Физико-химические закономерности модифицирования полиэтилентерефталата и полипропилена плазмой аргона и его смесей с кислородом тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Василькин Даниил Павлович

• Василькин Даниил Павлович
• кандидат наук
• 2022

Оглавление диссертации кандидат наук Василькин Даниил Павлович

Введение

Глава 1. Обзор литературы

1. 1 Взаимодействие низкотемпературной плазмы с полимерами

1.1.1 Скорости убыли массы

1.1.2 Образование летучих продуктов

1.1.3 Исследование химического состава поверхности полимеров

1.1.4 Модифицирование поверхностных свойств полимеров

1.1.5 Применение плазменной обработки полимеров в промышленности46 1.2 Характеристика плазмы атмосферного давления

1.2.1 Электрофизические параметры

1.2.2 Химическая кинетика процессов, протекающих в плазме

1. 3 Заключение. Постановка задачи

Глава 2. Методики экспериментальных измерений

2.1 Объекты исследования

2.2 Экспериментальная установка

2.2.1 Пониженное давление

2.2.2 Атмосферное давление

2.3 Измерение напряженности электрического поля

2.3.1 Пониженное давление

2.3.2 Атмосферное давление

2.4 Методика определения размеров положительного столба

2.5 Методика регистрации спектров излучения

2.6 Методика определения температуры газа и колебательной температуры молекул на основе спектральных измерений

2.7 Математическое моделирование

2.8 Методики масс-спектральных измерений

2.8.1 Определение парциальных давлений стабильных компонентов газовой смеси

2.8.2 Определение скоростей образования газообразных продуктов при плазменном воздействии

2.9 Исследование химической структуры поверхности

2.9.1 Инфракрасная спектроскопия многократно нарушенного полного внутреннего отражения

2.9.2 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия

2.10 Микрофотографии поверхности

2.11 Измерение краевых углов смачивания

2.12 Определение высоты капиллярного подъема раствора по волокну .... 84 Глава 3. Взаимодействие плазмы пониженного давления с полимерами

3.1 Модифицирование пленок полиэтилентерефталата в плазме аргона, кислорода и их смесях

3.2 Эффект влияния степени загрузи реактора полимером и равномерность распределения эффекта модифицирования по поверхности полимера

3.3 Исследования газовой фазы во время травления пленок полипропилена в плазме аргона

3.3.1 Скорости образования продуктов деструкции

3.3.2 Эмиссионные спектры плазмы и электрофизические параметры

3.3.3 Моделирование процессов

Глава 4. Взаимодействие плазмы атмосферного давления с полимерами

4.1 Модифицирование пленок полипропилена и полиэтилентерефталата в плазме аргона, кислорода и их смесях

4.1.1 Смачиваемость

4.1.2 Химическая структура поверхности

4.1.3 Топология поверхности

4.2 Характеристика плазмы

4.2.1 Эмиссионные спектры

4.2.2 Электрофизические параметры

4.2.3 Математическое моделирование

4.2.4 Влияние диффузии воздуха в струю на свойства плазмы

4.2.5 Свойства электронного газа

4.2.6 Активные частицы, приводящие к модифицированию пленок полипропилена и полиэтилентерефталата

4.3 Механизмы модифицирования пленок полипропилена и полиэтилентерефталата

Заключение

Литературные источники

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-химические закономерности модифицирования полиэтилентерефталата и полипропилена плазмой аргона и его смесей с кислородом»

Введение

Актуальность темы исследования. Неравновесная плазма представляет значительный интерес как эффективный источник активных частиц для модифицирования поверхности полимерных материалов. Взаимодействие активных частиц плазмы с полимерами сопровождается образованием газообразных продуктов, которые изменяют набор протекающих в ней физико -химических процессов и как следствие, состав и физические характеристики плазмы, которые в свою очередь тесно связаны с кинетикой инициируемых плазмой гетерогенных реакций. Свойства плазмы пониженного давления, граничащей с химически реагирующей поверхностью, зависят от количества обрабатываемого материала в плазмохимическом реакторе. Учет такой зависимости необходим как для понимания механизмов плазмохимических реакций, так и для прогнозирования параметров работы больших промышленных реакторов, в которых плазма практически полностью ограничена обрабатываемым материалом и потоки продуктов гетерогенных реакций в газовую фазу так велики, что нельзя не считаться с их влиянием на внутренние параметры плазмы и результаты модифицирования поверхности. Особенно сильного изменения внутренних параметров плазмы следует ожидать для разрядов, горящих в инертных благородных газах. Полностью исключить эффект влияния таких обратных связей можно, если использовать плазму атмосферного давления, располагая полимерный материал в области послесвечения. Однако необходимо будет учитывать контакт разряда с окружающей атмосферой в такой открытой системе. Компоненты окружающего воздуха попадая в разряд могут оказывать существенное влияние на кинетику элементарных процессов, протекающих в плазме и как следствие на внутренние параметры плазмы и кинетику модифицирования поверхности полимеров.

Степень разработанности темы. Процессы, протекающие в плазме взаимодействующей с полимерными материалами, являются многоканальными и многостадийными, а внутренние параметры плазмы сами зависят от скоростей

протекающих физико-химических процессов. Поэтому анализ такой сложной системы требует кроме широкого набора экспериментальных данных и данных, полученных численным моделированием. Таких комплексных исследований практически нет. Работа была выполнена в соответствии с планом научно-исследовательских работ ИГХТУ и пользовалась поддержкой Российского фонда фундаментальных исследований (грант №15-42-03124).

Цель и задачи работы. Целью данной работы является установление кинетических закономерностей и механизмов процессов, определяющих параметры неравновесной плазмы аргона и его смесей с кислородом, взаимодействующих с полипропиленом и полиэтилентерефталатом.

Достижение этой цели осуществлялось путем решения следующих задач.

1. Определение скоростей выделения основных газообразных продуктов деструкции и выявление закономерностей изменения физико-химических свойств поверхностного слоя полипропилена и полиэтилентерефталата под действием плазмы аргона и его смесей с кислородом.

2. Определение параметров плазмы аргона и его смесей с кислородом, взаимодействующей с полимерными материалами на основе полипропилена и полиэтилентерефталата (приведенной напряженности электрического поля, температуры газа, абсолютных интенсивностей излучения линий атомов и полос молекул).

3. Разработка математической модели для процессов, протекающих в плазме атмосферного давления в аргоне и его смесях с кислородом. Определение потоков активных частиц плазмы и её послесвечения, способных изменять свойства поверхности полимерного материала.

Научная новизна работы. В ходе выполнения работы получены следующие новые результаты.

• Впервые получены экспериментальные данные о физико-химических параметрах разряда постоянного тока в потоке аргона, взаимодействующего с

плёнкой полипропилена и показано, что газообразные продукты деструкции полимера существенно изменяют свойства плазмы.

• Впервые измерены скорости выделения газообразных продуктов деструкции пленок изотактического полипропилена, под действием плазмы, горящей в потоке аргона при различных внешних параметрах разряда. Предложены механизмы процесса гетерогенного взаимодействия, устанавливающие взаимосвязь между свойствами разряда и результатом плазмохимической обработки пленок изотактического полипропилена и полиэтилентерефталата в аргоне, кислороде и их смесях.

• Впервые выполнены оценки по определению влияния компонентов атмосферного воздуха на физико-химические параметры тлеющего разряда атмосферного давления в потоке кислорода с аргоном по доработанной математической модели, основанной на совместном решении кинетического уравнения Больцмана, химической и колебательной кинетики.

Теоретическая и практическая значимость работы. Результаты, полученные в работе, могут использоваться при анализе механизмов воздействия плазмы аргона, кислорода и их смесей на полимерные материалы. Полученные закономерности влияния внешних параметров на эффект модифицирования позволяют подобрать оптимальные условия для проведения процесса плазмохимического травления и модифицирования полимеров.

Методология и методы исследования. Плазма, взаимодействующая с изотактическим полипропиленом и полиэтилентерефталатом, была исследована несколькими методами: эмиссионная спектроскопия, масс-спектральное исследование состава газовой фазы в процессе травления полимера, гравиметрические измерения убыли массы полимерного образца, измерение электрофизических параметров плазмы при помощи зондовых методов. Эффект модифицирования поверхности полимеров исследовался методами: атомно-силовой микроскопии, сканирующей электронной микроскопии, ИК спектроскопии НПВО, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии,

определялись краевые углы смачивания дистиллированной водой и высота капиллярного подъема жидкости. Алгоритм самосогласованного моделирования плазмы базировался на совместном решении кинетического уравнения Больцмана для электронов, уравнений химической кинетики для различных типов частиц и уравнений колебательной кинетики для молекул в основном электронном состоянии.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Кинетические закономерности процесса модифицирования пленок полипропилена и полиэтилентерефталата в плазме аргона и его смесях с кислородом при пониженном давлении (результаты РФЭС, краевые углы смачивания дистиллированной водой пленок полиэтилентерефталата, высота капиллярного подъема жидкости у ткани ПЭТФ) и в послесвечении плазмы аргона и его смесей с кислородом при атмосферном давлении (результаты ИК-НПВО спектроскопии и РФЭС пленок изотактического полипропилена и полиэтилентерефталата, краевые углы смачивания дистиллированной водой) при варьировании внешних параметров.

2. Результаты экспериментального определения параметров плазмы аргона пониженного давления, взаимодействующей с пленкой изотактического полипропилена (температура газа, напряженность электрического поля, абсолютные интенсивности излучения плазмы аргона, взаимодействующей с полипропиленом) и плазмы аргона и его смесей с кислородом при атмосферном давлении (температура газа, напряженность электрического поля, приведенная напряженность электрического поля, абсолютные интенсивности излучения основных компонентов плазмы) при варьировании внешних параметров.

3. Результаты математического моделирования процессов, протекающих в плазме атмосферного давления в аргоне и его смесях с кислородом, включая данные о концентрациях, потоках и временах жизни активных частиц в области послесвечения.

4. Оценки влияния окружающего воздуха на параметры плазмы атмосферного давления и её послесвечения в аргоне и его смесях с кислородом.

