Атомно-силовая микроскопия композитных полимерных и силикатных материалов, синтезированных методом молекулярного наслаивания тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.21, кандидат наук Кочеткова Анна Сергеевна

• Кочеткова Анна Сергеевна
• кандидат наук
• 2019

Оглавление диссертации кандидат наук Кочеткова Анна Сергеевна

ВВЕДЕНИЕ

АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР

Глава 1 Высокоразрешающие методы исследования наноструктур на поверхности

твердотельных материалов

1.1 Современные методы исследования наноматериалов

1.2 Электронная микроскопия

1.3 Сканирующая зондовая микроскопия

1.3.1 Характеристика основных методик СЗМ

1.3.2 Атомно-силовая микроскопия

Глава 2 Нанотехнология на принципах метода молекулярного наслаивания

2.1 Метод молекулярного наслаивания и структурно-размерные эффекты в продуктах его синтеза

2.2 Области применения нанотехнологии молекулярного наслаивания

2.3 Перспективы исследования материалов, синтезированных методом молекулярного наслаивания, с использованием АСМ

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

Глава 3 Используемые в работе материалы и методы исследования

3.1 Обоснование выбора и характеристики объектов исследования и

используемых реагентов

3.1.1 Обоснование выбора объектов исследования

3.1.2 Характеристики объектов исследования

3.1.3 Характеристики используемых реагентов

3.2. Установки молекулярного наслаивания и условия синтеза

3.3 Методы и методики исследования

3.3.1 Атомно-силовая микроскопия

3.3.1.1 Методика оценки шероховатости поверхности с помощью АСМ

3.3.1.2 Разработанные методики качественной оценки адгезии нанопокрытия

и расчета давления в зоне контакта «зонд-образец»

3.3.2 Методика определения электретных характеристик полимерных композитов

3.3.3 Дополнительные методы исследования

Глава 4 Изучение с применением АСМ структурно-химических превращений на поверхности стеклянных полых микросфер и волокон при синтезе элементоксидных покрытий методом МН

4.1 АСМ-исследование поверхности микросфер и продуктов их взаимодействия

с парами ^С14 и Н20

4.2 Сравнительный анализ элементоксидных нанопокрытий на поверхности оптических волокон и кварцевых пластин

Глава 5 Применение АСМ для оценки влияния количества циклов МН и внешних воздействий на морфологию титаноксидных нанопокрытий на поверхности

боросиликатных стекол

5.1. Изменение морфологии поверхности титаноксидного покрытия в зависимости

от количества циклов МН

5.2 АСМ-исследование вторичных превращений титаноксидных нанопокрытий

под воздействием температуры и рентгеновского излучения в вакууме

Глава 6 АСМ-исследование морфологии поверхности и функциональные свойства

композиционных полимерных пленок

6.1 Синтез двухкомпонентных фосфор-титаноксидных структур разного строения на поверхности пленок ПЭВД и результаты исследования полученных композиций

6.1.1 АСМ-исследование и химический анализ поверхности модифицированных пленок ПЭВД

6.1.2 Электретные свойства пленок ПЭВД, содержащих на поверхности двухкомпонентные фосфор-титаноксидные структуры разного строения

6.1.3 Гидрофобизация полиэтилена, модифицированного фосфороксидными структурами

6.2 Расчет диффузионных характеристик объемнонаполненных композитных пленок ПВХ

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ А

ПРИЛОЖЕНИЕ Б

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Атомно-силовая микроскопия композитных полимерных и силикатных материалов, синтезированных методом молекулярного наслаивания»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы исследования. Динамично развивающиеся исследования в области создания наноматериалов различного функционального назначения требуют столь же активного совершенствования имеющихся и разработки новых высокотехнологичных методов и методик исследования наноструктурированных и нанокомпозиционных материалов. Одним из факторов, повлиявших на развитие ряда новых областей нанотехнологии, стало изобретение в начале 1980х годов сканирующего туннельного (СТМ), а позднее и атомно-силового (АСМ) микроскопов, - приборов, предназначенных для изучения морфологии и функциональных (электрофизических, магнитных, механических и др.) свойств поверхности твердотельных и биологических объектов. К настоящему времени разработаны методики по измерению с помощью АСМ прочностных, трибологических, адгезионных характеристик поверхности, фазового состава материала и др. как на воздухе при атмосферном давлении, так и в вакууме, и в жидких средах.

К началу 21 -го века во многих странах сформировалось направление, связанное с нанотехнологией на принципах метода молекулярного наслаивания (МН), известного в зарубежной литературе как <^отш Layer Deposition» (ALD), в основе которого лежит предложенная в 1950х годах В.Б. Алесковским «остовная» гипотеза строения твердых веществ. Особенностью самоорганизующегося на молекулярном уровне процесса МН является проведение одно- или многократного попеременного химического модифицирования твердотельной матрицы, содержащей на поверхности реакционно-способные функциональные группы (ФГ), низкомолекулярными реагентами, в результате чего формируется равномерное покрытие на всей поверхности подложки, независимо от ее геометрической формы.

Процесс формирования методом МН наноструктур сопровождается изменениями как химических, так и структурных, морфологических и других характеристик поверхности твердого тела, что влияет на функциональные свойства синтезируемых продуктов и проявляется в виде структурно-размерных эффектов. При этом для более глубокого понимания процессов, протекающих при модифицировании поверхности, механизмов, обуславливающих проявление структурно-размерных эффектов, влияющих на функциональные свойства получаемых материалов, важно получить информацию о

распределении привитых ФГ, их взаимном расположении, структуре покрытия, фазовых превращениях и др.

Для исследования продуктов МН, в том числе "in situ", применяют различные химико-аналитические и физико-химические методы, каждый из которых имеет свои ограничения в применении, будь то минимальная определяемая концентрация элемента, форма и размер образца или оказываемое разрушающее воздействие на исследуемый материал. Атомно-силовая микроскопия является одним из перспективных методов для проведения систематических исследований структуры и свойств поверхности наноматериалов, полученных по технологии МН, благодаря минимальным воздействиям на исследуемый образец, а также возможности детальной визуализации поверхности в 3Б-формате с нанометровым разрешением.

Высокая разрешающая способность, наличие различных «контрастных» методик и возможность проведения неразрушающего контроля делают атомно-силовую микроскопию весьма информативным методом как для исследования сформированных на разных стадиях МН наноструктур и покрытий, так и для контроля вторичных превращений модифицированной поверхности под воздействием внешних факторов (контакт с компонентами окружающей среды, термообработка, облучение и т.п.).

Таким образом, проведение исследований, направленных на применение атомно-силовой микроскопии, выявление и расширение ее возможностей при идентификации превращений, протекающих в процессе молекулярного наслаивания низкоразмерных структур на поверхности твердофазных материалов различной химической природы, геометрической формы и функционального назначения, их трансформации при различных внешних воздействиях, связанных с условиями эксплуатации полученных материалов, является актуальной задачей.

Исследования по теме диссертации проводили в рамках грантов РФФИ (№№ 1303-00883 и 16-03-00214) и РНФ (№ 14-13-00597), госзаказа Минобрнауки России 16.1798.2017/4.6 «Разработка научных основ создания методом молекулярного наслаивания интеллектуальных наноструктурированных пленок и покрытий».

Степень разработанности темы исследования. Во многих экспериментальных работах, связанных с исследованием процесса молекулярного наслаивания, основное внимание уделяют изучению морфологии поверхности твердотельных материалов, модифицированных относительно толстыми покрытиями (десятки и сотни нанометров).

Также в литературе не представлено результатов систематических исследований с применением АСМ, связанных с закономерностями изменений на поверхности подложек различной геометрической формы и химической природы в процессе наращивания на них элементоксидных структур методом МН, выявлением взаимосвязи таких превращений со структурно-размерными эффектами в полученных композициях. Анализ как отечественных, так и зарубежных публикаций показывает, что метод АСМ преимущественно применяют для оценки шероховатости поверхности плоских образцов, тогда как использованию «контрастных» методик, а также изучению дисперсных объектов, посвящено значительно меньше работ.

Одним из важных направлений дальнейшего развития как АСМ, так и современных нанотехнологий, в частности, метода МН, является применение методик АСМ для контроля вторичных превращений, протекающих на модифицированной поверхности материалов, что может служить основой практического применения предлагаемых подходов в реальных производственных процессах.

Таким образом, многообразие современных функциональных наноматериалов, синтезированных методом МН, требует как развития уже существующих, так и создания новых методик АСМ, которые могут быть использованы не только в фундаментальных исследованиях, но и для решения прикладных технологических задач.

Цели и задачи работы. Целью работы является разработка на основе атомно-силовой микроскопии научно-методических подходов для исследования поверхности твердотельных матриц различной химической природы (полимерные, силикатные) и геометрической формы (пленки, пластины, волокна, сферические микрочастицы), модифицированных элементоксидными структурами по методу молекулярного наслаивания и подвергнутых вторичным внешним воздействиям.

Выполнение работы связано с решением следующих основных задач:

1. Обосновать выбор объектов исследования, различающихся геометрической формой и химическим составом, исходя из особенностей процесса МН и структурно-размерных эффектов в продуктах, полученных с его использованием.

2. Предложить и обосновать методические подходы, планируемые для проведения исследований объектов различной геометрической формы и состава с применением АСМ.

3. Синтезировать методом МН на выбранных подложках элементоксидные структуры заданного состава и строения (монослойные, многослойные, многокомпонентные).

4. Провести систематические исследования синтезированных по п. 3 продуктов и выявить возможности использования методик атомно-силовой микроскопии в технологических целях как для контроля синтезированных по методу МН функциональных покрытий на поверхности твердотельных матриц, так и для идентификации продуктов вторичных превращений в составе поверхностных слоев в результате воздействия внешних факторов.

Научная новизна работы:

1. Предложены методические подходы к исследованию методом АСМ материалов различной химической природы и геометрической формы и разработаны методики расчета по данным АСМ диффузионных характеристик объемнонаполненных композитных пленок ПВХ, качественной оценки адгезии наноразмерных покрытий к поверхности подложки, основанные на комбинировании контактного и полуконтактного режимов АСМ, и расчета при этом давления в зоне контакта «зонд-образец». Использование предложенных подходов позволяет оптимизировать параметры сканирования, обеспечивающие неразрушающий контроль состояния поверхности материалов, оценивать толщину нанопокрытия, сформированного на поверхности матриц различной геометрической формы.

2. Установлено, что при попеременной обработке полых микросфер из натрийборосиликатного стекла по методу МН парами тетрахлорида титана и воды на поверхности формируются трехмерные структуры, отличающиеся при анализе в режиме фазового контраста АСМ адгезионными характеристиками от исходной поверхности подложки, количество которых возрастает с увеличением числа циклов МН. С привлечением РФА показано, что образующиеся продукты являются кристаллами №0.

