Исследование и разработка двухчастотного стабилизированного HE-NE лазера с повышенной разностной частотой для лазерных интерферометров тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, кандидат технических наук Кондрахин, Александр Анатольевич

• Кондрахин, Александр Анатольевич
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кондрахин, Александр Анатольевич

Введение

Глава 1. Обзор литературы

1.1. Лазерные интерферометры

1.2. Тенденции развития технологии интегральных микросхем

1.3. Промышленные модели лазеров, используемых в интерферометрах перемещений

1.4. Методы получения разностной частоты

1.4.1. Формирование разностной частоты в поперечном магнитном поле

1.4.2. Формирование разностной частоты в продольном магнитном поле

1.5. Методы стабилизации оптической частоты в двухчастотных стабилизированных лазерах

1.6. Постановка задачи

Глава 2. Анализ зависимости разностной частоты и мощности излучения от конструктивных элементов лазера

2.1. Расчет разностной частоты в зависимости от продольного магнитного поля

2.2. Экспериментальные исследования разностной частоты

2.2.1. Описание экспериментальной установки

2.2.2. Влияние магнитного поля на величину разностной частоты для активных элементов различной длины

2.2.3. Изменение мощности излучения в зависимости от длины резонатора и величины приложенного магнитного поля

2.2.4. Анализ экспериментальных и расчетных характеристик

2.3. Фазовая анизотропия

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка двухчастотного стабилизированного HE-NE лазера с повышенной разностной частотой для лазерных интерферометров»

Применение двухчастотных He-Ne лазеров в составе измерительных интерферометров упрощает измерительные схемы последних, расширяет возможности их применения, повышает надежность. Первые промышленные образцы лазерных интерферометров на двухчастотных лазерах, выпущенные в начале 70-х годов фирмой HP США, нашли широкое применение в промышленности.

Промышленные образцы лазерных интерферометров в СССР созданы в начале 80-х годов и выпускаются предприятиями России, Белоруссии, фирмами США и Японии. Для их комплектования разработаны, например, двухчастотные He-Ne лазеры ЛГН-212 (Россия), НР5501 ф Agilent (HP) (США) [1] с зееманов-ским расщеплением частоты генерации в продольном магнитном поле. Кроме того, рынок производства двухчастотных лазеров агрессивно пытаются завоевать предприятия юго-восточной Азии (Корея, Китай, Япония). В частности, Китаю выданы связанные кредиты на 40 млрд. долл. США на разработку лазеров и оборудования.

Излучение двухчастотного лазера содержит две ортогонально-поляризованные компоненты, совмещенные в направлении распространения светового пучка. Разность частот ортогонально-поляризованных компонент излучения представляет собой разностную частоту и определяется главным образом свойствами атомов активной среды, на которой происходит генерация, и магнитным полем.

Кольцевые лазеры [2], в которых генерация происходит на двух бегущих навстречу друг другу волнах, также позволяют получить двухчастотное излучение, которое может быть использовано в лазерных интерферометрах. Две волны, выходящие из кольцевого лазера, пространственно разнесены, что не требует применения специальных поляризационных делителей света, как в случае лазеров с линейным резонатором. Однако, в силу повышенных требований к технологии изготовления кольцевых резонаторов, такие лазеры не использовались.

Расширение области применения лазерных интерферометров выдвигает новые требования к двухчастотным лазерам и параметрам их излучения. Так, лазеры с разностной частотой 1,5-7-2,2 МГц позволяют проводить измерения со скоростью 18-5-28 м/мин. Для современных технологических установок (установки изготовления БИС и СБИС) требуется увеличения скоростей измерения. Реализация таких устройств возможна только на основе лазерных интерферометров, использующих двухчастотные лазеры с более высоким значением разностной частоты.

В устройствах для определения частотных характеристик фотоприемных устройств и разрешения спектральных приборов необходимы двухчастотные лазеры с разностной частотой в десятки и сотни мегагерц. Вместе с тем физические ограничения не позволяют существенно увеличить разностную частоту в двухчас-тотных лазерах с зеемановским расщеплением частот. Это заставляет обратиться к другим известным методам получения двухчастотного излучения: за счет фазовой анизотропии зеркал резонатора для разных направлений плоскости поляризации падающего на зеркало излучения; за счет введения в резонатор оптического элемента, показатель преломления которого неодинаков для различных направлений плоскости поляризации проходящего через него излучения.

