Динамические свойства плазмы тлеющего разряда в условиях инициирования гетерогенных химических реакций тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат химических наук Никифоров, Антон Юрьевич

• Никифоров, Антон Юрьевич
• кандидат химических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат химических наук Никифоров, Антон Юрьевич

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

§1.1. Генерация активных частиц в неравновесной газоразрядной плазме.

§1.2. Основные закономерности взаимодействия неравновесной плазмы пониженного давления с полимерами.

§1.3. Особенности плазмы электроотрицательных газов.

§ 1.4. Типы неустойчивости плазмы тлеющего разряда. Влияние отрицательных ионов

§ 1.5. Модельное описание положительного столба тлеющего разряда.

ГЛАВА 2.

§ 2.1. Методы экспериментальных исследований.

§ 2.2. Методика компьютерных экспериментов.

ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ. ИЕРАРХИЯ МОДЕЛЕЙ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ.

§ 3.1. Обобщение и качественный анализ экспериментальных характери- 58 стик динамического поведения химически реагирующей плазмы.

§ 3.2. Постановка задачи разработки модели химически реагирующей не- 66 равновесной плазмы.

§ 3.3. Процессы, определяющие нелинейные свойства химически реагирующей неравновесной плазмы.

§ 3.4. «Парциальные» формальные модели химически реагирующей плазмы. Иерархия моделей и учет взаимодействия подсистем плазмы.

ГЛАВА 4. ОБСУЖДЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ДАННЫХ. РЕЗУЛЬ

ТАТЫ ЧИСЛЕННОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ.

§ 4.1. Переходные характеристики. Появление максимумов тока разряда и 86 интегральной интенсивности излучения

§ 4.2. Нестационарные модели химически реагирующей плазмы пониженного давления.

§ 4.3. Колебательные реакции, инициируемые плазмой. Математическая модель.

ВЫВОДЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Динамические свойства плазмы тлеющего разряда в условиях инициирования гетерогенных химических реакций»

Практическое применение низкотемпературной плазмы и в первую очередь ее использование для модифицирования поверхностных свойств различных материалов, в том

•числе для обработки изделий из пластмасс, полимерных пленок и тканей в промышленных масштабах требует развития новых подходов к ее исследованиям и описанию. Гетерогенные плазмохимические реакции, ведущие к модифицированию поверхностных свойств полимеров, сопровождаются выделением газообразных продуктов, так же как и изменением граничных условий, прежде всего, для самих гетерогенных превращений. Поток газообразных продуктов в типичных условиях плазмохимических реакторов близок к потоку исходного плазмообразующего газа. В результате, свойства плазмы оказываются в сильной зависимости от стимулируемых ею химических превращений. В результате, свойства плазмы оказываются в сильной зависимости от стимулируемых ею химических превращений, что в ряде случаев может приводить к нелинейному поведению всей системы. Важнейшей проблемой в связи с этим оказывается не только число состояний реагирующей плазмы и их устойчивость, но и само определение состояния плазмы. Состояние стационарной плазмы можно считать известным, если заданы масс-спектры всех нейтральных и заряженных компонент, так же как их энергетические распределения в дискретном и непрерывном спектрах. Кажется очевидным, что в случае нестационарных состояний достаточно рассмотреть временную эволюцию каждого из параметров. Это возможно только при наличии полностью детерминированных соотношений между всеми параметрами. Существование хаотического поведения плазмы делает такой подход принципиально неопределенным.

Плазма промышленного плазмохимического реактора нелинейная, однако, определение ее состояния существенно, прежде всего, с точки зрения нахождения ее интегрального химического или технологического эффекта. В большинстве работ, посвящён-ных исследованию плазменного модифицирования полимерных материалов, предполагается существование стационарного, устойчивого режима горения разряда. Во многих случаях такие условия проведения процесса модифицирования не могут быть реализованы. Экспериментально наблюдается сложное, самосогласованное во времени поведение разряда, значительно изменяющееся при варьировании внешних параметров обработки. При этом систематических исследований динамики изменения физических и химических свойств плазмы практически не проводилось. Следует отметить, что если физика процессов, определяющих нелинейные эффекты и самоорганизацию в газоразрядной плазме, исследована достаточно подробно [1-4], то влиянию инициируемых плазмой химических превращений на устойчивость разряда уделяется гораздо меньше внимания [5].

