Физико-химические основы комплексных процессов разделения и глубокой очистки газов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, доктор технических наук Воротынцев, Илья Владимирович

• Воротынцев, Илья Владимирович
• доктор технических наук
• 2011

Оглавление диссертации доктор технических наук Воротынцев, Илья Владимирович

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1 Физико-химические основы разделения газов.

1.1.1 Дистилляция.

1.1.2 Кристаллизация.

1.1.3 Фильтрация.

1.1.4 Мембранное газоразделение.

1.2 Мембранные методы разделения и очистки газов.

1.2.1 Мембранные процессы разделения и глубокой очистки газов.

1.2.2 Мембранные модули для разделения газов.

1.2.3 Гибридные мембранные методы разделения.

1.3 Дистилляционные методы глубокой очистки газов.

1.4 Кристаллизационные методы разделения и глубокой очистки газов.

1.5 Выбор и обоснование направления исследований.

ГЛАВА 2. МЕМБРАННОЕ РАЗДЕЛЕНИЕ ГАЗОВ,

ВЗАИМОДЕЙСТВУЮЩИХ С МАТЕРИАЛОМ МЕМБРАНЫ.

2.1 Проницаемость аммиака через полимерные газоразделительные мембраны.

2.2 Определение сорбционной составляющей в величине проницаемости аммиака и воды через ацетатцеллюлозную мембрану.

2.3 Расчет энтальпии сорбции из данных ОГХ и сравнение с экспериментальными калориметрическими измерениями.

2.4 ИК-спектрометрические исследования систем аммиак-ацетат целлюлозы и вода-ацетат целлюлозы.

ГЛАВА 3. МЕМБРАННЫЕ ГАЗОРАЗДЕЛИТЕЛЪНЫЕ МОДУЛИ.

3.1 Мембранный модуль с питающим резервуаром.

3.2 Однокомпрессорный многосекционный мембранный аппарат.

ГЛАВА 4. ГИБРИДНЫЕ СХЕМЫ РАЗДЕЛЕНИЯ ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ И ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ ГАЗОВ.

4.1 Ректификация при повышенном давлении.

4.2 Абсорбционная первапорация.

4.3 Низкотемпературная фильтрация.

ГЛАВА 5. КОМПЛЕКСНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СХЕМЫ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧИСТЫХ ГАЗОВ.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-химические основы комплексных процессов разделения и глубокой очистки газов»

В настоящее время в науке и технике огромную роль играют технологии разделения и очистки газов [1, 2]. Во многих отраслях химической и нефтехимической промышленности эти технологии необходимы для разделения газовых смесей, как в процессе синтеза и последующей очистки газов, так и при разделении природных воздушных и углеводородных газовых смесей. Следует также отметить важность развития малотоннажной, но играющей огромную роль в развитии высокотехнологичных секторов экономики, отрасли химической промышленности - технологии получения высокочистых веществ, где физико-химические методы разделения и глубокой очистки газов играют доминирующую роль в технологии их получения в высокочистом состоянии для микро- и наноэлектроники.

Для высокотехнологичных отраслей промышленности существенно расширен круг лимитирующих примесей и повышены необходимые уровни чистоты используемых газов [3], что требует разработки более эффективных комплексных технологий [4], сочетающих индивидуальные методы разделения в гибридно-комплексных технологических схемах разделения газовых смесей [5] и очистки газов.

Таким образом, инновационные разработки, направленные на повышение эффективности технологий разделения и глубокой очистки газов, снижение времени процесса и энергозатрат на его осуществление, имеют актуальное значение для развития современных отраслей промышленности.

Большой интерес для практической реализации представляют также методы разделения, обладающие низким уровнем энергопотребления, высокой промышленной и экологической безопасностью. К таким методам можно отнести мембранные методы разделения, которые характеризуются низкой энергоемкостью, простотой аппаратурного оформления, возможностью проведения процесса при комнатной температуре, легкостью изменения масштабов производства. Кроме того, разделительная способность одного мембранного модуля может варьироваться в широких пределах путем использования различных мембран, а также за счет варьирования физико-химических параметров процесса разделения при комплексных схемах его реализации.

Дополнительным резервом повышения эффективности физико-химических процессов разделения может быть более широкое использование гибридных схем разделения и глубокой очистки газов, в которых за счет совмещения нескольких методов в единой технологической схеме может происходить мультипликативное увеличение разделительного эффекта.

Таким образом, для разделения газовых смесей и глубокой очистки газов необходимо создание комплексных процессов, позволяющих получать индивидуальные газы с высоким уровнем чистоты при более низких временных и энергетических затратах за счет повышения их эффективности на основе проведенного физико-химического анализа процессов, а также повысить их экологическую и промышленную безопасность.

В связи с этим целью настоящей диссертационной работы является формирование принципов создания эффективных методов разделения и очистки газов при их сочетании в гибридно-комплексных технологических схемах получения высокочистых газов для опто-, микро- и наноэлектроники, включающих:

- экспериментальный и теоретический анализ сорбции газов в материале мембраны по данным метода обращенной газовой хроматографии, Фурье ИК-спектроскопии и дифференциальной калориметрии;

- определение механизма проницаемости газов, взаимодействующих с полимерной матрицей мембраны с образованием комплексов и кластерных образований в полимере;

- физико-химическую модель нового процесса разделения газов в мембранном модуле с питающим резервуаром и в однокомпрессорном многосекционном мембранном аппарате;

- физико-химическую модель разделения газовой смеси гибридным абсорбционно-мембранным методом - абсорбционной первапорацией;

- теоретический и экспериментальный анализ физико-химических основ процесса дистилляции и ректификации при повышенных температурах на примере оксида диазота;

- определение влияния физико-химических свойств основного и примесного компонентов на эффективность разделения процесса низкотемпературной кристаллизации и фильтрации газовой смеси в рамках созданной в настоящей работе физико-химической модели. Научная новизна настоящей диссертационной работы заключается в том, что были сформулированы физико-химические основы сочетания индивидуальных методов разделения и глубокой очистки газов в гибридно-комплексных технологиях при получении высокочистых газов для опто- и микроэлектроники, а именно:

- выявлены особенности трансмембранного переноса пенетрантов, активно взаимодействующих с полимерной матрицей мембраны, который основан на кооперативных эффектах кластерообразования и частичного растворения пенетранта в полимерной матрице мембраны;

- определены изотермы сорбции аммиака, воды, азота и водорода методом обращенной газовой хроматографии. Методом ИК-спектроскопии установлено наличие специфических взаимодействий ацетата целлюлозы с аммиаком и водой;

- рассчитаны параметры термических уравнений сорбции паров воды и аммиака. Определена энтальпия взаимодействия аммиака и воды с ацетатом целлюлозы методами обращенной газовой хроматографии и дифференциальной калориметрии;

- создана физико-химическая модель процесса глубокой очистки веществ от воды и ряда молекулярных примесей методами низкотемпературной кристаллизации и мембранной фильтрации;

- предложен подход для определения эффективности процесса ректификации в широком температурном интервале в процессе глубокой очистки газов, учитывающий влияние различных физико-химических параметров. Создана методология оптимизации процесса глубокой очистки методом ректификации в широком температурном интервале;

- впервые разработана физико-химическая модель процесса разделения бинарных газовых систем методом абсорбционной первапорации, показано влияние физико-химических и технологических параметров па эффективность процесса разделения;

- разработаны гибридные схемы разделения и глубокой очистки газов, что позволило создать эффективные технологии глубокой очистки газов и алгоритмы и применения для разделения и очистки N1-13, РН3, СН4, №3, СР4 и Ы20.

Практическая значимость настоящей диссертационной работы состоит в том, что решена крупная научная проблема - разработка физико-химических основ комплексных процессов разделения и глубокой очистки газов на основе дистилляционных, сорбционных, кристаллизационных и мембранных методов, сформулированы общие принципы рационального сочетания индивидуальных и гибридных методов при разделении и глубокой очистки газов, а также созданы технологии и отечественные производства высокочистых веществ для опто-, микро- и наноэлектроники, имеющие важное хозяйственно-экономические значение для инновационного развития высокотехнологичных секторов экономики.

Практическая значимость диссертационной работы состоит в том, что разработаны новые мембранные схемы разделения и глубокой очистки газов от легко- и труднопроникающих через мембрану примесей: мембранный модуль с питающим резервуаром и однокомпрессорный многосекционный мембранный аппарат. Предложены оригинальные комплексные схемы интенсификации традиционных дистилляционных, кристаллизационных и сорбционных методов разделения и глубокой очистки путем их сочетания с мембранными методами первапорация, фильтрация и мембранное газоразделение). Разработаны эффективные технологии для глубокой очистки аммиака, оксида диазота, фосфина, метана и тетрафторида углерода, и создано опытное производство высокочистых аммиака и оксида диазота на ООО «Фирма «ХОРСТ» (г. Дзержинск, Нижегородская обл.)

Основные разделы диссертационной работы были выполнены по распоряжению директивных органов; в рамках Федеральной целевой программы «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России на 2009-2013 гг»

1. по мероприятию 1.4 «Развитие внутрироссийской мобильности научных и научно-педагогических кадров путем выполнения научных исследований молодыми учеными и преподавателями в научно-образовательных центрах» (государственный контракт № П1634 «Проведение поисковых научно-исследовательских работ в интересах развития высокотехнологичных секторов экономики» и № 14.740.12.0863 «Проведение поисковых научно-исследовательских работ в целях развития общероссийской мобильности в области химии и новых материалов»),

2. по мероприятию 1.2.1 «Проведение научных исследований научными группами под руководством докторов наук» (государственный контракт № П2265 «Разработка энергосберегающего метода разделения газовых смесей методом диффузии через полимерные нанопористые мембраны»),

3. по мероприятию 1.2.2 «Проведение научных исследований научными группами под руководством кандидатов наук» (государственный контракт № П2537 «Разработка энергоэффективной технологии получения высокочистого аммиака для производства энергосберегающих источников света»); в рамках инициативных научных проектов, поддерэ/санных Российским Фондом Фундаментальных Исследований:

1. № 06-08-01169-а «Глубокая очистка летучих неорганических гидридов мембранными способами»,

2. № 07-08-00503-а «Разделение и глубокая очистка газов в мембранных аппаратах нового типа»,

3. № 08-08-00097-а «Разработка интегрированной технологической схемы очистки газов методом абсорбционной первапорации»,

4. № 09-08-00823-а «Нестационарные режимы мембранной очистки газов»,

5. № 09-08-97042-рповолжьеа «Разделение и концентрирование примесей газомембранными методами»,

6. № 10-08-00769-а «Разработка технологии глубокой очистки тетрафторида углерода методом мембранного газоразделения с использованием мембранных каскадов нового типа»,

7. 11-08-00707-а «Протонная активность при трансмембранном переносе в системах мембрана - активно взаимодействующий пенетрант».

