Импульсно-периодический TEA CO2-лазер с предыонизацией поверхностным коронным разрядом тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.03, кандидат технических наук Павлишин, Игорь Витальевич

• Павлишин, Игорь Витальевич
• кандидат технических наук
• 1999

Оглавление диссертации кандидат технических наук Павлишин, Игорь Витальевич

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. Обзор литературы

1.1. Методы формирования однородного объемного разряда

1.2. Предыонизация газовой смеси УФ-излучением

1.2.1. Импульсные источники УФ- излучения

1.2.2. Спектральные характеристики основных источников предыонизации TEA СО2 -лазеров

1.2.3. Влияние параметров электродной системы и источника питания на эффективность предыонизации поверхностным коронным разрядом

1.3. Ресурс работы TEA СО2 -лазеров в отпаянном режиме

1.3.1. Влияние состава газовой смеси на ресурс работы лазера в отпаянном режиме

1.3.2. Влияние предыонизации на деградацию газовой смеси

1.4. Особенности работы TEA СОг-лазеров в импульсно-периодическом режиме

Выводы

Постановка задач исследования

Глава 2. Численное моделирование импульсных TEA СО2- лазеров

2. 1. Выбор теоретической модели

2 .2. Результаты численного моделирования

Выводы

Глава 3. Исследование возможности использования поверхностного коронного разряда в импульсно-периодических TEA СО2- лазерах

3.1. Исследование систем формирования однородного объемного разряда с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

3.2. Принципы построения TEA СО2- импульсно-периодических лазеров с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

3.3. Схемное решение TEA СО2- импульсно-периодического лазера с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

3.4. Выбор материала диэлектрических пластин 68 Выводы

Глава 4. Исследование импульсно-периодического

TEA СО2- лазера с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

4.1. Исследование экспериментального образца лазера

4.2. Методика инженерного расчета TEA СО2 импульсно-периодического лазера

4.3. Исследование технологического TEA СО2 импульсно-периодического лазера с предыонизацией поверхностным коронным разрядом

Выводы

Глава 5. Исследование возможностей применения импульснопериодических TEA СО2- лазеров в технологии и медицине

5.1. Взаимодействия излучения TEA СО2 импульсно-периодических лазеров с материалами

5.2. Исследование взаимодействия излучения TEA СО2 импульсно- периодического лазера с диэлектрическими материалами с низкой теплопроводностью

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Импульсно-периодический TEA CO2-лазер с предыонизацией поверхностным коронным разрядом»

Малогабаритные TEA СО2 импульсно-периодические лазеры (ИПЛ) находят применение в технологии [1-2], дальнометрии [3], зондировании атмосферы [4], локации [5], дистанционном анализе газов [6], нелинейной оптике [7], разработке лазеров дальнего инфракрасного диапазона с оптической накачкой [8] и т.д. Существенным недостатком, препятствующим расширению их использования, является недостаточно большой ресурс работы в отпаянном режиме (режим работы без перенапуска рабочей смеси принято называть "отпаянным" режимом). Использование отпаянного режима работы значительно упрощает эксплуатацию ИПЛ, повышает его мобильность. Как правило, ресурс работы ИПЛ в таком режиме даже с использованием газовых катализаторов составляет величину ~106 импульсов. Лазер, работающий с частотой повторения импульсов (ЧПИ) ~ 1 кГц, вырабатывает такой ресурс за время меньшее одного часа, в то время как большинство применений требуют долговременной устойчивости работы. Использование отпаянного режима работы значительно упрощает эксплуатацию ИПЛ и повышает его мобильность. Как правило, ресурс работы ИПЛ в таком режиме даже при использовании газовых катализаторов составляет величину ~106 импульсов [9-10], а попытки его увеличения наталкиваются на ряд серьезных трудностей. Одной из основных причин ограничения ресурса работы лазера в отпаянном режиме является диссоциация молекул СОг в сильноточном импульсном разряде с последующим образованием молекул О2. При достижении молекулами Ог концентрации 0,5-2 % при атмосферном давлении газовой смеси в разряде возникают пространственно локализованные дуги [10,74], что приводит к неоднородному возбуждению разрядного объема и срыву генерации. В большинстве случаев увеличение ресурса работы достигают применением твердотельных [11-12], содержащих платину или палладий, или газовых [9-10,14] (Нг,Н2+СО и др.) катализаторов. Для обеспечения оптимальных режимов работы твердотельных катализаторов требуются повышенные температуры [79], что приводит к необходимости использования дополнительных нагревателей и теплообменников для охлаждения газовой смеси. В компактных лазерных системах это может привести к значительному увеличению габаритов и усложнению системы. Газообразные катализаторы не требуют такого усложнения системы, но менее эффективны, а применение водорода и окиси углерода предъявляет дополнительные требования к технике безопасности при перенапуске газовой смеси. Практически во всех современных малогабаритных TEA СО2 ИПЛ используется предыонизациея УФ-излучением искровых источников или скользящего разряда. Однако скользящий и искровой разряды в значительной мере увеличивают деградацию рабочей газовой смеси [34,72]. Предыонизация поверхностным коронным разрядом (ПКР) в малогабаритных TEA СОг-лазерах обладает рядом преимуществ: высокие однородность и уровень предыонизации разрядного объема, обеспечивающие высокую однородность разряда и, следовательно, высокую воспроизводимость и качество лазерного излучения, а также существенно меньшее, по сравнению с искровыми источниками и скользящим разрядом, влияние на деградацию газовой смеси [73], что позволяет рассчитывать на увеличение ресурса работы лазера в отпаянном режиме. К сожалению, известные системы предыонизации ПКР применяются только в TEA СОг-лазерах, работающих в режиме одиночных импульсов, так как диэлектрические пластины системы формирования ПКР исключают возможность быстрой поперечной прокачки газовой смеси через разрядный объем. Таким образом, работы, связанные с исследованием и созданием TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР, способных работать с высокой ЧПИ, представляются важными и актуальными.

