Автономно-калибруемое средство измерений пространственно-энергетических и поляризационных характеристик излучения лазерных диодов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат наук Крайнов, Иван Владиславович

• Крайнов, Иван Владиславович
• кандидат наук
• 2014

Оглавление диссертации кандидат наук Крайнов, Иван Владиславович

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПРОСТРАНЕНИЯ ПУЧКА М2 И ПАРАМЕТРОВ СТОКСА И ВОЗМОЖНОСТЬ ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ СИЛЬНО РАСХОДЯЩЕГОСЯ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

1.1 1.1. Методы и средства измерений коэффициента распространения пучка М2 и параметров Стокса

1.2 Фотонные первичные преобразователи средней мощности лазерного излучения

1.3 Тепловые первичные измерительные преобразователи

средней мощности лазерного излучения

1.3.1. Классификация тепловых измерительных преобразователей лазерного излучения

1.3.2. Основные параметры и характеристики одинарных тепловых ПИП

1.3.3. Предел допускаемой относительной погрешности одинарных тепловых ПИП

1.3.4. Многоэлементные тепловые ПИП

1.3.4.1. Многоэлементные термоэлектрические ПИП

1.3.4.2. Пироэлектрические многоэлементные ПИП

1.4 Актуальность разработки нового поколения отечественных тепловых ПИП для диагностики излучения среднего уровня мощности

1.5 Возможность создания средства измерения параметров лазерного излучения с планарным ПИП

1.6 Выводы по первой главе

ГЛАВА 2. МЕТОДИКИ КОНТРОЛЯ РЕЖИМА ГЕНЕРАЦИИ ЛД НА ОСНОВНОЙ МОДЕ И ИЗМЕРЕНИЯ СТЕПЕНИ ПОЛЯРИЗАЦИИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С БОЛЬШОЙ РАСХОДИМОСТЬЮ

2.1 Методика определения модового состава лазерного излучения

2.2 Методика определения степени поляризации лазерного излучения

2.3 Выводы по второй главе

ГЛАВА 3. ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ВЫХОДНЫХ

СИГНАЛОВ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНСТРУИРОВАНИЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ С ИХ УЧЕТОМ

3.1 Формирование сигналов планарного первичного измерительного преобразователя лазерного излучения

3.2 Автономная калибровка планарного ПИП

3.3 Определение зонной и координатной характеристики планарного первичного измерительного преобразователя лазерного излучения

3.3.1 Определение зонной характеристики планарного первичного измерительного преобразователя лазерного излучения

3.3.2 Определение координатной характеристики планарного первичного измерительного преобразователя лазерного излучения

3.4 Особенность формирования сигналов используемых в разрабатываемом средстве измерений фотоэлектрических

первичных преобразователей лазерного излучения

3.4.1 Определение неравномерности зонной характеристики

планарного фотоэлектрического первичного преобразователя

лазерного излучения

3.4.2 Расчет угловой зависимости относительной спектральной чувствительности планарного фотоэлектрического первичного преобразователя лазерного излучения

3.5 Конструкция средства контроля режима генерации на основной моде и измерения степени поляризации излучения одномодовых ЛД в свободное пространство

3.6 Выводы по третьей главе

ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ СИЛЬНО

РАСХОДЯЩЕГОСЯ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗРАБОТАННОГО СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ И ОЦЕНКА ИХ ПОГРЕШНОСТИ

4.1 Определение конструкционных параметров средства контроля режима генерации на основной моде и измерений степени поляризации ЛД в вертикальной плоскости

4.1.1. Определение оптимального угла между осью лазерного пучка и плоскостью его косого сечения

4.1.2 Результаты абсолютной калибровки фотодиода с помощью планарного первичного измерительного преобразователя

4.1.3 Измерение угловой зависимости спектральной чувствительности фотодиода

4.2 Определение режима генерации ЛД на основной моде

4.2.1 Измерения диаграммы направленности излучения ЛД в вертикальной и горизонтальной плоскости

4.2.2 Традиционно используемая методика определения параметра М2 сильно расходящегося излучения ЛД

Рп

4.2.3 Измерение параметра — при различных уровнях

мощности генерации ЛД

р

О

4.2.4 Сравнение значений параметра — и М при

различных уровнях мощности генерации ЛД

4.3 Измерение степени поляризации излучения ЛД в вертикальной плоскости

4.3.1 Результаты измерений параметров Стокса по классической методике для двух длин волн 0,635 и 0,980 мкм

4.3.2 Результаты измерений степени поляризации в вертикальной плоскости под разными углами 0 к оси лазерного пучка с использованием классической методики

4.3.3 Результаты измерений степени поляризации излучения ЛД в вертикальной плоскости с помощью разработанного средства измерений

4.3.4 Временные зависимости степени поляризации и мощности излучения ЛД

4.4 Оценка погрешности измерений средства измерений

4.4.1 Погрешность измерений и контроля режима генерации излучения ЛД на основной моде

4.4.2 Погрешность средства измерений степени поляризации одномодового излучения ЛД в вертикальной плоскости

4.5 Выводы по четвёртой главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Автономно-калибруемое средство измерений пространственно-энергетических и поляризационных характеристик излучения лазерных диодов»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы диссертации. За последние десять лет значительно расширился парк оптико-электронных приборов и комплексов с лазерными диодами, генерирующими излучение в непрерывном режиме (далее - ЛД). Широкое использование ЛД стало возможным благодаря прорывным достижениям в технологии производства приборов полупроводниковой квантовой электроники, обеспечившим не только существенное улучшение характеристик и параметров их излучения, но и резкое снижение себестоимости.

Однако эффективное использование ЛД невозможно без проведения регулярных с высокой точностью измерений таких параметров их излучения как мощность, пространственное распределение плотности мощности и степень поляризации. Комплексные измерения этих параметров позволяют не только осуществлять текущий контроль состояния ЛД, но и прогнозировать срок их службы.

Задача прогнозирования срока службы ЛД особенно остро стоит в тех случаях, когда они входят в состав оптико-электронных систем и комплексов, обеспечивающих в течение долгого времени функционирование промышленных объектов с замкнутым производственным циклом, а также удаленных объектов, работающих в автономном режиме.