3. С использованием АСМ установлены различия в формировании по методу молекулярного наслаивания и протекании рекристаллизационных процессов при термической обработке в составе алюминийоксидного нанопокрытия на поверхности оптических кварцевых волокон и пластин: «растрескивание» нанопокрытия на поверхности кварцевых пластин без значительного изменения размера

алюминийоксидных структур и увеличение размера алюминийоксидных наночастиц на поверхности оптического волокна без нарушения сплошности покрытия.

4. Впервые показано, что совместное действие температуры и рентгеновского излучения в вакууме приводит к рекристаллизации титаноксидного покрытия, сформированного на поверхности боросиликатного стекла путем проведения 100, 200 и 300 циклов МН, причем наименьшие трансформации происходят в титаноксидном слое, полученном в результате проведения 300 циклов обработки стекла парами ^С14 и Н20.

5. На поверхности пленок полиэтилена высокого давления (ПЭВД) синтезированы двухкомпонентные элементоксидные наноструктуры (фосфор-титаноксидные и титан-фосфороксидные), повышающие термостабильность поверхностного потенциала электретов, изготовленных на их основе, и предложен механизм влияния физически сорбированной воды на данный параметр.

6. По данным АСМ установлено, что при модифицировании пленок ПЭВД фосфор-титаноксидными и титан-фосфороксидными группировками, существенное влияние на происходящие изменения поверхности полимера оказывает последовательность формирования элементоксидных наноструктур. Так, наибольшие трансформации поверхности ПЭВД происходят при формировании фосфор-титаноксидных групп, по сравнению с образцами полимерной пленки, где на первом цикле МН был использован ^С14.

7. Методом АСМ исследованы вторичные превращения поверхности в процессе гидратации модифицированных фосфороксидными и фосфор-кремнийорганическими структурами пленок ПЭВД. Показано, что формирование гидрофобных кремнийорганических структур на поверхности ПЭВД, модифицированного фосфороксидными группами, замедляет доступ молекулам Н20 к гидрофильным фосфороксидным центрам.

Теоретическая и практическая значимость работы.

1. Полученные результаты и предложенные в работе методические подходы с применением АСМ по исследованию полимерных и силикатных композиционных материалов могут быть использованы как для проведения систематических исследований структурно-размерных эффектов в продуктах, полученных методом МН, так и для расширения областей применения атомно-силовой микроскопии.

2. Представленные в работе данные по изучению поверхности образцов на основе силикатных материалов в виде пластин, оптоволокна и микросфер с элементоксидными слоями и влияния на них различных внешних воздействий перспективны для реализации при оптимизации и контроле функциональных покрытий применительно к различным высокотехнологичным областям. Использование АСМ для контроля титаноксидных покрытий на внутренней поверхности стеклянных корпусов в производстве и эксплуатации рентгеновских трубок подтверждено соответствующим актом испытаний от 06.07.2018 г. (Приложение А).

3 . Модифицированные по методу МН пленки ПЭВД с повышенной стабильностью поверхностного заряда могут найти применение при создании электретных материалов, что также подтверждено патентом РФ на изобретение № 2648360.

4. Результаты проведенных исследований внедрены в учебный процесс подготовки магистров по направлению 18.04.01 «Химическая технология» на кафедре химической нанотехнологии и материалов электронной техники СПбГТИ(ТУ) в рамках факультативного курса «Перспективы применения СЗМ в технологии наноматериалов» (Приложение Б).

Методология и методы исследования. Методология изучения полимерных и силикатных материалов, как исходных, так и модифицированных, заключалась в проведении исследования их поверхности с помощью атомно-силовой микроскопии в контактном и полуконтактном (с регистрацией фазового контраста) режимах. Дополнительно были использованы: сканирующая электронная микроскопия (СЭМ), рентгеновский микроспектральный химический анализ (РМСХА), рентгенофазовый анализ (РФА), измерение краевых углов смачивания и электропроводности поверхности. Электретные характеристики модифицированного полимерного материала определяли с помощью метода термостимулированной релаксации поверхностного потенциала (ТСРПП), получение спектров распределения энергетических ловушек проводили с использованием программы «Виртуальный эксперимент 2.0» (рег. № 2013617364).

Личный вклад автора включает: сбор и анализ литературных данных по теме исследования, проведение химического модифицирования поверхности полимерных материалов и участие в синтезе силикатных материалов по технологии молекулярного наслаивания, обработку и интерпретацию полученных экспериментальных данных,

участие в обсуждении результатов работы и подготовку публикаций по теме диссертации. Все исследования с использованием АСМ проведены лично автором.

Модифицирование по методу МН поверхности стеклянных полых микросфер, кварцевых пластин и оптического волокна, боросиликатного стекла проведено совместно с сотрудниками СПбГТИ(ТУ) А.А. Малковым, В.В. Антиповым, Н.Ю. Ефимовым; РФА выполнен И.С. Бодалевым; электретные характеристики образцов исследовали совместно с сотрудниками РГПУ им. А.И. Герцена А.Е. Кузнецовым и А.А. Рычковым.

Положения, выносимые на защиту:

1. Результаты разработки и применения методик расчета на основании данных АСМ эффективного коэффициента диффузии паров воды в композиционных объемнонаполненных нанодисперсным оксидом алюминия пленках на основе ПВХ, качественной оценки адгезии покрытия к подложке с применением АСМ и количественного определения величины давления в зоне контакта «зонд-образец» при сканировании в полуконтактном и контактном режимах АСМ.

2. Экспериментальные данные по использованию атомно-силовой микроскопии для определения требуемого количества циклов химической сборки методом МН на поверхности твердотельных матриц различной геометрической формы, обеспечивающих формирование сплошного слоя заданной толщины, а также для выявления протекания побочных реакций и вторичных превращений на поверхности при воздействии внешних факторов.

3. Результаты по созданию на основе пленок ПЭВД с поверхностными многокомпонентными элементоксидными наноструктурами композиций, обладающих повышенными электретными свойствами.

4. Обоснование использования атомно-силовой микроскопии для изучения динамики сорбционных процессов на примере взаимодействия паров воды с модифицированной фосфор-кремнийсодержащими структурами поверхностью пленок ПЭВД.

Степень достоверности и апробация результатов. Достоверность полученных в работе результатов определяется проведением комплексных исследований с использованием АСМ в сочетании с различными физико-химическими методами, воспроизводимостью экспериментальных данных и непротиворечием их полученным ранее и представленным в публикациях других ученых.

Результаты работы прошли апробацию на 17 всероссийских и 7 международных конференциях, основными из которых являются: Международная научно-практическая конференция «Современные актуальные проблемы естественных наук» (Актобе (Казахстан), 2014 г.), VI Международная конференция «Новые перспективные материалы и технологии их получения НПМ-2014» (Волгоград, 2014 г.), VI Международная конференция «Деформация и разрушение материалов и наноматериалов» (Москва, 2015 г.), XXVI Российская конференция по электронной микроскопии «РКЭМ-2016» (Зеленоград, 2016 г.), XIV Международная конференция «Физика диэлектриков (Диэлектрики-2017)» (СПб, 2017 г.), Всероссийская конференция с международным участием «Химия твердого тела и функциональные материалы» (СПб, 2018 г.), XXII Международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» (Нижний Новгород, 2018 г.).

По материалам диссертации опубликована 31 работа: 4 статьи в журналах, входящих в перечень рецензируемых научных изданий, рекомендованных ВАК РФ, 11 статей в сборниках материалов конференций, тезисы 15 докладов на конференциях, 1 патент РФ на изобретение.

АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР Глава 1 Высокоразрешающие методы исследования наноструктур на поверхности

твердотельных материалов

1.1 Современные методы исследования наноматериалов

Основной проблемой при изучении свойств поверхности твердого тела является невозможность ее существования отдельно от объемной фазы. Поэтому при использовании микроскопических и спектроскопических методов исследования возникает ограничение, связанное с разделением сигналов от поверхности и объема образца. Здесь возможны два варианта решения данной проблемы [1, 2]:

- сигнал от поверхности специально сдвигается относительно сигнала от объема, а

детектирующая система прибора настраивается на слабую линию поверхности на фоне интенсивного сигнала от объема;

- сигнал от объема слаб по сравнению с поверхностной составляющей и им можно

пренебречь.

Именно второй вариант используется в большинстве современных методов анализа поверхности, позиционируемых как поверхностно-чувствительные: фотоэлектронной и Оже-спектроскопии (РФЭС и ЭОС), вторичной масс-спектрометрии (ВИМС), дифракции медленных электронов (ДМЭ), сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии (СТМ и АСМ) и др.

Анализ возможностей современных методов, проведенный в работе [2], представлен на рисунке 1 (цветом обозначены возможности методов анализировать химическую связь (розовый), определять элементный состав (синий) и визуализировать объект исследования (зеленый)).

Из приведенной диаграммы следует: с точки зрения пространственного разрешения наиболее информативны методы сканирующей туннельной [3, 4] и просвечивающей электронной микроскопии [5]. Эти методы позволяют визуализировать атомарную структуру, однако не дают информации о химическом составе анализируемого объекта. Вторичная масс-спектрометрия [6] и газовая хромотография (GCMS), напротив, обладают очень высокой элементной чувствительностью, но их пространственное разрешение не превышает 100 нм (для ВИМС). Кроме того, существует физический предел, связывающий чувствительность методов и их пространственное разрешение - точность определения состава образца падает с уменьшением размера анализируемого участка.

СТМ - сканирующая туннельная микроскопия, АСМ - атомно-силовая микроскопия, ТЕМ - просвечивающая электронная микроскопия, FE-SEM - сканирующая электронная микроскопия с полевой эмиссией, SEM - сканирующая электронная микроскопия, FE-AES - электронная Оже-спектроскопия с полевой эмиссией, EDS -энерго-дисперсионный анализ, Raman - Рамановская спектроскопия, ИК-Фурье -инфракрасная спектроскопия, РФА - рентгенофазовый анализ, RBS - Резерфордовское обратное рассеяние, РФЭС (РФС) - рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, ВИМС - вторичная ионная масс-спектрометрия, TXRF - рентгеновский флуоресцентный анализ, GC/MS - газовая хроматография/масс-спектрометрия.

Рисунок 1 - Аналитические возможности современных методик [2]

Представленная на рисунке 1 диаграмма не выделяет поверхностно-чувствительные методы среди прочих, показывая, что данные методы органически встроены в общий ряд аналитических подходов. Однако, для большинства поверхностно-чувствительных методов характерно проведение эксперимента в условиях

1 8 I

глубокого вакуума (10- - 10- Па). Причин для этого две [2]:

- сохранение чистоты поверхности исследуемого образца;

- увеличение длины свободного пробега частицы в газовой среде (для методов, использующих поток частиц для облучения и/или детектирования).

