Энергетические характеристики и пространственная структура разрядов в смесях газов с HCl и SF6 тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.13, доктор физико-математических наук Ястремский, Аркадий Григорьевич

• Ястремский, Аркадий Григорьевич
• доктор физико-математических наук
• 2008

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Энергетические характеристики и пространственная структура разрядов в смесях газов с HCl и SF6»

Актуальность тематики следований 5

Цель работы 9

Основные задачи 9

Защищаемые научные положения 10

Научная ценность и новизна результатов 12

Достоверность результатов диссертационной работы 13

Личный вклад автора 13

Практическая ценность работы 14

Публикации и апробация результатов 14

Структура и объем диссертации 15

Заключение диссертации по теме «Электрофизика, электрофизические установки», Ястремский, Аркадий Григорьевич

1. Результаты исследования процессов кинетики разряда в смесях Ne/Xe/HCl были использованы при разработке электроразрядных лазеров в лаборатории газовых лазеров ИСЭ СО РАН.

2. Результаты численного исследования кинетики процессов в SF6 и в смесях SF6 с углеводородами позволяют выбрать оптимальные параметры электрической цепи, разрядной камеры и электродов для формирования пространственно однородного разряда накачки HF лазеров с необходимыми характеристиками.

3. Полученные результаты являются физической основой для разработки инженерных методов расчета конкретных лазерных систем.

Публикации и апробация результатов

Основные материалы по теме диссертации опубликованы в 42 работах и докладывались на 17 международных и всесоюзных конференциях: Международной конференции Лазер 79 (США, 1979); IV Всесоюзной конференции по физике низкотемпературной плазмы (Киев, 1975); II Всесоюзном семинаре по сильноточной электронике (Томск, 1978); III Международном семинаре по KrF технологиям (Англия, 1992); 4-7 Международных конференциях «Импульсные лазеры на переходах атомов и молекул» (Томск); XXVI Международной конференции по явлениям в ионизованных газах (Грейфсвальд, Германия 2003); XIV Симпозиуме по сильноточной электронике (Томск, 2006 г.); 6 Российско-китайском симпозиуме по лазерной физике и лазерным технологиям (Томск, 2000); VII Российско - Китайском симпозиуме по лазерной физике и лазерным технологиям (Томск, 2004 г.); международной конференции «Оптика Лазеров» (Санкт Петербург, 1993 г., 2006 г.); XV международном симпозиуме «Мощные газовые и химические лазеры», (Прага 2006 г.); 13 Международной конференции по методам аэрофизических исследований, (Новосибирск, 2007 г.); 10 Международной конференции по физике газоразрядной плазмы, (Томск 2007 г.)

Структура и объем диссертации.

Диссертация включает введение, семь глав, заключение, приложение и список литературы из 193 наименований. Объем диссертации составляет 219 страниц, число рисунков 107.

ГЛАВА 1. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И

ПРОСТРАНСТВЕННАЯ СТРУКТУРА РАЗРЯДОВ НАКАЧКИ ХеС1 ЛАЗЕРОВ И РАЗРЯДОВ В СМЕСЯХ ГАЗОВ НА ОСНОВЕ SF6 (КРАТКИЙ ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)

1.1 Электроразрядный ХеС1 лазер

Первые успешные эксперименты по генерации излучения в лазерных системах на основе эксимерных молекул были проведены в группе Басова Н. Г. в 1970 г. [1,2]. В 1975 г Ewing J. J. и Brau С. А. [3] запустили первый ХеС1 лазер с накачкой электронным пучком. В 1977 г. Ищенко В. И., Лисицын В. Н. и Ражев А.М. [4] впервые получили генерацию в ХеС1 лазере с накачкой электрическим разрядом. К настоящему времени, получена плотность энергии излучения 5 Дж/л при эффективности преобразования энергии вложенной в разряд в энергию лазерного излучения 5% [43]. Получена средняя мощность 500 Вт [19], создан широкоаппертурный лазер с энергией излучения 15 Дж в импульсе [4], создан лазер с мощностью ~ 1кВт, работающий при частоте 1 кГц [20]. Получена удельная энергия излучения 7,6 Дж/л при эффективности 2.6% [17], сообщается о получении плотности энергии излучения 10Дж/л [18].

1.1.1 Электрические схемы накачки

К началу работ по электроразрядным эксимерным лазерам объемные разряды атмосферного давления были уже известны [45]. Опубликованы работы, посвященные исследованию электроразрядных С02 лазеров [46]. Опыт, полученный при исследовании объемных разрядов в С02 лазерах был использован при создании эксимерных лазеров.

Необходимым условием зажигания объемного разряда является присутствие в разрядном промежутке достаточного количества электронов предыонизации [47]. Было показано [48,49], что выходные характеристики лазера улучшаются с увеличением начальной концентрации электронов, и объяснялся этот факт улучшением однородности разряда накачки. Однако зажечь пространственно однородный разряд при необходимой плотности энергии накачки оказалось не просто. Проблема формирования однородного разряда накачки эксимерных лазеров усугубляется тем, что в таких разрядах развивается неустойчивость, связанная с неоднородным выгоранием донора галогена в объеме. Так называемая галоген - донорная неустойчивость [50,24] приводит к тому, что при увеличении содержания HCl в активной среде однородность разряда накачки ухудшается [51].

Проблеме устойчивости разряда накачки уделялось большое внимание. Было показано, что при увеличении начальной концентрации электронов и скорости роста тока можно увеличивать длительность объемной стадии разряда [49,52]. Все эти особенности разряда определили требования к электрическим схемам накачки ХеС1 лазера.

Первыми появились лазеры с длительностью импульса излучения ~30 не [7-10,53-55] с накачкой от двухконтурных схем питания с предыонизацией разрядного промежутка ультрафиолетовым излучением. Такие лазеры созданы в ИСЭ [7,8,53], в ИОФАНе [9], в Эстонии [10]. Отметим характерные особенности таких схем и лазеров на их основе. Малая индуктивность разрядного контура и большое напряжение на конденсаторе обеспечивают большую мощность импульса накачки при малой его длительности. Для обеспечения высокой удельной мощности накачки, объем газовой среды в таких лазерах сравнительно мал. Малое выгорание молекул HCl дает возможность обеспечить хорошую пространственную однородность разряда. Генерация лазерного излучения начинается в области максимума мощности накачки и продолжается на ее спаде. Конструкция лазера простая и надежная. На сегодняшний день достигнута частота следования импульсов 1 - 2 кГц, при средней мощности 1 кВт [55].

Следующий значимый этап развития ХеС1 лазеров связан с работами по увеличению длительности импульса излучения, увеличению апертуры лазера и энергии в импульсе. На этом этапе использовалось большое разнообразие схем накачки. Принцип оставался общим. Создавалось два импульса. Первый импульс большой мощности и малой длительность использовался для формирования разряда. Вторым импульсом с меньшей мощностью и с большей длительностью осуществлялась накачка активной среды. Использовались конденсаторы [33,49,50], и электрические линии с водой [60,61,68,12], и твердым диэлектриком [35,37,39,43]. Для уменьшения фронта нарастания тока применялись устройства магнитного сжатия [13]. На таких схемах были получены энергии в импульсе 60 -80 Дж, но при эффективности ~1 %. Наиболее заметных результатов достигли в Голландии [11], где были получены импульсы излучения длительностью ~200 не, в частотном режиме, при малой апертуре лазера.

