Электрофизические методы неразрушающего контроля и формирования металлодиэлектрических структур тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат наук Пщелко, Николай Сергеевич

• Пщелко, Николай Сергеевич
• кандидат наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат наук Пщелко, Николай Сергеевич

СОДЕРЖАНИЕ

стр.

ПЕРЕЧЕНЬ СОКРАЩЕНИЙ, УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ,

СИМВОЛОВ, ЕДИНИЦ И ТЕРМИНОВ......................................................7

ВВЕДЕНИЕ (ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ).................................12

ГЛАВА 1. Контроль качества диэлектрических материалов на основе измерения их статических и низкочастотных параметров и характеристик..........................28

1.1. Использование полевых транзисторов для контроля

электрофизических характеристик высокоомных материалов...........................36

1.1.1. Контроль электрической емкости и сопротивления высокоомных изделий на основе использования медленных переходных процессов перераспределения электрических полей в металлодиэлектрических структурах..............................38

1.2. Использование полевых транзисторов для контроля

поверхностного потенциала (заряда) диэлектриков..................................44

1.3. Прибор для измерения комплекса статических

характеристик диэлектрических материалов...........................................46

1.4. Примеры использования прибора для измерения статических характеристик диэлектрических материалов...........................................50

1.4.1. Электретный эффект в диоксиде кремния........................................50

1.4.2. Влияние гидрофобизирующих покрытий на свойства поверхности диоксида кремния............................................................................53

1.4.3. Исследование и улучшение стабильности электретного

потенциала слоев диоксида кремния.....................................................56

1.4.3.1. Выбор гидрофобизаторов и отработка режимов их нанесения............60

1.4.4. Контроль механических характеристик керамики с помощью измерения диэлектрической проницаемости на постоянном напряжении........65

1.4.5. Физические основы методов диагностики и управления свойствами металлодиэлектрических структур оксидных конденсаторов.......................71

1.4.6. Другие возможные применения разработанного прибора

для диагностики сред и технических объектов.....................................................81

ГЛАВА 2. Физические основы формирования и неразрушающего контроля

прочности электроадгезионных соединений диэлектрик - металл................88

2.1. Исследование влияния на электроадгезию

поляризации диэлектрика..............................................................

2.2. Динамика процесса миграционной поляризации при получении

неуправляемого электроадгезионного соединения...................................91

2.2.1.Оценка влияния эффектов сильного поля на величину

пондеромоторного давления...............................................................101

2.3. Анализ макроскопического приближения при расчете

электрических полей и вычислении силы адгезии...................................104

2.3.1 Особенности электрических полей матричных электретов..................105

2.3.2. Влияние дискретности распределения электрического заряда на силовое действие электрического поля..............................................109

2.4. Неразрушающий контроль прочности электроадгезионных соединений диэлектрик - металл.............................118

2.4.1. Качественные представления об электромеханике

118

электроадгезионных соединении........................................................110

2.4.2. Модель для расчета пондеромоторного давления и

площади фактического контакта электроадгезионных соединений..............122

2.4.3. Механизм протекания электрического тока через электроадгезионный контакт как основа для

неразрушающего контроля его качества...............................................129

2.4.4. Экспериментальные данные по контролю прочности

электроадгезионных соединений........................................................134

ГЛАВА 3. Использование электрофизических методов для улучшения технологии получения металлодиэлектрических структур

с неподвижными металлическими обкладками.............................................143

ЗЛ. Оптимизация режимов получения электроадгезионного

соединения проводник - ионный диэлектрик.........................................143

3.2. Особенности применения расплавов при использовании электроадгезионного способа соединения материалов...............................-152

3.3. Разработка методик получения электроадгезионных

1

соединении полимер-металл.........................................................

3.4. Получение металлодиэлектрической структуры диоксид

кремния - платина с использованием электрического поля................ 158

3.5. Использование электрического поля в электрокаплеструйных технологиях......173

3.6. Модификация поверхности материалов обработкой в плазме низкотемпературного объемного разряда..................................................182

3.7. Повышение адгезии покрытий к шероховатым поверхностям

с помощью электрического поля.........................................................188

3.8. Использование механических силовых приспособлений для уменьшения температуры получения электроадгезионного

соединения кварц - металл - кварц.......................................................194

3.9. Использование электрического поля для управления сопротивлением сетчатых иерархических пористых структур и улучшения их характеристик.........205

ГЛАВА 4. Неразрушающий контроль конденсаторных структур

с подвижными обкладками......................................................................210

4.1 .Теоретические основы использования электростатических сил в структурах с искусственно создаваемым воздушным зазором для расчета их

характеристик и неразрушающего контроля параметров..................................................210

4.2. Метод неразрушающего контроля параметров капсюлей электретных преобразователей на основе анализа их вольт-фарадных характеристик.................217

4.2.1. Основные соотношения.....................................................................217

4.2.2. Схемотехническая реализация методики контроля параметров капсюлей электретных преобразователей...............................................222

4.2.3. Предельно допустимые значения

электрических напряжений и ёмкостей...........................................................................226

4.2.4. Особенности обработки экспериментальных результатов и примеры использования методики контроля параметров капсюлей электретных преобразователей..................................................................................233

4.3. Разработка интерфейса программы для неразрушающего контроля параметров КСПО методом вольт-фарадной характеристики.............................247

4.4. Разработка автоматизированного информационно - измерительного комплекса для контроля параметров капсюлей электретных преобразователей методом вольт-фарадной характеристики...................................................255

ГЛАВА 5. Использование электрофизических методов для разработки и улучшения характеристик конденсаторных

структур с подвижными обкладками....................................................260

5.1. Электретные электропневматические преобразователи......................260

5.1.1. Разработка конструкций, расчёт сил и статических характеристик электретных электропневматических преобразователей............................260

5.1.2. Использование особенностей электрических полей матричных электретов в конструкциях электретных электропневматических преобразователей...........................................................................273

5.1.3.Неразрушающий контроль параметров электропневматических преобразователей на

основе использования метода вольт-фарадной характеристики.........................275

5.2. Датчик перепада давлений с силовой

электростатической компенсацией.......................................................279

5.2.1.Конструкции и принцип работы датчика........................................279

5.2.2.Неразрушающий контроль параметров датчика перепада

давлений с силовой электростатической компенсацией.............................286

5.3. Динамические характеристики электретных конденсаторных

структур с подвижными обкладками....................................................289

5.4. Улучшение конструкций электретных микрофонов...................................299

5.4.1. Повышение чувствительности электретных микрофонов путем

299

оптимизации их параметров................................................................ •

5.4.2.Контроль качества капсюлей электретных микрофонов

на стадии изготовления.....................................................................306

ЗАКЛЮЧЕНИЕ...................................................................................309

БИБЖОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК.........................................................312

ПРИЛОЖЕНИЯ................................................................................ •342

Приложение 1. Схемы принципиальные электрические и чертежи доя

реализации автоматизированного информационно - измерительного комплекса.....342

Приложение 2. Математическое обоснование аппроксимации выражения для напряженности электрического поля системы дискретно

350

распределенных зарядов........................................................................

Приложение 3. Подтверждение о работе

в редколлегии журнала «Smart Nanocomposites»......................................355

Приложение 4. Акты о внедрении результатов работы в производство...........356

Приложение 5. Акты о внедрении результатов работы в учебный процесс.....369

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электрофизические методы неразрушающего контроля и формирования металлодиэлектрических структур»

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность проблемы. Металлодиэлектрические структуры (МДС) являются основой широкого круга технических устройств. В качестве примеров можно привести электрические конденсаторы дискретной и интегральной электроники [15, 17, 18, 86, 93, 95, 97, 99, 104, 109, 186], электростатические преобразователи конденсаторного типа [6, 8, 34, 37, 38, 46, 68, 70, 73, 87-91, 116, 132, 156, 165, 181, 193, 201, 202, 205, 240], преобразовательные устройства автоматики [23, 33, 58-63, 102, 103, 143, 151153, 169], сенсоры и активаторы интенсивно развивающегося направления микроэлектроники - микросистемной техники [81, 136, 138, 183, 233]. На основе МДС постоянно разрабатываются новые устройства, обладающие улучшенными характеристиками или новыми функциональными свойствами. Эти достижения связаны с использованием новых диэлектрических материалов, технологий формирования и конструкций изделий. Особое место здесь занимают МДС и устройства, получение и (или) принцип действия которых основан на использовании электрического поля (ЭП). К ним относятся рабочие структуры оксидных конденсаторов, формируемых посредством электрохимического оксидирования металла и позволяющие получить высокооднородные субмикронные диэлектрические пленки на большой площади, электроадгезионные соединения (ЭАС) - металлодиэлектрические «склейки», формируемые за счет силового действия ЭП как для временного [19, 55, 102, 103, 185, 210, 235, 224], так и для постоянного [5, 19, 20, 21, 24, 39, 53, 57, 83, 85, 101, 219 - 221, 234, 243-245, 249.250, 254-257] соединения деталей, электретные устройства, принцип действия которых основан на способности диэлектрика накапливать и длительно сохранять электрические заряды (ЭЗ) [118, 139, 161, 191], и другие МДС. Использование ЭП позволяет получать МДС с улучшенными характеристиками. Так, металлооксидные конденсаторы являются рекордсменами по удельным электрическим характеристикам. Применение электроадгезионных технологий

позволяет получить неразъемное соединение твердотельных объектов при температурах существенно меньших, чем при диффузионной сварке. При этом наличие вакуума при соединении не обязательно, а используемые установки значительно дешевле. Надежность и воспроизводимость таких соединений значительно выше, чем при использовании, например, электрореологического эффекта [218]. ЭАС можно успешно использовать при получении неразъемных прочных вакуумноплотных соединений из таких материалов как керамика, ситаллы, стекло, кварц и других ионных диэлектриков с различными металлическими проводниками и полупроводниковыми кристаллами в различных сочетаниях, а также для повышения адгезии наносимых пленочных покрытий [3,4, 7, 11, 14, 19, 26,30,41,43,47-50, 252].

Интерес к технологиям и устройствам на основе использования ЭП обусловлен рядом их преимуществ, основными из которых являются:

1. Исключительно низкое энергопотребление. Если в качестве источника электрического поля используется электрет, то устройство вообще может не потреблять электрической энергии в процессе работы и даже вырабатывать ее.

2. Конструктивная простота и относительная дешевизна соответствующих устройств. Это связано с тем, что в основе конструкций используется обычная конденсаторная МДС. Примером таких устройств являются электретные микрофоны (ЭМ), выпуск которых в мире в настоящее время превышает 90% от числа всех выпускаемых микрофонов.

3. Высокие технические характеристики электростатических устройств. В электростатических конструкциях в качестве одной из обкладок конденсатора часто используется легкая, малоинерционная мембрана. Это позволяет производить преобразования сигналов с минимальными искажениями, получать высокое быстродействие сенсоров и активаторов.

4. Перспективность использования в наиболее бурно развивающейся области микроэлектроники - микросистемной технике - для создания микроэлектромеханических систем (МЭМС, MEMS). Это связано с тем, что

именно на малых расстояниях между электродами электростатические силы становятся значительными. Поэтому электростатические силы в данном случае эффективны для использования в конденсаторных структурах с подвижными обкладками (КСПО), для повышения адгезии наносимых слоев и для получения прецизионных электростатических «склеек».

5. Возможность временного и постоянного закрепления объектов относительно друг друга за счет электростатических (пондеромоторных) сил без использования переходных слоев при относительно низких температурах.

6. Возможность наблюдать в материалах медленно протекающие процессы при измерениях в постоянном ЭП.

