Эффекты воздействия электромагнитного поля в процессах высокотемпературной микроволновой обработки материалов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.03, доктор физико-математических наук Рыбаков, Кирилл Игоревич

• Рыбаков, Кирилл Игоревич
• доктор физико-математических наук
• 2013

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Рыбаков, Кирилл Игоревич

Содержание

Введение

Глава 1. Физические основы, характерные особенности и перспективы промышленного освоения высокотемпературной микроволновой обработки материалов

1.1. Физические основы микроволновой обработки материалов

1.1.1 Поглощение микроволнового излучения

1.1.2. Теплофизические свойства и особенности микроволнового нагрева

1.1.3 Аппликаторы для высокотемпературной микроволновой обработки

1.1.4 Высокотемпературные процессы в твердой фазе при обработке материалов

1.1.5 Наноструктурные материалы

1.2. Моделирование высокотемпературной обработки материалов

1.3. Особенности микроволновой высокотемпературной обработки материалов

1.3.1 Сокращение потребления энергии и продолжительности процессов

1.3.2 Безынерционный, контролируемый, высокоскоростной нагрев

1.3.3 Инверсное распределение температуры

1.3.4 Селективный характер микроволнового нагрева

1.3.5 Микроволновая обработка поверхности материалов

1.4. Перспективы промышленного освоения

Глава 2. Эффекты нетеплового воздействия электромагнитного поля при

высокотемпературной микроволновой обработке материалов 74 2.1. Вводные замечания и обзор экспериментов по исследованию нетепловых

микроволновых эффектов

2.2 Воздействие микроволнового поля на процессы диффузии в твердой фазе

2.2.1 Поверхностная и зернограничная диффузия

2.2.2. Объемная диффузия

2.3 Воздействие микроволнового поля на эволюцию микроструктуры при

спекании

2.3.1. Исследование микроволнового воздействия на эволюцию пористой структуры на начальной стадии спекания

2.3.2 Размер зерна в керамике, спеченной при микроволновом нагреве

2.4 Воздействие микроволнового поля на фазовые переходы в оксидных материалах

Глава 3. Усредненное пондеромоторное воздействие микроволнового поля на массоперенос в ионных кристаллах

3.1 Описание теоретической модели

3.2 Решения задач об усредненном пондеромоторном воздействии

микроволнового поля на массоперенос в ионных кристаллах

3.2.1 Воздействие микроволнового электрического поля на массоперенос

в ионном кристалле с однородными диффузионными свойствами

3.2.2 Массоперенос под действием микроволнового поля при учете приповерхностной неоднородности кристалла

3.3 Формирование квазистационарного электрического потенциала в ионном кристалле

за счет усредненного пондеромоторного воздействия микроволнового поля

3.4 Общее рассмотрение пондеромоторного эффекта в плазме вакансий.

Обсуждение результатов

Глава 4. Приложения эффекта усредненного пондеромоторного воздействия

на массоперенос

4.1 Возбуждение квазистационарных токов при усредненном пондеромоторном воздействии СВЧ поля на ионный кристалл

4.2 Преимущественная ориентация пор в керамике при нагреве линейно поляризованным микроволновым излучением

4.3 Моделирование пондеромоторного эффекта при спекании

4.4 Эволюция пор в тонкопленочных мембранах

4.5 Эффекты пондеромоторного воздействия на внешней поверхности твердого

тела и границах раздела фаз

Глава 5. Микроволновый нагрев композиционно неоднородных материалов

5.1 Микроволновый нагрев металлокерамических композиционных материалов

5.2 Моделирование спекания градиентных композитных материалов при микроволновом нагреве

5.3 Моделирование химической реакции азотирования кремния при микроволновом нагреве

Глава 6. Процессы микроволнового нагрева сильнопоглощающих

материалов

6.1 Особенности микроволнового нагрева сильнопоглощающих материалов в аппликаторах со стоячей волной

6.2. Особенности микроволнового нагрева порошковых электропроводящих материалов

6.3 Распределение поля внутри нагреваемых образцов, сравнение

с экспериментом

6.4 Высокоскоростной микроволновый отжиг кремниевых структур

Заключение

Список работ автора, в которых опубликованы основные результаты диссертации

Список литературы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Эффекты воздействия электромагнитного поля в процессах высокотемпературной микроволновой обработки материалов»

Введение

Нагрев микроволновым излучением является перспективным методом обработки материалов, имеющим многочисленные приложения в различных областях техники [1 - 6]. Можно условно разделить технологические процессы, использующие микроволновый нагрев, на низкотемпературные и высокотемпературные. К низкотемпературным относятся процессы, в основе которых лежит нагрев материалов, содержащих свободную и связанную воду, и органических веществ. Такие процессы используются в пищевой и фармацевтической промышленности, в технологиях обработки древесины, полимерных материалов, химического органического синтеза и т.п. [7 - 10]. Методы микроволнового нагрева к настоящему времени заняли достаточно заметное место в перечисленных областях и в значительной степени перешли из стадии научных исследований в стадию технического и коммерческого освоения.

В данной диссертации рассматривается высокотемпературная микроволновая обработка материалов. Под высокими температурами понимаются такие, при которых активируются процессы диффузионной подвижности в твердых телах. Методы микроволнового нагрева в высокотемпературных процессах в настоящее время представляют значительный интерес для научных исследований, с перспективой технологического освоения в ближайшем будущем. Потенциал высокотемпературной микроволновой обработки продемонстрирован в таких областях, как спекание и соединение керамических материалов [11], неорганический синтез [12], создание композиционных [13] и функционально-градиентных [14] материалов, порошковая металлургия [15], переработка промышленных и радиоактивных отходов [16], отжиг полупроводниковых структур [17] и др.

Большинство реализованных к настоящему времени приложений микроволновой обработки материалов используют преобразование энергии микроволнового электромагнитного поля в тепловую форму. Развитие новых приложений, основанных на использовании микроволновой энергии, чаще всего начинается с попыток замены традиционных источников тепла в существующих технологиях на источники микроволнового нагрева. В некоторых случаях такая замена может оказаться экономически выгодной, и тогда микроволновая технология может полностью или частично вытеснить соответствующую традиционную. Однако, как показывает опыт, в большинстве случаев новая микроволновая тех-

нология может оказаться конкурентоспособной только тогда, когда она позволяет получить конечный продукт, существенно отличающийся по своим свойствам от получаемого при помощи традиционной технологии [18]. Таким образом, развитие приложений микроволновой обработки обусловлено принципиальными физическими отличиями процессов и результатов от соответствующих традиционных технологий. Соответственно, значительное место в научной базе разработки технологий микроволновой обработки материалов составляют исследования указанных отличий и их следствий.

Важное преимущество микроволнового нагрева обусловлено объемным поглощением микроволновой энергии в большинстве неметаллических материалов. При поглощении микроволновой энергии во всем объеме изделия отсутствует необходимость в передаче тепла за счет теплопроводности, как это происходит при нагреве лучевыми или конвективными потоками тепла в традиционных печах. Кроме того, мощность микроволнового источника может практически полностью использоваться на нагрев только обрабатываемого изделия, без необходимости нагревать массивные конструкции традиционных печей. Поэтому скорость нагрева микроволновым излучением может быть существенно выше, и это является одним из наиболее важных факторов во многих технологических процессах. Высокие скорости нагрева обуславливают не только существенную экономию энергии и сокращение времени процессов, но, что зачастую более важно при создании высококачественных материалов, позволяют получать изделия с более мелкодисперсной и бездефектной микроструктурой и, как следствие, улучшенными функциональными свойствами.

В то же время, как будет показано ниже, значительная часть наблюдаемых отличий в характере протекания процессов при микроволновом и традиционном нагреве (так называемых "микроволновых эффектов") не может быть объяснена одними только различиями в характере тепловыделения. К таким эффектам относятся изменение энергии активации самодиффузии атомов при микроволновом нагреве [19], ориентационная зависимость коэффициента диффузии при нагреве в поляризованном микроволновом поле [20], изменение температуры фазовых превращений в твердой фазе [21] и многие другие, подробно рассматриваемые ниже в данной диссертации. Эти эффекты имеют более фундаментальную природу и связаны с преобразованием энергии микроволнового электромагнитного поля в формы движения, отличные от равновесной тепловой, то есть с так называемым нетепловым воздействием поля на вещество. Проблема нетепловых эффектов в процессах

взаимодействия микроволнового электромагнитного поля с твердым телом представляет значительный общефизический интерес. Существенная роль нетепловых эффектов указывает на возможность заметного влияния на массоперенос неравновесных возбуждений с весьма небольшим энергосодержанием (что следует из малости времени релаксации неравновесных состояний в твердом теле). Вместе с тем, выяснение природы и механизма реализации нетеплового воздействия микроволнового поля на массоперенос в твердом теле имеет важное практическое значение для технологий конструкционных и функциональных материалов, полупроводниковых приборов, СВЧ электроники и др. Исследования роли и соотношения тепловых и нетепловых эффектов при микроволновой обработке материалов составляют основное содержание данной диссертации.

Первые исследования по применению микроволнового излучения для высокотемпературной обработки материалов относятся к концу 60-х - началу 70-х гг. [22]. В частности, в области спекания керамических материалов при микроволновом нагреве пионерскими можно считать работы [23, 24]. Интерес к микроволновой обработке материалов значительно возрос во второй половине 80-х гг. [25-27]. С 1988 г. регулярно проводятся международные симпозиумы и конференции по микроволновой обработке материалов, организуемые Обществом материаловедения (Materials Research Society), Американским керамическим обществом (American Ceramic Society), а позднее Микроволновой рабочей группой (Microwave Working Group) в США, Европейской ассоциацией по исследованиям и образованию в области микроволновой энергии (Association for Microwave Power in Europe for Research and Education, AMPERE), Японским обществом по приложениям энергии электромагнитных волн (Japan Society of Electromagnetic Wave Energy Applications). Значительный объем исследований в области микроволновой обработки материалов выполняется в США, Китае, Германии, Великобритании, Франции и других странах. В Японии с 2006 г. реализуется государственный приоритетный проект поддержки исследований в указанной области [28]. В СНГ исследования в области высокотемпературной микроволновой обработки материалов проводятся в России (Институт прикладной физики РАН, Институт общей физики РАН, Новосибирский государственный университет, Московский инженерно-физический институт, Челябинский государственный университет, Томский политехнический университет и др.), Украине (Институт проблем материаловедения НАНУ), Белоруссии (Институт технической акустики HAH РБ), Киргизской рес-

публике (Киргизско-Российский Славянский университет).

В многочисленных исследованиях было обнаружено, что высокотемпературная микроволновая обработка материалов обладает специфическими свойствами, имеющими потенциально важное технологическое значение. Основной объем исследований был выполнен в области спекания керамических материалов. Достижения и проблемы в области спекания керамических материалов при микроволновом нагреве обобщены в ряде обзоров [29-32]. Анализ опубликованных результатов позволяет выделить следующие наблюдаемые в большинстве сравнительных исследований отличия твердофазного спекания ультра- и мелкодисперсной керамики в условиях микроволнового нагрева:

- заметное снижение температуры (на 50-100 °С) на промежуточной стадии спекания (рис. 0.1). Снижение характерных температур уплотнения при микроволновом нагреве по сравнению с температурой при традиционном спекании наиболее велико в материалах с высоким коэффициентом поглощения микроволнового излучения [33];

- значительное, в некоторых случаях в несколько раз, уменьшение времени высокотемпературной стадии спекания (времени достижения максимальной плотности материала) (рис. 0.2).

Наряду со спеканием, подобного рода снижение температуры и сокращение времени, необходимых для полного завершения процесса, наблюдалось и при применении микроволнового нагрева в других процессах высокотемпературной обработки материалов.

Относительная плотность

100 % 90 % 80 %

микроволновый нагрев

традиционный нагрев

Температура

Рисунок 0.1 - Схематическая зависимость плотности, достигаемой при спе-

кании, от температуры

Относительная плотность

Время

Рисунок 0.2 - Схематическая зависимость плотности, достигаемой при спекании, от времени выдержки при температуре спекания

Указанные факторы послужили причиной интереса к использованию микроволнового нагрева для спекания наноструктурной керамики, как методу получения высокоплотного материала при сохранении близкого к исходному размеру зерна. Процессы укрупнения зерна и уплотнения являются термически активируемыми процессами, одновременно происходящими при спекании. В силу различия энергий активации для многих материалов доминирующим процессом в области более низких температур является укрупнение зерна, сопровождающееся формированием прочного каркаса, который препятствует равномерному уплотнению керамического материала. Поэтому реализация быстрого нагрева материала до высокой температуры на начальной стадии спекания может свести к минимуму негативное влияние укрупнения зерна на уплотнение [34].

Создание наноструктурных керамических материалов представляет собой одно из важнейших направлений в нанотехнологиях. В наноструктурных керамических и композиционных материалах качественно улучшаются такие физико-механические свойства, как твердость, трещиностойкость и износостойкость. Керамические наноматериалы могут использоваться для изготовления деталей, работающих в условиях повышенных температур, неоднородных термических нагрузок и агрессивных сред. Такие приложения наиболее актуальны в аэрокосмической технике, энергетике, химической промышленности, производстве режущего инструмента и т.п. Повышенная пластичность наноструктурных керамических материалов позволяет в значительной степени упростить решение пробле-

мы точного формообразования [35, 36], т.е. делает возможным изготовление керамических изделий сложной конфигурации с высокой точностью размеров. Среди специальных приложений нанокерамических материалов можно отметить биосовместимые нанокера-мики, которые могут быть использованы для изготовления искусственных суставов и зубных протезов, магнитомягкие ферромагнитные материалы с очень низкой коэрцитивной силой и высокой магнитной проницаемостью и т.д. [37]

К настоящему времени разработаны способы получения широкого спектра нано-размерных порошков. Основные трудности создания керамических и композиционных изделий из порошков нанометрового размера связаны с отсутствием адекватного метода, обеспечивающего получение высокоплотных материалов при сохранении близкого к исходному размеру зерна. Существующие в настоящее время традиционные методы уплотнения порошковых материалов, как правило, либо не обеспечивают достижение необходимых плотностей и эксплуатационных параметров (холодное прессование), либо приводят к значительному укрупнению зерна в процессе спекания (высокотемпературное спекание). К настоящему времени в лабораторных исследованиях получены отдельные нано-структурные керамические материалы высокой плотности спеканием либо при сверхвысоких (до 8 ГПа) давлениях [38, 39], либо с использованием специально разработанной процедуры приготовления исходных неагломерированных, близких к монодисперсным наноразмерных порошков [40]. Наиболее успешные результаты по лабораторному созданию широкого спектра наноструктурных керамических и композиционных материалов получены при использовании методов плазменно-искрового спекания, в которых находящийся под одноосным давлением образец нагревается импульсным электрическим током, протекающим через пресс-форму [41, 42].

