Электроэрозионная обработка с применением СВЧ-разрядов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, кандидат технических наук Евланов, Алексей Александрович

• Евланов, Алексей Александрович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Евланов, Алексей Александрович

ВВЕДЕНИЕ

I. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ РАБОТЫ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Общая характеристика обработки СВЧ-разрядами

1.2. Систематизация методов обработки СВЧ-разрядами по характеру процессов воздействия на материалы

1.2.1. Методы обработки, связанные со съемом материала

1.2.2. Методы обработки, связанные с нанесением или синтезом материала

1.2.3. Методы диспергирования металлов и сплавов СВЧ-разрядами

1.2.4. Методы модифицирования поверхностей с применением СВЧ-разрядов

1.3. Виды технологических схем формирования СВЧ-разрядов

1.3.1. Электродная схема формирования СВЧ-разряда

1.3.2. Безэлектродная схема формирования СВЧ-разряда

1.4. Способы инициирования СВЧ-разрядов в технологической ячейке

1.5. Анализ применения различных сред при СВЧ обработке

1.6. Теоретическое моделирование СВЧ-разрядов, используемых для обработки материалов

1.7. Оборудование для формирования СВЧ-разрядов 26 Выводы по главе. Цели и задачи исследования 27 II. ИССЛЕДОВАНИЕ УСЛОВИЙ ОБРАЗОВАНИЯ СВЧ-РАЗРЯДА ДЛЯ РАЗМЕРНОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ И МОДИФИЦИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ 30 2.1. Определение минимальных межэлектродных зазоров при размерной обработке и модифицировании поверхностей СВЧ-разрядами в воздухе при атмосферном давлении

2.2. Расчет напряженности электрического поля в камере для обоснования расположения технологической ячейки при обработке материалов СВЧ-разрядами

2.3. Расчет напряженности электрического поля в камере при различной величине и размещении согласующей водяной нагрузки 54 Выводы по главе

III. КОМПЛЕКСНАЯ МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

3.1. Общая характеристика методики проведения экспериментальных исследований

3.2. Методика изучения формообразования с применением электродных СВЧ-разрядов

3.3. Методика исследования модифицирования поверхностей электродными СВЧ-разрядами

3.4. Методика исследования диспергирования металлов под воздействием СВЧ-разрядов 68 Выводы по главе

IV. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ФОРМООБРАЗОВАНИЯ И МОДИФИЦИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ С ПРИМЕНЕНИЕМ СВЧ-РАЗРЯДОВ

4.1. Разработка экспериментальной установки для проведения исследований

4.2. Исследование изменения параметров электродных СВЧ-разрядов в воздухе при атмосферном давлении

4.3. Исследование процессов формирования фасонных элементов в объемных телах с применением СВЧ-разрядов при атмосферном давлении

4.4. Исследование процессов модифицирования металлических поверхностей

4.5. Исследование процессов диспергирования порошков тугоплавких металлов под воздействием СВЧ-разрядов в воздухе при атмосферном давлении 105 Выводы по главе 108 Общие выводы 111 Библиографический список

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Электроэрозионная обработка с применением СВЧ-разрядов»

Энергия сверхвысоких частот (СВЧ) уже десятки лет используется в самых различных областях: в радиолокации, в быту - это всем известные микроволновые печи, в промышленности - это сушка древесины под воздействием СВЧ излучения, ведутся также разработки космических двигателей будущего, основанные на СВЧ плазме. В области производства электроники и машиностроения одним из перспективных применений СВЧ технологии является обработка материалов в объеме СВЧ плазмы и под воздействием СВЧ-разрядов.

Особенности СВЧ-разрядов, Отличающие их от других типов разрядов позволяют выделить СВЧ обработку материалов в отдельную область.

Анализ литературных источников показал, что наибольшее число научных работ посвящено нанесению покрытий и тонких пленок, травлению поверхностей, получению микро- и ультрадисперсных порошков различных химических соединений, а также синтезу всевозможных наноструктур. Малоисследованной остается область применения СВЧ-разрядов для размерной электрофизической обработки материалов, а именно для формирования отверстий, пазов и других геометрических элементов и модифицирования поверхности.

