Физико-химические закономерности формирования поверхностных оксидных слоев на сплавах алюминия и титана тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат технических наук Лысова, Елена Константиновна

  • Лысова, Елена Константиновна
  • кандидат технических науккандидат технических наук
  • 2007, Нижний Новгород
  • Специальность ВАК РФ02.00.04
  • Количество страниц 132
Лысова, Елена Константиновна. Физико-химические закономерности формирования поверхностных оксидных слоев на сплавах алюминия и титана: дис. кандидат технических наук: 02.00.04 - Физическая химия. Нижний Новгород. 2007. 132 с.

Оглавление диссертации кандидат технических наук Лысова, Елена Константиновна

Введение.

1 Литературный обзор.

1.1 Механизм образования поверхностных оксидных слоев на сплавах алюминия и титана.

1.1.1 Граница раздела металл-электролит.

1.1.2 Теории формирования и роста поверхностных оксидных слоев на сплавах при анодировании.

1.1.3 Особенности роста поверхностных оксидных слоев на металлах и сплавах при микродуговом оксидировании.

1.2 Способы формирования поверхностных оксидных слоев на сплавах алюминия и титана.

1.3 Существующие методы утилизации отработанных электролитов анодирования и полирования.

2 Методика эксперимента.

2.1 Методики исследования анализа состояния границы раздела: фаз электролит - воздух, электролит-сплав в исходном и аноднополяризованном состоянии.

2.2 Методы исследования физико-химических свойств поверхностных оксидных слоев.

2.3 Условия проведения процессов микродугового оксидирования, анодирования и полирования сплавов.

2.4 Методы исследования электроизоляционных и износостойких свойств поверхностных оксидных слоев.

2.5 Математическое планирование эксперимента при оптимизации составов растворов и режимов процессов.

3 Экспериментальные данные и их обсуждение.

3.1. Поверхностные явления на границах раздела фаз электролит-воздух, электролит-сплав в исходном состоянии.

3.2. Установление фазового состава и физико-химических свойств поверхностных оксидных слоев, формируемых при анодной и химической обработке.88.

3.3. Влияние природы легирующих компонентов сплавов и технологических факторов процессов обработки на свойства поверхностных оксидных слоев.

4 Технологии анодирования, микродугового оксидирования и полирования сплавов алюминия и титана.

5 Выводы.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Физическая химия», 02.00.04 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-химические закономерности формирования поверхностных оксидных слоев на сплавах алюминия и титана»

Алюминий, титан и их сплавы благодаря своим замечательным физико-химическим свойствам являются перспективными материалами в различных отраслях промышленности (машино-, приборостроении и др.). Титан находит разнообразное применение в аэронавтике, бумажной промышленности, медицине [1]. Алюминий широко применяется в микроэлектронике, оптике, мембранной технике и различных датчиках [2]. Однако сплавы алюминия и титана имеют ряд недостатков: низкий модуль упругости, невысокая износостойкость, недостаточная коррозионная стойкость (для алюминиевых сплавов). Их устранение возможно применением технологий, формирующих на поверхности сплавов защитный слой [3,4]. Применительно к выбранным сплавам, одним из вариантов таких слоев являются оксидные, которые могут обладать повышенными электроизоляционными характеристиками, большими значениями твердости и электрохимического потенциала. Направленный синтез поверхностных оксидных слоев заданного состава и кристаллической структуры необходим для создания новых материалов.

Для расширения возможностей функционального использования сплавов алюминия и титана необходимо глубокое изучение их поверхностных оксидных слоев с привлечением различных физических методов кинетики их роста и образования ячеисто-пористой структуры, а также возможных изменений состава [2].

Требования современного производства: экономичность, экологичность, высокое качество покрытий требуют разработки новых технологий для получения оксидных слоев с заданными функциональными характеристиками и, в первую очередь, комплексного решения использования новых металлоизделий и конструкционных материалов.

