиальным магнитным полем в ней,1 обеспечивается при определенном соотношении энергетических затрат на образование ионов одним ионизирующим электроном в катоде и в щели,' которое регулируется параметром Холла, харак-) теризующим степень замагниченности ионизирующего электрона в ще-j ли1;

У; Оптимизирующим геометрическим фактором на получение максимальной электрической экономичности разряда является отношение глубины контрагирующей щели к ее ширине. Увеличение электрической экономичности за счет снижения потерь ионов на стенках щели при уменьшении отношения ограничено переходом к однокаскадной схеме размножения электронов с более высокой "ценой иона в разряде"^

4. Совокупность высоких электрической и газовой экономично-стей, интенсивности пучка ионов активных газов, равномерности распределения плотности тока ионов по сечению пучка большой площади обеспечивается источниками ионов при использовании в них для генерации заряженных частиц контрактованного разряда с замкнутым дрейфом электронов с холодным полым катодом.

5. Высокие коэффициент использования рабочего вещества и содержание ионов тугоплавких металлов в пучке обеспечивают источники ионов на основе контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов за счет катодного распыления требуемого металла непосредственно в зону интенсивной генерации ионов при размещении его на центральном стержне в области сжатия разряда и подаче на стержень отрицательного потенциала относительно катода.-В первой главе рассматриваются особенности разрядов, перспективных для технологических источников интенсивных ионных пучков большой площади поперечного сечения, конструкции и параметры источников на основе таких разрядов, определяются основные направления работыг.

Вторая глава посвящена экспериментальному исследованию перехода к самостоятельному разряду с холодным катодом, исследованию структуры и эмиссионных свойств разряда с холодным катодом, обоснованию механизма генерации заряженных частиц в разряде.

Третья глава посвящена разработке расчетной модели разряда, расчету внешних характеристик разряда и их сравнению с экспериментальными даннымиv

В четвертой главе предложена методика инженерного расчета геометрических размеров электродов разрядной камеры, определяющих образование ионов и их выход в пучок, а также выбор режима работы источника ионов.

В пятой главе приводятся конструкции и выходные параметры источников ионов технологического назначения, разработанные в результате проведенных исследований, и основные результаты их внедрения в производство'.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и специальное оборудование», Журавлев, Борис Иванович

Выводы

I. Разработан алгоритм расчета основных характеристик раз

Рис. 4.И

К выбору режима работы источника ионов ряда ,-определяюпшх его эмиссионные свойства,1 в зависимости от геометрии электродов и условий в разрядной камере*. Предложена методика расчета размеров электродов,1 образующих кольцевую конт-рагирующую щель/ основанная на обеспечении максимальной электрической экономичности эмиттера для источников ионов на основе исследуемого разрядам

2/ Оптимизирующим геометрическим Фактором на получение максимальной электрической экономичности разряда является отношение глубины контрагарующей щели к ее ширине/ Снижение электрической экономичности с уменьшением отношения от оптимального связанос преобладающим ростом "цены иона в разряде" над увеличением доли ионов/ выходящих в вакуум/ а с увеличением отношения - доля ионов, выходящих в вакуум/ уменьшается быстрее/ чем изменяется "цена иона в разряде"1.

3/ Увеличение газовой экономичности за счет разрядного тока ограничено существенным снижением электрической экономичности из-за роста параметра Холла,' обусловленного разрежением ионнообразу-ющего газа в анодном каскаде.1

41/ Проведен тепловой расчет электродов," образующих контраги-рующую щель,! и представлен в виде расчетных соотношений и графиков, позволяющих проверить соответствие определенных размеров щели рассеянию мощности в электродаху

5:; Предложена методика инженерного расчета источника ионов на основе исследуемого разряда, приведен алгоритм расчета. Рабочую точку по электрическим параметрам следует выбирать на участке излома (перед резким уменьшением) зависимости электрической экономичности от разрядного тока.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Журавлев, Борис Иванович, 1983 год

1. В данной главе приводятся конструкции,1 выходные и эксплуатационные параметре источников ионов на основе исследованного разряда,1 рассматриваются результаты их применения.