ЭП и ЭЗ используются для качественной покраски [189], в электрокаплеструйной печати [12, 159, 160, 172, 232, 236, 238, 241. 242, 246. 247, 258], электростатических двигателях, гироскопах, фильтрах, электростатических пинцетах, радоновых датчиках, в конденсаторных структурах с накатами обкладок и в других МДС [103, 145-148, 210, 230, 231]. Наблюдение процесса релаксации ЭЗ в материалах позволяет выявить энергетический спектр ловушек в них, т.е. является мощным инструментом для исследования строения диэлектриков и высокоомных полупроводников (методы термостимулированных токов - ТСТ и термостимулированной деполяризации - ТСД) [133, 134]. Следует отметить, что использование ЭП и ЭЗ не ограничено только техническими применениями: так, например, в последнее время ведутся интенсивные исследования по влиянию ЭП и ЭЗ на биологические объекты. Исследования по этим вопросам в настоящее время становятся все более востребованы в практической медицине [26, 31, 123, 150, 182, 228].

Теоретические исследования и практические применения электрофизических методов в технологиях получения и контроля МДС постоянно прогрессируют. Еще в середине прошлого века была развита электронная теория адгезии [144] (Дерягин Б.В., Кротова H.A., Смилга В.П.), в

которой исследовались процессы формирования двойного электрического слоя при образовании связи между соединяемыми поверхностями. В настоящее время электрофизические методы активно используются во всем мире для получения новых МДС (в том числе, микро- и нано-МДС). В частности, в Санкт-Петербурге эти работы проводятся в СПбГЭТУ «ЛЭТИ» (АфанасьевВ.П., ЛучининВ.В., Мошников В.А.), в ФТИ им. А.Ф.Иоффе (Закревский В.А., Конников С.Г., Слуцкер А.И., Теруков Е.И.), в СЗТУ (Воронцов В.Н., Потапов А.И.), СПбГПУ (Нагорный B.C., Немов С.А., Сударь Н.Т.), РГПУ им. А.И.Герцена (Бойцов В.Г., Гороховатский Ю.А., Рычков A.A., Ханин С.Д.); вопросами контроля получаемых структур и изделий на их основе активно занимаются во Всероссийском научно-исследовательском институт метрологии им. Д. И. Менделеева (Слаев В.А.) и в других организациях.

Несмотря на большой объем проводимых исследований, в настоящее время накопился целый ряд проблем, ограничивающих техническое применение и повышение качества устройств, функционирующих на основе использования ЭП. В части технического применения, существующие методы технологии контроля не всегда позволяют осуществлять индивидуальную диагностику объекта. Измеряемые по стандартным методикам характеристики диэлектриков (например, ток утечки через 1 минуту после включения) часто не позволяют выявить потенциально опасные дефекты, т.к. их проявления «маскируются» относительно большими токами смещения, характерными для незавершенных переходных процессов. Отсутствует комплексность измерений при контроле диэлектрических материалов и МДС. Ощущается дефицит в автоматизированных измерительных комплексах неразрушающего контроля МДС на основе их электрофизических характеристик с соответствующим приборным и программным обеспечением. В части повышения качества недостаточно развиты научно обоснованные подходы к конструированию и оптимизации технологии формирования изделий на основе МДС.

В этой связи в диссертационном исследовании решается комплекс научно-технических задач обеспечения технологии неразрушающего контроля качества и формирования микро- и нано-МДС электрофизическими методами, ориентированными на определенные виды технических устройств и изделий.

Решение этой проблемы с необходимостью требует разработки адекватных научных представлений о принципах функционирования устройств на основе МДС, соответствующих им математических моделей, которые могут составить теоретическую основу электрофизических методов неразрушающего контроля их качества и оптимизации конструкций и технологических режимов получения. В силу специфики изучаемых объектов результаты проведенных исследований вносят вклад в развитие целого ряда актуальных областей теоретического и прикладного материаловедения, относящихся к структурно разупорядоченным, сильно неоднородным (в том числе, наноразмерным) системам.

Цель работы: теоретическое обоснование, разработка и реализация электрофизических методов неразрушающего контроля качества и формирования МДС.

Задачи исследования:

1. Выявить информативные параметры для контроля МДС, разработать способы и устройства для их измерения и апробировать разработанные устройства на реальных материалах и изделиях.

2. Разработать физические представления о поляризации диэлектриков в процессе получения ЭАС, математическую модель процесса накопления заряда в них, рассчитать возникающие ЭП и электроадгезионные силы.

3. На основе физических представлений и математических моделей разработать электрофизические методы неразрушающего контроля ЭАС.

4. Проанализировать конденсаторные структуры с подвижными обкладками (КСПО), в том числе электретные КСПО: произвести расчет ЭП и

сил, возникающих в них, и на основе проведенного анализа разработать метод неразрушающего контроля комплекса параметров КСПО.

5. На основе разработанных модельных представлений улучшить существующие и разработать новые конструкции и технологии формирования

МДС и изделий на их основе.

6. Разработать необходимое программное обеспечение для выполнения расчетов и реализации процедур измерений.

Идея работы. Электрофизические методы, основанные на моделях распределения ЭП в МДС, позволяют эффективно осуществлять неразрушающий контроль МДС и улучшать их качество.

Методы исследования. Основным при выполнении работы был метод математического моделирования на основе развиваемых физических представлений об исследуемом явлении (объекте) с последующей экспериментальной проверкой предсказываемых моделью результатов. При разработке измерительных устройств и в тех случаях, когда учесть теоретически все влияющие факторы не представлялось возможным, использовался экспериментальный подход.

Научная новизна работы:

1. Разработаны методы и измерительное устройство на основе полевого транзистора с большим входным сопротивлением, в цепь затвора которого включается исследуемая металлодиэлектрическая структура, позволяющие реализовать системный подход к неразрушающему контролю исследуемых объектов, связанный с измерением комплекса их статических и низкочастотных характеристик как наиболее информативных для диэлектрических сред.

2. Показано, что вследствие миграционной поляризации диэлектрика и накопления электрического заряда в его узкой прианодной области в МДС возникают большие электроадгезионные усилия. На основе развитых в работе физических представлений разработана математическая модель, в которой

учитывается реальный рельеф границы раздела контактирующих поверхностей и различие пондеромоторных давлений в точках фактического контакта и в

зазорах между поверхностями.

3. Показана необходимость учета при определении напряженностей ЭП дискретности распределения заряда при использовании малых межэлектродных зазоров. Количественно определены границы применимости классической формулы для расчета ЭП заряженной плоскости с равномерным распределением заряда при расчете ЭАС. В рамках разработанных моделей определены напряженности ЭП и силы на контакте в зависимости от технологических параметров и электрофизических характеристик соединяемых материалов. Разработанная математическая модель для расчета силовых характеристик ЭАС позволяет прогнозировать возможность соединения

данной пары материалов.

4. Выявлена корреляция между характером зависимости тока от времени, величиной прошедшего в процессе получения через ЭАС заряда и прочностью получаемого соединения. На этой основе разработаны модельные представления и соответствующие им методы неразрушающего контроля

прочности соединений.

5. Определена аналитически и подтверждена экспериментально зависимость емкости КСПО от приложенного напряжения при различной геометрии электродов. Разработаны математическая модель и метод для определения ЭП, сил, чувствительности, динамических и других характеристик для различных электретных КСПО. На основе моделей разработан неразрушающий метод контроля параметров капсюлей электретных преобразователей, заключающийся в снятии вольт-фарадной характеристики капсюля и последующем расчете по полученным значениям искомых параметров капсюля.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Качество диэлектрических материалов в связи с медленностью протекающих в них релаксационных процессов следует определять посредством электрофизических методов, основанных на измерениях соответствующих техническому назначению статических и низкочастотных параметров и характеристик. При этом рационально использовать разработанные измерительное устройство на полевом транзисторе с большим входным сопротивлением, в цепь затвора которого включается исследуемая металлодиэлектрическая структура, и программно - техническое обеспечение для расчета определяемых параметров.

2. Разработанная математическая модель миграционной поляризации, в которой учитываются особенности распределения заряда в металлодиэлектрических структурах, обеспечивает теоретическую основу для расчета силового действия электрического поля при межэлектродных зазорах толщиной порядка десятков нанометров и для разработки электрофизических методов улучшения формирования и неразрушающего контроля качества электроадгезионных соединений.

3. Неразрушающий контроль прочности электроадгезионных соединений металл - диэлектрик следует осуществлять посредством измерения зависимости тока от времени в процессе получения соединения, используя в качестве информативных критериев величину прошедшего электрического заряда и наличие экстремумов в анализируемой зависимости.

4. Комплексный неразрушающий контроль качества технических изделий на основе металлодиэлектрических структур с подвижными обкладками, в том числе, электретных конденсаторных сенсорных и активирующих устройств, целесообразно осуществлять посредством

измерения их вольт-фарадых характеристик с расчетом необходимых параметров в соответствии с разработанными математической моделью и

программным обеспечением.

5. Разработанные модельные представления о физических процессах в металлодиэлектрических структурах, соответствующие им математические модели и программное обеспечение создают теоретическую базу для улучшения конструкций и технологии изготовления технических устройств на основе металлодиэлектрических структур, а также расширения их функциональных возможностей.

Практическая значимость работы.

1. Разработанные измерительные устройства для неразрушающего контроля комплекса электрофизических статических характеристик диэлектриков и МДС используются на ряде предприятий. Указанные приборы

недороги и мобильны.

2. Реализована возможность с помощью разработанных измерительных устройств и методов осуществлять неразрушающий контроль не только электрофизических, но и других (механических, структурных, химических) характеристик материала, чувствительных к медленно протекающим электрическим процессам. Разработанные средства измерений и методы могут найти более широкое применение для контроля и других характеристик природной среды, материалов и изделий, например, относительной влажности,

концентрации ионов в газе и др.

3. Предложено использовать силовое действие ЭП электрета в новых конструкциях КСПО, в частности, для создания датчика перепада давлений с силовой электростатической компенсацией и в электропневматических преобразователях (ЭПП). Разработаны и изготовлены опытные образцы преобразователей с улучшенными по сравнению с аналогами характеристиками.

4. Определены технологические параметры режима получения ЭАС, при котором пондеромоторное давление максимально. Установлено, что для хорошо полированных поверхностей надо использовать относительно высокие температуры и низкие (из-за возможности пробоя) напряжения, а для шероховатых поверхностей - наоборот. Использование данного режима позволяет повысить качество ЭАС и получить соединения новых пар материалов.

5. Впервые использованы электроадгезионные технологии для ряда новых приложений: получения вакуумноплотных структур на основе пьезокварца при температуре не выше 500°С с применением разработанной механической силовой оснастки, что позволило изготовить пьезорезонатор новой конструкции; соединения массивных металлических деталей с диэлектриками с использованием мягких металлических припоев в качестве переходного слоя; повышения качества наносимых слоев платины к слоям диоксида кремния нанометровых толщин на полупроводнике и др.

6. Разработан автоматизированный измерительный комплекс для измерения комплекса параметров капсюлей электретных преобразователей на основе использования метода вольт-фарадных характеристик.

7. Оптимизированы (в смысле получения наибольшей чувствительности) конструкции электретных микрофонов: показано, что для микрофонов с рабочим воздушным зазором их наибольшая чувствительность достигается в случае, когда диаметр противоэлектрода меньше диаметра мембраны приблизительно вдвое; для микрофона с поддержками мембраны установлено наличие определенного значения поверхностного потенциала электрета, при котором его чувствительность максимальна.

Обоснованность и достоверность защищаемых положений и результатов обусловлена применением современного автоматизированного измерительного оборудования, преимущественным использованием компенсационных методов измерений, отличающихся повышенной точностью,

применением стандартных программ при расчетах численными методами. Достоверность полученных результатов также подтверждается их многократной воспроизводимостью, проведенными контрольными измерениями ранее изученных объектов и соответствием полученных результатов и выводов общефизическим представлениям и результатам исследований, выполненных другими методами.

Личный вклад автора в работу. Диссертация является итогом 25 -летней работы автора по тематике, связанной с использованием электростатических полей и сил для функционирования различных устройств, практическим применением электрофизических эффектов в МДС для улучшения их качества, контролем электрофизическими методами

характеристик МДС.

Автор диссертации осуществлял постановку задач исследований, непосредственно участвовал в изготовлении опытных образцов, проведении измерений, интерпретации полученных результатов и создании на этой основе соответствующих моделей изучаемых объектов, процессов и методов их контроля, измерительных устройств, программно-технического обеспечения, производил анализ и обобщение результатов, установил новые зависимости.