В данной работе предлагаются технологические схемы реализации как процессов формообразования, так и процессов модифицирования поверхностного слоя металлов и процессов диспергирования. Произведены теоретические расчеты поля внутри пустой камеры с электромагнитным излучением, а также камеры с помещенными электродом, образцом, оснасткой.

Целью настоящей работы является выбор и обоснование условий электроэрозионного формообразования, модифицирования и диспергирования с применением СВЧ-разрядов с заданными технологическими показателями.

Для достижения указанной цели в работе были поставлены и решены следующие задачи:

1. Теоретическое обоснование условий формирования СВЧ-разрядов для процессов формообразования и модифицирования поверхностей при атмосферном давлении.

2. Выбор и обоснование на основе теоретических расчетов областей расположения в камере (резонаторе) технологической ячейки при формообразовании СВЧ-разрядами с оптимальными параметрами производительности, точности и качества полученных элементов.

3. Разработка комплексной методики проведения экспериментальных исследований с целью выбора и обоснования технологических режимов электроэрозионного формообразования, модифицирования и диспергирования СВЧ-разрядами.

4. Проведение экспериментальных исследований влияния параметров электродных СВЧ-разрядов при атмосферном давлении на технологические показатели процесса.

5. Проведение экспериментальных исследований по выявлению закономерностей влияния технологических параметров на формообразование и модифицирование поверхностей с применением СВЧ-разрядов на производительность, точность и качество полученных геометрических элементов.

Положениями, выносимыми на защиту, являются:

1. Установленные закономерности влияния технологических параметров СВЧ обработки на точность, производительность и качество полученных элементов.

2. Результаты экспериментальных исследований влияния технологических параметров формообразования СВЧ-разрядами расположение технологической ячейки в камере (резонаторе), объем согласующей нагрузки, время обработки) на точность, производительность и качество полученных элементов.

3. Условия формообразования, с применением электродных СВЧ-разрядов в среде диэлектрической жидкости при атмосферном давлении.

4. Условия модифицирования поверхности с применением электродных СВЧ-разрядов в воздухе при атмосферном давлении.

Научная новизна заключается в установлении взаимосвязи параметров СВЧ поля с координатами расположения технологической ячейки (без токоподводов к электродам), в камере (резонаторе). Обусловлены рациональные условия электроэрозионного формообразования с применением СВЧ-разрядов при атмосферном давлении.

Практическая ценность работы заключается в разработке рекомендаций по назначению технологических режимов электроэрозионного формообразования, модифицирования и диспергирования различных металлов и сплавов.

Апробация работы. Результаты исследований были представлены на региональных конференциях «Современная электротехнология в промышленности центра России» (Тула, 2008, 2009 гг.), конференциях профессорско-преподавательского состава ТулГУ (2008, 2009 гг), международных молодежных научных конференциях «Гагаринские чтения» (2007, 2008, 2009 гг).

Работа состоит из следующих основных частей:

- Анализ состояния вопроса;

- Исследование условий образования СВЧ-разряда для размерной обработки материалов и модифицирования поверхностей при атмосферном давлении; 8

- Комплексная методика проведения экспериментальных исследований;

- Экспериментальные исследования формообразования и модифицирования поверхностей с применением СВЧ-разрядов.

Работа выполнена на кафедре «Физико-химические процессы и технологии» и лаборатории «Электрофизических и электрохимических методов обработки им. Ф.В. Седыкина» Тульского государственного университета.

Автор выражает благодарность научному руководителю д.т.н., профессору В.В. Любимову, профессору кафедры ФХПТ д.т.н. В.К. Сундукову, а также всем сотрудникам кафедры и лаборатории за помощь, консультации и полезные замечания при выполнении диссертационной работы.

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА. ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ.

В течение многих лет техника сверхвысоких частот (СВЧ) находила свое применение в основном в радиолокации, но в настоящее время область ее применения значительно расширилась, появляются все новые и новые сферы использовании сверхвысоких частот.

Одним из таких примеров является получение разрядов при СВЧ излучении.

