Исследование автоэмиссионных и радиационных свойств углеродных материалов и возможности их применения в катодах люминесцентных источников света тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Попов, Максим Олегович

• Попов, Максим Олегович
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Попов, Максим Олегович

Введение.

Глава I. Автоэлектронная эмиссия, ее использование и изучение.

§ 1. Физические основы автоэлектронной эмиссии.

§ 2. Процессы, сопровождающие автоэлектронную эмиссию.

2.1 Деформации, обусловленные пондеромоторными силами.

2.2 Испарение полем и ионная бомбардировка.

§ 3. Автоэмиссионные катоды; материалы и области применения.

3.1 Углерод. Общие сведения.

3.2 Углеродные волокна.

3.3 Высокоориентированный пиролитический графит.

3.4 Высокопрочный графит.

3.5 Типы автоэмиссионных катодов и'их применение.

§ 4. Методы исследования структуры и поверхности эмиссионных материалов.

4.1 Автоэлектронная микроскопия.

4.2 Автоионная микроскопия.

4.3 Растровая электронная микроскопия.

4.4 Сканирующая зондовая микроскопия.

4.5 Масс-спектрометрия.

4.6 Рентгеновская дифрактометрия.

§ 5. Катодолюминесцентные источники света.

Выводы.

Глава II. Методика, оборудование и задачи экспериментов.

§ 1. Цели и задачи экспериментов.

§ 2. Методика изготовления образцов.

§ 3. Установки для проведения экспериментов и исследования состояния поверхности материалов катодов.

3.1 Экспериментальная установка.

3.1.1 Универсальная измерительная ячейка.

3.1.2 Автоматизированная система управления экспериментом, сбора и обработки информации.

3.1.3 Автоионный микроскоп.

3.2 Сканирующий туннельный и атомно-силовой микроскопы.

§ 4. Методика проведения экспериментов и исследования состояния поверхности автоэмиссионных катодов.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование автоэмиссионных и радиационных свойств углеродных материалов и возможности их применения в катодах люминесцентных источников света»

Актуальность темы:

Исследование автоэмиссионных свойств углеродных материалов представляет собой большой научный и практический интерес. Фундаментальное явление автоэлектронной эмиссии [1-3] лежит в основе работы многих типов эмиссионных катодов, которые, в свою очередь, применяются в различных устройствах (плоских дисплейных экранах, рентгеновских трубках, ускорителях, вакуумных электронных приборах и электронных микроскопах [4]). В последние годы использование катодов на основе явления автоэлектронной эмиссии нашло применение в активно разрабатываемых катодолюминесцентных источниках света (КПИС) [5-6].

Первое время основным материалом для автоэмиссионных катодов являлся вольфрам. Затем перечень материалов, используемых для них, значительно расширился: это металлы переходных групп, такие, как хром, ниобий, гафний, а также полупроводниковые материалы -кремний, германий. Однако, существенным недостатком указанных материалов является невозможность их долгой работы в условиях технического вакуума (10"5-10"7 Topp). Это объясняется увеличением радиусов вершин эмиссионных острий, определяющих автоэлектронную эмиссию с их рабочей поверхности, что, в свою очередь, приводит к снижению напряженности локального электрического поля и уменьшению автоэлектронного тока вплоть до его прекращения. Причина затупления острий - бомбардировка их вершины ионами остаточных газов. При этом образование ионов происходит по механизму электронного удара в пространстве «катод - анод». В последние годы большое внимание было уделено исследованию эмиссионных свойств углеродных материалов, которые, как выяснилось, в значительной степени свободны от этого недостатка.

