Анализ и расчет предельного быстродействия систем сканирования допечатного и цифрового печатного оборудования тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.13, кандидат технических наук Егельский, Иван Денисович

• Егельский, Иван Денисович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Егельский, Иван Денисович

Введение

Глава 1. Применение оптико-электронных систем в качестве сканирующих устройств в полиграфическом оборудовании

1.1. Обзор оптико-электронных сканирующих систем устройств «компьютер - фотоформа», «компьютер - печатная форма», «компьютер - печать»

1.2. Расширитель лазерного пучка, его влияние на разрешение сканирующей системы

1.3. Оптические блоки сканирования

1.4. Определение погрешностей сканирующей системы

1.5. Взаимосвязь типов растрирования со способами печати

1.6. Микроэлектромеханические технологии в полиграфии

1.7. Краткий обзор научно-технической литературы по проблеме разработки быстродействующей аппаратуры воспроизведения 43 изображений в полиграфическом оборудовании

Выводы

Глава 2. Расчет влияния параметров основных блоков допечатного оборудования на его предельные характеристики с учетом квантовой природы излучения

2.1. Специфические особенности использования оптических систем и фотоприемных блоков в современном допечатном 46 оборудовании

2.2. Вывод общей формулы светосилы оптических систем допечатного оборудования

2.3. Определение квантовой чувствительности аппаратуры допечатного оборудования и влияния на нее энергетической 59 эффективности оптической системы

2.4. Определение величины контраста и разрешения, воспроизводимых лазерной аппаратурой изображений Выводы

Глава 3. Анализ и расчет быстродействующих систем сканирования

3.1. Анализ коэффициента концентрации энергии для различных сканирующих устройств

3.2. Анализ влияния параметров полиграфического процесса на скорость регистрации информации

3.3. Вычисление информационного коэффициента 100 Выводы

Глава 4. Разработка быстродействующего линейного принтера и осветительного устройства

4.1. Разработка методики проектирования допечатной аппаратуры с учетом фотонного ограничения ее чувствительности

4.2. Конструкция быстродействующего линейного принтера для задач полиграфии

4.3. Разработка блока оптического смешения излучения для повышения отказоустойчивости работы оборудования

4.4. Методика настройки и юстировки зеркального четырехканального осветителя

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Анализ и расчет предельного быстродействия систем сканирования допечатного и цифрового печатного оборудования»

Актуальность работы. В допечатных и электрографических печатных системах для формирования из модулируемой точки изображения строки широко применяется вращающееся полигональное зеркало. Существуют также линейные принтеры — системы, в которых все данные строки передаются на чувствительный материал параллельно, однако лучшая конфигурация современного линейного принтера позволяет одновременно адресовать не более 7x10 отдельных элементов, в то время как при разрешении 2400 dpi и ширине передаваемого изображения 0,42 м необходимо передать параллельно 4x104 элементов. Создание линейного принтера, модулирующего указанное количество элементов, позволит повысить скорость передачи данных полосы в электрографических машинах с сохранением высокого разрешения выводимой битовой карты.

В линейных принтерах применяются модуляторы, имеющие геометрический размер, многократно превышающий размер отдельного элемента. Это приводит к повышению влияния равномерности освещенности модулятора на равномерность экспозиции элементов строки. В связи с этим актуальна задача организации равномерного освещения протяженных модуляторов.

Применение протяженных модуляторов, использование лазерных источников излучения, освещающих протяженный шероховатый объект, приводит к появлению неоднородности потока излучения в пределе одного канала, что требует более детализированных расчетов влияния оптики, равномерности потока излучателя и шумов, вносимых излучателем и модулятором, для определения порогового быстродействия системы.

Цель и задачи работы. Целью данной работы является теоретический анализ и определение рекомендаций для построения цифровых оптических многолучевых систем сканирования, в том числе и линейных принтеров (ЛП), построенных на базе цифровых микрозеркальных устройств (Digital Micromirror Device, DMD). Необходимо решить следующие задачи.

