Анализ газочувствительных наноструктур с варьируемым типом и концентрацией адсорбционных центров тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.10, кандидат физико-математических наук Налимова, Светлана Сергеевна

• Налимова, Светлана Сергеевна
• кандидат физико-математических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Налимова, Светлана Сергеевна

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ АДСОРБЦИОННЫХ 10 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ДАТЧИКОВ (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР)

1.1. Физические основы адсорбционных полупроводниковых 10 датчиков

1.2. Электронная теория катализа на полупроводниках

1.3. Основные этапы развития адсорбционных полупроводниковых 27 датчиков

1.4. Мультисенсорные системы типа «электронный нос»

1.5. Управление кислотно-основными и окислительно-восстановитель- 34 ными свойствами сенсорных материалов как способ повышения чувствительности и селективности

1.6. Выводы к главе 1

ГЛАВА 2. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ УПРАВЛЕНИЯ 41 ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ И СВОЙСТВАМИ АДСОРБЦИОННЫХ ЦЕНТРОВ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ СЛОЕВ

2.1. Синтез бинарных и смешанных оксидов металлов методом химиче- 41 ского соосаждения из водных растворов солей металлов

2.2. Синтез металлооксидов золь-гель методами из растворов с органи- 45 ческими прекурсорами

2.3. Модель взаимодействия двухкомпонентных оксидов металлов с 57 восстанавливающими газами

2.4. Анализ газочувствительности металлооксидов при взаимодействии 65 с парами ацетона и спиртов

2.5. Фрактальная модель пористых сенсорных материалов

70

2.6. Выводы к главе

78

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА КОМПЛЕКСНЫХ МЕТОДИК ДИА- 80 ГНОСТИКИ ЭНЕРГЕТИКИ И КОНЦЕНТРАЦИИ АДСОРБЦИОННЫХ ЦЕНТРОВ РАЗНОГО ТИПА

3.1. Количественный анализ донорно-акцепторных центров поверхно- 80 сти методом адсорбции кислотно-основных индикаторов

3.2. Диагностика химического состава поверхности методом рентгенов- 92 ской фотоэлектронной спектроскопии

3.3. Диагностика электрофизических и газочувствительных свойств ме- 103 тодом спектроскопии импеданса в переменной газовой атмосфере

3.4. Выводы к главе 3

ГЛАВА 4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ СЕН- 113 СОРНЫХ МАТЕРИАЛОВ ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКЕ

4.1. Физические основы явлений при радиационном модифицировании 113 поверхности металлооксидов

4.2. Влияние электронно-лучевой обработки на сенсорные и кислотно- 127 основные свойства металлооксидов

4.3. Возможности использования полученных результатов в других об- 131 ластях науки и техники

4.4. Выводы к главе 4 138 ЗАКЛЮЧЕНИЕ 140 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Анализ газочувствительных наноструктур с варьируемым типом и концентрацией адсорбционных центров»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. В настоящее время полупроводниковые адсорбционные сенсоры на основе оксидов металлов широко востребованы в экологическом мониторинге, медицинской неинвазивной диагностике, экспресс-мониторинге качества продуктов, криминалистике, военном деле, машиностроении, горном деле и других областях. Низкая стоимость и коммерческая доступность этого типа сенсоров определили их широкое практическое использование. В целом, в сенсорике газовых сред наметился круг наиболее актуальных задач, связанных с целенаправленным изменением адсорбционных свойств и каталитической активности нанокристаллических материалов. Это связано с тем, что процесс взаимодействия оксида металла с детектируемым газом является многостадийным и включает как окислительно-восстановительные, так и кислотно-основные реакции. Площадь поверхности и микроструктура сенсорного слоя, наличие добавок и примесей, температура, влажность и многие другие факторы определяют характер взаимодействия материала с детектируемым газом. Одним из актуальных требований является повышение газочувствительности адсорбционных сенсоров. В настоящее время наряду с бинарными оксидами металлов исследуются многокомпонентные оксиды, в том числе ферриты. Повышение газочувствительности принципиально возможно при возникновении кооперативного эффекта в результате разделения функциональных свойств по адсорбции и полному окислению восстанавливающих газов на разных поверхностных центрах в многокомпонентных системах. Представляется актуальным развитие модельных представлений о газочувствительных свойствах слоев с фрактальной структурой вблизи порога протекания, а также развитие способов контроля газочувствительных слоев при изменении соотношения между концентрациями центров с различным значением кислотности.

Целью работы являлось развитие модельных представлений о механизмах взаимодействия восстанавливающих газов с оксидами металлов, а также разработка методик анализа поверхностных адсорбционных центров и управления газочувствительностью.

Для достижения поставленной цели в работе решались следующие задачи:

1. Получение слоев металлооксидов методом химического соосаждения и золь-гель методом.

2. Развитие модельных представлений об образовании металлооксид-ных слоев с фрактальной структурой и влиянии их структуры на процессы адсорбции-десорбции.

3. Анализ физико-химических особенностей взаимодействия полученных наноматериалов с парами ацетона и спиртов.

4. Разработка методик исследования характеристик адсорбционных центров на примере систем ЪлО, Ре20з,

5. Разработка методик управляемого изменения адсорбционных свойств путем электронно-лучевого модифицирования.

6. Анализ газочувствительности полученных металлооксидных структур в зависимости от условий получения и режимов обработки.

Научной новизной обладают следующие результаты:

1. Разработаны способы соосаждения бинарных и многокомпонентных оксидов металлов, обеспечивающие получение слоев с фрактальным строением, отвечающим перколяционному кластеру вблизи порога протекания.

2. Развита модель взаимодействия спирта с поверхностью оксидов металлов, объясняющая экспериментальные данные, в которой центрами адсорбции молекул спирта являются гидроксильные группы кислотного типа.

3. Выявлены зависимости сенсорного отклика оксидов металлов к парам ацетона и спирта от соотношения на их поверхности гидроксильных групп кислотного типа (центров адсорбции молекул газа) и отрицательно заряженных кислородных центров, ответственных за кинетику окисления.

4. Впервые показана возможность управления газочувствительными свойствами оксидов металлов при их модифицировании ускоренными электронами, приводящем к изменению концентраций адсорбционных центров различного типа.

Практическая значимость работы:

1. Методом химического соосаждения получены наноструктурирован-ные слои ХпО, Ре20з и ZrLFe204, газочувствительность которых на несколько

порядков превосходит известные аналоги (на лучших образцах - в 105 раз).

2. Установлен механизм адсорбции и окисления молекул этилового спирта, который может быть использован для разработки селективных сенсоров и катализаторов окисления этанола.

3. Предложена новая методика направленного увеличения сенсорного отклика оксидов металлов за счет их электронно-лучевого модифицирования и выбраны технологические режимы ее реализации для слоев на основе диоксида олова.

4. Разработано программное обеспечение в среде Lab VIEW для обработки экспериментальных данных спектроскопии импеданса «Построение годографов импеданса различных эквивалентных цепей» (свидетельство № 20106115470 о государственной регистрации программы для ЭВМ).

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Предложенная в работе модель протекания тока во фрактальных перколяционных структурах позволяет объяснить значения газочувствительности, в 105 раз превышающие значения, характерные для традиционных газовых сенсоров.

2. Разработанный комплекс методик, включающий химический индикаторный метод и рентгеновскую фотоэлектронную спектроскопию, обеспечивает анализ адсорбционных центров по их энергетическому типу, химической активности, а также позволяет количественно оценить их концентрацию.

3. При структуре газочувствительного слоя в виде перколяционного кластера вблизи порога протекания и при частичном блокировании путей протекания тока адсорбированным электрически активным кислородом исходное значение электрического сопротивления между электродами может быть чрезвычайно большим. При взаимодействии адсорбированного кислорода с молекулами восстанавливающего газа происходит резкое уменьшение значения сопротивления не только из-за снятия блокирования путей протекания тока, но и из-за уменьшения длины канала протекания. Изменение длины путей протекания тока приводит к индуктивному характеру аналитического отклика спектроскопии импеданса в области низких частот.