Углеродные автоэмиссионные катоды являются основным конструктивным элементом разрабатываемых в настоящее время источников света. В силу специфических свойств углерода (анизотропия аморфно-кристаллической структуры в случае углеродных волокон и 5 высокоориентированного пиролитического углерода, высокая стойкость к ионной бомбардировке, механическая прочность реакторного графита) его использование в качестве материала катодов представляется достаточно перспективным [7]. В этой связи одной из основных задач диссертационной работы являлась разработка и создание катодов и катодно-модуляторных узлов, способных работать в условиях технического вакуума и обеспечивать стабильную и долговременную работу источников света. При этом основное внимание в работе уделялось углеродным волокнам, изучение эмиссионных свойств которых показало принципиальную перспективность их использования в качестве автокатодов: углеродные волокна не требуют специального заострения; достаточно хорошо работают в условиях технического вакуума; во время работы на их поверхности образуется динамически стабильный ансамбль эмиссионных центров, устойчивых к бомбардировке ионами остаточных газов; имея относительно невысокую стоимость, волокна выпускаются промышленностью многих стран мира.

Углеродные волокна изготавливаются в виде жгутов, состоящих из сотен и тысяч единичных волокон, а также в виде ткани. Единичные волокна имеют диаметр от 7 до 10 мкм и могут быть использованы для создания многоострийных катодов. Преимуществом углеродных волокон является простота изготовления из них катодов и образцов для исследований. При этом одним из наиболее перспективных направлений практического использования волокон является их использование в качестве катодов люминесцентных источников света (КПИС). В работе для более полного понимания процессов автоэлектронной эмиссии и автоэмиссионных свойств изучались и другие виды углеродных материалов (реакторный графита (МПГ), высокориентированного пиролитического (ВОПГ) графит).

Актуальность проведения исследований определяется недостаточностью информации о процессах автоэлектронной эмиссии углеродных волокон, ее параметрах, эффективности, влиянии условий работы на состояние эмиссионных поверхностей волокон, конструктивного исполнения катодов и катодно-модуляторных узлов и способах их изготовления. 6

Изучение автоэмиссионных свойств углеродных материалов поможет глубже понять явление автоэлектронной эмиссии, перейти от качественных оценок к количественным расчетам и к практической реализации возможности использования их в качестве материала катодов люминесцентных источников света. Это будет способствовать расширению областей науки и техники, в которых применяется явление автоэлектронной эмиссии: после открытия явление практически реализовано в микроскопии (автоэлектронной (АЭМ), автоионной (АИМ), растровой электронной (РЭМ), сканирующей туннельной (СТМ), и атомно-силовой (АСМ)), в ряде направлений вакуумной микроэлектроники.

Основным рабочим элементом источников света на основе катодолюминесценции, как было указано, являются автоэмиссионные катоды. В данной работе отрабатывается методика исследования процесса автоэлектронной эмиссии, оценивается возможность применения в качестве материала катодов углеродных волокон, ВОПГ и монолитного углерода и проводится анализ преимуществ и недостатков различных катодов на их основе, определяются оптимальные режимы работы катодов в КЛИС, рассматриваются возможные варианты конструкций катодно-модуляторных узлов и источников света в целом.

Цель диссертационной работы состояла в изучении автоэмиссионных свойств углеродных материалов, исследовании влияния различных видов предварительной обработки (отжиг, тренировка электрическим полем, радиационное воздействие), конструкционных и геометрических параметров и условий работы на структуру и свойства углерода и на протекание процесса автоэлектронной эмиссии во взаимосвязи с эволюцией структуры поверхности; определении оптимальных условий предварительной подготовки и обработки волокон, режимов и параметров работы применительно к их использованию в качестве катодов в КЛИС.

Для достижения поставленной цели были решены следующие задачи: 7

• разработана и создана универсальная установка для автоматизированного измерения вольтамперных характеристик, сбора и обработки результатов экспериментов;

• разработана и создана универсальная измерительная ячейка, позволяющая проводить исследования влияния геометрических параметров, формы и материалов, продолжительности работы, предварительной обработки на структуру и эмиссионные свойства катодов;

• исследовано влияние способов предварительной обработки углеродных материалов на структуру их эмитирующей поверхности и характер вольтамперных зависимостей;

• проведены комплексные микроскопические, рентгено-дифракционные и масс-спектрометрические анализы материалов;

• получены и проанализированы вольтамперные характеристики процесса автоэлектронной эмиссии различных конфигураций узлов КЛИС;

• определены оптимальные конструкции, режимы предварительной обработки и условия работы углеродных волокон в качестве автоэмиссионных катодов КЛИС.