Результаты работы докладывались и обсуждались на Российских и Международных научных конференциях в период с 2006 по 2011 гг.: Euromembrane-2006 (Италия), Реппеа-2007 (Венгрия), Permea-2009 (Чехия), Engineering with membranes EWM-2008 (Португалия), Всероссийская научная конференция «Мембраны» (Москва, 2007, 2010), Международная научная конференция «Мембранные и сорбционные процессы и технологии» (Украина, 2007, 2010), XVIII, XIX Менделеевские съезды по общей и прикладной химии (Москва, 2008; Волгоград, 2011), International conference of Chemical Thermodynamics in Russia (Суздаль, 2007), Международная молодежная научно-техническая конференция «Будущее технической науки». (Нижний Новгород, 2006-201 1), Всероссийская конференция по высокочистым веществам. Получение, анализ, применение (Нижний Новгород, 2007, 2011), 7-й Всероссийская конференции «Химия фтора» (Москва, 2006), 4 Всероссийская Каргинская конференция «Наука о полимерах 21-му веку» (Москва, 2006), Симпозиум «Новые высокочистые материалы» (Нижний Новгород, 2008), XVI координационный научно-технический семинар по СВЧ-технике (Нижегородская область, 2009), XX Менделеевская конференция молодых ученых (Архангельск, 2010), 3,d and 5th French-Russian Seminar PICS «Smart membrane processes and advanced membrane materials» (Москва, 2006, 2008), 5-я Санкт-Петербургская конференция молодых учёных «Современные проблемы науки о полимерах» (Санкт-Петербург, 2009), 8th Swiss Snow Symposium for young chemists (Швейцария, 2010), V научная школа молодых ученых (Нижний Новгород, 2008), Международная молодежная конференция «Нано- и супрамолекулярная химия в сорбционных и ионообменных процессах» (Казань, 201 1), 28th Spring Meeting of Chemistry Students (Польша, 2011), European Polymer Congress EPF 2011 (Испания, 2011), 242nd American Chemical Society National Meeting. Chemistry of Air, Space and Water (США, 2011).

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Воротынцев, Илья Владимирович

выводы

1. Решена крупная научная проблема - впервые на примере широкого ряда газофазных химических систем, целевые компоненты которых находят широкое применение для опто- и микроэлектроники, сформулированы общие принципы рационального сочетания индивидуальных и гибридных методов разделения и глубокой очистки газов, разработаны физико-химические основы комплексных процессов разделения и глубокой очистки газов, на их основе созданы технологии получения высокочистых веществ, которые реализованы производстве и имеют важное хозяйственное значение для инновационного развития высокотехнологичных секторов экономики.

2. Выявлен механизм трансмембранного переноса вещества, активно взаимодействующего с полимерной матрицей. Показано, что такое взаимодействие носит обратимый характер и обусловлено донорно-акцепторным взаимодействием и водородными связями, которые реализуются при кластерообразовании. Определены термодинамические параметры взаимодействия для систем ацетат целлюлозы - аммиак и ацетат целлюлозы -вода по данным обращенной газовой хроматографии, Фурье ИК-спектроскопии и дифференциальной калориметрии.

3. Впервые разработаны модифицированные методы мембранного газоразделения: мембранный модуль с питающим резервуаром и однокомпрессорный многоступенчатый мембранный модуль, которые позволяют повысить эффективность очистки газов в 10-100 раз. Разработаны физико-химические модели разделения газов в созданных модулях.

4. Определено влияние на разделительный эффект различных физико-химических факторов в рамках созданной модели процесса абсорбционной первапорации, учитывающих растворение примесей и их диффузию в абсорбенте. Экспериментально установлено, что при очистке аммиака селективность возрастает в 10-30 раз.

5. Проведен теоретический и экспериментальный анализ влияния температуры на разделительный эффект в процессах дистилляции. На примере оксида диазота установлено, что фактор разделения ректификационной колонны имеет экстремальное значение для каждого примесного компонента, которое определяется различной температурной зависимостью коэффициента разделения, коэффициента диффузии, вязкости и плотности жидкой и паровой фаз.

6. Созданы гибридно-комплексные процессы разделения газовых смесей и глубокой очистки газов, сочетающие несколько физико-химических методов -дистилляцию, кристаллизацию, сорбцию и мембранное разделение, что обеспечивает значительное увеличение разделительного эффекта.

7. Разработаны комплексные технологические схемы разделения и глубокой очистки газов и газовых смесей, базирующихся на рациональном совмещении индивидуальных и гибридных методов и обеспечивающих реализацию энергоэффективных и безопасных технологий очистки аммиака, тетрафторида углерода, оксида диазота, метана, фосфина, три фторида азота. Технологии очистки оксида диазота и аммиака внедрены в производство. Получены опытные партии продуктов, проведена их аттестация у потребителей в производстве эпитаксиальных структур кремния и нитридов алюминия и галлия для светодиодов.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Воротынцев, Илья Владимирович, 2011 год

1. Воротынцев, В.М. Перспективы развития технологии высокочистых веществ для микро- и оптоэлектроники / В.М. Воротынцев // Известия АИН им. A.M. Прохорова. 2004. - Т. 7. - С. 3 - 9.

2. Девятых, Г.Г., Карпов Ю.А., Осипова Л.И. Выставка-коллекция веществ особой чистоты / Г.Г. Девятых, Ю.А. Карпов, Л.И. Осипова. М.: Наука, 2003. - 236 с.

3. Book of SEMI Standards 0600. Gases volume. Semiconductor Equipment and Material International. 2000.

4. Charpentier, J.-C. Perspective on multiscale methodology for product design and engineering / J.-C. Charpentier // Computers and Chemical Engineering. -2009. V. 33. - P. 936-946.

5. Девятых, Г.Т. Введение в теорию глубокой очистки веществ / Г.Г. Девятых, Ю.Е. Еллиев. М.: Наука. - 1981. - 320 с.

6. Девятых, Г.Г. Летучие неорганические гидриды особой чистоты / Г.Г. Девятых, А.Д. Зорин. М.: Наука. - 1974. - 206 с.

7. Шахпаронов, М.И. Введение в молекулярную теорию растворов. М.: ГИТТЛ, 1956.- 507 с.

8. Петрик, А.Г. Особенности ректификации при образовании взвешенных частиц /А.Г. Петрик, Л.Я. Шварцман, А.И. Семенов, Г.Г. Марков // Труды по химии и хим. технологии. 1973. - В. 4. - С. 34-35.

9. Ливерко, В.Н. Глубокая очистки силана от примесей ограниченно растворимых вышекипящих веществ // Диссертация на соискание уч.ст.канд.хим.наук. Горький, 1983. - 141 с.

10. Мочалов, Г.M. Глубокая очистки силана методом ректификации при повышенном давлении // Диссертация на соискание уч. ст. канд.хим.наук. Горький, 1987. - 127 с.

11. Воротынцев, В.М. Производство высокочистого моносилана и дихлорсилана для получения эпитаксиальных структур кремния / В.М. Воротынцев, В.М. Малышев, А.К. Матвеев, P.P. Абдрахманов, П.Н. Дроздов, С.А. Носырев, Г.М. Мочалов, М.А. Колотилова, В.А. Иванов,

12. A.Н. Иванов // Известия АИН им. A.M. Прохорова.-2004.-Т. 7. С. 77-82.

13. Воротынцев, В.М. Физико-химические основы глубокой очистки летучих неорганических гидридов методом ректификации при повышенном давлении. 3. Глубокая очистка гидридов от ограниченно растворимых веществ / В.М. Воротынцев, В.В. Балабанов, Г.М. Мочалов,

14. B.Н. Ливерко, В.М. Степанов, C.B. Яньков, А.Р. Фидельман // Высокочистые вещества. 1993. - № 6. - С. 60-67.

15. Девятых, Г.Г. Глубокая очистка кислорода от воды методом криофильтрации / Г.Г. Девятых, В.А. Крылов, О.П. Лазукина, С.Е. Лазарев, Г.А. Максимов, C.B. Семенов, В.А. Хоршев, С.М. Щапин // Высокочистые вещества. 1990. - № 2. С. 108-112.

16. Девятых, Г.Г. Статистический анализ величин коэффициентов распределения при равновесиях жидкость-пар и жидкость-газ / Г.Г. Девятых, В.М. Степанов, М.Я. Широкобоков // Доклады АН СССР. -1979.-Т. 244. № 1.-С. 131-134.

17. Воротынцев, В.М. Глубокая очистка кислорода методом низкотемпературной фильтрации / В.М. Воротынцев // Получение веществ для волоконной оптики. 1980. - С. 78-81.

18. Амелин, А.Г. Теоретические основы образования тумана при конденсации пара/ А.Г. Амелин. М.: Химия, 1972. - 304 с.

19. Лифшиц, И.М. О кинетике диффузионного распада пересыщенных твердых растворов / И.М.Лифшиц, В.В. Слезов // Журн. эксперим. и теорет. физики. 1958. - Т. 35. №2. - С. 479-499.

20. Воротынцев, В.М. Наночастицы в двухфазных системах / В.М. Воротынцев. М.: Известия, 2010. - 320 с.

21. Кирш, A.A. Исследования в области волокнистых аэрозольных фильтров. Расчёт осаждения аэрозолей в модельных фильтрах в области максимального проскока частиц / A.A. Кирш, И.Б. Стечкина, H.A. Фукс //Коллоидный журнал. 1969. - Т. 31. № 1. - С. 121-128.

22. Кирш, A.A. Экспериментальное определение эффективностиволокнистых фильтров в области максимального проскока частиц / A.A. Кирш, И.Б. Стечкина, H.A. Фукс // Коллоидный журнал. 1969. - Т. 31. №2. - С. 227-237.

23. Кирш, A.A. Исследования в области волокнистых аэрозольных фильтров. Диффузионное осаждение аэрозолей в волокнистых фильтрах / А.А Кирш, H.A. Фукс // Коллоидный журнал. 1968. - Т. 30. № 6. - С. 836844.

24. Басманов, П.И. и др. Высокоэффективная очистка газов от аэрозолей фильтрами Петрянова / П.И. Басманов. М.: Наука, 2003. - 271 с.

25. Воротынцев, В.М. Глубокая очистка газов методом мембранного газоразделения / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов // Высокочистые вещества. 1994. - № 3. - С. 7-20.

26. Stern, S.A. Separation of Gas Mixtures with Polumeric Membranes / S.A. Stern, W.J. Koros // Chimie Nouvelle. 2000. - V. 72. № 18. - P. 3201-3215.

27. Robeson, L.B. The apper bound revisited / L.B. Robeson // J. Membr. Sei. -2008.-V. 320.-P. 390-400.

28. Freeman, B.D. Basis of Permeability/Selectivity Tradeoff Relations in Polymeric Gas Separation Membranes / B.D. Freeman // Macromolecules. -1999.-V. 32. P.375- 380.

29. Мулдер, M. Введение в мембранную технологию / М. Мулдер. М.:Мир,1999. 513 с.

30. Хванг, С.-Т. Мембранные процессы разделения. Пер. с англ. под ред. Дытнерского Ю.И./ С.-Т. Хванг, К. Каммермеер. М.: Химия, 1981.-464 с.

31. Pant, P.V.K. Molecular dynamics simulation of diffusion of small penetrants in polymer/P.V.K.Pant, R.H.Boyd//Macromolecules.-1993.-V.26.-P. 679-678.

32. Hofman, D. Molecular modeling simulation of gas transport in amorphous poluimide and polu(amide imide) membrane materisls / D. Hofman, J. Ulbritch, D. Fritsch // Polymer. 1996. - V. 37. - P. 4773-4785.

33. Schlick, T. Molecular Modeling and Simulation An Interdisciplinary Guide /Т. Schlick. - New York: Springer. 2002. - 640 p.

