Использование емкостного высокочастотного разряда низкого давления в радиальном магнитном поле для получения ускоренного потока ионов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.08, кандидат наук Задириев, Илья Игоревич
- Специальность ВАК РФ01.04.08
- Количество страниц 130
Оглавление диссертации кандидат наук Задириев, Илья Игоревич
Оглавление
Введение
1 Обзор литературы
1.1 Общие сведения о высокочастотном разряде
1.2 Физические свойства емкостного высокочастотного разряда
1.3 Применение емкостного ВЧ разряда для получения ускоренного потока ионов
1.4 Электрореактивные двигатели: основные параметры и классификация
1.5 Краткая история ЭРД. Современное положение дел и перспективы развития отрасли
1.6 Стационарный плазменный двигатель
1.7 Постановка задач
2 Численное моделирование
2.1 Вступление
2.2 Численная модель
2.3 Результаты моделирования
2.4 Итоги моделирования
3 Методика и схема эксперимента
4 Результаты эксперимента
4.1 Общий вид разряда. Вложение мощности, В АХ и эквивалентное сопротивление
4.2 Результаты измерений параметров плазмы
4.3 Результаты исследования ионного потока
Заключение
Список цитированной литературы
Список публикаций по теме диссертации
Рекомендованный список диссертаций по специальности «Физика плазмы», 01.04.08 шифр ВАК
Характеристики высокочастотного емкостного разряда в квазирадиальном магнитном поле2022 год, кандидат наук Швыдкий Георгий Вячеславович
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда2013 год, кандидат наук Неклюдова, Полина Алексеевна
Влияние высокочастотных волн в плазме холловского двигателя на динамику электронной компоненты2013 год, кандидат наук Томилин, Дмитрий Андреевич
Влияние внешней цепи на закономерности энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления2011 год, кандидат физико-математических наук Чжао Чэнь
Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела2019 год, кандидат наук Кобелев Антон Андреевич
Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Использование емкостного высокочастотного разряда низкого давления в радиальном магнитном поле для получения ускоренного потока ионов»
Введение
Актуальность темы
Высокочастотный разряд интенсивно изучается уже на протяжении нескольких десятилетий и находит своё применение в источниках ионов, технологиях плазменного травления и напыления тонких плёнок. Прогресс в электронике за последние 15 лет привёл к созданию более эффективных и компактных высокочастотных источников питания и систем согласования, вследствие чего высокочастотный разряд также стал активно использоваться в электрореактивных двигателях, обеспечивающих коррекцию орбит космических аппаратов. Имея своей основной функцией ионизацию рабочего газа, высокочастотный разряд потеснил применявшийся до этого разряд постоянного тока, так-как позволяет выносить электроды (или антенну-индуктор) за пределы разрядного промежутка и получать более плотную плазму при тех же значениях мощностей. Однако непосредственно для ускорения ионов в электрореактивных двигателях традиционно применяются сеточные ионно-оптические системы или разряд постоянного тока в скрещенных электрическом и магнитном полях с замкнутым дрейфом электронов.
Принимая во внимание тот факт, что в приэлектродных слоях емкостного высокочастотного разряда существуют постоянные электрические поля, направленные от плазмы к электродам, можно предположить, что наложение на такой разряд скрещенного с электрическим радиального магнитного поля в тороидальном канале, по аналогии с разрядом в стационарном плазменном двигателе, приведёт к возникновению замкнутого азимутального дрейфа электронов и ускорению ионов из плазмы по направлению к электродам. Таким образом, емкостной высокочастотный разряд потенциально может играть роль основного рабочего процесса в устройствах наподобие стационарного плазменного двигателя, одновременно выполняя и функцию ионизации рабочего газа, и функцию ускорения полученных ионов. При этом для поддержания емкост-
ного высокочастотного разряда не требуется эмиссия электронов с одного из электродов, а сами электроды можно выносить за пределы разрядного канала. Несмотря на указанные преимущества, в научной литературе отсутствуют публикации по теме настоящей диссертации, поэтому вопрос о возможности получения ускоренного потока ионов при помощи емкостного высокочастотного разряда остаётся открытым, что позволяет считать данную тему актуальной.
Цели работы
Изучить возможность получения ускоренного потока ионов при помощи емкостного высокочастотного разряда низкого давления в радиальном магнитном поле.
Определить зависимости характеристик ионного потока от внешних параметров разряда и найти оптимальные конфигурации разряда для получения с его помощью ускоренного ионного потока.
Для достижения поставленных целей решались следующие задачи:
• Исследовались особенности структуры емкостного высокочастотного разряда низкого давления в радиальном внешнем магнитном поле посредством математического моделирования методом крупных частиц.
•
точника плазмы на основе двигателя СПД-70.
тальное исследование емкостного высокочастотного разряда низкого давления в радиальном магнитном поле.
ла лабораторного источника, в зависимости от внешних параметров разряда.
•
физические причины обнаруженных зависимостей параметров ионного потока от внешних параметров разряда и способов его включения в электрическую цепь.
Научная новизна •
ного магнитного поля, емкостной высокочастотный разряд локализуется в области, где величина магнитного поля принимает своё максимальное значение. В случае открытого разрядного канала с вынесенным за его пределы заземлённым электродом, соответствующий приэлектродный слой располагается в районе среза разрядного канала.
•
ся емкостной высокочастотный разряд во внешнем радиальном магнитном поле, выходит ускоренный поток ионов с энергиями, близкими к среднему за период высокочастотных колебаний потенциалу разрядной плазмы относительно заземлённого электрода.
•
в потоке от параметров разряда. Установлено, что оптимальной схемой подключения разряда к электрической цепи, позволяющей существенно увеличить среднюю энергию ионов в потоке, является схема с дросселированным активным электродом. Показано, что в подобной схеме можно осуществлять регулировку средней энергии ионного потока посредством подачи на активный электрод разряда постоянного смещения по напряжению.
Достоверность результатов
Экспериментальное исследование проводилось на сертифицированном оборудовании с использованием широко известных и хорошо разработанных методик измерений. При этом применялись современные способы сбора и обработки данных, а полученные результаты эксперимента были сопоставлены с результатами проведённого ранее численного моделирования. Это позволяет считать полученные результаты обоснованными и достоверными.
Практическая значимость работы
Результаты настоящей работы демонстрируют перспективность использования емкостного высокочастотного разряда в радиальном магнитном поле для получения ускоренного потока ионов и могут быть востребованы при разработке источников ионов и электрореактивных двигателей на основе подобного разряда.
Основные положения диссертации, выносимые на защиту
1. На выходе из источника плазмы, основанного на емкостном высокочастотном разряде, помещенном во внешнее магнитное поле с преимущественной радиальной компонентой, формируется поток ускоренных ионов. Средняя энергия ионного потока приблизительно соответствует среднему за период высокочастотных колебаний потенциалу плазмы относительно земли.
2. Максимальные значения средней энергии потока ионов достигаются в схеме разряда с дросселированным активным электродом и по своей величине близки к амплитуде высокочастотного напряжения, подаваемого на активный электрод.
3. Величина средней энергии ионов в потоке слабо изменяется с разрядной мощностью и падает с увеличением магнитного поля на срезе разрядного
канала. Увеличение средней энергии ионного потока можно осуществить с помощью подачи на активный электрод вместе с высокочастотным напряжением постоянного смещения. Концентрация ионов в потоке линейно растёт с амплитудой высокочастотного напряжения на активном электроде и величиной магнитного поля на срезе разрядного канала.
4. Распределение плотности плазмы в разрядном канале имеет максимум в районе среза канала, где радиальная компонента магнитного поля принимает своё наибольшее значение.
Апробация результатов и публикации автора
Основные результаты работы обсуждались на семинарах отделения теоретической физики ИОФ РАН и докладывались на 39, 41 и 43 Звенигородских конференциях по физике плазмы и У ТС, а также на VI Всероссийской молодёжной конференции по фундаментальным и инновационным вопросам современной физики. Результаты диссертации опубликованы в 4 статьях в рецензируемых научных журналах из перечня ВАК России и 4 тезисах в сборниках трудов конференций.