Научная новизна диссертационной работы.

• разработана и реализована методика автоматизированного экспериментального исследования автоэмиссионных свойств материалов;

• проведены исследования взаимосвязи структуры поверхности и автоэмиссионных свойств углеродных материалов; показано, что при определенных условиях предварительной обработки и эксплуатации волокон на их поверхности образуется устойчивых ансамбль эмитирующих центров;

• экспериментально показано, что результаты исследования автоэмиссионных свойств углерода объясняются в рамках теории автоэлектронной эмиссии Фаулера-Нордгейма; 8

• экспериментально показано, что из всех изученных углеродных материалов (ВОПГ, монолитный углерод, волокно) наиболее эффективными с точки зрения, равномерности электронного потока, технологичности и долговечности являются единичные углеродные волокна и их небольшие комплексы;

Практическая значимость.

• показано, что наиболее перспективными для использования в КЛИС являются единичные углеродные волокна;

• определены геометрические параметры катодов и катодно-модуляторных узлов, обеспечивающие их длительную и устойчивую работу;

• анализ вольтамперных характеристик позволил определить условия работы катодов с точки зрения их использования в КЛИС;

• определен элементный состав углеродных материалов, проведены микроскопические, масс-спектрометрические и рентгено-дифракционные исследования рабочей поверхности и структуры волокон, которые показали, что при определенных условиях предварительной обработки и оптимальных режимах работы поверхность очищается от защитного полимерного покрытия и на ней образуется устойчивый ансамбль эмиссионных центров;

• создана универсальная автоматизированная установка, разработана и научно обоснована методика проведения экспериментов для исследования автоэмиссионных свойств материалов;

• разработаны программное обеспечение и методика сбора и обработки экспериментальных данных о процессе автоэлектронной эмиссии с помощью ЭВМ.

Достоверность полученных данных подтверждается:

• хорошей согласованностью с экспериментальными данными, полученными другими авторами при изучении углеродных материалов; 9

• непротиворечивостью выводам теории Фаулера-Нордгейма, которая обычно используется для описания и объяснения явления автоэлектронной эмиссии;

• использованием апробированных современных методов и средств измерений структуры поверхности и электрофизических параметров;

На защиту в диссертации выносятся следующие положения:

• использование пучков из сотен и тысяч единичных волокон в катодах нецелесообразно. Наиболее перспективным является использование единичных волокон и их небольших (до 10 штук) ансамблей;

• предварительная обработка (отжиг и тренировка электрическим полем) углеродных волокон в определенном режиме модифицирует их рабочую поверхность и дает возможность получить устойчивый ансамбль эмиссионных центров, обеспечить оптимальные параметры и стабильность автоэлектронной эмиссии;

• флуктуации автоэлектронного тока обусловлены исчезновением отработавших и появлением новых эмиссионных центров, процессами адсорбции и десорбции ионов остаточного газа, распылением ими рабочей поверхности катода;

• триодная конструкция КПИС является наиболее эффективной с точки зрения равномерности получаемого светового потока;

Апробация работы.

Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на 9-ой и 12-ой Международных конференциях по вакуумной микроэлектронике (Россия, С.-Петербург, 1996; Германия, Дармштадт, 1999 соответственно), 43-м, 44-ом и 45-ом Международных симпозиумах по полевой эмиссии (Россия, Москва, 1996; Япония, Цукуба, 1997; Иордания, Ирбид, 1998), Совещании по исследованию поверхности ГМССА\/8 (Дэвис, США, 1997), Международной конференции по современным материалам и технологиям (Флоренция, Италия, 1998), Межнациональном совещании «Радиационная физика твердого тела»

10

Украина, Севастополь, 1999) и Международной конференции по сканирующей туннельной микроскопии СТМ'99 (Корея, Сеул, 1999).