34. Maginn, E.J. Historical Perspective and Current Outlook for Molecular Dynamics As a Chemical Engineering Tool/ E.J. Maginn, J.R. Elliot // Ind. Eng. Chem. Res. 2010. - V. 49. - P. 3059-3078.

35. Fang, S.-M. Effect of pressure on gas permeability coefficients. A new application of the "free volume" theory / S.-M. Fang, S.A. Stern, H.I. Frisch // J. Polym. Sci. Part A. 1972. - V.2. - P.201-219.

36. Агеев, Е.П. Мембранные процессы разделения / Е.П. Агеев // Крит, технол. Мембраны. 2001. - № 9. - С.42-56.

37. Semenova, S.I Physical transition in polymers plasticized by interacting penetrants/S.1.Semenova, S.l. Smirnov, H. Ohya//J.M.Sci.-1997.-V.136.-P.l-11.

38. Semenova, S.I. Performances of glassy polymer membranes plasticized by interacting penetrants / S.I. Semenova, S.I. Smirnov, H. Ohya//J. Membr.Sci.2000,-V. 172. -P.75-89.

39. Пат. 4906256, США, В 01 D 53/22. Membrane process for treatment of fluorinated hydrocarbon laden gas streams / R.W. Baker, C.-M. Bell, Y.G. Wijmans, B. Ahlers. - заявл. 23.03.89; опубл. 06.03.90.

40. Дытнерский, Ю.И. Мембранное разделение природных, технологических и выбросных смесей газов / Ю.И. Дытнерский, Г.Г. Каграманов, И.П. Сторожук // Журн. Всесоюз. химич. общества им. Д.И. Менделеева. 1987. - Т.32. №6. - С. 686-692.

41. Kanahashi, S. Analysis of dual-mode model parameters for gas sorption in glassy polymers / S. Kanehashi, K. Nagai // J. Membr. Sci. 2005. - V.253. -№ 1-2, - P. 117-138.

42. Малахов, А.О. Уравнение кооперативной полимолекулярной сорбции: приложение к системе спирт-политриметилсилилпропин / А.О. Малахов, В.В. Волков // Высокомолекулярные соединения. Серия А. 2000. - Т. 42. №10. - С. 1721 - 1729.

43. Stern, S.A. Structure permeability relationships in silicone polymers / S.A. Stern, V.M. Shah, B.J. Hardy // J. Polym. Sci. Part B: Polym. Physics. - 1987. - V.25. - P. 1263 - 1298.

44. Гельперин, Н.И. Разделение газовых смесей с помощью полимерных мембран / Н.И. Гельперин, В.Л. Пебалк, В.Г. Замышляев // Теорет. основы хим. технол. 1980. - Т.14. №5. - С. 696 - 701.

45. Chem, R.T. Selektive permeation of COiand CH4 through Kapton polyimid: effect of penetrant competition and gas phase nonideality / R.T. Chern, W.J. Koros, B. Yui // J. Polym. Sci.: Polym. Physics Edition. - 1984. - V.22. - P. 1061 - 1084.

46. Дытнерский, Ю. И. Мембранное разделение газов / Ю.И. Дытнерский, В.П. Брыков, Г.Г. Каграманов. М.: Химия, 1991. - 344 с.

47. Jordan, S.M. Permeability of pure and mixed gases in silicone rubber at elevated pressures / S.M. Jordan, W.J. Koros // J. Polym. Sci. Part B: Polym. Physics. 1990. - V.28. - P. 795 - 809.

48. McCandless, F.P. Separation of binary mixtures of CO and H2 by permeation through polymeric films / F.P. McCandless // Ind. and Eng. Chem. Process Des. and Develop. 1972. - V.l 1. №4. - P. 470 - 478.

49. Девятых, Г.Г. Коэффициент разделения в системах аргон примеси при проницаемости через полимерную мембрану типа "Силар"/ Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов // Высокочистые вещества. -1987. - №4. - С. 71-73.

50. Дроздов, П.Н. Глубокая очистка газов методом мембранного газоразделения // Диссертация на соискание уч.ст.доктора технических наук. Нижний Новгород, 2005. - 320 с.

51. Тимашов, С.Ф. Физико химия мембранных процессов / С.Ф. Тимашов. - М.: Химия, 1988. - 237 с.

52. Крыкин, М.А. Об эффектах «неравновесности» при транспорте газа через твердотельные мембраны / М.А. Крыкин, С.Ф. Тимашов // Физика твердого тела. 1985. - Т.27. № 9. с. 2549 - 2556.

53. Зельвенский, Я.Д. Ректификация разбавленных растворов / Я.Д. Зельвенский, А.А. Титов, В.А. Шалыгин. Д.: Химия, 1974. - 216 с.

54. Воробьев, A.B. Проницаемость аммиака и диоксида углерода через перфорированные сульфокатионитовые мембраны / A.B. Воробьев, И.Н. Бекман // Известия АН. Серия химическая. 2002. - №2. - С. 262 - 268.

55. Weller, S. Engineering aspects of separation of gases fractional permeation through membranes / S. Weller, W.A. Steiner // Chem. Eng. Prog. - 1950. -V.46.-P. 585 - 590.

56. Weller, S. Separation of gases by fractional permeation through membranes / S. Weller, W.A. Steiner//J. Appl. Phys. 1950. - V.21. - P. 279-283.

57. Стерн, С.А. Технологические процессы с применением мембран / С.А. Стерн М: Мир, 1976. - С.ЗОЗ - 366.

58. Stern, S.A. Analysis of Membrane Separation Parameters / S.A. Stern, W.P. Walawender // Separat. Sei. 1969. - V.4. - P. 129 - 159.

59. Виллани, С. Обогащение урана / С. Виллани. М.: Энергоатомиздат. -1983. - 320 с.

60. Naylor, R.W. Enrichment calculations in gaseous diffusions: large separation factor / R.W. Naylor, P.O. Backer // AIChE J. 1955. - V. 1. - P. 95 - 99.

61. Blaisdell, C.T. Countercurrent and cocurrent gas separation / C.T. Blaisdell, K. Kammermeyer // Chem. Eng. Sei. 1973. - V.28. № 8. - P. 1248 - 1255.

62. Walawender, W.P. Analysis of membrane separation parameters. II. Countercurrent and cocurrent flow in a single permeation stage / W.P. Walawender, S.A. Stern // Separat. Sei. 1972. - V.7. - P. 553 - 584.

63. Stern, S.A. Countercurrent and cocurrent gas separation in a permeation stage. Comparison of computation methods / S.A. Stern, S.C. Wang // J. Membr. Sei. 1978. - V.4. - P. 141 - 148.

64. Киселев, Ю.И. Моделирование одноступенчатого процесса мембранного разделения многокомпонентных газовых смесей / Ю.И. Киселев, В.Г. Карачевцев, A.B. Гурылев // Теорет. основы хим. технол. 1984. - №3. -С. 323 - 327.

65. Kaldis, S.P. Simulation of binary gas separation in hollow fiber asymmetric membranes by orthogonal collocation / S.P. Kaldis, G.C. Kapantaidakis, T.I.

66. Papandopoulos, G.P. Sakellaropoulos // J. Membr. Sci. 1998. - V.142. - P. 43 -59.

67. McCandless, F.P. The extent of separation in single permeation stages / F.P. McCandless //J. Membr. Sci. 1984. - V. 17. - P. 323 - 328.

68. Киселев, Ю.И. Влияние организации потоков на процесс мембранного газоразделения / Ю.И. Киселев, В.Г. Карачевцев, В.К. Беляков, В.П. Грибанов // Тезисы III Всесоюзн. конф. по мембранным методам разделения смесей. Владимир. - 1981. - 4.2. - С. 152 - 155.

69. Sengupta, A. Membrane gas separation / A. Sengupta, К.К. Sirkar // Progr. Filtr. Separ. 1986. - № 4. - P. 289 - 415.

70. Pan, C.Y. Gas separation by permeators with high-flux asymmetric membranes / C.Y. Pan // AIChE J. 1983. - V.29. №4. - P. 545 - 552.

71. Pan, C.Y. Gas separation by high-flux asymmetric hollow-fiber membrane / C.Y. Pan // AIChE J. 1986. - V.32. № 12. - P. 2020 - 2027.

72. Чекалов, JT.H. К расчету процесса газоразделения на полых волокнах / Л.Н. Чекалов, О.Г. Талакан, А.А. Бабенков, А.Г. Наринский // Теорет. основы хим. технол. 1982. - Т. 16. № 4. - С. 481 - 484.

73. Борисевич, В.Д. О влиянии потерь давления в канале волоконного мембранного элемента на его разделительные характеристики / В.Д. Борисевич, Н.Н. Гришаев, Н.И. Лагунцов, Г.А. Сулаберидзе // Теорет. основы хим. технол. 1984.-Т. 18. № 1,-С. 20-24.

74. Киселев, Ю.И. Моделирование и исследование продольных градиентов давления в мембранных газоразделительных элементах / Ю.И. Киселев, В.Н. Ветохин //Химич. промышл. 1986. - № 1. - С. 42-44.

75. Киселев, Ю.И. Моделирование мембранного газоразделительного процесса с учетом диффузионного перемешивания в элементе / Ю.И. Киселев, В.Г. Карачевцев, В.Н. Ветохин // Теорет. основы хим. технол. -1985. Т.19. №2. - С.177- 183.

76. Kothe, K.D. Einflub der axialen Ruckdiffusion auf das Trennverhalten von Gaspermeatoren / K.D. Kothe, V. Werner // Chem.- Ing.-Techn. 1987. - R. 59.-№1.-S. 80-81.

77. Narinsky, A.G. Applicability conditions of idealized flow models for gas separation by asymmetric membrane / A.G. Narinsky // J. Membr. Sci. 1991. -V.55.-P. 333 -347.

78. Косых, E.B. О влиянии плотности упаковки на разделительные характеристики мембранного элемента / Е.В. Косых, В.Д. Борисевич, Н.И. Лагунцов, Б.И. Николаев // Теорет. основы хим. технол. 1990. - Т. 24. № 1. - С. 127-131.

79. Rautenbach, R. A variation in fiber properties affects the performance of defect-free hollow fiber membrane modules for air separation / R. Rautenbach, A.M. Struck, F.M. Roks // J. Membr. Sci. 1998. - V. 150. - P. 31 - 41.

80. Lemanski, J. Effect of fiber variation on the performance of countercurrent hollow fiber gas separation modules / J. Lemanski, G.G. Lipscomb // J. Membr. Sci. 2000. - V. 167. - P. 241 - 252.

81. Марченко, А.А. Разделение газовых смесей полимерными мембранами / А.А. Марченко, А.Н. Чеботарев // Тезисы Тр. YII Конференции молодых ученых. 4.1. Москва. - 1992. - С. 83 - 88.

82. Кириллов, Ю.П. Моделирование глубокой очистки газов в мембранном элементе / Ю.П. Кириллов, В.Н. Скрягин, Ю.И. Енгулятов // Высокочистые вещества. 1994. - № 3. - С. 38 - 44.

83. Кириллов, Ю.П. Учет влияния продольного перемешивания в мембранном элементе на глубину очистки газа / Ю.П. Кириллов, В.Н. Скрягин, Ю.И. Енгулятов, Л.А. Кузнецов // Высокочистые вещества. -1995.-№3,-С. 50 -56.

