Экспериментальное исследование кинетики электронов и элементарных процессов в плазме в аргон-азотных смесях и в воздухе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат физико-математических наук Мещанов, Александр Викторович

• Мещанов, Александр Викторович
• кандидат физико-математических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Мещанов, Александр Викторович

Введение.

Глава 1. Экспериментальные установки и методы исследований.

1.1 Установка для исследований плазмы тлеющего разряда и послесвечения.

1.1.1 Разрядная трубка, вакуумная система, формирователи разрядных импульсов.

1.1.2 Система регистрации оптического сигнала.

1.1.3 Зондовая схема измерения функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) в послесвечении.

1.1.4 Схема измерения поля.

1.2 Установка для диагностики окислов азота в плазме воздуха методом лазерной абсорбции.

1.3 Методики, используемые при проведении измерений.

1.3.1 Методика определения колебательной температуры основного состояния молекулы азота.

1.3.2 Методика определения концентрации метастабильных атомов методом поглощения.

1.3.3 Методика измерения функции распределения электронов.

1.3.4 Методика измерения напряженности электрического поля в разряде и концентрации электронов в разряде и в послесвечении.

1.4 Выводы.

Глава 2. Электронная кинетика и взаимосвязь электронной и колебательной температур в распадающейся плазме в смеси аргон-азот и в азоте.

2.1 Введение.

2.2 Обзор литературы.

2.3 Исследование послесвечения разряда в смеси аргон-азот.

2.3.1 Экспериментальные результаты.

2.3.2 Обсуждение результатов.

2.3.3 О механизме возбуждения состояния N2+(B2EU+) в плазме в смеси Ar-N2.

2.4 Исследование послесвечения разряда в азоте.

2.4.1 Экспериментальные результаты.

2.4.2 Обсуждение результатов.

2.5 Выводы.

Глава 3. Обнаружение и исследование эффекта "темной фазы" развития положительного столба тлеющего разряда в аргоне и в смесях аргона с азотом.

3.1 Введение.

3.2 Обзор литературы.

3.3 Исследование разряда в аргоне.

3.3.1 Экспериментальные результаты.

3.3.2 Обсуждение результатов измерений.

3.4 Исследование разряда в смесях Ar-N2.

3.5 Выводы.

Глава 4. Диагностика и исследование механизмов образования окислов азота

N0 и ЖЬ в газоразрядной воздушной плазме низкого давления.

4.1 Введение.

4.2 Обзор литературы.

4.3 Экспериментальные результаты.

4.4 Анализ результатов измерений.

4.4.1 Общий подход к моделированию.

4.4.2 Кинетика N0.

4.4.3 Кинетика N02.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Экспериментальное исследование кинетики электронов и элементарных процессов в плазме в аргон-азотных смесях и в воздухе»

Исследованию разряда в инертных и молекулярных газах и их смесях посвящено большое количество работ. Это связано прежде всего с широким применением такой плазмы в различных областях науки (атомной и молекулярной физике, химической физике, физике и химии газов и плазмы, физике и химии атмосферы) и в многочисленных приложениях. Свойство разрядной плазмы светиться, быть источником излучения различных диапазонов, с давних пор используют в осветительных приборах. Газоразрядные лазеры, использующие эти газы и их смеси, чрезвычайно распространены в физическом эксперименте и имеют широкое техническое применение. Равновесная и неравновесная плазма в таких смесях используется в разнообразных плазмохимических устройствах. В первую очередь это относится к плазме в воздухе и в газах, входящих в его состав. Использование ее в различных технологических процессах наиболее оправдано из-за низкой стоимости плазмообразующих газов. Это относится не только к основным компонентам воздуха -азоту и кислороду, но и к малой примеси - аргону, стоимость которого на порядки ниже, чем других инертных газов. Этим обусловлено широкое применение плазмы в аргоне и в смеси аргон - азот. В последнее время большое внимание уделяется экологической безопасности промышленных технологий. Плазмохимическая очистка воздуха, содержащего промышленные выбросы, является одной из самых перспективных.