В данной работе была поставлена задача исследования динамического поведения химически реагирующей плазмы пониженного давления. Был использован разряд постоянного тока, в связи с его широким применением и наличием очень значительного числа статей и монографий, посвященных проблематике исследования физики и химии протекающих в нём процессов. Исследовался разряд в остаточных атмосферных газах, парах воды, кислороде и аргоне, в качестве обрабатываемых образцов были выбраны плёнки ПТФЭ с разной историей предобработки, стеклянная поверхность реактора с адсорбированными остаточными газами, льняные ткани. В ходе экспериментов нами регистрировались простейшие параметры плазмы - ток катода и осевая интегральная интенсивность, характер изменения которых в дальнейшем анализировался стандартными методами, применяемыми для исследования нелинейных химических и физических процессов [129-135].

Научная новизна работы заключается в исследовании динамических особенностей низкотемпературной плазмы при модифицировании материалов и устойчивости разрядов в условиях протекания в них интенсивных химических процессов. Как нам известно, в литературе практически отсутствуют подобные исследования. В имеющихся на сегодняшний момент работах наличие различного рода неустойчивостей плазмы авторы связывают только с физическими явлениями в разряде. Нами показано, что при определённых внешних условиях возможно появление динамически сложного режима горения разряда, который не может быть объяснён только с позиций физики протекающих в плазме процессов. Показано, что основную, определяющую роль в таких условиях играют, прежде всего, гетерогенные химические реакции на граничной поверхности - полимере, ткани и т.д.

Актуальность выбранной проблематики определяется всё более значительным интересом к плазме пониженного давления и возрастающим её применением в промышленности, что требует разработки новых подходов, позволяющих рассчитывать интегральный эффект таких систем, работающих в любых режимах, как стационарных, так и нестационарных и даже в режиме динамического хаоса.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Никифоров, Антон Юрьевич

ВЫВОДЫ.

1. Сконструирована система регистрации параметров плазмы, позволяющая непосредственно в эксперименте производить сбор данных в оцифрованной форме с временным разрешением 10'3 с.

2. Определён диапазон внешних условий, в области которых наблюдается сложное динамическое поведение разряда. Использовались два метода регистрации динамических характеристик разряда: аналоговый (разрешение 0.1 сек) и цифровой (разрешение 10'3 сек).

3. Показано, что для исследуемой химически реагирующей плазмы наблюдаются все типы динамического поведения нелинейных систем (колебательные режимы, бипериодичность, трипериодичность, стационарный режим, динамический хаос, режимы временного погасания разряда и т.д.).

4. Предложена иерархия моделей химически реагирующей плазмы, учитывающая взаимодействие отдельных подсистем.

5. Разработана физико-химическая модель плазмы пониженного давления тлеющего разряда, учитывающая влияние газовыделения с граничной поверхности на баланс зарядов в плазме.

6. Высказана гипотеза о возможности протекания в разряде гомогенных и гетерогенных колебательных реакций, инициируемых плазмой.

7. На основе компьютерного моделирования показано, что учёт плазмохимических колебательных реакций приводит к динамическому поведению плазмы, качественно полностью согласующемуся с экспериментально наблюдаемым.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Никифоров, Антон Юрьевич, 2004 год

1. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.:Наука. 1987.

2. Spatschek К. Nonlinear dynamics in low-temperature plasma: the role of coherent structures in unstable situations// Proc. XXI Int. Conf. On Phenomena in ionized Gases. Bochum. 1993.

3. Александров H.JI., Напартович А.П. Процессы в газе и плазме с отрицательными ионами// Успехи физ. Наук. 1993. Т. 163. №3. С.1.

4. Андреев Н.Е., Кузнецов С.В., Пятницкий Л.Н. Нелинейные структуры в стационарном неравновесном газовом разряде// Физика плазмы. 1993. Т. 19. №4. С.584.

5. Максимов А.И., Менагаришвили В.М. Тихомирова Н.М. и др. Модель самосогласованной неравновесной химически реагирующей плазмы// II Межд. Симп. По теор. И прикл. Плазмохимии. Иваново, 1995.

6. Yasuda Н. Plasma for Modification of Polymers. Journal of Macromolecular Science. -Chemistry, 1976, v.A (10), №3, p.383-420.

7. А.М.Ховатсон. Введение в теорию газового разряда. Москва, АТОМИЗДАТ, 1980, стр.322.

8. В.Д.Русанов, А.А. Фридман. Физика химически активной плазмы. М.: Наука, 1984, стр.415.