Степень достоверности и апробация результатов работы. Высокая достоверность результатов работы обеспечивается использованием фундаментальных физических теорий, надежных физико-химических методов исследований, а также верификацией получаемых результатов при сопоставлении экспериментальных данных и данных по численному моделированию плазмы. Основные положения и выводы диссертационной работы были представлены и обсуждены на следующих конференциях: VIII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий» с элементами научной школы (г. Казань, 2016 г.), «XLIV Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу» (г. Звенигород, 2017 г.), II Межвузовская научно-практическая конференция «Актуальные вопросы естествознания», (г. Иваново, 2017 г.), Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" ФНТП -2017 (г. Казань, 2017 г.), VIII Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (г. Иваново, 2018 г.), Международная научно-техническая конференция «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий» (г. Казань, 2018 и 2020 гг.), Всероссийская с международным участием молодежная научно-практическая конференция «Физика, техника и технология сложных систем» (г. Ярославль, 2019 г.), 2-я Международная конференция "Проблемы термоядерной энергетики и плазменные технологии" (г. Москва, 2019 г.), 62-ая Всероссийская научная конференция МФТИ (г. Москва, 2019 г.), Всероссийская с международным участием молодежная научно-практическая конференция «Физика, техника и технология сложных систем» (г. Ярославль, 2020 г.), IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (г. Иваново, 2021 г.).

Публикации. Материалы диссертации опубликованы в 15 печатных работах, в том числе в 4 статьях (из них 3 в профильных журналах из Перечня рецензируемых научных изданий) и в тезисах 11 докладов на конференциях различного уровня.

Вклад автора заключается в изучении литературных источников, получении комплекса экспериментальных результатов, их обработке, систематизации и анализе. Выбор цели и задач исследования, подготовка публикаций проведены совместно с научным руководителем и соавторами.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения и списка использованных литературных источников. Общий объем диссертации составляет 207 страниц, включая 74 рисунка и 52 таблицы. Список литературы содержит 193 наименования.

Глава 1. Обзор литературы 1.1 Взаимодействие низкотемпературной плазмы с полимерами

Взаимодействие плазмы с полимером сопровождается протеканием четырех основных процессов [1, 2]:

1. Очистка поверхности.

2. Деструкция (абляция) материала.

3. Образование сшивок (CASING-эффект: Crosslinking via Activated Species of INert Gases).

4. Изменение химического состава поверхности.

Разница между очисткой и абляцией заключается в величине вкладываемой мощности в плазму. Загрязнения в виде олигомеров, анти-оксидантов, растворителей и т.д. удаляются при вкладываемой мощности в несколько мВт/см2. Для деструкции материала вкладываемая мощность должна быть значительно выше, т.к. необходимо разрушать стабильные химические связи в элементарном звене полимера, например, C-H (Есв=4,3 эВ), C-O (Есв=3,7 эВ), C=O (Есв.=8,3 эВ), C-N (Есв=3,2 эВ) [3] и т.д.

CASING-эффект подразумевает образование свободных радикалов, реагирующих друг с другом, на поверхности полимеров под действием УФ квантов, излучаемых плазмой инертного газа (He, Ar, Xe, Ne) [4]. Радикалы на поверхности материала, образовавшиеся при деструкции образца, реагируют либо с активными компонентами плазмы, либо с компонентами окружающего воздуха. Исследования химического состава полимеров, например, методами РФЭС или ИК-спектроскопии, позволили установить, что после плазменной обработки на поверхности материала образуются новые функциональные группы: амино (C-NH2), имино (C=N), амидо, нитрильная, спиртовая (C-OH), гидропероксидная (C-O-O-H), альдегидная (H-C=O), карбонильная (C=O), эфирная (C-O-C=O), перокисная (C-O-O ), кислотная (H-O-C=O) и т.д. [5] Состав новых химических связей зависит от плазмообразующего газа.

Так или иначе, но во всех упомянутых процессах протекание реакций обусловлено воздействием активных частиц, таких как: атомы или молекулы плазмообразующего газа в метастабильном, возбужденном, ионизованном, ускоренном состояниях, электроны и кванты УФ, распыленные атомы катода, которые могут быть ионизованы, возбуждены, ускорены.

1.1.1 Скорости убыли массы 1.1.1.1 Пониженное давление

Плазменное травление приводит к уменьшению массы полимера. Скорость убыли массы определяют, взвешивая образец на аналитических весах до и после травления. Измерения этой величины, и некоторые предположения об информации, которую способна дать скорость убыли массы представлены в работах [1, 6]. Целью этих исследований является определение возможностей различных газов модифицировать поверхность полимеров (в частности, полиэтилентерефталат), а также сравнение их по разным характеристикам, в том числе и по скорости убыли массы (табл. 1).

Было установлено, что на её числовое значение может оказывать влияние один из следующих параметров: вид газа, вкладываемая мощность, элементарное звено полимера. В плазме газов в ряду O2, Н2, N2, Ar, ЫНз, скорости убыли массы пленок полиэтилентерефталата (ПЭТФ) уменьшаются. При изменении мощности разряда положение аргона в этом ряду изменяется, но для кислорода всегда характерно максимальное значение.

Таблица 1.

Скорости убыли массы пленки ПЭТФ при травлении в плазме

Газ Скорость убыли массы, 10"7 г-см"2-с-1

25 Вт 50 Вт 100 Вт

Аг 1,0 1,1 1,6

О2 1,6 3,2 7,9

Н2 0,6 1,6 2,9

N2 0,3 1,3 1,7

ЫНз 0,5 0,8 1,7

Примечание: Р=13,3 Па, 1=180 с.

На скорость убыли массы влияет и химическое строение полимера. В работе [6] сравнивались 3 разных полимера: полилактид (ПЛА), ПЭТФ и полиоксибензоат-со-оксинафтоат (ПБН), которые относятся к полиэфирам. Образцы обрабатывались при одинаковых условиях в плазме аргона, в результате значения скоростей травления отличаются друг от друга (табл. 2).

Таблица 2.

Скорость убыли массы разных полимеров в плазме аргона

Мощность, Вт Скорость убыли массы, 10"7 г-см"2-с-1

ПБН ПЭТФ ПЛА

25 0,25 0,85 1,61

75 0,76 1,3 2,29

100 0,88 1,23 2,42

Примечание: Р=13,3 Па, 1=180 с.

Так, пленка ПБН травится медленнее, чем ПЭТФ и ПЛА, последний полимер имеет наибольшие значения скорости деструкции. Авторы объясняют это наличием в элементарном звене ароматических групп: ПБН содержит 3 бензольных кольца, ПЭТФ одно и в ПЛА их нет (рис. 1) Наличие этих групп увеличивает сопротивление полимера к плазменному травлению.

а)

б)

в)

Рис. 1. Строение элементарного звена полимера: а) ПЛА, б) ПЭТФ, в) ПБН.

Травление термопластичных полимерных материалов в плазме тлеющего разряда в аргоне при давлении 10 Па, скорости потока 0,3 л/с и вкладываемой в разряд мощность 8,3 Вт приведено в работе [7]. Значения скоростей травления разных полимеров убывают в ряду: политетрафторэтилен (ПТФЭ) > полипропилен (1111) > ПЭТФ > полиэтилен (ПЭ) > полистирол (ПС). При этом скорость травления ПТФЭ в несколько раз выше по сравнению с другими полимерами. ПП, ПЭТФ и ПЭ травятся практически с одинаковыми скоростями. Полистирол травится медленней всех. Увеличение времени травления влияет слабо на скорость травления, можно сказать, что она постоянна.

1.1.1.2 Атмосферное давление

В работе [8] приведены данные по скоростям травления полиимидной пленки толщиной 50 мкм в плазменной системе с использованием в качестве рабочего газа чистого аргона и его смесей с кислородом, а также представлены данные об активных частицах плазмы. Скорости травления определяли путем наблюдения за состоянием пленки: измеряли время, за которое в образце образуется отверстие под действием активных частиц плазмы. Полученные таким образом скорости приведены на (рис. 2). Авторы отмечают, что температура газа во всех экспериментах была приблизительно одинаковой Tg=280±30 С°, при этом обработка пленки в плазме чистого аргона не сопровождалась разрушением образца. По мере добавления кислорода в плазмообразующий газ, вплоть до содержания в 7%, скорость деструкции увеличивалась. Авторы полагают, что разрушение полимера, в первую очередь, связано с ростом потока атомов кислорода 0(3Р) на образец.

2 4 6 8 1(1

Содержание О:, %

У4

Условия обработки: скорость потока

кислорода в смеси Аг/02 на скорости

Рис. 2. Влияние содержания

травления полиимидной пленки.

5 л/мин, мощность 150 Вт/см3,

частота 13,56 МГц.

Похожее исследование представлено в работе [9]. Травили пленки полиимида, в качестве плазмообразующего газа применяли гелий и его смеси с кислородом, вкладываемая в разряд мощность составляла 15 Вт, плазма генерировалась с частотой 4 МГц. Ключевой особенностью этой работы является сравнение струи плазмы в линейном поле с поперечным полем. Измерения показали, что по мере добавления кислорода в гелий (с 0,025% до 0,1%) скорости травления увеличиваются для случая линейного поля с 0,4 до 2 мкм/с, а для случая поперечного поля с 0,09 до 0,15 мкм/с. Температура газа для системы с поперечным и линейным полем составляла 410 и 520 К, соответственно. Авторы данной работы создали похожие условия и сравнили скорости травления с работой [8]. Таким образом, при содержании кислорода 0,1% пленка полиимида травится в аргоне и гелии со скоростями 0,08 и 0,15 мкм/с, соответственно. Авторы работ [8] и [9] определили концентрации озона в применяемых ими разрядах. Концентрация озона в работе [8] (Аг/02) для поперечного поля составила 1,0-1015 см-3, а в работе [9] (Не/02) для поперечного и линейного полей составила 2,5 1015 и 9,0-1015 см-3. Поэтому авторы работы [9] предполагают, что скорости травления в плазме (Не/02) выше из-за больших концентраций озона. Тем не менее, они не отрицают влияние потока атомов кислорода на поверхность полимера на целевой процесс разрушения пленки, но конкретных данных по этому вопросу не приводят.