Плазма в воздухе является весьма сложной системой вследствие многообразия процессов, протекающих в ней, прежде всего плазмохимических реакций. До настоящего времени нет ясности в понимании полной картины этих процессов. Плазма в чистом азоте, аргоне или их смесях значительно проще, но и в этом случае до сих пор остаются неясными целый ряд существенных проблем. К ним относятся в первую очередь процессы ионизации и взаимосвязь колебательная и электронной кинетики. Исследованию вопросов, связанных с решением этих проблем, посвящена данная работа. Это и определяет актуальность темы диссертации.

Диссертация состоит из четырех глав, введения и заключения. В первой главе описываются экспериментальные установки, которые были использованы при выполнении работ. Первая из них была предназначена для проведения исследования в послесвечении разряда и в его активной фазе. Вторая установка была собрана в университете Пари-Сюд (г. Париж). Основной регистрирующей системой в ней являлся перестраиваемый инфракрасный диодный лазер, с помощью которого решались задачи по исследованию воздушной плазмы низкого давления. В этой же главе описаны применявшиеся оптические и зондовые методы исследования, в частности, предложенная в работе методика учета влияния бегущей ионизационной волны на измеряемое электрическое поле.

Во второй главе исследуется явление бистабильности в распадающейся плазме в смеси аргона с азотом и в азоте. Бистабильность проявляется в поведении электронной температуры в послесвечении, которая начиная с некоторого момента времени "отрывается" от колебательной. Это явление впервые обнаружено в данной работе. Проведено его детальное исследование и сравнение с результатами расчета, выполненного Н.А. Дятко и А.П. Напартовичем [1], [2] в ТРИНИТИ. Результаты измерений, проведенных в работе, используются также для доказательства того, что в заселении состояния N2+(B2EU+) в разряде и в послесвечении в смеси Ar-N2 принимают участие ионы аргона. Кроме того, показано, что относительный ход концентрации электронов в послесвечении разряда в азоте может быть прослежен по распаду 1-й отрицательной системы.

Третья глава посвящена обнаружению и исследованию эффекта "темной фазы" развития положительного столба тлеющего разряда. Это явление впервые было обнаружено в смеси Не-СО [3] и затем исследовано в гелии и смесях гелия с азотом [4]. Суть "темной фазы" заключается в том, что в начале разрядного импульса наблюдается достаточно длительный промежуток времени, в течение которого свечение плазмы отсутствует, или оно существенно слабее стационарного значения. В данной работе найдены условия, когда этот эффект существует в разряде в аргоне и смесях аргона с азотом. Проводится его исследование, дается качественное объяснение причины его существования и сравнение экспериментальных результатов с расчетом, выполненным Н.А. Дятко и А.П. Напартовичем [5].

В четвертой главе исследуются механизмы образования окислов азота (N0 и NO2) в воздушной плазме низкого давления. Получен большой массив экспериментальных данных о концентрациях N0 и NO2 в зависимости от параметров разряда: частоты следования импульсов, их длительности и величины тока в разрядном импульсе. На основе анализа экспериментальных данных построена модель образования N0 и NO2 в разряде. Согласно этой модели, N0 образуется при столкновениях метастабильных молекул азота в состоянии A3EU+ с атомарным кислородом и при столкновениях образующегося в этой реакции возбужденного атома азота в состоянии 2D с молекулой кислорода. NO2 образуется в по-слеразрядной области в реакциях молекул озона с N0. Имеет место хорошее согласие построенной модели с полученными экспериментальными данными.

Основные результаты диссертации опубликованы в следующих работах:

1. Ю.З. Ионих, Н.Б. Колоколов, А.В. Мещанов, Н.В. Чернышева. Возбуждение состояния B2SU+ иона N2+ и электронная температура в послесвечении разряда в смеси Ar-N2. // Оптика и спектроскопия. 2000. т. 88, в. 4, с. 560-563.

2. N.A. Dyatko, Y.Z. Ionikh, N.B. Kolokolov, A.V. Meshchanov and A.P. Napartovich. Jumps and bi-stabilities in electron energy distribution in Ar-N2 post discharge plasma. // Journal of Physics D: Journal of Applied Physics. 2000. vol. 33, pp. 2010-2018.