84. Воротынцев, В.М. Влияние продольного перемешивания на процесс глубокой очистки газов методом диффузии через полимерные мембраны / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, С.А. Носырев, А.Г. Приписнов // Высокочистые вещества. 1987. - № 4. - С. 137 - 141.

85. Девятых, Г.Г. Сравнение разделительной способности плоскопараллельных мембранных элементов при глубокой очистке газов / Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, А.Е. Приписное // Высокочистые вещества. 1989. - № 3. - С. 52 - 55.

86. Бейтмен, Т. Высшие трансцендентные функции. Гипергеометрические функции / Т. Бейтмен, А. Эрдейи. М.: Наука, 1973. - Т. 1. - 296 с.

87. Айнштейн, В.Г. Общий курс процессов и аппаратов химической технологии. Кн. 2 / В.Г. Айнштейн, М.К. Захаров, Г.А. Носов. М.: Химия, 2000. - 1760 с.

88. АС № 1503123, СССР. Устройство для глубокой очистки газов / Девятых Г.Г., Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А. заявл. 02.06.1987; опубл. 22.04.1989.

89. Патент № 1503123, РФ. Устройство для глубокой очистки газов / Девятых Г.Г., Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Носырев С.А. заявл. 02.06.1987; опубл. 22.04.1989.

90. Drozdov, P.N. High purification of gas in radial membrane element / P.N. Drozdov, Y.P. Kirillov, E.Y. Kolotilov, I.V. Vorotyntsev // Desalination. -2002. V. 146. - P. 249-254.

91. Воротынцев, В.М. Глубокая очистка аргона и гелия от воды методом диффузии через ацетатцеллюлозную мембрану / В.М. Воротынцев, П.Н.

92. Дроздов, Ю.П. Кириллов, В.К. Скрягин // Теорет. основы хим. технол. -1999.-Т. 33. №2. -С. 184- 189.

93. Воротынцев, В.М. Влияние давления на разделительную способность полимерных мембран при глубокой очистке газов / В.М. Воротынцев, В.А. Дозоров, Ю.П. Кириллов, П.Н. Дроздов, С.А. Носырев // Высокочистые вещества. 1990. - № 1. - С. 111 - 115.

94. Воротынцев, В.М. Глубокая очистка аргона и тетрагидрида германия от примеси воды методом мембранного газоразделения / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, Ю.П. Кириллов // Журн. прикл. химии. 2002. - Т. 75. №2. - С. 249-252.

95. Рид, Р. Свойства газов и жидкостей: Справочное пособие / Р. Рид, Дж. Праусниц, Т. Шервуд. Л.: Химия, 1982. - 592 с.

96. Дроздов, П.Н. Глубокая очистка аргона и германа от примеси воды методом диффузии через полимерные мембраны / П.Н. Дроздов, С.А. Носырев // Высокочистые вещества. 1993. - №3. - С. 111 - 114.

97. Majumdar, S. An experimental investigation of oxygen enrichment in a silicon capillary permeator with permeate recycle / S. Majumdar, L.B. Heit, A. Sengupta, K.K. Sirkar // Ind. Eng. Chem. Res. 1987. - V.26. № 7. - P. 14341441.

98. Matson, S.L. Separation of gases with synthetic membranes / S.L. Matson, J. Lopez, J.A. Quinn // Chem. Eng. Sci. 1983. - V. 38. № 4. - P. 503 - 524.

99. Stern, S.A. Recycle and multimembrane permeators for gas separations / S.A. Stern, J.E. Perrin, E.J. Naimon // J. Membr. Sci. 1984. - V.20. - P. 25 - 43.

100. McCandless, F.P. A comparison of some recycle permeators for gas separations/F.P McCandless//J. Membr. Sci. 1985. - V.24. - P. 15-28.

101. Teslik, S. A comparative analysis of the role of recycle or reflux in permeators separating a binary gas mixture/ S. Teslik, K.K. Sirkar // Recent Developments in Separat. Sci. 1986. - V.9. - P. 245 - 263.

102. Ohno, M. Comparison of gas membrane separation cascades using conventional separation cell and two-unit separation cell / M.Ohno, T. Morisue, O. Ozaki, T. Miyauchi //J. Nucl. Sci. Technol. 1978. - V.15. - № 5. -P. 376-386.

103. Ohno, M. Radioactive rare gas separation performance of a two-unit seriestype separation cell / M. Ohno, H. Heki, O. Ozaki, T. Miyauchi // J. Nucl. Sci. Technol. 1978. - V.15. № 9. - P. 668 - 677.

104. Ежов, B.K. Разделение газовых смесей в мембранном элементе с рециркуляцией / В.К. Ежов, В.Ю. Кожевников, Н.И. Лагунцов // Теорет. основы хим. технол. 1989. - Т.23. № 4. - С. 538 - 541.

105. Tsuru, Т. Permeators and continuous membrane columns with retentate recycle / T. Tsuru, S.-T.Hwang // J. Membr. Sci. 1995. - V. 98. - P. 57 - 67.

106. Pan, C.Y. An analysis of single-stage gaseous permeation process / C.Y. Pan, H.W. Habgood//Ind. Eng. Chem. Fundam. 1974. - V. 13. - P. 323 -331.

107. Hwang, S.-T. The continuous membrane column / S.-T. Hwang, J.M. Thorman //AIChE J. 1980. - V. 26. № 4. - P. 558 - 566.

108. Hwang, S.-T. Gas separation by a continuous membrane column / S.-T. Hwang, K.H. Yuen, J.M. Thorman // Separat. Sci. and Technol. 1980. -V.15. №4. - P. 1069- 1990.

109. Груздев, Е.Б. О разделительных характеристиках трехмодульной мембранной колонны / Е.Б. Груздев, В.К. Ежов, Е.В. Косых // Теорет. основы хим. технологии. 1989. - Т. 23. № 2. - С. 195 - 201.

110. Seok, D.R. Separation of helium and hydrocarbon mixtures by a two -membrane colymn / D.R. Seok, S.G. Kang, S.-T. Hwang // J. Membr. Sci. -1986.-V. 27. № l.-P. 1-11.

111. Hwang, S.-T. Methane separation by a continuous membrane column / S.-T. Hwang, S. Ghalchi//J. Membr. Sci. 1982.-V. 11. № 2. - P. 187 - 198.

112. Schulz, G. New process developments in gas separation with membranes / G. Schulz, H. Michele, U. Werner // J. Membr. Sei. 1982. - V.ll. - P. 311 -319.

113. Yoshisato, R.A. Computer simulation of a continuous membrane column / R.A. Yoshisato, S.-T. Hwang // J. Membr. Sei. 1984. - V. 18. - P. 241 - 250.

114. Shen, S. A continuous membrane column model incorporating axial diffusion terms / S. Shen, Y.-K. Kao, S.-T. Hwang // J. Membr. Sei. 1986. - V. 26. - P. 143 - 164.

115. Kothe, K.D. A study of the separation behavior of different membrane columns with respect to ternary gas mixtures / K.D. Kothe, S. Shen, Y.-K. Kao, S.-T. Hwang // J. Membr. Sei. 1989. - V. 46. - P. 261 - 281.

116. Милевская, E.B. Математическое моделирование процесса выделения азота из воздуха в мембранной колонне / Е.В. Милевская, В.Н. Ветохин, М.В. Тлебаев // Применение методов кибернетики в хим. технол. Теория и практика. 1987. - С. 5 - 11.

117. Tsuru, Т. Production of high purity oxygen by continuous membrane column combined with PSA oxygen generator / T. Tsuru, S.-T. Hwang // Ind. and Eng. Chem. Res. 1994. - V. 33. № 2.-P. 311 -316.

118. Schulz, G. Einflub der schaltungsart auf das gastrennverhalten von membranaustauschern / G. Schulz, U. Werner // Verfahrenstechnik. 1983. -R. 17. №6,-S. 357 - 360.

119. Avgidou, M.S. Membrane cascade schemes for the separation of LPG olefins and paraffins / M.S. Avgidou, S.P. Kaldis, G.P. Sakellaropoulos // J. Membr. Sei. 2004. - V. 233. - P. 21 - 33.

120. Rautenbach, R. Gas permeation module design and arrangement / R. Rautenbach, W. Dahm // Chem. Eng. and Process. - 1987. - V. 21. №. 3. - P. 140- 150.

121. Qiu, M.-M. Economic evaluation of gas membrane separator design / M.-M. Qiu, S.-T. Hwang, Y.-K.Kao // Ind. Eng. Chem. Res. 1989. - V. 28. - P. 1670- 1677.

122. Rautenbach, R. Process design and optimization / R. Rautenbach // Pr. nauk Inst. ochr. srodow Pwrocl. 1986. - № 57. - P. 275 - 341.

123. Lababidi, H. Optimization of module configuration in membrane gas separation / H. Lababidi, G.A. Al-Enezi, H.M. Ettouney // J. Membr. Sei. -1996.-V. 112.-P. 185 197.

124. McCandless, F.P. Comparison of countercurrent recycle cascades with continuous membrane columns for gas separation / F.P. McCandless // Ind. Eng. С hem. Res. 1990. - V. 29. - P. 2167 - 2170.

125. A.C. № 1119718, СССР В 01 D53/22. Способ разделения газовых смесей / Лагунцов Н.И., Левин Е.В. заявл. 14.01.83; опубл. 20.031984 Бюл. №39.

126. Xu, J. Gas Separation membrane cascades. I. One compressor cascades with minimal energy losses due to mixing / J. Xu, R.Agrawal // J. Membr. Sei. -1996. V. 112. - P. 115 - 128.

127. Suchiro, T. A novel continuous membrane column for separating solutes by dialysis / T. Suchiro, T. Yamanaka, K. Mizoguchi // J. Chem. Eng. Jap. 1990. - V. 23. № l.-P. 110-112.

128. Laguntsov, N.I. The use of recycle permeator systems for gas mixture separation / N.I. Laguntsov, E.B. Gruzdev, E.V. Kosykh, V.Y. Kozhevickov // J. Membr. Sei. 1992. - V. 67. - P. 15 - 25.

129. Cohen, K. The Theory of isotope separation as applied to the large-scale production of U-235 /К. Cohen. New-York.: McGraw Hill, 1951. - 165 p.

130. Бенедикт, M. Химическая технология ядерных материалов / М. Бенедикт, Т. Пигфорд. М.: Атомиздат. - 1960. - 528 с.

131. Werner, U. Aufbereitung von Bio-und Erdgasen mit Membranverfahren / U. Werner// GWF Gas/Erdgas. 1985. - R. 126. № 1. - S. 25 -29.

132. Шалыгин, М.Г. Селективный перенос газов в газо-жидкостной мембранной системе // Диссертация на соискание уч.ст.канд.наук. Москва, 2007. 129 с.

133. Розен, A.M. Теория разделения изотопов в колоннах / A.M. Розен. М.: Атомиздат, 1960. 439 с.

134. Колокольцев, Н.А. К теории разделительных каскадов при больших обогащениях на разделительных элементах / Н.А. Колокольцев, Н.И. Лагунцов // Атомная энергия. 1969. - Т. 27. № 6. - С. 560-561.

135. Лагунцов, Н.И Особенности расчета идеальных каскадов с произвольным обогащением на ступени / Н.И Лагунцов // Атомная энергия. 1973. - Т. 35. № 3. - С. 205 - 207.

136. Agrawal, R. Gas separation membrane cascades II. Two compressor cascades / R. Agrawal, J. Xu // J. Membr. Sci. 1996. - V. 112. - P. 129 - 146.