Наиболее точную информацию о состоянии ЛД можно получить, анализируя параметры его излучения в свободное пространство, когда оно не трансформируется никакими оптическими элементами. Именно этим определяется большой интерес к разработкам методик определения срока службы ЛД, основанных на результатах измерений параметров их излучения в свободное пространство. В повседневной метрологической практике такие измерения осуществляются с помощью рабочих средств измерений (РСИ) средней мощности лазерного излучения.

В настоящее время фирмами Ophir и Coherent, занимающими более

-780% мирового рынка средств измерений энергетических параметров лазерного излучения, налажено массовое производство лазерных ваттметров, обеспечивающих диагностику остронаправленного излучения. Практически все выпускаемые приборы удовлетворяют требованиям международных стандартов, предъявляемых к РСИ средней мощности лазерного излучения.

Для измерений средней мощности сильно расходящегося лазерного излучения эти фирмы предлагают несколько моделей ваттметров с интегрирующей сферой. Однако их погрешность варьируется от 5% до 10%, то есть, превышает верхнюю границу диапазона значений погрешности, установленную стандартами для РСИ средней мощности остронаправленного лазерного излучения. Таким образом, разработанные к настоящему времени стандарты не позволяют классифицировать лазерные ваттметры с интегрирующей сферой как РСИ. Из-за отсутствия поверочных схем средств измерений основных параметров сильно расходящихся лазерных пучков невозможна метрологическая аттестация и разработанных к настоящему времени средств измерений модового состава и степени поляризации излучения ЛД.

Необходимость создания поверочных схем средств измерений энергетических, пространственно-энергетических и поляризационных параметров излучения ЛД, регламентирующих требования, предъявляемые к РСИ таких параметров, актуализирует задачу скорейшей разработки их высших звеньев - эталонов. Однако решение этой задачи под силу только ведущим мировым метрологическим центрам.

В отсутствие таких поверочных схем продолжаются работы по созданию средств измерений энергетических, пространственно-энергетических и поляризационных параметров сильно расходящегося излучения, обеспечивающих приемлемую для практических применений ЛД погрешность измерений. Особое место среди них занимают работы по созданию средств измерений параметров излучения ЛД, которые в дальнейшем могут быть использованы в качестве рабочих эталонов.

Разработке одного из таких средств измерений посвящена данная работа, что и определяет ее актуальность.

Цель работы. Целью данной работы была разработка автономно калибруемого средства контроля режима генерации на основной моде и измерений степени поляризации излучения ЛД в свободное пространство. Для достижения указанной цели необходимо было решить следующие задачи:

• Определить структуру средства измерений, обеспечивающую комплексные измерения энергетических, пространственно-энергетических и поляризационных параметров сильно расходящегося излучения ЛД в свободное пространство.

Разработать методику контроля режима генерации ЛД на основной моде и алгоритм ее реализации.

• Разработать методику определения степени поляризации излучения одномодового ЛД в свободное пространство и алгоритм ее реализации.

• Создать макет средства измерений, обеспечивающий реализацию разработанных методик контроля режима генерации ЛД на основной моде и определения степени поляризации его излучения в свободное пространство.

• Провести с использованием этого макета натурные измерения модового состава и степени поляризации излучения ЛД в свободное пространство и оценить погрешность этих измерений.

Объект и предмет исследований. Объектом исследований являлось средство контроля режима генерации на основной моде и измерений степени поляризации излучения ЛД с расположенными определенным образом относительно друг друга планарными первичными фотопреобразователями и автономно калибруемым планарным термоэлектрическим первичным измерительным преобразователем (далее - планарным ПИП). Предметом исследований являлись параметры и характеристики входящих в состав средства измерений фотопреобразователей и планарного ПИП, а также

пространственно-энергетические и поляризационные характеристики непрерывного излучения одномодовых ЛД в свободное пространство.

Методика и методы проведения исследований. Исследования параметров и характеристик входящих в состав средства измерений фото- и термоэлектрических преобразователей средней мощности лазерного излучения проводились с использованием стандартных методик их поверки. Методики исследований пространственно-энергетических и поляризационных характеристик лазерного излучения, предложенные в данной диссертации, основывались на представлении диаграммы направленности излучения ЛД в аналитической форме, использовании приемных площадок планарных фотодиодов в качестве поляризационно чувствительных элементов и специальном расположении приемных площадок термо- и фотоэлектрических преобразователей лазерного излучения относительно оси диаграммы направленности ЛД.

Абсолютная чувствительность фотоэлектрических преобразователей на длине волны диагностируемого излучения ЛД определялась методом сравнения сигналов фотодиода и автономно калибруемого планарного термоэлектрического измерительного преобразователя.

Научная новизна работы.

1. Разработаны методика контроля режима генерации ЛД на основной моде и алгоритм ее реализации с использованием автономно калибруемого планарного измерительного преобразователя средней мощности лазерного излучения, отличающиеся тем, что они позволяют без измерений коэффициента распространения пучка М определять верхнюю границу диапазона значений мощности излучения лазера, при которых наблюдается одномодовая генерация.

2. Разработаны методика измерений степени поляризации излучения одномодового ЛД в свободное пространство и алгоритм ее реализации, отличающиеся тем, что они позволяют без использования четвертьволновой пластины и анализатора, диагностировать ^трансформированный пучок

лазерного излучения и осуществлять непрерывные измерения без нарушения режима нормального функционирования ЛД.

3. Использование методик контроля режима генерации ЛД на основной моде и измерений степени поляризации излучения лазерных диодов в свободное пространство позволяет при проведении автономной калибровки средства измерений этих параметров строго учитывать экспериментально выявленное отличие функции, описывающей диаграмму направленности излучения ЛД, от гауссовой функции, и, тем самым, обеспечивать высокие метрологические параметры средства измерений.

Практическая ценность работы.

