Исследование импульсных разрядов атмосферного давления и разработка оборудования для создания бактерицидной защиты технологических сред и изделий РЭА тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Трепов, Дмитрий Александрович

• Трепов, Дмитрий Александрович
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Трепов, Дмитрий Александрович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ГАЗОРАЗРЯДНЫХ МЕТОДОВ ФОРМИРОВАНИЯ БАКТЕРИЦИДНОЙ СРЕДЫ.

1.1 Анализ механизмов уничтожения клеточных структур.

1.1.1 Основные бактерицидные факторы.

1.1.2 Механизм бактерицидного действия газообразных оксидантов.

1.1.3 Механизмы бактерицидного действия разряда в жидкости.

1.1.3.1 Механизм деструкции микроорганизмов от воздействия ударной волны.

1.1.3.2 Пролонгированная микробная устойчивость воды, обработанной импульсными электрическими разрядами.

1.1.3.3 Эрозия электродов и наночастицы.

1.2 Электрический разряд в гетерофазной атмосфере.

1.2.1 Основные характеристики импульсного искрового разряда.

1.2.2 Основные характеристики барьерного разряда на атмосферном воздухе, влияние паров воды на биологическую активность генерируемой среды.

1.2.3 Основные характеристики барьерного разряда в водо-воздушной среде.

1.3. Электрический разряд в жидкости.

1.3.1 Механизмы протекания электрического разряда в жидкости.

1.3.2 Электродные системы.

1.4 Выводы и постановка задачи.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ИМПУЛЬСНОГО РАЗРЯДА АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ И МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ ЕГО ОСНОВНЫХ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК.

2.1 Разработка экспериментальной установки для исследования электрического разряда в гетерофазной атмосфере.

2.1.1 Разработка принципиальной схемы блока питания.

2.1.2 Принцип действия разработанного импульсного БП.

2.1.3 Разработка электродных систем барьерного и искрового разрядов.

2.1.4 Оптимизация параметров электродной системы БР.

2.2 Разработка оборудования для исследования электрического разряда в жидкости.

2.2.1 Разработка блока питания.

2.2.2 Принцип действия установки.

2.2.3 Разработка электродных систем для эффективной генерации кластеров металлов.

2.2.4 Материалы электродов.

2.3 Методика исследования параметров разряда в гетерофазной атмосфере.

2.3.1 Методика измерений концентрации озона.

2.3.2 Измерения и регистрация тока высоковольтных импульсов напряжения наносекундного диапазона.

2.3.3 Сравнительный анализ кинетики образования и разложения озона на электродных системах импульсного и барьерного разрядов.

2.3.4 Измерения концентрации озона во влажной атмосфере.

2.4 Методика исследования параметров разряда в жидкости.

2.4.1 Исследование структуры разрядного импульса.

2.4.2 Измерения гидравлических параметров разряда.

2.4.3 Вычисление производительности системы.

2.4.4 Вычисление удельной энергии разряда.

2.5 Выводы.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ БАКТЕРИЦИДНЫХ СВОЙСТВ СРЕДЫ, ОБРАБОТАННОЙ ВЫСОКОВОЛЬТНЫМИ ИМПУЛЬСНЫМИ РАЗРЯДАМИ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ.

3.1 Исследование влияния электрического разряда в гетерофазной атмосфере на микробиологические объекты.

3.2 Исследование влияния электрического разряда в жидкости на микробиологические объекты.

3.2.1 Исследование влияния низкотемпературной плазмы электрического разряда в жидкости на микробиологические объекты.

3.2.3 Исследование влияния жидкой среды, обработанной электрическим разрядом, на микробиологические объекты.

3.3 Выводы.

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ БАКТЕРИЦИДНОЙ ЗАЩИТЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕД И ИЗДЕЛИЙ РЭА.

4.1 Разработка высоковольтного импульсного блока питания.

4.2 Разработка и создание унифицированных модулей, генерирующих бактерицидную среду в газовой и жидкой фазе.

4.2.1 Ультрафиолетовое излучение.

4.2.2 Разряд в газе.

4.2.3 Разряд в жидкости.!.

4.3 Очистка производственных и технологических помещений.

4.4 Дезинфекция и стерилизация узлов и изделий РЭА, а также изделий различного назначения, включая медицинские.

4.4.1. Дезинфекция и стерилизация узлов и изделий РЭА.

4.4.2. Дезинфекция и стерилизация изделий различного назначения, включая медицинские.