Целью настоящей работы является создание и исследование двухчастотного стабилизированного лазера промышленного назначения с разностной частотой излучения более 2 МГц.

Для достижения поставленной цели было необходимо решить следующий круг задач:

1) исследовать физические процессы, влияющие на номинальное значение разностной частоты;

2) найти конструктивно-технологические пути повышения разностной частоты в лазерах промышленного назначения;

3) обеспечить необходимые значения основных характеристик лазерного излучения.

Научная новизна:

1) впервые в двухчастотных He-Ne лазерах получено значение разностной частоты 4 МГц на активном элементе с внутренними зеркалами, помещенными в намагничивающиеся юстировочные узлы;

2) впервые получены теоретические зависимости разностной частоты от интенсивности продольного магнитного поля, длины и добротности резонатора, подтвержденные экспериментальными исследованиями;

3) показано, что для He-Ne лазеров на основе активных элементов с внутренними зеркалами разностная частота более 2 МГц определяется, прежде всего, конфигурацией магнитного поля по длине разрядного промежутка;

4) установлено, что при повышении разностной частоты с 1,7 до 3 МГц крутизна спектрально-дискриминационных характеристик возрастает вдвое.

Научные положения и результаты, выносимые на защиту:

1) использование зеркал с наведенной фазовой анизотропией и однородного (в пределах 20%) продольного магнитного поля существенно (в два раза, до 4 МГц) повышает разностную частоту лазеров на активных элементах с внутренними зеркалами;

2) относительная нестабильность частот двухчастотного лазера с увеличенной (с 1,7 до 3 МГц) разностной частотой значительно (на два порядка) снижается за счет увеличения крутизны спектрально-дискриминационных характеристик при стабилизации оптической частоты по равенству интенсивностей ортогонально-поляризованных компонент излучения;

3) теоретические и экспериментальные результаты исследования зависимости разностной частоты излучения от напряженности магнитного поля, длины и добротности резонатора, позволившие обосновать требования к параметрам активного элемента для получения повышенной до 4 МГц) разностной частоты при необходимом (до 0,3 мВт) уровне мощности лазерного излучения.

4) способ повышения устойчивости поляризационно-частотных характеристик лазерного излучения, основанный на применении зеркал с наведенной фазовой анизотропией

Практическая значимость:

1) сформулированы практические рекомендации по разработке конструкции малогабаритного лазера промышленного назначения с повышенной разностной частотой (3-^4 МГц), в том числе требования к допустимой неоднородности магнитного поля;

2) разработано устройство стабилизации оптической частоты лазеров с повышенной разностной частотой;

3) высокостабильный двухчастотный лазер с повышенной (с 1,7 до 3 МГц) разностной частотой при использовании в составе лазерных интерферометров позволил увеличить точность и скорость измерения перемещений объекта более чем в два раза;

Апробация работы.

Основные положения, отдельные разделы и результаты докладывались и обсуждались на следующих конференциях: «Лазеры. Измерения. Информация». Санкт-Петербург. 5-7 июня 2002; XI конференции по физике газового разряда. Рязань, 2002; «Лазеры. Измерения. Информация». Санкт-Петербург. 25-27 июня 2003; «Лазеры. Измерения. Информация». Санкт-Петербург. 23-25 июня 2004; «Лазеры. Измерения. Информация». Санкт-Петербург 8-10 июня 2005.

По материалам диссертации опубликовано 11 работ, в числе которых 4 - в изданиях, включенных в перечень ВАК РФ.

Структура диссертации.

Диссертация состоит из введения, 4 глав, заключения, библиографического списка и приложений. Она содержит 132 страницы, 36 рисунков, 9 таблиц, 94 наименования списка литературы.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Кондрахин, Александр Анатольевич

Основные результаты работы заключаются в следующем:

1. Установленная взаимосвязь разностной частоты, напряженности магнитного поля, длины и добротности резонатора позволяет рассчитывать величину разностной частоты He-Ne активных элементов с внутренними зеркалами, что подтверждено экспериментальными исследованиями.

2. Полученное значение повышенной разностной частоты на активном элементе с внутренними зеркалами в продольном магнитном поле обеспечено выполнением следующих рекомендаций и условий:

• активные элементы выбраны из условия обеспечения необходимой мощности лазерного излучения при наименьшей длине его резонатора;

• повышенное значение разностной частоты без снижения мощности излучения обеспечено использованием зеркал с наведенной фазовой анизотропией;

• использована магнитная система с однородным магнитным полем по длине разрядного промежутка.