137. Agrawal, R. Gas separation membrane cascades utilizing limited numbers of compressors / R. Agrawal, J.Xu // AIChE J. 1996. - V. 42. - P. 2141 - 2154.

138. Agrawal, R. A simplified method for synthesis of gas separation membrane cascades with limited numbers of compressors / R. Agrawal // Chem. Eng. Sci. 1997. -V. 52. - P. 1029- 1044.

139. Воротынцев, B.M. Глубокая очистка газов мембранным методом в режиме рецикла выходного потока / В.М. Воротынцев, Ю.П. Кириллов, П.Н. Дроздов // Теорет. основы хим. технологии. 2003. - Т. 37. - № 1. -С. 58 -63.

140. Воротынцев, В.М. Совмещенный метод ректификации и диффузии через полимерные мембраны при глубокой очистке веществ / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов // Журн. прикл. химии. 1997. - Т. 70. № 10. -С. 1682- 1685.

141. Шелехин, А.Б. Математическое описание процессов газопереноса в мембранных абсорберах / А.Б. Шелехин, В.В. Тепляков, И.Н. Бекман // Теорет. основы хим. технологии. 1992. - Т. 26. № 4. - С. 570 - 573.

142. Bessarabov, D.G. Use of nonporous polymeric flat-sheet gas-separation membranes in a membrane-liquid contactor: experimental studies / D.G.

143. Bessarabov, E.P. Jacobs, R.D. Sanderson, I.N. Beckman // J. Membr. Sci. -1996.-V. 113.-P. 275 -284.

144. Бекман, И.Н. Диффузионные процессы в абсорбционном модуле мембранного контактора / И.Н. Бекман, Д.Г. Бессарабов, Р.Д. Сандерсон // Вестник МГУ. Сер.2. 2000. - Т. 41. № 4. - С. 266 - 270.

145. Бекман, И. Н. Разделение газовой смеси в абсорбционном модуле мембранного контактора / И.Н. Бекман, Д.Г. Бессарабов, Р.Д. Сандерсон //Вестник МГУ. Сер.2. 2001. - Т. 42. № 1. - С. 60-66.

146. Амосова, О.Л. Мембранно-адсорбционный метод выделения водорода из многокомпонентных газовых смесей биотехнологии и нефтехимии / О.Л. О.В. Амосова, В.В. Тепляков // Крит. Технол. Мембраны. 2008. -№2.-С. 26-39.

147. Шалыгин, М.Г. Мембранные контакторы для кондиционирования биогаза /М.Г. Шалыгин, А.В. Яковлев, B.C. Хотимский, Л.Г. Гасанова, В.В. Тепляков // Мембраны и мембранные технологии. 2011. - Т. 1. № 3. - С. 180- 189.

148. Лысенко, А.А. Мембранный контактор для извлечения СО2 из газовых смесей при высоких давлениях / А.А. Лысенко, А.Н. Трусов, А.В. Волков // ЭВР. 2010. - № 3. - С. 7.

149. Mavroudi, М. Reduction of СО2 emission by a membrane contacting proceses / M. Mavroudi, S.P. Kaldis, G.P. Sakellaropoulos // Fuel. 2003. - V. 82. - P. 2153 -2159.

150. Chen, H. Selective C02 separation from CO2-N2 mixtures by immobiazed carbonate-glycerol membranes / H. Chen, A.S. Kovvali, S. Majumdar, K.K. Sirkar // Ind.Eng.Chem.Res. 1999. - V. 38. - P. 3489 - 3498.

151. Kumar, P.S. New absorption liquids for the removal of C02 from dilute gas stream using membrane contactors / P.S. Kumar, J.A. Hogendoorn, P.H.M. Feron, G.F. Versteeg // Chemical Eng.Science. 2002. - V. 57. - P. 1639 -1651.

152. Usachov, V.V. Experimental study of the membrane contactor system for gas dehumidation / V.V. Usachov, N.I. Laguntsov, A.Y. Okunev, V.V. Teplyakov, S.D. Glikhov // Ars Separatoria Acta. Poland. 2003. - V. 2. - P. 36 - 46.

153. Dindore, V.Y. Modeling of cross-flow membrane contactors: physical mass transfer processes / V.Y. Dindore, D.W. Brilman, G.F. Versteed // J. Membrane Sci. 2005. - V. 251. - P. 209 - 222.

154. Воротынцев, B.M. Разделение газовых смесей методом абсорбционной первапорации / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, Е.Ю. Колотилов // Теорет. основы хим. технологии. 2001. - Т. 35. № 6. - С. 558 - 592.

155. Vorotyntsev, V.M. Gas mixtures separation by an absorbing pervaporation method / V.M. Vorotyntsev, P.N. Drozdov, E.Y. Kolotilov // Desalination. -2002. -V. 149. P. 23-27.

156. Semmens, M.J. Ammonia removal from water using microporous hollow fiber / M.J. Semmens, D.M. Foster, E.L. Cussler // J. Membr. Sci. 1990. - V. 51. - P. 127- 140.

157. Chen, H. Selective ССЬ separation from CO2-N2 mixtures by immobiazed carbonate-glycerol membranes / H. Chen, A.S. Kovvali, S. Majumdar, K.K. Sirkar // Ind.Eng.Chem.Res. 1999. - V. 38. - P. 3489 - 3498.

158. Chen, H. Immobilized glycerol-based liquid membranes in hollow fiver for selective C02 separation from CO2-N2 mixtures / H. Chen, G. Obuskovic, S. Majumdar, K.K. Sirkar//J. Membrane Sci. 2001. - V. 183. - P. 75 - 88.

159. Пат. № 4762535, США. Ammonia separation using semipermeable membranes amine or ammonium salt blended with polymer / Laciak Daniel V., Pez Guido P. - опубл. 09.08.1988.

160. Пат. № 4758250, США. Ammonia separation using ion exchange polymeric membranes and sorbents / Laciak D.V., Pez G.P. опубл. 19.06.1988.

161. Андреев, Б.М. Получение высокочистых инертных газов и водорода / Б.М. Адреев, А.Н. Перевезенцев // Высокочистые вещества. 1990. - № 2. - С. 23 -29.

162. Лобачев, Ю.А. Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники // Диссертация на соискание уч.ст.канд.химических наук. Москва, 2002. - 312 с.

163. Gil, В. Group III Nitride Semiconductor Compounds Physics and Applications / B. Gil. New York: Oxford University Press, 1998. - 492 p.

164. Kipshidze, G. AlN/AlGalnN superlattice light-emitting diodes at 280 nra / G. Kipshidze, V. Kuryatkov, K. Zhu // J. Appl. Phys. 2003. - V. 93. - P. 1363 -1367.

165. Sampath, A.V. Growth of AlGaN Alloys Exhibiting Enhanced Luminescence Efficiency / A.V. Sampath, G.A. Garrett, C.J. Collins // J. Electron. Mater. -2006. -V. 35. P. 641 -646.

166. Nikishin, S. Digital Alloys of AIN/AlGaN for Deep UV Light Emitting Diodes / S. Nikishin, M. Holtz, H. Temkin // Jap. J. Appl. Phys. 2005. - V. 44.-P. 7221-7226.

167. Мельников, Б.Г. Очистка аммиака методом ректификации / В.М. Низяев, Р.И. Хмель // Химическая промышленность. 1971. - № 6. С. 437 -438.

168. Патент № 14333, Япония. Установка для получения аммиака / О. Теруо. -Опубл.: 28.04.1972

169. Patent 3054726, United States. Method of recovery ammonia form aqueous ammonia vapors by a two-stages steam distillation operation / Fields M.C. et al.; filing date 29.10.1959; issue date 12.12.1967.

170. Schmid, A. Ein neus Verfahres yur Trennung von Ammoniak und Kohlendioxid / A. Schmid // Chem.Ing.Tech. 1970. - V. 42. - № 8. P. 521 -523.

171. Пат. № 67421, ПНР. Удаление паров масла из газообразного аммиака, полученного в испарителе / Korolewicy Stanislaw. заявл. 15.02.1967; опубл. 28.02.1973.

172. Patent 101224898 China. Continuous ammonia distillation device and ammonia gas distillation purifying method / Zhang W.; issue date 23.07.2008.

173. Cueilleron, J. Mesure de la conductibilité spécifique de l'ammoniac liquide / J. Cueilleron, M.Charret // Comt. rend. 1954. - V. 239. - P. 168 - 170.

174. Frensel, C.Z. Zeitschrift fur electrochemie / C.Z. Frensel // Electrochem. -1900.-V. 6.-P. 447.

175. Cady, H.P.J. The electrolysis and Electrolytic Conductivity of Certain Substances dissolved in Liquid Ammonia / H.P.J. Cady // Phys. Chem. J. -1897. -V. 1. P. 707-713.

176. Пат. № 67421, ПНР. Удаление паров масла из газообразного аммиака, полученного в испарителе / Korolewicy Stanislaw. заявл. 15.02.1967; опубл. 28.02.1973.

177. Schmid, A. Ein neues Verfahren yur Trennung von Ammoniak und Kohlendioxid / A. Schmid // Chem. Ing. Tech. 1970. - V. 42. № 8. - P. 521— 523.

178. Пат. № 7001490, США Purification of ammonia by distillation / Wostbrock K.-H. заявл. 24.01.2001; опубл. 21.02.2006.

179. Пат. 101224898, Китай. Continuous ammonia distillation device and ammonia gas distillation purifying method / Zhang W. опубл. 23.07.2008.

180. Пат. № 3054726, США. Method of recovery ammonia form aqueous ammonia vapors by a two-stages steam distillation operation / Fields M.C. -заявл. 29.10.1959; опубл. 12.12.1967.

181. United States Patent 6461411. Method and materials for purifying hydride gases, inert gases, and non-reactive gases / Watanabe Т., Fraenkel D.; assignees Matheson Tri-Gas; filing date 17.09.2001; issue date 08.10.2002

182. Девятых, Г.Г., Воротынцев B.M., Юшин А.С. Исходные материалы особой чистоты для волоконных световодов с малыми оптическими потерями. / Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, А.С. Юшин // Волоконнооптические линии связи. 1978. В. 2(5). Ч. 1. - С. 32 - 35.

183. Девятых, Г.Г. К вопросу о глубокой очистке веществ от субмикронных частиц дистилляционными методами / Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов // Получение веществ для волоконной оптики. 1980. - С. 72-77.

184. Пат. № 5499506, США. Ultra-high purity monosilane producing process and unit / Nagamura Takashi, Tomita Shinji. опубл. 19.03.1996.

185. Пат. № 5617740, США. Method of producing ultra high purity monosilane and apparatus therefor / Nagamura Takashi, Tomita Shinji. опубл. 08.04.1997.

186. AC № 432792, СССР. Способ очистки моносилана методом низкотемпературной ректификации / Я.Д. Зельвенский, А.И. Ефремов, А.Г. Петрик. опубл. 05.11.1974.

187. АС № 1032708, СССР. Способ очистки летучих гидридов / Г.Г. Девятых, Н.Х. Аглиулов, М.Ф. опубл. 01.10.1983.

188. Кафаров, B.B. Основы массопередачи. Издание 2-е / В.В. Кафаров. М.: Высшая школа, 1962. - 494 с.