Как показывают результаты исследований, проводимых как в России (Институт прикладной физики РАН и Институт электрофизики РАН [43], ИПФ РАН и Нижегородский государственный университет [44]), так и за рубежом (Исследовательский центр Карлсруэ (Германия) [45], университет штата Пенсильвания (США) [46], университет Лафборо (Великобритания) [47] и др.), перспективным является метод повышения спе-каемости компактов наноразмерных порошков за счёт управляемого воздействия микроволнового электромагнитного поля. За счёт поглощения излучения во всем объеме нагреваемого материала достигается высокая однородность температурного поля и, как следст-

вие, однородное спекание, что обеспечивает получение однородной микроструктуры. Обусловленное однородным объемным нагревом отсутствие термических напряжений позволяет проводить процесс с высокими скоростями и ограничить укрупнение зерна материала. Активация микроволновым полем процессов массопереноса в приграничном слое наноразмерных зёрен материала способствует более эффективному уплотнению, одновременно накладывая жесткие требования на качество нанопорошков (отсутствие агломератов, подверженных ускоренному локальному уплотнению и способствующих образованию крупных, незалечиваемых пор).

В последнее десятилетие продемонстрирована перспективность применения методов микроволнового нагрева в металлургической отрасли - как в процессах выплавки металлов (восстановления металлов из оксидов) [48, 49], так и при изготовлении металлических изделий методом спекания (порошковая металлургия) [50, 51]. Ожидается, что внедрение в этих устоявшихся областях техники технологий, использующих нагрев микроволновым излучением, несмотря на очевидные трудности, позволит значительно сократить энерго- и трудозатраты, а также уменьшить экологические нагрузки. Для реализации микроволнового нагрева проводящих порошковых материалов, в частности металлических, требуются как теоретические, так и экспериментальные исследования. Одна из глав данной диссертации посвящена данной проблеме.

Методы микроволнового нагрева имеют значительный потенциал при создании ме-таллокерамических композиционных материалов [52] и, в частности, функционально-градиентных материалов (ФГМ) [53]. В то время как сочетание свойств керамических и металлических материалов при их градиентном соединении может позволить добиться прорыва в эксплуатационных и функциональных качествах изделий, сама по себе возможность создания такого соединения требует решения ряда научных и технических проблем. Наиболее острой проблемой при создании функционально-градиентных материалов является необходимость снижения термических и остаточных напряжений, обусловленных различиями в коэффициентах теплового расширения металлов и керамик. Наличие напряжений, которые особенно велики при высокой температуре эксплуатации, приводит к разрушению, расслоению или отслаиванию материалов и потере их функциональных качеств.

Наиболее важным преимуществом метода обработки, использующего нагрев микроволновым излучением, при создании функционально градиентных материалов с малыми механическими напряжениями, является контролируемый внутренний характер поглощения микроволнового излучения во всем объеме материала. Традиционные методы термической обработки, использующие процессы теплопроводности для переноса тепла с поверхности в толщу покрытия, по существу не имеют механизмов управления температурным распределением в объеме создаваемого материала. Поскольку температура является параметром, определяющим протекание всех процессов, ответственных за создание материала (уплотнение, химические и фазовые превращения, эволюция микроструктуры), фактически при использовании таких методов невозможен контроль над микроструктурой и конечными свойствами материала. Напротив, метод обработки, использующий микроволновый нагрев, предоставляет возможность контролировать выделение энергии и, следовательно, температуру в объеме материала. Для реализации управления микроструктурой и напряжениями при создании ФГМ необходимо полномасштабное моделирование процессов микроволнового нагрева с учетом эффективных диэлектрических и теплофизи-ческих свойств композиционных материалов.

Таким образом, исследования в области применения интенсивного микроволнового излучения для высокотемпературной обработки материалов, развивавшиеся в последние десятилетия, поставили новые задачи фундаментального характера. В многочисленных экспериментах были обнаружены существенные отличия в протекании процессов массо-переноса, фазовых превращений и химических реакций в твердой фазе при использовании для нагрева микроволнового излучения. Результаты исследований позволяют утверждать, что значительная часть этих отличий может быть связана с непосредственным воздействием микроволнового электромагнитного поля на вещество. Всестороннее исследование и характеризация специфического микроволнового воздействия на массоперенос и связанные с ним процессы в твердой фазе являются важной фундаментальной задачей, результаты решения которой способны составить основу нового направления в современной радиофизике.

Обобщая вышеизложенное, можно заключить, что проблемы, исследованию которых посвящена данная диссертация, являются весьма актуальными на современном эта-

пе развития науки и технологии. Актуальностью темы обусловлены следующие цели диссертационной работы:

• Анализ физических механизмов, лежащих в основе процессов высокотемпературной микроволновой обработки материалов.

• Анализ экспериментальных данных, свидетельствующих о существенности нетеплового воздействия микроволнового электромагнитного поля на процессы диффузионного массопереноса и фазовые превращения в твердой фазе.

• Разработка физической модели, описывающей нелинейное взаимодействие микроволнового электромагнитного поля с поликристаллическим твердым телом.

• Сопоставление разработанной модели с экспериментом.

• Исследование процессов микроволнового нагрева сильнопоглощающих, композиционно неоднородных и функционально-градиентных материалов.

Научная новизна диссертационной работы состоит в следующем:

• Разработана теоретическая модель усредненного пондеромоторного воздействия электромагнитного поля на процессы массопереноса в кристаллических материалах с ионной связью.

• На основе разработанной теоретической модели дано объяснение эффектов нетеплового воздействия электромагнитного поля, наблюдавшихся в экспериментальных исследованиях переноса заряда и массы при микроволновом нагреве ионных кристаллов и керамических материалов.

• Впервые количественно охарактеризовано нетепловое влияние микроволнового электромагнитного поля на эволюцию пористой структуры и уплотнение при спекании керамических материалов.

• Количественно охарактеризовано влияние микроволнового электромагнитного поля на процессы фазовых превращений в твердом теле.

• Разработана модель микроволнового нагрева электрически проводящих порошковых материалов, частицы в которых окружены изолирующими оболочками.

• Разработана модель спекания металлокерамических функционально-градиентных материалов при микроволновом нагреве.

Исследования, описанные в данной диссертации, направлены в целом на создание физических основ новых технологических процессов высокотемпературной обработки материалов, использующих микроволновый нагрев. В соответствии с этим научная и практическая значимость диссертации характеризуется следующим:

• Результаты, изложенные в диссертации, позволяют на основе анализа физических механизмов обосновать выбор обрабатываемых материалов и режимов высокотемпературной обработки, для которых использование микроволнового нагрева может дать наиболее выраженный эффект. Например, существенная роль процессов преобразования энергии микроволнового излучения в межзеренных границах определяет перспективность применения микроволнового нагрева при спекании наноструктурных керамических материалов, в которых доля межзеренных границ в общем объёме материала выше, чем в более крупнозернистых керамиках. В целом, полученные результаты позволяют оценить целесообразность применения технологий, использующих микроволновый нагрев, для конкретных приложений.

• Разработанная модель усредненного пондеромоторного воздействия электромагнитного поля на процессы массопереноса в ионных кристаллических материалах (описанная в главе 3) легла в основу нескольких работ разных авторов, посвященных экспериментальным и теоретическим исследованиям нетепловых эффектов микроволнового поля при нагреве материалов. В частности, на основе данной модели выполнялось компьютерное моделирование диффузионно-дрейфовой динамики вакансий в ионных кристаллах (университет Висконсин - Мэдисон, США [54]). Модель послужила основой для постановки экспериментов по наблюдению нелинейного выпрямления ионных токов, возбуждаемых при микроволновом воздействии на ионные кристаллы (университет Висконсин - Мэдисон, США [55]), и по исследованию деформации пор в керамических материалах при микроволновом нагреве (Исследовательский центр Карлсруэ, Германия [А29]). Кроме того, модель пондеромоторного воздействия привлекается авторами многих статей для интерпретации результатов описанных в них экспериментальных исследований.

• Результаты, полученные при анализе усредненного пондеромоторного воздействия электромагнитного поля в твердом теле, имеют также научно-методическое значение, так как они расширяют и обобщают представления о пондеромоторных силах, сло-

жившиеся ранее в электронике и физике плазмы, на новый физический объект - плазму заряженных дефектов в твердом теле. • Разработанные модели процессов, использующих микроволновый нагрев (глава 5), позволяют проводить оптимизацию этих процессов. В частности, модель спекания ме-таллокерамических функционально-градиентных материалов при микроволновом нагреве может быть использована для оптимизации процесса спекания с целью получения высокоплотных металлокерамических материалов с низкими остаточными напряжениями. Модель азотирования кремния при нагреве излучением миллиметрового диапазона может быть использована в целях получения реакционно-связанного и реакционно-спеченного нитрида кремния с улучшенными высокотемпературными свойствами.

в Разработанная модель микроволнового нагрева электрически проводящих порошковых материалов, частицы в которых окружены изолирующими оболочками (глава 6), может использоваться в качестве метода описания динамики нагрева при спекании металлических порошковых материалов. Например, данная модель взята за основу при описании результатов экспериментов в [56]. Описание модели воспроизводится в книге «Микроволны и металлы» - учебном пособии уровня последипломного образования, подготовленном специалистами Национального университета Сингапура [15].

Диссертация состоит из введения, шести глав и заключения.

Глава 1 посвящена рассмотрению физических основ, характерных особенностей и перспектив промышленного освоения высокотемпературной микроволновой обработки материалов. В разд. 1.1 вводятся основные понятия и физические принципы, лежащие в основе микроволновой обработки материалов. Рассматривается поглощение микроволнового излучения в различных материалах, обсуждаются особенности реализации микроволнового нагрева слабо- и сильнопоглощающих материалов. Выясняются зависимости скорости микроволнового нагрева от параметров процесса, обсуждается степень однородности распределения температуры и проблема тепловых неустойчивостей при микроволновом нагреве. Проводится сравнение одномодового и многомодового режимов работы систем, в которых осуществляются процессы микроволновой обработки материалов. Приводятся базовые сведения о структуре и свойствах поликристаллических твердых тел и

процессов массопереноса в них. Описаны особенности, свойственные наноструктурным кристаллическим материалам.

В разд. 1.2 приведен обзор работ, посвященных моделированию процессов высокотемпературной обработки материалов. Рассмотрены методы расчета распределения электромагнитного поля в рабочих камерах установок для микроволновой обработки материалов и распределения температуры при микроволновом нагреве. Большое количество работ посвящено анализу динамических режимов и эффектов, описываемых в рамках самосогласованных моделей микроволнового нагрева, которые включают в себя решение электродинамической и тепловой задач. Помимо моделирования процессов микроволновой обработки материалов, в этих работах проводится исследование тепловых неустойчиво-стей и разрабатываются алгоритмы управления для систем автоматической регулировки мощности, предотвращающие развитие таких неустойчивостей. Особое внимание уделено работам, направленным на построение полномасштабных моделей высокотемпературной микроволновой обработки материалов. Наряду с расчетом электромагнитного поля и температуры, такие модели включают в себя переменные, описывающие происходящие в материале изменения в результате высокотемпературной обработки: напряжения, потоки массы, пористость, размер зерна и т.д.

В разд. 1.3 приводится обзор процессов высокотемпературной обработки материалов, в которых применяется микроволновый нагрев. Обсуждаются характерные особенности микроволнового нагрева и их значение для реализации данных процессов: сокращение потребления энергии и продолжительности процессов; безынерционный, контролируемый, высокоскоростной нагрев, который, в частности, обусловливает перспективность применения микроволнового нагрева при спекании нанокерамических материалов; специфическое неоднородное (инверсное) распределение температуры с максимумом внутри тела; селективный характер микроволнового нагрева, т.е. зависимость выделяемой микроволновой мощности от поглощательных свойств материалов; возможность обработки поверхности материалов пучками микроволнового излучения.

В конце первой главы в разд. 1.4 на основе рассмотренных особенностей микроволнового нагрева обсуждаются перспективы коммерциализации и промышленного освоения технологий высокотемпературной обработки материалов, использующих интенсивное микроволновое излучение. Приводятся примеры реализованных технологических

процессов, обсуждаются преимущества и ограничения, связанные с использованием энергии микроволнового излучения в них.

В главе 2 рассматриваются эффекты нетеплового воздействия электромагнитного поля при высокотемпературной микроволновой обработке материалов. В разд. 2.1 определено понятие нетеплового воздействия и приведен обзор опубликованных результатов экспериментальных исследований по исследованию нетепловых микроволновых эффектов. В остальной части главы 2 приведены результаты и интерпретация некоторых экспериментов по исследованию нетеплового воздействия микроволнового поля на различные процессы в твердой фазе, выполненных коллективом лаборатории микроволновой обработки материалов Института прикладной физики РАН.

В разд. 2.2 рассматриваются экспериментальные исследования нетеплового воздействия микроволнового поля на процессы диффузии в твердой фазе. В разд. 2.2.1 рассматривается влияние микроволнового поля на процессы поверхностной и зернограничной диффузии, наблюдавшееся в процессе отжига наноструктурных мембран из аморфного оксида алюминия, а также в экспериментах по пластической деформации керамических образцов на основе оксида алюминия при микроволновом нагреве. В разд. 2.2.2 описаны результаты экспериментов по изучению нетеплового влияния микроволнового поля на процесс объемной диффузии в твердом теле. В качестве объекта исследования были выбраны процесс твердофазного синтеза титаната свинца из оксида свинца и диоксида титана, кинетика которого контролируется объемной диффузией. Аналогичные результаты были получены в сравнительных исследованиях влияния отжига с использованием микроволнового излучения и обычного термического отжига на взаимодиффузию индия - галлия в гетероструктурах ¡пваАз.

В разд. 2.3 рассматривается воздействие микроволнового поля на эволюцию микроструктуры в процессах спекания порошковых материалов. Количественно охарактеризовано микроволновое влияние на массоперенос в зависимости от напряженности микроволнового электрического поля при фиксированной температуре. В разд. 2.3.1 приведены результаты исследования микроволнового воздействия на эволюцию пористой структуры нанопорошковых прессовок из оксида алюминия на начальной стадии спекания. В разд. 2.3.2 обсуждается влияние микроволнового нагрева на размер зерна в спеченном керамическом материале на примере спекания варисторной керамики на основе оксида цинка.

В разд. 2.4 описаны исследования, направленные на количественную характериза-цию влияния микроволнового поля в зависимости от его интенсивности на последовательность фазовых превращений в оксиде алюминия. На основе результатов количественного анализа спектров рентгеновской дифракции выявлены характерные особенности этой зависимости и предложена их интерпретация.

Глава 3 посвящена теоретическим исследованиям усредненного пондеромоторного воздействия микроволнового поля на массоперенос в ионных кристаллических материалах. В разд. 3.1 сформулированы основные положения теоретической модели усредненного пондеромоторного воздействия и приведены количественные оценки условий, в которых такое воздействие может оказаться существенным.