Целью настоящей работы является разработка принципов построения и методики инженерного расчета TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР. Исследование и создание TEA СО2 ИПЛ с высокой ЧПИ для технологических применений. Определение основных областей его применения в технологии.

Научная новизна. Экспериментально показана возможность использования предыонизации ПКР в электроразрядных импульсно-периодических TEA СО2-лазерах. Разработаны принципы построения TEA СО2 ИПЛ с предыонизаций

ПКР. Предложено новое схемное решение электроразрядного импульсно-периодического газового лазера с предыонизацией ПКР (патент России). Разработана методика инженерного расчета TEA СО2 ИПЛ с предыонизаций ПКР. Экспериментально исследованы характеристики TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР. Разработан, создан и исследован экспериментальный образец TEA СО2 ИПЛ с ЧПИ до 1 кГц при атмосферном давлении газовой смеси. Разработан и создан TEA СО2 ИПЛ с ЧПИ до 1 кГц при атмосферном давлении газовой смеси и ресурсом более 1,5-109 импульсов в отпаянном режиме для технологических применений. Экспериментально показана перспективность применения разработанного лазера в технологии для резки хрупких диэлектрических материалов и в хирургии.

Практическая значимость. Предложенная схема формирования однородного объемного разряда и методика инженерного расчета могут быть использованы для разработки TEA СО2 и эксимерных электроразрядных импульсно-периодических лазеров с повышенным ресурсом работы в отпаянном режиме. Разработан и создан импульсно-периодический TEA СОг-лазер с ЧПИ до 1 кГц и ресурсом работы более 1,5-109 импульсов в отпаянном режиме, на основе которого создана лазерная технологическая установка. Определена перспективность использования импульсно-периодических TEA СОг-лазеров для размерной обработки хрупких диэлектрических материалов с низкой теплопроводностью. Данная технология успешно апробирована при изготовлении образцов угловых датчиков для НПО "Авангард" и "Биофизприбор".

На защиту выносятся следующие основные положения: -принципы построения и методика инженерного расчета TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР, позволяющие создавать TEA СО2 ИПЛ с высокой ЧПИ и большим ресурсом работы в отпаянном режиме;

- новое схемное решение электроразрядного импульсно-периодического газового лазер с предыонизацией ПКР (патент России); 8

- впервые в TEA ССЬ ИПЛ получен ресурс более 1,5-109 импульсов при работе в отпаянном режиме без использования катализаторов;

- показано резкое снижение (до трех раз) ширины зоны микротрещин при резке хрупких диэлектрических материалов с низкой теплопроводностью излучением разработанного лазера по сравнению с традиционным методом резки с помощью ультразвука;

Заключение диссертации по теме «Квантовая электроника», Павлишин, Игорь Витальевич

Выводы

1. Показана перспективность использования TEA СО2 ИПЛ для обработки деталей из хрупких диэлектриков с низкой теплопроводностью при толщинах до Змм.