4.5. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование импульсных разрядов атмосферного давления и разработка оборудования для создания бактерицидной защиты технологических сред и изделий РЭА»

Актуальность темы.

В настоящее время основными тенденциями развития микро- и наноэлектроники стали постоянный рост уровня интеграции и увеличение быстродействия интегральных схем (ИС), переход от узкоспециализированных ИС малой степени интеграции, содержащих десятки активных элементов, к большим и сверхбольшим интегральным схемам (БИС и СБИС), содержащим до нескольких сотен миллионов элементов, работающих на частоте свыше 1 ГГц, способных выполнять широкий спектр элементарных операций по обработке информации. Элементы подобных БИС и СБИС имеют размеры в диапазоне от единиц до долей микрометра. Производство таких ИС стало возможно за счет высокой стабильности и точности разработанных технологических процессов и технологического оборудования. При этом важной задачей становится сохранение высокой степени чистоты технологических сред, производственных помещений и изделий РЭА.

Надежность выпускаемых ИС во многом зависит от гигиены производственного помещения. Под электронно-вакуумной гигиеной подразумевают систему мер по устройству производственных помещений, вентиляции и отопления, применению специальной технологической одежды, а также специальные правила поведения работающих, обеспечивающие высокую чистоту в зоне выполнения технологических операций.

В течение более чем 30 лет в промышленности для классификации чистых помещений применялся Федеральный стандарт США 209Е, последняя редакция которого опубликована в 1992 году. Этот стандарт был официально аннулирован 29 ноября 2001 года Администрацией общих служб правительства США. В качестве его замены были предложены стандарты ISO 14644-1 для чистоты воздуха и ISO 14644-2 для непрерывного обеспечения соответствия параметров чистого помещения требованиям стандарта ISO 14644-1. Это событие определенно является символом общемирового утверждения схемы ISO классификации чистоты помещений и вообще стандартов ISO для чистых помещений.

Процент выхода годных изделий РЭА зависит не только от возможностей технологического оборудования, но и от класса чистоты производственного помещения. Так, при классе чистоты ISO 6, ISO 5, процент выхода годных лежит в пределах 50-70%, при классах ISO 4, ISO 3 - 90-95%, а при классах ISO 2 и более, есть возможность получить 99,9%.

Необходимость поддержания в производственных помещениях высокой чистоты объясняется тем, что влага, кислоты, пыль, клеточные структуры и другие загрязнения, попавшие на подложки или полупроводниковые структуры, в процессе изготовления полупроводниковых приборов и ИМС, могут привести к появлению дефектов, что снижает их качество или приводит к выходу из строя. В технологическом процессе изготовления

ИС широко применяются воздушные и газовые атмосферы и среды, жидкие среды и вакуум.

В таблице 1 представлены предельные значения для классов чистоты по стандартам ISO [1].

Табл. 1 Предельные значения концентрации для классов чистоты по стандартам

ISO.

Классификационный номер ISO Предельные значения максимальной концентрации (число частиц в м3 воздуха) для частиц различных представленных ниже размеров

N >0,1 мкм > 0,2 мкм > 0,3 мкм > 0,5 мкм > 1 мкм > 5 мкм

Класс ISO 1 10 2

Класс ISO 2 100 24 10 4

Класс ISO 3 1 000 237 102 35 8

Класс ISO 4 10 000 2 370 1 020 352 83

Класс ISO 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29

Класс ISO 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293

Класс ISO 7 352 000 83 200 2 930

Класс ISO 8 3 520 000 832 000 29 300

Класс ISO 9 35 200 000 8 320 000 293 000

Уже сейчас ведущие производители ИС запускают субмикронные производства ИС, оснащенные оборудованием для обработки 300 - 500 мм полупроводниковых пластин, с минимальными размерами элементов менее 0,1 мкм (0,046 мкм). Почти весь цикл операций на таких производствах проводится в «чистых» комнатах, электронно-вакуумная гигиена в которых должна соответствовать самым высоким требованиям. Затраты на строительство комплекса «чистых» комнат на современных производствах составляет сотни миллионов долларов США.

В связи с тем, что допустимые размеры и количество содержащихся в единице объема технологической среды пылинок, определяется, в том числе и размерами элементов структуры, то при переходе к субмикронной технологии производства СБИС появляется новый класс частиц, загрязняющих технологическую среду производственных помещений - микроорганизмы. Их существенным отличием от пылинок являются:

- малые размеры (от 0,01 до 10 мкм), т.е. весь спектр частиц, представленных в таблице 1.;

- способность размножаться в широком диапазоне климатических условий.

