Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, доктор технических наук в форме науч. докл. Филачев, Анатолий Михайлович

• Филачев, Анатолий Михайлович
• доктор технических наук в форме науч. докл.
• 1997

Оглавление диссертации доктор технических наук в форме науч. докл. Филачев, Анатолий Михайлович

Глава 1. Состояние проблемы и общая характеристика работы.

Глава 2. Компьютерное моделирование электронных пучков в ЭЛТУ.

2.1. Моделирование электронных пушек.

2.2. Моделирование осесимметричных фокусирующих магнитных полей.

2.3. Моделирование полей отклоняющих магнитных систем.

2.4. Некоторые особенности вычислительных алгоритмов

2.5. Назначение и возможности пакета прикладных программ "CHARGE".

2.6. Результаты численных экспериментов.

Глава 3. Теоретические и экспериментальные исследования электронных процессов в диэлектриках при обработке их поверхности электронным пучком.

3.1. Физическая модель электронно-лучевой обработки диэлектриков.

3.2. Экспериментальное оборудование.

3.3. Экспериментальные исследования явлений, возникающих при электронно-лучевой обработке поверхностей диэлектриков.

3.4. Анализ экспериментальных результатов.

Глава 4. Новые принципы и устройства для компьютерного управления технологическими процессами в ЭЛУ.

Глава 5. Разработка электронно-лучевого технологического - кя|удования нового поколения. """i 5.1. Электронно-лучевая установка для прецизионной обработки по зйным контурам. |5.2. Мобильный радиационно-технологический комплекс. г f 5.3. Электронно-лучевая установка для отжига полупроводниковых < '.фиалов, фяение.

Глава 1. Состояние проблемы и общая характеристикгп>аботы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования»

Предлагаемая диссертационная работа относится к области физической электроники, в частности, к исследованиям процессов формирования и взаимодействия электронных пучков с материалами в технологических процессах обработки электронным пучком. Электронно-лучевые технологии достаточно широко используются в точном приборостроении, микроэлектронике, машиностроении, медицине, экологии и т.д.

Расширение спектра электронно-лучевых технологий, разработка новых видов оборудования для их реализации, существенное улучшение параметров внедренных в промышленность типов обрудования неразрывно связаны с успехами физической электроники, вакуумной техники, физики вакуума и поверхности, электронной оптики. Значительную роль играет повышение уровня автоматизации управления технологическими процессами на основании исследований вторичных электронно-ионизационных процессов, сопровождающих воздействие электронного пучка на объект обработки.

Процессы и установки электронно-лучевой технологии служат объектом многочисленных исследований. Однако, тщательный анализ основных наиболее значительных работ в виде монографий и обзоров [1 - 5] показывает, что практически отсутствуют исследования, направленные на установление количественных взаимосвязей между электронно-оптическими параметрами первичного электронного пучка и процессами и явлениями на поверхности обрабатываемого изделия, доведенные до уровня создания автоматизированных промышленных установок прецизионной электронно-лучевой обработки поверхности твердых тел.

К сожалению, в последние годы в России работы в области создания электронно-лучевого оборудования для прецизионной обработки приостановлены в связи с финансовыми трудностями, а предприятия, выпускающие разработанное ранее электронно-лучевое оборудование (как технологическое, так и аналитическое) оказались вне границ России.

В этих условиях исследования процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с веществом, связанные с повышением эксплуатационных характеристик существующих и разработкой новых типов установок для электронно-лучевой обработки, являются особенно актуальными.

Актуальность настоящей диссертационной работы подтверждается ее соответствием Федеральной программе "Критические технологии" и Президентской программе "Национальная технологическая база". т

Спектр применения в промышленности электронно-лучевых и ионно-лучевых технологий чрезвычайно широк. Особо следует отметить следующие виды технологий : прецизионная электронно- и ионно-лучевая термическая размерная обработка материалов и изделий, в том числе прецизионная гравировка, сверление отверстий в твердых материалах с большой скоростью и пр.;

• высококачественная электронно-лучевая сварка и микросварка;

• электронно-лучевая технология испарения с осаждением (однослойные и многослойные покрытия, в том числе энергосберегающие);

• ионно-лучевая технология (в том числе имплантация, травление, очистка, распыление с осаждением многослойных покрытий , включая просветляющую оптику, и ряд других);

• ионно-плазменная технология (очистка, травление в полупроводниковом производстве, в точном оптическом приборостроении, в машиностроении); высокоэнергетические электронно- и ионно-лучевые системы (новые технологии обработки высокоэнергетическими пучками в медицине, например, при лечении онкологических заболеваний, а также при решении ряда экологических проблем, например, обеззараживание питьевой воды и грунта в случае чрезвычайных ситуаций);

• электронно-и ионно-лучевое аналитическое приборостроение: просвечивающая и растровая электронная микроскопия, микроанализ и т.п.