По способу регистрации ответного сигнала исследуемого объекта на внешнее воздействие физические методы исследования поверхности твердого тела можно разделить на [7]:

- спектроскопические методы, в основе которых лежит регистрация энергетического

спектра поглощенного или испущенного электромагнитного излучения (РЭС, РСМА), электронов (РФЭС, УФЭС, ФЭС, РОЭС, ОЭС, ИОЭС, ИНС) или ионов (СРМИ, СРБИ, ОРР);

- дифракционные методы, анализирующие дифракционные картины, образующиеся при

прохождении или рассеянии на образце излучения или пучка частиц (РСА, ДМЭ, ДБЭ, ПЭМ в режиме дифракции);

- масс-спектрометрические методы, в которых регистрируется распределение испущенных частиц по массе (ВИМС, МС с бомбардировкой быстрыми атомами, электронно-зондовая МС, ТПД, ЭСД).

- микроскопические методы, в которых наблюдается сформированное определенным

образом прямое изображение исследуемого объекта (СТМ, АСМ. МСМ, ПЭМ, РЭМ, СОЭМ, ПИМ, полевая эмиссионная микроскопия).

С точки зрения возможности визуализации происходящих на поверхности твердотельной матрицы трансформаций, вызываемых процессом модифицирования по технологии МН, наиболее интересным является рассмотрение возможностей высокочувствительных микроскопических методов анализа поверхности.

1.2 Электронная микроскопия

Развитие нанотехнологических подходов в создании новых материалов требует использования методов исследования, позволяющих получать изображения поверхностных структур с нанометровым, а иногда и с субангстремным, разрешением. Указанной способностью обладает электронная микроскопия, где изображение формируется за счет взаимодействия электронного пучка с образцом [8-11],

В случае сканирующей (растровой) электронной микроскопии взаимодействие электронов с исследуемым материалом можно разделить на упругое и неупругое, в

результате которого происходит генерация обратно рассеянных (отраженных) и вторичных электронов соответственно [8, 11].

Детектирование вторичных электронов используют главным образом для «топографического контраста», т.е. для визуализации рельефа поверхности образца с пространственным разрешением поверхностных структур порядка 10 нм (в некоторых случаях и выше) [8, 11].

Формирование СЭМ-изображения путем детектирования обратно рассеянных (отраженных) электронов (ОРЭ/ОЭ) позволяет получать информацию не только о топографии, но и об элементном составе исследуемого материала [11]. Вследствие высокой энергии ОЭ (от 50 эВ до нескольких десятков кэВ [12]) латеральное разрешение изображения СЭМ значительно ниже, чем при регистрации вторичных электронов, и составляет ~1 мкм [8]. Но, с другой стороны, благодаря гораздо большей глубине проникновения в материал образца, отраженные электроны, позволяют получать информацию об особенностях строения материала на разной глубине [12].

Первичные электроны, попадая на поверхность образца, проникают вглубь материала [8, 9, 11], где образуют «область первичного возбуждения». Размер и форма этой области в основном определяются энергией первичного электронного пучка и плотностью исследуемого образца (рисунок 2).

1 Более низкое ускоряющее 1_| Более высокое ускоряющее

напряжение напряжение

а - материал с низкой плотностью, б - материал с высокой плотностью

Рисунок 2 - Влияние ускоряющего напряжения и плотности материала образца на

первичный объем возбуждения [8]

Использование при сканировании электронного пучка с высокой энергией приводит к увеличению области первичного возбуждения и усилению сигнала от объемной фазы образца, что, в конечном итоге, уменьшает информативность данных о строении его поверхности. Поэтому для получения детальной информации о структуре поверхности материала предпочтительнее использовать электронный пучок с низким ускоряющим напряжением, когда генерация вторичных электронов будет происходить непосредственно в приповерхностной области образца (рисунок 3).

(а) (б)

^ Ана^ЗВКм I КМ 500 нм

- -

Л 4 ж Л т. / 1 »337* Л я м Ш I "Ж ^

Рисунок 3 - СЭМ-изображения плотноупакованной структуры опала, полученные при ускоряющих напряжениях 1 кВ (а) и 20 кВ (б) [8]

Наряду с сигналами, детектируемыми для формирования СЭМ-изображения, в результате соударения электронов из пучка с исследуемым образцом генерируется большое количество других сигналов (испускание характеристического рентгеновского излучения, Оже-электронов, катодолюминесценция и др.), которые также несут определенную информацию об исследуемом материале (рисунок 4) [11].

В результате торможения первичных электронов в кулоновских полях атомов исследуемого материала образуется непрерывное или «тормозное» рентгеновское излучение [9]. Интенсивность спектра тормозного излучения возрастает с увеличением как энергии первичных электронов, так и атомного номера элемента в материале. Кроме того, электронный пучок может выбивать электроны с внутренних К-, L-, M-оболочек, переводя атомы исследуемого образца в возбужденное состояние, которые, при возвращении в стационарное состояние, излучают кванты рентгеновского излучения. В результате наблюдается появление соответствующих этим переходам пиков характеристического рентгеновского излучения, наложенных на непрерывный спектр,

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Кочеткова Анна Сергеевна, 2019 год

- 194 с.

7. Троян, В.И. Физические методы исследования наноструктур и поверхности твердого тела / В.И. Троян [и др.]. - М.: МИФИ, 2008. - 260 с.

8. Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение / Под. ред. У. Жу, Ж.Л. Уанга; пер. с англ. - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. - 582 с.

9. Гоулдстейн, Дж. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 / Дж. Гоулдстейн [и др.]; пер. с англ. - М.: МИР, 1984. - Т. 1. - 303 с.

10. Шиммель, Г. Методика электронной микроскопии / Г. Шиммель; пер. с нем. - М.: МИР, 1972. - 299 с.

11. Физика и химия поверхности. Физика поверхности / Под ред. Н.Т. Картеля, В.В. Лобанова. - Киев: Институт химии поверхности им. А.А.Чуйко НАН Украины, 2015.

- Т.2. - 522 с.

12. Гостев, А.В. Метод и аппаратура электронной микротомографии в сканирующей электронной микроскопии / А.В. Гостев [и др.] // Приборы и техника эксперимента. -2010. - № 4. - С. 124-134.

13. Попова, Т.Б. Рентгеноспектральный микроанализ гетероструктур с наноразмерными слоями / Т.Б. Попова [и др.] // Физика и техника полупроводников. - 2011. - Т. 45, № 2. - С. 263 - 267.

14. Штанский, Д.В. Просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения в нанотехнологических исследованиях / Д.В.Штанский // Рос. хим. ж. (Ж. Рос. хим. об-ва им. Д.И.Менделеева). - 2002. - Т. XLVI, №5. - С. 81 - 89.

15. Жигалина, О.М. Электронная микроскопия высокого разрешения гетероэпитак-сиальных пленок титаната бария-стронция на подложках MgO / О.М. Жигалина [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. -2009. - №7. - С. 55-60.

16. Egerton, R.F. Physical Principles of Electron Microscopy. An Introduction to TEM, SEM, and AEM. Second Edition / R.F. Egerton. - Cham:Springer, 2016. - 196 p.

17. Немова, С.В. Подготовка образцов для просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии: новые установки от Leica Microsystems для нанесения покрытий / С.В. Немова // Наука та шновацн. - 2014. - Т. 10, № 2. - С. 55-60.

18. Павлов, Д.А. Исследование КНС-структур методами просвечивающей электронной микроскопии / Д.А. Павлов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. -2012. - Т. 76, № 9. - С. 1115-1117.

19. Binnig, G. Atomic force microscope / G.Binnig, C.F.Quate, Ch.Gerber // Phys. Rev. Lett. - 1986. -V. 56, N 9. - P. 930 - 933.

20. Быков, В.А. Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования и модификации поверхностей: дисс. ... д-ра технич. наук: 05.27.01, 01.04.01 / Быков Виктор Александрович. - М., 2000. - 393 с.

21. Соснов, Е.А. Методы зондовой микроскопии. Сканирующая ионная микроскопия / Е.А. Соснов. - СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2015. - 52 с.

22. Eaton, P. Atomic Force Microscopy / P. Eaton, P. West. - New York.: Oxford University Press Inc., 2010. - 248 p.

23. Scanning Probe Microscopy - Physical Property Characterization at Nanoscale / Edited by Vijay Nalladega. - Croatia.: InTech, 2012. - 242 p.

24. Binnig, G. Surface studies by scanning tunneling microscopy / G. Binnig, H. Rohrer, C. Gerber, E. Weibel // Phys. Rev. Lett. - 1982. -V. 49, N 1. - P. 57- 61.

25. Миронов, В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В.Л. Миронов. -Нижний Новгород: РАН ИФМ, 2004. - 114 с.

26. Миронов В.Л. Сканирующая зондовая микроскопия твердотельных наноструктур:

автореф. дисс..... д-ра физ.-мат. наук / Миронов Виктор Леонидович. - Нижний

Новгород, 2009. - 35 с.

27. Magonov, S.N. High-Temperature Atomic Force Microscopy of Normal Alkane C60H122 Films on Graphite / S.N. Magonov, N.A. Yerina // Langmuir. - 2003. - V. 19, N 3. - P. 500 - 504.

28. Быков, В.А. Микромеханика для сканирующей зондовой микроскопии и нанотехнологии /В.А. Быков// Микросистемная техника. - 2000. - №1. - С. 21 - 33.

29. Быков, В.А. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности / В.А. Быков, М.И. Лазарев, С.А. Саунин // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. -1997. - № 5. - С. 7 - 14.

30. НТ-МДТ. AFM probes [Электронный ресурс]: URL: http://www.ntmdt-tips.com (дата обращения 25.04.2018).

31. Дедкова, Е.Г. Контактная атомно-силовая спектроскопия металлических пленок и диэлектрических материалов: дисс. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Дедкова Елена Георгиевна. Нальчик, 2008. - 166 с.

32. Галлямов М.О., Яминский И.В. Сканирующая зондовая микроскопия: основные принципы, анализ искажающих эффектов. - (http://spm.genebee. msu.ru/members/ gallyamov/gal_yam/gal_yam1.html).

33. Yang, C.-W. Imaging of soft matter with tapping-mode atomic force microscopy and non-contact-mode atomic force microscopy/C.-W. Yang [et al.] // Nanotechnology. - 2007. - N 18. - P. 1-8.

34. Щербинин, Б.О. Измерение силы удара зонда атомно-силового микроскопа, работающего в режиме амплитудной модуляции / Б.О.Щербинин [и др.] // Физика твердого тела. - 2014. - Т. 56, № 3. - С.516 - 521.

35. Быков, В.А. Режимы притяжения и отталкивания в полуконтактном методе атомно-силовой микроскопии. Автоматизированные способы оптимизации работы в режиме притяжения / В.А. Быков // Материалы электронной техники. - 2008. - №1. - С. 75 - 77.