Эти характеристики сводят на нет эффективность фильтрации технологической среды. Климатические условия «чистых» комнат являются комфортными для размножения микроорганизмов. Большая часть микроорганизмов проникает в «чистую» комнату минуя фильтрационную систему, малоэффективную для частиц таких размеров.

Использование в условия «чистых» комнат традиционных методов борьбы с микроорганизмами, нашедших применение в медицине, пищевой промышленности, биотехнологии, таких как нагрев до высоких температур (вплоть до 200°С), обработка перегретым паром, газообразными и жидкими гербицидами невозможна из-за полной несовместимости с электронно-вакуумной гигиеной производственных помещений и опасностью для жизни персонала.

Развитие индустрии чистых помещений также требует развития индустрии «чистой одежды» и вызвано присутствием микроорганизмов и тем отрицательным влиянием, которое они оказывают. Такие элементы чистых помещений как ткани, нетканые материалы, композиционные текстильные материалы и поверхности ограждающих конструкций служат местами накопления и путями распространения микроорганизмов. Представляя идеальную среду для роста опасных микроорганизмов, они становятся источниками пыли и вызывают проблемы в процессе производства продукции и работе технологического оборудования.

Микробы - это живые организмы, и они, подобно всем живым организмам, делают все, чтобы выжить. Микроорганизмы могут генетически мутировать, если они подвергаются сублетальным дозам антимикробного препарата.

На рис.1 показана типичная зона ингибирования, где 100% уничтожаются клеточные структуры. Чистая зона вокруг субстрата - это зона ингибирования, а сублетальная зона, где не происходит стопроцентного уничтожения клеточных структур, показана серым.

Высокотемпературная обработка и существующие методы не удовлетворяют комплексу требований, предъявляемому к промышленным методам стерилизации и дезинтексти ОН' ингн

Градиент концашраини токсического компонента

Рис.1. Графическое представление зоны ингибирования. фекции. Это связано либо с высокой температурой (паровая стерилизация) выводящей из строя обрабатываемые изделия, либо с канцерогенными мутагенными последствиями (химическая стерилизация), либо с тотальным негативным воздействием на людей и окружающую среду (радиационные методы).

Исходя из сказанного, понятно, что проблема управляемого формирования низкотемпературной бактерицидной среды, обеспечивающей локальное уничтожение разного рода клеточных структур, без мутагенного воздействия на генетическом уровне, является одной из актуальнейших проблем современности.

Немыслимо производство самых современных изделий такой гигантской отрасли как микро- и радиоэлектроника без технологических «чистых комнат», имеющих четкие требования по составу и количеству пыли и клеточных структур. Они прочно входят в такие быстро развивающиеся отрасли как медицина, биотехнология, а также приборостроение. Кроме создания «чистых комнат», есть гигантская потребность в стерильном оборудовании, материалах, которые не могут быть стерилизованы традиционными методами.

Сегодня возникают ситуации, когда необходима стерилизация изделий РЭА, т.к. они могут являться частью сложных устройств, контактирующих с биологическими объектами, например, эндоскопов - медицинских приборов, с помощью которых осуществляют внутриполостные операции путем проникновения в организм человека через естественные пути (рот, пищевод, гортань и др.) Внутренние каналы этих приборов требуют стерилизации после проведения операций. Необходима обработка и наружных частей, к которым относятся электронные блоки прибора, позволяющие осуществлять видеонаблюдение за проведением операции и управлять его подвижными частями. Также требуется бактерицидная обработка изделий РЭА, которые включены в процессы воздухоподготовки «чистых» комнат, к таким изделиям относятся воздушные фильтры, воздуховоды и др.

Поэтому актуальной является задача развития современных локальных методов уничтожения клеточных структур, и еще более остро стоит вопрос минимизации мутагенных последствий масштабного использования этих технологий и влияния их на окружающую среду.

Особо следует сказать о масштабности возможных негативных последствий. Общее число видов живых организмов в биосфере Земли неизвестно. По оценке биологов оно лежит в интервале от 5 до 30 миллионов. Наиболее вероятное число - около 10 миллионов. Число видов, которые формально описаны и имеют научные названия, составляет примерно 1,4 миллиона.

Большинство видов составляют такие незаметные организмы как микробы, насекомые и крохотные морские существа. Крупные, видимые виды млекопитающих, птиц и растений составляют менее 5% от общей биомассы всех видов мира, а микроорганизмы -95% [2].