Личный вклад автора
Все представленные в настоящей работе результаты получены либо лично автором, либо при его непосредственном участии. Автором выполнена сборка лабораторной модели источника плазмы и части экспериментального оборудования, проведён эксперимент, обработаны и проанализированы полученные экспериментальные данные. При непосредственном участии автора проводилось численное моделирование и интерпретация его результатов.
Объём и структура диссертации
Диссертация состоит из введения, четырёх глав, заключения и списка цитируемой литературы. Общий объём работы составляет 133 страницы, в том числе 67 рисунков. Библиография включает в себя 123 наименования.
Содержание работы
Во введении обосновывается актуальность работы, ставятся цели и задачи диссертации, приводятся сведения о научной новизне, достоверности и практической значимости полученных результатов, формулируются выносимые на защиту положения, сообщаются данные об апробации работы, публикациях автора и его личном вкладе в диссертацию, а также даётся структура диссертации и кратко излагается содержание всех её глав.
В первой главе представлен обзор литературы настоящей диссертации. Начальная часть обзора посвящена физическим свойствам емкостного высокочастотного разряда и области его применения. Отмечено, что большая величина среднего за период высокочастотных (далее - ВЧ) колебаний потенциала плазмы подобного разряда относительно электродов приводит к разгону ионов, уходящих из плазмы на электроды, до энергий, соответствующих этому потенциалу, что используется в технологиях плазменного травления и нанесения тонких плёнок. Данное свойство плазмы емкостного ВЧ-разряда может также представлять интерес для источников ионов и электрореактивных двигателей.
Следующая часть первой главы фокусируется на ЭРД: даются основные характеризующие их величины, а также приводится классификация этих устройств. После короткой исторической справки рассматриваются основные тенденции развития данной области. Приводится информация об устройстве и принципах действия одного из наиболее востребованных отечественных электрореактивных двигателей - стационарного плазменного двигателя. Даётся краткий обзор методов улучшения его характеристик, в том числе упоминается о разработке перспективных двухкамерных двигателей на основе СПД с ВЧ-разрядом, использующимся для ионизации рабочего газа. Высказывается
предположение о том, что емкостной ВЧ-разряд может быть использован не только для ионизации, но и для ускорения полученных ионов в ЭРД подобного типа. В итоге на основе вышеуказанного формулируются задачи настоящей диссертации.
Вторая глава посвящена численному моделированию емкостного ВЧ-разряда в радиальном внешнем магнитном поле. Особый интерес для настоящего исследования представляли процессы в приэлектродных слоях разряда, поэтому было решено проводить моделирование разряда методом макрочастиц (Р1С-метод). Использовалась осесимметричная версия программы "КАРАТ в которой решается система уравнений Максвелла на сетке и уравнения нерелятивистской динамики частиц, а их столкновения рассчитываются методом Монте-Карло.
Геометрия моделируемого промежутка имела вид, близкий к геометрии стационарного плазменного двигателя, и представляла из себя цилиндр радиусом 10 см и высотой 15 см, заключённый в кожух из идеального проводника. На оси цилиндра располагался ограниченный диэлектрическими стенками тороидальный разрядный канал в металлическом корпусе-магнитопроводе. Радиус внешней стенки канала составлял 5,2 см, внутренней - 3,2 см, а его длина -5 см. В глубине разрядного канала располагался отделённый тонкой диэлектрической стенкой активный электрод, на котором задавалось синусоидальное напряжение частотой 12,5 МГц и амплитудой в диапазоне от 500 до 3000 В, а в самом канале присутствовало магнитное поле с преимущественной радиальной компонентой, величина которой регулировалась в пределах от 0 до 300 Гс. Заземлённый электрод располагался на выходе из разрядного канала, либо перекрывая его, либо находясь в стороне от его среза. С заземлённого электрода моделировалась термоэмиссия с величиной тока в диапазоне от 0,01 А до 0,3 А.
Плазма была представлена 4 сортами макрочастиц - ионами и 3 типами электронов в зависимости от их происхождения: электроны, образовавшиеся в результате ионизации нейтрального газа, электроны, образовавшиеся в процессе
ион-электронной эмиссии на стенках канала и электроны, эмитированные с заземлённого электрода. В качестве рабочего газа использовался ксенон, концентрация которого задавалась постоянной в разрядном канале (от 1013 до 5 • 1014 см-3) и на порядок меньшей вне него. Сечения элементарных процессов были взяты из работы [108], а масса иона для ускорения счёта была установлена в 2000 масс электрона. Одной макрочастице соответствовало около 105 реальных частиц, а общее количество макрочастиц в моделируемом промежутке было порядка 6 • 105. Шаг сетки и шаг по времени выбирались исходя из условий устойчивости счёта. Для различных значений напряжения на активном электроде (1-2 кВ) и величины магнитного поля (100-200 Гс) данные шаги менялись в диапазоне 0,05-0,3 мм и 0,2-2 не соответственно. Уменьшение этих шагов приводило к пропорциональному увеличению времени счёта, поэтому фактически указанная их величина ограничивала максимально допустимые концентрации моделируемой плазмы на уровне 4 • 1010 с м-3, а магнитное поле па уровне 300 Гс.
В начальный момент времени разрядный канал равномерно заполнялся плазмой с концентрацией 5 • 109 см-3, имитировавшей плазму, образовавшуюся в результате пробоя, после чего производилось численное моделирование временной эволюции системы до тех пор, пока средние за период ВЧ-колебаний параметры плазмы не выходили на свои стационарные значения (это, как правило, происходило за 7-12 мкс). После этого анализировались характеристики полученных разрядов.
Расчёты показали, что разрядная плазмы имела вид кольца, локализованного в районе максимума радиальной компоненты магнитного поля в диэлектрическом канале. Характерная величина концентрации плазмы линейно зависела от магнитного поля и разрядного напряжения, меняясь в пределах от 109 см-3 до 3, 5 • 1010 см-3 при изменении амплитуды ВЧ-напряжения на активном электроде от 1 до 2 кВ и магнитного поля от 100 до 200 Гс. В случае закрытого заземлённым электродом разрядного канала вид временной зависимости
электрического поля в приэлектродных областях был близок к синусоиде на основной частоте разряда (12,5 МГц) с постоянным смещением. Значение этого смещения по порядку величины совпадало с амплитудой осциллирующей компоненты. Средний за период ВЧ-колебаний потенциал плазмы относительно заземлённого электрода, связанный с указанной постоянной компонентой электрического поля, составил ^600 В при амплитуде разрядного напряжения 2 кВ. В приэлектродных областях был зафиксирован азимутальный дрейф электронов с характерными значениями скоростей около 108 см/с. Когда разрядный канал был открыт, приэлектродный слой, относящийся к заземлённому электроду, смещался в район среза разрядного канала, при этом, в сравнении с закрытым каналом, средний за период ВЧ-колебаний потенциал плазмы относительно земли не претерпевал существенных изменений, а ионы, выходящие из разрядного канала, разгонялись до энергий, соответствующих этому потенциалу. Увеличение тока эмиссии с заземлённого электрода приводило к росту концентрации плазмы, однако этот эффект исчезал при увеличении магнитного поля до величин порядка 200 Гс, так-как радиальное магнитное поле не позволяло эмитированным электронам свободно разгоняться в приэлектродном слое и проникать в плазму. При устранении диэлектрической перегородки, отделявшей активный электрод от разрядного канала, параметры самой разрядной плазмы менялись незначительно, однако резко возрастал средний за период ВЧ-колебаний потенциал плазмы относительно заземлённого электрода. В сравнении со случаями изолированного от разрядного канала активного электрода, это приводило к росту концентрации выходящих из капала ионов в раза, а их средней энергии в раза, до значений еЩ, ще и0 - амплитуда ВЧ-напряжения на активном электроде. Во всех охваченных настоящим моделированием геометриях разрядного промежутка энергия выходящих из канала ионов была прямо пропорциональна амплитуде разрядного ВЧ-напряжения, а их концентрация - величине магнитного поля. При изолированном от разрядного канала расположении активного электрода энергия ионов падала с увели-
чением магнитного поля (с 600 эВ до 500 эВ при повышении магнитного поля от 100 до 200 Гс и амплитуде ВЧ-напряжения 2 кВ).