Реализация (внедрение) результатов работы. Результаты диссертационной работы были использованы:

- в РПО ВЭФ им. В.И.Ленина (в настоящее время - ВЭФ Телеком) (г. Рига). Были разработаны и внедрены технологические комплексы: информационно - измерительный комплекс для неразрушающего контроля параметров капсюлей электретных микрофонов и автоматизированный комплекс для получения электроадгезионным способом массивных

электретных элементов,

- в НПО им. Коминтерна (в настоящее время - ОАО НПО завод «Волна») (г. Санкт-Петербург) для соединения электроадгезионным способом

металлической арматуры высоковольтных изоляторов с их керамической частью,

- на федеральном государственном унитарном предприятии «Центр технологий микроэлектроники» (г. Санкт-Петербург) разработанные методы использовались при получении и контроле металлодиэлектрических электроадгезионных соединений.

В настоящее время на ряде предприятий г. Санкт-Петербурга используются следующие измерительные устройства и методы контроля,

разработанные в работе:

- устройство для измерения поверхностного потенциала диэлектрических

пленок (ЗАО НПК «Экофлон», ЗАО «МЭЛП»),

- устройство для оценки механических свойств (пористости структуры и толщины), выпускаемых изделий (ЗАО НПК «Экофлон», СТО «ГСАЯ»),

- метод для оценки концентрации ионов в воздушном потоке (ЗАО

«МЭЛП»),

- метод для неразрушающего контроля прочности электроадгезионных

соединений (ОАО «ЦТМ»).

Результаты настоящей работы использованы также в научно -исследовательских работах, выполнявшихся совместно с СПбГЭТУ «ЛЭТИ», СПбГПУ (г. Санкт-Петербург), Технологическим Центром МИЭТ (г. Зеленоград), и немецкой фирмой РНУ\¥Е, производящей научное и учебное оборудование.

Часть полученных результатов внедрена в учебный процесс: поставлены оригинальные лабораторные работы, тематика которых связана с неразрушающим контролем диэлектрических материалов и МДС в СПбГЭТУ «ЛЭТИ», СПГГУ и на РНУ\¥Е. Учебно-научные работы [88, 89], автора диссертации (в соавторстве) рекомендованы в программе-минимум кандидатского экзамена по специальности 05.27.06 - «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов

электронной техники» как литературные источники для подготовки к экзамену. Значительная часть полученных в работе результатов использовалась автором диссертации при чтении им курсов «Активные диэлектрики в электронике», «Моделирование и конструирование сенсоров», «Функциональная электроника» для магистров СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и чтении курса общей физики в СПГГУ, а также при руководстве подготовкой магистерских диссертаций и

дипломным проектированием.

Использование и внедрение указанных результатов подтверждено шестью изобретениями, полученными совместно с представителями организаций, внедривших результаты работы, 12-ю актами о

производственном внедрении (Приложение 4), 3-мя актами об использовании в учебном процессе (Приложение 5), подписанными руководителями организаций и изданными учебно-методическими пособиями [87-100].

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы доложены более чем на 30-ти Международных и Всероссийских научно-технических конференциях и семинарах, в частности, на Международных симпозиумах по электретам (ISE): г. Берлин (Германия), 1991 г., г. Париж (Франция), 1994 г., г. Афины (Греция), 1999 г.; Международных конференциях «Физика диэлектриков», г. С.-Петербург: 1993, 2008, 2011 г.г.; Международной конференции «Наночастицы, наноструктуры и нанокомпозиты», г. С.-Петербург, 2004 г.; Всероссийских конференциях «ФАГРАН», г. Воронеж: 2004 и 2006 г.г.; Международной конференции «Nanoparticles and Nanocomposits», С.-Петербург, 2006 г.; 13-й Международной научно-технической конференции «Проблемы ресурса и безопасной эксплуатации материалов», г. С.-Петербург, 2007 г.; Международной конференции «Современные проблемы электрофизики и электродинамики жидкостей», г. С- Петербург, 2009 г.; Всероссийских научно-технических семинарах «Вакуумная техника и технология», г. С.-Петербург: 2009 и 2010 г.г.; Международной конференции «От наноструктур,

наноматериалов и нанотехнологий к наноиндустрии», г. Ижевск, 2009 г; 3-ей Всероссийской школе - семинаре студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению «Наноматериалы», г. Рязань, 2010 г. Результаты работы также докладывались в различных организациях, в частности, на научно -техническом семинаре профессорско - преподавательского состава СПГГИ(ТУ) «Нанотехнологии», г. С.-Петербург, 2005 г., совещании главных технологов предприятий оборонных отраслей промышленности и машиностроения, ОАО «Авангард», г. С.-Петербург, 2006 г., НТС ГП «Западно-Уральский машиностроительный концерн», г. Пермь, 2010 г. Автор диссертации с 2011 г. является членом редколлегии журнала «Smart Nanocomposites» (ISSN: 19494823, издательство Nova Publishers, Нью Йорк, США), Приложение 3.

Публикации. Результаты работы опубликованы более чем в 80-ти научных трудах по теме диссертации, в том числе 74-х научных работах, из которых 18 работ опубликованы в журналах, рекомендованных ВАК, 5-ти авторских свидетельствах на изобретения, одном патенте. Часть результатов также опубликована в учебно-научных и учебно-методических трудах автора.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения (общей характеристики работы), пяти глав, заключения, списка использованной литературы и приложений. Общий объем работы составляет 372 страницы текста, включая 126 рисунков, 21 таблицу, 258 ссылок на литературные

источники и 5 приложений.

Работа выполнена в соответствии с проектом аналитической ведомственной целевой программы «Развитие научного потенциала высшей школы (2009 - 2011 годы)», подраздел 2.1.2 - Проведение фундаментальных исследований в области технических наук.

Краткое содержание работы.

Во введении обоснована актуальность темы работы, сформулированы цель исследований и постановка задач. Указана научная новизна и практическая ценность работы, а также основные научные положения,

выносимые на защиту, реализация (внедрение) результатов работы, личный вклад автора в работу и апробация работы.

В первой главе приведены результаты исследования возможностей использования стационарных и низкочастотных характеристик диэлектриков для контроля МДС с применением полевых транзисторов, представлены разработанные приборы, программное обеспечение и результаты измерений.

Во второй главе развиты физические представления и математические модели процессов получения ЭАС проводник - ионный диэлектрик как основы для улучшения технологии и неразрушающего контроля ЭАС.

В третьей главе представлены результаты использования электрофизических методов в новых технологиях изготовления и для улучшения характеристик МДС с использованием ЭП.

В четвертой главе представлены разработанные теоретические основы комплексного неразрушающего контроля КСПО. Приведены результаты разработки алгоритмического и программно-технического обеспечения процессов обработки информативных сигналов для неразрушающего контроля параметров электретных КСПО на основе использования метода вольт-

фарадной характеристики.

В пятой главе приведены результаты разработки новых конструкций КСПО, в которых используется ЭП для их функционирования, контроля и

улучшения имеющихся КСПО.

В заключении отражены обобщенные выводы по результатам исследований и сформулированы основные результаты работы.

Ввиду большого разнообразия объектов на основе МДС, рассмотренных в работе, и с учетом разумных ограничений на представляемый в печатном виде объем результатов исследований, в работе нет специальной главы, посвященной литературному обзору. Все необходимые ссылки на литературные источники и краткие сведения, относящиеся к рассматриваемым вопросам, а также другая необходимая информация даются по ходу изложения

полученных результатов. Значительная часть литературного обзора по рассматриваемым вопросам была выполнена в кандидатской диссертации автора настоящей работы [101], а также в работе [19], в магистерских диссертациях, дипломных работах [106, 111, 127, 136, 165, 174, 181, 190, 192, 201, 202, 205, 212, 214], в научном отчете [120], написанных под руководством автора диссертации и в опубликованных автором научных работах [1-86].

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Пщелко, Николай Сергеевич

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Настоящая диссертация является законченной научно-квалификационной работой. В ней на базе выполненных исследований решен комплекс актуальных научно-технических задач обеспечения технологии неразрушающего контроля качества и формирования металлодиэлектрических микро- и наноструктур электрофизическими методами. При этом решение указанных задач осуществляется во всей технологической цепи, начинающейся с контроля исходных материалов и заканчивающейся контролем и улучшением конструкций и технологий получения конечных изделий.

Основные научные и практические результаты работы:

1. Показана информативность использования низкочастотных и статических характеристик диэлектриков для контроля качества металлодиэлектрических структур. Разработаны устройство и программное обеспечение для измерения комплекса статических характеристик диэлектрических материалов. На базе этих разработок исследован ряд диэлектрических материалов специального назначения, сформулированы меры по улучшению их качества.

2. Разработана математическая модель миграционной поляризации диэлектрика в условиях получения электроадгезионного соединения. Модель позволяет осуществить расчет площади фактического контакта электроадгезионного соединения в зависимости от электрофизических и механических характеристик соединяемых материалов и параметров технологического режима. Выявлены условия получения максимального пондеромоторного давления при формировании электроадгезионных соединений.

3. Обоснована необходимость учета дискретности распределения заряда при расчете силового действия электрического поля, создаваемого в межэлектродных зазорах порядка сотен нанометров и менее. Разработанная

математическая модель указывает на то, что рассчитываемые давления могут быть больше, чем значения, полученные по общепринятым формулам.

4. Установлена корреляция между прочностью формируемого электроадгезионного соединения и величиной прошедшего через него заряда в расчете на единицу площади, а также характером зависимости тока от времени при формировании соединения. На этой основе разработаны метод неразрушающего контроля электроадгезионных соединений и соответствующая математическая модель.

5. Разработан неразрушающий метод контроля комплекса параметров капсюлей электретных преобразователей посредством анализа их вольт-фарадных характеристик. Метод реализован в информационно -измерительном комплексе, нашедшем применение в производстве электретных микрофонов с улучшенными характеристиками.

6. Обоснованы и экспериментально опробованы новые электроадгезионные технологии: снижена температура соединений кварцевых деталей за счет использования разработанной оснастки, получены электроадгезионные соединения с использованием металлических припоев, применены электроадгезионные технологии для изготовления контактов к сетчатым иерархическим пористым структурам, разработана новая технология электроадгезионного нанесения пленочных полимеров на металл, электроадгезионные технологии улучшения структуры и адгезии проводящих пленочных покрытий на диэлектрических подложках.

7. Разработана технология модификации поверхностей элементов конструкций металлодиэлектрических структур в сильных электрических полях для придания им шершаво-пористого состояния. Использование втягивающих сил неоднородного электрического поля на такой поверхности позволило получить новые изделия, нашедшие применение в медицинской технике.

8. Обоснованы и экспериментально опробованы новые конструкции ряда технических устройств с подвижными обкладками, обладающих по сравнению

с аналогами улучшенными функциональными характеристиками: датчик перепада давлений с силовой электростатической компенсацией, электропневматический преобразователь, электретные микрофоны.

Автор диссертации выражает глубокую благодарность всем специалистам, проявившим интерес к работе и сделавшим полезные замечания. В частности, автор благодарит профессоров В.П. Афанасьева и В.А. Мошникова за многолетнее постоянное внимание к работе и приглашение к участию в совместно проведенных исследованиях, профессоров Э.И. Богуславского, B.C. Нагорного, А.Г. Сыркова за участие в организации постановки работы и оказанные консультации, профессора С.Д. Ханина за участие в обсуждении и формулировке некоторых полученных результатов, ученого секретаря С.О. Рыжкову за помощь в оформлении необходимых документов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Пщелко, Николай Сергеевич, 2011 год

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

Публикации Н.С. Пщелко по теме докторской диссертации

Публикации в научных изданиях, рекомендованных ВАК РФ

1. Пщелко Н.С. Методические особенности расчета электретных преобразователей // Записки Горного института. 2005 г. Т. 163. С.204-206.

2. Пщелко Н.С. Диагностика диэлектрических покрытий электростатическими методами / Н.С. Пщелко, И.И. Павликов // Записки Горного института. 2007 г. Т.173. С. 233-236.