Этот весьма не полный перечень использования электронно- и ионно-лучевых технологий показывает необходимость проведения исследований с целью создания научной базы разработки, проектирования и внедрения в промышленность нового ряда современного автоматизированного электронно-оптического оборудования.

Разработка современного надежного оборудования рассматриваемого класса невозможна без компьютерного моделирования процессов формирования электронных пучков с заданными энергетическими и геометрическими параметрами. До последнего времени параметры электронных пучков исследовались в основном экспериментальными методами в уже изготовленных установках. В настоящей работе предлагаются новые универсальные физико-математические модели и разработанные на их базе алгоритмы и программы для компьютерного моделирования и исследования характеристик электронных пучков во всех электронно-оптических элементах ЭЛУ, включая термоэмиссионную систему (электронную пушку), область формирования электронного зонда магнитной линзой, систему отклонения электронного ка, и, наконец, область взаимодействия электронного пучка с обрабатываемым изделием. Высокая степень адекватности компьютерного моделирования реальным физическим процессам обеспечивается использованием эффективных методов и алгоритмов современной вычислительной электронной оптики, в том числе, интегральных методов расчета физических полей и аберрационных методов расчета электронных траекторий. Разработанный под руководством и при участии автора пакет прикладных программ для компьютерного моделирования ЭЛУ включает в себя программные модули, предназначенные для расчета электрических и магнитных полей с учетом разномасштабности электродов термоэмиссионной системы, пространственного заряда пучка и влияния характеристик материала магнитопровода, а также расчета как отдельных траекторий, так и функций распределения плотности тока при прохождении пучком всей электронно-оптической системы ЭЛУ от эмиттера до обрабатываемого изделия. Результаты расчета параметров электронных пучков хорошо коррелируют с экспериментальными данными, представленными в литературе. Использование разработанного пакета программ при проектировании специализированных ЭЛУ весьма перспективно с точки зрения повышения качества и снижения сроков и стоимости разработок.

Другое направление работ, важное для создания нового поколения автоматизированного электронно-лучевого оборудования, заключается в исследовании взаимодействия электронных пучков с диэлектриками и металлами (как в твердой, так и в жидкой фазе) с целью научно -обоснованного определения параметров электронного пучка и оптимальных режимов управления технологическими процессами.

Цель работы:

Основная цель диссертационной работы заключается в создании научно-технических основ разработки нового поколения автоматизированного электронно-лучевого технологического оборудования различного назначения на базе высокоточного компьютерного моделирования процессов формирования электронных пучков с заданными параметрами, в проведении широкого спектра теоретических и экспериментальных исследований взаимодействия электронного пучка с обрабатываемым материалом (металлами и диэлектриками) для разработки и внедрения новых электронно-лучевых технологий, а также в создании новых типов конкурентноспособного электронно-лучевого технологического оборудования. ф,

В ходе работы решались следующие задачи: разработка физико-математических моделей формирования электронного пучка в электронно-лучевых установках технологического назначения, а также технических требований на разработку соответствующего программного обеспечения,

• разработка физической модели и проведение экспериментальных исследований взаимодействия импульсного электронного пучка с диэлектриком,

• разработка аппаратных средств и программного обеспечения для компьютерного управления прецизионной ЭЛУ для гравирования и размерной обработки по сложным контурам. разработка и внедрение в производство ряда новых электронно-лучевых установок, в том числе, компьютернографического комплекса для прецизионной обработки изделий из металлов и диэлектриков плоской и цилиндрической формы по сложным контурам, мобильного комплекса для решения экологических проблем в чрезвычайных ситуациях, двухлучевой электронно-лучевой установки для поверхностной зонной рекристаллизации кремни ев ых пластин.