3. N.A. Dyatko, Y.Z. Ionikh, N.B. Kolokolov, A.V. Meshchanov and A.P. Napartovich. EEDF Bi-Stability in Ar-N2 Afterglow. // Proc. 15th ESCAMPIG. Hungary. 2000. pp. 154-155.

4. Ю.З. Ионих, Н.Б. Колоколов, A.B. Мещанов. О скачке электронной температуры в бестоковой плазме смеси аргон-азот. // Всеросс. конф. по физике низкотемпер. плазмы «ФНТП-2001». Петрозаводск. 2001. т. 1, с. 78-81.

5. N.A. Dyatko, Y.Z. Ionikh, N.B. Kolokolov, A.V. Meshchanov and A.P. Napartovich. Experimental and Theoretical Studies of the Electron Temperature in Nitrogen Afterglow. // IEEE Transaction on Plasma Science. 2003. vol. 31, n. 4, pp. 553-563.

6. Yu.Z. Ionikh, A.V. Meschanov. Observation of the "Dark phase" in an initial stage of the glow discharge in argon. // Proc. International conference on physics of low temperature plasma PLTP-03. Kyiv, Ukraine. 2003. p. 7-7-24.

7. A.B. Мещанов, А. Руссо, Ю. Рёпке, Ю.З. Ионих, Н.В. Чернышева. Исследование механизмов образования окислов азота NO и NO2 в плазме в воздухе при низком давлении. // Всеросс. конф. по физике низкотемпер. плазмы «ФНТП-2004». Петрозаводск. 2004. т. 1, с. 32-37.

8. Н.А. Дятко, Ю.З. Ионих, А.В. Мещанов, А.П. Напортович. Исследование "темной фазы" развития положительного столба тлеющего разряда в аргоне и в смеси аргон-азот. // Всеросс. конф. по физике низкотемпер. плазмы «ФНТП-2004». Петрозаводск. 2004. т. 1, с. 6166.

9. Yu.B. Golubovskii, R.V. Kozakov, V.A. Maiorov, A.V. Meshchanov, I.A. Porokhova, A. Rousseau. Dynamics of gas heating in a pulsed microwave nitrogen discharge at intermediate pressures. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 2004. vol. 37, pp. 868-874.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Мещанов, Александр Викторович

4.6 Выводы.

Проведена диодная лазерно-абсорбционная диагностика окислов азота (NO и N02) в газоразрядной воздушной плазме низкого давления. Получены экспериментальные данные о концентрациях NO для широкого диапазона разрядных условий. Проведен анализ экспериментальных результатов и предложен механизм образования NO и NO2 в плазме воздуха. Согласно этой модели, молекулы NO образуются в результате реакций (11 и 17). NO2 образуется в послеразрядной области при столкновениях молекул озона с NO. Результаты моделирования для NO хорошо согласуются с экспериментальными данными. Показано, что при малых токах (< 1 мА) необходимо учитывать конверсию NO в NO2.

Заключение.

Перечислим основные результаты данной работы.

1. Создана экспериментальная установка для измерения ФРЭЭ с временным разрешением в послесвечении разряда. Написано программное обеспечение, позволяющее автоматизировать проведение экспериментов.

2. Проведены измерения ФРЭЭ, колебательной температуры и электронной концентрации в послесвечении разряда в смеси Ar-N2. Обнаружен ранее не фиксировавшийся эффект "отрыва" электронной температуры от колебательной в послесвечении разряда. Сравнение с расчетом [1] показало, что этот эффект есть проявление особого типа биста-бильности бестоковой плазмы.

3. Исследовано послесвечение на полосах 1-й отрицательной системы иона N2+h подтвержден предложенный ранее механизм образования состояния B2SU+ - перезарядка ионов Аг+ на высоковозбужденных молекулах N2(X1Zg+,v>l 1).