Публикации.

По материалам диссертации опубликовано 14 научных работ - 3 статьи, 8 тезисов докладов и 3 препринта.

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, 4 глав с выводами, заключения и списка цитированной литературы. Содержит 107 страниц машинописного текста, 60 рисунков, список литературы из 112 наименований. Общий объем работы составляет 162 страницы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Попов, Максим Олегович

Основные результаты работы сводятся к следующему.

1. Разработана универсальная автоматизированная установка и измерительная ячейка для изучения автоэмиссионных свойств углеродных материалов в условиях технического вакуума, позволяющая проводить исследования в широком диапазоне напряжений (до 12 кВ) при различных значениях геометрических параметров двухэлектродной системы "катод-анод" и трехэлектродной системы "катод-модулятор-анод".

2. Исследование автоэлектронной эмиссии углеродных волокон показало, что на процесс протекания автоэмиссионного тока значительное влияние оказывает наличие связующего полимерного покрытия (биндера), которое наносится на волокна при их изготовлении.

157

Установлено, что предварительный отжиг углеродных волокон позволяет удалить это покрытие и стабилизировать ток автоэлектронной эмиссии. Определен оптимальный режим отжига: температура 400°С, время отжига - 5 минут.

3. Показано, что тренировка волокон при ступенчатом повышении приложенного к межэлектродному промежутку напряжения приводит к возникновению на рабочей поверхности волокна статистически равномерного ансамбля эмитирующих центров и удалению с этой поверхности механических дефектов. Это, в свою очередь, исключает неконтролируемые флуктуации автоэмиссионного тока при эксплуатации катода.

4. Экспериментально получены зависимости автоэлектронного тока от расстояния "катод-анод", которые позволяют определить оптимальные геометрические и электрические параметры системы, обеспечивающее стабильную работу автокатода в течение длительного времени. Установлено предельно допустимое значение автоэмиссионного тока - 25 мкА. Работа катода при больших значениях тока определяет возникновение процессов распыления катодов ионной бомбардировкой и испарения полем и приводит к необратимому изменению эмитирующей поверхности вплоть до механического разрушения волокна.

6. Разработаны и изготовлены модели катодолюминесцентных источников света, использующие в качестве автоэмиссионных катодов единичные углеродные волокна. Измерены световые характеристики этих источников. Изучена зависимость состояния поверхности анода от интенсивности тока и материала автоэмиссионного катода. Показано, что высокие токовые нагрузки приводят к разрушению материала катода и негативно влияют на параметры люминофора.

7. Показана принципиальная возможность использования углеродных волокон в качестве автоэмиссионных катодов в катодолюминесцентных источниках света и их преимущества по отношению к катодам из высокоориентированного пиролитического графита и реакторного графита.

158

Заключение.

Результаты экспериментальных исследований показывают, что основная цель работы, заключающаяся в изучении автоэмиссионных свойств углеродных материалов, в особенности единичных углеродных волокон, исследовании влияния предварительной обработки (отжиг, тренировка), конструкционных и геометрических параметров системы на процесс автоэлектронной эмиссии и эволюцию структуры поверхности волокна и определение оптимальных условий подготовки, режимов и параметров эксплуатации материала применительно к использованию углеродных волокон в качестве катодов в люминесцентных источниках света, достигнута.

Установлена взаимосвязь между автоэмиссионными свойствами углеродных волокон и состоянием их рабочей поверхности, что способствует развитию и углублению знаний о физической природе холодной эмиссии и является одной из основных задач физики твердого тела.