1. Разработанное средство контроля режима генерации ЛД на основной моде и измерений степени поляризации сильно расходящегося лазерного излучения может быть использовано для непрерывного контроля состояния структуры одномодового лазерного диода путем измерений степени поляризации его излучения в свободное пространство - параметра, по которому, согласно научным публикациям, можно судить о степени деградации лазера.

2. Разработанная математическая модель средства измерений параметров сильно расходящегося лазерного излучения использована для расчета степени его поляризации и позволяет предусмотреть трансформацию конструкции средства измерений, обеспечивающую диагностику лазерных пучков в широком диапазоне углов расходимости.

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Средство измерений с определенным образом расположенными относительно оси лазерного пучка автономно калибруемым планарным первичным измерительным преобразователем и планарными фотодиодами без входного окна и просветляющего покрытия обеспечивает контроль режима генерации ЛД на основной моде и измерения степени поляризации.

2. Относительная погрешность разработанного средства контроля режима генерации на основной моде и измерений степени поляризации сильно расходящегося лазерного излучения не превышает 10%.

3. Разработанное средство измерений степени поляризации излучения ЛД в свободное пространство позволяет непрерывно диагностировать состояние гетероструктуры ЛД без нарушения его нормального функционирования.

Достоверность научных положений и выводов. Достоверность научных положений проверена путем использования разработанного средства измерений для экспериментального определения степени поляризации излучения нескольких десятков одномодовых лазерных диодов, изготовленных в Физико-техническом институте имени А.Ф.Иоффе РАН и фирмой ФТИ-Оптроник (г. Санкт-Петербург).

Получено хорошее совпадение (с погрешностью, не превышающей 5%) результатов расчетов и экспериментальных измерений степени поляризации излучения ЛД.

Личный вклад автора. Личный вклад автора состоит:

1. В разработке методик контроля режима генерации ЛД на основной моде и измерения степени его поляризации, а также алгоритмов их реализации.

2. В разработке конструкции и создании макета средства измерений для проведения натурных исследований пространственно-энергетической характеристики излучения ЛД и степени поляризации одномодового излучения ЛД с использованием разработанных методик.

3. В проведении натурных исследований степени поляризации и модового состава излучения ЛД, а также оценке точности этих измерений.

Внедрение результатов диссертационной работы. Макетный образец средства измерений параметров сильно расходящегося излучения применяется в лаборатории ЗАО НИИ ЭСТО - исследовательском центре группы компаний «Лазеры и аппаратура» - для диагностики лазерных

диодов, используемых для накачки твердотельных лазеров, входящих в состав функционально законченных комплексов (технологических машин и станков), что подтверждено Актом № 01/2014 от 15.01.2014.

Апробация работы. Материалы диссертации были доложены на:

42-м, 43-м и 44-м Международном научно-методическом семинаре «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах» (Москва, 2011 г., 2012 г. и 2013 г.);

21-й, 22-й и 23-й Международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация» (Санкт-Петербург, 2011 г., 2012 г. и 2013

г.);

XIX и XX Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика» (Москва, 2013 г. и 2014 г.);

XII Международной научно-технической конференции «Оптические методы исследования потоков - 2013» (Москва, 2013 г.).

Публикации. Основные положения диссертации опубликованы в 3 статьях в научных реферируемых журналах, в 19 статьях в сборниках материалов научно-технических конференций и семинаров.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, 4 глав и заключения. Полный объем диссертации составляет 141 страницу текста, включая 28 рисунков, 15 таблиц и библиографический список из 80 наименований.

ГЛАВА 1. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ КОЭФФИЦИЕНТА РАСПРОСТРАНЕНИЯ ПУЧКА М2 И ПАРАМЕТРОВ СТОКСА И ВОЗМОЖНОСТЬ ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ СИЛЬНО РАСХОДЯЩЕГОСЯ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

1.1. Методы и средства измерений коэффициента распространения пучка М2 и параметров Стокса

Самую полную информацию о модовом составе излучения можно

получить путем измерений коэффициента распространения лазерного пучка

2 2 М (далее - параметр М ), используя для этого метод определения моментов

второго порядка распределения Вигнера, описанный в первой и второй части ГОСТ Р ИСО/ТР 11146 - 2008 [1]. В настоящее время фирмами Ophir и Coherent выпускаются средства измерений параметра М2, основанные на этом методе [2]. Известна также установка для определения пространственных характеристик лазерного излучения [3], основанная на том же методе. Во всех случаях в качестве преобразователя лазерного излучения используется либо кремневые ПЗС- матрицы, либо видиконы. Однако метод определения моментов второго порядка распределения Вигнера можно использовать только в пределах параксиальной аппроксимации, что исключает применение разработанных средств измерений параметра М2 для определения пространственно-энергетических параметров сильно расходящегося излучения.

Именно поэтому для определения параметра М сильно расходящегося излучения лазерных диодов с длиной волны излучения Л0 используется методика, основанная на измерениях распределения плотности мощности излучения в вертикальной Fx(x) и горизонтальной Fy(y) плоскости на

выходном зеркале лазера, а также углового распределения плотности мощности излучения 1Х{0)и 1у (0) в тех же плоскостях [4].

- 142 2 При этом параметр М определяется следующим образом: М = МхМ

У '

1/2

¡Гх(х)х2ёх

где М, = 2кахавх; М, = 2кауаву;

у^ву 9

со

1/2

Ф

]7, (0)8т20ё$т0

1/2

¡ру(у)у2йу

а

-00

о

, Л0 - длина волны излучения в

у

оо

\FyWy

(6)ё8т0

вакууме; у - индекс, означающий х или у.

Состояние поляризации лазерного излучения полностью описывается четырьмя параметрами Стокса. Для измерений этих параметров на определенной длине волны X и в очень узком спектральном диапазоне вблизи ее АЛ = Л/200 [5] используется классическая методика, основанная на использовании четвертьволновой пластины и анализатора, расположенного за ней по ходу коллимированного лазерного пучка [6]. В качестве первичного преобразователя излучения, прошедшего через указанные оптические элементы, используются фотодиоды. При использовании средства измерений, основанного на классической методике измерений параметров Стокса, наиболее значимые неисключенные систематические составляющие основной относительной погрешности измерений этих параметров обусловлены принципиальной необходимостью вращения четвертьволновой пластины и анализатора и, как следствие этого, сложностью воспроизведения их пространственного положения.