В разд. 3.2 построены решения задач об усредненном пондеромоторном воздействии микроволнового поля на массоперенос в ионных кристаллах. В частности, в разд. 3.2.1 рассмотрена задача о воздействии микроволнового электрического поля на массоперенос в ионном кристалле с однородными диффузионными свойствами. В разд. 3.2.2 проведен анализ массопереноса, обусловленного усредненным пондеромоторным воздействием микроволнового поля, при учете приповерхностной неоднородности кристалла. Показано, что в рамках более реалистической модели кристалла, учитывающей неоднородность транспортных свойств вблизи поверхности, направленный массоперенос под действием микроволнового поля оказывается значительно более интенсивным, и такая модель способна дать количественное объяснение эффектов нетеплового воздействия, зафиксированных в экспериментальных исследованиях.

В разд. 3.3 рассматривается задача о формировании квазистационарного электрического потенциала в ионном кристалле за счет усредненного пондеромоторного воздействия микроволнового поля. При различных коэффициентах диффузии перенос массы, обусловленный пондеромоторным воздействием, сопровождается возникновением электрических потенциалов разделения зарядов. Дается оценка величины постоянной разности потенциалов, возникающей на поверхности сферического ионного кристалла при воздействии на него линейно поляризованного микроволнового электромагнитного поля.

В разд. 3.4 проводится сопоставление пондеромоторных сил, действующих в ионных кристаллах и в плазме. Рассматриваются выражения для пондеромоторной силы, полученные в рамках Эйлеровой гидродинамики, в рамках модели движения одной заря-

женной частицы и в рамках гидродинамики потоков частиц и обсуждаются различия между ними. Показана связь между выражениями для пондеромоторной силы в плазме и выражениями, полученными в данной работе для пондеромоторной силы в ионном кристалле. В конце раздела обсуждается физический смысл полученных в данной главе результатов и их практическое значение.

В главе 4 рассматривается применение теоретической модели усредненного понде-ромоторного воздействия микроволнового электромагнитного поля к описанию процессов массопереноса в твердом теле, протекание которых обусловлено наличием структурных неоднородностей. В разд. 4.1 модель применена для анализа временной динамики квазистационарных ионных токов, возникающих в ионных кристаллах при воздействии микроволнового электромагнитного поля. Результаты анализа используются для количественного сравнения с соответствующими данными экспериментов, поставленных в университете Висконсин - Мэдисон (США). Продемонстрировано хорошее согласие между теоретическими и экспериментальными данными.

В разд. 4.2 теоретическая модель применена к описанию динамики сферической поры в ионном кристаллическом материале при воздействии линейно поляризованного микроволнового электромагнитного поля. Показана возможность деформации поры вдоль вектора электрического поля. Результаты анализа сопоставляются с данными экспериментального исследования формы пор в керамическом материале, спекаемом при нагреве линейно поляризованным микроволновым излучением. В этом экспериментальном исследовании, выполненном в Исследовательском центре Карлсруэ (Германия), наблюдалось удлинение пор и их предпочтительная ориентация, связанная с направлением вектора электрического поля, что хорошо согласуется с полученными теоретическими результатами.

В разд. 4.3 рассматривается влияние пондеромоторных эффектов на процесс спекания керамического материала. В начале раздела показано, что за счет эффектов усиления электрического поля в области межзеренных контактов возникает дополнительный перенос массы из межзеренной границы вдоль поверхностей зерен. Это облегчает закрытие замкнутых пор при спекании керамических материалов в случае использования микроволнового нагрева. Далее приведены результаты расчетов, выполненных в двумерной геометрии, которые показывают, что благодаря усредненному пондеромоторному воздействию микроволнового поля происходит закрытие ограненных пор, устойчивых к закры-

тию при обычном спекании. Результаты моделирования выражены в терминах континуальной теории спекания

В разд. 4.4 выполнена интерпретация экспериментов по микроволновому отжигу наноструктурных пористых мембран, описанных в разд. 2.2. В начале раздела рассматривается общий вопрос об устойчивости пор в мембранах к закрытию под действием поверхностного натяжения и приложенных внешних механических напряжений. Получены выражения для равновесной формы пор и условия их устойчивости. Показано, что приложение внешних напряжений к поверхности мембраны изменяет условия устойчивости так, что часть пор, которые в отсутствие напряжений были равновесными, при приложении напряжений закрываются. Далее проведено моделирование эволюции формы пор в мембранах при нагреве за счет действия поверхностной диффузии. Выполнены расчеты распределения эффективных механических напряжений, возникающих благодаря усредненному пондеромоторному воздействию микроволнового поля, и показано, что действие таких напряжений может ускорять процесс закрытия пор в мембранах в случае использования микроволнового нагрева.

В разд. 4.5 рассмотрены эффекты усредненного пондеромоторного воздействия микроволнового поля у плоской поверхности кристаллического твердого тела или внутренней поверхности раздела фаз. Продемонстрирована возможность развития гофриро-вочной неустойчивости поверхности или границы легированного слоя в случае, когда вектор электрического поля направлен тангенциально к ней. Рассмотрен также случай воздействия поля на периодическую концентрационную структуру с двумя сортами частиц с разной подвижностью. Полученные результаты позволяют интерпретировать эксперименты по исследованию динамики распада твердых растворов при микроволновом нагреве.

Глава 5 посвящена анализу процессов микроволнового нагрева композиционно неоднородных материалов. Эффективные диэлектрические свойства и теплопроводность неоднородных материалов, необходимые для моделирования процессов микроволнового нагрева, могут быть получены в приближении эффективной среды. В разд. 5.1 выполнены расчеты микроволнового поглощения в композиционных металлокерамических материалах, содержащих металлические включения в керамической матрице, в зависимости от концентрации металлической фракции и температуры. На основе результатов расчетов предложен метод экспериментального определения поглощения в композиционных мате-

риалах, использующий температурные измерения при нагреве данных материалов излучением миллиметрового диапазона в многомодовом резонаторе.

В разд. 5.2 описано моделирование спекания функционально-градиентных композитных материалов при микроволновом нагреве. В начале раздела на основе расчета термоупругих напряжений в слоистых системах продемонстрировано, что введение переходных слоев между материалами с различными коэффициентами теплового расширения позволяет снизить напряжения. Далее представлены результаты моделирования спекания градиентного металлокерамического композиционного материала (с плавным концентрационным переходом от чистого металла к чистой керамике) при микроволновом нагреве. На каждой итерации моделирования рассчитывается распределение электромагнитного поля в градиентном слое, мощности энерговыделения и температуры, а затем методом кинетических кривых спекания рассчитывается уплотнение материала в каждой точке концентрационного профиля.

В разд. 5.3 описано моделирование процесса получения реакционно-связанного нитрида кремния азотированием кремниевого порошка при нагреве микроволновым излучением. В течение процесса азотирования рассматриваемая среда является неоднородной, поскольку содержит вещества с различным уровнем и характером микроволнового поглощения - кремний, нитрид кремния и азот. На основании выполненных расчетов исследована зависимость протекания процесса от свойств исходного материала и условий теплоизоляции.

В главе 6 рассматриваются процессы микроволнового нагрева сильнопоглощаю-щих материалов. В разд. 6.1 обсуждаются особенности микроволнового нагрева сильно-поглощающих материалов в аппликаторах со стоячей волной, в которых пучности электрического и магнитного полей пространственно разделены. Сформулированы условия эффективного нагрева в таких аппликаторах образцов с различным уровнем потерь.

В разд. 6.2 рассматривается микроволновый нагрев порошковых электропроводящих материалов. Показано, что нагрев таких материалов может быть эффективным, если проводящие частицы порошка окружены тонкими диэлектрическими (например, оксидными) оболочками. Приведены результаты расчетов динамики микроволнового нагрева прессовок из таких порошков и распределений температуры в них.

В разд. 6.3 обсуждается распределение электромагнитного поля и мощности тепло-

выделения при микроволновом нагреве прессовок из порошковых электропроводящих материалов. Продемонстрировано, что в зависимости от свойств материала частиц порошка и их диэлектрических оболочек тепловыделение может иметь поверхностный или объемный характер. При изменении свойств с температурой характер тепловыделения может изменяться в ходе процесса нагрева. Результаты расчетов подтверждены данными экспериментов, использующих многоканальное измерение температуры.

В разд. 6.4 рассматривается высокоскоростной импульсный отжиг кремниевых структур интенсивным излучением миллиметрового диапазона. Выполнены расчеты, показывающие, что данный метод высокоскоростного нагрева может обеспечить эффективное ограничение диффузионного расплывания имплантированных примесных атомов, что позволяет успешно использовать его для создания полупроводниковых структур с малыми топологическими размерами. Обсуждаются вопросы повышения эффективности нагрева путем применения согласующих устройств, уменьшающих отражение излучения от кремниевых пластин.

В Заключении сформулированы основные результаты диссертации.

Диссертация выполнена в Институте прикладной физики РАН. По теме диссертации автором опубликовано около 80 научных работ. Основные результаты диссертации опубликованы в работах [А1 - А41], отдельный список которых приведен в конце диссертации. Среди этих работ 23 статьи в отечественных и зарубежных рецензируемых журналах, 17 статей в сборниках трудов международных и всероссийских конференций и 1 патент РФ на изобретение.

Изложенные в диссертации результаты обсуждались на семинарах в Институте прикладной физики РАН, а также в Нижегородском государственном университете им. Н. И. Лобачевского, Институте физики микроструктур РАН (г. Нижний Новгород), Национальном исследовательском ядерном университете МИФИ (г. Москва), Университете Карлсруэ (Германия). Результаты докладывались автором на ряде международных и всероссийских конференций:

- ежегодные конференции Materials Research Society, США (1994, 1996);

- 10-я Зимняя школа по механике сплошных сред (Екатеринбург, 1995);

- конференция-школа НАТО «Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing» (Италия, 1995);

- 3-е Международное совещание "Strong Microwaves in Plasmas" (Нижний Новгород, 1997);

- 1-й Всемирный конгресс по микроволновой обработке (США, 1997);

- 9-й Всемирный керамический конгресс - Cimtec (Италия, 1998);

-3-й Международный Харьковский симпозиум "Physics and Engineering of Millimeter and Submillimeter Waves" (Украина, 1998);

- 7-я Международная конференция по микроволновому и высокочастотному нагреву (Испания, 1999);

- 2-й Всемирный конгресс по микроволновой и радиочастотной обработке (США, 2000);

- конференция-школа НАТО "Functional Gradient Materials and Surface Layers Prepared by Fine Particles Technology" (Украина, 2000);

- Всероссийский семинар по вакуумной СВЧ электронике (Нижний Новгород, 2001);

- 4-я Международная конференция по электрическим зарядам в непроводящих материалах (Франция, 2001);

- 8-я Международная конференция по микроволновому и высокочастотному нагреву (Германия, 2001);

-3-й Всемирный конгресс по микроволновым и радиочастотным приложениям (Австралия, 2002);

- 4-й Всероссийский семинар по физике микроволн (Нижний Новгород, 2003);

- 9-я Международная конференция по микроволновому и высокочастотному нагреву (Великобритания, 2003);

- 4-й Всемирный конгресс по микроволновым и радиочастотным приложениям (США, 2004);

- Всероссийский семинар по радиофизике миллиметрового и субмиллиметрового диапазона (Нижний Новгород, 2005);

- 17-е Российско-Германское совещание по ЭЦР нагреву и гиротронам (Германия, 2005);

- Международный семинар «Проблемы моделирования и развития технологии получения керамики» (Киргизская республика, 2005);

- 11-я Международная конференция по микроволновому и высокочастотному нагреву (Румыния, 2007);

- 8-е Международное совещание "Strong Microwaves: Sources and Applications" (Нижний Новгород, 2008, приглашенный доклад)

- Глобальный конгресс по приложениям микроволновой энергии (Япония, 2008);

- V Международная научная конференция «Кинетика и механизм кристаллизации. Кристаллизация для нанотехнологий, техники и медицины» (Иваново, 2008);

- Всероссийская научно-практическая конференция «Функциональная керамика -2009» (Нижний Новгород, 2009);

- Международная конференция «Materials Science and Technology (MS&T) 2009» (США, 2009);

- IX Международная конференция по спеканию (Украина, 2009, приглашенный доклад);

- 22-е Российско-Германское совещание по ЭЦР нагреву и гиротронам (Нижний Новгород, 2010);

- Международная научно-техническая конференция «Нанотехнологии функциональных материалов» (Санкт-Петербург, 2010).

- 2-й Глобальный конгресс по приложениям микроволновой энергии (США, 2012).

Заключение диссертации по теме «Радиофизика», Рыбаков, Кирилл Игоревич

Заключение

В заключение сформулируем основные результаты диссертации.

1. Разработана теоретическая модель усредненного пондеромоторного воздействия микроволнового излучения на заряженные вакансии в кристаллических материалах с ионной связью. Показано, что за счет нелинейного выпрямления потоков вакансий, возникающего при взаимодействии возмущений концентрации вакансий с высокочастотным электрическим полем, может возникать нейтральный массоперенос в объеме кристаллических частиц и вдоль их поверхности. Интенсивность такого массопереноса определяется диэлектрическими свойствами материала и характерным масштабом его микроструктуры. Показано, что данный эффект может быть существенным в условиях, характерных для процессов высокотемпературной обработки материалов, в частности, спекания.

2. Построены решения задач об эволюции микроструктуры керамических материалов при их микроволновом нагреве за счет усредненного пондеромоторного воздействия. В частности, показано, что в линейно поляризованном высокочастотном поле изолированная сферическая частица материала и изолированная сферическая пора в нем испытывают деформацию одноосного сжатия вдоль вектора электрического поля. Данный результат подтвержден экспериментальными наблюдениями формы пор в керамическом материале, нагреваемом линейно поляризованным микроволновым излучением. Также продемонстрировано, что благодаря эффекту электростатического усиления поля в ограненных порах усредненное пондеромоторное воздействие приводит к ускорению закрытия таких пор и уплотнения материала при спекании.

3. Показано, что в ионном кристалле с различными коэффициентами диффузии положительно и отрицательно заряженных вакансий усредненное пондеромоторное воздействие микроволнового излучения приводит к формированию распределения электростатического потенциала и возникновению электродвижущей силы. Данный результат подтвержден экспериментальными измерениями постоянных токов, индуцируемых в ионном кристалле, включенном в замкнутую электрическую цепь, при воздействии на него микроволнового излучения.

4. Обнаружено нетепловое воздействие микроволнового излучения в процессах эволюции пористой структуры в наноструктурных материалах на основе оксида алюминия. Предложена интерпретация наблюдаемых эффектов ускоренного закрытия пор в на-ноструктурных мембранах за счет поверхностной диффузии на основе модели усредненного пондеромоторного воздействия микроволнового излучения в твердых телах. Получены выражения для равновесной формы пор в мембранах и условия их устойчивости к закрытию. Показано, что приложение к поверхности мембраны внешних напряжений, в том числе обусловленных усредненным пондеромоторным воздействием, изменяет условия устойчивости так, что часть пор, которые в отсутствие напряжений были равновесными, при приложении напряжений закрываются.