Новую концепцию электрических цепей накачки предложили B.Lacour и С. Vannier [16, 57]. Это, так называемые, схемы с фотоинициированием разряда. В такой схеме, конденсаторы расположены на электродах, с минимальной индуктивностью разрядного контура. Зарядка конденсаторов происходит за время порядка нескольких микросекунд. Разряд инициируется мощным рентгеновским излучением. Созданы лазеры с большой апертурой [43, 20], получены 500 Вт средней мощности на частоте [19], эффективность 5% [44] и энергия излучения 15 Дж в импульсе [20]. При использовании таких схем была получена удельная энергия лазерного излучения для ХеС1 лазера ~ 7,6 Дж/л [17].

В [58] предложена схема накачки на основе полупроводникового прерывателя тока и индуктивного накопителя энергии. В основе остается типичная двухконтурная схема, в которой добавляется контур с прерывателем и контур управления прерывателем. Использование прерывателя позволяет сохранить малую длительность первого импульса накачки и дает возможность увеличить мощность этого импульса до требуемого значения. Была получена энергия излучения 1 Дж при эффективности 4 %. При этом, прогресс в создании полупроводниковых прерывателей тока позволяет надеяться на дальнейшее улучшение этих показателей.

1.1.2. Характеристики лазерного излучения.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Разработан пакет программ для расчета и анализа характеристик эксимерных лазеров, кинетики процессов в пространственно однородной (OD) и пространственно неоднородной (1D и 2D) разрядной плазме.

2. В пространственно однородном разряде в смесях Ne/Xe и Ne/Xe/PICl показано, что в начальной стадии разряда расход мощности на ионизацию составляет ~ 1 % от мощности, передаваемой в разряд. Остальная часть мощности тратится на возбуждение атомов Хе*, молекул HCl* в состоянии электронного возбуждения и молекул HCl(v) в состоянии колебательного возбуждения.

3. Показано, что энергия образования электрон-ионной пары £j в смеси Ne/Xe уменьшается от s, я 500 эВ в начальной стадии разряда, до 8 я 2 эВ при Хе*

15 —3 10 см . Значение £i в максимуме тока увеличивается с увеличением начальной концентрации молекул HCl в газовой смеси.

4. Выявлено что в области изменения удельного энерговклада Ен ~ (0 - 337) Дж/л, мощности накачки от 0.5 МВт/см3 до 6 МВт/см3 и длительности импульса накачки от 30 не до 150 не на полувысоте, на создание молекул ХеС1(В, v = 0) передается «16 % энергии накачки. Потери энергии составляют: тушение Хе* и *

HCl я 30 %, процессы электрон-ионной рекомбинации я 10%, конверсия атомарного иона Хе+ в молекулярный NeXe+ »10%, VV и VT релаксация молекул XeCl(v) »30%.

5. Установлено, что при оптимальном соотношении "энергия генерации -эффективность лазера" выгорание молекул HCl за время импульса составляет ~ 80 %.

6. Показано, что максимальная эффективность ХеС1 лазера достигается при малых плотностях энергии накачки. С увеличением плотности энергии накачки и концентрации HCl в газовой смеси увеличивается энергия излучения и снижается эффективность лазера. При плотности энергии излучения ~ 10 Дж/л эффективность лазера уменьшается до ~ 1.3%.

7. Установлено, что рост проводимости в канале определяется увеличением частоты ступенчатой ионизации и прилипания электронов к HCl(v), которые зависят от концентрации электронов. Выгорание молекул HCl снижает прилипание и ускоряет рост концентрации электронов в канале, что ведет к созданию канала с высокой проводимостью.

8. В разряде в смесях газов на основе ЗБб, показано, что частота ступенчатой ионизации становится сравнимой с частотой прямой ионизации при пс > 2-1013 см'3.

9. Показано, что при однородном распределении поля Е и неоднородном распределении электронов изменение первоначального пространственного распределения электронов в разряде в ББб происходит при концентрации электронов пе > 2-013 см"3.

10. Установлен механизм изменения ширины разряда в ББе и в смесях 8Рб/С2Н6 при неоднородном пространственном распределении электронов предыонизации, который обусловлен различным соотношением частот ступенчатой ионизации и прилипания электронов к колебательно возбужденным молекулам 8Р6(у) в различных точках разрядного промежутка.

11. В разряде в 8Б6 при одновременном развитии плазменного канала и однородного разряда, площадь которого больше площади канала, изменение во времени пе(хД) и плотности мощности в канале происходит в виде затухающих колебаний. Колебания обусловлены тем, что изменение частоты прилипания происходит с запаздыванием относительно частоты ионизации.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Ястремский, Аркадий Григорьевич, 2008 год

1. Басов Н. Г., Данилычев В. А., Попов Ю.М., Хадкевич Д. Д. Квантовый генератор в вакуумной области спектра при возбуждении жидкого Хе электронным пучком // Письма ЖТФ.- 1970,- Т. 12.- №10,- С.473

2. Ewing J. J., Brau C. A Laser action on 2Z+1/2 2S+1/2 Bands of KrF and XeCl // Appl. Phys. Lett. 1975. - V.27. - N.6 - PP. 350 - 352

3. Ischenko V. I., Lisitsyn V. N., Razhev A. M. Efficient Discharge Pumping XeCI Laser // Opt Comm.-1977. V. 21. -P. 30 - 33.

4. Jacobcon T. J., and Kimpbell J. PI. Transversely Pulse-Initiated Chemical Lasers: Atmospheric-Pressure Operation of an HF Laser // Journal of Appl. Phys.1971. V.42. - No 9. - P. 3402 -3405

5. Pummer H., Breitfeld W., Wedler H., Klement G., and Kompa K. L. Parameter study of 10-J hydrogen fluoride laser // Appl. Phys. Lett.- 1973.- Уо1.22, No 7, -P. 319-320.

6. Bychkov Yu. I., Losev V. F., Panchenko Yu. N., Yampolskaya S. A., Yastremsky A. G. Peculiarities of short pulse electrical discharge XeCl Laser // Proc. SPIE. -2003. -V. 5483. -P. 60-65.

7. Borisov V. M., Demin A. I., Eltsov A.V., Khristoforov О. В., Kiryukhin Y. В., Prokofiev A. V., Vinokhodov A. Y., Vodchits V. A. Development of next generation excimer lasers for industrial applications // Proc. SPIE. -2003. -У. 5137, № 1.-P. 241-249.

8. Treshchalov A. Influence of dye laser radiation on the preionization and discharge stability of XeCI laser // Proc. SPIE. -1994. -V. 2206. -P. 314-322.

9. Van Goor F. A., Witteman W. J. High-average power XeCl laser with x-ray preionization and spiker-sustainer exitation // Proc. SPIE. -1992. -V. 2206. -P. 3040.

10. Van Goor F. A., Trentelman M., Timmermans J. С. M., Witteman W. J. Improved x-ray switched XeCl laser //J. Appl. Phys. 1994. -V.75, № 1. -P. 621-623.

11. Giordano G., Letardi Т., Muzzi F., Zheng С. E. Mugnetic pulse compressor for prepulse discharge in spiker-sustainer exitation technique for XeCl lasers // Rev. Sci. Instrum. -1994. -V. 65, № 8. -P. 2475-2481.

12. Месяц Г. А., Панченко A. H., Тарасенко В. Ф. Лазеры на смеси Ne-Xe-HCl и азоте при накачке генератором с плазменным прерывателем тока // ДАР1 СССР. 1989. - №4.- С. 869.

13. Lacour В. and Vannier С. Phototriggering of 1- J Excimer Laser Using Either UV or X -rays // J.Appl. Phys. 1987. - V.62. - P. 754-758

14. Riva R., Legentil M., Pasquiers S., and Puech V. Experimental and theoretical investigations of a XeCl phototriggered laser // J. Phys. D: Appl. Phys. -1995. -V. 28. -P. 856-872.