189. Стабников, В.Н. Расчет и конструирование контактных устройств ректификационных и абсорбционных аппаратов / В.Н. Стабников. -Киев.: Техника, 1970. 207 с.

190. Браво, X.JL, Роха Х.А., Фэйр Д.Р. Сетчатые насадочные элементы для ректификационных колонн / Х.Л. Браво, Х.А. Роха, Д.Р. Фэйр // Нефть, газ и нефтехимия за рубежом. 1985. - № 1. - С. 76- 80.

191. Краснов, С.Г. Исследование давления в бинарных системах растворов, образованных моносиланом, арсином, моногерманом и фосфином / С.Г. Краснов, А.Д. Зорин, Л.В. Юданов // ЖФХ. 1965. - Т. 39, № 10. - С. 2440 - 2444.

192. Пат. № 0636576, ЕП МПК С 01 В 21/22. Ultra-high purity nitrous oxide producing method and unit / Nagamura Takashi. заявл.11.01.1995; опубл. 01.02.1995; Бюл. №14.

193. Пат. № 0636576, Япония. Ultra-high purity nitrous oxide producing method and unit / Takashi N. 2001.

194. Заявка 2942534 ФРГ, МПК(7) С 01 В 21/22. Verfahren fur die herstellungvondistickst off monoxid / Reiner H., Klaus R., DinamitNobelAg. №23443245, заявл. 20.10.79; опубл. 30.04.81; Бюл. № 30.

195. Арутюнов, С.А. Производство особочистого неона / С.А. Арутюнов, В.А. Егоров, Я.Д. Зельвенский, В.В. Шитиков // Высокочистые вещества -1989.-№3.-С. 141-145.

196. Головко, Г.А. Криогенное производства инертных газов / Г.А. Головко -1983 г.-ЗЮс.

197. Андреев, Б.М. Тяжелые изотопы водорода в ядерной технике / Б.М. Андреев, Я.Д. Зельвенсий, С.Г. Катальников. М.: Энергоатомиздат, 1987.- 456 с.

198. Гельперин, Н.И. Основы техники кристаллизации расплавов / Н.И. Гельперин, Г.А. Носов. М.: Химия,1975. - 352 с.

199. Player, M.R. Mathematical analysis of column crystallization / M.R.Player // Ind.Eng.Chem. Process Design and Development. 1969. -V.8. №2. - P. 210-217.

200. Девятых, Г.Г. Распределение примеси по высоте колонны при глубокой очистке веществ методом противоточной кристаллизации из расплава / Г.Г. Девятых, Ю.Е. Еллиев, А.Н. Гурьянов // Докл. АН СССР. 1972. - Т. 204. - С. 917 - 919.

201. Девятых, Г.Г. К теории работы противоточной кристаллизационной колонны / Г.Г. Девятых // Журнал физ.химии. 1967. - Т. 41. № 5. - С. 957 -961.

202. Девятых, Г.Г. Механизм массообмена при глубокой очистке веществ методом противоточной кристаллизации из расплава / Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, Ю.Е. Еллиев // Тезисы XI Менделеевского съезда. 1975. - С. 58 - 60.

203. Девятых, Г.Г. О влиянии укрупнения кристаллов на механизм массообмена при глубокой очистке веществ методом противоточной кристаллизации из расплава / Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, Ю.Е. Еллиев // Теор.осн.хим.технол. -1976. Т. 10. № 2. - С. 302 - 305.

204. Дозоров, В.А. Математическое моделирование кристаллизационной колонны с учетом продольного перемешивания жидкой фазы / В.А Дозоров // Получение и анализ чистых веществ. 1974. - С. 69 - 76.

205. Девятых, Г.Г. Оценка вклада процесса перекристаллизации в разделение смесей методом противоточной кристаллизации из расплава/ Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, Ю.Е. Еллиев // Доклады АН СССР. 1975. - Т. 222. № 2. - С. 353 - 355.

206. Родченков, В.И. Получения аммиака особой чистоты // Диссертация на соискание ученой степени к.х.н. Горький, 1978. - 141 с.

207. Еллиев, Ю.Е. Исследование работы кристаллизационной колонны в отборном режиме при глубокой очистке веществ / Ю.Е. Еллиев, А.Н.

208. Гурьянов, Г.Г. Девятых // Теор.осн.хим.технол. 1975. - Т. 9. № 5. -С. 773 - 776.

209. Воротынцев, В.М. К вопросу о распределении примеси по высоте кристаллизационной колонны при глубокой очистке веществ. Сообщение I / В.М. Воротынцев, Ю.Е. Еллиев // Труды по химии и хим. Технологии. 1975. - В. 1(40). - С. 8 - 10.

210. Девятых, Г.Г. О механизме укрупнения кристаллов в противоточной кристаллизационной колонне / Г.Г. Девятых, Ю.Е. Еллиев, В.М. Воротынцев, М.Я. Широбоков // Доклады АН СССР. 1973. - Т. 212. № 3. - С. 624 - 627.

211. Лазукина, О.П. Определение частиц в высокочистых летучих веществах для микроэлектроники / О.П. Лазукина, В.А. Крылов //Аналитика и контроль. 2003. - Т. 7. - № 3. - С. 203 - 214.

212. Лазукина, О.П. Взвешенные частицы в высокочистых летучих веществах // Диссертация на соискание уч.ст.доктора химических наук. -Нижний Новгород, 2002. 274 с.

213. Девятых, Г.Г. Глубокая очистка веществ в противоточной кристаллизационной колонне с движением твердой фазы под действием силы тяжести / Г.Г. Девятых, В.М. Воротынцев, Ю.Е Еллиев //Доклады АН СССР. 1992. - Т. 325. № 2. - С. 334 - 336.

214. Рейтлингер, С.А. Проницаемость полимерных материалов / С.А. Рейтлингер. М.: Химия, 1974. - 269 с.

215. Барр, Г. Вискозометрия/ Г. Барр. ГОНТИ: НКТП СССР, 1938. - 274 с.

216. Воротынцев, И.В. Проницаемость аммиака через ацетатцеллюлозную мембрану / И.В. Воротынцев, П.Н. Дроздов, Н.В. Карякин // Неорганические материалы. 2006. - Т. 42. № 3. - С. 231 - 235.

217. Drozdov, P.N. High purification of gas in radial membrane element / P.N. Drozdov, Y.P. Kirillov, E.Y. Kolotilov, I.V. Vorotyntsev // Desalination. -2002.-Vol. 146.-P. 249-254.

218. Seard, G. A. In Encyclopedia of Polymer Science and Engineering, edited by H. F. Mark, et al. Wiley-Interscience / G. A. Seard. New York, 1985. - V. 3

219. Mersea, P.V. Permeatia gazelor prin membrane asimetrice de acetat de celluloza / P.V. Mersea // Rev. Chem. 1992. - N. 3-4. - P. 121 - 128.

220. Смирнов, С.И. Массоперенос во взаимодействующих системах полимер пенетраит / С.И. Смирнов // Мембраны и мембранные технологии. -1985.-С. 22-29.

221. Леоненкова, Е.Г. Исследование гистерезисных явлений в системе целлюлоза аммиак / Е.Г. Леоненкова, Б.В. Васильев, Ф.В. Тарасов // Мембраны и мембранные технологии. - 1985. - С. 23 - 28.

222. Кособуцкая, А.А. Физическое состояние целлюлозных и эфироцеллюлозных материалов в пластифицирующей газовой среде /

223. A.А. Кособуцкая, Н.И. Наймарк, Э.В. Игнатьева // Высокомолекуляр. соединения. Серия Б. 1980. - Т. 22. № 11. - С. 827 - 830.

224. Кособуцкая, А.А. Сорбция газообразного аммиака ацетатами целлюлозы в широком диапазоне степеней замещения / А.А. Кособуцкая, Н.И. Наймарк, О.Г. Тараканова // Высокомолекуляр. соединения. Краткие сообщения, 1983.-Т. 25. № 1.-С. 18-22.

225. Smirnov, S.I. Features of sorption and mechanical behavior of gas ammonia/hydrated cellulose system / S.I. Smirnov // Book of abstract "Euromembrane-2000". Israel. - 2000. - P. 233.

226. Кленкова, Н.И. Структура и реакционная способность целлюлозы / Н.И. Кленкова. Л.: Наука, 1976. - 367 с.

227. Папков, С.П. Взаимодействие целлюлозы и целлюлозных материалов с водой/С.П. Папков, Э.З. Файнберг. М.: Химия, 1976. - 231 с.

228. Беляков, В.К. Влияние химического строения ароматических полиамидов на их сорбционную способность к аммиаку / В.К. Беляков,

229. B.Г. Карачевцев, С.И. Семенова // Высокомолекулярные соединения. -1983. Т. 25. № 9. - С. 1919 - 1928.

230. Чалых, А.Е. Диффузия в полимерных системах / А.Е. Чалых. М.: Химия, 1987. - 312 с.

231. Дургарьян, С.Г. Селективно проницаемые полимеры и газоразделительные мембраны: структура и транспортные свойства / С.Г. Дургарьян, Ю.П. Ямпольский, П.А. Платэ /7 Успехи химии. 1988. - Г. LVII. В. 6. - С. 974-989.

232. Крыкин, М.А. О природе селективной газопроницаемости мембран / М.А. Крыкин, С.Ф Тимашев // Высокомолекуляр. соед. Серия А. 1988. -Т. 30. № 1. - С. 21-26.

233. Киселев, А.В. Физико-химическое применение газовой хромачографии / А.В. Киселев, А.В. Иогансен, К.И. Сакодынский. М.: Химия, 1973. -256 с.

234. Вигдергауз, М.С. Применение газовой хроматографии для определения физико-химических свойств веществ / М.С. Вигдергауз, Р.И. Измайлов. -М.: Наука, 1970. 159 с.

235. Kiselev, A.V. Adsorbents in Gas Chromatography/ A.V. Kiselev // Advances in Chromatography / Ed. by Giddings J.C., Keller R.A. New-York: Marcel Dekker Co, 1967.

236. Pierotti, G.J. Solvent Effects in Gas-Liquid Partition Chromatography / G.J. Pierotti, C.H. Deal, E.L. Derr, P.E. Porter // J. Am. Chem. Soc. 1956. - V. 78 (13). - P. 2989-2998.

237. Davis, T.C. Inverse Gas-Liquid Chromatography. A New Approach for Studying Petroleum Asphalts / T.C. Davis, J.C. Petersen, W.E. Haines // Anal. С hem. 1966. - V. 38(2). - P. 241 - 243.

238. Березкин, В. Г. Аналитическая реакционная газовая хроматография / В. Г. Березкин. М.: Наука, 1966. - 184 с.

239. Нестеров, А. Е. Обращенная газовая хроматография полимеров / А. Е. Нестеров. Киев: Наукова думка, 1988. - 184 с.

240. Smidsrod, О. Study of Polymer-Solute Interactions by Gas Chromatography / O. Smidsrod, J.E. Guillet // Macromol. 1969. -V. 2(3). - P. 272 - 277.

241. Braun, J.-M. Study of polymers by inverse gas chromatography / J.-M. Braun, J.E. Guileet // Adv. Polym. Sei. 1976. - V. 21. - P. 107 - 145.

242. Смирнов, M.A. Сравнение сорбционных свойств хитозанов различной молекулярной массы / М.А. Смирнов, Е.П. Агеев, Т.А. Котельникова, Г.А. Вихорева // Структура и динамика молекулярных систем. 2003. -В. X. Ч. 2. - С. 230-233.