2. Источник ионов на основе разряда с холодным полым катодом, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях

3. I.I Конструкция источника ионов

4. На рис.5.1 представлена конструкция источника ионов на основе разряда, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях 114, 139, 140 . .

5. Разрядная камера включает катод I и кольцевой анод 2. Стер1. Рис.5.I

6. Изоляторы 12,ТЗ одновременно служат и для герметизации разрядной камеры.

7. В электродах Т, 2, 3, 5, 8, II имеются каналы для принудительного водяного охлаждения. Рабочий газ напускается в разрядный промежуток через канал во Сланце 5.

8. На рис/5/2 схема электрического питания источника ионов с холодным полым катодом.

9. Источник работает следующим образом.

10. После зажигания разряда с полым катодом напряжение горения составляет I300 В и магнитное поле в щели можно уменьшить до 5» 0,04 Тл при сохранении структуры и достоинств контрагированного разряда ПО, III, II3,; 114. .

11. Отбор ионов из разрядной плазмы, их Формирование в пучок и ускорение до необходимых энергий осуществляется электрическим полем при подаче высокого напряжения между эмиссионным 9 и ускоряющим 10 электродами/

12. Испытания источника ионов проводились в непрерывном режиме для аргона и кислорода'.1. C\J1. Вид сверлу 5ез поз JбОотб.

13. Размещение апертур в системе извлечения

14. Характеристики извлечения I кислород, 2 - аргон

15. Источники ионов на основе разряда с термокатодом, контрагированного в скрещенных полях

16. Конструкция источника ионов на основе разряда с термокатодом, контрагированного в скрещенных полях, 142. представлена на рис.-5.5.

17. Источник ионов инертных газов1. Рис.5, б

18. Волътамперная характеристика разряда1.,А 0,20,1 О1. Характеристика извлечениятоке 2,5 А, напряжении на разряде 140 В.52.2. Источник ионов металлов

19. Рис*. 5; 9 Источник ионов металлов

20. Рис.5.К) Характеристика извлечения1л1. ОД 0,60,50,40,3 0,2 0,1От 200 300 400 500 и, В1. Рис. "5.II

21. Зависимость отношения тока ионов металла к току сопутствующих ионов газа от потенциала распыляемой мишени

22. Очевидно,- что данный источник позволит получать ионы других > металлов/ из которых можно изготовить наконечник и которые сохраняют твердое агрегатное состояние при температуре до 300°С.

23. Источники ионов инертных 142 . и активных [ТХ4/ 139 ]газов разработаны с целью их использования в технологических операциях на основе ионнолучевого распыления материалов в вакууме .

24. Скорость травления хрома составила 30 нм/ мин, и окиси железа 60 нм/мин в первом режиме. Снижение энергии ионов во втором режиме требуется для поддержания размеров элементов (уход размеров допускался в пределах 0,1-0,2 мкм).

25. Разработанные источники ионов внедрены на ряде предприятий для различных технологических процессов. Экономический эффект от внедрения составил в 1983 году более 200 тыс.рублей,1. Выводы

26. Разработан источник ионов различных металлов, включая тугоплавкие, на ток пучка ионов металла и сопровождающего газа 0,2 А с энергией до Ю кэВ при содержании ионов металла до 40% и коэффициенте использования рабочего вещества (металла) до ЗС

27. Усовершенствован источник ионов инертных газов на основе разряда с термокатодом, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях, что повысило его надежность и эксплуатационные качества.

28. Основные результаты диссертационной работы по исследованию контрагированного разряда с замкнутым дрейфом электронов и разработке источников ионов на его основе заключаются в следующем:

29. Разработана методика инженерного расчета эмиттера ионов на основе разряда с холодным катодом, позволяющая определитьоптимальную геометрию электродов разрядной камеры на обеспечение максимальной электрической экономичности эмиттера.

30. Разработанные источники ионов предназначены для осуществления технологических операций на базе ионнолучевой обработки материалов в вакууме, успешно применяются на ряде предприятий.

31. Экономический эффект от их внедрения в производстве в 1983 году составил более 200 тыс.рублей.