15. Lo D., Xie J. G. A megawatt eximer laser of small discharge volume (3.8 cm ) // Opt. and Quantum Electron. —1989. -V.21. -P. 147-150.

16. Lacour В., Brunet H., Besaucelle H., Gagnol C. High average power XeCl and pulsed HF chemical lasers //Proc SPIE. -1992. -V. 1810. -P. 498-503.

17. Witteman W. J., van Goor F. A., Timmermans J. С. M., Couperus J., and van Spiker J. Improved x-ray swithched XeCl laser // Proc. CLEO 93. -1993, Baltimore USA. -paper CthI3.

18. Борисов В. M., Дмитриев А. А., Прокофьев А. В., Христофоров О. Б. Об условии возбуждения широкоапертурного XeCl лазера со средней мощностью 1 кВт // Квантовая Электроника, 1995. №5. - С. 433 - 435

19. Макаров М.К., частное сообщение23 . Luck PI., Loffhagen D., Biitticher W. Experimental Verification of a Zero-dimensional Model of the Ionization Kinetics of XeCl Discharges //Appl. Phys.B, 1994,- V.B58.- PP.123-132.

20. Coutts J. and Webb С. E. Stability of transverse self-sustained discharge-excited long-pulse XeCl lasers // J. Appl. Phys. 1986. V.59. - N 3, - C. 704 -710

21. Демьянов А. В., Кочетов И. В., Р1апартович А.П., Капители М., Лонго С.

22. Влияние колебательной кинетики НС1 на развитиемикронеустойчивостей и характеристики электроразрядного ХеС1 -лазера в условиях неоднородной предыоиизации // Квантовая электроника, 1995.- Т.22.- № 7, стр. 673 682

23. Bahr М., Boticher W., Choroba S. The Time-Dependent Development of the Macroscopic Instability of a XeCl Laser Discharge //IEEE Transactions on Plasma Science, 1991.- Vol.-19.- № 2, PP.369 - 378

24. Simon G., and Botticher W. Two-dimensional model of the ignition phase of high-pressure glow discharges // J.Appl.Phys.-1994.-Vol.76.-№ 9.-P.5036-5046.

25. Т. 15,- №12.- Стр.2441-2446

26. Bolanti S., Lazzaro P. Di., .Flora F., Letardi Т., Lizi N., and Zheng С. E. Space and Time Resolved Discharge Evolution of a Large Volume X-Ray Triggered XeCl Laser System//Appl. Phys. B. 1992, V. B55. PP. 84-91.

27. Борисов В. M., Демьянов А. В., Кирюхин Ю. Б Теоретическое и экспериментальное исследование развития крупномасштабной неустойчивости в разряде ХеС1-лазера с УФ-предыонизацией // Квант, электрон. Москва, 1997. - Т. 24. - N 1. - 25-30 - ISSN 0368-7147

28. Turner М. М. Modeling the self-sustained discharge-excited XeCl laser in two dimensions //J. Appl. Phys.-1992, Vol. 71.- №5,

29. Akashi PI., Sakai Y., Takahashi N. and Sasaki T. Modelling of the initiation and development of the filamentary discharge in XeCl excimer lasers // J.Phys.D.

30. Appl.Phys, 1999, Vol.32, PP. 2861-2870.

31. Lacour В., Pasquiers S., Pastel C., Puech V. Effect of pre-ionization on photo-triggered discharge dynamic in SF6/hydrocarbons mixtures // XIII Int. Confer.Gas Discharge Applications, 2000.

32. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Сайфулин А. В., Фирсов К. Н. Объемный самостоятельный разряд для инициирования широкоапертурных нецепных HF(DF) лазеров // Известия API. Сер. Физическая, -2000 г. Т. 64, -№7, -С. 1439 -1445

33. Панченко А. П., Орловский В. М., Тарасенко В. Ф., Бакшт Е. X. Эффективные режимы генерации HF лазера с накачки нецепной химической реакцией, инициируемой самостоятельным разрядом //

34. Квантовая электроника.- 2003.- Т.ЗЗ.- №5.- Стр. 401-407

35. Apollonov V. V., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F., Firsov K. N. Nonchain electric-discharge HF(DF) laser with a high radiation energy // Quantum Electronics.-1998.-v. 28.-P. 116-118

36. Apollonov V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F. High-power non-chain HF(DF) lasers initiated by self-sustained volume discharge // SPIE Proc. -v. 4071.2000,- P. 34-42

37. Аполонов В. В., Белевцев А. А., Казанцев С. Ю., Сайфулин А. В., Фирсов К. Н. Особенности развития самоинициирующегося объемного разряда в нецепных HF лазерах // Квантовая электроника. 2002, - Т.32.- № 2.- стр. 95-100

38. Apollonov V. V., Belevtsev A. A., Firsov К. N., Kazantsev S. Yu., Saifulin A. V. Self-initiated volume discharge in mixtures of SF6 with hydrocarbons to excite non-chain HF lasers // Quantum Electronics.-2000.-v. 30.-№3.-P. 207-214

39. Richeboeuf L., Pasquires S., Legentil M., Puech V. The influence of H2 and C2H6 molecules on discharge equilibrium and F-atom production in a phototriggered HF laser using SF6 //J. Phys. D: Appl.Phys.-1998.-v. 31.-P. 373-389

40. Горчаков С.JI. Пространственная структура и энергетические характеристики разряда в смесях газов на основе SF6 // Диссертация на соискание ученой степени к.ф.-м.н. Томск 2001 г.

41. Bychkov Yu., Gortchakov S., Lacour В., Pascuiers S., Puech V., Yastremsky A Two- step ionization in non-equilibrium SF6 discharges at high current density //J.Phys. D: Appl. Phys.-12003.36.-P.380-384

42. Makarov M., Bonnet J., Pigache D. High efficiency discharge-pumped XeCl laser //Appl. Phys. B. -1998. -V. 66. P. 417-426.

43. Bychkov Yu. I., Vinnik M. L., Makarov M. K. Large-aperture Unswitched electric-discharge XeCl laser with an output energy 15 J // Sov. J. Quantum. Electron. -1992. -V. 22, № 6. -P. 498-499.

44. Бычков Ю. И., Королев Ю. Д., Месяц Г. А. Импульсный разряд в газе в условиях интенсивной ионизации электронами // УФН. -1978. -Т. 126, №3. -С. 451-479.

45. Бычков Ю. И., Осипов В. В., Савин В. В. Электоразрядные импульсные лазеры на двуокиси углерода // Газовые лазеры. -Сб. ст. под ред. Р.И. Солоухина. -Новосибирск. -Наука. -1977. -С. 252 -271.

46. Palmer P. S. A physical model on the initiation of atmospheric-pressure glow discharges //Appl. Phys. Lett. -1974. -V. 25, №3. -P. 138-140.

47. Taylor R. S., Leopold К. E. Ultra long optical-pulse corona preionized XeCl laser//J. Appl. Phys. -1989. -V. 65, № 1. -P. 22-29.

48. Kushner M. S. Microarcs as a termination mechanism of optical pulses in electric-discharge-exited KrF eximer laser // IEEE Trans. Plasma Sci. -1991. -V. 19, №2. -P. 387-399.

49. Bruzzese R., Hogan D. Analysis of temporal-length limitation in XeCl lasers // Nuovo Cim. -1983. -V. 76B, № 1. -P. 54-61.

50. Osborn M., Plutchinson M., Courts J., Webb C. Output pulse termination of a self-sustained excimer laser // Appl. Phys. Lett. -1986. -V. 49, № 1. -P. 7-9.