3. Выявлены критерии годности активных элементов для использования в составе частотно-стабилизированных лазеров. К таким критериям относятся: стабильность поляризационно-частотных характеристик; одновременное существование разностной частоты и ортогонально-поляризованных компонент излучения равной интенсивности. Установлено, что при стабилизации оптической частоты по равенству интенсивностей ортогонально-поляризованных компонент излучения стабильность частотных характеристик повышается при увеличении номинала разностной частоты.

Создан двухчастотный стабилизированный He-Ne лазер с повышенной разностной частотой ортогонально-поляризованных компонент излучения, позволяющий увеличить скорость измерения перемещений и дискретность отсчета в технологических и контрольно-измерительных установках более чем в два раза. Разработанная конструкция лазера обладает малыми массогаба-ритными показателями и малым временем готовности, что позволяет использовать лазер в современных интерферометрах.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате настоящей работы найдены новые научно-технические решения по созданию частотно-стабилизированных лазеров с повышенной разностной частотой ортогонально-поляризованных компонент излучения с использованием эффекта Зеемана в продольном магнитном поле.

Эти решения основаны на анализе результатов проведенных исследований влияния физических факторов и конструктивных элементов на величину разностной частоты.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кондрахин, Александр Анатольевич, 2005 год

1. http://www.two.hp.com

2. В. Е. Привалов. Газоразрядные лазеры в судовых измерительных комплексах. -Ленинград, «Судостроение», 1977.-152с.

3. Коронкевич В.П., Ханов В.А. «Современные лазерные интерферометры» — Новосибирск «Наука», 1985г.

4. Привалов В.Е. Квантовая электроника и новое определение метра. Л.: Знание, 1987. - 32 с.

5. Привалов В.Е. Газоразрядные лазеры в измерительных комплексах. Л.: Судостроение, 1989. — 264 с.

6. Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Митрофанов А.С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение, 1978. - 336 с.

7. Басов Н.Г., Губин М.А., Никитин В.В., Проценко Е.Д. Двухмодовые газовые лазеры и их применение в спектроскопии и оптических стандартах частоты (обзор). Квантовая электроника, т.11, № 6,1984, с. 1084-1105.

8. Применение ОКГ в приборостроении, машиностроении и медицинской технике/ С.П.Борисовский, В.А.Верейкин, Е.Г.Чуляева и др.Измерение стабильности и воспроизводимости частоты. Тезисы доклада на Всесоюзной межвуз. научн.-тех. Конф. — М, 1976, с. 148.

9. Дубров М.Н., Алешин В.А. Высокоточные лазерные интерферометры в многокомпонентных измерительных системах// Журнал радиоэлектроники, №10, 2000 г.

10. Обзоры по электронной технике: Лазерные интерферометры второго поколения/С. П. Борисовский, В. П. Коронкевич, В. А. Ханов. М., 1982. - Вып. 4 (915). Сер. Лазерная техника и оптоэлеюроника. 52 с.

11. Двухчастотные стабилизированные лазеры для точных измерений// Тезисы доклада VI Всесоюзной конференции «Оптика лазеров», JI.,1990, С.П.Борисовский, С.Ю.Поляков, Е.Г. Чуляева.

12. Поврозин А. И., Сидоров А. И. Эффект Зеемана в газовом оптическом квантовом генераторе на смеси He-Ne (А. = 0,6328 мкм)//Оптика и спктроскопия. 1966. - Т. XI, вып. 6. - С.754-758.

13. Фриш С. Э. Оптические спектры атомов. М.: Физматгиз, 1963. - 640с.

14. Гончуков С. А. и др. He-Ne лазеры на Я = 0,63 мкм в режиме генерации 2-х ортогонально поляризованных мод: Препринт. М., 1981.

15. Гуделев В. Г., Ясинский В. М. Гелий неоновый лазер с фазоанизотропным резонатором в поперечном магнитном поле: Препринт. Минск, 1981. -48с.

16. В. Г. Гуделев, А. И. Клочко, В. М. Ясинский. Двухчастотный гелий-неоновый лазер во взаимно ортогональных поперечных магнитных полях. Препринт №254. Минск, 1981.

17. Ferguson J. В., Morris R. Н. Single mode collaps in 6328 A He-Ne lasers// Appl. Opt. 1978. Vol. 17, №18. - P. 2924-2929.