32. Основное содержание диссертации отражено в работах 5, 95-99, II0-II5, 139-152, 155-157 . и защищено авторскими свидетельствами [l39, 147, 156] .

33. X. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов.-И.: Атомиздат, 1972. 304с.

34. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Под ред. Р.А.Нилиндера.- М.: Энергая, 1972.

35. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Ионное травление в технологии ИС.-Электронная промышленность, 1975, © I, с.74.

36. А.с. № 461709 С COOP ). Источник ионов / В.А.Никитинский, А.С.Захаров.- Заявл. 19.07.73, & 194612/26-25; Опубл. в Б.И., 1976, № 27, МКИ Н 01 П 3/04.

37. Захаров А.С. Разряд, контрагированный в скрещенных электри -ческом и магнитном полях, для плазменных источников ионов.: АвтореФ. дис. канд. техн. наук. Л., 1978. - 18с.

38. Гребенников А.А., Сухарев Ю.Г. Оборудование для плазменного травления. Одесса, 1976. - фкоп.предст. Одесским политехи, ин-том. Деп. в ВИНИТИ, 1976, № 2518-76.

39. ГольдФарб В.А., Дикарев Ю.И., СЬшоров В.Ф., Толстых Б.Л. Исследование технологии плазмо-химического травления. Электронная промышленность, 1975, № 10, с.39.

40. Гришин С.Д., Косогоров А.В., Марахтанов М.К., Оуслов Н.И. Использование плазменного ускорителя с замкнутым дрейфомэлектронов для ионной очистки поверхностей. Электронная обработка материалов, 1978, № б, с.72.

41. Гребенников А.А., Сухарев Ю.Г. Ионно-плазменное травление полупроводников, диэлектриков и металлов. Одесса, 1976. - Ру-коп. предст. Одесским политехи, ин-том. Деп. в ВИНИТИ, 1976, » 2519-76.

42. Рак S,, Sites O.R. B?oad Beam Ion Sousce Operation with Fou? Common Gases. Rev. Sci. Inst?um., 1980, p. 556

43. Bickes I?. R.W., Bacon P.M., D'Hagan IB. &as Discharge Ion Sou гее. iTt. Modified BezkeEey MuHifiBament Ion Source.- Rev. Sci. Inst гит., 19?S,

44. Кулыгин B.M., Панасенков A.A., Семашко H.H., Чухин И.А. Ионный источник без внешнего магнитного ноля ИБМ. Журн.техн. Физ., 1979, т.49, » I, с.168.

45. Семашко Н.Н., Владимиров А.Н., ^знецов В.В. и др. Инжекторы быстрых атомов водорода. М.: Рнергоиздат, 1981.

46. Кулыган В.М., Малахов Н.П., Панасенков А.А., Семашко Н.Н. Сильноточные ионные источники без внешнего магнитного поля

47. ИБМ ). В сб.: Тез.докл. 4 Всесоюз.конФ. по плазм.ускорит.и ионным инжект. М., 1978, с.III.

48. J7. Pat. 3,156, 090 (USA). Ion Rocket /HazoEd R.Kaufman.-Assign. tS.09.61., a/s 159,00?; PuB. Ю. 11.64, CB 60-35J

49. Ж Leung КЛ, Co№e? R.D., №2Shalt L.B., GatBahez I.N. et at. Chamctezisties of a muttidipoEe Ion Souzce.- Rev. Sci.1.sUum.t 1№, vM, p.3Zi

50. A.c. P 547873 С СССР ). Источник ионов / Лаврентьев О.А.,

51. Stilting W.L., Tsai C.C., Ray an P.M. /5-cm Duopigatzon1.n Source. Rev. Sci. Instzum., 1977, 4.p. 535

52. Гришин С. Д., Ерофеев B.C., Жаринов A.B. Ускорители с замкнутым дрейфом электронов. В кн;: Плазменные ускорители./ Под ред'.- Л.А. Арцимовичау М., 1972, су54

53. Системы с замкнутым дрейфом электронов. В сб.: Тез.докл. 4. Всесоюз.конф. по плазмен.ускорит, и ионным инжект. М. ; 1978, с.21

