Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса формирования объектов в лазерной технологии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.12, кандидат технических наук Домась, Константин Игоревич

• Домась, Константин Игоревич
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Домась, Константин Игоревич

Введение.

ГЛАВА 1. ОБЗОРНО-АНАЛИТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ ПОДДЕРЖКИ ПРИНЯТИЯ РЕШЕНИЙ ПРИ ПРОЕКТРОВАНИИ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕКТОВ В ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.

1.1 Обзор систем поддержки принятия решений.

1.2 Лазерное технологическое оборудование.

1.3 Объекты лазерной технологии.

1.4 Методы получения объектов в лазерной технологии.

1.5 Аналитическая процедура Саати в автоматизированном проектировании объектов в лазерной технологии.

Постановка задачи исследования.

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ВОПРОСЫ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧИ ПОДДЕРЖКИ ПРИНЯТИЯ РЕШЕНИЙ ПРИ ПРОЕКТИРОВАНИИ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОБЪЕКТОВ В ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.

2.1 Структура проектирования процессов в лазерной технологии.

2.2 Схема процесса автоматизированного проектирования оборудования для производства объектов в лазерной технологии.

2.3 Математические модели объекта проектирования.

2.4 Уравнение состояния лазерной технологической системы.

2.5 Методы оптимизации процесса формирования объекта в лазерной технологии.

2.6 Базовые модели оптимизации различных структур лазерного оборудования.

Выводы по главе 2.

ГЛАВА 3. ПОСТРОЕНИЕ ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ОБЪЕКТОВ.

3.1 Модели физических процессов, протекающих при моделировании объектов в лазерной технологии.

3.2 Параметры пучка лазера и основные соотношения при его преобразовании оптической системой.

3.3 Моделирование и алгоритмизация оптимального управления распределенными лазерными системами.

3.4 Математическая модель и алгоритм принятия решения для недоминируемых альтернатив лазерных установок.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. МЕТОДИКА ВЫБОРА ОПТИМАЛЬНОГО ВАРИАНТА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО РЕШЕНИЯ ПРОЦЕССА ПРОИЗВОДСТВА ОБЪЕКТОВ В ЛАЗЕРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ.

4.1 Выбор вариантов лазерной установки для производства объектов в лазерной технологии с локальным применением лазеров.

4.2 Метод Саати при структурировании множества альтернатив лазерных установок для формирования объектов в туннельно-зондовой области.

4.3 Выбор оптимального варианта технологического решения с учетом себестоимости научно-технической продукции.

4.4 Методика расчета производительности лазерного оборудования.

Выводы по главе 4.

ГЛАВА 5. СИНТЕЗ АЛГОРИТМОВ ПОИСКА ТЕХНИЧЕСКИХ РЕШЕНИЙ ЛАЗЕРНЫХ УСТАНОВОК.

5.1 Обобщенный критерий оценки качества лазерных установок.

5.2 Алгоритмы поиска технических решений лазерных установок.

5.3 Вариант технологического решения лазерно-зондовой установки. 171 Выводы по главе 5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса формирования объектов в лазерной технологии»

Необходимость автоматизации работ по созданию объектов в лазерной технологии на ранних этапах проектирования связана с тем, что выявление отказов основных узлов технической системы на завершающих этапах (начиная с технического проектирования) путем испытаний опытного образца, приводит к длительным операциям по отработке конструкции, а значит и к резкому возрастанию материальных затрат и увеличению сроков проектирования.

Одним из наиболее мощных средств для исследования и проектирования технических систем является моделирование. Использование моделирования, начиная с ранних стадий, и постепенное накопление информации за счет уточнения и детализации модели позволяет говорить о расширяемой адаптивной модели всего цикла проектирования. Соответственно, при анализе различных свойств объекта проектирования (ОП) модельное представление должно формироваться наиболее подходящим для этой цели образом, независимо от конкретного процесса или этапа проектирования, и сохранять все требуемые свойства проектируемого объекта.

