Аппаратно-программные модули и методы адаптивного сканирования для быстродействующих систем управления сканирующих зондовых микроскопов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.05, кандидат технических наук Мещеряков, Алексей Вячеславович

• Мещеряков, Алексей Вячеславович
• кандидат технических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат технических наук Мещеряков, Алексей Вячеславович

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ЦИФРОВОЕ РЕГУЛИРОВАНИЕ В СИСТЕМЕ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ

1.1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ РЕГУЛЯТОРА СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ

1.2. АНАЛИЗ ПОГРЕШНОСТЕЙ ЦИФРОВОГО Р1-РЕГУЛЯТОРА СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ

1.3. ЦИФРОВОЙ РЕГУЛЯТОР СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ С ПЕРЕДАТОЧНОЙ ФУНКЦИЕЙ ОБОБЩЕННОГО ВИДА

1.4. МОДЕЛИРОВАНИЕ ЦИФРОВОГО РЕГУЛЯТОРА, ВЫПОЛНЕННОГО НА ОСНОВЕ АРИФМЕТИКИ С ФИКСИРОВАННОЙ ТОЧКОЙ

1.5. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ПО ГЛАВЕ 1

ГЛАВА 2. СТРУКТУРНЫЕ СПОСОБЫ УВЕЛИЧЕНИЯ БЫСТРОДЕЙСТВИЯ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ В ПРИСУТСТВИИ АКТЮАТОРА С РЕЗОНАНСНЫМИ СВОЙСТВАМИ

2.1 ВЛИЯНИЕ РЕЗОНАНСНЫХ СВОЙСТВ АКТЮАТОРА НА ЧАСТОТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ

2.2 СПОСОБ ДЕМПФИРОВАНИЯ АКТЮАТОРА ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ БЫСТРОДЕЙСТВИЯ СЗМ

2.3. УВЕЛИЧЕНИЕ БЫСТРОДЕЙСТВИЯ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ "СВЯЗИ ВПЕРЕД"

2.4. РЕЖЕКТОРНЫЙ ФИЛЬТР, КАК СРЕДСТВО УВЕЛИЧЕНИЯ

БЫСТРОДЕЙСТВИЯ СИСТЕМЫ РЕГУЛИРОВАНИЯ СЗМ В

2

ПРИСУТСТВИИ АКТЮАТОРА С РЕЗОНАНСНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКОЙ

2.5. РАЗРАБОТКА ЦИФРОВОГО ПЕРЕСТРАИВАЕМОГО РЕЖЕКТОРНОГО ФИЛЬТРА ДЛЯ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ

2.6. МЕТОД СИНТЕЗА ЦИФРОВЫХ РЕЖЕКТОРНЫХ КИХ-ФИЛЬТРОВ С МИНИМАЛЬНО-ФАЗОВОЙ КЧХ

2.7. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ПО ГЛАВЕ 2

ГЛАВА 3. МЕТОДЫ УМЕНЬШЕНИЯ ВРЕМЕНИ СКАНИРОВАНИЯ СЗМ ПРИ СОХРАНЕНИИ КАЧЕСТВА ИЗОБРАЖЕНИЯ

3.1. АНАЛИЗ ПРИЧИН, ОГРАНИЧИВАЮЩИХ УМЕНЬШЕНИЕ ВРЕМЕНИ СКАНИРОВАНИЯ В СЗМ

3.2. СПОСОБЫ УВЕЛИЧЕНИЯ СКОРОСТИ СКАНИРОВАНИЯ СЗМ

3.3. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ПО ГЛАВЕ 3

ГЛАВА 4. АППАРАТНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СЗМ И РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИЗМЕРЕНИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗРАБОТАННЫХ МЕТОДОВ

4.1. АППАРАТНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ЦИФРОВЫХ БЛОКОВ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ И СИСТЕМЫ СБОРА ДАННЫХ СЗМ

4.2. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СХЕМЫ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ СИСТЕМ НАНОПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ СКАНИРУЮЩИХ ЗОНДОВЫХ МИКРОСКОПОВ

4.3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ СКАНИРОВАНИЯ С

ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗРАБОТАННЫХ МЕТОДОВ

4.3.1. ВЛИЯНИЕ РЕЖЕКТОРНОГО ФИЛЬТРА НА КАЧЕСТВО

ИЗОБРАЖЕНИЯ ПРОФИЛЯ РЕШЕТКИ

4.3.2. РЕЗУЛЬТАТЫ СКАНИРОВАНИЯ КАЛИБРОВОЧНОЙ

РЕШЕТКИ С РАЗЛИЧНОЙ СКОРОСТЬЮ

4.3.3 РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗМЕРЕНИЙ ПРОФИЛЯ

КАЛИБРОВОЧНОЙ РЕШЕТКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАЗРАБОТАННЫХ МЕТОДОВ БЫСТРОГО

СКАНИРОВАНИЯ

4.3.4. РЕЗУЛЬТАТЫ СКАНИРОВАНИЯ КАЛИБРОВОЧНОЙ

РЕШЕТКИ ВЫСОТОЙ h=25 нм

4.4. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ПО ГЛАВЕ 4

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Аппаратно-программные модули и методы адаптивного сканирования для быстродействующих систем управления сканирующих зондовых микроскопов»

ВВЕДЕНИЕ

Для развития субмикронной технологии и нанотехнологии требуется создание прецизионных контрольно-измерительных инструментов, которые могли бы контролировать свойства конструктивных и функциональных наноматериалов. Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) являются основным инструментом для исследования поверхности наноструктурированных материалов. С помощью СЗМ создается ЗБ-изображение поверхности исследуемого образца при сканировании над ним зонда в виде кантилевера с острой иглой и измерении перемещения зонда в вертикальном направлении в соответствии с топографией образца [1,2]. Потребность в подобных средствах обуславливает актуальность работы, которая связана с разработкой электронных систем управления СЗМ.

Современные электронные системы управления СЗМ представляют собой сложную совокупность систем автоматического регулирования (САР), прецизионных измерительных систем и системы сбора данных. Одной из основных проблем при использовании СЗМ в настоящее время является их производительность - время, требуемое для получения изображения рельефа поверхности в заданном поле сканирования. Скорость сканирования современных СЗМ ограничивается [3,4], во-первых, динамическими свойствами зонда - кантилевера (консоли) с закрепленной на свободном конце иглой; во-вторых, быстродействием САР в вертикальном направлении, регулирующей взаимодействие иглы зонда с исследуемым образцом; в-третьих, резонансными свойствами сканера в горизонтальной плоскости (подвижного стола с пьезокерамическим актюатором); в-четвертых, пропускной способностью канала передачи измерительной информации системы сбора данных СЗМ.