1. Определить тенденции развития цифрового печатного оборудования, сформировав способ сравнения оборудования, работающего по разным физическим принципам.

2. Выполнить моделирование линейного принтера с оптоволоконной коммутацией элементов прямоугольного модулятора с элементами строки для достижения количества элементов строки превышающего vV=4xl04.

3. Разработать систему освещения, позволяющую сформировать равномерное и постоянное освещение протяженной поверхности модулятора.

4. Создать методику для теоретического анализа реализации предельного быстродействия многоканальных оптико-электронных систем на основе принципов квантовой оптики.

Методы исследования. Для решения указанных задач в работе применялись аналитические методы расчета быстродействия электрофотографических систем, методы вычислительной математики, теория квантовой природы излучения и имеющиеся в технической литературе теоретические сведения по микроэлектромеханическим системам и теории зеркальной развертки.

Научная новизна

1. Разработана методика комплексной оценки оптических систем сканирования на базе эквивалентной схемы и введены понятия, позволяющие оценить применимость зеркальных систем сканирования.

2. Предложена модель линейного принтера, в которой достигается количество элементов строки, превосходящее известные аналоги.

3. Впервые, для оптико-электронных систем лазерного сканирования, решена задача определения предельного быстродействия с учетом влияния на него узлов оптической системы оборудования и чувствительности приемника излучения (на основе соотношения сигнал/шум). Методика построения высокочувствительной печатной аппаратуры, к которой можно отнести и цифровые печатные устройства, впервые учитывает полученный в работе принцип расчета предельного соотношения сигнал/шум и коэффициент энергетической эффективности оборудования.

4. Решена задача обеспечения равномерного освещения протяженного модулятора множеством источников, излучение которых смешивается при помощи системы полупрозрачных зеркал, причем работоспособность устройства независима от работоспособности отдельных элементов.

Практическая значимость результатов работы

1. Обобщенная схема допечатного оборудования может быть использована при расчетах быстродействия оборудования с учетом такого показателя как коэффициент концентрации энергии. Информационный коэффициент может быть применен для сравнительного анализа стоимости и производительности оборудования.

2. Линейный принтер позволяет избежать использования оптомехани-ческой развертки в допечатном и цифровом печатном оборудовании при внедрении достаточного для реализации качественного изображения количества управляемых элементов. Предложенная модель линейного принтера с N=4x 104 элементов позволяет создать аппаратуру, поддерживающую разрешение 2400 dpi на ширине 0,42 м.

3. Расчет предельного соотношения сигнал/шум позволяет определить предельное быстродействие экспонирующей системы в случае неравномерного распределения энергии в потоке излучения на входе оптического тракта. В случае, когда шумами на входе можно пренебречь, расчет быстродействия упрощается до классических соотношений, описывающих реакцию чувствительной подложки на излучение с учетом влияния оптической системы.

4. Практическую ценность разработанной системы равномерного освещения подтверждает акт внедрения от 03 сентября 2008 года в научно-исследовательской разработке ФГУП НИИ Телевидения «Исследование и разработка опознавательной телевизионной системы», шифр «Взор» (инв. № 29209).

Положения, выносимые на защиту

1. Введен параметр «информационный коэффициент», который позволяет сравнивать эффективность цифровой печатной аппаратуры, построенной на основе разных физических принципов.

2. Предложена модель линейного принтера высокого разрешения, позволяющая резко повысить быстродействие оптической системы вывода информации.

3. На базе фундаментальных положений квантовой оптики получены принципы и формулы расчета чувствительности и быстродействия оптических сканирующих систем с учетом предельного соотношения сигнал/шум.

4. Разработана модель устройства освещения, позволяющего компенсировать неравномерность характеристик отдельных источников излучения.