Обоснованность постановки вопроса именно в таком аспекте подтверждает шестидесятилетний опыт применения и использования антибиотиков во врачебной практике. Появление антибиотиков спасло миллион жизней, но тем самым ускорило естественный отбор в мире микроорганизмов. И это привело к появлению штаммов, устойчивых ко всем созданным препаратам. Этот список можно продолжить. Медаль почему-то всегда имеет оборотную сторону [3].

Если учесть, что масштаб технологии локального уничтожения клеточных структур сегодня несоизмеримо шире и кроме промышленных применений переходит на бытовой уровень и вместе с кондиционерами приходит в каждый дом, то и возможные негативные последствия такого масштаба трудно переоценить.

В связи с этим, целью диссертационной работы является разработка низкотемпературных способов и средств бактерицидной защиты технологических пространств, сред и изделий РЭА без мутагенных последствий.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

1. Исследовать процессы локальной генерации бактерицидной среды из составляющих воздуха и воды в виде производных кислорода (озон, активный кислород, ионы и радикалы кислорода) и радикалов ОН в газовой и жидкой фазе, обеспечивающих комплексное и пролонгированное воздействие.

2. Создать соответствующее оборудование, обеспечивающее генерацию бактерицидной среды. В качестве основного генерирующего воздействия предлагается использовать локальный импульсный разряд в условиях атмосферного давления и в жидкой фазе. Интервал изменения времени импульса находится в диапазоне от 10"4 до 10"8 с и определяется конкретными условиями процесса.

3. Провести медико-биологические исследования по определению масштабов воздействия активных факторов, влияющих на процесс стерилизации.

4. Разработать принципы технологии комбинированного воздействия газообразных и жидких бактерицидных сред для эффективного уничтожения клеточных структур.

Научная новизна.

1. Впервые показано, что в результате комплексного воздействия бактерицидных факторов: обработка в сухом воздухе с дополнительным УФ облучением в течении 15 мин; обработка во влажном воздухе с дополнительным УФ облучением в течении 15 мин; обработка в тумане с дополнительным УФ облучением в течении 15 мин. происходит процесс стерилизации.

2. Разработано схемотехническое решение на базе единого ключевого элемента (тиристора), работающего в режиме закрыт/открыт, что позволяет формировать импульс напряжения заданной длительности (< 1мкс) и в совокупности с резонансной зарядкой открывает возможность увеличения амплитуды этого импульса в 2 раза и соответственно повышает эффективность работы созданного источника питания.

3. Установлено влияние конструктивно-технологических параметров электродной системы барьерного разряда в водо-воздушной среде на скорость генерации озона и коэффициент его гибели. Разработано электроразрядное устройство с оптимальными конст-рукторско-технологическими параметрами ({7=5 кВ, длина разрядного промежутка I — 50 мкм).

4. Впервые обнаружена и исследована тонкая структура импульсно-дугового разряда в жидкости. Показано, что более короткая длительность разрядного импульса обеспечивает более высокую дисперсию материала эродирующего электрода. По результатам исследований разработано оборудование, обеспечивающее получение коллоидных растворов, частицы которых имеют характерные размеры в пределах 5—10 нм.

5. Установлены размеры (5—10 нм) наночастиц коллоидных растворов, обеспечивающих эффект стерилизации и пролонгированного антимикробного воздействия. Получены положительные результаты в отношении вирусов гепатита С и птичьего гриппа СH5N1).

Практическая ценность.

1. Разработаны принципы технологии и устройства комбинированного воздействия газообразных и жидких бактерицидных сред для эффективного уничтожения клеточных структур в системах обеспечения воздухопотока «чистых комнат».

2. Разработано оборудование низкотемпературной плазменной дезинфекции и стерилизации изделий РЭА, биотехнологии и медицины.

На защиту выносится:

- результаты исследования влияния конструктивно-технологических параметров электродной системы барьерного разряда в водо-воздушной среде на скорость генерации озона и коэффициент его гибели;

- результаты исследования влияния крутизны фронта импульса тока дугового разряда в жидкости на размеры микрочастиц коллоидных растворов;

- результаты исследования влияния величины энергии, подведенной к дуговому разряду в жидкости, на эффективность процесса стерилизации;

- конструкция электродной системы для импульсной генерации низкотемпературной плазмы дугового разряда в жидкости, обеспечивающая получение коллоидных растворов с характерным размером частиц в пределах 5-10 нм;

- результаты исследования комбинированного воздействия плазмы барьерного разряда, УФ излучения и капельной фазы на микробиологические объекты.