При увеличении скорости сканирования ограничения, связанные с

частотными характеристиками зонда, сканера и САР в 2-направлении,

проявляются [5,6], во-первых, в искажениях изображения рельефа поверхности

5

из-за потери зондом поверхности исследуемого образца (эффект "парашютирования") и, во-вторых, в возбуждении САР на резонансных частотах 7-позиционера.

Можно выделить два направления в исследованиях по увеличению скорости сканирования СЗМ [7,8]: первое - это разработка конструкций зондов и позиционеров с большим значением собственной резонансной частоты (уменьшение их размеров и массы, увеличение жесткости); второе - разработка методов сканирования, позволяющих увеличить скорость сканирования при сохранении качества изображения.

В направлении разработки новых конструкционных решений зондов и позиционеров достигнут значительный успех [9,10], хотя, как правило, увеличение резонансной частоты для позиционера влечет за собой уменьшение диапазона позиционирования, а для зонда - увеличение сил взаимодействия с образцом, что может приводить к разрушению, как иглы зонда, так и структуры исследуемых, например, биологических объектов.

В исследованиях, посвященных разработке новых методов сканирования, ряд работ связано с использованием иных, чем растровый, способов построения кадра изображения. Так, в работе [11] предлагается использовать развертку не растровым способом с треугольным (или пилообразным) строчным сигналом, а спиралевидную развертку кадра или в виде фигуры Лиссажу. Это объясняется более широким спектром пилообразного сигнала по сравнению со спектром сигнала при развертке по спирали, например, что, в свою очередь, ужесточает требования на резонансные свойства сканера.

Другим направлением в исследованиях способов увеличения скорости

сканирования представляют собой разработки адаптивных методов управления

регулятором САР в г-направлении и скоростью сканера в горизонтальной

плоскости в зависимости от особенностей измеряемого профиля поверхности

[12-14]. Методы быстрого сканирования (как их иначе называют) могут быть

использованы для разных по типу зондов и позиционеров с различной

конструкцией. Способы быстрого сканирования можно свести к двум основным

6

решениям: "динамического контроллера" и переменной скорости сканирования.

Метод динамического контроллера сводится к уменьшению величины постоянной времени интегрирующей компоненты регулятора САР по Ъ-направлению в зависимости от величины сигнала ошибки регулирования (сигнала невязки [15]). Значение указанной постоянной времени снижается при достижении сигналом ошибки регулирования уровня ограничения. Данный метод уменьшает длительность участка "парашютирования" за счет увеличения быстродействия петли регулирования.

Основные идеи метода динамического контроллера были заявлены в работах [12,13], но до последнего времени этот метод был недостаточно изучен и нет работ, в которых бы присутствовала информацию об аппаратной реализации указанного метод.

В методе сканирования с переменной скоростью при перемещении зонда в горизонтальном направлении скорость уменьшается до определенного значения при достижении сигналом ошибки регулирования уровня ограничения. Уменьшение скорости сканирования на участке "парашютирования" позволяет уменьшить длительность этого участка на изображении профиля. В опубликованных до настоящего времени немногочисленных работах метод переменной скорости сканирования основан на анализе выходного сигнала регулятора САР [14,16]. Но подобному способу присуще принципиальное ограничение, связанное с инерционностью изменения выходного сигнала регулятора САР. Данный сигнал имеет значительную временную задержку относительно сигнала взаимодействия зонда с поверхностью, что приводит к искажению изображения профиля поверхности исследуемого образца.

Можно утверждать, что указанные два метода быстрого сканирования

взаимно дополняют друг друга. Для метода сканирования с переменной

скоростью динамический регулятор обеспечивает уменьшение времени

"парашютирования", а для метода динамического регулятора уменьшение

7

скорости сканирования на участке "парашютирования" снижает искажения, возникающие в момент возвращения зонда на поверхность. Однако, до настоящего времени не было работ, в которых бы были использованы совместно метод переменной скорости сканирования и динамического регулятора.

Увеличение быстродействия САР по 2-направлению ограничено возбуждением системы управления на резонансных частотах позиционера в вертикальном направлении (пьезокерамического актюатора с подвижным столом) [17]. Расширить рабочий частотный диапазон САР позволяет включение в петлю регулирования режекторных (как правило, цифровых) фильтров, настроенных на резонансные частоты позиционера. Резонансные частоты нанопозиционера изменяются при его механическом нагружении (например, при установке оснастки или размещении исследуемого образца). В этом случае требуется автоматическая перестройка частотной характеристики режекторного цифрового фильтра на резонансные частоты 7-позиционера. Кроме того, необходимо исключить уменьшение запаса устойчивости по фазе системы управления при использовании режекторного цифрового фильтра в цепи ОС САР. Публикации по разработке режекторного фильтра с автоматической перестройкой в СЗМ и исследованию влияния его фазовой характеристики на устойчивость САР СЗМ отсутствуют.

Цель работы - разработка методов увеличения производительности СЗМ при сохранении качества изображения. Достижение этой цели предусматривает разработку методов быстрого сканирования, а также их аппаратно-программную реализацию на базе серийно изготавливаемого СЗМ "Нано-Скан-ЗБ"; разработку цифрового перестраиваемого режекторного фильтра с низким уровнем шума и минимальным фазовым сдвигом в полосе рабочих частот САР; разработку цифрового регулятора САР с низким уровнем шума.

Научная новизна работы состоит в разработке метода сканирования СЗМ

с переменной скоростью, значение которой изменяется в зависимости от уровня

сигнала ошибки петли регулирования; в разработке аппаратно-программной

8

реализации метода динамического контроллера для САР СЗМ в 7-направлении, а также реализации при совместном, одновременном использования указанных методов быстрого сканирования; разработке цифровых режекторных фильтров с критичным значением группового времени задержки для САР с обратной связью и методики преобразования комплексной частотной характеристики (КЧХ) режекторных фильтров с конечной импульсной характеристикой (КИХ-фильтров) при переходе от линейно-фазового режекторного КИХ-фильтра к минимально-фазовому. Автор защищает:

1. Способ преобразования нулей передаточной функции цифрового режекторного линейно-фазового КИХ-фильтра при переходе к минимально-фазовому фильтру, предназначенному для подавления резонансов 2-позиционера в петле регулирования СЗМ и, тем самым, увеличивающему быстродействие САР.

