Формирование ускоренных газовых кластерных ионов в импульсном режиме тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.20, кандидат физико-математических наук Ермаков, Юрий Анварович

• Ермаков, Юрий Анварович
• кандидат физико-математических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Ермаков, Юрий Анварович

1. Газовые кластерные ионы как новый инструментарий в физике поверхности и нанотехнологиях.

1.1. Краткий исторический обзор.

1.2 Физические принципы формирования пучков газовых кластерных ионов.

1.3. Основные уравнения, описывающие стационарные потоки идеального газа.

1.4. Звуковые и сверхзвуковые сопла.

1.5. Механизмы формирования кластеров.

1.6. Закон подобия Хагены.

1.7. Аппаратура для исследования взаимодействия пучков кластерных ионов с поверхностью твердых тел.

1.8. Ускорители газовых кластерных ионов.

1.9. Система магнитной сепарации.

1.10. Радиочастотный фильтр.

1.11. Свойства пучков кластерных ионов.

1.12. Взаимодействие кластерных ионов с твердым телом.

1.13. Применение кластерных ионов в технологии.

1.14. Сглаживание рельефа.

1.15. Имплантация кластерных ионов.

1.16. Напыление тонких пленок.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Формирование ускоренных газовых кластерных ионов в импульсном режиме»

Взаимодействие ускоренных атомных или молекулярных ионов с поверхностью твердых тел активно исследуется во многих лабораториях и научных центрах нашей страны и за рубежом. Этот интерес обусловлен громадной ролью, которую процессы, сопровождающие взаимодействие ионов с веществом, играют в современной науке и технологии. Имплантация ионов и распыление поверхности под действием ионного облучения стали неотъемлемой частью технологии микроэлектроники. Пучки ионов успешно применялись для решения таких задач, как упрочнение материалов и защита от коррозии. Большие успехи достигнуты в области применения ионных пучков для диагностики состава и структуры материалов и т.д.

В последние полтора десятилетия в этой области быстро развивалось новое направление: исследование взаимодействия кластерных ионов с поверхностью твердых тел.

Кластер представляет собой ансамбль, содержащий от нескольких единиц до нескольких десятков тысяч атомов или молекул. Такие образования могут существовать в вакууме в виде отдельных частиц или их пучков. Изучение свойств кластеров, их взаимодействия с различными частицами, излучениями и веществом переживает в последние годы относительный бум. Об этом свидетельствует резкое увеличение числа публикаций как обзорных, так и посвященных частным проблемам. Опубликованы, например, обзоры по изучению свойств кластеров [1-2], по экстремальным процессам в кластерах при столкновении с твердой поверхностью [3-4]. Обсуждалась возможность использования кластерных ионов в качестве инструмента для модификации поверхности [5-6], проблема закрепления металлических кластеров на поверхности подложки («pinning) [7-8] и т.д.

Процессы взаимодействия кластера и мономера с твердым телом существенно различаются. Основное различие состоит в том, большое количество атомов, составляющих кластер, одновременно сталкивается как минимум с таким же количеством атомов твердого тела. Кроме того, при одинаковой начальной энергии глубина проникновения атомов кластера в мишень меньше, чем пробег мономеров. Поэтому при облучении кластерными ионами на малой площади поверхности выделяется значительно большая энергия по сравнению с бомбардировкой ионами мономеров. Ожидается, что благодаря именно этому обстоятельству при взаимодействии ускоренных кластерных ионов с твердым телом могут проявиться эффекты, не наблюдавшиеся при облучении поверхности атомными ионами.

Достижения исследователей из Японии, США, Англии, Швеции и других стран в изучении взаимодействия кластерных ионов с твердым телом неразрывно связаны с развитием техники получения и транспортировки пучков газовых кластерных ионов. Однако в России такого рода исследования не проводились из-за отсутствия ускорителей кластерных ионов.

Поэтому целью настоящей работы являлось получение пучков ускоренных газовых кластерных ионов и исследование их характеристик. Для достижения поставленной цели было необходимо решить следующие задачи:

1. Обобщить разноплановые исследования по принципам формирования пучков кластерных ионов и их применения в современных нанотехнологиях.

2. Создать экспериментальную установку для получения ускоренных газовых кластерных ионов.