4. Проведены измерения ФРЭЭ, колебательной температуры и электронной концентрации в послесвечении разряда в азоте. Показано, что вид ФРЭЭ существенно зависит от разрядного тока и момента времени в послесвечении. Получена зависимость электронной температуры от электронной концентрации. При большом значении разрядного тока в импульсе эта зависимость согласуется с результатом численного моделирования (Н.А. Дятко и А.П. Напартович, [2]). Показано, что распад электронной концентрации коррелирует со спадом яркости 1-й отрицательной системы N2+.

5. Оптическим и зондовым методами исследована начальная стадия развития положительного столба тлеющего разряда в аргоне и смесях аргона с азотом. Найдены условия, при которых существует "темная фаза" развития столба, характеризующаяся относительно слабым свечением плазмы при разрядном токе, практически совпадающим с установившимся. Сравнением результатов измерений с расчетами [5] показано, что существование "темной фазы" в разряде в аргоне может быть объяснено ионизационными процессами, происходящими с участием метастабильных атомов аргона.

6. Показано, что существуют экспериментальные условия, в которых установление режима бегущих страт в разряде низкого давления происходит через промежуточную стадию синфазных колебаний параметров плазмы. Предложен метод восстановления амплитуды колебаний напряженности электрического поля в плазме при наличии бегущих страт из измерений разности потенциалов двух зондов.

7. Проведена диодная лазерно-абсорбционная диагностика окислов азота (N0 и NO2), в потоке воздуха, прошедшего через область тлеющего импульсно-периодического разряда низкого давления. Обнаружено, что концентрации N0 и NO2 определяются средним током и не зависят от параметров импульса. Построена простая аналитическая модель образования молекул N0 в плазме, адекватно описывающая эксперимент в широком диапазоне средних токов. Предложен механизм появления молекул NO2 в потоке.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Мещанов, Александр Викторович, 2004 год

1. N.A. Dyatko, Yu.Z. 1.nikh, N.B. Kolokolov, A.V. Meshchanov and A.P. Napartovich. 11 J. Phys. D: Appl. Phys. 2000. vol. 33, pp. 2010-2018.

2. N.A. Dyatko, Yu.Z. Ionikh, N.B. Kolokolov, A.V. Meshchanov, and A.P. Napartovich. // IEEE Plasma Science. 2003. vol. 31, n. 4, pp. 553-563.

3. Ю.З. Ионих, И.Н. Костюкевич, Н.В. Чернышева. // Оптика и спектроскопия. 1993. т. 74, с. 455.

4. Ю.З. Ионих, Ю.Г. Уткин, Н.В. Чернышева, А.С. Евдокименко. // Физика плазмы. 1996. т. 22, № 3, с. 289-297.

5. Н.А. Дятко, Ю.З. Ионих, А.В. Мещанов, А.П. Напартович. // Тезисы Всерос. науч. конф. по физ. низкотемп. плазмы ФНТП-2004. Петрозаводск. 2004. т. 1, с. 61-66.

6. М.З. Новгородов, В.Н. Очкин, Н.Н. Соболев. // ЖТФ. 1970. т. 40, в. 6, с. 1268-1275.

7. С.Г. Гагарин, JI.C. Полак, Д.И. Словецкий. // Тезисы докл. IV Всес. конф. по генераторам низкотемп. плазмы. Алма-Ата. 1970. с. 18-20.

8. S.V. Pancheshnyi, S.M. Starikovskaia, and A.Y. Starikovskii. // Chem. Phys. 2000. vol. 262, pp. 349-357.

9. Д.И. Словецкий. // Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М. Наука. 1980.-310 с.

10. MJ. Brugner and P.J.O. Teubner. // Phys. Rev. A. 1990. vol. 41, pp. 1413-1426.

11. M. Zubek. J. Phys. B, At. Mol. Opt. Phys. 1994, vol. 27, pp. 573-581.

12. H.E. Кузьменко, JI.A. Кузнецова, Ю.Я. Кузяков. // Факторы Франка-Кондона двухатомных молекул. М.: МГУ. 1984. 344 с.

13. А.А. Радциг, Б.М. Смирнов. // Справочник по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат. 1980. 240 с.

14. Ю.Г. Уткин, А.С. Евдокименко, Ю.З. Ионих, Н.В. Чернышева. // Оптика и спектроскопия. 1999. т. 86, с. 938-945.