Апробация работы. Материалы диссертации докладывались на научных семинарах кафедры автоматизированного полиграфического оборудования Северо-Западного института печати СПГУТД. Основные результаты работы представлялись на следующих конференциях: на 17-й Международной конференции МКБ Электрон, Москва, в 2007 году, на научном семинаре кафедры автоматизации полиграфического оборудования МГУП «Анализ и разработка быстродействующего линейного принтера на базе микроэлектромеханических устройств».

Публикации. По теме диссертации опубликованы 6 статей, в том числе 2 статьи в изданиях, рекомендованных ВАК РФ, и 1 патент РФ на полезную модель.

Структура и объем работы. Диссертационная работа изложена на 148 листах машинописного текста, включая список литературы из 91 наименования, 69 рисунков и 23 таблиц. Работа состоит из введения, четырех глав, выводов и заключения.

Заключение диссертации по теме «Машины, агрегаты и процессы (по отраслям)», Егельский, Иван Денисович

Выводы

1. Предложенная блок-схема методики оптимизации быстродействия допечатного оборудования может быть положена в основу компьютерного алгоритма

2. Расчеты и анализ тематической зарубежной литературы и патентов показывают, что для решения задачи отклонения падающего излучения наиболее подходят электростатический и электромагнитный типы микропривода.

3. Предложена схема осветительного устройства, которое позволяет создать независимую равномерную подсветку протяженного модулятора, на схему получен патент РФ на полезную модель.

4. Предложена схема линейного принтера, позволяющего организовать параллельное сканирование более чем 40000 точек.

5. Разработана методика юстировки предложенного в работе осветительного блока.

Заключение

1. Разработана система оптоволоконной коммутации прямоугольной матрицы в линейный принтер, которая позволяет создавать репродукционные системы, впервые предоставляющие возможность одновременного экспонирования сотен тысяч отдельных каналов. При этом техническое решение задачи равномерного освещения прямоугольной матрицы с соотношением сторон 4:3 упрощается в сравнении с задачей освещения матрицы с соотношением сторон 100:1.

2. Схема осветительного устройства внедрена в опознавательной системе (НИР ФГУП НИИ Телевидения «Исследование и разработка опознавательной телевизионной системы», шифр «Взор») для организации осветительной инфракрасной системы повышенной надежности, что подтверждается актом об использовании изобретения (полезной модели) от 03 сентября 2008 года.

3. Снижение себестоимости цифровой печати влечет за собой повышение экономической отдачи от ее использования на больших тиражах, что в силу необходимости поддерживать достаточную скорость печати предполагает повышение скорости работы сканирующих систем в оптико-электронных блоках цифровых печатных машин.

4. Получен информационный критерий, который позволяет проводить сравнения цифровых печатных машин различных типов — машин прямой цифровой печати и машин электрографической печати. Этот критерий позволяет оценить влияние оптико-механической развертки на общую скорость всей печатной системы.

5. Оптические системы аппаратуры допечатных процессов должны быть достаточно малы по габаритам, а при работе в условиях малых пороговых освещенностей, создаваемых рабочим потоком излучателя на носителе информации, должны быть максимально «квантово-энергетически эффективными», собирать максимум энергии излучателя в проектируемую точку.

6. Анализ полученного в ходе работы выражения для соотношения сигнал/шум показывает, что при одних и тех же габаритах (F = Const) оптических систем предельная величина этого отношения, а следовательно, и «потенциальная квантовая чувствительность» зависят от диаметра входного зрачка оптической системы и диаметра кружка рассеяния, а также от квантового выхода Ух селенового слоя, при выбранных постоянных: количестве элементов разложения М и периоде (цикле) Тк сканирования светочувствительного слоя.

7. Из сопоставления расчетных данных для разных типов оборудования следует, что значение величины коэффициента концентрации энергии излучения (РУ) различных оптических систем, обеспечивающих качественное проектирование энергии в точку на фотоносителе информации», колеблется в пределах 0,15x106 — 2,5x107. При этом применение волоконной оптики с проекционными объективами, характеризуемой одним из наибольших значений величины коэффициента концентрации энергии излучения =2,5x10 ), наиболее целесообразно с точки зрения реализации максимального быстродействия аппаратуры.