2. Способ автоматической настройки полосы заграждения цифрового режекторного КИХ-фильтра на резонансную частоту 2-позиционера СЗМ, используемый в системе управления СЗМ с изменяющейся резонансной частотой позиционера.

3. Результаты расчета шумовых характеристик для цифровых регуляторов системы управления СЗМ, а также структурную схему цифрового регулятора с дополнительной цепью обратной связи по сигналу ошибки округления, обеспечивающей снижение уровня спектральной плотности мощности шума округления, приведенного к выходу регулятора.

4. Модифицированный метод сканирования СЗМ с переменной скоростью на основе разработанных аппаратно-программных модулей, в котором значение скорости изменяется в зависимости от уровня сигнала ошибки регулирования САР, позволяющий уменьшить время сканирования при сохранении качества изображения.

Материал диссертации распределен по главам следующим образом.

В первой главе рассматриваются вопросы разработки цифрового регулятора САР СЗМ. Во второй главе отражены вопросы разработки цифрового перестраиваемого режекторного минимально-фазового КИХ-фильтра. Третья глава диссертации посвящена разработке методов быстрого сканирования. В четвертой главе рассмотрены вопросы аппаратно-программной реализации методов быстрого сканирования и представлены экспериментальные результаты сканирования калибровочных решеток.

Заключение диссертации по теме «Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления», Мещеряков, Алексей Вячеславович

4.4. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ПО ГЛАВЕ 4

1 .Разработанные цифровые блоки системы управления сбора данных аппаратно выполнены в виде "системы на кристалле", реализованной на ПЛИС Altera семейства Cyclone II. В качестве ядра используется встроенный процессор Nios. Множество периферийных по отношению к процессору устройств СЗМ (АЦП, ЦАП, цифровые потенциометры, коммутаторы, мультиплексоры, внешнее статическое ОЗУ) связаны с ним с помощью соответствующих контроллеров через системную шину Avalon. Алгоритмы цифрового регулирования и фильтрации в системе выполнены на языке описания аппаратуры VHDL и реализованы в виде пользовательской логики. Выбранная концепция системы на кристалле позволяет обеспечить, с одной стороны, параллельность выполнения нескольких процессов управления, измерения и передачи данных, с другой стороны, синхронизовать работу ядра процессора и периферийных устройств.

2. В разработанной измерительной схеме емкостного датчика перемещения имеется возможность увеличить чувствительность емкостного датчика без увеличения выходного шума за счет использования сигнала со значительно большей амплитудой, приложенной к емкости, чувствительной к перемещению. Достоинством указанной измерительной схемы является то, что баланс сигналов через чувствительную к перемещению и компенсирующую емкости устанавливается автоматически за счет глубокой обратной связи, что очень важно с учетом малого значения емкостей датчиков позиционеров (не более ЮпФ) с плохой воспроизводимостью. Измерительная схема емкостного датчика имеет также положительные особенности по способу включения в схему измерения емкости, чувствительной к перемещению, что позволяет увеличить разрешающую способность сканирующих зондовых микроскопов.

166

3. Исследованы возможности сканирования с переменной скоростью и динамическим регулированием, позволяющие при одинаковом разрешении до трех раз уменьшить время сканирования, в особенности, когда имеются редкие перепады профиля. Степень уменьшения времени сканирования зависит от отношения величины скорости сканирования достаточной для отображения мелких деталей поверхности к величине скорости на участках "парашютирования" и подъема и может также достигать, соответственно, трех раз.

4. В работе основное внимание уделялось исследованию быстродействия системы автоматического управления перемещением зонда относительно образца в 2-направлении, регулирующей силы взаимодействия зонда кантилевера с иглой) и образца. Состояние системы управления при тестировании образцов оценивался по характеру сигнала ошибки, поступающего на вход регулятора. В качестве тестовых образцов использовались калибровочные решетки с шагом по Змкм и высотой профиля

535нм и 25нм. Установлено, что СЗМ на основе пьезокерамического кантилевера с резонансной частотой 11 кГц имеет ограничение по величине скорости сканирования, равной 20мкм/с. В этом случае погрешности изображения, связанные с эффектом "парашютирования" становятся крайне большими. Приемлемый уровень погрешностей при тестировании калибровочных решеток сохраняется для скорости сканирования не более 5

10мкм/с. Были выявлены основные погрешности при топографировании поверхностей с такой скоростью сканирования при тестировании указанных калибровочных решеток. В итоге были разработаны следующие две метода, позволяющие уменьшить время топографирования поверхности исследуемых образцов при сохранении разрешающей способности микроскопа: во-первых, метод сканирования с переменной скоростью по сигналу ошибки системы управления; во-вторых, метод динамического регулирования уровня сигнала ошибки в режиме "парашютирования". На основе указанных методик были разработаны алгоритм сканирования с переменной скоростью и алгоритм

167 динамического регулирования, реализованные в виде программ на языке УНЕ>Ь. Данные программы были загружены в командный блок СЗМ "НаноСкан", реализованный на основе микросхемы ПЛИС. Затем вновь было проведено сканирование калибровочных решеток, но уже с использованием разработанных алгоритмов с переменной скоростью сканирования и динамического регулирования. Полученные измерения позволяют утверждать, что в результате при прежнем уровне погрешностей удается проводить сканирование калибровочных решеток с максимальной скоростью ЗОмкм/с при средней скорости - 20мкм/с. Для практических образцов с крутыми, но редкими профилями изображения разработанные алгоритмы позволяют уменьшить время топографирования поверхности в 3-5 раз.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Основной научный результат диссертации заключается в существенном уменьшении времени сканирования СЗМ при сохранении качества изображения на основе разработанных цифровых аппаратно-программных модулей системы управления и адаптивных методов сканирования.

Основной теоретический результат:

Разработаны методы проектирования цифровых блоков системы управления СЗМ, а также реализация на их основе методов адаптивного сканирования, позволяющих уменьшить время сканирования при сохранении качества изображения.