3. Пщелко Н.С. Экспериментальное исследование способов повышения адгезии проводящих частиц к диэлектрическим подложкам / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. «Информатика, телекоммуникации, управление». 2009 г. №3(80). С. 185-190.

4. Пщелко Н.С. Теоретические основы повышения адгезии проводящих слоев к диэлектрическим подложкам. / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. «Информатика, телекоммуникации, управление». 2009 г. №4(82). С. 217-221.

5. Пщелко Н.С. Анализ динамики процесса формирования электроадгезионного контакта / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко, Н.П. Сидорова. // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. «Информатика, телекоммуникации, управление». 2009 г. №6. С. 166-170.

6. Пщелко Н.С. Методика определения параметров капсюлей конденсаторных структур с подвижными обкладками // Записки Горного

института. 2010 г. Т.187. С.117-124.

7. Пщелко Н.С. Повышение адгезии электропроводящих пленок к диэлектрическим подложкам электроадгезионным способом / Н.С. Пщелко, А.Г. Сырков // Записки Горного института. 2010 г. Т.187.С.137-142.

8. Пщелко Н.С. Использование электрического поля для получения и неразрушающего контроля емкостных сенсоров и активаторов /Н.С. Пщелко, В.В. Буевич // Записки Горного института. 2010 г. Т.186. С.253-256.

9. Пщелко Н.С. Использование полевых транзисторов для контроля характеристик диэлектриков / Н.С. Пщелко, A.C. Мустафаев // Записки Горного института. 2010 г. №187.С.125-131.

10. Пщелко Н.С. Измерение эмиссионных характеристик вольфрамовых термокатодов в приборах плазменной энергетики / A.C. Мустафаев, Н.С. Пщелко, A.B. Морин, А.Б. Цыганов // Записки Горного института. 2010 г. №187. С.91-96.

11. Пщелко Н.С. Использование электрического поля для повышения адгезии электропроводящих пленок к диэлектрическим подложкам при вакуумном нанесении // Вакуумная техника и технология. 2010 г. №1. С.31-36.

12. Пщелко Н.С. Основы расчета сопротивления наноструктурированных пленок при электрокаплеструйном формировании. / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. «Информатика, телекоммуникации, управление». 2010 г. №4 (103). С.123-130.

13. Пщелко Н.С. Сетчатые иерархические пористые структуры с электроадгезионными контактами / И.Е. Грачева, С.С. Карпова, В.А. Мошников, Н.С. Пщелко // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2010 г. №8 . С.27-32.

14. Пщелко Н.С. Влияние постоянного электрического поля на процессы осаждения тонких металлических пленок платины методом ионно-плазменного распыления / В.П. Афанасьев, Д.А. Чигирев, Н.С. Пщелко, Н.П. Сидорова. // Известия ВУЗов России. Радиоэлектроника. 2010 г. Вып.6. С.59-65.

15. Пщелко Н.С. Электрические методы неразрушающего контроля качества металлодиэлектрических структур оксидных конденсаторов / Н.С. Пщелко С.Д. Ханин // Записки Горного института. 2011 г. Т.189. С.268-271.

16. Пщелко Н.С. Неразрушающий контроль прочности электроадгезионных соединений проводник - ионный диэлектрик // Записки Горного института.№ 189. 2011 г. С. 264-268.

17. Пщелко Н.С. Физические основы методов диагностики и управления свойствами металлодиэлектрических структур оксидных конденсаторов / Н.С. Пщелко, С.Д. Ханин, С.А. Немов // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. «Информатика, телекоммуникации, управление». 2011 г. №1. С.167- 172.

18. Пщелко Н.С. Электрохимические свойства композита полипиррола и полиимида / K.J1. Левин, Н.С. Пщелко // Высокомолекулярные соединения. Серия А. 2011 г. Т.53. №6. С. 906 - 917.

Препринт (монография в 3-х частях)

19. Пщелко Н.С. Физические основы, расчет и применение необратимого электроадгезионного соединения твердых тел / А.Р. Озолс, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Рига: Ин-т орган, синтеза АН Латв. ССР. 1989 г. Ч. 1. 46 е., Ч. 2. 59 с.,Ч. 3. 60 с.

Авторские свидетельства и патент

20. Пщелко Н.С. A.c. №1558241. Способ получения неразъемного соединения металлодиэлектрического узла / В.Т. Барченко, Л.Д. Гинзбург, В.Г. Доморацкий, С.Н. Заграничный, А.О. Левашов, Н.С. Пщелко., В.Н. Таиров//. 1989 г.

21. Пщелко Н.С. A.c. №1607618. Магнитная головка / Н.С. Пщелко,

A.Д. Смирнов//. 1990 г.

22. Пщелко Н.С. A.c. №1611199. Способ контроля параметров капсюля в собранном электретном преобразователе / А.Р. Озолс, Н.С. Пщелко,

B.Н. Таиров// 1990 г.

23. Пщелко Н.С. А.с.№1696759. Электропневматический аналоговый преобразователь / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров,

А.Е. Шаралапов //. 1991 г.

24. Пщелко Н.С. A.c. №1788601. Способ изготовления электретного

элемента / З.Э. Аунынып, А.Р Озолс, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров, Д.М. Рекис //. 1992 г.

25. Патент РФ №2132116 H04R29/00. Способ определения качества электретных электроакустических преобразователей и устройство для его реализации / Баталов Ф.И., Пщелко Н.С., Ястребов A.C. // Опубл. в Бюллетене Изобретений №17, 4.2. 1999 г.

Статьи в журналах, депонированные работы, материалы международных и всероссийских конференций

26. Пщелко Н.С. Электрофизические и химико-физические микро- и нанотехнологии усиления адгезии компонентов в системе металл - диэлектрик / Н.С. Пщелко, А.Г. Сырков, Т.Г. Вахренева, И.В. Пантюшин, Д.А.Сырков // Российские нанотехнологии. 2009 г. № 11-12. С.42-46.

27. Пщелко Н.С. Электрические методы для идентификации алмазов и ювелирных камней / Е.Ю. Зевелев, A.C. Мустафаев, И.И. Павликов, Н.С. Пщелко // Записки Горного института. 2006 г. Т. 167, 4.1. С.283 - 285.

28. Пщелко Н.С. Поляризация приповерхностных слоев ионных диэлектриков на границе электроадгезионного контакта с проводником // Цветные металлы (Наноструктурированные металлы и материалы). 2005 г. №9. С.44- 50.

29. Пщелко Н.С. Влияние шероховатости поверхностей электроадгезионного контакта на его силовые характеристики / Н.С. Пщелко, Т.В. Стоянова // Цветные металлы. 2008 г. №5. С. 51-57.

30. Пщелко Н.С. Об усилении адгезии контактирующих поверхностей в системе металл-диэлектрик электрофизическими и химико-физическими

методами / Н.С. Пщелко, А.Г. Сырков, Д.С. Быстров, Д.А. Сырков. // Цветные

металлы. 2009 г. №3. С.21 - 28.

31. Пщелко Н.С. Модификация поверхности металла и использование

электроадгезионных сил для улучшения адгезионных характеристик в зубном протезировании / Н.С. Пщелко, С.Э. Шаппо // Цветные металлы. 2009 г. №3. С.15 - 20.

32. Пщелко Н.С. Модификация поверхности материалов обработкой в плазме низкотемпературного объемного разряда / Г.Л. Спичкин, Е.К. Чистов, Н.С. Пщелко, А.Г. Сырков // Цветные металлы. 2009 г. № 12, С. 61-66.

33. Пщелко Н.С. Расчет параметров электропневматического распределителя с электростатическим управлением / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров, А.Е. Шаралапов // Пластические массы. 1988. №6.

С. 28-29.

34. Пщелко Н.С. Методика расчета электретных приемных электроакустичеких преобразователей / Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Акустический журнал. 1988 г. Т.34. №4. С. 706-710.

35. Пщелко Н.С. Комплексное исследование диэлектрических и физико-механических свойств реальных керамических микроизделий / A.A. Ганибалов, Г.М.Марчук, Н.С. Пщелко, В.Н. Рудаков, A.A. Самодуров // Дефектоскопия.

1989 г. №7. С.49-52.

36. Пщелко Н.С. Расчет силового действия электретов островковой

структуры / О.И. Колдунов, Н.С. Пщелко // Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ".

1991 г. Вып. 433. С.103-106.

37. Пщелко Н.С. Оптимизация параметров электретных микрофонов / Д.А. Козодаев, Н.С. Пщелко // Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ". 1997 г. Вып. 504. С. 87-92.

38. Пщелко Н.С. Электретные электромеханические преобразователи / H.A. Ганенков, Н.С. Пщелко // Радиоэлектроника в СПбГЭТУ. 1996 г. Вып.2. С.121-126.

39. Пщелко Н.С. Адгезионное упрочнение покрытий металл-стекло /

B.А. Жабрев, В.А. Мошников, Н.С. Пщелко, В.В. Томаев // Труды XVIII совещания по температуроустойчивым функциональным покрытиям: 4.1. Тула. 2001 г. С.182-187.

40. Пщелко Н.С. Модификация термостойких фотолаков для новых областей применения / Н.В. Климова, Г.К. Лебедева, Н.С. Пщелко, Л.В. Рудая, И.М. Соколова, Т.А. Юрре // Петербургский журнал электроники. 2002 г. №3.

C.33-37.

41. Пщелко Н.С. Методы и эффекты регулирования антифрикционных и изолирующих свойств наноструктур катионных ПАВ на поверхности металла / Н.В. Плескунов, А.Н. Попова, Н.С. Пщелко, А.Г. Сырков // Материалы конференции «ФАГРАН -2004». Воронеж. 2004 г. Том 2. С. 462-465.

42. Пщелко Н.С. Кинетика и механизм формирования электроадгезионного контакта на границе ионный диэлектрик-проводник / Н.С. Пщелко, А.Г. Сырков // Материалы конференции «ФАГРАН-2006», Воронеж, 2006 г. С.410-412.

43. Пщелко Н.С. Эффекты влияния наноподслоя ПАВ на антифрикционные, водоотталкивающие и защитные свойства поверхности металла / А.Г. Сырков, В.Г. Корсаков, Н.С. Пщелко // Материалы конференции «ФАГРАН - 2006». Воронеж, 2006 г. Т.1. С. 440 - 443.

44. Пщелко Н.С. Структурные превращения в прианодной области диэлектрика как физическая основа электроадгезионного способа соединения материалов // Проблемы ресурса и безопасной эксплуатации материалов: Сборник трудов 13-й международной научно-технической конференции: СПбГУНиПТ, 2007 г. С.97-101.

45. Пщелко Н.С. Накопление заряда в прианодной области ионных диэлектриков как основа электроадгезионной технологии соединения материалов / Материалы 11-й Международной конференции «Диэлектрики -2008», Санкт-Петербург, 3-7 июня 2008 г. Т. 1. С. 114-115.

46. Пщелко Н.С. Расчет чувствительности и контроль параметров электретных преобразователей // Материалы 11-й Международной конференции «Диэлектрики - 2008», Санкт-Петербург, 3-7 июня 2008 г., Т.2. 2008 г. С.110-113.

47. Пщелко Н.С. Совершенствование методов и процессов получения проводящих пленок на диэлектрических подложках: адгезионные и электрогидродинамические аспекты / Н.С. Пщелко, B.C. Нагорный // 9-я международная конференция «Современные проблемы электрофизики и электродинамики жидкостей». Санкт- Петербург , 22-26 июня 2009 г.- С.345.

48. Пщелко Н.С. Использование электрического поля для повышения адгезии электропроводящих пленок к диэлектрическим подложкам при вакуумном нанесении // Вакуумная техника и технология-2009. Сборник научных трудов научно-технического семинара 9-11 июня 2009 г. С.69-77.

49. Пщелко Н.С. Электрофизические и химико-физические микро- и нанотехнологии усиления адгезии компонентов в системе металл-диэлектрик / Н.С. Пщелко, А.Г. Сырков, Д.А. Сырков, В.В. Буевич // Сб. трудов конференции «От наноструктур, наноматериалов и нанотехнологий к наноиндустрии». Ижевск, 8-10 апреля 2009 г. С.114.