8. Результаты диссертационной работы использованы в НИР «Лалия», «Исследование путей создания лазерной аппаратуры передачи информации по открытому оптическому каналу с возможностью ретрансляции сигнала» (инв. № 29207), и позволили уточнить облик структуры канала передачи информации для перспективной аппаратуры, которая будет разрабатываться ФГУП НИИ Телевидения.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Егельский, Иван Денисович, 2009 год

1. Самарин, Ю. Н. Допечатное оборудование : конструкции и расчет : учебник / Ю. Н. Самарин. — М. : МГУП, 2002.

2. Киппхан, Г. Энциклопедия по печатным средствам информации : технологии и способы производства Текст. / Г. Киппхан; пер. с нем. — М. : МГУП, 2003.

3. Самарин, Ю. Н. Научные основы и методология проектирования выводных устройств допечатных систем : монография Текст. / Ю. Н. Самарин. — М.: МГУП, 2004.

4. Самарин, Ю. Н. Лазеры в формной технике Текст. / Ю. Н. Самарин. — М. : МПИ, 1989.

5. Бегунов, Б. М. Теория оптических систем Текст. / Б. М. Бегунов, Н. П. Заказн. — М. : Машиностроение, 1973.

6. Волосов, Д. С. Фотографическая оптика Текст. / Д. С. Волосов. — М. : Искусство, 1971

7. Смирнов, В. Д. Оптические системы высокоразрешающих лазерных фоторегистрирующих устройств Текст. / В. Д. Смирнов // Техника средств связи. Сер. Техника телевидения. — 1981. — С. 31.

8. Смирнов, В. Д\ Цифровые фотоаппараты Текст. / В. Д. Смирнов.— СПб. : Петербургский ин-т печати, 2002.

9. Смирнов, В. Д. Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника в полиграфии Текст. / В. Д. Смирнов. — СПб. : Петербургский ин-т печати, 2000.

10. Самарин, Ю. Н Лазерные выводные устройства систем переработки текста и иллюстраций Текст. / Ю. Н. Самарин // Лазерная техника и оптоэлектроника в полиграфии. — М., 1991.

11. Бейзерэнд, Р. Б. Сканнеры в настольной книге по оптике Текст. / Р. Б. Бейзерэнд, под ред. М. Басс // Optical Society of America. — New York : McGraw-Hill, 1994. — Vol. 2. — Ch. 19.

12. Коновалов, М. В. Разработка методов и средств повышения точности лазерной визуализации изображения Текст. / М. В. Коновалов. — СПб. : СПбГУКиТ, 2000.

13. Киппхан, Г. Энциклопедия по печатным средствам информации : технологии и способы производства Текст. / Г. Киппхан; пер. с нем. — М. : МГУП, 2003.

14. Алёхин, В. А. Развитие теории проектирования, разработка и реализация новых принципов функционирования оптических и термографических устройств регистрации и отображения с линейной записью информации Текст. / В. А. Алёхин. — М. : РГБ, 2006.

15. Флойд, Р. Адаптивный алгоритм получения пространственного распределения полутонового изображения Текст. / Р. Флойд, JI. Стейнберг // Proceedings of the Society of Information Display, 1976. —Vol.17. — p.75-77.

16. Хорнбэк, JI. От электронно-лучевых трубок до цифровых микрозеркал : история электронных проекционных технологий. Текст. / JI. Хорнбэк // TI TECHNICAL JOURNAL, 1998. — p. 7-47.

17. Эйпт, Р. Управляемые дифракционные решетки в дисплеях высокого разрешения» Текст. / Р. Эйпт, Ф. Сандежас, В. Банвай, Д. Блум // Solid State Sensors and Actuators Workshop, June 1994. —p. 11-16.

