Исследование кинетики процессов круговой лазерной записи в пленках хрома при изготовлении дифракционных оптических элементов и контроль их эффективности тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат технических наук Никитин, Владислав Геннадьевич

• Никитин, Владислав Геннадьевич
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Никитин, Владислав Геннадьевич

Введение.А

Глава 1. Обзор и анализ лазерных технологий микроструктурирования поверхности.

Прямое травление микрорельефа лазерным пучком.

Облучение с последующим жидкостным травлением материала.

Запись по плёнкам фоторезистов с последующим жидкостным травлением.

Литография с использованием фотошаблонов.

Круговая лазерная запись.

Контроль качества ДОЭ.

Глава 2. Теплофизический анализ непрерывной лазерной записи скрытых изображений в плёнках хрома в широком диапазоне скоростей сканирования.

Оценки параметров теплофизических процессов при записи в плёнках хрома на КЛЗС.

Расчёт и анализ температурного поля для плёнки хрома на кварцевой подложке в процессе воздействия движущимся лазерным пучком.

Глава 3. Экспериментальное исследование структуры штрихов при термохимической лазерной записи в плёнках хрома.

Структура элементов изображений на КЛЗС (элементарных дуг).

Структура экспериментальных изображений.

Коррекция тангенциальной погрешности.

Исследование топологии поверхности плёнок хрома при записи на КЛЗС.

Глава 4. Измерение эффективности дифракционных оптических элементов.

Постановка задачи.

Обоснование сканирующего метода.

Описание установки для измерения ДЭ.

Проверка работоспособности метода сканирования для измерения ДЭ.105.

Дополнительные возможности аттестации ДОЭ методом сканирования.

Экспериментальные результаты измерений ДЭ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование кинетики процессов круговой лазерной записи в пленках хрома при изготовлении дифракционных оптических элементов и контроль их эффективности»

Прогресс во многих современных областях науки и техники связывается с использованием оптических элементов, которые представляют собой пластины с нанесённой на их поверхности микроструктурой. Это дифракционные оптические элементы (ДОЭ) [1, 2], различные шкалы [3], фотошаблоны и т.д.

Применение ДОЭ открывает широкие возможности по преобразованию оптического излучения. Использование ДОЭ в светотехнических устройствах (автомобильных фарах, маяках и других осветительных устройствах) позволило существенно уменьшить их размеры, улучшить функциональные параметры (диаграмма направленности излучения и т.д.). Внедрение ДОЭ является весьма привлекательным для многих технических устройств и в других областях оптики, таких как интерферометрия, оптика для лазеров, оптическая обработка информации и т.д. Использование ДОЭ позволит значительно улучшить физические параметры многих оптических приборов и систем, таких как сканеры, микрообъективы, преобразователи лазерного излучения, системы оптической связи, интерферометры и т.д. [1, 2]. Улучшение характеристик приборов связано с уникальной возможностью преобразования оптического излучения, целенаправленно применяя явление дифракции. Главным достоинством применения ДОЭ является возможность использования одного ДОЭ для преобразования волнового фронта вместо совокупности элементов классической оптики.

Дисперсионное поведение у дифракционных структур противоположно дисперсионному поведению оптических материалов. Поэтому нанесение дифракционного микропрофиля на поверхность оптического элемента позволяет скорректировать хроматическую аберрацию и изготовлять ахроматические и апохроматические оптические элементы с использованием одного типа стекла или пластика [4]. Особенно это актуально для работы в инфракрасном диапазоне, так как материалы для ИК-оптики обладают высоким показателем преломления, зависящим от длины волны света. По этой причине классические рефракционные элементы для работы в инфракрасном диапазоне, как правило, имеют значительную хроматическую аберрацию. Вместе с тем ограничен выбор применяемых материалов. Использование дифракционного микропрофиля позволяет скорректировать высокий хроматизм оптики для ИК-диапазона.