50. Пщелко Н.С. Особенности свойств пленок платины при осаждении со смещением / Н.С. Пщелко, Д.А. Чигирев // Труды 65-ой науч.-тех. конф. Российского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А.С Попова. 20-27 апреля 2010, г. Санкт-Петербург. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». С.283-284.

51. Пщелко Н.С. Электроадгезионные контакты к сетчатым структурам с многоуровневой иерархией пор / И.Е. Грачева, С.С. Карпова, В.А. Мошников, Н.С. Пщелко // Труды 3-ей Всероссийской школы - семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению «Наноматериалы». Рязань, 2010. С.67 - 71.

52. Пщелко Н.С Неразрушающий контроль прочности электроадгезионных соединений ионный диэлектрик - проводник: Материалы 12-й Международной, конф. «Диэлектрики - 2011», Санкт-Петербург, 23-26

мая 2011 г., Т.2. С. 333-335.

53. Пщелко Н.С. Особенности электроадгезионного соединения проводник - ионный диэлектрик / М.И. Белкин, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Деп. в ВИНИТИ 14.02.86. №112-В86. 16 с.

54. Пщелко Н.С. Поляризация ионных диэлектриков в процессе получения электроадгезионного соединения и ее связь с величиной пондеромоторного явления / М.И. Белкин, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Деп. в

ВИНИТИ 14.02.86. №113-В86 14 с.

55. Пщелко Н.С. Количественная оценка влияния точек фактического

контакта в эффекте Джонсона-Рабека / Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Деп. в

ВИНИТИ 05.06.86. №4100-В86. 29 с.

56. Пщелко Н.С. Некомпенсированные заряды и ориентационная поляризация в ионном диэлектрике, образующем электроадгезионный контакт с металлом / Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Деп. в ВИНИТИ 05.06.86. №4112-В86. 34 с.

57. Пщелко Н.С. Модель электроадгезионного соединения ионный диэлектрик-металл / В.Н. Таиров, В.А. Приходченко, Н.С. Пщелко // Тез. докладов X Всесоюзного симпозиума по механноэмиссий и механохимии

твердых тел. М., 1986. С. 62.

58. Пщелко Н.С. Методика расчета электростатических устройств

мембранного типа / Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Деп. в ВИНИТИ 25.05.87. №3828-В87. 23 с

59. Пщелко Н.С. Методика расчета пленочного электретного электропневматического преобразователя / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров, А.Е. Шаралапов // Деп. в ЦНИИТЭИ приборостроения 27.07.87. №3867-пр. 18 с.

60. Пщелко Н.С. Расчет сил в электретном электропневматическом преобразователе / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров, А.Е. Шаралапов // Деп. в Информэлектро 20.10.87 №959-эт. 21 с.

61. Пщелко Н.С. Применение полимерных электретов в электростатическом преобразователе / B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров, А.Е. Шаралапов // Тез. докладов III Всесоюзной конференции "Актуальные проблемы получения и применения сегнето- и пьезоэлектрических материалов". М., 1987 г. С. 172.

62. Пщелко Н.С. Электростатический преобразователь /B.C. Нагорный, Н.С. Пщелко, В.Н.Таиров, А.Е. Шаралапов // Тез. докладов I Всесоюзной конференции по электромеханотронике. Л., 1987.219-221.

63. Пщелко Н.С. Методика расчета быстродействия и энергопотребления электретных преобразователей - эквивалентных двигателей / Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров// Деп. вВИНИТИ 11.01.88. №27-В88. 18.с.

64. Пщелко Н.С. Возможности использования электретов с различными объемными и поверхностными распределениями зарядов / А.Р. Озолс, Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Тез. докладов научн. - технич. конференции "Электреты и их применение в электронике". М., 1988. С. 90-91.

65. Пщелко Н.С. Оптимизация процесса получения электроадгезионного соединения / Н.С. Пщелко, В.Н. Таиров // Деп. в ВИНИТИ 11.01.88. №26-В88. 12 с.

66. Пщелко Н.С. Комплексное исследование диэлектриков микроволновыми методами / A.A. Ганнибалов, Н.С. Пщелко, В.Н. Рудаков,

A.A. Самодуров // Деп. в ВИНИТИ 11.01.88. №28-В88. 16 с.

67. Пщелко Н.С. Расчет электрических полей незакороченных электретов с островковым распределением заряда / С.И. Мальчиков, Н.С. Пщелко,

B.Н. Таиров // Деп. в ВИНИТИ 26.04.88. №3186-В88. 33 с.

68. Пщелко Н.С. Анализ электростатических сил, создаваемых электретами в капсюлях электроакустических преобразователей ТА /

Н.С. Пщелко, В.Н.Таиров // Тез. докладов научи. - технич. семинара "Состояние и перспективы внедрения прогрессивной технологии изготовления

БРЭА и ТА". - Рига, 1988 г. С. 25.

69. Пщелко Н.С. Робототехнический комплекс изготовления электретного носителя электроакустических преобразователей ТА / А.Р. Озолс, Н.С. Пщелко, Д.М. Рекис // Тез. докладов научн. - технич. семинара "Состояние и перспективы внедрения прогрессивной технологии изготовления БРЭА и ТА". -Рига, 1988 г. С. 31.

70. Пщелко Н.С. Методика расчета чувствительности электретных преобразователей // Тез. докладов научн. - технич. семинара "Состояние и перспективы внедрения прогрессивной технологии изготовления БРЭА и ТА". -Рига, 1988 г. С.32

71. Пщелко Н.С. Получение массивных электретов для перспективных электроакустических преобразователей / А.Р. Озолс, Н.С. Пщелко // Тез. докладов научн. - технич. семинара "Состояние и перспективы внедрения прогрессивной технологии изготовления БРЭА и ТА". Рига, 1988 г. С.27.

72. Пщелко Н.С. Исследование влияния шероховатости контактирующих поверхностей на некоторые электрические и механические характеристики контакта // Тез. докладов научн. - технич. семинара "Состояние и перспективы внедрения прогрессивной технологии изготовления БРЭА и ТА". Рига, 1988 г. С.34.

73. Пщелко Н.С. Электроакустические преобразователи звукового диапазона на основе активных диэлектриков / H.A. Ганенков, В.И. Закржевский, О.И. Колдунов, Н.С. Пщелко // Тез. докладов научн. -технич. конференции "Диэлектрики - 93". Санкт- Петербург, 1993 г. С. 112.

74. Пщелко Н.С. Влияние дискретности локализации электрического заряда на силовое действие электрического поля / Н.С. Пщелко, Н.П. Сидорова // Материалы XLVIII международной конференции «Студент и научно-технический прогресс», г. Новосибирск, 2010 г. С.207.

75. Пщелко Н.С. Автоматизированный комплекс для неразрушающего контроля конденсаторных структур с подвижными обкладками / В.В. Буевич,

H.С. Пщелко // Материалы XLVII международной научной конференции «Студент и научно-технический прогресс», посвященной 50-летию НГУ. г.

Новосибирск, 2009г. С.6.

76. Пщелко Н.С. Накопление заряда в прианодной области ионных диэлектриков / Д.А. Сырков, Н.С. Пщелко // Материалы XLVII международной научной конференции «Студент и научно-технический прогресс», посвященной 50-летию НГУ. г. Новосибирск. 2009 г. С. 171

77. Пщелко Н.С. Спектроскопия импеданса сетчатых металлооксидных структур / М. Г. Аньчков, К. Е. Смирнов, И. Е. Грачева, Н.С. Пщелко // 66-я научн. - техн. конф., посвященная дню радио, апрель 2011 г. Санкт-Петербург, 2011 г. С.72-75.

78. Pshchelko N.S. Sensitivity Stability of Electret Transducers / N.S. Pshchelko, V.N. Tairov, A.R. Ozols // Proc. ISE-7. Berlin. 1991. P.935-940.

79. Pshchelko N.S. C-V - Testing of Electeret Transducers / N.S. Pshchelko,

I.M. Sokolova, V.I. Zakrzhevskiy //Proc. ISE -8, Paris. 1994 P.1028-1033.

80. Pshchelko N.S. The Percolation Behavior of Electret at Presence of Water Condensation / U.I. Kuzmin, N.S. Pshchelko, I.M. Sokolova, V.I. Zakrzhevskiy //

Proc. ISE-8. Paris. 1994. P. 124-129.

81. Pshchelko N.S. Analysis of Electret Sub-Miniature Microphones / D.A. Kozodaev, N.S. Pshchelko, V.I. Zakrzhevskiy // Proc. ISE -10. Athens. 1999. P. 973-978.

82. Pshchelko N.S. Procedure for the calculation of electret receiving electroacoustic transducers. / N.S. Pshchelko, V.N. Tairov // Sov. Phys. Acoust.

1988. V.34. P. 406-408

83. Pshchelko N.S. Interlayer Polaryzation of Ionic Dielectrics as a Basis of Anodic Bonding / N.S. Pshchelko V.P. Rastegaev // Proc. International Conf.

"Nanoparticles, Nanostructures and Nanocomposites". Saint-Petersburg .5-7 July 2004. P. 139.

84. Pshchelko N.S. The Surface Roughness Influence on the Anodic Bonding Adhesion / N.S. Pshchelko, V.P. Rastegaev // Book of Abstracts. Structural Chemistry of Partially Ordered Systems, Nanoparticles and Nanocomposits.Topical Meeting of the European Ceramic Society. Saint-Petersburg, June 27-29, 2006. P. 151-152.

85. Pshchelko N.S. Interlayer Polarization of Ionic Dielectrics at Anodic Bonding Process with a Conductor Surface // Non- ferrous metals. 2006. №4. P.27-31.

86. Pshchelko N.S. Electrochemical Properties of a Polypyrrole-Polyimide Composite / K. L. Levin, N. S. Pshchelko // Polymer Science, Ser. A. 2011. V. 53, №. 6. P. 510-520.

Учебно-научные и учебно-методические труды

87. Пщелко Н.С. Методические указания к курсовым проектам по дисциплине «Расчет и конструирование полупроводниковых и диэлектрических структур» / В.И. Закржевский, О И. Колдунов, Н.С. Пщелко // СПбГЭТУ

«ЛЭТИ», 1992 г. 20 с.

88. Пщелко Н.С. Теория и расчет электромеханических преобразователей на активных диэлектриках (учебное пособие) / Н.А.Ганенков, В.И. Закржевский, О.И. Колдунов, Н.С. Пщелко // СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 1994 г. 43 с.

89. Пщелко Н.С. Теория и расчет электромеханических преобразователей на основе пленочных пьезоматериалов: учебное пособие / А.В. Варфоломеев, Н.А.Ганенков, Г.Ф. Глинский, В.И. Закржевский, Н.С. Пщелко // СПбГЭТУ

«ЛЭТИ», 1997г. 52 с.

90. Пщелко Н.С. Твердотельные датчикии: методические указания к лабораторным работам / В.П. Афанасьев, А.В. Варфоломеев, Н.А.Ганенков,

В.А. Карасев, A.B. Корляков, В.А. Мошников, В.А.Попов, Н.С. Пщелко, В.В. Томаев // СПбГЭТУ ЛЭТИ», 1998 г. 68 с.

91. Пщелко Н.С. Материалы и компоненты функциональной электроники: учебное пособие / В.П. Афанасьев, Н.А.Ганенков, Н.С. Пщелко //

СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 1999 г. 83 с.

92. Пщелко Н.С. Квантовая механика, физика твердого тела и элементы атомной физики: Сборник задач / И.И. Парфенова, C.B. Егоров,

A.C. Мустафаев, Н.С. Пщелко, Т.В. Стоянова, H.H. Смирнова, А.Г., Сырков,

B.И. Чернобай // С-Пб. СПГГИ(ТУ), 2006 г. 112 с.

93. Пщелко Н.С. Электро-и магнитостатика: Методические указания к лабораторным работам для студентов всех специальностей. / Н.С., Пщелко, Т.В. Стоянова, В.И. Чернобай (научный редактор Н.С. Пщелко)// С-Пб. СПГГИ (ТУ), 2009 г. 63 с.