36. Kuhle, A. Role of attractive forces in tapping tip force microscopy/ A.Kuhle, A.H.Sorensen, J.Bohr // Journal of Applied Physics. - 1997. - N 81. - Р. 6562 - 6569.

37. Mahoney, W. Substrate induced deformation of nanometer-size gold clusters studied by non-contact AFM and TEM / W.Mahoney [et. al] // Surface Science. - 1994. - N 316. - Р. 383-390.

38. Вакштейн, М.С. Определение размеров коллоидных квантовых точек в полуконтактном режиме АСМ / М.С. Вакштейн, Н.В. Аратов, В.В. Зосимов // Молекулярные технологии. - 2007. - №1. - С. 1-14.

39. Sikora, A. AFM study of the mechanical wear phenomena of the polyazomethine with thiophene rings: Tapping mode, phase imaging mode and force spectroscopy / A. Sikora, A. Iwan // High Performance Polymers. - 2012. - V. 24, N 3. - P. 218 -228.

40. Решетняк, Е.Н. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий вопросы атомной науки и техники / Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. - 2008. - № 2. - С. 119-130.

41. Левицкий, В.С. Исследование структуры и состава пленочных золь-гель-систем CoOx-SiO2 / В.С. Левицкий [и др.] // Физика твердого тела. - 2014. - Т. 56, № 2. - С. 270 - 275.

42. Максимов, А.И. Основы золь-гель-технологии нанокомпозитов / А.И.Максимов, В.А.Мошников, Ю.М.Таиров, О.А.Шилова. - СПб.: Изд-во "Элмор", 2007. - 255 с.

43. Михайлов, М.Д. Физико-химические основы получения наночастиц и наноматериалов. Химические методы получения/ М.Д. Михайлов. - СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2012. - 259 с.

44. Борило, Л.П. Тонкопленочные неорганические наносистемы / Л.П. Борило. -Томск: Томский государственный университет, 2012. - 134 с.

45. Сидоров, Ю.Г. Молекулярно-лучевая эпитаксия твердых растворов кадмий-ртуть-теллур на «альтернативных» подложках / Ю.Г. Сидоров [и др.] // Физика и техника полупроводников. - 2001. - Т.35, № 9. - С. 1092 - 1101.

46. Choy, K.L. Chemical vapour deposition of coatings / K.L. Choy // Progress in Materials Science. - 2003. - V. 48, N 2. - Р. 57-170.

47. Алесковский, В.Б. Остовная гипотеза и опыт приготовления некоторых активных твердых тел: дисс. ... д-ра хим. наук/Алесковский Валентин Борисович. -Л., 1952. - 360 с.

48. Алесковский, В.Б. Некоторые закономерности реакций молекулярного наслаивания / В.Б. Алесковский, С.И. Кольцов// Научно-технич. конф. Ленингр. технол. ин-та им. Ленсовета: тез. докл.- Л.: ЛТИ им. Ленсовета. - 1965.- С.67.

49. Кольцов, С.И. Синтез твердых веществ методом молекулярного наслаивания: дисс. ... д-ра хим. наук / Кольцов Станислав Иванович. - Л., ЛТИ, 1971. - 383 с.

50. Малыгин, А.А. Химия поверхности и нанотехнология высокоорганизованных веществ: Сб. научн.трудов / А.А. Малыгин. - СПб: СПбГТИ(ТУ), 2007. - 320 с.

51. Кольцов, С.И. Изучение взаимодействия трихлорсилана с силикагелем / С.И. Кольцов // Журн. прикл. химии. - 1965. - Т. 38, № 6. - С. 1384-1389.

52. Кольцов, С.И Изучение стехиометрии продуктов реакции трихлорсилана с функциональными группами поликремнекислоты / С.И. Кольцов, Г.Н. Кузнецова,

B.Б. Алесковский // Журн. прикл. химии. - 1967.- Т.40, № 12. - С. 2774-2777.

53. Кольцов, С.И. Получение и исследование продуктов взаимодействия четыреххлористого титана с силикагелем / С.И. Кольцов // Журн. прикл. химии.-1969.- Т.42, № 5.- С.1023-1028.

54. Кольцов, С.И. Получение и исследование химического состава продуктов последовательной хемосорбции хлоридов титана и фосфора на поверхности силикагеля / С.И. Кольцов, А.Н. Волкова, В.Б. Алесковский // Журн. прикл. химии. -1969.- Т.42, № 5.- С.1028-1034.

55. Кольцов, С.И. Влияние степени дегидратации силикагеля на механизм гидролиза адсорбированного четыреххлористого титана / С.И. Кольцов, В.Б. Алесковский // Журн. Физ. Хим. - 1968. - Т. 42. - С. 1210-1214.

56. Цветкова, М.Н. Прочность стеклянных микросфер с ультратонкими элементоксидными покрытиями / М.Н. Цветкова, А.А Малыгин // Журн. прикл. химии. - 1986. - Т.59, № 11. - С. 2472 - 2475.

57. Гусаров, В.В. Фазообразование в кремнийоксидной наноразмерной пленке на поверхности оксида алюминия / В.В. Гусаров [и др.] // Письма в ЖТФ. - 1998. - Т. 24, № 1. - С. 3 - 8.

58. Трифонов, С.А. Структура поверхности и термоокислительная деструкция продуктов взаимодействия полиэтилена с парами PCl3 и VOCl3 / С.А. Трифонов, Е.А. Соснов, А.А. Малыгин// Журн. прикл. химии.- 2004.- Т.77, № 11.- С.1872-1876.

59. Трифонов, С.А. Влияние химического модифицирования поверхности полиэтилена галогенидами фосфора, бора, титана, ванадия и кремния на его паропроницаемость./

C.А. Трифонов [и др.] // Журн. прикл. химии.- 2007.- Т. 80.- № 8.- С.1374-1379.

60. Михайловский, С.В. Влияние состава поверхностных оксидных структур (Mo, Nb, V, Ti)/y-Al2O3 на окислительное дегидрирование этана в этилен / С.В. Михайловский [и др.] // Журн. прикл. химии. - 2016. - Т. 89, № 1. - С. 37 - 43.

61. Дроздов, Е.О. Применение квантовохимических подходов для оптимизации режимов синтеза двухкомпонентных фосфор-титаноксидных структур на поверхности кремнезема / Е.О. Дроздов, С.Д. Дубровенский, А.А. Малыгин // Журн. общ. химии. - 2016. - Т. 86, № 10. - С. 1613 - 1623.

62. Малыгин, А.А. Структурно-размерные эффекты и их применение в системах «ядро-нанооболочка», синтезированных методом молекулярного наслаивания / А.А. Малыгин, А.А. Малков, Е.А. Соснов // Известия Академии наук. Серия химическая. - 2017. - № 11. - С. 1939 - 1962.

63. Захарова, Н.В. Сорбционно-индикаторные свойства по отношению к парам воды системы «ванадийсодержащий силикагель - полимерная пленка» / Н.В.Захарова, К.Т.Аккулева, А.А.Малыгин// Известия СПбГТИ(ТУ).- 2016.- № 34 (60).- С.44-48.

64. Malkov, A.A. Influence of chrome-oxide nanostructures on the condition of the disperse boron nitride surface and heat conductivity of the polymeric composite / A.A.Malkov [et al.] // Smart Nanocomposites. - 2015.- V.6, N 2. - P. 216-217.

65. Малков, А.А. Молекулярное наслаивание фосфороксидных структур на поверхности гамма оксида алюминия/ А.А.Малков [и др] // Журн. прикл. химии. - 2016.- Т.89, № 10. - С.1248-1254.

66. Дьякова, А.К. Влияние химического модифицирования пленок ПВХ на морфологию и энергетические характеристики их поверхности/А.К.Дьякова [и др.] // Материалы V Междунар. научно-технич. школы-конф. «Молодые ученые». - 2008. - С. 26 - 29.

67. Рычков, А.А. Диэлектрические и электретные свойства полиэтилена, модифицированного трихлоридом фосфора / А.А. Рычков [и др.] // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. - 2010. - № 122. - С. 7-16.

68. Рычков, А.А. Стабильность электретного состояния в полимерах с модифицированной поверхностью / А.А. Рычков, Д.А. Рычков, С.А. Трифонов // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. - 2004. - Т. 4, № 8. -. С. 122 - 134.

69. Рычков, А.А. Стабильность электретного заряда в пленках и волокнитах полиэтилена, модифицированных парами трихлорида фосфора / А.А. Рычков, Д.А. Рычков, С.А. Трифонов // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. - 2007. - Т. 8, № 38. - С. 89-97.

70. Сидорова, М.П. Оксидные наноструктуры на кремнеземных подложках: синтез и исследование коллоидно-химическими и физическими методами / М.П. Сидорова [и др.] // Вестник СПбГУ, Серия 4. - 2005. - №3. - С. 54 - 63.

71. Гусаров, В.В. Особенности твердофазной реакции образования муллита в наноразмерной пленочной композиции /В.В. Гусаров [и др.] // Доклады РАН. - 1997. -Т. 357, №2. - С. 203 - 205.

72. Scharf, T.W. Atomic layer deposition of tungsten disulphide solid lubricant thin films / T.W. Scharf [et al.] // Journal of Materials Research. - 2004. - V. 19, N 12. - P. 3443-3446.

73. Малыгин, А.А. Синтез многокомпонентных оксидных наноразмерных систем на поверхности пористого диоксида кремния методом молекулярного наслаивания / А.А. Малыгин// Журн. общ. химии. - 2002. - Т. 72, № 4. - С. 617 - 632.

74. Dubrovenskii S.D., Malkov A.A., Malygin A.A. The chemical basis of surface modification technology of silica and alumina by molecular layering method. In Book: Adsorption on New and Modified Inorganic Sorbents. Ed. by A. Dabrowski and V.A. Tertykh. In serie «Studies in Surface Science and Catalysis». Amsterdam. Netherlands: Elsevier, 1996. - V. 99. - P. 213.

75. Назаров, Д.В. Исследование фазового перехода полупроводник-металл в наноразмерном диоксиде ванадия, легированном ионами 3d-элементов, на поверхности кремния / Д.В. Назаров [и др.]// Известия РАН. Серия физическая. -2013. - Т. 77, № 3. - С. 303-306.

76. Pellin, M.J. Mesoporous catalytic membranes: Synthetic control of pore size and wall composition / M.J. Pellin [et all] // Catalysis Letters. - 2005. - V. 102, N 3 - 4. - P. 127 - 130.

77. Семикина, Т.В. Атомное послойное осаждение как нанотехнологический метод для получения функциональных материалов. Обзор/ Т.В.Семикина // Уч. записки Таврического нац. ун-та им. В.И. Вернадского. Серия «Физика». - 2009. - Т. 22 (61), № 1. - С. 116 - 126.