Сегодня существует не один способ получения функциональных поверхностных оксидных слоев: химическое оксидирование, анодирование, микродуговое оксидирование. Но не на всех сплавах, в частности титановых

ВТ9, ВТ16 они позволяют получить покрытие с требуемыми характеристиками (высокая коррозионная стойкость, твердость, высокое сопротивление изоляции, напряжение пробоя).

Один из них дает только надежную защиту от коррозии, но не обеспечивает таких функциональных свойств поверхности как электроизоляционное сопротивление, напряжение пробоя. Другой метод не позволяет получить нужную твердость или прочность поверхностного оксидного слоя, но дает высокие значения удельного сопротивления порядка 109-1011 Ом-см.

С целью расширения области практической реализации металлов и сплавов применяют различные способы поверхностной обработки.

Определяющим фактором в выборе технологий также являются энергетические затраты и срок окупаемости технологического процесса. Так как вопросам экономики всегда уделялось большое внимание при разработке технологий для получения заданных функциональных покрытий, то и сегодня этот вопрос остается одним из актуальных.

Сегодня, имея опыт предыдущих лет [4,5] и результаты новых научных исследований [6-11], стоит задача разработать ресурсосберегающие и экологически малоопасные технологии получения оксидных покрытий на сплавах алюминия и титана.

Предыдущие разработки получения защитных оксидных покрытий отработаны, в основном, на технически чистых алюминии (АДО, АД1) и титане (ВТ1-0).

Сегодняшние тенденции развития машино-, авиа- и приборостроения прослеживаются в использовании новых технологических конструкционных материалов, не на основе технически чистых металлов, а их сплавов, содержащих различные легирующие компоненты.

И поэтому главной задачей на сегодняшний день стоит разработка модифицированных технологий для получения оксидных покрытий с заданными функциональными характеристиками на сплавах алюминия (АМц, Д16) и титана (ВТ6, ВТ9, ВТ16), что и определило цель данной работы.

В настоящее время известны многие варианты составов электролитов и режимов процессов для анодного оксидирования технически чистого алюминия (АДО, АД1) и титана (ВТ1-0) [12,13]. Однако, алюминиевые (АМц, Д16) и титановые (ВТ6, ВТ9) сплавы, содержащие различные легирующие компоненты, зачастую обрабатываются в этих электролитах без достижения требуемых функциональных свойств поверхностных оксидных слоев.

Оксидные покрытия, сформированные на алюминиевых сплавах по наиболее распространённым в практике технологиям [12], отличаются невысокой термостойкостью и могут растрескиваться при тепловых воздействиях, как в процессе изготовления корпусов РЭА, печатных плат, так и при пайке на них радиокомпонентов [8, 9].

Менее широкое промышленное использование нашло анодное оксидирование титановых сплавов ВТ6, ВТ9, ВТ 16, которые широко применяются в настоящее время в авиа-, судо-, автомобилестроении, радиоэлектронной, медицинской и других отраслях промышленности [1,2]. Показано [8,9], что указанные сплавы перспективны как материал для изготовления лопаток газотурбинных двигателей и компрессоров газоперекачивающих аппаратов взамен менее надежных и недолговечных стальных.

Для расширения возможностей функционального использования поверхностных оксидных слоев на алюминиевых и титановых сплавах, необходимо изучение их свойств и кинетики роста, а также возможных изменений состава поверхностных оксидных слоев в зависимости от легирующих компонентов в обрабатываемом сплаве.

Малоизученным, но очень перспективным методом синтеза функциональных поверхностных оксидных слоев является метод микродугового оксидирования (МДО), при котором на поверхности детали протекает множество кратковременных микродуговых разрядов. Такие микроразряды приводят к разложению электролита с образованием атомарного кислорода. Последний, диффузионно внедряясь в поверхностный слой металла, приводит к его окислению [10].