Основными достоинствами СВЧ-разрядов [13, 36, 37, 55, 78, 95] по сравнению с другими являются: простота получения плазмы с высокой удельной плотностью о энергии (>1 Вт/см ); простота получения плазмы с малой удельной плотностью энергии («1 Вт/см3); о широкая область рабочих давлений (от 10" Па до давлений, превышающих атмосферное давление); возможность создания как квазиравновесной, так и существенно неравновесной плазмы; простота управления внутренней структурой разряда путем изменения электродинамических характеристик устройства ввода СВЧ энергии в плазму; возможность создания плазмы в электродных и безэлектродных системах (в последнем случае отсутствует загрязнение объема и образцов продуктами эрозии электродов); возможность изготовления электродов из непроводящих материалов; возможность создания плазмы в малых и больших объемах, включая свободное пространство; возможность обработки больших поверхностей сканированием области плазменного образования, имеющего малые размеры; возможность совместного воздействия плазмы и электромагнитного поля на объекты в плазме для увеличения эффективности процесса; разработанные семейства разнообразных эффективных СВЧ генераторов плазмы позволяют выбрать конструкцию для любых применений.

Перечисленные достоинства СВЧ-разрядов позволяют сформулировать область их применения для обработки материалов, включающую в себя:

1. Формирование различных геометрических элементов в объемных телах и фольгах;

2. Модифицирование поверхности металлических образцов;

3. Получение ультрадисперсных порошков.

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Евланов, Алексей Александрович

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. На основе анализа литературных источников выявлено, что малоисследованной остается область электрофизического формообразования и модифицирования поверхностей материалов с применением СВЧ-разрядов.

2. Выполнены теоретические расчеты диапазона пробойных значений напряженности электрического поля в воздухе при атмосферном давлении для конкретных значений размеров СВЧ камеры (резонатора), согласующей нагрузки, конструкции и мощности магнетрона.

3. Выполнены и экспериментально подтверждены теоретические исследования по выбору координат размещения технологической ячейки для различных видов обработки для конкретной конструкции и мощности магнетрона, согласующей нагрузки и размеров камеры (резонатора). Установлено, что наиболее рациональным является положение технологической ячейки на одной оси с магнетроном.

4. Теоретически выявлено и экспериментально подтверждено влияние объема согласующей нагрузки на энергетические параметры СВЧ-разряда в воздухе при атмосферном давлении. Установлено, что с л о увеличением объема согласующей нагрузки с 151 см до 352 см происходит снижение производительности обработки в 7,5 раз, однако при этом необходимо учитывать также ее распределение в объеме камеры (резонаторе).

5. Разработана комплексная методика осуществления электроэрозионной обработки с применением СВЧ-разрядов, включающая в себя методику: изучения формообразования с применением электродных СВЧ-разрядов, исследования модифицирования металлов и сплавов электродными СВЧ-разрядами, исследования диспергирования металлического порошка воздействием электродных СВЧ-разрядов.

6. Экспериментально исследовано влияние различных материалов и размеров электродов-инструментов на длину электродного СВЧ-разряда. Установлено, что наибольшая длина СВЧ-разряда имеет место при использовании электродов-инструментов из сталей, например: Р6М5, 18ХГТ, а наименьшая - при использовании электродов-инструментов из меди ММ и алюминия А5.

7. Экспериментально исследовано влияние длины электрода-инструмента, материала электрода-инструмента и заготовки, объема согласующей нагрузки, времени обработки, размещения технологической ячейки в камере (резонаторе) на производительность, точность и качество поверхности при размерной обработки СВЧ-разрядами. Показано, что: максимальное увеличение производительности достигается при обработке электродами-инструментами начальной длиной от 20 до 30 мм; для минимизации износа электрода-инструмента желательно, чтобы величины тепло- и электропроводности заготовки были ниже, чем у электрода-инструмента; при осуществлении процесса обработки более 5 минут имеет место снижение производительности до нуля.

8. Экспериментально исследована возможность упрочнения поверхности металлических образцов путем модифицирования поверхностного слоя, а также возможность получения ультрадисперсных порошков методом диспергирования исходного микрометрического порошка воздействием электродных СВЧ-разрядов в воздухе при атмосферном давлении. Получены ультрадисперсные порошки округлой формы на основе титана с размерами от 100 до 250 нм.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Евланов, Алексей Александрович, 2009 год

1. Абдуллин, И.Ш. Изменение структуры и состава поверхности сталей и титановых сплавов под действием высокочастотного разряда низкого давления / И.Ш.Абдуллин, Н.Ф.Кашапов, В.В.Кудинов // Перспективные материалы. 2000. - №1. - С. 56.