Получены новые данные о свойствах углеродных волокон, которые подтверждают выводы других авторов о перспективности применения этих волокон в качестве автоэмиссионных катодов. Основным направлением практического применения результатов работы следует считать разработку катодолюминесцентных источников света.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Попов, Максим Олегович, 2000 год

1. Fowler R.H., Nordheim L. //. Proc. Roy. Soc. 1928, v 119, #A781, p.173-181.

2. Елинсон M.П., Васильев Г.Ф. //Автоэлектронная эмиссия. М.: Физматгиз. 1958.

3. Ненакаливаемые катоды. // Под ред. Елинсона М.И. М.: Советское радио. 1974. 336 с.

4. Brodie I., Spindt С.А. //Vacuum Microelectronics. Adv. Electron. Electron Phys. v. 83.1992. pp 2-107.

5. Суворов А.Л., Бобков А.Ф., Зайцев C.B., Попов M.О., E.H.Скороходов Е.В.Давыдов. // Препринт ИТЭФ 25-98. М.: 1998. 53 с.

6. Суворов А.Л. // Светотехника, М.: 1999, с.9.

7. Бондаренко Б.В., Рыбаков Ю.Л., Шешин Е.П., Щука A.A. Автоэлектронные катоды и приборы на их основе. // Обзоры по электронной технике. Вып. 8(814) М.: 1981.

8. Крэнкелл А., Уонг К. // Поверхность Ферми. Пер. с англ. М.: Атомиздат. 1978. 352 с.

9. Бете Г. Зоммерфельд // Электронная теория металлов. М.: ОНТИ. НКТП СССР. 1938

10. Соколов A.A., Тернов И.М., Жуковский В.Ч. // Квантовая механика. М.: Наука. 1979. 528 с.

11. Бом Д. // Квантовая теория. Пер. с англ. Под ред. Вонсовского C.B. М.: Физматгиз. 1961. с. 312

12. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В., // Эмиссионная электроника М.: Наука. 1966. 564 с.

13. Nordheim L. // Phys Zs. 30. 1929. p. 177.

14. Мюллер Э.В. и ЦонгТ.Т. // Полевая ионная микроскопия. Полевая ионизация и полевое испарение. Пер. с англ. М.: Наука. 1980.

15. Хейне В., Коэн М., Уэйр Д. //Теория псевдопотенциала. Пер. с англ. М.: Мир. 1973.

16. Тамм И.Е. // Основы теории электричества. М.: Наука 1976. с. 86.

17. Брэндон Д. // Удары молекул о поверхность, полевое травление и деформация под действием поля. В сб. Автоионная микроскопия. // Под ред. Рен Дж., Ранганатан С. Пер. с англ. М.: Мир. 1971. с.34.

18. Френкель Я.И. // Введение в теорию металлов. Л.: Наука, 1972

19. Фридман Я.Б. // Механические свойства металлов. // М.: Машиностроение. 1974.

20. Müller E.W. // Phys. Rev., 102. 1956. p.618.

21. Рен Дж. Интерпретация точечных и линейных дефектов на ионных изображениях. В сб. Автоионная микроскопия. // Под ред. Рен Дж., Ранганатан С. Пер. с англ. М.: Мир. 1971. с.108.

22. Фоменко B.C. // Эмиссионные свойства элементов и химических соединений, Справочник, Наукова думка. Киев, 1964.

23. Haering R.R., Mrozowski S. //"Progr. Semicond." v.5. 1960. p.273.

24. Coulson C.A. // Nature (Lond.) v.159. 1947. p. 265.

25. Свойства конструкционных материалов. Справочник. Под ред. Соседова В.П. М.: Металлургия. 1975.

26. Wallace P.R. // Phys. Rev. v. 71. 1947. p. 622.159

27. Шредник В.Н. // Ненакаливаемые катоды на основе автоэлектронной эмиссии. В сб. Ненакаливаемые катоды под ред. М.И.Елинсона. М.: Советское радио. 1974. с. 210.

28. Фрейберг Г.Н. // Приборы и техника эксперимента. 1967. №6. с. 12741280.