4. Электронно-лучевая модификация газочувствительных оксидов металлов при варьировании условий обработки позволяет направленно изменять соотношение между концентрациями адсорбционных центров для повышения сенсорного отклика.

Внедрение результатов работы. Результаты работы внедрены в учебный процесс при чтении лекций «Материаловедение микро- и наносистем» (по магистерской программе «Нанотехнология и диагностика»), включены в цикл лабораторных работ по дисциплине «Наноматериалы». Опубликовано учебное пособие «Наноматериалы».

Результаты работы использованы при выполнении ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России (2009-2013 г.)» (ГК № П399, № П2279, № 02.740.11.5077, № П1249, № 14.В37.21.1089, № 14.В37.21.0106, № 14.В37.21.0172, № 14.В37.21.0134, № 14.В37.21.0238); проекта по программе «У.М.Н.И.К.» Фонда содействию развития малых форм предприятий в научно-технической сфере; задания по гранту для студентов и аспирантов ВУЗов и академических институтов Правительства Санкт-Петербурга в 2012 г.; тематических планов НИР, проводимых СПбГЭТУ «ЛЭТИ» по заданию министерства образования и науки РФ и финансируемых средств федерального бюджета (III Темплан) в 2009 г. и 2010 г; заданий по грантам для поддержки НИР студентов и аспирантов СПбГЭТУ «ЛЭТИ» в 2007, 2008, 2010, 2011 г.г. Эксперименты по синтезу образцов методом химического соосаждения и исследованию морфологии и химического состава их поверхности проведены в рамках стажировки по стипендии Президента РФ для обучения за рубежом (Университет им. Томаса Бати в г. Злин, Чешская республика).

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях, семинарах и школах:

На международных конференциях: Физика диэлектриков (диэлектрики-2008), XI международная конференция, СПб, 2008; 10th Conference on Intermolecular and Magnetic Interactions in Matter and 6th Workshop on Functional and Nanostructured Materials, Sulmona-L*Aquila, Italy, 2009; VII и VIII Международных конференциях «Аморфные и микрокристаллические полупроводники», СПб, 2010, 2012; Международной научной школе для молодежи «Методология и организация инновационной деятельности в сфере высоких технологий», СПб, 2010; III Международном форуме по нанотехнологиям, Москва, 2010; The Sixth Vietnam-Korea International Joint Symposium, Hanoi, Vietnam, 2011; IX Международной конференции «Кремний-2012», СПб,

2012; International Conference «Advanced Functional Materials», Riviera Resort, Bulgaria, 2012.

На всероссийских конференциях: 9-13 Всероссийских молодежных конференциях по физике полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и наноэлектронике, СПб, 2007-2011; 2-й научно-технической конференции «Методы создания, исследования микро-, наносистем и экономические аспекты микро-, наноэлектроники», Пенза, 2009; 5—7 российских конференциях «Физические проблемы водородной энергетики», СПб, 20092011; Всероссийской конференции с элементами научной школы для молодежи «Проведение научных исследований в области научных исследований в области индустрии наносистем и материалов», Белгород, 2009; Конференции молодых ученых, СПб, 2010; 17-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2010», Москва, 2010; XXIII Российской конференции по электронной микроскопии, Черноголовка, 2010; III Всероссийской школе-семинаре студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению «Нано-материалы», Рязань, 2010; 1-й Всероссийской конференции «Золь-гель синтез и исследование неорганических соединений, гибридных функциональных материалов и дисперсных систем», СПб, 2010; XI молодежной научной конференции, СПб, 2010; VI Всероссийской конференции по наноматериалам «НАНО-2011», Москва, 2011; Всероссийских школах-семинарах студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению «Диагностика наноматериа-лов и наноструктур», Рязань, 2011, 2012; VIII Российской ежегодной конференции молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов», Москва, 2011; 1-м Всероссийском конгрессе молодых ученых, СПб, 2012.

На региональных и внутривузовских конференциях: Политехническом симпозиуме, СПб, 2006; 62-67 научно-технических конференциях, посвященных Дню радио, СПб, 2007-2012; 10-15 научных молодежных школах по твердотельной электронике «Физика и технология микро- и наносистем», СПб, 2007-2012; Конференциях (школах-семинарах) по физике и астрономии для молодых ученых Санкт-Петербурга и Северо-Запада «Физика.СПб», СПб, 2009-2011; 60-65-х научно-технических конференциях профессорско-преподавательского состава СПбГЭТУ, СПб, 2007-2012.

Публикации. Основные теоретические и практические результаты диссертации опубликованы в 16 работах, 11 из которых - статьи в ведущих рецензируемых изданиях, рекомендованных в перечне ВАК, 2 - статьи в других источниках. В список работ входят также свидетельство о регистрации программы для ЭВМ, монография в соавторстве и учебное пособие.

Личный вклад автора. Автором лично выполнены все эксперименты по получению металлооксидов, исследованию их газочувствительных свойств, а также исследованию морфологии образцов методом атомно-силовой микроскопии. Обработка, анализ и обобщение экспериментальных данных, разработка модельных представлений проведены совместно с сотрудниками кафедры микро- и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ». В исследованиях влияния электронно-лучевой обработки на газочувствительность (совместные исследования с СПбГТИ(ТУ)) автором проводилось планирование экспериментов, подготовка образцов, анализ газочувствительных свойств и обобщение полученных результатов.

Структура и объем диссертации. Диссертация изложена на 160 страницах машинописного текста, состоит из введения, четырех глав с выводами, заключения и списка литературы, включающего 214 наименований. Работа содержит 64 рисунка и 12 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Физика полупроводников», Налимова, Светлана Сергеевна

4.4. Выводы к главе 4

1. Облучение ускоренными электронами образцов на основе разных металлооксидов приводит к различному изменению концентрации поверхностных адсорбционных центров, что во многом определяется свойствами материалов, подвергаемых модифицированию.

2. Полученные зависимости изменения концентраций адсорбционных центров на поверхности металлооксидов объясняются моделью преобразования одного типа центров в другой в результате реакций гидроксилирования и дегидроксилирования.

3. Чувствительность слоев на основе оксида цинка к парам изопропа-нола увеличивается в 14.5 раз, а к парам ацетона - в 5.1 раз (при поглощенной дозе 150 кГр), чувствительность образцов на основе диоксида олова к парам изопропилового спирта возрастает в 5 раз, а к парам ацетона — в 3.1 раза (при поглощенной дозе 200 кГр).

4. Рост газочувствительности исследуемых оксидов с ростом поглощенной дозы коррелирует с образованием дополнительных бренстедовских кислотных центров, являющихся центрами адсорбции молекул органических растворителей.

5. Полученные металлооксиды, модифицированные ускоренными электронами, могут быть эффективно использованы в качестве эффективных катализаторов окисления спиртов в топливных элементах, поскольку обладают повышенной адсорбционной способностью и окислительной активностью по отношению к этанолу.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. В полученных в работе слоях ZnO, Ре20з и Zv^FQ20¿t чувствительность феррита цинка к парам этанола почти в 6 раз превышает чувствительность оксида цинка и в 25 раз - оксида железа, а чувствительность к парам ацетона увеличивается в 1250 раз по сравнению с оксидом цинка и приблизительно в 70 раз по сравнению с оксидом железа что обусловлено функциональными особенностями металлических адсорбционных центров, ответственных за процессы адсорбции и окисления, а также особенностями адсорбции гидроксильных групп.

2. Методом соосаждения получены образцы со значениями газочувствительности, превосходящими в 105 раз типичные значения. Для объяснения высоких значений газочувствительности предложена модель, учитывающая фрактальность структуры газочувствительного слоя в виде перколяци-онного кластера, мощность которого незначительно превышает порог протекания.

3. Чувствительность образцов оксида цинка, полученных методом химического соосаждения, к парам ацетона и спирта превосходит значения чувствительности образцов, полученных золь-гель методом, в 10 и 20 раз, соответственно, что находит объяснение в рамках модели спинодального распада в золь-гель процессе.