Для реализации процесса проектирования в первую очередь нужно осуществить сбор необходимой для расчетов информации, провести ее г обработку, включающую многоаспектный анализ и оптимизацию параметров узлов ОП. Полученные результаты расчета должны быть сохранены в базе данных (БД) с целью формирования отчетной документации. Проектирование рационально строить на основе методов и программно-технических средств с целью снижения затрат, времени и использования информационного ресурса.

Для развития субмикронной технологии и нанотехнологии, в отличие от традиционной технологии, характерен «индивидуальный» подход, при котором внешнее «управление» достигает отдельных атомов и молекул, что позволяет создавать из них как «бездефектные» материалы с принципиально новыми физико-химическими свойствами, так и новые классы устройств с характерными нанометровыми размерами. Одним из направлений решения этой проблемы является создание и развитие автоматизированных систем проектирования различных технологических процессов, в том числе процессов формирования объектов в лазерной технологии.

Фокусируя короткий лазерный импульс с определенными параметрами на заданном типе материала, возможно смещение атомов с их начальных позиций. Это позволяет принимать конструктивные решения в нанометровых масштабах.

Таким образом, разработка информационной системы поддержки принятия решений при проектировании процесса формирования объектов в лазерной технологии является задачей актуальной и своевременной.

Цель работы.

Целью диссертации является разработка и построение информационной системы поддержки принятия решений (СППР) при создании объектов в лазерной технологии, которая поможет осуществить системный анализ процесса проектирования, синтез конструктивного варианта объекта, моделирование процессов формирования объектов в наибольшей степени удовлетворяющего требованиям технического задания. На начальных стадиях проектирования требования технического задания конкретизируются в виде системы ограничений, которым должны удовлетворять характеристики объекта проектирования, обеспечивающие успешное решение проектной задачи.

Моделирование объектов может быть осуществлено воздействием лазерного излучения. Применяя и анализируя лазерное технологическое оборудование как объект автоматизированного проектирования, можно получать локализованные объекты, в том числе и в нанотехнологических масштабах. Локальная модификация поверхности может найти применение в сверхплотной записи информации и создании приборов микро- и наноэлектроники, а также в усовершенствовании рабочих поверхностей материалов.

Задачи исследования.

Для реализации поставленной цели необходимо осуществить следующие исследования:

1. Выполнить комплекс аналитических исследований в области создания систем поддержки принятия решений, областях использования лазерных установок и средств автоматизированного проектирования.

2. Рассмотреть теоретический подход решения задачи создания элементов автоматизированной системы проектирования процесса производства объектов с помощью лазерных технологий.

3. Разработать физико-математические модели формирования объектов в лазерной технологии.

4. Верифицировать теоретические положения работы и физико-математические модели.

5. Осуществить выбор оптимального варианта лазерной системы среди множества альтернатив.

6. Разработать алгоритмы и пакеты прикладных программ, которые войдут в основу разрабатываемой модели информационной системы поддержки принятия решений при формировании объектов в лазерной технологии.

7. На основе морфологического анализа-синтеза предложить технические решения устройств для формирования объектов в лазерной технологии.

Методы исследований.

В качестве методов исследования в работе используются положения теории систем, теории множеств, теории принятия решений, имитационная модель, морфологический анализ-синтез уже известных методов получения объектов с помощью лазерных технологий и, на основе изученного, предложены патентоспособные варианты решения этой задачи с введением дополнительных устройств.

Научная новизна:

1. Разработан теоретический и модельный аппарат для изучения принципов проектирования технических систем принятия решений.

2. Создана система поддержки принятия решений при проектировании процессов формирования объектов в лазерной технологии.

3. Предложена модель состояния лазерной системы.

4. Представлен способ оценки качества лазерных установок.

5. Выполнено моделирование и алгоритмизация оптимального управления лазерными системами.

6. Предложена математическая модель и алгоритм принятия решений для недоминируемых альтернатив лазерных установок.