Итого выполненные численные расчёты показали, что в емкостном высокочастотном разряде, помещённом в радиальное магнитное поле, на выходе из разрядного канала формируется поток ускоренных ионов с энергиями 0,3-1 е^0, где и0 - амплитуда ВЧ-напряжения на активном электроде.
В третьей главе описана экспериментальная установка, а также использованные методики измерений и обработки данных. Исследование емкостного ВЧ-разряда в радиальном магнитном поле проводилось с помощью специально созданного для этой цели лабораторного источника плазмы, за основу для которого был взят двигатель СПД-70. Геометрия керамического разрядного канала и магнитной системы была оставлена без изменений, так что глубина канала составляла 3,5 см, радиус его внешней стенки - 3,5 см, внутренней - 2,5 см. Внутри разрядного канала, на глубине 3 см от его среза, был расположен активный электрод. В роли заземлённого электрода выступало либо кольцо из медной проволоки, закреплённое около выхода из канала, либо заземлённый металлический корпус самого источника плазмы. Ток через магнитные катушки создавался при помощи внешнего источника питания и мог регулироваться в диапазоне от 0 до 5 А, что соответствовало величине радиальной компоненты магнитного поля на срезе разрядного канала от ^5 (остаточная намагниченность металлических элементов конструкции) до 500 Гс.
Лабораторный источник плазмы был закреплён на фланце вакуумной камеры, которая имела объём порядка 1 м3 и откачивалась каскадом из форваку-умного и турбомолекулярного насосов. Остаточное давление в камере во время проведения эксперимента составляло, в зависимости от величины расхода рабочего газа, от 2 • 10-4 до 8 • 10-4 Тор. Рабочими газами были аргон, криптон и атмосферный воздух.
Активный электрод подключался к ВЧ-генератору через систему согласования и мог быть параллельно системе согласования соединён с землёй при
помощи дросселя, что предотвращало образование на активном электроде постоянного смещения по напряжению вследствие батарейного эффекта. Частота напряжения, подводимого с ВЧ-генератора к активному электроду, была 13,56 МГц, а мощность - до 400 Вт. Отражённая ВЧ-мощность в большинстве случаев не превышала 10 Вт.
Экспериментальная часть работы включала в себя
• Измерение вольт-амперных характеристик разряда, определение вложения мощности в разряд и нахождение его импеданса.
•
ческим методами.
дящих из разрядного канала ионов с помощью энергоанализатора и плоского направленного зонда.
Снятие вольт-амперных характеристик разряда осуществлялось посредством
емкостного делителя и пояса Роговского, размещённого на идущем от системы
согласования к активному электроду проводе и откалиброванного для частоты
13,56 МГц. Сигналы с делителя и пояса Роговского выводились на экран двух-
канального осциллоргафа. Вложенная в разряд мощность Р определялась ин-
тергированием полученных сигналов разрядного тока I(£) и напряжепня и(£): ¿о+Д Т
Р = 1/АТ / АТ - период ВЧ-колебаний. Данные о действитель-
но
ной Яге и мним ой частях импеданса извлекались из фазового сдвига А ф
Г, и соз(Дф)
между основными гармониками разрядного напряжения и тока: Нге =-
г) _ изт(Дф)
^гто J •
Для нахождения концентрации плазмы и температуры электронов на выходе из разрядного канала использовался циллиндрический ВЧ скомпенсированный зонд диаметром 0.3 мм и длиной 3 мм, расположенный на расстоянии 1.5 см от среза канала вне него. Использование такого зонда для определения па-
раметров плазмы внутри канала не представлялось возможным из-за больших азимутальных неоднородностей разрядной плазмы, возникавших при внесении инородного тела в канал. В качестве опорного зонда выступали 3 витка проволоки диаметром 1,5 мм, закреплённые на внутренней стенке разрядного канала. Предполагалось, что функция распределения электронов по энергиям близка к Максвелловской, поэтому процедура обработки зондовой характеристики была стандартной - температура электронов оценивалась по углу наклона зависимости логарифма обезразмеренного зондового тока от напряжения в районе плавающего потенциала, потенциал пространства - по положению нуля второй производной зондовой характеристики, а концентрация - по электронному току на зонд при потенциале пространства.
Температура электронов внутри разрядного канала определялась по отношению интенсивностей спектральных линий аргона 419,8 нм и 420,1 нм, исходя из корональной модели плазмы. Для этого напротив лабораторного источника ионов в вакуумной камере был помещён световод, направленный вглубь разрядного канала, так что собираемое им излучение было представлено в основном излучением наиболее плотной области разрядной плазмы, локализованной на срезе канала. Использовались высчитанные в работе [111] зависимости отношения интенсивностей указанных спектральных линий от температуры электронов.
Характер распределения плотности разрядной плазмы вдоль канала исследовался посредством ионного тока насыщения на плоские пристеночные зонды, вмонтированные во внешнюю стенку разрядного канала на расстоянии 4, 9 и 14 мм от его среза. Диаметр зондов составлял 2 мм. Пристеночные зонды в силу своего расположения не провоцировали появление азимутальных неоднородностей плазмы, а использование ионной ветви зондовых характеристик для оценки концентрации позволяло не учитывать влияние присутствовавшего в разрядном канале магнитного поля. При этом необходимые для обработки зондовых характеристик значения электронной температуры брались из опи-
санных выше спектроскопических измерений.
Наконец, для исследования энергетических распределений выходящих из разрядного канала ионов применялся четырёхсеточный энергоанализатор, установленный в вакуумной камере напротив лабораторного источника на расстоянии 30 см от его среза. Первая сетка, через которую проходили попадающие в энергоанализатор частицы, была заземлена, вторая и четвёртая находились под отрицательным напряжением (около -25 В) для удаления электронов из межсеточного пространства и подавления тока ион-электронной эмиссии с коллектора. Снимались зависимости коллекторного тока энергоанализатора от отталкивающего ионы положительного напряжения на третьей сетке - так называемые кривые задержки, из производной которых получались распределения попадающих в энергоанализатор ионов по продольной компоненте их энергии. Анализ концентрации ионного потока производился исходя из разницы токов на верхнюю (ориентированную в сторону лабораторного источника) и нижнюю поверхности плоского направленного зонда, установленного рядом с энергоанализатором.
Четвёртая глава охватывает результаты эксперимента. Нижней границей диапазона существования разряда при магнитных полях 200 Гс и больше выступали значения мощности в 70 Вт и расхода рабочего газа в ~10 мл/мин. При снижении магнитного поля эти величины росли, и с магнитным полем в 50 Гс при расходе 10 мл/мин разряд гас уже на мощностях ниже 170 Вт. Было отмечено, что наличие и положение кольца из медной проволоки, игравшего роль заземлённого электрода, не оказывало заметного влияния на внешний вид разряда и его вольт-амперную характеристику. То есть, фактически, во всех экспериментах заземлённым электродом выступал металлический корпус-магнитопровод лабораторного источника плазмы и стенки вакуумной камеры, что, вероятно, объясняется их гораздо большей по сравнению с медным кольцом площадью и, следовательно, большей ёмкостью соответствующего слоя.