Толчок развитию дифракционной оптики дало широкое внедрение малогабаритных полупроводниковых лазеров и лазерных диодов в 1990 -2000-е годы. Появилась возможность изготовления на их основе малогабаритных изделий массового спроса. Возможности дифракционной оптики позволили существенно расширить функциональность изделий на основе полупроводниковых лазеров и уменьшить габариты и вес подобных устройств. Применение ДОЭ позволяет также создавать заданное распределение интенсивности с определёнными параметрами в нужной области пространства. Использование исключительно методов классической оптики для решения данного класса задач сопряжено со значительными энергетическими потерями и увеличением числа элементов [1]. Внедрение ДОЭ позволяет как сократить число оптических компонентов в измерительных схемах, так и создать световое изображение объекта с высокой точностью [1]. В работах [5-6] описано использование ДОЭ для создания светового кольца нужного диаметра в заданной фокальной плоскости для контроля параметров цилиндрических отверстий. Чтобы расширить диапазон измерений внутренних диаметров и возможных дефектов на внутренних поверхностях отверстий деталей в работах [7-10] предложено использовать ДОЭ, которые одновременно синтезируют набор световых колец в заданных плоскостях. Для решения данной задачи методами классической оптики необходимо применить либо кольцевую диафрагму, что приведёт к значительным потерям энергии, либо конический оптический элемент, который крайне трудно изготовить с необходимой точностью.

Принято различать несколько основных типов ДОЭ. В зависимости от вида модуляции различают фазовые и амплитудные ДОЭ [1, 11]. При изготовлении амплитудных ДОЭ возможно получить высокое пространственное разрешение (до 2000 мм"1), что позволяет выполнять широкий класс преобразований волнового фронта с большими углами дифракции. Недостатком амплитудных ДОЭ является их низкая энергетическая эффективность, так как непрозрачные участки не пропускают света. Фазовые ДОЭ представляют собой оптические элементы с нанесённым на их поверхность микрорельефом. ДОЭ фазового типа преобразовывают до 100% излучения. Поэтому фазовые ДОЭ более привлекательны для практических применений ввиду более высокой эффективности и, как следствие, лучшего отношения сигнал/шум в полезном изображении.

Многие технологии изготовления ДОЭ основаны на использовании достижений и оборудования микроэлектроники [1]. Связано это с близкими характерными размерами требуемого микрорельефа. Применение сканирующих электронно-лучевых и лазерных технологий позволяет осуществлять локальное воздействие на материал, что даёт возможность наносить микрорельеф на различных поверхностях. Электронно-лучевые аппараты имеют более высокое пространственное разрешение, но данный класс аппаратов имеет высокую стоимость как изготовления, так и эксплуатации. Применение лазеров имеет существенное преимущество перед электронно-лучевыми технологиями, так как нет необходимости проводить процесс формирования топологии элементов в вакууме [1, 2, 12, 13] и нет чрезвычайно высоких требований по пространственному разрешению.

Лазерные сканирующие технологии позволяют производить как высококачественные фотошаблоны для изготовления ДОЭ методами фотолитографии, так и получать микропрофиль ДОЭ непосредственно методом прямой лазерной записи по светочувствительным материалам на оптических подложках. Сканирование поверхности лазерным пучком осуществляется в основном двумя методами: в декартовой системе координат (X-Y сканирование) и полярной системе координат (круговое сканирование). Движение записывающего инструмента относительно подложки в декартовой системе координат является более распространённым в силу технических причин, таких как, например, применение одного типа перемещения по обеим координатам. Применение X-Y сканирования позволяет получать высококачественные ДОЭ и упрощает процедуру расчёта для многих типов ДОЭ. Однако круговое сканирование имеет ряд преимуществ при изготовлении ДОЭ, фотошаблонов для их производства, угловых шкал, лимбов и т.д. Главным преимуществом является более высокая производительность таких систем, так как по одной из координат реализуется непрерывное движение, в результате чего линейная скорость перемещения записывающего луча может достигать десятков метров в секунду. Вторым положительным качеством кругового сканирования является более точное изготовление аксиально-симметричных элементов, требуемых во многих областях оптики. Эти преимущества обусловили развитие круговых лазерных записывающих систем (KJI3C) и технологий на их основе. В настоящее время такие системы применяются как для изготовления ДОЭ и фотошаблонов к ним, так и для изготовления прецизионных шкал, лимбов, растров и т.д.