Научная новизна результатов диссертационной работы заключается в том, что:

1. Построены новые специализированные физико-математические модели, описывающие комплекс процессов формирования и транспортировки электронного пучка в ЭЛТУ с учетом разброса термоэлектронов по скоростям, температуры термокатода, эффектов ограничения тока пространственным зарядом вблизи поверхности эмиттера, а также аберрационных эффектов, связанных с прохождением электронного пучка через систему электростатической или магнитной фокусировки и систему магнитного отклонения.

Указанные результаты послужили основой для разработки пакета прикладных программ, предназначенного для компьютерного моделирования и оптимизации электронно-оптических характеристик ЭЛТУ (пакет прикладных программ в настоящее время внедрен в ГП НИИЭИО). Важное достоинство моделей и вычислительных алгоритмов, реализованных в пакете прикладных программ, заключается в том, что они не используют никаких дополнительных предположений о фазовых характеристиках электронного пучка при переходе от одного элемента электронно-оптической системы к другому (например, от электронной пушки к магнитной фокусирующей системе), а позволяют осуществить сквозной расчет всего многообразия электронных траекторий через все электронно-оптические элементы колонны.

2.Разработана новая физическая модель взаимодейстЖя электронного пучка с диэлектрическими материалами с учетом накопления, движения и стекания в вакуум пространственного заряда, вносимого электронным пучком.

Впервые обнаружен и исследован эффект стекания из стекол заряда, внесенного электронным пучком, обусловленным "убеганием" электронов в сильных краевых электрических полях вплоть до энергии, достаточной для их эмиссии в вакуум. Этот эффект позволяет создавать высококачественные электронно-гравированные изображения на поверхности диэлектриков(стекол).

3. Разработаны новые аппаратные средства и программное обеспечение для компьютерного управления электронно-лучевой установкой, предназначенной для прецизионной обработки поверхностей твердых тел по сложным контурам. В основу данной разработки положена оптимизация амплитудно-частотных характеристик усилителей и переходных характеристик шаговых двигателей, что позволило создать специализированный контроллер, обеспечивающий связь ПЭВМ с управляющими органами ЭЛТУ.

4. Создана и сдана в опытную эксплуатацию уникальная электроннолучевая установка для нанесения сложных художественных изображений на изделия из металлов и диэлектриков.

Практическая значимость диссертации заключается в следующем:

1. На основе проведенных исследований создана научно-методическая база и программное обеспечение для проектирования электронно-лучевого технологического оборудования нового поколения с автоматизированным компьютерным управлением, а также предложена методика разработки технологических карт для обработки материалов с различными физическими свойствами.

2. Разработан и внедрен в опытное производство компьютернографический комплекс для прецизионной обработки изделий из металлов и диэлектриков плоской и цилиндрической формы по сложным контурам.

3. Разработан мобильный комплекс для решения экологических проблем в чрезвычайных ситуациях.

4. Разработана и сдана в опытную эксплуатацию двухлучевая электронно-лучевая установка для поверхностной зонной рекристаллизации кремниевых пластин, весьма актуальная для решения ряда задач микроэлектроники.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Физико-математические модели формирования электронных пучков в электронно-лучевых технологических установках, учитывающие в комплексе разброс термоэлектронов по скоростям, температуру термокатода, эффекты ограничения тока пространственным зарядом, а также аберрационные эффекты, связанные с прохождением электронного пучка через систему электростатической или магнитной фокусировки и систему магнитного отклонения. Указанные модели являются надежной вычислительной базой для создания системы автоматизированного проектирования прецизионных электронно-лучевых технологических установок.

2. Физическая модель накопления, движения и стекания в вакуум заряда, вносимого в диэлектрики при их обработке электронным лучом. Согласно этой модели получение высококачественных электронно-гравированных изображений на поверхности диэлектриков (стекол) оказывается возможным благодаря впервые обнаруженному и исследованному эффекту стекания из стекол внесенного заряда, обусловленному "убеганием" электронов в сильных краевых электрических полях вплоть до энергии, достаточной для их эмиссии в вакуум.

3. Устройства, алгоритмы и программы для управления электроннолучевой установкой прецизионной обработки по сложным контурам.

4. Электронно-лучевое оборудование для прецизионной обработки плоских и цилиндрических изделий из металлов и диэлектриков, в том числе, компьютернографический комплекс для прецизионной обработки изделий из металлов и диэлектриков плоской и .цилиндрической формы по сложным контурам, мобильный комплекс для решения экологических проблем в чрезвычайных ситуациях, двухлучевая электронно-лучевая установка для поверхностной зонной рекристаллизации кремниевых пластин.