3. Разработать методы измерения параметров пучков кластерных ионов в импульсном режиме подачи рабочего газа.

4. Исследовать процессы формирования пучков газовых кластерных ионов в импульсном режиме работы ускорителя.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Спроектирован и создан ускоритель газовых кластерных ионов.

2. При импульсной подаче рабочего газа в ускоритель существует экспериментально установленное пороговое значение давления газа над импульсным клапаном, ниже которого в пучке присутствуют только мономеры, а выше появляются кластеры вплоть до относительного размера 7000 атомов/число элементарных зарядов. Этот порог по давлению зависит от расстояния между срезом сопла и входом в скиммер и меняется в пределах 3 - 2,2 бар при изменении расстояния в пределах 15-65 мм.

3. Физическая модель, основанная на динамике потока газа, истекающего из буферного объёма через сопло и объясняющая существование описанного выше порога.

4. В полученном кластерном потоке зафиксированы кластеры с относительным размером до (7000±420) ат./кратность заряда. 6

Научная и практическая значимость работы.

1. Проведён обзор работ по применению газовых кластерных ионов в современных нанотехнологиях.

2. Создан ускоритель пучков газовых кластерных ионов, который может быть использован для решения широкого класса задач, связанных с исследованием модификации свойств поверхности твердотельных структур под действием ионного облучения.

3. Разработаны методики исследования характеристик пучка газовых кластерных ионов в импульсном режиме подачи рабочего газа.

4. Впервые детально изучены процессы формирования пучков газовых кластерных ионов в импульсном режиме подачи рабочего газа.

5. Впервые обнаружен пороговый по давлению газа над импульсным клапаном эффект появления кластеров в пучке.

6. Выявлена возможность получения кластерных пучков с высокой степенью заполнения импульса (~50 - 100%) при низкой степени заполнения импульса подачи газа (1 - 15%).

Апробация работы.

Основные результаты работы доложены автором на

1. 7-й Международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом», 2007, Минск, Беларусь.

2. XVII Международной конференции по электростатическим ускорителям и пучковым технологиям, 2008, Обнинск, Россия.

3. XLI международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, 2011, Москва, Россия.

4. XLII международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, 2012, Москва, Россия.

5. 25th International Conference on Atomic Collisions in Solids ICACS-25, October 21-25, 2012, Kyoto, Japan.

По теме диссертации опубликовано 8 печатных работ, 3 из них в рецензируемых журналах:

1. 7-й Международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом», 2007, Минск, Беларусь.

2. XVII Международной конференции по электростатическим ускорителям и пучковым технологиям, 2008, Обнинск, Россия.

3. XLI международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, 2011, Москва, Россия.

4. XLII международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, 2012, Москва, Россия.

5. 25-th International Conference on Atomic Collisions in Solids ICACS-25, October 21-25, 2012, Kyoto, Japan.

6. Андреев A.A., Патракеев A.C., Черныш B.C. Применение кластерных ионов в технологии.- Нанотехнологии. Разработка и применение, 2009, т. 1, № 1, с. 23 - 39.

7. Андреев A.A., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Патракеев A.C., Черныш B.C. Ускоритель кластерных ионов.- Нанотехнологии. Разработка и применение, 2011, т. 3, № 3, с. 3 - 11.

8. Andreev A.A., Chernysh V.S., Ermakov Yu.A., leshkin A.E. Design and investigation of gas cluster ion accelerator.- Vacuum, 2013, v. 91, p. 47-53.

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, трех глав и заключения. Работа содержит 107 страниц, включая 56 рисунков и 5 таблиц. Список литературы включает 93 наименования.

Заключение диссертации по теме «Физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника», Ермаков, Юрий Анварович

Заключение

1. В результате проведённой работы спроектирован и создан ускоритель газовых кластерных ионов, снабжённый магнитной и времяпролётной системами анализа пучка.

2. Изучен режим работы ускорителя при импульсной подаче рабочего газа.

3. Выявлены особенности формирования кластерного потока при различных давлениях газа над импульсным клапаном. Оказалось, что вследствие наличия достаточно большого буферного объёма между выходом клапана и входом сопла время существования ионного потока значительно превышает время, в течение которого импульсный клапан подачи рабочего газа открыт.