94. Пщелко Н.С. Квантовая механика, физика твердого тела и элементы атомной физики: Сборник задач / И.И. Парфенова, C.B. Егоров,

A.C. Мустафаев, Н.С. Пщелко, Т.В. Стоянова, H.H. Смирнова, А.Г., Сырков,

B.И. Чернобай // 2-е издание, стереотипное. С-Пб. СПГШ(ТУ), 2010 г. 112 с.

95. Пщелко Н.С. Электродинамика. Сборник задач для студентов инженерно-технических специальностей / A.C. Мустафаев, C.B. Егоров, Н.С. Пщелко, И.И. Парфенова, Т.В Стоянова, В.И. Чернобай, В.В. Фицак // СПб. СПГГУ, 2011 г. 130с.

96. Пщелко Н.С. Постоянный ток и электромагнитные явления в веществе: Лабораторный практикум / A.C. Мустафаев, Н.С. Пщелко, Т.В. Стоянова, В.И. Чернобай // С-Пб. СПГГИ (ТУ), 2011 г. 61с.

97. Пщелко Н.С. Физика. Электростатика. Электродинамика. Методические указания и контрольные задания для самостоятельной работы студентов инженерно-технических специальностей всех форм обучения / A.C. Мустафаев, Н.И. Егорова, H.H. Смирнова, Н.С. Пщелко, // С-Пб. СПГГУ, 2011 г. 32с.

98. Пщелко Н.С. Физика. Электромагнетизм. Магнитные свойства вещества. Методические указания и контрольные задания для самостоятельной работы студентов инженерно-технических специальностей всех форм обучения / A.C. Мустафаев, Н.И. Егорова, H.H. Смирнова, Н.С. Пщелко, // С-Пб. СПГГУ, 2011 г. 29с.

99. Пщелко Н.С. Определение диэлектрической проницаемости и сопротивления высокоомных материалов. Методические указания к выполнению лабораторной работы с использованием компьютерного интерфейса / Т.Р. Акчурин, Н.С. Пщелко // С-Пб. СПГГИ(ТУ), 2010 г. 11с.

100. Пщелко Н.С. Методические указания к выполнению компьютерной лабораторной работы «Определение параметров конденсаторных структур с подвижными обкладками методом вольт-фарадной характеристики» / Т.Р. Акчурин, Н.С. Пщелко // С-Пб. СПГГИ(ТУ), 2010 г. 17с.

Кандидатская диссертация 101. Пщелко Н.С. Разработка моделей и методик расчета электроадгезии в системах металл (полупроводник) - диэлектрик // Автореферат дисс.... к.т.н. по специальности 01.04.10 - Физика полупроводников и диэлектриков. Л., 1988. 16 с.

Использованные литературные ссылки

102. Абраров В.Н., Кондратьев Е.М., Мишин Ю.А. Расчет и конструирование электростатических захватов в робототехнике: Методическое руководство, Ч. I. М., 1987 г. 42 с.

103. Абраров В.Н., Соболевский М.В., Кондратьев Е.М. Полимерные материалы в электростатических захватывающих устройствах // Пластические массы. 1984 г. № 7. С. 39-41.

104. Алтынников А.Г., Афанасьев В.П., Афанасьев П.В. и др. Технология, свойства и применение сегнетоэлектрических пленок и структур на их основе / С-Пб. Изд-во «Элмор», 2007 г. 248 с.

105. Айзенблетгер Г. Получение и исследование электретов в матричном

исполнении //Автореф. дисс.... к.т.н. JI. 1982 г. 21 с.

106. Амиров Н.В. Разработка лабораторной работы «Исследование электроадгезионного соединения» // Пояснительная записка к дипломной работе (руководитель Н.С. Пщелко). JI. 1995 г. 139 с.

107. Антонец И.В., Котов Л.И., Некипелов С.В., Голубев Е.А. Особенности наноструктуры и удельной проводимости тонких пленок различных металлов // Журнал технической физики. 2004 г. Т. 74. Вып. 3. С. 24-27.

108. Астахов В.И. Формулы для вычисления пондеромоторных взаимодействий // Изв. ВУЗов. Электромеханика. 1985 г. № 2. С. 5-11.

109. Афанасьев П.В., Коровкина Н.М. Технология формирования платиновых электродов ддя субмикронных конденсаторных структур с сегнетоэлектрическими пленками ЦГС //Вакуумная техника и технология, 2006 г. Т. 16, вып.З. С.215-219.

110. Афонин H.H. Перераспределение легирующих примесей при термическом оксидировании монокристаллического кремния // Автореф. дисс.... д.х.н. Воронеж. 2004 г. 40 с.

111. Байда М.А. Оптимизация и алгоритмизация электретных микрофонов // Пояснительная записка к дипломной работе (руководитель Н.С. Пщелко). Л. 1996 г. 83 с.

112. Балалаев В.А., Слаев В.А., Синяков А.И. Потенциальная точность измерений: / С-Пб.: Профессионал. 2005 г. 104 с.

113. Барбин Н М., Филяев А.Т. Окисление твердой платины в расплавленной щелочи // Физические свойства металлов и сплавов Сб статей. Екатеринбург. УГТУ-

УПИ. 2001 г. С. 192-197.

114. Барбин Н.М., Некрасов В.Н., Ивановский Л.Е. Изучение поверхностного процесса протекающего между стеклоуглеродом и хлоридным расплавом

содержащим оксид лития. // Адгезия расплавов и пайка материалов. Межведомств. Сб. научных трудов АНУ. Вып 29. Киев-Наук, 1993 г. С. 58-62.

115. Бартенев Г.М., Лаврентьев В.З. О законе трения при упругом контакте поверхностей // Доклады АН СССР, 1961 г. Т. 141, № 2. С. 334-337.

116. Баталов Ф.И. Исследование методов синтеза электроакустических преобразователей средств связи и разработка измерительного комплекса для контроля их параметров // Автореф. дисс.... к.т.н. Л. 2000 г. 20 с.

117. Белов A.A. Емкостный электродвигатель: а.с. 250272 СССР, МКИ Н02 № 1/00. Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки. 1969 г. № 26. С. 295.

118. Беляков В.И. Получение, исследование характеристик и применение моноэлектретов в технике // Автореф. дис... к. т .н., Л. 1985 г. 16 с.

119. Берлин A.A., Басов В.Е. Основы адгезии полимеров / М. Химия. 1974 г.

392 с.

120. Богуславский Э.И., Егоров C.B., Мустафаев A.C., Парфенова И.И., ПщелкоН.С. и др. Фундаментальные и прикладные исследования нанопроцессов, явлений в плазме, физики материаловедения и горной теплофизике для создания новых методов, материалов, приборов и технологий // Отчет о научно-исследовательской работе (научный руководитель Н.С. Пщелко). CI 111 И(ТУ). С-Пб. 2010.126 с.

121. Бочарова Т.В. Формирование фоточувствительных слоев в щелочно-германатных стеклах // Неорганические материалы. 2005 г. Т. 41, № 6. С. 753-761.

122. Бочарова Т.В. Модель объема захвата свободных носителей во фторофосфатных стеклах, активированных тербием. // Физика и химия стекла. 2005 г. Т. 31. №2. С. 161-173.

123. Буева O.A., Замыслов Э.В., Островидова Г.У. Тромборезистентные свойства нового углеродсодержащего композиционного материала // В кн. Патофизиология микроциркуляции и гемостаза. Изд-во СПбМГУ им. Акад. И.П. Павлова. 1998 г. С.447-453.

124. Быков Ю.А., Карпухин С.Д, Газукина Е.И. О некоторых особенностях структуры и свойств металлических тонких пленок // Металловедение и термическая

обработка металлов. 2000 г. № 6. С. 45-47.

125. Велихов Е.П., Ковалев A.C., Рахимов А.Т. Физические явления в

газоразрядной плазме //М.: Наука, 1987 г. 160 с.

126. Висьневска М., Головина J1.A., Приходченко В.А. Надежность электроадгезионных соединений полимер-металл // Изв. ЛЭТИ: Сб. науч. тр. ЛЭТИ им. В.И. Ульянова (Ленина). Л., 1985 г. Вып. 350. С. 81-84.

127. Власов О.В. Моделирование и макетирование лабораторных работ по элекгретным преобразователям // Пояснительная записка к дипломному проекту

(руководитель Н.С. Пщелко). Л. 1999 г. 145 с.

128. Воронин В.Н. и др. Электростатическое реле: а.с. 327534 СССР, МКИ HOI Н 59/00. Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки. 1972 г.

№5. С. 192.

129. Голоудина С.И., Пасюта В.М., Кудрявцев В.В., Склизкова В.П. Синтез и применение наноразмерных пленок полиимида для создания микромеханических и газочувствительных сенсоров //Биотехносфера, 2009 г. №4(4). С.2-7.

130. Голоудина С.И, Пасюта В.М., Склизкова В.П., Кудрявцев В.В.. Надмолекулярная структура пленок Ленгмюра-Блоджетг гребнеобразного преполимера жесткоцепного полиимида и соответствующего полиимида //

Биотехносфера. 2011 г. №1-2(13-14). С.32-38.

131. Голоудина С.И., Закржевский В.И., Козодаев Д.А. и др. Полиимидные нанослоевые композиции, как стабилизирующие покрытия микроэлектронных структур //Петербургский журнал электроники. СПб, №4.2001 г. с.79-86.

132. Горбунова Е.К., Козлова H.H., Сейсян Е.Л., Таиров В.Н. Электретный студийный микрофон // Акуст. журн. 1974 г. Т. 20, № 4. С. 625-627.

133. Гороховатский Ю.А., Бордовский Г.А. Термоактивационная токовая спектроскопия высокоомных полупроводников и диэлектриков / М.: Наука, 1991 г. 248 с.

134. Гороховатский Ю.А., Темнов Д.Э. Термостимулированная релаксация поверхностного потенциала и термостимулированные токи короткого замыкания в предварительно заряженном диэлектрике // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. Естественные и точные науки. Научный журнал. С-Пб. 2007 г. №8(38). С. 24-34.

135. Грачева И.Е., Максимов А.И., Мошников В.А.. Анализ особенностей строения фрактальных нанокомпозитов на основе диоксида олова методами атомно-силовой микроскопии и рентгеновского фазового анализа//Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2009. Вып. 10. С. 16-23.

136. Гриценко Ю.В. Электретно-полупроводниковый микрофон // Пояснительная записка к дипломному проекту (руководитель Н.С. Пщелко). JI. 1999 г. 126 с.

137. Грибанов Ю.И. Измерение слабых токов, зарядов и больших сопротивлений // Массовая радиобиблиотека, выпуск 459. Госэнергоиздат. 1962 г. 80 с.

138. Гришаков В.В., Попов В.Д. Модель макродефекта в подзатворном оксвде кремния МОП-транзисторов // Научная сессия МИФИ-99. Сб. научн. тр. Т. 6. М.: МИФИ, 1999 г. С. 76-77.

139. Губкин А.Н. Электреты /М.: Наука, 1978 г. 190 с.

140. Губкин А.Н, Ефашкин Г.В., Козловский В.Х., Новак М.М., Степанов А.П. Использование электрических полей электретов для фокусировки, пылеулавливания, заряжения жидкостей и других целей // Электретный эффект и электрическая релаксация в твердых диэлектриках: Межвузовский сборник. Моск. ин-т электронного машиностроения. М., 1977 г. Вып. 53. С. 116-121.

141. Гусев А.И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. М.:

Физматлит. 2005 г. 416 с.

142. Демкин Н.Б. Контактирование шероховатых поверхностей // М.: Наука,

1970 г. 226 с.

143. Денисов А.А., Нагорный B.C. Электрогидро- и электрогазодинамические устройства автоматики / Л.: Машиностроение. 1979 г. 288 с.

144. Дерягин Б.В., Кротова H.A., Смилга В.П. Адгезия твердых тел / М.: Наука, 1973 г. 280 с.