54. Морозов А.Й., Кислов А.Я., Зубков И.П. Сильноточный плаз -менный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов. Письма в 1ЭИ, 1968, т. 7, Ь 7, С.224

55. Ерофеев В;С., Лесков Л.В. Холловский ускоритель плазмы с анодным слоем. В кн.: Физика и применение плазменных ускорителей./ Минск, 1974, с.18

56. G-eHzt £ et at. Pzoced of the Second Symposium onion

57. Sousces and Formation of Ion Seems r&ezketey, CaBifozniQ, /974

58. Okamoto K, Tamagawa H. Pzoofuction of Lazqe Azea High Cuzeent Ion Seams.-Rev. Sci. Inst гит., 1972, <л 43 Ns&t p. //93

59. OkamotoX, Tamagawo H. Some Features of on EEectzon Cyctotzon Resonance Piasma Produced by Means of a Lisiiano-CoLB. Jap. 1 Appt. Phys., /972, к //, №-5, p.726

60. Sakudo A/., Tokiguchi K., KoLkl H., KanomataL Miczowave1.n Souzce.-fiev. Sci.lnsUum/977, N°7tp. 76£

61. Сербинов A.H., Мэрока В.И. Высокочастотный ионный источник с сотовой системой вытягивания. Приб, и техн. эксперим., I960, Ш 5, с.27

62. Дьячков Б.А., Насонов А.В. Сильноточный высокочастотный ионный источник. Приб. и техн. эксперим., 1966, & 4, с,32

63. Дьячков Б.А., Зарянкин Н.И., Логунов В.И., Басонов А.В. Высокочастотный источник ионов малой энергии. Приб. и техн. эксперим., 1978, Ш 2, с,191

64. Phillips &.E.S. Ргос. Roy. Son., H9i ( v. А64, p. /7£

65. PhiBBLps Or.E.S- PhyB. Tzons. Roy.Зое., WDi^.A/97, p. /35

66. Penning P.M. Physica, /037, v. 4t p.7/

67. Hnauez W. J. Appt. Phys., /9621 v. 33,р.Л093

68. Schuuzman W. Invastigatlon of q Low Pzessuze Penning

69. Dischazqe. -Physica , /967, v, 36, p. /36

70. Крейндель Ю.E. Электронный ток на выходе трубки типа Пеннин-га. Нурн.техн.физ., 1963, т.33, Л 7, с.883

71. Крейндель Ю.Е.у Ионов А.С. Некоторые особенности разряда в трубках типа Пеннинга при низких давлениях; 2урн;техн-. Физ/V 1964, т/34, C.XI99

72. Крейндель Ю-.Е. Эффективное извлечение электронов из моди -Фипированного разряда Пеннинга/ Журн.техн;Физ., 1966,т.36, с/903

73. Сужение газоразрядного прибора низкого давления. Электр/ техн/ Сер.З. Газоразрядный приб./ Х97П, р 3fl9), c.4IбТ» WqssbzqB Th. Die DoppeBschiehtspennunq l/on Nidezdzuck-gQsentBQndunq.-Z.Qngew.Phys., /964, &d./6, №6,s. М/

74. Andzews Vazey A.H. Sou zee о J £Bectzons in q Seteded Enezgy RongB. Natuze, /9?Dt v.2251 №522.9, p, 2?D63/ Andzews l.Cr.t ABB en IB, Thaozy of Dou&Be Sheath Between two PBasmas. Pzoc. Pov. Soc.t /Q?{, v. A 520, p. 459

75. Грановский В.JI. Электрический ток в газе. Установившийся ток/ Под ред. Л;.А.Сена и В.Е.Голанта; М.:Наука, 1971, - 543 с.