9. А.Энгель. Ионизованные газы./перевод с англ. под ред. М.С.Иоффе/ Москва. Гос.изд. физико-математической литературы, 1959, стр.332.

10. В.И. Веденеев, Л.В. Гурвич, В.Н. Кондратьев и т.д. Энергии разрыва химических связей. Потенциалы ионизации и сродство к электрону. Справочник. Изд.акад.наук СССР, М. 1962.

11. Database in low temperature plasma modeling, Y.Sakai, Applied Surface Science, 192 (2002), p.327-338.

12. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме., М., Наука, 1980,310 стр.

13. Бионди М.А. В кн.: Плазма в лазерах//Под ред. Дж.Бекефи. М.:Энергоиздат, 1982, с.145-175.

14. Александров Н.Л. В кн.: Химия плазмы.М: Энергоиздат, 1981, вып.8, с.90-121.

15. Смирнов Б.М. Отрицательные ионы. М.: Атомиздат, 1978,215 стр.

16. Месси Г. Отрицательные ионы. М: Мир, 1979,754 стр.

17. Technical report on low energy electron, ion dynamics and their simulation technique (I), № 691. IEE Japan. 1998 .

18. Kunc Joseph A. Efficiency of electron and ion impact processes in electronegative oxygen plasma// Ins. J. Mass. Spectrom. and Ion Phys. 1982. V.42. №4. P.295-307.

19. И. Мак-Даниеэль, Э.Мезон. Подвижность и диффузия ионов в газах./ перевод с англ. Мейлихова, Рацдича, изд. "Мир", М., 1976, стр.33-35, 319-320.

20. K.T.A.L.Burm, W.J.Goedheer and D.C.Schram. An Alternative Quantitative Analysis of Non-Equilibrium Transport Coefficients in Argon Plasmas. Plasma Chemistry and Plasma Processing, vol.22, №3, September 2002, p.413-435.

21. J. Jonkers, L.J.M. Selen, J.A.M. van der Mullen, E.A.H. Timmermans, D.C. Schram. Steep plasma gradients studied with spatially resolved thomson scattering measurements// Plasma Sources Sci.Technology. Vol.6. P.533-539. 1997.

22. K.G. Emeleus, J.R.M.Coulter. Wall Recombination in Low-Pressure Positive Columns. Europhysics Journal. Nuovo cimento. Vol. 12. P.79-86. 1986.

23. A. Kono. Negative ions in processing plasmas and their effect on the plasma structure//Applied Surface Science. Vol.192. 2002. N1-4. P.l 15-134.

24. J.P. Badey, E.Espuche, D. Sage and etc. A comparative study of the effects of ammonia and hydrogen plasma downstream treatment on the surface modification of polytetrafluoroethylene. Polymer Vol. No.8., p.1377-1386. 1996.

25. Hegemann D., Brunner H., Oehr C. Plasma Treatment of Polymers to Generate Stable, Hydrophobic Surfaces// Plasmas and Polymers. 2001. V.6. No.4 P.221.

26. Плазмохимические реакции и процессы./ под ред. Полака JI.C. М. Наука, 1968, с.200.

27. Pavlath А.Е. Plasma treatment of natural materials. New York. Techniques and Applications of Plasma Chemistry, e.a., 1974, p.280.

28. B.D. Ratner, S.C. Yoon and N.B. Mateo. Polymer Surfaces and interfaces, edited by W.J. Feast and H.S. Munro. John Wiley, Chichester, UK, 1987, p.231.

29. Poll H.U., Meichener J. Plasmamodifizierung von Polymeroberflachen. Acta Polym. V.31, № 12, 1980, p.757.

30. Poll H.U., Kleemann R., Meiehner J. Plasmamodifizierung von Polymeroberflachen. II. Entstehlung freier Radicale durch Einwirkung Glimmentladung. Acta Polym., 1981,V.32, №3,1981, p.139.

31. Байдаровцев Ю.П., Василец В.H., Пономарёв A.H. Кинетика и механизм реакций в поверхностных слоях полимеров под действием плазмы газового разряда. Тез. докл. IV Всес.симп. по плазмохимии, II, Днепропетровск, 1984, с. 139.

32. Тихомиров JI.A., Кияшкина Ж.С. Исследование действия плазмы газового разряда на каучук СКН-26. Тез.докл. IV. Всес. симп. по плазмохимии, II, Днепропетровск, 1984, с.91-92.