145. Дягилев Ю.П., Гаврюшин П.П., Солдатенков И.С. Электростатическое реле // A.c. 326657 СССР, МКИ HOI Н 61/00. Открытия, изобретения, промышленные

образцы, товарные знаки. 1972 г. № 4. С. 198.

146. Дятлов В.Л., Колмогоров А.Б., Коняшкин В.В., Луцет М.К., Потапов Б.С. Электростатический двигатель с возвратно-поступательным движением // A.c. 744877 СССР, МКИ Н 02 № 1/08. Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные

знаки. 1980 г. № 24. С. 308-309.

147. Дятлов В.Л., Коняшкин В.В., Потапов Б.С. Структуры М-Г-Д-М с подвижными пленками // Моделирование в пленочной электромеханике. Вычислительные системы: Сб. трудов. Новосибирск, 1982 г. Вып.95. С. 3-23.

148. Дятлов В.Л., Пьянков Ю.А., Хороменко A.A. Пленочные многослойные емкостные структуры с изменяемой жесткостью // Моделирование в пленочной электромеханике. Вычислительные системы: Сб. трудов. Новосибирск, 1982 г. Вып. 95. С. 62-65.

149. Ефашкин Г.В. Модель электрета с дискретным поверхностным зарядом //

Электротехника. 1985 г. № 7. С. 52-54.

150. Ефашкин Г.В. Электреты с дискретным поверхностным зарядом в медицине // IV Всесоюзная конференция "Проблемы техники в медицине". 21-23 октября 1986 г., Тбилиси. Тезисы докладов. Тбилиси, 1986. С. 25.

151. Катеринич И.И., Курин Ф.М, Попов В.Д. Метод радиационно-термической отбраковки и повышения надежности МОП интегральных схем // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационного воздействия. 1996 г. Вып. 3-4. С. 127131.

152. Козин С., Федулов А, Пауткин В., Баринов И. Микроэлектронные датчики физических величин на основе МЭМС - технологий // Компоненты и технологии. №1. 2010 г. С.24-27.

153. Козодаев Д.А. Электретный эффект в структурах Si-Si02 и Si-Si02-Si3 N4 // Авторефератдисс.... к.т.н..С-Пб,2002г. 16 с.

154. Колгатин С.Н. Исследование импульсных электрофизических процессов с применением интерполяционных уравнений состояния вещества // Автореферат

дисс.... д.т.н. С-Пб. 1997 г. 32 с.

155. Коньков О.И., Теруков Е.И., Лебедев В.М. Получение и свойства аморфных гидрированных пленок карбида бора. // Труды 12 Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике. "ISTEE-12"». Харьков. Украина. 23-27 апреля 2001 г. Изд-во ХФТИ. С. 214-216.

156. Кудрявцев В.В. Метод расчета чувствительности электретного микрофона с многоточечной поддержкой диафрашы // Техника средств связи. Сер. ТПС. 1980 г.

Вып. 3(48). С. 65-74.

157. Кузьмин Ю.И., Таиров В.Н. Перколяционная модель релаксации электрета

// ЖТФ. 1984 г. Т. 54, № 5. С. 964-965.

158. Лежнев Д.В. Стабилизация параметров контактов металл-полупроводник путем облучения газовым лазером // Тезисы докладов 1-й Российской конференции молодых ученых по физическому материаловедению. Калуга: ИД «Манускрипт», 2001 г. С. 41.

159. Лоскутов А.И., Ролдугин В.И., Урюпина О.Я. Исследование процессов формирования металлополимерных слоев на основе поливинилпиролидона и наночастиц серебра // Нанотехника. 2007 г. № 4. С. 57-62.

160. Лоскутов А.И., Урюпина О .Я., Высоцкий В.В., Ролдугин В.И. Фасетирование поверхности наночастиц золота и адсорбция органических макромолекул // Коллоидный журнал. 2009 г. Т. 71, № 5. С. 652-656.

161. Лущейкин Г. А. Полимерные электреты / М. « Химия», 1984 г. 184 с.

162. Максимов А. И., Мошников В. А., Таиров Ю. М., Шилова О. А. Основы золь-гель-технологии нанокомпозитов / С-Пб. Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2007 г. 260 с.

163. Миронов Э. Г. Методы и средства измерений // Учебное электронное текстовое издание http://www.ustu.ru. ГОУ ВПО УГТУ-УПИ. Екатеринбург. 2009 г. 462 с.

164. Мироновский JI.A., Слаев В.А. Алгоритмы оценивания результата трех

измерений / С-Пб. Профессионал. 2010 г. 192 с.

165. Михайлов A.A. Использование электризованных диэлектриков в устройствах сигнализации // Пояснительная записка к дипломному проекту (руководитель Н.С. Пщелко). JI 1998 г. 156 с.

166. Маскаева Л.Н., Марков В.Ф., Морозова И.М., Барбин Н.М., Шур В.Я, Шишкин Е.И. Исследование морфолоши поверхности пленок PbS-ZnS методом атомно-силовой микроскопии. Инженерная физика. 2008 г. №1. С.51-53.

167. Мнацаканян А.Х., Найдис Г.В., Солозобов Ю.М. К теории коронного разряда в нагретом воздухе // Теплофизика высоких температур. 1986 г. Т. 24. № 26, С. 1060-1066.

168. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. / М.: Мир, 1980 г. 487 с.

169. Нагорный B.C. Электрофлювдные преобразователи / Л.: Судостроение, 1987 г. 256 с.

170. Нагорный B.C., Кудряшов Ю.Ф., Катковник В.Я. Электропневматический преобразователь // A.c. 911054 СССР, МКИ F 15 С 3/04. Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки. 1982 г. № 9. С. 155.

171. Нагорный B.C., Кудряшов Ю.Ф., Огчик М.И. Электропневматическое управляющее устройство // A.c. 1214407 СССР, МКИ В 25 J 9/16. Открытия,

изобретения. 1986 г. С. 86.

172. Нагорный B.C. Базовые рецептуры наноструктурированных серебром

рабочих жидкостей для электрокаплеструйных технологий // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. «Информатика, телекоммуникации, управление». 2009 г. № 5 (86). С. 179-184.

173. Некрасов В .H, Барбин Н.М, Пекарь А П. Поляризационные измерения в расплаве NaCl - KCl - Na2C03 на электродах из углерода и благородных металлов. //

Электрохимия. 1997 г. № 3. С. 273 - 279.

174. Носков Р.Н. Исследование регулирования адгезии диэлектрических покрытий электрическим полем // Пояснительная записка к дипломной работе

(руководитель Н.С. Пщелко). С-Пб. 2001 г. 158 с.

175. Орешкин П.Т. Барьерный слой как макрорелаксатор в спектроскопии

глубоких центров //ФТП. 1981 г. Т. 15, № 1.С. 179-180.

176. Орешкин П.Т. Релаксация заряда и неустойчивости в барьерных слоях //

Изв.ВУЗов. Физика. 1981 г. Т. 24, № 6. С. 20-23.

177. Орешкин П.Т., Денисов А.Л., Кордюков СИ. Низкочастотные шумы диодов Шотки // Радиотехника и электроника. 1985 г. Т. 30, № 7, С. 1449-1450.

178. Орешкин П.Т., Клочков А.Я., Зубков М.В., Патрин СВ. Долговременная релаксация неравновесной проводимости в поверхностно-барьерных структурах полупроводников // ФТП. 1984 г. Т. 18, № 8. С. 1503-1505.

179. Орешкин П.Т., Рожков C.B. Барьерный слой как резонатор при поверхностно-барьерной неустойчивости //ФТП. 1984 г. Т. 18,№6. С. 1102-1105.

180. Осипов К.А., Классов В.Н, Фолманис Ф.З. Электретные свойства пленок, полученных методом катодного распыления ГТГФЭ // Физика и химия обработки

материалов. 1982 г. № 3. С. 134-135.

181. Оспанов Е.К. Разработка и исследование электростатического

акустического излучателя // Пояснительная записка к дипломному проекту (руководитель Н.С. Пщелко). Л. 1994 г. 112 с.

182. Островидова Г.У., Макеев A.B., Замыслов A.B., Аста Рихтер, Теруков Е.И. Исследование свойств полифункциональных пленочных покрытий. // Тезисы доклада 2-й Международной конференции «Химия высокоорганизованных веществ». Июнь 1998 г,С-Пб. С. 123

183. Попов В .Д. Пострадиационный эффект в ИС. Неразрушающий контроль качества ИС // Электроника: наука, технология, бизнес. 2002 г. № 4. С. 36-39.

184. Потапов A.A. Электронный журнал «Исследовано в России», zhurnal.ape.relarn.ru. Абсолютный радиус многоэлектронных атомов по данным их полязируемостей., 2005 г. С 541.

185. Приходченко В.А., Таиров В.Н., Тонкий JI.B. Электроадгезионный способ контроля шероховатости поверхности проводящих деталей // Вопросы автоматизации технологических и производственных процессов. Ярославль, 1976 г. Вып. 2. С. 36-41.

186. Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Тараканов Е.А., Шаплыгина Т.А., Афанасьев В.П., Панкпашкин A.B. Самополяризация и миграционная поляризация в тонких пленках цирконата-титаната свинца// ФТТ. 2002 г. Т.44, №4. С.739-744.

187. Ремез Д.Е., Барбин Н.М., Алексеев С.Г., Орлов С. А. Высокочувствительные твердоэлектролитные датчики для обнаружения водорода // Пожаровзрывобезопасность. 2009 г. Т. 18, №2.. 62-64.

188. Рычков A.A., Кастро P.A., Кузнецов А.Е., Степанов Ю.М., Трифонов С.А. Диэлектрические и электретные свойства полиэтилена, модифицированного трихлоридом фосфора//Изв. РГПУ им. А.И. Герцена. № 122.2010 г. С. 7-15.

189. Свеглаков Н.В., Кириллов Г.Я. Окраска изделий в электрическом поле высокого напряжения. М. 1975 г. 387 с.

190. Семенов А.О. Исследование электретных свойств диоксида кремния для использования в микрофонах мембранного типа // Магистерская диссертация (руководитель Н.С. Пщелко). С-Пб. 2002 г. 112 с.

191. Сесслер Г. Электреты /М. Мир. 1983 г. 287 с.

192. Сидоров Г.П. Применение электроадгезионных контактов в технологии изделий электронной техники // Пояснительная записка к дипломной работе (руководитель Н.С. Пщелко). JI. 1996 г. 90 с.

193. Сидоров Г.И., Ниссмаи Г.Ш., Борисовский В.В. Способ регулировки капсюля конденсаторных микрофонов // A.c. СССР 1425877, МКИ Н 04 R 19/04 от 22.10.1985. Открытия и изобретения, 1988 г. Бюлл. № 35.

194. Слаев В.А. Математические аспекты теории измерений // Тезисы докладов научн.- техн. конф. «Датчик-96». Т. 1. Гурзуф, 1996 г. С. 14-15.

195. Слаев В.А., Чуновкина А.Г., Чурсин A.B. Повышение качества измерений планированием измерительной процедуры. //Измерительная техника. 1999 г. № 10. С. 9-13.

196. Слаев В.А., Чуновкина А.Г. Аттестация программного обеспечения, используемого в метрологии / С-Пб. Профессионал. 2009 г. 320 с.

197. Соколова И.М. Влияние рельефа поверхностного потенциала на стабильность электретов при повышенной влажности // Изв. ЛЭТИ: Сб. науч. тр. ЛЭТИ им. В.И. Ульянова (Ленина). Л., 1985 г. Вып. 322. С. 74-77.

198. Соколова И.М., Шишка М.В. Использование электретов со знакопеременным потенциальным рельефом в электростатических крепежных устройствах//Изв. ЛЭТИ: Сб. науч. тр. ЛЭТИ им.В.И. Ульянова (Ленина). Л., 1985 г. Вып. 350. С. 77-81.

199. Справочник по приборно-модульным универсальным автоматизированным измерительным системам / Под ред. проф. Кузнецова В.А. Радио и связь. 1993 г. 368 с.