78. Becker, J.S. Diffusion barrier properties of tungsten nitride films grown by atomic layer deposition from bis(tert-butylimido)bis(dimethylamido)tungsten and ammonia /J.S. Becker, R.G. Gordon // Applied Physics Letters. - 2003. - V.82, N 14. - P. 2239 - 2241.

79. Burton, B.B. Atomic layer deposition of MgO using bis(ethylcyclopentadienyl)-magnesium and H2O / B.B. Burton, D.N. Goldstein, S.M. George // J. Phys. Chem. C. -2009. - V. 113. - P. 1939 - 1946.

80. Puyoo, E. Metallic nanoparticle-based strain sensors elaborated by atomic layer Deposition / E. Puyoo [et al.] // Applied Physics Letters. - 2017. - V.110, N 12. - P. 123103-1 -123103-5.

81. Chen-Long, D. Surface passivation of Fe3O4 nanoparticles with Al2O3 via atomic layer deposition in a rotating fluidized bed reactor / D. Chen-Long [et al.] // J. Vac. Sci. Technol.

A. - 2016. - V. 34, N 4. - P. 04C103-1 - 04C103-8.

82. Лунёв, В.М. Адгезионные характеристики покрытий и методы их измерения /

B.М. Лунёв, О.В. Немашкало// Журнал физики и инженерии поверхности. - 2010. - Т. 8, № 1. - С. 64 - 71.

83. Schmidbauer S., Hahn J., Richter F. Adhesion of metal coatings on ceramics deposited by different techniques //Surface and Coatings Technology. - 1993. - V. 59. - P. 325-329.

84. Ляхович, А.М. Оценка физико-химических свойств наноразмерных полимерных покрытий с помощью атомной силовой микроскопии / А.М. Ляхович // Химическая физика и мезоскопия. - 2007.- Т.9, №4. - С. 407 - 414.

85. Погоцкая, И.В. Оценка упругих свойств покрытий нанометровой толщины методом статической силовой спектроскопии /И.В. Погоцкая, С.М. Айзикович, С.А. Чижик // Трение и износ. - 2010. - Т. 31, № 3. - С. 254 - 258.

86. Малыгин, А.А. Технология молекулярного наслаивания и некоторые области ее применения /А.А. Малыгин// Журн. прикл. химии. - 1996. - Т.69, № 10. - С. 1585-1593.

87. Малыгин, А.А. Нанотехнология молекулярного наслаивания / А.А. Малыгин // Российские нанотехнологии. - 2007. - Т. 2, № 3-4. - С. 87 - 100.

88. Ежовский, Ю.К. Поверхностные наноструктуры - перспективы синтеза и использования / Ю.К. Ежовский // Сорос. образоват. журн. - 2000. - Т.6, №1. - С. 56 - 63.

89. Сазонов, С.Г. Зарядовые свойства слоев оксида алюминия, синтезированных методом молекулярного наслаивания // С.Г. Сазонов [и др.] // Письма в ЖТФ. - 1998. - Т. 24, № 13. - С. 58 - 63.

90. Ежовский, Ю.К. Формирование и некоторые свойства хромоксидных нанослоев на полупроводниках / Ю.К. Ежовский, В.Ю. Холкин // Микроэлектроника. - 2008. - Т. 37, № 6. - С. 411 - 417.

91. George, S.M. Atomic Layer Deposition: An Overview / S.M. George // Chem. Rev. -2010. - V. 110, N 1. - P. 111-131.

92. Alen, P. Diffusion Barrier Properties of Atomic Layer Deposited Ultrathin Ta2O5 and TiO2 Films / P. Alen [et. all] // Journal of The Electrochemical Society. - 2006. - V. 153, N 4. - P. G304 - G308.

93. Барабан, А.П. Структуры с управляемым сопротивлением, формируемые методом молекулярного наслаивания / А.П. Барабан [и др.] // Вестник СПбГУ. Сер. 4. - 2013. -№ 4. - С. 42 - 47.

94. Agostinelli, G. Very low surface recombination velocities on p-type silicon wafers passivated with a dielectric with fixed negative charge /G. Agostinelli [et al.] // Solar Energy Materials & Solar Cells. - 2006. - V. 90, N 18-19. -P. 3438-3443.

95. Hoex, B. On the c-Si surface passivation mechanism by the negative-charge-dielectric Al2O3 / B.Hoex [et al.] // J. Appl. Phys. - 2008. - V. 104, N 11. - P. 113703.

96. Spiering, S. Stability behavior of Cd-free Cu(In,Ga)Se2 solar module with In2S3 buffer layer prepared by atomic layer deposition / S. Spiering [et al.]// Thin Solid Films. - 2005. -V. 480-481, N 99. - P. 195 - 198.

97. Platzer-Bjorkman, C. Zn(O,S) buffer layers by atomic layer deposition in Cu(In,Ga)Se2 based thin film solar cells: Band alignment and sulfur gradient / C. Platzer-Bjorkman [et al.] // J. Appl. Phys. - 2006. - V. 100. - P. 044506 - 044512.

98. Zhimin, Ch. Nanotribological Behavior of Ultra-thin Al2O3 Films Prepared by Atomic Layer Deposition / Ch. Zhimin [et al.] // Tribol Lett. - 2014. - V. 55, N 1. - P. 143-149.

99. Zhimin, Ch. Atomic layer deposition of zinc oxide films: Effects of nanocrystalline characteristics on tribological performance / C. Zhimin, L. Xinchun,, H. Dannong // Surface & Coatings Technology. - 2012. - V. 207. - P. 361-366.

100. Yurkevich, O.V. Thin_Film Protective Coatings of Beryllium Windows and Lenses for Intense X-ray Radiation Sources / O.V. Yurkevich [et al.] // Journal of surface investigation. x-ray, synchrotron and neutron techniques. - 2015. - V. 9, N 2. - P. 243 - 247.

101. Барченко, В.Т. Исследование и моделирование сенсора гелия для портативного течеискателя / В.Т. Барченко, М.Л. Виноградов // Вестник Полоцкого гос. ун-та. Серия С. - 2013. - №4. - С. 50 - 56.

102. Хохлов, Е.А. Формирование непрозрачного диэлектрического декоративного покрытия для сенсорных дисплеев / Е.А. Хохлов, А.С. Мысливец, А.Г. Смирнов // Доклады БГУИР. - 2014. - № 8 (86). - С. 86 - 89.

103. Бугаев, А.С. Маломощные рентгеновские трубки (современное состояние) / А.С. Бугаев [и др.] // Успехи физических наук. - 2013. - Т. 183, № 7. - С. 727 - 740.

104. Соснов, Е.А. АСМ-исследование нанопокрытий, синтезированных методом молекулярного наслаивания на поверхности стеклянных матриц / Е.А. Соснов [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2006. -№9. - С. 44 - 50.

105. Путконен, М. Новые применения атомно-слоевого осаждения (АСО)/ М.Путконен, В.Тузовский // Наноиндустрия, Промышленные нанотехнологии. - 2010. - №5. -С. 18-21.

106. Griffith, A.A. The phenomena of rupture and flow in solids / A.A. Griffith // Phil. Trans. Roy. Soc. London. - 1920. - A221. - Р. 163-198.

107. Никоноров, Н.В. Оптическое материаловедение: основы прочности оптического стекла / Н.В. Никоноров, С.К. Евстропьев. - СПб: СПбГУ ИТМО, 2009. - 102 с.

108. Толмачев, В. А. Молекулярное наслаивание титаноксидных слоев и их влияние на химическую устойчивость оптического стекла / В.А.Толмачев, М.А. Окатов // Оптико-механ. Пром. - 1984. - № 6. - С. 57-59.

109. Буркат, Т.М. Микропористая структура полированной поверхности стекол и влияние на нее химического модифицирования / Т.М. Буркат [и др.] // Физика и химия стекла. - 1990. - Т. 16, № 1. - С. 69-73.

110. Малков, А.А. Влияние титаноксидных нанопокрытий на качество поверхности стеклянных изделий электронной техники / А.А. Малков [и др.] // Физика и химия стекла. - 2006. - Т. 32, № 1. - С. 100 - 105.

111. Иванов, С.А. Рентгеновские трубки технического назначения / С.А. Иванов, Г.А.Щукин. - Л.: Энергоатомиздат, 1989. - 200 с.

112. Рентгеновские трубки: устройство, применение, проблемы электрической прочности и нанотехнологические подходы ее повышения / Г.Л. Брусиловский [и др.].

- СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2012. - 184 с.

113. Драгунов, В.П. Основы наноэлектроники / В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В. А. Гридичин. - Новосибирск: Изд. НГТУ, 2000. - 332 с.

114. Graugnard, E. Photonic band tuning in two-dimensional photonic crystal slab waveguides by atomic layer deposition / E. Graugnard [et al.] // Appl. Phys. Lett. - 2006. -V. 89. - P. 181108.

115. Solehmainen, K. Erbium-doped waveguides fabricated with atomic layer deposition method / K. Solehmainen [et al.] // IEEE Photonics Technology Letters. - 2004. - V. 16, N 1.

- P. 194-196.

116. Norin, L. Atomic Layer Deposition as a New Method for Rare-Earth Doping of Optical Fibers / L.Norin [et al.] // CLEO. - 2007. - P. 217- 220.

117. Рогов, А.М. Оптические кварцевые волокна с функциональными титаноксидными нанопокрытиями / А.М. Рогов, Т.С. Павленко, А.А. Малыгин // Известия СПбГТИ(ТУ). -2010. - №8. - С 40 - 43.

118. Hong, Ch. G. Recent progress of atomic layer deposition on polymeric materials / Ch.G. Hong [et al.] // Materials Science and Engineering C. - 2017. - V. 70. - P. 1182-1191.

119. Petrochenko, P.E. Prevention of Ultraviolet (UV)-Induced Surface Damage and Cytotoxicity of Polyethersulfone Using Atomic Layer Deposition (ALD) Titanium Dioxide / P.E. Petrochenko [et al.] //JOM. - 2013. - V. 65, N 4. - P. 550 - 556.

120. Kaariainen, Т.О. Atomic layer deposition on polymer based flexible packaging materials: Growth characteristics and diffusion barrier properties / Т.О. Kaariainen [et al.] // Thin Solid Films. - 2011. - V. 519, N 10. - P. 3146 - 3154.

121. Hirvikorpi, T. Atomic layer deposited aluminum oxide barrier coatings for packaging materials / T. Hirvikorpi [et. all] // Thin Solid Films. - 2010, - V. 518, N 10. - P. 2654 - 2658.

122. Hirvikorpi, T. Comparison of some coating techniques to fabricate barrier layers on packaging materials / T. [et al.] //Thin Solid Films. - 2010. - V. 518, N 19. - P. 5463 - 5466.