4. Впервые индикаторным методом установлена количественная закономерность распределения поверхностных адсорбционных центров по кислотно-основным свойствам и определены корреляционные зависимости чувствительности образцов к этанолу от концентрации гидроксильных групп с рКа 2.5.

5. Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено, что для ZnFe204 наблюдаются соизмеримые пики от кислорода поверхностных гидроксильных групп, ответственных за адсорбцию молекул газа, и отрицательно заряженного кислорода, принимающего участие в их окислении, что обеспечивает увеличение его газочувствительности по сравнению с одно-компонентными оксидами.

6. Впервые предложен механизм адсорбции и окисления этилового спирта на поверхности металлооксидов с участием гидроксильных групп кислотного типа.

7. Обнаружено, что в присутствии восстанавливающих газов при низких частотах аналитический отклик спектроскопии импеданса носит индуктивный характер, что коррелирует с разработанной моделью перколяционно-го кластера на пороге протекания с большим содержанием петель разного диаметра. Особенности импедансного отклика фрактальных структур могут быть рекомендованы для разработки новых аналитических методик диагностики газочувствительных структур перколяционного типа.

8. Электронно-лучевое модифицирование слоев 8п02-8Ю2 с поглощенной дозой 200 кГр приводит к увеличению концентрации адсорбционных центров в виде гидроксильных групп кислотного типа в 4.3 раза, и, соответственно, росту чувствительности к парам ацетона в 3.6 раз, а к парам изопропилового спирта - в 5.6 раз.

Выражаю огромную благодарность за совместную работу, помощь в проведении экспериментов и анализе полученных результатов к.т.н. Н. Е. Казанцевой, к.х.н. С. В. Мякину и сотрудникам СПбГЭТУ «ЛЭТИ» к.ф.-м.н. И. Е. Грачевой, к.ф.-м.н. А. И. Максимову и К. Г. Гарееву.

Отдельную благодарность выражаю своему научному руководителю В. А. Мошникову за помощь в постановке задач, анализе результатов, разработке модельных представлений и поддержку в работе над диссертацией.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Налимова, Светлана Сергеевна, 2013 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Madou М. J., Morrison S. R. Chemical sensing with solid state devices. -London: Academic Press, 1991. - 556 pp.

2. Morrison S. R. Mechanism of semiconductor gas sensor operation // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1987. - V. 11. - P. 283-287.

3. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях / И. А. Мясников, В. Я. Сухарев, Л. Ю. Куприянов, С. А. Завьялов. - М.: Наука, 1991.-327 с.

4. Давыдов С. Ю., Мошников В. А., Томаев В. В. Адсорбционные явления в поликристаллических полупроводниковых сенсорах: Учеб. пособие. -СПб.: Изд-во СПбГЭТУ, 1998. - 56 с.

5. Gaskov А. М., Rumyantseva М. N. Nature of gas sensitivity in nanocrys-talline metal oxides // Russian Journal of Applied Chemistry. - 2001. - V. 74, N 3. _P. 440-444.

6. Gopel W., Schierbaum K. D. Sn02 sensors: current status and future prospects // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - V. 26/27. - P. 1-12.

7. Barsan N., Weimar U. Conduction model of metal oxide gas sensors // Journal of Electroceramics. - 2001. - V. 7. - P. 143-167.

8. Barsan N. Conduction models in gas-sensing Sn02 layers: grain-size effects and ambient atmosphere influence // Sensors and Actuators B: Chemical. -1994.-V. 17.-P. 241-246.

9. Comini E. Metal oxide nano-crystals for gas sensing // Analytica Chimica Acta. - 2006. - V. 568. - P. 28-40.

10. Barsan N., Schweizer-Berberich M., Gopel W. Fundamental and practical aspects in the design of nanoscaled Sn02 gas sensors: a status report // Fresenius Journal Analytical Chemistry. - 1999. -V. 365. -P. 287-304.

11. Gopel W., Hesse J., Zemel J.N. Sensors: A Comprehensive Survey / Vol. 2. Chemical Sensors. - Weinheim: VCH, 1991.

12. Effects of various metal additives on the gas sensing performances of ТЮ2 nanocrystals obtained from hydrothermal treatments // Ruiz A. M., Cornet A., Shimanoe K. et al. // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2005. - V. 108. - P. 34-40.

13. Improvement of SO2 sensing properties of WO3 by noble metal loading / Y. Shimizu, N. Matsunaga, T. Hyodo, M. Egashira // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2001. - V. 77. - P. 35-40.

14. Conductance, work function and catalytic activity on Sn02-based gas sensors / K. D. Schierbaum, R. Kowalkowski, U. Weimar,W. Gopel // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1991. - V. 3. - P. 205-214.

15. Nanostructured Pt doped tin oxide films: sol-gel preparation, spectroscopic and electrical characterization / F. Morazzoni, C. Canevali, N. Chiodini et al. // Chemistry of Materials. - 2001. - V. 13. - P. 4355-4361.

16. Weckhuysen В. M. Snapshots of a working catalyst: possibilities and limitations of in situ spectroscopy in the field of heterogeneous catalysis // Chemical Communications. - 2002. - N. 2. - P. 97-110.

17. Волькенштейн Ф. Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. - М.: Наука, 1987. -345 с.

18. Грег С., Синг К. Адсорбция, удельная поверхность, пористость. -М.: Мир, 1984.-306 с.

19. Дубинин М. М. Адсорбция и пористость: Учеб. пособие. - М.: Изд-во ВАХЗ, 1972,- 127 с.

20. Крылов О. В. Гетерогенный катализ: Учеб. пособие. - М.: ИКЦ «Академкнига», 2004. - 679 с.

21. Bielanski A., Deren J., Haber J. Electric conductivity and catalytic activity of semiconducting oxide catalysts // Nature. - 1957. - V. 179. - P. 668-669.

22. A new detector for gaseous components using semiconductive thin films / T. Seiyama, A. Kato, K. Fujiishi, M. Nagatani // Analytical Chemistry. -1962.-V. 34.-P. 1502-1503.

23. US Patent № 3695848 / Taguchi N. Gas Detection Device; Publ. 3.10.72.

24. Сысоев В. В. Полупроводниковые датчики газа резистивного типа на основе оксидов металлов. - Саратов: Сарат. гос. техн. ун-т, 2007. - 68 с.

25. Wang С. С., Akbar A. A., Madou М. J. Ceramic based resistive sensors // Journal of Electroceramics. - 1998. - V. 2, N 4. - P. 273-282.

26. Lim C.-L., Oh S. Microstructural evolution and gas sensitivities of Pd-doped Sn02-based sensor prepared by three different catalyst-addition processes // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1996. - V. 30, N 3. - P. 223-231.

27. Grain size effects on H2 gas sensitivity of thick film resistor using Sn02 nanoparticles / S. G. Ansari, P. Boroojerdian, S. R. Sainkar et al. // Thin Solid Films. - 1997. - V. 295. - P. 271-276.

28. Model of the thickness effect of Sn02 thick film on the detection properties / P. Montmeat, R. Lalauze, J.-P. Viricelle et al. // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2004. - V. 103. - P. 84-90.

29. Micromachined nanocrystalline Sn02 chemical gas sensors for electronic nose / J. Gong, Q. Chen, W. Fei, S. Seal // Sensors and Actuators B: Chemical. -2004.-V. 102.-P. 117-125.

30. Microfabricated gas sensor systems with sensitive nanocrystalline metal-oxide films / M. Graf, A. Gurlo, N. Barsan et al. // Journal of Nanoparticle Research. - 2006. - V. 8, N. 6. - P.823-839.

31. A Smart Single-Chip Micro-Hotplate-Based Gas Sensor System in CMOS-Technology / D. Barrettino, M. Graf, M. Zimmermann et al. // Analog Integrated Circuits and Signal Processing. - 2004. - V. 39, N. 3. - P. 275-287

32. Koshizaki N., Oyama T. Sensing characteristics of ZnO-based NOx sensor // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2000. - V. 66. - P. 119-121.