В зависимости от величины магнитного поля В разряд либо был лока-
лизован в районе среза канала лабораторного источника (В > 100 Гс), либо заполнял всю вакуумную камеру (В < 40 Гс). Напряжение на активном электроде имело синусоидальный вид и осциллировало на основной частоте (13,56 МГц), в то время как разрядный ток помимо основной имел ярко выраженные вторую и третью гармоники. Полученные вольт-амперные характеристики имели линейный вид с характерными величинами амплитуд ВЧ напряжения и тока в 350 В и 1,7 А соответственно. Причём напряжение слабо росло с разрядной мощностью, меняясь лишь на 50 В при увеличении мощности со 100 до 300 Вт, в то время как амплитуда тока в этом же диапазоне мощностей получала приращение в 0,5 А. Помимо этого, увеличение магнитного поля влекло за собой (при неизменных мощности и расходе рабочего газа) уменьшение амплитуды разрядного напряжения - в среднем, на 30 В за каждые 100 Гс прироста магнитного поля. При одинаковых разрядных мощностях амплитуды ВЧ-напряжения в разрядах с аргоном и воздухом в качестве рабочих газов были соответственно на ~50 и ^100 В больше амплитуд, характерных для разрядов в киптоне. Во всём охваченном экспериментом диапазоне параметров мощность, подававшаяся с ВЧ-генератора в разрядную цепь, с точностью до погрешности соответствовала мощности, вложенной в разряд.
Действительная часть импеданса разряда практически не менялась с магнитным полем, мощностью и расходом рабочего газа, и принимала значения, близкие к 150 Ом. Подобная величина активного сопротивления разряда вкупе с малостью активного сопротивления системы согласования (единицы Ом) объясняет почти полное вложение мощности ВЧ-генератора в разряд. Мнимая часть импеданса лежала в диапазоне 150-250 Ом и падала с ростом магнитного поля и разрядной мощности, что может быть отнесено к росту плотности плазмы в разрядном канале и связянному с этим сужению приэлектродных слоёв, приводящему к росту их емкостей. Это предположение согласуется с результатами математического моделирования и зондовыми измерениями концентрации плазмы в разрядном канале.
Похожие диссертационные работы по специальности «Физика плазмы», 01.04.08 шифр ВАК
Высокочастотный ионный двигатель с дополнительным постоянным магнитным полем2019 год, кандидат наук Мельников Андрей Викторович
Экспериментальные и численные исследования нарушения стационарности горения интенсивных разрядов с замкнутым дрейфом электронов2016 год, кандидат наук Чернышев Тимофей Владимирович
Граничные эффекты емкостного высокочастотного разряда2001 год, доктор физико-математических наук Савинов, Владимир Павлович
Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления2019 год, кандидат наук Богданова Мария Андреевна
Физические особенности двух устойчивых режимов разряда холловского двигателя2021 год, кандидат наук Хмелевской Иван Александрович
Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Задириев, Илья Игоревич, 2017 год
Список цитированной литературы
1. Райзер, Ю.П. Высокочастотный емкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения [текст]: учеб. пос. для вузов / Ю.П. Райзер, М.Н. Шнейдер, Н.А. Яценко. - М.: издат. МФТИ : Наука Физматлит, 1995.
- 320 с. - ISBN 5-7417-0006-3 / ISBN 5-02-015184-Х.
2. Савинов, В.П. Граничные эффекты емкостного высокочастотного разряда [текст]: дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.08. - М., 2001. - 331 с.
3. Lieberman, М.А. Principles of Plasma Discharges and Material Processing [текст] / М.А. Lieberman, A.J. Lichtenberg. - 2nd ed. - Hoboken: John Wiley & Sons Inc., 2005. - 757 p. - ISBN 0-471-72001-1.
4. Chabert, P. Physics of Radio-Frequency Plasmas [текст] / P. Chabert, N. St. J. Braithwaite. - New York: Cambridge University Press, 2011. - 385 p. - ISBN 978-0-521-76300-4.
5. Савинов, В.П. Физика высокочастотного емкостного разряда [текст] / В.П. Савинов. - М.: Физматлит, 2013. - 308 с. - ISBN 978-5-9221-1551-3.
6. Райзер, Ю.П. Физика газового разряда [текст]: учеб. руководство / Ю.П. Райзер. - М.: Наука, 1987. - 592 с.
7. Высокочастотные разряды низкого и среднего давления [текст] // Энциклопедия низкотемпературной плазмы: Вводный том 2 / гл. ред. В.Е. Фортов. - М.: Наука : МАИК "Наука / Интерпериодика 2000. - Кн. 2. - Разд. 4.4. - С. 65 - 80. - ISBN 5-02-002599-2.
8. Lieberman, М.А. Standing wave and skin-effects in large-area, high-frequency capacitive discharges [текст] / М.А. Lieberman, J.P. Booth, P. Chabert, J.M. Rax, M.M. Turner // Plasma Sources Science and Technology.
- Jun., 2002. - Vol. 11. - № 3.
9. Александров, А.Ф. Принципы деления ВЧ разрядов на емкостные и индуктивные [текст] / А.Ф. Александров, А.А, Рухадзе // Прикладная физика. - 1995. - № 2. - С. 56 - 64.
10. Чэнь, Ч. Влияние внешней цепи на закономерности энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления [текст]: дис. ... к-та физ.-мат. наук: 01.04.08. - М., 2011. - 131 с.
11. Godyak, V.A. A comparison of rf electrode sheath models [текст] / V.A. Godyak, R.B. Peijak, N. Sternberg // IEEE Transactions on Plasma Science.
- Aug. 1993. - Vol. 21. - I. 4. - P. 378-382.
12. Godyak, V.A. Abnormally low electron energy and heating-mode transition in a low-pressure argon rf discharge at 13.56 MHz [текст] / V.A. Godyak, R.B. Piejak // Physical Review Letters. - 1990. - Vol. 65. - P. 996-999.
13. Lieberman, M.A. From Fermi acceleration to collisionless discharge heating [текст] / M.A. Lieberman, V.A. Godyak // IEEE Transactions on Plasma Science. - Jun. 1998. - Vol. 26. - I. 3. - P. 955-986.
14. Калмыков, А.В. Исследование электрических характеристик приэлек-тродных слоёв емкостного ВЧ разряда с внешними электродами [текст] /
A.В. Калмыков, А.С. Смирнов // Журнал технической физики. - 1989. -Т. 59. - Вып. 4. - С. 38 - 44.
15. Волошин, Д.Г. Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах [текст]: дне. ... к. физ.-мат. наук: 01.04.08. - М., 2011. - 154 с.
16. Boyle, Р.С. Independent control of ion current and ion impact energy onto electrodes in dual frequency plasma devices [текст] / P.O. Boyle, A.R. Ellingboe, M.M. Turner // Journal of Physics D: Applied Physics. - Feb. 2004.
- Vol. 37. - № 5.
17. Paterson, A. Measurements and Modelling of Plasma Parameters in Frequency Mixed Capacitive Plasmas [текст] / A. Paterson, T. Panagopoulos, V. Todorow, J. Holland, T. Lill // Procs of 57th Gaseous Electronics Conference. - Shannon, 2004. - Sep. 26-29. - Abstract #MT2.003.
18. Kitajima, T. Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma [текст] / T. Kitajima, Y. Takeo, Z.Lj. Petrovic, T. Makabe // Applied Physics Letters. - 2000. - Vol. 77. - P. 489.
19. Гришин, С.Д. Электрические ракетные двигатели [текст] / С.Д. Гришин, Л.В. Лесков, Н.П. Козлов. -M.: Машиностроение, 1975. - 272 с.
20. Морозов, А.И. Введение в плазмодинамику [текст] / А.И. Морозов; ред.
B.Е. Рокотян. - M.: Физматлит, 2006. - 567 с. - ISBN 5-9221-0681-3.
21. Goebel Dan М. Fundamentals of Electric Propulsion: Ion and Hall Thrusters [электронный ресурс] / Dan M. Goebel, Ira Katz, Jet Propulsion Laboratory, California Institute of Technology. - 486 p.