Частные теоретические результаты:

1. Расчет шумовых характеристик для цифровых регуляторов системы управления СЗМ. Показано, что шум округления усиливается за счет полюсов передаточной функции цифрового регулятора, происходит накопление шума округления в диапазоне рабочих частот САР и в значительной степени уменьшается величина отношения сигнал/шум. Включение дополнительной цепи обратной связи по сигналу ошибки округления обеспечивает уменьшение спектральной плотности мощности шума округления до уровня шума квантования в низкочастотной области.

2. Метод расчета КЧХ цифрового минимально-фазового режекторного КИХ-фильтра с критичным значением группового времени задержки, предназначенного для использования в САР с обратной связью с целью уменьшения влияния резонансов актюатора с подвижным столом СЗМ.

3. Способ автоматической настройки цифрового режекторного КИХ-фильтра на резонансную частоту актюатора с подвижным столом СЗМ. Разработан способ перестройки полосы заграждения цифрового режекторного фильтра, заключающийся в пропорциональном изменении частоты дискретизации.

4. Метод сканирования с переменной скоростью, величина которой изменяется в зависимости от уровня сигнала ошибки САР, что в значительной степени увеличивает быстродействие системы управления и уменьшает погрешность изображения профиля поверхности по сравнению с известными методами, контроль скорости в которых производится по выходному сигналу регулятора.

5. Модифицированный метод использования динамического контроллера, в котором при потере зондом поверхности и разрыве цепи ОС САР за счет увеличения быстродействия петли регулирования на участке "парашютирования" удается уменьшить длительность этого участка.

Основной практический результат:

Предложенные в диссертации способы расчета и модели узлов САР СЗМ, а также модифицированные методы сканирования использованы при модернизации электронной системы управления сканирующего зондового микроскопа-нанотвердомера "НаноСкан-ЗО", изготовляемого ФГБНУ ТИСНУМ (г. Троицк). Результаты диссертационной работы внедрены также в виде аппаратно-программных цифровых блоков и алгоритмов быстрого сканирования системы управления СЗМ и нанотвердомеров в ЗАО "НТ-МДТ" (г. Зеленоград) и ФГУП ЦНИИ конструкционных материалов "Прометей" (г. Санкт-Петербург).

Частные практические результаты:

1. Разработаны цифровые блоки системы управления и сбора данных СЗМ, аппаратно выполненные в виде "системы на кристалле" и реализованные на ПЛИС Altera семейства Cyclone II, при этом в качестве ядра используется встроенный процессор Nios И. Разработанные блоки могут быть использованы в СЗМ и нанотвердомерах с различным типом Z-позиционера, сканера и зондов.

2. Проведено значительное количество экспериментов по сканированию калибровочных решеток с высотой профиля от 25нм до 500нм с применением методов сканирования с переменной скоростью и динамическим регулированием. Показано, что разработанные аппаратно-программные модули

170 совместно с модифицированными методами адаптивного сканирования обеспечивают уменьшение времени сканирования более, чем в 2.5 раза при сохранении качества изображения.

Диссертационная работа в целом обсуждалась на заседании научно-технического Совета кафедры Электронных измерительных систем в НИЯУ "МИФИ". Отдельные части работы докладывались на трех международных конференциях Курчатовской молодежной научной школы 2009, 2010 и 2012г.; на двух международных конференциях молодых ученых и студентов "Молодежь и наука" 2010 и 2011г.; на всероссийской научной школе для молодежи "Метрологическое обеспечение и оценка соответствия нанотехнологий, наноматериалов и продукции наноиндустрии" 2011г.; на международном симпозиуме «Nano and Giga Challenges in Electronics, Photonics and Renewable Energy» 2011 г.; на 67-й Всероссийской конференции Российского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А.С.Попова "RDC-2012"; на научных сессиях МИФИ 2008, 2009, 2010, 2011 и 2012г.

По результатам выполненных исследований опубликовано 19 работ и написано 7 отчетов о научно-исследовательской работе.

Основные материалы диссертации опубликованы в работах:

1. Мещеряков A.B. Методы повышения быстродействия сканирующего зондового микроскопа/ A.B. Мещеряков, В.В. Масленников, В.В. Мещеряков // Датчики и системы. - 2012. - №11. -С.40-44.

2. Meshtcheryakov A.V. Scan speed control for tapping mode SPM / A.V.Meshtcheryakov, V.V. Meshtcheryakov // Nanoscale Research Letters-2012.-Vol.7, -pp. 1-10.

3. Мещеряков A.B. Методы уменьшения времени сканирования СЗМ при сохранении качества изображения / A.B. Мещеряков, В.В.

Масленников, B.B. Мещеряков // «Известия Кабардино-Балкарского научного центра РАН».-2013- №4.- С.30-39. (статья принята к печати).

4. Мещеряков A.B. Измерительные схемы для емкостных датчиков системы нанопозиционирования СЗМ/ A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Датчики и системы. - 2010. - №3. - С.46-48.

5. Мещеряков A.B. К вопросу о синтезе цифровых минимально-фазовых режекторных КИХ-фильтров/ A.B. Мещеряков, В.В. Масленников, В.В. Мещеряков // Труды Российского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. A.C. Попова. Сборник докладов. - М.: РНТОРЭС им. А.С.Попова, 2012. - С.319-322.

6. Meshtcheryakov A.V. Practical realization of the scan speed control in tapping mode SPM/ A.V. Meshtcheryakov // Международный симпозиум "Nano and Giga Challenges in Electronics, Photonics and Renewable Energy". -2011. -Режим доступа: http://asdn.net/ngc201 l/rawabstracts//attachedabstracts/l 10531025214/abstra ct.pdf

7. Мещеряков A.B. Методы увеличения быстродействия системы управления СЗМ с улучшенным качеством изображения/ Мещеряков A.B., Масленников В.В., Мещеряков В.В. // Материалы третьей международной конференции «Автоматизация управления и интеллектуальные системы и среды» - г.Нальчик, 2012— Т.1. - С.88-91.

8. Мещеряков A.B. Быстродействующие системы управления СЗМ для измерений структуры и свойств наноматериалов/ A.B. Мещеряков // VII Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ "Курчатовский институт", 2009. - С.200.