33. О. Takashi, A.N. Ponomarev, S.-I. Nishimoto, К. Tsutomu. Surface Structure of Low-Density Polyethilene Film exposed to Air Plasma. J.Macromol.Sci.,Chem., 1985, A22, №8, p.1135.

34. H. Gokan, S. Esho, Y.Ohnishi. Dry Etch Resistance of Organic Materials. J.Electrochem.Soc. 1983. Vol.130, №1, p.143.

35. M.A. Багиров, B.A. Осколопов, Е.Я. Волченков и т.д. Исследование травления полимеров активным кислородом. Тез.докл. III Всес.симп. по плазмохим. М.: Наука, 1979, т.1, С.252.

36. В.И. Гриневич, А.И. Максимов, В.М. Менагаришвили. Особенности деструкции полимеров в Т- и H-формах кислородного разряда. Тез.докл. 2го Всес. Семинара "Электронные процессы в плазме электроотицательных газов", Ереван, 1984, с.77.

37. А.Б. Гильман, А.И. Драчёв, Л.Э.Венгерская, Г.К. Семёнова и т.д. Воздействие разряда постоянного тока на плёнки поликарбоната. 3-й Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохиии. Сбор.матер. Иваново 2002, Т.2. С.313-316.

38. Василец В.Н. Исследование действия плазмы ВЧ-разряда на поверхность полиэтилена. Диссерт.на соиск.уч.степени канд.физ.-мат.наук., М.:1979.

39. Масловкая Е.А. Физико-химические закономерности взаимодействия низкотемпературной плазмы кислорода с полиэтилентерефталатом. Диссерт.на соиск. уч. степени канд.химич.наук. ИГХТУ. Иваново 2000, С. 147.

40. Кувалдина E.B. Физико-химические закономерности процессов деструкции некоторых полиимидных материалов в неравновесной плазме кислорода и его смеси с тетрафторметаном. Диссерт.на соиск. уч. степени канд.химич.наук. ИГХТИ. Иваново 1994, С. 190.

41. Шикова Т.Г. Физико-химические закономерности взаимодействия низкотемпературной плазмы с некоторыми полимерными материалами. Диссерт.на соиск. уч. степени канд.химич.наук. ИГХТУ. Иваново 2001, С.162.

42. Шикова Т.Г, Рыбкин В.В., Титов В,А„ Дубравин В.Ю. Кинетика окислительной деструкции полиэтилена в послесвечении плазмы кислорода. Химия высоких энергий. 1998. Т.32. №6. С.412-415.

43. Гриневич В.И. Кинетика и механизм воздействия низкотемпературной плазмы на корбоцепные полимеры. Диссерт.на соиск. уч. степени канд.химич.наук. ИГХТИ. Москва, 1983, С.181.

44. Теоретическая и прикладная плазмохимия. Под ред. JI.C. Полака. Наука. М,1975.

45. Yasuda H., Marsh H.G., Brandt E.S., Reilley C.N. ESCA study of polymer surface treated plasma. J. Polym. Sei., Polym. Chem. Ed. 1977, vol.15, №4, p.991

46. Ricard A. Reactive plasmas. Paris: SFV.1996. P. 180.

47. Гильман А.Б. Плазмохимическая модификация поверхности полимерных материалов. Материалы 9 школы по плазмохимии для молодых учёных России и стран СНГ. 1999. С.54-66.

48. Василец В.Н., Тихомиров Л.А., Пономарев А.Н.// III Всесоюзный симпозиум по плазмохимии. Тезисы докл. М.: Наука. 1979. T.I. С. 261-263.

49. Василец В.Н., Тихомиров Л.А., Пономарев А.Н. Исследование действия плазмы стационарного высокочастотного разряда низкого давления на поверхность полиэтилена//Химия высоких энергий. 1981. Вып. 15. N1. С.77-81.

50. Гриневич В.И., Максимов А.И. В сб. «Применение низкотемпературной плазмы в химии»/ под ред. проф. Л.С. Полака М.: Наука. 1981. С.135 169.

51. Василец В. Н., Тихомиров Л.А., Пономарев А.Н. Исследование накопления стабильных продуктов при воздействии плазмы низкого давления на поверхность полиэтилена//Химия высоких энергий. 1979. Вып.13. N2. С.171-174.

52. Hansen R.H., Schonhorn H. A new technique for preparating low surface energy polymers for adgesion bonding// J. Polym. Sci. 1966. Vol.B4. N3. P.223-229.