Микродуговое оксидирование (МДО) с получением коррозионностойких оксидных покрытий на пищевом алюминии АД00, технически чистом АД1 и сплаве АМгЗ внедрено в медицине, машиностроении, текстильной, радиоэлектронной промышленности и при изготовлении товаров бытового назначения [4].

Однако МДО не обеспечивает на сегодняшний день требуемых функциональных свойств поверхностных оксидных слоев на таких сплавах алюминия и титана, как: АМц, Д16, ВТ6, ВТ9, ВТ16, широко используемых в современных производствах.

Наличие отдельных легирующих компонентов в составе этих сплавов (например, марганца в сплаве АМц или молибдена и ванадия в сплавах ВТ9, ВТ 16), возможно, позволило бы в широких пределах изменять химический, фазовый состав и, следовательно, физико-химические свойства поверхностных оксидных слоев на этих сплавах и тем самым повысить их функциональность. Поэтому актуальной задачей современного производства является необходимость модификации электролитов микродугового оксидирования для этих сплавов.

Для достижения требуемых функциональных свойств поверхности деталей зачастую перед нанесением защитных покрытий необходимо удаление внешнего, некондиционного слоя металла, достигаемого в процессах химического (ХП) и электрохимического (ЭХП) полирования.

Эти способы обработки поверхности часто конкурируют с механическим полированием, при использовании которого поверхность остается в напряженном состоянии: верхние слои кристаллической решетки металла деформируются, разрушаются и частично оплавляются. Кроме того, большинство электрополированных бракованных деталей могут быть повторно подвергнуты процессу ЭХП, дефекты механической полировки устранить сложнее.

Широкое внедрение химического и электрохимического полирования в промышленности сдерживается рядом недостатков, присущих полировочным растворам. Многие из них обладают низкой технологичностью: малой устойчивостью и работоспособностью, необходимостью эксплуатации при л повышенных плотностях тока (свыше 100 А/дм ) и температурах (353-393 К), продолжительностью процесса, токсичностью и трудностью обезвреживания, большими объемами сбросов.

Целью настоящей работы является:

1. Изучение природы химического, электрохимичекого, микродугового оксидирования и полирования, осуществляемых на ряде сплавов алюминия и титана.

2. Установление фазового состава и физико-химических свойств поверхностных оксидных слоев на сплавах алюминия и титана в зависимости от состава электролита, сплава и способа его обработки.

3. Разработка технологий анодирования, микродугового оксидирования и химического полирования сплавов алюминия АМц, Д16 и титана ВТ6, ВТ9 и ВТ16 на основе физико-химических закономерностей.

4. Оптимизация составов электролитов и режимов анодирования, микродугового оксидирования и химического полирования сплавов алюминия и титана с целью получения износостойких, коррозионностойких и электроизоляционных поверхностных слоев.

Постановка задачи данного исследования включает:

1. Подбор и модификацию электролитов для химической, электрохимической и микродуговой обработки алюминиевых (АМг, Д16) и титановых сплавов (ВТ6, ВТ9, ВТ 16) с целью достижения ряда функциональных свойств поверхности деталей.

2. Исследование поверхностных явлений на границах раздела фаз воздух-раствор и раствор-сплав в исходном и аноднополяризованном состоянии.

3. Исследование природы влияния компонентов модифицированных электролитов на характеристики оксидных пленок на поверхности обработанных сплавов.

4. Оптимизацию составов и режимов исследуемых процессов с целью создания ресурсосберегающих технологий для конкретных производств машино-, и приборостроения.

5. Продление сроков службы электролитов и утилизацию отработанных растворов с рекуперацией ценных компонентов.

1 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

Похожие диссертационные работы по специальности «Физическая химия», 02.00.04 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Лысова, Елена Константиновна

5. ВЫВОДЫ

Проведенные исследования в данной работе позволили сделать следующие выводы:

1. Установлено, что физико-химические свойства поверхностных оксидных слоев, формируемых при анодной и химической обработке на сплавах алюминия и титана, определяются легирующими компонентами в сплавах, внедрение которых в оксидный слои сказывается на его фазовом составе, структуре и проводимости.