- (JPL Space Science and Technology Series). - Режим доступа: http: //descanso.jpl.nasa.gov/SciTechBook/SciTechBook.html
22. [BUSEK Space Propulsion and Systems: Products] [электронный ресурс] / Busek Co. Inc. - Режим доступа: http://www.busek.com/technologies__main.htm
23. [ОКБ Факел: Стационарные плазменные двигатели] [электронный ресурс] / ОКБ Факел. - Режим доступа: http://www.fakel-russia.com / production / spd /
24. [Aerojet Rocketdyne: Electric Propulsion Sub-Systems] [электронный ресурс] / Aerojet Rocketdyne. - Режим доступа: http://www.rocket.com/propulsion-systems / electric-propulsion
25. [НПО Энергомаш: Двигатели] [Электронный ресурс] / НПО Энергомаш. -Режим доступа: http://www.npoenergomash.ru/dejatelnost/engines/
26. Ионные и плазменные ракетные двигатели [текст] // Энциклопедия низкотемпературной плазмы: Вводный том / гл. ред. В.Е. Фортов. - М.: Наука : МАИК "Наука / Интерпериодика 2000. - Кн. 4. - Разд. 11.4. - С. 291 - 330. -ISBN 5-02-002599-2.
27. Ким, В.П. Конструктивные признаки и особенности рабочих процессов в современных стационарных плазменных двигателях [текст] / В.П. Ким // Журнал технической физики. - 2015. - Т. 85. - Вып. 3. - С. 45 - 59.
28. Горшков, О. А. Холловские и ионные плазменные двигатели для космических аппаратов [текст] / О.А. Горшков, В.А. Муравлёв, А.А. Шагайда; ред. А.С. Коротеев. М.: Машиностроение, 2008. - 280 с. - ISBN 978-5-21703440-6.
29. Choueiri, E.Y. A Critical History of Electric Propulsion: The First Fifty Years (1906-1956) [текст] / Edgar Y. Choueiri // Journal of Propulsion and Power. - 2004. - Vol. 20. - № 2. - pp. 193 - 203.
30. Мелькумов, T.M. Пионеры ракетной техники: Кибальчич, Циолковский, Цандер, Кондратюк; избранные труды [текст] / ред. T.M. Мелькумов, институт истории естествознания и техники АН СССР. - М.: Наука, 1964. -670 с.
31. Мелькумов, Т.М. Пионеры ракетной техники: Гансвидт, Годдард, Эсно-Пельтри, Оберт, Гоман; избранные труды [текст] / ред. Т.М. Мелькумов, В.Н. Сокольский. - М.: Наука, 1977. - 632 с.
32. Судаков, B.C. Избранные работы академика В.П. Глушко [текст] / B.C. Судаков, В.Ф. Рахманин, А.С. Козлов, Р.Н. Котельникова, Л.Д. Пе-рыпIкопи. С.А. Колинова, Н.М. Евсюкова, Р.А. Ефимова, У.А. Якубова, О.А. Шестопалова. - Химки: типография НПО Энергомаш, 2008. - 419 с. -250 экз.
33. Stuhlinger, Е. Ion Propulsion for Space Flight [текст] / Ernst Stuhlinger. New York: McGraw-Hill, 1964. - 373 p.
34. Арцимович, J1.А. Электродинамическое ускорение сгустков плазмы [текст] / Л.А. Арцимович, С.Ю. Лукьянов, И.М. Подгорный, С.А. Чуватин // ЖЭТФ. - 1957. - Т. 33. - № 1. - С. 3 - И.
35. Храбров, В.А. Как создавали первые ЭРД [текст] / В.А. Храбров, Л.А. Пец, А.П. Симонов // Земля и Вселенная. - 2005. - № 6. - С. 57 -60.
36. Results from SERT-I Ion Rocket Flight Test [текст]: technical note / NASA; R.J. Cybulski, D.M. Shellhammer, R.R. Lovell, E.J. Domino, J.T. Kotnik. -Washington, 1965. - 42 p.
37. Hoskins, W.A. 30 Years of Electric Propulsion Flight Experience at Aerojet Rocketdyne [текст] / W.A. Hoskins, R.J. Cassady, O. Morgan, R.M. Myers, F. Wilson, D.Q. King, K. deGrys // Materials of 33rd Electric Propulsion Conference. - Washington, 2013. - October 6-10. - IEPC-2013-439.
38. Martinez-Sanchez, M. Spacecraft Electric Propulsion - an Overview [текст] / M. Martinez-Sanchez, J.E. Pollard // Journal of Propulsion and Power. -Sep.-Oct. 1998. - Vol. 14. - № 5. - pp. 688-699.
39. Myers, R.M. Electric Propulsion Space Experiment (ESEX) [текст] / Roger M. Myers // Journal of Propulsion and Power. - Jul.-Aug. 2002. - Vol. 18. - № 4. - P. 721.
40. Estublier, D. Electric Propulsion on SMART-1 [текст] / D. Estublier, G. Saccoccia, J.G. del Amo // European Space Agency Publications Bulletin. -Feb. 2007. - pp. 41-46.
41. Ким, В.П. Стационарные плазменные двигатели в России: проблемы и перспективы [текст] / В.П. Ким // Труды МАП. - 2012. - Вып. 60.
42. Бугрова, А.И. Экспериментальные исследования стационарных плазменных двигателей семейства ATOH [текст] / А.П. Бугрова, А.В. Десят-сков, А.С. Липатов, А.С. Сигов, А.П. Корякин, B.M. Мурашко, А.Н. Несте-ренко // Физика плазмы. - 2010. - Т. 36. - № 4. - С. 395-400.
43. Small Spacecraft Technology State of the Art: NASA STI Report [текст] / NASA. - Moffett Field, California: Ames Research Center, 2015. - NASA/TP-2015-216648/REV1. - P. 173.
44. Cassady, L.D. VASIMR Performance Results [текст] / L.D. Cassady, B.W. Longmier, C.S. Olsen, M.G. Ballenger, G.E. McCaskill, A.V. Ilin, M.D. Carter, T.W. Glover, J.P. Squire, F.R. Chang Diaz, E.A. Bering // Proc. of 46th AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference к Exhibit. -Nashville, 2010. - Jul. 25-28. - AIAA 2010-6772.
45. Архипов, А.С. Стационарные плазменные двигатели Морозова [текст] / А.С. Архипов, В.П. Ким, Е.К. Сидоренко. - М.: Изд-во МАИ, 2012. - 292 с. - ISBN 978-5-4316-0088-3.
46. Ashkenazy, J. Parametric Studies of the Hall Thruster at Soreq [текст] / J. Ashkenazy, Y. Raitses, G. Appelbaum // IAEA - IAEC Annual Report. -1997. - P. 66-93.
47. Nakles, M.R. Experimental and Numerical Examination of the BHT-200 Hall Thruster Plume [текст] / M.R. Nakles, L. Brieda, G.D. Reed, W.A. Hargus Jr., R.L. Spicer // Procs of 43rd AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference к Exhibit. - Cincinnati, 2007. - Jul. 8-11. - AIAA 2007-5305.
48. Архипов, А.С. Результаты исследования струй стационарных плазменных двигателей, работающих на различных режимах [текст] / А.С. Архипов, В.П. Ким, Е.К. Сидоренко // Журнал технической физики. - 2012. -Т. 85. - Вып. 5. - С. 42-51.
49. Yu, D. The Influence of Magnetic Field Strength in Ionization Stage on Ion Transport between Two Stages of a Double Stage Hall Thruster [текст] / D. Yu, M. Song, H. Li, H. Liu, K. Han // Physics of Plasmas. - 2012. - Vol. 19. -113505.
50. Xu, K.G. Potential Contour Shaping and Sheath Behavior with Wall Electrodes and Near-Wall Magnetic Fields in Hall Thrusters [текст] / K.G. Xu, H. Dao, M.L.R. Walker // Physics of Plasmas. - 2012. - Vol. 19. - 103502.
51. Langendorf, S. Effects of Wall Electrodes on Hall Effect Thruster Plasma [текст] / S. Langendorf, K. Xu, M. Walker // Physics of Plasmas. - 2015. -Vol. 22. - 023508.