53. Василец B.H., Тихомиров Jl.A., Пономарев A.H.// В сб. Физико-химические процессы в газовой и конденсированной фазах. Черноголовка. 1979. С.78-79.

54. Mathias Е., Miller G.H. The decomposition of polytetrafluoroethylene in a glow discharge// J. Phys. Chem. 1967. V.71.No.8. P.2671.

55. Hiraoka K., Nakamura Т., Matsunaga K. Decomposition of PCB's in an hydrogen plasma// Chem. Lett. 1980. N. P.791-792.

56. Yicheng Wang, Christophorou L.G., Olthof James. K., Verbrugge J.K. Electron drift and attachment in CHF3 anf its mixtures with argon. Chemical Physics Letters, vol. 304, p.303-308(1999).

57. Christophorou L. G., Olthoff J.K. Electron interactions with plasma processing gases: present status and future needs. Applide Surface Science vol.192 (2002), p.309-326.

58. A.N.Goyette, J. de Urquijo, L.G.Christophorou, etc. Electron transport, ionization, and attachment coefficients in C2F4 and СгИ^Аг mixtures// J. of Chemical physics. Vol.114. N.20. P.8932-8937.

59. Christophorou L. G., Olthoff J.K. Electron Interactions with CHF3// J.Phys.Chem. Refer.Data 1997. Vol.26. N.l.P.1-15

60. Kinetic theory of Gases. Kennard E.H. McGraw-Hill Book со., New York. 1938. P.184.

61. Christophorou L. G., McCorkle D.L., Christodoulides A.A. Electron-Molecule Interections and Their Applications. Ed. Christophorou L.G. New York: Academic Press, 1984. V.l. P.477.

62. Быдин Ю.Ф. Демков Ю.Н. Спектры электронов при медленных столкновениях отрицательных ионов и атомов. УФН, 1982. Т.137. С.377-414.

63. Елецкий А.В., Смирнов Б.М. Диссоциативное прилипание электрона к молекуле. УФН, 1985. Т. 147. С.459-485.

64. Александров Н.Л. Трёхчастичное прилипание электрона к молекуле. УФН, 1988. Т.154. С. 177-207.

65. Галечян Г.А. Свойства плазмы электроотрицательных газов. Химия плазмы, вып.7. под.ред. проф. Смирнова Б.М. М.: Атомиздат, 1980. С.218-251.

66. L.E. Kline, M.J.Kushner. Sol.St. and Mat. Sci. Vol.16. P. 1-25. 1989.

67. Л.Д. Цендин. Влияние самосогласованного электрического поля на диффузионные и ионизационные явления в неоднородной плазме. Автореферат дис. д. ф.-м. наук. Ленинград, ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 1982.

68. В.Н. Волынец, А.В. Лукьянова, А.Т. Рахимов и др. Моделирование положительного столба разряда постоянного тока в CF4. Физика плазмы. Т. 17. Вып.2. С.221-228. 1991.

69. Ecker G., Kroll W., Zoller О. Phys.FIuids, 1964, v.7, p.2001.

70. Н.Л. Александров, А.П. Напартович. Процессы в газе и плазме с отрицательными ионами. Успехи физических наук. №3. Т.163. 1993. Стр. 1-26.

71. Meeks Е. and Shon J. W. Modeling of plasma-etch processes using well stirred reactor approximations and including complex gas-phase and surface reactions.// Tran. Plasma Sci. 1995. Vol.23, P.539-562.

72. Lee C., Graves D. В., Lieberman M. A. and Hess D. W. Global Model of plasma chemistry in a high density oxygen discharge// J. Electrochem. Soc. 1994. Vol.141. P. 1546.

73. Brauer I., Punset C., Purwins H., and Boeuf J.P. Simulation of self-organized filaments in a glow discharge plasma// J. Appl. Phys. 1999. Vol. 85, P.7569

74. Максимов А.И. Теория неравновесных процессов технологии электронных приборов (Учебное пособие). Изд.ИХТИ. Иваново. 1984. С.306.

75. Boeuf J.-P. A two-dimensional model of DC glow discharges// J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. P.1342.

76. Kortshagen U, Tsendin L.D, editors: Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, volume 302 of NATO ASI Series B, page 407. Plenum Press, New York, 1998.

77. Смирнов C.A. Физико-химические процессы в неравновесной плазме воздуха и закономерности травления материалов на основе полиэтилентерефталата. Дисс. . канд.хим.наук. Иваново. 1997. С.138.