33. Свойства нанокристаллических пленок Sn02 для датчиков газов / С. И. Рембеза, Т. В. Свистова, Е. С. Рембеза, О. И. Борсякова // Нано- и микросистемная техника. - 2001. - № 7. - С. 14-18.

34. Бубнов Ю. 3. Полупроводниковые газовые микросенсоры // Петербургский журнал электроники. - 1996. - № 3. - С. 87-91.

35. http://www.figarosens.com.

36. http://www.fisinc.co.jp.

37. http://www.appliedsensors.com.

38. http://www.citytech.com.

39. http://www.microchem.com.

40. Sn02-based gas sensitive sensor / A. S. Bakin, M. V. Bestaev, D. Tz. Dimitrov et al. // Thin Solid Films. - 1997. - T. 296, N. 1-2. - C. 168-171.

41. Афанасьев В. П., Панкрашкин А. В., Проворов А. Б. Получение полупроводниковых пленок диоксида олова методом реактивного ионно-плазменного распыления // X Международный симпозиум «Тонкие пленки в электронике»: Тез. докл., Ярославль, 1999. - С.303-308.

42. Формирование структуры газочувствительных слоев диоксида олова, полученных реактивным магнетронным распылением / Р. М. Вощилова, Д. Ц. Димитров, Н. И. Долотов и др. // Физика и техника полупроводников. — 1995.-Т. 29, № 11.-С. 1987-1995.

43. Эллипсометрия как экспресс-метод установления корреляции между пористостью и газочувствительностью слоев диоксида олова / Д. Ц. Димитров, В. В. Лучинин, В. А. Мошников, М. В. Панов // Журнал технической физики. - 1999. - Т. 69, № 4. - С. 129-131.

44. Грачева И. Е., Максимов А. И., Мошников В. А. Анализ особенностей строения фрактальных нанокомпозитов на основе диоксида олова методами атомно-силовой микроскопии и рентгеновского фазового анализа // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. -2009. -№ 10.-С. 16-23.

45. Патент РФ № 2413210 / В. П. Афанасьев, П. В. Афанасьев, И. Е. Грачева и др. Датчик газового анализа и система газового анализа с его использованием; Опубл. 11.01.2010.

46. Электронно-микроскопические исследования структуры газочувствительных нанокомпозитов, полученных гидропиролитическим методом / М. В. Калинина, В. А. Мошников, П. А. Тихонов и др. // Физика и химия стекла. - 2003. - Т. 29, № 3. - С. 450-456.

47. Мошников В. А., Грачева И. Е. Сетчатые газочувствительные нано-композиты на основе диоксидов олова и кремния // Вестник Рязанского государственного радиотехнического университета. - 2009. - № S30. - С. 92-98.

48. Максимов А. И. Газочувствительные полупроводниковые наноком-позиты на основе диоксида олова, сформированные методами золь-гель технологии: Автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук/СП6ГЭТУ«ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург, 2005.

49. Dimitrov D. Tz., Lutskaya О. F., Moshnikov V. A. Control of defect in the gas-sensitive tin dioxide layers // Electron Technology. - 2000. - V. 33, N. 1. -C. 61-65.

50. Давыдов С. Ю., Мошников В. М., Федотов А. А. Адсорбция газов на полупроводниковых оксидах // Письма в "Журнал технической физики". -2004. - Т. 30, № 17. - С. 39-45.

51. Автоматизированная установка для измерения газочувствительности сенсоров на основе полупроводниковых нанокомпозитов / И. Е. Грачева, А. И. Максимов, В. А. Мошников, М. Е. Плех // Приборы и техника эксперимента. - 2008. - № 3. - С. 143-146.

52. Внутреннее трение в полупроводниковых тонких пленках, полученных методом золь-гель технологии / А. С. Ильин, А. И. Максимов,

В. А. Мошников, Н. П. Ярославцев // Физика и техника полупроводников. -2005. - Т. 39, № 3. - С. 300-304.

53. Nicolas-Debarnot D., Poncin-Epaillard F. Polyaniline as a new sensitive layer for gas sensors // Analytica Chimica Acta. - 2003. - V. 475. - P. 1-15.

54. Electrical strength of thin polyaniline films / S. V. Kuzmin, P. Saha, N. T. Sudar et al. // Thin Solid Films. - 2008. - V. 516, N. 8. - P. 2181-2187.

55. Патент РФ № 91181 / M. А. Шишов, H. Т. Сударь, H. Т. Иванова и др. Устройство для обнаружения аммиака с использованием детектирования магнитных характеристик полианилина; Опубл. 27.01.2010.

56. Мясоедов Б. Ф., Давыдов А. В. Химические сенсоры: возможность и перспективы//Журнал аналитической химии. - 1990. - Т. 45. - С. 12591278.

57. Gas identification using micro gas sensor array and neural-network pattern recognition / H.-K. Honga, H. W. Shina, H. S. Park et al. // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1996. - V. 33. - P. 68-71.

58. Власов Ю. Г. Химические сенсоры: история создания и тенденции развития // Журнал аналитической химии. - 1992. - Т. 47. - С. 114-121.

59. Sensitive, selective, and analytical improvements to a porous silicon gas sensor / S. E. Lewis, J. R. DeBoer, J. L. Gole, P. J. Hesketh // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2005. - V. 110. - P. 54-65.

60. Soloman S. Sensors Handbook. Second edition. - McGraw-Hill, 2009. -1424 p.

61. Sensors update: sensor technology, applications, markets /Н. Baltes, W. Gopel, J. Hesse et al. - Weinheim: Wiley-VCH, 2004. - 314 p.

62. Yamazoe N. Toward innovations of gas sensor technology // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2005. - V. 108. - P. 2-14.

63. Porous tin oxide nanostructured microspheres for sensor applications/С. J. Martinez, B. Hockey, С. B. Montgomery, S. Semancik//Langmuir. -2005. - V. 21 (17). - P. 7937-7944.

64. Микропроцессорный газоаналитический модуль / A. E. Сенькин, Б. И. Селезнев, А. И. Максимов, В. А. Мошников // Вестник Новгородского государственного университета. - 2004. - № 26. - С. 161-167.

65. Васильев А. А., Олихов И. М., Соколов А. И. Газовые сенсоры для пожарных извещателей // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. - 2005. -№ 2. - С. 24-27.

66. A micromachined gas sensor on a catalytic thick film / Sn02 thin film bilayer and a thin film heater: Part 2: CO sensing / S. Tabata, K. Higaki, H. Ohnis et al. // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2005. - V. 109. - P. 190-193.

67. Сенсорные свойства по отношению к сероводороду и электропроводность поликристаллических пленок Sn02(Cu) / Б. А. Акимов, А. В. Албул, А. М. Гаськов и др. // Физика и техника полупроводников. - 1997. - Т. 37, Вып. 4. - С. 400-404.

68. Cu0/Sn02 thin film heterostructures as chemical sensors to H2S / R. B. Vasiliev, M. N. Rumyantseva, N. V. Yakovlev, A. M. Gaskov// Sensors and Actuators B: Chemical. - 1998. - V. 50. - P. 186193.

69. Sensing behavior of CuO-loaded Sn02 element for H2S detection / T. Maekawa, J. Tamaki, N. Miura, N. Yamazoe // Chemistry Letters. - 1991. -V. 20, N. 4.-P. 575-578.

70. Nanocrystalline Metal Oxides as Promising Materials for Gas Sensors for Hydrogen Sulfide / M. N. Rumyantseva, M. N. Bulova, T. A. Kuznetsova et al. // Russian Journal of Applied Chemistry. - 2001. - V. 74, N. 3. - P. 434-439.

71. Kleinschmidt P., Hanrieder W. The future of sensors, materials science or software engineering? // Sensors and Actuators A: Physical. - 1992. - V. 33. -P. 5-17.

72. Долгополов H. В., Яблоков M. Ю. "Электронный нос" - новое направление индустрии безопасности // Мир и безопасность. - 2007. — № 4. — С. 54-59.