51. Makarov M. Effect of electrode processes on the spatial uniformity of the XeCl laser discharge // J. Phys. D: Appl. Phys. -1995. -V. 28. -P. 1083-1093.

52. Basting D., Pippert К., Stamm U. History and future prospects of eximer laser technology // RIKEN Rev. -2002. —№ 43. -P. 14-22.

53. Sato Y., Ionue M., Plaruta K., Murai Y. High repetition rate operation of a long pulse eximer laser // Appl. Phys. Lett. -1994. -V. 64, № 6. -P. 679-680.

54. Bollanti S., Lazzaro P. Di., Flora F. Giordano G., Plermsen Т., Letardi Т., Zheng C.E. Performance of a ten-liter electron avalanche-discharge XeCl laser device // Appl. Phys. B. -1990. -V. 50. -P. 415-423.

55. Legentil M., Pasquers S., Puech V., Riva R. Breakdown delay time in phototriggered discharges //J. Appl. Phys. -1992. -V. 72. -P. 879-887.

56. Бакшт E. X., Панченко A. H., Тарасенко В. Ф. Эффективный длинноимпульсный XeCl лазер с предымпульсом формируемым индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника. 2001. - Т. 30, №6.-С. 506-508.

57. Ефимовский С. В., Жигалкин А. К., Курбасов С. В. Спектр усиления длинноимпульсного XeCl лазера, измеренный в диапазоне 307-308.8 нм с разрешением 1 см"1 // Квантовая электроника. -1995. -Т. 22, № 5. -С. 455-457.

58. Bernard N., Hofinann Т., Fontaine В.В., Delaporte Ph., Sentis M., Forestier B. Small volume long pulse x-ray preionized XeCl laser whith double discharge and fast ferrite magnetic switch // Appl. Phys. B. -1996. -V. 62. -P. 237- 240.

59. Hofinann Т., Bernard N., Fontaine В. В., Delaporte Ph., Sentis M., Forestier B. 200 W spiker-sustainer XeCI laser // Proc. SPIE. -1994. -V. 2206. -P. 46-51.

60. Champagne L., Dudas A., Harris N. Current rise-time limitatin of the large volume x-ray preionized discharge-pumped XeCI laser // J. Appl. Phys. -1987. -V. 62, №5.-P. 1576-1583.

61. Long W., Plummer M., and Stappaerts E. Efficient discharge pumping of an XeCI laser using a high-voltage prepulse // Appl. Phys. Lett. -1983. -V.43, № 8. -P. 735-737.

62. Басов В., Коновалов И. Н. Электроразрядный XeCI лазер с КПД 4% иэнергией генерации 15 Дж // Квантовая электроника. -1996. -Т. 23, № 9. -С. 787-790.

63. Fisher С., Kushner М., De Hart Т., McDaniel J., Pert R., and Ewing J. High efficiency XeCI laser with spiker and magnetic isolation // Appl. Phys. Lett. -1986. -V. 48, № 23. -C. 1574—1576.

64. Osbome M., Smith P., and Flutchinson M. Effect of gas composition and purity on eximer laser operation // Opt. Comm. -1985. -V. 52, № 6. -P. 350-354.

65. Bychkov Yu, Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. A 10-J electric-discharge-pumped phototriggered XeCI laser // Rev. Sei. Instrum. —1994. -V.65, № 1. -P. 28-33.

66. Geritsen J., Ernst G. High-pressure behavior of an Xray preionized discharge pumped XeCI laser //Appl. Phys. B. -1988. -V. 46. -P. 141- 146.

67. Flasama Т., Miyazaki К., Yamada К., and Sato T 50 J discharge-pumped XeCI laser//IEEE Quantum Electr. -1989. -V.25,№1. -P. 113-120.

68. Lacour В., Besaucele H., Brunei H., Gagnol C., and Vincent B. Study of a photoswitched discharge for eximer laser // Proc. oflnt. Conf. Gas and Chemical Lasers.—1996. -P. 425-432.

69. Komi Т., and Sugii M. Compact semi-sealed-off, high-repetition-rate XeCI laser with a surface-wire-corona preionization // Rev. Sei. Instrum. -1994. -V. 65. -P. 7.

70. Miyazaki. К., Toda Y., Flasama Т., Sato T Efficient and compact discharge XeCI laser with automatic UV preionization. // Rev. Sei. Instrum. -1985. -V. 56. -P. 201 -204.

71. Steyer M., Bin O., Stankov K., Szabo G., Mizoguchi H., Schafer F. Wide aperture x-ray preionized eximer laser with variable cross-section using flat electrodes // Proc. SPIE. -1988. -V.1023. -P. 75-79.

72. Taylor R. S., Leopold К. E. Pre-preionization of a long optical pulse magnetic-spiker sustainer XeCl laser // Rev. Sci. Instrum. -1994. -V. 65, № 12. -P. 36213627.

73. Haruta K., Saito Y., Inoue M., Sato Y., Fujikawa S., Suzuki A., Nagai H. High-efficiency 2kW excimer XeCl laser // Appl.Phys. B. -1999. -V. 68. -P. 663-669.

74. Bollanti S., P. Di. Lazzaro, Flora F., Giordano G., Letardi Т., Schina G.,

75. Zheng С. E. Ianus, the three-electrode eximer laser // Appl. Phys B. —1998. -V. 66. -P. 401-406.

76. Gerritsen J. W., Keet L. A., nd Ernst G. J., Witteman W. J. High-efficiency operation of a gas discharge XeCl laser using a magnetically induced resonant voltage overshoot circuit // J. Appl. Phys. -1990. -V. 67, № 7. -P. 3517-3519.

77. Панченко Ю. H., Иванов PI. Г., Лосев В. Ф. Особенности формирования активной среды в короткоимпульсном электроразрядном XeCl лазере //

78. Квантовая электроника. -2000. -V. 35, № 9. -С. 816-820.

79. Johnson Т. II., Palumbo L. J., Hunter А. М. Kinetics simulation of high-power gas laser// IEEE J. Quantum Electron. -1979. -V.QE-15, № 5. -P. 289-301.

80. Levin L. A., Moody S. E., Klosterman E. L., Center R. E. Kinetic model for longpulse XeCl laser performance // IEEE J. Quantum Electron. -1981. -V.QE-17, № 12. -P. 2282-2289.

81. Демьянов A.B., Кочетов И. В., Напартович А. П., Капителли М., Горсе К., Лонго С. Моделирование 10-литрового электроразрядного ХеС1-лазера // Квантовая электроника. -1992. -Т. 19, № 9. -С. 848-852.

82. Riva R., Legentil М., Pasquiers S., Puech V. Ionization-attachment balance in neon-HCl pulsed discharges // J. Phys. D: Appl. Phys. V. -1993. —V. 26. -P. 1061-1066.

83. Maeda M., Takahashi A., Mizunami Т., Miyazoe Y. Kinetic model for self-sustained discharge XeCl lasers // J. Appl. Phys. 1982. -V. 21, № 8. -P. 11611169.

84. Kvaran A., Shaw М and Simons J. Vibrational relaxation of KrF and XeCl by rear gases // Appl. Phys. B. -1988. -V. 46. -P. 95 102.

85. Tisone G., Hoffman J. Study of the XeCl laser pumped by a high-intensityelectron beam // IEEE J. Quant. Electron. —1982. -V.18, № 6. -P. 1008—1020.

86. Domcke W. Mundel C. Calculation of cross sections for vibrational excitation and dissociative attachment in HC1 and DC1 beyond the local-complex-potential approximation // J. Phys. B: At. Mol. Phys. -1985. -V. 18. -P. 44914509.