Детальное исследование скоростей травления разных полимеров в струе плазмы чистого аргона и его смесях с кислородом [10] выявило несколько особенностей. В таблице 3 собраны данные по скоростям травления 6 разных

полимеров и фильтровальной бумаги. Согласно данным из таблицы, полимерные материалы травятся со скоростями порядка 50^300 нм/с, или 0,8^3,4 мкг/с. Полимер, который травится с наименьшими скоростями это полиэфирэфиркетон, после него идут полистирол и поликарбонат. Связано это в первую очередь с тем, что химическая структура этих полимеров содержит бензольное кольцо. Механизм разрушения 3-х ступенчатый:

1. Разрушение химических связей в элементарном звене исходного полимера под действием УФ-ВУФ квантов, химически активных компонентов плазмы (например, атомы кислорода или гидроксил-радикалы) и, в меньшей степени, электронов и ионов. С наибольшими вероятностями происходит отрыв и удаление с поверхности атома водорода.

2. Образовавшиеся радикалы реагируют с активными компонентами плазмы (например, атом или молекула кислорода). В результате образуются промежуточные короткоживущие продукты.

3. Образование летучих компонентов: молекулы СО, СО2, Н2О, О2.

Таблица 3.

Скорости травления разных полимеров в смеси Аг/02 с 1% содержанием

кислорода

Скорость травления Образец пленки

ФБ Ш1 ПЭ ПММА ПК ПС ПЭЭК

нм/с 1060 300 260 180 150 130 50

мкг/с 5,7 3,4 2,7 2,4 2,3 1,4 0,8

Примечание: скорость потока газа 5 л/мин, мощность 65 Вт, расстояние от зоны плазмы до образца 5 мм, радиус отверстия 2 мм. ФБ-фильтровальная бумага, ПП-полипропилен, ПЭ-полиэтилен, ПММА-полиметилметакрилат, ПК-поликарбонат, ПС-полистирол, ПЭЭК-полиэфирэфиркетон.

Образование сшивок замедляет деструкцию полимера, т.к. эти участки полимера обладают повышенными прочностными характеристиками. Для всех, рассмотренных в работе полимеров, скорость травления постоянна во времени, а по мере приближения образца к зоне плазмы, скорость травления возрастает.

На (рис. 3) изображен профиль изменения толщины пленки ПЭЭК при обработке в струе плазмы, полученный К. Бпске с соавторами. Во всех случаях описание профиля выполнено с использованием функции Гаусса. Добавление кислорода к аргону оказывает большое влияния на скорость травления, а как следствие на профиль толщины пленки. Для плазмы чистого аргона и его смеси с кислородом (0,2% О2) профили имеют похожий вид, а для их описания потребовалось применить 2 функции Гаусса. Место, в котором радиальное расстояние равно 0 мм, травилось медленней, чем периферийная часть. Во время процесса аргон смешивается с воздухом, компоненты которого диффундируют вглубь и возбуждаются там. Изменяются потоки активных частиц на поверхность пленки, как следствие возрастает скорость травления [11, 12, 13].

Рис. 3. Профиль изменения толщины пленки ПЭЭК через 20 минут после травления в струе плазмы аргона и его смесях с кислородом. Расстояние до образца 5 мм, максимальная толщина 67 мкм. 3

На основе представленных данных можно сделать следующий вывод: скорость травления зависит от вида газа и его давления, вкладываемой мощности, химического строения полимера.

В результате плазменной деструкции образуются газообразные продукты, однако определить состав этих продуктов при пониженном давлении проще, чем при атмосферном, связано это с техникой постановки эксперимента. Поэтому возникает несколько вопросов: какие это молекулы и, каким образом они участвуют в процессе модифицирования полимера, что является результатом этого воздействия?

1.1.2 Образование летучих продуктов

Находясь в плазме, полимер разрушается с образованием летучих продуктов, попадающих в рабочий объем камеры. Масс-спектральные измерения позволяют зафиксировать появление новых частиц. В работе [14] были получены масс-спектры газовой фазы при травлении в плазме пленок полиэтилена высокой плотности и октадецилового октадеканоата. Итоговые спектры получались путем вычитания спектра, полученного без образца, из спектра, полученного в присутствии образца. Полимеры обрабатывались в плазме кислорода и аргона. Было установлено, что в плазме кислорода основными газообразными продуктами являются: Н2О, СО, СО2 и Н2; в плазме аргона: Н2 и СО. Другие стабильные частицы, если они находились в разряднике, не были обнаружены из-за низких концентраций. На рис. 4 изображены изменения интенсивностей сигналов, полученных масс-спектральным методом, основных продуктов деструкции от времени горения разряда для двух полимеров.

Во время обработки полимеров в плазме кислорода наблюдается быстрый рост интенсивности сигнала молекул СО и СО2, через 20 с они стабилизируются; количество молекул Н2 и Н2О изменяется медленней и растет на протяжении 2 мин. В случае полиэтилена интенсивность сигнала для воды выше, чем для монооксида углерода. Для октадецилового октадеканоата ситуация противоположная, интенсивность сигнала монооксида углерода выше.

Время травления, с Время травления, с

а) б)

60 120 180 240

Время травления, с

В) Г)

Рис. 4. Изменение интенсивности сигнала, полученной масс-спектральным методом, H2O (+), CO (°), H2 (А) и CO2 (•) с течением времени горения разряда в кислороде (а, б) и аргоне (в, г). Полимеры: полиэтилен высокой плотности (а,

в), октадециловый октадеканоат (б, г).

В случае с плазмой аргона концентрация водорода достигает максимума за 20 с, затем немного спадает и не меняется, кроме того, это основной продукт деструкции полимеров. На протяжении 30 с наблюдался рост и спад концентрации воды, которая присутствовала в разряднике в виде загрязнений. CO2 обнаружен не был. Образование молекул CO, авторы объясняют наличием примеси кислорода в аргоне (заявляемая чистота 98-99%), изменение интенсивности сигнала монооксида углерода схоже с водородом.

В этой работе, кроме изменения интенсивностей во времени, определили изменение интенсивности с увеличением вкладываемой мощности. Концентрация большинства продуктов линейно растет с увеличением вкладываемой мощности.

С помощью вторичной ионной масс-спектрометрии удалось определить толщину модифицированного слоя, в котором произошли изменения химической структуры полимеров [15]. Полиэтилен высокой плотности сначала обработали в плазме аргона, затем образец выдерживали в атмосферном воздухе без разряда. Во время всего процесса на поверхности полимера происходили реакции: деструкция материала, образование промежуточных короткоживущих продуктов, выделение в газовую фазу стабильных компонентов-продуктов реакции [10]. Глубина залегания

атомов кислорода и гидроксил-радикалов в данном случае составляет ~16 нм. Проводя исследования с полиэтиленом высокой плотности, удалось выяснить следующее. Травление полимера в плазме аргона не приводит к формированию кислородсодержащих структур, а в газовой фазе обнаруживаются частицы, состоящие из углерода и водорода (например, с химической структурой СпН2п+1). Содержание частиц СхНуО незначительно и составляет менее 0,1%. Поэтому в других подобных исследованиях (изучающих взаимодействие плазмы с полиолефинами), при использовании аргона с высокой степенью чистоты, обнаружение молекул Н2О, СО, СО2, О2, N2 связано в первую очередь со степенью чистоты реактора. Авторы работы отмечают, что подготовка к эксперименту длилась 36 часов: на протяжении 12 часов рабочую камеру нагревали до 100 °С и удерживали постоянной, затем в течение 24 часов продували камеру аргоном.

В работах [16, 17, 18] описаны результаты комплексных исследований взаимодействия плазмы или высокоэнергетичных ионов с разными полимерами, важной частью которых являются данные ВИМС. Во время травления пленок полиэтилентерефталата в плазме и аргона, и кислорода в газовую фазу выделяются молекулы Н2, Н2О, СО и СО2. Поверхность пленки полистирола обогащается кислородом при воздействии на неё высокоэнергетичными ионами кислорода.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Василькин Даниил Павлович, 2022 год

Литературные источники

1 Inagaki, N. Surface characterization of plasma-modified of poly(ethylene terephthalate) film surfaces / N. Inagaki, K. Narushim, N. Tuchida, K. Miyazaki // Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics. - 2004. - Vol. 42, N 20. - P. 3727-3740.

2 Liston, E. M. Plasma surface modification of polymers for improved adhesion: a critical review / E. M. Liston, L. Martinu, M. R. Wertheimer // Journal of Adhesion Science and Technology, 1993. - Vol. 7, N 10. - P. 1091-1127.

3 Бурыкина, О. В. Физико-химические характеристики органических и неорганических веществ: учебный справ. / О. В Бурыкина, В. С. Мальцева, Е. А. Фатьянова // Курск: Курск. гос. тех. ун-т, 2008. - 113 с.

4 Hansen, R. H. A new technique for preparing low surface energy polymers for adhesive bonding / R. H. Hansen, H. Schonhorn // Journal of Polymer Science Part B: Polymer Letters, 1966. - Vol. 4, N 3. - P. 203-209.

5 Dorai, R. A model for plasma modification of polypropylene using atmospheric pressure discharges / R. Dorai, M. J. Kushner // Journal of Physics D: Applied Physics, 2003. - Vol. 36, N 6. - P. 666-685.

6 Inagaki, N. Effects of aromatic groups in polymer chains on plasma surface modification / N. Inagaki, K. Narushima, S. K. Lim // Journal of Applied Polymer Science. - 2003. - Vol. 89, N 1. - P. 96-103.

7 Reznickova, A. Comparison of glow argon plasma-induced surface changes of thermoplastic polymers / A. Reznickova, Z. Kolska, V. Hnatowicz, P. Stopka, V. Svorcik // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. - 2011. - Vol. 269, N 2. - P. 83-88.