5. Обнаружено, что микроволновый нагрев приводит к снижению температуры последовательности полиморфных фазовых превращений в наноструктурном оксиде алюминия по сравнению с традиционным нагревом, при этом механизм фазового превращения, по-видимому, остается неизменным. Установлено, что скорость процессов фазовых превращений зависит от интенсивности микроволнового излучения, причем эта зависимость имеет немонотонный характер: максимальный эффект наблюдается при умеренной напряженности поля.

6. Предложены методы и разработаны компьютерные программы для моделирования процессов высокотемпературной микроволновой обработки композиционно неоднородных материалов. На основе результатов расчетов предложен метод экспериментального определения поглощения в композиционных материалах, использующий температурные измерения при нагреве данных материалов излучением миллиметрового диапазона в многомодовом резонаторе. Выполнено моделирование спекания градиентного металлоке-рамического композиционного материала при микроволновом нагреве, а также моделирование процесса получения реакционно-связанного нитрида кремния азотированием кремниевого порошка при нагреве микроволновым излучением.

7. Предложены методы моделирования и разработаны компьютерные программы для расчета микроволнового поглощения в сильнопоглощающих материалах, в том числе порошковых металлах. Показано, что микроволновый нагрев таких материалов может быть эффективным, если проводящие частицы порошка окружены тонкими диэлектрическими (например, оксидными) оболочками. Продемонстрировано, что в зависимости от свойств материала частиц порошка и их диэлектрических оболочек тепловыделение может иметь поверхностный или объемный характер. При изменении свойств в зависимости от температуры характер тепловыделения может изменяться в ходе процесса нагрева. Результаты расчетов подтверждены данными экспериментов, использующих многоканальное измерение температуры.

8. Выполнено моделирование высокоскоростного импульсного отжига кремниевых структур интенсивным излучением миллиметрового диапазона. На основе расчетов динамики поля температур продемонстрировано, что данный метод высокоскоростного нагрева может обеспечить эффективное ограничение диффузионного расплывания имплантированных примесных атомов, что позволяет успешно использовать его для создания полупроводниковых структур с весьма малыми топологическими размерами.

Список работ автора, в которых опубликованы основные результаты диссертации

Al. Rybakov К. I., Semenov V. Е. Possibility of plastic deformation of an ionic crystal due to the nonthermal influence of a high-frequency electric field // Phys. Rev. В. 1994. V. 49, No. l.P. 64-68.

A2. Rybakov К. I., Semenov V. E. Mass transport and dc electromotive force induced in ionic crystals by high-frequency electric field // Solid State Ionics IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 369). Edited by G.-A. Nazri, J.-M. Tarascon, M. Schreiber. Pittsburgh: Materials Research Society, 1995. P. 263-268.

A3. Rybakov К. I., Semenov V. E. Mass transport in ionic crystals induced by the ponderomotive action of high-frequency electric field // Phys. Rev. B. 1995. V. 52, No. 5. P. 3030-3033.

A4. Rybakov К. I., Semenov V. E. Densification of powder materials in a nonuniform temperature field // Phil. Mag. A. 1996. V. 73, No. 2. P. 295-307.

A5. Rybakov К. I., Semenov V. E. Possibility of microwave-controlled surface modification // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M.F. Iskander, J.O. Kiggans, J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 435^40.

A6. Rybakov К. I., Semenov V. E. Nonthermal action of microwaves upon transport processes in ionics (effects, mechanisms, and verification) // Proc. Intl. Symp. on Microwave, Plasma and Thermochemical Processing of Advanced Materials. Edited by S. Miyake, M. Samandi. Osaka: JWRI, 1997. P. 20-25.

A7. Rybakov К. I., Semenov V.E. Charge and mass transport in inhomogeneous solids induced by microwave fields // Proc. 3rd Intl. Workshop "Strong Microwaves in Plasmas". Edited by A.G. Litvak. Нижний Новгород: НПФ РАН, 1997. Т. 1, С. 374-379.

А8. Rybakov К. I., Semenov V. Е., Freeman S. A., Booske J. Н., Cooper R. F. Dynamics of microwave-induced currents in ionic crystals // Phys. Rev. B. 1997. V. 55, No. 6. P. 35593567.

A9. Calame J. P., Rybakov К. I., Carmel Y., Gershon D. Electric field intensification in spherical neck ceramic microstructures during microwave sintering // Microwaves: Theory and application in materials processing IV (Ceramic Transactions, Vol. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P. 135-142.

A10. Booske J. H., Cooper R. F., Freeman S. A., Rybakov К. I., Semenov V. E. Microwave ponderomotive forces in solid state ionic plasmas // Phys. Plasmas. 1998. V. 5, No. 5. P. 1664-1670.

All. Martin L. P., Dadon D., Rosen M., Gershon D., Rybakov К. I., Birman A., Calame J. P., Levush В., Carmel Y., Hutcheon R. Effects of anomalous permittivity on the microwave heating of zinc oxide // J. Appl. Phys. 1998. V. 83, No. 1. P. 432-437.

A12. Rybakov К. I., Semenov V. E. Non-thermal effects in microwave sintering of ceramics // Ceramics: Getting Into the 2000's - Part С (Proc. 9th Cimtec - World Ceramic Congress). Edited by P. Vincenzini. Faenza: Techna Sri, 1999. P. 397-404.

A13. Rybakov К. I., Semenov V. E. Stability of pores in solid membrane films // J. Mater. Sci. Lett. 2000. V. 19, No. 20. P. 1851-1854.

A14. Bykov Yu. V., Egorov S. V., Eremeev A. G., Rybakov К. I., Semenov V. E., Sorokin A. A. Microwave processing of nanostructured and functional gradient materials // Functional Materials. 2001. V. 8, No. 1. P. 71 - 76.

A15. Bykov Yu. V., Egorov S. V., Eremeev A. G., Rybakov К. I., Semenov V. E., Sorokin A. A., Gusev S. A. Evidence for microwave enhanced mass transport in the annealing of nanoporous alumina membranes // J. Mater. Sci. 2001. V. 36. P. 131-136.

A16. Bykov Yu. V., Rybakov К. I., Semenov V. E. High-temperature microwave processing of materials (topical review) // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V. 34. P. R55 - R75.

A17. Быков Ю. В., Рыбаков К. И., Семенов В. Е. Микроволновая высокотемпературная обработка материалов // Вакуумная СВЧ электроника (сборник обзоров). Под ред. М. И. Петелина. Нижний Новгород: Институт прикладной физики РАН, 2002. С. 26-35.

А18. Быков Ю. В., Еремеев А. Г., Жарова Н. А., Плотников И. В., Рыбаков К. И., Дроздов М. Н. , Дроздов Ю. Н., Скупов В. Д. Диффузионные процессы в полупроводниковых структурах при микроволновом отжиге // Известия вузов. Радиофизика. 2003. Т. 46. С. 836 - 843.

А19. Bykov Yu. V., Egorov S. V., Eremeev A. G., Rybakov К. I., Zharova N. A., Lobaev M. A., Fliflet A. W., Lewis D., Imam M. A., Rachkovskii A. I. Microwave joining of ZrC>2 and

AI2O3 ceramics via nanostructured interlayers // Nanostructures: Synthesis, Functional Properties and Applications (NATO Science Series: II: Mathematics, Physics and Chemistry: Vol. 128). Edited by T. Tsakalakos, I. A. Ovid'ko, A. K. Vasudevan. Dordrecht: Kluwer, 2003. P. 413 -426.

A20. Egorov S. V., Eremeev A. G., Rybakov К. I., Semenov V. E., Sorokin A. A., Gusev S. A. Microwave intensity-dependent mass transport enhancement in nanostructured alumina membranes // Microwave and Radio Frequency Applications (Proceedings of the Third World Congress on Microwave and Radio Frequency Applications). Edited by D.C. Folz, J.H. Booske, D.E. Clark, and J.F. Gerling. Westerville, OH: The American Ceramic Society. 2004. P. 167 — 174.

A21. Bykov Yu. V., Eremeev A. G., Plotnikov I. V., Rybakov К. I., Semenov V. E. Ultra-rapid millimeter-wave annealing of silicon wafers // Abstracts of the Fourth World Congress on Microwave and Radio Frequency Applications. Austin: AIChE, 2004. P. 71-72.

A22. Быков Ю. В., Морозкин M. В., Рыбаков К. И. Моделирование реакций азотирования и окисления кремния при микроволновом нагреве // Международный семинар «Проблемы моделирования и развития технологии получения керамики». Бишкек: Изд-во КРСУ, 2005. С. 50-52.

А23. Рыбаков К. И., Семенов В. Е. Микроволновый нагрев электропроводящих материалов // Известия вузов. Радиофизика. 2005. Т. 48. С. 997 - 1004.

А24. Semenov V. Е., Rybakov К. I. What type of transport phenomena can be induced by microwave field in solids and how these phenomena contribute to materials processing // Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources (Proceedings of the International Symposium, MAPEES'04, 2004, Osaka, Japan). Edited by S. Miyake. Oxford: Elsevier, 2005. P. 111-117.

A25. Rybakov К. I., Semenov V. E., Egorov S. V., Eremeev A. G., Plotnikov I. V., Bykov Yu. V. Microwave heating of conductive powder materials // J. Appl. Phys. 2006. V. 99. P. 023506.

A26. Semenov V. E., Rybakov К. I. Enhanced mass and charge transfer in solids exposed to microwave fields // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 472^81.

А27. Eremeev A. G., Plotnikov I. V., Holoptsev V. V., Rybakov К. I., Rachkovskii A. I. Absorption of millimeter waves in composite metal-ceramic materials // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 591-597.

A28. Egorov S. V., Rybakov К. I., Semenov V. E., Bykov Yu. V., Kanygina O. N., Kulumbaev E. В., Lelevkin V. M. Role of convective heat removal and electromagnetic field structure in the microwave heating of materials // J. Mater. Sci. 2007. V. 42. P. 2097-2104.

A29. Rybakov К. I., Semenov V. E., Link G., Thumm M. Preferred orientation of pores in ceramics under heating by a linearly polarized microwave field // J. Appl. Phys. 2007. V. 101. P. 084915.

A30. Eremeev A. G., Plotnikov I. V., Rybakov К. I., Bykov Yu. V., Rachkovskii A. I. Comparative study of diffusion rates during lead titanate synthesis under microwave and conventional heating // Proc. 11th International Conference on Microwave and High Frequency Heating. Edited by A.M. Silaghi and I.M. Gordan. Oradea: Editura Universitatii din Oradea, 2007. P. 232 - 235.

A31. Kulumbaev E. В., Semenov V. E., Rybakov К. I. Stability of microwave heating of ceramic materials in a cylindrical cavity // J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. V. 40. P. 6809-6817.

A32. Rybakov К. I., Eremeev A. G., Egorov S. V., Bykov Yu. V., Pajkic Z., Willert-Porada M. Effect of microwave heating on phase transformations in nanostructured alumina // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. V. 41. P. 102008.

A33. Rybakov К. I., Eremeev A. G., Egorov S. V., Bykov Yu. V., Otto I., Pajkic Z., Willert-Porada M. Phase transformations and pore structure evolution in nanostructured alumina under variable-power microwave heating // Proc. Global Congress on Microwave Energy Applications. Tokyo: Japan Society of Electromagnetic Wave Energy Applications, 2008. P. 241 -246.

A34. Быков Ю. В., Егоров С. В., Еремеев А. Г., Холопцев В. В., Рыбаков К. И., Сорокин А. А. Спекание варисторной керамики на основе ZnO излучением миллиметрового диапазона // Перспективные материалы. 2008. Специальный выпуск (6), декабрь. Ч. 2. С. 46-50.

A35. Bykov Yu. V., Rybakov К. I. Microwave sintering of nanostructured ceramics // Strong Microwaves: Sources and Applications (Proc. VII International Workshop). Edited by A.G. Litvak. Nizhny Novgorod: Institute of Applied Physics, 2009. V. 2. P. 431 - 441.

A36. Егоров С. В., Еремеев А. Г., Плотников И. В., Рыбаков К. И., Холопцев В. В., Быков Ю. В. Поглощение микроволнового излучения в металлокерамических порошковых материалах // Известия вузов - Радиофизика. 2010. Т. 53, № 5-6. С. 393 - 402.

А37. Bykov Yu. V., Egorov S. V., Eremeev A. G., Kholoptsev V. V., Plotnikov I. V., Rybakov К. I., Semenov V. E., Sorokin A. A. Effects of microwave heating in nanostructured ceramic materials // Powder Metallurgy and Metal Ceramics. 2010. V. 49, No. 1-2. P. 31-41.

A38. Быков Ю. В., Егоров С. В., Еремеев А. Г., Плотников И. В., Рыбаков К. И., Семенов В. Е., Сорокин А. А., Холопцев В. В. Создание металлокерамических функционально-градиентных материалов спеканием при микроволновом нагреве // Физика и химия обработки материалов. 2011. № 4. С. 52-61.

А39. Быков Ю. В., Рыбаков К. И., Семенов В. Е. Спекание наноструктурных керамических материалов при микроволновом нагреве // Российские нанотехнологии. 2011. Т. 6, № 9-10. С. 60-71.

А40. Rybakov К. I., Olevsky Е. A., Semenov V. Е. The microwave ponderomotive effect on ceramic sintering // Scripta Materialia. 2012. V. 66, No. 12. P. 1049-1052.

A41. Быков Ю. В., Еремеев А. Г., Егоров С. В., Плотников И. В., Рыбаков К. И., Холопцев В. В. Устройство для спекания керамического изделия с использованием нагрева микроволновым излучением и приложением внешнего давления // Патент РФ № 2352540. - 2009.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Рыбаков, Кирилл Игоревич, 2013 год

Список литературы

1. Clark D. E., Sutton W. H. Microwave processing of materials // Annual Review of Materials Science. 1996. V. 26. P. 299-331.

2. Thostenson E. T., Chou T.-W. Microwave processing: fundamentals and applications // Composites Part A: Applied Science and Manufacturing. 1999. V. 30, No. 9. P. 1055-1071.

3. Ku H. S., Siores E., Ball J. A. R. Review - Microwave processing of materials // Trans. Hong Kong Inst. Eng. 2001. V. 8, No. 3. P. 31 - 50.

4. Das S., Mukhopadhyay A. K., Datta S., Basu D. Prospects of microwave processing: An overview // Bull. Mater. Sci. 2009. Vol. 32, No. 1. P. 1-13.

5. Advances in Induction and Microwave Heating of Mineral and Organic Materials / Edited by S. Grundas // Rijeka: InTech, 2011. - 752 pp.

6. Chandrasekaran S., Ramanathan S., Basak T. Microwave Material Processing—A Review // AIChE Journal. 2012. V. 58 [2]. P. 330-363.

7. Galema S. A. Microwave chemistry // Chemical Society Reviews. 1997. V. 26. P.233 -

238.

8. Zong L., Zhou S., Sgriccia N., Hawley M. C., Kempel L. C.. A review of microwave-assisted polymer chemistry (MAPC) // J. Microw. Power. Electromagn. Energy. 2003. V. 38, No. l.P. 49-74.