Основные результаты по круговой лазерной записи получены в Лаборатории лазерных технологий Института автоматики и электрометрии СО РАН. Этим научно-техническим коллективом были разработаны, развиты и внедрены для изготовления ДОЭ такие технологии, как круговая запись по плёнкам хрома на стеклянных подложках, запись на основе материалов с управляемым коэффициентом поглощения, фоторастровый метод получения фазового микрорельефа и т. д. [12, 13]. На основе этих методов изготовлены уникальные ДОЭ для проверки зеркал больших телескопов, высокоэффективные ДОЭ с пилообразным профилем и т. д. В ходе отработки технологий изготовления ДОЭ были исследованы различные аспекты взаимодействия сфокусированного лазерного излучения с различными материалами (плёнки аморфного кремния, плёнки хрома на стеклянных подложках, LDW - стёкла и т.д.). Однако дальнейшее развитие технологий круговой лазерной записи требует более подробных исследований кинетики физических процессов, происходящих в материалах под воздействием сфокусированного движущегося лазерного пучка.

Актуальность работы.

Специалисты, имеющие дело с записью микроструктур (фотошаблонов интегральных схем, дифракционных оптических элементов, элементов микромеханики и др.), всегда стремились использовать (или разработать) технологические процессы с минимальным числом необходимых стадий изготовления конечной продукции (т.н. малостадийные технологии). К таким процессам относится термохимическая запись скрытых изображений в плёнках хрома [14-15]. Данная технология имеет только три основные стадии: нанесение в вакууме плёнки хрома, экспозиция плёнки сфокусированным лучом лазера и травление плёнки хрома в селективном травителе. Также существует возможность высокой автоматизации данного технологического процесса, которая позволяет существенно снизить затраты на изготовление необходимых элементов [2,16 - 20].

Кроме того, современные требования к параметрам изделий микромеханики, дифракционной оптики, шкал, фотошаблонов и т.д. становятся всё более жёсткими. Для качественного изготовления таких элементов необходимо высокоточное (с относительной погрешностью порядка Ю-6 ) нанесение изображений, в т.ч. методами круговой лазерной термохимической записи. Однако выдержать столь жёсткие требования к точности формирования топологии элементов, не зная динамики физических процессов, происходящих в плёнках хрома во время записи, и основываясь только на эмпирических данных, которые накоплены в процессе эксплуатации созданных систем, достаточно сложно. При использовании такой технологии возникают искажения, связанные с кинетикой тепловых процессов. Важным для понимания механизма появления погрешностей записи является проведение анализа формы следа, получаемого в плёнке хрома после воздействия лазерного излучения. При этом особо важно исследовать переходные режимы в начале и в конце воздействия излучения. Для этого целесообразно анализировать как 2D, так и 3D изображения следа. Поскольку наклоны поверхности следа на краях получаемой структуры приведут к дополнительному рассеянию при отражении света и, следовательно, ухудшению характеристик приборов, исследование 3D-топологии микроструктур также является актуальной задачей.

Разработка методики коррекции технологических погрешностей изготовления элементов с помощью круговой лазерной записи позволит оперативно получать элементы в соответствии с современными требованиями (угловая погрешность - не хуже нескольких угловых секунд, линейная - меньше размера записывающего пятна). Таким образом, станет возможным приблизиться к предельным характеристикам элементов, получаемых с использованием КЛЗС.