8 Moravej, M. A radio-frequency nonequilibrium atmospheric pressure plasma operating with argon and oxygen / M. Moravej, X. Yang, R. F. Hicks // Journal of Applied Physics. - 2006. -Vol. 99, N 9. - P. 093305.

9 Walsh, J. L. Contrasting characteristics of linear-field and cross-field atmospheric pressure plasma jets / J. L. Walsh, M. G. Kong // Applied Physics Letters. - 2008. - Vol. 93, N 11. - P. 111501.

10 Fricke, K. High rate etching of polymers by means of an atmospheric pressure plasma jet / K. Fricke, H. Steffen, T. von Woedtke, K. Schroder, K.-D. Weltmann // Plasma Processes and Polymers. - 2011. - Vol. 8, N 1. - P. 51-58.

11 Fricke, K. Atmospheric pressure plasma: a high-performance tool for efficient removal of biofilms / K. Fricke, I. Koban, H. Tresp et al. // PLoS one. - 2012. - Vol. 7, N 8. - P. e42539.

12 Fricke, K. On the use of atmospheric pressure plasma for the bio-decontamination of polymers and its impact on their chemical and morphological surface properties / K. Fricke, H. Tresp, R. Bussiahn et al. // Plasma Chemistry and Plasma Processing. - 2012. - Vol. 32, N 4. - P. 801-816.

13 Fricke, K. Investigation of surface etching of poly (ether ether ketone) by atmospheric pressure plasmas / K. Fricke, S. Reuter, D. Schroder et al. // IEEE Transactions on Plasma Science. - 2012. - Vol. 40, N 11. - P. 2900-2911.

14 Clouet, F. Interactions of polymer model surfaces with cold plasmas: Hexatriacontane as a model molecule of high-density polyethylene and octadecyl octadecanoate as a model of polyester. I. Degradation rate versus time and power / F. Clouet, M. K. Shi // Journal of Applied Polymer Science. - 1992. - Vol. 46, N 11. - P. 1955-1966.

15 Oiseth, S. K. Surface modification of spin-coated high-density polyethylene films by argon and oxygen glow discharge plasma treatments / S. K. Oiseth, A. Krozer, B. Kasemo, J. Lausmaa // Applied Surface Science. - 2002. - Vol. 202, N 1-2. - P. 92103.

16 Svirachev, D. M. Plasma treatment of polymer surfaces in different gases / D. M. Svirachev, N. A. Tabaliov / Bulgarian Journal of Physics. - 2005. - Vol. 32, N 1. - P. 22-33.

17 Han, S. Polymer surface modification by plasma source ion implantation / S. Han, Y. Lee, H. Kim et al. // Surface and Coating Technology. - 1997. - Vol. 93, N 2-3. - P. 261-264.

18 Кувалдина, Е. В. Эффект загрузки при травлении ткани из монофиломентных нитей полиэтилентерефталата в плазме кислорода / Е. В. Кувалдина // Электронная обработка материалов. - 2009. - № 1. - С. 48-53.

19 Oh, K. W. Improved adhesion property and electromagnetic interference shielding effectiveness of electroless Cu-plated layer on poly(ethylene terephthalate) by plasma treatment / K. W. Oh, D. J. Kim, S. H. Kim // Journal of Applied Polymer Science.

- 2002. - Vol. 84, N 7. - P. 1369-1379.

20 Kotal, V. Gold coating of poly(ethylene terephthalate) modified by argon plasma / V. Kotal , V. Svorcik, P. Slepicka et al. // Plasma Process and Polymers. - 2007.

- Vol. 4, N 1. - P. 69-76.

21 Rusu, I. A. Ar RF plasma treatment of PET films for Si films adhesion improvement / I. A. Rusu, G. Popa, S. O. Saied, J. L. Sullivan // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. - 2006. - Vol. 8, N 5. - P. 1935-1938.

22 Троян В. И., Пушкин М. А., Борман В. Д., Тронин В. Н. Физические основы методов исследования наноструктур и поверхности твердого тела / Под ред. В.Д. Бормана: Учебное пособие. - М.: МИФИ, 2008. - 260 с.

23 Методы анализа поверхностей / Под ред. А. Зандерны ; пер. с англ. под ред. В. В. Кораблева, Н. Н. Петрова. - М.: Мир, 1979. - 582 с.

24 Фелдман, Л. Основы анализа поверхности и тонких пленок / Л. Фелдман, Д. Майер ; пер. с англ. под ред. В. В. Белошицкого. - М.: Мир, 1989. - 344 с.

25 Beamson, G. High resolution XPS of organic polymers / G. Beamson, D. Briggs.

- NY: Wiley: New York, 1992. - 295 pp.

26 Inagaki, N. Comparative studies on surface modification of poly(ethylene terephthalate) by remote and direct argon plasmas / N. Inagaki, S. Tasaka, S. Shimida // Journal of Applied Polymer Science. - 2001. - Vol. 79, N 5. - P. 808-815.

27 Lai, J. Study on hydrophilicity of polymer surfaces improved by plasma treatment / J. Lai, B. Sunderland, J. Xue et al. // Applied Surface Science. - 2006. - Vol. 252, N 10. - P. 3375-3379.

28 France, R. M. Plasma treatment of polymers Effects of energy transfer from an argon plasma on the surface chemistry of poly(styrene), low density poly(ethylene),

poly(propylene) and poly(ethylene terephthalate) / R. M. France, R. D. Short // Journal of Chemical Society. - 1997. - Vol. 93, N 17. - P. 3173-3178.

29 Inagaki, N. Surface modification of PET films by pulsed argon plasma / N. Inagaki, S. Tasaka, K. Narushima, H. Kobayashi // Journal of Applied Polymer Science. - 2002. - Vol. 85, N 14. - P. 2845-2852.

30 Gupta, B. Surface modification of polyester films by RF plasma / B. Gupta, J. Hilborn, Ch. Hollenstein et al. // Journal of Applied Science. - 2000. - Vol. 78, N 5. - P. 1083-1091.

31 Pelagade, S. M. Investigation of surface properties of Ar-plasma treated polyethylene terephthalate (PET) films / S. M. Pelagade, N. L. Singh, A. Qureshi et al. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. - 2012. - Vol. 289, N 15. - P. 34-38.

32 Gerenser, L. J. XPS studies of in-situ plasma-modified polymer surfaces / L. J. Gerenser // Journal of Adhesion Science and Technology. - 1993. - Vol. 7, N 10. - P. 1019-1040.

33 Toufik, M. Improvement of performances of PET track membranes by plasma treatment / M. Toufik, A. Mas, V. Shkinev et al. // European Polymer Journal. - 2002. -Vol. 38, N 2. - P. 203-209.

34 Seo, E.-D. AFM and specular reflectance IR studies on the surface structure of poly(ethylene terephthalate) films upon treatment with argon and oxygen plasmas / E. -D. Seo // Macromolecular Research. - 2004. - Vol. 12, N 1. - P. 134-140.

35 Pascu, M. Modification of polymer blends properties by plasma/electron beam treatment. I. Plasma diagnosis and bulk properties of plasma treated blends / M. Pascu, C. Vasile, G. Popa et al. // International Journal of Polymeric Materials and Polymeric Biomaterials. - 2002. - Vol. 51, N 1-2. - P. 181-192.

36 De Geyter, N. Treatment of polymer films with a dielectric barrier discharge in air, helium and argon at medium pressure / N. de Geyter, R. Morent, C. Leys et al. // Surface and Coating Technology. - 2007. - Vol. 201, N 16-17. - P. 7066-7075.

37 France, R. M. Plasma treatment of polymers: the effect of energy transfer from an argon plasma on the surface chemistry of polystyrene, and polypropylene. A high-

energy resolution X-ray photoelectron spectroscopy study / R. M. France, R. D. Short // Langmuir. - 1998. - Vol. 14, N 17. - P. 4827-4837.

38 Morent, R. Surface modification of non-woven textiles using a dielectric barrier discharge operating in air, helium and argon at medium pressure / R. Morent, N. de Geyter, C. Leys // Textile Research Journal. - 2007. - Vol. 77, N 7. - P. 471-488.

39 Slepicka, P. Argon plasma irradiation of polypropylene / P. Slepicka, A. Vasina, Z. Kolska et al. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. - 2010. - Vol. 268, N 11-12. - P. 2111-2114.

40 Ru, L. Studies on wettability of medical poly(vinyl chloride) by remote argon plasma / L. Ru, C. Jie-rong // Applied Surface Science. - 2006. - Vol. 252, N 14. - P. 5076-5082.

41 Chen, W. Studies on surface modification of poly(tetrafluoroethylene) film by remote and direct Ar plasma / W. Chen, C. Jie-rong, L. Ru // Applied Surface Science. -2008. - Vol. 254, N 9. - P. 2882-2888.

42 Kormunda, M. Characterization of oxygen and argon ion flux interaction with PET surfaces by in-situ XPS and ex-situ FTIR / M. Kormunda, J. Pavlik // Polymer Degradation and Stability. - 2010. - Vol. 95, N 9. - P. 1783-1788.

43 Kormunda, M. Characterization of oxygen and argon ion flux interaction with PET surfaces by in-situ XPS and ex-situ FTIR / M. Kormunda, J. Pavlik // Polymer Degradation and Stability. - 2010. - Vol. 95, N 9. - P. 1783-1788.

44 Liu, H. Surface modification of ultra-high molecular weight polyethylene (UHMWPE) by argon plasma / H. Liu, Y. Pei, D. Xie et al. // Applied Surface Science. -2010. - Vol. 256, N 12. - P. 3941-3945.

45 Keil, M. Argon plasma-induced modifications at the surface of polycarbonate thin films / M. Keil, C. S. Rastomjee, A. Rajagopal et al. // Applied Surface Science. -1998. - Vol. 125, N 3-4. - P. 273-286.

46 Liu, D. Surface modification of PBO fibers by argon plasma and argon plasma combined with coupling agents / D. Liu, J. Hu, Y. Zhao et al. // Journal of Applied Polymer Science. - 2006. - Vol. 102, N 2. - P. 1428-1435.