243. Колядина, O.A. Термодинамические характеристики сорбции спиртов на хитозане / O.A. Колядина, К.Ю. Муринов, Ю.И. Муринов // Журнал физической химии. 2002. - Т. 76. № 5. - С. 905 - 908.

244. Котельникова, Т.А. Выбор сорбата и обработки результатов при изучении полимерных материалов методом обращенной газовой хроматографии / Т.А. Котельникова, Е.П. Агеев // Журнал физической химии. 1995. - Т. 69. № 11. - С. 2041 - 2044.

245. Ямпольский, Ю.П. Термодинамика сорбции газов и паров аморфными стеклообразными тефлонами AF1 / Ю.П. Ямпольский, В.Г. Березкин,

246. Т.П. Попова // Высокомолекулярные соединения. Серия А. 2000. - Т. 42. №6. -С. 1023 - 1034.

247. Давыдова, М.Б. Исследование сорбции в полифениленоксиде методом обращенной газовой хроматографии / М.Б. Давыдова, Ю.П. Ямпольский // Высокомолекулярные соединения. Серия А. 1991. -Т. 33. № 3. - С. 574-579.

248. Ямпольский, Ю.П. Исследования методом обращенной газовой хроматографии селективной сорбции хлорметанов сополимерами хлоропрена / Ю.П. Ямпольский, P.M. Овсепян // Высокомолекулярные соединения. Серия Б. 1989. - Т. 31. № 9. - С. 697 - 700.

249. Соловьев, С.А. Термодинамические параметры сорбции углеводородов полисилметиленами / С.А. Соловьев, Ю.П. Ямпольский, I.G. Economou, H.B. Ушаков // Высокомолекулярные соединения. Серия А. 2002. -Т. 44. № 3. - С. 465 -473.

250. Киселев, A.B. Физико-химическое применение газовой хроматографии / A.B. Киселев, A.B. Иогансен, К.И. Сакодынский. М.: Химия, 1973. -256 с.

251. Воротынцев, И.В. Сорбция аммиака и азота на ацетате целлюлозы по данным газовой хроматографии / И.В. Воротынцев, П.Н. Дроздов, Г.М. Мочалов, H.H. Смирнова, С.С. Суворов // Журнал физической химии. -2006. Т. 80. № 12. - С. 2020 - 2023.

252. Калуцкая, Э.П. Исследование гидратации целлюлозы методами ИК-спектроскопии / Э.П. Калуцкая, С.С. Гусев // Высокомолекулярные соединения. Серия А. 1980. - Т. 22. № 3. - С. 497 - 503.

253. Yong, Yang. Cellulose acetate / Yong Yang // Polymer Data Handbook. -1999.-P.9-56.

254. Вяхирев, Д.А. Руководство по газовой хроматографии / Д.А. Вяхирев, А.Ф. Шушунова. М.: Высшая школа, 1975. - 302 с.

255. Гребенников, С.Ф. Критерии термодинамической корректности уравнений Дубинина-Астахова, Брунауэра-Эмметта-Теллера и Дубинина-Серпинского / С.Ф. Гребеннков, Т.С. Якубов, Л.Е. Клюев // Журнал физической химии. 1997. - Т. 71. № 6. - С. 1074 - 1076.

256. Vieth, W.R. Dual sorption theory / W.R. Vieth, J.M. Howell, J.H. Hsieh // Journal of Membrane Science. 1976. - V. 1. P. 177 - 220.

257. Тихомирова, И. Ю. Особенности адсорбции паров воды органическими соединениями / И. Ю. Тихомирова, Т.М. Буркат. 1992. - С. 137 - 215.

258. Клюев, Л.Е. Квазихимическая модель сорбционного равновесия в системах с набухающими полимерными сорбентами / Л.Е. Клюев, С.Ф. Гребенников // Журнал физической химии. 1996. - Т. 70. № 11. - Р. 2053 -2058.

259. Толмачев A.M. Адсорбция в микропорах / А.М.Толмачев. М.: Наука, 1983. - 450 с.

260. Laatikainen, М. General sorption isotherm for swelling materials / M. Laatikainen, M.Lindström. // Acta Polytechn. Scand. Chem. Technol. and Met. Ser. 1987. - № 178. - P. 105 - 116.

261. Смирнов, M.A. Сравнение сорбционных свойств хитозанов различноймолекулярной массы / М.А. Смирнов, Е.П. Агеев, Т.А. Котельникова, Г.А. Вихорева // Структура и динамика молекулярных систем. 2003. -Выпуск X. Часть 2. - С. 230 - 233.

262. Колядина, O.A. Термодинамические характеристики сорбции спиртов на хитозане / O.A. Колядина, К.Ю. Муринов, Ю.И. Муринов // Журнал физической химии. 2002. - Т. 76. № 5. - С. 905 - 908.

263. Малахов, А.О. Уравнение кооперативной полимолекулярной сорбции: приложение к системе спирт-политриметилсилилпропин / А.О. Малахов,

264. B.В. Волков // Высокомолекулярные соединения. Серия А. 2000. - Т. 42. № 10. - С. 1721 - 1729.

265. Хамракулов, Г. Сорбция и диффузия воды в целлюлозу и ее ацетаты / Г. Хамракулов, Н.В. Мягкова, В.П. Будтов // Высокомолекулярные соединения. Серия Б. 1994. - Т. 36. № 5. - С. 845 - 849.

266. Бочек, A.M. Особенности взаимодействия целлюлозы и ее ацетатов с водой / А.М.Бочек, Л.М.Калюжная // Журнал прикладной химии. 2002. -В. 6. Т. 75.-С. 1007- 1011.

267. Клюев, Л.Е. Описание кластерообразования в полимерах в рамках модели Зима-Ландберга и квазихимической модели сорбции / Л.Е.Клюев,

268. C.Ф. Гребенников // Журнал физической химии. 1999. - Т. 73. № 9. - С. 1700- 1702.

269. Воротынцев, В.М. Влияние сорбции воды на разделительную способность ацетатцеллюлозной мембраны / В.М. Воротынцев, И.В. Воротынцев, Т.В. Гамаюнова, H.A. Петухова // Мембраны. Критические технологии. 2010. - Т. 39. № 4. - С. 10 - 15.

270. Воротынцев, И.В. Термическое уравнение сорбции аммиака ацетатом целлюлозы. / И.В. Воротынцев, Т.В. Гамаюнова // Журнал физической химии. 2009. - Т. 83. № 5. - С. 939 - 942.

271. Клюев, Л.Е. Термодинамические закономерности квазихимической модели сорбции паров набухающими полимерами / Л.Е. Клюев, С.Ф. Гребенников // Журнал физической химии. 1998. - Т. 72. № 3. - С. 534

272. Тагер, А.А. Физико химия полимеров / А.А. Тагер. - М.: Химия, 1968. -536 с.

273. Кальве, Э. Микрокалориметрия / Э. Кальве, А. Прат. М.: Изд-во ин. лит., 1963. - 477 с.

274. Хеммингер, В. Калориметрия. Теория и практика / В. Хеммингер, Г. Хене. М.: Химия, 1989. - 176 с.

275. Гальперин, JI.H. Дифференцильные автоматические калориметры разного назначения / JI.H. Гальперин, Ю.Р. Колесов, Л.Б. Машкинов, Ю.Э. Гермер // Тезисы4 Всесоюз. конф. по калориметри. Тбилиси. -1973. - С. 539-543.

276. Мищенко, К.П. Термодинамика и строение водных и неводных растворов электролитов / К.П. Мищенко, Г.М. Полторацкий Л.: Химия, 1976. 328 с.

277. Глушко, В.П. Термические константы веществ / В.П. Глушко. М.: Наука, 1965 - 1982. - Вып. 1 - 10.

278. Кирьянов, К.В. Определение энтальпии смешения нитроцеллюлозы с триацетином в микрокалориметре ДАК-1-1А /К.В. Кирьянов // Термодинам, орган, соедин. 1983. - С. 58-62.

279. Кирьянов, К.В. Термохимия уранофосфатов железа, кобальта, никеля / К.В. Кирьянов, Н.Г. Черноруков, Е.В. Сулейманов, О.А. Егорова // Вестник Нижегород. гос. ун-та. Сер.хим. 2000. - В. 1.-С. 127-131.

280. Pet'kov, V.I. Thermodynamic Properties of the MZr2(P04)3 (M = Na,K,Rb or Cs) Compounds / V.I. Pet'kov, K.V. Kir'yanov., A.I. Orlova, D.B. Kitaev // J. Thermal Anal, and Calorimetry. 2001. V. 65. P. 381-389.

281. Pet'kov, V.I. Thermodynamic properties of trizirconium tetraphosphate / V.I. Pet'kov, E.A. Asabina, K.V. Kir'yanov, A.V. Markin, N.N. Smirnova, D.B. Kitaev, A.M. Kovalsky // J. Chem. Thermodynamics. 2005. - V. 37. - P. 467 -476.

282. Смирнов, С.И. Особенности поведения системы газообразный аммиакгидратцеллюлоза / С.И. Смирнов // Тезисы Мембраны-2001. Москва. -2001. - С. 77.

283. Наканиси, К. Инфракрасные спектры и строение органических веществ / К. Наканиси. Л.: «Мир», 1985. - 543 с.

284. Foresman, J.B. Exploring Chemistry with Electronic Structure Methods /J.B. Foresman // Gaussian Inc. Pittsburg, PA, P. 303.

285. Dias, Cristina R. Structure of water in asymmetric cellulose ester membranes an ATR-FTIR study / Cristina R. Dias, Maria Joäo Rosa, Maria Norberta de Pinho. //Journal of Membrane Science. - 1998. - V. 138. - P. 259 - 267.

286. Murphy, Damien. An ATR-FTIR study of water in cellulose acetate membranes prepared by phase inversion / Damien Murphy, Maria Norberta de Pinho // Journal of membrane science. 1995. - P. 245 - 257.

287. Liu, Cheng-Kung. Fiber formation via solution spinning of the cellulose / ammonia / ammonium thiocyanate system / Cheng-Kung Liu, John A. Cuculo // J. Polymer Seines. B. 1991. - V. 29. № 2, P. 181 - 196.

288. Воротынцев, В.М. Применение мембранного модуля с питающим резервуаром для глубокой очистки газов / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, И.В. Воротынцев, С.С. Балабанов // Теоретические основы химической технологии. 2008. - Т. 42. № 4. - С. 413 - 418.

289. Пат. 7074256, США. Разделение газовых смесей с использованием полифосфазеновых мембран. опубл. 11.07.2006.

290. Воротынцев, В.М. Глубокая очистка газов от легкопроникающих примесей в мембранном модуле с импульсным отбором / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, И.В. Воротынцев, Е.М. Беляев // Мембраны и мембранные технологии. 2011. - Т. 1. № 4. - С. 261 - 265.

291. Schultz, J. Peinemann. Membranes for séparation of higher hydrocarbons from methane / J. Peinemann Schultz // J. Membr. Sci. 1995. - V. 110. - P. 37-45.