Одним из важнейших параметров ДОЭ для большинства приложений является их дифракционная эффективность. Под дифракционной эффективностью (ДЭ) понимают отношение световой энергии в нужных порядках дифракции к полной световой энергии, прошедшей через элемент. Искажения топологии микроструктур заметно влияют на ДЭ полученных в результате изготовления ДОЭ. Для фазовых элементов, выполненных с различной модуляцией фазового профиля, заметно отличается максимально достижимая дифракционная эффективность. ДОЭ с синусоидальной модуляцией имеют теоретическую максимальную эффективность в первом порядке 34%, с бинарной - 41%, с линейной (их называют ДОЭ «с блеском») - до 100% (в рамках скалярной теории) [1, 11]. Поэтому ДОЭ с линейной модуляцией представляют наибольший интерес для практики. При их изготовлении необходимо с высокой точностью выдерживать заданный характер изменения фазового профиля в пределах каждой дифракционной зоны и обеспечить резкую границу между этими зонами. От того, как выдерживается выполнение этих требований, существенно зависит качество ДОЭ и, естественно, его ДЭ. Поскольку прямое измерение фазового рельефа по всей поверхности ДОЭ с последующим вычислением параметров интенсивности света в полезном изображении в большинстве случаев является долгим и трудновыполнимым процессом, то разработка методов измерения дифракционной эффективности широкого класса ДОЭ является весьма актуальной задачей. Также возможность выявления характеристик фазового профиля по поверхности ДОЭ, приводящих к ухудшению эффективности ДОЭ, без применения прямого измерения фазового профиля позволяет существенно уменьшить затраты по аттестации изготовленных ДОЭ.

Цель и задачи диссертации:

Целью настоящей работы является исследование кинетики процесса записи скрытых изображений в плёнках хрома в широком диапазоне скоростей сканирования для понимания механизма формирования скрытых изображений и возникающих при этом искажений топологии, разработке алгоритмов компенсации этих искажений в топологии ДОЭ, круговых шкал, фотошаблонов и т.д.; создание методики измерения эффективности широкого класса ДОЭ и оценки распределения искажений фазового профиля. Достижение указанных целей потребовало решения следующих задач: расчёт кинетики прогрева сфокусированным лазерным пучком системы плёнка хрома - кварцевая подложка в большом диапазоне скоростей сканирования; анализ результатов расчёта температурного поля и сравнение с экспериментальными результатами; разработка и экспериментальная апробация методики коррекции возникающих технологических погрешностей; экспериментальная проработка сканирующей методики измерения дифракционной эффективности широкого класса ДОЭ; выработка методик оценки искажений фазового профиля по площади

ДОЭ.

Научная новизна впервые проведены исследования кинетики образования термохимического следа при лазерной записи в плёнках хрома на кварцевых подложках в широком диапазоне линейных скоростей сканирования, характерном для KJI3C. рассмотрена кинетика прогрева плёнки хрома на кварцевой подложке при включении пучка в процессе движения для случаев с зависящими и независящими от температуры теплофизическими параметрами плёнки и подложки; показано различие формы (асимметрия) температурного следа при включении и выключении записывающего пучка на основе анализа кинетики прогрева лазерным пучком системы плёнка-подложка в широком диапазоне скоростей сканирования; показано, что тестовые структуры, применяемые для выбора мощности, должны иметь размеры, соизмеримые с формируемыми, если последние имеют длину, меньшую чем расстояние, при прохождении которого устанавливается стационарное температурное поле в области обработки; разработаны и внедрены методы коррекции погрешностей топологии, которые возникают при записи изображений в плёнках хрома, учитывающие особенности динамики термохимических процессов; предложена и экспериментально исследована методика измерения эффективности путём сканирования световым пучком ограниченной апертуры для большого класса дифракционных оптических элементов, в т.ч. широкоапертурных; экспериментально продемонстрировано, что для предложенной методики сканирования при измерении эффективности ДОЭ существует возможность выявлять ряд локальных искажений фазового профиля ДОЭ, снижающих дифракционную эффективность.

Практическая значимость работы

Результаты исследований кинетики механизма образования следа в процессе термохимической лазерной записи используются для повышения точности изготавливаемых с использованием KJI3C типа CLWS-300C прецизионных шкал, лимбов и других изделий в КТИ НП СО РАН и на Уральском оптико-механическом заводе.