29. Суворов А.Л., Чеблуков Ю.Н., Бобков А.Ф., Лазарев Н.Е., Попов М.О., Бабаев В.П. // Препринт ИТЭФ 24-98. М.: 1998

30. Тун Р.Э. // Структура тонких пленок. В. кн.: Физика тонких пленок. Т.1.М.: Мир. 1967. с.224-274.

31. Brodie I., Spindt С.А. //Advances in electronics and electron physics. Microelectronics and microscopy. Academic press, v.83.1992. p. 39.

32. Фиалков A.C., Осипов Н.И., Анаскин И.Ф., Куприкова Н.Д. // Приборы и техника эксперимента. 1980. № 3. с.238.

33. Prohaska R., Fisher А. // Rev. Sci. Instrum., 1982. v.53. N 7, p.1092.

34. Bacon R., and Smith W.H. // Proc. 2nd Conf. Ind. Carbon Graphite, Soc. Chem. Ind., London 1965. p.203.

35. Shindo A., // Report # 317, Govt. Ind. Res. Inst., Osaka. 1961.

36. Watt W„ Phillips L.N., and Johnson W. // Engineer (London) 221. 1966. p.815.

37. Kureha Chemical Industry Co. Br. Patent 1.293.900 (October 15, 1975).

38. Nippon Kayaku Co. Ltd. Fr. Patent 1.458.725 (November 10, 1966).

39. Baker F.S., Osborn A.R., Williams J. // Nature. 1972. v. 239. p.96-97.

40. Hughes J.D.H. // Carbon 24. 1986. p. 551.

41. Справочник. Углеграфитовые материалы. // Мармер Э.Н. М.: Металлургия. 1973. 136 с.

42. Donnet J.-B., Roop С.В // Carbon Fibers. N.-Y: Marcel Dekker. Inc., 1990.

43. Watt W., Johnson W. // Proc. 3rd Conf. Ind. Carbon graphite, Soc. Chem. Ind., London. 1971. p. 417.

44. BennetS.C., Johnson D. J., Muaary R. //Carbon. 14. 117. 1976 p. 117

45. Fordeux A., Perret R., and Ruland W. // Carbon fibers Their composites and application. The Plastic Institute. London. 1971. p. 57.

46. Saunderson D.H., Windsor C.G. // Proc. 3rd Conf. Ind. Carbon graphite, Soc. Chem. Ind., London. 1971. p. 438.

47. Jarro M.A., Lander W.R., Rantell//Carbon, v.14.1976. p.219.

48. Wicks B.J., and Coyle R.A. //J. Mater. Sci. v.11.1976. p.376.

49. Johnson J.W., and Watt W. // Nature. 1967. v.8. p. 384.

50. Hawthorn H.M. // Carbon Fibers their Composites and application. The Plastic Institute. London. 1971. p.81.

51. Spencer D.H, Hooker M.A., Thomas A.C. // Proc. 3rd Conf. Ind. Carbon graphite, Soc. Chem. Ind., London. 1971. p. 467.

52. Bennett S.C., Johnson D.J., Carbon 17, 1979. p.25

53. Yoshito K., Sara S., Sakai T. // Private communication, 1981.

54. Фиалков A.C. //Углеграфитовые материалы. M.: Энергия. 1979.160

55. Крылов В.Н., Вильк Ю.Н. // Углеграфитовые материалы и их применение в химической промышленности. М.: Химия. 1965.

56. Walls J.M., Southworth H.N., Rushton B.J. // Vacuum, v.24. #5. 1975. p.475.

57. Jashiro Y., Terao T. // Surface science, v.67. #2. 1977. p.605-610.

58. Chakhovskoi A.G., Sheshin E.P., Kupryashkin A.S. and VASeliverstov // J.Vac.Sci.Technol.B. 11(2) 1993 p.511-513.

59. Spindt C.A., Holland C.C., Brodie I. Et. al. // Euro-display Conference 1987 and IEEE Trans. On E-D, 1989, V.ED-36, p.225.