9. Venkatesh M. S., Raghavan G. S. V. An Overview of Microwave Processing and Dielectric Properties of Agri-food Materials // Biosystems Engineering. 2004. V. 88, No. l.P. 118.

10. Vongpradubchai S., Rattanadecho P. The microwave processing of wood using a continuous microwave belt drier // Chemical Engineering and Processing: Process Intensification. 2009. V. 48, No. 5. P. 997-1003.

11. Microwave Solutions for Ceramic Engineers / Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, C. E. Folgar, M. M. Mahmoud // New York: Wiley, 2005. - 494 pp.

12. Rao K. J., Vaidhyanathan B., Ganguli M., Ramakrishnan P. A. Synthesis of inorganic solids using microwaves // Chemistry of Materials. 1999. V. 11, No. 4. P. 882-895.

13. Makino Y., Ohmae T., Setsuhara Y., Miyake S., Sano S. Sintering of A1203 - ZrC>2 composites using millimeter-wave radiation // Key Engineering Materials. 1999. V. 161-163. P. 41-44.

14. Willert-Porada M., Borchert R. Microwave sintering of metal-ceramic FGM // Functionally Graded Materials, edited by I. Shiota and Y. Miyamoto. Amsterdam: Elsevier, 1997. P. 349-354.

15. Gupta M., Wong Wai Leong E. Microwaves and Metals // Singapore: Wiley, 2007. -

228 pp.

16. Oda S. J. Microwave Remediation of Hazardous Waste: A Review // Microwave Processing of Materials III (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 269). Edited by R. L. Beatty, W. H. Sutton and M. F. Iskander. Pittsburgh: Materials Research Society, 1992. P.453-464.

17. Zhang S.-L., Buchta R., Sigurd D. Rapid thermal processing with microwave heating // Thin Solid Films. 1994. V. 246, No. 1/2. P. 151-157.

18. Microwave processing of materials // Publication NMAB-473. Washington: National Academy Press, 1994. - 150 pp.

19. Janney M. A., Kimrey H. D., Allen W. R., Kiggans J. O. Enhanced diffusion in sapphire during microwave heating // J. Mater. Sci. 1997. V. 32. P. 1347-1355.

20. Whittaker, A. G. Diffusion in microwave-heated ceramics // Chem. Mater. 2005. V. 17. P. 3426-3432.

21. Robb G. R., Harrison A., Whittaker A G. Temperature-resolved, in-situ powder X-ray diffraction of silver iodide under microwave irradiation // Phys. Chem. Comm. 2002. V. 5. P. 135 - 137.

22. Osepchuk J. M. A history of microwave heating applications. // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1984. V. 32, No. 9. P. 1200 - 1224.

23. Tinga W. R., Voss W. A. G. Microwave Power Engineering // New York: Academic Press, 1968.

24. Berteaud A. J., Badot J. C. High Temperature Microwave Heating in Refractory Materials // J. Microwave Power. 1976. V. 11, No. 4. P. 315-320.

25. Sutton W. H. Microwave processing of ceramics - an overview // Microwave Processing of Materials III (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 269).

Edited by R.L. Beatty, W.H. Sutton, M.F. Iskander. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 3-20.

26. Meek Т. Т., Holcombe С. E., Dykes N. Microwave sintering of some oxide materials using sintering aids. // J. Mat. Sci. Lett. 1987. V. 6, No. 8. P. 1060 - 1062.

27. Johnson D. L. Microwave and Plasma Sintering of Ceramics // Ceramics International. 1991. V. 17. P. 295-300.

28. Science and technology of microwave-induced, thermally non-equilibrium reaction fields (MEXT Prime Area Research Project) // Proc. Global Congress on Microwave Energy Applications. Tokyo: Japan Society of Electromagnetic Wave Energy Applications, 2008. P. 77 -78.

29. Katz J. D. Microwave sintering of ceramics // Annu. Rev. Mater. Sci. 1992. V. 22. P. 153-170.

30. Agrawal D. K. Microwave processing of ceramics: A review // Current Opinion in Solid State & Mat. Sci. 1998. V. 3, No. 5. P. 480-486.

31. Binner J. G. P., Vaidhyanathan B. Microwave sintering of ceramics: what does it offer? // Key Engineering Materials. 2004. V. 264-268. P. 725-730.

32. Oghbaei M., Mirzaee O. Microwave versus conventional sintering: A review of fundamentals, advantages and applications // Journal of Alloys and Compounds. 2010. V. 494, No. 1-2. P. 175-189.

33. Wang J., Binner J. G. P., Vaidhyanathan В., Joomun N., Kilner J., Dimitrakis G., Cross Т. E. Evidence for the microwave effect during hybrid sintering // J. Am. Ceram. Soc. 2006. V. 89. P. 1977-1984.

34. Harmer M. P., Brook R. J. Fast Firing - Microstructural Benefits // J. Brit. Ceramic Soc. 1981. V. 80. P. 147-148.

35. Tjong S. C., Chen H. Nanocrystalline Materials and Coatings // Mater. Sci. Eng. R.

2004. V. 45. No. 1-2. P. 1-88.

36. Meyers M. A., Mishra A., Benson D. J. Mechanical properties of nanocrystalline materials // Progress in Materials Sciences. 2006. V. 51. No. 4. P. 427-556.

37. Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии // M.: Физматлит,

2005.-416 с.

38. Liao S.-C., Chen Y.-J., Kear В. H., Mayo W. E. High pressure / low temperature sintering of nanocrystalline alumina // Nanostructured Materials. 1998. V. 10, No. 6. P. 10631079.

39. Echeberria J., Tarazona J., He J. Y., Butler Т., Castro F. Sinter-HIP of a-alumina powders with sub-micron grain sizes // J. Europ. Ceram. Soc. 2002. V. 22, No. 11. P. 1801-1809.

40. Srdic V. V., Winterer M., Hahn H.. Sintering behavior of nanocrystalline zirconia prepared by chemical vapor synthesis // J. Am. Ceram. Soc. 2000. V. 83, No. 4. P. 729-736.

41. Basu В., Lee J. H., Kim D. Y. Development of Nanocrystalline wear resistant Y-TZP ceramics // J. Am. Ceram. Soc. 2004. V. 87, No. 9. P. 1771-1774.

42. Li J., Ye Y. Densification and grain growth of AI2O3 nanoceramics during pressureless sintering // J. Am. Ceram. Soc. 2006. V. 89, No. 1. P. 139-143.

43. Bykov Yu., Eremeev A., Egorov S., Ivanov V., Kotov Yu., Khrustov V., Sorokin A. Sintering of Nanostructural Titanium Oxide Using Millimeter-Wave Radiation // Nanostructured Materials. 1999. V. 12. P. 115-118.

44. Егоров С. В., Еремеев А. Г., Плотников И. В., Сорокин А. А., Быков Ю. В., Чувильдеев В. Н., Грязнов М. Ю., Шотин С. В. Пластическая деформация ультрадисперсной оксидной керамики при микроволновом нагреве // Российские нанотехнологии. 2008. Т. 3, № 5-6. С. 9-12.

45. Link G., Rhee S., Thumm M. Dilatometer measurements in a mm-wave oven // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing, edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 506-513.

46. Peelamedu R., Badzian A., Roy R., Martukanitz R. P. Sintering of Zirconia Nanopowder by Microwave Laser Hybrid Process // J. Am. Ceram. Soc. 2004. V. 87, No. 9. P. 1806-1809.

47. Binner J. G. P., Annapoorani K., Paul A., Santacruz I., Vaidhyanathan B. Dense nanostructured zirconia by two stage conventional/hybrid microwave sintering // Journal of the European Ceramic Society. 2008. V. 28. P. 973-977.

48. Ishizaki K., Nagata K., Hayashi T. Production of Pig Iron from Magnetite Ore-Coal Composite Pellets by Microwave Heating // ISIJ International. 2006. V. 46, No. 10. P. 14031409.

49. Hara K., Hayashi M., Sato M., Nagata K. Continuous Pig Iron Making by Microwave Heating with 12.5 kW at 2.45 GHz // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 2011. V. 45, No. 3. P. 137- 147.

50. Roy R. Agrawal D., Cheng J., Gedevanishvili S. Full sintering of powdered-metal bodies in a microwave field // Nature. 1999. V. 399. P. 668 - 670.

51. Mondal A. Microwave Sintering of Metals // Saarbrücken: Lambert Academic Publishing, 2011. -212 pp.

52. Gerdes T., Willert-Porada M. Microwave sintering of metal-ceramic and ceramic-ceramic composites // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M.F. Iskander, W.H. Sutton, R. J. Lauf. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 531-538.

53. Functionally Graded Materials: Design, Processing and Applications (Materials Technology Series) / Edited by Y. Miyamoto, W.A. Kaysser, B.H. Rabin, A. Kawasaki, R.G. Ford // Boston: Kluwer, 1999. - 352 pp.

54. Freeman S. A., Booske J. H., Cooper R. F. Modeling and numerical simulations of microwave-induced ionic transport // J. Appl. Phys. 1998. V. 83, No. 11. P. 5761 - 5772.

55. Freeman S. A., Booske J. H., Cooper R. F. Microwave field enhancement of charge transport in sodium chloride. // Phys. Rev. Lett. 1995. V. 74, No. 11. P. 2042 - 2045.

56. Buchelnikov V. D., Louzguine-Luzgin D. V., Xie G., Li S., Yoshikawa N., Sato M., Anzulevich A. P., Bychkov I. V., Inoue A. Heating of metallic powders by microwaves: Experiment and theory // J. Appl. Phys. 2008. V. 104, No. 11. P. 113505.

57. Abraham M. The classical theory of electricity and magnetism // London -Glasgow: Blackie & Son, 1937. - 285 pp.

58. Dielectric materials and applications / Edited by A. R. Von Hippel // Cambridge: MIT Technology Press, 1954. - 456 pp.

59. Afsar M.N., Birch J.R., Clarke R.N. The measurement of the properties of materials // Proc. IEEE. 1986. V. 74. P. 183-199.

60. Varadan V. K., Ma Y., Lakhtakia A., Varadan V. V. Microwave sintering of ceramics // Microwave Processing of Materials (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 124). Edited by W. H. Sutton, M. H. Brooks, I. J. Chabinsky. Pittsburgh: Materials Research Society, 1988. P. 45-47

61. Kriegsmann G. A. Thermal runaway in microwave heated ceramics: a one-dimensional model // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. P. 1960-1966.

62. Janney M. A., Kimrey H. D. Diffusion-controlled processes in microwave-fired oxide ceramics // Microwave Processing of Materials II (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 189). Edited by W. B. Snyder, W. H. Sutton, M. F. Iskander, D. L. Johnson. Pittsburgh: Materials Research Society, 1990. P. 215-227.

63. Bykov Yu. V., Gol'denberg A. L., Flyagin V. A. The possibilities of material processing by intense millimetre-wave radiation // Microwave Processing of Materials II (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 189). Edited by W. B. Snyder, W. H. Sutton, M. F. Iskander, D. L. Johnson. Pittsburgh: Materials Research Society, 1990. P. 41-42.

64. Link G., Ivanov V., Paranin S., Khrustov V., Böhme R., Müller G., Schumacher G., Thumm M., Weisenburger A. A comparison of mm-wave sintering and fast conventional sintering of nanocrystalline AI2O3 // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 157-162.

65. Eastman J. A., Sickaius K. E., Katz J. D., Boeke S. G., Blake R. D., Evans C. R., Schwarz R. B., Liao Y. X. Microwave sintering of nanocrystalline TiC>2 // Microwave Processing of Materials II (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 189). Edited by W. B. Snyder, W. H. Sutton, M. F. Iskander, D. L. Johnson. Pittsburgh: Materials Research Society, 1990. P. 273-278.

66. Ho W. W. High-temperature dielectric properties of polycrystalline ceramics // Microwave Processing of Materials (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 124). Edited by W. H. Sutton, M. H. Brooks, I. J. Chabinsky. Pittsburgh: Materials Research Society, 1988. P. 137-148.

67. Birman A., Levush B., Carmel Y., Gershon D., Dadon D., Martin L. P., Rosen M. Modeling of multi-frequency microwave sintering of ZnO ceramic // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, V. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 305-312.

68. Gerdes T., Willert-Porada M., Rödiger K. Microwave sintering of tungsten carbide cobalt hardmetals // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society

Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 45-50.

69. Carr G. L., Perkowitz S., Tanner D. B. Far-infrared properties of inhomogeneous materials // Infrared and Millimeter Waves. Edited by K. J. Button. New York: Academic Press, 1985. V. 13. P. 171-263.

70. Bergman D. J., Stroud D. Physical properties of macroscopically inhomogeneous media // Solid State Physics: Advances in Research and Applications. Edited by H. Ehrenreich, D. Turnbull. New York: Academic Press, 1992 .V. 46 .P. 147-269.

71. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М.. Электродинамика сплошных сред. 3-е изд. // М.: Наука, 1992.-664 с.

72. Johnson D. L. Microwave heating of grain boundaries in ceramics // J. Amer. Ceram. Soc. 1991. V. 74. P. 849-850.

73. Roussy G., Bennani A., Thiebaut J. M. Temperature runaway of microwave irradiated materials // J. Appl. Phys. 1987. V. 62, No. 4. P. 1167-1170.

74. Semenov V. E., Zharova N. A. Thermal runaway and hot spots under controlled microwave heating // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 482-490.

75. Senko H., Tran V. N. Control of microwave induced thermal runaway using temperature derivative feedback // Microwaves: Theory and application in materials processing IV (Ceramic Transactions, Vol. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, and D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P. 241-250.

76. Kingery W. D., Bowen H. K., Uhlmann D. R. Introduction to ceramics. 2nd ed. // New York: Wiley, 1976. - 1032 pp.

77. Гегузин Я. E. Физика спекания. 2-е изд. // М.: Наука, 1984. - 312 с.

78. Rahaman М. N. Ceramics processing and sintering. 2nd ed. New York: Marcel Dekker, 2003.-875 pp.

79. Lu Ch., Mai Y.-W., Shen Y.-G. Recent advances on understanding the origin of superhardness in nanocomposite coatings: A critical review // J. Mater. Sci. 2006. V. 41. P. 937950.

80. Овидько И. А., Скиба Н. В., Шейнерман А. Г. Влияние зернограничного скольжения на трещиностойкость нанокристаллических керамик // ФТТ. 2008. Т. 50, № 7. С.1211 - 1215.

81. Heitjans P., Indris S. Fast diffusion in nanocrystalline ceramics prepared by ball milling // J. Mater. Sci. 2004. V. 39. P. 5091-5096.

82. Vassen R., Stover D. Processing and properties of nanophase non-oxide ceramics // Mater. Sci. Eng. A. 2001. V. 301. P. 59-68.

83. Duran P., Capel F., Tartaj J., Moure C. Sintering behavior and electrical properties of nanosized doped-ZnO powders produced by metallorganic polymeric processing // J. Am. Ceram. Soc. 2001. V. 84. P. 1661-1668.