78. D. Uhrlandt and St. Franke. Study of a neon dc column plasma by a hybrid method.// J.Phys.D: Appl. Phys. 2002.Vol.35. P.680.

79. Kolobov V.I. and Godyak V.A. Nonlocal electron Kinetics in Collisional Gas Discharge Plasmas//IEEE Trans. Plasma Sci. 1995.Vol.23. P.503.

80. Kortshagen U., Parker G.J. and Lawler J.E. Comparison of Monte Carlo simulations and nonlocal calculations of>the electron distribution function in a positive column plasma// Phys. Rev. E. 1996. Vol.54. P.6746.

81. Tal'rose V.L., Karachevtsev G.V. Elementary reactions in low-temperature plasma. Reactions under plasma conditions./Ed. By M. Venugopolan. 1971. Vol.11. P. 36-128.

82. Атомные и молекулярные процессы/ Под ред. Д. Бейтса. М.: Мир, 1964. 778 с.

83. Вирин Л.И., Джагацпанян Р.В., Карачевцев Г.В., Потапов В.К., Тальрозе В.Л. Ионно-молекулярные реакции в газах. М.: Наука, 1979. 548 с.

84. Kieffer L.J. Low-energy electron-collision cross-section data.// Journ. Atomic Data. 1969. Vol.1. N.l.P. 18-89.

85. Partially Ionized Gases. M.Mitchner, Charles H.K. USA, "A Wiley Intersience Publications". Reprint 1992. P.495

86. Pinhao N.R. XV ESCAMPING. Contributed Papers. 2002.

87. Pinhao N.R. Plasmakin: A chemical kinetics library for plasma physics modeling// Comp.Phys.Commun. 2001. Vol.135. P.105-131.

88. T. Kimura, A.J. Lichtenberg, M.A. Lieberman. Modelling finite cylinder electronegative discharges// Plasma Sources Science and Technology. V.10 .2001. P.430-439.

89. J.T. Gudmundsson, A.M. Marakhtanov, K.K. Patel, V.P. Gopinath, M.A. Lieberman. On the plasma parameters of a planar inductive oxygen discharge// Journal of Physics D: Applied Physics. V.33.2000. P.1323-1331.

90. Seo D.C., Chung T.H. Observation of the transition of operating regions in a low-pressure inductively coupled oxygen plasma by Langmuir probe measurement and optical emission spectroscopy//J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. Vol. 34. P. 2854.

91. Zuoding W., Lichtenberg A. J., Cohen R. H. Space-averaged kinetic analysis of stochastically heatedelectropositive and electronegative rf capacitive discharges// Plasma Sources Science and Technology. Vol.8. 1999. N1. P. 151-161.

92. A.J. Lichtenberg, M.A. Lieberman, I.G. Kouznetsov, T.H. Chung. Transitions and scaling laws for electronegative discharge models// Plasma Sources Science and Technology, Vol.9. 1999. N1. P. 45-56.

93. J.T. Gudmundsson, I.G. Kouznetsov, K.K. Patel, M.A. Lieberman. Electronegativity of low-pressure high-density oxygen discharges// Journal of Physics D: Applied Physics. V.34. 2001. P.l 100-1109.

94. Lieberman M., Lichtenberg A. // Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. New York: Wiley, 1994.

95. Rozhansky A.V., Tsendin L.D. // Transport Phenomena in Partially Ionized Plasma. London; New York: Taylor&Francis, 2001.

96. Kouznetsov I.G., Lichtenberg A.J., Lieberman M.A. Modelling electronegative discharges at low pressure// Plasma Sourses Sci. Technol. 1996. Vol. 5. P.662-676.

97. Lichtenberg A.J.,.Kouznetsovt I.G., Lee Y.T., Lieberman M.A., Kaganovich I.D., Tsendin L.D. Modelling plasma discharges at high electronegativity// Plasma Sourses Sci. Technol. 1997. Vol. 6. P.437-449.

98. Lee Y T, Lieberman M A, Lichtenberg A J, Bose F,Baltes H and Patrick R. Global model for high pressure electronegative chlorine/helium discharges// J. Vac. Sci. Technol. 1997. Vol.5. P.230-235.

99. Franklin R.N. Modelling the electron temperature characteristic for discharges in electronegative recombination dominated gases // J. Phys. D. 2001. Vol. 34. P. 1243-1247.

100. Franklin R.N. The role of O2 (a'Ag) metastables and associative detachment in discharges in oxygen//J. Phys. D. 2001. Vol. 34. P. 1834-1839.