9. Мещеряков A.B. Погрешности дискретного регулятора системы управления СЗМ в Z-направлении/ A.B. Мещеряков // VIII Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ

Курчатовский институт", 2010. - С. 121.

172

10. Мещеряков A.B. О возможности увеличения скорости сканирования СЗМ в динамическом режиме/ A.B. Мещеряков // IX Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ "Курчатовский институт", 2011. - С. 119.

11. Мещеряков A.B. Способы увеличения скорости сканирования СЗМ-нанотвердомера при неизменном качестве изображения / A.B. Мещеряков // X Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ "Курчатовский институт", 2012. - С.83

12. Мещеряков A.B. Системы управления СЗМ для измерений структуры и свойств наноматериалов/ A.B. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2010: Сб. научн. трудов. Т.1.- XIII Международная конференция молодых ученых и студентов "Молодежь и наука" М.: МИФИ, 2010. -С.57.

13. Мещеряков A.B. Нанопозиционер с цифровым регулированием для сканирующих зондовых микроскопов/ A.B. Мещеряков, Шибалов К.В. // Научная сессия МИФИ - 2011: Сб. научн. трудов. T.3.-XIV Международная телекоммуникационная конференция студентов молодых ученых "Молодежь и наука" М.: МИФИ, 2011. - С.44.

14. Мещеряков A.B. Нанопозиционер сканирующего зондового микроскопа на основе пьезостола/ A.B. Мещеряков // X Всероссийская выставка Научно-технического творчества молодежи НТТМ: Сборник материалов.-М.: 2010.-С.127.

15. Мещеряков A.B. Реализация цифрового регулятора для системы, нанопозиционирования СЗМ/ A.B. Мещеряков // Всероссийская научная школа для молодежи "Метрологическое обеспечение и оценка соответствия нанотехнологий, наноматериалов и продукции наноиндустрии": Сборник научных трудов. - М.: 2010. - Т.1. - С. 11-12.

16. Мещеряков A.B. RC-звено второго порядка с активной компенсацией / A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия

МИФИ - 2008: Сборник научных трудов. - М.: МИФИ, 2008. - Т. 13. -С.122.

17. Мещеряков A.B. Увеличение эффективного разрешения 16-разрядных микросхем АЦП/ A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2009: Сборник научных трудов - М.: МИФИ, 2009. - Т.1. - С.119.

18. Мещеряков A.B. Системы нанопозиционирования СЗМ для измерений структуры и свойств наноматериалов/ A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2010: Сборник научных трудов-М.: МИФИ, 2010. -T.l 1. - С.242-245.

19. Мещеряков A.B. Исследование погрешностей цифрового регулятора системы нанопозиционирования СЗМ / A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2011: Сборник научных трудов-М.: МИФИ, 2011.-Т.1.-С.138.

20. Мещеряков A.B. Динамическое регулирование в сканирующем зондовом микроскопе/ A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2012: Сборник научных трудов.- М.: МИФИ, 2012. - Т. 1. - С. 141.

Большая часть материала диссертации нашла отражение в шести отчетах по научно-исследовательской работе:

1. Разработка методики контроля топографических и механических характеристик функциональных покрытий медицинских и биологических изделий с помощью сканирующих зондовых микроскопов // Отчет по гос. контракту № П1048 за 1 этап ФЦП "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России". - М.: 2009, 154 е., с ил.

2. Цифровые методы обработки сигналов в нанометрологии и сканирующей зондовой микроскопии // Отчет по проекту № 2.1.2/620 за 1 этап АВЦП "Развитие научного потенциала высшей школы (2009-2010 годы)" . - М.: 2009г., 125 е., с ил.

3. Цифровые методы обработки сигналов в нанометрологии и сканирующей зондовой микроскопии // Отчет по проекту № 2.1.2/620 за 2 этап

174

АВЦП "Развитие научного потенциала высшей школы (2009-2010 годы)" . - М.: 2010г., 145 е., с ил.

4. Цифровые методы обработки сигналов в нанометрологии и сканирующей зондовой микроскопии // Отчет по проекту № 2.1.2/620 за 3 этап АВЦП "Развитие научного потенциала высшей школы (2009-2010 годы)" . - М.: 2010г., 112 е., сил.

5. Цифровые методы обработки сигналов в нанометрологии и сканирующей зондовой микроскопии // Отчет по проекту № 2.1.2/10839 за 1 этап АВЦП "Развитие научного потенциала высшей школы (2009-2011 годы)" . -М.: 2011г., 143 е., сил.

6. Цифровые методы обработки сигналов в нанометрологии и сканирующей зондовой микроскопии // Отчет по проекту № 2.1.2/10839 за 2 этап АВЦП "Развитие научного потенциала высшей школы (2009-2011 годы)" . -М.: 2011г., 153 е., сил.

7. Системы нанопозиционирования для измерений структуры и свойств функциональных наноматериалов, используемых для энергетики // Конкурсная работа на Всероссийском конкурсе научно-исследовательских работ студентов вузов в области нанотехнологий и наноматериалов. - М.: 2009г., 44 е., с ил.

Автор искренне благодарен своему научному руководителю д.т.н. профессору Масленникову Валерию Викторовичу, а также к.т.н. доценту Мещерякову В.В., оказавшим большую помощь в работе над диссертацией и принимавшим участие в плодотворных обсуждениях ее результатов. Автор считает приятным долгом поблагодарить руководство кафедры Электронных измерительных систем, ее преподавателей и сотрудников , чьи многочисленные полезные советы оказали значительное влияние на ход выполнения диссертационной работы.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Мещеряков, Алексей Вячеславович, 2013 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Bining G. Atomic force microscope/G.Bining, C.F.Quate,C. Gerber//Phys.Rev.Lett. - 1986. - vol.56, no.9, pp.930-933

2. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений/ В.Л. Миронов.- Н. Новгород: Институт физики микроструктур РАН, 2004

3. Garcia R. Dynamic atomic force microscopy methods/R.Garcia, R.Perez//Surf.Sci.Rep.. - 2002. - vol.47, no.6-8, pp.197-301

4. Devasia S A survey of control. Issues in nanopositioning/ S.Devasia// IEEE Transactions on Control Systems Technology-2007.-Vol.15, №5.-P.809-817