Апробация работы. Основные положения и результаты работы докладывались и обсуждались на международных, Всероссийских и отраслевых научно-технических конференциях:

- Международной молодежной научной конференции XXXII Гагаринские чтения, 4-8 апреля 2006 г. Москва, Россия;

- Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии» НМТ-2006. 21-23 ноября 2006 г. Москва, Россия;

- Международной молодежной научной конференции XXXIII Гагаринские чтения, 3-7 апреля 2007 г. Москва, Россия;

- 14-ой Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2007». 2007 г. Зеленоград, Россия;

- 3-ей Международной специализированной выставке вакуумной техники, материалов и технологий «ВакуумТехЭкспо-2008». 2008 г. Москва, Россия;

- Международной молодежной научной конференции XXXIV Гагаринские чтения, 1-4 апреля 2008 г. Москва, Россия.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 8 научных работ.

Структура и объем диссертации. Диссертация изложена на 157 страницах машинописного текста, включая 98 рисунков и 14 таблиц, состоит из введения, четырех глав, общих выводов, списка литературы, включающего 95 наименований.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Трепов, Дмитрий Александрович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ.

1. Разработана методика формирования импульсных электрических разрядов барьерного типа в воздухе. Создана конструкция электродной системы и исследовано влияние ее параметров на эффективность генерации бактерицидной среды. Оптимальные параметры ЭС и установки: межэлектродный зазор - 50 мкм, напряжение разряда - 5 кВ, обеспечивают генерацию озона из воздуха до 6 г/м объеме 30 л.

2. Определена методика исследования электрофизических параметров электроразряда в воздухе, определены методы измерения концентрации озона в сухой и влажной атмосфере, проведен анализ зависимости производительности системы от вида газового разряда, подтверждающий эффективность БР. Предложена физико-математическая модель генерации озона БР.

3. Разработана методика формирования локальных импульсных микроразрядов в воде. Создана конструкция электродной системы и исследована динамика преобразования электрической энергии в механическую. Оптимальный зазор осесимметричной ЭС - 0,5 мм, напряжение разряда - 8 кВ обеспечивают формирование кластеров серебра размером 5 - 10 нм и концентрацией до 30 мг/л. На конструкцию ЭС ИР подана заявка на изобретение.

4. Определена методика исследования электрофизических параметров электроразряда в жидкости, выбраны и обоснованы методы и аппаратура для измерения и регистрации формы импульсов высокого напряжения и тока наносекундного диапазона, измерения силы ударных волн, давления в канале разряда, вложенной в разряд энергии и производительности системы. Величина энергии в импульсе (~5 Дж/мл) совпадает с литературными данными, подтверждающими возможность стерилизации ИР в жидкости за счет электрогидравлического удара.

5. Проведены медико-биологические эксперименты, показывающие эффективность бактерицидной среды, генерируемой разработанными устройствами. Создаваемая бактерицидная среда обеспечивает стерилизацию образцов с концентрацией микроорганизмов 10б/см2 что удовлетворяет методическим документам Министерства здравоохранения Российской Федерации «Методы испытаний дезинфекционных средств для оценки безопасности и эффективности», 1998 г. и нормативно-техническим документам ГОСТ 22649-86 с изменениями №1, 2, 3 и ГОСТ 19569 с изменением №1.

6. Установлены режимы обработки объектов в воздухе. При добавлении в ход сте-рилизационного процесса определенного времени на влажную обработку и обработку в тумане, повышается эффективность стерилизации до 100%. Время обработки во влажном воздухе и тумане составляет 15 минут.

7. Изучены эффективные режимы обработки в жидкой среде, которые обеспечивают 100% стерилизацию обработанных образцов. Проведены исследования бактерицидных свойств обработанной жидкости, показан масштаб пролонгированного действия.

8. Разработаны принципы технологии, создано оборудование, обеспечивающие генерацию газообразных и жидких бактерицидных сред для эффективного уничтожения клеточных структур в системах подачи воздуха «чистых» комнат в производстве РЭА.

9. На основе разработанных принципов технологии создания газообразных и жидких бактерицидных сред разработана конструкция низкотемпературного плазменного стерилизатора изделий РЭА, биотехнологии и медицины.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Трепов, Дмитрий Александрович, 2008 год

1. Schicht Н. Стандарты EN ISO по технологии чистых помещений. Журнал АВОК№2, 2005. с.90-108.

2. Федотов А.П. Введение в глобалистику. Наброски науки о современном мире. 2-е издание М.: Издательство ТОО «СИМС» совместно с благотворительным фондом развития гуманитарных и технических знаний «Слово». 1999.