52. Ferreira, J.L. Plasma Diagnostics and Performance of a Permanent Magnet Hall Thruster [текст] / J.L. Ferreira, J.H.C. De Souza, I. Da Silveira Rego, I.S. Ferreira // Proc. of 12th International Congress on Plasma Physics. -Nice, 2004. - Oct. 25-29.
53. Потапенко, М.Ю. Разработка и исследование стационарного плазменного двигателя с полым магнитным анодом малой мощности [текст] / М.Ю. Потапенко // Труды МАИ. - 2014. - Вып. 74.
54. Vaudolon, J. Optimization of a Wall-Less Hall Thruster [текст] / J. Vaudolon, S. Mazouffre, C. Henaux, D. Harribey, A. Rossi // Applied Physics Letters. - 2015. - Vol. 107. - 174103.
55. Tsuyohito, I. Experimental Characterization of a Micro-Hall Thruster [текст] / I. Tsuyohito, N. Gascon, W.S. Crawford, M.A. Cappelli // Journal of Propulsion and Power. - Sep.-Oct. 2007. - Vol. 23. - № 5. - pp. 1068 - 1074.
56. Bugrova, A. Investigation of Plasma Local Parameters in Near-Wall Field of Channel of Stationary Plasma Thruster of ATON Type (SPT-ATON) [текст] / A. Bugrova, A.V. Desyatskov, V.K. Kharchevnikov, M. Lyszyk, A.I. Morozov // Proc. of Third International Spacecraft Propulsion Conference. - Cannes, 2000. - Oct. 10-13. - pp. 881-884. - ESASP-465.
57. Lafleur, T. Theory for the Anomalous Electron Transport in Hall Effect Thrusters (Insights from Particle-in-Cell Simulations) [текст] / T. Lafleur, S.D. Baalrud, P. Chabert // Physics of Plasmas. - 2016. - Vol. 23. - 053502.
58. Lafleur, T. Theory for the Anomalous Electron Transport in Hall Effect Thrusters (Kinetic Model) [текст] / T. Lafleur, S.D. Baalrud, P. Chabert // Physics of Plasmas. - 2016. - Vol. 23. - 053503.
59. Koo, J.W. Modeling of Anomalous Electron Mobility in Hall Thrusters [текст] / J.W. Koo, I.D. Boyd // Physics of Plasmas. - 2006. - Vol. 13. - 033501.
60. Raitses, Y. Effect of Secondary Electron Emission on Electron Cross-Field Current in E x В Discharges [текст] / Y. Raitses, I.D. Kaganovich, A. Khrabrov, D. Sydorenko, N.J. Fisch, A. Smolyakov // IEEE Transactions on Plasma Science. - 2011, April. - Vol. 39. - № 4. - pp. 995-1006.
61. Sekerak, M.J. Plasma Oscillations and Operational Modes in Hall Effect Thrusters [текст]: diss, in partial fulfillment for the degree of Doctor of Philosophy (Aerospace Engineering). - Univ. of Michigan, 2014. - 280 p.
62. Polzin, K.A. Discharge Oscillations in a Permanent Magnet Cylindrical Hall-Effect Thruster [текст] / K.A. Polzin, E.S. Sooby, Y. Raitses, N.J. Fisch // Procs of 31st International Electric Propulsion Conference. - Ann Arbor, 2009. - Sep. 20-24. - IEPC-2009-122.
63. Sekerak, M.J. Mode Transitions in Hall-Effect Thruster Induced by Variable Magnetic Field Strength [текст] / M.J. Sekerak, A.D. Gallimore, D.L. Brown, R.R. Hofer, J.E. Polk // Journal of Propulsion and Power. - 2016. - Vol. 32. -№ 4. - pp. 903-917.
64. Escobar, D.A. Electron Transport and Azimuthal Oscillations in Hall Thrusters [текст]: PhD Thesis. - 17th June 2015. - Universidad Politécnica de Madrid. - 184 p.
65. Knoll, A. Experimental Investigation of High Frequency Plasma Oscillations within Hall Thrusters [текст] / A. Knoll, C. Thomas, N. Gascon, M. Cappelli // Procs of 42nd AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference к Exhibit. - Sacramento, 2006. - Jul. 9-12. - AIAA 2006-5171.
66. Litvak, A. A. Experimental studies of high-frequency azimuthal waves in Hall thrusters [текст] / A.A. Litvak, Y. Raitses, N.J. Fisch // Physics of Plasmas.
- 2004, April. - Vol. 11. - № 4. - pp. 1701-1705.
67. Vahedi, V. Capacitive RF discharges modelled by particle-in-cell Monte Carlo simulation. II: Comparisons with laboratory measurements of electron energy distribution functions [текст] / V. Vahedi, C.K. Birdsall, M.A. Lieberman, G. DiPesco, T.D. Ronhlien // Plasma Sources Science Technology. - 1993. -Vol. 2. - pp. 273-278.
68. Escobar, D. Low-frequency azimuthal stability analysis of Hall thrusters [текст] / D. Escobar, E. Ahedo // Procs of 48th AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference & Exhibit. - Atlanta, 2012. - Jul. 30 - Aug. 1. -AIAA 2012-4180.
69. Кравченко, Д.А. Кинетическое моделирование пристеночного слоя плазмы стационарного плазменного двигателя [текст] / Д.А. Кравченко // Труды МФТИ. - 2013. - Т. 5. - № 2. - С. 94-105.
70. Нага, К. One-Dimensional Hybrid-Direct Kinetic Simulation of the Discharge Plasma in a Hall Thruster [текст] / К. Нага, I.D. Boyd, V.I. Kolobov // Physics of Plasmas. - 2012. - Vol. 19. - 113508.
71. Keidar, M. Plasma Flow and Plasma-Wall Transition in Hall Thruster Channel [текст] / M. Keidar, I.D. Boyd // Physics of Plasmas. - 2001, December. - Vol. 8. - № 12. - pp. 5315-5322.
72. Garrigues, L. Hybrid and Particle-in-Cell Models of a Stationary Plasma Thruster [текст] / L. Garrigues, A. Heron, J.C. Adam, J.P. Boeuf // Plasma Sources Science and Technology. - 2000. - Vol. 9. - pp. 219-226.
73. Bareilles, J. Critical Assessment of a 2D Model of Hall Thrusters -Comparisons with Experiments [текст] / J. Bareilles, G.J.M. Hagelaar, L. Garrigues, C. Boniface, J.P. Boeuf // Physics of Plasmas. - 2004. - Vol. 11.
- 3035.
74. Warner, N.Z. Theoretical and Experimental Investigation of Hall Thruster Miniaturization [текст]: in partial fulfillment of requirements for PhD degree.
- Massachusetts Institute of Technology. - June, 2007.
75. Гопанчук, В.В. Создание плазменных двигателей малой мощности для микроспутников [текст] / В.В. Гопанчук, М.Ю. Потапенко // Космическая техника и технологии. - 2015. - № 4. - С. 40-49.
76. Бугрова, А.И. Экспериментальные исследования стационарного плазменного двигателя малой мощности [текст] / А.И. Бугрова, Г.Э. Бугров, В.А. Давыдов, А.В. Десятсков, М.В. Козинцева, А.С. Липатов,
А.А. Сафронов, П.Г. Смирнов, В.К. Харчевников, М.И. Шапошников,
A.В. Пильников // Письма в ЖТФ. - 2014. - Т. 40. - Вып. 2. - С. 68-74.
77. Потапенко, М.Ю. Разработка и исследование стационарного плазменного двигателя с полым магнитным анодом малой мощности [текст] / М.Ю. Потапенко // Труды МАП. - 2014. - Вып. 74.
78. Szabo, J. A Commercial One Newton Hall Effect Thruster for High Power In-Space Missions [текст] / J. Szabo, B. Pote, V. Hruby, T.W. Haag // Proc. of 47th AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference к Exhibit. -San Diego, 2011. - 31 July - 3 August. - AIAA-2011-6152.