На основе результатов исследований сканирующего метода измерения дифракционной эффективности разработана система, позволяющая измерять энергетическую и дифракционную эффективность широкого класса ДОЭ. Система поставлена в рамках выполнения международного контракта в Институт физики Академии космических технологий КНР.

Личный вклад

Личный вклад автора состоит в проведении анализа температурного поля при лазерной записи в плёнках хрома на стеклянных подложках в широком диапазоне скоростей сканирования; постановке и осуществлении экспериментов с использованием КЛЗС по исследованию динамики переходных тепловых процессов при термохимической лазерной записи; разработке и экспериментальной проверке методики повышения точности структур, синтезируемых в плёнках хрома с использованием термохимической лазерной записи на КЛЗС. Автором выполнена научная проработка методики измерения энергетической и дифракционной эффективности дифракционных оптических элементов сканирующим методом; разработаны методы, алгоритмы и программное обеспечение; исследованы дополнительные возможности выявления причин, ухудшающих эффективность дифракционных оптических элементов.

Апробация результатов работы

Основные результаты работы были представлены на конференциях: Workshop on Laser Physics and Photonics, 1999, Saratov, Russia; I Conference on Laser Optics for Young Scientists, 2000, Saint-Petersburg, Russia; 3rd International Conference on Measurement, 2001, Bratislava, Slovakia; 7th International Symposium on Laser Metrology Applied to Science, Industry, and Everyday Life, 2003, Novosibirsk, Russia; Diffractive Optics 2003 Conference, 2003, Oxford, Great Britain; International Symposium on Photonics in Measurement, 23/24 June 2004, Frankfurt, Germany; научный семинар в Институте Технической Оптики, Штутгартский Университет, июнь, 2004, Штутгарт, Германия.

Публикации

С участием автора опубликовано 20 печатных работ, из них 19 - по теме диссертации, в том числе 4 научные статьи - вошедшие в перечень изданий, рекомендованных ВАК, 14 - в сборниках трудов международных конференций, а также получен патент РФ.

Структура и объём диссертации

Диссертация состоит из введения, четырёх глав, заключения и приложения. Объём работы составляет 131 страницу основного текста, включая 53 рисунка и 2 таблицы. Список литературы содержит 69 наименований.

Заключение диссертации по теме «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», Никитин, Владислав Геннадьевич

Выводы к главе 4:

1. Применение метода сканирования поверхности ДОЭ световым пучком ограниченной апертуры даёт возможность производить измерение эффективности широкого класса ДОЭ. Сравнение результатов измерений ДЭ, полученных на рабочей длине волны по двум различным методикам для линзы Френеля, показало достаточно близкое их совпадение (различие не превышало 4%).

2. Создана установка, позволяющая измерять эффективность ДОЭ, угол дифракции а которых лежит в пределах 0,063<а<0,63 радиан, размером от 10 до 300 мм как сканирующим, так и интегральным методом.

3. Применение дополнительного сканирования по спектру излучения позволяет оценивать с приемлемой для практики погрешностью искажения максимальной глубины фазового профиля и величину обратного ската ДОЭ.

121

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В рамках данной работы сделан анализ тепловых процессов при круговой лазерной термохимической записи в плёнках хрома и рассмотрен сканирующий метод измерения дифракционной эффективности.

Впервые рассчитано температурное поле для термохимической лазерной записи при широком диапазоне скоростей сканирования. В результате расчёта установлена асимметрия температурного поля и смещение температурного следа в направлении движения записывающего пучка.

В результате анализа кинетики прогрева плёнки хрома на стеклянной подложке при включении записывающего пучка установлено, что при термохимической круговой лазерной записи мощность записывающего пучка для коротких структур в тангенциальном направлении (размером примерно до нескольких размеров записывающего пятна) и длинных необходимо выбирать исходя из тестовых записей аналогичной длины.

Проведено сравнение температурного поля на поверхности плёнки хрома с экспериментально нанесёнными штрихами. Установлено, что в отражённом свете структуры короче на несколько микрон по сравнению со структурами, что наблюдаются в проходящем свете. С помощью измерений 3D топологии с использованием сканирующей зондовой микроскопии показано, что отражённый свет рассеивается на участках, непараллельных поверхности подложки, что необходимо учитывать при синтезе прецизионных элементов с использованием КЛЗС.