87. Longo S., Gorse C., Capitelli M. Open problems in the XeCl laser Physics // IEEE Trans. Plasma Sci. -1991. -V. 19, № 2. -P. 379-386.

88. Longo S., Capitelli M., Gorse C., Demyanov A. V., Kochetov I. V., Napartovich A. P. Non-Equilibrium vibrational, attachment and dissociation kinetics of HC1 in XeCl selfsustained laser discharges // Appl. Phys. B. -1992. —V. 54. -P. 239-245.

89. Rockwood S. D. Elastic and inelastic cross section for electron-Hg scattering from Hg transport data // Phys. Rev. A. -1973. —V. 8, № 5. -P. 2348- 2358.

90. Gorse C., Capitelli M., Dipace A. Time-dependent Boltzmann equation in a self-sustained discharge XeCl laser: Influence of electron-electron and superelastic collisions // J. Appl. Phys. -1990. -V. 67, № 2. -P. 1118-1120.

91. Stielow G., Hammer Th., and Botticher W. Verification of a XeCl* laser model by measurement of the plasma conductivity // Appl.Phys.B -1988. -V. 47 -P.333-342.

92. Loffhagen D., Winkler R. A New nonstationary boltzmann solver in self-consistent modelling of discharge pumped plasmas for eximer lasers // J. Сотр. Phys.—1994. -V. 112, № 1. -P. 91-101.

93. Bychkov Yu. I., Losev V. F., Panchenko Yu. N., Yastremsky A. G., Yampolskaya S.A. Researches of short pulse discharge Xecl laser // Proc. SPIE. —2004. V. 5777. -P. 558 -561.

94. Sherman B. The difference-differential equation of electron energy distributionin gas // J. of Math. Analysis and Appl. 1960. - N.l. - P.342 - 354.

95. Fletcher C. A. J. Computational Galerkin Methods // Springer, New-York, 1984.

96. Мудров A. E. Численные методы для ПЭВМ на языках Бейсик, Фортран и Паскаль // Радио и связь. 1991.- Томск, - С. 270.

97. Корнюшин В. PI., Солоухин Р.И. Влияние начальных условий на развитие однородного разряда в газах // ДАН 1977 г. Т.236. - С.347. - 350

98. Осипов В. В., Лисенков В. В. Формирование плазменного столба объемного газового разряда с предварительной ионизацией // Письма в ЖТФ 1996. -Т. 22.-N 19.-74-78

99. Осипов В. В., Лисенков В. В. Формирование объемного газового разряда в лазерных средах // Оптика атмосферы, и океана 1997. - Т. 10. - N11.

100. С.1260-1265 ISSN 0869-5695

101. Осипов В. В. Самостоятельный объемный разряд //УФН,- 2000 г.- Т. 170.-№3,-С 226-245.

102. Бычков Ю. И., Осипов В. В., Тельнов В. В., Хамидулин Г. М. Характеристики объемного разряда в промежутках с малым электродным расстоянием // Изв. ВУЗов. Физика, 1986 г. - №4. - С. 89 -95

103. Shields Н., Alcock A. J., and Taylor R. S. Preionization Kinetics of an X-Ray Preionized XeCl Gas Discharge Laser // Appl.Phys. B. 1983, B31, pp.27 -35

104. Taylor R.S. Preionization and Discharge Stability Study of Long Optical Pulse Duration UV-Preionized XeCl Lasers // Appl.Phys.B.-1986.- Vol.41.-P. 1-24

105. Kushner M. J. Microarcs as a Termination Mechanism of Optical Pulses in Electric-Discharge-Excited KrF Excimer Lasers // IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, -1991.-VOL. 19.-№3, P.387-399.

106. Dreiskemper R., Beticher W., Current Fulmination of Strongly Preionized. High Pressure Glow Discharges in Ne/Xe/HCl Mixtures // IEEE Trnsactions on Plasma Science, 1995, Vol 23, N 6, PP. 1 -9

107. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов // Наука, -Москва. 1991г.

108. Timmermans J. Double discharge XeCI-Iaser // Ph.D 1995

109. Dreiskemper R., Schrijder G, and Batticher W. Light Emission During Cathode heath Formation in Preionized High-Pressure Glow Discharges // IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 1995, VOL. 23, NO. 2, PP.180 187.

110. Couts J., The halogen donor depletion instability-current pulse-shape effects // J.Phys.D: Appl.Phys, 1988, Vol21, PP. 255 -259.

111. Брагинский С. И., Вихрев В. В., Формирование токовой оболочки в мощном импульсном разряде // Препринт ИАЭ-2442. 1974г.- Москва

112. Бычков Ю. И, Горчаков С. Л., Ямпольская С. А., Ястремский А. Г.

113. Электрический разряд накачки ХеС1 лазера // Изв. ВУЗов. Физика. -2000 г.- №5, С. 76 - 85

114. Бычков Ю. И. и др. Инжекционная электроника // Наука. Новосибирск, -1982

115. Королев Ю. Д., Месяц Г. А. Автоэмиссионные и взрывные процессы в газовом разряде // Наука. Новосибирск, - 1982

116. Велихов Е. П., Ковалев А. С., Рахимов А. Т. Физические явления в газоразрядной плазме //Наука. Москва, - 1987

117. Belasri A., Boeuf J. P., and Pitchford L. C. Cathode sheath formation in a discharge-sustained XeCl laser // J.Appl.Phys.- 1993.-Vol.74.-№3, -PI553-1566.

118. Fiala A., Pitchford L. C., and Boeuf J. P. Two-dimensional, hybrid model of low-pressure glow discharges // Phys. Rev. E.-1994, Vol. 49, №6.-P 5607-5622, (1994)

119. Gortchakov S., Loffhagen D., Winkler R., The homogeneity of a stabilized discharge-pumped XeCI* laser.//Appl.,Phys. B. 1998, V. 66, PP.313-321

120. Sorkina R. Theoretical simulation of spatial time characteristics of a discharge XeCl excimer laser active medium // J.Phys. D: Appl. Phys, Vol.23, P. 806 - 812. (1990).

121. Akashi PI., Sakai Y., Takahashi N. and Sasaki Т., Modeling of the initiation and development of the filamentary discharge in XeCl excimer lasers.// J.Phys.D. Appl.Phys, 1999, Vol.32, PP. 2861-2870.

122. Polany J. C. Proposal for an infrared maser dependent on vibrational excitation

123. J. Chem. Phys.- 1961,- v. 34, № 1, P. 347—348

124. Басов H. Г., Ораевский A. PI. Получение отрицательных температур методом нагрева и охлаждения системы // ЖЭТФ.- 1963.- т. 44.- № 5.-С. 1742—1745

125. Ораевский А. Н. Возникновение отрицательных температур при химических реакциях //ЖЭТФ.- 1963.- т. 45.-№2.- С. 177—179

126. Kasper J. V., Pimentel G. С. HCI Chemical Laser // Rev. Phys. Lett. -1965,- v.14.-№10,-p. 352-354

127. Deutsch T. F. Molecular laser action in hydrogen and deuterium halides // Appl. Phys. Lett-1967.- v. 10.- № 8.- P. 234—236

128. Kompa K. J., Pimentel G. C. Hydrofluoric acid chemical laser // J. Chem. Phys.- 1967.-v. 47.-№ 2.- p. 857-858

129. Ораевский А. H . Химические лазеры // Справочник по лазерам. Москва, Советское Радио.- 1978 г.- Т.1

130. Басов Pl. Г. Химические лазеры // Москва, РГаука.- 1982.

