Физико-химические процессы в кислород-аргоновой плазме тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат физико-математических наук Иванов, Александр Николаевич

• Иванов, Александр Николаевич
• кандидат физико-математических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Иванов, Александр Николаевич

ВВЕДЕНИЕ.

Научная новизна.

ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.

1.1. Общий подход к анализу процессов в неравновесной плазме.

1.2. Активные частицы плазмы кислорода.

1.2.1. Молекулы кислорода в основном состоянии 02(Х3 Sg"), колебательно-возбужденные молекулы кислорода 02(X3Zg~, V).

1.2.2. Атомы кислорода в основном состоянии 0( Р), возбужденные атомы в метастабилъных состояниях 0(,D)u0(1S).

1.2.3. Возбужденные молекулы в метастабилъных состояниях 02(a'Ag) и 02(b'Zg+).

1.2.4. Ионы. Механизм ионизации.

1.3. Активные частицы плазмы аргона.

1.4. Исследования плазмы смесей кислород-аргон.

ГЛАВА 2. МЕТОДИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ.

2.1. Экспериментальная установка.

2.2. Измерение электрофизических характеристик плазмы.

2.3. Методика измерений интенсивностей линий и полос.

2.4. Определение температуры газа.

ГЛАВА 3. МОДЕЛЬ НЕРАВНОВЕСНОЙ ПЛАЗМЫ СМЕСИ ГАЗОВ АРГОН - КИСЛОРОД И ЕЕ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКОЕ

СОДЕРЖАНИЕ.

ЗЛ. Подсистема электронного газа. Уравнение Больцмана и метод его решения.

3.2. Подсистема колебательной кинетики. Уравнения колебательной кинетики для Ог(Х Eg-) и метод их решения.

3.3. Подсистема химических процессов.

3.4. Алгоритм решения уравнений модели.

ГЛАВА 4. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НЕРАВНОВЕСНОЙ ПЛАЗМЫ СМЕСИ ГАЗОВ АРГОН -КИСЛОРОД.

4.1. Обоснование экспериментальных характеристик для проверки модели и варьируемых параметров.

4.2. Результаты расчетов и экспериментов.

4.3. Потоки активных частиц на стенку реактора.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-химические процессы в кислород-аргоновой плазме»

Актуальность проблемы. Специфический характер воздействия низкотемпературной плазмы па различные материалы определил ее широкое применение для решения различных технологических задач и в практике научных исследований. Эта специфика заключается в сочетании высокой химической активности с низкой газовой температурой, что делает плазму привлекательным инструментом для воздействия на относительно нестойкие материалы, такие, например, как полимеры. Дополнительным преимуществом плазменного воздействия является то, что оно редко затрагивает глубииы, превышающие несколько микрометров, сохраняя объемные свойства материала без изменений. Таким образом, плазменная обработка фактически превращает полимер в новый композиционный материал.

В области технологического использования "холодной" плазмы сложилась такая ситуация, когда значительный накопленный объем экспериментальных фактов позволяет делать качественные прогнозы относительно результатов воздействия плазмы на самые разные материалы, и даже подбирать приемлемые условия проведения этих процессов. Уже созданы образцы промышленного оборудования и реализованы отдельные технологии модифицирования различных полимерных и текстильных материалов. Очевидно, что выбираемые таким образом режимы далеки от оптимальных. Построение же теории процессов в неравновесной плазме осложнено тем, что плазма, как самоорганизующаяся система, не является независимым и контролируемым с помощью внешних параметров источником активных частиц, а целевой плазменный процесс всегда является многостадийным и многоканальным.

На сегодняшний день ситуация в области исследований взаимодействий плазма-материал характеризуется тем, что инженерные разработки и практическая реализация опережают фундаментальные исследования, посвященные пониманию механизмов физико-химических процессов, что не позволяет оптимизировать уже имеющиеся процессы и целенаправленно создавать новые. Причины этого связаны, во-первых, со сложностью объекта исследований -неравновесной системой, действующей на поверхность большим набором потенциально-возможных химически активных компонентов, которые могут приводить к самым разнообразным превращениям, во-вторых, с тем, что эта система является самосогласованной, то есть физические характеристики плазмы, определяющие ее химическую активность, сами зависят от инициированных ею химических превращений.