В результате анализа температурного поля и экспериментальных данных установлено, что увеличение толщины оставшейся после травления структуры в направлении движения пучка происходит ввиду инертности прогрева системы плёнка-подложка. Показано, что асимметрию 3D формы элементарных штрихов в тангенциальном направлении необходимо принимать во внимание при изготовлении элементов с использованием круговой лазерной термохимической записи.

Разработана методика коррекции технологических погрешностей при круговой лазерной записи в плёнках хрома, которая позволила уменьшить погрешность выполняемых на КЛЗС фотошаблонов угловых шкал и лимбов до единиц угловых секунд.

Показано, что применение метода сканирования поверхности ДОЭ световым пучком ограниченной апертуры (много больше характерного размера одной дифракционной зоны и много меньше размера изменения характера дифракционных зон) даёт возможность проводить измерение эффективности широкого класса ДОЭ. Сравнение результатов измерений ДЭ, полученных на рабочей длине волны по двум различным методикам для линзы Френеля, показало достаточно близкое их совпадение (различие не превышало 4%).

Создана установка, позволяющая измерять эффективность ДОЭ, угол дифракции а которых лежит в пределах 0,06<а<0,6 радиан, размером от 10 до 300 мм как сканирующим, так и интегральным методом (для линз Френеля диаметром до 48 мм).

Показано, что применение дополнительного сканирования по спектру излучения позволяет оценивать с приемлемой для практики погрешностью (до нескольких процентов) искажения топологии ДОЭ: максимальной глубины фазового профиля и величину обратного ската дифракционных зон ДОЭ.

Таким образом, в результате выполнения данной работы решены важные научно-технические задачи по формированию топологии синтезируемых микроструктур при круговой лазерной термохимической записи в плёнках хрома и применению сканирующего метода для измерения дифракционной эффективности ДОЭ. Решение данных задач позволило уменьшить погрешности при синтезе оптических элементов с микроструктурированной поверхностью и создать систему для измерения дифракционной эффективности широкого класса ДОЭ.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Никитин, Владислав Геннадьевич, 2007 год

1. Под. ред. Сойфера В.А. Методы компьютерной оптики, Физматлит, Москва, 688 е., 2000.

2. В. П. Коронкевич, В.П. Корольков, А.Г. Полещук, Лазерные технологии в дифракционной оптике, Автометрия, №6,1998, с.5-26

3. М.А. Окатов, Э.А. Антонов и др. Справочник оптика-технолога. Под ред. М.А. Окатова, Политехника, Санкт-Петербург, 2-е изд., перераб. и доп. 2004. 679 с.

4. Ф. Козанне, Ж. Флерэ, Г. Мэтр, М. Руссо. "Оптика и связь", Москва, "Мир", 1984, 504 с.

5. Корольков В.П., Разработка и исследование оптических методов изготовления дифракционных элементов на основе материалов с управляемым коэффициентом поглощения. Диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук, Новосибирск, 2000.

6. Полещук А.Г., Дифракционные оптические элементы: методы синтеза и применение. Диссертация на соискание учёной степени доктора технических наук, Новосибирск, 2003.

7. Коронкевич В.П., Полещук А.Г., Чурин Е.Г., Юрлов Ю.И. Лазерная термохимическая технология синтеза дифракционных оптических элементов на плёнках хрома. Квантовая электроника, 12,1985, № 4.

8. Вейко В.П., Лазерная обработка плёночных элементов. Л. «Машиностроение», 1986,248 с.

9. В.М. Ведерников, В.П. Кирьянов, В.П. Корольков и др. Лазерная технология изготовления круговых шкал и кодовых дисков. Препринт ИАиЭ СО АН СССР № 329. Новосибирск, 1986.