2. Александров, К.В. Импульсный СВЧ разряд в атмосферном воздухе в фокусе двухзеркального резонатора / К.В. Александров, Л.П. Грачев, И.И. Есаков, С.М. Покрас, К.В. Ходатаев // Журнал технической физики. 2003. - Т. 73. - Вып. 1. - С. 46-50.

3. Александров, А.Ф. Основы электродинамики плазмы / А.Ф. Александров, Л.С. Богданкевич, A.A. Рухадзе. М.: Высшая школа, 1978.-410 с.

4. Александров, К.В. Поверхностный стримерный СВЧ разряд / К.В. Александров, Л.П. Грачев, И.И. Есаков, К.В. Ходатаев // Журнал технической физики. 2002. - Т. 72. - Вып. 7. - С. 58-62.

5. Александров, К.В. СВЧ-пробой воздуха, инициированный электромагнитным вибратором малой длины / К.В. Александров, Л.П. Грачев, И.И. Есаков // Журнал технической физики. 2007. - Т. 77. -Вып. 12. - С. 26-30.

6. Альтман, Дж. Л. Устройства сверхвысоких частот (перевод с англ.) / Дж. Л. Альтман / Под ред. И.В. Лебедева. М.: Мир, 1968. - 488 с.

7. Артамонов, A.A. Анализ моделей процессов электрохимической и электроэрозионной обработки: Модели процессов электроэрозионнойобработки. Проволочная вырезка / A.A. Артамонов, Ю.С. Волков. М.: ВНИИПИ, 1991.-Ч. II.-144 с.

8. Банков, С.Е. Анализ и оптимизация СВЧ структур с помощью HFSS / С.Е. Банков, A.A. Курушин, В.Д. Разевиг / Под ред. д.т.н., проф. Банкова С.Е. М.: СОЛОН-Пресс, 2004. - 216 с.

9. Батанов, Г.М. Микроволновый пробой ионных кристаллов, инициированный вторично-эмиссионным разрядом / Г.М. Батанов, В.А. Иванов, М.Е. Коныжев // Письма в ЖЭТФ. 1994. - Т. 59. - Вып. 10. - С. 655-658.

10. Батенин, В.М. СВЧ генераторы плазмы: Физика, техника, применение / В.М. Батенин, И.И. Климовский, Г.В. Лысов, В.Н. Троицкий. М.: Энергоатомиздат, 1988. - 224 с.

11. Билько, М.И. Измерение мощности на СВЧ / М.И. Билько, А.К. Томашевский, П.П. Шаров, Е.А. Баймуратор. М.: Сов. радио, 1976. -168 с.

12. Браун, У. Метод передачи энергии в свободном пространстве СВЧ пучком и его применения / У. Браун // ТИИЭР. 1974. - Т. 62. - № 1. - С. 13-27.

13. Браун, С. Элементарные процессы в плазме газового разряда: Пер. с англ. / С. Браун / Под ред. Д. А. Франк-Каменецкого. — М. -Госатомиздат, 1961. 324 с.

14. Васин, В.А. Контролируемое разрушение керамики локальным СВЧ-разрядом / В.А. Васин // Прикладная физика. 2002. - №2. - С. 56-61.

15. Васин, В.А. Размерная механическая обработка непроводящих материалов лазерным и СВЧ-излучением / В.А. Васин // Перспективные материалы. 2000. - №5. - С. 78.

16. Веденин, П.В. СВЧ разряд высокого давления в надпробойном поле. Ветвление стримера / П.В. Веденин, Н.Е. Розанов // Письма в ЖЭТФ. -Т. 69.-Вып. 1,- С 15-19.

17. Волков, В.А. Исследование вторично-эмиссионного размножения электронов в высокочастотном электрическом поле: Дис. . канд. физико-математических наук / В.А. Волков. Ленинград: ЛПИ, 1985. -198 с.

18. Волков, A.B. Расчет скорости плазмохимического травления кварца / , A.B. Волков, Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков // Компьютерная оптика. -2001.-№21.-С. 121-125.