2. Показано, что ширина зоны микротрещин при обработке деталей из ДНТ в три раза меньше, чем при обработке ультразвуком.

3. Определены оптимальные режимы обработки ДНТ.

4. Показана перспективность применения TEA СО2 ИПЛ в медицине.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1 Предложено новое схемное решение электроразрядного импульсно-периодического газового лазера с предыонизацией ПКР (патент России).;

2. Разработаны принципы построения и методика инженерного расчета TEA СОг ИПЛ с предыонизацией ПКР;

3. Проведены исследования характеристик TEA СО2 ИПЛ с предыонизацией ПКР. Показана перспективность использования систем предыонизацией ПКР для создания ИПЛ с высокой ЧПИ и большим ресурсом работы в отпаянном режиме;

4. Методом численного моделирования произведена оценка концентрации начальных электронов, создаваемых системой предыонизации. Получена зависимость КНЭ от напряжения зарядки накопительных конденсаторов;

5. Разработана базовая модель TEA СО2 ИПЛ с частотой следования импульсов до 1 кГц, средней мощностью до 90 Вт и ресурсом работы в отпаянном режиме более 1,5-109 импульсов;

6. Определена перспективность применения разработанного лазера в современных технологиях на примере обработки хрупких диэлектрическихматериалов с низкой теплопроводностью. Показано, что ширина зоны микротрещин при резке хрупких диэлектрических материалов с низкой теплопроводностью (стекло, ситал, поликор и т.д.) в три раза меньше, чем при обработке ультразвуком;

7. Показана перспективность использования TEA СО2 ИПЛ в хирургии.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Павлишин, Игорь Витальевич, 1999 год

1. Beyer Н., Ross W., Rudolph R. Interection of COi laser pulses of microsecond duration with AI2O3 ceramic substrates // J. Appl. Phys. 1991. v. 70. No 1. P. 75-81.

2. Baloshin U.A., Belyakov I.V., Chernyakov G.M., Pavlishin I.V., Zakirov V.A. The reseach on application of pulse-periodical TEA CO2 laser for processing of fragile dielectric materials low heat conductivity // Proceedings SPIE, 1993, p. 43-46.

3. Hulme K.E. Advanced CO2 laser rangefmder // Opt. and Laser Technol.,1982, v. 14, №4, 213-215.

4. Зуев B.E. Лазер метеоролог. — M.: Гидрометиздат, 1978.

5. Courtenay Т., Boulter F., Henshal H. // Infr. Phys . 1976. V.16. p. 95.

6. Hudson R.D., Hudson L.W. // Proc. IEEE, 1975, v. 63, p. 104.

7. Jones C.R. // Laser Focus, 1978, No. 8, p. 68.

8. Bruneau J.I. A tunable single-longitudinal-mode CO2 oscillator for efficient optical pumping // Opt. Commun., 1982, v. 41, № 6, p. 443-446.

9. Stark D.S., Cross P.H., Foster H.A. A compact sealed pulsed TEA CO2 laser // IEEE J. Quant. Electron., 1975, v. 11, №9, p. 774-778.

10. Pace P.W., Lacombe M. A sealed high repetition-rate TEA CO2 laser // IEEE J. . Quant. Electron, 1978, v. 14, № 4, p. 263-275.

11. Stark D.S., Harris M.R. Planinum-catalysed recombination of CO and O2 in sealed CO2 TEA laser gas // J. Phys. E, 1978, v. 11, p. 316.

12. Stark D.S., Crocker A., Steward G. A sealed 100 Hz CO2 TEA laser using high CO2 concentrations and ambient-temperature catalysts // J. Phys. E,1983, v. 16, p. 158.

13. Алейников B.C., Сысоев В.К., Бондаренко Ю.Ф. Равновесный химический состав газов в отпаянном импульсном лазере высокого давления // Квантовая электроника, 1979, т. 6,N 10, с. 2160.

14. Stark D.S., Crocker A. A sealed high repetition-rate TEA CO2 laser without solid catalyst // Opt. Commun, 1984, v.48, № 5, p. 337-342.