123. Чвалун, С.Н. Полимер-силикатные нанокомпозиты: физико-химические аспекты синтеза полимеризацией in situ / С.Н. Чвалун [и др.] // Рос. хим. ж. (Ж. Рос. хим. об-ва им. Д.И. Менделеева). - 2008. - Т. LII, № 5. - С. 52 - 57.

124. Кахраманов, Н.Т. Наноструктурированные композиты и полимерное материаловедение / Н.Т. Кахраманов [и др.]// Пластические массы. - 2016. - № 1-2. - С. 49 - 57.

125. Куренков, В.В. Полиэтилен-алюмосиликатные нанокомпозиты для защиты покрытий магистральных трубопроводов / В.В. Куренков [и др.]// Пластические массы. - 2015. - №7-8. - С. 53 - 60.

126. Полубояров, В.А. Влияние модифицирования полимеров нанодисперсными керамическими частицами на свойства нанокомпозитов / В.А. Полубояров [и др.] // Вестник КемГУ. - 2010. - №1. - С. 22 - 27.

127. Kojima, Y. Synthesis of nylon 6-clay hybrid by montmorillonite intercalated with e-caprolactam / Y. Kojima , A. Usuki, M. Kawasumi, A. Okada, T. Kurauchi, O. Kamigaito // J. Polym. Sci., Part A. - 1993. - V.31. - P. 983 - 986.

128. Kojima, Y. One-pot synthesis of nylon 6-clay hybrid / Y. Kojima [et al.] // J. Polym. Sci. Part A. - 1993. - V.31. - P. 1755 - 1758.

129. Yano, K. Synthesis and properties of polyimideclay hybrid / K. Yano [et al.] // J. Polym. Sci. Part A. - 1993. - V. 31. - P. 2493 - 2498.

130. Шебанов, С.М. Структура и свойства нанокомпозиционных матералов с полимерной матрицей / С.М. Шебанов // Достижения науки и техники АПК. - 2011. -№11. - С. 68 - 70.

131. Богомолова, О.Ю. Условие формирования сплошной полимерной оболочки на поверхности субмикронных частиц в многофазных газовых потоках / О.Ю. Богомолова [и др.] // Вестник Казанского технологич. ун-та. - 2015. - Т.18, №6. - С. 49 - 52.

132. Yasmin, A. Processing of expanded graphite reinforced polymer nanocomposites / A.Yasmin, J.-J. Luo, I.M. Daniel // Composites Science and Technology. - 2006 - V. 66, N

9. - P. 1179-1186.

133. Zeng, O.H. Clay-Based Polymer Nanocomposites: Research and Commercial Development / O.H. Zeng [et al.] // J. of Nanoscience and Nanotechnology. - 2005 - V.5, N

10. - P. 1574-1592.

134. Галичин, Н.А. Влияние частичных разрядов на спектры токов термостимулированной деполяризации / Н.А. Галичин, М.Э. Борисова // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. - 2009. - № 79. - С. 119 - 128.

135. Осина, Ю.К. Релаксационные процессы в полимерных модифицированных материалах: дисс. ... канд. технич. наук: 05.09.02 / Осина Юлия Константиновна. -СПб., 2017. - 159 с.

136. Hong, Ch. G. Recent progress of atomic layer deposition on polymeric materials / Ch.G. Hong [et al.] // Materials Science and Engineering C. - 2017. - V. 70. - P. 1182-1191.

137. Adamson, A.W. Physical chemistry of Surfaces/ A.W. Adamson. - New York: John Wiley, 1967. - 398 р.

138. Asadinezhad, A. Recent Progress in Surface Modification of Polyvinyl Chloride/ A. Asadinezhad [et al.] // Materials. - 2012. - N 5. - P.2937-2959.

139. Химия привитых поверхностных соединений / Под ред. Г. В. Лисичкина. - М.: Физматлит, 2003. - 567 с.

140. Кольцов, С.И. Синтез "многослойных" неорганических полимеров /С.И. Кольцов // Научно-технич. конф. Ленингр. технол. ин-та им. Ленсовета: тез. докл. - Л.: ЛТИ им. Ленсовета. - 1963.- С.27.

141. Толмачев, В.А. Исследование возможности применения гравиметрического метода для изучения процесса молекулярного наслаивания на дисперсных кремнеземных образцах / В.А. Толмачев // Журн. прикл. химии.- 1982.- Т.55, № 6.- С.1410-1412.

142. Толмачев, В.А. Исследования процесса синтеза сверхтонких слоев титаноксида в пористом стекле/ В.А. Толмачев, М.А. Окатов// Оптико-механическая промышл. -1984.- № 2.- С.38-41.

143. Романычев, А.И. Адсорбционные взаимодействия в процессе роста пленок сульфидов цинка и кадмия / А.И. Романычев // Журн. прикл. химии.- 1992.- Т.65, № 12.- С.2672-2676.

144. Nefedov, A. Advanced Applications of NEXAFS Spectroscopy for Functionalized Surfaces / A. Nefedov, Ch. Woll // Surface Science Techniques. - 2013 -V. 51. - P. 277-303.

145. Malygin, A.A. From V. B. Aleskovskii's "Framework" Hypothesis to the Method of Molecular Layering/Atomic Layer Deposition / A.A. Malygin, V.E. Drozd, A.A. Malkov, V.M. Smirnov // Chemical Vapor Deposition. - 2015. - V. 21, N 10-11-12. - P. 216 - 240.

146. Алексеев, С.А. Введение в прикладную эллипсометрию / С.А. Алексеев [и др.]. -СПб.: ГУ ИТМО, 2005. - 200 с.

147. Свешникова, Г.В. Изучение взаимодействия четыреххлористого титана с гидроксилированной поверхностью монокристаллов кремния / Г.В. Свешникова, С.И. Кольцов, В.Б. Алесковский // Журн. прикл. химии.- 1970.- Т.43, № 2.- С.430-431.

148. Болотов, В.В. Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний - оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии / В.В. Болотов [и др.]// Журнал технич. физики. - 2011. - Т. 81, № 11. - С. 52 - 57.

149. Шевяков, А.М. Химия высокотемпературных материалов / А.М. Шевяков, Г.Н. Кузнецова, В.Б. Алесковский. - Л.: Наука, 1967. - 149 с.

150. Кольцов, С.И. Синтез и исследование алюминийкислородных слоев на поверхности кремнезема / С.И.Кольцов [и др.] // Журн. прикл. химии.- 1976.- Т.49, № 3.- С.516-519.

151. Повстугар В.И. Строение и свойства поверхности полимерных материалов / В.И. Повстугар, В.И. Кодолов, С.С. Михайлова. - М.: Химия, 1988.- 192 с.

152. Трифонов, С.А. Химические превращения и термоокислительная устойчивость полиэтилена с фосфор- и ванадийоксидными наноструктурами на поверхности / С.А. Трифонов, Е.А. Соснов, А.А. Малыгин // Известия РГПУ им. А.И. Герцена. - 2005. -Т.5, № 13. - С. 219 - 232.

153. Kim, D.H. Stable anatase TiO2 coating on quartz fibers byatomic layer deposition for photoactive light-scattering in dye-sensitized solar cells / D.H. Kim [et al.] // Nanoscale. -2012. - V.4, № 15. - P. 4731 - 4738.

154. Choi, K. Growth mechanism of TiN film on dielectric films and the effects on the work function / K. Choi [et al.] // Thin Solid Films. - 2005. - V. 486, N 1-2. - P. 141.

155. Elam, J.W. Atomic layer deposition of palladium films on Al2O3 surfaces / J.W. Elam [et al.] // Thin Solid Films. - 2006. - V. 515, N 4. - P. 1664 - 1673.

156. Riyanto, E. Influence of reactive surface groups on the deposition of oxides thin film by atomic layer deposition / E. Riyanto [et al.] // Surface & Coatings Technology. - 2017. - V. 329. - P. 149 - 154.

157. Sun, Yu. Influence of Subsurface Hybrid Material Growth on the Mechanical Properties of Atomic Layer Deposited Thin Films on Polymers / Yu. Sun [et al] // Chemical Vapor Deposition. - 2013. - V. 19, N 4-6. - P. 134 - 141.

158. Zhuiykov, S. Atomic layer deposition-enabled single layer of tungsten trioxide across a large area / S. Zhuiykov [et al.] // Applied Materials Today. - 2017. - V. 6. - P.44-53.

159. Spagnola, J.C. Surface texture and wetting stability of polydimethylsiloxane coated with aluminum oxide at low temperature by atomic layer deposition / J.C. Spagnola, B.Gong, G.N. Parsons // J. Vacuum Science & Technology A. - 2010. - V. 28, N 6. - P. 1330.

160. Погоцкая, И.В. Определение модуля упругости нанопокрытий методом атомно-силовой микроскопии / И.В. Погоцкая, Т.А. Кузнецова, С.А. Чижик // Механика машин, механизмов и материалов. - 2011. - № 3 (16). - С. 43 - 49.

161. Riyanto, E. TiO2 nanosheets synthesized by atomic layer deposition for photocatalysis / E. Riyanto [et al.] // Progress in Natural Science: Materials International. - 2016. - V. 26. N 5. - P. 493-497.

162. Schmidt, O.G. Nanotechnology: Thin solid films roll up into nanotubes / O.G. Schmidt, K. Eberl // Nature. - 2001. - V. 410, N 6825. - P. 168 - 172.

163. Yersak, A.S. Characterization of Thin Film Dissolution in Water with in Situ Monitoring of Film Thickness Using Reflectometry / A.S. Yersak [et al.] // ACS Applied Materials & Interfaces. - 2016. - V. 8, № 27. - P. 17622 - 17630.

164. Huang, Y. Preparation and characterization of molybdenum disulfide films obtained by one-step atomic layer deposition method / Y. Huang [et al.] // Thin Solid Films. - 2017. - V. 624. - P. 101-105.

165. Sosnov, E.A. Features of sample preparation and atomic force microscopy study of dispersed nanomaterials /E.A. Sosnov, A.A. Malygin // Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. - 2008. - V. 2, N 5. - P. 699-704.

166. Wu, M.K. ZnO quantum dots embedded in a SiO2 nanoparticle layer grown by atomic layer deposition/M.K. Wu [et al.]//Phys. Status Solidi RRL. - 2009. - V. 3, N 2-3. - P. 88-90.

167. Hakim, L.F. Modification of Interparticle Forces for Nanoparticles Using Atomic Layer Deposition / L.F. Hakim, J.H. Blackson, A.W. Weimer // Chemical Engineering Science. -2007. - V. 62, N 22. - P. 6199 - 6211.

168. Andersson, K.M. Friction and adhesion of single spray-dried granules containing a hygroscopic polymeric binder / K.M. Andersson, L. Bergstrom // Powder Technology. -2005. - V. 155, N 2. - P. 101-107.