19. Винтизенко, И.И. Релятивистский магнетрон с распределенным выводом СВЧ-излучения / И.И. Винтизенко, А.И. Заревич, С.С. Новиков // Письма в ЖТФ. 2005. - Т. 31. - Вып. 9. - С. 63-69.

20. Вихарев, А.Л. Исследование импульсного и непрерывного СВЧ-разрядов, применяемых в технологии получения алмазных пленок / А.Л.

21. Вихарев, A.M. Горбачев, В.А. Колданов, Д.Б. Радищев // Физика плазмы. -2007.-Т. 31.-№ 4.-С. 376-384.

22. Геккер, И.Р. Взаимодействие сильных электромагнитных полей с плазмой / И. Р. Геккер. М.: Атомиздат, 1978. - 312 с.

23. Генерация нелинейных волн и квазистационарных токов в плазме // Труды ИОФАН. М.: Наука, 1988. - Т. 16.

24. Гинзбург, B.JI. Распространение электромагнитных волн в плазме / B.JI. Гинзбург. М.: ФИЗМАТГИЗ. - 1967. - 684 с.

25. Григорьев, А.Д. Резонаторы и резонаторные замедляющие системы СВЧ / А.Д. Григовьев, В.Б. Янкевич. М.: Радио и связь, 1984. - 248 с.

26. Григорьев, А.Д. Активные полупроводниковые приборы СВЧ: Учеб. пособие для вузов / А.Д. Григорьев, Иванов В.А., Янкевич В.Б. Д.: ЛЭТИ, 1984.-48 с.

27. Григорьев, А.Д. Электродинамика и техника СВЧ: Уч. пособие для вузов / А.Д. Григорьев. М.: Высш. шк., 1990. - 335 с.

28. Гришин, Л.В. Исследование вторично-эмиссионного СВЧ разряда при больших углах пролета электронов / Л.В. Гришин, A.A. Дорофеюк, И.А.

29. Коссый, Г.С. Луьянчиков, М.М. Савченко // Труды ФИАН, 1977. Т. 92. -С. 82-131.

30. Дворкин, В. В., Использование оптической эмиссионной спектроскопии для контроля состава плазмы в процессах осаждения углеродных пленок в СВЧ разряде / В. В. Дворкий, H.H. Дзбановский, П.В. Минаков // Физика плазмы. 2003. - Т. 29. - № 9. - С. 851-857.

31. Диденко, А.Н. СВЧ энергетика. Теория и практика / А.Н. Диденко. -М.: «Наука», 2003. - 446 с.

32. Дресвин, C.B. ВЧ- и СВЧ-плазмотроны / C.B. Дресвин, A.A. Бобров, В.М. Лелевкин, Г.В. Лысов, Г.З. Паскалов, Л.М. Сорокин. Наука, Сиб. отд-е, 1992. -319 с.

33. Дымшиц, Б.М. Моделирование и методы расчёта физико-химических процессов в низкотемпературной плазме / Б.М. Дымшиц , Я.П. Корецкий / Под ред. Л. С. Полака. М.: Наука, 1974. - С. 230-247.

34. Зарин, A.C., Кузовников A.A., Шибков В.М. Свободно локализованный СВЧ-разряд в воздухе: Монография / A.C. Зарин, A.A. Кузовников, В.М. Шибков. М.: Нефть и газ, 1996. - 204 с.

35. Зарин, A.C. Параметры плазмы несамостоятельного СВЧ разряда, создаваемого в режиме программированного импульса / A.C. Зарин,

36. A.Ф. Александров, A.A. Кузовников, В.М. Шибков, Л.В. Шибкова // Журнал технической физики. 1997. - Т. 67. - Вып. 7. - С. 19-23.

37. Иванов, В.А. Инициирование микроплазменных разрядов на краю диэлектрической пленки, нанесенной на поверхность металла / Иванов

38. B. А., Сахаров А. С., Коныжев M. Е. // Физика плазмы. 2008. - Т. 34. -№2.-С. 171-184.

39. Иванов, В.А. Возбуждение и воздействие микроплазменных разрядов на металлы и сплавы в плазме сверхвысокочастотного факела / В.А. Иванов // Прикладная физика. 2001. - № 2. - С. 5-40.