Совокупность результатов и выводов, полученных в диссертации, может быть квалифицирована как решение крупной актуальной научно-технической проблемы, связанной с созданием научно-технических основ разработки нового поколения конкурентноспособного автоматизированного электронно-лучевого технологического оборудования различного назначения на базе высокоточного компьютерного моделирования процессов формирования электронных пучков с заданными параметрами и проведения широкого спектра теоретических и экспериментальных исследований взаимодействия электронного пучка с обрабатываемым материалом (металлами и диэлектриками).

Апробация работы и публикации

Результаты диссертационной работы докладывались на Международных конференциях по оптике заряженных частиц в Сан Диего (США, 1996, 1997 г.г.), на пятой Международной конференции по электронно-лучевым технологиям в Варне (Болгария, 1997 год), на Всероссийском семинаре "Проблемы теоретической и прикладной электронной оптики" (Москва, 1996, 1997 г.г.) и опубликованы в 26 печатных работах.

Образцы оборудования, разработанного в рамках диссертационной работы, экспонировались на следующих международных выставках и салонах:

Всемирный салон изобретений "Брюссель - Эврика" (1994г.- золотая медаль, 1995г. - две золотые медали, 1996г. - специальный приз и медаль "Альберта Швейцера").

25-ый международном салоне инноваций в Женеве ( 1997г.- золотая медаль).

Глава 2. Компьютерное моделирование электронных пучков в ЭЛТУ

Компьютерное моделирование, как один из наиболее важных элементов проектирования и оптимизации конструкций ЭЛТУ, включает в себя расчет характеристик электронного пучка на всех этапах его формирования: в электронной пушке, в фокусирующей системе, в системе отклонения или развертки. Рассматриваемая проблема содержит в себе целый набор взаимосвязанных серьезных задач математической физики, электронной оптики, вычислительной математики и программирования.

В данной главе представлены результаты разработки программного обеспечения для компьютерного моделирования ЭЛТУ с магнитной или комбинированной фокусировкой и магнитным отклонением.

Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Филачев, Анатолий Михайлович

Основные результаты работы отражены в следующих публикациях:

1.Волчков В.И., Филачев A.M., Шабаров В.В. Устройство для электронно-лучевой обработки. // Свидетельство на полезную модель 95115201/20 (026921) 12.09.95.

2.Филачев A.M., Балашов В.Н., Смирнов Ю.С., Шабаров В.В. , РозенфельдЛ.Б. Радиационно-технологический комплекс//Свидетельство N 3060 на полезную модель по заявке N 95117180, 16.10.1996.

3.Филачев A.M. Балашов В.Н., Смирнов Ю.С., Шабаров В.В., Розенфельд Л.Б. , Семенычев В.М. Радиационно-технологический комплекс // Свидетельство N 3059 на полезную модель по заявке N 95117178, 16.10.1996.

4.Гайдукова И.С., Филачев A.M. Анализ состояния и определение перспективных направлений разработки электронно-лучевых устройств для обработки твердотельных материалов. // Оборонный комплекс -научно-техническому прогрессу России, 1996 , N 1 с.с.3-12.

5.M.A.Monastyrsky, V.A.Tarasov, A.M.Filachev New theoretical approach to the self-coordinated problem in charged-particle optics // Proc. of the International Conference on charged Particle Optics (CPO -2)San Diego, 1996, SPIE, volume 2858, p.p. 136-144.

6.M.A.Monastyrsky , S.A.Andreev, I.S.Gaydukova, V.A. Tarasov, A.M.Filachev Modern numerical technique and software for photo/thermo-emission electron-optical devices and technological units computer-aided design" // Proc. of the International Conference on charged Particle Optics (CPO -3)San Diego, 1997, SPIE, volume 3155, p.p.241-247.

7.Филачев A.M., Фукс Б.И. Проблемы электронно-лучевой обработки диэлектриков // Прикладная физика, 1996 , вып. 3, с.с. 39-46.

8.Гайдукова И.С. .Филачев А.М. Компьютерное моделирование и разработка термоэмиссионной системы установки электронно-лучевого гравирования. //Прикладная физика, 1996, вып. 3, с.с. 46-55.