2. Установлено, что повышение электроизоляционных свойств поверхности сплавов достигается введением в щавелевокислый и борноборатный электролиты ремантадина, адамантана и его фторпроизводных, которые адсорбируются на исходной и анодно поляризованной поверхности сплавов и могут включаться в состав формирующихся оксидных слоев.

3. Показано, что наибольшее повышение износостойкости оксидных покрытий на сплавах алюминия АМц и Д16 достигается методом микродугового оксидирования в щелочном и боратном электролитах.

4. Разработаны технологические процессы анодирования, микродугового оксидирования и химического полирования алюминиевых (АМц, Д16) и титановых (ВТ6, ВТ9, ВТ 16) сплавов для производств авиа- и приборостроения, обеспечивающие придание поверхности деталей комплекса функциональных свойств (повышение износостойкости, коррозонной стойкости, электроизоляционных свойств, сглаживание микронеровностей и отсутствие микродеформаций поверхности).

5. Внедрены в эксплуатацию технологии подготовки поверхности лопаток газотурбинных двигателей из титановых сплавов (Нф ИМАШ РАН, Н.Новгород, 2003), обработки изделий радиоизмерительной аппаратуры из алюминиевых сплавов (ОАО ГЗАС Н.Новгород, 2003) и получения износостойких покрытий на сплавах алюминия (ООО Турботех, Н. Новгород, 2006).

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Лысова, Елена Константиновна, 2007 год

1. Н.Ибрис. // Электрохимия. 2003. Т. 39. №4. С. 476-479.

2. Анодные оксидные пленки. Одынец JI. JL, Орлов В. М. JL: Наука, 1990.

3. Электрохимия вентильных металлов. Байрачный Б. И., Андрющенко Ф. К.-X.: Вища шк. Изд-во при Харьк. ун-те, 1985. 144 с.

4. Оксидирование алюминия и его сплавов. Шрейдер А.В. М.: Гос.науч.-техн. изд-во лит-ры по черной и цветной мет., 1960. - 287с.

5. Анодные оксидные покрытия на легких сплавах. Францевич И.Н., Лавренкин В.А., Пилянкевич А.Н. и др.- Киев: «Наукова думка», 1977. 267с.

6. Тарасенко Ю.П., Романов И.Г., Чмыхов А.А. и др.// Физика и химия обраб. материалов. 1998. №4. С.49.

7. Копылов А.А., Палеева С.Я., Стяжкин В.А. и др.// Защита металлов. 1999. Т.35 №2. С.219

8. Федорова Е.А., Кузнецова Т.А., Флеров В.Н. // Журн. прикл. химии. 1998. Т.71. №8. С.1311.

9. Федорова Е.А., Сучков А.И., Царева И.Н. и др. // Физика и химия обработки материалов. 2000. №1. С.63.

10. Получение покрытий анодно-искровым электролизом. Черненко В.И., Снежко JI.A., Папанова И.И.- Л.: Химия, 1991.-196с.

11. Козлов Н.Г., Дикусар Е.А., Поткин В.И. // Журн. прикл. химии. 2003. Т. 76. Вып. 1.С. 107-110.

12. Яковлева Н. М., Яковлев А. Н., Денисов А. И. // Исследовано в России. 2003. С. 673-680.

13. Васильева М.С., Руднев B.C., Тырина Л.М. и др. // Журн. прикл. химии. 2002. Т. 75. Вып. 4. С. 583-586.

14. Антропов Л. И. Теоретическая электрохимия. М.: Высш. шк., 1975. - 457с.

15. Кабанов Б. Н. Электрохимия металлов и адсорбция. -М.: Наука, 1966.-343 с.

16. Колотыркин Я. М. О стационарных потенциалах саморастворяющихся металлов в кислых растворах. Журн. физ. химии, 1951, т. 25, вып. 10, с. 1248 -1257.