60. Бондаренко Б.В., Акопян Р.Л. // Радиотехника и электроника, т. XVII. №8. 1972. с. 1059-1061.

61. Справочная книга по светотехнике // Под.ред. Ю.Б.Айзенберга. М.: Энергоатомиздат, 1995.

62. Müller E.W. // Zs.Phys. 37. 838. 1936.

63. Суворов А.Л. // Структура и свойства поверхностных атомных слоев металлов. М.: Энергоатомиздат. 1990. 296 с.

64. Вудраф Д., Делчар Т. // Современные методы исследования поверхности. Пер с англ. М.: Мир. 1989. 564 с.

65. Саутон М. //Автоионная микроскопия: пер. с англ. М.: Мир. 1971. с.12.

66. Мюллер Э.В., ЦонгТ.Т. //Автоионная микроскопия: Пер. с англ. М.: Металлургия. 1972.

67. Суворов А.Л., Требуховский В.В. //Усп. физ. наук. 1972. Т. 107. с. 657.

68. Гоулдстейн Дж, Яковиц X, // Практическая растровая электронная микроскопия. М.: Мир. 1978. 656 с.

69. Von Ardenne М., HZ. Phys. 109. 1938. р.553.

70. Von Ardenne M., HZ. Techn. Phys.19.1938. p.407.

71. Barbi N.C., Sandborg A.D., Russ J.C., Soderquist C.E. //Scanning Electron Microscopy. 1974, IITRI, Chicago, III., 1974, p.151.

72. XOKC П. // Электронная оптика и электронная микроскопия. Пер. с англ. М.: Мир. 1974. 318 с.

73. R.Howland, L.Benatar // A Practical Guide to scanning probe microscopy. Park Scientific lnstruments.1997. p.74.

74. Биннинг Д., Popep Г. // Растровый туннельный микроскоп. «В мире науки», вып. 10, 1986.

75. Ландау Л.Д., Лившиц Е.М. // Квантовая механика. Наука, М.: 1972.

76. Рафаэльсон А.Э., Шерешевский A.M. // Масс-спектрометрические приборы. Атомиздат. М.: 1968. 236 с.

77. Хейкер Д.М., Зевин Л.С. // Рентгеновская дифрактометрия. М.: Физматгиз. 1963. 380 с.

78. Иванов А.П. Электрические источники света. М.: Госэнергоиздат, 1948.

79. Nosaka Е. // US Patent # 4344017, August 1982.

80. Kondo Yu., Matsuura J., Kimura H. // Techn. Digest. 4th International Vacuum Microelectronics Conference. 1991. Japan, p. 56-57.

81. Sheshin E.P., Suvorov A.L., Grigoriev V.A., Sheshjorkin V.J. // Techn. Digest. 6th International Vacuum Microelectronics Conference. 1993. USA. p.117-118.

82. Sheshin E.P., Suvorov A.L., Bobkov A.F., Dolin D.E. // 7th International Vacuum Microelectronics Conference. 1994. France; Revue "Le Vide, les Couches Minces" Supplement au # 271 Mars-Avril 1994, p.423-426.161

83. Chubun N., Lazarev N., Sheshin E., Suvorov A. // Techn. Digest. 8th International Vacuum Microelectronics Conference. 1995. USA, p.516.

84. Spindt C.A., Brodie I., Humphrey L., Westerberg E.R. //J.Appl.Phys. 1976. v. 47. p.5248.

85. Углеродные волокна // Под ред. С. Симамуры. М.: Мир, 1987.

86. Углеродные волокна и углекомпозиты // Под ред. Э.Фитцера. М.: Мир, 1988.

87. Конкин А.А. // Углеродные и другие жаростойкие волокнистые материалы. М.: 1974.

88. Азарова М.Т. //Химические волокна, 1991, № 3, с.5.