18. Аблеков, В. К. Оптическая и оптоэлектронная обработка информации Текст. / В. К. Аблеков [и др.]. — М. : Машиностроение, 1976.

19. Шеннон, К. Работы по теории информации и кибернетике Текст. / К. Шеннон // М. : Изд. иностр. лит., 1963.

20. Волосов, Д. С. Фотографическая оптика Текст. / Д. С. Волосов. — М. : Искусство, 1971.

21. Волосов, Д. С. Теория и расчет светооптических систем Текст. / Д. С. Волосов, М. В. Цивкин. —М. : Искусство, 1960.

22. Гейг, С. Применение оптоэлектронных приборов Текст. / С. Гейг [и др.] ; пер. с англ.; под ред. Ю. Р. Носова. —М. : Радио и связь, 1981.

23. Гудмен, Дэю. Введение в Фурье оптику Текст. / Дж. Гудмен; пер. с англ.; под ред. Г. И. Косоурова. —М. : Мир, 1970.

24. Джемисон, Дою. Физика и техника инфракрасного излучения Текст. / Дж. Джемисон. — М. : Советское радио, 1971.

25. Ефимов, М. В. Теоретические основы переработки информации в полиграфии Текст. / М. В. Ефимов. — М. : МГУП, 2001.

26. Зайделт В. Д. Полупроводниковые устройства восприятия оптической информации Текст. / В. Д. Зайделт. —М. : Энергия, 1976.

27. Исперс, 77. Полупроводниковые формирователи сигналов изображения Текст. / П. Иссперс, Ф. Ван де Вше, М. Уайт // пер. с англ. ; под ред. Р. А. Суриса. — М. : Машиностроение, 1979.

28. Катыс, Г. П. Информационные сканирующие системы Текст. / Г. П. Катыс. —М.: Машиностроение, 1965.

29. Криксунов, JI. 3. Частотно-временные и пространственно-частотные характеристики модулирующих устройств Текст. / JI. 3. Криксунов. — М. : Машиностроение, 1972.

30. Мирошников, М. М. Теоретические основы оптико-электронных приборов Текст. / М. М. Мирошников. — Л. : Машиностроение, 1977.

31. Порфирьев, JI. Ф. Теория оптико-электронных приборов и систем Текст. / JI. Ф. Порфирьев. — Л., 1980.

32. Якушенков, Ю. Г. Теория и расчет ОЭП Текст. / Ю. Г. Якушенков. — М. : Советское радио, 1980.

33. Климков, Ю. М. Основы расчета оптико-электронных приборов с лазерами Текст. / Ю. М. Климков. —М. : Советское радио, 1978.

34. Криксунов, Л. 3. Системы информации с оптическими квантовыми генераторами Текст. / JI. 3. Криксунов. — Киев : Техника, 1970.

35. Мосс, Т. Полупроводниковая оптоэлектроника Текст. / Т. Мосс, Г. Баррел, Б. Эллис ; пер. с англ.; под ред. С. А. Медведева. — М. : Мир, 1976.

36. Пратт, В. Лазерные системы связи Текст. / В. Пратт ; пер. с англ. ; под ред. А. Г. Шереметьева. — М. : Мир, 1972.

37. Рябов, С. Г. Состояние тенденции развития твердотельных лазеров Текст. / С. Г. Рябов, JL К. Гаврилов // Приборы и системы управления. — 1976. — №3. —С. 13-20.

38. Рябов, С. Г. Приборы квантовой электроники Текст. / С. Г. Рябов, Г. Н. Торопкин, И. Ф. Усольцев. — М. : Советское радио, 1976.

39. Самарин, Ю. Н. Технико-экономическая оценка и выбор фотонаборных автоматов для полиграфического производства : монография Текст. / Ю. Н. Самарин, М. А. Синяк. — М. : МГУП, 2001.

40. Самарин, Ю. Н. Допечатное оборудование Текст. / Ю. Н. Самарин. —М. : МГУП, 2000.