Длины волн генерации лазерных диодов, используемых в оптико-электронных приборах и системах, лежат в широком спектральном диапазоне от 0,4 до 2,0 мкм. Поэтому при измерениях параметров Стокса излучения лазерных диодов по классической методике приходится использовать большой набор четвертьволновых пластин, что усложняет процесс измерений.

С целью упрощения этого процесса в средстве измерений параметров Стокса, разработанном в ФИАН РАН, вместо набора пластин используется одна калиброванная в спектральном диапазоне от 400 до 1300 нм четвертьволновая пластина [7]. Благодаря этому открывается возможность автоматизации процесса измерений. Однако калибровка такой пластины является достаточно сложной и прецизионной операцией. Необходимо отметить, что все средства измерений параметров Стокса предназначены для диагностики коллимированного излучения.

Классическая методика измерений параметров Стокса коллимированного излучения ЛД используется на предварительном этапе разработки средства измерений степени поляризации излучения ЛД в свободное пространство. Использование классической методики измерения параметров Стокса позволяет получить сведения о состоянии поляризации ЛД с различной гетероструктурой и разным механизмом формирования волновода. Диагностировалось излучение тридцати пяти ЛД с длиной волны 980, 635 и 530 нм. Установлено, что состояние поляризации излучения всех ЛД полностью описывается первым и вторым приведенным (нормированным на полную интенсивность пучка) параметром Стокса, а третий параметр практически равен нулю. При этом излучение представляет собой смесь ТЕ компоненты, линейно поляризованной в плоскости /»-«-перехода, ТМ компоненты, линейно поляризованной в плоскости, перпендикулярной плоскости /7-п-перехода, и естественного излучения.

Полученные результаты измерений параметров Стокса учитываются при создании средства измерений степени поляризации сильно расходящегося одномодового лазерного излучения на базе автономно калибруемого планарного ПИП.

Из обзора средств измерений параметров лазерного излучения следует, что в настоящее время для диагностики сильно расходящегося лазерного излучения имеется единственное стандартизованное средство измерений -интегрирующая сфера (ГОСТ Р ИСО 11554 - 2008), в котором в качестве

первичного преобразователя средней мощности лазерного излучения (далее -ПП) используется фотодиод. В настоящее время наиболее широкое применение нашли выпускаемые фирмой ОрЫг интегрирующие сферы ЗА-18, ЗА-К-ПЮ с входной апертурой 12 мм и БЮОА-К с входной апертурой 16 мм. Они перехватывают излучение, распространяющееся под углами ±40° к оси диаграммы направленности диагностируемого пучка. Погрешность измерения указанных интегрирующих сфер равна 5% [8]. Однако интегрирующая сфера обеспечивает измерения только мощности излучения.

Как показывает анализ публикаций, в средствах измерений параметров лазерного излучения наиболее широко используются фотонные и тепловые преобразователи лазерного излучения. Рассмотрим их классификационные признаки, а также преимущества и недостатки каждого типа преобразователей.

1.2. Фотонные первичные преобразователи средней мощности лазерного излучения

Принцип действия фотонных ПП основан на поглощении полупроводниковым материалом кванта энергии, сопровождающемся переходом носителя заряда на более высокий энергетический уровень. Используется как внутренний, так и внешний фотоэффект.

На внутреннем фотоэффекте в полупроводниках и использовании свойств /7-п-перехода, основан принцип действия фотодиодов. Полупроводниковые приборы, проводимость которых меняется под действием излучения, классифицируют как фоторезисторы. При освещении фоторезистора происходит переход электронов в зону проводимости. Количество свободных электронно-дырочных пар возрастает, внутреннее сопротивление фоторезистора снижается, вследствие чего изменяется значение проходящего через него тока. Полупроводниковые структуры с р-п-/?-переходами служат усилителями фототока и классифицируются как

фототранзисторы. Особое место среди фотонных ПП занимают матричные приемники, широко используемые в средствах измерений коэффициента распространения пучка М2.

Параметры и конструкции фотонных ПП, изготавливаемых в России и компанией Hamamatcu photonics К.К., подробно описаны в [9,10]. Параметры и конструкции фотодетекторов, изготавливаемых фирмами Ophir и Coherent, представлены в [2,8].

Внешний фотоэффект используется в вакуумных и ионных (газополных) фотоэлементах (вакуумных диодах) и фотоэлектронных умножителях (ФЭУ). Однако их применение в средствах измерений параметров лазерного излучения крайне ограничено, так как они имеют большие габариты, а функционирование ФЭУ связано с использованием высоковольтного питания.

Несомненными преимуществами фотодиодов, объясняющими их широкое использование в средствах измерений параметров лазерного излучения, являются высокая чувствительность и малая постоянная времени (высокое быстродействие). Однако фотодиодам присуща большая селективность, а широкоапертурным фотодиодам и большая неравномерность зонной характеристики, что значительно усложняет обработку их выходного сигнала.

Для обеспечения максимальной обнаружительной способности фотодиодов используется напряжение смещения. Параметры фотодиода сильно зависят от напряжения смещения, поэтому требуется особое внимание к системе его стабилизации. При смещении равном нулю имеет место режим короткого замыкания. В этом случае в выходном сигнале отсутствует компонента, обусловленная темновым током, что упрощает обработку выходного сигнала, особенно если учесть его большую величину в отечественных фотодиодах [9].

Для увеличения чувствительности фотодиодов обычно используется входное окно в форме линзы, фокусирующей падающее на него излучение на

фоточувствительную площадку, а также просветляющее покрытие, нанесенное на эту площадку. В этом случае практически исключается зависимость выходного сигнала фотодиода от состояния поляризации диагностируемого излучения.

Принципиальным недостатком фотодиодов, как и всех фотонных ПП, является то, что они либо не могут быть автономно калибруемы, либо их абсолютная калибровка требует использования методик, трудно реализуемых в практической метрологии [9]. Представляется, что исключить этот недостаток можно путем интегрирования фотодиодов и автономно калибруемых тепловых ПИП в средстве измерений параметров лазерного излучения.