17. Юнг JI. Анодные оксидные пленки. JL: Энергия, 1967. - 232 с.

18. Дель'Ока С. Дж., Пулфри Д. Л., Янг Л. Анодные оксидные пленки. В кн.: Физика тонких пленок.- М., 1973, т. 6, с. 7-96.

19. Vermilyea D. A. On mechanism of electrolytic rectification.- J. Appl Phys., 1963. 110, No. 4, p. 250-263.

20. Закгейм Л. H. Электролитические конденсаторы. М.: Госэнергоиздат, 1963.-283 с.

21. Мотт Н., Девис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. -М.: Мир, 1974.414 с.

22. Жаке П. Электролитическое и химическое полирование. М., Металлургиздат, 1959. - 139 с.

23. Шаталов А. Я. Кинетика анодного оксидирования вентильных металлов.-Изв. северокавк. науч. центра. Техн. науки, 1974, №2, с. 38-44.

24. Гюнтершульце А., Бетц Г. Электролитические конденсаторы.- М.: Оборонгиз, 1938.-200 с.

25. Богоявленский А. Ф. О механизмах образования анодной оксидной пленки на алюминии. В кн.: Анодная защита металлов. М., 1964, с. 22-35.

26. Богоявленский А. Ф. О механизмах образования анодно- оксисных покрытий на алюминии. Журн. прикл. химии, 1972, т. 45, вып. 3, с. 682-685.

27. Изменение величины рН в приэлектродном слое при оксидировании ниобия и алюминия / Б. И. Байрачный, Ф. К. Андрющенко, Л. В. Ляшок и др. Журн. прикл. химии, 1979, т. 52, вып. 4, с. 870-878.

28. Иконописов С. М., Андреева Л. В. Кинетика вольтстатического анодирования. Электрохимия, 1971, т. 7., вып. 11, с. 1698 - 1701.

29. Дамаскин Б. Б., Петрий О. А. Введение в электрохимическую кинетику. -М.: Высш. шк., 1975.-416 с.

30. Нечаев Е. А. Адсорбция ионов на окислах. Журн. физ. химии, 1974, т. 48, вып. 9, с. 2309-2314.

31. Лучинский Г. П. Химия титана. -М.: Химия, 1971.-471 с.

32. Угай Я. А., Василевская М. А. Закономерности спада тока при анодном оксидировании металлов в вольтстатическом режиме. Воронеж, 1977. — 15 с.— Рукопись деп. В ВИНИТИ, № 658-77 Деп.

33. Васько А.П., Ковач С. К. Полиповерхностный механизм окисления тугоплаких металлов в водных растворах: Тез. докл. К.: Наук, думка, 1980.-27с.

34. О.Н.Дунькин, А.П. Ефремов, Б.Л.Крит, В.Б. Людин, С.В.Семенов, И.В. Суминов, А.В. Эпельфельд. Физика и химия обработки материалов. 2000. №2. с. 49-53.

35. Белов В.Т. Развитие взглядов на состав и строение анодного оксида алюминия / В. Т. Белов // ЖПХ, 1974. Т.67, вып. 11. с. 2420-2423.

36. Практика микродугового оксидирования изделий из титановых и алюминиевых сплавов. // Вопр. материаловед. 1998, №1. - С. 40-42,82.

37. Саакиян Л.С., Ефремов А.П., Эпельфельд А.В. Физико-химическая механика материалов. 1986.Т.22,№6.с.92-94.

38. Модестов А. Д., Давыдов А. Д. // Электрохимия. 2000. Т. 36. №10. С. 12841292.

39. Микродуговое оксидирование. Определение физических и "эксплуатационных свойств. М.: Москва. МАИ, 2005.

40. Суминов И.В. Микродуговоке оксидированеи. Теория, технология, оборудование. / И.В. Суминов, А.В. Эпельфельд, В.Б.Людин, Б.Л.Крит, A.M. Борисов. М.: ЭКОМЕТ, 2005.368 с.