15. Pace P., Lacombe M. Frequency characteristic of a miniature transversely excited CO2 laser // Can. J. Phys., 1979, v. 57, №9, p. 1350-1355.

16. Аверьянов H.E., Балошин Ю.А., Павлишин И.В. и др. Импульсно-периодический СО? лазер атмосферного давления // Известия ВУЗов «Приборостроение», 1986, т. XXIX, с. 93-96.

17. Baranov V.Yu., Kazakov S.A., Malyuta D.D. et. al. Average power limitation in high- repetition- rate pulsed gas lasers at 10,6 and 16 ¡am. Appl. Opt., 1980, v. 19, №6, p. 930-936.

18. Brandenberg W.M., Bailey M.P., Texeira P.D. Supersonic Transverse Electrical Discharge laser // IEEE J. Quaint. Elec., 1972, v. QE-8, № 4, p. 414-418.

19. Месяц Г.А., Бычков Ю.И., Кремнев В.В. Импульсный наносекундный электрический разряд в газе. УФН, 1972, т. 107, в. 2, с. 201-228.

20. Карнюшин В.П., Солоухин Р.И. Макроскопические и молекулярные процессы в газовых лазерах. М., АТОМИЗДАТ, 1981, 200 с.

21. Басов Н.Г., Беленов Э.М., Данилычев В.А. Электроионизационные лазеры. // ЖЭТФ, 1973, т. 64, в.1, с. 108-121.

22. Бычков Ю.И., Карлова Е.К., Карлов Н.В. и др. Импульсный СОг лазер с энергией излучения 5 кДж // Письма в ЖТФ, 1976, тю 2, в.5, с. 212-216.

23. Бугаев С.П., Бычков Ю.И., Ковальчук Б.М. и др. СОг лазер с несамостоятельным разрядом в импульсно- периодическом режиме // Квантовая электроника, 1977, т. 4, № 4, с. 897-899.

24. Лафламм А.К. Возбуждение лазеров на СОг двойным разрядом при атмосферном давлении // ПНИ, 1970, т. 41, № 11, с. 48-51.

25. Мазуренко К).Т., Рубинов Ю.А., Шахвердов П.А. Новый метод возбуждения однородного разряда в СО2 лазерах повышенного давления // Квантовая электроника, 1975, т. 2, № 10, с. 2335-2338.

26. Richardson М.С., Alcock A.J., Leopold К.А. A 300-J multigigawatt СО2 -laser // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. 9, № 2, p. 236-243.

27. Павловский А.И., Босамыкин B.C., Карелин В.И., Николский B.C. Электроразрядный ОКГ с инициированием в активном объеме

28. Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 3, с. 601-604.

29. Басманов В.Ф., Босамыкин B.C., Карелин В.И. и др. Высокоэффективный электроразрядный СО> лазер с энергией излучения 500 Дж // ЖТФ, 1982, т. 52,в. 1, с. 128-130.

30. Андреев С.И., Белоусова И.М., Дашук П.Н. и др. Плазмолистовой СОг -лазер // Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 8, с. 1721-1726.

31. Бычков Ю.И., Зарослов Д.Ю., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П., и др. Инициирование мощного несамостоятельного разряда в молекулярных газах ультрафиолетовым излучением от плазменного катода // Квантовая электроника, 1982, г. 9, № 8, с. 1718-1721.

32. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Напартович А.П. и др. Исследование характеристик импульсного СОг лазера с предыонизацией ультрафиолетовым излучением // ЖТФ, 1976, т. 46, в. 2, с. 355-358.

33. Визирь В.А., Осипов В.В., Тельнов В.А. и др. Малогабаритный СОг лазер с высокой частотой следования импульсов // Квантовая электроника, 1988, т. 15, №5, с, 1256-1260.

34. Richardson M.С., Leopold К.А., Alcock A.J. Large aperture CO2 laser discharge // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. QE-9, p. 934-939.

35. Горячкин Д.Ю., Иртуганов В.M., Калинин В.П. и др. Импульсный СО2-лазер с предварительной фотоионизацией // Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 3 , с. 656-658.

36. Аверьянов Н.Е., Ананьев Ю.А., Павлишин И.В. и др. Импульсно-периодический СО? лазер замкнутого цикла // Тез. докл. Всесоюзнойконференции «Применение лазеров в машиностроении» Ленинград, 1981, с. 101-105.