1.3. Тепловые первичные измерительные преобразователи средней

мощности лазерного излучения

1.3.1. Классификация тепловых измерительных преобразователей лазерного излучения

При использовании теплового принципа преобразования в ПИП лазерного излучения происходит как минимум двукратное преобразование энергии. Сначала часть входной энергии лазерного излучения в приемном элементе (далее - коллекторе энергии) ПИП преобразуется в тепловую, а затем часть тепловой энергии, пропорциональная входной оптической величине, в чувствительном элементе ПИП преобразуется в сигнал измерительной информации, чаще всего в изменение электрической величины: ЭДС, сопротивления, емкости [9].

Классификация тепловых ПИП проводится по принципам построения их основных элементов и характеру взаимосвязи между ними [11 - 14]. Наиболее развернутая классификация тепловых ПИП проведена в [9]. Поэтому предложенный в [9] общий порядок классификации тепловых ПИП

сохранен и в данной работе. В особую группу тепловых ПИП выделены имеющие ряд классификационных признаков термоэлектрические планарные ПИП (далее - планарные ПИП). При этом классификационные признаки планарных ПИП включены в общую схему классификации с учетом их особенностей.

Входным звеном в цепи преобразования измеряемых параметров лазерного излучения является коллектор энергии. Из свойств коллектора энергии вытекают несколько классификационных признаков тепловых ПИП лазерного излучения.

По форме коллекторы энергии тепловых ПИП разделяют на плоские и полостные. Коллекторы энергии планарных ПИП могут быть только плоскими.

Размеры коллектора энергии тепловых ПИП могут варьироваться в больших пределах, поэтому условно их разделяют на узкоапертурные и широкоапертурные. Последние обеспечивают измерения параметров широких пучков лазерного излучения без применения фокусирующей оптики. Благодаря этому удается избежать не только дополнительных погрешностей, связанных с использованием оптики, но и нежелательного увеличения плотности излучения на приемной поверхности коллектора энергии.

Апертура теплового, в том числе и планарного ПИП в значительной мере определяет линейные размеры, массу, а значит, и теплоемкость коллектора энергии. Быстродействие теплового ПИП увеличивается при уменьшении массы его коллектора энергии. Однако при работе с высокими уровнями мощности непрерывного излучения, когда необходимо уменьшить перегрев коллектора энергии и тем самым улучшить линейность ПИП, массу коллектора энергии приходится увеличивать. При неизменной апертуре планарного ПИП увеличение массы плоского коллектора энергии обеспечивается путем его утолщения.

Тепловые ПИП с достаточно массивным коллектором энергии

классифицируются как калориметры. Классическая калориметрия выделяет два типа калориметров: изотермические с постоянной температурой коллектора энергии и калориметры с переменной температурой коллектора. Калориметры с переменной температурой коллектора разделяют на адиабатические и калориметры Кальве [12].

В изотермических калориметрах тепловая энергия не аккумулируется, а быстро рассеивается в окружающую среду. При этом на нагрев коллектора энергии расходуется столь малая часть выделенной в коллекторе тепловой энергии, что его температура практически постоянна в течение всего времени измерений. В изотермических калориметрах чаще всего измеряют количество вещества, изменившего фазовое состояние за счет полученной от коллектора энергии теплоты.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Крайнов, Иван Владиславович, 2014 год

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. ГОСТ Р ИСО 11146-1-2008. Лазеры и лазерные установки (системы). Методы измерений ширин, углов расходимости и коэффициентов распространения лазерных пучков. Часть 1: Стигматические (гомоцентрические) и слабоастигматические пучки - М.: Издательство стандартинформ, 2009.

2. Фирма Coherent [Электрон, ресурс], http://www.coherent.com/ products/?830/Laser-Measurement-and-Control (дата обращения: 06.03.13).

3. Исаевич A.B., Холенков A.B. Установка для определения пространственных характеристик лазерного излучения // Оптический журнал, 78. 10. 2011. С. 67-73.

4. Поповичев В.В., Давыдова Е.И., Мармалюк A.A., Симаков A.B., Успенский М.Б., Чельный A.A., Богатов А.П., Дракин А.Е., Плисюк С.А., Стратонников A.A. Мощные поперечно-одномодовые полупроводниковые лазеры с гребневой конструкцией оптического волновода // Квант, электрон., 32:12(2002), 1099-1104.

5. Иванов B.C., Котюк А.Ф., Либерман A.A., Овсик Я., Улановский М.В., Фотометрия и радиометрия оптического излучения (общий курс). Книга № 3 «Измерение спектральных, корреляционно-фазовых и поляризационных параметров и характеристик лазерного излучения (спектрально-частотная, корреляционно-фазовая и поляризационная лазерометрия)» М. Полиграф Сервис, 216 с., 2001 г.

6. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. Изд. 2. Пер. с англ. М.: Наука, 1973. 721 с.

7. Плисюк С.А., Батрак Д.В., Дракин А.Е., Богатов А.П. "Моделирование излучательных характеристик и оптимизация волноводных параметров гребневого полупроводникового гетеролазера для получения максимальной яркости излучения" Квантовая электроника, 36, № 11, 1058 (2006).

8. Фирма Ophir Optronics [Электрон. ресурс]. http://www.ophiropt.com/ laser-measurement (дата обращения: 06.03.11).

9. Ишанин Г.Г. Приемники излучения оптических и оптико-электронных приборов. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1986. 175с.

10. Кремниевые фотодиоды фирмы Hamamatsu [Электрон, ресурс]. // URL: http://www.hamamatsu.su (дата обращения 10.07.2013)

11. Иванов B.C., Золотаревский Ю.М., Котюк А.Ф., Либерман A.A. и др. Основы оптической радиометрии. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. 544 с.

12. Измерение энергетических параметров и характеристик лазерного излучения / Б.Я. Бурдаев, P.A. Валитов, М.А. Винокур и др.; Под ред. А.Ф. Котюка. М.: Радио и связь, 1981. 288 с.