47 Momose, Y. Chemical reactivity between Teflon surfaces subjected to argon plasma treatment and atmospheric oxygen / Y. Momose, Y. Tamura, M. Ogino, S. Okazaki // Journal of Vacuum Science & Technology A. - 1991. - Vol. 10, N 1. - P. 229238.

48 Tajima, S. Differential regulation of endothelial cell adhesion, spreading, and cytoskeleton on low-density polyethylene by nanotopography and surface chemistry modification induced by argon plasma treatment / S. Tajima, J. S. F. Chu, S. Li, K. Komvopoulos // Journal of Biomedical Materials Research Part A. - 2007. - Vol. 84A, N 3. - P. 828-836.

49 Slepicka, P. Surface modification of biopolymers by argon plasma and thermal treatment / P. Slepicka, S. Trostova, N. Slepickova Kasalkova et al. // Plasma Processes and Polymers. - 2012. - Vol. 9, N 2. - P. 197-206.

50 Sarani, A. Surface modification of polypropylene with an atmospheric pressure plasma jet sustained in argon and an argon/water vapour mixture / A. Sarani, A. Yu. Nikivorov, N. De Geyter et al. // Applied Surface Science. - 2011. - Vol. 257, N 20. - P. 8737-8741.

51 Fang, Z. Surface treatment of polyethylene terephthalate to improving hydrophilicity using atmospheric pressure plasma jet / Z. Fang, J. Yang, Y. Liu et al. // IEEE Transactions on Plasma Science. - 2013. - Vol. 41, N 6. - P. 1627-1634.

52 Gonzalez II, E. Remote atmospheric-pressure plasma activation of the surfaces of polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate / E. Gonzalez II, M. D. Barankin, O. C. Guschi, R. F. Hicks // Langmuir. - 2008. - Vol. 24, N 21. - P. 1263612643.

53 Lommatzsch, U. Atmospheric pressure plasma jet treatment of polyethylene surfaces for adhesion improvement / U. Lommatzsch, D. Pasedag, A. Baalmann et al. // Plasma Processes and Polymers. - 2007. - Vol. 4, N S1. - P. 1041-1045.

54 Noeske, M. Plasma jet treatment of five polymers at atmospheric pressure: surface modifications and the relevance for adhesion / M. Noeske, J. Degenhardt, S. Strudthoff, U. Lommatzsch // International Journal of Adhesion & Adhesive. - 2004. -Vol. 24, N 2. - P. 171-177.

55 Simor, M. Atmospheric-pressure plasma treatment of polyester nonwoven fabrics for electroless plating / M. Simor, J. Rahel, M. Cernak et al. // Surface and Coating Technology. - 2003. - Vol. 172, N 1. - P. 1-6.

56 Сумм, Б. Д. Гистерезис смачивания / Б. Д. Сумм // Соросовский образовательный журнал. - 1999. - № 7. - С. 98-102.

57 Beake, B. D. Scanning force microscopy investigation of poly(ethylene terephthalate) modified by argon plasma treatment / B. D. Beake, J. S. G. Ling, G. J. Leggett // Journal of Materials Chemistry. - 1998. - Vol. 8, N 8. - P. 1735-1742.

58 Tajima, S. Surface modification of low-density polyethylene by inductively coupled argon plasma / S. Tajima, K. Komvopoulos // The Journal of Physical Chemistry B. - 2005. - Vol. 103, N 37. - P. 17623-17629.

59 Wang, C. Studies on surface graft polymerization of acrylic acid onto PTFE film by remote argon plasma initiation / C. Wang, J.-R. Chen // Applied Surface Science.

- 2007. - Vol. 253, N 10. - P. 4599-4606.

60 Carlotti, S. Improvement of adhesion of PET fibers to rubber by argon-oxygen plasma treatment / S. Carlotti, A. Mas // Journal of Applied Polymer Science. - 1998. -Vol. 69, N 12. - P. 2321-2330.

61 Pandiyaraj, K. N. Influence of non-thermal plasma forming gases on improvement of surface properties of low density polyethylene (LDPE) / K. N. Pandiyaraj, R. R. Deshmukh, I. Ruzybayev et al. // Applied Surface Science. - 2014. -Vol. 307. - P. 109-119.

62 Hyun, J. Effect of Ar+ ioan beam in the process of plasma surface modification of PET films / J. Hyun, P. Barletta, K. Koh et al. // Journal of Applied Polymer Science.

- 2000. - Vol.77, N 8. - P. 1679-1683.

63 Junkar, I. Influence of oxygen and nitrogen plasma treatment on polyethylene terephthalate (PET) polymers / I. Junkar, A. Vesel, U. Cvelbar et al. // Vacuum. - 2009.

- Vol. 84. - P. 83-85.

64 Vesel, A. Surface modification of polyester by oxygen- and nitrogen-plasma treatment / A. Vesel, I. Junkar, U. Cvelbar et al. // Surface and Interface Analysis. - 2008.

- Vol. 40, N 11. - P. 1444-1453.

65 Cheng, C. Surface modification of polymer fibre by the new atmospheric pressure cold plasma jet / C. Cheng, Z. Liye, R.-J. Zhan // Surface and Coating Technology. - 2006. - Vol. 200, N 24. - P. 6659-6665.

66 Van Deynse, A. Surface modification of polyethylene in an argon atmospheric pressure plasma jet / A. Van Deynse, P. Cools, C. Leys et al. // Surface & Coatings Technology. - 2015. - Vol. 276. - P. 384-390.

67 Van Deynse, A. Surface activation of polyethylene with an argon atmospheric pressure plasma jet: Influence of applied power and flow rate / A. Van Deynse, P. Cools, C. Leys et al. // Applied Surface Science. - 2015. - Vol. 328. - P. 269-278.

68 Kostov, K. G. Surface modification of polymeric materials by cold atmospheric plasma jet / K. G. Kostov, T. M. C. Nishime, A. H. R. Castro et al. // Applied Surface Science. - 2014. - Vol. 314. - P. 367-375.

69 Yang, S. Surface modification of polyethyleneterephthalate by an atmospheric-pressure plasma source / S. Yang, M. C. Gupta // Surface & Coatings Technology. - 2004. - Vol. 187, N 2-3. - P. 172-176.

70 Kang, W. S. Controlling hydrophilicity of polymer film by altering gas flow rate in atmospheric-pressure homogeneous plasma / W. S. Kang, M. Hur, J.-O. Lee, Y.-H. Song // Applied Surface Science. - 2014. - Vol. 295. - P. 198-202.

71 Massines, F. A comparison of polypropylene-surface treatment by filamentary, homogeneous and glow discharges in helium at atmospheric pressure / F. Massines, G. Gouda // Journal of Physics D: Applied Physics. - 1998. - Vol. 31, N 24. - P. 3411-3420.

72 Massines, F. Comparison between air filamentary and helium glow discharge dielectric barrier discharges for the polypropylene surface treatment / F. Massines, R. Messaoudi, C. Mayoux // Plasmas and Polymers. - 1998. - Vol. 3, N 1. - P. 43-59.

73 Rezaei, F. Surface modification of PET film via a large area atmospheric pressure plasma: An optical analysis of the plasma and surface characterization of the polymer film / F. Rezaei, M. D. Dickey, M. Bourham, P. J. Hauser // Surface & Coatings Technology. - 2017. - Vol. 309. - P. 371-381.

74 Dimitrakellis, P. Hydrophobic and superhydrophobic surfaces fabricated using atmospheric pressure cold plasma technology: A review / P. Dimitrakellis, E. Gogolides // Advances in Colloid and Interface Science. - 2018. - Vol. 254. - P. 1-21.

75 Cruz-Barba, L. E. Generation of Teflon-like layers on cellophane surfaces under atmospheric pressure non-equillibrium SF6-plasma environments / L. E. Cruz-Barba, S. Manolache, F. Denes // Polymer Bulletin. - 2003. - Vol. 50, N 5-6. - P. 381-387.

76 De Geyter, N. Increasing the hydrophobicity of a PP film using a helium/CF 4 DBD treatment at atmospheric pressure / N. De Geyter, R. Morent, L. Gengembre et al. //Plasma Chemistry and Plasma Processing. - 2008. - Vol. 28, N 2. - P. 289-298.

77 Jacobs, T. Effect of He/CF4 DBD operating parameters on PET surface modification / T. Jacobs, R. Morent, N. De Geyter, C. Leys //Plasma Processes and Polymers. - 2009. - Vol. 6, N S1. - P. S412-S418.

78 Parida, D. Functionalization of cotton by in-situ reaction of styrene in atmospheric pressure plasma zone / D. Parida, M. Jassal, A. K. Agarwal //Plasma Chemistry and Plasma Processing. - 2012. - Vol. 32, N 6. - P. 1259-1274.

79 Gomathi, N. Surface modification of polypropylene using argon plasma: Statistical optimization of the process variables / N. Gomathi, S. Neogi // Applied Surface Science. - 2009. - Vol. 255, N 17. - P. 7590-7600.

80 Inagaki, N. Surface characterization of plasma-modified poly(ethylene terephthalate) film surfaces / N. Inagaki, K. Narushim, N. Tuchida, K. Miyazaki // Journal of Polymer Science: Part B: Polymer Physics. - 2004. - Vol. 42, N 20. - P. 3727-3740.

81 Mortazavi, M. A model for diffusion-driven hydrophobic recovery in plasma treated polymers / M. Mortazavi, M. Nosonovsky // Applied Surface Science. - 2012. -Vol. 258, N 18. - P. 6876-6883.

82 Yasuda, H. Effect of orientation and mobility of polymer molecules at surfaces on contact angle and its hysteresis / H. Yasuda, A. K. Sharma, T. Yasuda // Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics. - 1981. - Vol. 19, N 9. - P. 1285-1291.

83 Le, Q. T. XPS Study of the PET film surface modified by CO2 plasma: effect of the plasma parameters and ageing / Q. T. Le, J. J. Pireaux, R. Caudano // Journal of Adhesion Science and Technology. - 1997. - Vol. 11, N 5. - P. 735-751.