37. Pearson P.R., Lamberton Н.М. Atmospheric pressure СОг lasers giving high output energy per unit volume // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. QE-8, p. 145149.

38. Ernst G.J., Boer A.G. Construction and performance characteristics of a rapid discharge TEA CO2- laser // Opt. Commun., 1978, v. 27, № 1, p.105-110.

39. Ernst G.J., Boer A.G. A 5 cm single- discharge CO2 laser having high power output // Opt. Commun., 1980, v. 34, № 2, p.221 -222.

40. Ernst G.J., Boer A.G. A 10 cm aperture, high quality TEA CO2 laser // Opt. Commun., 1982, v. 44, № 2, p. 125 -129.

41. Hasson V. and Bergman H.M. Spatial control of pulsed high pressure pre-ionisation stabilised glow discharges // J. Phys. E, 1980, 13, 632.

42. Попонин В.П, Шанский В.Ф. Импульсные СОг лазеры с несамостоятельным разрядом / Обзор ОК-9, Л. ННИИЭФА, 1976.

43. Павловский А.И., Басманов В.Ф., Босамыкин B.C. Электроразрядный СО2 лазер с объемом активной области 0,28 м3 // Квантовая электроника, 1987, т. 14, №2., с. 428-430.

44. Карлов н.в., Кислецов А.В., Ковалев И.О. и др. Плавно перестраиваемый по частоте СОг лазер высокого давления с плазменным катодом // Квантовая электроника, 1987, т. 14, № 1 , с. 216-218.

45. Аверьянов Н.Е., Ананьев Ю.А., Павлишин И.В. и др. Исследование импульсно-периодического СОг лазера с предыонизацией УФ- излучением скользящего разряда // Труды 10-го Всесоюзного совещания по спектроскопии, Томск, 1981, с. 39-42.

46. Brown R.T. High Repetition-Rate Effect in TEA CO2 Lasers // IEEE J. Quant. Electron., 1973, v. 9, № 11, p. 1120-1122.

47. Ананьев Ю.А., Анисимова Т.Е., Горячкин Д.А. и др. Исследование возможности создания фотоионизационного СОг лазера с высокой частотойповторения импульсов // Изв. АН СССР, Сер. Физическая, 1980, т. 44, № 10, с. 2113-2115.

48. Chist I., Ciura A., Dragulinescu D. et. al. Design and performance of a high repetition rate TEA C02 laser // J. Phys. E, 1988, v.21, № 4,p.

49. Дашук П.H., Кулаков C.JI., Кучинский A.A. и др. Использование мягкого рентгеновского излучения наносекундного скользящего разряда в системах предыонизации // ЖТФ, 1987, Т. 57, в.1, с. 5057.

50. Василевский М.А., Родичкин В.А., Ройфе И.М., Янкин Е.Г. Создание потока излучения с использованием взрывоэмиссионного катода большой площади // ЖТФ, 1985, т. 55, в. 6, с. 1118-1122.

51. Bigio I.I. Preionization of Pulsed Gas lasers by Radioactiv Source // IEEE J. Quant. Electron., 1978, v. 14, № 2, p. 75-77.

52. Андриякин В.M. и др. // Письма в ЖТФ, 1972, т. 15, с. 637.

53. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов. М., Наука, 1991,224 с.

54. Физика быстропротекающих процессов / Под ред. Златина H.A. (пер. с нем.) М. Мир, 1971, г. 1, с. 135.

55. Ковальчук Б.М., Кремнев В.В., Месяц Г.А., Юрике Я.Я. // Журнал прикладной механики и технической физики, 1973, № 1, с.48.

56. Андреев С.И., Зобов Е.А., Сидоров А.Н. Журн. прикл. Мех. и техн. физ., 1978, т.З, с. 38.

57. Андреев С.И., Зобов Е.А., Сидоров А.Н. Журн. прикл. мех. и техн. физ., 1980, т. 1, с. 111.

58. Виттеман В. СО2 лазер. / под ред. Соболева H.H. (пер. с англ.), М. Мир,1990.с.213.

59. Seguin H.J.J., Tulip J., McKen D.C. Ultraviolet photoionization in TEA laser // IEEE J. Quant. Electron., 1974, v. QE-10, № 3, p. 311-319.