7. Разработана модель многокритериальной задачи принятия решений и осуществлен многоатрибутивный выбор лазерной установки для проведения технологической операции при формировании объекта в лазерной технологии.

Практическая значимость:

1. Предложен алгоритм построения системы поддержки принятия решений при проектировании процессов формирования объектов.

2. Созданы программные продукты по расчету электрофизических параметров в лазерной технологии.

3. На основе разработанного алгоритма поиска технических решений предложен вариант технологического решения лазерно-зондовой установки для формирования объектов в лазерной технологии.

Достоверность результатов.

Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим математическим обоснованием предлагаемых подходов и методов, а также сравнением с теоретическими данными, известными в литературе и полученными автором.

Реализация и внедрение результатов работы.

Теоретические и практические результаты используются в учебном процессе МИЭМ (ТУ) и практике системного конструирования для производства материалов и приборов электронной техники в НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники, НИИ перспективных материалов и технологий, ГНИИ информационных технологий и телекоммуникаций.

Основные положения выносимые на защиту;

1. Математическая модель многокритериальной задачи принятия решений и методика применения этой модели при практической реализации элементов системы автоматизированного проектирования процессов в лазерной технологии.

2. Обобщенный критерий оценки качества лазерной установки.

3. Модель оптимального управления распределенными лазерными системами.

4. Математическая модель и алгоритм принятия решения для недоминируемых альтернатив лазерных установок.

5. Алгоритм и пакет прикладных программ для осуществления выбора наилучшего варианта лазерной установки с учетом заданных параметров проектирования.

6. Вариант технологического решения лазерно-зондовой установки.

7. Обобщенный алгоритм принятия решений при проектировании процесса формирования объектов в лазерной технологии.

Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на научно-технической конференции «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления»; научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»; IV Российском философском конгрессе «Философия и будущее цивилизации»; Всероссийской междисциплинарной конференции «Философия искусственного интеллекта»; научно-технической конференции «Нанотехнологии - 2005»; научно-технической конференции «Прогрессивные машиностроительные технологии», а также на конференциях МИЭМ (ТУ) для молодых ученых и специалистов в 2004, 2005, 2006, 2007, 2008 гг.

Публикации.

Основное содержание диссертации отражено в 19 научных работах, в том числе 2 статьи опубликованы в ведущем рецензируемом научном журнале, определенном Высшей аттестационной комиссией, получены 4 патента РФ на полезные модели, 1 свидетельство об официальной регистрации программы на ЭВМ.

Структура и объем диссертации.

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы и приложения.

Заключение диссертации по теме «Системы автоматизации проектирования (по отраслям)», Домась, Константин Игоревич

Выводы по главе 5. сформирован обобщенный критерий качества лазерных установок используя обобщенный критерий оценки качества, сформирован алгоритм выбора лучшей лазерной установки по критерию К на основе анализа производительности лазерного оборудования, построен алгоритм выбора лазерного оборудования с учетом цифровой и тактической производительности на основе синтеза алгоритмов выбора лазерных установок, представлен обобщенный алгоритм выбора лазерной установки при формировании объектов лазерно-зондовой технологи предложен вариант технологического решения лазерно-зондовой установки.

Заключение

1. Информационная система поддержки принятия решений является составной частью системы автоматизации проектирования процесса производства объектов в лазерной технологии. Показана экономическая и технологическая целесообразность разработки элементов такой автоматизированной системы.

2. Разработана структура автоматизированной системы поддержки принятия решений при проектировании процессов лазерной технологии, позволяющая перейти к реализации формирования объектов на основе существующих перспективных технологий микроэлектроники.

3. Предложена модель и алгоритм оптимального управления распределенными лазерными системами, которые являются составной частью системы поддержки принятия решений при проектировании процессов формирования объектов на этапах аван-проекта. Предложена методика оценки качества лазерных установок, учитывающая функциональные, экологические и экономические локальные критерии качества, которые входят в обобщенный критерий с учетом их весовых соотношений.