84. Gruverman A., Kholkin A. Nanoscale ferroelectrics: processing, characterization and future trends // Rep. Prog. Phys. 2006. V. 69. P. 2443-2474.

85. Taflove A., Hagness S. C. Computational electrodynamics: the finite-difference timedomain method. 3rd ed. // Boston: Artech House Publishers, 2005. - 1038 pp.

86. Jin J. The finite element method in electromagnetics. 2nd ed. // New York: Wiley-IEEE Press, 2002. - 780 pp.

87. Christopoulos C. The transmission-line modeling (tlm) method in electromagnetics // San Rafael: Morgan & Claypool, 2006. - 132 pp.

88. Gibson W. C. The method of moments in electromagnetics // London: Chapman & Hall/CRC, 2008. - 288 pp.

89. Ida N. Engineering electromagnetics, 2nd ed. // New York: Springer, 2004. - 1235

pp.

90. Zhao X., Yan L., Huang K. Review of numerical simulation of microwave heating process // Advances in Induction and Microwave Heating of Mineral and Organic Materials. Edited by S. Grundas. Rijeka: InTech, 2011. P. 27 - 48.

91. Metaxas A. C., Meredith R. J. Industrial microwave heating // London: Peter Peregrinus on behalf of the Institution of Electrical Engineers, 1983. - 357 pp.

92. Fu W., Metaxas A. Numerical prediction of 3-dimensional power-density distributions in a multimode cavity // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 1994. V. 29, No. 2. P. 67-75.

93. Ehlers R. A., Dibben D. C., Metaxas A. C. The effect of wall losses in the numerical simulation of microwave heating problems // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 2000. V. 35, No. 4. P. 199-215.

94. Ehlers R. A., Metaxas A. C. Application of the resistive sheet in finite element microwave heating systems // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 2001. V. 36, No. 2. P. 7787.

95. Malan D. H., Parallel computing in microwave heating analysis // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 2002. V. 37, No. 4. P. 215-222.

96. Hallac A., Metaxas A. C. Modelling of industrial conveyorized applicators using higher order vector finite elements // J. Microw. Power Electromagn. Energy. V. 40, No. 2. P. 101-108.

97. Grotjohn T. A., Asmussen J. Numerical simulation of resonant cavity microwave systems for materials processing // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 357 - 362.

98. Kopyt P., Gwarek W. K. High-Q applicators for microwave processes in material science // IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest. 2010. P. 1048-1051.

99. White M. J., Iskander M. F., Huang Z. Development of a multigrid FDTD code for three-dimensional applications // IEEE Transactions on Antennas and Propagation. 1997. V. 45, No. 10. P. 1512-1517.

100. Tranquilla J. M., Al-Rizzo H. M., Clark K. G. An Overview of electromagnetic modeling of single- and multi-mode applicators at EMR microwave technology corporation // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 309 - 317.

101. Huang Z., Iskander M. F., Tucker J., Kimrey H. D. FDTD modeling of realistic microwave sintering experiments // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M. F. Iskander, R. J. Lauf, and W. H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 331 - 345.

102. Darcovich K., Biton J., Magnier J. Calculation of the electromagnetic field in a multimode microwave cavity for sintering planar-perovskite SOFC ceramics // J. Electroceram. 2007. V. 19, No. 2-3. P.195-206.

103. Iskander M.F., Smith R.L., Andrade A.O.M., Kimrey H., Walsh L.M. FDTD simulation of microwave sintering of ceramics in multimode cavities // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1994. V. 42, No. 5. P. 793-800.

104. Gerdes T., Park H.-S., Rosin A., Schmidt A., Willert-Porada M. Microwave antenna array for high temperature material processing // IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest. 2010. P. 1424-1427.

105. Friedlander F. I., Jackson H. W., Barmatz M., Wagner P. Comparison of finite-difference and analytic microwave calculation methods // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 333 - 337.

106. Dibben D. C., Fu W. B., Metaxas R. A. C. Numerical models for the sintering of ceramics in a multimode cavity // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 347). Edited by M.F. Iskander, R.J. Lauf, and W.H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 305 - 310.

107. Hile C. V., Kriegsmann G. A. A hybrid numerical method for modeling microwave sintering experiments // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 319 - 324.

108. Xie G. Q., Suzuki M., Louzguine-Luzgin D. V., Li S., Tanaka M., Sato M., Inoue A. Analysis of electromagnetic field distributions in a 915 mhz single-mode microwave applicator // Prog. Electromagn. Res. 2009. V. 89. P. 135-148.

109. Craven M. P., Cross T. E., Binner J. G. P. Enhanced computer modelling for high temperature microwave processing of ceramic materials // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 351 - 356.

110. Amri A., Saidane A. TLM modelling of microwave sintering of multiple alumina samples // IEE Proc-Sci. Meas. Technol. 2004. V. 151, No. 4. P. 259-266.

111. Amri A., Saidane A. TLM simulation of microwave hybrid sintering of multiple samples in a multimode cavity // Int. J. Numer. Model. 2003. V. 16. P. 271-285.

112. Yakovlev Y. V. Examination of contemporary electromagnetic software capable of modeling problems of microwave heating // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 178 - 190.

113. Chen L. X., Lei C., Ning Z., Jin C. S., Yin Y. S. 3D electromagnetic simulation study for the distribution of electromagnetic field of microwave sintering cavity // Multifunctional materials and structures II (Advanced Materials Research, V. 79-82, part 1-2). Edited by Y. S. Yin, X. Wang. 2009. P. 2247-2250.

114. Veronesi P., Leonelli C., Poli G., Denti L., Gatto A. Microwave rapid debinding and sintering of MIM/CIM parts // Advances in sintering science and technology (Ceramic Transactions, V. 209). Edited by R. K. Bordia, E. A. Olevsky. Westerville: The American Ceramic Society, 2010. P. 259-270.

115. Feher L., Link G., Thumm M. Microwave raytracing in large overmoded industrial resonators // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, V. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 159 - 166.

116. Feher L., Link G., Thumm M. The MiRa/Thesis 3D code package for resonator design and modeling of millimeter-wave material processing // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 363-368.

117. Semenov V. E., Poznyakova V. I., Shereshevskii I. A., Zharova N. A. Microwave field distribution inside an oversized cavity: comparison of calculations within the ray tracing method with exact solutions // Proc. 7th International Conference on Microwave and High Frequency Heating. Edited by J.M. Catala-Civera, F.L. Penaranda-Foix, D. Sanchez-Hernandez, E. Reyes. Valencia: Universidad Politécnica de Valencia, Spain, 1999. P.57 - 60.

118. Zhou L., Liu G., Zhou J., Cheng J. Finite element computer model of microwave heated ceramics // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic

Transactions, V. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 323 - 332.

119. Zhu S. P., Zhang Y. L., Marchant T. R. A DRBEM model for microwave-heating problems // Appl. Math. Model. 1995. V. 19, No. 5. P. 287-297.

120. Shukla A. K., Mondai A., Upadhyaya A. Numerical modeling of microwave heating // Sci. Sinter. 2010. V. 42. P. 99-124.

121. Peng Z., Hwang J-Y., Andriese M., Bell W., Huang X., Wang X. Numerical simulation of heat transfer during microwave heating of magnetite // ISIJ Int. 2011. V. 51, No. 6. P. 884-888.

122. Roussy G., Chenot P., Colin P., Thiebaut J. M. Contrôle du chauffage microonde des matériaux granulés // Thermochim. Acta. 1980. V. 41, No. 2. P. 225-236.

123. Roussy G., Mercier J. Temperature runaway of microwave heated materials: study and control // J. Microwave Power. 1985. V. 20, No. l.P. 47-51.

124. Coleman C. J. On the microwave hotspot problem // J. Aust. Math. Soc. Series B-Applied Mathematics 1991. V. 33. P. 1-8.

125. Spotz M. S., Skamser D. J., Johnson D. L. Thermal-stability of ceramic materials in microwave-heating // J. Amer. Ceram. Soc. 1995. V. 78, No. 4. P. 1041-1048.

126. Booty M., Kriegsmann G. Microwave heating and joining of ceramic cylinders: a mathematical model // Meth. Appl. Anal. 1994. V. 4. P. 403-414.

127. Ward M. J. Thermal runaway and microwave heating in thin cylindrical domains // IMA J. Appl. Math. 2002. V. 67, No. 2. P. 177-200.

128. Pincombe A. H., Smyth N. F. Microwave-heating of materials with low conductivity // Proc. Royal Society of London Series A-Mathematical Physical and Engineering Sciences. 1991. V. 433, No. 1889. P. 479-498.

129. Vriezinga C. A. Thermal profiles and thermal runaway in microwave heated slabs // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. P. 3774-3779.

130. Gupta N., Midha V., Balakotaiah V., Economou D. J. Bifurcation analysis of thermal runaway in microwave heating of ceramics // J. Electrochem. Soc. 1999. V. 146, No. 12. P. 4659-4665.

131. Reimbert C. G., Minzoni A. A., Smyth N. F. Effect of radiation losses on hotspot formation and propagation in microwave heating // IMA J. Appl. Math. 1996. V. 57, No. 2. P. 165-179.

132. Alpert Y., Jerby E. Coupled thermal-electromagnetic model for microwave heating of temperature-dependent dielectric media // IEEE Trans. Plasma Sci. 1999. V. 27, No. 2. P. 555562.

133. Parris P. E., Kenkre V. M. Thermal runaway in ceramics arising from the temperature dependence of the thermal conductivity // Phys. Status Solidi B. 1997. V. 200, No. l.P. 39-47.

134. Jackson H. W., Barmatz M., Wagner P. Transient temperature behavior of a sphere heated by microwaves // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing II (Ceramic Transactions, V. 36). Edited by D. E. Clark, W. R. Tinga, J. R. Laia. Westerville: The American Ceramic Society, 1993. P. 189-199.

135. Liu B., Marchant T. R. The microwave heating of two-dimensional slabs with small arrhenius absorptivity // IMA J. Appl. Math. 1999. V. 62, No. 2. P. 137-166.

136. Kriegsmann G. A. Cavity effects in microwave heating of ceramics // SIAM J. Appl. Math. 1997. V. 57, No. 2. P. 382-400.

137. Reimbert C. G., Jorge M. C., Minzoni A. A., Vargas C. A. Temperature modulations in a circuit model of microwave heating // J. Eng. Math. 2002. V. 44. P. 199-206.

138. Wu X., Thomas J. R., Davis W. A. Control of thermal runaway in microwave resonant cavities // J. Appl. Phys. 2002. V. 92. P. 3374-3380.

139. Alliouat M., Lecluse Y., Massieu J., Mazo L. Control algorithm for microwave sintering in a resonant system // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 1990. V. 25, No. 1. P. 25-31.

140. Liu B., Marchant T. R. The occurrence of limit-cycles during feedback control of microwave heating // Math. Comput. Modelling. 2002. V. 35, No. 9-10. P. 1095-1118.

141. Beale G. O., Arteaga F. J., Black W. M. Design and evaluation of a controller for the process of microwave joining of ceramics // IEEE Trans. Ind. Electron. 1992. V. 39, No. 4. P. 301-312.

142. Tian Y. L., Black W. M., Sa'adaldin H. S., Ahmad I., Silberglitt R. Dynamic model for electromagnetic field and heating patterns in loaded cylindrical cavities" // Microwaves:

Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, Vol. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 261-268.

143. Peng H., Tinga W. R., Sundararaj U., Eadie R. L. Microwave sintering process model // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 2003. V. 38, No. 4. P. 243-258.

144. Lasri J., Ramesh P. D., Schachter L. Energy conversion during microwave sintering of a multiphase ceramic surrounded by a susceptor // J. Amer. Ceram. Soc. 2000. V. 83, No. 6. P. 1465-1468.

145. Mishra P., Sethi G., Upadhyaya A. Modeling of microwave heating of particulate metals // Metall. Mater. Trans. B. 2006. V. 37, No. 5. P. 839-845.

146. Duan Y., Sorescu D. C., Johnson J. K. Finite element approach to microwave sintering of oxide materials // Proc. COMSOL Users Conference, Boston, 2006.

147. Santos T., Valente M. A., Monteiro J., Sousa J., Costa L. C. Electromagnetic and thermal history during microwave heating // Appl. Therm. Eng. 2011. V. 31, No. 16. P. 32553261.

148. Birnboim A., Carmel Y. Simulation of microwave sintering of ceramic bodies with complex geometry // J. Am. Ceram. Soc. 1999. V. 82, No. 11. P. 3024-3030.

149. Egorov S. V., Zharova N. A., Bykov Yu. V., Semenov V. E. Microwave sintering of large-size ceramic workpieces // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 577-582.

150. Bouvard D., Charmond S., Carry C. P. Finite element modelling of microwave sintering // Advances In Sintering Science And Technology (Ceramic Transactions, V. 209). Edited by R. K. Bordia, E. A. Olevsky. Westerville: The American Ceramic Society, 2010. P. 173-180.

151. Su H., Johnson D. L. Master sintering curve: a practical approach to sintering // J. Am. Ceram. Soc. 1996. V. 79, No. 12. P. 3211-3217.

152. Olevsky E. A. Theory of sintering: from discrete to continuum // Mater. Sci. & Eng. R. 1998. V. 23. P. 41-100.

153. Chatterjee A., Basak T., Ayappa K. G. Analysis of microwave sintering of ceramics // AIChE J. 1998. V. 44, No. 10. P. 2302-2311.

154. Darcovich K., Whitfield P. S., Amow G., Shinagawa K., Miyahara R. Y. A microstructure based numerical simulation of microwave sintering of specialized SOFC materials // J. Eur. Ceram. Soc. 2005. V. 25. P. 2235-2240.

155. Riedel R., Svoboda J. Simulation of microwave sintering with advanced sintering models // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 210 - 216.

156. Patterson M. C. L., Kimber R. M., Apte P. S. The Properties of Alumina Sintered in a 2.45 GHz Microwave Field // Microwave Processing of Materials II (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 189). Edited by W. B. Snyder, W. H. Sutton, M. F. Iskander, D. L. Johnson. Pittsburgh: Materials Research Society. 1990. P. 257-266.

157. Patterson M. C. L., Apte P. S., Kimber R. M., Roy R. Batch Process for Microwave Sintering of Si3N4 // Microwave Processing of Materials III (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 269). Edited by R. L. Beatty, W. H. Sutton and M. F. Iskander. Pittsburgh: Materials Research Society, 1992. P. 291-300.

158. Gerdes T., Willert-Porada M., Rodiger K., Dreyer K. Microwave reaction sintering of tungsten carbide cobalt hardmetals // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 175-180

159. Kiggans J. O., Tiegs T. N. Characterization of Sintered Reaction-Bonded Silicon Nitride Processed by Microwave Heating // Microwave Processing of Materials III (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 269). Edited by R. L. Beatty, W. H. Sutton and M. F. Iskander. Pittsburgh: Materials Research Society, 1992. P. 285—290.