60. Seguin H.J.J., McKen D.C., Tulip J. Photon emission and photoionization measurements in the CO2 laser environment // Appl. Phys. Lett. 1976, v. 28, № 9, p. 487-489.

61. Seguin H.J.J., McKen D.C., Tulip J. Source emission and photoelectron production in a seeded CO2 laser mixture // Appl. Phys. Lett. 1976, v. 29, № 2, p. 110-112.

62. Babcock R.V., Liberman I.,Partlov W.D. Volume Ultraviolet preionization from Bare Sparks // IEEE J. Quant. Electron., 1976, v. QE-12, № 1, p. 29-34.

63. Баранов В.Ю., Борисов B.M., Высикайло Ф.И. и др. Исследования процессов формирования и протекания скользящего разряда Препринт № 3472/7, М. ИАЭ, 1981.

64. Зарослов Д.К)., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П., Никифоров С.М. Спектральные характеристики источников предыонизации СОг лазеров в области вакуумного ультрафиолета // Квантовая электроника, 1978, т. 5, №6, с. 1221-12.29.

65. Зарослов Д.Ю., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П., Мак Кен Д. Об использовании скользящего разряда для предыонизации газов в газоразрядных лазерах // Квантовая электроника, 1978, т. 5, №8, с. 1843-1847.

66. Зарослов Д.Ю., Кузьмин Г.П., Тарасенко В.Ф. Скользящий разряд в СОг и эксимерных лазерах // Радиотехника и электроника, 1984, т.29, в.7, с. 12171241.

67. Борисов В.М., Гладуш Г.Е., Степанов Ю.Ю. Фотоионизация в импульсном СО2 лазере // Квантовая электроника, 1977,Т. 4, № 4, с. 809-813.

68. Reits B.J. Parametric measurements on a doped CO2 TEA laser // Opt. Commun., 1980, v. 33, № 1, p. 75-79.

69. Аполлонов В.В., Ахунов Н.Н., Фирсов К.Н. Особенности применения легкоионизируемых веществ для получения объемных самостоятельных разрядов Препринт АН СССР, Ин-т общей физики, № 212, М, 1985,20 с.

70. Palmer A.J. Physical model on the imitation of atmospheric pressure glow discharge // Appl. Phys. Lett., 1974, v. 25, p. 138-140.

71. Баранов В.Ю., Борисов B.M., Веденов A.A. и др. Получение распределенного электрического разряда в импульсном СОг лазере и некоторые особенности лазерного излучения - Препр. ИАЭ - 2248, м. 1972.

72. Fahlen T.S. // IE EE J. Quant. Electron., 1979, v. 15, p.311

73. Marchetti R., Penco E., Armadillo E., Salvetti G. // Appl. Phys. Lett., 1982, v. 41, p. 934.

74. Smith A.L., Austin Y.M. Dissociation mechanism in pulsed and continuous CO2 lasers // J. Phys. D, 1974, v. 7,№ 2, p. 314-322.

75. Smith A.L., Norns B. Limiting processes in sealed photoionisation TEA CO2 lasers // J. Phys. D. 1978, v.l 1, № 14, p. 1949-1962.

76. Hirokazu Hokazono, Minoru Obara, Katsuvi Midorikawa, Hideo Tashiro Theoretical operationalmlife study of the closed-cycle transversely excited atmospheric CO2- laser // J. Appl. Phys., 1991, v. 69, № 10, p. 6850- 6867.

77. Nighan W.L., Wiegand W.J. Influence of negative-ion processes on steady-stage properties and striations in molecular gas discharges // Phys. Rev., 1974, v. 110, p. 922-945.

78. Sheildds A.L., Smith A.L., Norris B. Negative ion effects in TEA CO2 lasers // J. Phys. D, 1976, № 9, p. 1 1587.

79. Химия плазмы / под ред. Б.М. Смирнова. М.: Атомиздат, 1980, вып. 7 с.45.

80. Marchetti R., Penco Е. Optimization of corona-discharge photoionization sources for CO2 lasers // J. Appl. Phys., 1983,v. 54, № 10, p. 5672-5675.

81. Велихов Е.П., Баранов В.Ю., Летохов B.C., Рябов E.A., Старостин А.Н. // Импульсные СО2 лазеры и их применение для разделения изотопов.1. М.: Наука, 1983,304 с.