4. Разработана модель многокритериальной задачи принятия решений, учитывающая множество показателей и параметров лазерных установок для проведения технологической операции при формировании объекта лазерной технологии.

5. На основе синтеза и анализа алгоритмов выбора лазерных установок, разработан комплекс алгоритмов, позволяющий проектировщикам на основе морфологического анализа-синтеза создавать технические решения устройств формирования объектов в нанотехнологическом масштабе, соответствующий критериям патентоспособной новизны, изобретательского уровня и промышленной применимости, и обеспечивающий снижение затрат на производство элементов микроэлектроники.

6. На основе предложенных алгоритмов и пакетов прикладных программ разработаны элементы автоматизированной системы проектирования процесса формирования объектов в лазерной технологии.

7. Основным результатом диссертационной работы следует считать разработку информационной системы поддержки принятия решений и базы экспертных данных, на основе которых можно осуществить многокритериальный выбор наилучшего варианта лазерной установки при решении проектных задач. Предложенная схема моделирования позволяет принимать научно обоснованные, технически целесообразные, экономически и технологически выгодные решения при формировании объектов микро- и нанотехнологического масштаба в приборостроении.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Домась, Константин Игоревич, 2008 год

1. Fox М. S. The Intelligent Management System: An Overview. // Process and Tools for Decision support. / Ed. By H. G. Sol. Amsterdam: North-Holland Publ. Co., 1983-p. 105-130.

2. Fedorowich J., Williams G. B. Representing Model Knowledge in an Intelligent Decision Support System. //Decision Support Systems — 1986, -#2. -p.3 13.

3. Keen P. G. W. Decision Support Systems: A Research Perspective. //Knowledge Representation for Decision Support Systems /Ed. By L. B. Methlie and R. H. Sprague. Amsterdam: North-Holland Publ. Co., 1985 - p. 23 - 44.

4. Henderson I. C., Ingreham R. S. Prototyping for DSS: A Critical Appraisal. //Process and Tools for Decision Support. /Ed. By G. Fick and R. H. Sprague. -Oxford: Pergamon Press, 1980. p. 5 - 22.

5. Ларичев О.И., Петровский А.Б. Системы поддержки принятия решений: современное состояние и перспективы развития // Итоги науки и техники. М.: ВИНИТИ, 1987. Т. 21, с. 131-164.

6. Alter S. A. Decision Support Systems: Current Practice and Continuing Challenges. Reading, Mass.: Addison - Wesley Publ. Co., 1980. - 316 p.

7. Ginzberg M. J., Stohr E. A. Decision Support Systems: Issues and Perspectives. //Process and Tools for Decision Support. /Ed. by H. G. Sol. Amsterdam: North-Holland Publ. Co., 1983 - p. 9 - 31.

8. А.Д.Сараев, О.А.Щербина. Системный анализ и современные информационные технологии. Труды Крымской Академии наук. -Симферополь: СОНАТ, 2006. С. 47-59.

9. О.С. Моряков. Элионная обработка. М.: Высш. шк., 1990. 128с.: илл.

10. Ю.В. Панфилов, JI.K. Ковалев, В.А. Блохин, и др. Машиностроение. Энцикопедия. Технологии, оборудование и системы управления вэлектронном машиностроении. Т. III. М: Машиностроение, 2000 г., 744 е., илл.

11. П.Малышев В.А. Основы квантовой электроники и лазерной техники: Учеб. Пособие для вузов М.: Высш. шк. 2005. - 543 с.

12. А. М. Бонч-Бруевич, М. А. Ельяшевич. Действие излучения большой мощности на металлы, М., 1970.

13. Вейко В.П., Либенсон М.Н., Таипов P.A. и др.Лазерная технология, Л.: Электроника, 1970. 120 с.

14. Г.Б. Бубякин, Г.Р. Левинсон, А.Н. Свиридов. Технологическое применение газовых лазеров, Л.: ЛДНТП, 1970. — 32 с.