101. R.N. Franklin. The plasma-sheath boundary region// Journal of Physics D: Applied Physics. Vol.36. 2003. N22. R309-R320.

102. Franklin R.N. A critique of models of electronegative plasmas// Plasma Sources Sci. Technol. 2001. Vol. 10.P. 174.

103. Богданов E.A., Колобов В.И„ Кудрявцев А.А., Цендин Л.Д. Правила подобия для плазмы кислородного разряда//Журн. Техн. Физики. 2002. Том.72, Вып.8. Стр.13-20.

104. Галечан Г.А. Свойства плазмы электроотрицательных газов. В кн.: Химия плазмы, под ред. Б.М.Смирнова, Атомиздат, 1980 г., Вып.7, стр.218.

105. U. Buddemeier, G. Strohlein. Experimental investigation of coherent electron temperature fluctuations accompanying a drift-like mode// Plasma Physics and Controlled Fusion. Vol.37. 1995.N2. P145-161.

106. Hermoch V. In: Proc. XIII Int.Conf. on Phenomenon in Ioniz. Gases. Berlin, 1977, p.251.

107. E.А.Богданов, А.А.Кудрявцев, Л.Д.Цендин и др. Соотношения подобия (скейлинги) для пространственных распределений параметров плазмы положительного столба разряда в кислороде// ЖТФ. 2003. том 73. выпуск 9. С.32-39.

108. Bruhn В., Koch В.P., Goepp N. Codimension-two bifurcations and ionization instability in glow discharge//Physica D. 1998. Vol.115. P.353-376.

109. Wittenberg R.W., Holmes P.//Physica D. 1997. Vol.100. P. 1-25.

110. Колебания и неустойчивость низкотемпературной плазмы. А.В.Недоспасов, В.Д.Халт. Наука. 1979. С. 168.

111. Анищенко B.C., Мелехин Г.В., Степанов В.А., Чиркин М.В. Механизмы возникновения и эволюция хаоса в стратифицированном положительном столбе газового разряда.// Радиофизика. 1986. T.XXIX, №8, Стр.903-912.

112. Arndt S.C., Uhralndt D., Winkler R. Electron kinetics in Nonisothermal Plasmas with Spatially Two-Dimensional Structures// Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2001. Vol.21. No2. P. 175-200.

113. Мак-Даниэль И. Процессы столкновений в ионизованных газах. М.: Мир., 1967.

114. Кутепов А.М, Максимова А.И. Динамическое поведение химически реагирующей плазмы пониженного давления.// Теор. основы хим.технол. 1998. Т.32. №4. С.411.

115. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том I./ Под ред. академика В.Е. Фортова. М.: Наука МАИК «Наука/Интерпериодика», 2000. с. 1-29 -1-70.

116. Kieffer L.J.// Atomic data, A Journal devoted to compilations of experimental and theoretical results in atomic physics. 1969. Vol.1, N1. P. 18-89.

117. Хастед Дж. Физика атомных столкновений, пер. с англ./ Под ред. Федоренко Н.В. М.: Мир, 1965.710 с.

118. Пшежецкий С.Я. Механизм радиационно-химических реакций. М.: Госхимиздат, 1962. 360с.

119. В.Н. Кондратьев, Е.Е. Никитин. Химические процессы в газах. М.: Наука, 1981, 262 стр.

120. В.Н. Кондратьев. Е.Е. Никитин. Кинетика и механизм газофазных реакций. М.: "Наука", 1974, С.558.

121. Кутепов A.M., Максимов А.И. Учет нелинейных свойств низкотемпературной плазмы при расчетах плазмохимических реакторов // Теор. основы хим. технол. 2000. Т. 34. № 4. С. 407.

122. Браун С."Элементарные процессы в плазме газового разряда" Атомиздат. 1961. стр.80.

123. Pospisil L., Janca J., Ambroz L. Influence of high-frequency on polymers// Folia Fac. Sci. Nat. Univ. Purk. Brun. 1977. T.XVIII. Physica 25. Opus 3. P.67.

124. Захаров А.Г., Клоповский K.C., Осипов K.C. и др. Кинетика процессов, возбуждаемых самостоятельным разрядом в кислороде// Физика плазмы. 1988. Т.14. No.3. С.327.

125. Николис Г., Пригожин И. Самоорганизация в неравновесных системах. От диссипативных структур к упорядоченности через флуктуации. Пер. с англ. под. ред. Ю.А. Чизмаджева, М.: Мир, 1979.