73. Сысоев В. В., Зюрюкин Ю. А. Мультисенсорные системы распознавания газов типа «электронный нос»: краткий обзор литературы // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2007. -№2(24), Вып. 1.-С. 111-119.

74. Smart single-chip gas sensor microsystem / С. Hagleitner, A. Hierle-mann, D. Lauge et al. // Nature. - 2001. - V. 414. - P. 293-296.

75. US Patent 2004/0075140 / H. Baltes, D. Barrettino, D. Graf et al. Microsensor and single chip integrated microsensor system; Publ. 22.04.2004.

76. Goschnick J. An electronic nose for intelligent consumer products based on a gas analytical gradient microarray //Microelectronic Engineering. - 2001. -V. 57-58. - P. 693-704.

77. Кисин В. В., Сысоев В. В., Ворошилов С. А. Распознавание паров ацетона и аммиака с помощью набора однотипных тонкопленочных датчиков // Письма в ЖТФ. - 1999. - Т. 25, Вып. 16. - С. 54-58.

78. Патент РФ № 2361206/Т. А. Кумченко, А. В. Кожухова. Способ установления фальсификации лекарственных препаратов с седативными свойствами на основе натуральных масел с применением матрицы пьезосен-соров; Опубл. 10.07.2009.

79. Sensing properties of Au-loaded Sn02-Co304 composites to CO and H2 / U.-S. Choi, G. Sakai, K. Shimanoe, N. Yamazoe // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2005. - V. 107. - P. 397-401.

80. Румянцева M. H., Гаськов A. M. Химическое модифицирование нанокристаллических оксидов металлов: влияние реальной структуры и химии поверхности на сенсорные свойства // Известия РАН. Серия химическая. - 2008. - Т. 57(6). - С. 1086-1105.

81. Электрофизические и газочувствительные свойства полупроводниковых наноструктурированных пленок Sn02:Zr02 / С. И. Рембеза, H. Н. Ко-шелева, Е. С. Рембеза и др. // Физика и техника полупроводников. - 2011. -Т. 45(5).-С. 612-617.

82. Газовая чувствительность нанокомпозита на основе диоксида олова с добавлением углеродных нанотрубок / Ю. В. Шматова, С. И. Рембеза, Т. В. Свистова, А. Ю. Воробьев // Твердотельная электроника и микроэлектроника: межвуз. сб. науч. тр. / ВГТУ. Воронеж, 2010. - С. 163-167.

83. Кривецкий В. В. Направленный синтез материалов на основе нано-кристаллического Sn02 для повышения селективности газовых сенсоров: Ав-тореф. дис. ... канд. хим. наук / МГУ им. М. В. Ломоносова. - М.: 2010.

84. Румянцева M. Н. Химическое модифицирование и сенсорные свойства нанокристаллического диоксида олова: Автореф. дис. ... док. хим. наук / МГУ им. М. В. Ломоносова. - М.: 2009.

85. Nanocomposites Sn02/Fe203: sensor and catalytic properties / M. Rumyantseva, V. Kovalenko, A. Gaskov et al. // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2006. - V. 118.-P. 208-214.

86. Mjakin S. V., Sychov M. M., Vasiljeva I. V. Electron Beam Modification of Solids: Mechanisms, Common Features and Promising Applications. - NY: Nova Science, 2009. - 125 p.

87. Основы золь-гель-технологии нанокомпозитов. 2-е издание. / А. И. Максимов, В. А. Мошников, Ю. М. Таиров, О. А. Шилова. -СПб.: ООО «Техномедиа» / Изд-во «Элмор», 2008. - 225 с.

88. Livage J. Sol-gel synthesis of heterogeneous catalysts from aqueous solutions // Catalysis Today. - 1998. - V. 41. - P. 3-19.

89. Brinker C. J., Sherer G. W. Sol-Gel Science. The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing. - San Diego: Academic Press, 1990. - 908 pp.

90. А. Г. Пасынский. Коллоидная химия. M: Высшая школа, 1959.

265 с.

91. Neiderberger М., Ganweitner G. Organic reaction pathways in the nonaqueous synthesis of metal oxide nanoparticles // Chemistry: A European Journal. - 2006. - V. 12. - P. 7282-7302.

92. Hubert-Pfalzgraf L. G. To what extent can design of molecular precursors control the preparation of high tech oxides? // Journal of Materials Chemistry. -2004. - V. 14.-P. 3113-3123.

93. Livage J., Henry M., Sanchez C. Sol-gel chemistry of transition metal oxides // Progress in Solid State Chemistry. - 1988. - V. 18. - P. 259-341.

94. In M., Sanchez C. Growth versus cyclization in the early stages of poly-condensation of metal alkoxides // Journal of Physical Chemistry. - 2005. -V. 109.-P. 23870-23878.

95. Chemical modification of alkoxide precursors / C. Sanchez, J. Livage, M. Henry, F. Babonneau//Journal of Non-Crystalline Solids. - 1988. - V. 100. -P. 65-76.

96. Hubert-Pfalzgraf L. G. Some aspects of homo and heterometallic alkoxides based on functional alkohols//Coordination Chemistry Reviews. - 1998. -V. 178-180.-P. 967-997.

97. Schubert U. Chemical modification of titanium alkoxides for sol-gel processing // Journal of Materials Chemistry. - 2005. - V. 15. - P. 3701-3715.

98. Карпова С. С., Пинская Д. Б. Фрактальные структуры диоксида кремния для модификации металлооксидных газовых сенсоров// 13-я научная молодежная школа по твердотельной электронике "Физика и технология микро- и наносистем": Тез. докл., Санкт-Петербург, 2010. - С. 41.

99. Карпова С. С., Пинская Д. Б. Фрактальные наноструктуры диоксида кремния, полученные золь-гель методом // XI молодежная научная конференция: Тез. докл., Санкт-Петербург, 2010. - С. 117-118.

100. Synthesis and application of nanomaterials based on different metal oxides / L. T. Lan Anh, N. N. Trung, V. T. Son et al. // Proceedings of the Sixth Vietnam-Korea International Joint Symposium, Hanoi, Vietnam, 2011. - P. 172-176.

101. SiC>2-ZnO nanocomposite catalysts for photodegradation of malachite green and methylene blue under UV and visible light illumination / N. Kaneva, I. Gracheva, S. Karpova et al. // International Conference «Advanced Functional Materials»: Book of Abstracts, Riviera Resort, Bulgaria, 2012. - P. 63.

102. Nanostructured materials obtained under conditions of hierarchical self-assembly and modified by derivative forms of fullerenes /1. E. Gracheva, V. A. Moshnikov, E. V. Maraeva et al. // Journal of Non-Crystalline Solids. -2012.-V. 358.-P. 433-439.

103. Наноматериалы: Лабораторный практикум / Под. ред. В. А. Мош-никова. - СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2010. - 94 с.

104. Карпова С. С., Грачева И. Е., Мошников В. А. Нанокомпозиты с многоуровневой иерархией пор // Проведение научных исследований в области научных исследований в области индустрии наносистем и материалов: Материалы Всероссийской конференции с элементами научной школы для молодежи, Белгород, 2009. - С. 184-187.

105. Управляемый синтез тонких стекловидных пленок / И. А. Аверин, С. С. Карпова, В. А Мошников и др. // Нано- и микросистемная техника. -2011.-№ 1.-С. 23-25.

106. Мошников В. А., Спивак Ю. М. Атомно-силовая микроскопия для нанотехнологии и диагностики. Учеб. пособие. - СПб.: Изд-во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2009. - 80 с.

107. Hierarchical nanostructured semiconductor porous materials for gas sensors / V. A. Moshnikov, I. E. Gracheva, V. V. Kuznezov et al. // Journal of Non-Crystalline Solids. - 2010. - V. 356. - P. 2020-2025.

108. Грачева И. E., Карпова С. С., Мошников В. А. Исследование полупроводниковых сетчатых структур с многоуровневой иерархией пор методами атомно-силовой микроскопии // XXIII Российская конференция по электронной микроскопии: Тез. докл., Черноголовка, 2010. - С. 144-145.