Плазма смеси аргон-кислород представляет интерес с той точки зрения, что, используя разные составы смеси, можно ожидать разной комбинации воздействия на обрабатываемый материал как физических факторов, свойственных для плазмы Аг, так и химических факторов, свойственных для плазмы СЬ.

В связи с этим, выяснение механизмов протекающих в такой системе процессов, а также выявление взаимосвязи между химическими свойствами и физическими свойствами плазмы является актуальной задачей.

Основной цслыо данной работы являлась разработка модели неравновесной плазмы смсси газов кислород-аргон в широком интервале составов и внешних параметров, которая позволила бы рассчитывать самосогласованно, как химические свойства, так и физические параметры плазмы.

Решение этой задачи подразумевает:

1) выяснение процессов, формирующих энергетическое распределение электронов в плазме;

2) установление механизмов образования и гибели заряженных и нейтральных (включая возбужденные) частиц плазмы;

3) анализ источников нагрева газа;

4) экспериментальное определение параметров плазмы, которые позволяют подтвердить надежность предложенной модели

Научная новизна

Впервые разработана самосогласованная модель неравновесной плазмы смеси газов кислород-аргон, основанная на совместном решении уравнения Больцмапа, уравнений колебательной и химической кинетики, расчеты по которой не противоречат экспериментальным данным. В рамках этой модели выявлены, объяснены и проанализированы следующие свойства плазмы.

1. Механизмы формирования неравновесной функции распределения электронов и ее изменений при изменении состава плазмы.

2. Процессы поддержания разряда, то есть механизм образования и гибели зарядов, заключающийся в переходе от ступенчатой ионизации 4-х нижних возбужденных состояний аргона электронным ударом к ионизации прямым электронным ударом молекул СЬСХ), Ог(А) и атомов о

0( Р) с гибелью зарядов, контролируемой амбиполярпой диффузией с влиянием на нее отрицательных ионов. Следствием такого механизма является рост приведенной напряженности электрического поля при переходе от плазмы Аг к плазме СЬ.

3. Источники теплового нагрева газа. Рост содержания СЬ сопровождается увеличением удельной мощности, вкладываемой в плазму, и росту ее доли, переходящей в тепло в объеме.

4. Механизмы диссоциации молекул кислорода. Как и для плазмы чистого СЬ это распад электронных состояний молекулы СЬ, сходящихся к 1-му и 2-му пределам диссоциации, возбуждаемых электронным ударом из основного состояния СЬ(Х). Гибель атомов 0( Р)3 гетерогенная рекомбинация на стенках реактора с вероятностью 2x10" .

5. Процессы образования и гибели некоторых возбужденных состояний атомов кислорода. Показано, что - тушение нижних о т -J | возбужденных состояний аргона . Р2, Pi, Ро, Pi приводит к образованию возбужденных атомов 0(3р Р) с последующим переводом энергии этого возбуждения в УФ излучение плазмы.

6. Механизмы формирования распределения молекул СЬ(Х) по колебательным уровням. Обнаружено, что из-за преобладания процессов V-T обмена при столкновениях с атомами над процессами V-V обмена заселенности колебательных уровней Ог(Х) оказываются низкими, и участием колебательно-возбужденных молекул в реакциях можно пренебрегать.

Данная работа выполнена при поддержке гранта РФФИ, проект № 0402-17525.

Практическая значимость работы. Результаты расчетов по данной модели позволяют определить параметры плазмы, при которых можно получить требуемый состав активных агентов плазмы, необходимый для реализации того или иного режима обработки материала. Полученные результаты могут быть также использованы для создания моделей плазмы и других смесей газов, содержащих аргон и кислород.

Апробация работы и публикации. Результаты работы опубликованы в 2 статьях в журналах списка ВАК и 4 трудах симпозиумов. Основные положения, результаты и выводы докладывались и обсуждались на 3, 4 и 5-ом Международном симпозиуме по теоретической и прикладной плазмохимии (ISTAPC) 2002, 2005, 2008 г., Иваново, Россия.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, 4 глав, выводов и библиографии. Общий объем диссертации составляет 105 страниц, включая 7 таблиц и 29 рисунков. Список литературы содержит 100 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Иванов, Александр Николаевич

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

Таким образом, полученные экспериментальные данные в сочетании с результатами моделирования указывают на тесную взаимосвязь физических и химических процессов и позволяют сделать следующие выводы.