9.Monastyrski, S. Andreev, I.Gaydukova, V.Tarasov, A.Filachev Modern numerical techniques and software for emission electron-optical devices and technolodge units computer- aided design.// Fifth Iternational Conference on Electron Beam Technologies, Varna, Bulgaria, 1997, p.42.

1 Q.A.Filachev. I.Gaydukova, V. Shabarov Electron beam technolodgy and equipment for planar image deposition. // Fifth International Conference on Electron Beam Technologies, Varna, Bulgaria, 1997, p.323.

11.A.Filachev, B. Fouks, D. Greenfield. Problems of electron-beam processing of insulator // Fifth International Conference on Electron Beam Technologies. Varna, Bulgaria, 1997, p.388.

12.Клюйков А.Г., Ковалев В.JI., Сухотинский В.Ю., Филачев A.M., Юрьев А.А. Система управления модуляцией электронного пучка электронно-лучевой установки для нанесения высокохудожественных образов на обрабатываемые изделия.// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России, 1996,вып.З, с. 27.

13.Волчков В.И., Еремин А.П., Константинов В.В. Филачев A.M. Применение методов электронной оптики в разработке технологических ионно-плазменных устройств.// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России, 1996, вып.З, с. 30.

14.Филачев А.М., Ляликов А.В. Система автоматического управления установкой электронно-лучевого гравирования // Оборонный комплекс -научно-техническому прогрессу России, 1996, вып.З, с. 32.

15.ГайдуковаИ.С., Титов А.А., Филачев A.M. Критерии оптимальности систем формирования электронных пучков ЭЛУ технологического назначения. II Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России, 1996, вып.З, с. 36.

16. А.М. Filachev, B.I.Fouks, D.E.Greenfield Nature of distortion of surface patern produced by precise electron beam processing of insulator. // Proceedings SPIE, 1997,volume 3155.p.p. 78-88.

17.Розенфельд Л.Б., Филачев А.М. Некоторые вопросы проектирования систем модуляции пучка в технологическом электронно-лучевом оборудовании для размерной обработки. // Прикладная физика, 1997, вып.2 , с. 60-71.

18.Васичев Б.Н., Чернова-Столярова Е.Е., Филачев А.М. Особенности сверхзвукового движения в воде и атмосфере пучков заряженных частиц и твердых тел. // Прикладная физика ,1997, вып.2 ,с.32.

19.Васичев Б.Н., Балашов В.Н., Рыбаков Ю.Л., Филачев A.M. Особенности малодозовой томографии с программируемым многоракурсным электронно-лучевым рентгеновским источником .// Прикладная физика , 1997, вып.2 , с. 17.

20.Барбарич И.Н., Титов А.А., Филачев А.М. Разработка численно-аналитического метода решения задачи самосогласованного поля в аксиально-симметричных электронных пушках. // Радиоэлектроника, 1996, № 2, с.42.

21.Барбарич И.Н., Титов А.А., Филачев A.M. Численное моделирование процесса формирования электронного пучка в пушке для сварки //Известия ТЭТУ, 1997,вып. 503, с.31.

22.Научно-технический отчет . Разработка программного обеспечения базовых методов расчета полей осесимметричных линз с нелинейными характеристиками материалов и методов расчета электронно-оптических характеристик фокусирующих-,- отклоняющих, и эмиссионных систем для электронного и ионного технологического оборудования.// шифр "Обеспечение" N ГР У17642Д985 .

23.Научно-технический отчет. Электронно-лучевой испаритель.// N ГР У17641 , 1987.

24.Научно-технический отчет. Исследование и разработка электроннолучевой установки для обработки деталей и узлов изделий микрофотоэлектроники, II N ГР У49872, 1991.

25.Научно-технический отчет. Отработка и совершенствование систем автоматизированной электронно-лучевой установки для размерной обработки с проведением поисковых работ и экспериментальных проработок новых технологических процессов с определением основных типов деталей обработки наЭЛУ. /М ГР У 17634, 1987.

26.Научно-технический отчет. Исследование и разработка электронно-оптических и ионно-оптических систем для создания технологических приборов и установок. // N ГРУ17721, 1988.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук в форме науч. докл. Филачев, Анатолий Михайлович, 1997 год

1. Bakish R. 1.troduction to Electron Beam Technology.- New York: J.Wiley &. Sons Inc., 1962.

2. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справочник / H.H. Рыкалин, A.A. Углов, И.В. Зуев, А.Н. Кокора. М.: Машиностроение , 1985, 496 с.