84 Frank, B. Polymer mobility in thin films / B. Frank, A. P. Gast, T. P. Russell et al. //Macromolecules. - 1996. - Vol. 29, N 20. - P. 6531-6534.

85 Friedrich, J. The Formation processes of functional groups at polyolefin surfaces on exposure to oxygen or ammonia plasma: a critical review / J. Friedrich //Progress in Adhesion and Adhesives. - 2019. - Vol. 4. - P. 241-313.

86 Keddie, J. L. Size-dependent depression of the glass transition temperature in polymer films / J. L. Keddie, R. A. L. Jones, R. A. Cory //EPL (Europhysics Letters). -1994. - Vol. 27, N 1. - P. 59.

87 Zille, A. Plasma treatment in textile industry / A. Zille, F. R. Oliveira, A. P. Souto // Plasma Processes and Polymers. - 2015. - Vol. 12, N 2. - P. 98-131.

88 Buyle, G. Nanoscale finishing of textiles via plasma treatment / G. Buyle // Materials Technology. - 2009. - Vol. 24, N 1. - P. 46-51.

89 Sparavigna, A. Plasma treatment advantages for textiles / A. Sparavigna // arXiv preprint arXiv:0801.3727. - 2008.

90 Gadri, R. B. Sterilization and plasma processing of room temperature surfaces with a one atmosphere uniform glow discharge plasma (OAUGDP) / R. B. Gadri, J. R. Roth, T. C. Montie et al. // Surface and Coatings Technology. - 2000. - Vol. 131, N 1-3. - P. 528-541.

91 Cruz, M. C. Plasma deposition of silver nanoparticles on ultrafiltration membranes: Antibacterial and anti-biofouling properties / M. C. Cruz, G. Ruano, M. Wolf et al. // Chemical Engineering Research and Design. - 2015. - Vol. 94. - P. 524-537.

92 Gerullis, S. Thin antimicrobial silver, copper or zinc containing SiO x films on wood polymer composites (WPC) applied by atmospheric pressure plasma chemical vapour deposition (APCVD) and sol-gel technology / S. Gerullis, A. Pfuch, S. Spange et al. // European Journal of Wood and Wood Products. - 2018. - Vol. 76, N 1. - P. 229241.

93 Rai, M. Silver nanoparticles as a new generation of antimicrobials / M. Rai, A. Yadav, A. Gade //Biotechnology advances. - 2009. - Vol. 27, N 1. - P. 76-83.

94 Lim, H. R. Surface modification for enhancing behaviors of vascular endothelial cells onto polyurethane films by microwave-induced argon plasma / H. R. Lim, H. S.

Baek, M. H. Lee et al. // Surface and Coatings Technology. - 2008. - Vol. 202, N 22-23.

- P. 5768-5772.

95 Garcia, J. L. Cell proliferation of HaCaT keratinocytes on collagen films modified by argon plasma treatment / J. L. Garcia, A. Asadinezhad, J. Pachernik et al. // Molecules. - 2010. - Vol. 15, N 4. - P. 2845-2856.

96 Von Woedtke, Th. Plasmas for medicine / Th. Von Woedtke, S. Reuter, K. Masur, K.-D. Weltmann et al. // Physics Reports. - 2013. - Vol. 530, N 4. - P. 291-320.

97 Samukawa, S. The 2012 plasma roadmap / S. Samukawa, M. Hori, S. Rauf et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2012. - Vol. 45, N 25. - P. 253001.

98 Staack, D. Characterization of a dc atmospheric pressure normal glow discharge / D. Staack, B. Farouk, A. Gutsol, A. Fridman // Plasma Sources Science and Technology.

- 2005. - Vol. 14, N 4. - P. 700-711.

99 Machala, Z. DC glow discharges in atmospheric pressure air / Z. Machala, E. Marode, C. O. Laux, C. H. Kruger // Journal of Advanced Oxidation Technologies. -2004. - Vol. 7, N 2. - P. 133-137.

100 Staack, D. DC normal glow discharges in atmospheric pressure atomic and molecular gases / D. Staack, B. Farouk, A. Gutsol, A. Fridman et al. //Plasma Sources Science and Technology. - 2008. - Vol. 17, N 2. - P. 025013.

101 Jiang, W. Characterization of argon direct-current glow discharge with a longitudinal electric field applied at ambient air / W. Jiang, J. Tang, Y. Wang et al. // Scientific reports. - 2014. - Vol. 4. - P. 6323.

102 Sommers, B. S. A comparison of gas temperatures measured by ultraviolet laser scattering in atmospheric plasma sources / B. S. Sommers, S. F. Adams // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2015. - Vol. 48, N 48. - P. 485202.

103 Dudek, D. Direct current plasma jet needle source / D. Dudek, N. Bibinov, J. Engemann, P. Awakowicz // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2007. - Vol. 40, N 23. - P. 7367.

104 Bibinov, N. Characterization of an atmospheric pressure dc plasma jet / N. Bibinov, D. Dudek, P. Awakowicz, J. Engemann //Journal of Physics D: Applied Physics.

- 2007. - Vol. 40, N 23. - P. 7372.

105 Liu, H. A novel DC-driven atmospheric-pressure cold microplasma source for biomedical application / H. Liu, P. Yi, W. Lu et al. // IEEE Transactions on Radiation and Plasma Medical Sciences. - 2017. - Vol. 1, N 5. - P. 460-467.

106 Pei, X. Discharge modes of atmospheric pressure DC plasma jets operated with air or nitrogen / X. Pei, J. Kredl, X. Lu, J. F. Kolb // Journal of Physics D: Applied Physics.

- 2018. - Vol. 51, N 38. - P. 384001.

107 Xiong, Q. Characterization of an atmospheric helium plasma jet by relative and absolute optical emission spectroscopy / Q. Xiong, A. Yu. Nikiforov, M. A. Gonzalez et al. // Plasma Sources Science and Technology. - 2012. - Vol. 22, N 1. - P. 015011.

108 Deepak, G. D. Electrical characterization of atmospheric pressure dielectric barrier discharge-based cold plasma jet using ring electrode configuration / G. D. Deepak, N. K. Joshi, U. Pal, R. Prakash // Laser and Particle Beams. - 2016. - Vol. 34, N 4. - P. 615-620.

109 Keller, S. Characterization of transient discharges under atmospheric-pressure conditions applying nitrogen photoemission and current measurements / S. Keller, P. Rajasekaran, N. Bibinov, P. Awakowicz // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2012.

- Vol. 45, N 12. - P. 125202.

110 Iseni, S. Nitric oxide density distributions in the effluent of an RF argon APPJ: effect of gas flow rate and substrate / S. Iseni, S. Zhang, A. F. H. van Gessel et al. // New Journal of Physics. - 2014. - Vol. 16. - P. 123011.

111 Benedikt, J. Absolute OH and O radical densities in effluent of a He/H2O micro-scaled atmospheric pressure plasma jet / J. Benedikt, D. Schroder, S. Schneider et al. // Plasma Sources Science and Technology. - 2016. - Vol. 25, N 4. - P. 045013.

112 Modelling of plasma generation and thin film deposition by a non-thermal plasma jet at atmospheric pressure / F. Sigeneger et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2016. - Vol. 49, N 34. - P. 345202.

113 Sigeneger, F. Modeling of a Non-Thermal RF Plasma Jet at Atmospheric Pressure / F. Sigeneger, M. M. Becker, R. Foest, D. Loffhagen // Plasma Processes and Polymers. - 2017. - Vol. 14, N 4-5. - P. 1600112.

114 Ellerweg, D. Unexpected O and O3 production in the effluent of He/Ü2 microplasma jets emanating into ambient air / D. Ellerweg, A. Von Keudell, J. Benedikt // Plasma Sources Science and Technology. - 2012. - Vol. 21, N 3. - P. 034019.

115 Gruenwald, J. Characterisation of a Simple Non-Thermal Atmospheric Pressure Plasma Source for Biomedical Research Applications / J. Gruenwald, J. Reynvaan, T. Eisenberg, P. Geistlinger // Contributions to Plasma Physics. - 2015. - Vol. 55, N 4. - P. 337-346.

116 Hofmann, S. Power dissipation, gas temperatures and electron densities of cold atmospheric pressure helium and argon RF plasma jets / S. Hofmann, A. F. H. van Gessel, T. Verreycken, P. Bruggeman // Plasma Sources Science and Technology. - 2011. - Vol. 20, N 6. - P. 065010.

117 Van Ham, B. T. J. In situ absolute air, O3 and NO densities in the effluent of a cold RF argon atmospheric pressure plasma jet obtained by molecular beam mass spectrometry / B. T. J. Van Ham, S. Hofmann, R. Brandenburg, P. J. Bruggeman // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2014. - Vol. 47, N 22. - P. 224013.

118 Knake, N. Absolute atomic oxygen density distributions in the effluent of a microscale atmospheric pressure plasma jet / N. Knake, S. Reuter, K. Niemi et al // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2008. - Vol. 41, N 19. - P. 194006.

119 Niemi, K. Absolute atomic oxygen density measurements by two-photon absorption laser-induced fluorescence spectroscopy in an RF-excited atmospheric pressure plasma jet / K. Niemi, V. Schulz-Von Der Gathen, H. F. Döbele // Plasma Sources Science and Technology. - 2005. - Vol. 14, N 2. - P. 375.

120 Rajasekaran, P. Space-resolved characterization of high frequency atmospheric-pressure plasma in nitrogen, applying optical emission spectroscopy and numerical simulation / P. Rajasekaran, C. Ruhrmann, N. Bibinov, P. Awakowicz //Journal of Physics D: Applied Physics. - 2011. - Vol. 44, N 48. - P. 485205.

121 Van Gessel, A. F. H. Atomic oxygen TALIF measurements in an atmospheric-pressure microwave plasma jet with in situ xenon calibration / A. F. H. Van Gessel, S. C. Van Grootel, P. J. Bruggeman // Plasma Sources Science and Technology. - 2013. - Vol. 22, N 5. - P. 055010.