3. Капица С.П., Курдюмов С.П., Малинецкий Г.Г. Синергетика и прогнозы будущего. Изд. 3-е. М.: Едиториал УРСС, 2003.

4. Конев С.В., Матус В.К. Озон в биологии и медицине. Нижний Новгород, 1992,с.3-4.

5. Вашков В.И. Антимикробные средства и методы дезинфекции при инфекционных заболеваниях. М., Медицина, 1977.

6. Комельков B.C., Скворцов Ю.В. Расширение канала мощной искры в жидкости. -ДАН СССР, 1956, т.6,с1273 -1276.

7. Коптов В.А, Курочкин В.Е., Панина JI.K., Рутберг А.Ф., Рутберг Ф.Г., Снегов В.Н., Стогов А.Ю. Пролонгированная микробная устойчивость воды, обработанной импульсными электрическими разрядами. ЖТФ, 2007, том 77, выпуск 2, с. 188.

8. Чистов Е.К., Варгаузин А.А., Василевский В.М., Спичкин Г.Л. Стерилизация изделий медицинского назначения озоном. М., Медицина, 1997.

9. Корнеев Я.И., Яровский Н.А., Хаскельберг М.Б., Хряпов П.А., Чен Б.Н. Барьерный разряд в водо-воздушной среде и его применение в технологии очистки воды. НИИ высоких напряжений при Томском политехническом университете, Томск, 1998.

10. Воейков В.Д., Асфарамов P.P., Розенталь В.М. Экополис 2000: Экология и устойчивое развитие города. Мат. Междунар. конф. М. Изд-во. РАМН. с. 226-230.

11. Летавет А.А., Тейлор Д.Х. Основы космической биологии и медицины, т.1. кн. 1.-М.: Наука, 1975. с.58-77.

12. Самойлович В.Г., Гибалов В.И., Козлов К.В. Физическая химия барьерного разряда.-М: Изд. МГУ, 1989.

13. Электрический разряд в жидкости и его применение. Под ред. Гулого Г.А, -Наукова думка, Киев, 1977.

14. Гулый Г.А., Малюшевский П.П. Высоковольтный электрический разряд в силовых импульсных системах. Наукова думка, Киев, 1977.

15. Летавет А.А., Тейлор Д.Х. Основы космической биологии и медицины, т.2. кн.2 -М.: Наука, 1975, с.80-97.

16. Кривицкий Е.В., Шамко В.В. О подобии подводных искровых разрядов. -ЖТФ, 1972, XLII, с. 83-87.

17. Савкин А.В. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники. Диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. М., МАТИ, 2002

18. Юткин Л.А. Электрогидравлический эффект и его применение в промышленности. -Л.: Машиностроение, Ленингр. Отд-ние, 1986, 253 с.

19. Базелян Э.М., Райзер Ю.П. Искровой разряд. М.: Издательство МФТИ, 1997.

20. Шваб А.Н. Измерения на высоком напряжении. М.: Энергоатомиздат, 1983.

21. Гулый Г.А. Научные основы разрядно-импульсных технологий. Наукова думка, Киев, 1990.

22. Герасимов А.И., Дубинов Е.Г. Помехоустойчивый пояс Роговского с наносе-кундным нарастанием. ПТЭ, №3, 1988, с.93-95.

23. Баллюзек Ф.В., Куркаев А.С., Сквирский В.Я. Лечебное серебро. СПб.: Издательство ДИЛЯ, 2008.

24. Астафьев А.Г. Окружающая среда и надёжность РЭА. М., 1965.

25. Герасименко А.П. Защита машин от биоповреждений. М , 1984.

26. Ильичев В.Д. Экологические основы защиты от биоповреждений. М., 1985.

27. Ильичев В.Д., Бочаров Б.В., Анисимов А.А. Биоповреждения. М., 1987.

28. Андреюк Е.И. и др. Микробная коррозия и ее возбудители. М., 1980.

29. Иорданский А.Л. Сорбция и диффузия воды полимерными материалами. Сборник научных трудов «Методы оценки климатической устойчивости полимерных материалов»., 1986.

30. Краткая химическая энциклопедия, т.2, 1961, с.936 939.

31. Филатов И.С. Климатическая устойчивость полимерных материалов. М.,1983.

32. Сборник статей: Актуальные вопросы биоповреждений. М., 1983.

33. Белоконь Н.Ф. и др. Влияние биокоррозии на некоторые свойства пластических масс. Пластические массы, № 7,1972.