13. Измерение параметров приемников оптического излучения / Н.В. Васильченко, В.А. Борисов, Л.С. Кременчугский, Г.Э. Левин; Под ред. Л.Н. Курбатова, Н.В. Васильченко. М.: Радио и связь, 1983. 320 с.

14. Справочник по приемникам оптического излучения/ В.А. Волков, В.К. Вялов, Л.Г. Гассанов и др.; Под ред. Л.З. Криксунова, Л.С. Кременчугского. Киев: Техника, 1985. 216 с.

15. Тинаев A.A. Диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук. Разработка координатно-чувствительного термоэлектрического планарного измерительного преобразователя лазерного излучения. Москва, 2011. 180 с.

16. Термоэлементы и термоэлектрические устройства: Справочник / Л.И. Анатычук. Киев: Наукова думка, 1979. -768 с.

17. Козаченко М. Л. Высокоточные широкоапертурные калориметрические измерительные преобразователи больших уровней энергии лазерного излучения // Измерительная техника. 2007. № 1. С.28-33.

18. Филачев A.M., Пономаренко В.П., Таубкин И.И., Ушакова М.Б. Инфракрасные матрицы и тенденции их развития. 4.1 // Прикладная физика. 2003. № 1. С.105-120.

19. ГОСТ 8.275-2007. ГОИ. Государственная поверочная схема для

средств измерений средней мощности лазерного излучения и энергии импульсного лазерного излучения в диапазоне длин волн от 0,3 до 12,0 мкм -М.: Издательство стандартинформ, 2007.

20. IEC 61040:1990 Power and energy measuring detectors, instruments and equipment for laser radiation - Geneva.: IEC, 1990.

21. Золотаревский Ю. M., Мнев И. В., Улановский М. В. Исследование метрологических характеристик калориметрических преобразователей энергии лазерного излучения // Измерительная техника. 2002. №4. С. 19-22.

22. ГОСТ 8.207-76. Прямые измерения с многократными наблюдениями: Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения. М.: Издательство стандартов, 1976.

23. Справочник по лазерам: В 2х т. М.: Сов. Радио,1978. Т.1 503 с.

24. Близнюк В.В., Гвоздев С.М. Квантовые источники излучения. М.: «ВИГМА», 2006. 392 с.

25. «Лазерные источники излучения». Каталог-справочник по странам СНГ и Балтии, издание 7-е (дополненное). Части 1-3. М.: НТИУЦ ЛАС, 2005. 189 с.

26. Крайнов И.В. Деградация кремниевого термоэлектрического преобразователя широкоапертурных лазерных пучков // Материалы 42-ого международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах»-М.: МНТОРЭС им. A.C. Попова, МЭИ, 2012. С. 75-80.

27. Панкратов H.A. Современные полупроводниковые термоэлектрические приемники излучения // Оптический журнал. 1993. Т.60. № 8. С.20-29.

28. Каппо Т., Saga М., Matsumoto S. et al. Uncooled infrared focal plane array having 128x128 thermopile detector elements // Proc. SPIE. 1994. V. 2269. P.450-456.

29. Иоффе Л.А., Подильчук Н.Д. Первичный измерительный

преобразователь для лазерной техники // IV Всесоюзн. семин. по тепловым приемникам излучения: Тез. докл. Л.: ГОИ, 1983. - С.51-52.

30. Lenggenhager R., Baltes H., Peer J., Forster M. Thermoelectric infrared sensors by CMOS technology // IEEE Electron Device Letters. 1992. V. 13. №9. P.454-456.

31. Хребетов И. А., Маляров В.Г. Неохлаждаемые тепловые матричные приёмники ИК излучения// Оптический журнал. 1997. Т.64. №6. С.3-17.

32. Козаченко М. Л. Высокоточные широкоапертурные калориметрические измерительные преобразователи средней мощности лазерного излучения и созданные на их базе измерительные системы // Измерительная техника. 2000. № 3. С.35-39.

33. Муртазин А., Олихов И., Соколов Д. Пироэлектрический электронно-оптический преобразователь. ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес, 1/2006. С.26-30.

34. Белозеров А.Ф., Омелаев А.И. Филиппов В.Л. Современные направления применения ИК радиометров и тепловизоров в научных исследованиях и технике // Оптический журнал. 1998. Т. 65. № 6. С.16-27.

35. Фирма Heimann sensor [Электрон. ресурс]. http://www.heimannsensor.com/products.php (дата обращения: 06.03.11).

36. Ащеулов A.A., Ильин В.И., Кондратенко В.М. Раренко И.М. Анизотропный термоэлектрический приёмник неселективного излучения // А. с. СССР №1141954. Бюл. Изобр. 1984. №22.

37. Фирма DRS Technologies [Электрон, ресурс], http://www.drs.com/ Products/RSTA/Components.aspx (дата обращения: 06.03.13).

38. Давыдова Е.И., Ладугин М.А., Мармалюк A.A., Падалица A.A., Петровский A.B., Сухарев A.B., Успенский М.Б., Шишкин В.А. Мощные одномодовые лазерные диоды на основе квантоворазмерных гетероструктур InGaAs/AlGaAs, легированных углеродом // Квантовая электроника. 2009. Т.39, № 1.С. 18-20.

- 13539. Слипченко С.О., Винокуров Д.А., Пихтин H.A., Соколова З.Н., Станкевич A.JL, Тарасов И.С., Алферов Ж.И. Сверхнизкие внутренние оптические потери в квантово-размерных лазерных гетероструктурах раздельного ограничения // Физика и техника полупроводников. 2004. Т.38, вып. 12. С. 1477- 1486.

40. Лютецкий A.B., Пихтин H.A., Фетисова Н.В., Лешко А.Ю., Слипченко С.О., Соколова З.Н., Рябоштан Ю.А., Мармалюк A.A., Тарасов И.С. Мощные диодные лазеры на основе асимметричных квантово-размерных гетероструктур раздельного ограничения InGaAsP/InP // Физика и техника полупроводников. 2009. Т.43, вып.12. С. 1646 - 1648.