1. Увеличение содержания кислорода при фиксированных внешних параметрах разряда:

А) Приводит к росту приведенной напряженности электрического поля. Этот рост обусловлен рядом факторов. Во-первых, происходит увеличение потерь эиергии электронами при их столкновении с молекулами и атомами кислорода по сравнению с потерями при столкновении с атомами аргона, и переход от ступенчатой ионизации нижних возбужденных состояний аргона к ионизации атомов и молекул кислорода в основном и первом мегастабильном состояниях. Во-вторых, увеличивается частота диффузионной гибели зарядов, обусловленной уменьшением плотности газа и ростом относительной концентрации отрицательных ионов.

Б) Приводит к росту температуры газа благодаря росту удельной мощности разряда и доли этой мощности, переводимой в тепло в объеме плазмы из-за тепла химических реакций и процессов V-T релаксации колебательно-возбужденных молекул 02(Х). В) Обусловливает экстремальную зависимость разных частей ФРЭЭ из-за роста E/N с одной стороны и изменения химического состава с другой. Следствием этого являются экстремальные зависимости констант скоростей процессов с участием электронов.

2. Образование метастабильных атомов аргона не влияет па механизм диссоциации молекул кислорода. Как и в плазме чистого 02, это возбуждение электронным ударом состояний, сходящихся к 1-му и 2-му пределам диссоциации с последующим их распадом на атомы, которые гибнут гетерогенно на стенках реактора. Тушение этих атомов атомарным кислородом конвертирует их энергию в энергию УФ излучения.

3. Заселенности колебательных уровней молекул 02(Х) являются низкими из-за высокой частоты процессов V-T релаксации с участием атомов кислорода. Поэтому их влиянием па химические процессы можно пренебрегать, но эти процессы существенны в тепловом балансе плазмы.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Иванов, Александр Николаевич, 2009 год

1. Шляпников Ю.А., Кирюшкин С.Г., Марьин А.П. Антиокислительнаястабилизация полимеров// М.: Химия, 1986.- 256 с.

2. Lefebre M.,Pealat М., Taran J.P. Diagnostic of plasmas by CARS (coherent anti-Stokes Raman scattering)// Pure and Appl. Chem.-1992.-V.64.-№5.-P.685-689.

3. Kiefer J.Ii. Effect of V-V transfer on the rate of diatomic dissociation// J.

4. Chem. Phys.-1972.-V.57, №5.-P. 1938-1956.

5. Cacciatore M., Capitelli M., Dilonardo M. Non equilibrium vibrationalpopulation and dissociation rates of oxygen in electrical discharge: The role of atoms and of the recombination process// Beitr. Plasmaphys.-1978.-Bd.18, H.5.- S.279- 299.

6. Sergeev P.A., Slovetsky D.J. Vibrationally excited molecules and mechanism of chemical and physical processes in nonequilibrium plasmas// J.Chem.Phys.-1983.- V.75, № 2,- P.231-241.

7. Бессараб А.Б. Самосогласованный анализ физико-химических процессов в плазме кислорода: Дисс. на соиск. уч. степени канд. хим. паук.- Иваново, ИГХТА, 1996.- 177с.

8. Gousset G., Panafieu P., Touzea U.M., Vialle M. Experimental study of

9. DC oxygen glow discharge by V.U.V. absorption spectroscope// Plasma Chem. Plasma Proc.- 1987.- v.7, № 4,- P.409-427.о

10. Golub M.A., Wydeven T. Reactions of atomic oxygen (0( P)) with variouspolymer films// Polym. Degrad. and Stabil.-1988.-V.22, № 4.-P. 325-338.

11. Moss S.J. Polymer degradation in reactive gasplasmas// Polym. Degrad. and Stab.- 1987.-V. 17, №.- P. 205-222.

12. Editto F.D. Plasma etching and modification of organic polymers// Pure and Appl. Chem.-1990.-V.62, № 9.-P. 1699-1708.

13. Rundle H.W., Gullespu K.A., Jelland R.M., Sova R., Deckers J.M. Chemical reactions in electrical discharges. III. The positive column in DC glow discharges through oxygen.// Canad. J. Chem.-1966.-V.44, № 24.-P. 2995-3007.