5. Sulchek T. Characterization and optimization of scan speed for tapping-mode atomic force microscopy/ T.Sulchek, G.G.Yaralioglu, C.F.Quate // Review of Scientific Instruments-2002.-Vol.73, №8.-P.2928-2936

6. Perez, H. Design and control of optimal scan trajectories: Scanning tunneling microscope example/ H.Perez, Q.Zou, S.Devasia// Journ. of Dynamic Syst., Measurements and Control -2004.-Vol. 126, №3.- P. 187-197

7. Abramovitch D.Y. Tutorial on the Mechanisms, Dynamics, and Control of Atomic Force Microscopes /D.Y. Abramovitch, S. B. Andersson, L. Y. Pao, G. Schitter// Proceedings of the 2007 American Control Conference.- 2007.-P.3488-3502

8. Fairbairn M.W. A switched gain resonant controller to minimize image artifacts in intermittent contact mode atomic force microscopy/M.W.Fairbairn, S.O.Reza Moheimani// IEEE Transactions on Nanotechnology. - 2012. Vol.11, no.6, pp.1126-1134

9. Fleming A.J. "Bridging the gap between conventional and video-speed scanning probe microscopes"/ A.J.Fleming, B.J.Kenton, K.K.Leang // Ultramicroscopy, vol.110(9), 2010, pp. 1205-1214.

10. Zhao J. " Large scan area high-speed atomic force microscopy using a resonant scanner"/ J. Zhao, P. Howard-Knight, A. D. L. Humphris, L. Kailas, E. C.

176

Ratcliffe, S. J. Foster, and J. K. Hobbs// Review of Scientific Instruments, vol.80, 093707, 2009.

11. Bazaei A., Yong Y.K., Moheimani S.O.R., "High-speed Lissajous-scan atomic force microscopy: Scan pattern planning and control design issues"/ A. Bazaei, Y.K. Yong, S.O.R. Moheimani, // Review of Scientific Instruments,2012,Vol.83, 063701.

12. Kodera N. "Dynamic proportional-integral-differential controller for high-speed atomic force microscopy"/ N.Kodera, M.Sakashita// Review of Scientific Instruments, vol.77, 083704, 2006.

13. Agarwal P. "Real time of probe-loss using switching gain controller for high speed atomic force microscopy"/ P.Agarwal, T.De, M.V.Salapaka// Review of Scientific Instruments, vol.80, 103701, 2009.

14. Zhang Y. "Note: A novel atomic force microscope fast imaging approach: Variable-speed scanning"/ Y. Zhang, Y.Fang, J.Yu, X.Dong// Review of Scientific Instruments, vol.82, 056103, 2011.

15. Никулин E.A. Основы теории автоматического управления. Частотные методы анализа и синтеза систем / Е.А. Никулин - СПб.: БХВ-Петербург, 2004. -с.640

16. Adaptive scanning in atomic force microscopy/D.Zhang, X.Qian//2009. - IEEE International Conference on Robotics and Automation, Kobe, Japan. -pp.532-537

17. Moheimani S.O.R., Resonant control of structural vibration using charge-driven piezoelectric actuators/ S.O.R.Moheimani, BJ.G.Vautier// IEEE Transaction on Control Systems Technology-2005.-Vol. 13, №11.- p. 1021-1035

18. Croft D. Creep, Hysteresis, and Vibration Compensation for Piezoactuators: Atomic Force Microscopy Application/ D.Croft, G.Shed, S.Devasia// Journ. of Dynamic Syst., Measurements, and Control-2001.-Vol. 123, №3.- P. 35-43

19. Jung H. Creep characteristics of piezoelectric actuators/ H.Jung, D.G.Gweon //Review of Scientific Instruments-2000.-Vol. 71, №4.- P. 1896-1900

20. http://pi.ws

21. Abramovitch D.Y. Semi-automatic tuning of PID gains for atomicforce microscopes/ D.Y.Abramovitch, S.Hoen, R.Workman//American Control Conference.- 2008.- P.2684-2689

22. Kyo Б. Теория и проектирование цифровых систем управления /Б.Куо - М.: Машиностроение, 1986. - 448с., ил.

23. Айфичер Э.С.Цифровая обработка сигналов: практический подход, 2-е издание /Э.С.Айфичер, Б.У.Джервис - М.: Издательский дом Вильяме, 2008. -с. 992

24. Грушвицкий Р.И. Проектирование систем на микросхемах с программируемой структурой/Р.И. Грушвицкий, А.Х.Мурсаев, Е.П.Угрюмов -СПб.: БХВ-Петербург, 2006. - 736 е.: ил.

25. Оппенгейм А. Цифровая обработка сигналов /А.Оппенгейм, Р.Шафер.- М.: Техносфера, 2009. - с.856

26. http://analog.com

27. Масленников В.В. Избирательные RC-усилители/ В.В. Масленников, А.П. Сироткин.- М.: Энергия, 1980.- с.217.

28. Гоголинский К.В. Применение сканирующих зондовых микроскопов и нанотвердомеров для изучения механических свойств твердых материалов на наноуровне/ Гоголинский К.В., Львова Н.А., Усеинов А.С. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. -2007 - №6 - Т. 73 - С.28 - 36

29. Jung Н. Creep characteristics of piezoelectric actuators/ H.Jung, D.G.Gweon //Review of Scientific Instruments-2000.-Vol. 71, №4.- P. 1896-1900

30. Aphale S.S. Dominant resonant mode damping of a piezoelectric tube nanopositioner using optimal sensorless shunts/ S.S.Aphale, S.O.R.Moheimani, A.J.Fleming// Proc. of 2007 the American Contr.Conference-2001.- P. 2220-2225

31. Fleming A J. Control oriented synthesis of high performance piezoelectric shunt impedances for structural vibration control/ A.J.Fleming, S.O.R.Moheimani// IEEE Transactions on Control Systems Technology-2005.-Vol. 13, №1.- P. 98-112

32. Aphale S.S. High bandwidth control of piezoelectric nanopositioning stage in the presence of plant uncertainties/ S.S. Aphale, S.Devasia, S.O.R.Moheimani//Nanotechnology-2008.-Vol. 19, №1.- P. 21-29

33. Fleming A.J. A new method for robust damping and tracking control of scanning probe microscope positioning stages/ A.J.Fleming, S.S.Aphale, S.O.R.Moheimani// IEEE Transactions on Control Systems Technology-2009.-Vol.l7,№12.-P.l 109-1117

34. Abramovitch D.Y. Semi-automatic tuning of PID gains for atomic force microscopes/ D.Y. Abramovitch, S.Hoen, R. Workman// American Control Conference. - 2008. - pp.2684-2689.