3. Основы электронно-лучевой обработки материалов/ H.H. Рыкалин, И.В.Зуев, А.А.Углов.- М.: Машиностроение, 1978,- 239 с. .

4. Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов .- Под ред. Дж. Р. Брюэра . М.: Радио и связь, 1984 . - 336 с.5. 3. Шиллер, У. Гайзиг, Я. Панцер, Электронно-лучевая технология, "Энергия", 1980.

5. Н. J. Linn, K.Poscht. Numerische Berechnung von Elektronenkanonen. -Arch. Elektr. Übertragung, 1968, Bd.22, N3, s.146-149.

6. ПХокс, Э.Каспер. Основы электронной оптики (т.1,2). М.: Мир, 1993.

7. Н.Добрецов, М.В.Гомоюнова. Эмиссионная электроника.- М.: Наука, 1966.

8. Силадьи Р. Электронная оптика. М.: Мир, 1994.

9. M. А. Монастырский. Метод t-вариаций и некоторые вычислительные проблемы электронной оптики динамических эмиссионных систем.// Прикладная физика, 1996, № 3, с.7-27.

10. V.P.Il'in, V.A.Kateshov, Yu.V.Kulikov, and M.A.Monastyrsky. Emission-Imaging Electron-Optical System Design.//- Advances in Electronics and Electron Physics, 1990, vol.78, p.p. 155-278.

11. М.А.Монастырский, С.В.Колесников. Общая теория пространственных и временных аберраций в катодных линзах со слабо нарушенной осевой симметрией (части 1,2).//Журнал технической физики, 1988, том 58, N1, р.р.3-19.

12. V.P.Degtyareva and M.A.Monastyrsky. Some dynamic problems in streak image tubes theory. // Nuclear Instruments&Methods in Physics Research, 1995, A363, p.p.354 357.

13. Е.А.Рапоцевич, С.С.Родионов, И.В.Цимбалист. Моделирование двумерных магнитостатических полей на IBM PC. // В сб.: Вычислительные методы и технология решения задач математической физики, Новосибирск, 1992.

14. Е.А.Рапоцевич, С.С.Родионов. Численный расчет электромагнитных сил.// В сб.: Вычислительные методы и технология решения задач математической физики, Новосибирск, 1992.

15. W.Schwertfeger, E.Kasper. Optik, 41, 1974.

16. М.А.Монастырский, С.В.Колесников. Новый метод расчета возмущений потенциала в задачах со слабо нарушенной осевой симметрией.//Журнал технической физики, 1983, 53, N9, с. 1668-1677.

17. Дж. Форсайт, М.Моулер. Машинные методы математических вычислений. М.: Мир, 1982.

18. И.Ш.Белуга, И.М.Соколова. Прикладная физика, 1997, № 2, с. 71-76.

19. L.Reimer, U.Golla, R.Bongeler, M.Kassens, B.Schindler, and

20. R.Senkel, . Charging of bulk specimens, insulating layers and free-supporting films in scanning electron microscopy.// Optik, 1992, 14-22 .

21. А.М.Филачев, Б.И.Фукс, Проблемы электронно-лучевой обработки диэлектриков.// Прикладная физика, 1996, № 3 , с.39-45.

22. С. Зи, Физика полупроводниковых приборов, "Мир", Москва, 1984.

23. Z.G.Song, C.K.Ong, and H.Gong. A time-resolved current method for the nvestigation of charging ability of insulators under electron beam irradiation.//J. Appl. Phys., 1996, 79, 7123-7128.

24. Л.Д.Ландау, Е.М.Лифшиц, Электродинамика сплошных сред, Гл. 1, "Наука", Москва, 1992.

25. Физические величины, Справочник (под ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова), Гл. 22, 23, 25, Энергоатомиздат, Москва, 1991.

26. Э. Конуэлл, Кинетические свойства полупроводников в сильных электрических полях, Гл. 2, 3, "Мир", Москва, 1967.

27. Ю.К. Пожела, Плазма и токовые неустойчивости в полупроводниках, Гл.5, "Наука", Москва, 1977.

28. Подписано к печати 02.04. 199'гз 264 Объем 2,5 п.л. Тираж 80111123 Москва, ул.Плеханова 2/46, НПО "Орион'