40. Иванов, В.А. Образование локальных разрушений в диэлектриках, взаимодействующих с безэлектродными микроволновыми разрядами / В.А Иванов, М.Е. Коныжев // Прикладная физика. 2004. - №6. - С. 4252.

41. Иванов, В.А. Образование сверхплотной плазмы при СВЧ-пробое диэлектриков / В.А. Иванов, М.Е. Коныжев, В.П. Гавриленко, A.A. Летунов // Прикладная физика. 2005. - №6. - С.40-51.

42. Иванов, В.А. Упрочнение приповерхностного слоя образцов из конструкционной стали микроплазменными разрядами / В.А. Иванов, М.Е. Коныжев, С.Н. Сатунин, A.A. Дорофеюк, Т.И. Камолова // Прикладная физика. 2008. - № 6. - С. 62-69.

43. Капустин, В.И. Высокочистые ультрадисперсные порошки оксидов: оборудование, технология, применение / В.И. Капустин // Перспективные материалы. 1998. - №5. - С. 54.

44. Колданов В.А., Исследование источников неравновесной плазмы на основе СВЧ разрядов, предназначенных для осаждения алмазных пленок, Автореф. . дис. канд. физико-математических наук. Нижний Новгород, 2006. - 15 с.

45. Королев, Ю.Д. Физика импульсного пробоя газов / Ю.Д. Королев, Г.А. Месяц. М.: Наука, 1991.-224 с.

46. Кузелев, М.В. Плазменная релятивистская СВЧ-электроника / М.В. Кузелев, A.A. Рухадзе, П.С. Стрелков. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002. - 544 с.

47. Лебедев, И.В. Техника и приборы сверхвысоких частот / И.В. Лебедев. -Ленинград: Госэнергоиздат, 1961. Т.1. - 442 с.

48. Лебедев, И.В. Техника и приборы сверхвысоких частот / И.В. Лебедев. -Ленинград: Госэнергоиздат, 1961. Т.2. - 376 с.

49. Лебедев, Ю.А. Квазистатическое моделирование микроволнового разряда в азоте в системе электродов со сферической симметрией / Ю.А. Лебедев, A.B. Татаринов // Теплофизика высоких температур. 2006. -Т.44. - С. 325-324.

50. Лебедев, Ю.А. Квазистатическое моделирование микроволнового разряда в азоте в системе электродов со сферической симметрией / Ю.А. Лебедев, И.Л. Эпштейн // Физика плазмы. 2007. - Т.ЗЗ. - №1. - С. 68-76.

51. Лебедев, Ю.А. Моделирование электродного СВЧ разряда. Учет двойного слоя / Ю.А. Лебедев, A.B. Татаринов, И.Л. Эпштейн // XXXI Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС, 16-20 февраля2004 г., Звенигород. 2004.

52. Лебедев, Ю.А. СВЧ плазма и ее применение / Ю.А. Лебедев // Физика конденсированного состояния: тезисы докладов IV международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии, 13-18 мая2005 г., Россия, Иваново. Иваново, 2005.

53. Лебедев, Ю.А. Электродный микроволновый разряд в азоте: структура и газовая температура / Ю.А. Лебедев, П.В. Соломахин, В.А. Шахатов // Физика плазмы. 2007. - Т.ЗЗ. - №2. - С. 180-190.

54. Лившиц, А.Л. Электроимпульсная обработка металлов / А.Л. Лившиц, А.Т. Кравец, И.С. Рогачев, А.Б. Сосенко. М.: Изд-во «Машиностроение», 1967. - 296 с.

55. Лисовский, В.А. Критерий пробоя газа в СВЧ поле / В.А. Лисовский // Журнал технической физики. 1999. - Т. 69. - Вып. 11. - С. 25-29.

56. Мак-Дональд, А. Сверхвысокочастотный пробой в газах / А. Мак-Дональд. М.: Изд-во «Мир», 1969. - 212 с.

57. Мак-Таггарт, Ф. Плазмохимические реакции в электрических разрядах: Пер. с англ / Ф. Мак-Таггарт. М.: Атомиздат, 1972. - 256 с.