35. Zhang Y. High-speed force load in force measurement in liquid using scanning probe microscope/ Y.Zhang, Q.Zou// Review of Scientific Instruments-2012.-Vol.83, 013707

36. Yang Li. Feedforward Control of a Piezoelectric Flexure Stage for AFM/Yang Li, John Bechhoefer // 2008 American Control Conference.- 2008.-P. 2707-2709

37. Inverse-feedforward of charge-controlled piezopositioners./ G.M. Claytona, S. Tien, A.J. Fleming, S.O.R. Moheimani, S. Devasia// Mechatronics.-2008.- Vol.18, -P. 273-281

38. Li Y. Feedforward control of a closed-loop piezoelectric translation stage for atomic force microscope/ Y.Li, J.Bechhoefer// Review of Scientific Instruments-2007.-Vol. 78, №1.- P. 121-130

39. Tsai M.S. Robust tracking control of a piezoactuator using a new approximate hysteresis model/ M.S.Tsai, J.S.Chen //ASME Journ. Dyn. Syst., Meas., Control-2003.-Vol. 125.- P. 96-102

40. High bandwidth nano-positioner: A robust control approach/ S.Salapaka, A.Sebastian, J.P.Cleveland, M.V.Salapaka// Review of Scientific Instruments -2002.-Vol. 73, №9.- P. 3232-3239

41. http://altera.com

42. Мещеряков А.В. К вопросу о синтезе цифровых минимально-фазовых режекторных КИХ-фильтров/ А.В. Мещеряков, В.В. Масленников, В.В. Мещеряков // Труды Российского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А.С. Попова. Сборник докладов. - М.: РНТОРЭС им. А.С.Попова, 2012. - С.319-322.

43. Ando Т. High-speed atomic force microscopy for nano-visualization of dynamic biomolecular processes/T. Ando, T. Uchihashi, T. Fukuma// Progress in Surface Science-2008.-Vol. 83. -P. 337^37

44. Fleming A.J. Bridging the gap between conventional and video-speed scanning probe microscopes/ A.J.Fleming, B.J.Kenton, K.K.Leang// Ultramicroscopy-2010.-Vol. 110(9).-P. 1205-1214

45. http://ntmdt.ru

46. Oliver W.C An improved technique for determining hardness and elastic modules using load and displacement sensing indentation experiments/ W.C. Oliver, G.M. Pharr// J. Mater. Res.- 1992. - №6. - P. 1564 -1538.

47. Измерение механических свойств материалов с нанометровым пространственным разрешением/ С.С. Усеинов, В.В. Соловьев, К.В. Гоголинский, А.С. Усеинов, Н.А. Львова// Наноиндустрия.-2010- № 2(20)- с. 3035

48. Useinov A. Mutual consistency of hardness testing at micro- and nanometer scales/ A. Useinov, K. Gogolinskiy, V. Reshetov// International Journal of Materials Research-2009.- №7.-P.968

49. Малов В. В. Пьезорезонансные датчики/ В.В. Малов. - М.: Энергоатомиздат, 1989

50. Мещеряков А.В. Методы повышения быстродействия сканирующего зондового микроскопа/ А.В. Мещеряков, В.В. Масленников, В.В. Мещеряков // Датчики и системы. - 2012. - №11. - С.40-44.

51. Meshtcheryakov А.V. Scan speed control for tapping mode SPM / A.V. Meshtcheryakov, V.V. Meshtcheryakov // Nanoscale Research Letters.-2012.-Vol.7, -pp. 1-10.

52. Fairbairn M. Resonant control of an atomic force microscope micro-cantilever for active Q control/M. Fairbairn, S.O.R. Moheimani// Review of Scientific Instruments-2012.-Vol.83, 083708

53. State feedback control for adjusting the dynamic behavior of a piezoactuated bimorph atomic force microscopy probe/ B.Orun, S.Necipoglu, C.Basdogan, L.Guvenc // Review of Scientific Instruments-2009.-Vol.80, 063701

54. Мещеряков A.B. Методы уменьшения времени сканирования СЗМ при сохранении качества изображения / A.B. Мещеряков, В.В. Масленников, В.В. Мещеряков // «Известия Кабардино-Балкарского научного центра РАН».-2013-№2(52).- С.15-22.

55. Note: A novel atomic force microscope fast imaging approach: Variablespeed scanning/ Y.Zhang, Y.Fang, J.Yu, X.Dong// Review of Scientific Instruments-2011.-Vol.82, 056103

56. High-Performance Control of Piezoelectronics Tube Scanner/ B. Bhikkaji, M. Ratnam, A. J. Fleming, O. R. Moheimani// IEEE transactions on control systems technology.-2007.-Vol. 15, №5.-P. 853-866

57. Fleming A.J. A grounded-load charge amplifier for reducing hysteresis in piezoelectric tube scanners/ A J.Fleming, S.O.R.Moheimani //Review of Scientific Instruments-2005.-Vol. 76, №7.- P. 2590-2598

58. Bhakkaji B. Integral resonant control of a piezoelectric tube actuator for fast nanoscale positioning/ B.Bhakkaji, S.O.R.Moheimani// IEEE/ASME Transactins on Mechatronics -2008.-Vol.13, №5.-P.530-537

59. An integrated surface micromachined capacitive lateral accelerometer with 2 цд/yÍHz resolution/ X.Jiang, F.Wang, M.Kraft, B.E.Boser // Solid-State Sensor, Actuator and Microsystems Workshop-2002.- P. 202-205

60. Wu J. A low-noise low-offset capacitive sensing amplifier for a 50 — ßg/y/Hz monolithic CMOS MEMS accelerometer/ J.Wu, G.K.Fedder, L.R.Carley// IEEE Journal of Solid-State Circuits-2004.-Vol. 39, №5.- P. 722-730

61. A low-noise low-offset chopper stabilized capacitive readout amplifier for CMOS MEMS accelerometers/ J.Wu, G.K.Fedder, L.R.Carley// IEEE Int. SolidState Circuits Conf. Dig. Tech. Papers-2002.- P. 428-429

62. Мулявка Я. Схемы на операционных усилителях с переключаемыми конденсаторами. - М.: Мир, 1992. - 416с.,ил.