79. Zurbach, S. A 20kW High Power Hall Effect Thruster For Exploration [текст] / S. Zurbach, P. Lasgorceix, N. Cornu // Proc. of 61th International Astronautical Congress. - Prague, 2010. - 27 September - 1 October. - IAC-10.C4.4.2.
80. Hopkins, M.A. Evaluation of Magnesium as a Hall Thruster Propellant [текст]: dissertation submitted in a partial fulfillment of a requirements for the degree of PhD in Mechanical Engineering. - Michigan Technological University. - 2015. - 101 p.
81. Linnell, J. A. Efficiency Analysis of a Hall Thruster Operating with Krypton and Xenon [текст] / J.A. Linnell, A.D. Gallimore // Journal of Propulsion and Power. - November - December 2006. - Vol. 22. - № 6.
82. Perez-Grande, D. Evaluation of Erosion Reduction Mechanisms in Hall Effect Thrusters [текст] / D. Perez-Grande, P. Fajardo, E. Ahedo // Proc. of 34th IEPC/30th ISTS Joint Conference. - Hyogo-Kobe, 2015. - July, 4-10. -IEPC-2015-280/ISTS-2015-b-280.
83. Boniface, C. A Monte-Carlo Study of Ionization Processes in Double Stage Hall Effect Thruster [текст] / C. Boniface, G.J.M. Hagelaar, L. Garrigues, J.P. Boeuf, M. Prioul // Proc. of 27th ICPIG. - Eindhoven, 2005. - July, 18-22. -Topic 19.
84. Бугрова, А.И. Влияние вкладываемой ВЧ-могцности на характеристики стационарного плазменного двигателя [текст] / А.П. Бугрова, Г.Э. Бугров,
B.К. Харчевников, М.И. Шапошников, S. Mazouffre // Письма в ЖТФ. -2012. - Т. 38. - Вып. 7. - С. 89-96.
85. Perez-Luna, J. Model Analysis of a Double Stage Hall Effect Thruster with Double-Peaked Magnetic Field and Intermediate Electrode [текст] / J. Perez-Luna, G.J.M. Hagelaar, L. Garrigues, J.P. Boeuf // Proc. of 30th IEPC. -Florence, 2007. - Sep. 17-20. - IEPC-2007-121.
86. Hofer, R.R. A High Specific Impulse Two-Stage Hall Thruster with Plasma Lens Focusing [текст] / R.R. Hofer, P.Y. Peterson, A.D. Gallimore, R.S. Jankovsky // Proc. of 27th IEPC. - Pasadena, 2001. - Oct. 15-19. - IEPC-01-036.
87. Rafalskyi, D. Plasma Acceleration Using a Radio Frequency Self-Bias Effect [текст] / D. Rafalskyi, A. Aanesland // Physics of Plasmas. - 2015. - Vol. 22.
- 063502.
88. Din, A. Numerical solutions of sheath structures in front of an electron-emitting electrode immersed in a low-density plasma [текст] / A. Din // Physics of Plasmas. - 2013. - Vol. 20. - 093505.
89. Кравченко, Д.А. Кинетическая модель плазмы в газоразрядной камере ионного двигателя [текст] / Д.А. Кравченко // Прикладная физика. - 2015.
- № 5. - С. 26-32.
90. Бишаев, A.M. О построении полностью кинетической модели, описывающей поведение струи разреженной плазмы, возникающей при работе стационарного плазменного двигателя [текст] / A.M. Бишаев, В. Ким // Труды Май. - 2012. - Вып. 50.
91. Agafonov, A.V. Double-Sided Relativistic Magnetron [текст] / A.V. Agafonov, E.G. Krastelev // Procs of the 11th IEEE International Pulsed Power Conference. - Baltimore, 1997. - 29 June - 2 July. - pp. 3141-3143.
92. Агафонов, А.В. Транспортировка сильноточных электронных пучков в плазме и в плазмонаполненных диодах [текст] / А.В. Агафонов // Письма в ЭЧАЯ. - 2010. - Т. 7. - № 7. - С. 798 - 802.
93. Lisin, Е.А. Lunar dusty plasma environment: a result of interaction of a solar wind flux and UV radiation with the regolith [текст] / Е.А. Lisin, V.P. Tarakanov, O.F. Petrov // Journal of Physics: Conference Series. - Vol. 653. -Conf. 1.
94. Bogdankevich, I.L. Using of perfectly matched layer (PML) in computer simulation of the high-power relativistic plasma microwave amplifier [текст] / I.L. Bogdankevich, A.A. Rukhadze, V.P. Tarakanov // Problems of Atomic Science and Technology. - 2005. - Vol. 37. - № 8. - pp. 116-118. - (Series: Plasma Physics).
95. Bogdankevich, I.L. Using PIC-plasma model in the numerical simulation of a relativistic Cherenkov plasma maser [текст] / I.L. Bogdankevich, A.A. Rukhadze, P.S. Strelkov, V.P. Tarakanov // Problems of Atomic Science and Technology. - 2003. - № 1. - pp. 102-104. - (Series: Plasma Physics).
96. Artyomov, К.P. PIC code KARAT simulation of different types of polarization radiation generated by relativistic electron beam [текст] / К.P. Artyomov, V.V. Ryzhov, G.A. Naumenko, M.V. Shevelev // Journal of Physics: Conference Series. -2012. - Vol. 357. - Conf. 1.
97. Tikhomirov, V.V. Simulation of an Axial Vircator [электронный ресурс] / V.V. Tikhomirov, S.E. Siahlo. - arXiv: 1309.6486. - Режим доступа: https://arxiv.org/abs/1309.6486
98. Александров, А.Ф. Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда низкого давления с помощью программы KARAT [текст] / А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, П.А. Неклюдова, В.Б. Павлов, В.П. Тараканов // Прикладная физика. - 2013. - № 5. - С. 38-41.
99. Александров, А.Ф. Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда, помещённого во внешнее магнитное поле, посредством программы KARAT [текст] / А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, А.К. Петров, В.Б. Павлов, В.П. Тараканов // Прикладная физика. - 2015.
- № 5. - С. 44-47.
100. Arsenin, A. Two-dimensional self-consistent simulation of a Neutral Loop Discharge [текст] / A. Arsenin, V. Leiman, V. Tarakanov // Abstracts of International Conference on Physics of Low Temperature Plasma 03. - Kyiv, 2003. - May 11-15. - p. 7-2-2.
101. Арсенин, А.В. Численное моделирование высокочастотного индукционного разряда с нейтральным контуром (NLD) [текст] / А.В. Арсенин, В.Г. Лейман, В.П. Тараканов // Краткие сообщения по физике ФИАН. - 2003.
- № 4. - с. 19 - 29.
102. Arsenin, A.V. Collisionless electron heating in a very high frequency neutral loop discharge / A.V. Arsenin, V.G. Leiman, V.P. Tarakanov [текст] // Journal of Plasma and Fusion Research Series. - 2009. - №8. - pp. 1622-1625.
103. Arsenin, A.V. Particle Modeling of Magnetic Neutral Loop Discharge plasma [текст] / A.V. Arsenin, V.G. Leiman, V.P. Tarakanov // Procs of 18th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas. - Gent, 2009. - 24-26 June.
- p. 75.
104. Arsenin, A.V. Particle Modeling of Magnetic Neutral Loop Discharge plasma [текст] / A.V. Arsenin, V.G. Leiman, V.P. Tarakanov // Procs of 21st International Conference on Numerical Simulation of Plasmas. - Lisbon, 2009.
- 6-9 Oct. - p. 41.
105. Арсенин, А.В. Нагрев электронов в высокочастотном индукционном разряде с нейтральным контуром [текст] / А.В. Арсенин, В.Г. Лейман, В.П.
Тараканов // Радиотехника и электроника. - 2007. - Т. 52. - № 8. - С. 979982.
106. Tarakanov, V.P. User's Manual for Code KARAT [текст] / V.P. Tarakanov.
- Springfield: Berkeley Research Associates inc., 1992.