292. Merckel, T.C. Hydrocarbons and perfluorocarbons gas sorption in poly(dimethilsiloxane), poly(l-trimethyl-l-propine), and copolymers of tetrafluoroethylene and 2,2-bis(trifluoromethyl)-4,5-defluoro-1,3-dioxane /

293. T.C. Merckel, V. Bondar, К. Nagai, B.D. Freeman // Macromolecules. 1999.- V. 32. №2. -P. 370-374.

294. Matsumoto, K. Membrane process for organic vapor recovery from air / K. Matsumoto, K. Ishii, T. Kuroda // Polym. J. 1991. - V. 23. № 5. - P. 491.

295. Watanabe, H. CO2 removal from synthetic natural gas for city gas use / H. Watanabe // J. Membr. Sci. 1999. - V. 154.-P. 121.

296. Roberts, D.L., Ching G.D. Recovery of freon gases with silicone rubber membranes / D.L. Roberts, G.D. Ching // Ind. Eng. Chem. Process Des. Dev.- 1986. V. 25. № 4. - P.971.

297. Werner, U. Aufbereitung von Bio-und Erdgasen mit Membranverfahren / U. Werner// GWF Gas/Erdgas. 1985. - R. 126. № 1. - S. 25 - 29.

298. Пат. № 5064446, США. Method of preparing high purity light gas by multiple-step gas separation / Yoshihiro Kusuki, Kazuhiko Ishihara, 1991.

299. Воротынцев, В.М. Разделительная способность мембранных элементов с рециркуляцией при концентрировании примесей из газов / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, С.В. Колесов // Высокочистые вещества. -1991,-№5.-С. 57-62.

300. Турцевич, А. С. Кинетика процесса осаждения слоев в системе SiH4-N20 в реакторе пониженного давления. Высокотемпературный окисел кремния / А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко // Поверхность: Ренген., синхротрон, и нейтрон, исслед. 1996. - С. 10-16.

301. Inushima, Т., Film growth mechanism of photochemical vapor deposition / Inushima Т., Hirose N., Urata K., Ito K., Yamazaki S. // Appl. Phys. A. -1988,-№47. P. 229-236.

302. Yao, Z.-Q. High quality ultrathin dielectric films grown on silicon in a nitric oxide ambient / Z.-Q. Yao, H. B. Harrison, S. Dimitrijev, D. Sweatman, Y. T. Yeow // Appl. Phys. Lett. 1994. - № 64. - P. 3584.

303. Киреев В. Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. М.: Техносфера, 2006. - С. 192.

304. Воротынцев, В. М. Базовые процессы микро и наноэлектроники: учеб. пособие/ В.М. Воротынцев, В. А. Перевогциков, В. Д. Скупов. - Н. Новгород: НГТУ, 2006. - 358 с.

305. Азота закись особой чистоты ТУ 2114-007-16424433-2007.

306. Воротынцев, В.М. Глубокая очистка оксида диазота дистилляционным методом / В.М. Воротынцев, И.В. Воротынцев, К.Ю. Смирнов // Теоретические основы химической технологии. 2010. - Т. 44. № 3. - С. 249-253.

307. Азота закись ТУ 2114-051-00203772-2006

308. ГОСТ 8.315-97. Стандартные образцы состава и свойств веществ и материалов. Основные положения.; введ. 01.07.97. М.: Изд-во стандартов, 1997. - 30 с.

309. Дёрффель, К. Статистика в аналитической химии / К. Дёрффель,- М.: Мир, 1994. 268 с.

310. Воротынцев. В. М. Физико химические основы глубокой очистки летучих неорганических гидридов методом ректификации при повышенном давлении. II. Температурная зависимость фактора разделения ректификационной колонны в области Ткип - 0,8 Ткр. / В.М.

311. Воротынцев, Г.М. Мочалов Г. М., В.В. Балабанов // Высокочистые вещества. 1991. -№ 6. - С. 126- 130.

312. Parrish, W.R. Vapour-liquid quilibriums data for helium-carbon monixide and helium-nitrous oxide system / W.R. Parrish, W.G. Steward // Journal of Chemical & Engineering data. 1975. - V. 20. № 4. - P. 412 - 416.

313. Hansen, N. New force fields for nitrous oxide and oxygen and their application to phase quilibria simulations / N. Hansen, F.A.B. Agbor, F.J. Keil // Fluid Phase euilibria. 2007. - V. 259. - P. 180 - 188.

314. Jamieson, D.T. / Jameison D.T., Beaton C.F., Ambrose D., Brunner E., Chase M.W., Downey J.R., Hobson G., Humphreys A.E., Knight S.R., Marsh K.N., Watson K.N. // Thermophysical propertries of nitrous oxide. 1999. Is. 91022. -20 p.

315. Vorotyntsev, I.V. Ammonia separation and purification by absorbing pervaporation / I.V. Vorotyntsev, P.N. Drozdov, D.N. Shablikin, T.V. Gamajunova // Desalination. 2006. - V. 200. № 1-3. - P. 379 - 380.

316. Дроздов, П.Н. Выделение хлористого водорода и аммиака из абгазов производства микроэлектронных изделий методом абсорбционной первапорации / П.Н. Дроздов, Е.Ю. Колотилов, И.В. Воротынцев, Д.В. Муравьев // Известия АИН РФ. 2004. - Т. 7. - С. 142 - 149.

317. Броунштейн, Б.И. Гидродинамика, массо- и теплообмен в дисперсных системах /Б.И. Броунштейн, Т.А. Фишбейн. Л.: Химия, 1977. - 320 с.

318. Воротынцев, В.М. Газовые гидраты в-процессе глубокой очистки газов / В.М. Воротынцев, В.М. Малышев // Высокочистые вещества. 1993. - № 6.-С. 60.

319. Ушакова, Е.Н. Закономерности улавливания аэрозолей фильтрующими материалами ФП / Е.Н. Ушакова, В.И. Козлов, И.В. Петрянов // Коллоидный журнал. 1973. - Т. 35. № 2. - С. 388.

320. Ушакова, Е.Н. Закономерности улавливания аэрозолей фильтрующими материалами ФП. / Е.Н. Ушакова, Козлов В.И., И.В. Петрянов // Коллоидный журнал. 1973. - Т. 35. № 1. - С. 99.

321. Handbook of Chemistry and Physics 84th. édition. Editor-in-chief Lide David R. CRC Press. 2004. - 2475 p.

322. ГОСТ 6221-90 марка A (изм. №1,2, 3)

323. Патент № 2327640 РФ, С 01 С 1/02. Способ глубокой очистки аммиака / Воротынцев В.М., Малышев В.М., Тарабуров П.Г., Воротынцев И.В. -Опубл. 27.06.2008, БИ № 18.

324. Аммиак жидкий особой чистоты ТУ 2114-005-116422443-2003.

325. Патент США № 6,270,173. Способ очистки сбросных газов при производстве полупроводниковых приборов / Takayuki S. and etc.; опубл. 21.08.2001.

326. Патент США № 5,958,138. Установка для извлечения газов / Shinji Т., Shigeyoshi N.; опубл. 28.09.1999.

327. Lin, J. Fabrication of High-Performance Dispersion Compensating Fiber by Plasma Chemical Vapor Déposition / J. Lin, Y.L. Lam, Y.C. Chan, Y. Zhou, J. Yao // Fiber and Integr. Opt. 1999. V. 18. № 2. P. 63-67.

328. Патент № 5,968,334 США. Процесс извлечения CF4 и C2F6 из отходящих газов электролизера при получении алюминия / Li Y.-E. опубл. 19.10.1999.

329. Патент № 2155743 РФ, С 07 С 19/08. Способ получения тетрафторметана / Львов В.А., Рыбинович Р.П., Сапожников М.В., Шопен В.П., Кузнецов А.С. Опубл. 10.09.2000.

330. Патент № 2181352 РФ, С 07 С 19/08. Способ получения тетрафторметана / Уклонский И.П., Денисенков В.Ф., Ильин А.Н., Малков А.В., Волков В.Н., Иванова Л.М. Опубл. 20.04.2002.

331. Патент № 645824 США, B01D 3/34. Process for purifying perfluorinated products / Newton R., Chai C.-P., Asher В. Опубл. 01.10.2002.

332. Singh, S., Adsorbtion of tetrafluoromethane and nitrogen by various afsorbents / S. Singh., H. Tezel, P.J.E. Harlick // Separ.Sci. and Technol. -2002. V. 37. № 12. - P. 2763-2784.

333. Kataoka, Y. Improvement in downflow etching rate using Au as a catalyst / Y. Kataoka, T. Shinmura, M. Kanoh // J. Vac. Sci. And Tech. A. 2000. - V. 18. №2. - P. 388-392.

334. Патент № 6214089 США, С 07 С 17/28. Process and system for separation and recovery perfluorocompound gases / Li Y.-E., Paganessi J.E., Vassallo D., Fleming G.K. Опубл.10.04.2001.

335. Амирханов, Д.М. // Д.М. Амирханов, М.Н. Тульский, А.А. Котенко // X Симпозиум по химии неорганических фторидов. Фторидные материалы: Тез.докл. Программа. М. - 1998. - 187с

336. Дроздов, П.Н. Ресурсосберегающие мембранные технологии глубокой очистки газов для микроэлектроники / П.Н. Дроздов, Е.Ю. Колотилов,

337. И.В. Воротынцев, B.B. Волков, B.C. Хотимский // Известия АИН РФ. -2004.-Т. 7.-С. 61-69.

338. Патент 2322284 РФ, В 01 D 53/00. Способ разделения и/или очистки газовых смесей / Воротынцев В.М., Дроздов П.Н., Воротынцев И.В., Муравьев Д.В. Опубл. 20.04.2008, БИ № 11.

339. Zemljic, A. Sinteza dusikovega trifluorida / A. Zemljic, В. Druzina, A. Smalc // Кет. Ind. (Serbo-Croatian). 1986 -V. 35. - № 5. - P. 277 — 279.

340. Vorotyntsev, V.M. High separation of substances by a gas separation method / V.M. Vorotyntsev, P.N. Drozdov, I.V. Vorotyntsev // Desalination. 2009. -Vol. 240.-P. 301-305.

341. Воротынцев, И.В. Сравнение эффективности работы плоскопараллельных и радиальных мембранных модулей в безотборном режиме // Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия Химия. 1999. - В. 2. - С. 224-225.

342. Дроздов, П.Н. Безотборный режим мембранных газоразделительных модулей / П.Н. Дроздов, И.В. Воротынцев // Теоретические основы химической технологии. 2003. - Т. 37. № 5. - С. 525-529.

343. Воротынцев, В.М. Глубокая очистка N20 методом мембранного газоразделения / В.М. Воротынцев, П.Н. Дроздов, И.В. Воротынцев, К.Ю. Смирнов // Неорганические материалы. 2009. - Т. 45. № 11.- С. 1349-1352.

344. Гумеров, A.M. Полимеры на основе простых полиэфиров, ароматических изоцианатов и октаметилциклотетрасилоксана / A.M. Гумеров, И.М. Давлетбаева, А.Ф. Галяутдинова, P.C. Давлетбаев, И.В. Воротынцев // Пластические массы. 2010. - № 4. - С. 21-25.

345. Дроздов,^П.Н. Выделение хлористого водорода и аммиака из абгазов1. ЗИЛ ^ * ^ г г* »-»пр^^^^ста^ микроэлектронных изделии методом абсорбционной

346. Дроздов, Е.Ю. Колотилов, И.В. Воротынцев, Д.В.

347. MÏpf '//Известия АИН РФ. 2004. - Т. 7. - С. 142-149.