126. Nicolis G. Dissipative Systems// Reports on Prog. Phys. 1986. V. 49. P.873.

127. Epstein I., Kustin K. A mechanism for dynamical behavior in the oscillatory chlorite-iodide reaction// J.Phys.Chem. 1985. V.89. P.2275.

128. Zaikin A.N., Zhabbotinskii A.M. Concentration Wave Propagation in a Two-Dimensional, Liquid-Phase Self-Oscillating System//Nature. 1970. V.225. P.535.

129. Field R.J., Noyes R.M. Oscillations in Chemical Systems, Part 18. Mechanisms of Chemical Oscillators: Conceptual Bases//Acc.Chem.Res. 1976. V.10. P.214.

130. Колебания и бегущие волны в химических системах./ ред. Р.Филд и М.Бургер. М.: Мир. 1988.

131. Белоусов Б.П. Периодические действующая реакция и её механизмы// Химия и жизнь. 1982. Т.7. С.65.

132. Руткевич И.М. Условия формирования и устойчивость анодно- и катодно-направленных стационарных волн ионизации. Физика плазмы. 1989. Т. 15, Вып.7. С.844-854.

133. Анащенко B.C., Мелехин Г.В., Степанов В. А., Чиркин М.В. Механизмы возникновения и эволюция хаоса в стратифицированном положительном столбе газового разряда. Радиофизика. T.XXIX, №8, 1986. С.903-912.

134. В.В. Солонин, В.А.Степанов, М.В. Чиркин. Неустойчивый режим возбуждения кинетических страт в газоразрядной плазме. Журн.тех.физики. 2000. Т.70. В.4. С. 141142.

135. А.А. Зайцев, Н.А. Мискинова. О некоторых свойствах подвижных страт при средних давлениях. Вест. МГУ. №3, 1967, С.114.

136. НО.Грасси К., Молдовани Р., Теодоровский Г., Панаит Г. Периодические явления в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде. An.Sti. Univ. Jasi. V.20. N2. P.139-145. 1974.

137. Ю.Р. Аланакян. Новый тип ионизационной неустойчивости в плазме с отрицательными ионами. Теплофиз. выс. темпт. Вып.З. 1973. С.657.

138. Nighan W.L. Influence of recombination and ion chemistry an the stability of externally sustained molecular discharges. Phys.Rev.A: Gen.Phys. Vol.16, N3. 1977. P.l209-1223.

139. Wodsey G.A. Constriction in the positive column. VI Conf. Internat. Phenomenes ionisat. Gaz. Paris. 1963. Vol.2. P141.

140. Баркалов А.Д., Гладуш Г.Г. Доменная неустойчивость несамостоятельного разряда в электроотрицательных газах. I. Численный расчёт. Тепофиз. выс. темп. 1982. Т.20. №1. С. 19-24.

141. Баркалов А.Д., Гладуш Г.Г. Доменная неустойчивость несамостоятельного разряда в электроотрицательных газах. II. Теоретический расчёт. Тепофиз. выс. темп. 1982. Т.20. №2. С.201-206.

142. Козлов A.C. Физико-химические процессы активации кислорода в неустойчивой низко градиентной форме тлеющего разряда: Дис. . канд. хим. наук. Иваново, 1986. 172 с.

143. Козлов A.C., Максимов А.И. Химически активные частицы в Т- и Н-формах разряда 02//Деп. ОНИИТЭХИМ, N18-Xn 88.

144. Козлов A.C., Максимов А.И., Рыбкин В.В. Модель Т-формы положительного столба разряда в кислороде//Деп. ОНИИТЭХИМ, Черкассы, 28.09.87, №1090-хп 87

145. Максимов А.И., Козлов A.C., Серова НЛО. Обработка текстильных материалов в двух формах кислородного разряда.// Изв. ВУЗов. «Технология текстильной промышленности». 1987. №6. с. 100-1001

146. Гриневич В.И., Максимов А.И., Рыбкин В.В., Менагаришвили В.М. Исследование двух форм положительного столба тлеющего разряда в кислороде// Деп. в ОНИИТЭХИМ. N1994. 1978. И с.

147. Абрамов В.А., Максимов А.И., Светцов В.И. О существовании двух форм тлеющего разряда в аммиаке// Химия высоких энергий. 1977, Т.11. N1. С.95-97.

148. Maximov A.I.// 17th Symposium an plasma physics and technology. Prague. 1995. P. 249251.