15. В.И. Блашков, Ю.З. Ионих, Н.П. Пенкин. // Оптика и спектроскопия. 1986. т. 61, с. 974.

16. Е.Е. Иванов. // Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Ленинград. 1981.

17. С. Э. Фриш. Спектроскопия газоразрядной плазмы. Л.: Наука, 1970.

18. NIST Atomic Spectra Database Lines Data, http://physics.nist. gov

19. Г.Н. Герасимов, P.И. Лягущенко, Г.П. Старцев. // Оптика и спектроскопия. 1971. т. 30, в. 4, с. 606-611.

20. С. Браун. // Элементарные процессы в плазме газового разряда. М.: Госатомиздат, 1961.

21. Неравновесная колебательная кинетика (под редакцией М. Капителли) // М.:Мир. 1989. с. 360-385.

22. Б.Ф. Гордиец, Л.И. Осипов, Л.А. Шелепин. // Кинетические процессы в газах и молекулярные лазеры. М.:Наука, 1980. 512 с.

23. Н.А. Дятко, И.В. Кочетов, А.П. Напартович. // Физика плазмы. 1992. т. 18, в. 7, с. 888-900.

24. Н.Л. Александров, И.В. Кочетов, Э.Е. Сон. // Физика плазмы. 1978. т. 4, с. 1182.

25. Н.А. Горбунов, Н.Б. Колоколов, А.А. Кудрявцев. // ЖТФ. 1991. т. 61. в. 6, с. 52-60.

26. Н.Б. Колоколов, А.А. Кудрявцев, Н.А. Хромов. // Оптика и спектроскопия. 1993. т. 75, с. 981-984.

27. G. Dilecce and S. De Denedictis. // Plasma Sources Sci. Technol. 1993. vol.2, p. 119-122.

28. А.А. Кудрявцев, А.И. Ледянкин. // Physica Scripta. 1996. vol. 53, p. 597-602.

29. Ю.С. Акишев и др. // TBT. 1982. т. 20, с. 818-826.

30. В.М. Акулинцев, Н.М. Горшунов, Ю.П. Нещименко. // ПМТФ. 1977. в. 5, с. 5.

31. Ю.М. Гершензон, В.Б. Розенштейн, С.Я. Уманский. // Химия плазмы. М.: Атомиз-дат. 1977. в. 4, с. 224.

32. Г.Н. Герасимов, М.Н. Малешин, С.Я. Петров. // Оптика и спектроскопия. 1985. т. 59, с. 930-932.

33. В.А. Иванов, А.С. Приходько. // ЖТФ. 1986. т. 56, в. 10, с. 2010.

34. А.А. Viggiano and Robert A. Morris. // J. Chem. Phys. 1993. vol. 99, p. 3526.

35. S. Kato, J.A. de Gouw and C.D Lin, // Chem. Phys. Lett. 1996. vol. 256, p. 305.

36. И. Мак-Даниэль, Э. Мэзон. // Подвижность и диффузия ионов в газах. М.: Мир. 1976.-422 с.

37. P.A. Sa and J. Loureiro. // J. Phys. D., Appl. Phys. 1997. vol. 30, pp. 2320-2330.

38. A. Rutscher. // Beit. Plasmaphys. 1967. bd. 7, p. 43.

39. R. Mewe. // Physica. 1970. vol. 47, p. 373.

40. E.M. Penning. // Zs. Phys. 1928. vol. 46, p.335.

41. N.B. Kolokolov, A.A. Kudryavtsev, A.A. Blagoev. // Physica scripta. 1994. vol. 50, pp. 371-402.

42. Ю.Д. Королёв, Г.А. Месяц. // Физика импульсного пробоя газов. М.: Наука. 1991.

43. A. Phelps. // Phys. Rev. 1960. vol. 117, п. 3, pp. 619-632.

44. И.М. Бортник. // ЖТФ. 1968. т. 38, № 6, с. 1016-1034.

45. Г.В. Спивак, Е.Л. Столярова. // ЖТФ. 1948. т. 18, в. 3.