122 Offerhaus, B. Spatially resolved measurements of the physical plasma parameters and the chemical modifications in a twin surface dielectric barrier discharge for gas flow purification / B. Offerhaus, J.-W. Lackmann, F. Kogelheide et al. // Plasma Processes and Polymers. - 2017. - Vol. 14, N 10. - P. 1600255.

123 Iseni, S. Atmospheric pressure streamer follows the turbulent argon air boundary in a MHz argon plasma jet investigated by OH-tracer PLIF spectroscopy / S. Iseni, A. Schmidt-Bleker, J. Winter et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2014.

- Vol. 47, N 15. - P. 152001.

124 Van Gaens, W. Plasma chemistry modelling of an atmospheric pressure argon plasma jet with air impurities for plasma medicine applications : gnc. - University of Antwerp, 2014.

125 Bogaerts, A. Hybrid Monte Carlo—Fluid model for studying the effects of nitrogen addition to argon glow discharges / A. Bogaerts // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. - 2009. - Vol. 64, N 2. - P. 126-140.

126 Bogaerts, A. Effects of oxygen addition to argon glow discharges: A hybrid Monte Carlo-fluid modeling investigation / A. Bogaerts // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. - 2009. - Vol. 64, N 11-12. - P. 1266-1279.

127 Komuro, A. Behaviour of OH radicals in an atmospheric-pressure streamer discharge studied by two-dimensional numerical simulation/ A. Komuro, R. Ono, T. Oda // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2013. - Vol. 46, N 17. - P. 175206.

128 Ono, R. Dynamics of ozone and OH radicals generated by pulsed corona discharge in humid-air flow reactor measured by laser spectroscopy / R. Ono, T. Oda // Journal of applied physics. - 2003. - Vol. 93, N 10. - P. 5876-5882.

129 Gaens, W.V. Reaction pathways of biomedically active species in an Ar plasma jet / W. V. Gaens, A. Bogaerts // Plasma Sources Science and Technology. - 2014.

- Vol. 23, N 3. - P. 035015.

130 Gaens, W. V. Numerical analysis of the effect of nitrogen and oxygen mixtures on the chemistry of an argon plasma jet operating at atmospheric pressure / W. V. Gaens, S. Iseni, A. Schmidt-Bleker et al. // New Journal of Physics. - 2015. - Vol. 17, N 3. - P. 033003.

131 Bhoj, A. N. Continuous processing of polymers in repetitively pulsed atmospheric pressure discharges with moving surfaces and gas flow / A. N. Bhoj, M. J. Kushner // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2007. - Vol. 40, N 22. - P. 6953.

132 Akishev, Yu. Studies on cold plasma-polymer surface interaction by example of PP-and PET-films / Yu. Akishev, M. Grushin, N. Dyatko et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. - 2008. - Vol. 41, N 23. - P. 235203.

133 Технические характеристики трафаретных сеток SAATI HIBOND Plus. 2 с. URL:

http://volgaofpoly.ru/files/pdf/trafaretnye setki saati/Saati%20Saatilene%20HIB 0ND%20Plus.pdf (дата обращения: 25.05.16).

134 Иванов, Ю. А. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии / Ю. А. Иванов, Ю. А. Лебедев, Л. С. Полак. - М. : Наука, 1981. - 143 с.

135 Очкин, В. Н. Спектроскопия низкотемпературной плазмы. / В. Н. Очкин. - М. : Физматлит, 2006. - 472 с.

136 Радциг, А. А. Параметры атомов и молекул. Спр. / А. А. Радциг, Б. М. Смирнов. - М.: Энергоатомиздат, 1986. 344 с. 13.

137 Bobkova, E. S. Modeling chemical composition for an atmospheric pressure dc discharge in air with water cathode by 0-d model / E. S. Bobkova, S. A. Smirnov, Ya. V. Zalipaeva, V. V. Rybkin // Plasma chemistry and plasma processing. - 2014. - Vol. 34, N 4. - P. 721-743.

138 Diamy, A.-M.Experimental study and modelling of formation and decay of active species in an oxygen discharge / A.-M. Diamy, J.-C. Legrand, V. V. Rybkin, S. A. Smirnov // Contributions to Plasma Physics. - 2005. - Vol. 45, N 1. - P. 5-21.

139 Krimm, S. Infrared Spectra of High Polymers / S. Krim // Fortschritte Der Hochpolymeren-Forschung. - Berlin: Springer Berlin Heidelberg, 1960. -P. 51-172.

140 ЗАО «Нанотехнология-МТД». Nova. Программное обеспечение для СЗМ. Справочное руководство. - Москва, Август, 6. РМГ 83-2007. - 120 с.

141 Бузов, Б. А. Материаловедение швейного производства / Б. А. Бузов, Т. А. Модестова, Н. Д. Алыменкова. - 4-е изд., перераб. и доп. - М.: Легпромбытиздат, 1986. - 424 с.

142 ГОСТ 3816 - 1981. Полотна текстильные. Методы определения гигроскопических и водоотталкивающих свойств. М., 1981, 13 с. URL: http://vsegost.com/Catalog/39/39613.shtml (дата обращения: 25.05.16).

143 Василькин, Д. П. Воздействие низкотемпературной плазмы аргона и его смесей с кислородом на пленку полиэтилентерефталата / Д. П. Василькин, С. А. Смирнов // Всероссийская с международным участием молодежная научно -практическая конференция «Физика, техника и технология сложных систем» (2230 апреля 2019 г., Ярославль). - 2019. - С. 13.

144 Van Os, M. T. Surface Modification by plasma polymerization: film deposition, tailoring of surface properties and biocampability / M. T. van Os. - Print Partners Ipskamp, Enschede, The Netherlands. 2000. - Chap. 2. - pp. 5-14.

145 Кувалдина, Е. В. Эффект загрузки при травлении пленки полипропилена в плазме азота / Е. В. Кувалдина // Электронная обработка материалов. - 2010. - № 2. - С. 61-66.

146 Кувалдина, Е. В. Эффект загрузки при травлении ткани из волокон полиэтилентерефталата в плазме воздуха / Е. В. Кувалдина // Электронная обработка материалов. - 2008. - № 2. - С. 60-66.

147 Кувалдина, Е. В. Эффект загрузки при травлении ткани из монофиломентных нитей полиэтилентерефталата в плазме кислорода / Е. В. Кувалдина // Электронная обработка материалов. - 2009. - № 1. - С. 48-53.

148 Титов, В. А. Газообразные продукты взаимодействия плазмы аргона с полиарамидом и полиэтилентерефталатом / В. А. Титов. Т. Г. Шикова, С. А. Смирнов и др. // Известия Высших Учебных Заведений. Серия «Химия и химическая технология». - 2016. - Т. 59, № 7. - С. 61-67.

149 Василькин, Д. П. Влияние площади обрабатываемого материала на эффекты модифицирования полиэфирной пленки и ткани в плазме аргона / Д. П. Василькин, Т. Г. Шикова, В. А. Титов, С. А. Смирнов, Л. А. Кузьмичева //

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VIII Всероссийская (с международным участием) научно -техническая конференция: сборник статей. Казань: Отечество. - 2017. - С. 365-368.

150 Vasilkin, D. P. Influence the loading effect on modification of PET film and fiber by Argon Plasma // D. P. Vasilkin, T. G. Shikova, V. A. Titov et al. / Journal of Physics: Conference Series. - IOP Publishing, 2017. - N 789. - P. 012068.

151 Смирнов, С. А. Влияние газообразных продуктов гетерогенных реакций на параметры плазмы аргона / С. А. Смирнов, В. А. Титов, Т. Г. Шикова и др. // Прикладная физика. - 2016. - № 4. - С. 43-48.

152 Василькин, Д. П. Некоторые особенности модифицирования поверхности ПЭТФ-ткани в плазме пониженного давления в аргоне / Д. П. Василькин, Т. Г. Шикова, Л. А. Кузьмичева, В. А. Титов // Сборник тезисов докладов XLIV Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу (13-17 февраля 2017 г.). - 2017. - С. 235.

153 Смирнов, С. А. Влияние газообразных продуктов плазменного травления полипропилена на параметры тлеющего разряда постоянного тока в аргоне / С. А. Смирнов, В. А. Титов, Д. П. Василькин // Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. - 2019. - Т. 1. - № 10. - С. 321-325.

154 Smith, A. L. S. Dissociation mechanism in pulsed and continuous C02 lasers / A. L. S. Smith, J. M. Austin // Journal of Physics D: Applied Physics. - 1974. - Vol. 7, N 2. - P. 314-322.

155 Bedjanian, Y. Reaction of 0(3P) with C3H6: Yield of the Reaction Products as a Function of Temperature // Y. Bedjanian, J. Morin / The Journal of Physical Chemistry A. - 2017. - Vol. 121, N 8. - С. 1553-1562.

156 Leonori, F. Experimental and theoretical studies on the dynamics of the 0(3P) + propene reaction: primary products, branching ratios, and role of intersystem crossing // F. Leonori, N. Balucani, V. Nevrly et al. /The Journal of Physical Chemistry C. - 2015. - Vol. 119, N 26. - P. 14632-14652.

157 Sabbah, H. Understanding reactivity at very low temperatures: The reactions of oxygen atoms with alkenes // H. Sabbah, L. Biennier, I. R. Sims et al. / Science. -2007. - Vol. 317, N 5834. - P. 102-105.

158 Cvetanovic, R. J. Evaluated chemical kinetic data for the reactions of atomic oxygen O (3P) with unsaturated hydrocarbons // R. J. Cvetanovic / Journal of physical and chemical reference data. - 1987. - Vol. 16, N 2. - P. 261-326.

159 Kurylo, M. J. Absolute rate constants for the addition of O(3P) atoms to propylene // M. J. Kurylo / Chemical Physics Letters. - 1972. - Vol. 14, N 1. - P. 117120.

160 Cavallotti, C. Relevance of the channel leading to formaldehyde+ triplet ethylidene in the O(3P) + propene reaction under combustion conditions // C. Cavallotti, F. Leonori, N. Balucani et al. / The journal of physical chemistry letters. - 2014. - Vol. 5, N 23. - P. 4213-4218.