169. Tamm, A. Plasmon resonance effect caused by gold nanoparticles formed on titanium oxide films / A. Tamm [et al.] // Thin Solid Films. - 2016. - V. 612. - P. 449 - 455.

170. Hirvikorpi,T. Atomic layer deposited aluminum oxide barrier coatings for packaging materials / T. Hirvikorpi [et al.] // Thin Solid Films. - 2010. - V. 518, N 10. - P. 2654 - 2658.

171. Kang,G. High Aspect-Ratio Iridium-Coated Nanopillars for Highly Reproducible Surface-Enhanced Raman Scattering (SERS) / G. Kang [et al.] // ACS Applied Materials & Interfaces. - 2015. - V. 7, N 21. - P. 11452 - 11459.

172. Wang, Ch. Precisely Applying TiO2 Overcoat on Supported Au Catalysts Using Atomic Layer Deposition for Understanding the Reaction Mechanism and Improved Activity in CO Oxidation / Ch.Wang [et al.] // J. Physical Chemistry C. - 2016. - V. 120, N 1. - P. 478-486.

173. Соснов, Е.А. Гидролитическая устойчивость связей Si-O-Ti в процессе химической сборки титаноксидных наноструктур на поверхности кремнеземов / Е.А. Соснов, А.А. Малков, А.А. Малыгин // Успехи химии. - 2010. - Т. 79, № 10. - С. 987-1000.

174. Соснов, Е.А. Особенности химической сборки титаноксидного слоя на микропористом кремнеземе / Е.А. Соснов, Т.С. Трубина, А.А. Малыгин // Журн. общ. химии. - 2017. - Т.87, № 8. - С. 1378. - 1385.

175. Патент RU 2301202 / Способ изготовления стеклянных шариков или микросфер / А.Н. Трофимов [и др.]; заявитель и патентообладатель ОАО «Научно-произв. Объединение «Стеклоплпстик»». - заявл. 15.08.2005, опубл. 20.02.2007.

176. [Электронный ресурс]. URL:www.sigmaaldrich.com. (дата обращения 25.05.2018).

177. Ефимов, Н.Ю. Химическая сборка и функциональные свойства фосфор-, кремний-, титансодержащих структур на поверхности компонентов полимерных материалов: дис. ... канд. хим. наук: 02.00.21 / Ефимов Никита Юрьевич. СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2015. - 158 с.

178. Синтез методом молекулярного наслаивания и функциональные свойства металлоксидных нанопокрытий на поверхности кварцевых оптических волокон / А.А.Малыгин, В.В.Антипов, А.С.Кочеткова, Г.Я.Буймистрюк // Журн. прикл. химии.- 2018.- Т.91, № 1.- С.17-27.

179. Дьякова, А.К. Структурно-химические превращения на поверхности пленок полиэтилена и поливинилхлорида при взаимодействии с галогенидами фосфора, ванадия, титана и кремния: дис. ... канд. хим. наук: 02.00.21 / Дьякова Анна Константиновна. - СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2009. - 149 с.

180. Ефимов, Н.Ю. Разработка установки для синтеза методом МН функциональных нанопокрытий на внутренней поверхности корпусов рентгеновских трубок/ Н.Ю.Ефимов [и др.] // Тез. докл. V научно-техн. конф. студентов, аспирантов и молодых ученых «Неделя науки 2015». - СПб. - 2015. - С. 230.

181. Кочеткова, А.С. Оценка износостойкости поверхности модифицированных пленок ПВХ с применением сканирующей зондовой микроскопии./ А.С. Кочеткова [и др.] // Деформация и разрушение материалов. - 2016.- № 8.- С.36 - 43.

182. Дубравин, А.М Моделирование динамического контакта зонд-образец / А.М. Дубравин //Материалы VII междунар. Семинара. - Минск. - 2006. - С.128-133.

183. Бирюков, А. А. Механические колебания /А. А. Бирюков, Э.Н. Воробьева, И.Н. Семчинова; под ред. А.А. Бирюкова. - Самара: Изд-во «Самарский университет», 2011. - с. 167.

184. Ландау, Л.Д. Теоретическая физика. T.VII. Теория упругости. / Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. - М.: Наука, 1987. - 246 с.

185. Рычков, А.А. Электретный эффект в структурах полимер - металл / А. А. Рычков,

B. Г. Бойцов. - СПб.: Издательство РГПУ, 2000. - 250 с.

186. Витман, Ф.Ф. К вопросу о повышении прочности стекла / Ф.Ф. Витман,

C.Н.Журков, Б.Я. Левин, В.П.Пух - В кн.: Некоторые проблемы прочности твердого стекла. - М.-Л.: АН СССР, 1959. - C. 340-348.

187. Михайлов, М.Д. О влиянии режимов перемешивания на скорость растворения халькогенидных стекол и пленок / М.Д. Михайлов, Н.А. Аникина // Физика и химия стекла. - Т. 37, №1. - С. 28 - 38.

188. Папко, Л.Ф. Микропористые стекла на основе системы №20-В203-8Ю2/Л.Ф. Папко //Весщ нац. акадэми навук Беларуси Серыя х1м1чных навук.-2015. -№ 4. - С. 97- 101.

189. Сиренек, В.А. Моделирование диффузионных процессов в стеклах с релаксационным характером массопереноса / В.А. Сиренек // Известия СПбГТИ(ТУ). - 2013. - №22. - С. 15 - 23.

190. Karaduman, I. C02 gas détection properties of a Ti02/Al203 heterostructure under UV light irradiation. / I. Karaduman, M. Demir, D. E. Yildizand // Physica Scripta. -2015. -V. 90, N 5. - P. 055802 - 055810.

191. Boyadjiev, S.I. Preparation and characterization of ALD deposited ZnO thin films studied for gas sensors/ S.I. Boyadjiev [et al.] //Applied Surface Science. - 2016. - V. 387. -P. 1230-1235.

192. Фрайден, Дж. Современные датчики / Под ред. Е.Л. Свинцова; пер. с англ. - М: Техносфера, 2006. - 592 с.

193. Rossmanith, T. Manufacturing of core mirrors for intrinsic Fabry-Perot interferometers using sol-gel process / T. Rossmanith [et al.] // SPIEconfernce. California, March, 1999. -V. 3670. - P. 34-40.

194. Буймистрюк, Г.Я. Интеллектуальный волоконно-оптический датчик для измерений в экстремальных условиях / Г.Я. Буймистрюк, А.М. Рогов/ZPaper #284 - ANIMMA International Conference, 7-10 June 2009, Marseille, France.

195. Патент RU 153476 / Устройство молекулярного наслаивания титаноксидных нанопокрытий на поверхность оптических кварцевых волокон./ А.А.Малыгин, В.В.Антипов, Г.Я.Буймистрюк. - № 2014128956/02, заявл. 15.07.2014, опубл. 20.07.2015// Изобретения и полезные модели.- 2015.- № 20.- 2 с.

196. Лунин, Б.С. Образование дефектов поверхности кварцевого стекла при термообработке/ Б.С. Лунин, С.Н. Торбин// Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. - 2005. - Т. 46, № 6. - С. 378 - 381.

197. Глаголев, С.П. Кварцевое стекло. Его свойства, производство и применение./ С.П. Глаголев; под ред. Н.Н. Яроцкого. - Л.-М.: ОНГИ, 1934. - 216 c.

198. Бетехтин, А.Г. Курс минералогии. / А.Г. Бетехтин. - М.: Гос. изд-во геологической литературы, 1951. - 543 с.

199. Зимин, В.С. Стеклодувное дело и стеклянная аппаратура для физико-химического эксперимента. / В.С. Зимин. - М.: Химия, 1974. - 328 с.

200. Proctor, B.A. The strength of fused silica / B.A. Proctor, I.Whitney, J.W. Johnson // Proc. Royal Soc. Ser. A. Mathematical and physical sciences. - 1967. - V. 297, N 1451. - P. 534-560.

201. Асланова, М.С. Механические и тепловые свойства и строение неорганических стекол / М.С. Асланова, В.И. Шелюбский, В.Е. Хазанов, Л.Г. Герасимова; под ред. Г.М. Бартенева. - М.: ВНИИЭСМ, 1972. - 389 с.

202. Резак, Е.В. Учет погрешности измерения длины оптического волокна / Е.В. Резак, М.Р. Прокопович// Вестник ТОГУ. - 2008. - №4 (11). - С. 167 - 172.

203. Люкшин, П.А. Моделирование отслоения термобарьерных покрытий под действием температурных напряжений/ П.А. Люкшин [и др.]// [Электронный ресурс]. URL http://conf.ict.nsc.ru/files/conferences/niknik-90/fulltext/35766/47806.pdf.

204. Кочеткова, А.С. Оценка качества сверхтонкого титаноксидного покрытия на поверхности боросиликатного стекла методами атомно-силовой микроскопии / А.С.Кочеткова, Е.А.Соснов, Н.Ю.Ефимов, А.А.Малков // Сб. матер. 18 Всеросс. молодежн. научн. школы-семинара «Актуальные проблемы физической и функциональной электроники». Ульяновск: Изд. УлГТУ - 2015. - С. 210.

205. Кочеткова, А.С. Анализ морфологии и свойств поверхности стеклянных матриц с нанопокрытиями методами СЗМ / А.С.Кочеткова, Н.Ю. Ефимов, Е.А. Соснов, А.А. Малков, А.А. Малыгин, В.В. Антипов, А.Н. Гукова, Г.Л. Брусиловский // Сб. тез. XXVI Российской конф. по электронной микроскопии «РКЭМ-2016». Зеленоград: ИПТМ РАН. - 2016. - С. 486 -487.

206. Кочеткова, А.С. Исследование морфологии нанопокрытий на поверхности стеклянных матриц методами АСМ и СЭМ. // А.С.Кочеткова, Е.А.Соснов, А.А.Малков, А.А.Малыгин // Органические и гибридные наноматериалы: матер. VI Всеросс. школы-конф. молодых ученых. Россия, Иваново, 1-4 июля 2017.- Иваново: Иван.ГУ. - 2017.- С.130-133.

207. Neves, B.R.A. Comparative Study of Field Emission-Scanning Electron Microscopy and Atomic Force Microscopy to Assess Self-assembled Monolayer Coverage on Any Type of Substrate / Bernardo R.A. Neves [et al.] // Microscopy and Microanalysis. - 1999. - N 5. - P. 413-419.

208. Кукушкин, С.А. Процессы конденсации тонких пленок /С.А. Кукушкин, А.В. Осипов // Успехи физич. наук. - 1998. - Т. 168, № 10. - С. 1083 - 1116.

209. Алехин, А.П. Химико-технологические основы низкотемпературного формирования межфазных границ раздела диэлектрик-полупроводник: дис. ... д-ра техн. наук: 02.00.18 / Алехин Анатолий Павлович. - М.:НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина, 1999. - 72 с.