82. Баранов В.К)., Низьев В,Г., Пигульский С.В. Газодинамические возмущения потока в СОг- лазерах импульсно-периодического действия . 1. Конвективное удаление газа из разрядной области // Квантовая электроника, 1979, т. 6, № 1, с. 177-183.

83. Баранов В.Ю., Любимов Б.Я., Низьев В,Г., Пигульский С.В. Газодинамические возмущения потока в СОг- лазерах импульсно-периодического действия . 2. Акустические волны // Квантовая электроника, 1979, т. 6, № 1, с. 184-188.

84. Баранов В.Ю., Велихов Е.П., Казаков С.А. и др. Разделение изотопов методом многофоюнной диссоциации молекул излучением мощного СОг -лазера. 2. Импульсные СОг- лазеры периодического действия // Квантовая электроника, 1979. г. 6, № 4, с.811-821.

85. Технологические лазеры / под ред. Абильсиитова Г.А. — М.: Машиностроение, 1991, т. 1,431 с.

86. Баранов В.Ю., Кириченко Т.К., Клавдиев В.В. // Квантовая электроника, 1978, т. 5, № 3, с.568.

87. Аверьянов Н.Е., Балошин Ю.А., Дернятин А.И., Павлишин И.В., Расчет газовых лазеров на ЭВМ // Труды ЛИТМО: Современная электроника в оптическом приборостроении. Л.: 1981, с. 35-42.

88. Armandillo Е., Spelding L.J. // J. Phys. D, 1975, v. 8, p. 21-23.

89. Manes K.R., Seguin H.J. Analysis о the C02 TEA laser // J. Appl. Phys., 1972, v. 43, p. 5073-5078.

90. Kline L.E., Denes L.J. Investigations of glow discharge formation with volume preionization // J. Appl. Phys., 1975, v. 46, №4, p. 1567-1574.

91. Борисов B.M., Сатов Ю.А., Судаков В.В. О влиянии предыонизации на разрядные характеристики СО?- лазера // Квантовая электроника, 1976, т. 3, №11, с.2460-2462.

92. Бычков Ю.П., Кудряшов В.П., Осипов В.В., Савин В.В. Влияние параметров разрядного контура на режим ввода энергии в газ при самостоятельном разряде // ПМТФ, 1976, № 2, с. 43-46.

93. Ernst G.J., Boer A.G. Kinetik modelling of a self- sustained TEA CO? laser // Opt. Comm., 1980, v.35, № 2, p.249-254.

94. LimbeekJ.W., Lucas J. Time-of-flight measurements of electron transport parameters in C02-N2-He gas mixtures // Solid- state and electron divices, 1978, v.2, № 5. p. 161-163.

95. Аверьянов H.E., Балошин Ю.А., Павлишин И.В. и др. Численное моделирование процессов в лазерных СОг системах // Труды 10-го Всесоюзного совещания по спектроскопии, Томск, 1981, с.17-21.

96. Lowke J.J., Phelps A.V., Irwin B.W. Predicted electron transport coefficient of C02-N2-He laser mixtures //J. Appl. Phys., 1973,v.44,№ 10, p.4664-46-71.

97. Ernst G.J. Boer A.G. Experimental determination of the electron-avalanche and the electron-ion recombination coefficient // Opt. Comm., 1980, v.34, № 2, p.235-239.

98. Горячкин Д.А., Иртуганов B.M., Калинин В.П. и др. СОг-лазеры атмосферного и сверхатмосферного давления с самостоятельным разрядом // Изв. АН СССР. Сер Физическая, 1982, т.46, № 10, с. 1877-1885.

99. Аверьянов Н.Е., Балошин Ю.А., Павлишин И.В. и др. Импульсные СОг-лазеры атмосферного давления / Приборы и устройства для исследования и контроля веществ, материалов, изделий. Тем. сб. Трудов ЛИТМО под ред. В.Н. Васильева Л., 1986

100. Судьенков Ю.В., Юревич В.И. Проходной измеритель энергии лазерного излучения // Тез. докладов 1-го Всесоюзного семинара "Метрология измерительных лазерных систем" , Волгоград, 1991, т.2, с.50.

101. Chang T.Y. Improved uniform field tltctrod profiles to TEA laser and high voltage applicanion // Rev. Sci. Instrum., 1973, v. 44, № 4, p. 405-407.