131. Parker.Т. F., Stephens. R.R., Pulsed HF chemical laser with high electrical efficiency // Appl. Phys Lett.-1973,- V22.- №9.- PP. 450 452

132. Азаров M. А., Климук E. А., Кутумов К. А., Трощиненко Г. А., Лакур Б. Импульсный химический HF-лазер с большим разрядным промежутком //Квантовая Электроника, 2004. -Т.34 -№1.- С. 1023 1026

133. Goldhar M., Osgood R. M., Javan A.,Observation of intense super radiat emission in the high-gain infrared transitions of HF and DF molecules //Appl. Phys. Lett-1971.-v.18.-P. 167-169

134. Pummer PL, Kompa K. L. Investigations of a 1-J pulsed discharge-initiated HF laser//Appl. Phys. Lett.-1972.-v. 20.-P. 356-357

135. Спичкин Г. Л., Импульсный высоковольтный объемный разряд в элегазе// ЖТФ.-1986.-т. 56.-вып. 10.-С. 1923-1932

136. Бельков Е. П., Дашук П. Pl., Спичкин Г. Л., Чистов Е. К., Кулаков С. Л., Объемный разряд емкостного типа в SF6 // Письма в ЖТФ, 1993г. -Т.19. -В.21, - С.26 - 29

137. Tsikrikas G. N., Serafetinides A. A., Papayannis A. D. Performance studies of a pulsed HF laser with a sliding discharge plasma cathode // Appl.Phys. В.-1996.-V. 62.-P. 357-365

138. Tsikrikas G. N., Serafetinides A. A., Papayannis A. D. Development of a sliding discharge pumped HF laser // Optics Communications.-1996,-v. 132.-P. 295-301

139. Voignier F., Gastaud M., Improved performance of a double discharge initiated pulsed HF chemical laser // Appl. Phys. Lett.- 1974.- v. 25.- P. 649-650

140. Panchenko A. N., Orlovskii V. M., Tarasenko V. F., Baksht E. PI. Efficient oscillation regimes of an HF laser pumped by a nonchain chemical reaction initiated by self-sustained discharge // IEEE J. Quant. Electron.-1999.-v. 33.-№3.-P. 261-266

141. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. II. Эффективные нецепные HF(DF) лазеры с высокими выходными характеристиками // Письма в ЖТФ.-1996.-Т. 22.- № 24.-С. 60-63

142. Puech V., Prigent P., Brunet H. High-Efficiency, High-Energy Performance of a Pulsed HF Laser Pumped by Phototriggered Discharge //Appl. Phys B.-1992.-V. 55.-P. 183-185

143. Richeboeuf L., Doussiet F., Legentil M., Pasquires S., Postel C., Puech V., Study of chemical HF laser pumped by phototriggered discharge // SPIE Proc.-1996,-v.2788.-P. 84-94

144. Richeboeuf L., Pasquiers S., Legentil M., Puech V. Dynamics and correlated performance of a phototriggered discharge-pumped HF laser using SF6with hydrogen or ethane // Appl. Phys. B.-1999.- v. 68, P. 45-53

145. Pasquiers S., Postel C., Puech V., Lacour B. Conditions for photo-triggered mode achievement in large aperture discharge-pumped non-chain HF/DF lasers // SPIE Proc.-1999.- v. 3574, P. 594-600

146. Paulson R. F. Effect of an organic gas additive on a pulse HF chemical laser // J.

147. Appl. Phys.-1973,- v.44.- № 12.-P. 5633-5634

148. Apollonov V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F. High-power SSD-based pulsed non-chain HF(DF) laser// SPIE Proc.-1998.-v. 3574.-P. 374-384

149. Apollonov V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Saifulin A. V. Calculation of Self-Sustained Volume Discharge Characteristics in SF6 and its Mixtures with Hydrocarbons // Proc. XXIVICPIG, Warsaw, Contrib. Papers Vol II.-1999.-P. 7980

150. Apollonov. V. V., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Oreshkin V. F. Self-Initiated Volume Discharge in Mixtures of SF6 with Hydrocarbons // Proc. XXIV ICPIG, Warsaw, Contrib. Papers Vol II,-1999.- P. 81 -82

151. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. PI. Эффективные нецепные HF(DF) лазеры с высокими выходными характеристиками // Письма в ЖТФ.-1996.-Т. 22.- № 24.-С. 60-63

152. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. Н. Нецепной электроразрядный HF(DF)^a3ep с высокой энергией излучения // Квантовая электроника.-1998.-т.2 5.- № 2.-С. 124-125

153. Аполлонов В. В., Казанцев С. Ю., Орешкин В. Ф., Фирсов К. Н. Возможности увеличения выходной энергии нецепного HF(DF)^a3epa // Квантовая электроника.-1997.-Т. 24,- №3.-С. 213-215

154. Anderson N., Bearpark Т., Scott S. J. An X-ray preionised self sustained discharge HF/DF laser // Appl. Phys B.-1996.-V. 63.-P. 565-576

155. Lacour В., Pascuiers S., Pastel C., Pueeh V. Importance of pre-ionization for the non-chaine discharge-pumping HF laser // Appl.Phys. В.- 2001, V.72, PP.289 -299.

156. Belevtsev A. A., Firsov K. N., Kazantsev S. Yu., Kononov I. G. A self sustained volume discharge in vibrationally excited strongly electronegative gases // J. Phys. D: Appl.Phys. - 2004, - Vol.37, - P. 1759 - 1764.

157. Lyman J. L. Computer model of the SF6- H2 electrical discharge chemical laser

158. Appl. Opt.- 1973,-Vol. 12.-No. 11, P.- 2736-2746.

159. Christophorou L. J., and Olthoff J.K. Electron interaction with SF6 // J. Phys. Chem. Ref. Data. 2000, V. 29, N3, P.267 330

160. Iio М., Goto М., Toyoda PI. and Sugai H., Relative Cross section for Electron-Impact Dissociation of SF6 into SFx (x=l-3) Neutral Radicals // Contrib. Plasma Phys. 1996, V.35, N.4-5, РР/ 405 413

161. Boeuf J. P., and Marode E. Monte-Carlo Simulation of electron swarm motionin SF6 // J.Phys. D: Appl.Phys.- 1984.-Vol.l7.-P.l 133 -1148

162. Puech V, and Mizzi S., Collision cross section and transport parameters in neon and xenon //J.Phys. D: Appl. Phys. 1991, - V.24. - PP. 1974 - 1985

163. G. Inoue, Ku J., Setser D. W. Photoassociative laser-induced fluorescence of XeCl* and kinetics of XeCl(B) and XeCl(C) in Xe // J. Chem. Phys., V.80, pp. 6006-6019, 1984

164. Tisone G. S., Hoffman J. M. Study of the XeCl laser pumped by high-intensity electron beam // IEEE J. Quantum Electron.- 1982.- V. QE18.- PP. 1008 1020

165. Ku J., Setser D. W, Significant enhancement of XeCl(B, C) and XeF(B, C) formation rate constants in reactions of Xe(5p56p) atoms with halogen donors

166. Appl. Phys. Lett.- 1986. -V. 48. PP. 689 -691

167. Адамович В. А., Баранов В. Ю., Дерюгин А. А., Кочетов И. В., Малюта Д. Д., Напартович А. П., Смаковский Ю. Б., Стрельцов А. П. Спектральные характеристики эксимера XeCl в диапазоне 300 311 нм // Квантовая электроника, - 1987г.- Т.14.- №1, - С.80 - 86

168. Ohwa M., Kushner M. J. The effect of ground-state dynamics on the emission spectra of electric-discharge-pumped XeCl: lasers A model for injection locking // J. Appl. Rhys., 1989, - V.65, -N11,- C. 4138 - 4149

169. Калабоков Б.А., Лапидус В JO., Малафеев В.М. . Методы автоматизированного расчета электронных схем в технике связи // Радио и Связь,- 1990 г.