4. Установлен пороговый по давлению характер появления в потоке тяжёлых кластеров: при давлениях ниже порога в потоке присутствуют в основном мономеры, а при давлениях выше порога в потоке появляются кластеры с относительными размерами до (7000±420) ат./кратность эл. заряд.

5. Построена газодинамическая модель истечения газа, которая смогла объяснить основные особенности формирования кластеров при импульсной подаче газа. Основные предсказания этой модели нашли как качественное, так и количественное подтверждение в эксперименте.

6. Обнаружено, что при импульсной подаче газа возможен такой подбор временных характеристик импульса подачи, при котором поток кластерных ионов становится почти непрерывным.

7. Разработанная для импульсного режима работы ускорителя времяпролётная методика позволила определить распределение кластеров в потоке по относительным размерам.

19. Yamada I., Matsuo J., Toyoda N. Cluster ion beam process technology. - Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B, 2003, v. 206, p. 820 - 829.

20. Yamada I. Novel materials processing and applications by gas cluster ion beams. - Eur. Phys. J. D, 1999, v. 9, p. 55 - 61.

21. Sugii T., Momiyama Y., Goto K. Continued growth in CMOS beyond 0.10 Mm. - Solid-State Electronics, 2002, v. 46, p. 329 -336

22. Kantrowitz A., Grey J. A High Intensity Source for the Molecular Beam. Part I. Theoretical. - Rev. Sci. Instrum., 1951, v. 22, p. 328 - 332.

23. Kistiakowsky G.B., Slichter W.P. A High Intensity Source for the Molecular Beam. Part II. Experimental. - Rev. Sci. Instrum., 1951, v. 22, p. 333-337.

24. Becker E.W., Bier K., Henkes W. Condensed Atomic and Molecular Beam in Highvacuum. - Z. Phys., 1956, v. 146, p. 333 -342.

25. Becker E.W., On the History of Cluster Beams. - Z. Phys. D: At., Mol. Clusters, 1986, v. 3, p. 101 - 107.

26. Henkes W., Ionization and Acceleration of Condensed Molecular Beams. -Z. Naturforsch., 1961, v. 16a, p. 842.

27. Bentley P. G. Polymers of Carbon Dioxide. - Nature, 1961, v. 190, p. 432-433.

28. Hagena O.F., Obert W. Cluster Formation in Expanding Supersonic Jets: Effect of Pressure, Temperature, Nozzle Size, and Test Gas. - J. Chem. Phys., 1972, v. 56, p. 1793 - 1802.

29. Hagena O.F. Nucleation and Growth of Clusters in Expanding Nozzle Flows. - Surf. Sci., 1981, v. 106, p. 101 - 116.

30. Hagena O.F., Condensation in Free-Jets: Comparison of Rare Gases and Metals, - Z. Phys. D, 1987, v. 4, p. 291 -299.

31. Востриков A.A., Куснер Ю.С., Ребров А.К., Семячкин Б.Е. Получение интенсивного молекулярного пучка С02 газодинамическим методом. -ЖПМТФ, 1975, №2, с. 34-41.

32. Востриков A.A., Ребров А.К., Семячкин Б.Е. Конденсация SF6, CF2CI2 и С02 в расширяющихся струях. - ЖТФ, 1980, т. 50, с. 2425 - 2428.

33. Vostrikov A.A., Mironov S.G., Rebrov А.К., Semyachkin B.E. Molecular clusters: formation in free expansion and with vibrational energy pumping; cluster-surface interaction. - Surf. Sei., 1981, v. 106, p. 212-218.

34. Vostrikov A. A., Dubov D. Yu., Predtechenskiy M. R., IONIZGTION OF WATER CLUSTERS BY SURFACE COLLISION. Chem. Phys. Lett., 1987, v. 139, p. 124- 128

35. Востриков A.A., Дубов Д.Ю., Самойлов И.В. Масс-спектрометрические наблюдения малых кластеров азота. -ЖТФ, 1994, т. 64, с. 120- 123.

36. Седов Л.И. Механика сплошной среды. 1984, Т. 2, 560 с.