46. B.JI. Грановский. // Электрический ток в газах. Установившийся ток. М.: Наука. 1971.

47. Ю.С. Акишев, К.В. Баидзе, В.М. Вецко и др. // Физ. плазмы, 1985, т. 11, с. 999.

48. Г. Рёттер. // Электронные лавины и пробой в газах. М.: Мир. 1968. 217 с.

49. Н. Deutsch. // Beitr. Plasmaphys. 1968. b. 8, s. 31.

50. O.H. Крютченко, А.Ф. Маннанов, В.А. Степанов, M.B. Чиркин. // ЖТФ. 1994. т. 64. с. 42.

51. Р.Х. Амиров, Э.И. Асиновский, В.В. Марковец. // Физика плазмы. 2001. т. 27, № 5, с. 450-457; // ТВТ. 1981. т. 19, с. 47-51.

52. N.A. Dyatko, I.V. Kochetov, А.Р. Napartovich. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1993. vol. 26, pp. 418-423.

53. B.A. Иванов, И.В. Макасюк. // Оптика и спектроскопия. 1990. т. 69, в. 3, с. 514-517.

54. Н.Б. Колоколов. //Химияплазмы. 1985. вып. 12. с. 56-66.

55. С.М. Ferreira, J. Loureiro, A. Ricard. // J. Appl. Phys. 1985. v. 57, p. 82.

56. Ю.З. Ионих. // Оптика и спектроскопия. 1981. т. 51, с. 76.

57. Н.В. Чернышева. // Диссертация на соискание ученой степени кандидата физ.-мат. наук, Ленинград. 1974.

58. Справочник констант элементарных процессов с участием атомов, ионов, электронов, фотонов. (Под ред. А.Г. Жиглинского. СПб.: Издательство С.-Петербургского университета. 1994. -336 с.

59. Г.М. Батанов, И.А. Коссый, В.П. Силаков. // Физика плазмы. 2002. т. 28, № 3, с. 229-256.

60. J.S. Townsend. // Electricity in Gases. Clarendon Press. Oxford. 1915.

61. A.JI. Сурис. // Плазмохимические процессы и аппараты. М.: Химия. 1989. 304 с.

62. Yu.S. Akishev, А.А. Deryugin, I.V. Kochetov, A.P. Napartovich and N.I. Trushkin. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1993. vol. 26, pp. 1630-1637.

63. Ю.С. Акишев, A.A. Дерюгин, В.Б. Каральник, И.В. Кочетов, А.П. Напартович, Н.И. Трушкин. // Физика плазмы. 1994. т. 20, № 6, с. 571-584.

64. Н.А. Попов. // Физика плазмы. 1994. т. 20, № 3, с. 335-343.

65. И.А. Коссый, А.Ю. Костинский, А.А. Матвеев, В.П. Силаков. // Труды института общей физики. 1994. т. 47, с. 37-55.

66. М. Baeva, Н. Gier, A. Pott, J. Uhlenbusch, J. Hoschele and J. Steinwandel. // Plasma Chem. Plasma Process. 2001. vol. 21, pp. 225-247.

67. M. Baeva, H. Gier, A. Pott, J. Uhlenbusch, J. Hoschele and J. Steinwandel. // Plasma Sources Sci. Technol. 2002. vol. 11, pp. 1-9.

68. F. Fresnet, G. Baravian, S. Pasquiers, C. Postel, V. Puech, A. Rousseau, M. Rozoy. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2000. vol. 33, pp. 1315-1322.

69. F. Fresnet, G. Baravian, L. Magne, S. Pasquiers, C. Postel, V. Puech, A. Rousseau, Plasma Sources Sci. Technol. 2002. vol. 11, pp. 152-160.

70. H.JI. Александров, Ф.И. Высикайло, Р.Ш. Исламов, И.В. Кочетов, А.П. Напартович, В.Г. Певгов. // ТВТ. 1981. т. 19, № 3, с. 485-490.

71. A.R. De Souza, C.M. Mahlmann, J.L. Muzart and C.V. Speller. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1993. vol. 26, pp. 2164-2167.