170. М. Makarov Effect of electrode processes on the spatial uniformity of the XeCl laser discharge // J. Phys. D: Appl. Phys. 1995. - V.28. - P.1083 - 1093

171. Райзер Ю. П. Физика газового разряда // Наука, Москва.- 1987.- С.592

172. Bychkov Yu., Baksht Е., Panchenko A., Tarasenko V., Yampolskaya S., Yastremsky A. Formation of pumping discharge of XeCl laser by means of semiconductor opening switch // SPIEproc, 2002, V.4047, P99 105

173. Захаров А.Ю. Турчанинов В.И. STIFF программа для решения жестких систем обыкновенных дифференциальных уравнений//Москва, 1977 г.

174. Флетчер К. Вычислительные методы в динамике жидкости // М.Мир. 1991г.

175. Bychkov Yu., Kostyrya I., Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. Wide aperture efficient excimer laser with a stable photo triggering discharge pumping //

176. SPIE Pros. 1994. - V.2206. - P.307 - 313

177. Bychkov Yu., Gortchakov S., Lacour B. Experimental results of investigations of the electrical discharges in Ne/SF6/CH4 and Ne/SF6 mixtures // SPIE Proc. -1988.-V.3403.-PP 82-88.

178. Бычков Ю. И., Горчаков С. Л., Ямпольская С. А., Ястремский А. Г. Электрический разряда накачки XeCl лазера // Известия ВУЗов, Физика. -1999г. №8.-С.43-49

179. Shu-ichi Ashidate and Minoru Obara Ion kinetics study of a high-efficiency, high-energy hydrogen fluoride chain // J. Appl. Phys. 1989.- V.65, - No 4.- P.1410 -1419

180. Вайнштсйн Л. А., Собельман И. И., Юков Е. А. Возбуждения атомов и уширение спектральных линий // Наука, М.-1979 г.- С. 3193.

181. Beran В. and Kevan L. Molecular Electron Ionization Cross Sections at 70 eV // J.Phys.D: Appl. Phys.-1988.-Vol. 21.-P.67-72.

182. Phelps A. V., Van Brunt R. J Electron-transport, ionization, attachment, and dissociation coefficients in SFgand its mixtures // J. Appl. Phys. 1988.- V.64.-N9, p.-4269 4277

183. Bychkov Yu., Gortchakov S., Lacour В., Pasquiers S., Postel C., Puech V., Yastremsky A. Investigations of single hot spot discharge in SF6 gas and in the mixture SF6/C2H6 // SPIE Proc.- 2002.- V. 4747. PP 262-271.

184. Bychkov Yu., Gortchakov S., Yastremsky A. Experimental and theoretical investigations of an electrical discharge in SF6 gas // SPIE Proc -v. 4071. -2000.-P44 52

185. Sojka P. E., and Kerber R. L. Detailed characteristics of a pulsed H2+F2 lfsers. 2: Theory//Appl. Optics.- 1986, V.25.-N.I.-P.76 - 85.

186. Александров PI. JL, Базелян E. M. Ступенчатое распространение стримера в электроотрицательном газе // ЖЭТФ,- 2000.- т. 118.-В. 4.- С.835-848

187. BabaevaN. Yu., and Naidis G. V. Simulation of stepped propagation of positive streamers in SF6 // J. Phys. D: Appl. Phys.- 2002.- T. 35.- C. 132-136

188. Drelling T. D., Setser D. W. State to - State relaxation processes for XeCl (B,C) // J.Chem. Phys. - 1981. -№9.- PP.4360 - 4378

189. Puech V. Universitet Paris Sud XI Orsay France

190. Бойченко A. M., Держиев В. И., Жидков А. Г., Карелин А. В., Коваль А. В., Середа О. В., Яковленко С. И. Кинетические модели некоторых плазменных лазеров, накачиваемых жестким ионизатором // Труды ИОФАР1.-1989 г.- Т. 21,. С. 44 - 115

191. Gorse С., Capitelli М., Longo S., Estocq Е., Bretagne J. Non-Equilibrium Vibrational Dissociation and Dissociative Attachment Kinetics of HC1 under High Electron Density Condition Typical of XeCl Laser Discharge // J. Phys. D.-1991.- V24.-P. 1947

192. Kannari F., Kimura W. D., Ewing J. J. Comparison of model predictions with detailed species kinetic measurements of XeCl laser mixtures // J. Appl. Phys.-1990.- V. 68.- P.2615 2631

193. Turner M., Smith P. W. Modeling of the self-sustained, discharge-excited xenonchloride laser // IEEE Trans. Plasma Sci.-1991.- V.19, pp 350 360

194. Kolts J., Velazco J., Setser D. Reactive quenching studies of Xe metastable atoms by chlorine containing molecules // J. Chem. Phys. -1979.- V.71.- №3.- PP. 1247 -1263192. Puech У.Частное сообщение

195. Hyman H Electron-impect excitation cross sections for interaction (n-1) p5 ->(n-l) p5 np in rare gases // Phys. Rev. A 24, 1094

196. Список основных публикаций автора по теме диссертации

197. Бычков Ю. И., Коновалов И. Н., Лосев В. Ф., Рыжов В. В., Тарасенко В. Ф., Ястремский А. Г. Излучение сложных молекул галогенидов благородных газов // Оптика и Спектроскопия, 1979. Т.47 - В.2 - С. 239 - 242

198. Бычков Ю. И., Лосев В. Ф., Рыжов В. В., Тарасенко В.Ф., Ястремский А. Г. Кинетика ХеС1 лазера в смеси Не Хе - СС14, возбуждаемой электронным пучком // Изв. ВУЗов - Физика,- 1980.- №.7.- С. 123 - 125.

199. Ястремский А. Г. Численное моделирование возбуждения и генерации эксимерных лазеров // Дисс. кан.физ.-мат. Наук, Томск. 1982. 138 с.

200. Бычков Ю. И., Суслов А. И., Тинчурин К. А., Ястремский А. Г. Динамика сильноточного диффузного разряда в аргоне // Препринт ТНЦ. 1990. -№39.-34 18 с.

201. Бычков Ю. И., Костыря И. Д., Макаров М. К., Суслов А. И., Ястремский А. Г. Способ возбуждения разряда в эксимерном лазере // Авт. Свид. №171511631991

202. Бычков Ю. И., Костыря И. Д., Макаров М. К., Суслов А. И., Ястремский А. Г. Способ получения самостоятельного устойчивого разряда в смеси благородных газов с галогеноносителем // Авт. Свид. № 17538781992

203. Bychkov Yu., Mesyats G., Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. High Power XeCl laser Pumped by an Electrical Discharge or e-Beam // Proc. Ill Workshop on KrF Technolge. - 1992. - V.4. - P. 1 - 5

204. Bychkov Yu., Kostyrya, Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. Using a stabilizing low current, Predischarge for Pumping Excimer Gas Media // Препринт ТНЦ. - 1993. - №6

205. Bychkov Yu., Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. A 10 J Electrical -Discharge Pumped Phototriggered XeCl Laser // Препринт ТНЦ. 1993, - №5

206. Bychkov Yu., Kostyrya I., Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. Efficient High Homogeneous Wide Aperture Excimer Discharge Using a Stabilizing Low-Current Predischarge // Rev. Sci. Instrument. 1994. - V.65. -N4. - C.793 - 798

207. Bychkov Yu., Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. A 10 J Electric Discharge -Pumped Phototriggered XeCl laser // Rev. Sci. Instrument. 1994. - V.65. - N1. -C.28-33

208. Makarov M., Bychkov Yu., Suslov A., Yastremsky A. Wide Aperture Efficient Escimer Laser With a Stable Photo-Triggering Discharge Pumping // Pr.