161 Stuhl, F. Determination of Rate Constants for Reactions of O Atoms with C2H2, C2D2, C2H4, and C3H6 Using a Pulsed Vacuum-uv Photolysis—Chemiluminescent Method // F. Stuhl, H. Niki / The Journal of Chemical Physics. - 1971. - Vol. 55, N 8. -P. 3954-3957.

162 Atkinson, R. Kinetics and mechanisms of the gas-phase reactions of the hydroxyl radical with organic compounds // R. Atkinson / Journal of Physical and Chemical. - 1989.

163 Nip, W. S. Rates of OH radical reactions. VI. Reactions with C3H6, 1-C4H8 and 1-C5H10 at 297 K // W. S. Nip, G. Paraskevopoulos / The Journal of Chemical Physics. -1979. - Vol. 71, N 5. - P. 2170-2174.

164 Ravishankara, A. R. A kinetics study of the reactions of OH with several aromatic and olefinic compounds // A. R. Ravishankara, S. Wagner, S. Fischer et al. / International Journal of Chemical Kinetics. - 1978. - Vol. 10, N 8. - P. 783-804.

165 Hoyermann, K. Die Reaktion von OH-Radikalen mit Propen: I. Bestimmung der Primärprodukte bei niedrigen Drücken // K. Hoyermann, R. Sievert / Berichte der Bunsengesellschaft für physikalische Chemie. - 1979. - Vol. 83, N 9. - P. 933-939.

166 Loison, J.-C. Gas-phase kinetics of hydroxyl radical reactions with C3H6 and C4H8: product branching ratios and OH addition site-specificity // J.-C. Loison, J. Daranlot, A. Bergeat et al. / The Journal of Physical Chemistry A. - 2010. - Vol. 114, N 51. - P. 13326-13336.

167 Baulch, D. L.Evaluated kinetic data for combustion modelling // D. L. Baulch, C. J. Cobos, R. A. Cox et al. / Journal of Physical and Chemical Reference Data. - 1992. - Vol. 21, N 3. - P. 411-734.

168 Jasper, A. W. Kinetics of the reaction of methyl radical with hydroxyl radical and methanol decomposition // A. W. Jasper, J. Klippenstein, L. B. Harding, B. Ruscic / The Journal of Physical Chemistry A. - 2007. - Vol. 111, N 19. - P. 3932-3950.

169. Dyke, J. M. The first ionization potential of the formyl radical, HCO (X2 A'), studied using photoelectron spectroscopy // J. M. Dyke, N. B. H. Jonathan, A. Morris, M. J. Winter / Molecular Physics. - 1980. - Vol. 39, N 3. - P. 629-636.

170 Ohno, K. Penning ionization of HCHO, CH2CH2, and CH2CHCHO by collision with He (23S) metastable atoms // K. Ohno, K. Okamura, H. Yamakado et al. / The Journal of Physical Chemistry. - 1995. - Vol. 99, N 39. - P. 14247-14253.

171 Curtiss, L. A. Energies of CH2OH, CH3O, and related compounds // L. A. Curtiss, L. D. Kock, J. A. Pople / The Journal of chemical physics. - 1991. - Vol. 95, N 6. - P. 4040-4043.

172 Yamakado, H. Penning ionization of CH3OH, (CH3>O, and (CH3CH2>O by collision with He*(23S) metastable atoms // H. Yamakado, M. Yamauchi, Sh. Hoshino, K. Ohno / The Journal of Physical Chemistry. - 1995. - Vol. 99, N 47. - P. 17093-17099.

173 Rayne, S. Estimated adiabatic ionization energies for organic compounds using the Gaussian-4 (G4) and W1BD theoretical methods // S. Rayne, K. Forest / Journal of Chemical & Engineering Data. - 2011. - Vol. 56, N 2. - P. 350-355.

174 Holmes, J. L. Ionization energies of homologous organic compounds and correlation with molecular size // J. L. Holmes, F. P. Lossing / Organic mass spectrometry. - 1991. - Vol. 26, N 6. - P. 537-541.

175 Cohen S.G., Streitwieser A., Taft R. W. (ed.). Progress in Physical Organic Chemistry. - John Wiley & Sons, 1963. - Vol. 1.

176 Herzberg, G. The ionization potential of CH2 // G. Herzberg / Canadian Journal of Physics. - 1961. - Vol. 39, N 10. - P. 1511-1513.

177 Vasilkin, D. P. Modification of polypropylene in the afterglow of the atmospheric pressure discharges in air and argon / D. P. Vasilkin, T. G. Shikova, V. A. Titov et al. // Journal of Physics: Conference Series. - IOP Publishing, 2017. - N 927. -P. 012072.

178 Василькин, Д. П. Модифицирование полипропилена в послесвечении разрядов атмосферного давления в воздухе и аргоне / Д. П. Василькин, Т. Г. Шикова, В. А. Титов, С. А. Смирнов, Н. С. Хомякова // Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" ФНТП-2017: сборник тезисов, - Казань: Изд-во "Отечество". - 2017. - С. 178.

179 Василькин, Д. П. Влияние параметров разряда атмосферного давления в воздухе и аргоне на результаты модифицирования полипропилена / Д. П. Василькин, С. А. Смирнов, Т. Г. Шикова // VIII Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (10-15 сентября 2018 г., Иваново, Россия): сборник трудов. - Иван. гос. хим.-технол. ун-т. - Иваново, 2018. - С. 99.

180 Vasilkin, D. P. The Influence of DC discharge afterglow treatment on poly (ethylene terephthalate) surface properties / D. P. Vasilkin, T. G. Shikova, S. A. Smirnov, D. I. Nikitin // Journal of Physics: Conference Series. - IOP Publishing, 2019. -N 1328.

- P. 012010.

181 Василькин, Д. П. Модифицирование полиэтилентерефталата в послесвечении разряда атмосферного давления в воздухе и аргоне / Д. П. Василькин, С. А. Смирнов, Т. Г. Шикова, Д. И. Никитин // VIII Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (10-15 сентября 2018 г., Иваново, Россия): сборник трудов. - Иван. гос. хим.-технол. ун-т. - Иваново, 2018.

- С. 98.

182 Хомякова, Н. С. Влияние обработки в послесвечении разряда атмосферного давления на смачиваемость пленок полипропилена / Н. С. Хомякова, Д. П. Василькин, Т. Г. Шикова // Актуальные вопросы естествознания: материалы II Межвузовской научно-практической конференции, Иваново, 12 апреля 2017 года

(сост.: Н. Е. Егорова). - Иваново: Ивановская пожарно-спасательная академия ГПС МЧС России. - 2017. - С. 14-17.

183 Adams, J. H. Analysis of the nonvolatile oxidation products of polypropylene I. Thermal oxidation / J. H. Adams // Journal of Polymer Science Part A-1: Polymer Chemistry. - 1970. - Vol. 8, N 5. - P. 1077-1090.

184 Pianca, M. End groups in fluoropolymers / M. Pianca, E. Barchiesi, G. Esposto, S. Radice // Journal of Fluorine Chemistry. - 1999. - Vol. 95, N 1-2. - P. 71-84.

185 Василькин, Д. П. Влияние обработки в послесвечении разряда постоянного тока на поверхностные свойства полиэтилентерефталата / Д. П. Василькин, Т. Г. Шикова, Д. И. Никитин // Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. X юбилейная Международная научно-техническая конференция: сборник статей. Казань: Отечество. - 2018. - С. 78-82.

186 Brann., M. R. Reaction Kinetics and Influence of Film Morphology on the Oxidation of Propene Thin Films by 0(3P) Atomic Oxygen / M. R. Brann, R. S. Thompson, S. J. Sibener // The Journal of Physical Chemistry C. - 2020. - Vol. 124, N 13. - P. 7205-7215.

187 Kondeti, V. S. S. K. O-, H-, and OH- radical etching probability of polystyrene obtained for a radio frequency driven atmospheric pressure plasma jet / V. S. S. K. Kondeti, Ya. Zheng, 0. Luan et al. // Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. - 2020. - Vol. 38, N 3. - P. 033012.

188 Lai, C.-C. A study on the influence of gas mixtures on the property of plasma-activated water / C.-C. Lai, Y. X. Deng, Y. H. Liao // Plasma Processes and Polymers. -2020. - Vol. 17, N 2. - P. 1900196.

189 Василькин, Д. П. Моделирование процессов в плазме атмосферного давления в аргоне / Д. П. Василькин, С. А. Смирнов, Т. Г. Шикова // 2-я международная конференция «Проблемы термоядерной энергетики и плазменные технологии» (7-9 октября 2019 г., Москва, Россия). - 2019. - С. 49.

190 Василькин, Д. П. Влияние окружающего воздуха на процессы, протекающие в разряде атмосферного давления в аргоне / Д. П. Василькин, С. А. Смирнов, Т. Г. Шикова // 62-ая Всероссийская научная конференция МФТИ «Электроника, фотоника и молекулярная физика». (18-24 ноября 2019 г., Долгопрудный, Россия). - 2019. - С. 96.

191 Василькин, Д. П. Физико-химические закономерности модифицирования полиэтилентерефталата и полипропилена плазмой аргона и его смесей с кислородом / Д. П. Василькин, С. А. Смирнов // IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (13-17 сентября 2021 г., Иваново, Россия): сборник трудов. - Иван. гос. хим.-технол. ун-т. - Иваново, 2021. - С. 94.

192 Смирнов, С. А. Влияние внешних факторов на параметры низкотемпературной плазмы при обработке в ней полимерных материалов / С. А. Смирнов, В. А. Титов, В. В. Рыбкин // Российский химический журнал. - 2013. - Т. 57, № 3-4. - С. 52-59.

193 Gonzalez, E. Ring opening of aromatic polymers by remote atmospheric-pressure plasma / E. Gonzalez, M. D. Barankin, P. C. Guschi, R. F. Hicks // IEEE transactions on plasma science. - 2009. - Vol. 37, N 6. - P. 823-831.