41. Саакиян Л.С., Ефремов А.П., Эпельфельд А.В., Харитонов Б.В., Людин В.Б. Влияние режимов микродугового оксидирования на защитные свойства формируемых покрытий // «3ащита-93». Москва, 1992. т.1, ч.2, с. 225.

42. Черненко В.И. Получение покрытий анодно-искровым электролизом / В.И. Черненко., А.А. Снежко, И.И. Поталова//Л.: Химия, 1991. 142 с.

43. Эпельфельд А.В., Людин В.Б., Дунькин О.В., Невская О.С. Известия АН. Серия Физическая.-2000. Т.64. №4. с. 759-762.

44. Гюнтершульце А. Электролитические конденсаторы. / А. Гюнтершульце, Г. Бетц. М.: Оборонгиз, 1938. 200с.

45. Эпельфельд А.В. Микродуговое оксидирование // Ресурсо-энергосберегающие и наукоемкие технологии в машино- и приборостроении. Нальчик, 1991. С. 47-48.

46. Саакиян Л.С., Ефремов А.П., Эпельфельд А.В., Корытный Е.Ф., Попов В.А. Физико-химическая механика материалов. 1987. Т.23, №6. с. 88-90.

47. Николаев А.В., Марков Г.А., Песщевицкий Б.И. Новое явление в электролизе // Изв. СО АН СССР, Сер. хим. наук. 1977. Вып. 5, №12. С. 32-33.

48. Марков Г.А. Электрохимическое окисление алюминия при катодной поляризации / Г.А. Марков, О.П. Терлеева, Е.Л. Шуленко. // Изв. СО АН СССР, Сер. хим. наук-М.: 1983. Т. 7. с. 31-34.

49. Марков Г.А. Белеванцев В.И., Слонова А.И., Терлеева О.П. Электрохимия. 1989. Т.25, Вып. 11. с. 1473- 1479.

50. Жуков М.Ф., Дандарон Г.М., Замбалаев Б.И., Федотов В.А. Исследование иоверхностных разрядов в электролите // Изв. СО АН СССР, Сер. тех. наук. 1984. Вып. 1. №4. с. 100-104.

51. Залялетдинов И.К., Пазухин Ю.Б., Эпельфельд А.В. Модификация поверхности потоками ионов в электролитной плазме // «Поверхностный слой, точность, эксплуатационные свойства и надежность деталей машин и приборов». М.:, 1989. с. 82-85.

52. Богоявленский А.Ф. Труды Казанского авиационного ин-та. 1972, вып. 148. с. 7-9.

53. Угай Я.А. Введение в химию полупроводников / Я.А. Угай. М.: Высшая школа 1975.251 с.

54. Борбат В.Ф. Вестник Омского университета, 1997. с. 37-39.

55. Камкин A.M. Защита металлов, 1999. Т.35. с. 157-161.

56. Гуревич Ю.Я. Фотоэлектрохимия полупроводников./ Ю.Я. Гуревич.- М. Наука, 1983. с. 311.

57. Модестов А.Д. Электрохимия, 2000. Т.36. с. 1284-2000.

58. Паносян Ж.Р. РЖ Электрохимия, 1988. Т.24, с. 142.

59. Федорова Е.А. Состояние поверхностных анодных оксидных пленок на алюминиевых и титановых сплавах.

60. В.Ф. Сурганов. // Электрохимия. 1996. Т. 32. №5. С. 616-620.

61. Гордиенко П.С., Гнеденков С.В., Хрисанфова О.А. // Электронная обработка материалов. 1990. №5. с. 32-35.

62. Долговесова И.П., Баковед В.В., Никифорова Г.Л. и др. // Защита металлов. 1987. №4. С. 699-702.

63. Федорова Е.А., Лысова Е.К.Влияние органических соединений на электроизоляционные свойства анодных оксидных пленок на титановых сплавах ВТ9 и ВТ16 // Известия вузов. Сер. Химия и хим. технология. 2006. Т. 49. №4. С.111-112.