41. Самарин, Ю. Н Лазерные выводные устройства систем переработки текста и иллюстраций Текст. / Ю. Н. Самарин // Лазерная техника и оптоэлектроника в полиграфии. — М., 1991.

42. Сидоров, А. С. Электронные полиграфические устройства и системы Текст. / А. С. Сидоров. — М.: Мир книги, 1998.

43. Шарупич, Л. С. Оптоэлектроника Текст. / Л. С. Шарупич, Н. М. Тугов. — М. : Энергоиздат, 1984.

44. Дроздов, В. Н. Синтез алгоритмов цифровых систем управления полиграфическим оборудованием Текст. / В. Н. Дроздов. — СПб. : Санкт-петербургский ин-т печати, 2003.

45. Сидоров, А. С. Электронные полиграфические устройства и системы Текст. / А. С. Сидоров. — М. : Мир книги, 1998.

46. Смирнов, В. Д. Определение энергетических параметров оптических систем при работе в ОЭП Текст. / В. Д. Смирнов // Оптико-механическая промышленность. — 1987. — № 12. — С. 32.

47. Смирнов, В. Д. Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника в полиграфии Текст. / В. Д. Смирнов. — СПб. : Петербургский ин-т печати, 2000.

48. Смирнов, В. Д. Оптические системы высокоразрешающих лазерных фоторегистрирующих устройств Текст. / В. Д. Смирнов // Техника средств связи. Сер. Техника телевидения. — 1981. — С. 31.

49. Смирнов, В. Д. Оптические системы ОЭП и телевизионных камер наблюдения малоконтрастных объектов Текст. / В. Д. Смирнов // Оптико-механическая промышленность. — 1990. — № 5. — С. 58.

50. Смирнов, В. Д. Работа систем первичной обработки информации ОЭП индикации в условиях малого контраста Текст. / В. Д. Смирнов // Техника средств связи. Сер. Техника телевидения. — 1977. — Вып 2. — С. 76.

51. Смирнов, В. Д. Цифровые фотоаппараты Текст. / В. Д. Смирнов.— СПб. : Петербургский ин-т печати, 2002.

52. Смирнов, В. Д. Чувствительность систем ОЭП на ярком фоне при использовании одно- и многоэлементных приемников излучения Текст. / В. Д. Смирнов // Вопросы радиоэлектроники. Сер. Техника телевидения. — 1975. — С. 3.

53. Смирнов, В. Д. Влияние параметров оптической системы на предельную чувствительность ОЭП Текст. / В. Д. Смирнов, Л. И. Хромов // Техника средств связи. Сер. Техника телевидения. — 1981. — Вып. 4. — С. 3.

54. Электростатический оптоволоконный сканнер Текст. : Патент № 4,234,788 США: МПК G 02 В5/14 / John P. Palmer, Scott М. Rose // заявитель и патентообладатель General Dynamics Corporation; заявл. № 27,550 от 6.04.1979; опубл. 18.11.1980.

55. Точное электростатическое управление и позиционирование Текст. : Патент № US 6,329,738 В1 США: МПК Н 02 N1/00 / Elmer S. Hung, Erik R.

56. Deutsch, Stephen D. Senturia // заявитель и патентообладатель Massachusetts Institute of Technology; заявл. № 09/537,936 от 29.05.2000; опубл. 11.12.2001

57. Чуриловский, В. Н. Теория оптических приборов Текст. / В. Н. Чуриловский. — М. : Машиностроение, 1966.

58. Вольф, М. Оптическая когерентность и квантовая оптика Текст. / Mandel, Leonard, and Emil Wolf // Cambridge : Cambridge University Press, 1995.

59. Скалли, M.O. Квантовая оптика Текст. / M. О. Scully and M.S. Zubairy // Cambridge : Cambridge University Press, 1997. — P. 126-130.