15. Смирнов С. А. Оценка интеллектуальной собственности. М.: Финансы и статистика, 2002 г. 352 е.: ил. Неволин В. К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Уч. пособие. М. 2000 г.

16. В.В. Рыбалко. Наноразмерные углеродосодержащие материалы. — М.: МИЭМ. 2003 г. 50 с.

17. Новый лазерно-порошковый метод синтеза одностенных углеродных нанотрубок. Углов С.А., Большаков А.П., Савельев A.B., Конов В.И., Горбунов A.A., Помпе В., Граф А.

18. Щука A.A. Наноэлектроника. М.: Физматкнига, 2007 с. 192-193.

19. Двуречениский А. В., Качурин Г. А., Нидаев Е. В., Смирнов Л. С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука, 1982. -208 с.

20. Venktesan Т., Wu X., Inam А. et al. /ЛЕЕЬ J. Quantum Electronics, 1989. V. 25. №11. P. 2388.

21. Комаров Ф. Ф., Кумахов H. А., Ташлыков И. С. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск: Университетское, 1987. 260 е., илл.

22. Алмазов А. В., Дзагуров О. Б., Криволап В. В. и др. Препринт НИИЯФ МГУ 88-015/36. М., 1988.

23. Тулинов А. Ф., Чеченин Н. Г., Бедняков А. А. и др. Препринт НИИЯФ МГУ 88-55/76. М., 1988.

24. Затекин В. В., Чеченин Н. Г. //Инф. бюл. Алгоритмы программы. М.: ВНТИЦентр, 1989. Т. 7 С. 5.

25. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973.

26. Кореев В. В., Монахов Э. В., Селезнев Б. В. и др //СФХТ. 1992. Т.5. №12. С. 2320.

27. Chechenin N. G., Chernysh А. V., Korneev V. V. et al. //J. Phys. (Paris) 1993. V. 3.№12. P. 2173.

28. Саати T. Принятие решений. Метод анализа иерархий. M.: Радиосвязь, 1993 г.-320 е., илл.

29. Сольницев Р.И. Автоматизация проектирования систем автоматического управления: Учеб. для вузов по спец. «Автоматика и упр. в техн. системах». -М.: Высш. шк., 1991. 335 с.

30. Автоматизация проектирования радиоэлектронных средств: Учеб. пособие для вузов / О.В. Алексеев, A.A. Головков, И.Ю. Пивоваров и др.; Под. ред. О.В. Алексеева. М.: Высш. шк., 2000. - 497 с.

31. ГОСТ 34.601-90 «Информационная технология. Комплекс стандартов на автоматизированные системы. Стадии создания».

32. Автоматизированное проектирование машиностроительного гидропривода / И.И. Бажин, Ю.Г. Беренгард, М.М. Гайцгорн и др.; Под общ. ред. С.А. Ермакова. М.: Машиностроение, 1988. - 312 с.

33. Тумковский С.Р. РТУиС, МГИЭМ. Курс лекций «Автоматизированное проектирование РЭС».

34. Норенков И.П., Маничев В.Б. Основы теории и проектирования САПР: Учеб. для втузов. -М.: Высш. шк., 1930.- 335 е.: ил.

35. Быков В.П. Методическое обеспечение САПР в машиностроении. Ленингр. Отделение, 1989 г. -255 с.

36. Корячко В.П. и др. Теоретические основы САПР: Учебник для вузов/ В.П. Корячко, В.М. Курейчик, И.П. Норенков. — М.: Энергоавтомиздат, 1987, — 400 е.: ил.

37. Вейк А.И. Техническая термодинамика и основы теплопередачи. М.: Металлургия, 1965 г., 375 с.

38. Вейк А.И. Термодинамика, 2-е изд. М.: Высшая к., 1965 г., 282 с.

39. Иванов Ю.В., Лакота H.A. Гибкая автоматизация производства РЭА с применением микропроцессоров и роботов. — Москва, Радио и связь, 1987 г., 464 с.