63. Аллен Ф., Санчес-Синенсио Э. Электронные схемы с переключаемыми конденсаторами: Пер. с англ. - М.: Радио и связь, 1989. - 576 е., ил.

64. Сиберт У.М. Цепи, сигналы, системы: В 2-х ч. 4.2: Пер. с англ. -М.: Мир, 1988. - 360 е., ил.

65. http://mathworks.com

66. Hatch A. G. Model Development and Control Design for High Speed Atomic Force Microscopy/ R. C. Smith, M. V. Salapaka, A.G. Hatch, T. De //Proceedings of the 43rd IEEE Conference on Decision and Control-2004.-Vol.5383, -P. 457-468

67. Karasakal O. Implementation of new self-tuning PID controller on FPGA/ O.Karasakal, E.Yesil //International Symposium on Industrial Electronics-2005 .-Vol.2.-P. 1495-1500

68. De T. Real-time detection of probe loss in atomic force microscopy/ T.De, P.Agarwal, D.R.Sahoo, M.V.Salapaka// Applied Physics Letters, -2006.-Vol.89, 133119

69. State feedback control for adjusting the dynamic behavior of a piezoactuated bimorph atomic force microscopy probe/ B.Orun, S.Necipoglu, C.Basdogan, L.Guvenc // Review of Scientific Instruments-2009.-Vol.80, 063701

70. Мещеряков A.B. Измерительные схемы для емкостных датчиков системы нанопозиционирования СЗМ/ А.В. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Датчики и системы. - 2010. - №3. - С.46-48.

71. Meshtcheryakov A.V. Practical realization of the scan speed control in tapping mode SPM/ A.V. Meshtcheryakov // Международный симпозиум "Nano

and Giga Challenges in Electronics, Photonics and Renewable Energy". - 2011. -Режим доступа:

http://asdn.net/ngc201 l/raw_abstracts//attached_abstracts/l 10531025214/abstract.pdf

72. Мещеряков A.B. Методы увеличения быстродействия системы управления СЗМ с улучшенным качеством изображения/ Мещеряков А.В., Масленников В.В., Мещеряков В.В. // Материалы третьей международной конференции «Автоматизация управления и интеллектуальные системы и среды»-Нальчик, 2012— Т.1. - С.88-91.

73. Мещеряков А.В. Быстродействующие системы управления СЗМ для измерений структуры и свойств наноматериалов/ А.В. Мещеряков // VII Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ "Курчатовский институт", 2009. - С.200.

74. Мещеряков А.В. Погрешности дискретного регулятора системы управления СЗМ в Z-направлении/ А.В. Мещеряков // VIII Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ "Курчатовский институт", 2010. - С. 121.

75. J.Wu . A low-noise low-offset chopper stabilized capacitive readout amplifier for CMOS MEMS accelerometers/ J.Wu, G.K.Fedder, L.R.Carley// IEEE Int. Solid-State Circuits Conf. Dig. Tech. Papers-2002.- P. 428-429

76. Мещеряков А.В. О возможности увеличения скорости сканирования СЗМ в динамическом режиме/ А.В. Мещеряков // IX Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ "Курчатовский институт", 2011. - С. 119.

77. Мещеряков А.В. Способы увеличения скорости сканирования СЗМ-нанотвердомера при неизменном качестве изображения / А.В. Мещеряков // X Курчатовская молодежная научная школа. Аннотация докладов. - М.: РНЦ "Курчатовскийинститут", 2012.-С.83

78. Мещеряков А.В. Системы управления СЗМ для измерений структуры и свойств наноматериалов/ А.В. Мещеряков // Научная сессия

МИФИ - 2010: Сб. Научн. Трудов. Т.1.- XIII Международная конференция молодых ученых и студентов "Молодежь и наука" М.: МИФИ, 2010. - С.57.

79. Мещеряков A.B. Нанопозиционер с цифровым регулированием для сканирующих зондовых микроскопов/ A.B. Мещеряков, Шибалов К.В. // Научная сессия МИФИ - 2011: Сб. Научн. Трудов. T.3.-XIV Международная телекоммуникационная конференция студетов молодых ученых "Молодежь и наука" М.: МИФИ, 2011. - С.44.

80. Мещеряков A.B. Реализация цифрового регулятора для системы нанопозиционирования СЗМ / A.B. Мещеряков // X Всероссийская выставка Научно-технического творчества молодежи НТТМ: Сборник материалов. - М.: 2010.- С.127.

81. Мещеряков A.B. Исследование погрешностей цифрового регулятора системы нанопозиционирования СЗМ/ A.B. Мещеряков // Всероссийская научная школа для молодежи "Метрологическое обеспечение и оценка соответствия нанотехнологий, наноматериалов и продукции наноиндустрии": Сб. Научн. Тр. -М.: 2010. - Т. 1. - С. 11-12.

82. Мещеряков A.B. RC-звено второго порядка с активной компенсацией / A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ -2008: Сб. Научн. Тр. - М.: МИФИ, 2008. - Т.13. - С.122.

83. Мещеряков A.B. Увеличение эффективного разрешения 16-разрядных микросхем АЦП/ A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2009: Сб. Научн. Тр.- М.: МИФИ, 2009. - T.l. - С.119.

84. Мещеряков A.B. Системы нанопозиционирования СЗМ для измерений структуры и свойств наноматериалов/ A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2010: Сб. Научн. Тр.- М.: МИФИ, 2010. -Т.П. -С.242-245.

85. Мещеряков A.B. Исследование погрешностей цифрового регулятора системы нанопозиционирования СЗМ / A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ - 2011: Сб. Научн. Тр.- М.: МИФИ, 2011. -Т.1. - С.138.

86. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Учеб.пособие: Для вузов. В 5 т. T.III. Электричество. - 4-е изд. Стереотип. - М.: ФИЗМАТ ЛИТ; Изд-во МФТИ, 2004. - 656 с.

87. Мещеряков A.B. Динамическое регулирование в сканирующем зондовом микроскопе/ A.B. Мещеряков, В.В. Мещеряков // Научная сессия МИФИ- 2012: Сб. Научн. Тр.-М.: МИФИ, 2012. - Т.1. - С.141.