109. Net-like structured materials for gas sensors/1. E. Gracheva, V. A. Moshnikov, S. S. Karpova, E. V. Maraeva // Journal of Physics: Conference Series. -2011.-V. 291.-P. 012017.

110. Карпова С. С., Воронцова К. В., Бобков А. А. Золь-гель синтез наноструктурированных пористых слоев ZnO-SiC>2 // IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Кремний-2012»: Тез. докл., Санкт-Петербург, 2012. - С. 352.

111. С.С. Карпова. Нанокомпозиты Zn0-Si02, полученные золь-гель методом//VIII Российская ежегодная конференция молодых научных сотрудников и аспирантов «Физико-химия и технология неорганических материалов»: Тез. докл., Москва, 2011 г. - С. 375-376.

112. Синтез и характеризация наноструктурированных слоев оксида цинка для сенсорики / JI. К. Крастева, Д. Ц. Димитров, К. И. Папазова и др. // Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, Вып. 4. - С. 570575.

113. Promotion of СО and СО2 hydrogénation over Rh by metal oxides: the influence of oxide Lewis acidity and reducibility / A. Boffa, C. Lin, A. T. Bell, G. A. Somorjai // Journal of Catalysis. - 1994. - V. 149. - P. 149-158.

114. Pacchioni G., Ricart J. M., Illas F. Ab initio cluster model calculations on the chemisorption of CO2 and SO2 probe molecules on MgO and CaO (100) surfaces. A theoretical measure of basicity. // Journal of American Chemical Society.-1994.-V. 116.-P. 10152-10158.

115. Lebouteiller A., Courtine P. Improvement of a Bulk Optical Basicity Table for Oxidic Systems // Journal of Solid State Chemistry. - 1998. - V. 137. -P. 94-103.

116. Rethwisch D. G., Dumesic J. A. The Effect of Metal Oxygen Bond Strength on Properties of Oxides: I. Infrared Spectroscopy of Adsorbed CO and C02 // Langmuir. - 1986. - V. 2. - P. 73-79.

117. Tanabe K., Saito K. The conversion of benzaldehyde into benzyl ben-zoate with alkaline earth metal oxide catalysts // Journal of Catalysis. - 1974. - V. 35.-P. 247-255.

118. Krylov О. V. Catalysis by Nonmetals. - NY: Academic Press, 1970.

119. Controlling Surface Reactivities of Transition Metals by Carbide Formation / J. G. Chen, B. Fruberger, J. Eng, В. E. Bent // Journal or Molecular Catalysis A. - 1998. - V. 131. - P. 285-299.

120. Duchateau R., van Wee C. T., Teuben J. H. PhC(NSiMe3)2.2YR (R = CH2Ph-THF, CH(SiMe3)2), and Hydrido, {PhC(NSiMe3)2.2Y(w-H)}2, Compounds // Organometallics. - 1996. - V. 15. - P. 2291-2302.

121. Henrich V. E., Cox P. A. The Surface Science of Metal Oxides. - Cambridge: Cambridge University Press, 1994. - 464 pp.

122. Крылов О. В. Катализ неметаллами: закономерности подбора катализаторов. - Л. : Химия, 1967. - 240 с.

123. Idriss Н., Seebauer Е. G. Effect of oxygen electronic polarisability on catalytic reactions over oxides // Catalysis Letters. - 2000. - V. 66. - P. 139-145.

124. Сазонов В. А., Поповский В. В., Боресков Г. К. Масс-спектрометрический метод определения летучести кислорода над окисными катализаторами // Кинетика и катализ. - 1968. - Т. 9, № 2. - С. 307-318.

125. Голодец Г. И. Гетерогенно-каталитические реакции с участием молекулярного кислорода. - Киев: Наукова думка, 1977. - 360 с.

126. Дзисяк А. П., Боресков Г. К., Касаткина Л. А. Исследование гомо-молекулярного обмена кислорода на окислах металлов четвертого периода: 2. Каталитическая активность и энергия связи кислорода окислов // Кинетика и катализ. - 1963. - Т. 4, № 3. - С. 388-394.

127. Карпова С. С. Механизм взаимодействия восстанавливающих газов с оксидами металлов // Известия государственного электротехнического университета. Сер. Физика твердого тела и электроника. - 2012. - № 6. - С. 15-24.

128. Gas-sensitive properties of thin film heterojunction structures based on Ре20з~1п20з nanocomposties / M. Ivanovskaya, D. Kotsikau, G. Faglia et al. // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2003. - V. 93. - P. 422^30.

129. Карпова С. С., Грачева И. Е., Мошников В. А. Об особенностях спектров полной проводимости сетчатых нанокомпозитных слоев на основе диоксида олова // Известия государственного электротехнического университета. Сер. Физика твердого тела и электроника. - 2010. - Вып. 4. - С. 3—8.

130. Gracheva I. Е., Karpova S. S., Moshnikov V. A. Gas-sensitive hierarchical porous nanostructures for multisensor systems // Annual proceedings the Technical University of Varna. - 2010. - P. 97-102.

131. Исследование газочувствительных наноструктурированных материалов, полученных с помощью нанотехнологии «снизу-вверх» / С. С. Карпова, Д. Б. Пинская, М. Г. Аньчков и др. // 17-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2010»: Тез. докл., Москва, 2010. - С. 41.

132. Карпова С. С., Грачева И. Е., Мошников В. А. Особенности газочувствительности нанокомпозитных сетчатых структур с иерархией

пор II Аморфные и микрокристаллические полупроводники: Тез. докл. VII Международной конференции, Санкт-Петербург, 2010. - С. 366-367.

133. Карпова С. С., Бобков А. А. Исследование газочувствительных оксидов металлов, полученных золь-гель методом // Молодой ученый. - 2012. -№9(44). -С. 21-25.

134. Карпова С. С., Мошников В. А. Синтез и исследование одноком-понентных и двухкомпонентных оксидов металлов для газовых сенсоров // Тринадцатая всероссийская молодежная конференция по физике полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и наноэлектронике: Тез. докл., Санкт-Петербург, 2011. - С. 103.

135. Исследование газочувствительности однокомпонентных и многокомпонентных оксидов металлов, полученных методом химического сооса-ждения / С. С. Карпова, А. А. Бобков, В. А. Мошников, Н. Е. Казанцева // 14-я научная молодежная школа «Физика и технология микро- и наносистем»: Тез. докл., Санкт-Петербург, 2011. - С. 63.

136. Карпова С. С., Бобков А. А., Воронцова К. В. Получение и исследование наноструктурированных оксидов металлов для газовых сенсоров // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2, Санкт-Петербург, 2012. - С. 338-339.

137. Тарасевич Ю. Ю. Перколяция: теория, приложения, алгоритмы: Учебное пособие. - М.: Едиториал УРСС, 2002. - 112 с.

138. Скал А. С., Шкловский Б. И. Топология бесконечного кластера в теории перколяции и ее связь с теорией прыжковой проводимости. Физика и техника полупроводников. - 1974. - Т. 8, № 11. - С. 1586-1591.

139. Coniglio A. Cluster structure near the percolation threshold // Journal of Physics A: Mathematical and General. - 1982. - V. 15. - P. 3829-3844.

140. Stanley H. E. Cluster shapes at the percolation threshold: and effective cluster dimensionality and its connection with critical point exponents // Journal of Physics A: Mathematical and Theoretical. - 1977. - V. 10 (11). - P. L211-L220.

141. Solvable fractal family, and its possible relation to the backbone at percolation /Y. Gefen, A. Aharony, В. B. Mandelbrot, S. Kirkpatrick//Physical Review Letters. - 1981. - V. 47. - P. 1771 -1774.

142. de Arcangelias L., Render S., Coniglio A. Anomalous voltage distribution of random resistor networks and a new model for the backbone at the percolation threshold // Physical Review B. - 1985. - V. 31. - P. 4725-4727.