14. Пенкин H.ll., Смирнов В.В., Цыгир О.Д. Исследование оптических и электрокипетических характеристик разряда в кислороде// V. Всесоюзп. копф. По физике низкотемпературной плазмы. Тез. докл. Киев.-1979- Т.2- С. 456.

15. Costa M.D., Zuliani P.A., Deckers J.M. Chemical reactions in glow discharge// Canad. J. Chem.- 1979.-V.57, № 5.- P. 568-579.

16. Басевич B.A., Когарко C.M. Выход атомов кислорода в разрядной трубке// ЖФХ.- 1969- Т.43, № 9.- С.2381.

17. Sabadil Н., Biborosch L., Koebe D. Zur Dissociation in der Gleichstromglimmentladung// Beitr. Plasmaphys.- 1975.- Bd. 15, H.6.-S.319-332.

18. Hermoch V. On the radial distribution of atoms in on oxygen glow discharge// Proc. 13-th Conf. Phenom. Ionized. Gas. Berlin 1977. Contr. Paper.Part I. Leipzig.- 1977.- P.251-252.

19. Бровикова И.Н., Максимов А.И. Исследование диссоциации двухатомных молекул в плазме тлеющего разряда методом ЭПР// III Всесоюзп. симпозиум по плазмохимии. М.: Наука.- 1979- С. 17-20.

20. Гриневич В.И., Максимов А.И., Рыбкин В.В. Концентрация электронов, 02(b Eg ) и О Р в кислородном разряде пониженного давления//ЖФХ.- 1982.-Т.56, № 5.-С. 1279-1280.

21. Бровикова И.Н., Рыбкин В.В. Температурная зависимость вероятности гетерогенной рекомбинации атомов О Р на поверхности кварцевого стекла// ХВЭ.- 1993.- Т.27, № 4,- С. 89-92.

22. Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. The experimental and theoretical investigation of low pressure DC discharge in pure oxygen// Proc. of ESCAMPIG 96. Poprad, Slovakia, August 27-30, 1996-Topic 3.-P. 167-168.

23. Рыбкин В.В. Процессы возбуждения и ионизации в кислородной плазме пониженного давления: Дисс. на соиск. ученой степени канд. хим. наук.- М., ИНХС АН СССР, 1982.- 209с.

24. Бровикова И.Н. Диссоциация неорганических молекул и рекомбииация атомов в неравновесной газоразрядной плазме: Дисс. на соиск. ученой степени канд. хим. наук.- Иваново, ИХТИ, 1980.-161с.

25. Gousset G., Trousseau M., Vial M., Ferreira C.M. Kinetic model of dc oxygen glow discharge// Plasma Chem. and Plasma Proc.-1989-V.9, № 2.- P. 189-206.

26. Клоповский K.C., Попов A.M., Рахимов A.T., Рахимова T.B., Феоктистов В.А. Самосогласованная модель ВЧ разряда низкого давления в кислородной плазме// Физика плазмы.- 1993.- Т. 19, В.7.-С.910- 918.

27. Захаров Л.И., Клоповский К.С., Осипов А.П., Попов A.M., Половичева О.Б., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Соколов А.П. Кинетика процессов, возбужденных объемным, самостоятельным разрядом в кислороде// Физика плазмы.- 1988.-Т.14, В.З.- С.327-323.

28. Бровикова И.П., Рыбкин В.В., Бессараб А.Б., Шукуров А.Л. Кинетические характеристики диссоциации молекул кислорода в положительном столбе разряда постоянного тока//Химия высоких энергий.-1997,-Т.31 ,№2.-С. 146-148

29. Бровикова И.Н., Шукуров А.Л. Исследование гетерогенных процессов в плазме 02 методом ЭГ1Р// 2-ой Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. Материалы симпозиума. Иваново 1995.-С. 120-121.

30. Антонов Е.Е., Попомаревнч В.И. Измерение коэффициента гетерогенной рекомбинации свободных атомов кислорода0(JP) наповерхности молибденового стекла// Химическая физика.- 1990.-Т.9, №12,-С. 1697-1701.

31. Хворостовская Л.Э., Янковский В.Я. Экспериментальное исследование процессов с участием метастабильных атомов и молекул в тлеющем разряде в кислороде// Химическая физика.-1984.- Т., №11.- С. 1561-1571.