18. Александров Е. Б., Запасский В. С. Лазерная магнитная спектроскопия. -М.: Наука, 1986. -280с.

19. Ferguson J. В., Morris R. Н. Frequency stabilization of internal mirror He-Ne lasers in an transverse magnetic field//Appl. Opt. 1975. Vol. 14, №12. - P. 2808.

20. Umeda N., Tsukiji M., Takasaki H. Stabilized 3He-20Ne transverse zeeman la-ser//Appl. Opt. 1980. Vol. 19, №3. - P. 442^150.

21. E.Chulyaeva Theses of report a two frequency laser with increased difference frequency used for interference measurements// International Workshop on New Ap-proaches to High-Tech Materials 97. NDTCS-97 St.Petersburg 1997.

22. Квантовая оптика и квантовая радиофизика/Под ред. О. В. Богданкевича, О. Н. Крохина. -М.: Мир, 1966. -452с.

23. Беннет. Эффект образования провалов на линиях лазера на смеси гелий-неон// вып. Лазеры, под ред. Жаботинского М. Е., 1963.

24. Терехин Д. К., Андреева Е. Ю., Фридрихов С. А. Одночастотный He-Ne лазер в магнитном поле//Журн. Приют. Спектроскопии. ЖПС. 1971. - Т. XIV, вып. 1. - с. 53.

25. Гончуков С. А. и др. Газовый лазер с фазовой анизотропией в постоянных магнитных полях//Квантовая электроника. 1981. - Т. 8. №2. - С.ЗЗЗ.

26. Гуделев В. Г. и др. Энергетические и частотные характеристики He-Ne лазера (X = 0,63 мкм) во взаимно ортогональных поперечных магнитных по-лях//Журнал приклада, спектроскопии: ЖПС. 1985. -T.XLII, №3. - С. 364368.

27. Bennet W. R. Hole Burning Effects in He-Ne Optical maser//Phys. Rev. 1962. - Vol. 126. №2. - P. 580-593.

28. А.П.Войтович. Магнитооптика газовых лазеров.Изд-во «Наука и техника»1. Минск, 1984г.

29. Войтович А. П., Шкадаревич А. П. Изучение энергентических характеристик конкурирующих переходов в He-Ne лазере с активной средой, помещенной в магнитное поле//Журн. Прикл. Спектроскопии. 1974. -Т. 20, вып. 4, С.606-611.

30. Дьяконов М. И., Перель В. И. К теории газового лазера в магнитном поле.// Оптика и спктроскопия, Т.ХХ, Вып. 3. —1966.

31. V 39. Tomlinson W.J., Fork R.Z. Frequensy stabilisation of a gas laser // Apppl. Opt.1969. Vol.8, № 1. - P.121-129

32. Quenelle R. C., Wues Z. Y. A new microcomputer controlled laser dimensional measurement and analyzing system//Hewlett-Packard J. - 1983. - Vol. 34. №4. -P. 3-13.

33. Техн. отчет №ГР Ф13235; Инв. №12/110-82.

34. Аутов С. Н. Воспроизводимость частоты излучения стабилизированного зеемановского лазера/Новосиб. ин-т инженеров геодезии, аэрофотосъемки и1Ш. картографии. 1979. Вып. 6(46) - С. 5-12.1. W/

35. Каковкин В.В., Каратеев В.П., Кулаков JI.B. Автоматическая стабилизация частоты излучения гелий-неонового лазера. — Электронная техника. Сер. Квантовая электроника, 1975, вып. 1, с. 60-62.

36. Бесемельцев В.П., Бурнашев В.Н., Воробьёв В.В Система экстремального регулирования для стабилизации частоты ОКГ. Автометрия, 1976, № 3, с. 102-103.

37. Копылов П.Н., Кошелявский Н.Б., Татаренков В.М. Экстремальная система стабилизации частоты лазера: В кн.: Исследование в области измерений времени и частоты. М.: Наука, 1980, с. 9-15.

38. Гуделев В.Г., Ясинский В.М. Простая система стабилизации частоты газового лазера. Приборы и техника эксперимента, 1980, № 1, с. 215-217.

39. Вергунов В.Б., Вольнов М.И., Тюриков Д.А. Электронная система для стабилизации разностной частоты двух лазеров. Приборы и техника эксперимента, 1978, № 3, с. 197-198.