102. Ernst G.J. Uniform-field electrodes with minimum width // Jpt. Commun, 1984, v.49, № 4, p.275-277.

103. Балошин Ю.А., Котликов E.H., Павлишин И.В. и др. Разработка и исследование диэлектрических зеркал с повышенной лучевой прочности для импульсных СОг-лазеров// ЖТФ, 1987, т. 51, вып.11, 2261-2264.

104. Павлишин И.В., Балошин Ю.А. Электроразрядный импульсно-периодический газовый лазер // патент России № 2025009, приоритет от 18.11.91.

105. Балошин Ю.А., Павлишин И.В. Импульсно-периодический TEA СОг -лазер коротких импульсов с УФ предыонизацией // Оптический журнал, 1998, № 1, с. 72-74.

106. Балошин Ю.Л., Гаврилов С.Н., Павлишин И.В. Сенькин А.Ю. Малогабаритный импульсно-периодический СОг-лазер // Известия ВУЗов "Приборостроение". 1999, т.42, № 5-6, с. 57-61.

107. Технологические лазеры / Справочник под ред. Г.А. Абильсиитова М.: Машиностроение, 1991, т.2, 543 с.

108. Визирь В.А., Шубкин Н.г., Лаайер А.В. и др. Коммутатор сильноточных наносекундных импульсов на тиратронно-дроссельной сборке // ПТЭ, 1985, № 6,118.121.

109. Борисов В.М., Гладуш Г.Г., Степанов Ю.Ю. Фотоионизация в импульсном ССЪ лазере // Квант, электрон. 1977. - Т. 4, № 4. - с. 809-813.

110. Оришич A.M., Пономаренко А.Г., Солоухин Р.И. О предельных энергетических характеристиках импульсных ТЕА-лазеров на СО2 // Ж. Прикл. мех. и техн. физ,- 1975,- № 1.- с. 3-13.

111. О.Р. Judd, The Effect of Gas Mixture on the Electron Kinetics in the Electrical CO2 Gas Laser // J. of Applied Physics, 1974, vol. 45, pp. 4572-4575.

112. Веденов А.А., Гладуш Г.Г. Физические процессы при лазерной обработке материалов —М.: Энергоатомиздат, 1985, 208 с.

113. Stegvan R.L., Skhriempf J.T., Hettche R.L. Experimental atudies jf laser-supported absorption waves with 5 vs pulsed jf 10,6 pm radiation // J. Appl. Phys. 1973, v.44, p. 3675.

114. Жачулка Г.А. Лазерная обработка стекла М.: Сов. Рнадио, 1979, 139с.

115. Банас К.М., У >66 Р. Лазерная обработка материалов // ТИИЭР, 1982, т. 70, № 6, с, 35-40.

116. Григорьянц А.Г. Основы лазерной обработки материалов М.: Машиностроение, 1989, 300 с.

117. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных материалов // Л.: Машиностроение, 1986,248 с.

118. Лазерная и электронно- лучевая обработка материалов. Справочник // Рыкалин Н.Н., Углов А.А., Зуев И.В., и др., М.: Машиностроение, 1985, 496 с.132

119. Коваленко B.c. Романенко В.В., Олещук JI.M. Малоотходные процессы резки лучом лазера // Киев: Техника, 1987, 112 с.

120. Балошин Ю.А., Гаврилов С.Н., Павлишин И.В. Сенькин А.Ю. Исследование возможностей использования импульсно-периодического TEA СОг лазера для обработки хрупких диэлектриков с низкой теплопроводностью // Оптический журнал, 1995, № 8, с. 28-30.

121. Alberti P.W. The complication of CO2 laser surgery in otolarigology // Acta oto-laring (Stockh) 1981, v. 91, № 5-6, p. 375-381.

122. Чирешкин Д.Г, Дунаевская A.M., Гимэн Г.Э. Лазерная эндоскопическая хирургия верхних дыхательных путей // М.: Медицина 1990, с.51-56.

123. Применение лазеров в хирургии и медицине / под ред. O.K. Скобелкина -М., 1988. ч. 2, 326 с.

124. Черняков Г.М., Балин В.Н., Павлишин И.В. и др. Динамика репаративного процесса при диссекции мягких тканей с помощью импульсного СО2 лазера // Тез. докл. Международной конф. «Оптика лазеров», С- Петербурт, 1993, с. 17-19.