32. Янковский В.Я., Хворостовская Л.Э. Роль конкурирующихпроцессов атмосферной земной эмиссии Аг=557,7 им OI атомами1 1 0( Р) и молекулами 02(а Ag) // Фотохимические процессы земнойатмосферы. Под ред. И.К. Ларина. М.: Наука.- 1990.- С. 82-85.

33. Жаров В.А., Соловьева О.Н. Особенности воздействия тлеющего разряда на поверхность полимеров// Электронная обработка материалов.-1986.-№ 5.- С. 49-51.

34. Diamy А.-М., Legrand J.-С., Rybkin V.V., Smirnov S.A. Experimental Study and Modelling of Formation and Decay of Active Species in an Oxygen Discharge // Contrib. Plasma Phys. 2005. V.45. № 1. P.5.

35. Ferreira С.М., Gousset G., Pinheiro M.J. Kinetic modeling of low-pressure microwave discharge experiments// Proc. of Int. Workshop

36. Microwave Plasma and its Applications. 5-8 Sept. 1994.- Zvenigorod.-Moscow. Phys. Soc.- 1995.- P. 153-171.

37. Herron J.T., Schiff li.J. A mass spectrometric study of normal oxygen and oxygen subjected to electrical discharge// Canad. J. Chem.-1958.-V.36, №5.- P.l 159-1170.

38. Foner S.N., Hudson R.R. Metastable oxygen molecules producted by electrical discharges// J.Chem. Phys.- 1956.- V.25, № 3.- P.601-602.

39. Burrow P.D. Dissociative attachment from the 02(a' Ag) state// J.Chem.Phys.- 1973.-V.59, № 9.-P.4922-4931.

40. Fehsenfeld F.C., Albritton D.L., Burt J.A., Schiff H.J. Associative-detachment reactions of O" and 02" by O^a'Ag) // Canad.J.Chem. -1969.-V.47,№10.- P.l793-1795.

41. Boisse-Lapoile, Granier A., Matos- Ferreira C., Gousset G., Maree J., Toizeau M., Vialle M. Diagnostics et modelization des descharges daus I' oxygen// Rev. Int. Ilautes Temper. Refract., Fr.-1989.-V.25, № 3.-P.l67-186.

42. Максимов А.И., Рыбкин В.В. Реакции образования и гибели метастабильпого состояния 02 (b'Sg4) в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде // ЖПС-1982- Т.37, в.1.- С.33-38.

43. Морозов И.И., Темчин С.М., Кинетика реакций синглетного кислорода в газовой фазе. Химия плазмы. Сб. статей. Вып. 16 / Под ред. Смирнова Б.М. М.: Эпергоатомиздат, 1990. С.39.

44. Клоповский К.С., Ковалев К.С., Лопаев Д.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В. О роли колебательно-возбужденного озона в образовании синглетного кислорода в кислородно-азотной плазме// Физика плазмы 1992.- Т.18, В.2.- С. 1606-1616.

45. Kirulo M.J., Brawn W., Kalder A. Infrared laser enhanced reactions chemistry of vibrationally excited 03 with NO and 02('Ag) // J.Photochem.-1974.-V. 13,№ 1.- P.71 -87.

46. Шарпина Л.В. Разработка эффективных методов плазменной активации текстильных материалов.- Дисс. на соиск. ученой степени канд. хим. наук, Иваново, ИХТИ, 1990, 191с.

47. Рыбкин В.В., Бессараб А.Б., Максимов А.И. Анализ источников нагрева газа в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Теплофизика высоких температур.-1996.-Т.34,№2.-С.181-186.

48. Дерюгин А.А., Словецкий В.И. Моделирование механизма химических реакций в тлеющем разряде в смеси тетрафторметапа с кислородом// ХВЭ.- 1983.-Т.17, № 4,- С.358-364.

49. Рыбкин В.В., Бсссараб А.Б., Максимов А.И. Численное моделирование положительного столба тлеющего разряда в кислороде// Теплофизика высоких температур.- 1995.- Т.32, №2.-С.185-190.

50. Ferreira С.М., Gousset G. A consistent model of the low-pressure oxygen positive column//J.Appl.Phys.-1991.-V.24, №5.-P.775-778.

51. Ferreira C.M., Gousset G., Touzeau M. Quasi-neutral theory of positive columns in electronegative gases // J.Appl.Phys.-1988.-V.21, №9.-P.1403-1413.