89. Pierson Н.О. Handbook of carbon, graphite, diamond and fullerenes. Properties, processing and applications/ Park Ridge, New Jersey: Noyes Pull., 1992.

90. Baker F.S., Osborn A.R., Williams J. // J.Phys.D: Appl.Phys., 1974 v.7. p.2105-2115.

91. Mousa M.S. Electron emission from carbon fibre tips. // Appl. Surf. Sci., 1996, V. 94/95, p. 129.

92. Бондарен ко Б.В., Шаховской А.Г., Шешин Е.П. // Радиотехника и Электроника, 1987, Т.32, № 1, с. 199.

93. Долин Д.Е., Сосунов А.А., Суворов А.Л., Шешин Е.П. Устойчивость поверхности углеродных волокон к бомбардировке низкоэнергетичными ионами газов. //ЖТФ, 1990, Т.60, № 12, С. 115.

94. А.Л.Суворов, Е.П.Шешин, В.В.Протасенко, Н.Е.Лазарев, А.Ф.Бобков, В.П.Бабаев. //Журнал Технической Физики, 1996, т.66, № 7, с. 156.

95. A.L.Suvorov, A.Yu.Didek, Yu.N.Cheblukov, E.P.Sheshin, V.P.Babaev, A.S.Fedotov et. al. // 43rd International Field Emission Symposium. 1996. Moscow. Program and Abstracts, p.P-90.

96. Б.В.Бондаренко, В.А.Селиверстов, Е.П.Шешин. Радиотехника и Электроника, 1985, т. 30, № 8, с. 1601.

97. Suvorov A.L., Sheshin Е.Р., Dolin D.E. // Proc. of 5th International Beijing Conference and Exhibition of Instrumental Analysis A. Peking University Press, Beijing 1993. p.A-3.

98. Бондаренко Б.В., Баканов E.C., Черепанов А.Ю., Шешин Е.П. // Радиотехника и Электроника, 1985, т. 30, № 11, с. 2234.

99. A.G.Chakhovskoi, A.L.Suvorov, C.E.Hunt, E.P.Sheshin, A.B.Stolyarov, A.S.Baturin, A.V.Anaschenko, M.O. // Techn .digest of 20th Surface/interface research meeting of the NCCAVS, 1997, p.3

100. A.F.Bobkov, Yu.N.Cheblukov, A.V.Karpov, M.A.Kozodaev, I.N.Nikolaeva, M.O.Popov, E.N.Skorokhodov, A.L.Suvorov, S.V.Zaitsev // Techn.dig. IVMC'99. Germany, 1999, p. 262.

101. Тимофеев Ю.П. // «Преобразование энергии возбуждения в активированных кристаллофосфорах с рекомбинационным и кооперативным механизмами люминесценции». докторская диссертация, М.: ФИАН, 1985.

102. М.В.Фок. // «Введение в кинетику люминесценции кристаллофосфоров». М.: Наука. 1964.

103. В.В.Антонов-Романовский // «Кинетика фотолюминесценции кристаллофосфоров». М.: Наука, 1966.

104. С.А.Ахманов, С.Ю.Никитин // «Физическая оптика». М.: МГУ, 1996.162

105. C.J.Summers. // Tech. Digest of IVMC'97, Kyongju, Korea, 1997, p. 244 247.

106. Марковский Л.Я., Пекерман Ф.М., Петошина Л.Н. // Люминофоры. М.: Химия, 1966.

107. The Phosphor Handbook // Eds. S.Shionoya, W.M.Yen. Florida: CRC Press Inc., 1997.

108. М.О.Попов, А.Ф.Бобков, С.В.Зайцев, А.В.Карпов, ЕАЛюблев // тезисы Всероссийского совещания «Радиационная физика твердого тела» Украина, Севастополь, 1999.

109. Суворов А.Л., Чеблуков Ю.Н., Лазарев Н.Е., Бобков А.Ф., Попов М.О., Бабаев В.П. ЖТФ, 2000, том 70, вып. 3, стр. 56.