34. Яманов С.А. Новые электроизоляционные материалы и проблемы надёжности. -М., 1971.

35. Войтович В.А., Мокеева JI.H. Биологическая коррозия М., 1980.

36. А.С. RU 2254176. Способ очистки внутренних поверхностей полых изделий и устройство для его осуществления.

37. DE, заявка, 3430631, Кл. А. 61 L2/18, 1986.

38. А.С. № 2113859 Кл. А. 61 L 2/18, 06.27.1998г.

39. Трепов Д.А, Церулев М.В., Слепцов В.В. Очистка и стерилизация стенок каналов малых диаметров в жидкой среде. Технология машиностроения, 2007, №2, с.53-56.

40. Трепов Д.А. Использование электрогидравлического эффекта для очистки полимерных материалов. Тезисы докладов 32-ой международной молодежной научной конференции «Гагаринские чтения». М.: Издательство «МАТИ»-РГТУ им. К.Э. Циолковского, 2006, т.З, с.30-31.

41. Трепов Д.А., Церулев М.В. Очистка и стерилизация стенок каналов малых диаметров в жидкой среде. Тезисы докладов Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии» М.: Издательство «МАТИ»-РГТУ им. К.Э. Циолковского, 2006, с.23.

42. Слепцов В.В, Тянгинский А.Ю., Трепов Д.А., Церулев М.В. Микроразряды высокой мощности в жидкости. Технология машиностроения, 2007, №10, с.54-58.

43. Bergman Е., Lagrange S., Semitool Inc., Montana. Process and environmental benefits of HF-ozone cleaning chemistry. J. Solid State Tech., July,2001, p.115-124.

44. Войнар А.И. Микроэлементы в живой природе. М., Медгиз, 1962.

45. Кульский J1.A. Серебряная вода. Киев, Наукова думка, 1987.

46. Таранов Л.И., Филиппова И.А. Серебряная вода: метод Л.И. Таранова. М-СПб., Диля. 2002.

47. Фридман К.С. Новый раствор серебра (информационное пособие). М., Корал Клаб. 2001.

48. Коровин С.Д., Кутенков О.П., Ландаль В.Ф. Стерилизация медицинских объектов импульсным сильноточным низкоэнергетичным электронным пучком при реальном заражении. Томск, 1991. с. 9.

49. Дунаев С.А. Парарезонансный высокочастотный полупроводниковый озонатор с широтно-импульсным регулированием: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук, Уфа, 2000.

50. Кузнецов В.А. Математическая модель барьерного электрического озонатора в гидродинамическом приближении: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук, Пермь, 1994.

51. Максудов Д.В. Электрические поля в озонаторе с неоднородным диэлектриком: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук, Уфа, 2002.

52. Безруких Е.Г., Гаврилюк А.П., Зайцев Н.К., Шабанов В.Ф. Расчет концентрации озона, создаваемой озонатором в замкнутом объеме, Красноярск, Институт физики им. Л.В. Киренского, 1996.

53. Шепелюк О.С. Пространственно-временная структура микроразряда в озонаторе и ее роль в процессе синтеза озона из воздуха: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук. М., 1999.

54. Сергеев С.В. Сверхвысокочастотная стерилизация растворов лекарственных препаратов: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук. -М., 1995.

55. MoisanM., Barbeau J., Pelletier. J. Le vide. n. 299, p.15-28 (2001).

56. Moisan M., Barbeau J., Moreau S., Pelletier J., Tabrizian M., Yahia L'H. Int. J. Pharm. n. 226, 2001, p. 1-21.

57. Moisan M., Barbeau J., Pelletier J., Philip N., Saoudi. В. 13th Int. Coll. Plasma Processes (SFV), Antibes; Le vide. Numero special: Actes de Colloque, 2001, p.12-18.

58. Philip N., Saoudi В., Barbeau J., Moisan M., Pelletier. J. 13th Int. Coll. Plasma Processes (SFV), Antibes; Le vide. Numero special: Actes de Colloque, 2001, p.245-247.

59. Laroussi. M. IEEE Trans. Plasma Sci. v.24,1996, p. 1188-1191.

60. Hermann H. W., Henins I.,. Park J, Selwyn G. S. Physics Plasmas 6,1999, p.22842289.

61. Cariou-Travers S. and Darbord J. C. Le vide. 299, 2001, p.34-46.

62. Moreau S., Moisan M., Tabrizian M., Barbeau J., Pelletier J., Ricard A., Yahia L'H. J. Appl. Phys. 88, 2000, p.1166-1174.