10. V. P. Kiryanov, "Laser setup for flat optical components fabrication with submicron resolution", Laser Application Engineering (LAE-96), Vadim P. Veiko, Editor Proc. SPIE, 1997, V. 3091, pp. 66-70

11. Ведерников В.М., Вьюхин В.П., Кирьянов В.П., Коронкевич В.П., Кокоулин Ф.И., Полещук А.Г., Лохматов А.И., Прецизионный фотопостроитель для синтеза оптических элементов. Автометрия, 1981. №3. С. 3-17

12. Кононенко В.В., Конов В.И., Пименов С.М., Прохоров A.M., Павельев B.C., Сойфер В.А., Алмазная дифракционная оптика для СОг лазеров, Квантовая электроника, т. 26, №1, 1999

13. Коронкевич В.П., Ремесник В.Г., Фатеев В.А., Цукерман В.Г., Киноформные оптические элементы в плёнках халькогенидных стеклообразных полупроводников. Автометрия, №5,1976.

14. D.W. Sweeney and G. Sommarger, "Single element achromatic diffractive lens", Diffractive Optics: Design, Fabrication and Application. Conference, Rochester, N.Y. 26/DMB2-1, p.26,1994.

15. Б. Медникаров, А.Г. Полещук, Е.Г. Чурин, Применение плёнок АБгЭзДля изготволения рельефно-фазовых дифракционных элементов, Автометрия, № 3,1994.

16. У. Дьюли, Лазерная технология и анализ материалов. М. «Мир», 504 е., 1986.

17. В.В. Чесноков, Е.Ф. Резникова, Д. В. Чесноков, Лазерные наносекундные микротехнологии. Новосибирск, СГТА, 2003.300 с.

18. Пат. США 5285517, High energy beam sensitive glasses/ С. Wu, С. Kuang. 1994

19. LDW glass photomasks blanks // CMI Product information #95-08.

20. R. Michael Wang, Heng Su, Laser direct-write gray-level mask and one-step etching for diffractive microlens fabrication, Applied optics, Vol. 37, #32,1998.

21. М. Т. Gale, М. Rossi, Joern Pedersen, Helmut Schultz, Fabrication of continuous relief micro - optical elements by direct laser writing in photoresist, Optical Engineering, Vol. 33, #11,1994

22. Shih, Jern Т.С. Rong Н.С., Hsiang Н.Т., A feasibility study on the use of amorphous silicon as optical recording medium, Jap. J. of Appl. Phys., 1987, Pt. 1, vol. 26, #2, pp 193-196.

23. В.З. Гочияев, В.П. Корольков, А.П. Соколов, В.П. Чернухин, Полутоновая оптическая запись на плёнках a-Si. Квантовая электроника, т. 16, №11, с 2343.

24. Jin-Seung Sohn, Myung-Bok Lee, Wan-Chin Kim, Eun-Hyung Cho, Tae-Wan Kim, Chan-Young Yoon, No-Cheol Park, Young-Pil Park., Design and fabrication of diffractive optical elements by use of gray scale lithography, Appl. Opt., Vol. 44, #4,2005.

25. П. Перло, С. Синези, M. Рипетто, Г.В. Успленьев, Использование круговой лазерной записывающей системы для изготовления полутоновыхфотошаблонов дифракционных оптических элементов на основе LDW glass пластинок. Компьютерная оптика, №17.1997.

26. Никитин В.Г. Изготовление высокоэффективных ДОЭ с помощью полутоновых фотошаблонов на основе LDW стёкол / Корольков В.П., Малышев А.И., Никитин В.Г., Полещук А.Г., Харисов А.А., Черкашин, В.В., By Ч.// Компьютерная оптика, 1998,18, стр. 43-51.

27. Никитин В.Г. Полутоновые фотошаблоны на основе LDW-стёкол / Корольков В. П., Малышев А. И., Никитин В. Г., Полещук А.Г., Харисов А. А., Черкашин В.В., By Ч. //Автометрия, 1998 №6. с. 27 37.

28. А.Г. Полещук, Изготовление рельефно-фазовых структур с непрерывным или многоуровневым профилем для дифракционной оптики, Автометрия, 1992, №1.