143. Mandelbrot В. В., Given J. A. Physical properties of a new fractal model of percolation clusters//Physical Review Letters. - 1984. - V. 52. - P. 1853-1856.

144. Федер E. Фракталы. - M.: Мир, 1991. - 254 с.

145. Эфрос A. JI. Физика и геометрия беспорядка (выпуск 19 серии "Библиотечка Квант"). - М., Наука, 1982. - 176 с.

146. Грачева И. Е. Полупроводниковые сетчатые наноструктурирован-ные композиты на основе диоксида олова, полученные золь-гель методом, для газовых сенсоров: Дис. ... канд. физ.-мат. наук / СПбГЭТУ «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург, 2009.

147. Эволюция донорно-акцепторных центров поверхности сегнето-электриков при диспергировании / Н. В. Захарова, М. М. Сычев, В. Г. Корсаков, С. В. Мякин//Конденсированные среды и межфазные границы. - 2011. -Т. 13, № 1. - С. 56-62.

148. Танабе К. Твердые кислоты и основания. - М.: Мир, 1973. - 156 с.

149. Нечипоренко А. П. Кислотно-основные свойства поверхности твердых оксидов и халькогенидов: Дис. ... д-ра хим. наук / СПбГТИ (ТУ). -Санкт-Петербург, 1995.

150. Нечипоренко А. П. Новый метод для исследования локальных и интегральных кислотно-основных характеристик поверхности твердых веществ и материалов различной природы и назначения // Химия высокоорганизованных веществ и научные основы нанотехнологии: Материалы Первой Междунар. конф. 4.2, Санкт-Петербург, 1996. - С. 275.

151. Электронно-лучевое модифицирование поверхности оксидных материалов (SiC>2, ВаТЮз) / И .В. Васильева, С. В. Мякин, Е. В. Рылова,

B. Г. Корсаков // Журнал физической химии. - 2002. - Т. 76. - № 1. - С. 8489.

152. Лурье Ю. Ю. Справочник по аналитической химии. - М.: Химия,

1989.

153. Функциональный состав поверхности и сенсорные свойства ZnO, Fe2C>3 и ZnFe204 / С. С. Карпова, В. А. Мошников, С. В. Мякин, Е. С. Коло-вангина//Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, Вып. 3. -

C. 369-372.

154. Исследование особенностей адсорбционных центров газочувствительных наноструктур на основе оксидов металлов / С. С. Карпова, С. В. Мя-

кин, В. А. Мошников и др. //Аморфные и микрокристаллические полупроводники: Сборник трудов VIII Международной конференции, Санкт-Петербург, 2012. - С. 268-269.

155. Карпова С. С. Исследование поверхностных адсорбционных центров сенсорных наноструктур на основе оксидов металлов // Труды V Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по направлению «Диагностика наноматериалов и наноструктур». Том III, Рязань, 2012.-С. 65-69.

156. Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. - М.: Мир, 1989. - 344 с.

157. Петров А. А. Электронная и ионная спектроскопия материалов и структур микро- и оптоэлектроники: Учеб. пособие. - СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ, 2011. - 80 с.

158. Мазалов Л. Н. Рентгеноэлектронная спектроскопия и ее применение в химии // Соросовский образовательный журнал. - 2000. - Т. 6, № 4. -С. 37-44.

159. Нефедов В. И. Рентгеноэлектронная и фотоэлектронная спектроскопия. - М.: Знание, 1983. - 64 с.

160. Мошников В. А., Яськов Д. А. Рентгеноспектральный микроанализ в физической химии полупроводников: Учеб. пособие. - Л.: ЛЭТИ, 1986. -48 с.

161. Low temperature synthesis of zinc ferrite nanoparticles / A. Bardhan, С. K. Ghosh, M. K. Mitra et al. // Solid State Sciences. - 2010. - V. 12. - P. 839844.

162. Yamashita Т., Hayes P. Analysis of XPS spectra of Fe2+ and Fe3+ ions in oxide materials // Applied Surface Science. - 2008. - V. 254. - P. 2441-2449.

163. The effect of calcination temperature on the photoluminescence from sol-gel derived amorphous ZnO/silica composites / J. Hong, Y. Wang, G. He, J. Wang // Journal of Non-Crystalline Solids. - 2010. - V. 356. - P. 2778-2780.

164. X-ray photoelectron spectroscopy studies of Co-doped Zn0-Ga203-Si02 nano-glass-ceramic composites / X. Duan, C. Song, F. Yu et al. // Applied Surface Science. - 2011. - V. 257. - P. 4291-4295.

165. Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy / C. D. Wagner, W. M. Riggs, L. E. Davis et al. - Eden Prairie: Perkin Elmer Corporation, 1979.

166. Deroubaix G., Marcus P. X-ray photoelectron spectroscopy analysis of copper and zinc oxides and sulphides // Surface and Interface Analysis. - 1992. -V. 18.-P. 39-46.

167. Dake L. S., Baer D. R., Zachara J. M. Auger parameter measurements of zinc compounds relevant to zinc transport in the environment // Surface and Interface Analysis. - 1989. - V. 14. - P. 71-75.

168. Hawn D. D., DeKoven В. M. Deconvolution as a correction for photoelectron inelastic energy losses in the core level XPS spectra of iron oxides // Surface and Interface Analysis. - 1987. - V. 10. - P. 63-74.

169. Paparazzo E. X-ray photo-emission and Auger spectra of damage induced by Ar+-ion etching at Si02 surfaces // Journal of Physics D: Applied Physics. - 1987. - V. 20. - P. 1091-1094.

170. Mclntyre N. S., Zetaruk D. G. X-ray photoelectron spectroscopic studies of iron oxides // Analytical Chemistry. - 1977. - V. 49. - P. 1521-1529.

171. Kishi K., Ikeda S. X-ray photoelectron spectroscopic study for the reaction of evaporated iron with O2 and H2O // Bulletin of the Chemical Society of Japan. - 1973. - V. 46. - P. 341-345.

172. X-Ray photoelectron spectroscopy of iron-oxygen systems / G. C. Allen, M. T. Curtis, A. J. Hooper, P. M. Tucker // Journal of the Chemical Society, Dalton Transactions. - 1974. -N 14. - P. 1525-1530.

173. Brion D. Etude par spectroscopic de photoelectrons de la degradation superficielle de FeS2, CuFeS2, ZnS et PbS a l'air et dans l'eau // Applications of Surface Science. - 1980. -V. 5. - P. 133-152.

174. Жуковский В. M., Бушкова О. В. Импедансная спектроскопия твердых электролитических материалов. - Екатеринбург: УрГУ, 2000. -34 с.

175. Barsoukov Е., Macdonald J. R. Impedance Spectroscopy. Theory, Experiment, and Applications. Second Edition. - Willey: Interscience, 2005. -595 p.

176. Анализ диэлектрических спектров композитных герметизирующих покрытий в широком частотном диапазоне/В. П. Афанасьев, И. Б. Вендик, О. Г. Вендик и др. // Физика и химия стекла. - 2012. - Т. 38, № 1. - С. 86-97.

177. Спектроскопия полной проводимости газочувствительных нано-структурированных слоев, содержащие каталитически активные наночасти-цы, введенные гидропиролитическим методом / С. С. Карпова, И. Е. Грачева, М. Н. Морозова, В. А. Мопгаиков // Девятая всероссийская конференция по

физике полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и нано-электронике: Тез. докл., Санкт-Петербург, 2007. - С. 75.

178. Спектроскопия адмиттанса газочувствительных наноструктуриро-ванных слоев на основе металлооксидов / И. Е. Грачева, В. А. Мошников, С. С. Карпова, М. Н. Морозова // Физика диэлектриков (Диэлектрики-2008): Материалы XI международной конференции, Санкт-Петербург, 2008. -С. 224-227.

179. Карпова С. С. Адмиттансная спектроскопия как метод физико-химического анализа адсорбционных процессов во фрактальных наноструктурах // Сборник конкурсных научно-исследовательских работ аспирантов и молодых ученых в области стратегического партнерства вузов и предприятий радиоэлектронной промышленности. Санкт-Петербург, 2010. - С. 198-201.

180. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2010615470 / В. А. Мошников, И. Е. Грачева, С. С. Карпова. Построение годографов импеданса различных электрических цепей.

181. Weimar U., Gopel W. А.с. measurements on tin oxide sensors to improve selectivities and sensitivities // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. -V. 26-27.-P. 13-18.

182. Грачева И. E., Карпова С. С., Мошников В. А. Диагностика газочувствительных свойств наноматериала на основе оксида цинка в переменном электрическом поле // Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. - 2012. - Вып. 5. - С. 96-102.

183. CPE analysis by local electrochemical impedance spectroscopy / J.-B. Jorcin, M. E. Orazem, N. Pebere, B. Tribollet // Electrochimica Acta. - 2006. -V. 51.-P. 1473-1479.

184. Photosensitivity activation of SnC>2 thin film gas sensors at room temperature / P. Camagni, G. Faglia, P. Galinetto et al. // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1996.-V. 31. - P. 99-103.

185. Comini E., Faglia G., Sberveglieri G. UV light activation of tin oxide thin films for NO2 sensing at low temperatures // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2001. - V. 78. - P. 73-77.

186. Selectivity and sensitivity studies on plasma treated thick film tin oxide gas sensors / A. Chaturvedi, V. N. Mishra, R. Dwivedi, S. K. Srivasta-va // Microelectronics Journal. - 2000. - V. 31. - P. 283-290.

187. Srivastava R., Dwivedi R., Srivastava S. K. Development of high sensitivity tin oxide based sensors for gas: odour detection at room temperature // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1998. - V. 50. - P. 175-180.

188. Смешанные металлооксидные наноматериалы с отклонением от стехиометрии и перспективы их технического применения / Грачева И. Е., Мошников В. А., Налимова С. С. // Вестник Рязанского государственного радиотехнического университета. - 2012. - № 42(2). - С. 59-67.

189. Электронно-лучевое модифицирование функциональных материалов / С. В. Мякин, М. М. Сычев, И. В. Васильева и др.- СПб.: Петербургский государственный университет путей сообщения, 2006. - 105 с.

190. Аброян И. А., Андронов А. Н., Титов А. И. Физические основы электронной и ионной технологии. - М.: Высшая школа, 1984. - 320 с.

191. Мошников В. А. Локальные энергетические воздействия в исследовании получении полупроводниковых твердых растворов: Автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук / СПбГЭТУ «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова(Ленина). -Санкт-Петербург, 1996.

192. Effect of electron beam irradiation on tin dioxide gas sensors / Z. Hiao, X. Wan, B. Zhao et al. // Bulletin Materials Science. - 2008. - V. 31, N 1. - P. 8386.

193. Willsau J., Heitbaum J. Elementary steps of ethanol oxidation on Pt in sulfuric acid as evidenced by isotope labeling // Journal of Electroanalytical Chemistry and Interfacial Electrochemistry. - 1985. - V. 194. - P. 27-35.

194. Recent progress in the direct ethanol fuel cell: development of new platinum-tin electrocatalysts / C. Lamy, S. Rousseau, E. M. Belgsir et al. // Electrochimica Acta. - 2004. - V. 49. - P. 3901-3908.

195. The effect of methanol and ethanol cross-over on the performance of PtRu/C-based anode DAFCs / S. Song, W. Zhou, Z. Liang et al. // Applied Catalysis B: Environmental. - 2005. - V. 55. - P. 65-72.

196. Verma A., Basu S. Direct use of alcohols and sodium borohydride as fuel in an alkaline fuel cell // Journal of Power Sources. - 2005. - V. 145. - P. 282285.

197. Electro-oxidation mechanisms of methanol and formic acid on Pt-Ru alloy surfaces / N. M. Markovic, H. A. Gasteiger, P. N. Ross et al. // Electrochimica Acta. - 1995. - V. 40. - P. 91-98.

198. Gojkovic S. L., Vidakovic T. R., Durovic D. R. Kinetic study of methanol oxidation on carbon-supported PtRu electrocatalyst // Electrochimica Acta. -2003. - V. 48. - P. 3607-3614.

199. Wang J., Wasmus S., Savinell R. F. Evaluation of ethanol, 1-propanol, and 2-propanol in a direct oxidation polymer-electrolyte fuel cell // Journal of the Electrochemical Society. - 1995. - V. 142. - P. 4218-4224.

200. Intermediates and products of ethanol oxidation on platinum in acid solution / B. Bittins-Cattaneo, S. Wilhelm, E. Cattaneo et al. // Ber. Bunsenges. Phys. Chem. - 1988. - V. 92. - P. 1210-1218.

201. A kinetic analysis of the electro-oxidation of ethanol at a platinum electrode in acid medium / H. Hitmi, E. M. Belgsir, J.-M. Leger et al. // Electrochimica Acta.- 1994. -V. 39. - P. 407-415.

202. Gootzen J. F. E., Visscher W., Van Veen J. A. R. Characterization of ethanol and 1,2-ethanediol adsorbates on platinized platinum with fouriertransform infrared-spectroscopy and differential electrochemical mass-spectrometry // Langmuir. - 1996. - V. 12. - P. 5076-5082.

203. Electrochemical reactivity of ethanol on porous Pt and PtRu: oxidation/reduction reactions in 1 M HCIO4 / V. M. Schmidt, R. Ianniello, E. Pastor, S. Gonzalez // Journal of Physical Chemistry. - 1996. - V. 100. - P. 17901-17908.

204. Supported mixed metal nanoparticles as electrocatalysts in low temperature fuel cells / K.-Y. Chan, J. Ding, J. Ren et al. // Journal of Materials Chemistry. - 2004. - V. 14. - P. 505-516.

205. Origin of the enhanced catalytic activity of carbon nanocoil-supported PtRu alloy electrocatalysts / K.-W. Park, Y.-E. Sung, S. Han et al. // Journal of Physical Chemistry B. - 2004. - V. 108. - P. 939-944.

206. Electrocatalytic enhancement of methanol oxidation by graphite nano-fibers with a high loading of PtRu alloy nanoparticles / I.-S. Park, K.-W. Park, J.-H. Choi et al. // Carbon. - 2007. - V. 45. - P. 28-33.

207. Основы водородной энергетики / Под ред. В. А. Мошникова и Е. И. Терукова. 2-е изд. - СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2011. - 288 с.

208. Tseung А. С. С., Chen К. Y. Hydrogen spill-over effect on Pt/W03 anode catalysts // Catalysis Today. - 1997. - V. 38. - P. 439-443.

209. Garcia B. L., Fuentes R., Weidner J. W. Low-temperature synthesis of a PtRu/Nbo 1 Tio.902 electrocatalyst for methanol oxidation //Electrochemical and Solid-State Letters. - 2007. - V. 10. - P. B108-B110.

210. Synthesis of the ceramic-metal catalysts (PtRuNi-Ti02) by the combustion method/B. Moreno, E. Chinarro, J. L. G. Fierro, J. R. Jurado //Journal of Power Sources. - 2007. - V. 169. - P. 98-102.

211. Santos A. L., Profeti D., Olivi P. Electrooxidation of methanol on Pt microparticles dispersed on SnC>2 thin films//Electrochimica Acta. - 2005. -V. 50.-P. 2615-2621.

212. Park K.-W., Sung Y.-E. Design of nanostructured electrocatalysts for direct methanol fuel cells // Journal of Industrial and Engineering Chemistry. -2006.-V. 12.-P. 165-174.

213. Sub-stoichiometric titanium oxide-supported platinum electrocatalyst for polymer electrolyte fuel cells / T. Ioroi, Z. Siroma, N. Fujiwara et al. // Electrochemistry Communications. - 2005. - V. 7. - P. 183-188.

214. Chhina H., Campbell S., Kesler O. Oxidation-resistant indium tin oxide catalyst support for PEMFCs//Journal of Power Sources. - 2006. - V. 161. -P. 893-900.