209. EUROOPTO High Power Gas and Solid State laser.- 1994. - V.2265. - C.307 -313

210. Иванов II. Г., ЛосеВ В. Ф., Наац Э. И., Рыжов В. В., Турчановский И. Ю., Ястремский А. Г. ХеС1 лазер с энергией генерации 200 Дж // Квантовая Электроника. 1997. - Т.24. - №8. - С.688 - 689

211. Бычков Ю. И., Костыря И. Д., Макаров М. К., Суслов А. И., Ястремский А.Г. Эксимерный электроразрядный лазер // Авторское Свидетельство №1731003,- 1998

212. Bychkov Yu., Yastremsky A., Two-Dimensional Model of Inhomogeneity Evolution in XeCI Laser Discharge // SPIE Pros. 1998.- V.3403. - P.89 - 95

213. Бычков Ю. И., Макаров M. К., Ямпольская С.А., Ястремский А. Г., 0D модель XeCI лазера. Проблема оптимизации разряда накачки // Оптика атмосферы и океана. 1998. - №(2-3). - С. 149 - 154

214. Бычков Ю. И., Ястремский А. Г. Развитие неоднородности в разряде накачки XeCI лазера // Оптика атмосферы и океана. 1998. - №(2-3). - С. 155- 159

215. Бычков Ю. И., Горчаков С. Л., Ястремский А. Г., Объемный электрический разряд в газовой смеси Ne/SF6/C6H14 и в чистом SF6 // Изв. ВУЗов. Физика. -Т.8.- С.43-49

216. Ястремский А. Г., Ямпольская С. А. Моделирование разряда накачки нецепных химических HF лазеров // Изв. ВУЗов. Физика. -Т.8 С.63 - 65

217. Иванов Н. Г., Лосев В. Ф., Панченко Ю. Н., Ястремский А. Г. XeCI лазерная система с выходной апертурой 25 х 25 см // Квантовая Электроника. 1999.- Т.29 . №1. - С.1 -5

218. Ivanov N., Losev V., Panchenko Yu., Yastremsky A. High power XeCI laser System with 25x25 cm output aperture // Pros, ILPAM 99, Tomsk. 1999

219. Bychkov Yu., Gortchakov S., Yastremsky A. Experimental and theoretical investigation of an electrical discharge in SF6 gas // SPIE Pros. 2000. - V.4071.- P.44 52

220. Бычков Ю. И., Горчаков С. Л., Ястремский А. Г. Однородность и устойчивость объемных Эл ектрических разрядов в смесях газов на основе SF6 // Квантовая Электроника. 2000. - №8. - С.733 - 737

221. Бычков Ю. И., Горчаков С. Л., Ямпольская С. А., Ястремский А. Г. Электрический разряд накачки XeCI лазера // Изв. ВУЗов Физика. -2000.- №5. - С.76 - 86

222. Бычков Ю. И., Иванов Н. Г., Лосев В. Ф., Рыжов В. В., Турчановский И. Ю., Ястремский А. Г. Влияние состава смеси на характеристики мощного XeCI лазера, возбуждаемого электронным пучком // Квант. Электрон. -1990. Т. 17. - №3.- С.300 - 303

223. Ivanov N., Losev V., Naats Е., Ryzhov V., Turchanovskii I., Yastremsky A. Wide aperture efficient laser with stable photo triggered discharge // Quantum Electron. 1997. - V.27. - №8. -C.670 - 672

224. Bychkov Yu., Kostyrya I., Makarov M., Suslov A., Yastremsky A. Wide aperture efficient excimer laser with a stable photo triggering discharge pumping // SPIE Pros. 1994. - V.2206. - P.307 - 313

225. Бычков Ю. И. Пантелеев В. П., Суслов А. И., Ястремский А.Г. Устойчивость самостоятельного разряда в эксимерных смесях // Физика Плазмы. 1989.- Вып. 3. Т. -15. - С.330 - 334

226. Бычков Ю. И., Мельченко С. В., Месяц Г. А., Суслов А. И., Тарасенко В. Ф., Федоров А. И., Ястремский А. Г., Квазистационарный режим возбужденияэлектроразрядных эксиплексных лазеров // Квантовая Электроника. 1982. - Т.9 - №12. - С.2423 - 2431

227. Bychkov Yu., Yampolskaya S., Yastremsky A, Influence of Q-factor value of optical resonator on spatial discharge structure and output characteristics of long pulse XeCl laser // SPIE Pros. 2001. - V.4747. - C. 93 - 98

228. Bychkov Yu., Gortchakov S., Yampolskaya S., Yastremsky A Effect of pre-ionization border on development of inhomogeneities in electrical discharge pumped XeCI laser // SPIE Pros. 2001. - V.4747. - C. 106-112

229. Bychkov Yu, Gortchakov S., Lacour В., Pascuiers S., Pastel C., Puech V., Yastremsky Single hot spot discharge in SF6 gas and in the mixture SF6/C2H6 // SPIE Pros. 2002. - V.4747. - C.262 - 272

230. Bychkov Yu., Baksht E., Panchenko A., Tarasenko V., Yampolskaya S., Yastremsky A. Formation of pumping discharge of XeCl laser by means of semiconductor opening switch // SPIE Pros. 2001. - V.4747. - C.99 - 105

231. Bychkov Yu, Gortchakov S., Lacour В., Pascuiers S., Puech V., Yastrmsky Two-step ionization in non-equilibrium SF6 discharges at high current density // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. - V.36. - P.380 - 384

232. Bychkov Yu., Yampolskaya S., Yastremsky A. Two-dimensional simulation of initiation and evolution a plasma channel in the XeCl laser pumping discharge // Laser and Particle Beams. 2003. - V.21. - P.233 -243

233. Bychkov Yu, Losev V. F., Panchenko Yu. I, Yampolskaya S. A., Yastremsky A., Peculiarities of short pulse electrical discharge XeCl laser // SPIE Pros. 2003. -V.5483.-C.60-66

234. Bychkov Yu. I., Balbonenko Yu. N., Losev V. F., Panchenko Yu. N., Yastremsky A. G., Yampolskaya S.A. Short Pulse Discharge XeCl Laser // Proc. The 7-th Russian-Chinese Symp. On Las. Phys. And Las. Tech. . 2004. - p. 247 -250

235. Bychkov Yu. I., Losev V. F., Panchenko Yu. N., Yastremsky A.G., Yampolskaya S.A. Research of Short Pulse Discharge XeCl Laser // SPIE Pros. -2004.-V.5777.-C.558-561

236. Panchenko Yu. N., Balbonenko Yu. N. Bychkov Yu. I., Losev V. F., Yastremsky A.G. Research of 30 ns Discharge Laser // Изв. ВУЗов -Физика, 2006-№. 11- Приложение С. С.492 - 495.

237. Bychkov Yu. I., Yampolskaya S. A., Yastremsky A. G., Kinetic Processes in the Electric discharge in SF6 // Изв. ВУЗов -Физика, 2006- №.11- Приложение С. -С.496 500.

238. Бычков Ю. И., Ямпольская С. А., Ястремский А. Г. Кинетические процессы в неоднородной разрядной плазме в газовых смесях на основе SFg // Изв. ВУЗов ФИЗИКА, 2007. Т.50. - № 9, стр.236 -240