210. Кочеткова, А.С. Влияние эксплуатационных условий на морфологию титаноксидных нанопокрытий на поверхности стеклянных баллонов рентгеновских трубок / А.С.Кочеткова, Е.А.Соснов, О.И.Лепешова, А.А.Малков, А.А.Малыгин // IV Школа-конф. молодых учёных "Неорганические соединения и функциональные

материалы" (ICFM-2017). Новосибирск, 21-26 мая 2017. Программа и сб. тез. докл.-Новосибирск: ИНХ СО РАН. - 2017.- С.106.

211. Кофстад, П. Отклонение от стехиометрии, диффузия и электропроводность в простых окислах металлов. / П. Кофстад. - М.: Мир, 1975. - 396 с.

212. Nowotny, J. Structure and properties of anatase TiO2 thin films made by reactive electron beam evaporation / J. Nowotny [et al.] // Ceramics International. - 1998. - V. 24, N 8. - P. 571-577.

213. Патент RU 2648360 / Электретный материал на основе полиэтилена и способ его изготовления / А.С. Кочеткова, Е.А. Соснов, Н.Ю. Ефимов, А.А. Малыгин, А.А. Рычков, А.Е. Кузнецов. - №2017115606, заяв. 03.05.2017, опубл. 26.03.2018 // Изобретения. Полезные модели. - 2018. - №9. - 11 с.

214. Кочеткова, А.С. Формирование защитного покрытия на поверхности тонкопленочных полимерных диэлектриков / А.С. Кочеткова, Е.А. Соснов, А.А. Малыгин // Физика диэлектриков (Диэлектрики-2017): Матер. XIV Международн. конф. Санкт-Петербург, 29 мая - 2 июня 2017. Т.2.- СПб.: Изд-во РГПУ им. А.И.Герцена. - 2017. - С.38-40.

215. Кочеткова, А.С. Формирование кремнийорганических структур на поверхности модифицированных полимеров для защиты от гидратации./ А.С. Кочеткова, Е.А. Соснов, А.А. Малыгин// Органические и гибридные наноматериалы: матер. VI Всеросс. школы-конф. молодых ученых. Россия, Иваново, 1-4 июля 2017.- Иваново: Иван.ГУ. - 2017.- С. 126 - 129

216. Семенова, В.А. Гидрофобизация поверхности модифицированного фосфор-оксидными структурами полиэтилена/ В.А. Семенова, А.С. Кочеткова, Е.А. Соснов // Химия твердого тела и функциональные материалы - 2018. Термодинамика и материаловедение: тез. докл. Всеросс. конф. с международн. участием и XII Всеросс. симпозиума с международн. участием. Санкт-Петербург, 21-27 мая 2018.- СПб.: Типография "НОВБЫТХИМ". - 2018.- С.314.

217. Трескина, М.Н. Влияние тепловой обработки на свойства и структуру полиэтилена / М.Н. Трескина, Г.И. Сычев, А.Н. Руднев // Известия Томского ордена труд. красного знамени Политехнич. ин-та им. С.М. Кирова. - 1971. - Т. 204. - С. 40 - 45.

218. Качан, А.А. Фотохимическое сшивание полиэтилена в присутствии треххлористого фосфора / А.А. Качан, Г.В. Чернявский, В.А. Трубович // Высокомолекулярные соединения. - 1967. - Т. IX, №5. - С. 1076 - 1080.

219. Сирота, А.Г. Модификация структуры и свойств полиолефинов / А.Г. Сирота. - Л.: Химия, 1974 — 176 с.

220. Щукин, Е.Д. Коллоидная химия / Е.Д. Щукин, А.В. Перцов, Е.А. Амелина. - М.: Высшая школа, 2004. - 445 с.

221. Новиков, Г.К. Влияние процессов сшивки и термоокислительной деструкции на электретную поляризацию полиэтилена и поливинилхлорида / Г.К. Новиков // Вестник ИрГУ. - 2003. - № 3 - 4. - С. 93 - 96.

222. Евдокимов, А.В. Синтез многокомпонентных элементоксидных монослоев на поверхности кремнезема, особенности их строения и межфункциональных взаимодействий: дис. ... канд. хим. наук: 02.00.04 / Евдокимов Андрей Витальевич. Л.: ЛТИ, 1985. - 193.

223. Волкова, А. В. Адсорбция потенциалопределяющих ионов на пористых стеклах различного состава / А.В. Волкова, Л.Э. Ермакова, Т.В. Антропова, М.П. Сидорова // Коллоидный журнал. - 2010. - Т. 72, № 1. - С. 8-16.

224. Кочеткова, А.С. Исследование нанокомпозитов на основе поливинилхлорида методами атомно-силовой микроскопии / А.С. Кочеткова, Н.Ю. Ефимов, Е.А. Соснов // Научно-технич. ведомости СПбГПУ, Физ.-мат. науки.- 2013.- № 1 (165).-С.114-119.

225. Кочеткова, А.С. Влияние химического модифицирования поверхности наполнителя на структуру и проницаемость композитной пленки на основе поливинилхлорида / А.С. Кочеткова, Н.Ю. Ефимов, Е.А. Соснов, А.А. Малыгин // Журн. прикл. химии.- 2015. - Т.88, №1. - С.116-124.

226. Кочеткова, А.С. Полимерные нанокомпозиты: исследование методом атомно-силовой микроскопии морфологии поверхности и пространственного распределения наполнителя / А.С. Кочеткова, Е.А. Соснов.// Современные актуальные проблемы естественных наук: Материалы междунар. научно-практич. интернет-конф. Актобе (Казахстан), 18-27 дек. 2014.- Т.1. - Актобе, Актюбинский РГУ им. К.Жубанова. -2014.- С. 121-125.

227. Кочеткова, А.С. Атомно-силовая микроскопия нанокомпозитов на основе наполненного поливинилхлорида / А.С. Кочеткова, Е.А. Соснов.// III Всерос.

Молодежная конф. с элементами научной школы "Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества". Москва, 29 мая- 01 июня 2012. Сб. материалов.- М.: ИМЕТ РАН, РХТУ им. Д.И.Менделеева. - 2012.- С.347-348.

228. Мерер, Х. Диффузия в твердых телах./ Х. Мерер; пер. с англ. - Долгопрудный: Изд. Дом «Интелект», 2011. - 536 с.

229. Бекман, И.Н. Мембраны в медицине: Курс лекций/И.Н. Бекман. - М.: МГУ им. М.В.Ломоносова, 2010. [Электронный ресурс]. URL http://profbeckman.narod.ru /MedMemb.htm

230. Рудобашта, С.П. Расчет эффективного коэффициента диффузии по структурным характеристикам полимеров / С.П. Рудобашта [и др.] // Вестник ТГТУ.- 2012.- Т. 18, № 4.- С.881-888.

231. Чалых, А.Е. Диффузия в полимерных системах./ А.Е. Чалых. - М.: Химия, 1987.- 312 с.

232. Бекман, И.Н. Математический аппарат диффузии. Часть 1. Методы решений диффузионных уравнений: учебное пособие/ И.Н. Бекман. - М.: МГУ, 1990. - 64 с.

233. Соловьев, С.А. Перспективы применения процессов мембранного газоразделения для подготовки и переработки природного и попутного газов/ С.А. Соловьев, A.M. Поляков // Критические технологии. Мембраны. - 2006.- № 4 (32).- С.3-18.

234. Ван Везер. Фосфор и его соединения / Ван Везер. - М.: ИИЛ, 1962. - 642.с.

235. Киселев, В.Ф. Адсорбционные процессы на поверхности полупроводников и диэлектриков / В.Ф. Киселев, О.В. Крылов.- М.: Наука, 1978.- 256 с.

236. Брык, М.Т. Полимеризация на поверхности неорганических веществ/ М.Т. Брык.-Киев: Наукова Думка, 1981. - 288 с.

237. Сайко, Д.С. Адсорбционные слои воды на поверхности тонких пленок оксида алюминия./ Д.С. Сайко [и др.] // Журн. технич. физики. - 2009. - Т.79, № 12. - С.86-91.

238. Загайтов, А.И. К вопросу о критериях спинодального механизма фазового распада / А.И. Загайтов, А.Е. Чалых// Структура и динамика молекулярных систем: Матер. VI Всеросс. конф.- Казань: Унипресс. - 1999.- С.21-23.

239. Хачатурян, А.Г. Теория фазовых превращений и структура твердых растворов / А.Г. Хачатурян.- М.: Наука, 1974.- 384 с.

240. Чуистов, К.В. Модулированные структуры в стареющих сплавах / К.В. Чуистов. -Киев: Наукова Думка, 1975.- 251 с.

ПРИЛОЖЕНИЕ А

Таблица - Обозначение исследованных образцов и условия подготовки

№ серии Обозначение Образец

1 100ТЮХ баллон, модифицированный титаноксидными структурами путем проведения 100 циклов МН

100ТЮХ+Т термообработанный* образец 100ТЮХ

100ТЮХ+Т+Р термообработанный* образец 100ТЮХ при облучении рентгеновским излучением

2 200ТЮХ баллон, модифицированный титаноксидными структурами путем проведения 200 циклов МН

200ТЮХ+Т термообработанный* образец 200ТК)Ч

200ТЮХ+Т+Р термообработанный* образец 200ТЮХ при облучении рентгеновским излучением

3 300ТЮХ баллон, модифицированный титаноксидными структурами путем проведения 300 циклов МН

300ТЮХ+Т термообработанный* образец 300ТЮХ

300ТЮХ+Т+Р термообработанный* образец 300ТЮХ при облучении рентгеновским излучением

4 ЗООСгОх образец, модифицированный хромоксидными структурами путем проведения 300 циклов МН

ЗООСгОх +т термообработанный* образец ЗООСгОх

ЗООСгО* + ТВ образец ЗООСгОх. термообработанный на воздухе при 480°С

* Термообработка в течение 5 часов в вакууме (II.Г1 Па) при 480 °С

Результаты испытаний.

По результатам проведенных исследований тестовых образцов с титаноксидными нанопокрытиями установлено, что наименьшие трансформации в ходе процессов рекристаллизации, проходящих в условиях термотренировки и эксплуатации рентгеновских трубок, претерпевает титаноксидный слой, сформированный в результате проведения 300 циклов МН (рис. 1).

А Б В

Рис. 1 - АСМ-изображения топографии поверхности образцов 100ТЮХ+Т+Р (А), 200ТЮХ+ Т+Р (Б) и ЗООТ/Ох+Т+Р (В)

Термообработка стеклянных образцов с хромоксидным нанопокрытием как в вакууме (рис. 2 Б), так и в атмосфере воздуха (рис. 2 В), приводит к коалесценции

ПРИЛОЖЕНИЕ Б