52. Brederlow G. Massenspectrometrische Untersuchungen der aus der positiven Saule von Sauerstoff glimmentladungen effundierenden und extrahierten Ladungstrager// Ann.Phys.-1960.-Bd.5, F.7, FI.7-8.-S.414-428.

53. Keren IT., Avivi P., Dothan F. Positive ion mass spectra of glow discharge in oxygen // Phys.Lett.-1976.-V.56 A, №2.- P.85-86.

54. Thomson J.B. Electron energy distribution in plasmas. IY. Oxygen and nitrogen // Proc.Roy.Soc. -1961 .-A 262.-P.503-518.

55. Knewstub P.F., Dawson P.M., Tickner A.W. Mass spectrometry of ions in glow discharge. Y. Oxygen // J.Chem.Phys.-1963.-V.38, №4.-P.1031-1032.

56. Winstanley Lunt R., Gregg ATI. The occurence of negative ions in the glow discharge through oxygen and other gases // Trans.Faraday Soc.-1940.-V.36.-P. 1062-1073.

57. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме// М.:Наука,1980- 310 С

58. Ferreira C.M., Loureiro J. Electron transport parameters and excitation rates in argon//J. Phys. D: Appl. Phys.-1983.-V.16.-P. 1611-1621.

59. Ferreira C.M., Loureiro J. Electron energy distribution and excitation rates in high-frequency argon discharges// J. Phys. D: Appl. Phys.-1983.-V.16.-P.2471-2483.

60. Ferreira C.M., Loureiro J. Characteristics of high-frequency and direct-current argon discharges at low pressure: a comparative analysis// J. Phys. D: Appl. Phys.-1984.-V. 17.-P. 1175-1188.

61. Ferreira C.M., Loureiro J., Ricard A. Populations in the metastable and resonance levels of argon and stepwise ionization effects in a low-pressure argon positive column// J. Phys. D: Appl. Phys.-1985.-V.57.-P.82-90.

62. Карулина E.B., Лебедев Ю.А. О соотношении характеристик плазмы неравновесных самостоятельных разрядов СВЧ и постоянного тока // Г1лазмохимия-91. М.: ИЫХС АН СССР.-1991 .-С.7-44.

63. Иванов Ю.А, Рытова Н.М, Солдагова И.В, Тимакип B.II, Эпштейн И.Л. Активные частицы в гетерогенных реакциях в тлеющих разрядах в смесях инертных газов с водородом и метаном// Плазмохимия-91.М.: ИЫХС АН СССР, 1991, С.172-208.

64. Байсова Б.Т., Струнин В.И., Струпина Н.Н.,. Худайбергеиов Г.Ж Абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда// Журнал технической физики, -2003,-том 73, вып. 8.-С.31-33.

65. Takechi К, Lieberman М.А. Effect of Аг addition to an 02 plasma in inductively coupled, traveling wave driven, large area plasma source:02/Ar mixture plasma modeling and fotoresist etching // J. Appl. Phys. -2001. V.90. - P.3205-3211.

66. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии // М.: Наука.1981 .-143С.

67. Герцберг Г. Спектры и строение двухатомных молекул/ М.: Ипостр.лит-ра.- 1949,- 404С.

68. Русанов В.Д., Фридман А.А. Физика химически активной плазмы/ М.: Наука.- 1984.-С.78.

69. Таблицы физических величии: Спр. / Под ред. Кикоина И.К. М.: Атомиздат, 1976. С. 1005.

70. Noxon J.F. Optical emission from O('D) and OzCb'Sg4") in ultra violet photolysis of 02 and C02// J.Chem.Phys.- 1970.- V.52, №4.- P. 18521873.

71. Gilpin R., Schiff H.J., Welge K.H. Photodissociation of 03 in the Hartley band. Reaction of O('D) and O^bV) with 03 and 02// J.Chem.Phys.-1971.- V.55, № 3.- P.1087-1093.

72. Slanger T.G. Vibrational excitation of O^b'lg*) // Can.J.Phys.-1986.-V.64, №12.-P.1657-1663.

73. Burch D.E., Gryvnak D.A.Strengths, wigths and shapes of the oxygen lines near 13000 cm1 (7620 A0) // Appl.Optics.- 1979,- V.8, № 7,- P. 1493-1499.