200. Справочник по электротехническим материалам // Под ред. Корицкого Ю.В., ПасынковаВ.В., ТарееваБ.М.. Т. 3. Энергоатомиздат. 1988 г. С. 591.

201. Сутырина Н.Р. Моделирование и конструирование электретных сенсорных элементов мембранного типа // Пояснительная записка к дипломному проекту (руководитель Н.С. Пщелко). Л. 1996 г. 117 с.

202. Ткаченко А.К. Электростатическое устройство звуковой сигнализации // Пояснительная записка к дипломному проекту (руководитель Н.С. Пщелко). Л. 1997 г. 115 с.

203. Толстой В.П. Синтез нанослоев неорганических соединений по схеме "слой-за-слоем" на границе раздела твердое тело-раствор // Автореф. дисс....

д.х.н. 2009. СПбГУ. 33 с.

204. Томаев В.В., Гарькин Л.Н., Мирошкин В.П., МошниковВ.А. Исследование газочувствительности в наноструктурированных пленках на основе диоксида олова методом импедансной спектроскопии // ФХС. 2005 г. Т. 31, №2. С.331-339.

205. Труфанов A.B. Моделирование колебательных процессов в мембранных преобразователях на активных диэлектриках // Пояснительная записка к дипломной работе (руководитель Н.С. Пщелко). С-Пб. 2001 г. 115 с.

206. Ундалов Ю.К, Теруков Е.И., Лебедев В.М. и др. Связь состава пленок а-Si0x:H<Er,0> и интенсивности фотолюминесценции ионов эрбия с изменениями электрического поля в dc-магнетроне // Сборник трудовУГ Международной конференции "Аморфные и микрокристаллические полупроводники". С.-Пб. 7-9 июля 2008 г. Санкт-Петербург, Издательство Политехнического университета. 2008 г. С. 3435.

207. Фурдуев В.В. Электроакустика / М.: Гостехиздат. 1948. 585 с.

208. Ханин С.Д. Электронные свойства аморфных диэлектрических оксидов металлов. - В монографии «Физика неупорядоченных и наноструктурированных оксидов и халькогенидов металлов», под ред. Г.А. Бордовского, Санкт-Петербург. Изд-во РГПУ им. А.И. Герцена, 2011 г, с. 69-105.

209. Ханин С.Д. Модели прыжкового переноса и методы анализа электронных свойств неупорядоченных систем // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. Естественные и точные науки. 2002 г. № 2(4). С. 47-56.

210. Хомылев А.Ф. Исследование механизма закрепления бумаги в электростатических крепежных устройствах и выбор оптимальных параметров их конструкций // Автореф. дисс.... к.т.н. Л., 1974 г. 19 с.

211. Хусу А.П., Витенберг Ю.Р., Пальмов В.А. Шероховатость поверхностей (теоретико-вероятностный подход) /М.: Наука, 1975 г. 344 с.

212. Цолов JI.А. Лабораторная работа "Электретный микрофон" // Пояснительная записка к дипломной работе (руководитель Н.С. Пщелко). Л. 1993 г. 129 е..

213. Челухин В.А. Емкостные электромеханические преобразователи //

Изв. ВУЗов. Электромеханика. 1985 г. № 6. С. 92-99.

214. Черненко А.А. Разработка и исследование электретного микрофона на печатной плате // Пояснительная записка к дипломной работе (руководитель

Н.С. Пщелко). Л. 1995 г. 100 с.

215. Шилов В. В., Шилова О. А., ГомзаЮ.П. Современные представления о фрактальной структуре нанокомпозитов, получаемых золь-гель-методом // Химические нанотехнологии и функциональные

наноматериалы. С-Пб.: РЕСТЭК. 2003 г. С. 18-20.

216. Шилов В. В., Шилова О. А., Ефимова Л. Н. и др. Золь-гель-синтез ионпроводящих композитов и использование их для суперконденсаторов //

Перспективные материалы. 2003 г. № 3. С. 31-37.

217. Шилова О. А. Наноразмерные пленки, получаемые из золей на основе тетраэтоксисилана, и их применение в планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров // ФХС. 2005 г. Т. 31, № 2. С. 270-294.

218. Шульман З.П. Электрореологический эффект / Под ред. Лыкова А.В.

Минск. Наука и техника, 1972 г. 176 с.

219. Abdulkadurov М.А., Belousov S.P., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Pridnya V.V., Polyanchikov A.V., Rumyantsev V.V., Samuylov A.V., Semeonov A.P., Sharov Y.A. Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST // Proceedings of SPIE,4451.2001. P.131-

137.

220. Abdulkadurov M.A., Belousov S.P., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Pridnya V.V., Polyanchikov A.V., Rumyantsev V.V., Samuylov A.V., Semeonov A.P., Sharov Y.A. Manufacturing of secondary mirrors from Sitall CO-115M for

European projects TTL, NOA and VST // Proceedings of SPIE,4451.2001. P.138-144.

221. Abdulkadurov M.A., Belousov S.P., Ignatov A.N.,. Rumyantsev V.V. Non-traditional technologies to fabricate lightweighted astronomical mirrows with high stability of surface shape // Proceedings of SPIE,3786. 1999. P.468-473.

222. Atoji N., Aol T. Electrostatic acoustic transducer: pat. 3833770 США,

МКИН04 19/00.

223. Baier R.E., Shafrin E.G., Zisman W.A. Adhesion: Mechanisms that assist

or impede it // Science.1968. V. 162. P. 1360-1368.

224.Beardsley P.H. Electrostatic paper holding arrangments: pat. 1043298

Великобритании, НКИ HI P 4A.

225. Belyaev A.E., Venger E.F., Ermolovich I.B., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Milenin V.V., Prokopenko I.V., Svechnikov G.S., Soloviev E.A., Fedorenko L.L. Effect of microwave and laser radiations on the parameters of semi-conductor

structures // Kiev: Ihtac, 2002. P. 138-148.

226. Busch-Vishniac I.J. Response of an edge-supported circular membrane

electret earphone. Part I: Theory // J. Acoust. Soc. Am.1984. V. 75, № 3. P. 977-989.

227. Busch-Vishniac I.J. Response of an edge-supported circular membrane electret earphone. Part II: Experimental results // J. Acoust. Soc. Am. 1984. V. 75, № 3. P. 990-995.

228. Campbell A. A. Bioceramics for implant coatings// Materials today.

2003. N 11. P. 26-30.

229. Dreyfus G., Lewiner I . Evidense of mechanical instabilities of electrets

in electric fields // J. Appl. Phis. 1975. V.46, № 10. P. 4357-4360.

230. Gorokhovatskiy Yu.A., Temnov D.E., Kuzhelnaja O.V. Electret State Relaxation of Polymer Fiber Materials // Proceedings the 7-th International Conference on Properties and Applications of Dielectric Materials, June, 1-5, 2003. Vol. 3. Nagoya, Japan: IEEE, 2003. P. 1240-1243.

231. Gorokhovatsky Yu.A., Temnov D.E., Kozhevnikova N. Electret properties of fiber polymer materials on the polypropylene basis // III international conference on Advances In Processing, Testing and Application of Dielectric Material (APTADM 2007), September, 26-28, 2007. Wroclaw, Poland. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wroclawskiej, Wroclaw. 2007. P. 191-193.

232. Grouchko M., Kamyshniy A., Magdassi Sh. Formation of air-stable copper-silver core-shell nanoparticles for inkjet printing // Journal of Materials

Chemistry. 2009, 19. P. 3057-3062.

233. Hohm D., Gerhard-Multhaupt R. Silicon-dioxide electret transducer // J.

Acoust. Soc. Amer. 1984. V. 75, № 5. P. 1297-1298.

234. Hok B., Dubon Ch., Ovren Ch. Anodic bonding of gallium arsenide to

glass // Appl. Phys. Lett. 1983. V. 43, № 3. P. 267-269.

235. Jonsen A., Rabek K.A. Physical phenomenon and its applications to telegraphy, telephony, etc. // IEEE Journal. 1923. V.61, № 320. P. 713-727.

236. Kaydanova T., Miedaner A., Curtis C., Perkins J., Alleman J., Ginley D. Ink Jet Printing Approaches to Solar Cell Contacts // Presented at the National Center for Photovoltaics and Solar Program Review Meeting Denver. Colorado,

March 24-26. 2003. P. 4.

237. Khanin S.D. Structure inhomogeneities of the oxide dielectric and the

properties of tantalum capacitors. Materials Science Forum "Passivation of metals and semiconductors". 1994, Germany, Clausthal. 1995, Volumes 185-188. P. 573580.

238. Kim D., Jeong S., Moon J., Kim J. Direct writing of copper conductive patterns by ink-jet printing Bong Kyun Park // Thin Solid Films. 2007. P. 7706-7711.

239. Klingenberg D.J., Cooper S.L. Electrostatics at rough interfaces // Journal

of Electrostatics. 1995. №35. P.339-348.

240. Konkal U., Krakoza 0. Electret microphone : pat. 3624312 CIHA, MKH

H04R 19/04, H04R 29/00.

241. Mette A., Richter P.L., Horteis M., Glunz S.W. Metal Aerosol let Printing for Solar Cell Metallization // Prog. Photovolt: Res. Appl. 2007, 15. P. 621-627.

242. Murata K., Matsumoto J., Tezuka A., Matsuba Y., Yokoyama H. Superfine ink-jet printing toward the minimal manufacturing system // Microsyst Technol.

2005, 12. P. 2-7.

243. Nunn T.A. Miniature absolute pressure transducer assembly and method :

pat. 3918019 США, МКИ HOI С 13/00.

244. Pomeramts D.J., Wallis J. Dorrey D.J. Bonding electrically conductive

metals to insulators : pat. 3417459 США, НКИ 29-4729.

245. Pomerantz D.J. Bonding an insulator to an insulator : pat. 3506424

США, МКИ С 03 В 29/04.

246. Sanchez-Romaguera V., Madec M., Yeates S. Ink jet printing of 3D metal-insulator-metal crossovers // Reactive@Functonal Polymers. 2008, 68. P. 1052-1058.

247. Senichi Masuda. Pulse Corona Induced Chemical Process: Horizon Of New Plasma Chemical Technologies // Pure & Appl. Chem. 1988. Vol. 60. № 5. P. 727-731.

248. Sessler G.M. Analysis of the operation of electret transducers subject to large electrode displacements // J. Acoust. Soc. Amer. 1974. V. 55, № 2. P. 345-349.

249. Smith B. Laser Brewster window sealing techniques // IEEE J. Quantum

Electronics. 1973. V. 9, № 5. P. 546.

250. Smith B. Glass laser window sealing technique : pat. 3616523 США,

МКИ В23 31/02.

251. Sonquet G. Feuille d' electret : pat. 2194028 France, МКИ HOI g 7/02, H04R 19/04.

252. Syrkov A.G. Methods of physics and chemistry in nanotribology and obtaining of nanostructured metallic materials // Non-ferrous Metals and Materials.

2006. №4.P.11-17.

253. Tocamatsu Toshiahi, Ogawa Eiichi, Fickadu Eiichi. Electret properties of polytetrafluoroethylene films with roughed surface // Repts. Progr. Polym. Phys. Jap. 1980. V. 23. P. 403-412.

254. Wallis J. Direct-current polarization during field-assisted glass-metal sealing // J. of the Amer. Ceramic Soc. 1970. V. 53, № 10. P. 563-567.

255. Wallis J. Field assisted glass sealing // Electr Component Science and Technology. 1975. V. 2, № 1. P. 45-53.

256. Wallis J., Dorscy J., Pomerantz D.J. A new glass sealing process // The Welding Journal. 1970. - V. 49/ № 11. P. 852-857.

257. Wallis J., Dorsey J., Beckett J. Field assisted seals of glass to Fe-Ni-Co allay // Amer. Ceram. Soc. Bull. 1971. V. 50, № 12. P. 958-961.

258. Woo K., Kim D., Kim J., Lim L., Moon J. Ink-Let Printing of Cu-Ag-Based Highly Conductive Tracksona Transparent Substrate // Langmuir. 2009, 25. P. 429-433.