41. Вакс Е.Д., Миленький М.Н., Сапрыкин Л.Г. Мир физики и техники. Практика прецизионной лазерной обработки. М.:ТЕХНОСФЕРА. 2013. С. 696.

42. Лютецкий A.B., Пихтин H.A., Слипченко С.О., Соколова З.Н., Фетисова Н.В., Лешко А.Ю., Шамахов В.В., Андреев А.Ю., Голикова Е.Г., Рябоштан Ю.А., Тарасов И.С. 1,7 - 1,8 мкм лазерные диоды на основе квантово-размерных InGaAsP/InP- гетероструктур // Физика и техника полупроводников. 2003. Т.37, вып.11. С. 1394- 1401.

43. Лешко А.Ю., Лютецкий A.B., Пихтин H.A., Слипченко С.О., Соколова З.Н., Фетисова Н.В., Голикова Е.Г., Рябоштан Ю.А., Тарасов И.С. Мощные одномодовые лазерные диоды на основе квантово-размерных InGaAsP/InP- гетероструктур (1,3 - 1.6 мкм) // Физика и техника полупроводников. 2002. Т.36, вып.11. С. 1393 - 1399.

44. Кейси X., Паниш М. Лазеры на гетероструктурах. М.: Мир, 1981.

45. Fox A.G., Li T. Resenent Modes in a Maser Interferometer // BSTG.1961.V. 40. P. 489.

46. Kogelnik H., Li T. Laser Beams and Resonators // Proc. IEEE. 1966.V. 54. P. 312.

47. Богатов А.П., Дракин A.E., Стратонников A.A., Коняев В.П. Яркость и филаментация оптического потока мощных квантоворазмерных

InGaAs/GaAs - лазеров, работающих в непрерывном режиме // Квантовая электроника. 2000. Т. 30, №5. С. 401-405.

48. Близнюк В.В., Брит М.А., Ефремов B.C., Костина О.О., Крайнов И.В., Степанова H.H. Определение модового состава излучения лазерного диода в открытое пространство // Метрология, 2013, №12. С.16-26.

49. Близнюк В.В., Брит М.А., Ефремов B.C., Костина О.О., Крайнов И.В., Степанова H.H. Методика определения модового состава излучения лазерного диода в открытое пространство. // Труды 23-й международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2013». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2013, Т. 2, С. 107-111.

50. Близнюк В.В., Костина О.О., Крайнов И.В., Степанова H.H. Определение модового состава и степени поляризации излучения лазерных диодов на основе гетероструктур разделенного ограничения // Труды 22-й Международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2012». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2012. С. 104.

51. Близнюк В.В., Костина О.О., Крайнов И.В., Степанова H.H. Определение модового состава и степени поляризации излучения лазерных диодов на основе гетероструктур разделенного ограничения // Труды 22-й Международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2012». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2012. Т. 1 С.175-179.

52. Близнюк В.В., Крайнов И.В., Мороз Е.А., Панов Ю.В., Оганов В.А. Исследование температурной зависимости степени поляризации излучения полупроводниковых лазеров // Лазеры. Измерения. Информация. 2011. Т.2. № 10. - Спб.: Издательство политехи. Ун-та,2011. С. 300 - 302.

53. Близнюк В.В., Еремин А.Н., Крайнов И.В., Методика измерения степени деградации лазеров на квантоворазмерных гетероструктурах на базе анализа их поляризационных характеристик // Материалы международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные

процессы в полупроводниковых приборах». М.: МНТОРЭС им. A.C. Попова, МЭИ, 2011.-242 с.

54. Дьячков Н.В., Богатов А.П. Измерение параметров Стокса излучения полупроводниковых лазеров // Квантовая электроника. 2011. Т.41. №10. С. 869-874.

55. Близнюк В.В., Костина О.О., Крайнов И.В., Мороз Е.А., Панов Ю.В., Степанова H.H. Метрологическое обеспечение измерений степени поляризации излучения полупроводникового лазера в процессе его деградации. Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах. Материалы докладов научно-методического семинара. М.: МНТОРЭС им. А.С.Попова, НИУ «МЭИ», 2012. - 229 с.

56. Гавриленко В.И., Грехов A.M., Корбутяк Д.В., Литовченко В.Г. Оптические свойства полупроводников. Справочник. - Киев: Наукова думка, 1987.-607 с.

57. Близнюк В.В., Ефремов B.C., Костина О.О., Крайнов И.В., Мороз Е.А., Степанова H.H. Методика и средства измерений степени поляризации прямого излучения лазерных диодов // Материалы 43-его международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах». - М.: МНТОРЭС им. A.C. Попова, МЭИ, 2013. С. 74-82.

58. Близнюк В.В., Крайнов И.В., Костина О.О., Ефремов B.C. Определение степени поляризации излучения лазерных диодов в измерительных системах с непрерывным режимом работы \\ Оптические методы исследования потоков: XII Межд. науч-технич. конференция [Электронный ресурс]: труды конференции. - Электрон.дан. - М.: НИУ «МЭИ, 2013.-1 электрон, опт. диск (CD-ROM)». - Доклад № 10-5 - ISBN 978-5-91940-663-1 - № гос. Регистрации 0321302584.

59. Близнюк В.В., Беляева Е.В., Еремин А.Н., Крайнов И.В., Тинаев A.A. Измерения поляризационных характеристик прямого излучения лазерных диодов на квантоворазмерных гетероструктурах // Труды 20-й

Международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2010». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2010. Т.1 С. 161-169.

60. Близнюк В.В., Беляева Е.В., Еремин А.Н., Крайнов И.В., Оганов В.А. Контроль процесса деградации квантоворазмерных гетеролазеров путем измерений степени поляризации их прямого излучения // Материалы международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах». - М.: МНТОРЭС им. A.C. Попова, МЭИ, 2010. С. 123-127.

61. Близнюк В.В., Беляева Е.В., Тинаев A.A. Оптимизация планарного резистора замещения высокоточного лазерного ваттметра // Сборник докладов 20-й Международной конференции «Лазеры. Измерения. Информация - 2010». СПб.: Изд-во. Политехнич. ун-та, 2010. Т.2. С.43-48.