74. Калиткин Н.Н. Численные методы. Главная редакция физико-математической литературы. М.: Наука.- 1978.-512 С.

75. Laher R.R., Gilmore F.R. Update excitation and ionization cross sections for electron impact on atomic oxygen // J.Phys.Chem.Ref.Data.-1990.-V.19, №1.- P.277-304

76. Puech V., Torchin L. Collision cross sections and electron swarm parameters in argon // J. Phys. D: Appl. Phys. 1986. V.19. № 12. P. 2309.

77. Физико-химические процессы в газовой динамике. Справочник. / Под ред. Г.Г. Черного и С.А. Лосева. М.: Изд. МГУ, 1995. Т.1. 350 с.

78. Физико-химические процессы в низкотемпературной плазме. Сб. статей/ Под ред Л.С. Полака. М.: ИНХС АН СССР, 1985, С.С.5-54

79. Гершензон Ю.М., Розенштейп В.Б., Уманский С.Я. Гетерогенная релаксация колебательной энергии молекул. Химия плазмы. Сб. статей. Вып.4 / Под ред. Смирнова Б.М. М.: Атомиздат, 1977. С.61.

80. Никитин Е.Е., Осипов И.Л., Уманский С.Я. Колебательно-поступательный обмен энергией при столкновении гомоядерных двухатомных молекул. Химия плазмы. Сб. статей. Вып. 15 / Под ред. Смирнова Б.М. М.: Энергоатомиздат, 1989. С.З.

81. Webster Н„ Bair E.J. Ozone Ultraviolet Photolysis. IV. 02*+0(3P) Vibrational Energy Transfer // J. Chem. Phys. 1972. V.56. P.6104-6108.

82. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Справочник по атомной и молекулярной физике М.: Атомиздат, 1980. 240 с.

83. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Параметры атомов и молекул. Справочник. М.: Энергоатомиздат, 1986. 344 с.

84. Смирнов Б.М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. М.: Атомиздат, 1974. 456 с.

85. Karoulina E.V., Lebedev Yu. A. Computer simulation of microwave and DC plasmas: comparative characterization of plasmas // J. Phys. D: Appl. Phys. 1992. V.25. № 3. P. 401.

86. Ivanov V.V., Klopovskii K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. Nonlocal Nature of the Electron Spectrum in a Glow-Discharge at Low Gas Pressure // Plasma Physics Reports. 2000. V. 26. № 11. P. 1046.

87. Смирнов Б.М. Физика слабоионизовапного газа. М.: Наука, 1978. 416 с.

88. Вайнштейн Л.А., Собельман И.И., Юков Е.А. Возбуждение атомов и уширение спектральных линий.-М.: Наука. Главная ред.физ.-мат. Лит-ры, 1979. 319 С.

89. Полак Л. С., Овсянников А. А., Словецкий В. И., Вурзель Ф. Б. Теоретическая и прикладная плазмохимия. М.: Наука, 1975. С.113.

90. Sabadil Н. Zum Mechanismus der homogen positive Saule der Sauerstoff-Niederdruckentladung // Beitr.Plasmaphys.-1971.-Hl 1, Bd 1.-S.53-66.

91. Мак-Даниэль И., Мэзон Э. Подвижность и диффузия ионов в газах/ М.: Мир.-1976. -422 С.

92. Veis P., Cernogora G., Magne L. A double pulse discharge techique for the study of oxygen recombination // Proc. of ESCAMPIG96. Poprad, Slovakia. 1996. August 27-30. — Topic 3. P.255.

93. Бровикова И. H., Рыбкин В. В., Бессараб А. Б., Шукуров А. Л. Кинетические характеристики диссоциации молекул кислорода в положительном столбе разряда постоянного тока // Химия высоких энергий. 1997. Т.31.№2. С.146.

94. Izod Т. P. J., Wayne R. P. The reaction and deactivation of 02(b1Zg+) // Proc. Roy. Soc.1968. A308. P.81.

95. Derwent R. G., Thrush B. A. Measurements on (VAg and 021Sg+ in discharge flow systems // Trans. Faraday Soc.1971. №7. P.2036.

96. Кувалдина E.B., Шикова Т.Г., Смирнов С.А., Рыбкин В.В. Поверхностное окисление и деградация полиэтилена в плазме смеси аргон-кислород // Химия высоких энергий.-2007.-Т.41,№4.-С.284-287.