37. Crist S., Sherman P.M. and Glass D.R. Study of the Highly Underexpanded Sonic Jet. - AIAA J., 1966, v. 4, p. 68-71.

38. Bier V.K., Schmidt B. The Form of Compression-Waves in a Expanding Free Gas Jet. - Z. Angew. Phys., 1961, v. 13, p. 493 -500.

39. Tejeda G., Mat'e В., Fern'andez-S'anchez J.M., Montoro S. Temperature and Density Mapping of Supersonic Jet Expansions Using Linear Raman Spectroscopy. - Phys. Rev. Lett., 1996, v. 76, p. 34 - 37.

40. Haberland H., Buck U., Tolle M. Velocity distribution of supersonic nozzle beams. - Rev. Sei. Instrum., 1985, v. 56, p. 1712 -1716.

41. Ashkenas H., Sherman F.S. The structure and Utilization of Supersonic Free Jets in Low Density Wind Tunnels, Rarefied Gas Dynamics. Proc. of the 4th International Symposium on Rarefield

Gas Dynamics. Edit. J.H. de Leeuw, Academic Press, New York, 1965-1966, p.85 - 87.

42. Hagena O.F. Cluster ion sources (invited). - Rev. Sci. Instr., 1992, v. 63, p. 2374-2379.

43. Smith R.A., Ditmire T., Tisch J.W.G. Characterization of a cryogenically cooled high pressure gas jet for laser/cluster interaction experiments. - Rev. Sci. Instrum., 1998, v. 69, p. 3798 -3804.

44. Wormer J., Guzielski V., Stapelfeldt J., Zimmerer G., Moller T. Optical Properties of Argon Clusters in the VUV. - Phys. Scr., 1990, v. 40, p. 490-494.

45. Seki T., Matsuo J., Takaoka G.H., Yamada I. Generation of the large current cluster ion beam. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2003, v. 206, p. 902 - 906.

46. Scheier P., Mark T.D. Doubly charged argon clusters and their critical size. - J. Chem. Phys., 1986, v. 86, p. 3056 - 3057.

47. Sattler K., Muhlbach J., Echt O., Pfau P., Recknagel E. Evidence for Coulomb Explosion of Doubly Charged Microclusters. - Phys. Rev. Lett., 1981, v. 47, p. 160- 163.

48. Swenson D.R. Measurement of averages of charge, energy and mass of large, multiply charged cluster ions colliding with atoms. - Nucl. Instr. and Meth in Phys. Res. B, 2004, v. 222, p. 61 -67.

49. Matsuo J., Minami E., Saito M., Toyoda N., Katsumata H., Yamada I. High-intensity oxygen cluster ion beam generation and its application to cluster ion-assisted deposition. - Eur. Phys. J., D, 1999, v. 9, p. 635-638.

50. Kakuta S., Seki T., Sasaki S., Furusava K., Aoki T., Matsou J. Size and energy distribution of gas cluster ion beam measured by energy resolved time of flight mass spectroscopy. - Surface and Coating Technology, 2005, v. 196, p. 198 - 202.

51. Toyoda N., Houzumi S., Yamada I. Development of a size-selected gas cluster ion beam system for low-damage processing. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2005, v. 241, p. 609-613.

52. Takaoka G., Tsumura K., Yamamoto T. Development of Liquid Polyatomic Ion Beam System for Surface Modification. -Jpn. J. Appl. Phys., 2002, v. 41, p. L660 - L662.

53. Ohwaki K., Dake Y., Toyoda N., Yamada I. Development of a new cluster size selector. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2005, v. 241, p. 614-617.

54. Popok V.N., Prasalovich S.V., Samuelsson M., Campbell E.E.B. Design and capabilities of a cluster implantation and deposition apparatus: First results on hillock formation under energetic cluster ion bombardment. - Rev. Sci. Instr., 2002, v. 73, p. 4283-4287.

55. Song J.H., Kwon S.N., Choi D.K., Choi W.K. Assessment of an ionized C02 gas cluster accelerator. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2001, v. 179, p. 568 - 574.

56. N. Toyoda, J. Matsuo, I. Yamada. Surface modification with gas cluster ion beams from fundamental characteristics to applications. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 2004, v. В 216, p. 379 - 389.

57. Seki Т., Matsuo J. Development of 1 mA cluster ion beam source. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2005, v. 237, p. 455 -458.

58. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Пер. с англ. Под ред. Р. Бериша.-М.:Мир,1984, 336 с.

59. Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. III. Пер. с англ. Под ред. Р. Бериша и К. Виттмака.-М.:Мир, 1998, 551 с.

60. Sigmund. P. Theory of Sputtering. I. Sputtering Yield of Amorphous and Polycrystalline Targets. - Phys. Rev., 1969, v. 184, p. 383-416.

61. Matsuo J., Toyoda N., Akizuki M., Yamada I. Sputtering of elemental metals by Ar cluster ions. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 1997, v. 121, p. 459-463.

62. Yamada I., Brown W.L., Northby J.A., Sosnovsky M. Surface modification with gas cluster ion beams. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 1993, v. 82, p. 223-226.

63. Seki Т., Murase Т., Matsuo J. Cluster size dependence of sputtering yield by cluster ion beam irradiation. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2006, v. 242, p. 179- 181.

64. Плешивцев H.B. Катодное распыление. M.: Атомиздат, 1968. 347с.

65. Toyoda N., Kitani H., Hagiwara N., Aoki Т., Matsuo J., Yamada I. Angular distributions of the particles sputtered with Ar cluster ions. - Mater. Chem. Phys., 1998, v. 54, p. 262 - 265.

66. Ziegler J. F., Biersack J. P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids. 1995. Pergamon, NewYork.

67. Chernysh V.S., Ekstein W, Haidarov A.A., Kulikauskas V.S., Mashkova E.S., Molchanov V.A. Sputtering mechanisms of polycrystalline platinum by low energy ions. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2000, v. 160, p. 221 -230.

68. Sigmund P. Mechanisms and theory of physical sputtering by particle impact. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1987, v. 27, p. 1 -20.

69. Chernysh V.S., Patrakeev A.S., Shulga V.I. Angular distribution of atoms sputtered from germanium by 1-20 keV Ar ions. - Radiation effects & Defects in solids, 2006, v. 161, p. 701 -707.

70. Insepov Z., Yamada I. Molecular dynamics study of shock wave generation by cluster impact on solid targets. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 1996, v. 112, p. 16-22.

71. Yamada I., Matsuo J., Insepov Z., Aoki T., Seki T., Toyoda N. Nano-processing with gas cluster ion beams. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2000, v. 164 - 165, p. 944 - 959.

72. Takeuchi D., Fukushima K., Matsuo J., Yamada I. Study of Ar cluster ion bombardment of a sapphire surface. - Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 1997, v. 121, p. 493 - 497. 73. Allen L.P., Fenner D.B., Santeufemio C., Brooks W., Hautala J., Shao Y. Proceedings of the SPIE International Symposium on Optical Science and Technology, 7-11 July 2002, Seattle, WA, Vol. 4806, p. 225-226.

74. Allen L. P., Insepov Z., Fenner D. B., Santeufemio C., Brooks W., Jones K. S., Yamada I. Craters on silicon surfaces created by gas cluster ion impacts. - J. Appl. Phys., 2002, v. 92, p. 3671 -3678.

75. Popok V.N., Prasalovich V.S., Campbell E.E.B. Nanohillock formation by impact of small low-energy clusters with surfaces. -Nucl. Instrum. Meth. B, 2003, v. 207, p. 145 - 153.

76. Samela J., Nordlund K., Keinonen J., Popok V. N., Campbell E.E.B. Origin of complex impact craters on native oxide coated silicon surfaces. - Phys. Rev. B, 2008, v. 77, 075309 (15 pages).

77. Beuhler R.J., Friedlander G., Friedman L. Cluster-impact fusion. - Phys. Rev. Lett., 1989, v. 63, p. 1292 - 1295.

78. Bae Y. K., Lorents D.C., Young S.E. Experimental confirmation of cluster-impact fusion. - Phys. Rev. A, 1991, v. 44, p. R4091 - K4094.

79. Fallavier M., Kemmler J., Kirsch R., Poizat J. C., Remillieux J., Thomas J. P. Search for nuclear fusion in deuterated targets under cluster-beam impact. - Phys. Rev. Lett., 1990, v. 65, p. 621 -624.

80. Matsuo J., Okubo C., Seki T., Aokia T., Toyoda N., Yamada I. A new secondary ion mass spectrometry (SIMS) system with high-intensity cluster ion source. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2004, v. 219-220, p. 463-467.