160. Palmour H., Huckabee M. L., Hare T. M. Micro structural development during optimized rate controlled sintering // Ceramic Microstructures, V. 176. Edited by R. M. Fulrath, J. A. Pask. Boulder: Westview Press, 1977. P. 308-319.

161. Kimrey H. D., Kiggans J. O., Janney M. A., Beatty R. L. Microwave sintering of zirconia-toughened alumina composites // Microwave Processing of Materials II (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 189). Edited by W. B. Snyder, W. H. Sutton, M. F. Iskander, D. L. Johnson. Pittsburgh: Materials Research Society. 1990. P. 243-256

162. Freim J., McKittrick J., Katz J., Sickafus K. Phase transformation and densificaron behavior of microwave sintered Y-AI2O3 // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M. F. Iskander, R. J. Lauf, and W. H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 525-530.

163. Egorov S., Eremeev A., Sorokin A., Bykov Yu., Rachkovskii A., Poduretz A. Millimeter-wave sintering and joining of nanoceramics // Proc. X APAM Topical Seminar and III Conference "Materials of Siberia" "Nanoscience and Technology". Novosibirsk, 2003. P. 162-163.

164. Kao H.-Ch., Wei W.-Ch. Kinetics and microstructural evolution of heterogeneous transformation of 0-alumina to a-alumina // J. Am. Ceram. Soc. 2000. V. 83. P. 362-368.

165. Egorov S. V., Eremeev A. G., Kholoptsev V. V., Plotnikov I. V., Sorokin A. A., Bykov Yu. V., Kotov Yu. A., Ivanov V. V., Chuvil'deev V. N., Gryaznov M. Yu., Shotin S. V. Sintering and mechanical properties of ultrafine alumina ceramics under microwave heating // Strong Microwaves: Sources and Applications (Proc. VII International Workshop). Edited by A.G. Litvak. Nizhny Novgorod: Institute of Applied Physics, 2009. V. 2. P. 504-508.

166. Nightingale S. A., Worner H. K., Dunne D. P. Microstructural development during the microwave sintering of yttria-zirconia ceramics // J. Am. Ceram. Soc. 1997. V. 80. P. 394400.

167. Vaidhyanathan B., Binner J. G. P., Liang Y. Conventional and microwave processing of nanocrystalline YSZ // Proc. 9th Int. Conf. Microwave and RF Heating. Edited by J. Binner. Loughborough: Loughborough University, 2003. P. 63-66.

168. Chen L.-W., Wang X.-H. Sintering dense nanocrystalline oxide without final stage grain growth // Nature. 2000. V. 404. P. 168-171.

169. Kimura H., Yamazaki Y. Millimeter wave thermo-mechanical processing for bulk nanocrystalline ceramics // Proc. Int. Microwave Power Institute 40th Annual Symposium. 2006. P. 52-55.

170. Kellet B., Lange F. F. Stress induced by differential sintering in powder compact // J. Am. Ceram. Soc. 1984. V. 67. P. 369-371.

171. Hamlyn M. G., Hart N. A., Evans N. G. A combined microwave and electric radiant heating system for firing ceramics // Microwaves: Theory and application in materials processing

IV (Ceramic Transactions, Vol. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P. 555-562.

172. Saji T. Microwave sintering of large products //Microwave Processing of Materials

V (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 15-20.

173. Thomas J. J., Jesse R. R., Johnson D. L., Jennings H.M. Nitridation of non-isothermal silicon compacts // Microwave Processing of Materials III (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 269). Edited by R. L. Beatty, W. H. Sutton and M. F. Iskander. Pittsburgh: Materials Research Society, 1992. P. 277-283.

174. Binner J. G. P., Al-Dawery I. A., Anerziris C., Cross T. E. Use of the Inverse Thermal Profile in Microwave Processing of Advanced Ceramics // Microwave Processing of Materials III (Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol. 269). Edited by R. L. Beatty, W. H. Sutton and M. F. Iskander. Pittsburgh: Materials Research Society, 1992. P. 357362.

175. Yin Y., Binner J. G. P., Cross T. E. Microwave Assisted Chemical Vapour Infiltration for Ceramic Matrix Composites // Microwaves: Theory and application in materials processing IV (Ceramic Transactions, Vol. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P. 349-356.

176. Kim H. C., Kim H. Y., Woo S. I. Ultrapyrolisis of chlorodifluoromethane in a fluidized bed reactor heated by microwave energy // Microwaves: Theory and application in materials processing IV (Ceramic Transactions, Vol. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P. 593-600.

177. Willert-Porada M. Microwave processing of metalorganics to form powders, compacts, and functional gradient materials // MRS Bulletin. 1993. V. XVIII, No. 11. P. 51-57

178. Willert-Porada M. Novel routes to microwave processing of ceramic materials // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M. F. Iskander, R. J. Lauf, and W. H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 31-43.

179. Paton B. E., Sklyarevich V. E., Slusarczuk M. M. Gyroton processing of materials // MRS Bulletin. 1993. V. XVIII, No. 11. P. 58-63.

180. Miyamoto Y., Niino M., Koizumi M. FGM research programs in Japan from structural to functional uses // Functionally Graded Materials (Proc. 4th Int. Symp. FGM' 96). Edited by I. Shiota and Y. Miyamoto. Amsterdam: Elsevier, 1997. P. 1-8.

181. Agrawal D., Breval E., Cheng J., Gigl P., Roy R. Graded steel-tungsten carbide/cobalt diamond systems using microwave heating // Functionally Graded Materials Technology Leveraged Applications, Proc. 2002 Int. Conf. Princeton: Metal Powder Industry Publ., 2002. P. 50-58.

182. Tap R., Willert-Porada M., Rodiger K., Klupsch R. Formation of Functionally Graded Cemented Carbides by Microwave Assisted Sintering in Reactive Atmosheres // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 609-615.

183. Liu X. Q., Wang Y. S., Zhu J. H. Epoxy resin/polyurethane functionally graded material prepared by microwave irradiation // J. Applied Polymer Science. 2004. V. 94. P. 994 -999.

184. Katakam S., Krishna D. S. R., Kumar T. S. S. Microwave processing of functionally graded bioactive materials // Mater. Lett. 2003. V. 57. P. 2716-2721.

185. Meek T. T., Blake R. D. Ceramic-glass-ceramic seal by microwave heating // U.S. Patent No 4 529 857. 1985.

186. Fukushima H., Yamanaka T. and Matsui M. Microwave heating of ceramics and its application to joining // Microwave Processing of Materials (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 124). Edited by W. H. Sutton, M. H. Brooks, I. J. Chabinsky. Pittsburgh: Materials Research Society, 1988. P. 267-272

187. Cozzi A. D., Ferber M. K., Clark D. E. Microwave Joining of Alumina Ceramics // Microwaves: Theory and application in materials processing IV (Ceramic Transactions, Vol. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P.465-474.

188. Tinga W R, Xu J. D., Vermeulen F. E. Open coaxial microwave spot joining applicator // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, V. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 347-355.

189. Davis P., Binner J., Cross Т., Fernie J. The role of glassy grain boundary phases in the microwave joining of alumina // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M. F. Iskander, R. J. Lauf, and W. H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 655-660.

190. Binner J. G. P., Davis P. A., Cross Т. E., Fernie J. A. Microwave joining of engineering ceramics // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, V. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 335-346.

191. Bykov Yu., Eremeev A., Flyagin V., Kaurov V., Kuftin A., Luchinin A., Malygin O., Plotnikov I., Zapevalov V. The gyrotron system for ceramics sintering // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, V. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P.133-140.

192. Handbook of plasma processing technology fundamentals, etching, deposition, and surface interactions / Edited by S. M. Rossnagel, J. J. Cuomo, W. D. Westwood // Park Ridge: Noyes Publ., 1990. - 523 pp.

193. Gerk Ch., Willert-Porada M. Laser assisted microwave processing as a new tool in ceramic processing // Microwaves: Theory and Application in Material Processing V (Ceramic Transactions, V. Ill), edited by D. E. Clark, J. G. P. Binner, D. A. Lewis. Westerville: The American Ceramic Society. 2001. P. 451—458.

194. Быков Ю. В., Еремеев А. Г. Возможности технологического использования мощного электромагнитного излучения миллиметрового диапазона длин волн // Высокочастотный разряд в волновых полях. Под ред. А Г Литвака. Горький: Институт прикладной физики, 1988. С. 265-289.

195. Bykov Y. V., Egorov S.V., Ermeev A.G., Holoptsev V.V., Sorokin A. A. Millimeter-wave radiation in technology - two approaches to processing of materials // Proc. Intern. Symp. on Microwave, Plasma and Thermochemical Processing of Advanced Materials, edited by Sh. Miyake, M. Samandi. Osaka: JWRI, 1997. P. 2-8.

196. Schiffmann R. F. Commercializing microwave systems: paths to success or failure // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, V. 59).

Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 7-16.

197. Kennedy M. J. Commercialization of microwave processes // Microwaves: Theory and Application in Materials Processing III (Ceramic Transactions, V. 59). Edited by D. E. Clark, D. C. Folz, S. J. Oda, R. Silberglitt. Westerville: The American Ceramic Society, 1995. P. 43-54.

198. Tinga W. R. Microwave and RF energy utilization - an expert and audience perspectives // Microwaves: Theory and application in materials processing IV (Ceramic Transactions, V. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P. 715-725.

199. Snyder W. B., Sutton W. H., Iskander M. F., Johnson D. L. Preface // Microwave Processing of Materials II (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 189). Edited by W. B. Snyder, W. H. Sutton, M. F. Iskander, D. L. Johnson. Pittsburgh: Materials Research Society. 1990. P. XI-XII.

200. Subirais M., Iskander M. F., White M. J., Kiggans J. FDTD simulation of microwave sintering in large (500/4000 liter) multimode cavities // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 2936.

201. Fathi Z., Tucker D. A., Lewis W. A., Wei J. B. Industrial applications of variable frequency microwave energy in materials processing // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 21-28.

202. Chenevier P., Cohen J., Kamarinos G. Pulsed annealing of semiconductors by microwave energy // J. Physique-Lettres. 1982. V. 43. P. L291 - L294.

203. Rothman S. J. Critical assessment of microwave-enhanced diffusion // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M. F. Iskander, R. J. Lauf, and W. H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 9-18.

204. Pert E., Carmel Y., Birnboim A., Olorunyolemi Т., Gershon D., Calame J., Lloyd I. K., Wilson О. C. Temperature measurements during microwave processing: the significance of thermocouple effects // J. Am. Ceram. Soc. 2001. V. 84, No. 9. P. 1981-1986.

205. Bolomey J. Ch., Joachimowicz N. Dielectric metrology via microwave tomography: present and future // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M. F. Iskander, R. J. Lauf, and W. H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 259-268.

206. Beruto D., Botter R., Searcy A. W. Influence of temperature gradients on sintering: experimental tests of a theory // J. Am. Ceram. Soc. 1989. V. 72. P. 232-235.

207. Young R. M., McPherson R.: Temperature-gradient-dtiven diffusion in rapid-rate sintering//J. Am. Ceram. Soc. 1989. V. 72. P. 1080-1081.

208. Анненков Ю. M., Ивашутенко А. С. Физическая модель спекания и модифицирования керамики в высокочастотных и сверхвысокочастотных полях // Известия Томского политехнического университета. 2005. Т. 308, № 7. С. 30-35.

209. Bykov Y., Eremeev A., Holoptsev V. Experimental study of the non-thermal effect in microwave sintering of piezoceramics // Microwave Processing of Materials IV (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Edited by M. F. Iskander, R. J. Lauf, and W. H. Sutton. Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 585-590.

210. Москвитин В. В. Сопротивление вязко-упругих материалов // М.: Наука, 1972.

211. Zhang, J., Yang, Y., Cao, L., Chen, S., Shong, X., Xia, F. Microwave sintering of nanocrystalline Zr02 powders // Microwave Processing of Materials IV, edited by M.F. Iskander, R.J. Lauf, and W.H. Sutton (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Pittsburgh: Materials Research Society, 1994. P. 591-596.

212. Stuerga D. A. C., Gaillard P. Microwave athermal effects in chemistry: a myth's autopsy // J. Microw. Power Electromagn. Energy. 1996. V. 31. P. 87-113.

213. Booske J. H., Cooper R. F. How the coupling of microwave and RF energy in materials can affect solid state charge and mass transport and result in unique processing effects // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 461^471.

214. Lee J. N., Choi Y. W., Lee B. J., Ahn В. T. Microwave-induced low-temperature crystallization of amorphous silicon thin films // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. P. 2918-2921.

215. Rowley А. Т., Wroe R., Vazquez-Navarro D., Lo W., Cardwell D. A. Microwave-assisted oxygenation of melt-processed bulk УВагСизСЬ-б ceramics // J. Mater. Sci. 1997. V. 32. P. 4541^4547.

216. Wilson D. A., Lee K.-Y., Case E. D. Diffusive crack-healing behavior in polycrystalline alumina: a comparison between microwave annealing and conventional annealing // Mater. Res. Bull. 1997. V. 32. P. 1607-1616.

217. Кащеев В. А., Полуэктов П. П. Использование переменного электрического поля для стимулирования диффузионного потока заряженной примеси // Письма в ЖТФ. 1991. Т. 17, №16. С. 18-21.

218. Booske J. Н., Cooper R. F., Dobson I. Mechanisms for nonthermal effects on ionic mobility during microwave processing of crystalline solids // J. Mater. Res. 1992. V. 7, No. 2. P. 495-501.

219. Бохан Ю. И. Диффузия заряженной примеси в высокочастотном поле // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18, № 11. С. 6-8.

220. Endicott М. R., Kenkre V. М., Kus М. Theory of a confinement effect of dipole rotations resulting in saturation in microwave heating of ceramics // Phys. stat. sol. (b). 1994. V. 184, No. l.P. 99-111.

221. Гегузин Я. E., Овчаренко H. H. О движении макроскопических газовых включений в монокристалле NaCl под влиянием малых электрических полей // ДАН СССР. 1965. Т. 163, № 3. С. 621-623.

222. Косевич А. М. Поляризация и движение поры в ионном кристалле в электрическом поле // ФТТ. 1965. Т. 7, № 2. С. 451-458.

223. Lifshitz I. М., Kossevich А. М., Geguzin Ya. Е. Surface phenomena and diffusion mechanism of the movement of defects in ionic crystals // J. Phys. Chem. Solids. 1967. V. 28. P. 783-798.

224. Jeong, J.-W., Han J.-H., Kim D.-Y. Effect of electric field on the migration of grain boundaries in alumina // J. Am. Ceram. Soc. 2000. V. 83. P. 915-918.

225. Choi J.-I., Han J.-H., Kim D.-Y. Effect of titania and lithia doping on the boundary migration of alumina under an electric field // J. Am. Ceram. Soc. 2003. V. 86. P. 640-643.

226. Ghosh S., Chokshi A. H., Lee P., Raj R. A huge effect of weak dc electrical fields on grain growth in zirconia // J. Am. Ceram. Soc. 2009. V. 92, No. 8. P. 1856-1859.