60. Баха, E. А. Основы фотоники Текст. / Bahaa E. A. Saleh, Malvin Carl Teich // USA: John Wiley & Sons, 1991

61. Вавилов, С. И. Микроструктура света Текст. / С. И. Вавилов; — М. : А.Н. СССР, 1950.

62. Вавилов, С. И. Флуктуации при световой адаптации глаза Текст. / С. И. Вавилов; — СПб. : ЖЭТФ.— №.-12.-1942.

63. Бегунов, Б. М. Теория оптических систем Текст. / Б. М. Бегунов, Н. П. Заказное. — М. : Машиностроение, 1973.

64. Носов, Ю. Р. Оптоэлектроника Текст. / Ю. Р. Носов. — М. : Радио и связь, 1989.

65. Свечников, С. В. Элементы оптоэлектроники Текст. / С. В. Свечников.,— М. : Советское радио, 1971.

66. Хадсон, Р. Инфракрасные системы Текст. / Р.Хадсон. — М. : Мир, 1972.

67. Соболева, Н. А. Фотоэлектронные приборы Текст. / Н. А. Соболева, А. Е. Меламид. — М. : Высшая школа, 1994. ' '

68. Ллойд, Дж. Системы тепловидения Текст. / Дж. Ллойд — М.^'Мир, . 1975.

69. Зигелъ, Р. Теплообмен излучением Текст. / Р. Зигель, Дж. Хауэлл. — М. : Мир, 1975.

70. Кэмпбэлл, С. А. Научные основы микроэлеткронного производства Текст. / С. А. Кэмпбэлл.— Oxford University Press, New York, 2001.

71. Мэдоу, M. Основы микропроизводства Текст. A.M. Мэдоу // CRC Press, Boca Raton, FL, 1997.

72. Виджей, К. «Умные» материалы и МЕМС : Методики расчета разработки. Текст. / К. Виджей, К. Варадан, Дж. Виной // UK : John Wiley & Sons, 2006.

73. Лобониту, Н. Механика микроэлектромеханических систем Текст. / Н. Лобониту, И. Гарсия // Springer science. — Boston : Kluwer academic publishers,

74. Степаненко, И. П. Технологические основы микроэлектроники / И. П. Степаненко Текст. — М. : Лаборатория базовых знаний, 2004.

75. Коноплев, Б. Г. Моделирование микрозеркала с электростатической активацией Текст. / Б. Г. Коноплев, И. Е. Лысенко // Нано- и микросистемная техника, 2002. — № 12 — с. 22-25.

76. Лишевский, С. Е. Нано- и микро-электромеханические системы: основы разработки Текст. / С.Е. Лишевский.— CRC Press, Boca Raton, FL, 2000.

77. Игумнов, Д. В. Основы микроэлектроники Текст. / Д. В. Игумнов, Г. В. KopontB, И.С. Громов . —М. : Высшая школа, 1991.

78. Эмб, Д. Т. Оптические характеристики управляемой дифракционной решётки Текст. / Д. Т. Эмб, Р. В. Корригэн // Projection Display V, 1999. — Vol. 5.— P. 71-78

79. Палмер, К. Дифракционные решётки Текст. / Кристофер Палмер // Christopher Palmer.— New York : Thermo RGL Rochester, 2002.

80. Фуджита, X. Оптические МЭМС Текст. / X. Фуджита, X. Тошийоши // IEICE Trans. Electron. 2000. — Vol. Е83-С, № 9. —P. 1427—1434.

81. Крейт, Ф. МЭМС : применения Текст. / Ф. Крейт, Р. Маян.— New York : Taylor & Francis, 2006.

82. Фридмен, Э. Оптика, электрооптика, волоконная оптика и лазеры Текст. / Э. Фридмен, Д. Миллер .— New York : McGraw-Hill, 2002.

83. Кейго, И. Основы фотоники Текст. /Иизука Кейго.— UK : John Wiley & Sons, 2002.2005.