63. Lerouge S., Fozza A. C., Wertheimer M. R., Marchand R., Yahia L'H. Plasmas Polymers 5, 2000, p.31-46.

64. Ricard A., Moisan M., Moreau S. Phys. D: Appl. Phys. 34, 2001, p.203-1212.

65. Pelletier J., Agressologie 33, 1993, p. 105-110.

66. Hury S., Vidal D. R., Pelletier J., Lagarde Т. Lett. Appl. Microbiol. 26, 1998, p.417421.

67. Soloshenko I. O., Khomich V. A, Tsiolko V. V., Mikhno I. L., Shchedrin A. I., Ryablsev A. V., Bazhenov V. Yu. Proc. 14th Int. Symposium Plasma Chemistry, Prague, 1999, p.2551-2556.

68. Warriner K., Rysstad G., Murden A., Rumsby P., Thomas D., Waites W. M. J. Appl. Microbiol. 88, 2000, p.678-685.

69. Kelly-Wintenberg K.,. Montie Т. C, Brickman C., Roth J. R., Carr A. K., Sorge K„ Wads L. worth, Tsai P. P. Y. J. bid. Microbiol. Biotechnol. 20, 1998, p.69-74.

70. Laroussi M., Alexeff I., Kang W. L. IEEE Trans. Plasma Sci. 28, 1999, p.184-188.

71. Lerouge S., Wertheimer M. R., Marchand R., Tabrizian M., Yahia L'H. Biomed J. Mater. Res. 51,2000, p.128-135.

72. Khomich V. A., Soloshenko I. A., Tsiolko V. V., Mikhno I. L. Proc. 12th International Conference on Gas Discharge and it's Applications, Greifswald, 2, 1997, p.740-744.

73. Moisan M., Moreau S., Tabrizian M., Pelletier J., Barbeau J., Yahia. L'H. "Systemc et precede de sterilisation par plasma gazeux a basse temperature", PCT/CA00/00623 (patent application), 2000.

74. Philip N., Saoudi В., Crevier М,- C., Moisan M., Barbeau J., Pelletier J. IEEE Trans. Plasma Sci. 30, 2002.

75. Khomich V.A., Soloshenko I.A., Tsiolko V.V., et al. Contributed papers of International Symposium on High Pressure, Low Temperature Plasma Chemistry (HAKONE VII), Greifswald, Germany, September 10-13, 2000, p. 402-406.

76. Фиикельнбург В., Меккер Г. Электрические дуги и термическая плазма. М.: ИЛ, 1961.

77. Соколова М.В. Коронный разряд в газах. Раздел IV.7.7. Энциклопедия низкотемпературной плазмы, вводный том II. М.: Наука 2000, с.273-279.

78. Найвельт Г.С., Мазель К.Б., Чусаинов Ч.И. Источники электропитания радиоэлектронной аппаратуры: Справочник. М.: Радио и связь. 1986.

79. Лившиц А.Л., Отто М.Ш. Импульсная электроника. М.: Энергоатомиздат. 1983.

80. Кузьмичев А.И. Модуляторы для импульсного питания магнетронных распылительных систем.

81. Черепанов В.П., Хрулев А.К. Тиристоры и их зарубежные аналоги. Справочник В 2 т. Т.2. М.:ИП РадиоСофт. 2002.

82. Воробьев Г.А., Месяц Г.А. Техника формирования высоковольтных наносе-кундных импульсов. М., Госкомиздат, 1963.

83. Варламов Р.Г. Справочник конструктора РЭА. М., Советское радио, 1972.

84. Баллюзек Ф.В., Куркаев А.С., Сквирский В.Я. Лечебное серебро и медицинские нанотехнологии. СПб.: ДИЛЯ. 2008.

85. Moguilnaia T.Yu., Botikov A. Research of the mechanism of excitation of parasitic modes in the laser module the "sourse fibre".

86. Moguilnaia T.Yu., Botikov A., Influence of instability of laser radiation on accuracy of record and reading of the information of diagnostic complex " Intestl" "; печ; Proceeding of Spie 31 .07 4.07 2005, USA, p.41.

87. Гаряев П.П. Волновой генетический код. М.: Институт проблем управления РАН, 1997.

88. Ошурко В.Б., Маныкин Э.А. Самоорганизация в воде под действием лазерного излучения. Московский инженерно-физический институт (Государственный университет), семинар отдела ВКИВ ИОФ РАН. 23 января 2008 года.