227. Raj R., Cologna M., Francis J. S. C. Influence of externally imposed and internally generated electrical fields on grain growth, diffusional creep, sintering and related phenomena in ceramics // J. Amer. Cram. Soc. 2011. V. 94. P. 1941-1965.

228. Cologna M., Rashkova В., Raj R. Flash sintering of nanogram zirconia in <5 s at 850 °C // J. Am. Ceram. Soc. 2010. V. 93, No. 11. P. 3556-3559.

229. Yang D., Conrad H. Enhanced sintering rate of zirconia (3Y-TZP) by application of a small AC electric field // Scripta Mater. 2010. V. 63. P. 328-331.

230. Гетьман О. И., Паничкина В. В., Радченко П. Я., Самелюк А. В., Скороход В. В., Еремеев А. Г., Плотников И. В., Мацокин В. П. Влияние сверхвысокочастотного поля на диффузионные процессы в монокристаллах КС1-КВг // Порошковая металлургия. 2008. № 11-12. С. 46-56.

231. Joomun N. I., Kilner J. A., Wang J., Vaidhyanathan В., Binner J. G. P. Microwave hybrid annealing and its effect on oxygen diffusion in yttria-stabilized zirconia polycrystals // Proc. 9th Int. Conf. Microwave and RF Heating. Edited by J. Binner. Loughborough: Loughborough University, 2003. P. 405-408.

232. Wroe R., Rowley A. T. Evidence for a non-thermal microwave effect in the sintering of partially stabilized zirconia // J. Mater. Sci. 1996. V. 31. P. 2019-2026.

233. Willert-Porada M. A microstructural approach to the origin of "microwave effects" in sintering of ceramics and composites // Microwaves: Theory and application in materials processing IV (Ceramic Transactions, V. 80). Edited by D. E. Clark, W. H. Sutton, D. A. Lewis. Westerville: American Ceramic Society, 1997. P. 153-164.

234. Lange F. F. Sinterability of agglomerated powders // J. Am. Ceram. Soc. 1984. V. 67. P. 83-89.

235. Willert-Porada M. Microwave effects on spinodal decomposition // Microwave Processing of Materials V (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 430). Edited by M. F. Iskander, J. O. Kiggans, and J.-C. Bolomey. Pittsburgh: Materials Research Society, 1996. P. 403-409.

236. Li J., Huang Y., Xie Z.. Microwave interaction with ceramics and its application to spinodal decomposition // Mass and Charge Transport in Ceramics (Ceramic Transactions,

V.71). Edited by К. Koumoto, L. M. Sheppard, H. Matsubara. Westerville: American Ceramic Society, 1996. P. 259-268.

237. Гетьман О. И., Паничкина В. В., Радченко П. Я., Скороход В. В., Андреева М. Г., Еремеев А. Г., Холопцев В. В.. Особенности диффузионных процессов и структурообразования при спекании в условиях сверхвысокочастотного нагрева порошков с неограниченной взаимной растворимостью ВаТЮз-8гТЮз и АЬОз-СггОз // Порошковая металлургия. 2009. № 5/6. С. 52-53.

238. Thakur О. P., Prakash С., Agrawal D. К. Dielectric behavior of Bao 9sSro.o5Ti03 ceramics sintered by microwave // Mater. Sci. Eng. B. 2002. V. 96. P. 221-225.

239. Jones M., Valecillos M. C., Hirao K., Brito M. E., Toriyama M. Sintering behaviour and mechanical properties of microwave sintered silicon nitride // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 562-569.

240. Jung Y. M., Kim S. W. Effect of magnesium addition on the phase transformation of a-alumina prepared from route of ammonium aluminum carbonate hydroxide // Solid State Phenomena. 2008. V. 135. P. 139-142.

241. Harrison A., Ibberson R., Robb G., Whittaker G., Wilson C., Youngson D. In situ neutron diffraction studies of single crystals and powders during microwave irradiation // Faraday Discuss. 2002. V. 122. P. 363-379.

242. Roy R., Peelamedu R., Grimes C., Cheng J., Agrawal D. Major phase transformations and magnetic property changes caused by electromagnetic fields at microwave frequencies // J. Mater. Res. 2002. V. 17, No. 12. P. 3008-3011.

243. Roy R., Fang Y., Cheng J., Agrawal D. Decrystallizing solid crystalline titania, without melting, using microwave magnetic fields // J. Amer. Ceram. Soc. 2005. V. 88, No. 6. P. 1640-1642.

244. Ivanov V., Paranin S., Nozdrin A. Principles of pulsed compaction of ceramic nano-sized powders // Key Engineering Materials. 1997. V. 132-136. P. 400-403.

245. Kotov Yu. A. Electric explosion of wires as a method for preparation of nanopowders // J. Nanoparticle Research. 2003. V. 5. P. 539-550.

246. Ruano O, Wadsworth J, Sherby O. Deformation of fine-grained alumina by grain boundary sliding accommodated by slip // Acta Mater. 2003. V. 51. P. 3617-3634.

247. Lakki A., Schaller R., Carry C., Benoit W. High-temperature anelastic and viscoplastic deformation of fine-grained magnesia- and magnesia/yttria-doped alumina // J. Am. Ceram. Soc. 999. V. 82. P. 2181-2187.

248. Wakai F., Nagano Т., Iga T. Hardening in creep of alumina by Zr segregation at grain boundary // J. Am. Ceram. Soc. 1997. V. 80. P. 2361-2366.

249. Sung Y.-M., Kwak W.-C., Kim S. Kinetics of РЬТЮз perovskite phase formation via an interfacial reaction // J. Mater. Res. 2002. V. 17, No. 2. P. 407 - 412.

250. Bykov Yu., Eremeev A., Glyavin M., Kholoptsev V., Luchinin A., Plotnikov I., Denisov G., Bogdashev A., Kalynova G., Semenov V., Zharova N. 24-84-GHz gyrotron systems for technological microwave applications // IEEE Trans, on Plasma Science. 2004. V. 32. P. 6772.

251. Webb P. A., Orr C. Analytical methods in fine particle technology // Norcross: Micromeritics Instruments Corp., 1997. - 301 pp.

252. Emtage P. R. The physics of zinc oxide varistors // J. Appl. Phys. 1977. V. 48, No. 10. P. 4372-4384.

253. Clarke D. R. Varistor ceramics // J. Am. Ceram. Soc. 1999. V. 82. P. 485-502.

254. Levinson L. M., Comanzo H. A., Schultz W. N. Microwave sintering of ZnO varistor ceramics // Microwave Processing of Materials III (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 269). Edited by R. L. Beatty, W. H. Sutton and M. F. Iskander. Pittsburgh: Materials Research Society, 1992. P. 311-321.

255. Chen C.-S., Kuo C.-T., Wu T.-B., Lin I-N. Microstructures and electrical properties of V205-based multicomponent ZnO varistors prepared by microwave sintering process // Jpn. J. Appl. Phys. 1997. V. 36. P. 1169- 1175.

256. Birnboim A., Gershon D., Calame J., Birman A., Carmel Y., Rodgers J., Levush В., Bykov Yu. V., Eremeev A. G., Holoptsev V. V., Semenov V. E., Dadon D., Martin L. P., Rosen M., Hutcheon R. Comparative study of microwave sintering of zinc oxide at 2.45, 30, and 83 GHz//J. Am. Ceram. Soc. 1998. V. 81. P. 1493-1501.

257. The Rietveld method / edited by R.A. Young // Oxford: Oxford University Press, 1993.-298 pp.

258. Предводителев А. А., Тяпунина H. А., Зиненкова Г. M., Бушуева Г. В. Физика кристаллов с дефектами // М.: Издательство МГУ, 1986. - 240 с.

259. Лифшиц И. М., Гегузин Я. Е. Поверхностные явления в ионных кристаллах // ФТТ. 1965. Т. 7, № 1. С. 62-74.

260. Каур И., Густ В. Диффузия по границам зерен и фаз // М.: Машиностроение, 1991.-448 с.

261. Литвак А. Г. Динамические нелинейные электромагнитные явления // Сб.: Вопросы теории плазмы, под ред. М.А. Леонтовича. М.: Энергоатомиздат, 1980. Т. 10. С. 164-238.

262. Freeman S. A., Booske J., Cooper R. Novel method for measuring intense microwave radiation effects on ionic transport in ceramic materials // Rev. Sci. Instrum. 1995. V. 66, No. 6. P. 3606-3609.

263. Link G., Miksch S., Takayama S., Thumm M. Non-thermal effects of microwave fields onto the pore structure during sintering // Proceedings of the 1 st International Congress on Ceramics: A Global Roadmap (Toronto, 2006). Edited by S. Freiman. Chichester: Wiley, 2006. ISBN 0-470-11656-0.

264. Link G., Wolff M., Takayama S., Falk G., Clasen R., Thumm M. Evidence for nonthermal effects during microwave sintering of zirconia ceramics // Strong Microwaves in Plasmas (Proceedings of the 6th International Workshop). Edited by A.G.. Litvak. Nizhny Novgorod: Institute of Applied Physics, 2006. V. 2. P. 722-726.

265. Tabellion J., Clasen R. Electrophoretic deposition from aqueous suspensions for near-shape manufacturing of advanced ceramics and glasses- applications // J. Mater. Sci. 2004. V. 39. P. 803-811.

266. Freeman S. A. Investigations of non-thermal interactions between microwave fields and ionic ceramic materials / Ph.D. thesis, University of Wisconsin // Ann Arbor: University Microfilms International, 1996. - 156 pp.

267. Coble R. L. Sintering crystalline solids: I. Intermediate and final state diffusion models // J. Appl. Phys. 1963. V. 34. P. 1679-1682.

268. Johnson D. L. New method of obtaining volume, grain boundary, and surface diffusion coefficients from sintering data // J. Appl. Phys. 1969. V. 40. P. 192-200.

269. Ding L., Davidchack R. L., Pan J. A molecular dynamics study of sintering between nanoparticles // Сотр. Mater. Sci. 2009. V. 45. P. 247-256.

270. Корн Г.А., Корн T.M. Справочник по математике для научных работников и

инженеров // М.: Наука, 1974. - 832 с.

271. Sakaguchi I., Srikanth V., Ikegami Т., Haneda Н. Grain boundary diffusion of oxygen in alumina ceramics // J. Amer. Ceram. Soc. 1995. V. 78. P. 2557-2559.

272. Getman О. I., Panichkina V. V., Skorokhod V. V., Shevchenko E. A., Holoptsev V. V. Densification and diffusion processes in the Ba-Sr titanate system under microwave sintering // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006. P. 491 -497.

273. Calame J. P., Birman A., Carmel Y., Gershon D., Levush В., Sorokin A. A., Semenov V. E., Dadon D., Martin L. P., Rosen M. A dielectric mixing law for porous ceramics based on fractal boundaries // J. Appl. Phys. 1996. V. 80, No. 7. P. 3992-4000.

274. Bruggeman D. A: G. Berechnung verschiedener physikalischer Konstanten von heterogenen Substanzen, I. Dielektriziätskonstanten und Leitfähigkeiten der Mischkörper aus isotropen Substanzen // Ann. Phys-Berlin, Series 5. 1935. V. 24. P. 636-679.

275. Физические величины: Справочник / Под ред. И. С. Григорьева, Е. 3. Мейлихова // М.: Энергоатомиздат, 1991. - 1232 с.

276. Kremer F., Izatt, J. R. Millimeter-wave absorption measurements in low-loss dielectrics using an untuned cavity resonator // Int. J. Infrared Millimeter Waves. 1981. V. 2. P. 675 - 694.

277. Ландау JI. Д., Лифшиц Е. М. Теория упругости. 4-е изд. // М.: Наука, 1987. -

248 с.

278. Ravichandran К. S. Elastic Properties of Two-Phase Composites // J. Am. Ceram. Soc. 1994. V. 77. P. 1178-1184.

279. Tiegs Т. N., Kiggans J. O., Kimrey H. D. Microwave processing of silicon nitride // Microwave Processing of Materials II (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 189). Edited by W. B. Snyder, W. H. Sutton, M. F. Iskander, D. L. Johnson. Pittsburgh: Materials Research Society, 1990. P.267-272.

280. Tiegs Т. N., Kiggans J. O., Lin H. Т., Willkens С. A. Comparison of properties of sintered and sintered reaction-bonded silicon nitride fabricated by microwave and conventional heating // Microwave Processing of Materials IV, edited by M.F. Iskander, R.J. Lauf, and W.H. Sutton (Materials Research Society Symposium Proceedings, V. 347). Pittsburgh: Materials

Research Society, 1994. P. 501-506.

281. Stratton J. A. Electromagnetic Theory // New York: McGraw-Hill, 1941. - 615 pp.

282. Bykov Y., Glyavin M., Denisov G., Holoptsev V., Eremeev A., Plotnikov I., Pavlov N. 3.5 kW 24 GHz compact gyrotron system for microwave processing of materials // Advances in Microwave and Radio Frequency Processing (Proc. 8th International Conference on Microwave and High-Frequency Heating). Edited by M. Willert-Porada. Berlin: Springer, 2006.

283. Wait J. R. Electromagnetic radiation from cylindrical structures // London: Pergamon Press, 1959. - 200 pp.

284. Roozeboom F. History and perspectives of rapid thermal processing // Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing. Edited by F. Roozeboom. Dordrecht: Kluwer, 1996.

285. Thompson K., Booske J. H., Gianchandani Y., Cooper R., Bykov Yu., Eremeev A., Plotnikov I. Electromagnetic induction heating for cold wall rapid thermal processing // Proceedings of the 9th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors (Anchorage, 2001). Edited by D. P. De Witt, J. Gelpey, B. Lojek, Z. Nenyei. 2001. P. 190-196.

286. Bykov Yu. V., Eremeev A. G., Holoptsev V. V., Plotnikov I. V., Zharova N. A. Spike annealing of silicon wafers using millimeter-wave power // Proceedings of the 9th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors (Anchorage, 2001). Edited by D. P. De Witt, J. Gelpey, B. Lojek, Z. Nenyei. 2001. P. 232-239.

287. Gelpey J., Elliott K., Camm D., McCoy S., Ross J., Downey D. F., Arevalo E. A. Advanced annealing for sub-130nm junction formation // Rapid Thermal and Other Short-Time Processing Technologies III (Proceedings of the International Symposium). Edited by P. J. Timans. Pennington: the Electrochemical Society, 2002. P. 324-332.

288. Thompson K., Booske J. H., Ives L., Lohr J., Gorelov Y., Kajiwara K. Millisecond microwave annealing: Driving microelectronics nano // Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 2005. V. 23, No. 3. P. 970 - 978.

289. Westermann F., Maier W. Das Fabry-Perot-Interferometer im Mikrowellengebiet: I. Eine Diskussion unter den Voraussetzungen der Optik (Annahme vernachlässigbarer Beugungseffekte) // Zeitschrift fur Physik. 1964. V. 179, No. 3. P. 244-255.

P. 24 - 30.

P. 1-34.