81. Kirkpatrick A. Gas cluster ion beam applications and equipment. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2003, v. 206, p. 830 -837.

82. Bradley R.M., Harper J.M.E. Theory of ripple topography induced by ion bombardment. - J. Vac. Sci. Technol. A, 1988, v. 6, p. 2390-2395.

83. Kitani H., Toyoda N., Matsuo J., Yamada I. Incident angle dependence of the sputtering effect of Ar-cluster-ion bombardment. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 1997, v. 121, p. 489-492.

84. Yamada I., Toyoda N. Recent advances in R&D of gas cluster ion beam processes and equipment. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2005, v. 241, p. 589 - 593.

85. Takaoka G.H., Noguchi H., Kawashita M. Interactions of ethanol cluster ion beams with silicon surfaces. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2006, v. 242, p. 417-420.

86. MacDonald R.J. Temperature dependence of the sputtered ejection pattern from Ge [100] surfaces. - Phys. Lett. A, 1969, v. 29, p. 256 - 257.

87. Yamada I., Matsuo J., Toyoda N., Kirpatrick A. Material processing by gas cluster ion beam. - Mater. Sci. and Engineer., 2001, v. R 34, p. 231 -295.

88. Northby J.A., Jiang T., Takaoka G.H., Yamada I., Brown W.L., Sosnowsky M. A method and apparatus for surface modification by gas-cluster ion impact. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 1993, v. 74, p. 336 - 340.

89. Nakayama Y., Houzumi S., Toyoda N., Mochji K., Mitamura T., Yamada I. Irradiation of silicon surface by Ar cluster ion beam: Cluster size effects. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2005, v. 241, p. 618-621.

90. Takaoka G.H., Shimatani H., Noguchi H., Kawashita M. Interactions of argon cluster ion beams with silicon surfaces. -Nucl.Instr. Meth. Phys. Res. B, 2005, v. 232, p. 206-211.

91. Copel M. Medium-energy ion scattering for analysis of microelectronic materials. - IBM Journ. Res. Develop., 2000, v. 44, p. 571 - 582.

92. Jacobson D. Using Boron Cluster Ion Implantation to Fabricate Ultra-Shallow Junctions. Ext. Abs. the 5th Intern. Workshop on Junction Technol., 2005, Osaka, Japan, p. 23 - 26.

93. Borland J., Hautala J., Gwinn M., Tetreault T.G., Skinner W. USJ and straned-Si formation using infusion doping and deposition. - Sol. State Technol., 2004, v. 47, p. 64 - 67.

94. MacCrimmon R., Hautala J., Gwinn M., Sherman S. Gas cluster ion beam infusion processing of semiconductors. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2006, v. 242, p. 427-430.

95. Betz G., Husinsky W. A combined molecular dynamics and kinetic Monte Carlo calculation to study sputter erosion and beam assisted deposition. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2002, v. 193, p. 352 - 358.

96. Fujiwara Y., Toyoda N., Mochiji K., Mitamura Т., Yamada I. Reduction of surface roughness by Ta205 film formation with 02 cluster ion assisted deposition. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2003, v. 206, p. 870 - 874.

97. Takaoka G.H., Kawashita M., Omoto K., Terada T. Photocatalytic properties of ТЮ2 films prepared by 02 cluster ion beam assisted deposition method. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2005, v. 232, p. 200-205.

98. Toyoda N., Matsuo J., Yamada I. Surface modification with gas cluster ion beams from fundamental characteristics to applications. - Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B, 2004, v. 216, p. 379 -389

99. Андреев A.A., Ермаков Ю.А., Патракеев A.C., Черныш B.C. Применение кластерных ионов в технологии.-Нанотехнологии. Разработка и применение, 2009, т. 1, № 1, с. 23 - 39.

100. Андреев A.A., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Патракеев А.С., Черныш B.C. Ускоритель кластерных ионов.-Нанотехнологии. Разработка и применение, 2011, т. 3, № 3, с. 3-11.

101. Andreev А.А., Chernysh V.S., Ermakov Yu.A., leshkin A.E. Design and investigation of gas cluster ion accelerator.- Vacuum, 2013, v. 91, p. 47-53.