76. Tonks L.r Tzons. EBectzochem, Soc., /937, v. 72, p, /6?

77. Грановский ВД.у Суетин T.A. Генерация мощных электрических колебаний в разряде низкого давления. Лурн/техн.Физ./ 1946,' t.I6, 1 12, с/1П23

78. Atdenne M. U&ez &ine Unoptasmatzon -lonenfyueEEe mit KteLnen Abmessung&n. ~ Epte. Techn. Pht/s., 4965, v. 44, a!с4,рЛ6

79. Azdenne M., ShiEEez S. Kezpenezgie t 1959, v. Л, S. £95

80. Могдап O.&., КвВВеу Davie R.c. Technology of Zntencs dc Ion Beams. -Rev. Sci. Inst sum., /967, v.3S,

81. Davie R.C., Mozgan O.S., Stewazt L.D., StizEing w.L. AmuEbiampew Luopigatzon ion souzce . Rev. Sci. Instsumt/ 1972., v. 43, p. 2.7S

82. Davie R.C., Ogtnigan T.C., Могдст O.B, et ав. Ъиорсда-izon-H Ion Souzce. Rev, Sci. Insttum., 1975, v. 46, л/*4 p. 576

83. Демирханов P.А., Курсанов Ю.В/у Благовещенский В.М. Источ -ник ионов высокой интенсивности; Приб; и техн/ эксперим./ 1964/ Н, с.30

84. Морозов П.М., Пилыунов Л.П; Источник молекулярных ионов водорода установки "Огра". 1урн.техн;Физ// 1963, т/33, CV 470

85. DatBen&ach W.~Natuzjozsch Z., /955, vJO-A, №д~ю, s. 20387. 1аринов A.B., Попов Ю.С. Об ускорении плазмы замкнудам хол-ловским током. Шурн.техн.физ., 1967/ т;37, с.294

86. Ютманов Е.Е. Радиальное распределение потенциала в цилиндрической ловушке при магнетронном способе инжекции ионов. В кн.: Физика плазмы и проблема управляемых термоядерных ре -акций / Под ред; М;А. Леонтовича. М., изд-во АН СССР/ 1958, с. 253

87. Березов Д.В./ Демиденко И/И./ Овчаренко В.Д., Ломино Н.С., Падалка В.Pi Исследование некоторых характеристик квазистационарного ускорителя с анодным слоем. Физика плазмы/1978/ т/4/$ 5, с/1066

88. Меликов М.В., Морозов А.И. Динамика ионов в компенсированных ионных пучках с учетом ионизации и выгорания нейтралов.

89. Физика плазмы, 1977, т/3, & 2/ с. 388

90. LQnqmuiZ IМоШ- Smith Н. ~ £еп. £ Beet Rev., /92?,р. ^49

91. Azdenne М. Dos duopiosmatzon aBs ionen oa/es> eBectzonenspzitzB Extzem hohez Emissions-stzorndichte-Expth. lBc.hn. Phys., /96/, i/. 9t s. 227

92. Two breakdown VoB Beiges of the low- Pzessuze G-as Gap. Mot. of 10-th Int. Symposium on DiscJiQzqe

93. Qnd EEectsieoB InsuBotion in Vocuunh. USA, Co-tum&iQ, /9Я2 (Octobez 25-2Z),p.62

94. O'z Крейндель Ю.Е., Никитинский B.A. Электрический пробой промежутка между плазмой и положительным электродом. 1урн.техн.физ'/, 1971/ т.41, Ь 10/ с.2378

95. ЪХ&.ЬЬШпВасН W., &въеске Е. GrzoBdeeLchzichbes! о/тв

96. Уосиитритре, -EBectvotechnische Zeitschzif tt /936, 5с/, 57, s, 937

97. Клярфельд Б.Н./ Полетаев И/А. ДАН СССР/ 1939, т.13, % 6, с. 459103; Никитинский В.А. Контрагированный разряд с холодным като -дом для плазменных источников электронов: Автореф. дис; канд.техн.наук. Томск, 1971, - 14 с.

98. Гришин С; Д., Лесков Л.В., Козлов Н.П; Плазменные ускори -тели . М.: Машиностроение, 1983. - 231 с1.1.5v БыстровЮ.А. ,1 Иванов С.А. Ускорительная техника и рентгеновские приборы/ . М.: Высш.школа/ 1983. - 288 с.