58. Моссэ, А.JI. Применение низкотемпературной плазмы в технологии неорганических веществ / А.Л. Моссэ, В.В. Печковский. Минск: Наука и техника, 1973. - 285 с.

59. Малорацкий, Л.Г. Проектирование и расчет СВЧ элементов на полосковых линиях / Л.Г. Малорацкий, Л.Р. Явич. М.: Советское радио, 1972. - 232 с.

60. Маненков, A.A. СВЧ пробой в Ge в постоянном магнитном поле / A.A. Маненков, В.А. Миляев, В.А Санина // Письма в ЖЭТФ. Т. 29. - Вып. 8. - С 471-474.

61. Матей, Г.Л. Фильтры СВЧ, согласующие цепи и цепи связи (перевод с англ.) / Г.Л. Матей, Л. Янг, Е.М. Т. Джонс / Под ред. Л.В. Алексеева и Ф.В. Кушнира. М.: Связь, 1971. - Т. 1.-440 с.

62. Матей, Г.Л. Фильтры СВЧ, согласующие цепи и цепи связи (перевод с англ.) / Г.Л. Матей, Л. Янг, Е.М. Т. Джонс / Под ред. Л.В. Алексеева и Ф.В. Кушнира. М.: Связь, 1971. - Т. 2. - 440 с.

63. Мериин, Б.В. Электрогидравлическая обработка машиностроительных изделий / Б.В. Мериин. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-е, 1985. -119 с.

64. Месяц, Г.А. Импульсная энергетика и электроника / Г.А. Месяц. М.: «Наука», 2004. - 704 с.

65. Миронов, В.М. Исследование фазового состава зоны взаимодействия молибдена с железом и сталями при электроискровой обработке / В.М. Миронов // Перспективные материалы. 2003. - №5. - С. 84-89.

66. Мокров, А.Б. Исследование вторично-эмиссионного разряда и эмиссии горячих электронов в СВЧ электрических полях: Дис. . канд. физико-математических наук / А.Б. Мокров. Ленинград: ЛИИ, 1981. -166 с.

67. Морохов, Н.Д. Ультрадисперсные металлические среды / Н.Д. Морохов, Л.И. Трусов, С.П. Чижик. М.: Атомиздат, 1979. - 264 с.

68. Нефедов, Д.В. Влияние упругих взаимодействий на формирование кремниевых нанокристаллитов на некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления / Д.В. Нефедов, Р.К. Яфаров // Письма в ЖТФ. 2007. - Т. 33. - Вып. 7. - С. 26-34.

69. Нефедов, Д.В. Миграционное заращивание рельефа поверхности при формировании нанокристаллитов с использованием СВЧ газового разряда низкого давления / Д.В. Нефедов, Р.К. Яфаров // Письма в ЖТФ. 2007. - Т. 33. - №21. - С. 78-85.

70. Плазмохимические реакции и процессы / Под ред. JI. С. Полака. М.: Наука, 1977. - 320с.

71. Приезжев, Г.М. Исследование вторично-электронного разряда на СВЧ между керамическими поверхностями / Г.М. Приезжев, В.П. Сазонов // Электронная техника: сер. Электроника СВЧ. 1966. - Вып. 11. - С. 119-134.

72. Протасевич, Е.Т. О перспективах комбинированного применения лазерного и СВЧ излучений для эффективного воздействия на металлическую мишень / Е.Т. Протасевич // Журнал технической физики. 2004. - Т. 74. - Вып. 8. - С. 124-125.

73. Райзер, Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов / Ю.П. Райзер. М.: «Наука», 1980. - 415 с.

74. Райзер, Ю.П. Физика газового разряда / Ю.П.Райзер. М.: Наука, 1992. -536 с.

75. Райцын, Д.Г. Электрическая прочность СВЧ устройств / Д.Г. Райцын. -М.: «Сов. Радио», 1977. 168 с.

76. Редькин, C.B. Устройство для СВЧ-плазменной обработки материалов / C.B. Редькин, В.В. Аристов // Патент РФ № 2157061, 27.09.2000.