29. Полещук А.Г., Корольков В.П., Черкашин В.В., Райхельт С., Бёдж Дж. Методы минимизации ошибок прямой лазерной записи дифракционных оптических элементов. Автометрия, 2002, 38, № 3, с.З.

30. Yongjun Xie, Zhenwu Lu, and Fengyou Li, Method for correcting the joint error of a laser writer. Optics Express. 2003. -Vol. 11, №9. - p.975.

31. Инструкция по эксплуатации установки CLWS-300 /С. Новосибирск, КТИ НПСО РАН, 2001.

32. U.S. Paek, A. Kestenbaum, Thermal analysis of thin film micromashining with lasers. J.Appl. Phys., vol. 44, #5, May. 1973.

33. Полещук А.Г., Погрешности термохимического метода записи микроизображений в плёнках хрома // Автометрия, 2003, 39, № 6. С. 39-45.

34. Cherkashin V., Churin Е., Drachkov В., Kharisov A., Korolkov V., Poleshuk A., Investigation of thermochemical laser writing and etching processes incromium films. Experimental and numerical modeling for large hologram writing. Novosibirsk, 1994.

35. Ed. By Hans Peter Herzig, Micro-optics Elements, systems and applications. Taylor & Francis Ltd, p. 359,1998.

36. Burge J. H. Null test optics for MMT and Magellan 6.5 m f/1.25 primary mirrors //Proc. SPIE. 1994. 2199. p. 658-667.

37. I. Barton, J Britten, S. Dixit, et. Al. Large-aperture, lightweight diffractive lenses for space applications, Diffractive optics and Micro-optics, OSA (Optical society of America) Technical Digest, Washington, D.C., 2000.

38. Blattner P., R. H. Czichy, Characterization of diffractive optical elements for space sensor applications. Proc. SPIE Vol. 2210, p. 582-586, Space Optics 1994: Space Instrumentation and Spacecraft Optics.

39. Лякишев Н.П., Гасик М.И., МЕТАЛЛУРГИЯ ХРОМА, «Элиз», 1999. -582 с.

40. F. Stern. Heating and melting of a film on a substrate., J.Appl. Phys., vol. 44, Sept., pp. 4204-4208,1973.

41. Ахманов С.А., Никитин С.Ю. Физическая оптика. М.: Изд-во Моск. ун-та, 1998,656 с.

42. Вейко В.П., Либенсон М.Н., Лазерная обработка, Л.: Лениздат, 1973, 191 е.

43. Галлагер Р., Метод конечных элементов. Основы: Пер. с англ. М.: Мир, 215с., 1984.

44. Марчук Г.И. Методы вычислительной математики. 2-е изд. М.: Наука, 1980.-535 с.

45. Никитин В.Г. К вопросу о механизме записи изображений в пленках хрома Текст. / Кирьянов В.П., Никитин В.Г. // Автометрия. 2004. - Т. 40, №2.-С. 59-68.

46. Веденов А.А., Г.Г. Гладуш, Физические процессы при лазерной обработке материаловМ.: Энергоатомиздат, 208с., 1985

47. Никитин В.Г. К вопросу о механизме записи изображений в пленках хрома Текст. / Кирьянов В.П., Никитин В.Г. // Автометрия. 2004. - Т. 40, №2.-С. 59-68.

48. Кирьянов В. П., Кокарев С. А., Лазерно-интерферометрический преобразователь перемещений с субнанометровым разрешением // Автометрия, 1998. №2. С. 3.

49. Т. Hessler, М. Rossi, R. Е. Kunz, М.Т. Gale "Analysis and optimization of fabrication of continous-relief diffractive optical elements'V/Applied Optics, 1998/ Vol. 37, No. 19, pp. 4069-4078.

50. T. Fujita, H. Nishihara, J. Koyama, "Blazed gratings and Fresnel lenses fabricated by electron-beam lithography", Optics Letters. Vol. 7. No. 12. 1982, P. 576