99. Подгорный И.М/ Лекции по диагностике плазмы/ М.: Атомиз-дат, 1968. - 219 с/107." Диагностика плазмы / Под ред/ Р/Хаддлстоуна и С.Леонарда. -М./Мир/ 1967, 516 с'. .

100. Ионов Н.И., Тонтегоде А.Я. Зондовые характеристики, получаемые с помощью зондов разного типа в плазме газового разряда в парах ртути и цезия. Журн.техн.физ., 1964, т.34, Ш, с. 354

101. Козлов 0;В;- Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат/ 1969

102. Никитинский В.А., Еуравлев Б/И. Разряд, контрагированный в скрещенных полях / с холодным полым катодом. Еурн.техн/

103. Физ./ 1980;' т.50/ Р 2, с/440

104. ИЗ. Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Условия существования раз -ряда с холодным катодом, контрагированного в скрещенных по-ляху Журн.техн.физ-., 1982, tv52, ft 5, с'.896

105. Ховатсон H/M'i Введение в теорию газового разряда; М.: Атомиздат/1980

106. XI9. Френсис Г;' Ионизационные явления в газах. М.: Атомиздат, 1964

107. Капцов Н;Аг; Электроника,- Mv: Гос.издат.техн.-теорет.литер., 1953

108. Харченко ИФайнберг Я/Б., Николаев Р.-М., Корнилов Е/А./ Луценко Ё.И/'/ Педенко Н.С. Взаимодействие пучка быстрых электронов с плазмой в магнитном поле/ 1урн.техн/Физ./ 1961,т.31, » 7/ с/761

109. Файнберг Я/Б/ Ускорение частиц в плазме. — Физ/плазмы/ 1977/ т/3, № 3, с/442131/ Онищенко Й.Н;у Землянский Н.М. / Березин А.К./ Сотников Г;В*; О релаксационном режиме в пучково-плазменном разряде. «Письма в Ш, 1979, т/5, * 13, с/808

110. Михеев M.A/V Михеева И/М/ Основы теплопередачи". М.: Энер -гая, 1973

111. Теплотехнический справочник. Т.2 / Под ред. В.Н.Юренева, П.Д.Лебедева. М.: Энергия, 1976

112. Крейндель Ю.Е., Левшук Л.А. Создание и исследование неодно -родной плазмы в пеннинговском разряде/ 32урн.т ехн.фи з.,1968, tv38/ с/1675

113. А.с. 854192 (СССР)/ Источник ионов / Б.И/1уравлев, В.А.Никитинский/ Заявл/ 26.03.80, » 2899486/18-25. Опубл/ в Б/И. / 1983, № 43, МКИ НОЕ 1 3/04

114. Разработка источника ионов.: Отчет / Р^ВМСИ; руковод.раб/ В.А.Никитинский. » гр 81006045; Инв/ i 02Ш05Ш2.-рубежное/ 1982. - 64 с'/

115. Разработка опытного образца плазменного источника электронов и ионов.: Отчет / РФВМСИ; руковод,раб/* В Д.Никитинский.гр 76082810; Инв. ¥ Б538272. 1^бежное, 1976. - 89 с»,

116. Журавлев Б/И., Никитинский В.А., Захаров А;С,, Чернухин В.П., Овдин Г.Л/ Источник для получения пучков ионов с. равномерным распределением плотности тока по сечению. В сбг.: Матер*; 3,

117. Bases of hischosge Contracted in Czossed E*H fieids.- Mot. of /O-th Int. Symposium on Discharge and EEectzicat Ins и fat ion in Vacuum, USA, CoEum-. bLa, /№ (Octabez 25-2S),p.№

118. Гришин С.Д., Козлов Н;П. Применение плазменных ускорителейв технике. В кн.: Плазменные ускорители / Под ред. Л.А.Ар-цимовича. - М.; 1972. с.15

119. А;с/ 696556 Г СССР) Источник ионов . / В.А.Никитинский; Б.И .Журавлев. Заявлю 18.01.78, f- 2571366/18-25; Опубл/ в Б.И./ 1979, » 41, МКИ HOI J 3/04 I57-. Никитинский В.А., Журавлев Б.И-. Источник ионов металлов;