77. Сапунов, Г.С. Анатомия микроволновой печи / Г.С. Сапунов: http://www.elremont.ru/small rbt/bt rem21 .php

78. Сазонов, В.П. Выходные устройства мощных СВЧ электровакуумных приборов (обзор) / В.П. Сазонов // Электронная техника: сер. Электроника СВЧ. 1967. - Вып. 11. - С. 47-72.

79. Селемир, В.Д. Влияние вакуумных условий на СВЧ-генерацию в виркаторе / В.Д. Селемир, А.Е. Дубинов, Б.Г. Птицын, A.A. Евсеенко, В.А. Летягин, Р.К. Нургалиев, В.Г. Суворов, A.B. Судовцов // Письма в ЖТФ. 2001. - Т. 27. - Вып. 22. - С. 73-80.

80. Сергейчев, К.Ф. Осаждение алмазных пленок в плазме СВЧ-факела при атмосферном давлении / К.Ф. Сергейчев, H.A. Лукина, А.П. Большаков, В.Г. Ральченко, Н.Р. Арутюнян, С.Н. Бокова, В.И. Конов // Научно-технический журнал. 2008. - №6. - С. 39-42.

81. Сидоров, A.B. Формирование интенсивного пучка многозарядных ионов из плотной плазмы, создаваемой мощным миллиметровым излучением: Автореф. . канд. физико-математических наук / A.B. Сидоров. -Нижний Новгород, 2008. 18 с.

82. Силин, P.A. Замедляющие системы / P.A. Силин, В.П. Сазонов. 1966. -632 с.

83. Тимофеев, A.B. Циклотронные колебания плазмы в неоднородном магнитном поле / A.B. Тимофеев // УФН. 1973. - Т. 110. - N3. - С.325-328.

84. Ткачев, А.Н. О механизме убегания электронов в газе. Верхняя ветвь кривой зажигания самостоятельного разряда / А.Н. Ткачев, С.И. Яковленко // Письма в ЖЭТФ. Т. 77. - Вып. 5. - С. 264-269.

85. Троицкий, В.Н. Явление переноса в низкотемпературной плазме / В.Н. Троицкий, А.И. Смородин, С.Н. Шорин. Минск: Наука и техника, 1969. -С. 149-156.

86. Устойчивость горения электрической дуги: Сб. статей. Новосибирск, СО Наука, 1973.-191 с.

87. Фелсен, Л. Излучение и рассеяние волн (перевод с англ.) / Л. Фелсен, Н. Маркувиц / Под ред. М.Л. Левина. М.: Мир, 1978. - Т. 1. - 550 с.

88. Харвей, А.Ф. Техника сверхвысоких частот (перевод с англ.) / А.Ф. Харвей / Под ред. В.И. Сушкевича. М.: Сов. радио, 1965. - Т 2. - 775 с.

89. Химия плазмы / Под ред. Л.С. Полака и Ю.А. Лебедева. Новосибирск: Наука, Сибирское отд-е, 1991. - 328 с.

90. Чернушенко, A.M. Конструирование экранов и СВЧ-устройств: Учеб. пособие для вузов / A.M. Чернушенко, Б.В. Петро, Л.Г. Малорацкий, Н.Е. Меланченко, A.C. Бальсевич. М.: Радио и связь, 1990. - 352 с.

91. Яфаров Р.К. СВЧ ионно-плазменный источник / Р.К. Яфаров, С.А. Терентьев, А.И. Телицын, А.О. Балакин // ПТЭ. 1989. - N3. - С. 142145.

92. Wirz, Richard Е. Discharge plasma processes of ring-cusp ion thrusters: In partial fulfillment of the requirements for the degree of Doctor of Philosophy / Richard E. Wirz. Pasadena, California: CA Inst, of Technology, 2005.

93. Microwave discharges: Fundamentals and Applications: proceedings of V International Workshop, 8 Jul 12 Jul 2003, Greifswald / Ed. Andreas Ohl. -INP, Greifswald, 2003. - P.247-254.

94. Strong microwaves in plasmas / Ed. by A.G.Litvak. Nizhny Novgorod: Institute of Applied Physics, 1997. - Vol. I, II.

95. Wiley, John. High frequency techniques: An introduction to RF and microwave engineering / John Wiley. -Hoboken, 2004. 527 p.