64. Томашов Н.Д. Толстослойное анодирование алюминия и его сплавов./ Н.Д. Томашов, М.Н. Тюкина, Ф.П. Заливалов. М.: Машиностроение, 1968. 156с.

65. Богоявленский А.Ф. О механизме образования анодной окисной пленки на алюминии / А.Ф. Богоявленский // Сб. Анодная защита металлов. М.: Машиностроение, 1968. 156 с.

66. Баковец В.В. Плазменно-электролитическая андная обработка металлов / В.В. Баковец, О.В. Поляков, И.П. Долговесова / Новосибирск: Наука, Сибирское отд. РАН, 1991.168 с.

67. Мамаев А.И., Чеканова Ю.Ю., Рамазанова Ж.М. Параметры импульсных микроплазменных процессов на алюминии и его сплавах // Защита металлов. 2000. Т.36, №6, с. 659-662.

68. Лысова Е.К., Федорова Е.А. Модификация электролитов оксидирования алюминиевых сплавов // Современная электротехнология в промышленности России: Сб. трудов Всерос. научно-практ. конф. 12-15 октября 2004 / ТулГу. Тула, 2004,- С. 64-68.

69. Ерохин А.Л., Лейланд А., Мзттьюз А., и др. // 7 Междунар. Фрумкинский симпозиум «Фундаментальная электрохимия и электрохимическая технология», Москва, 23-28 окт., 2000: Тез. докл. Ч. 2. М.: Изд-во Ин-та электрохимии РАН. 2000, с. 496.

70. Ibris N., Rosea J. С. М. // J. Electrochemic. Soc. 2002. V. 526. P. 53.

71. Gnedenkov S. V., Gordienko P. S., Sinebrukhov S. L. // Corrosion. 2000. №1(56). P. 24.

72. Кудина E. Ф., Тюрина С. И., Кушнеров Д. Н. // Материалы, технологии, инструменты. 2002. Т. 7. №3. С. 73-77.

73. Лысова Е.К., Федорова Е.А., Понявин М.В. // Выбор материала оснований для формирования гибридных интегральных микросхем и технологий их обработки. // Физика и химия обработки материалов. 2006. №3 с.

74. Лысова Е.К., Казимирова О.В., Федорова Е.А. Формирование гибридных -штегральных микросхем на анодированных алюминиевых основаниях. // Физика и химия обработки материалов. 2006. №4 с.

75. Пат. 2023767 Россия, МКИ5 С25 F3/16. Раствор для электрохимического полирования металлов / Г.Д. Шабанов, А.Г. Тюменцев (Россия).- Заявл. 25.06.90, № 483551/26; Опубл. 13.10.94.

76. Вашкевич Е.В., Юрашевич Н.Я., Козлов Н.Г. и др. // Журн. прикл. химии. 2001. Т. 74. Вып. И. С. 1833-1839.

77. Камкин А.Н., Буханько Н.Г., Глухов Л.М. // Электрохимия. 2002. Т. 38. №10. С. 1223-1228.

78. Фармакология адамантанов. Морозов И.С., Петров В.И., Сергеева С.А. // Волгоград: Изд-во Волгоград, мед. акад., 2001. 320с.

79. Микродуговое оксидирование титана и его сплавов. Гордиенко П.С., Гнеденков С.В. Владивосток: Дальнаука, 1997. 170с.

80. Руднев B.C., Яровая Т.П., Богута Д.Л. и др. // Электрохимия. 2000. Т. 36. №12. С. 1457-1462.

81. Атрощенко B.C., Розен А.Е., Голованова Н.В. и др. // Известия высших учебных заведений. Черная металлургия. 1999. С. 36-39.