40. Норенков И.П. Принципы построения и структура САПР. — Москва, "Высшая школа", 1986 г., 146 с.

41. Основы автоматизации управления производством. Под ред. И.М. Макарова. Москва, "Высшая школа", 1983 г., 270 с.

42. Чулков В. П. Расчет комплексов оборудования. М.: МИЭМ, 2006 г., 26 .с

43. Банди Б. Методы оптимизации. Основной курс. — Москва, Высшая школа, 1988 г., 127 с.

44. Р.Хук, Т.А.Дживс. Прямой поиск решения для числовых и статических проблем, 1961 г., 212-219 е.,

45. СлободинМ.Ю., Царев Р.Ю. Компьютерная поддержка многоатрибутивных методов выбора и принятия решения при проектировании корпоративных информационно-управляющих систем. — СПб.: Инфо-да, 2004. 223 с.

46. Васильков В.М. Автоматизация управления производством изделий электроники. М.: Радиосвязь, 1982. - 222 с.

47. Шалагин A.M. Механическое воздействие лазерного излучения на атомы. М.: Физика, 1999 г., 86 92 с.

48. Балкин В.И., Летохов B.C., Миногин В.Г. // Успехи физ. наук. 1985. Т. 147, №1. С. 117-156.

49. Казанцев А.П., Сурдутович Г.И., Яковлев В.П. Механическое воздействие света на атомы. М.: Наука, 1991. 188 с.

50. Манзон Б.М. // Успехи физ. наук. 1981. Т. 134, №4. с. 611 639.

51. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учебник для вузов. -М.: Высш. школа, 1982.-207 е., ил.

52. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц «Квантовая механика (нерелятивистская теория)» М.: Физматгиз, 1963 г., 704 с.

53. В.И. Иванов, Взаимодействие высокоинтенсивных ионизирующих излучений с твердым телом; редактор В.О. Вальднер; Москва; МИРЭА; 1994 г., 114 с.

54. К.А. Валиев, A.B. Раков; Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике; Москва «Радио и Связь» 1984.

55. Климков Ю. М. Прикладная лазерная оптика. М.: Машиностроение. 1985. 128 с.

56. Пахомов И. И., Рожков О. В., Рождествин В. Н. Оптико-электронные квантовые приборы. М: Радио и связь, 1982, 456 с.61.3аказнов Н. П., Крирюшин С. И., Кузичев В. Н. Теория оптических систем 3-е изд. М.: Машиностроение, 1992. - 448с.: ил.

57. Васильев Ф.П. О градиентных методах решения задач оптимального управления системами, описываемыми параболическими уравнениями // Оптимальное управление. Сборник. — М.: Знание, 1978. — 144 е., С. 118143.

58. Бутковский А.Г., Пустыльников JI.M. Теория подвижного управления системами с распределенными параметрами. -М.: Наука, 1980 г., 384 с.

59. Чубаров Е.П. Управление системами с подвижными источниками воздействия.-М.: Энергоатомиздат, 1985.

60. Современное состояние теории исследования операций / Под ред. H.H. Моисеева. -М.: Наука, 1979.

61. Батищев Д.И. Методы оптимального проектирования. -М.: Радио и связь, 1982.

62. Лотов А В. Введение в экономико-математическое моделирование. М.: Наука, 1984.

63. Современное состояние теории исследования операций. — М.: Наука, 1979.

64. Семенкин Е.С., Семенкина О.Э., Терсков В.А. Методы оптимизации в управлении сложными системами: Учебное пособие. — Красноярск: Сибирский юридический институт МВД России, 2000. — 254 с.

65. Вишневский A.C., Домась К.И. Таун Н.К. Моделирование и алгоритмизация оптимального управления распределенными системами// Системы управления и информационные технолонии, 2008, 1.2(31). С. 291-295.