72. S.D. Benedictis, G. Dilecce and M. Simek. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1997. vol. 30, pp. 2887т2894.

73. A. Granier, D. Chereau, K. Henda, R. Safari and P. Leprince. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1994. vol. 75, pp. 104-114.

74. G. Dilecce andS.D. Benedictis. // Plasma Sources Sci. Technol. 1999. vol. 8, pp. 266-278.

75. G. Cartry, L. Magne and G. Cernogora. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1999. vol.32, pp. 1894-1907.

76. L. Magne, H. Coitout, G. Cernogora, G. Gousset. // J. Phys. Ill France. 1993. vol. 3, pp. 1871-1889.

77. P. Christopher Selvin, Keiichiro Iwase and Toshihiro Fujii. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2002. vol. 35, pp. 675-679.

78. A. Ricard and V. Monna. // Plasma Sources Sci. Technol. 2002. vol.11, pp. A150-A153.

79. V. Guerra, J. Loureiro. // J. Phys. D: J. Appl. Phys. 1995. vol. 28, pp. 1903-1918.

80. V. Guerra, J. Loureiro. // Plasma Sources Sci. Technol. 1997. vol. 6, pp. 373-385.

81. V. Guerra, J. Loureiro. // Plasma Sources Sci. Technol. 1999. vol. 6, pp. 373-385.

82. V. Guerra, P.A. Sa and J. Loureiro. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. vol. 34, pp. 1745-1755.

83. A.X. Мнацаканян, Г.В. Найдис. // TBT. 1985. т. 23, №. 4, с. 640-648.

84. А.Х. Мнацаканян, Г.В. Найдис. // Химия плазмы. 1987. вып. 5, с. 227-255.

85. Теоретическая и прикладная плазмохимия. (под редакцией JI.C. Полак). М.:Наука. 1982. -300 с.

86. В. Gordiets, A. Ricard. // Plasma Sourc. Sci. Technol. 1993. vol. 2, pp. 158-164.

87. J. Nahorny, C.M. Ferreira, B. Gordiets, D. Pagnon, M. Touzeau and M. Vialle. // J. Phys. D: J. Appl. Phys. 1995. vol. 28, pp. 738-747.

88. B. Gordiets, C.M. Ferreira, V. Guerra, J. Loureiro, J. Nahorny, D. Pagnon, M. Touzeau,

89. M. Vialle. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1995. vol. 23, pp. 750-766.

90. B.B. Рыбкин, В.А. Титов, E.B. Кувалдин, С.А. Смирнов. // Хим. Высоких энергий. 1997. т. 31, в. 2, с. 149-152.

91. С.А. Смирнов, В.В. Рыбкин, И.В. Холодков. // ТВТ. 2002. т. 40, в. 2, с. 189-193.

92. С.А. Смирнов, В.В. Рыбкин, И.В. Холодков, В.А. Титов. // ТВТ. 2002. т. 40, в. 3, с. 357-364.

93. S. Pfau, A. Rutsher, К. Wojaczek. // Beitr. Plasma Phys. 1969. bd. 9, h. 4, s. 333.

94. T. Majeed, D.J. Strickland. // J. Phys. Chem. Ref. Data. 1997. vol. 26, p. 335-349.

95. R. Atkinson, D.L. Boulch, R.A. Cox, R.F. Hampson, J.A. Kerr, M.J. Rossi, J. Troe. // J. Phys. Chem. Ref. Data, 1989. vol. 18, pp. 881-1002.

96. R. Atkinson, D.L. Boulch, R.A. Cox, R.F. Hampson, J.A. Kerr, M.J. Rossi, J. Troe. // J. Phys. Chem. Ref. Data, 1997. vol. 26, n. 6, pp. 1329-1499.

97. J.T. Herron. // J. Phys. Chem. Ref. Data, 1999. vol. 28. pp. 1453-1483.

98. L.G. Piper. // J. Chem. Phys. 1982. vol. 77, n. 5, pp. 2373-2777.

99. P.S. Cosby. // J. Chem. Phys. 1993. vol. 98, n. 12, pp. 9544-9553.