82. Ibris N., RoseaМ. //J. Electroanal. Chem. 2002. V. 526. P. 53.

83. Blackwood D. J. // Electrochim. Acta. 2000. V. 46. P. 563.

84. Yu S. Y., Scully J. R., Vitus С. M. //J. Electrochemic. Soc. 2001. V. 146. P. 68.

85. Будницкая Ю.Ю., Мамаев А.И., Мамаева B.A. и др. // Перспективные материалы. 2002. №3. С. 48-55.

86. Электрохимическое формирование покрытий на алюминии и его сплавах при потенциалах искрения и пробоя. Гордиенко П.С., Руднев B.C. Владивосток: Дальненаука. 1999. 233с.

87. Чеканова Ю.Ю., Рамазанова Ж.М. Мамаев А.И. // Тезисы докл. конф. "Физическая мезомеханика материалов". Томск. 1998. с.71-72.

88. Севастьянов В.И. // Перспективные материалы. 1997. №4. с. 56-60.

89. Чернышев В.В., Гриднев А.Е., Кораблин Л.Н. // Проблемы химии и химической технологии: Материалы докл. 9 Регион, научно-техн. конф., хамбов, 23-25 мая, 2001. / Тамбов: Изд-во ТамбГУ. 2001, с 115-117.

90. Химия титана. Лучинский Г.П. М.: Химия. 1971. 472с.

91. Колеватов В.В. // Тез. докл. Междунар. Научно-техн. конф. «Состояние и перспективы развития электротехнологии». (10 Бенардосовские чтения), Иваново, 6-8 июня, 2001. Т. 1. / Иваново: Изд-во ИГЭУ. 2001, с.9.

92. Гнеденков С.В., Синебрюхов С.Л., Гордиенко П.С. // Вестн. ДВО РАН. 2002, №3, с. 21-39.

93. Грилихес С.Я. Электрохимическое и химическое полирование: Теория и практика. Влияние на свойства металлов.-Л.: Машиностроение, 1987. 208 с.

94. Сумм Б.Д., Горюнов Ю.В. Физико-химические основы смачивания и растекания.- М.:Химия, 1976.- 232с.

95. Диссертация Федоровой Е.А.

96. Дамаскин Б.Б., Петрий О.А. Электрохимия.- М.: ВШ.- 1987.- С. 248-250.

97. Лазарев В.Ф., Суханова М.С., Левин А.И. К вопросу о механизме анодного растворения алюминия // Электрохимия.- 1975.- т.11, № 5.- С.840.

98. Гонтмахер К.М., Григорьев В.П. и др. Электрохимическое поведение алюминия и сплава Al-Mg-Hg-Zn в водных и метанол ьных растворах LiCl // Электрохимия.- 1984.- т.20, № 20.- С. 265-268.

99. Коттон Ф., Уилкинсон Д. Современная неорганическая химия.-М.: Мир.-1969, т.П.- С.209.

100. Красиков И.В. Керамические материалы для подложек ГИС // Электронная обработка материалов. 1987, №6. С. 67-75.

101. Лысова Е.К., Федорова Е.А. Модификация электролитов анодирования алюминиевых и титановых сплавов. // Тезисы доклада, 5-ый Международный научно-практический семинар, Иваново. 2005год

102. Лекарственные средства. Машковский М.Д. М.: Новая волна, 2001. Т. 1. 540с. Т.2. 608с.

103. Севидова В. К., Степанова И. И. // Электронная обработка материалов. 2002. №5. С. 14-17.

104. Иванов Г. К., Кошкина Н. А. Пат. 2188875 Россия, МПК 7 С 23 С 8/02. едер. гос. унитар. предприятие «Звездочка». № 99112254/02; Заявл. 04.06.99.публ. 10.09.2002. Рус.

105. Бобринецкий И. И., Неволин В. К., Рощин В. М. и др. // Микросистемные технологии. 2001. №11. С. 42-45.

106. Малкин В.П. Обезвреживание промышленных сточных вод термическим методом / Экология и промышленность России. 2003.

107. Виноградов С.С. Экологически безопасное гальваническое производство. М.: Производственно-издательское предприятие «Глобус», 1998.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.