66. Катулев А.Н., Северцев H.A. Математическрге методы в системах поддержки принятия решений. М.: Высшая школ, 2005. - С. 30-31.

67. Каипов В.Х., Селюгин A.A., Дубровский С.А. Методы обработки данных в системах с нечеткой информацией. Фрунзе: Илим, 1988. — 187 с.

68. Борисов А.Н., Алексеев A.B., Меркурьева Г.В. и др. Обработка нечеткой информации в системах принятия решений. М.: Радио и связь, 1989. — 304 с.

69. Вишневский A.C., Домась К.И., Тхань Н.Д., Бинь JI.T. Математическая модель и алгоритм принятия решения для недоминируемых альтернатив // Системы управления и информационные технологии, 2008, 2.3(32). С. 336-339.

70. Петренко А.И., Семенков О.И. Основы построения систем автоматизированного проектирования. — 2-е изд., сетр. — К.Вище шк. Головное издательство, 1985 г. — 294 с.

71. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Метод измерения нанорельфа и наноструктуры поверхности подложки. НТК «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления». — Датчик 04. -М.: МИЭМ 2004, Судак 2004, материалы конференции.

72. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Системы формирования и сканирования нанообъектов. НТК «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления». Датчик 04, - М.: МИЭМ 2004, Судак 2004, материалы конференции.

73. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Построение аналитических устройств наноэлетроники на основе квантомеханического подхода Деп. Рук. ВИНИТИ № 1204-В 2004; 13.07.04.

74. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Механическое и полевое тестирование модифицированых наноструктур. Деп. Рук. ВИНИТИ № 1202 В 2004; 13.07.04.

75. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Тунельный метод измерения нанорельефа поверхности. Деп. Рук. ВИНИТИ № 1201 -В 2004; 13.07.04.

76. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Оптоволоконная нанотехнология в элетронике и методы ее реализации. Деп. Рук. ВИНИТИ № 1203 В 2004; 13.07.04.

77. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Устройство перемещения для нанотехнологии. Пат. РФ на ПМ № 37580 опубл. 27.04.04. Б.И. № 12.

78. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Устройство для регистрации химического состава. Пат. РФ на ПМ № 43104 оп. 27.12.04. Б.И. № 36.

79. Домась К.И., Ивашов E.H. Устройство для получения нанодорожек. Пат. РФ на ПМ № 42696 опубл. 27.12.04. Б.И. № 34.

80. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Измерительное устройство для нанотехнологии. Пат. РФ на ПМ № 42697 опубл. 27.12.04. Б.И. № 34.

81. Домась К.И., Ивашов E.H. Расчет электро-физических параметров в лазерно-зондовой нанотехнологии. Свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ № 2006610207. Зарегистрирована 10.01.06 г.

82. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Формирование нанообьектов на подложке с использованием оптоволокна. НТК «Вакуумные технологии и нанотехнологии». Вакуум 03. - М.: МИЭМ 2003, Судак 2003, материалы конференции.

83. Домась К.И., Ивашов E.H. Лазерно-зондовая технология как инструмент механического воздействия на атомы. Труды IX международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросхемы». -Ульяновск: УлГУ, 2007. 323 е., С. 114.

84. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Применение измерительных лазеров в нанотехнологии. НТК «Нанотехнологии 2005». — М.: МИЭМ 2005, Владимир 2005, материалы конференции.

85. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Метод регистрации химического состава поверхности объекта в нанотехнологии. НТК «Прогрессивные машиностроительные технологии». Образование через науку 2005. — М.: МИЭМ 2005, Москва 2005, материалы конференции.

86. Домась К.И., Ивашов E.H. и др. Формирование наноструктур на атомарном уровне. НТК «Прогрессивные машиностроительные технологии». Образование через науку 2005. - М.: МИЭМ 2005, Москва 2005, материалы конференции.

87. Технологические системы электроники»1. Львов Б.Г.1. Профессор кафедры

88. Технологические системы электроники» Доцент кафедры