62. Близнюк В.В., Беляева Е.В., Неверова Е.А., Тинаев A.A. Измерение энергетических и поляризационных характеристик лазерных диодов с использованием планарного теплового первичного измерительного преобразователя лазерного излучения // Труды 19-й Международной конференции «Лазеры. Измерения. Информация - 2009». СПб.: Изд-во Политехи, ун-та, 2009. С.44.

63. Близнюк В.В., Беляева Е.В., Неверова Е.А., Тинаев A.A. Измерение энергетических и поляризационных характеристик лазерных диодов с использованием планарного теплового первичного измерительного преобразователя лазерного излучения // Сборник докладов 19-й Международной конференции «Лазеры. Измерения. Информация - 2009». СПб.: Изд-во Политехи, ун-та, 2009. Т.1. С. 124-141.

64. Близнюк В.В., Кричевский В.И., Саплин С.М., Шарихин В.Ф. Измеритель мощности оптического излучения на основе интегрального термоэлектрического преобразователя // Фотометрия и ее метрологическое обеспечение: Тезисы докладов 5-ой Всесоюзной науч.-техн. конф. 17-21 декабря 1984 г. - М.: ВНИИОФИ, 1984. - С. 254.

- 13965. Охотин A.C., Пушкарский A.C., Горбачев B.B. Теплофизические свойства полупроводников. - М.: Атомиздат, 1972. - 200 с.

66. Близнюк В.В., Костина О.О., Крайнов И.В., Мороз Е.А., Панов Ю.В., Степанова H.H. Диагностика широких лазерных пучков с использованием крестообразного фотоприемного устройства // Труды 22-й

о

Международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2012». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2012. Т. 2 С. 99-110.

67. Близнюк В.В., Брит М.А., Ефремов B.C., Костина О.О., Крайнов И.В., Степанова H.H. Измерения мощности одномодового лазерного диода без использования интегрирующей сферы // Труды 23-й международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2013». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2013, Т. 2. С. 102-106.

68. Близнюк В.В., Крайнов И.В. Термофотоэлектрический координатно-чувствительный лазерный ваттметр-джоульметр // Труды 22-й Международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2012». - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2012.Т. 1 С.180-184.

69. Близнюк В.В., Тинаев A.A. Разработка высокоточного рабочего средства измерений средней мощности лазерного излучения с учетом особенностей формирования выходного сигнала планарной термобатареи // Сборник докладов 20-й Международной конференции «Лазеры. Измерения. Информация -2010». СПб.: Изд-во. Политехнич. ун-та, 2010. Т.2. С.49-57.

70. Крайнов И.В., Близнюк В.В. Модернизация лазерного ваттметра ИМО-4, позволяющая создать на его базе рабочее средство измерений средней мощности лазерного излучения // Глобальный научный потенциал, 2013, №11(32). С. 70-72.

71. Близнюк В.В., Беляева Е.В., Тинаев A.A. Оптимизация планарного резистора замещения высокоточного лазерного ваттметра // Сборник докладов 20-й Международной конференции «Лазеры. Измерения.

Информация - 2010». СПб.: Изд-во. Политехнич. ун-та, 2010. Т.2. С.43-48.

72. Витязев, А. В., Демченко В.А., Коротаев В.В. Влияние поворотов пленочных поляроидов на состояние поляризации излучения // Оптический журнал. 1998. - т. 65. - № 1. - С. 38-40.

73. В. П. Дураев, А. А. Мармалюк, А. А. Падалица, А. В. Петровский, Д. Р. Сабитов, М. А. Сумароков, А. В. Сухарев, "Влияние особенностей формирования квантоворазмерных гетероструктур InGaAs/(Al)GaAs на спектральные характеристики лазерных диодов, изготовленных на их основе", Квант, электрон., 38:2 (2008), 97-102

74. Лютецкий А.В.и др. Мощные диодные лазеры (1=1,7-1,8 мкм) на основе асимметричных квантово-размерных InGaAsP/InP гетероструктур раздельного ограничения. ФТП, 2009, т.43, вып.12, с.1646-1649.

75. Близнюк В.В., Крайнов И.В. Метод непрерывного контроля состояния гетероструктуры лазерного диода // Перспективы науки, 2013, №10(49). С. 148-151.

76. Близнюк В.В., Брит М.А., Ефремов B.C., Костина О.О., Крайнов И.В., Степанова H.H. Метод и средство измерений, позволяющие осуществлять непрерывный контроль состояния гетероструктуры лазерного диода // Труды 23-й международной научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация-2013».- СПб: Изд-во Политехнического университета, 2013, Т. 2. С.97-101.

77. Близнюк В.В., Ефремов B.C., Костина О.О., Крайнов И.В., Мороз Е.А., Степанова H.H. О возможности непрерывного контроля процесса деградации мощных одномодовых лазерных диодов, встроенных в системы, работающие по замкнутому циклу // Материалы 43-его международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах». - М.: МНТОРЭС им. A.C. Попова, МЭИ, 2013. С. 67-74.

78. Близнюк В.В., Крайнов И.В., Панов Ю.В., Мороз Е.А. Метрологическое обеспечение измерения состояния поляризации излучения

полупроводникового лазера в процессе его деградации // Материалы 42-ого международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах». - М.: МНТОРЭС им. A.C. Попова, МЭИ, 2012. С. 67-75.

79. Крайнов И.В. Деградация кремниевого термоэлектрического преобразователя широкоапертурных лазерных пучков // Материалы 42-ого международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах». - М.: МНТОРЭС им. A.C. Попова, МЭИ, 2012. С. 75-80.

80. Близнюк В.В., Еремин А.Н., Крайнов И.В. Метрологическое обеспечение измерений энергетических параметров лазеров на квантоворазмерных гетероструктурах в процессе их деградации // Материалы 41-ого международного научно-методического семинара «Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах». - М.: Изд-во МЭИ, 2011.С. 100-104.