40. Shimoda X. and Javan A. Stabilization of the He-Ne Laser on the atomic line center. -J. Appl. Phys., 1965, vol. 46, p. 717-726.

41. Атутов C.H. и др. Стабилизация гелий-неонового лазера с внутренними зеркалами в переменном магнитном поле. Автометрия, 1974, № 1, с. 83-88.

42. Бондаренко А.Н., Криницын Ю.М. Стабилизация частоты He-Ne лазера на X — 0,63 мкм в режиме конкуренции типов колебаний. Автометрия, 1978, №3, с. 115-120.

43. Сапрыкин Э.Г., Юдин Р.Н. Стабилизация частоты двухмодового лазера. -Журнал прикладной спектроскопии, 1970, т. XIII, № 6, с. 1072-1073.

44. Frequency stabilization of an internal-mirror He-Ne laser using axial-mode beat / A. Sasaki, T. Okada, J. Kawai, H. Aoyama // Appl. Physics Letters. 1997, Vol 61, N10. P. 1151-1153.

45. Власов A.H., Перебякин B.A., Поляков С.Ю., Привалов В.Е. Долговременная стабильность и воспроизводимость частоты He-Ne лазера с внутренними зеркалами. Квантовая электроника, 1986, т. 13, № 2, с. 320-325.

46. Пэт. 3534292, США. (H0is3/10). Frequency Stabilized laser System/Z. S. Cutler.

47. Справочник по лазерам. В двух томах. Том 1 / Под ред. А.М. Прохорова. -М.: Советское радио, 1978, с. 222.

48. Ciddor Р.Е. and Duffy R.M. Two-mode frequency stabilized He-Ne (633 nm) lasers: studies of short- and long-term stability. J. Phys. E: Sci. Instrum., v. 16, 1983, p. 1223-1227.

49. Bennet S.J., Ward R.E. and Wilson D.C. Comments on: frequency stabilization of internal mirror He-Ne lasers. Applied Optics, 1973, v. 11, p. 1406.

50. Brown N. Frequency stabilized lasers: Optical feed back effects. Applied Optics, 1981, v. 20, p. 3711-3714.

51. Funtambekar P.N., Dahiga H.S. and Chitnia V.T. Frequency stabilized and tunable raultimode He-Ne lasers. Optics Communications, 1982, v.42, p. 60.

52. Ciddor P.E. and Bruce C.F. Long-Term stability of a Termally-Stabilized He-Ne Laser. -Metrologia, 1981, v.17, p.17-18.

53. Nemes K., Valic M. Frequency stabilization He-Ne zeeman laser//Optoelectron Techn, vortr. 5 Int Kongr. Laser. — Munchen. 1975. — P. 23-25.

54. Наблюдение симметричного лэмбовского провала в He-Ne лазере на естес-ственной смеси изотопов неона/Юптика и спектроскопия, 2002, Том92, №3 С.518-520.

55. А. И. Клочко. Малогабаритный моноблочный He-Ne лазер для контрольно-измерительных приборов и систем.// «ЛАЗЕРЫ. ИЗМЕРЕНИЯ. ИНФОРМАЦИЯ». Тезисы докладов конференции. С.-Петербург. 5-6 июня 2002. С.80.

56. Беннет. «Эффект образования провалов на линиях лазера на смеси гелий-неон»// вып. Лазеры, под ред. Жаботинского М. Е., 1963.

57. Арефьев A.C., Кондрахин A.A., Чуляева Е.Г. Исследование поляризационно-частотных характеристик газового лазера в измерительных систе-мах.//Вестник РГРТА. Вып. 11.Рязань, 2003. С.88-90.

58. Арефьев А.С., Кондрахин А.А., Чуляева Е.Г. Исследование поляризационно-частотных характеристик газового лазера в измерительных систе-мах.//Известия академии наук. Серия физическая, Т. 67, №9, 2003. С. 1266— 1269.

59. Патент №2239266 РФ МП К 4HOS/13. Двухчастотный стабилизированный лазер/С. П. Борисовский, А. А. Кондрахин, Е. Г. Чуляева. Приоритет от 8.03.03.

60. M.A.Fedotov, E.G. Chulaeva Laser tube for frequency-stabilized laser. International Workshopon New Approaches to Hi-Tech 98 Nondestructive Testingand Computer Stimulations in Science and Enginerring 8-12 Iune 1998, A17.