107. Тараканов, В.П. Теоретический и численный анализ нелинейных задач физики плазмы посредством кода КАРАТ [текст]: дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.08. - М., 2011. - 265 с.
108. de Heer, F.J. Total cross sections for electron scattering by Ne, Ar, Kr and Xe [текст] / F.J. de Heer, R.H.J. Jansen, W. van der Kaay // Journal of Physics B: Atomic and Molecular Physics. - 1979. - Vol. 12. - № 6. - pp. 979-1002.
109. Manash, K.P. Electrostatic pickup rejection in low plasma current measurement [текст] / K.P. Manash, P.K. Chattopadhyay, Dhiraj Bora // Measurement Science and Technology. - 2007. - Vol. 18. - № 8. - pp. 2673-2680.
110. Chen, F.F. Lecture notes on Langmuir probe diagnostics [электронный ресурс] / F.F. Chen. - Pres. on IEEE-ICOPS meeting, Jeju, Korea, June 5, 2003.
- Режим доступа: http://www.seas.ucla.edu/^ ffchen/Publs/Chen210R.pdf
111. Cooper, J. Plasma spectroscopy [текст] / J. Cooper // Reports on Progress in Physics. - 1966. - Vol. 29. - pp. 35-130.
112. Александров, А.Ф. Особенности индуктивного ВЧ разряда низкого давления. I (эксперимент), [текст] / А.Ф. Александров, К.В. Ванилин. Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе // Физика плазмы. - 2007. - Т. 33.
- № 9. - С. 802-815.
113. Архипов, А.С. Результаты исследования характеристик струй стационарных плазменных двигателей, работающих на различных режимах [текст] / А.С. Архипов, В. Ким, Е.К. Сидоренко // Журнал технической физики. - 2012. - Т. 85. - Вып. 5. - С. 42-51.
114. Xu, K.G. Plume Characterization of an Ion-Focusing Hall Thruster [текст] / K.G. Xu, M.L.R. Walker // Journal of Propulsion and Power. - 2012. - Vol. 28. - № 5. - pp. 1105-1115.
115. Ghosh, S. A novel gridded retarding field energy analyzer for IEDF measurement [текст] / S. Ghosh, P.K. Chattopadhyay, J. Ghosh, D. Bora // Procs of 42nd EPS Conference on Plasma Physics. - Lisbon, 2015. - Jun. 22-26.
- P2.172.
116. Lemmer, K.M. Review of Two Retarding Potential Analyzers for Use in High Density Helicon Plasma [текст] / K.M. Lemmer, A.D. Gallimore, T.B.
Smith, D.R. Austin // Procs of 30th IEPC. - Florence, 2007. - Sep. 17-20. -IEPC-2007-161.
117. Barral, S. On the Origin of Low Frequency Oscillations in Hall Thrusters [текст] / S. Barral, E. Ahedo // AIP Conf. Proc. 939. - Greifswald, 2007. -Oct. 16-19. - pp. 439-442.
118. Chesta, E. A Characterization of Plasma Fluctuations within a Hall Discharge [текст] / E. Chesta, C.M. Lam, N.B. Meezan, D.P. Schmidt, M.A. Cappelli // IEEE Transactions on Plasma Science. - 2001. - Vol. 29. - № 4. - pp. 582-591.
119. Escobar, D. Low-frequency azimuthal stability analysis of Hall thrusters [текст] / D. Escobar, E. Ahedo // Procs of 48th AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference к Exhibit. - Atlanta, 2012. - Jul. 30 - Aug. 1. -AIAA 2012-4180.
120. Fife, J.M. A Numerical Study of Low-Frequency Discharge Oscillations in Hall Thrusters [текст] / J.M. Fife, M. Martinez-Sanchez, J. Szabo // Procs of 33rd AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference к Exhibit. -Seattle, 1997. - Jul. 6-9. - AIAA-97-3052.
121. Нага, K. Low Frequency Oscillation Analysis of a Hall Thruster Using One-Dimensional Hybrid-Direct Kinetic Simulation [текст] / К. Hara, I.D. Boyd // Procs of 33rd IEPC. - Washington, 2013. - Oct. 6-9. - IEPC-2013-266.
122. Barata, J.A.S. Integral and differential elastic collision cross-sections for low-energy Ar+ ions with neutral Ar atoms [текст] / J.A.S. Barata // Nuclear Instruments and Methods in Physics A. - 2007. - Vol. 150. - I. 1. - pp. 14-17.
123. Кикоин, И.К. Таблицы физических величин. Справочник, [текст] / ред. И.К. Кикоин. - М.: Атомиздат, 1976. - 1008 с.
Список публикаций по теме диссертации
1. Задириев, И.И. Математическое моделирование емкостного ВЧ разряда низкого давления, помещённого во внешнее радиальное магнитное поле, посредством программы KARAT [Текст] / И.И. Задириев, A.A. Рухадзе, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, К.В. Ванилин. В.П. Тараканов // Журнал технической физики. - 2016. - Т. 86. - Вып. 11. - С. 1-5.
2. Задириев, И.И. Влияние внешней цепи на параметры ионного потока, получаемого при помощи емкостного ВЧ-разряда в радиальном магнитном поле [Текст] / И.И. Задириев, A.A. Рухадзе, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, К.В. Вавилин // Прикладная физика. - 2016. - № 4. - С. 39-42.
3. Задириев, И.И. О возможности использования емкостного ВЧ разряда в источнике плазмы с замкнутым дрейфом электронов [Текст] I I. I I. Задириев, A.A. Рухадзе, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, К.В. Вавилин // Прикладная физика. - 2015. - № 6. - С. 57-60.
4. Задириев, И.И. Математическое моделирование емкостного ВЧ разряда низкого давления, помещённого во внешнее радиальное магнитное поле, посредством программы KARAT [Текст] / И.И. Задириев, A.A. Рухадзе, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, К.В. Вавилин, В.П. Тараканов // Инженерная физика. - 2016. - № 2. - С. 59-65.
5. Задириев, И.И. Энергетические распределения ионов в плазменной струе, полученной при помощи емкостного ВЧ разряда, помещённого в радиальное магнитное поле [Текст]: тез. докл. на конф. / И.И. Задириев // Труды VI Всероссийской молодёжной конференции по фундаментальным и инновационным вопросам современной физики. - М., ФИАН, 2015.
- 15-20 нояб. - С. 136.
6. Задириев, И.И. Энергетические распределения потоков ионов, полученных при помощи емкостного ВЧ разряда в радиальном магнитном поле: тез. докл. на конф. / И.И. Задириев, A.A. Рухадзе, Е.А. Кралькина, К.В. Вавилин, В.Б. Павлов // Материалы 43-й Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС. - Звенигород, 2016. - 8-12 фев. - Докл. T-08.
- Режим доступа: http://www.fpl.gpi.rU/Zvenigorod/XLIII/T.html#Sekcija Т.
7. Задириев, И.И. Математическое моделирование емкостного ВЧ разряда низкого давления, помещённого во внешнее радиальное магнитное поле [Электронный ресурс]: тез. докл. на конф. / И.И. Задириев, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.П. Тараканов // Материалы 41-й Звенигородской конференции по физике плазмы и
УТС. - Звенигород, 2014. - 10-14 фев. - Докл. Т-56. - Режим доступа: http:/ www.fpl.gpi.ru Xvenigorod XLI T.html Sekcija T.
8. Задириев, И.И. Математическое моделирование емкостного ВЧ разряда, помещённого во внешнее магнитное поле с преимущественной радиальной компонентой [Электронный ресурс]: тез. докл. на конф. / И.И. Задириев, К.В. Вавилин, M.A. Гоморев, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.П. Тараканов // Материалы 39-й Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС. - Звенигород, 2012. - 6-10 фев. - Докл. T-28. - Режим доступа: http:/ www.fpl.gpi.ru Xvenigorod XXXIX T.litml - Sekcija T.
Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.