61. E.G. Chulaeva, S.J. Polyakov Research of Polarization-Zeeman laser in collapse mode.- International Workshopon New Approaches to Hi-Tech 99 Nondestructive Testingand Computer Stimulations in Science and Enginerring 8-12 Iune 1999. V.3. P.A9- A10.

62. Э. Г. Пестов, Г. M. Лапшин. Квантовая электроника, М., Воениздат, 1972.

63. Ищенко Е.Ф., Климков Ю.М. «Оптические квантовые генераторы»// Москва, «Советское радио» 1968г.

64. А. Джеррард, Дж. М. Берч. Введение в матричную оптику//Под ред. канд. физ.-мат. наук В. В. Коробкина. М.: «Мир», 1978.

65. Физическая энциклопедия./Гл. ред. А. М. Прохоров. М.: Сов. энциклопедия. Т. 2. Добротность — Магнитооптика. 1990. 703 с.

66. Е. Ф. Ищенко, А. Л. Соколов. Поляризационный анализ. Часть1/М.: Изд-во «Знак». 1998. С.208.

67. А.С. Арефьев, С.П.Борисовский, А.А.Кондрахин Е.Г. Чуляева. Стабильная генерация в частотно-стабилизированном гелий-неоновом лазере//Вестник РГРТА, Вып. 14, Рязань 2004. С.80-83.

68. W.Van Haeringen. Polarisation Properties of a Single-Mode Operationg Gas Laser in a Small Axial Magnetic Field. Physical Review, v. 158, №2. p.256 272.

69. D.Lenstra, W.Van Haeringen. Mode polarization a single mode gas laser in transverse magnetic fields.//Optics Communications, 1977, V.23, №3, pp.311-314.

70. Троицкий Ю. В. Шебалин А. П. Условие одночастотной генерации в газовых лазерах малой длины. Квантовая электроника, 1976, Т.З, №11, с.2454— 2457.

71. DXenstra. On the theori polarization effects in gas lasers. Phisics Report v.59, №3, 1980, p.301-373.

72. W.E.Lamb Theory of an Optical Maser.-Phys.Rev.,1964, v.134, N6A, p.1429-1450.

73. Привалов П. Е., Федотов М. А., Чуляева Е. Г. Влияние возмущений в активной среде на нестабильность разностной частоты излучения.//Оптика и спектроскопия, 2000, Т.88, №1. С.149-153.

74. Оптические резонаторы с анизотропными элементами // М.А.Новиков,

75. A.Д.Тертышник. Изв.вузов Радиофизика,1976,т.19, №3, с.364-372.

76. Двухчастотный гелий-неоновый лазер с излучением на ортогональных поляризациях ЛГН-212—1: Проспект/ЦНИИ «Электроника». — М., 1983.

77. А. с. №12535307 с приоритетом от 4.03.1988. Двухчастотный газовый ла-зер//А. Н. Власов, С. Ю. Поляков, Г. Т. Тимошенко, И. С. Чуляев, Е. Г. Чуляева.

78. He-Ne лазер на X = 0.63 мкм в режиме генерации двух ортогонально-поляризованных мод// С.А.Гончуков, В.М.Ермаченко, Р.Д.Косумова,

79. B.В.Никитин, Е.Д.Проценко Квантовая радиофизика, Препринт №31, ФИАН им. Лебедева, М., 1981.

80. Вдовин Ю. А., Гончуков С. А., Губин М. А. Влияние атомных столкновений и пленения резонансного излучения на характеристики газовых лазеров. -Препринт ФИАН, 1972, № 116, с.57.

81. A.Sasakai, T.Okada, J.Kawai and H.Aoyama Appl.Phys.Lett. 61(10) ,7 September 1992 «Freqency stabilization of an internal-mirror He-Ne laser using axial-mode beat».

82. Richard H. Grote, Manufacturing the laser tube//Hewlett-Packard J. 1983. -№4. -P. 17-18.

83. Quenelle R. C., Wuez Z. J. A new microcomputer-controlled laser dimensional measurement and analysing system// Hewlett-Packard J. 1983. Vol. 34, №4. P.3-13.

84. Золотов А. В. Нестеров В. В., Пугач Ю. П. Влияние частотной модуляции излучения лазера на точность измерителя перемещений/Юптико-механическая промышленность. 1980. №7. С.1-3.

85. Золотов А. В. Кирюхин Ю. И, Кузнецова Н. А. Многофункциональные лазерные измерители перемещений//Оптико-механическая промышленность. 1983. №8. С.25-29.